JP2016083926A - Laminate having resin/glass composite - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laminate capable of producing a resin/glass composite in which the composite does not be peeled during the manufacture process of an electronic device; a support plate can easily be peeled after the manufacture of the electronic device; and after peeling, the occurrence of cracking and the progress of cracks are remarkably improved.SOLUTION: Laminates 10, 20 each have support plates 11, 21, respectively and resin/glass composites each having at least thin plate glasses 12, 22 having a thickness of 100 μm or less and resin layers 13, 23, respectively. The support plates 11, 21, the resin layers 13, 23 and the thin plate glasses 12, 22 are laminated in this order. In at least one cross-section when the laminates 10, 20 are cut in a lamination direction, the laminates 10, 20 have easily peelable parts 14, 24 and closely adhered parts 15, 25 having peel strength larger than that of the easily peelable parts 14, 24 at the interface between the resin/glass composites and the support plates, 11, 21 so that the closely adhered parts 15, 25 are positioned at both ends of the easily peelable parts 14, 15.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、有機電界発光素子や有機光電変換素子等の有機電子デバイス形成時には、薄板ガラスと支持板が良好な密着性を示し、且つ、有機電子デバイス形成後には支持板の剥離が容易な、樹脂/ガラス複合体を有する積層体に関する。   In the present invention, when an organic electronic device such as an organic electroluminescent element or an organic photoelectric conversion element is formed, the thin glass and the support plate exhibit good adhesion, and after the organic electronic device is formed, the support plate is easily peeled. The present invention relates to a laminate having a resin / glass composite.

近年、有機EL表示装置、太陽電池、薄膜2次電池等における電子デバイス(電子部品)の薄型化、軽量化が進行しており、これらの電子デバイスに用いられるガラス基板の薄膜化が進行している。しかしながら、薄板化によりガラス基板の強度が低下すると、ガラス基板のハンドリング性が悪化するという問題があった。
そこで、薄板ガラスを基板として電子デバイスを製造する場合、ハンドリング性を向上させるために、キャリア基板と薄板ガラスを積層させ、薄板ガラス上に電子デバイスを形成した後、キャリア基板を剥離する方法が提案されている。
In recent years, electronic devices (electronic parts) in organic EL display devices, solar cells, thin-film secondary batteries, etc. have been made thinner and lighter, and glass substrates used in these electronic devices have been made thinner. Yes. However, when the strength of the glass substrate is reduced due to the thinning, there is a problem that the handling property of the glass substrate is deteriorated.
Therefore, when manufacturing electronic devices using thin glass as a substrate, a method of peeling the carrier substrate after laminating the carrier substrate and thin glass to form an electronic device on the thin glass is proposed to improve handling. Has been.

例えば、特許文献1には、樹脂層付きキャリア基板の樹脂層表面にガラス基板を剥離可能に積層し、ガラス基板の表面上に電子デバイスを形成した後、樹脂層付きキャリア基板を除去する電子デバイスの製造方法が開示されている。
特許文献2には、支持板、樹脂層、及び無機絶縁膜付きガラス基板がこの順に積層され、無機絶縁膜と樹脂層が接するように配された積層体、並びに、この積層体のガラス基板表面に表示装置用部材を形成した支持板付き表示装置用パネル、さらに、樹脂層付き支持板を剥離した表示装置用パネルが開示されている。
For example, Patent Document 1 discloses an electronic device in which a glass substrate is peelably laminated on a resin layer surface of a carrier substrate with a resin layer, an electronic device is formed on the surface of the glass substrate, and then the carrier substrate with a resin layer is removed. A manufacturing method is disclosed.
In Patent Document 2, a support plate, a resin layer, and a glass substrate with an inorganic insulating film are laminated in this order, a laminated body in which the inorganic insulating film and the resin layer are in contact with each other, and the glass substrate surface of the laminated body A panel for a display device with a support plate in which a member for a display device is formed, and a panel for a display device from which the support plate with a resin layer is peeled off are disclosed.

特開2013−084526号公報JP2013-084526A 国際公開第2012/144499号パンフレットInternational Publication No. 2012/144499 Pamphlet

しかしながら、特許文献1および2では、キャリア基板や支持板とガラスとの間の剥離界面の接着強度が低いと、電子デバイスの作成時の基板洗浄、乾燥、高温条件での加熱処理といった工程中に剥離してしまい、接着強度が高すぎると、電子デバイスの形成後、キャリア基板や支持板の剥離が困難になるため、キャリア基板や支持板とガラスとの間の接着強度の調整が重要であるが、その調整は非常に困難であるという課題が存在した。
また、強度の低い薄板ガラスを電子デバイスの基板として用いる場合には、剥離の際に薄板ガラスに応力がかかり、クラックが発生する恐れがあった。さらには、薄板ガラス自体のハンドリング性が低いため、電子デバイスを備えた薄板ガラスの取り扱いは非常な注意を要した。
However, in Patent Documents 1 and 2, if the adhesive strength of the peeling interface between the carrier substrate or the support plate and the glass is low, during the process of cleaning the substrate at the time of creating the electronic device, drying, and heat treatment under high temperature conditions If it peels and the adhesive strength is too high, it becomes difficult to peel off the carrier substrate or the support plate after the formation of the electronic device, so adjustment of the adhesive strength between the carrier substrate or the support plate and the glass is important. However, there was a problem that the adjustment was very difficult.
In addition, when a thin glass sheet having low strength is used as a substrate for an electronic device, a stress is applied to the thin glass sheet during peeling, which may cause cracks. Furthermore, since the handling property of the thin glass itself is low, handling of the thin glass provided with the electronic device requires great care.

本発明者らは、上記の課題に鑑みて鋭意検討した結果、特定の構成にて支持板及び薄板ガラスを積層することで、電子デバイスの作成の工程中には剥離することなく、電子デバイスの作成後には、支持板と薄板ガラスを容易に剥離できる、樹脂/ガラス複合体を有する積層体を得られることを見出した。
さらには、支持板から剥離する薄板ガラスの表面には樹脂層が積層されているため、支持板からの剥離の際に薄板ガラスにクラックが発生する恐れがない。また剥離後も薄板ガラスの取扱いが容易である。
すなわち本発明は以下の通りである。
As a result of intensive studies in view of the above-mentioned problems, the present inventors have laminated a support plate and a thin glass plate with a specific configuration, and without peeling during the process of creating the electronic device, After the creation, it was found that a laminate having a resin / glass composite, which can easily peel the support plate and the thin glass, can be obtained.
Furthermore, since the resin layer is laminated on the surface of the thin glass peeled off from the support plate, there is no fear that cracks will occur in the thin glass upon peeling from the support plate. Moreover, handling of the thin glass is easy even after peeling.
That is, the present invention is as follows.

[1]支持板と、厚みが100μm以下の薄板ガラスと樹脂層を少なくとも有する樹脂/ガラス複合体とを有する積層体であって、
支持板、樹脂層、及び薄板ガラスの順に積層され、
積層体を積層方向に切断した際の少なくとも一断面において、樹脂/ガラス複合体と支持板との界面に、易剥離部分と易剥離部分よりも剥離強度が大きい密着部分とを有し、該易剥離部分の両端に該密着部分が位置することを特徴とする積層体。
[2]樹脂層が支持板の外形範囲内に設けられていることを特徴とする[1]に記載の積層体。
[3]薄板ガラスが、樹脂層の外形範囲内に設けられていることを特徴とする[1]又は[2]に記載の積層体。
[4]易剥離部分が、密着部分に囲まれていることを特徴とする[1]〜[3]のいずれかに記載の積層体。
[5]薄板ガラスが、易剥離部分の外形範囲よりも内側に設けられていることを特徴とする[1]〜[4]のいずれかに記載の積層体。
[6]薄板ガラスが、樹脂層の外形範囲よりも内側に設けられていることを特徴とする[1]〜[5]のいずれかに記載の積層体。
[7]密着部分の剥離強度と、易剥離部分の剥離強度の差が、0.5N/25mm以上であることを特徴とする[1]〜[6]のいずれかに記載の積層体。
[8]易剥離部分の剥離強度が、0.5N/25mm以下であることを特徴とする[1]〜[7]のいずれかに記載の積層体。
[9]樹脂層の5%重量減少温度が230℃以上であることを特徴とする[1]〜[8]のいずれかに記載の積層体。
[10]樹脂層が、熱又は活性エネルギー線硬化性組成物を硬化させて得られる樹脂を主成分とする層であることを特徴とする[1]〜[9]のいずれかに記載の積層体。
[11]樹脂層が、熱可塑性樹脂を主成分とするフィルムであることを特徴とする[1]〜[9]のいずれかに記載の積層体。
[12][1]〜[11]のいずれかに記載の積層体を用いて得られる有機電子デバイス。
[13][1]〜[11]のいずれかに記載の積層体を、前記密着部分を取り除くよう積層方向に切断するステップ、及び該積層体から支持板を剥離するステップ、を含む樹脂/ガラス複合体の製造方法。
[14][12]に記載の有機電子デバイスを、前記密着部分を取り除くよう積層方向に切断するステップ、及び該有機電子デバイスから支持板を剥離するステップ、を含む有機電子デバイスの製造方法。
[1] A laminate comprising a support plate, a thin glass having a thickness of 100 μm or less, and a resin / glass composite having at least a resin layer,
Laminated in the order of support plate, resin layer, and thin glass,
In at least one cross section when the laminate is cut in the laminating direction, the interface between the resin / glass composite and the support plate has an easily peelable portion and an adhesive portion having a peel strength higher than that of the easily peelable portion. A laminate comprising the adhesion portions positioned at both ends of a peeling portion.
[2] The laminate according to [1], wherein the resin layer is provided within an outer range of the support plate.
[3] The laminate according to [1] or [2], wherein the thin glass is provided within an outer shape range of the resin layer.
[4] The laminate according to any one of [1] to [3], wherein the easy-peeling portion is surrounded by the close-contact portion.
[5] The laminate according to any one of [1] to [4], wherein the thin glass is provided on the inner side of the outer shape range of the easily peelable portion.
[6] The laminated body according to any one of [1] to [5], wherein the thin glass is provided on the inner side of the outer shape range of the resin layer.
[7] The laminate according to any one of [1] to [6], wherein the difference between the peel strength at the close contact portion and the peel strength at the easy peel portion is 0.5 N / 25 mm or more.
[8] The laminate according to any one of [1] to [7], wherein the peel strength of the easily peelable portion is 0.5 N / 25 mm or less.
[9] The laminate according to any one of [1] to [8], wherein the 5% weight reduction temperature of the resin layer is 230 ° C. or higher.
[10] The laminate according to any one of [1] to [9], wherein the resin layer is a layer mainly composed of a resin obtained by curing a thermal or active energy ray-curable composition. body.
[11] The laminate according to any one of [1] to [9], wherein the resin layer is a film containing a thermoplastic resin as a main component.
[12] An organic electronic device obtained using the laminate according to any one of [1] to [11].
[13] Resin / glass comprising a step of cutting the laminated body according to any one of [1] to [11] in a laminating direction so as to remove the adhesion portion, and a step of peeling a support plate from the laminated body. A method for producing a composite.
[14] A method for producing an organic electronic device, comprising: cutting the organic electronic device according to [12] in a stacking direction so as to remove the adhesion portion; and peeling a support plate from the organic electronic device.

本発明が提案する樹脂/ガラス複合体を有する積層体は、樹脂/ガラス複合体と支持板との間の該剥離界面において、易剥離部分と易剥離部分よりも剥離強度が大きい密着部分とを有し、該易剥離部分の両端に該密着部分が位置することから、本積層体を基板とした電子デバイスの形成工程において剥離することはなく、かつ、デバイス形成後は、密着部分を取り除くように積層方向に切断することで、支持板を容易に剥離することができる。
また、易剥離部分として離型層を用いた本発明の一実施形態では、樹脂層の一部が支持板に直接接触しているため、本材料を基板として電子デバイスを形成する工程において剥離することはなく、且つその工程を経た後に離型層の外形範囲内で薄板ガラス及び樹脂層、又は樹脂層のみ、若しくは薄板ガラスや樹脂層に加え、離型層及び支持板まで切断することで、樹脂層の支持板に直接接触している部分を切り離し、電子デバイスを備えた薄板ガラス積層体を支持板から容易に剥離することができる。
また薄板ガラスおよび樹脂層の積層体である薄板ガラス積層体は、ハンドリング性に優
れており、剥離時の薄板ガラスにおけるクラック発生及び進展も抑制される。
In the laminate having the resin / glass composite proposed by the present invention, an easily peelable portion and an adhesive portion having a peel strength larger than that of the easily peelable portion are provided at the peel interface between the resin / glass composite and the support plate. Since the close contact portion is located at both ends of the easily peelable portion, it is not peeled off in the process of forming an electronic device using the laminate as a substrate, and the close contact portion is removed after the device is formed. The support plate can be easily peeled by cutting in the stacking direction.
Moreover, in one embodiment of the present invention using a release layer as an easily peelable portion, since a part of the resin layer is in direct contact with the support plate, the material is peeled in the step of forming an electronic device using the material as a substrate. In addition to the thin glass sheet and the resin layer, or only the resin layer, or in addition to the thin glass and resin layer within the outer range of the release layer after the process, by cutting to the release layer and the support plate, A portion of the resin layer that is in direct contact with the support plate is cut off, and the thin glass laminate including the electronic device can be easily peeled off from the support plate.
Moreover, the thin glass laminated body which is a laminated body of thin glass and a resin layer is excellent in handling property, and the crack generation and progress in the thin glass at the time of peeling are also suppressed.

(a)〜(d)は、本発明の実施形態による離型層と樹脂層の積層関係、すなわち離型層と樹脂層の外形範囲の関係の一例を示す、積層体を積層方向から見た模式図である。(A)-(d) looked at the laminated body from the lamination direction which shows an example of the lamination | stacking relationship of the mold release layer and resin layer by embodiment of this invention, ie, the relationship of the external shape range of a mold release layer and a resin layer. It is a schematic diagram. (a)(b)は、本発明の一実施形態による積層体を積層方向に切断した際の一例を示す断面模式図である。(A) (b) is a cross-sectional schematic diagram which shows an example at the time of cut | disconnecting the laminated body by one Embodiment of this invention in the lamination direction. (a)(b)は、本発明の一実施形態による積層体を積層方向に切断した際の一例を示す断面模式図である。(A) (b) is a cross-sectional schematic diagram which shows an example at the time of cut | disconnecting the laminated body by one Embodiment of this invention in the lamination direction. (a)(b)は、本発明の一実施形態による積層体を積層方向に切断した際の一例を示す断面模式図である。(A) (b) is a cross-sectional schematic diagram which shows an example at the time of cut | disconnecting the laminated body by one Embodiment of this invention in the lamination direction. 本発明の一実施形態による積層体を積層方向に切断した際の一例を示す断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram which shows an example at the time of cut | disconnecting the laminated body by one Embodiment of this invention to the lamination direction.

以下に本発明の樹脂/ガラス複合体を有する積層体(以下、「本積層体」とも称する)、さらにそれらを構成する材料について詳細に説明するが、以下に記載する構成要件の説明は、本発明の実施形態の一例(代表例)であり、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。
また、説明において図面を用いるが、用いる図面はいずれも本発明の具体的実施形態に係る積層体又はその構成部材を模式的に示すものであって、理解を深めるべく部分的な強調、拡大、縮小、又は省略等を行っており、各構成部材の縮尺や形状等を正確に表すものとはなっていない場合がある。更に、図面を用いた説明に用いる様々な数値は、いずれも一例を示すものであり、必要に応じて様々に変更することができる。
なお、本発明において、外形範囲とは、本積層体を積層方向から見た場合の、各層が占める範囲を意味し、外形範囲内に設けられるとは、ある層が占める、外枠を含めた範囲に別の層が設けられることを意味しており、外形範囲の内側に設けられるとは、ある層が占める、外枠を含まない範囲に別の層が設けられることを意味している。
The laminate having the resin / glass composite of the present invention (hereinafter also referred to as “the present laminate”) and the materials constituting them will be described in detail below. It is an example (representative example) of embodiment of invention, and this invention is not limited to these content.
Moreover, although drawings are used in the description, any of the drawings used schematically shows a laminate or a component thereof according to a specific embodiment of the present invention, and partial emphasis, expansion, In some cases, reduction or omission is performed, and it does not accurately represent the scale or shape of each component. Furthermore, the various numerical values used in the description with reference to the drawings are only examples, and can be variously changed as necessary.
In the present invention, the outer shape range means the range occupied by each layer when the laminate is viewed from the stacking direction, and being provided within the outer shape range includes the outer frame occupied by a certain layer. It means that another layer is provided in the range, and being provided inside the outer shape range means that another layer is provided in a range occupied by a certain layer and not including the outer frame.

本発明の実施形態に係る積層体は、支持板上に、厚みが100μm以下の薄板ガラスと樹脂層を備えた樹脂/ガラス複合体(以下、薄板ガラス積層体とも称する)を有する積層体であって、支持板、樹脂層、及び薄板ガラスの順に積層される。
また、図2(a)(b)は、本発明の具体的実施形態である支持板付き薄板ガラス積層体を積層方向に切断した際の一例を示す概略断面図である。
図2(a)(b)に示すように、本発明の実施形態に係る支持板付き薄板ガラス積層体は、支持板、離型層、樹脂層、薄板ガラスが存在する積層体である。
以下では、先ず、支持板や離型層、樹脂層、薄板ガラスをはじめ、本発明の実施形態に係る積層体に用いられる材料等について説明する。後述する積層体の製造方法ではこれらの材料等が用いられる。
A laminate according to an embodiment of the present invention is a laminate having a resin / glass composite (hereinafter also referred to as a thin glass laminate) including a thin glass having a thickness of 100 μm or less and a resin layer on a support plate. Then, the support plate, the resin layer, and the thin glass are laminated in this order.
2 (a) and 2 (b) are schematic cross-sectional views showing an example of a thin glass laminated body with a support plate that is a specific embodiment of the present invention cut in the laminating direction.
As shown in FIGS. 2A and 2B, the thin glass laminate with a support plate according to the embodiment of the present invention is a laminate having a support plate, a release layer, a resin layer, and a thin glass.
Below, the material etc. which are used for the laminated body which concerns on embodiment of this invention including a support plate, a mold release layer, a resin layer, and a sheet glass first are demonstrated first. These materials and the like are used in a method for manufacturing a laminate described later.

<支持板>
本実施形態に用いられる支持板は、電子デバイスの形成工程において樹脂/ガラス複合体を支持する部材であり、電子デバイス形成時に樹脂/ガラス複合体に応力がかかっても、複合体への変形、傷付き、破損などを防止する。
支持板としては、例えば、ガラス板、樹脂板、SUS板などの金属板などが用いられる。通常、電子デバイス形成工程においては加熱処理を伴うため、支持板は、主に薄板ガラスとの線膨張係数の差の小さい材料で形成されることが好ましく、薄板ガラスと同一材料で形成されることがより好ましく、支持板はガラス板であることが好ましい。特に、支持板は、薄板ガラスと同じガラス材料からなるガラス板であることが好ましい。
支持板の厚みは、電子デバイス形成工程において樹脂/ガラス複合体の変形、傷付き、破損などを防ぐことが出来れば特に限定されないが、通常0.01mm以上であり、0.1mm以上であることが好ましい。また、支持板がガラス板である場合は、電子デバイス形成後に剥離する際に、割れずに適度に撓むような剛性が望まれる理由から、通常5mm以下であり、3mm以下であることが好ましい。
<Support plate>
The support plate used in the present embodiment is a member that supports the resin / glass composite in the formation process of the electronic device. Even if stress is applied to the resin / glass composite during the formation of the electronic device, the support plate is deformed. Prevents scratches and damage.
As the support plate, for example, a metal plate such as a glass plate, a resin plate, or a SUS plate is used. Usually, since the electronic device forming process involves heat treatment, the support plate is preferably formed mainly of a material having a small difference in linear expansion coefficient from that of the thin glass, and is preferably formed of the same material as the thin glass. Is more preferable, and the support plate is preferably a glass plate. In particular, the support plate is preferably a glass plate made of the same glass material as the thin glass.
The thickness of the support plate is not particularly limited as long as it can prevent deformation, scratching, breakage, etc. of the resin / glass composite in the electronic device forming step, but is usually 0.01 mm or more and 0.1 mm or more. Is preferred. When the support plate is a glass plate, it is usually 5 mm or less, and preferably 3 mm or less, for the reason that it is desired to bend appropriately after being peeled after the electronic device is formed.

<樹脂/ガラス複合体>
本実施形態に用いられる樹脂/ガラス複合体は、薄板ガラス及び樹脂層を備え、上記説明した支持板に支持されることで積層体を形成する。そして積層体は、支持板、樹脂層、及び薄板ガラスの順に積層される。
薄板ガラス及び樹脂層を備え、積層体としてこのように積層される限り、樹脂/ガラス複合体は他の層を有してもよい。例えば樹脂/ガラス/樹脂と積層された複合体であってもよい。
<Resin / Glass Composite>
The resin / glass composite used in the present embodiment includes a thin glass plate and a resin layer, and forms a laminate by being supported by the above-described support plate. And a laminated body is laminated | stacked in order of a support plate, a resin layer, and thin glass.
The resin / glass composite may have other layers as long as it includes a thin glass and a resin layer and is thus laminated as a laminate. For example, a composite laminated with resin / glass / resin may be used.

<樹脂層>
本実施形態に用いられる樹脂層は、後述する薄板ガラスと積層し複合体を形成する。該複合体において樹脂層は薄板ガラスの強度を向上させる役割を果たす。
図2(a)、(b)に示す具体的な実施形態では、樹脂層は離型層上に形成され、さらにその上に薄板ガラスが積層される。また樹脂層の一部が支持板に直接接触し、且つ、本積層体を積層方向に切断した際の少なくとも一断面において、離型層の両端部よりも樹脂層の両端部が外側に位置する。樹脂層の一部が支持板と密着しているために、電子デバイスの形成工程においても支持板と薄板ガラスが剥離することがない。
また樹脂層は薄板ガラスの強度を向上させる役割を果たし、薄板ガラスのハンドリング性向上や、支持板を剥離する際のクラック発生及び進展を抑制することができる。
<Resin layer>
The resin layer used in the present embodiment is laminated with a sheet glass described later to form a composite. In the composite, the resin layer plays a role of improving the strength of the thin glass sheet.
In the specific embodiment shown in FIGS. 2A and 2B, the resin layer is formed on the release layer, and a thin glass sheet is further laminated thereon. Further, a part of the resin layer is in direct contact with the support plate, and at least one section when the laminate is cut in the stacking direction, both ends of the resin layer are located outside the both ends of the release layer. . Since a part of the resin layer is in close contact with the support plate, the support plate and the thin glass are not peeled even in the step of forming the electronic device.
Further, the resin layer plays a role of improving the strength of the thin glass, and can improve the handling properties of the thin glass and suppress the generation and progress of cracks when the support plate is peeled off.

