JP2009529804A - 半導体デバイスのパッケージング - Google Patents
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Abstract
電気的接点(69)を有する主面(63)と、反対側の後面(65)と、その間の縁部(64)とを備えている1つ又はそれ以上の電子デバイス(62)を提供する段階を含んでいる、電子デバイスを封止するための方法及び装置が提供されている。犠牲層(70)が主面(63)上に設けられる。犠牲層(70)が仮支持材(80)に面するようにデバイス(62)が仮支持材上に取り付けられる。プラスチック封止(86)が電子デバイスの少なくとも側方縁部(64)に接触させて形成される。プラスチック封止は少なくとも部分的には硬化され、デバイスとプラスチック封止は、仮支持材から分離されて、犠牲層を露出させる。犠牲層は除去される。デバイスと封止に接触している縁部は、主面と電気的接点が露出した状態で、担体(90)の上に取り付けられ、随意的に更に硬化される。主面に塗布又は貼り付けられた絶縁体(94)及び導体(96)は様々なデバイス上の電気的接点を互いに及び外部接点に連結して、統合された多デバイスパネル(88")を形成する。
Description
本発明は、概括的には、電子デバイスに関し、より厳密には、半導体及び他の型式のチップデバイスのパッケージングに関する。
半導体及び他の型式の電子デバイスは、環境から保護し、デバイスを外部と接続し易くするため、しばしばプラスチック樹脂に完全に又は部分的に封止される。説明の便宜上、制限を課す意図はないが、半導体デバイスを例にとって本発明を説明するが、当業者には理解頂けるように、本発明は、実質的に平面的なあらゆる型式の電子デバイスに適用される。従って、以下に提示する非制限的な実施例を含む他の型式のデバイスは、単数であれ複数であれ、用語「デバイス」「半導体デバイス」及び「集積回路」に含まれるよう意図されており、また、用語「デバイス」「ダイ」及び「チップ」は、実質的に等価と意図されている。適したデバイスの非制限的な実施例には、半導体集積回路、個々の半導体デバイス、圧電デバイス、磁歪デバイス、半導体フィルタ、磁気トンネル構造、及びコンデンサ、抵抗器及び誘導器の様な集積受動デバイス、及びあらゆる及び全てのこの様な型式のデバイスと要素の組み合わせ及びアレイがある。更に、本発明は、使用されるダイ又はチップの型式や、封止工程に耐えるような材料であるという条件付で、それらが構成されている材料に、左右されるものではない。
或る型式の電子デバイスは、部分的にのみ封止され、従って、それらの電気的接点、例えば、部分的に囲まれているダイ又はチップ上のボンディングパッドは、封止の後でもなお露出しているよう意図されている。ダイ又はチップの後面及び縁部は、封止によって覆ってもよいが、ダイ又はチップの主接触面は、封止によって覆われるよう意図されてはいない。それらは封止されない状態を維持するよう意図されているので、封止処理の後でも、外部との電気的接続部をそこに作れるようになっている。不都合なことに、ダイ又はチップの後面及び/又は縁部の封止の間に、封止樹脂が、それら主接続面及び幾つかのボンディングパッドの上に漏れて、次の接続を妨げてしまう事態が、時には発生することがある。これは「樹脂ブリード」と呼ばれており、製造歩留まりを低下させ、その様に部分的に封止されたアセンブリ又はパネルの生産コストを上昇させる可能性がある。従って、この様な問題を回避又は最小化する改良された構造と方法に関する絶えざる要求がある。
従って、封止の間の樹脂ブリードの悪影響を回避、又は軽減する半導体及び他の型式の電子デバイスのためのパッケージング構成及び方法を提供することが望まれている。また、パッケージングは、複数のデバイス及び/又は複数の型式のデバイスが入っているアレイ、特にデバイスアレイと共に使用するのに適していることが望ましく、その場合、デバイスの主面は、デバイスが封止の中に固定された後でも、そこへ電気的接続をするのに利用できるのが望ましい。更に、採用されている方法、材料、及び構造は、現下の製造能力及び材料と適合性があり、製造手順の大幅な修正を必要とせず、或いは製造コストを実質的に上昇させないことが望ましい。更に、本発明のこの他の望ましい特徴及び特性は、以下の詳細な説明と特許請求の範囲を、添付図面及び先に述べた技術分野及び背景と併せて読めば、明白になるであろう。
以下、本発明を添付図面と関連付けながら説明するが、その際、類似の数字は類似の要素を指すものとする。
以下の詳細な説明は、単に代表例に過ぎず、本発明に、又は本発明の適用及び使用に制限を課す意図はない。更に、先に述べた技術分野、背景、要約、又は以下の詳細な説明の中で表現され又は暗示されている如何なる理論によっても、境界を定める意図はない。
表示を簡潔且つ明瞭にするため、各図は構造の一般的な様式を示しており、周知の特徴及び技法に関する説明及び詳細は、本発明を不必要に不明瞭にするのを避けるため、省略されている。更に、各図中の各要素は、必ずしも縮尺を合わせて描かれてはいない。例えば、図中の幾つかの要素又は領域の寸法は、本発明の実施形態の理解を深めるために、同じ又は他の図の他の要素又は領域に比べて強調されている。
