JP2017019704A - Method and apparatus for cutting hard fragile plate - Google Patents

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高志 宮本
智尚 上野
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智尚 上野
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and apparatus for cutting a thermoplastic hard fragile plate being a comparatively thin glass plate and other plates such as the display substrate of a portable terminal without the occurrence of microcrack and cullet.SOLUTION: A method for cutting a thermoplastic hard fragile plate w comprises: moving an irradiation point P of a laser beam B along the cutting line of the thermoplastic hard fragile plate w fixed on a table 1; pressing and moving a scribe cutter on the cutting line heated by the irradiation of the laser beam B and softened s on a front surface side; pressing and extending the front surface of the glass plate without generating micro cracks by softening s the front surface side of the glass plate w just before scribing when pressing the cutter on the glass plate w to form a scribe groove; and cutting the glass plate w by vertical cracks extended from the tip of the scribe groove.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

この発明は、携帯端末のディスプレイに用いるガラス板その他の薄い熱可塑性硬質脆性板を割断(割って切断)するのに特に好適な割断方法及び装置に関するものである。   The present invention relates to a cleaving method and apparatus particularly suitable for cleaving (breaking and cutting) a glass plate or other thin thermoplastic rigid / brittle plate used for a display of a portable terminal.

ガラス板の切断は、通常、スクライブとブレークの2工程によって行われている。スクライブは、鋭利な周縁を備えたローラや尖針などからなるスクライブカッタ(以下、単に「カッタ」と言う。)を割断線に沿って走行させてガラス板の面に直交する方向のクラック(垂直クラック)を生成させる工程である。ブレークは、スクライブされた割断線に局部的な応力を与えることによって垂直クラックを成長させてガラス板を分断する工程である。   The cutting of the glass plate is usually performed by two steps of scribe and break. Scribe is a crack (vertical) in a direction perpendicular to the surface of the glass plate by running a scribe cutter (hereinafter simply referred to as “cutter”) consisting of a roller with a sharp edge or a sharp needle along the cutting line. Crack). Breaking is a process of dividing a glass plate by growing vertical cracks by applying local stress to the scribed breaking line.

図4は、レーザビームの熱応力によってブレークする割断装置の一例を示した図である。図4において、wは割断しようとするガラス板、aはガラス板wの割断線、1はガラス板wを固定するテーブル、21は図示しない不動部材に装架された案内桁、2は案内桁21に沿って走行する移動台、dはガラス板wの割断時における移動台2の移動方向、4は付勢シリンダ26を介して移動台2に装着されたカッタ、3は移動台2に装着されたレーザ発振器、Qはカッタ4の押圧点、Pはレーザ発振器3から照射されるレーザビームBの照射点である。レーザビームの照射点Pは、カッタの押圧点Qのガラス板切断時における移動方向後方に位置している。   FIG. 4 is a diagram showing an example of a cleaving device that breaks due to thermal stress of a laser beam. In FIG. 4, w is a glass plate to be cleaved, a is a breaking line of the glass plate w, 1 is a table for fixing the glass plate w, 21 is a guide girder mounted on a non-illustrated immovable member, and 2 is a guide girder. 21 is a moving table that travels along 21, d is the moving direction of the moving table 2 when the glass plate w is cleaved, 4 is a cutter mounted on the moving table 2 via the urging cylinder 26, and 3 is mounted on the moving table 2 The laser oscillator, Q is the pressing point of the cutter 4, and P is the irradiation point of the laser beam B irradiated from the laser oscillator 3. The irradiation point P of the laser beam is located rearward in the moving direction when the glass plate is cut at the pressing point Q of the cutter.

図4の装置では、移動台2を図の矢印方向dに移動させることによって、テーブル1に固定されたガラス板wの割断線aに沿ってカッタ4及びレーザ発振器3が移動し、カッタ4がスクライブした直後にレーザビームBによって局部的な熱応力が付与されてガラス板wが切断されてゆく。   In the apparatus of FIG. 4, the cutter 4 and the laser oscillator 3 are moved along the breaking line a of the glass plate w fixed to the table 1 by moving the movable table 2 in the arrow direction d in the figure. Immediately after scribing, local thermal stress is applied by the laser beam B, and the glass plate w is cut.