(樹脂層の組成)
樹脂層を構成する樹脂組成物は、樹脂、及びその他必要に応じて添加剤を含む。
樹脂組成物に含まれる樹脂としては、特に限定されず、熱可塑性樹脂であっても、硬化性組成物を硬化させて得られる樹脂であってもよい。
本発明の実施形態で用いられる樹脂層は、その実施形態によっては、接着性を有する必要のない場合があり、また、接着性が要求される場合もある。例えば図2に示す実施形態や、後述する図5に示す実施形態では、樹脂層を構成する樹脂層に接着性が要求され、その場合には、熱又は活性エネルギー線硬化性組成物を硬化させて得られる樹脂を主成分とする樹脂層であることが好ましい。ここで主成分とは、全成分中のうち最も多く含有される成分をいい、50質量%以上を占める成分であることが好ましく、80質量%以上を示す成分であることがより好ましい。
(Composition of resin layer)
The resin composition constituting the resin layer contains a resin and other additives as necessary.
The resin contained in the resin composition is not particularly limited, and may be a thermoplastic resin or a resin obtained by curing a curable composition.
The resin layer used in the embodiment of the present invention may not need to have adhesiveness depending on the embodiment, and may require adhesiveness. For example, in the embodiment shown in FIG. 2 and the embodiment shown in FIG. 5 described later, the resin layer constituting the resin layer is required to have adhesiveness. It is preferable that it is a resin layer which has resin obtained as a main component. Here, the main component refers to a component that is contained in the largest amount among all the components, preferably a component that occupies 50% by mass or more, and more preferably a component that exhibits 80% by mass or more.

熱硬化性組成物としては、硬化成分としてアクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂などを含む硬化性組成物が挙げられ、耐熱性の観点から、シリコーン樹脂を含む硬化性組成物が好ましい。   As a thermosetting composition, the curable composition containing an acrylic resin, a urethane resin, an epoxy resin, a silicone resin etc. is mentioned as a hardening component, The curable composition containing a silicone resin is preferable from a heat resistant viewpoint.

活性エネルギー線硬化性組成物としては、短時間かつ比較的容易に硬化達成可能であることから、硬化成分として紫外線硬化性モノマー及びオリゴマーを含む硬化性組成物が好ましい例として挙げられる。
上記紫外線硬化性モノマー及びオリゴマーとしては、機械的物性、透明性及び加工性などの観点から、(メタ)アクリルモノマー、および(メタ)アクリルオリゴマーが好ましい。
例えば、エポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート等のモノマーやオリゴマーが用いられる。
さらに、これらのいくつかを例示すると、トリメチロールプロパントリアクリレート、
トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、イソアミルアクリレート、エトキシジエチレングリコールアクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリレートなど、1個以上の炭素−炭素二重結合を有する単官能および多官能のアクリルモノマー、メタクリルモノマー類が挙げられる。
なお、これらは1種又は2種以上組み合わせて使用することができる。
A preferable example of the active energy ray-curable composition is a curable composition containing an ultraviolet curable monomer and an oligomer as a curing component because it can be cured relatively easily in a short time.
As the ultraviolet curable monomer and oligomer, a (meth) acrylic monomer and a (meth) acrylic oligomer are preferable from the viewpoints of mechanical properties, transparency and processability.
For example, monomers and oligomers such as epoxy (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, and polyester (meth) acrylate are used.
Further, some of these are exemplified by trimethylolpropane triacrylate,
Trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, isoamyl acrylate, ethoxydiethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, etc. Examples thereof include monofunctional and polyfunctional acrylic monomers and methacrylic monomers having one or more carbon-carbon double bonds.
In addition, these can be used 1 type or in combination of 2 or more types.

活性エネルギー線硬化性組成物中に紫外線硬化性モノマー及びオリゴマーを含む場合は、必要に応じて光重合開始剤も含む。光重合開始剤は、紫外線を吸収して活性化(励起)し、開裂反応等を介して反応を開始するために用いられるものである。
上記光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン系、アセトフェノン系、チオキサントン系、フォスフィンオキシド系及びパーオキシド系等を挙げることができる。具体例としては、例えば、ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェン、メチルオルトベンゾイルベンゾエイト、4−フェニルベンゾフェノン、t−ブチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−ヒロドキシ−1−{4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)−ベンジル]フェニル}−2−メチル−プロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、1−ヒドロキシシクロヘキシル−フェニルケトン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、2−メチル−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルホリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタノン、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、メチルベンゾイルホルメート等を例示することができる。これらは1種を単独で又は2種以上を併用して用いることができる。
When the active energy ray-curable composition contains an ultraviolet curable monomer and oligomer, a photopolymerization initiator is also included as necessary. The photopolymerization initiator is used for absorbing (activating) and activating (exciting) ultraviolet rays and initiating the reaction via a cleavage reaction or the like.
Examples of the photopolymerization initiator include benzoin, acetophenone, thioxanthone, phosphine oxide, and peroxide. Specific examples include, for example, benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophene, methylorthobenzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, t-butylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, Diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl}- 2-methyl-propan-1-one, benzyldimethyl ketal, 1-hydroxycyclohexyl-phenyl ketone, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, 2-methyl- [4- (methyl Thio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -1-butanone, diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenyl Examples include phosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, methylbenzoylformate, and the like. it can. These can be used alone or in combination of two or more.

活性エネルギー線硬化性組成物における光重合開始剤の濃度は、硬化反応を確実に進行させる観点から、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは1質量%以上である。一方で、重合開始剤の未反応物によるアウトガスの発生を防止する観点から、好ましくは15質量%以下、より好ましくは10質量%以下、さらに好ましくは5質量%以下である。   The concentration of the photopolymerization initiator in the active energy ray-curable composition is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, and still more preferably 1% by mass from the viewpoint of reliably proceeding the curing reaction. % Or more. On the other hand, from the viewpoint of preventing outgassing due to unreacted substances of the polymerization initiator, it is preferably 15% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, and further preferably 5% by mass or less.

硬化性組成物は、必要に応じて溶剤を添加して使用することができる。すなわち、上記硬化性組成物を含む溶液として使用することができる。
上記溶剤としては、硬化性組成物に含まれる成分を均一に希釈する溶剤であれば特に限定されないが、例えば、メチルイソブチルケトン、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどが挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を併用して用いることができる。
The curable composition can be used after adding a solvent, if necessary. That is, it can be used as a solution containing the curable composition.
Although it will not specifically limit if it is a solvent which dilutes the component contained in a curable composition uniformly as said solvent, For example, methyl isobutyl ketone, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether etc. are mentioned. These can be used alone or in combination of two or more.

樹脂層を構成する樹脂組成物に含まれる樹脂の総濃度は、加工時の粘度、および加工後の機械物性の観点から、好ましくは50質量%以上、より好ましくは65質量%以上、さらに好ましくは80質量%以上である。   The total concentration of the resin contained in the resin composition constituting the resin layer is preferably 50% by mass or more, more preferably 65% by mass or more, and still more preferably, from the viewpoints of viscosity during processing and mechanical properties after processing. 80% by mass or more.

接着性を有する樹脂層を構成する樹脂組成物は、本発明の目的を損なわない範囲で、シランカップリング剤、増感剤、架橋剤、紫外線吸収剤、重合禁止剤、界面活性剤、充填剤、離型剤、熱可塑性樹脂を任意で添加することができる。なお、これらは1種又は2種以
上を適宜組み合わせて使用することができる。
また、樹脂層の剥離強度を調整するため、離型成分を適宜加えてもよい。離型成分として、フッ素系内部離型添加剤、界面活性剤、シリコーン系離型添加剤等があげられ、耐熱性の観点からフッ素系離型添加剤が好ましい。
The resin composition constituting the adhesive resin layer is a silane coupling agent, a sensitizer, a crosslinking agent, an ultraviolet absorber, a polymerization inhibitor, a surfactant, and a filler as long as the object of the present invention is not impaired. A mold release agent and a thermoplastic resin can be optionally added. In addition, these can be used 1 type or in combination of 2 or more types as appropriate.
Moreover, in order to adjust the peeling strength of a resin layer, you may add a mold release component suitably. Examples of the mold release component include a fluorine-based internal mold release additive, a surfactant, a silicone-type mold release additive, and the like. From the viewpoint of heat resistance, a fluorine-type mold release additive is preferable.

一方で、本発明の実施形態に係る積層体において、例えば後述する図3、図4に示す実施形態では、樹脂層と支持板の間に別途接着層等を設けることから、樹脂層を構成する樹脂層に接着性が要求されない。その場合には樹脂層は、熱可塑性樹脂を主成分とするフィルムであることが好ましい。ここで主成分とは、全成分中のうち最も多く含有される成分をいい、50質量%以上を占める成分であることが好ましく、80質量%以上を示す成分であることがより好ましい。   On the other hand, in the laminate according to the embodiment of the present invention, for example, in the embodiment shown in FIGS. 3 and 4 to be described later, an additional adhesive layer or the like is provided between the resin layer and the support plate. Adhesiveness is not required. In that case, the resin layer is preferably a film mainly composed of a thermoplastic resin. Here, the main component refers to a component that is contained in the largest amount among all the components, preferably a component that occupies 50% by mass or more, and more preferably a component that exhibits 80% by mass or more.

熱可塑性樹脂としては、耐熱性および透明性が高い樹脂が好ましく、例えば、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレートなどのポリエステル系樹脂、ポリフェニレンサルファイド系樹脂、ポリエーテルサルフォン系樹脂、ポリエーテルイミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、フッ素系樹脂、環状オレフィンホモポリマーや環状オレフィンコポリマー等の環状オレフィン系樹脂などが挙げられる。
上記熱可塑性樹脂の中でも、透明であり且つ融点が230℃以上である樹脂、例えば、ポリエチレンテレフタレート(融点約260℃)、ポリエチレンナフタレート(融点約270℃)、ポリエーテルイミド系樹脂(融点約275℃)、ポリフェニレンサルファイド系樹脂(融点約280℃)、ポリエーテルサルフォン系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン系樹脂(融点約334℃)、ポリイミド系樹脂(融点約350℃)、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体(融点約260℃)等の樹脂を含むことが光学特性及び耐熱性の観点から好ましく、ポリエチレンナフタレート、ポリエーテルエーテルケトン系樹脂、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体がより好ましく、ポリエーテルエーテルケトン系樹脂が特に好ましい。また、これらの樹脂は一種類又は二種類以上を組み合わせて使用することができる。
As the thermoplastic resin, a resin having high heat resistance and high transparency is preferable. For example, polyester resins such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate, polyphenylene sulfide resins, polyether sulfone resins, polyetherimide resins, polyimides Resin, polyamide resin, polyamideimide resin, polyether ether ketone resin, polycarbonate resin, fluorine resin, cyclic olefin resin such as cyclic olefin homopolymer and cyclic olefin copolymer.
Among the above thermoplastic resins, a transparent resin having a melting point of 230 ° C. or higher, for example, polyethylene terephthalate (melting point: about 260 ° C.), polyethylene naphthalate (melting point: about 270 ° C.), polyetherimide resin (melting point: about 275) ° C), polyphenylene sulfide resin (melting point approximately 280 ° C), polyethersulfone resin, polyether ether ketone resin (melting point approximately 334 ° C), polyimide resin (melting point approximately 350 ° C), tetrafluoroethylene / ethylene A resin such as a polymer (melting point: about 260 ° C.) is preferable from the viewpoint of optical properties and heat resistance, and polyethylene naphthalate, polyether ether ketone resin, and tetrafluoroethylene / ethylene copolymer are more preferable. Ether ketone resins are particularly preferred. Moreover, these resin can be used 1 type or in combination of 2 or more types.

なお、樹脂フィルムは熱又は活性エネルギー線硬化性組成物を硬化させて得られる樹脂であってもよく、そのような樹脂としては、硬化成分としてアクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド前駆体などの硬化性組成物を硬化させて得られる樹脂が挙げられる。上記の中でも、硬化成分としてポリイミド前駆体、アクリル樹脂、シリコーン樹脂などの硬化性組成物を硬化させて得られる樹脂が好ましい例として挙げられる。また、これらにゴム成分を添加して靱性を向上させても良い。   The resin film may be a resin obtained by curing a heat or active energy ray curable composition. Examples of such a resin include acrylic resin, urethane resin, epoxy resin, silicone resin, polyimide as a curing component. Examples thereof include resins obtained by curing curable compositions such as precursors. Among the above, preferred examples include a resin obtained by curing a curable composition such as a polyimide precursor, an acrylic resin, or a silicone resin as a curing component. Moreover, you may improve toughness by adding a rubber component to these.

樹脂層の厚みは、1μm以上であることが好ましい。3μm以上がさらに好ましく、5μm以上が特に好ましい。一方、200μm以下であることが好ましく、100μm以下がさらに好ましく、80μm以下が特に好ましい。
樹脂層の厚みが1μm以上であれば、薄板ガラスのハンドリング性を向上させることができ、厚みが200μm以下であれば、電子デバイス全体の厚み増加を抑制し、電子デバイス作成時の樹脂層からのアウトガス発生量を抑制することができる傾向がある。
The thickness of the resin layer is preferably 1 μm or more. 3 μm or more is more preferable, and 5 μm or more is particularly preferable. On the other hand, it is preferably 200 μm or less, more preferably 100 μm or less, and particularly preferably 80 μm or less.
If the thickness of the resin layer is 1 μm or more, the handleability of the thin glass can be improved, and if the thickness is 200 μm or less, the increase in the thickness of the entire electronic device is suppressed, There is a tendency that the outgas generation amount can be suppressed.

(樹脂層の耐熱性)
樹脂層は、電子デバイスの形成工程時の加熱温度や、有機EL照明、有機ELディスプレイ、及び有機太陽電池等の電子デバイスが実用上晒される熱など、工程や用途に対応する耐熱性を持つことが望ましい。具体的な耐熱性としては、樹脂層の5%重量減少温度が230℃以上であることが好ましく、250℃以上であることがより好ましく、350℃以上であることがさらに好ましい。なお、樹脂層の耐熱性は、熱分析装置(例えばRIGAKU製Thermoplus TG8120)を用いて、窒素50mL/min雰囲気
下、昇温速度20℃/minにおける樹脂層について熱減量を測定し、熱減量が測定前サンプル重量の5%となる温度を樹脂層の5%重量減少温度とする。
樹脂層の耐熱性は、透明な無機粒子、耐熱性の高い有機粒子、ガラスやセルロースなどの線維状物質、架橋促進剤などの添加により上記範囲に調整することができるとともに、このような特性を有する樹脂を適宜選択してもよい。
(Heat resistance of resin layer)
The resin layer has heat resistance corresponding to the process and application such as the heating temperature during the formation process of the electronic device and the heat to which the electronic device such as organic EL lighting, organic EL display, and organic solar cell is practically exposed. Is desirable. As specific heat resistance, the 5% weight reduction temperature of the resin layer is preferably 230 ° C. or higher, more preferably 250 ° C. or higher, and further preferably 350 ° C. or higher. The heat resistance of the resin layer is determined by measuring the heat loss of the resin layer at a temperature rising rate of 20 ° C./min in a nitrogen atmosphere of 50 mL / min using a thermal analyzer (for example, Thermoplus TG8120 manufactured by RIGAKU). The temperature at which 5% of the sample weight before measurement is taken as the 5% weight reduction temperature of the resin layer.
The heat resistance of the resin layer can be adjusted to the above range by adding transparent inorganic particles, organic particles with high heat resistance, fibrous substances such as glass and cellulose, crosslinking accelerators, etc. You may select suitably resin which has.

(樹脂層の引張破断伸度)
樹脂層は、薄板ガラスにクラックが発生した際、薄板ガラスの割れに追従せず、ある程度伸びることが望ましい。具体的には、JIS−K−7127−1における引張強度試験において、破断点における伸び(引張破断伸度)は20%以上が好ましい。30%以上が更に好ましく、40%以上が特に好ましい。
(Tensile breaking elongation of resin layer)
When the crack occurs in the thin glass, the resin layer preferably does not follow the crack of the thin glass and extends to some extent. Specifically, in the tensile strength test according to JIS-K-7127-1, the elongation at break (tensile elongation at break) is preferably 20% or more. 30% or more is more preferable, and 40% or more is particularly preferable.

(樹脂層の引張弾性率)
樹脂層は、薄板ガラスに加えられた衝撃を吸収する性質を持つことが望ましい。具体的には、具体的には、JIS−K−7127−1における引張強度試験において、23℃における引張弾性率が10GPa以下であることが好ましい、5GPa以下がさらに好ましく、2GPa以下が特に好ましい。また、薄板ガラスにクラックが発生した際、破損断面を分離しようとする力に対して対抗する性質を持つことが望ましいため、23℃における引張弾性率が0.01MPa以上であることが好ましい、0.1MPa以上がさらに好ましく、1MPa以上が特に好ましい。
(Tensile modulus of resin layer)
The resin layer desirably has a property of absorbing an impact applied to the thin glass. Specifically, in the tensile strength test according to JIS-K-7127-1, the tensile elastic modulus at 23 ° C. is preferably 10 GPa or less, more preferably 5 GPa or less, and particularly preferably 2 GPa or less. Further, since it is desirable to have a property to counteract the force to separate the broken cross section when a crack occurs in the thin glass, the tensile elastic modulus at 23 ° C. is preferably 0.01 MPa or more. 1 MPa or more is more preferable, and 1 MPa or more is particularly preferable.

(樹脂層と薄板ガラスとの密着性)
また樹脂層は、一連の工程、及び電子デバイス形成後の実用上において薄板ガラスと密着していることが望まれる。具体的には、本実施形態に係る積層体を形成後、電子デバイス形成工程時の加熱処理工程を想定して、真空乾燥機を用いて200℃真空下で60分加熱した後に支持板を剥離し、樹脂/ガラス複合体の樹脂面に対してJIS DO202−1988に準拠して碁盤目テープ剥離試験を行った際、樹脂層が剥離しない場合を100/100、完全に剥離する場合を0/100として表した場合、30/100以上が好ましい。40/100以上が更に好ましく、50/100以上が特に好ましい。
(Adhesion between resin layer and thin glass)
Moreover, it is desirable that the resin layer is in close contact with the thin glass in a series of steps and practically after the electronic device is formed. Specifically, after forming the laminate according to the present embodiment, assuming a heat treatment process at the time of the electronic device formation process, the support plate is peeled off after heating for 60 minutes at 200 ° C. under vacuum using a vacuum dryer. When the cross-cut tape peeling test is performed on the resin surface of the resin / glass composite according to JIS DO202-1988, the resin layer does not peel 100/100, and the resin layer completely peels 0 / When expressed as 100, 30/100 or more is preferable. 40/100 or more is more preferable, and 50/100 or more is particularly preferable.

<薄板ガラス>
本実施形態に用いられる薄板ガラスは、樹脂層と積層されることで樹脂/ガラス複合体を形成し、樹脂層と対向する面と反対側の面に電子デバイスを形成することができる。
本実施形態に用いられる薄板ガラスは、厚みが100μm以下の板状のものであれば、任意の適切なものが採用され得る。材質としては例えばソーダライムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス等ほぼすべてのガラス組成のものが適用でき、強化、表面処理等の二次加工を施したものも適用可能であり、いずれも用途により使い分けられる。二次加工としては例えば、シランカップリング剤、チタンカップリング剤などによるカップリング剤処理、酸処理、アルカリ処理、オゾン処理、イオン処理などの化成処理、プラズマ処理、グロー放電処理、アーク放電処理、コロナ処理などの放電処理、紫外線処理、X線処理、ガンマ線処理、レーザー処理などの電磁波照射処理、その他火炎処理などの表面処理などの各種表面処理があげられる。特に、樹脂層との密着性を向上させる観点から、シランカップリング剤で表面処理されていることが好ましい。
<Thin glass>
The thin glass used in the present embodiment can be laminated with a resin layer to form a resin / glass composite, and an electronic device can be formed on the surface opposite to the surface facing the resin layer.
As the thin glass used in the present embodiment, any appropriate glass can be adopted as long as it has a plate shape with a thickness of 100 μm or less. As materials, for example, almost all glass compositions such as soda lime glass, borosilicate glass, non-alkali glass, etc. can be applied, and those subjected to secondary processing such as tempering and surface treatment can also be applied. Can be used properly. As secondary processing, for example, coupling agent treatment with a silane coupling agent, titanium coupling agent, etc., chemical treatment such as acid treatment, alkali treatment, ozone treatment, ion treatment, plasma treatment, glow discharge treatment, arc discharge treatment, Various surface treatments such as discharge treatment such as corona treatment, ultraviolet ray treatment, X-ray treatment, gamma ray treatment, electromagnetic wave irradiation treatment such as laser treatment, and other surface treatment such as flame treatment can be given. In particular, the surface treatment with a silane coupling agent is preferred from the viewpoint of improving the adhesion with the resin layer.

厚みが100μm以下の薄板ガラスは、原理的にはガラス溶融体の固化する温度より高い温度にてガラス溶融体を引き延ばして作ることが可能である。ガラス組成、ガラス溶融体の厚さ、温度、引き取り速度により薄板ガラスの厚みを制御することができる。
薄板ガラスの厚みは100μm以下であればよく、1μm以上、100μm以下が好ましく、10μm以上、100μm以下がより好ましく、20μm以上、80μm以下がさらに好ましい。厚みが1μm以上であれば、機械的強度が確保でき、積層した樹脂層の熱
伸縮によるストレスによる破損を抑制することができる。また厚みが100μm以下であれば、ハンドリング性、二次加工性改良を一つの目的とした樹脂層の積層が効果的となる。
In principle, a thin glass having a thickness of 100 μm or less can be produced by stretching the glass melt at a temperature higher than the temperature at which the glass melt solidifies. The thickness of the thin glass can be controlled by the glass composition, the thickness of the glass melt, the temperature, and the take-up speed.
The thickness of the thin glass may be 100 μm or less, preferably 1 μm or more and 100 μm or less, more preferably 10 μm or more and 100 μm or less, and further preferably 20 μm or more and 80 μm or less. If thickness is 1 micrometer or more, mechanical strength can be ensured and the damage by the stress by the thermal expansion / contraction of the laminated resin layer can be suppressed. On the other hand, when the thickness is 100 μm or less, it is effective to laminate a resin layer for the purpose of improving handling properties and secondary workability.

薄板ガラス表面の平均面粗さは、5nm以下が好ましく、2nm以下がさらに好ましく、1nm以下が特に好ましい。
薄板ガラスの平均面粗さが5nm以下であれば、薄板ガラス表面に電子デバイスを形成する場合、例えば、非常に薄く(数十nm厚)、且つ表面抵抗値の低い導電層を形成できるため、本実施形態に係る積層体を電子デバイスの基板として好適に用いることができる。
なお、平均面粗さ(算術平均粗さ(Sa))は光干渉式非接触表面形状測定器を用いて測定でき、例えば、以下のとおりに測定される。
非接触表面・層断面計測システムVertScan2.0(株式会社菱化システム製)を用い薄板ガラスの表面観察(観察視野:93.97μm×71.30μm)を実施し、薄板ガラス表面について、平均面粗さ(算術平均粗さSa)を算出する。
The average surface roughness of the thin glass surface is preferably 5 nm or less, more preferably 2 nm or less, and particularly preferably 1 nm or less.
If the average surface roughness of the thin glass is 5 nm or less, when an electronic device is formed on the surface of the thin glass, for example, a very thin (several tens of nm) conductive layer having a low surface resistance value can be formed. The laminate according to this embodiment can be suitably used as a substrate for an electronic device.
The average surface roughness (arithmetic average roughness (Sa)) can be measured using an optical interference type non-contact surface shape measuring instrument, and is measured, for example, as follows.
Surface observation (observation field of view: 93.97 μm × 71.30 μm) of the thin glass was performed using a non-contact surface / layer cross-section measurement system VertScan 2.0 (manufactured by Ryoka System Co., Ltd.). (Arithmetic mean roughness Sa) is calculated.