説明及び請求項における用語「第1」「第2」「第3」「第4」などは、使用する場合は、同様の要素の間で識別するために使用しており、必ずしも特定の逐次的又は年代的順序を記述するものではない。この様に使用されている用語は、適切な状況の下では置き換えることができるため、ここで説明している本発明の実施形態は、例えば、図解又は他の方法で説明されている順番とは違う順序で作動させ又は使用することができるものと理解されたい。更に、用語「備える」「含む」「有する」及びそれらの派生語も、非排他的な含有を包含する様に意図されているため、要素の一覧を備えている過程、方法、物品、又は装置は、必ずしもそれらの要素に限定されるわけではなく、明示的に一覧に載っていないか、又はその様な過程、方法、物品、又は装置に本来的な他の要素を含んでいる場合もある。説明及び請求項における用語「左」「右」「中」「外」「前」「後」「上」「下」「最上」「底」「真上」「真下」「上方」「下方」及び類似用語は、使用する場合は、相対的な位置を説明するために使用しており、必ずしも空間における不変的な位置を記述するものではない。ここで説明している本発明の実施形態は、例えば、図解又は他の方法で説明しているものとは違う配置で使用できるものと理解されたい。ここで使用している用語「連結されている」は、電気的又は非電気的な様式で、直接に又は間接的に接続されていることと定義される。用語「ボンディングパッド」は、単数であれ複数であれ、デバイス上のあらゆる型式の電気的接続位置を指すよう意図しており、ワイヤ又は他のリード線を結合することによる電気的接続に適しているもののみに限定されるものではない。
図1から図3は、複数の半導体デバイスが主接触面を露出させた状態で封止されているプラスチックデバイスパッケージ又はパネルを形成するためのプラスチック封止処理段階20、22、24の簡略化した概略断面図であり、図4は、処理段階20、22、24ので作られた封止処理済みデバイスの平面図26を示しており、併せて樹脂ブリードの発生を図解している。図1の段階20では、上面31を有する仮基板30が提供されており、その上には、半導体デバイス(例えば、集積回路)が、主面33を基板30の表面31と接触させた状態で取り付けられている。ここで使用する用語「主面」又は「主接触面」は、単数であれ複数であれ、電子デバイス(例えば、集積回路ダイス)の、主要な電気的接続部が配置されている面を指している(図1−3には図示せず、図4参照)。デバイス32の後面35は、段階20では露出した状態に留まっている。図2の段階22では、デバイス32の後面35と縁部34、及び基板30の表面31の残りの部分は、プラスチック封止樹脂36で覆われている。デバイス32の主面33は、封止樹脂36に覆われるか、又は曝されるよう意図されてはいないが、樹脂ブリードのために起こる可能性がある。樹脂36が硬化した後、図3の段階24で、仮基板30は、樹脂36及びデバイス32から除去又は分離されるので、樹脂36の下面40とデバイス又はダイ32の主面33は露出し、パッケージングされたデバイスパネル41が提供されることになる。
図4は、パッケージングされたデバイスパネル41の表面40を見ている平面図26を示している。説明の便宜上、制限を課すのを意図するものではないが、図4のパッケージングされたデバイスパネル41は、デバイス321、322、323、324として識別されている4つの多接点デバイス32を含んでいるが、より多くの又はより少ないデバイス、異なる型式のデバイス、及び異なる大きさのデバイスが、パネル41に含まれていてもよい。デバイス32は、縁部34(例えば、341、342など)及び後面35でプラスチック封止樹脂36の中に保持されている(図2−3参照)。デバイス32は、この例では、便宜上「ボンディングパッド」と呼ばれる電気的な接続位置391、392を有している。主接触面33と、デバイス323、324の電気的接続位置(即ち、「ボンディングパッド」)392は、所望されるように、樹脂36の表面40上に完全に露出している。デバイス321、322は、デバイス321、322のインターフェイス37における樹脂ブリード領域38を示しており、樹脂36が、デバイス321、322の主表面33の縁部341に隣接する領域を侵害しているので、電気的接続位置391が、樹脂36の薄い膜で覆われている。この樹脂ブリードは、デバイス32と良好な電気的接続を形成するのを妨げる恐れがあるので、これは望ましいことではなく、樹脂ブリードを回避するパッケージング法が必要とされている。