図5は、スクライブされたガラス板を模式的に示した拡大断面図である。ガラス板wの表面(カッタ4が押圧される側の面)に割断線aに沿うV形断面のスクライブ溝gが形成され、その底端からガラス板の裏面に向かって垂直クラックcが発生している。   FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view schematically showing a scribed glass plate. A scribe groove g having a V-shaped cross section along the breaking line a is formed on the surface of the glass plate w (the surface on the side where the cutter 4 is pressed), and a vertical crack c is generated from the bottom end toward the back surface of the glass plate. ing.

一方、ガラス板wの表面側には、カッタ4によって割断線aを境にして両側に押し広げる力が作用する関係上、スクライブ溝gの壁面に水平クラックやマイクロクラックと呼ばれる小さなクラックmが発生し、これに伴ってカレット(欠けて飛散する微細なガラス粒)が発生する。   On the other hand, a small crack m called a horizontal crack or microcrack is generated on the wall surface of the scribe groove g on the surface side of the glass plate w due to the force that the cutter 4 pushes it to both sides with the cutting line a as a boundary. Along with this, cullet (fine glass particles that are chipped and scattered) is generated.

マイクロクラックmは、割断した後のガラス板の搬送時や後工程時に、ガラス板に作用する外力によって成長して、ガラス板を破損させる原因となる。また、ディスプレイ用のガラス基板などでは、飛散したカレットがガラス基板面に付着し、剥がれなくなって、ガラス板上に形成した回路のパターン不良や積層される偏光板の貼り付け不良に起因する不良基板が発生する。   The microcrack m grows by an external force acting on the glass plate at the time of transporting the glass plate after the cleaving or in a subsequent process, and causes the glass plate to be damaged. Moreover, in a glass substrate for a display, the scattered cullet adheres to the surface of the glass substrate and does not peel off, resulting in a defective substrate caused by a defective circuit pattern formed on the glass plate or a poorly attached polarizing plate. Will occur.

ガラス板を切断する他の方法として、本願出願人は、ガラス板を真空吸着するテーブル上にガラス板の割断線に沿う突条を設けて、ガラス板をテーブル1上に吸着したときにその割断線に沿って曲げ応力が付与されるようにし、その状態でカッタを割断線に沿って走行させるという、ブレーク工程を省略した割断方法を提案している(特許文献1)。また、スクライブを不要にした切断方法として、割断線に沿ってレーザビームを照射する工程のみによってガラス板を切断する方法も実用されている。   As another method of cutting the glass plate, the applicant of the present application provided a protrusion along the cutting line of the glass plate on the table that vacuum-sucks the glass plate, and when the glass plate was sucked on the table 1, the cutting was performed. A cleaving method that omits the break process is proposed in which bending stress is applied along the line and the cutter is run along the cleaving line in that state (Patent Document 1). As a cutting method that eliminates the need for scribing, a method of cutting a glass plate only by a process of irradiating a laser beam along a cutting line has been put into practical use.

特開2003−261345号公報JP 2003-261345 A

携帯端末のディスプレイに使用されるガラス基板は、小型化と軽量化のために薄肉化が強く要望されている。例えば、スマートフォンのディスプレイに使用されるガラス板は、従来、0.3mmや0.2mmの2枚重ねであったものが、0.15mmの2枚重ねになってきており、更に0.1mmにしたいという要望がある。このような薄いガラス板は、割断後に割断縁の研削を行うことは困難である。また、携帯端末は、価格競争が激しいことから、製造コストの低減も重要課題である。   A glass substrate used for a display of a portable terminal is strongly required to be thin in order to reduce the size and weight. For example, the glass plate used for the display of a smart phone has been 0.3 mm or 0.2 mm, but has become 0.15 mm. There is a request to do. It is difficult for such a thin glass plate to grind the cleaved edge after cleaving. In addition, since the price competition of mobile terminals is fierce, reduction of manufacturing cost is also an important issue.