<その他の層>
本実施形態に係る積層体は、支持板、樹脂層、及び薄板ガラス以外に、本発明の効果を阻害しない他の層を含んでもよい。具体的には、上述した樹脂/ガラス複合体の構成を樹脂/ガラス/樹脂とする場合の、支持板と対向しない側の樹脂層があげられる。樹脂層を薄板ガラスの支持板と対向しない側の表面に備えることで、樹脂層が1層のみの場合に比べて薄板ガラスのハンドリング性をより向上させることが出来、支持板を剥離する際の薄板ガラスにおけるクラック発生及びクラック進展もより抑制される。
<Other layers>
The laminated body which concerns on this embodiment may also contain the other layer which does not inhibit the effect of this invention other than a support plate, a resin layer, and a sheet glass. Specifically, the resin layer on the side not facing the support plate when the resin / glass composite structure described above is resin / glass / resin can be mentioned. By providing the resin layer on the surface on the side that does not face the support plate of the thin glass, the handling property of the thin glass can be further improved compared to the case where the resin layer is only one layer, and when the support plate is peeled off Crack generation and crack propagation in the thin glass are further suppressed.

この場合の樹脂層の厚みは、薄板ガラスの支持板と対向する側の面に備えられる樹脂層と同程度の厚みが望ましい。薄板ガラスの両面に同程度の厚みを有する樹脂層を備えることで、薄板ガラスと樹脂層との線膨張係数の違いや、樹脂層の硬化収縮などにより発生する応力に起因する積層体の歪みを抑制させることが出来る。
また、この場合の樹脂層の組成は、薄板ガラスの支持板と対向する側の表面に備えられる樹脂層と同じ組成が使用可能である。特に、薄板ガラスの支持板と対向する側に備えられる同じ材質を用いれば先述の歪みはより発生しにくくなるため好ましい。
The thickness of the resin layer in this case is desirably the same as that of the resin layer provided on the surface of the thin glass facing the support plate. By providing a resin layer with the same thickness on both sides of the thin glass, the difference in the linear expansion coefficient between the thin glass and the resin layer, the distortion of the laminate due to the stress generated by the curing shrinkage of the resin layer, etc. Can be suppressed.
Moreover, the composition of the resin layer in this case can use the same composition as the resin layer with which the surface of the thin glass facing the support plate is provided. In particular, it is preferable to use the same material provided on the side of the thin glass facing the support plate because the above-described distortion is less likely to occur.

支持板と樹脂層を接着させるための接着層や、樹脂層と薄板ガラスを接着させるための接着層を有してもよい。この場合の接着層としては、上記樹脂層の説明で述べた熱又は活性エネルギー線硬化性組成物を適宜用いることができ、樹脂層と同等の耐熱性を有することが好ましい。   An adhesive layer for adhering the support plate and the resin layer, or an adhesive layer for adhering the resin layer and the thin glass plate may be provided. As the adhesive layer in this case, the heat or active energy ray-curable composition described in the description of the resin layer can be used as appropriate, and preferably has heat resistance equivalent to that of the resin layer.

上記接着層にはシランカップリング剤を添加してもよい。上記接着層は、カップリング剤を添加することにより、支持板や薄板ガラスとの接着性が向上し得る。   A silane coupling agent may be added to the adhesive layer. The adhesive layer can be improved in adhesion to the support plate and the thin glass by adding a coupling agent.

さらには、下記積層体の説明で述べるように、離型層や易剥離性接着層を有していてもよい。
離型層を構成する材料としては、具体的には、フッ素系樹脂、シリコーン系樹脂、ワックス系樹脂、界面活性剤を含む離型剤などが挙げられる。中でも、耐熱性が高く、薄板ガラスや樹脂層への成分移行も少なく、且つ離型性も良いフッ素系樹脂を含む離型剤がより好ましい。
易剥離性接着層を構成する材料としては、上記接着層の説明で述べた樹脂組成物や、該樹脂組成物中に剥離強度を調整するための離型成分を加えたものなどが挙げられる。離型成分として具体的には、フッ素系離型添加剤、界面活性剤、シリコーン系離型添加剤等があげられ、耐熱性の観点からフッ素系離型添加剤が好ましい。
Furthermore, as described in the following description of the laminate, it may have a release layer or an easily peelable adhesive layer.
Specific examples of the material constituting the release layer include a fluororesin, a silicone resin, a wax resin, and a release agent containing a surfactant. Among these, a release agent containing a fluororesin having high heat resistance, little component transfer to a thin glass or resin layer, and good release properties is more preferable.
Examples of the material constituting the easily peelable adhesive layer include the resin composition described in the description of the adhesive layer, and those obtained by adding a release component for adjusting the peel strength to the resin composition. Specific examples of the mold release component include a fluorine mold release additive, a surfactant, a silicone mold release additive, and the like. From the viewpoint of heat resistance, a fluorine mold release additive is preferable.

<積層体>
本実施形態に係る積層体は、上述のとおり、支持板上に樹脂/ガラス複合体を有する積層体である。そして、積層体を積層方向に切断した際の少なくとも一断面において、樹脂/ガラス複合体と支持板との界面に、易剥離部分と易剥離部分よりも剥離強度が大きい密着部分とを有し、該易剥離部分の両端に該密着部分が位置することを特徴とする。
このような構成を有する積層体とすることで、易剥離部分の両端に存在する密着部分を取り除くように積層方向に切断することで、支持板と樹脂/ガラス複合体との界面が易剥離部分のみとなり、支持板を容易に剥離することができる。このような構成を有する積層体の具体的な実施形態を、以下図を用いて説明する。
なお、本明細書において「樹脂/ガラス複合体と支持板との界面」とは、樹脂/ガラス複合体と支持板とが直接接触して積層している場合にはその接合面を意味し、樹脂/ガラス複合体と支持板とが、例えば接着層などの別の層を介して積層している場合には、樹脂/ガラス複合体と支持板との間の接合領域を意味する。例えば図2においては、薄板ガラス12と支持板11との間の領域、即ち樹脂層13及び離型層14が存在する領域、薄板ガラス12と樹脂層13との接合面、並びに支持板11と樹脂層13及び離型層14との接合面、が含まれる。
<Laminate>
As described above, the laminate according to the present embodiment is a laminate having a resin / glass composite on a support plate. And in at least one section when the laminate is cut in the laminating direction, the interface between the resin / glass composite and the support plate has an easily peelable portion and an adhesive portion having a peel strength larger than the easily peelable portion, The close contact portions are located at both ends of the easily peelable portion.
By making the laminate having such a configuration, the interface between the support plate and the resin / glass composite is easily peeled off by cutting in the laminating direction so as to remove the close contact portions present at both ends of the easily peelable portion. Thus, the support plate can be easily peeled off. Specific embodiments of the laminate having such a configuration will be described below with reference to the drawings.
In the present specification, the “interface between the resin / glass composite and the support plate” means the joint surface when the resin / glass composite and the support plate are in direct contact and laminated, In the case where the resin / glass composite and the support plate are laminated via another layer such as an adhesive layer, it means a bonding region between the resin / glass composite and the support plate. For example, in FIG. 2, a region between the thin glass 12 and the support plate 11, that is, a region where the resin layer 13 and the release layer 14 exist, a bonding surface between the thin glass 12 and the resin layer 13, and the support plate 11 The joint surface with the resin layer 13 and the release layer 14 is included.

図2は、本発明の実施形態に係る積層体を表す断面模式図である。図2(a)に示す積層体10は、支持板11上に、薄板ガラス12及び樹脂層13からなる樹脂/ガラス複合体を有する。積層体10は、樹脂層13と支持板11との界面に、離型層14を有する。離型層14は、支持板11に対して密着し、樹脂層13に対して良好な離型性を示すため、積層体から支持板を容易に剥離することができる。一方で離型層14は、樹脂層の両端よりも内側に、即ち樹脂層の外形範囲内に設けられる。そのため、離型層14が存在しない界面である鎖線15で表された箇所は、剥離強度が大きい密着部分となり、離型層が存在する界面は剥離強度が小さい易剥離部分となる。したがって、積層体10は、複合体と支持板11との界面に、易剥離部分と密着部分を有し、易剥離部分の両端に密着部分が位置する構造を有する。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating a laminate according to an embodiment of the present invention. A laminate 10 shown in FIG. 2A has a resin / glass composite composed of a thin glass 12 and a resin layer 13 on a support plate 11. The laminate 10 has a release layer 14 at the interface between the resin layer 13 and the support plate 11. Since the release layer 14 is in close contact with the support plate 11 and exhibits good release properties with respect to the resin layer 13, the support plate can be easily peeled from the laminate. On the other hand, the release layer 14 is provided inside the both ends of the resin layer, that is, within the outer range of the resin layer. Therefore, a portion represented by a chain line 15 which is an interface where the release layer 14 does not exist is an adhesion portion having a high peel strength, and an interface where the release layer exists is an easy peel portion having a low peel strength. Therefore, the laminate 10 has a structure in which an easily peelable portion and a close contact portion are provided at the interface between the composite and the support plate 11 and the close contact portions are located at both ends of the easily peelable portion.

離型層14は、支持板11に対して密着し、且つ樹脂層13に対して離型性を有するものであれば特に限定はされず、従って選定される樹脂層13の種類によって適切な材料が選択されるが、電子デバイスの形成工程においては加熱処理を施されることが多い為、加熱時に熱変性や揮散しないことが好ましい。
離型層14を構成する材料としては、具体的には、フッ素系樹脂、シリコーン系樹脂、ワックス系樹脂、界面活性剤を含む離型剤などが挙げられる。中でも、耐熱性が高く、薄板ガラス12への成分移行も少なく、且つ離型性も良いフッ素系樹脂を含む離型剤がより好ましい。
The release layer 14 is not particularly limited as long as it is in close contact with the support plate 11 and has releasability with respect to the resin layer 13. Therefore, an appropriate material is selected depending on the type of the resin layer 13 selected. However, since heat treatment is often performed in the formation process of the electronic device, it is preferable that heat denaturation and volatilization are not caused during heating.
Specific examples of the material constituting the release layer 14 include a fluorine resin, a silicone resin, a wax resin, and a release agent containing a surfactant. Among these, a release agent containing a fluorine-based resin that has high heat resistance, little component transfer to the thin glass 12 and good release properties is more preferable.

離型層14の厚みは、樹脂層13に対して離型性を発現できる厚みであれば、特に限定されないが、通常0.1μm以上、好ましくは5μm以上であり、また通常20μm以下、好ましくは10μm以下である。
離型層14の厚みが0.1μm以上であれば、有効な離型性を発現でき、厚み20μm以下であれば、表面平滑性を確保でき、またアウトガスによる空隙の発生を抑制することができる傾向がある。
The thickness of the release layer 14 is not particularly limited as long as it can exhibit releasability with respect to the resin layer 13, but is usually 0.1 μm or more, preferably 5 μm or more, and usually 20 μm or less, preferably 10 μm or less.
When the thickness of the release layer 14 is 0.1 μm or more, effective release properties can be expressed, and when the thickness is 20 μm or less, surface smoothness can be ensured and generation of voids due to outgas can be suppressed. Tend.

図2(b)は積層体10の変形例である積層体20を示し、支持板21上に、薄板ガラス22及び樹脂層23からなる樹脂/ガラス複合体を有する。積層体20は、樹脂層23と支持板21との界面に、離型層24を有する。ここで、本発明の実施形態に係る積層体は、積層体上に有機電子デバイスを載置する前、又は載置した後、密着部分を取り除くように積層方向に切断することで支持板を剥離し、使用することとなる。すなわち、図2中
のX−X´一点鎖線に沿って切断される。その際、図2(a)に示す積層体10では、薄板ガラス12のうちX−X´一点鎖線よりも外側に存在する部分は不要部分となるため、歩留まりが悪い。一方で積層体20は、薄板ガラス22が離型層24の外形範囲よりも内側に設けられているため、X−X´一点鎖線に沿って切断した際に不要部分がなく乃至は不要部分が少なく、歩留まりが向上する。よって、本発明においては、薄板ガラスが、易剥離部分の外形範囲よりも内側に設けられている形態が好ましい。
FIG. 2B shows a laminated body 20 which is a modified example of the laminated body 10, and has a resin / glass composite comprising a thin glass plate 22 and a resin layer 23 on a support plate 21. The laminate 20 has a release layer 24 at the interface between the resin layer 23 and the support plate 21. Here, the laminated body according to the embodiment of the present invention peels the support plate by cutting in the laminating direction so as to remove the adhesion portion before or after placing the organic electronic device on the laminated body. And will be used. That is, it cut | disconnects along XX 'dashed-dotted line in FIG. In that case, in the laminated body 10 shown to Fig.2 (a), since the part which exists outside XX 'dashed-dotted line among the thin glass 12 becomes an unnecessary part, a yield is bad. On the other hand, in the laminate 20, the thin glass 22 is provided on the inner side of the outer shape range of the release layer 24, so there is no unnecessary portion or unnecessary portion when cut along the XX ′ dashed line. The yield is improved. Therefore, in the present invention, a mode in which the thin glass is provided on the inner side of the outer range of the easily peelable portion is preferable.

以下、離型層を用いた他の実施形態を説明する。
図3は、本発明の実施形態に係る積層体を表す断面模式図である。図3(a)に示す積層体30は、支持板31上に、薄板ガラス32及び樹脂層33からなる樹脂/ガラス複合体を有する。積層体30は、樹脂層33と支持板31との界面に別途接着層36を有する点が積層体10及び20と異なる。加えて、接着層36と支持板31との間には離型層34を有し、離型層34は、支持板31に対して密着し、接着層36に対して良好な離型性を示すため、積層体から支持板を容易に剥離することができる。一方で離型層34は、樹脂層33及び接着層36の両端よりも内側に、即ち樹脂層の外形範囲内に設けられる。そのため、離型層34が存在しない界面である鎖線35で表された箇所は、剥離強度が大きい密着部分となり、離型層が存在する界面は剥離強度が小さい易剥離部分となる。したがって、積層体30は、複合体と支持板31との界面に、易剥離部分と密着部分を有し、易剥離部分の両端に密着部分が位置する構造を有する。
Hereinafter, other embodiments using a release layer will be described.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating a laminate according to an embodiment of the present invention. A laminated body 30 shown in FIG. 3A has a resin / glass composite composed of a thin glass 32 and a resin layer 33 on a support plate 31. The laminate 30 is different from the laminates 10 and 20 in that a separate adhesive layer 36 is provided at the interface between the resin layer 33 and the support plate 31. In addition, a release layer 34 is provided between the adhesive layer 36 and the support plate 31, and the release layer 34 is in close contact with the support plate 31 and exhibits good release properties with respect to the adhesive layer 36. In order to show, a support plate can be easily peeled from a laminated body. On the other hand, the release layer 34 is provided on the inner side than both ends of the resin layer 33 and the adhesive layer 36, that is, within the outer shape range of the resin layer. Therefore, a portion represented by a chain line 35 that is an interface where the release layer 34 does not exist is an adhesion portion having a high peel strength, and an interface where the release layer exists is an easy peel portion having a low peel strength. Therefore, the laminate 30 has a structure in which an easily peelable portion and a close contact portion are provided at the interface between the composite and the support plate 31 and the close contact portions are located at both ends of the easily peelable portion.

図3(b)は積層体30の変形例である積層体40を示し、支持板41上に、薄板ガラス42及び樹脂層43からなる樹脂/ガラス複合体を有する。積層体40は、樹脂層43と支持板41との界面に別途接着層46を有し、接着層46と樹脂層43との間に離型層44を有する点で、積層体30と異なる。
このような形態であっても、離型層44は、樹脂層43及び接着層46の両端よりも内側に、即ち樹脂層の外形範囲内に設けられる。そのため、離型層44が存在しない界面である鎖線45で表された箇所は、剥離強度が大きい密着部分となり、離型層が存在する界面は剥離強度が小さい易剥離部分となる。したがって、積層体40は、複合体と支持板41との界面に、易剥離部分と密着部分を有し、易剥離部分の両端に密着部分が位置する構造を有する。
FIG. 3B shows a laminated body 40 which is a modified example of the laminated body 30, and has a resin / glass composite comprising a thin glass plate 42 and a resin layer 43 on a support plate 41. The laminated body 40 is different from the laminated body 30 in that a separate adhesive layer 46 is provided at the interface between the resin layer 43 and the support plate 41 and a release layer 44 is provided between the adhesive layer 46 and the resin layer 43.
Even if it is such a form, the mold release layer 44 is provided inside the both ends of the resin layer 43 and the contact bonding layer 46, ie, in the external range of the resin layer. Therefore, a portion represented by a chain line 45 which is an interface where the release layer 44 does not exist is an adhesion portion having a high peel strength, and an interface where the release layer exists is an easy peel portion having a low peel strength. Therefore, the laminate 40 has a structure in which an easily peelable portion and a close contact portion are provided at the interface between the composite and the support plate 41, and the close contact portions are located at both ends of the easily peelable portion.

また、離型層を用いない他の実施形態も可能であり、以下説明する。
図4は、本発明の実施形態に係る積層体を表す断面模式図である。図4(a)に示す積層体50は、支持板51上に、薄板ガラス52及び樹脂層53からなる樹脂/ガラス複合体を有する。積層体50は、樹脂層53と支持板51との界面に、上記積層体30及び40とは異なり易剥離性接着層57を有する。即ち易剥離接着層は、支持板51及び樹脂層53に対して一定の接着性を示す一方、良好な離型性を示すため、積層体から支持板を容易に剥離することができる。加えて、易剥離性接着層57における支持板51との接面のうち、図中ハッチングで示す部分には接着処理が施されている。そのため、図中ハッチングで示す接着処理が施された界面である鎖線55で表された箇所は、剥離強度が大きい密着部分となり、図中2点鎖線58で表される易剥離性接着層が存在する界面は剥離強度が小さい易剥離部分となる。したがって、積層体50は、複合体と支持板51との界面に、易剥離部分と密着部分を有し、易剥離部分の両端に密着部分が位置する構造を有する。
Other embodiments that do not use a release layer are also possible and will be described below.
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view illustrating a laminate according to an embodiment of the present invention. A laminated body 50 shown in FIG. 4A has a resin / glass composite composed of a thin glass 52 and a resin layer 53 on a support plate 51. Unlike the laminates 30 and 40, the laminate 50 has an easily peelable adhesive layer 57 at the interface between the resin layer 53 and the support plate 51. That is, the easily peelable adhesive layer exhibits a certain adhesiveness to the support plate 51 and the resin layer 53, while exhibiting a good releasability, so that the support plate can be easily peeled from the laminate. In addition, of the contact surface of the easily peelable adhesive layer 57 with the support plate 51, the portion indicated by hatching in the drawing is subjected to an adhesive treatment. Therefore, the part represented by the chain line 55, which is the interface subjected to the adhesion treatment shown by hatching in the figure, is an adhesive part having a high peel strength, and there is an easily peelable adhesive layer represented by the two-dot chain line 58 in the figure. The interface to be an easily peelable portion having low peel strength. Therefore, the laminate 50 has a structure in which an easily peelable portion and a close contact portion are provided at the interface between the composite and the support plate 51, and the close contact portions are located at both ends of the easily peelable portion.

易剥離性接着層における図中ハッチングで示す部分に施される接着処理としては、具体的には易剥離性接着層表面や支持板表面にコロナ処理、オゾン処理、シランカップリング処理することが挙げられる。また接着剤を用いて接着処理を行ってもよい。   Examples of the adhesion treatment applied to the hatched portion of the easily peelable adhesive layer include corona treatment, ozone treatment, and silane coupling treatment on the easily peelable adhesive layer surface and the support plate surface. It is done. Moreover, you may perform an adhesion | attachment process using an adhesive agent.

図4(b)は積層体50の変形例である積層体60を示し、支持板61上に、薄板ガラス62及び樹脂層63からなる樹脂/ガラス複合体を有する。積層体60は、樹脂層63
と支持板61との界面に別途易剥離性接着層67を有し、加えて、易剥離性接着層67における樹脂層63との接面のうち、図中ハッチングで示す部分には接着処理が施されている点で、積層体50と異なる。
このような形態であっても、図中ハッチングで示す接着処理が施された界面である鎖線65で表された箇所は、剥離強度が大きい密着部分となり、図中2点鎖線68で表される易剥離性接着層が存在する界面は剥離強度が小さい易剥離部分となる。したがって、積層体60は、複合体と支持板61との界面に、易剥離部分と密着部分を有し、易剥離部分の両端に密着部分が位置する構造を有する。
FIG. 4B shows a laminated body 60 which is a modification of the laminated body 50, and has a resin / glass composite comprising a thin glass 62 and a resin layer 63 on a support plate 61. The laminated body 60 includes a resin layer 63.
In addition, an easily peelable adhesive layer 67 is provided at the interface between the support plate 61 and, in addition, of the contact surface of the easily peelable adhesive layer 67 with the resin layer 63, the portion indicated by hatching in FIG. It differs from the laminate 50 in that it is applied.
Even in such a form, a portion represented by a chain line 65 that is an interface subjected to the adhesion treatment shown by hatching in the figure becomes a close contact portion having a high peel strength, and is represented by a two-dot chain line 68 in the figure. The interface where the easily peelable adhesive layer exists is an easily peelable portion having a small peel strength. Therefore, the laminate 60 has a structure in which an easily peelable portion and a close contact portion are provided at the interface between the composite and the support plate 61, and the close contact portions are located at both ends of the easily peelable portion.

図5は、本発明の実施形態に係る積層体を表す断面模式図である。図5に示す積層体70は、支持板71上に、薄板ガラス72及び樹脂層73からなる樹脂/ガラス複合体を有する。ここで、図2における樹脂層13及び23と異なり、樹脂層73は、易剥離性質を有する樹脂層であり、支持板71に対して良好な離型性を示すため、積層体から支持板を容易に剥離することができる。加えて、樹脂層73と支持板71との接面のうち、図中ハッチングで示す部分には接着処理が施されている。そのため、図中ハッチングで示す接着処理が施された界面である鎖線75で表された箇所は、剥離強度が大きい密着部分となり、図中2点鎖線78で表される樹脂層が存在する界面は剥離強度が小さい易剥離部分となる。したがって、積層体70は、複合体と支持板71との界面に、易剥離部分と密着部分を有し、易剥離部分の両端に密着部分が位置する構造を有する。   FIG. 5 is a schematic cross-sectional view illustrating a laminate according to an embodiment of the present invention. A laminated body 70 shown in FIG. 5 has a resin / glass composite composed of a thin glass 72 and a resin layer 73 on a support plate 71. Here, unlike the resin layers 13 and 23 in FIG. 2, the resin layer 73 is an easily peelable resin layer and exhibits a good releasability from the support plate 71. It can be easily peeled off. In addition, of the contact surface between the resin layer 73 and the support plate 71, the portion indicated by hatching in the drawing is subjected to an adhesion treatment. Therefore, a portion represented by a chain line 75 which is an interface subjected to the adhesion treatment shown by hatching in the figure is a close adhesion portion having a high peel strength, and an interface where a resin layer represented by a two-dot chain line 78 is present in the figure is It becomes an easy peeling part with small peeling strength. Therefore, the laminated body 70 has a structure in which an easily peelable portion and a close contact portion are provided at the interface between the composite and the support plate 71, and the close contact portions are located at both ends of the easily peelable portion.