図5から図14は、本発明の或る実施形態による、電子デバイスのプラスチック封止に関する図1から図3と同様の、異なる製造段階における簡略化した概略断面図50から59を示している。図5から図14では、様々な線及び領域の過度な密集を避け、明瞭性を高めるために、様々な要素及び層の垂直方向寸法は、水平方向寸法と比べて強調されている。さて、図5の製造段階50を参照すると、厚さ43を有する半導体(又は他のデバイス)ウェーハ60は、当技術では周知の技法を使用して作成、又は提供されており、個々のデバイス、集積回路、又は他の要素62(まとめて「デバイス」62)は、既に形成されており、罫書き格子、又は鋸挽き通路、又は他の分離チャネル64によってウェーハ60の中で間隔を空けて配置されている。厚さ43は、通常、約0.3mmから0.85mmであるが、厚さはもっと厚くても薄くても使用することができる。説明の便宜上、各デバイス62を、ウェーハ60の主面63上にボンディングパッド69(即ち、或る種の電気的接続)を備えた状態で示しているが、これは、制限を課すことを意図するものではなく、当業者には理解頂けるように、複数のボンディングパッドが、デバイス62に含まれていてもよい。従って、(単数又は複数の)「ボンディングパッド69」は、その様な複数のボンディングパッドを表現する意図がある。図5の段階50では、デバイス62は、単体化、即ち個々のダイ又はチップに分割されておらず、依然として、ウェーハ60の一部分に留まっている。厚さ45の犠牲層70が、ウェーハ60(及びダイ62)の表面63に設けられている。層70は、封止処理時に表面71を覆って形成される恐れのある樹脂ブレードを取り除く工程で、後で取り除かれる。犠牲層70は、好都合なのは、フォトレジスト、例えばニュージャージー州のAZ Electronics社製のAZ4620型、であるが、後工程に耐え、その後、封止されたデバイスに悪影響を及ぼすことなく溶解させることができるのであれば、どの様な材料でも使用することができる。外面71を有する犠牲層70は、好都合には約2ミクロンから15ミクロンの範囲の、望ましくは約7ミクロンの、厚さ45を有している。フォトレジストが層70に使用される時には、標準的なスピンオン工程で塗布されるのが好都合であるが、他の技法及び材料を使用することもできる。他の技法の非制限的な例として、蒸着、スパッタリング、プラズマ堆積、及びスクリーン印刷が挙げられる。他の材料の非制限的な例として、ガラス、他の有機又は無機誘電材及びそれらの組合せが挙げられる。犠牲層70は、ダイ62が、未だ図5の製造段階50に示すウェーハの形態にある間に塗布又は貼り付けると、普通は低いコストで行えるので、そうするのが望ましいが、これは必要条件ではなく、層70は、図6の単体化段階51の後で塗布又は貼り付けてもよい。図6の段階51では、ウェーハ60のダイ62は、鋸引き、又は罫書き及び破断、又はウェーハ60を個々のダイ又は他の要素62に分割するための何らかの他の周知の技法によって分離される。ここで使用する用語「単体にする」「単体化すること」「単体化」「単体化された」は、ダイ分離工程を指している。
図7から図10では、製造段階52から55を図解しており、個々のダイ62は、製造段階50から51を図解している図5、図6における向きに比べ逆になっている。図7の製造段階52では、個々のダイ62は、仮基板80上で下向きに、つまり主ダイの面63と犠牲層70が仮基板80の表面81に向いている状態で、取り付けられている。説明の便宜上、制限を課すことを意図しているわけではないが、2つのダイのみが図7から図14では図解されているが、当業者には理解頂けるように、使用できる工具能力及び基板の大きさと整合が取れるのであれば、どの様な数のダイ62を基板80上に設置してもよい。基板80は、図1、図2の基板30と同様なものである。基板80は、多孔質セラミック、例えば、米国、ニューヨーク州のRefractron Technologies社製の約0.5ミクロメータの連続的な多孔性を有するアルミナ、であるのが好都合だが、他の比較的不活性な多孔質材料を使用することもできる。後で、封止されたデバイスから基板を分離させ易いように、多孔質であることが望ましい。ダイ62は、仮基板80の上面81と接している下面83を有する薄い仮の接着層82を使用して、仮基板80に取り付けられているのが好都合である。ニュージャージー州のPermacel社製の両面にシリコン接着剤が付いている両面ポリイミド粘着テープが望ましいが、他の種類の非永久的接着材料を使用することもできる。重要なのは、製造の後段階でダイ62が接着層82から分離されることになるため、接着層82は、脆弱化し又は永久的にその場所に固定されること無く、後工程の処理に耐えることである。犠牲層70の外面71は、接着層82の外面85の上に設置される。図7の段階52では、ダイ62の後面65は未だ露出しており、ダイ62は、仮支持基板80上に、後工程の処理の間の材料の縮み又は伸び差を考慮に入れて、完成したパッケージでの所望の間隔に実質的に対応する距離74だけ、間隔を空けて配置されている。