携帯端末のディスプレイ用の厚さ0.15mm程度のガラス基板をスクライブ−ブレーク方式で割断し、割断縁の研削を行わないで後工程を行うと、後工程中における基板の破損(割れ)が増加する。また、飛散したカレットがガラス基板に付着することによる不良品発生も多くなる。   When a glass substrate with a thickness of about 0.15 mm for a display of a portable terminal is cleaved by a scribe-break method and the subsequent process is performed without grinding the cleaved edge, the damage (cracking) of the substrate in the subsequent process increases. To do. In addition, the occurrence of defective products due to the scattered cullet adhering to the glass substrate increases.

スクライブを行わないでレーザビームのみでガラス板を切断する方法によれば、マイクロクラックが発生しないので、上記のような後工程における割れやカレットの付着による不良基板の発生は防止できる。しかし、レーザビームのみでの切断は、熱応力による切断の為、熱伝達率の影響が大きく、特にガラス板が薄い場合には熱の拡散が早いために応力差が出にくく、ガラス板の材質や厚さによる条件設定が難しい。   According to the method of cutting a glass plate with only a laser beam without performing scribing, microcracks are not generated, and therefore, generation of a defective substrate due to cracks and adhesion of cullet in the subsequent process can be prevented. However, cutting with a laser beam alone is due to thermal stress, so the effect of heat transfer rate is large. Especially when the glass plate is thin, the heat diffusion is fast, so the stress difference is difficult to occur. It is difficult to set conditions by thickness.

更に、レーザのみで切断する場合には、細くて強力なレーザが必要なので、強力で高価なレーザ発振器を用いなければならず、切断に要する装置コスト及びランニングコストが増大するという問題がある。また、カッタによるスクライブとレーザによるブレークで割断する方法では、スクライブ時に生じたマイクロクラックがブレーク後も残るので、上記の問題を解決することはできない。   Furthermore, when cutting only with a laser, a thin and powerful laser is required, so a powerful and expensive laser oscillator must be used, and there is a problem that the apparatus cost and running cost required for cutting increase. Further, in the method of cleaving by the scribe by the cutter and the break by the laser, the microcracks generated at the time of the scribe remain even after the break, and thus the above problem cannot be solved.

この発明は、上記のような問題を解決するためになされたもので、比較的薄いガラス板をマイクロクラックやカレットを発生させないで切断することができる割断方法及び装置を得ることを課題としている。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to obtain a cleaving method and apparatus capable of cutting a relatively thin glass plate without generating microcracks or cullet.

この発明の熱可塑性硬質脆性板の割断方法は、テーブル1上に固定した熱可塑性硬質脆性板wの所望の割断線aに沿ってレーザビームBの照射点Pを移動し、レーザビームBの照射によって加熱されて表面側が軟化sした割断線a上にスクライブカッタ4を押圧して移動させるという工程を備えている。この発明の割断は、ガラス板wに垂直クラックcを発生させるスクライブ工程を備えているが、スクライブする直前にレーザビームBを照射してガラス板wの表面側を軟化sさせることを特徴とする。   In the method for cleaving a thermoplastic hard brittle plate according to the present invention, the irradiation point P of the laser beam B is moved along the desired cleaving line a of the thermoplastic hard brittle plate w fixed on the table 1 to irradiate the laser beam B. A step of pressing and moving the scribe cutter 4 on the breaking line a heated by the surface and softened on the surface side. The cleaving of the present invention includes a scribing step for generating a vertical crack c in the glass plate w, and is characterized in that the surface side of the glass plate w is softened by irradiation with a laser beam B immediately before scribing. .

スクライブする直前に、ガラス板wの表面側を軟化sさせることにより、カッタ4をガラス板wに押圧したときに、ガラス板表面がマイクロクラックを生じることなく押し広げられてスクライブ溝gが形成され、そのスクライブ溝gの先端から延びる垂直クラックcによってガラス板wが割断される。   Immediately before scribing, the surface side of the glass plate w is softened so that when the cutter 4 is pressed against the glass plate w, the surface of the glass plate is expanded without causing microcracks to form a scribe groove g. The glass plate w is cut by the vertical crack c extending from the tip of the scribe groove g.