<本実施形態に係る積層体>
本実施形態に係る積層体のうち、図2に示す実施形態では、支持板表面上に、離型層、樹脂層、及び薄板ガラスをこの順に有し且つ、樹脂層の一部が支持板と直接接触している積層体である。
図2に示す積層体は強度が高く、ハンドリング性に優れるため、電子デバイスの形成工程においても破損することがなく、また工程後は、離型層の外形範囲内で薄板ガラス及び樹脂層、又は樹脂層のみ、若しくは薄板ガラスや樹脂層に加え、離型層及び支持板まで切断することで、樹脂層の支持板に直接接触している部分、すなわち密着部分を切り離し、表面に電子デバイスを形成した薄板ガラスおよび樹脂層の積層体を、支持板から容易に剥離することができる。また、本実施形態に係る積層体は、薄板ガラスの樹脂層側表面の反対面に、更に樹脂層を備えてもよい。
<Laminated body according to this embodiment>
In the embodiment shown in FIG. 2 among the laminates according to the present embodiment, a release layer, a resin layer, and a thin glass plate are provided in this order on the support plate surface, and a part of the resin layer is a support plate. It is a laminate that is in direct contact.
Since the laminate shown in FIG. 2 has high strength and excellent handling properties, it is not damaged even in the process of forming an electronic device, and after the process, within the outer range of the release layer, a thin glass and a resin layer, or By cutting only the resin layer, or thin glass and resin layers, as well as the release layer and support plate, the part of the resin layer that is in direct contact with the support plate, that is, the close contact part, is cut off to form an electronic device on the surface. The laminated body of the thin glass plate and the resin layer can be easily peeled from the support plate. Moreover, the laminated body which concerns on this embodiment may be further equipped with the resin layer on the opposite surface to the resin layer side surface of thin glass.

(密着部分及び易剥離部分の剥離強度)
本実施形態に係る積層体は、複合体と支持板の界面に易剥離部分と密着部分を有し、密着部分は易剥離部分よりも剥離強度が大きい。
本実施形態に係る積層体の、密着部分の剥離強度と、易剥離部分の剥離強度の差は、限定されるものではないが、0.5N/25mm以上であることが好ましい。1N/25mm以上がさらに好ましく、2N/25mm以上であることが特に好ましい。
密着部分の剥離強度と、易剥離部分の剥離強度の差が0.5N/25mm以上であれば、デバイス形成工程においては支持板が剥離せず、デバイス形成工程後は、積層体から支持板を容易に剥離することができるため好ましい。
(Peel strength of close contact and easy peel)
The laminate according to this embodiment has an easily peelable portion and a close contact portion at the interface between the composite and the support plate, and the close contact portion has a peel strength higher than that of the easily peelable portion.
The difference between the peel strength at the close contact portion and the peel strength at the easy peel portion of the laminate according to this embodiment is not limited, but is preferably 0.5 N / 25 mm or more. 1N / 25mm or more is more preferable, and 2N / 25mm or more is particularly preferable.
If the difference between the peel strength at the close contact portion and the peel strength at the easy peel portion is 0.5 N / 25 mm or more, the support plate does not peel off in the device formation step, and after the device formation step, the support plate is removed from the laminate. This is preferable because it can be easily peeled off.

易剥離部分の剥離強度は、密着部分を除去した際に、積層体から支持板を容易に剥離することができることが好ましく、通常0.5N/25mm以下であり、0.4N/25mm以下であることが好ましく、0.3N/25mm以下であることがより好ましい。下限は特に限定されないが、0.01N/25mm以上であることが好ましい。
一方で密着部分の剥離強度は、デバイス形成工程において支持板が剥離しない程度の剥離強度であることが好ましい。具体的な数値としては、易剥離部分と比べて剥離強度が高ければそれに適した構成を選択する事で対処は可能であるため特に限定されないが、好ましくは、0.5N/25mm以上であり、1.0N/25mm以上であることが好ましく
、2.0N/25mm以上であることがより好ましい。上限は特に限定されないが、剥離試験において、複合体が剥離できない程度の剥離強度が好ましい。
なお、剥離強度はJIS K 6854−1に準拠した90度剥離試験で測定でき、例えば、実施例の項に記載した方法で測定される。
The peel strength of the easily peelable portion is preferably such that the support plate can be easily peeled from the laminate when the close contact portion is removed, and is usually 0.5 N / 25 mm or less and 0.4 N / 25 mm or less. It is preferable that it is 0.3 N / 25 mm or less. Although a minimum is not specifically limited, It is preferable that it is 0.01 N / 25mm or more.
On the other hand, the peel strength at the close contact portion is preferably such a peel strength that the support plate does not peel in the device formation step. The specific numerical value is not particularly limited because it can be dealt with by selecting a suitable structure if the peel strength is higher than the easily peelable portion, but preferably 0.5 N / 25 mm or more, It is preferably 1.0 N / 25 mm or more, and more preferably 2.0 N / 25 mm or more. The upper limit is not particularly limited, but a peel strength that does not allow the composite to peel in the peel test is preferable.
The peel strength can be measured by a 90-degree peel test in accordance with JIS K 6854-1, and is measured by, for example, the method described in the section of Examples.

(支持板と樹脂層の積層関係)
本実施形態に係る支持板及び樹脂層の関係は、樹脂層が支持板の外形範囲内に設けられていることが好ましく、外形範囲よりも内側に設けられていることがより好ましい。このような関係を満たすことで、電子デバイス形成時の搬送性等を良くすることができる。
(Lamination relationship between support plate and resin layer)
Regarding the relationship between the support plate and the resin layer according to the present embodiment, the resin layer is preferably provided within the outer range of the support plate, and more preferably provided inside the outer range. By satisfying such a relationship, it is possible to improve transportability when forming an electronic device.

(離型層及び樹脂層の積層関係)
本実施形態に係る積層体のうち、図2に示す実施形態では、離型層及び樹脂層の関係は、樹脂層の一部が支持板に直接接触し、且つ、積層体の積層方向に切断した際の少なくとも一断面において、離型層の両端部よりも樹脂層の両端部が外側に位置する。このような関係を満たすことで、樹脂層及び薄板ガラスは電子デバイスの形成工程において、支持板から剥離することなく、形成工程後は、離型層の外形範囲内で薄板ガラス及び樹脂層、又は樹脂層のみ、若しくは薄板ガラスや樹脂層に加え、離型層及び支持板まで切断することで、支持板から容易に剥離することができる。
また、電子デバイスの作成工程において、支持板と樹脂層との密着性を向上させる観点から、離型層は、樹脂層の外形範囲内に設けられていることが好ましく、樹脂層の外形範囲の内側に設けられていることがさらに好ましい。
なお、離型層及び樹脂層については、上記関係を満たすものであれば特に限定されるものではないが、例えば図1(a)〜(d)の様な積層関係である実施形態が挙げられる。このうち図1(a)の実施形態では、易剥離部分を形成する離型層が樹脂層の外形範囲の内側に設けられており、積層体とした際には、易剥離部分が密着部分に囲まれた形態となる。
(Lamination relationship between release layer and resin layer)
In the embodiment shown in FIG. 2 among the laminates according to this embodiment, the relationship between the release layer and the resin layer is such that a part of the resin layer is in direct contact with the support plate and is cut in the lamination direction of the laminate. In at least one cross section at the time, the both end portions of the resin layer are located outside the both end portions of the release layer. By satisfying such a relationship, the resin layer and the thin glass are not peeled off from the support plate in the electronic device forming step, and after the forming step, the thin glass and the resin layer within the outer range of the release layer, or In addition to the resin layer, or in addition to the thin glass or resin layer, the release layer and the support plate can be cut to easily peel from the support plate.
In addition, in the electronic device manufacturing process, from the viewpoint of improving the adhesion between the support plate and the resin layer, the release layer is preferably provided within the outer range of the resin layer. More preferably, it is provided inside.
The release layer and the resin layer are not particularly limited as long as the above relationship is satisfied. For example, an embodiment having a stacking relationship as shown in FIGS. . Among these, in the embodiment of FIG. 1 (a), the release layer that forms the easily peelable portion is provided inside the outer shape range of the resin layer. It becomes an enclosed form.

(樹脂層と薄板ガラスの積層関係)
本実施形態に係る樹脂層及び薄板ガラスの関係は特に限定されないが、薄板ガラスが樹脂層の外形範囲内に設けられることが好ましい。このような関係を満たすことで、薄板ガラスの一方の表面全面に樹脂層が積層されているため、電子デバイスの形成工程や、本実施形態に係る積層体の切断工程、及び支持板剥離後の樹脂/ガラス複合体の取り扱いにおいて、薄板ガラスのクラック発生や、破断をより抑制することができる。
また、支持板剥離時のハンドリングの観点から、薄板ガラスは、樹脂層の外形範囲の内側に設けられていることがさらに好ましい。中でも、樹脂層の外形範囲が薄板ガラスの外形範囲に対して樹脂層の端部を把持できる程度に大きく、且つ支持板と樹脂層の密着強度が、支持板と樹脂層を剥離させる際に、樹脂層中で凝集破壊が起きない程度であれば、樹脂層の端部を把持して引張応力を加えることで、支持板から、薄板ガラスを破損させることなく剥離することができるので特に好ましい。
また、図2(b)の様に樹脂層が薄板ガラスの側面まで覆う形状でもよい。この場合、側面からの衝撃に対して薄板ガラスの割れを防止する効果が期待できる。
(Lamination relationship between resin layer and thin glass)
Although the relationship between the resin layer and the thin glass according to the present embodiment is not particularly limited, it is preferable that the thin glass is provided within the outer range of the resin layer. By satisfying such a relationship, since the resin layer is laminated on the entire surface of one surface of the thin glass, the step of forming the electronic device, the step of cutting the laminate according to the present embodiment, and the support plate after peeling In the handling of the resin / glass composite, cracking and breakage of the thin glass can be further suppressed.
Further, from the viewpoint of handling when the support plate is peeled off, it is more preferable that the thin glass plate is provided inside the outer range of the resin layer. Among them, the outer range of the resin layer is large enough to grip the end of the resin layer with respect to the outer range of the thin glass, and when the adhesion strength between the support plate and the resin layer is peeled off, It is particularly preferable that the cohesive failure does not occur in the resin layer, since it can be peeled from the support plate without damaging the thin plate glass by gripping the end of the resin layer and applying a tensile stress.
Moreover, the shape which a resin layer covers to the side surface of a sheet glass may be sufficient like FIG.2 (b). In this case, an effect of preventing the thin glass from cracking against an impact from the side surface can be expected.

(離型層と薄板ガラスの積層関係)
本実施形態に係る離型層及び薄板ガラスの関係は、図2(b)の様に薄板ガラスが、離型層の外形範囲の内側に設けられていることが好ましい。このような関係を満たすことで、電子デバイスの形成工程後、離型層の外形範囲内、且つ、薄板ガラスの外形範囲の外側にある樹脂層のみ、若しくは、樹脂層に加え、離型層及び支持板を切断することで、樹脂層の支持板に接着している部分を切り離すことができ、支持板から、樹脂/ガラス複合体を、容易に剥離することができる。
(Lamination relationship between release layer and thin glass)
As for the relationship between the release layer and the thin glass according to the present embodiment, it is preferable that the thin glass is provided inside the outer shape range of the release layer as shown in FIG. By satisfying such a relationship, after the formation process of the electronic device, only the resin layer within the outer shape range of the release layer and outside the outer shape range of the thin glass, or in addition to the resin layer, the release layer and By cutting the support plate, the portion of the resin layer bonded to the support plate can be separated, and the resin / glass composite can be easily peeled from the support plate.

<樹脂/ガラス複合体>
本発明の別の実施形態は、上記説明した積層体から支持板を剥離して得られる樹脂/ガラス複合体であり、有機EL照明、及び有機EL表示装置、及び有機太陽電池等の有機電子デバイスの基板として用いることができる。
また、薄板ガラスに樹脂層が積層されているため、薄板ガラス単体よりもハンドリング性、取扱い性が向上し、作成した電子デバイスの二次加工時の欠陥発生が抑制される。
<Resin / Glass Composite>
Another embodiment of the present invention is a resin / glass composite obtained by peeling a support plate from the laminate described above, and organic electronic devices such as organic EL lighting, organic EL display devices, and organic solar cells. It can be used as a substrate.
In addition, since the resin layer is laminated on the thin glass, handling and handling are improved as compared with the thin glass alone, and the occurrence of defects during secondary processing of the created electronic device is suppressed.

樹脂/ガラス複合体は、用途に応じた光透過性を有していれば特に限定されないが、通常、全光線透過率が80%以上であることが好ましい。85%以上であることがより好ましく、90%以上であることが特に好ましい。
全光線透過率が80%以上であれば、良好な光透過性を示すため、例えば、有機EL照明、有機EL表示装置等の発光装置の基板として好適に用いることができる。
なお、全光線透過率は、透過率計(例えば、村上色彩技術研究所製「HR−100」)を用い、JIS K 7361に準拠する方法で測定できる。
The resin / glass composite is not particularly limited as long as the resin / glass composite has light transmittance according to the application, but it is usually preferable that the total light transmittance is 80% or more. It is more preferably 85% or more, and particularly preferably 90% or more.
If the total light transmittance is 80% or more, good light transmittance is exhibited, and therefore, it can be suitably used as a substrate of a light emitting device such as an organic EL illumination or an organic EL display device.
The total light transmittance can be measured by a method based on JIS K 7361 using a transmittance meter (for example, “HR-100” manufactured by Murakami Color Research Laboratory).

樹脂/ガラス複合体の厚みは、フレキシブル性の観点から200μm以下が好ましく、より好ましくは150μm以下であり、更に好ましくは100μm以下である。また、通常10μm以上が好ましく、30μm以上であることがより好ましく、50μm以上であることが特に好ましい。   The thickness of the resin / glass composite is preferably 200 μm or less, more preferably 150 μm or less, and still more preferably 100 μm or less from the viewpoint of flexibility. Further, it is usually preferably 10 μm or more, more preferably 30 μm or more, and particularly preferably 50 μm or more.

<本実施形態に係る積層体の製造方法>
本実施形態に係る積層体の製造方法は、支持板上に、樹脂層及び薄板ガラスを含む樹脂/ガラス複合体をこの順に有し、複合体と支持板との界面に、易剥離部分と該易剥離部分の両端に密着部分とが位置する積層体を製造できれば特に限定されない。図2(a)の構成を例にすると、具体的には、支持板を準備し、その表面上に離型層、樹脂層、薄板ガラスを順に積層することで、本実施形態に係る積層体が得られる。以下、本実施形態に係る積層体の製造方法の一実施形態をより詳しく説明する。
<The manufacturing method of the laminated body which concerns on this embodiment>
The method for manufacturing a laminate according to the present embodiment includes a resin / glass composite including a resin layer and a thin glass on the support plate in this order, and an easily peelable portion and the interface at the interface between the composite and the support plate. It will not specifically limit if the laminated body in which an adhesion part is located in the both ends of an easily peelable part can be manufactured. Taking the configuration of FIG. 2A as an example, specifically, a support plate is prepared, and a release layer, a resin layer, and a thin glass plate are sequentially laminated on the surface thereof, whereby the laminate according to the present embodiment. Is obtained. Hereinafter, an embodiment of a method for manufacturing a laminate according to this embodiment will be described in more detail.

支持板表面上に離型層を積層する方法としては、直接塗布法、転写フィルムを用いた転写方法が挙げられる。
直接塗布法は、具体的には少なくとも離型層を形成する樹脂、添加剤、及び溶剤を含む塗布用組成物を調製し、該組成物をダイコータ塗布、バーコータ塗布、スピンコータ塗布、メイヤーバー塗布、エアナイフ塗布、グラビア塗布、リバースグラビア塗布、オフセット印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、ディップコート、スプレーコートなどの方法により、支持板に塗布する手法である。
溶剤は、通常有機溶剤が用いられ、離型層に含まれる樹脂の種類により適宜選択される。
なお、塗布後は、必要に応じ溶剤を除去する工程や、離型層を硬化させる工程を含んでもよい。
また、直接塗布法による場合、塗布速度、吐出量等は特に限定されず、離型層に含まれる樹脂の組成や、離型層の厚みによって適宜調整することができる。
Examples of the method for laminating the release layer on the surface of the support plate include a direct coating method and a transfer method using a transfer film.
In the direct coating method, specifically, a coating composition containing at least a resin for forming a release layer, an additive, and a solvent is prepared, and the composition is coated with a die coater, a bar coater, a spin coater, a Mayer bar, This is a method of applying to a support plate by a method such as air knife coating, gravure coating, reverse gravure coating, offset printing, flexographic printing, screen printing, dip coating or spray coating.
As the solvent, an organic solvent is usually used, and is appropriately selected depending on the type of resin contained in the release layer.
In addition, after application | coating, you may include the process of removing a solvent as needed, and the process of hardening a release layer.
In the case of the direct coating method, the coating speed, the discharge amount, etc. are not particularly limited and can be appropriately adjusted depending on the composition of the resin contained in the release layer and the thickness of the release layer.

転写フィルムを用いた転写法は、支持フィルム上に離型層を積層した転写フィルムを、離型層側表面を支持板表面に向けて転写し、その後支持フィルムを剥離する手法である。   The transfer method using a transfer film is a method in which a transfer film having a release layer laminated on a support film is transferred with the release layer side surface facing the support plate surface, and then the support film is peeled off.

樹脂層が、支持板の外形範囲内に設けられており、樹脂層の一部が支持板に直接接触し、且つ、積層体を積層方向に切断した際の少なくとも一断面において、離型層の両端部よりも樹脂層の両端部が外側に位置する関係を満たすために、例えば、支持板表面の一部にマスキングテープを貼り、その上から離型層を形成した後、マスキングテープを剥離する工程を含んでもよい。   The resin layer is provided within the outer range of the support plate, a part of the resin layer is in direct contact with the support plate, and at least in one section when the laminate is cut in the stacking direction, In order to satisfy the relationship in which both ends of the resin layer are located outside the both ends, for example, a masking tape is applied to a part of the surface of the support plate, a release layer is formed thereon, and then the masking tape is peeled off. A process may be included.

支持板及び離型層上に、樹脂層を積層する方法としては、上記直接塗布法及び転写法が挙げられる。
樹脂層を形成する樹脂組成物は、支持板の外形範囲内において、樹脂層の一部が支持板に直接接触し、且つ、積層体を積層方向に切断した際の少なくとも一断面において、離型層の両端部よりも樹脂層の両端部が外側に位置するよう積層される。この時、必要に応じて、上記マスキングテープを用いて積層範囲を制御してもよい。
また、必要に応じて樹脂層を形成する樹脂組成物に含まれる溶剤を除去する工程や、樹脂層上に薄板ガラスを積層した後、樹脂層に含まれる硬化性組成物を硬化させる工程を含んでもよい。
Examples of the method for laminating the resin layer on the support plate and the release layer include the direct coating method and the transfer method.
The resin composition for forming the resin layer has a mold release within at least one cross section when a part of the resin layer is in direct contact with the support plate and the laminate is cut in the stacking direction within the outer range of the support plate. The resin layer is laminated so that both end portions of the resin layer are located outside the both end portions of the layer. At this time, if necessary, the stacking range may be controlled using the masking tape.
Moreover, the process of removing the solvent contained in the resin composition which forms a resin layer as needed, and the process of hardening the curable composition contained in a resin layer after laminating | stacking thin glass on a resin layer are included. But you can.

樹脂層の外形範囲内に薄板ガラスを積層する方法としては、空隙が入らない様、薄板ガラスを樹脂層上に静置する方法、粘着フィルムを薄板ガラスの、樹脂層と接する面の反対面側に貼り合わせた後、引張応力を加えて薄板ガラスが撓まないようにしながら、ローラーを用いて端辺より樹脂層上に積層し、粘着フィルムを剥がす方法が挙げられる。   As a method of laminating the thin glass within the outer range of the resin layer, a method in which the thin glass is left on the resin layer so as not to have a gap, and an adhesive film is placed on the opposite side of the surface of the thin glass in contact with the resin layer. There is a method of laminating the adhesive film on the resin layer from the end using a roller while applying a tensile stress so that the thin glass is not bent after being bonded to each other.

また、図4(a)の実施形態においては、支持板の易剥離性接着層と対向する面の端部、図4(b)の実施形態においては、樹脂層の易剥離性接着層と対向する面の端部に接着処理を行った上で、上記説明した方法により、支持板上に易剥離性接着層を積層する。その後、樹脂層、薄板ガラスを順に積層することで、積層体を製造することができる。
なお、接着処理としては、コロナ処理、オゾン処理、シランカップリング処理することが挙げられる。また公知の接着剤を用いて接着処理を行ってもよい。
Further, in the embodiment of FIG. 4 (a), the end of the surface of the support plate facing the easily peelable adhesive layer, and in the embodiment of FIG. 4 (b), facing the easily peelable adhesive layer of the resin layer. After performing the adhesion treatment on the edge of the surface to be performed, an easily peelable adhesive layer is laminated on the support plate by the method described above. Then, a laminated body can be manufactured by laminating | stacking a resin layer and a sheet glass in order.
Examples of the adhesion treatment include corona treatment, ozone treatment, and silane coupling treatment. Moreover, you may perform an adhesion | attachment process using a well-known adhesive agent.

<樹脂/ガラス複合体の製造方法>
樹脂/ガラス複合体の製造方法は、上記本実施形態に係る積層体から、樹脂/ガラス複合体を剥離できさえすれば、特に限定されないが、通常は上記本実施形態に係る積層体上に電子デバイスを形成した後に剥離する。
具体的には、図2に示す本実施形態に係る積層体において、離型層の外形範囲内で、例えばX−X´一点鎖線に沿って樹脂層及び薄板ガラス、又は樹脂層のみ、若しくは薄板ガラスや樹脂層に加え、離型層及び支持板まで切断した後、支持板を離型層と樹脂層の界面で剥離することで、樹脂/ガラス複合体を得ることができる。以下、樹脂/ガラス複合体の製造方法の一実施形態をより詳しく説明する。
<Method for producing resin / glass composite>
The method for producing the resin / glass composite is not particularly limited as long as the resin / glass composite can be peeled off from the laminate according to the present embodiment. Usually, an electron is formed on the laminate according to the present embodiment. Peel after forming the device.
Specifically, in the laminate according to the present embodiment shown in FIG. 2, for example, along the XX ′ dashed line, the resin layer and the thin glass, or the resin layer alone, or the thin plate, within the range of the release layer A resin / glass composite can be obtained by cutting the release plate and the support plate in addition to glass and the resin layer, and then peeling the support plate at the interface between the release layer and the resin layer. Hereinafter, an embodiment of a method for producing a resin / glass composite will be described in more detail.

図2に示す本実施形態に係る積層体は、支持板と薄板ガラスが、樹脂層の支持板に直接接触している部分を介して接着している。このため、樹脂/ガラス複合体は、樹脂層の支持板に直接接触している部分を切り離し、離型層と樹脂層の界面で剥離することにより、支持板から剥離することができる。
離型層が薄板ガラスの外形範囲内である場合には、離型層の外形範囲内、且つ、薄板ガラスの外形範囲内を切断する、すなわち薄板ガラス及び樹脂層、又は薄板ガラス及び樹脂層に加え、離型層及び支持板まで切断することで、樹脂/ガラス複合体を剥離することができる。
薄板ガラスが離型層の外形範囲の内側に設けられている場合には、離型層の外形範囲内、且つ、薄板ガラスの外形範囲の外側を切断する、すなわち樹脂層のみ、又は樹脂層に加え、離型層及び支持板まで切断することで、樹脂/ガラス複合体を剥離することができる。ただし、この場合には、薄板ガラス及び樹脂層、又は薄板ガラス及び樹脂層に加え、離型層及び支持板まで切断して樹脂/ガラス複合体を剥離してもよい。
In the laminate according to the present embodiment shown in FIG. 2, the support plate and the thin glass are bonded via a portion in direct contact with the support plate of the resin layer. For this reason, the resin / glass composite can be peeled off from the support plate by separating the portion of the resin layer that is in direct contact with the support plate and peeling off at the interface between the release layer and the resin layer.
When the release layer is within the outer shape range of the thin glass, cut within the outer shape range of the release layer and within the outer shape range of the thin glass, that is, the thin glass and the resin layer, or the thin glass and the resin layer. In addition, the resin / glass composite can be peeled by cutting the release layer and the support plate.
When the thin glass is provided inside the outer shape range of the release layer, the outer shape range of the release glass and the outer side of the outer shape range of the thin glass are cut, that is, only the resin layer or the resin layer. In addition, the resin / glass composite can be peeled by cutting the release layer and the support plate. However, in this case, in addition to the thin glass and the resin layer, or the thin glass and the resin layer, the release layer and the support plate may be cut to peel the resin / glass composite.