図8の製造段階53では、図2の樹脂36と同様のプラスチック封止樹脂86が、ダイ62の後面65、ダイ縁部64、及び接着層82の表面85の残りの露出部分を覆って設けられている。日本、東京都のナガセ社製の、R1007RC−H型シリカ充填エポキシのバリエーションを含め、R1007RC−H型樹脂が適した材料であるが、他の周知の封止材料も使用することができる。この製造段階では、樹脂ブリードが、犠牲層70の表面71と接着層82の表面85の間の(図2から図4のインターフェイスに類似する)インターフェイス77で発生する恐れがある。犠牲層70は、その様な樹脂ブリードが、ダイ62の表面63、及び/又は犠牲層70により保護されているボンディングパッド69に達するのを防いでいる。図9の随意的な製造段階54では、ダイ62の後面65の上に横たわる封止樹脂86の部分47(図8参照)が、(例えば、研削又は化学的エッチング、又は他の好都合な技法で)除去され、ダイ62の後面65が露出している。これは、研削以外の他の技法を使って封止樹脂86の部分47を除去したとしても、便宜上「裏面を研削する」又は「裏面研削」と称し、その様な他の技法も、用語「裏面を研削する」「裏面研削」に含まれるよう意図している。裏面研削をすれば、容易にヒートシンクをダイ62の後面65と直接接触させることができるが、これは必ずしも必要条件ではない。裏面研削段階54の後、封止樹脂86の露出した後面89は、ダイ62の後面65と実質的に同面であるが、これは必要条件ではない。図10の製造段階55で、仮支持基板80と接着層82は除去され、その結果、封止樹脂86の表面87と犠牲層70の表面71が露出し、自立する封止された多デバイスパネル又はパッケージ88が形成され、ダイ62は、封止樹脂86に埋め込まれた縁部64で所定の位置に保持されている。
図11から図14では、製造段階56から59を図解しており、封止された複数のデバイスパネル88は、図10における向きに対して逆になっているが、これは、単に説明の便宜上そうしているだけで、制限を課す意図はない。図11の製造段階56では、犠牲層70は、ダイ62の主接触面63とボンディングパッド69から除去されている。この段階は、犠牲層70がフォトレジストの場合、ニュージャージー州のAZ ELECTRONICS社製のAZ300T型溶剤又は現像液を使用して、好都合に実施される。様々なダイ62上のボンディングパッド69は、その時点で露出しており、パネル設計者が所望する如何なる様式ででも相互接続させるのに使うことができる。この様に、異なる型式及び機能を有する複数のダイ62が、単一のパネルに組み合わせられ、相互接続しているため、パネル88には、並外れた複合的な機能が提供されている。これは、全体性能を最適化するため異なる工程によって異なる材料でできた異なるチップ又はダイを使用することが所望される場合は、大変好都合である。
図12の製造段階57では、封止された多デバイスパネル88が、望ましくは、必ずしも必要条件ではないが、例えば、アルミナ、シリコン、又はサファイアでできている支持担体90の表面91を覆って取り付けられるが、他の材料を使用してもよい。適した支持担体材料の非制限的な例としては、他の半導体ウェーハ、様々なセラミック、ガラス、プラスチック、プラスチック積層板、金属、及び絶縁被覆金属が挙げられる。接着層92が、パネル88を支持担体90の上面91に貼り付けるため好都合に使用されて、組み合わせパネル88’が提供されているが、これは必ずしも必要条件ではなく、どの様な比較的応力の掛からない接着方法でも使用することができる。層82に使用されたものに類似する両面粘着テープが望ましい。支持担体90を使用するのは、パネル88、88’を次に処理するのには好都合だが、必ずしも必要条件ではない。パネル88、88’は、支持担体90の有無に関わらず、図13、図14で図解しているように、有用であり、更に処理することができる。支持担体90は、パネル88、88’に対する取扱損傷を最小化するのに望ましい。更に、図11の製造段階56及び図12の段階57は、入れ替え可能であり、即ち、犠牲層70の除去は、パネル88を支持担体90に取り付ける前又は後のどちらでも実施することができる。どちらの順序も有用だが、接着剤92の選択の自由度が高く、パネルの損傷を最小化するという理由で、図解されている順序が望ましい。
図13の随意的な製造段階58では、絶縁層94が、ダイ62の表面63及び封止樹脂86の表面87を覆って設けられる。液体又は乾燥薄膜形態の有機ポリマーが、絶縁層94に適しているが、当技術で層間誘電体として周知されている広範な他の材料も使用することができる。図14の製造段階59では、層94は、パターン化され、エッチングされて、ダイ62の上にボンディングパッド69が露出しており、更に導体96が、ダイ62上の様々なボンディングパッド69を相互接続するために塗布又は貼り付けられ、パネル88、88’、88”の設計者が所望する任意の回路又はシステム構成を備えているパネル88”を提供している。導体96は、金属、合金、ドープ処理された半導体、半金属、及び/又はそれらを組合せたものでもよい。それらを塗布又は貼り付けるための材料及び技法は、当技術では周知されている。単一のボンディングパッドのみが、隣接するダイにだけ接続されているように図14に示されているが、これは、一般原則を図解するため便宜上そうしているのであり、制限を課すことを意図してはいない。当業者には、ここでの教示に基づいて理解頂けるように、ボンディングパッド69とダイ62は、同じか又は異なる型式の多くのダイに存在する多くのボンディングパッドの代表例であり、どの様なダイ62上のどの様な数のボンディングパッド69を、どの様な所望の組み合わせで同じ又は何れか他のダイ62上の何れかのボンディングパッド69、又はパネル88、88’の他の能動又は受動素子に相互接続して、図14に概括的に図解されている相互接続デバイスアレイパネル88”を形成することもできる。