カッタ4に先行するレーザビームBの強度によって軟化sする領域の深さを調整することができ、マイクロクラックを生じさせることなく、所望深さのスクライブ溝gを形成できる。通常のローラーカッターでのスクライブでは、垂直クラックが0.3〜0.4mmまで入るので、厚さ0.15mmの基板のような薄いガラス板であれば、スクライブ時に垂直クラックcをガラス板wの裏面にまで到達させてブレーク工程を必要としないブレークレス割断を実現できる。また、特許文献1で開示されているようなガラス板wの切断部分に曲げ応力を付与した状態でスクライブすることにより、より厚いガラス板のブレークレス割断を行うことができる。   The depth of the softened region can be adjusted by the intensity of the laser beam B preceding the cutter 4, and the scribe groove g having a desired depth can be formed without causing microcracks. When scribing with a normal roller cutter, vertical cracks enter 0.3 to 0.4 mm. Therefore, if a thin glass plate such as a substrate having a thickness of 0.15 mm is used, the vertical crack c is removed from the glass plate w when scribing. Breakless cleaving that does not require a break process by reaching the back surface can be realized. Moreover, the breakless cleaving of a thicker glass plate can be performed by scribing with the bending stress applied to the cut portion of the glass plate w as disclosed in Patent Document 1.

なお、この発明は、ブレークレスで割断することを特徴とするものではなく、スクライブ時にカッタが押し付けられるガラス板の表面側にマイクロクラックが発生するのを防止して、カレットの付着などによる不良品の発生を軽減しようとするものである。従って、例えば比較的厚いガラス板を割断する場合などには、カッタ4に先行するレーザビームBによってガラス板の表面側を軟化させ、次にカッタ4でスクライブを行い、更にスクライブ後にレーザによる熱衝撃でブレークするという割断も可能である。   The present invention is not characterized by breakless cleaving, and it is possible to prevent the occurrence of microcracks on the surface side of the glass plate against which the cutter is pressed during scribing, resulting in defective products due to adhesion of cullet, etc. It is intended to reduce the occurrence of. Therefore, for example, when a relatively thick glass plate is cut, the surface side of the glass plate is softened by the laser beam B preceding the cutter 4, and then scribe is performed by the cutter 4. Further, after the scribing, the thermal shock by the laser is performed. It is also possible to break with a break.

垂直クラックc及び当該垂直クラックを成長させたガラス板の裏面側の割断面には、マイクロクラックは発生しない。この発明の方法では、スクライブ溝gが刻設されるガラス板の表面側を軟化sして、スクライブ時におけるガラス板表面側のマイクロクラック及びカレットの発生を防止している。従って、この発明の方法によって割断されたガラス板の割断面には、マイクロクラックやカレットの発生がなく、割断後のガラス板の破損やカレットの付着による不良品の発生を防止することができる。   Microcracks do not occur in the vertical crack c and the fractured surface on the back side of the glass plate on which the vertical crack is grown. In the method of the present invention, the surface side of the glass plate on which the scribe groove g is engraved is softened to prevent generation of microcracks and cullet on the glass plate surface side during scribing. Accordingly, the cracked section of the glass plate cleaved by the method of the present invention does not generate microcracks or cullet, and can prevent generation of defective products due to breakage of the glass plate after cleaving or adhesion of cullet.

上記のように、この発明の方法による熱可塑性硬質脆性板の割断によれば、スクライブ時に発生するマイクロクラックを抑えることができ、スクライブ時のカレットの発生も抑制できるので、マイクロクラックや欠けのない鏡面の割断面が得られ、割断後のガラス板の破損やカレットの付着による不良品の発生を大幅に低減できる。   As described above, the cleaving of the thermoplastic hard brittle plate according to the method of the present invention can suppress microcracks that occur during scribing, and can suppress the occurrence of cullet during scribing, so there are no microcracks or chips. A split section of the mirror surface can be obtained, and the occurrence of defective products due to breakage of the glass plate after cleaving and adhesion of cullet can be greatly reduced.