(切断方法)
樹脂層及び薄板ガラス、若しくは薄板ガラスや樹脂層に加え、離型層及び支持板を切断する方法としては、各層を切断出来れば特に限定されないが、ルーター加工等の刃を用い
て表面を切削する方法、ガラス表面に傷をつけ、その後外的応力によりガラスを切断(スクライブ法)し、その後樹脂を別の手法で切断する方法、高圧水流により切断するウォータージェット法、薄板ガラスの吸収波長領域の波長を持つCOレーザーやUVレーザーを用いる方法等が用いられる。
この中でも、樹脂層及び薄板ガラス、若しくは薄板ガラス及び樹脂層に加え、離型層及び支持板を同時に切断できることから、表面を切削する方法、ウォータージェット法、レーザーを用いる方法が好ましく、各層の切断面にクラックが発生しにくいことから、レーザーを用いる方法が特に好ましい。
また、COレーザーを用いる手法では、ガラス端面に傷をつけ、レーザーを収束せずに照射することで熱応力により切断するレーザースクライブ法も用いられる。この際、樹脂はレーザーの吸収による溶融または蒸発により切断される。
(Cutting method)
The method of cutting the release layer and the support plate in addition to the resin layer and thin glass, or the thin glass and resin layer is not particularly limited as long as each layer can be cut, but the surface is cut using a blade such as router processing. Method, scratching the glass surface, then cutting the glass by external stress (scribe method), then cutting the resin by another method, water jet method cutting by high pressure water flow, absorption wavelength region of thin glass A method using a CO 2 laser or a UV laser having a wavelength is used.
Among these, since the release layer and the support plate can be simultaneously cut in addition to the resin layer and the thin glass or the thin glass and the resin layer, a method of cutting the surface, a water jet method, and a method using a laser are preferable. A method using a laser is particularly preferable because cracks are unlikely to occur on the surface.
In the method using a CO 2 laser, a laser scribing method is also used in which a glass end face is scratched and the laser is irradiated without being converged to cut by thermal stress. At this time, the resin is cut by melting or evaporation by laser absorption.

樹脂層のみを切断する手法としては、切断面の状態を考慮する必要が無い為、特に制限されないが、例えば、上記切断方法の他、鋭利な刃を用いて物理的に切断する手法などが用いられる。   The method of cutting only the resin layer is not particularly limited because it is not necessary to consider the state of the cut surface. For example, in addition to the above cutting method, a method of physically cutting using a sharp blade is used. It is done.

(支持板の剥離方法)
支持板を剥離する方法としては、支持板を離型層と樹脂層の界面で剥離できれば、特に限定されないが、例えば、各層を切断した後、離型層と樹脂層の界面に鋭利な刃物状のものを差し込み、剥離のきっかけを与えた上で剥離する方法や、本積層体の支持板側及び薄板ガラス積層体側を真空吸着によってそれぞれ定盤等に固定し、引き離すことで剥離させる方法が挙げられる。
(Support plate peeling method)
The method of peeling the support plate is not particularly limited as long as the support plate can be peeled at the interface between the release layer and the resin layer. For example, after cutting each layer, a sharp blade shape at the interface between the release layer and the resin layer is used. There is a method of separating after inserting the thing, giving a trigger for peeling, and a method of fixing the support plate side and the thin glass laminate side of this laminate to a surface plate etc. by vacuum suction and separating them by pulling them apart It is done.

前述したように、樹脂層の外形範囲が、薄板ガラスの外形範囲に対して樹脂層の端部を把持できる程度に大きく、且つ支持板と樹脂層の密着強度が、支持板と樹脂層を剥離させる際に、樹脂層中で凝集破壊が起きない程度であれば、樹脂層の端部を把持して引張り応力を加えることで、支持板から、薄板ガラスを破損させることなく剥離することができる。
樹脂/ガラス複合体の製造方法については、図2に示す実施形態を具体例として説明したが、他の実施形態に対しても、図2に示す実施形態についての説明が適用できる。
As described above, the outer range of the resin layer is large enough to grip the edge of the resin layer with respect to the outer range of the thin glass, and the adhesion strength between the support plate and the resin layer peels off the support plate and the resin layer. When the cohesive failure does not occur in the resin layer, it can be peeled from the support plate without damaging the thin glass by gripping the end of the resin layer and applying a tensile stress. .
Although the embodiment shown in FIG. 2 has been described as a specific example for the method for producing the resin / glass composite, the description of the embodiment shown in FIG. 2 can be applied to other embodiments.

以上に説明したとおり、本発明の別の実施形態としては、上述した本実施形態に係る積層体を、前記密着部分を取り除くよう積層方向に切断するステップ、及び該積層体から支持板を剥離するステップ、を含む樹脂/ガラス複合体の製造方法である。
また、積層体に有機電子デバイスが載置されている場合、本発明の別の実施形態としては、本実施形態に係る積層体を、前記密着部分を取り除くよう積層方向に切断するステップ、及び該積層体から支持板を剥離するステップ、を含む有機電子デバイスの製造方法である。
As described above, as another embodiment of the present invention, the laminate according to this embodiment described above is cut in the stacking direction so as to remove the adhesion portion, and the support plate is peeled from the stack. A resin / glass composite comprising the steps.
When the organic electronic device is mounted on the laminate, another embodiment of the present invention includes cutting the laminate according to the present embodiment in the stacking direction so as to remove the adhesion portion, and And a step of peeling the support plate from the laminate.

<用途>
本実施形態に係る積層体は、例えば、有機電界発光素子及び有機光電変換素子等の有機電子デバイスを作成する際の基板として用いることができる。さらには上記有機電界発光素子を用いて有機EL照明及び有機EL表示装置を得ることができ、また有機光電変換素子を用いて有機太陽電池モジュールを得ることができるが、この用途に限定されるものではない。
<Application>
The laminated body which concerns on this embodiment can be used as a board | substrate at the time of producing organic electronic devices, such as an organic electroluminescent element and an organic photoelectric conversion element, for example. Furthermore, an organic EL illumination and an organic EL display device can be obtained by using the organic electroluminescence element, and an organic solar cell module can be obtained by using an organic photoelectric conversion element. is not.

(有機電界発光素子)
本実施形態に係る積層体を、作成時の基板として用いることで得られる有機電界発光素子(有機EL素子、有機エレクトロルミネッセンス素子ともいう。)である。
(Organic electroluminescence device)
It is an organic electroluminescent element (it is also called an organic EL element and an organic electroluminescent element) obtained by using the laminated body which concerns on this embodiment as a board | substrate at the time of preparation.

本実施形態に係る積層体は、強度が高く、ハンドリング性に優れ、且つ、電子デバイスの形成工程においても樹脂/ガラス複合体と支持板が剥離しないため、有機EL素子形成時の基板として好適に用いることができる。素子形成後、支持板を剥離することで、表面に有機EL素子が形成された樹脂/ガラス複合体を得ることができる。   The laminate according to the present embodiment has high strength, excellent handling properties, and the resin / glass composite and the support plate do not peel off even in the electronic device formation process, so that it is suitable as a substrate for forming an organic EL element. Can be used. After the element formation, the resin / glass composite having the organic EL element formed on the surface can be obtained by peeling the support plate.

有機EL素子は陰極と陽極を有し、両電極の間に発光層を含む有機化合物層を有する。発光素子の性質上、陽極および陰極のうち少なくとも一方の電極は、透明である。   An organic EL element has a cathode and an anode, and has an organic compound layer including a light emitting layer between both electrodes. Due to the nature of the light emitting element, at least one of the anode and the cathode is transparent.

有機化合物層の積層の態様としては、例えば、陽極側から、正孔輸送層、発光層、電子輸送層の順に積層されている態様が好ましい。さらに、正孔輸送層と発光層との間、または、発光層と電子輸送層との間には、電荷ブロック層等を有していてもよい。陽極と正孔輸送層との間に、正孔注入層を有してもよく、陰極と電子輸送層との間には、電子注入層を有してもよい。また、発光層としては一層だけでもよく、また、第一発光層、第二発光層、第三発光層等に発光層を分割してもよい。さらに、各層は複数の二次層に分かれていてもよい。   As an aspect of lamination of the organic compound layer, for example, an aspect in which a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer are laminated in this order from the anode side is preferable. Furthermore, a charge blocking layer or the like may be provided between the hole transport layer and the light-emitting layer, or between the light-emitting layer and the electron transport layer. A hole injection layer may be provided between the anode and the hole transport layer, and an electron injection layer may be provided between the cathode and the electron transport layer. Further, the light emitting layer may be a single layer, or the light emitting layer may be divided into a first light emitting layer, a second light emitting layer, a third light emitting layer, and the like. Furthermore, each layer may be divided into a plurality of secondary layers.

[陽極]
陽極は、通常、有機化合物層に正孔を供給する電極としての機能を有していればよく、その形状、構造、大きさ等については特に制限はなく、発光素子の用途、目的に応じて、公知の電極材料の中から適宜選択することができる。陽極は、通常、透明陽極として設けられる。透明陽極については、沢田豊監修「透明電極膜の新展開」シーエムシー刊(1999)に詳述がある。基板として耐熱性の低いプラスチック基材を用いる場合は、ITOまたはIZO等の透明な導電性材料を使用し、150℃以下の低温で成膜した透明陽極が好ましい。
[anode]
The anode usually has a function as an electrode for supplying holes to the organic compound layer, and there is no particular limitation on the shape, structure, size, etc., depending on the use and purpose of the light-emitting element. , Can be appropriately selected from known electrode materials. The anode is usually provided as a transparent anode. The transparent anode is described in detail in Yutaka Sawada's “New Development of Transparent Electrode Film” published by CMC (1999). When using a plastic substrate having low heat resistance as the substrate, a transparent anode formed using a transparent conductive material such as ITO or IZO at a low temperature of 150 ° C. or lower is preferable.

[陰極]
陰極は、通常、有機化合物層に電子を注入する電極としての機能を有していればよく、その形状、構造、大きさ等については特に制限はなく、発光素子の用途、目的に応じて、公知の電極材料の中から適宜選択することができる。
[cathode]
The cathode usually only has to have a function as an electrode for injecting electrons into the organic compound layer, and there is no particular limitation on the shape, structure, size, etc. It can select suitably from well-known electrode materials.

陰極を構成する材料としては、例えば、金属、合金、金属酸化物、電気伝導性化合物、これらの混合物などが挙げられる。具体例としては2属金属(たとえばMg、Ca等)、金、銀、鉛、アルミニウム、リチウム−アルミニウム合金、マグネシウム−銀合金、インジウム、イッテルビウム等の希土類金属などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいが、安定性と電子注入性とを両立させる観点からは、2種以上を好適に併用することができる。   Examples of the material constituting the cathode include metals, alloys, metal oxides, electrically conductive compounds, and mixtures thereof. Specific examples include Group 2 metals (eg, Mg, Ca, etc.), gold, silver, lead, aluminum, lithium-aluminum alloys, magnesium-silver alloys, rare earth metals such as indium, ytterbium, and the like. These may be used alone, but two or more can be suitably used in combination from the viewpoint of achieving both stability and electron injection.

これらの中でも、陰極を構成する材料としては、アルミニウムを主体とする材料が好ましい。アルミニウムを主体とする材料とは、アルミニウム単独、アルミニウムと0.01〜10質量%のアルカリ金属または2属金属との合金(例えば、リチウム−アルミニウム合金、マグネシウム−アルミニウム合金など)をいう。なお、陰極の材料については、特開平2−15595号公報、特開平5−121172号公報に詳述されている。また、陰極と有機化合物層との間に、アルカリ金属または2属金属のフッ化物、酸化物等による誘電体層を0.1〜5nmの厚みで挿入してもよい。この誘電体層は、一種の電子注入層と見ることもできる。   Among these, as a material constituting the cathode, a material mainly composed of aluminum is preferable. The material mainly composed of aluminum refers to aluminum alone or an alloy of aluminum and 0.01 to 10% by mass of an alkali metal or a Group 2 metal (for example, lithium-aluminum alloy, magnesium-aluminum alloy, etc.). The cathode material is described in detail in JP-A-2-15595 and JP-A-5-121172. Moreover, you may insert the dielectric material layer by the thickness of 0.1-5 nm between the cathode and the organic compound layer by the fluoride, oxide, etc. of an alkali metal or 2 group metals. This dielectric layer can also be regarded as a kind of electron injection layer.

陰極の厚みは、陰極を構成する材料により適宜選択することができる。通常10nm〜5μm程度であり、50nm〜1μmが好ましい。また、陰極は、透明であってもよいし、不透明であってもよい。なお、透明な陰極は、陰極の材料を1〜10nmの厚さに薄く成膜し、さらにITOやIZO等の透明な導電性材料を積層することにより形成すること
ができる。
The thickness of the cathode can be appropriately selected depending on the material constituting the cathode. Usually, it is about 10 nm-5 micrometers, and 50 nm-1 micrometer are preferable. Further, the cathode may be transparent or opaque. The transparent cathode can be formed by depositing a thin cathode material to a thickness of 1 to 10 nm and further laminating a transparent conductive material such as ITO or IZO.

[発光層]
有機EL素子は、発光層を含む少なくとも一層の有機化合物層を有しており、発光層以外の有機化合物層としては、上記した通り、正孔輸送層、電子輸送層、電荷ブロック層、正孔注入層、電子注入層等が挙げられる。
[Light emitting layer]
The organic EL element has at least one organic compound layer including a light emitting layer. As the organic compound layer other than the light emitting layer, as described above, a hole transport layer, an electron transport layer, a charge block layer, a hole Examples thereof include an injection layer and an electron injection layer.

発光層は、電界印加時に、陽極、正孔注入層、または正孔輸送層から正孔を受け取り、陰極、電子注入層、または電子輸送層から電子を受け取り、正孔と電子との再結合の場を提供して発光させる機能を有する層である。発光層は、発光材料のみで構成されていてもよく、ホスト材料と発光材料の混合層とした構成でもよい。発光材料は蛍光発光材料でも燐光発光材料であってもよく、1種であっても2種以上であってもよい。ホスト材料は電荷輸送材料であることが好ましい。ホスト材料は1種であっても2種以上であってもよく、例えば、電子輸送性のホスト材料とホール輸送性のホスト材料とを混合した構成が挙げられる。さらに、発光層中に電荷輸送性を有さず、発光しない材料を含んでいてもよい。また、発光層は1層であっても2層以上であってもよく、それぞれの層が異なる発光色で発光してもよい。   The light-emitting layer receives holes from the anode, the hole injection layer, or the hole transport layer and receives electrons from the cathode, the electron injection layer, or the electron transport layer when an electric field is applied, and recombines holes and electrons. It is a layer having a function of providing a field to emit light. The light emitting layer may be composed of only the light emitting material, or may be a mixed layer of the host material and the light emitting material. The light emitting material may be a fluorescent light emitting material or a phosphorescent light emitting material, and may be one type or two or more types. The host material is preferably a charge transport material. The host material may be one kind or two or more kinds, and examples thereof include a configuration in which an electron transporting host material and a hole transporting host material are mixed. Furthermore, the light emitting layer may include a material that does not have charge transporting properties and does not emit light. Further, the light emitting layer may be a single layer or two or more layers, and each layer may emit light in different emission colors.

前記蛍光発光材料の例としては、例えば、ベンゾオキサゾール誘導体、ベンゾイミダゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、スチリルベンゼン誘導体、ポリフェニル誘導体、ジフェニルブタジエン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体、ナフタルイミド誘導体、クマリン誘導体、縮合芳香族化合物、ペリノン誘導体、オキサジアゾール誘導体、オキサジン誘導体、アルダジン誘導体、ピラリジン誘導体、シクロペンタジエン誘導体、ビススチリルアントラセン誘導体、キナクリドン誘導体、ピロロピリジン誘導体、チアジアゾロピリジン誘導体、シクロペンタジエン誘導体、スチリルアミン誘導体、ジケトピロロピロール誘導体、芳香族ジメチリディン化合物、8−キノリノール誘導体の金属錯体やピロメテン誘導体の金属錯体に代表される各種金属錯体等、ポリチオフェン、ポリフェニレン、ポリフェニレンビニレン等のポリマー化合物、有機シラン誘導体などの化合物等が挙げられる。   Examples of the fluorescent light-emitting material include, for example, benzoxazole derivatives, benzimidazole derivatives, benzothiazole derivatives, styrylbenzene derivatives, polyphenyl derivatives, diphenylbutadiene derivatives, tetraphenylbutadiene derivatives, naphthalimide derivatives, coumarin derivatives, condensed aromatics. Compound, perinone derivative, oxadiazole derivative, oxazine derivative, aldazine derivative, pyralidine derivative, cyclopentadiene derivative, bisstyrylanthracene derivative, quinacridone derivative, pyrrolopyridine derivative, thiadiazolopyridine derivative, cyclopentadiene derivative, styrylamine derivative, di Typical examples include ketopyrrolopyrrole derivatives, aromatic dimethylidin compounds, metal complexes of 8-quinolinol derivatives and metal complexes of pyromethene derivatives. Various metal complexes are, polythiophene, polyphenylene, polyphenylene vinylene polymer compounds include compounds such as organic silane derivatives.

前記燐光発光材料は、例えば、遷移金属原子またはランタノイド原子を含む錯体が挙げられる。前記遷移金属原子としては、特に限定されないが、好ましくは、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、タングステン、レニウム、オスミウム、イリジウム、および白金が挙げられ、より好ましくは、レニウム、イリジウム、および白金である。前記ランタノイド原子としては、ランタン、セリウム、プラセオジム、ネオジム、サマリウム、ユーロピウム、ガドリニウム、テルビウム、ジスプロシウム、ホルミウム、エルビウム、ツリウム、イッテルビウム、ルテシウムが挙げられる。これらのランタノイド原子の中でも、ネオジム、ユーロピウム、およびガドリニウムが好ましい。   Examples of the phosphorescent material include a complex containing a transition metal atom or a lanthanoid atom. Although it does not specifically limit as said transition metal atom, Preferably, ruthenium, rhodium, palladium, tungsten, rhenium, osmium, iridium, and platinum are mentioned, More preferably, they are rhenium, iridium, and platinum. Examples of the lanthanoid atom include lanthanum, cerium, praseodymium, neodymium, samarium, europium, gadolinium, terbium, dysprosium, holmium, erbium, thulium, ytterbium, and lutetium. Among these lanthanoid atoms, neodymium, europium, and gadolinium are preferable.

錯体の配位子としては、例えば、「Comprehensive Coordination Chemistry」(Pergamon Press社、1987年発行、G.Wilkinson等著)、「Photochemistry and Photophysicsof Coordination Compounds」(Springer−Verlag社、1987年発行、H.Yersin著)、
「有機金属化学−基礎と応用−」(裳華房社、1982年発行、山本明夫著)等に記載の配位子などが挙げられる。
Examples of the ligand of the complex include “Comprehensive Coordination Chemistry” (Pergamon Press, published in 1987, G. Wilkinson et al.), “Photochemistry and Photophysics of Coordination Compounds” (Springer-Verlag, published in 1987, H. By Yersin),
“Organometallic Chemistry-Fundamentals and Applications” (Takahafusa, published in 1982, Akio Yamamoto) and the like.

また、発光層に含有されるホスト材料としては、例えば、カルバゾール骨格を有するもの、ジアリールアミン骨格を有するもの、ピリジン骨格を有するもの、ピラジン骨格を有するもの、トリアジン骨格を有するものおよびアリールシラン骨格を有するものや、後述の正孔注入層、正孔輸送層、電子注入層、電子輸送層の項で例示されている材料が挙げられる。   Examples of the host material contained in the light emitting layer include those having a carbazole skeleton, those having a diarylamine skeleton, those having a pyridine skeleton, those having a pyrazine skeleton, those having a triazine skeleton, and those having an arylsilane skeleton. And materials exemplified in the sections of a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, and an electron transport layer described later.

[正孔注入層、正孔輸送層]
正孔注入層、正孔輸送層は、陽極または陽極側から正孔を受け取り陰極側に輸送する機能を有する層である。正孔注入層、正孔輸送層は、具体的には、カルバゾール誘導体、トリアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン化合物、芳香族ジメチリディン系化合物、ポルフィリン系化合物、有機シラン誘導体、カーボン、等を含有する層であることが好ましい。
[Hole injection layer, hole transport layer]
The hole injection layer and the hole transport layer are layers having a function of receiving holes from the anode or the anode side and transporting them to the cathode side. Specifically, the hole injection layer and the hole transport layer are carbazole derivatives, triazole derivatives, oxazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives, pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamines. Derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, stilbene derivatives, silazane derivatives, aromatic tertiary amine compounds, styrylamine compounds, aromatic dimethylidin compounds, porphyrin compounds, organosilane derivatives, carbon , Etc. are preferable.

[電子注入層、電子輸送層]
電子注入層、電子輸送層は、陰極または陰極側から電子を受け取り陽極側に輸送する機能を有する層である。電子注入層、電子輸送層は、具体的には、トリアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、フルオレノン誘導体、アントラキノジメタン誘導体、アントロン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、カルボジイミド誘導体、フルオレニリデンメタン誘導体、ジスチリルピラジン誘導体、ナフタレン、ペリレン等の芳香環テトラカルボン酸無水物、フタロシアニン誘導体、8−キノリノール誘導体の金属錯体やメタルフタロシアニン、ベンゾオキサゾールやベンゾチアゾールを配位子とする金属錯体に代表される各種金属錯体、有機シラン誘導体、等を含有する層であることが好ましい。
[Electron injection layer, electron transport layer]
The electron injection layer and the electron transport layer are layers having a function of receiving electrons from the cathode or the cathode side and transporting them to the anode side. Specifically, the electron injection layer and the electron transport layer are triazole derivatives, oxazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, fluorenone derivatives, anthraquinodimethane derivatives, anthrone derivatives, diphenylquinone derivatives, thiopyran dioxide derivatives, Carbodiimide derivatives, fluorenylidenemethane derivatives, distyrylpyrazine derivatives, aromatic tetracarboxylic anhydrides such as naphthalene and perylene, phthalocyanine derivatives, metal complexes of 8-quinolinol derivatives, metal phthalocyanines, benzoxazoles and benzothiazoles as ligands It is preferably a layer containing various metal complexes typified by metal complexes, organosilane derivatives, and the like.