図15は、電子デバイスのプラスチック封止のための方法100を説明しており、図5から図14の製造段階を盛り込んでいるが、本発明の別の実施形態によるものであり、更なる詳細を示している。方法100は、開始102と、最初のデバイスウェーハを作るか又は受け取る段階104で始まるが、図5のウェーハ60は、当技術で周知の設計及び製作技法を用いて、製作され、又はウェーハ基材工場から入手される。製造のこの段階で、ダイ62は、完全にウェーハ60の中に形成されているのが望ましい。本発明は、ダイ62の厳密な性質に左右されるものではなく、ダイは、例えば、集積回路、個別のデバイス、フィルタ、磁歪デバイス、電気光学デバイス、電気音響デバイス、又は抵抗器、コンデンサ及び誘導器の様な統合的受動素子、又は他の型式の要素及び/又はそれらの組合せでもよく、封入処理に耐え得るどの様な材料で形成してもよい。非制限的な例としては、様々な有機及び無機半導体、IV、III‐V及びII‐VI型材料、ガラス、セラミック、金属、半金属、金属間化合物などが挙げられる。段階106では、犠牲層70が、先に述べたように、ウェーハ及びダイ62の主面53を覆って塗布される。段階108では、ウェーハ60は、単体化され、即ち、各ダイ62が元々ウェーハ60に含まれていた他のダイから分離されるように、ウェーハ60の個々のダイ62が別々に切断又は分割される。或いは、段階106及び108は、逆の順序で実施することもでき、即ち、最初に単体化し、次に犠牲層70をダイ62の表面63に塗布してもよい。何れのの処理も有用である。図15に示す順序は、望ましいが、必要条件ではない。
次の段階110では、表面63を覆う犠牲層70を備えているダイ62が、仮支持基板80の上に下向きに、即ち、表面63が仮支持材80の表面81に面した状態で置かれる。ダイ62は、単一のウェーハ60から来たものに制限されるわけではなく、様々な型式の多くのウェーハから出自したものでもよいので、様々な異なる機能を有し、異なる材料でできたダイ62を基板80上に組み合わせることもできる。従って、ここで用いられている用語「ダイ」及び「ダイ62」は、様々な型式の多くのウェーハからのダイを含むよう意図している。段階110は、図7に関連して説明した製造段階52に対応しており、或る好適な実施形態では、ダイ62は、既に説明したように、接着層62で支持基板80に取り付けられる。段階112では、ダイ62を備えている仮支持基板80が、図8に関連して説明したように、厚さ84の封止樹脂86で覆われ、部分46が、ダイ62の縁部64と、ダイ62の後面65の上に横たわる部分47との間の隙間を埋めている。随意的な段階113では、図8のアセンブリ48に、封止樹脂86に存在する可能性のあるボイドを除去するため、短時間の真空処理が施される(例えば、使用されている封止材によって、50ミリトールから15トールで、1乃至5分間)。これは、望ましいことではあるが、必要条件ではない。真空ボイド除去段階113に続いて、又は封止段階112から直接進行しての何れにおいても、次は、初期硬化段階114が実行されるのが望ましい。窒素ガス又は実質的に不活性なガスの中で、30分から90分間、50℃から120℃で加熱するのが有用であり、約100℃で約60分間加熱するのがが望ましいことが分かっている。これより高い温度では、フォトレジスト犠牲層を除去するのが困難になる可能性がある。初期硬化段階114の目的は、封止86に十分な硬化を施し、その機械的強度及びダイ62への接着を強めることにより、段階120で犠牲層70の除去を妨げるほど犠牲層70を硬化すること無く、その後の処理に耐えるようにすることである。最適な初期硬化条件は、犠牲層70用の材料の選択によって左右される。当業者には、犠牲層70と硬化処理を実施するための初期硬化段階114との組み合わせをどの様に選択するか、理解頂けるであろう。次に、随意的な裏面研削段階116を、図9に関連して既に説明したように実施してもよく、ここでは、封止樹脂86の部分47が、研削、エッチング、それらの組合せ、又は他の好都合な手段を用いて除去され、散在するダイ62を備えた部分46を残しながらアセンブリ48’が形成される。部分46は、厚さ約0.2mmから1.0mmが望ましく、約0.65mmが好ましい。湿式研削が、随意的な裏面研削段階116の間に使用される場合は、アセンブリ48’に短時間の乾燥サイクルを施して、裏面研削時に吸収した水分を全て除去するのが望ましい。80℃から120℃で約10分から20分が有用であり、約100℃で約15分が好ましく、ここでも、段階120で犠牲層の除去を妨げるほど犠牲層70を過度に硬化させないよう注意を払う。