特に携帯端末のディスプレイ基板となるような薄いガラス板の割断においては、ブレークレスで割断することができ、またレーザビームのみで切断する方法やスクライブ後にレーザビームでブレークする方法に比べて、低出力のレーザ発振器の使用が可能で、切断時のレーザビームの条件設定も簡単なので、基板の製造コストを低減することができる。   Especially when cleaving a thin glass plate that is used as a display board for a portable terminal, it can be cleaved without break, and it has a lower output than the method of cutting only with a laser beam or the method of breaking with a laser beam after scribing. The laser oscillator can be used, and the conditions of the laser beam at the time of cutting can be easily set, so that the manufacturing cost of the substrate can be reduced.

実施例の割断装置の一例を示す斜視図The perspective view which shows an example of the cleaving apparatus of an Example 表面が軟化されたガラス板の模式的な部分断面図Schematic partial cross-sectional view of a softened glass plate 表面を軟化してスクライブしたガラス板の模式的な部分断面図Schematic partial cross-sectional view of a glass plate scribed with a softened surface 従来の割断装置の一例を示す斜視図A perspective view showing an example of a conventional cleaving device 従来方法でスクライブされたガラス板の模式的な拡大断面図Schematic enlarged cross-sectional view of a glass plate scribed by a conventional method

以下、図面を参照してこの発明の実施形態を説明する。この発明の割断装置が、図4で示した従来装置と異なる点は、割断時の移動台2の移動方向dに対するレーザビームの照射点Pとカッタ4の押圧点Qの前後関係が逆になっている点である。すなわち、この発明の装置では、スクライブカッタ4による垂直クラックの生成に先行してレーザビームBによるガラス板wの加熱が行われる。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The cleaving apparatus of the present invention is different from the conventional apparatus shown in FIG. 4 in that the front-rear relationship between the irradiation point P of the laser beam and the pressing point Q of the cutter 4 with respect to the moving direction d of the moving table 2 at the time of cleaving is reversed. It is a point. That is, in the apparatus of the present invention, the glass plate w is heated by the laser beam B prior to the generation of the vertical crack by the scribe cutter 4.

ガラス板wのスクライブ時には、移動台2の移動により、レーザビームの照射点Pがスクライブカッタ4の押圧点Qに先行して割断線aに沿って移動し、ガラス板wの表面側を軟化sさせる。そして、軟化sしているガラス板の表面にスクライブカッタ4が押圧されて移動することにより、スクライブ溝gが形成され、スクライブ溝gの先端から軟化していないガラス板の裏面側の部分に垂直クラックc(図3参照)が生成される。   During scribing of the glass plate w, the laser beam irradiation point P moves along the breaking line a prior to the pressing point Q of the scribe cutter 4 by the movement of the moving table 2, and the surface side of the glass plate w is softened. Let Then, the scribe cutter 4 is pressed and moved on the surface of the glass plate that has been softened, whereby a scribe groove g is formed, which is perpendicular to the portion of the glass plate that is not softened from the tip of the scribe groove g. A crack c (see FIG. 3) is generated.

この発明の割断装置の一例を示す図1において、wは割断しようとするガラス板、aはガラス板wの割断線、1はガラス板wを固定するテーブル、21は図示しない不動部材に装架された案内桁、2は送りモータ22で正逆回転する送りねじ23に螺合して案内桁21に沿って走行する移動台、dはガラス板wのスクライブ時における移動台2の移動方向、24は移動台2に設けた昇降モータ、25は移動台2に設けた鉛直方向のガイドに案内されて昇降モータ24で昇降する昇降台、3は昇降台25に装着されたカッタ、26はカッタ4に押圧力を付与する付勢シリンダ、3は焦点調整用の高さ調整器27を介して移動台2に装着されたレーザ発振器、Qはカッタ4の押圧点、Pはレーザ発振器3から照射されるレーザビームBの照射点、5は割断線aの直下の位置でテーブル1に貼着された薄い細幅の帯材(テーブル上の突条。例えば細幅の粘着テープ。)である。レーザビームの照射点Pは、カッタの押圧点Qのガラス板スクライブ時における移動方向前方に位置している。   In FIG. 1 showing an example of the cleaving apparatus of the present invention, w is a glass plate to be cleaved, a is a cleaving line of the glass plate w, 1 is a table for fixing the glass plate w, and 21 is mounted on a non-illustrated immovable member. The guide girder 2, 2 is a moving base that is screwed into a feed screw 23 that rotates forward and backward by a feed motor 22 and travels along the guide girder 21, d is the moving direction of the moving base 2 when the glass plate w is scribed, 24 is a lifting motor provided on the moving table 2, 25 is a lifting table guided by a vertical guide provided on the moving table 2, and is lifted by the lifting motor 24, 3 is a cutter mounted on the lifting table 25, and 26 is a cutter. 4 is an urging cylinder for applying a pressing force to 4, 3 is a laser oscillator mounted on the movable table 2 through a height adjuster 27 for focus adjustment, Q is a pressing point of the cutter 4, and P is irradiated from the laser oscillator 3. Irradiation point of the laser beam B, Is located in the band of adhered by thin narrow in Table 1 material immediately below the cutting line a (projection on the table. For example narrow adhesive tape.). The irradiation point P of the laser beam is located in front of the moving direction when the glass plate scribes the pressing point Q of the cutter.