[正孔ブロック層]
正孔ブロック層は、陽極側から発光層に輸送された正孔が、陰極側に通りぬけることを防止する機能を有する層である。発光層と陰極側で隣接する有機化合物層として、正孔ブロック層を設けることができる。また、電子輸送層・電子注入層が正孔ブロック層の機能を兼ねていてもよい。正孔ブロック層を構成する有機化合物の例としては、BAlq等のアルミニウム錯体、トリアゾール誘導体、BCP等のフェナントロリン誘導体、等が挙げられる。また、陰極側から発光層に輸送された電子が陽極側に通りぬけることを防止する機能を有する層を、発光層と陽極側で隣接する位置に設けることもできる。正孔輸送層・正孔注入層がこの機能を兼ねていてもよい。
[Hole blocking layer]
The hole blocking layer is a layer having a function of preventing holes transported from the anode side to the light emitting layer from passing through to the cathode side. As the organic compound layer adjacent to the light emitting layer on the cathode side, a hole blocking layer can be provided. In addition, the electron transport layer / electron injection layer may also function as a hole blocking layer. Examples of the organic compound constituting the hole blocking layer include aluminum complexes such as BAlq, triazole derivatives, phenanthroline derivatives such as BCP, and the like. In addition, a layer having a function of preventing electrons transported from the cathode side to the light emitting layer from passing through to the anode side can be provided at a position adjacent to the light emitting layer on the anode side. The hole transport layer / hole injection layer may also serve this function.

[有機EL素子の製造方法]
本実施形態に係る積層体を、このような有機EL素子形成時の基板として用いるには、公知の方法によればよく、例えば、枚葉形態によるバッチ加工を挙げることができる。
[Method of manufacturing organic EL element]
In order to use the laminated body according to the present embodiment as a substrate for forming such an organic EL element, a known method may be used.

[有機EL素子の用途]
該有機EL素子は、例えば、有機ELモジュールとして用いることができる。その型式や構造に特に制限はないが、例えば、基板上の正孔輸送層、発光層、正孔注入層等の積層方向と交叉方向(通常は直交方向)に、複数個を並列配置させることができる。
[Uses of organic EL elements]
The organic EL element can be used as an organic EL module, for example. There are no particular restrictions on the type or structure, but for example, a plurality of holes may be arranged in parallel in the crossing direction (usually the orthogonal direction) of the hole transport layer, light emitting layer, hole injection layer, etc. Can do.

また、該有機EL素子は、有機EL表示装置や有機EL照明として用いることもできる。有機EL表示装置、有機EL照明の型式や構造については特に制限はなく、常法に従って組み立てることができる。
有機EL表示装置であれば、例えば、「有機ELディスプレイ」(オーム社、平成16年8月20日発行、時任静士、安達千波矢、村田英幸著)に記載されているような方法で、該有機EL素子を用いた有機EL表示装置を形成することができる。
The organic EL element can also be used as an organic EL display device or organic EL illumination. There is no restriction | limiting in particular about the type and structure of an organic electroluminescent display apparatus and organic electroluminescent illumination, It can assemble according to a conventional method.
If it is an organic EL display device, for example, it is a method as described in “Organic EL display” (Ohm Co., Ltd., issued on August 20, 2004, Shizushi Tokito, Chiba Adachi, Hideyuki Murata) An organic EL display device using the organic EL element can be formed.

(有機光電変換素子)
本実施形態に係る積層体を、作成時の基板として用いることで得られる有機光電変換素子である。
(Organic photoelectric conversion element)
It is an organic photoelectric conversion element obtained by using the laminated body which concerns on this embodiment as a board | substrate at the time of preparation.

本実施形態に係る積層体は、強度が高く、ハンドリング性に優れ、且つ、電子デバイスの形成工程においても樹脂/ガラス複合体が剥離しないため、有機光電変換素子形成時の基板として好適に用いることができる。素子形成後、支持板を剥離することで、表面に有機光電変換素子が形成された樹脂/ガラス複合体を得ることができる。   The laminate according to the present embodiment has high strength, excellent handling properties, and the resin / glass composite does not peel off even in the formation process of the electronic device. Therefore, the laminate is preferably used as a substrate when forming an organic photoelectric conversion element. Can do. After the element formation, the support plate is peeled to obtain a resin / glass composite having an organic photoelectric conversion element formed on the surface.

有機光電変換素子は、基本的な構成として、少なくとも一方が透明または半透明である一対の電極と、これら一対の電極間に配置される、バルクヘテロ接合型の場合には有機薄膜からなる1層の活性層、またはヘテロ接合型の場合には有機薄膜からなる2層の活性層を含む積層構造とを備えている。   The organic photoelectric conversion element is basically composed of a pair of electrodes, at least one of which is transparent or translucent, and a single layer composed of an organic thin film in the case of a bulk heterojunction type disposed between the pair of electrodes. In the case of a heterojunction type, it has a laminated structure including two active layers made of an organic thin film.

有機光電変換素子を構成する、電極、活性層、及び他の構成要素については、公知の材料から適宜選択し、公知の製造方法により有機光電変換素子を形成することができる。   About an electrode, an active layer, and another component which comprise an organic photoelectric conversion element, it selects from a well-known material suitably, and can form an organic photoelectric conversion element with a well-known manufacturing method.

[有機光電変換素子の用途]
該有機光電変換素子は、例えば、有機太陽電池モジュールとして用いることができる。有機太陽電池モジュールの型式や構造については特に制限はなく、常法に従って組み立てることができる。
[Uses of organic photoelectric conversion elements]
This organic photoelectric conversion element can be used as an organic solar cell module, for example. There is no restriction | limiting in particular about the model and structure of an organic solar cell module, It can assemble according to a conventional method.

<用語の説明>
本明細書において「X以上」(Xは任意の数字)或いは「Y以下」(Yは任意の数字)と表現した場合、「Xより大きいことが好ましい」或いは「Y未満であることが好ましい」旨の意図も包含する。
<Explanation of terms>
In this specification, when expressed as “X or more” (X is an arbitrary number) or “Y or less” (Y is an arbitrary number), “preferably greater than X” or “preferably less than Y”. The intention of the effect is also included.

以下、実施例によって本発明をさらに詳細に説明するが、本発明が以下の実施例に記載に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to description to a following example.

<評価>
(樹脂層の引張弾性率および引張破断伸度)
実施例および比較例で得られた樹脂層を構成する樹脂組成物について、JIS−K−7127−1に準拠した引張強度試験にて、23℃での引張弾性率および引張破断伸度を測定し、樹脂層の引張弾性率および引張破断伸度とした。
<Evaluation>
(Tensile elastic modulus and tensile elongation at break of resin layer)
About the resin composition which comprises the resin layer obtained by the Example and the comparative example, the tensile elasticity modulus and tensile breaking elongation in 23 degreeC were measured in the tensile strength test based on JIS-K-7127-1. The tensile elastic modulus and tensile elongation at break of the resin layer were used.

(樹脂層及び接着層の耐熱性)
実施例および比較例で得られた樹脂層及び接着層を構成する樹脂組成物について、5%重量減少温度は以下のとおり測定した。
RIGAKU製Thermo plus TG8120を用いて、窒素50mL/mi
n雰囲気下、昇温速度20℃/minにおける樹脂層及び接着層を構成する樹脂組成物について熱減量を測定し、熱減量が測定前サンプル重量の5%となる温度を樹脂層及び接着層の5%重量減少温度とした。
(Heat resistance of resin layer and adhesive layer)
About the resin composition which comprises the resin layer and adhesive layer which were obtained in the Example and the comparative example, 5% weight reduction | decrease temperature was measured as follows.
Using RIGAKU Thermo plus TG8120, nitrogen 50 mL / mi
In a n atmosphere, the heat loss was measured for the resin composition constituting the resin layer and the adhesive layer at a heating rate of 20 ° C./min, and the temperature at which the heat loss became 5% of the sample weight before measurement was measured for the resin layer and the adhesive layer. The 5% weight loss temperature was set.

(洗浄試験および加熱処理試験)
実施例および比較例で得られた積層体について、電子デバイスの形成工程における基板洗浄工程及び加熱処理工程を想定し、60℃に加熱した湯浴中で、超音波を出力8.9W/Lにて3分間照射し、取り出して水分を除去した後、真空乾燥機を用いて200℃真空下で60分加熱した後、常温まで冷却し、積層体の外観を観察した。
支持板と樹脂層の界面で剥離が発生した場合は「×」、剥離が発生していない場合は「
○」とした。
(Cleaning test and heat treatment test)
For the laminates obtained in the examples and comparative examples, an ultrasonic wave is output to 8.9 W / L in a hot water bath heated to 60 ° C., assuming a substrate cleaning step and a heat treatment step in the electronic device formation step. Then, after removing the water by removing it for 3 minutes, it was heated for 60 minutes at 200 ° C. under vacuum using a vacuum dryer, then cooled to room temperature, and the appearance of the laminate was observed.
When peeling occurs at the interface between the support plate and the resin layer, “X” is indicated. When no peeling occurs, “
○ ”.

(洗浄試験および加熱処理試験後の剥離性評価)
実施例で得られた積層体について、上記洗浄試験及び加熱処理試験を行った後、薄板ガラス及び樹脂層、又は樹脂層のみを切断し、薄板ガラス積層体の剥離性を評価した。
支持板と樹脂層の界面で剥離できた場合は「○」、剥離できない場合は「×」とした。
(Peelability evaluation after cleaning test and heat treatment test)
About the laminated body obtained by the Example, after performing the said washing | cleaning test and heat processing test, only the thin glass and the resin layer, or the resin layer was cut | disconnected, and the peelability of the thin glass laminated body was evaluated.
When it was able to peel at the interface of a support plate and a resin layer, it was set as "(circle)", and when it was not able to peel, it was set as "*".

(洗浄試験及び加熱処理試験後の薄板ガラスと樹脂層の密着性評価)
実施例で得られた積層体について、上記洗浄試験及び加熱処理試験を行った後、支持板を剥離し、得られた薄板ガラス積層体の樹脂面に対してJIS DO202−1988に準拠して碁盤目テープ剥離試験を行い、薄板ガラスと樹脂層の密着性を評価した。樹脂層が剥離しない場合を100/100、完全に剥離する場合を0/100とした。
(Adhesion evaluation of thin glass and resin layer after washing test and heat treatment test)
About the laminated body obtained by the Example, after performing the said washing | cleaning test and heat processing test, a support plate is peeled, and it is based on JIS DO202-1988 with respect to the resin surface of the obtained thin glass laminated body. An eye tape peeling test was conducted to evaluate the adhesion between the thin glass and the resin layer. The case where the resin layer did not peel was 100/100, and the case where it completely peeled was 0/100.

(剥離強度評価)
剥離強度評価については、JIS K 6854−1に準拠した90度剥離による剥離強度を測定した。但し、薄板ガラスを積層させた状態で測定すると90度に屈曲した段階で薄板ガラスが折れてしまうため、以下のような代替評価を行った。
樹脂層上に、薄板ガラス、及び薄板ガラスと樹脂層間の接着層を形成しない以外は、各実施例及び比較例における易剥離部分、密着部分と同様の構成を有する試験片(幅25mm)を、別々に作成した。
上記試験片について、支持板から樹脂層を90度剥離することで、剥離強度を測定し、易剥離部分及び密着部分の剥離強度とした。測定は23℃、剥離速度50mm/分の条件で行った。
なお、90度剥離試験中に樹脂層が破断した場合は、樹脂層が破断するまでの最大荷重を読み取り、幅25mmで除した値を剥離強度とした。
(Peel strength evaluation)
For peel strength evaluation, the peel strength by 90-degree peel according to JIS K 6854-1 was measured. However, since the thin glass breaks when bent at 90 degrees when measured in a state where the thin glass is laminated, the following alternative evaluation was performed.
On the resin layer, a test piece (25 mm in width) having the same configuration as the easily peelable portion and the close contact portion in each Example and Comparative Example, except that the thin glass and the adhesive layer between the thin glass and the resin layer are not formed. Created separately.
About the said test piece, peeling strength was measured by peeling the resin layer 90 degree | times from a support plate, and it was set as peeling strength of an easily peelable part and an adhesion part. The measurement was performed under the conditions of 23 ° C. and a peeling rate of 50 mm / min.
When the resin layer broke during the 90-degree peel test, the maximum load until the resin layer broke was read, and the value divided by the width of 25 mm was taken as the peel strength.

[実施例1]
支持板として、無アルカリホウケイ酸ガラスからなるガラス板(板厚0.2mm、旭硝子株式会社製、商品名「AN100」)15cm角を用い、その上にマスキングフィルムを用いて、フッ素系樹脂を含む離型剤(ダイキン工業株式会社製、商品名「ダイフリー GA−3000」)を、支持板の各辺から1cm内側、すなわち13cm角の範囲に均一に噴霧した。その後、マスキングフィルムを剥がし200℃に設定したオーブン中で30分加熱させ、室温まで放冷させることで離型層を得た。
その後、接着層として紫外線及び熱硬化性エポキシ系樹脂(株式会社ADEKA社製、商品名「アデカオプトマー KRX−690−5」)を支持板の全面に、硬化後の厚みが5μmになるよう塗布し、更に樹脂層として、ポリエーテルエーテルケトンフィルム(三菱樹脂株式会社製、商品名「SUPERIO PK」、厚み:6μm サイズ15cm角)を支持板全面に気泡の無いように被せた。さらに支持板側から高圧水銀ランプ(160W/cm)を照射し、これらを150℃のオーブン中で60分間加熱し接着層を硬化させた。しかる後、樹脂層と薄板ガラスの接着層として再度紫外線及び熱硬化性エポキシ系樹脂(株式会社ADEKA社製、商品名「アデカオプトマー KRX−690−5」)を樹脂層上の全面に、硬化後の厚みが5μmになるよう塗布し、更に薄板ガラス(日本電気硝子株式会社製、商品名「OA−10G」、厚み:50μm サイズ10cm角)を支持板中央に気泡の無いように被せた。さらに薄板ガラス側から高圧水銀ランプ(160W/cm)を照射した後、これらを150℃のオーブン中で60分間加熱し硬化させることで、積層体を得た。
なお、樹脂層の23℃における引張弾性率は2.4GPa、引張破断伸度は120%であった。
得られた積層体について、各評価を実施した。結果は表1に示す。
なお、密着部分の剥離強度評価においては、樹脂層と支持板との接着性が高いために剥離
できず、樹脂層が破断した。樹脂層が破断するまでの最大荷重は、1.2Nであり、剥離強度1.2N/25mmとした。
[Example 1]
As a support plate, a glass plate (plate thickness 0.2 mm, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., trade name “AN100”) made of alkali-free borosilicate glass is used, and a masking film is used on the glass plate, and a fluorine-based resin is included. A release agent (trade name “Daifree GA-3000”, manufactured by Daikin Industries, Ltd.) was sprayed uniformly 1 cm inside from each side of the support plate, that is, 13 cm square. Thereafter, the masking film was peeled off, heated in an oven set at 200 ° C. for 30 minutes, and allowed to cool to room temperature to obtain a release layer.
Thereafter, UV and thermosetting epoxy resin (trade name “ADEKA OPTOMER KRX-690-5” manufactured by ADEKA Co., Ltd.) was applied to the entire surface of the support plate as the adhesive layer so that the thickness after curing was 5 μm. Further, as a resin layer, a polyether ether ketone film (trade name “SUPERIO PK”, manufactured by Mitsubishi Plastics Co., Ltd., thickness: 6 μm, size 15 cm square) was covered on the entire surface of the support plate so as to be free of bubbles. Further, a high-pressure mercury lamp (160 W / cm) was irradiated from the support plate side, and these were heated in an oven at 150 ° C. for 60 minutes to cure the adhesive layer. After that, UV and thermosetting epoxy resin (made by ADEKA Co., Ltd., trade name “ADEKA OPTMER KRX-690-5”) is cured on the entire surface of the resin layer as an adhesive layer between the resin layer and the thin glass. The coating was applied so that the subsequent thickness was 5 μm, and a thin plate glass (manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., trade name “OA-10G”, thickness: 50 μm, size 10 cm square) was put on the center of the support plate so as not to have bubbles. Furthermore, after irradiating a high pressure mercury lamp (160 W / cm) from the thin glass side, these were heated and cured in an oven at 150 ° C. for 60 minutes to obtain a laminate.
The resin layer had a tensile elastic modulus at 23 ° C. of 2.4 GPa and a tensile elongation at break of 120%.
Each evaluation was implemented about the obtained laminated body. The results are shown in Table 1.
In the peel strength evaluation of the close contact portion, the resin layer was broken because the adhesiveness between the resin layer and the support plate was high, and the resin layer was broken. The maximum load until the resin layer broke was 1.2 N, and the peel strength was 1.2 N / 25 mm.

洗浄試験および加熱処理試験後の剥離性評価にあたっては、UVレーザーシステム(タカノ株式会社製 UV LAZER SYSTEM 『UVTS』)を用いて、出力150mW、パルス周波数10KHz、電流値63%、走査速度20mm/s、ショット回数60回の条件で、薄板ガラスの各辺から0.5cm内側四方に対して薄板ガラス、接着層、樹脂層及び接着層の切断処理を行った後、フェザー刃を用いて剥離のきっかけをつくり、支持板から樹脂/ガラス複合体を慎重に剥離させた。
本実施例にて接着層として用いた紫外線及び熱硬化性樹脂の硬化物の5%重量減少温度は370℃、樹脂層の5%重量減少温度は550℃であった。
In the evaluation of peelability after the cleaning test and the heat treatment test, an output of 150 mW, a pulse frequency of 10 KHz, a current value of 63%, and a scanning speed of 20 mm / s using a UV laser system (Takano Co., Ltd., UV LASER SYSTEM “UVTS”). , After cutting the thin glass, the adhesive layer, the resin layer, and the adhesive layer on the inner side of 0.5 cm from each side of the thin glass under the condition of 60 shots, the peeling trigger using the feather blade The resin / glass composite was carefully peeled from the support plate.
The 5% weight reduction temperature of the cured product of ultraviolet and thermosetting resin used as the adhesive layer in this example was 370 ° C., and the 5% weight reduction temperature of the resin layer was 550 ° C.

[実施例2]
実施例1と同様の支持板を用い、その上にマスキングフィルムを用いて、離型剤として界面活性剤(トリクロサン、水、ラウレス硫酸ナトリウム、ラウリルエーテル、POEラウリルエーテル酢酸、濃グリセリン、ラウリン酸ポリグリセリル、塩化トリメチルアンモニオヒドロキシプロピルヒドロキシエチルセルロース、DL−リンゴ酸、安息香酸塩、エデト酸塩、水酸化ナトリウム液等混合溶液 花王株式会社製、商品名「ビオレu 泡ハン
ドソープ」)を、支持板各辺から1.5cm内側、すなわち12cm角の範囲に均一に塗布し、1分間静置後、エアーガンを用いて余剰の離型剤を除去した。その後、80℃に設定したオーブン中で1分加熱させ、常温まで放冷させた後マスキングフィルムを剥がすことで離型層を得た。
次に、熱硬化性シリコーンゴム(モメンティブ社製、商品名「LSR−7090A」及び「LSR−7090B」を等量混合した熱硬化性組成物)を、支持板と同じサイズ15cm角、硬化後の厚みが5μmとなるよう塗布し、更に樹脂層として、ポリエーテルエーテルケトンフィルム(三菱樹脂株式会社製、商品名「SUPERIO PK」、厚み:6μm サイズ15cm角)を支持板全面に気泡の無いように被せた。これらを150℃のオーブン中で60分間加熱し、熱硬化性シリコーンゴムを硬化させることで接着層を形成した。その後、上記と同じ熱硬化性シリコーンゴムを、支持板と同じサイズ15cm角、硬化後の厚みが5μmとなるよう塗布し、更に薄板ガラス(日本電気硝子株式会社製、商品名「OA−10G」、厚み:50μm サイズ10cm角)を気泡の無いように被せた。これらを150℃のオーブン中で60分間加熱し、熱硬化性シリコーンゴムを硬化させることで接着層を形成し、積層体を得た。
得られた積層体について、各評価を実施した。結果は表1に示す。
[Example 2]
Using the same support plate as in Example 1, using a masking film thereon, a surfactant (triclosan, water, sodium laureth sulfate, lauryl ether, POE lauryl ether acetic acid, concentrated glycerin, polyglyceryl laurate) as a release agent , Trimethylammoniohydroxypropylhydroxyethylcellulose chloride, DL-malic acid, benzoate, edetate, sodium hydroxide solution, etc. mixed solution made by Kao Corporation, trade name “Biore u Foam Hand Soap”) It was uniformly applied 1.5 cm inside from the side, that is, in a range of 12 cm square, left to stand for 1 minute, and then the excess release agent was removed using an air gun. Then, it was heated in an oven set at 80 ° C. for 1 minute, allowed to cool to room temperature, and then the masking film was peeled off to obtain a release layer.
Next, a thermosetting silicone rubber (manufactured by Momentive Co., Ltd., a thermosetting composition in which trade names “LSR-7090A” and “LSR-7090B” are mixed in an equal amount), the same size as the support plate, 15 cm square, Apply the coating to a thickness of 5 μm, and then apply a polyether ether ketone film (trade name “SUPERIO PK”, thickness: 6 μm, size 15 cm square, manufactured by Mitsubishi Plastics, Inc.) as a resin layer so that there are no bubbles on the entire surface of the support plate. I covered it. These were heated in an oven at 150 ° C. for 60 minutes to cure the thermosetting silicone rubber, thereby forming an adhesive layer. Thereafter, the same thermosetting silicone rubber as described above was applied to the same size of 15 cm square as the support plate and the thickness after curing was 5 μm, and further thin glass (made by Nippon Electric Glass Co., Ltd., trade name “OA-10G”) , Thickness: 50 μm, size 10 cm square) so as to be free of bubbles. These were heated in an oven at 150 ° C. for 60 minutes to cure the thermosetting silicone rubber, thereby forming an adhesive layer to obtain a laminate.
Each evaluation was implemented about the obtained laminated body. The results are shown in Table 1.

洗浄試験および加熱処理試験後の剥離性評価にあたっては、NTカッターを用いて、薄板ガラス各辺から1.0mm外側四方に対して接着層、樹脂層及び接着層の切断処理を行った後、フェザー刃を用いて剥離のきっかけをつくり、支持板から樹脂/ガラス複合体を慎重に剥離させた。
本実施例で用いた熱硬化性シリコーンゴムの硬化物の5%重量減少温度は375℃であった。
In the evaluation of peelability after the cleaning test and the heat treatment test, the NTA cutter was used to cut the adhesive layer, the resin layer, and the adhesive layer on the outer side of the 1.0 mm from each side of the thin glass, and then feather. The blade was used to create a trigger for peeling, and the resin / glass composite was carefully peeled from the support plate.
The 5% weight reduction temperature of the cured product of the thermosetting silicone rubber used in this example was 375 ° C.