段階118では、多デバイスパネル88が、図10に関連して示すように、仮支持基板80から分離される。基板80は、接着層82を軟化させる溶剤にパネル88と基板80を浸漬することによって多デバイスパネル88から解放される。溶剤の選択は、接着層82の選択次第である。接着層82が、シリコン接着面を有する両面ポリアミドテープを備えている好適な実施形態では、アセトンが適した溶剤である。その結果できた構造を図10に示している。犠牲層70は、この時点では露出しており、例えば好適な実施例ではフォトレジスト溶剤を使用して、段階120で除去される。結果を図11に示している。多デバイスパネル88は、そのままでも有用であるが、段階122で表示し、図12で示すように支持担体90に取り付けられるのが望ましい。或る好適な実施形態では、図12に関連して既に説明したように、接着剤92が、多デバイスパネル88を支持担体90に取り付けるために使用され、その結果、強化された多デバイスパネル88’が形成される。次の段階124では、封止樹脂86の残りの部分46を更に硬化するために、望ましくは、但し随意的に、第2硬化が実施される。或る好適な実施形態では、第2硬化段階124は、約120℃から170℃の範囲で、45分から90分の間、より望ましくは約150℃で60分間、空気又は窒素の中で実施されるが、封止樹脂86用の材料の選択によっては、もっと長いか又は短い時間、及びもっと高いか又は低い温度を使用することもある。当業者には、封止樹脂の選択に応じた最適な第2硬化条件をどの様に選択するか、ここでの教示に基づいて理解頂けるであろう。ボンディングパッド又は他の接続位置69が、ダイ62の表面63に露出しているので、複合多デバイスパネル又はアセンブリ88’は、この段階で有用であり、多デバイスパネル又はアセンブリ88’の設計者又は使用者の必要性次第で、処理工程100は、経路125として表示されるように随意的に終了132へ進むこともできる。或いは、方法100は、更に、絶縁層塗布段階126へ進むこともでき、この段階では、絶縁層94が、図13に関連して説明したように、パネル88’を覆って形成される。次に、接触領域開放段階128が実行され、この段階では、接続孔が層94に切り込まれ、電気的に接続、及び/又は相互接続させるのが望まれるボンディングパッド69を露出させる。その後、相互接続適用段階130が実行され、この段階では、例えば図14に関連して説明したように、導体96が塗布又は取付られる。図14に示す封止された多デバイスアセンブリ又は複合多デバイスパネル88’が得られる。方法100は、次に終了132に進む。当業者にはここでの教示に基づいて理解頂けるように、段階126から130は、パネル88’内で多層相互接続を提供する必要がある度に繰り返されることになる。
第1の例示的実施形態によれば、電子デバイスを封止するための方法が提供されており、この方法は、電気的接点が配置される主面と、反対側の後面と、主面と後面との間を伸張する縁部とを備えており、主面上に犠牲層を有している、1つ又はそれ以上の電子デバイスを提供する段階と、犠牲層が仮支持材に面するように、1つ又はそれ以上の電子デバイスを仮支持材に取り付ける段階と、電子デバイスの後面及び縁部と接触させてプラスチック封止を提供する段階と、少なくとも部分的にはプラスチック封止を硬化させる段階と、デバイスと、電子デバイスの縁部と接触するプラスチック封止の少なくとも該当部とを仮支持材から分離させて、犠牲層を露出させる段階と、犠牲層を除去する段階と、を含んでいる。別の実施形態では、取り付ける段階は、主面上に接着層を有する仮支持材を提供する段階と、犠牲層を接着層に接触させて配置することにより電子デバイスを仮支持材に取り付ける段階と、を含んでいる。更に別の実施形態では、接着層は、両面粘着テープを備えている。更に別の実施形態では、両面粘着テープは、ポリイミド材を備えている。更に別の実施形態では、少なくとも部分的にはプラスチック封止を硬化させる段階は、犠牲層を不溶性にすること無く、部分的にプラスチック封止を硬化させる段階を含んでいる。更に別の実施形態では、本方法は、分離させる段階の前に、プラスチック封止を裏面研削して、1つ又はそれ以上の電子デバイスの後面を露出させる段階を含んでいる。又別の実施形態では、本方法は、犠牲層を除去する段階の後に、ダイの後面を支持担体に取り付ける段階を含んでいる。更に別の実施形態では、本方法は、ダイの後面を支持担体に取り付ける段階の後に、プラスチック封止を更に硬化させる段階を含んでいる。更に別の実施形態では、本方法は、デバイスを覆う絶縁層を塗布する段階と、デバイスの少なくとも幾つかの電気的接点を、絶縁層を貫いて露出させる段階と、1つ又はそれ以上の導体を少なくとも幾つかの電気的接点に塗布又は貼り付ける段階と、を更に含んでいる。更に別の実施形態では、ダイの後面を支持担体に取り付ける段階は、接着剤を担持する主面を有する支持担体を提供する段階と、デバイスの後面を接着剤に取り付ける段階と、を含んでいる。更に別の実施形態では、接着剤を担持する主面を有する支持担体を提供する段階は、両面延着テープを担持する主面を有する支持担体を提供する段階を含んでいる。更に別の実施形態では、本方法は、プラスチック封止を提供する段階の後に、プラスチック封止に真空処理を施して、少なくとも部分的にはボイドを除去する段階を含んでいる。