テーブル1の上面には、真空源に連通された多数の吸着孔(図示されていない。)が設けられており、テーブル1上に載置されたガラス板wは、吸着孔に作用する負圧で吸着されて固定される。割断線aを帯材5の真上に位置させてガラス板wが吸着されると、図2、3に誇張して示すように、帯材5が貼付された部分でガラス板が上凸に屈曲して、ガラス板の当該部分に上面側に引張応力、下面側に圧縮応力が付与される。   The upper surface of the table 1 is provided with a large number of suction holes (not shown) communicated with a vacuum source, and the glass plate w placed on the table 1 has a negative pressure acting on the suction holes. It is adsorbed and fixed. When the cutting line a is positioned immediately above the strip 5 and the glass plate w is adsorbed, as shown in an exaggerated manner in FIGS. By bending, tensile stress is applied to the upper surface side and compressive stress is applied to the lower surface side of the portion of the glass plate.

この状態で、必要であればテーブル1を移動してガラス板wの割断線aをレーザビームの照射点P及びスクライブカッタの押圧点Qの移動軌跡上に位置決めし、レーザビームBを照射しかつシリンダ26でカッタ4をガラス板wに押圧しながら移動台2をスクライブ時の移動方向dに移動させる。すると、割断線上のレーザビームの照射点P部分が加熱されて軟化sし(図2)、その軟化sした部分にスクライブカッタ4が押圧されて、スクライブ溝gが形成され、その先端に垂直クラックcが発生し(図3)、この部分に作用している上方が引張側となる曲げ応力により、垂直クラックcの成長が助長されてガラス板wの裏面にまで達し、ガラス板wが割断される。この作用により、ガラス板wは移動台2の移動に伴って連続的に切断されてゆく。   In this state, if necessary, the table 1 is moved so that the cutting line a of the glass plate w is positioned on the movement trajectory of the laser beam irradiation point P and the scribe cutter pressing point Q, and the laser beam B is irradiated. While the cutter 4 is pressed against the glass plate w by the cylinder 26, the moving table 2 is moved in the moving direction d during scribing. Then, the irradiation point P of the laser beam on the cutting line is heated and softened s (FIG. 2), and the scribe cutter 4 is pressed to the softened s to form a scribe groove g, and a vertical crack is formed at the tip. c is generated (FIG. 3), and the bending stress in which the upper part acting on this portion is the tensile side is promoted, the growth of the vertical crack c is promoted to reach the back surface of the glass plate w, and the glass plate w is cleaved. The By this action, the glass plate w is continuously cut as the moving table 2 moves.