[実施例3]
実施例1と同様の方法を用い、積層体を形成した後、該積層体の薄板ガラス側表面に、紫外線及び熱硬化性エポキシ系樹脂(株式会社ADEKA社製、商品名「アデカオプトマー KRX−690−5」)を薄板ガラスと同位置、同面積にて硬化後の厚みが5μmになるよう塗布し、更に塗布側から高圧水銀ランプ(160W/cm)を照射し、これらを150℃のオーブン中で60分間加熱し硬化させることで接着層と同様の樹脂を積層し、薄板ガラスの両面に樹脂が積層された複合体を有する積層体を得た。
得られた積層体について、各評価を実施した。結果は表1に示す。
洗浄試験および加熱処理試験後の剥離性評価にあたっては、実施例1と同様の方法で行った。
なお、密着部分の剥離強度評価においては、樹脂層と支持板との接着性が高いために剥離できず、樹脂層が破断した。樹脂層が破断するまでの最大荷重は、1.2Nであり、剥離強度1.2N/25mmとした。
[Example 3]
After forming a laminated body using the same method as in Example 1, ultraviolet and thermosetting epoxy resin (trade name “Adekaoptomer KRX-, manufactured by ADEKA Corporation) was formed on the surface of the thin glass side of the laminated body. 690-5 ") at the same position and in the same area as the thin glass so that the thickness after curing is 5 μm, and further irradiated with a high-pressure mercury lamp (160 W / cm) from the coating side, and these are applied to a 150 ° C. oven. The same resin as the adhesive layer was laminated by heating and curing for 60 minutes, and a laminate having a composite in which the resin was laminated on both surfaces of a thin glass plate was obtained.
Each evaluation was implemented about the obtained laminated body. The results are shown in Table 1.
In the peelability evaluation after the cleaning test and the heat treatment test, the same method as in Example 1 was performed.
In the peel strength evaluation of the close contact portion, the resin layer was broken because the adhesiveness between the resin layer and the support plate was high, and the resin layer was broken. The maximum load until the resin layer broke was 1.2 N, and the peel strength was 1.2 N / 25 mm.

[実施例4]
支持板として、無アルカリホウケイ酸ガラスからなるガラス板(板厚0.2mm、旭硝子株式会社製、商品名「AN100」)15cm角を用い、その上にマスキングフィルムを用いて、フッ素系樹脂を含む離型剤(ダイキン工業株式会社製、商品名「ダイフリー GA−3000」)を、支持板の各辺から1cm内側、すなわち13cm角の範囲に均一に噴霧した。その後、マスキングフィルムを剥がし200℃に設定したオーブン中で30分加熱させ、室温まで放冷させることで離型層を得た。
その後、接着層として紫外線及び熱硬化性エポキシ系樹脂(株式会社ADEKA社製、商品名「アデカオプトマー KRX−690−5」)を支持板の全面に、硬化後の厚みが5μmになるよう塗布し、更に樹脂層としてPENフィルム(帝人株式会社製、商品名「テオネックスQ51」、厚み:12μm、サイズ15cm角)を支持板全面に気泡の無いように被せた。さらに支持板側から高圧水銀ランプ(160W/cm)を照射し、これらを150℃のオーブン中で60分間加熱し接着層を硬化させた。しかる後、樹脂層と薄板ガラスの接着層として再度紫外線及び熱硬化性エポキシ系樹脂(株式会社ADEKA社製、商品名「アデカオプトマー KRX−690−5」)を樹脂層上の全面に、硬化後の厚みが5μmになるよう塗布し、更に薄板ガラス(日本電気硝子株式会社製、商品名「OA−10G」、厚み:50μm サイズ10cm角)を支持板中央に気泡の無いように被せた。さらに薄板ガラス側から高圧水銀ランプ(160W/cm)を照射した後、これらを150℃のオーブン中で60分間加熱し接着層を硬化させることで、積層体を得た。
なお、樹脂層の23℃における引張弾性率は、5.9GPa、引張破断伸度は85%であった。樹脂層の5%重量減少温度は350℃以上であった。
得られた積層体について、各評価を実施した。結果は表1に示す。
なお、密着部分の剥離強度評価においては、樹脂層と支持板との接着性が高いために剥離できず、樹脂層が破断した。樹脂層が破断するまでの最大荷重は、1.8Nであり、剥離強度1.8N/25mmとした。
[Example 4]
As a support plate, a glass plate (plate thickness 0.2 mm, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., trade name “AN100”) made of alkali-free borosilicate glass is used, and a masking film is used on the glass plate, and a fluorine-based resin is included. A release agent (trade name “Daifree GA-3000”, manufactured by Daikin Industries, Ltd.) was sprayed uniformly 1 cm inside from each side of the support plate, that is, 13 cm square. Thereafter, the masking film was peeled off, heated in an oven set at 200 ° C. for 30 minutes, and allowed to cool to room temperature to obtain a release layer.
Thereafter, UV and thermosetting epoxy resin (trade name “ADEKA OPTOMER KRX-690-5” manufactured by ADEKA Co., Ltd.) was applied to the entire surface of the support plate as the adhesive layer so that the thickness after curing was 5 μm. Further, a PEN film (trade name “Teonex Q51”, manufactured by Teijin Ltd., thickness: 12 μm, size 15 cm square) as a resin layer was covered on the entire surface of the support plate so as to be free of bubbles. Further, a high-pressure mercury lamp (160 W / cm) was irradiated from the support plate side, and these were heated in an oven at 150 ° C. for 60 minutes to cure the adhesive layer. After that, UV and thermosetting epoxy resin (made by ADEKA Co., Ltd., trade name “ADEKA OPTMER KRX-690-5”) is cured on the entire surface of the resin layer as an adhesive layer between the resin layer and the thin glass. The coating was applied so that the subsequent thickness was 5 μm, and a thin plate glass (manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., trade name “OA-10G”, thickness: 50 μm, size 10 cm square) was put on the center of the support plate so as not to have bubbles. Furthermore, after irradiating the high pressure mercury lamp (160 W / cm) from the thin glass side, these were heated for 60 minutes in 150 degreeC oven, and the laminated body was obtained by hardening an adhesive layer.
The tensile modulus at 23 ° C. of the resin layer was 5.9 GPa, and the tensile elongation at break was 85%. The 5% weight reduction temperature of the resin layer was 350 ° C. or higher.
Each evaluation was implemented about the obtained laminated body. The results are shown in Table 1.
In the peel strength evaluation of the close contact portion, the resin layer was broken because the adhesiveness between the resin layer and the support plate was high, and the resin layer was broken. The maximum load until the resin layer broke was 1.8 N, and the peel strength was 1.8 N / 25 mm.

[実施例5]
実施例1と同様の材料を用い、以下の方法で積層体を作成した。
樹脂層を15cm角のサイズに切り出した。樹脂層表面に離型剤を、スクリーン印刷機を用いて樹脂層中央部13cm角の範囲で塗布した。その後、樹脂層を150℃のオーブンで30分加熱させ、室温まで放冷させることで離型層付き樹脂層を得た。
その後、支持板15cm角を用い、接着層として紫外線及び熱硬化性エポキシ系樹脂を支持板の全面に、硬化後の厚みが5μmになるよう塗布し、先に準備した離型層付き樹脂層を、離型層側が支持板側に向き、且つ離型層の中心が支持板の中心と重なり、且つ気泡の無い様に被せ、さらに支持板側から高圧水銀ランプ(160W/cm)を照射し、これらを150℃のオーブン中で60分間加熱し接着層を硬化させた。しかる後、樹脂層と薄板ガラスの接着層として再度紫外線及び熱硬化性エポキシ系樹脂を樹脂層の全面に、硬化後の厚みが5μmになるよう塗布し、更に薄板ガラスを支持板中央に気泡の無いように被せ、さらに薄板ガラス側から高圧水銀ランプ(160W/cm)を照射した後、これらを150℃のオーブン中で60分間加熱し接着層を硬化させることで、積層体を得た。
得られた積層体について、各評価を実施した。結果は表1に示す。
なお、密着部分の剥離強度評価においては、樹脂層と接着層、接着層と支持板との接着性が共に高いために剥離できず、樹脂層が破断した。樹脂層が破断するまでの最大荷重は、1.2Nであり、剥離強度1.2N/25mmとした。
[Example 5]
Using the same material as in Example 1, a laminate was produced by the following method.
The resin layer was cut into a 15 cm square size. A release agent was applied to the surface of the resin layer using a screen printer in the range of 13 cm square at the center of the resin layer. Thereafter, the resin layer was heated in an oven at 150 ° C. for 30 minutes and allowed to cool to room temperature to obtain a resin layer with a release layer.
Then, using a 15 cm square support plate, UV and thermosetting epoxy resin as an adhesive layer was applied to the entire surface of the support plate so that the thickness after curing was 5 μm, and the resin layer with a release layer prepared earlier was The release layer side is directed to the support plate side, the center of the release layer is overlapped with the center of the support plate and covered with no bubbles, and further irradiated with a high-pressure mercury lamp (160 W / cm) from the support plate side, These were heated in an oven at 150 ° C. for 60 minutes to cure the adhesive layer. Thereafter, UV and thermosetting epoxy resin is again applied to the entire surface of the resin layer as an adhesive layer between the resin layer and the thin glass so that the thickness after curing is 5 μm. Then, after irradiating a high-pressure mercury lamp (160 W / cm) from the thin glass side, these were heated in an oven at 150 ° C. for 60 minutes to cure the adhesive layer, thereby obtaining a laminate.
Each evaluation was implemented about the obtained laminated body. The results are shown in Table 1.
In the evaluation of the peel strength at the close contact portion, the resin layer and the adhesive layer, and the adhesive layer and the support plate were both highly adhesive, so that the resin layer was broken. The maximum load until the resin layer broke was 1.2 N, and the peel strength was 1.2 N / 25 mm.

洗浄試験および加熱処理試験後の剥離性評価にあたっては、実施例1と同様の方法で、薄板ガラスの各辺から0.5cm内側四方に対して薄板ガラス、接着層、樹脂層及び接着層の切断処理を行った後、フェザー刃を用いて剥離のきっかけをつくり、支持板から樹脂/ガラス複合体を慎重に剥離させた。   In the peelability evaluation after the cleaning test and the heat treatment test, the thin glass, the adhesive layer, the resin layer, and the adhesive layer were cut from the sides of the thin glass to the inner side of 0.5 cm by the same method as in Example 1. After the treatment, a peeling edge was created using a feather blade, and the resin / glass composite was carefully peeled from the support plate.

[実施例6]
支持板として、無アルカリホウケイ酸ガラスからなるガラス板(板厚0.2mm、旭硝子株式会社製、商品名「AN100」)15cm角を用い、そのうち中央部14cmを、アルミ板を用いてマスキングした後、オゾン洗浄装置(セン特殊光源株式会社製 PHOTO SURFACE PROCESSOR 型式「PM908N−5」)を用い、照射
時間200秒の条件で、支持板の端部のみに接着処理を行った。
その後、接着層として紫外線及び熱硬化性エポキシ系樹脂(株式会社ADEKA社製、商品名「アデカオプトマー KRX−690−5」)99.7%、フッ素系内部離型添加剤(ダイキン工業株式会社製 商品名「ダイフリー FB−962」 )0.3%を60℃に加熱した状態で混合し、それを支持板の全面に、硬化後の厚みが5μmになるよう塗布し、更に樹脂層としてPENフィルム(帝人株式会社製、商品名「テオネックスQ51」、厚み:12μm、サイズ15cm角)を支持板全面に気泡の無いように被せた。さらに支持板側から高圧水銀ランプ(160W/cm)を照射し、これらを150℃のオーブン中で60分間加熱し接着層を硬化させた。しかる後、樹脂層と薄板ガラスの接着層として再度紫外線及び熱硬化性エポキシ系樹脂(株式会社ADEKA社製、商品名「アデカオプトマー KRX−690−5」)を樹脂層上の全面に、硬化後の厚みが5μmになるよう塗布し、更に薄板ガラス(日本電気硝子株式会社製、商品名「OA−10G」、厚み:50μm サイズ10cm角)を支持板中央に気泡の無いように被せた。さらに薄板ガラス側から高圧水銀ランプ(160W/cm)を照射した後、これらを150℃のオーブン中で60分間加熱し硬化させることで、積層体を得た。
なお、樹脂層の23℃における引張弾性率は、5.9GPa、引張破断伸度は85%であった。樹脂層の5%重量減少温度は350℃以上、支持板と樹脂層間の接着層の5%重量減少温度は370℃であった。
得られた積層体について、各評価を実施した。結果は表1に示す。
洗浄試験および加熱処理試験後の剥離性評価にあたっては、UVレーザーシステム(タカノ株式会社製 UV LAZER SYSTEM 『UVTS』)を用いて、出力150mW、パルス周波数10KHz、電流値63%、走査速度20mm/s、ショット回数60回の条件で、薄板ガラスの各辺から0.5cm内側四方に対して薄板ガラス、接着層、樹脂層及び接着層の切断処理を行った後、フェザー刃を用いて剥離のきっかけをつくり、支持板から樹脂/ガラス複合体を慎重に剥離させた。
[Example 6]
After using a 15 cm square glass plate made of alkali-free borosilicate glass (plate thickness 0.2 mm, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., trade name “AN100”) as the support plate, after masking the central portion 14 cm with an aluminum plate Then, using an ozone cleaning device (PHOTO SURFACE PROCESSOR model “PM908N-5” manufactured by Sen Special Light Source Co., Ltd.), only the end portion of the support plate was subjected to adhesion treatment under the condition of an irradiation time of 200 seconds.
Thereafter, UV and thermosetting epoxy resin (manufactured by ADEKA Co., Ltd., trade name “Adekaoptomer KRX-690-5”) 99.7% as an adhesive layer, fluorine internal release agent (Daikin Industries, Ltd.) Product name “Die Free FB-962”) 0.3% is mixed while heated to 60 ° C., and is applied to the entire surface of the support plate so that the thickness after curing is 5 μm. A PEN film (manufactured by Teijin Ltd., trade name “Teonex Q51”, thickness: 12 μm, size 15 cm square) was covered on the entire surface of the support plate so that there were no air bubbles. Further, a high-pressure mercury lamp (160 W / cm) was irradiated from the support plate side, and these were heated in an oven at 150 ° C. for 60 minutes to cure the adhesive layer. After that, UV and thermosetting epoxy resin (made by ADEKA Co., Ltd., trade name “ADEKA OPTMER KRX-690-5”) is cured on the entire surface of the resin layer as an adhesive layer between the resin layer and the thin glass. The coating was applied so that the subsequent thickness was 5 μm, and a thin plate glass (manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., trade name “OA-10G”, thickness: 50 μm, size 10 cm square) was put on the center of the support plate so as not to have bubbles. Furthermore, after irradiating a high pressure mercury lamp (160 W / cm) from the thin glass side, these were heated and cured in an oven at 150 ° C. for 60 minutes to obtain a laminate.
The tensile modulus at 23 ° C. of the resin layer was 5.9 GPa, and the tensile elongation at break was 85%. The 5% weight reduction temperature of the resin layer was 350 ° C. or higher, and the 5% weight reduction temperature of the adhesive layer between the support plate and the resin layer was 370 ° C.
Each evaluation was implemented about the obtained laminated body. The results are shown in Table 1.
In the evaluation of peelability after the cleaning test and the heat treatment test, an output of 150 mW, a pulse frequency of 10 KHz, a current value of 63%, and a scanning speed of 20 mm / s using a UV laser system (Takano Co., Ltd., UV LASER SYSTEM “UVTS”). , After cutting the thin glass, the adhesive layer, the resin layer, and the adhesive layer on the inner side of 0.5 cm from each side of the thin glass under the condition of 60 shots, the peeling trigger using the feather blade The resin / glass composite was carefully peeled from the support plate.

[実施例7]
支持板としてガラス板(板厚0.7mm、100mm角)を用い、その上に接着層として紫外線及び熱硬化性エポキシ系樹脂(株式会社ADEKA製、商品名「アデカオプトマー KRX−690−5」)を支持板の全面に、硬化後の厚みが3μmになるようバーコータ―で塗布した。
樹脂層として、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体フィルム(旭硝子株式会社製、商品名「アフレックス」、片面コロナ処理済、厚み:25μm 100mm角)を用
い、コロナ未処理面の中央部90mm角をマスクしたうえで、処理量100W・min/
m2の条件にて端部のみにコロナ処理を施した。端部のみにコロナ処理を施した面を支持板側にして、支持板全面に気泡の無いように被せ、さらに支持板側から高圧水銀ランプ(160W/cm)を照射し、150℃のオーブン中で60分間加熱し接着層を硬化させた。
しかる後、樹脂層と薄板ガラスの接着層として再度紫外線及び熱硬化性エポキシ系樹脂
(株式会社ADEKA製、商品名「アデカオプトマー KRX−690−5」)を樹脂層上の全面に、硬化後の厚みが3μmになるよう塗布し、更に薄板ガラス(日本電気硝子株式会社製、商品名「OA−10G」、厚み:50μm サイズ80mm角)を支持板中央に気泡の無いように被せ、さらに薄板ガラス側から高圧水銀ランプ(160W/cm)を照射した後、これらを150℃のオーブン中で60分間加熱し硬化させることで、積層体を得た。
なお、樹脂層の23℃における引張弾性率は0.8GPa、引張破断伸度は200%であり、樹脂層の5%重量減少温度は450℃であった。
得られた積層体について、各評価を実施した。結果は表1に示す。
洗浄試験および加熱処理試験後の剥離性評価にあたっては、NTカッターを用いて、薄板ガラス各辺から1.0mm外側四方に対して接着層、樹脂層及び接着層の切断処理を行った後、フェザー刃を用いて剥離のきっかけをつくり、支持板から樹脂/ガラス複合体を慎重に剥離させた。
[Example 7]
A glass plate (thickness 0.7 mm, 100 mm square) is used as a support plate, and an ultraviolet and thermosetting epoxy resin (trade name “Adekaoptomer KRX-690-5” manufactured by ADEKA Corporation) is used as an adhesive layer thereon. ) Was applied to the entire surface of the support plate with a bar coater so that the thickness after curing was 3 μm.
As the resin layer, a tetrafluoroethylene / ethylene copolymer film (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., trade name “Aflex”, single-sided corona treatment, thickness: 25 μm, 100 mm square) is used. After masking, the processing amount is 100 W · min /
Corona treatment was applied only to the end portion under the condition of m2. In the oven at 150 ° C, the corona-treated surface of only the end is the support plate side, and the entire support plate is covered so that there are no air bubbles. Further, a high-pressure mercury lamp (160 W / cm) is irradiated from the support plate side. For 60 minutes to cure the adhesive layer.
Thereafter, after the resin layer and the thin glass glass are cured, UV and thermosetting epoxy resin (made by ADEKA, trade name “ADEKA OPTMER KRX-690-5”) is applied to the entire surface of the resin layer. Is applied to the thickness of 3 μm, and a thin plate glass (trade name “OA-10G” manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., thickness: 50 μm, size 80 mm square) is put on the center of the support plate so that there is no air bubble. After irradiating a high-pressure mercury lamp (160 W / cm) from the glass side, these were heated and cured in an oven at 150 ° C. for 60 minutes to obtain a laminate.
The tensile modulus at 23 ° C. of the resin layer was 0.8 GPa, the tensile elongation at break was 200%, and the 5% weight reduction temperature of the resin layer was 450 ° C.
Each evaluation was implemented about the obtained laminated body. The results are shown in Table 1.
In the evaluation of peelability after the cleaning test and the heat treatment test, the NTA cutter was used to cut the adhesive layer, the resin layer, and the adhesive layer on the outer side of the 1.0 mm from each side of the thin glass, and then feather. The blade was used to create a trigger for peeling, and the resin / glass composite was carefully peeled from the support plate.

[比較例1]
実施例1と同様の支持板を用い、実施例1と同様の離型剤を支持板と同じ15cm角の範囲に均一に塗布し、同様に硬化させた。その後、実施例1と同様の材料、手法を用いて接着層、樹脂層、接着層、薄板ガラスを積層させた。得られた積層体について、洗浄試験を行ったところ、接着層と離型層の界面において、接着層の端部が一部剥離した。
[Comparative Example 1]
Using the same support plate as in Example 1, the same release agent as in Example 1 was uniformly applied to the same 15 cm square area as the support plate and cured in the same manner. Thereafter, an adhesive layer, a resin layer, an adhesive layer, and thin glass were laminated using the same materials and methods as in Example 1. When the obtained laminate was subjected to a cleaning test, a part of the end of the adhesive layer was peeled off at the interface between the adhesive layer and the release layer.

[比較例2]
実施例2と同様の支持板を用い、実施例2と同様の離型剤を支持板と同じ15cm角の範囲に均一に塗布し、同様に硬化させた。その後、実施例2と同様の材料、手法を用いて接着層、樹脂層、接着層、薄板ガラスを積層させた。得られた積層体について、洗浄試験を行ったところ、接着層と離型層の界面において、接着層の端部が一部剥離した。
[Comparative Example 2]
Using the same support plate as in Example 2, the same release agent as in Example 2 was uniformly applied to the same 15 cm square range as the support plate and cured in the same manner. Thereafter, an adhesive layer, a resin layer, an adhesive layer, and thin glass were laminated using the same materials and methods as in Example 2. When the obtained laminate was subjected to a cleaning test, a part of the end of the adhesive layer was peeled off at the interface between the adhesive layer and the release layer.

[比較例3]
実施例5と同様の支持板を用い、実施例5と同様の離型剤を支持板と同じ15cm角の範囲に均一に塗布し、同様に硬化させた。その後、実施例5と同様の材料、手法を用いて接着層、樹脂層、接着層、薄板ガラスを積層させた。得られた積層体について、洗浄試験を行ったところ、樹脂層と離型層の界面において、樹脂層の端部が一部剥離した。
[Comparative Example 3]
Using the same support plate as in Example 5, the same release agent as in Example 5 was uniformly applied in the same 15 cm square range as the support plate and cured in the same manner. Thereafter, an adhesive layer, a resin layer, an adhesive layer, and thin glass were laminated using the same materials and methods as in Example 5. When the obtained laminate was subjected to a cleaning test, a part of the end of the resin layer was peeled off at the interface between the resin layer and the release layer.

[比較例4]
実施例7において、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体フィルムのコロナ未処理面を支持板側にして、支持板全面に気泡の無いように被せた以外は、実施例7と同様の工程を経て、積層体を得た。
得られた積層体について、洗浄試験を行ったところ、樹脂層と離型層の界面において、樹脂層の端部が一部剥離した。
[Comparative Example 4]
Example 7 A laminate was obtained.
When the obtained laminate was subjected to a cleaning test, a part of the end of the resin layer was peeled off at the interface between the resin layer and the release layer.

[比較例5]
実施例7において、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体フィルムのコロナ未処理面の全面に処理量100W・min/mの条件にてコロナ処理を施し、全面にコロナ
処理を施した面を支持板側にして、支持板全面に気泡の無いように被せた以外は、実施例7と同様の工程を経て、積層体を得た。
得られた積層体について、実施例7と同様の方法を用いて、洗浄試験および加熱処理試験後の剥離性評価を行ったが、樹脂/ガラス複合体と支持板との界面の剥離強度が大きいため、剥離の際に薄板ガラスが破損してしまい、支持板から樹脂/ガラス複合体を剥離することができなかった。
[Comparative Example 5]
In Example 7, the entire corona-treated surface of the tetrafluoroethylene / ethylene copolymer film was subjected to a corona treatment under the condition of a treatment amount of 100 W · min / m 2 , and the entire surface subjected to the corona treatment was supported on the support plate. The laminated body was obtained through the process similar to Example 7 except having covered the whole surface so that there might be no bubble on the side.
About the obtained laminated body, peelability evaluation after a washing test and a heat treatment test was performed using the same method as in Example 7, but the peel strength at the interface between the resin / glass composite and the support plate was large. For this reason, the thin glass was damaged during peeling, and the resin / glass composite could not be peeled from the support plate.