第2の例示的実施形態によれば、多数の電子デバイスを有するパネルを形成するための方法が提供されており、この方法は、ボンディングパッドが上に設けられた第1面と、反対側の後面と、第1面と後面との間を伸張する縁部とを備えており、ボンディングパッドの一部又は全部を覆う犠牲層を有している、多数の電子デバイスを提供する段階と、主面を有する仮支持材を提供する段階と、多数の電子デバイスを仮支持材の上に、犠牲層が主面に向くように取り付ける段階と、プラスチック封止を少なくとも仮支持材上の隣接する多数の電子デバイスの縁部の間に提供する段階と、プラスチック封止を、多数の電子デバイスが封止内に少なくとも実質的に固定される程度に硬化させて、仮支持材上に多数の電子デバイスを有するパネルを形成する段階と、多数の電子デバイスを有するパネルを仮支持材から分離して、ボンディングパッド上の犠牲層を露出させる段階と、犠牲層を除去する段階と、を含んでいる。別の実施形態では、本方法は、硬化させる段階の後に、多数の電子デバイスの後面から突き出ているあらゆるプラスチク封止を除去する段階を含んでいる。更に別の実施形態では、本方法は、パネルを担体の上に、多数の電子デバイスの後面が担体に面し、ボンディングパッドが露出するように取り付ける段階を更に含んでいる。更に別の実施形態では、本方法は、1つ又はそれ以上の絶縁層を、多数の電子デバイスを覆って塗布又は貼り付ける段階と、ボンディングパッドの少なくとも幾つかにビアを開く段階と、1つ又はそれ以上の絶縁層の中の1つ又はそれ以上のビアの少なくとも1つを貫いて伸張する導電性相互接続部を提供して、ボンディングパッドの幾つかを、互いに又はパネルの外部接続部と、電気的に連結する段階と、を更に含んでいる。
第3の例示的実施形態によれば、多数の封止された電子デバイスを有するパネルを形成するための方法が提供されており、この方法は、電気的接続位置が上に設けられている多数の電子デバイスの面上に犠牲層を形成する段階と、接着面を有する仮支持担体を提供する段階と、多数の電子デバイスを犠牲層で接着面に貼り付ける段階と、封止が多数の電子デバイスの少なくとも側方縁部と接触するように、多数の電子デバイスに封止を施す段階と、封止を硬化させて、犠牲層を不溶性にすること無く、多数の電子デバイスを一体に仮支持担体上に取り付ける段階と、多数の電子デバイスと、取り付けられた封止とを仮担体から分離する段階と、犠牲層と、その上に封止が在ればその封止とを除去する段階を含んでいる。別の実施形態では、本方法は、電子デバイスと、取り付けられた封止とを、支持担体の上に、電気的接続位置が外側に面するように取り付ける段階を含んでいる。更に他の実施形態では、本方法は、1つ又はそれ以上の絶縁層を、外側に面する電気的接続位置を覆って、その上の導体が1つ又はそれ以上の絶縁層を電気的接続位置の幾つか又は全てまで貫通する状態で、形成して、相互接続された多数の封止された電子デバイスを有するパネルを形成する段階を含んでいる。
少なくとも1つの例示的な実施形態を以上の詳細な説明で提示してきたが、非常に多くのバリエーションが存在するものと理解されたい。例えば、制限を課す意図はないが、ダイ62は、どの様な型式及び技術に依るものでもよく、所与の実施例にのみ限定されるものではない。同様に、ダイパネルに関する様々な好適な材料及びパッケージング法が、ここで説明されているが、当業者には理解頂けるように、例えば、ここで使用されている様々な支持基板及び担体、接着剤、犠牲層には多数の代替案が存在しており、それらも特許請求の範囲に含まれるよう意図している。更に、ここに示される例示的実施例は、様々な完了の段階において、完成された形態のみならず中間体においても有用なダイパネルを提供しており、それらも特許請求の範囲に含まれるよう意図している。
更に、例示的な1つ又は複数の実施形態は、単なる例示にすぎず、本発明の範囲、適用性、又は構成に何ら制限を加えることを意図するものではないものと理解されたい。そうではなく、以上の詳細な説明は、当業者に、例示的な1つ又は複数の実施形態を実施するための便利な道筋を提供することになる。特許請求の範囲に述べる本発明の範囲及びその法的等価物を逸脱すること無く、様々な変更を、要素の機能及び配置に施すことができるものと理解されたい。
Claims (19)
- 電子デバイスを封止するための方法において、
電気的接続が配置される主面と、反対側の後面と、前記主面と後面との間を伸張する縁部とを備えており、前記主面上に犠牲層を有している、1つ又はそれ以上の電子デバイスを提供する段階と、
前記犠牲層が仮支持材に面するように、前記1つ又はそれ以上の電子デバイスを前記仮支持材に取り付ける段階と、
前記電子デバイスの前記後面及び縁部と接触させてプラスチック封止を提供する段階と、
少なくとも部分的には前記プラスチック封止を硬化させる段階と、
前記デバイスと、前記電子デバイスの前記縁部と接触する前記プラスチック封止の少なくとも該当部とを前記仮支持材から分離させて、前記犠牲層を露出させる段階と、
前記犠牲層を除去する段階と、から成る方法。 - 前記取り付ける段階は、
主面上に接着層を有する仮支持材を提供する段階と、