上記の例は、テーブル1上に貼着した帯材5でガラス板wの割断線a部分に曲げ応力を付与した状態で割断する例を示したが、前述したように、ガラス板wの厚さが薄いときは、割断線aの部分に曲げ応力を付与することなく、ブレークレス割断が可能である。また、帯材5を用いてもブレークレス割断ができないような厚いガラス板に対しては、スクライブした後、昇降台25を上昇してカッタ4をガラス板wから離間させた状態でレーザビームBを照射しながら移動台2を復帰移動させることにより、レーザーによる熱応力でブレークを行って割断することもできる。   Although the above example shows an example in which the band material 5 stuck on the table 1 is cleaved in a state in which bending stress is applied to the breaking line a portion of the glass plate w, as described above, the thickness of the glass plate w When the thickness is thin, breakless cleaving is possible without applying bending stress to the portion of the cleaving line a. For a thick glass plate that cannot be brokenlessly cut using the band material 5, after scribing, the elevating platform 25 is raised so that the cutter 4 is separated from the glass plate w with the laser beam B. By moving the moving table 2 back while irradiating, it is possible to break by thermal break caused by laser.

また、レーザーとして、エネルギー変換効率が高く、高出力化でき、光軸ずれがなく、ビーム品質に優れるとされるファイバレーザを用いるのも有効である。ファイバーレーザーを用いれば、出力ファイバーの先端とカッタとの間隔をより狭くすることが可能で、出力ファイバーの先端の位置を移動台の移動方向にネジなどで調整可能な構造とすることで、ガラス板の材質や板厚に応じてレーザービームの照射点Pとカッタの押圧点Qの間隔を調整可能にすることも比較的容易である。   It is also effective to use a fiber laser that has high energy conversion efficiency, high output, no optical axis shift, and excellent beam quality as the laser. If a fiber laser is used, the distance between the tip of the output fiber and the cutter can be made narrower, and the position of the tip of the output fiber can be adjusted with a screw or the like in the moving direction of the moving table. It is relatively easy to adjust the interval between the laser beam irradiation point P and the cutter pressing point Q in accordance with the material and thickness of the plate.

1 テーブル
3 レーザ発振器
4 スクライブカッタ
a 割断線
B レーザビーム
c 垂直クラック
g スクライブ溝
P 照射点
s 軟化
w ガラス板
1 Table 3 Laser oscillator 4 Scribe cutter a Split line B Laser beam c Vertical crack g Scribe groove P Irradiation point s Softening w Glass plate

Claims (3)

テーブル上に固定した硬質脆性板の所望の割断線に沿ってレーザビームの照射点を移動し、当該照射によって加熱されて表面側が軟化した前記割断線上にスクライブカッタを移動させることを特徴とする、硬質脆性板の割断方法。   The irradiation point of the laser beam is moved along a desired breaking line of the hard brittle plate fixed on the table, and the scribe cutter is moved on the breaking line heated by the irradiation and softened on the surface side. Cleaving method of hard brittle board. テーブルの前記割断線の下になる部分に突条を設けて、テーブル上に固定した硬質脆性板に上記割断線を稜部とする上凸の撓みを生じさせた状態で、前記レーザビームの照射点の移動及びスクライブカッタの押圧点の移動を行う、請求項1記載の硬質脆性板の割断方法。   Irradiation of the laser beam in a state in which a protrusion is provided on a portion of the table below the breaking line, and a hard brittle plate fixed on the table is caused to bend upward with the breaking line as a ridge. The method for cleaving a hard brittle plate according to claim 1, wherein the point is moved and the pressing point of the scribe cutter is moved. 割断しようとする硬質脆性板を負圧空気で吸引固定するテーブルと、このテーブルの上方でテーブル面と平行に移動する移動台と、この移動台に搭載されてレーザビームを前記テーブル上の硬質脆性板に向けて照射するレーザ発振器及び当該硬質脆性板に向けて付勢されたスクライブカッタとを備え、前記移動台は、スクライブ時に前記レーザビームの照射点がスクライブカッタの押圧点に先行して移動する方向に移動する、硬質脆性板の割断装置。   A table that sucks and fixes the hard brittle plate to be cleaved with negative pressure air, a moving table that moves above the table parallel to the table surface, and a laser beam that is mounted on the moving table and that is mounted on the moving table. A laser oscillator for irradiating the plate and a scribe cutter biased toward the hard brittle plate, and the moving table moves the irradiation point of the laser beam preceding the pressing point of the scribe cutter at the time of scribing A crushing device for hard brittle plates that moves in the direction of movement.
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