[参考例1]
支持板として、無アルカリホウケイ酸ガラスからなるガラス板(板厚0.2mm、旭硝子株式会社製、商品名「AN100」)15cm角を用い、その上にマスキングフィルムを用いて、離型剤(ダイキン工業株式会社製、商品名「ダイフリー GA−3000」)を、支持板の各辺から3cm内側、すなわち9cm角の範囲に均一に噴霧した。その後、マスキングフィルムを剥がし200℃に設定したオーブン中で30分加熱させ、室温まで放冷させることで離型層を得た。
その後、紫外線硬化性モノマー(大阪ガスケミカル株式会社製、商品名「オグソールEA−0300」)97質量%、光重合開始剤(BASF社製、商品名「IRGACURE184」)3質量%を湯浴中で混合した紫外線硬化性組成物を、支持板各辺から1.5cm内側、すなわちサイズ12cm角に、硬化後の厚みが10μmとなるよう塗布し、更に薄板ガラス(日本電気硝子株式会社製、商品名「OA−10G」、厚み:50μm サイズ10cm角)を支持板各辺から2.5cm内側に気泡の無いように被せ、さらに薄板ガラス面上から高圧水銀ランプ(160W/cm)を照射し、紫外線硬化性組成物を硬化させることで、樹脂層を形成し、支持板付き薄板ガラス積層体を得た。
なお、樹脂層の23℃における引張弾性率は100MPa、引張破断伸度は54%であった。
得られた支持板付き薄板ガラス積層体について、各評価を実施した。結果は表2に示す。
洗浄試験および加熱処理試験後の剥離性評価にあたっては、レーザースクライブエンジン(株式会社レミ製 LEMI SE−1002)を用いて、出力60W、加工速度20
0mm/sの条件で、薄板ガラスの各辺から1.5cm内側四方に対して樹脂層及び薄板ガラスの切断処理を行った後、フェザー刃を用いて剥離のきっかけをつくり、支持板から樹脂層及び薄板ガラスからなる積層体を慎重に剥離させた。
[Reference Example 1]
As a support plate, a glass plate (plate thickness: 0.2 mm, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., trade name “AN100”) made of non-alkali borosilicate glass is used, and a masking film is used thereon to form a release agent (Daikin). Kogyo Co., Ltd., trade name “Die Free GA-3000”) was sprayed uniformly 3 cm inside from each side of the support plate, that is, 9 cm square. Thereafter, the masking film was peeled off, heated in an oven set at 200 ° C. for 30 minutes, and allowed to cool to room temperature to obtain a release layer.
Thereafter, 97% by mass of an ultraviolet curable monomer (manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd., trade name “Ogsol EA-0300”) and 3% by mass of a photopolymerization initiator (manufactured by BASF, trade name “IRGACURE184”) were added in a hot water bath. The mixed ultraviolet curable composition was applied 1.5 cm inside from each side of the support plate, that is, a size of 12 cm square, so that the thickness after curing was 10 μm, and further thin glass (made by Nippon Electric Glass Co., Ltd., trade name) “OA-10G” (thickness: 50 μm, size 10 cm square) is placed 2.5 cm inside each side of the support plate so that there are no air bubbles. Further, a high-pressure mercury lamp (160 W / cm) is irradiated on the surface of the thin glass, and ultraviolet rays are applied. The resin layer was formed by hardening a curable composition, and the thin glass laminated body with a support plate was obtained.
The tensile modulus at 23 ° C. of the resin layer was 100 MPa, and the tensile elongation at break was 54%.
Each evaluation was implemented about the obtained sheet glass laminated body with a support plate. The results are shown in Table 2.
In the evaluation of the peelability after the cleaning test and the heat treatment test, a laser scribe engine (LEMI SE-1002 manufactured by Remi Co., Ltd.) was used and the output was 60 W and the processing speed was 20.
Under the condition of 0 mm / s, the resin layer and the thin glass were cut to the 1.5 cm inner side from each side of the thin glass, and then the peeling layer was created using a feather blade, and the resin layer was removed from the support plate. And the laminated body which consists of thin glass was peeled carefully.

[参考例2]
参考例1と同様の支持板を用い、その上にマスキングフィルムを用いて、離型剤として界面活性剤(トリクロサン、水、ラウレス硫酸ナトリウム、ラウリルエーテル、POEラウリルエーテル酢酸、濃グリセリン、ラウリン酸ポリグリセリル、塩化トリメチルアンモニオヒドロキシプロピルヒドロキシエチルセルロース、DL−リンゴ酸、安息香酸塩、エデト酸塩、水酸化ナトリウム液等混合溶液 花王株式会社製、商品名「ビオレu 泡ハン
ドソープ」)を、支持板各辺から1.5cm内側、すなわち12cm角の範囲に均一に塗布し、1分間静置後、エアーガンを用いて余剰の離型剤を除去した。その後、80℃に設定したオーブン中で1分加熱させ、室温まで放冷させた後マスキングフィルムを剥がすことで離型層を得た。
次に、熱硬化性シリコーンゴム(モメンティブ社製、商品名「LSR−7060A」及び「LSR−7060B」を等量混合した熱硬化性組成物)を、支持板と同じサイズ15cm角、硬化後の厚みが10μmとなるよう塗布し、更に薄板ガラス(日本電気硝子株式会社製、商品名「OA−10G」、厚み:50μm サイズ10cm角)を気泡の無いように被せ、これらを170℃のオーブン中で3分間加熱し、熱硬化性シリコーンゴムを硬化させることで樹脂層を形成し、支持板付き薄板ガラス積層体を得た。
なお、この時の樹脂層のみの23℃における引張弾性率は4.5MPa、引張破断伸度は115%であった。
得られた支持板付き薄板ガラス積層体について、各評価を実施した。結果は表2に示す。
洗浄試験および加熱処理試験後の剥離性評価にあたっては、NTカッターを用いて、薄板ガラス各辺から1.0mm外側四方に対して樹脂層の切断処理を行った後、フェザー刃を用いて剥離のきっかけをつくり、支持板から樹脂層及び薄板ガラスからなる積層体を慎重に剥離させた。
[Reference Example 2]
A support plate similar to that in Reference Example 1 was used, and a masking film was used thereon, and a surfactant (triclosan, water, sodium laureth sulfate, lauryl ether, POE lauryl ether acetic acid, concentrated glycerin, polyglyceryl laurate) as a release agent. , Trimethylammoniohydroxypropylhydroxyethylcellulose chloride, DL-malic acid, benzoate, edetate, sodium hydroxide solution, etc. mixed solution made by Kao Corporation, trade name “Biore u Foam Hand Soap”) It was uniformly applied 1.5 cm inside from the side, that is, in a range of 12 cm square, left to stand for 1 minute, and then the excess release agent was removed using an air gun. Then, it was heated in an oven set at 80 ° C. for 1 minute, allowed to cool to room temperature, and then the masking film was peeled off to obtain a release layer.
Next, a thermosetting silicone rubber (a thermosetting composition obtained by mixing equal amounts of trade names “LSR-7060A” and “LSR-7060B”, manufactured by Momentive Co., Ltd.), the same size as the support plate, 15 cm square, It was coated to a thickness of 10 μm, and further covered with thin glass (made by Nippon Electric Glass Co., Ltd., trade name “OA-10G”, thickness: 50 μm, size 10 cm square) without bubbles, and these were placed in an oven at 170 ° C. Was heated for 3 minutes to cure the thermosetting silicone rubber, thereby forming a resin layer to obtain a thin glass laminate with a support plate.
The tensile modulus at 23 ° C. of only the resin layer at this time was 4.5 MPa, and the tensile elongation at break was 115%.
Each evaluation was implemented about the obtained sheet glass laminated body with a support plate. The results are shown in Table 2.
In the evaluation of peelability after the cleaning test and the heat treatment test, the NTN cutter was used to cut the resin layer on each side of the 1.0 mm outer side from each side of the thin glass, and then peeled off using the feather blade. A trigger was created, and the laminate composed of the resin layer and the thin glass was carefully peeled from the support plate.

[参考例3]
参考例1と同様の方法を用い、支持板付き薄板ガラス積層体を形成した後、該積層体の薄板ガラス側表面に、紫外線硬化性モノマー(大阪ガスケミカル株式会社製、商品名「オグソールEA−0300」)97質量%、光重合開始剤(BASF社製、商品名「IRGACURE184」)3質量%を湯浴中で混合した紫外線硬化性組成物を、支持板各辺から1.5cm内側、すなわちサイズ12cm角、硬化後の厚みが10μmとなるよう塗布し、薄板ガラス面上から高圧水銀ランプ(160W/cm)を照射し、紫外線硬化性組成物を硬化させることで、樹脂層を形成し、薄板ガラスの両面に樹脂層が形成された、支持板付き薄板ガラス積層体を得た。
得られた支持板付き薄板ガラス積層体について、各評価を実施した。結果は表2に示す。
洗浄試験および加熱処理試験後の剥離性評価にあたっては、実施例1と同様の方法を用いた。
[Reference Example 3]
After forming a thin glass laminate with a support plate using the same method as in Reference Example 1, an ultraviolet curable monomer (made by Osaka Gas Chemical Co., Ltd., trade name “Ogsol EA-” was formed on the thin glass side surface of the laminate. 0300 ") 97% by mass, and a photopolymerization initiator (trade name“ IRGACURE184 ”, manufactured by BASF Corporation) 3% by mass in a hot water bath, an ultraviolet curable composition mixed 1.5 cm inside from each side of the support plate, that is, The resin layer is formed by applying a high-pressure mercury lamp (160 W / cm) from the surface of the thin glass plate and curing the ultraviolet curable composition, with a size of 12 cm square and a thickness of 10 μm after curing. The thin glass laminated body with a support plate in which the resin layer was formed on both surfaces of the thin glass was obtained.
Each evaluation was implemented about the obtained sheet glass laminated body with a support plate. The results are shown in Table 2.
In the peelability evaluation after the cleaning test and the heat treatment test, the same method as in Example 1 was used.

[参考比較例1]
参考例1と同様の支持板を用い、離型剤(花王株式会社製、商品名「ビオレu 泡ハン
ドソープ」)を、支持板と同じ15cm角の範囲に均一に塗布した。その後1分間静置し、エアーガンを用いて余剰の離型剤を除去した。その後、80℃に設定したオーブン中で1分加熱させ、室温まで放冷させることで離型層を得た。
その後、熱硬化性シリコーンゴム(モメンティブ社製、商品名「LSR−7060A」及び「LSR−7060B」を等量混合した熱硬化性組成物)を、サイズ10cm角、硬
化後の厚みが10μmとなるよう塗布し、更に薄板ガラス(日本電気硝子株式会社製、商品名「OA−10G」、厚み:50μm サイズ10cm角)を気泡の無いように被せ、これらを170℃のオーブン中で3分間加熱し、熱硬化性シリコーンゴムを硬化させることで樹脂層を形成し、支持板付き薄板ガラス積層体を得た。
得られた支持板付き薄板ガラス積層体について、洗浄試験を行ったところ、樹脂層と離型層の界面において、樹脂層の端部が5mm程度剥離した。
[Reference Comparative Example 1]
Using the same support plate as in Reference Example 1, a release agent (trade name “Biore u Foam Hand Soap” manufactured by Kao Corporation) was uniformly applied to the same 15 cm square range as the support plate. Thereafter, the mixture was allowed to stand for 1 minute, and excess mold release agent was removed using an air gun. Then, the mold release layer was obtained by heating for 1 minute in the oven set to 80 degreeC, and allowing it to cool to room temperature.
Thereafter, a thermosetting silicone rubber (a thermosetting composition obtained by mixing equal amounts of trade names “LSR-7060A” and “LSR-7060B” manufactured by Momentive Co., Ltd.) is 10 cm square in size and 10 μm in thickness after curing. Then, a thin plate glass (manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd., trade name “OA-10G”, thickness: 50 μm, size 10 cm square) is covered so that there are no bubbles, and these are heated in an oven at 170 ° C. for 3 minutes. The resin layer was formed by curing thermosetting silicone rubber to obtain a thin glass laminate with a support plate.
When the obtained thin glass laminate with a support plate was subjected to a cleaning test, the end portion of the resin layer was peeled off by about 5 mm at the interface between the resin layer and the release layer.

上記参考実施例に代表される支持板付き薄板ガラス積層体は、電子デバイスの形成工程においては良好な密着性を示しながら、その後の支持板を剥離する工程においては、離型層の外形範囲内で切断することで、容易に薄板ガラス積層体を支持板から剥離させることが出来る。   The thin glass laminate with a support plate represented by the above Reference Example shows good adhesion in the step of forming an electronic device, and within the outer range of the release layer in the subsequent step of peeling the support plate. By cutting at, the thin glass laminate can be easily peeled off from the support plate.

本発明の樹脂/ガラス複合体を有する積層体は、有機電界発光素子及び有機光電変換素子等の電子デバイスを作成する際の基板として用いることができ、上記素子を利用した有機EL照明、有機EL表示装置、及び有機太陽電池モジュールを得ることができる。   The laminate having the resin / glass composite of the present invention can be used as a substrate for producing electronic devices such as organic electroluminescent elements and organic photoelectric conversion elements. Organic EL lighting and organic EL using the above elements A display device and an organic solar cell module can be obtained.

1 樹脂層の外形範囲(太線枠内の範囲)
2 離型層の外形範囲(斜線の範囲)
10、20、30、40、50、60、70 積層体
11、21、31、41、51、61、71 支持板
12、22、32、42、52、62、72 薄板ガラス
13、23、33、43、53、63、73 樹脂層
14、24、34、44 離型層
15、25、35、45、55、65、75 密着部分
36、46 接着層
57、67 易剥離性接着層
58、68、78 易剥離部分



1 External range of resin layer (range within bold line frame)
2 Outline range of release layer (shaded area)
10, 20, 30, 40, 50, 60, 70 Laminate 11, 21, 31, 41, 51, 61, 71 Support plate 12, 22, 32, 42, 52, 62, 72 Thin glass 13, 23, 33 , 43, 53, 63, 73 Resin layers 14, 24, 34, 44 Release layers 15, 25, 35, 45, 55, 65, 75 Adhering portions 36, 46 Adhesive layers 57, 67 Easy peelable adhesive layer 58, 68, 78 Easy peeling part



Claims (14)

支持板と、厚みが100μm以下の薄板ガラスと樹脂層を少なくとも有する樹脂/ガラス複合体とを有する積層体であって、
支持板、樹脂層、及び薄板ガラスの順に積層され、
積層体を積層方向に切断した際の少なくとも一断面において、樹脂/ガラス複合体と支持板との界面に、易剥離部分と易剥離部分よりも剥離強度が大きい密着部分とを有し、該易剥離部分の両端に該密着部分が位置することを特徴とする積層体。
A laminate comprising a support plate, a thin glass having a thickness of 100 μm or less, and a resin / glass composite having at least a resin layer,
Laminated in the order of support plate, resin layer, and thin glass,
In at least one cross section when the laminate is cut in the laminating direction, the interface between the resin / glass composite and the support plate has an easily peelable portion and an adhesive portion having a peel strength higher than that of the easily peelable portion. A laminate comprising the adhesion portions positioned at both ends of a peeling portion.
樹脂層が支持板の外形範囲内に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の積層体。   The laminate according to claim 1, wherein the resin layer is provided within an outer range of the support plate. 薄板ガラスが、樹脂層の外形範囲内に設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の積層体。   The laminated sheet according to claim 1 or 2, wherein the thin glass is provided within an outer range of the resin layer. 易剥離部分が、密着部分に囲まれていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の積層体。   The laminate according to any one of claims 1 to 3, wherein the easily peelable portion is surrounded by the close contact portion. 薄板ガラスが、易剥離部分の外形範囲よりも内側に設けられていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の積層体。   The laminated body according to any one of claims 1 to 4, wherein the thin glass is provided on the inner side of the outer shape range of the easily peelable portion. 薄板ガラスが、樹脂層の外形範囲よりも内側に設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の積層体。   The laminated body according to any one of claims 1 to 5, wherein the thin glass is provided on the inner side of the outer range of the resin layer. 密着部分の剥離強度と、易剥離部分の剥離強度の差が、0.5N/25mm以上であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の積層体。   The laminate according to any one of claims 1 to 6, wherein the difference between the peel strength at the close contact portion and the peel strength at the easy peel portion is 0.5 N / 25 mm or more. 易剥離部分の剥離強度が、0.5N/25mm以下であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか記載の積層体。   The laminate according to any one of claims 1 to 7, wherein the peel strength of the easily peelable portion is 0.5 N / 25 mm or less. 樹脂層の5%重量減少温度が230℃以上であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の積層体。   The laminate according to any one of claims 1 to 8, wherein a 5% weight reduction temperature of the resin layer is 230 ° C or higher. 樹脂層が、熱又は活性エネルギー線硬化性組成物を硬化させて得られる樹脂を主成分とする層であることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の積層体。   The laminate according to any one of claims 1 to 9, wherein the resin layer is a layer mainly composed of a resin obtained by curing a thermal or active energy ray-curable composition. 樹脂層が、熱可塑性樹脂を主成分とするフィルムであることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の積層体。   The laminate according to any one of claims 1 to 9, wherein the resin layer is a film mainly composed of a thermoplastic resin. 請求項1〜11のいずれか1項に記載の積層体を用いて得られる有機電子デバイス。   The organic electronic device obtained using the laminated body of any one of Claims 1-11. 請求項1〜11のいずれか1項に記載の積層体を、前記密着部分を取り除くよう積層方向に切断するステップ、及び該積層体から支持板を剥離するステップ、を含む樹脂/ガラス複合体の製造方法。   A step of cutting the laminated body according to any one of claims 1 to 11 in a laminating direction so as to remove the adhesion portion, and a step of peeling a support plate from the laminated body. Production method. 請求項12に記載の有機電子デバイスを、前記密着部分を取り除くよう積層方向に切断するステップ、及び該有機電子デバイスから支持板を剥離するステップ、を含む有機電子デバイスの製造方法。
A method for producing an organic electronic device, comprising: cutting the organic electronic device according to claim 12 in a stacking direction so as to remove the adhesion portion; and peeling a support plate from the organic electronic device.
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018025776A (en) * 2016-08-09 2018-02-15 陽程科技股▲ふん▼有限公司 Flexible display, and separation method of carrier substrate
WO2018181388A1 (en) * 2017-03-29 2018-10-04 日本ゼオン株式会社 Laminate and manufacturing method of organic solar battery
WO2018181393A1 (en) * 2017-03-29 2018-10-04 日本ゼオン株式会社 Laminate and manufacturing method of organic solar battery
WO2020153178A1 (en) * 2019-01-23 2020-07-30 日東電工株式会社 Method for producing thin glass resin laminate piece
JPWO2022018994A1 (en) * 2020-07-21 2022-01-27
CN114126814A (en) * 2019-07-16 2022-03-01 日东电工株式会社 Method for dividing composite material
WO2022230893A1 (en) * 2021-04-27 2022-11-03 日東電工株式会社 Long multilayer body
WO2022230894A1 (en) * 2021-04-27 2022-11-03 日東電工株式会社 Method for producing long laminate or laminate, and diced glass-integrated sheet
WO2022230892A1 (en) * 2021-04-27 2022-11-03 日東電工株式会社 Layered body
KR20230043726A (en) * 2021-09-24 2023-03-31 에이지씨 가부시키가이샤 Laminated body and method for manufacturing laminated body

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006220757A (en) * 2005-02-08 2006-08-24 Asahi Glass Co Ltd Thin plate glass laminated body and manufacturing method of display device using the same body
JP2007326358A (en) * 2006-05-08 2007-12-20 Asahi Glass Co Ltd Thin glass laminate, process for manufacturing display apparatus using the same, and supporting glass substrate
WO2011030716A1 (en) * 2009-09-08 2011-03-17 旭硝子株式会社 Glass/resin laminate, and electronic device using same
JP2013022901A (en) * 2011-07-25 2013-02-04 Dainippon Printing Co Ltd Glass film laminate, and method for manufacturing the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006220757A (en) * 2005-02-08 2006-08-24 Asahi Glass Co Ltd Thin plate glass laminated body and manufacturing method of display device using the same body
JP2007326358A (en) * 2006-05-08 2007-12-20 Asahi Glass Co Ltd Thin glass laminate, process for manufacturing display apparatus using the same, and supporting glass substrate
WO2011030716A1 (en) * 2009-09-08 2011-03-17 旭硝子株式会社 Glass/resin laminate, and electronic device using same
JP2013022901A (en) * 2011-07-25 2013-02-04 Dainippon Printing Co Ltd Glass film laminate, and method for manufacturing the same

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018025776A (en) * 2016-08-09 2018-02-15 陽程科技股▲ふん▼有限公司 Flexible display, and separation method of carrier substrate
CN107706314A (en) * 2016-08-09 2018-02-16 阳程科技股份有限公司 Method for separating flexible display from bearing substrate
CN110431648A (en) * 2017-03-29 2019-11-08 日本瑞翁株式会社 The manufacturing method of laminated body and organic system solar battery
WO2018181388A1 (en) * 2017-03-29 2018-10-04 日本ゼオン株式会社 Laminate and manufacturing method of organic solar battery
JP7264047B2 (en) 2017-03-29 2023-04-25 日本ゼオン株式会社 LAMINATED AND METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC SOLAR CELL
JPWO2018181388A1 (en) * 2017-03-29 2020-02-06 日本ゼオン株式会社 Laminated body and method for producing organic solar cell
JPWO2018181393A1 (en) * 2017-03-29 2020-02-06 日本ゼオン株式会社 Laminated body and method for producing organic solar cell
JP7070551B2 (en) 2017-03-29 2022-05-18 日本ゼオン株式会社 Manufacturing method of laminated body and organic solar cell
CN110431648B (en) * 2017-03-29 2022-05-13 日本瑞翁株式会社 Laminate and method for manufacturing organic solar cell
JP2022049017A (en) * 2017-03-29 2022-03-28 日本ゼオン株式会社 Laminate and manufacturing method of organic solar cell
WO2018181393A1 (en) * 2017-03-29 2018-10-04 日本ゼオン株式会社 Laminate and manufacturing method of organic solar battery
CN113329872B (en) * 2019-01-23 2023-07-14 日东电工株式会社 Method for manufacturing thin glass resin laminate sheet
US11904411B2 (en) 2019-01-23 2024-02-20 Nitto Denko Corporation Method for producing thin glass resin laminate piece
JPWO2020153178A1 (en) * 2019-01-23 2021-11-25 日東電工株式会社 Method for manufacturing thin glass resin laminate pieces
CN113329872A (en) * 2019-01-23 2021-08-31 日东电工株式会社 Method for producing thin glass resin laminate sheet
WO2020153178A1 (en) * 2019-01-23 2020-07-30 日東電工株式会社 Method for producing thin glass resin laminate piece
CN114126814A (en) * 2019-07-16 2022-03-01 日东电工株式会社 Method for dividing composite material
WO2022018994A1 (en) * 2020-07-21 2022-01-27 東洋紡株式会社 Multilayer body and method for producing flexible device
JP7432126B2 (en) 2020-07-21 2024-02-16 東洋紡株式会社 Laminated body and flexible device manufacturing method
JPWO2022018994A1 (en) * 2020-07-21 2022-01-27
WO2022230894A1 (en) * 2021-04-27 2022-11-03 日東電工株式会社 Method for producing long laminate or laminate, and diced glass-integrated sheet
WO2022230892A1 (en) * 2021-04-27 2022-11-03 日東電工株式会社 Layered body
WO2022230893A1 (en) * 2021-04-27 2022-11-03 日東電工株式会社 Long multilayer body
KR20230043726A (en) * 2021-09-24 2023-03-31 에이지씨 가부시키가이샤 Laminated body and method for manufacturing laminated body
KR102604584B1 (en) * 2021-09-24 2023-11-22 에이지씨 가부시키가이샤 Laminated body and method for manufacturing laminated body
US11840048B2 (en) 2021-09-24 2023-12-12 AGC Inc. Laminated body and method for manufacturing laminated body

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