前記犠牲層を前記接着層に接触させて配置することにより、前記電子デバイスを前記仮支持材に取り付ける段階と、を含んでいる、請求項1に記載の方法。 - 前記接着層は、両面粘着テープを備えている、請求項2に記載の方法。
- 前記両面粘着テープは、ポリイミド材料を備えている、請求項3に記載の方法。
- 少なくとも部分的には前記プラスチック封止を硬化させる段階は、前記犠牲層を不溶性にすること無く、前記プラスチック封止を部分的に硬化させる段階を含んでいる、請求項1に記載の方法。
- 前記分離させる段階の前に、前記プラスチック封止を裏面研削して、前記1つ又はそれ以上の電子デバイスの前記後面を露出させる段階を更に含んでいる、請求項1に記載の方法。
- 前記犠牲層を除去する段階の後に、前記ダイの前記後面を支持担体に取り付ける段階を更に含んでいる、請求項6に記載の方法。
- 前記ダイの前記後面を支持担体に取り付ける段階の後に、前記プラスチック封止を更に硬化させる段階を更に含んでいる、請求項7に記載の方法。
- 前記デバイスを覆う絶縁層を塗布する段階と、前記デバイスの少なくとも幾つかの電気的接点を、前記絶縁層を貫いて露出させる段階と、1つ又はそれ以上の導体を前記少なくとも幾つかの電気的接点に塗布又は貼り付ける段階と、を更に含んでいる、請求項8に記載の方法。
- 前記ダイの前記後面を支持担体に取り付ける段階は、
接着剤を担持する主面を有する支持担体を提供する段階と、前記デバイスの前記後面を前記接着剤に取り付ける段階と、を含んでいる、請求項8に記載の方法。 - 前記接着剤を担持する主面を有する支持担体を提供する段階は、両面粘着テープを担持する主面を有する支持担体を提供する段階を含んでいる、請求項10に記載の方法。
- 前記プラスチック封止を提供する段階の後に、前記プラスチック封止に真空処理を施して、少なくとも部分的にはボイドを除去する段階を更に含んでいる、請求項1に記載の方法。
- 多数の電子デバイスを有するパネルを形成するための方法において、
ボンディングパッドが上に設けられた第1面と、反対側の後面と、前記第1面と後面との間を伸張する縁部とを備えており、前記ボンディングパッドの一部又は全部を覆う犠牲層を有している、多数の電子デバイスを提供する段階と、
主面を有する仮支持材を提供する段階と、
前記多数の電子デバイスを前記仮支持材の上に、前記犠牲層が前記主面に向くように取り付ける段階と、
プラスチック封止を少なくとも前記仮支持材上の隣接する多数の電子デバイスの縁部の間に提供する段階と、
前記プラスチック封止を、前記多数の電子デバイスが前記封止内に少なくとも実質的に固定される程度に硬化させて、前記仮支持材上に前記多数の電子デバイスを有するパネルを形成する段階と、
前記多数の電子デバイスを有するパネルを前記仮支持材から分離して、前記ボンディングパッド上の前記犠牲層を露出させる段階と、
前記犠牲層を除去する段階と、から成る方法。 - 前記硬化させる段階の後に、前記多数の電子デバイスの前記後面から突き出ているあらゆるプラスチック封止を除去する段階を更に含んでいる、請求項13に記載の方法。
- 前記パネルを担体の上に、前記多数の電子デバイスの前記後面が前記担体に面し、前記ボンディングパッドが露出するように取り付ける段階を更に含んでいる、請求項14に記載の方法。
- 1つ又はそれ以上の絶縁層を、前記多数の電子デバイスを覆って塗布又は貼り付ける段階と、
前記ボンディングパッドの少なくとも幾つかにビアを開く段階と、
前記1つ又はそれ以上の絶縁層の中の1つ又はそれ以上のビアの少なくとも1つを貫いて伸張する導電性相互接続部を提供して、前記ボンディングパッドの幾つかを、互いに又は前記パネルの外部接続部と、電気的に連結する段階と、を更に含んでいる、請求項15に記載の方法。 - 多数の封止された電子デバイスを有するパネルを形成するための方法において、
電気的接続位置が上に設けられている多数の電子デバイスの面上に犠牲層を形成する段階と、
接着面を有する仮支持担体を提供する段階と、
前記多数の電子デバイスを前記犠牲層で前記接着面に貼り付ける段階と、
封止が前記多数の電子デバイスの少なくとも側方縁部と接触するように、前記多数の電子デバイスに封止を施す段階と、
前記封止を硬化させて、前記犠牲層を不溶性にすること無く、前記多数の電子デバイスを一体に前記仮支持担体上に取り付ける段階と、
前記多数の電子デバイスと、取り付けられた封止とを前記仮担体から分離する段階と、
前記犠牲層と、その上に封止が在ればその封止とを除去する段階と、から成る方法。 - 前記電子デバイスと、取り付けられた封止とを、支持担体の上に、前記電気的接続位置が外側に面するように取り付ける段階を更に含んでいる、請求項18に記載の方法。
- 1つ又はそれ以上の絶縁層を、前記外側に面する電気的接続位置を覆って、その上の導体が前記1つ又はそれ以上の絶縁層を前記電気的接続位置の幾つか又は全てまで貫通する状態で、形成して、相互接続された多数の封止された電子デバイスを有するパネルを形成する段階を更に含んでいる、請求項19に記載の方法。
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