JP2009115655A - Inspection method and inspection device for filter - Google Patents

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  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a means capable of detecting with high sensitivity and ease defects in a filter, without having to apply a load to the filter, and without having to require the time and the labor for pretreatment and after-treatment. <P>SOLUTION: In this inspection method for the filter, fine particles are generated, the fine particles are introduced from one side of the filter into the filter, an intensified directivity of light is generated, the light is transmitted through the other side of the filter, vibration of the air is generated further in the other side of the filter, and the fine particles are irradiated with the light to have the fine particles visualized, while being moved, discharged from the other side of the filter by the vibration of the air. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、フィルタの欠陥を検出する方法と、フィルタの欠陥を検出するために用いられる装置に関する。   The present invention relates to a method for detecting a filter defect and an apparatus used for detecting a filter defect.

環境への影響を考慮して、自動車用エンジン等から排出される排気ガスに含まれる粒子状物質を、排気ガスから除去する必要性が高まっている。特に、ディーゼルエンジンから排出される粒子状物質(パティキュレート・マター(PMともいう))の除去に関する規制は、世界的に強化される傾向にある。このような事情から、PMを捕集し除去するためのDPF(ディーゼル・パティキュレート・フィルタ)が注目を集めている。   In consideration of environmental impact, there is an increasing need to remove particulate matter contained in exhaust gas discharged from automobile engines and the like from the exhaust gas. In particular, regulations regarding the removal of particulate matter (particulate matter (also referred to as PM)) discharged from diesel engines tend to be strengthened worldwide. Under such circumstances, DPF (diesel particulate filter) for collecting and removing PM has been attracting attention.

DPFの一態様として、目封止された、ハニカム構造を有するフィルタ(ハニカムフィルタ)を挙げることが出来る。このハニカムフィルタは、流体の流路となる複数のセルを区画形成する多孔質の隔壁を備え、一方の端部が開口され且つ他方の端部が目封止された所定のセルと、一方の端部が目封止され且つ他方の端部が開口された残余のセルと、が交互に配設されてなるものである。このハニカムフィルタによれば、所定のセルが開口する一方の端部から流入した流体(排気ガス)が、隔壁を透過し、残余のセル側へ透過流体として流出し、更に、残余のセルが開口する他方の端部から流出することによって、排気ガス中のPMが捕集除去される、という作用効果が得られる。   As an embodiment of the DPF, a plugged filter having a honeycomb structure (honeycomb filter) can be given. The honeycomb filter includes a porous partition wall that partitions and forms a plurality of cells serving as a fluid flow path, and has one end opened and the other end plugged, and one cell The remaining cells whose end portions are plugged and whose other end portions are opened are alternately arranged. According to this honeycomb filter, the fluid (exhaust gas) flowing in from one end where a predetermined cell opens passes through the partition wall and flows out as a permeating fluid to the remaining cell side, and the remaining cell opens. By flowing out from the other end, the effect of collecting and removing PM in the exhaust gas can be obtained.

上記のハニカムフィルタのような、排気ガスが多孔質の隔壁を透過する構造のフィルタ(ウォールフロー型のフィルタ)は、濾過面積を大きくとれることから、濾過流速(隔壁透過流速)を低くすることが出来、圧力損失が小さく、且つ、PMの捕集効率が比較的良好なものである。但し、それは、隔壁に意図しない穴等の欠陥がないことを前提としているのであって、欠陥があればそこからPMは通り抜け、効率云々以前にDPFとしてのPM捕集能力そのものが低下する。それだけに、フィルタ製造時の欠陥検査は大変重要な工程である。   A filter having a structure in which exhaust gas permeates through porous partition walls (wall flow type filter), such as the above honeycomb filter, can reduce the filtration flow rate (partition wall permeation flow rate) because the filtration area can be increased. The pressure loss is small, and the PM collection efficiency is relatively good. However, this is based on the premise that there is no defect such as an unintended hole in the partition wall. If there is a defect, PM passes through the defect, and the PM collection capability itself as a DPF is lowered before the efficiency. For that reason, defect inspection during filter manufacturing is a very important process.

尚、関連する先行技術文献として、例えば特許文献1〜5を挙げることが出来る。
特許第3904933号公報 特開平6−134268号公報 特開平4−104038号公報 特開平7−174660号公報 特開2000−193582号公報
As related prior art documents, for example, Patent Documents 1 to 5 can be cited.
Japanese Patent No. 3904933 JP-A-6-134268 Japanese Patent Laid-Open No. 4-104038 JP-A-7-174660 JP 2000-193582 A

フィルタの欠陥を検査する手段として、最も簡易な方法は目視によるものである。ところが、通常、フィルタの構造上、欠陥を外部から観察することは不可能である。又、すすをフィルタへ流入させ、排出されるすすを白色の布に付着させ、その付着の程度によって欠陥を検出する方法(スートプリント法)が知られている。しかし、一度フィルタに負荷をかけることになり、加えて、出荷前に(検査後に)すすを取り除く処理に時間と手間を要し、好ましい手段とはいえない。更に、フィルタを水中に入れて、例えば流体が流入する側から空気圧をかけ、流体が透過し流出する側の発泡現象を確認することによって、欠陥の有無を検査することが出来るが、この方法では、フィルタに負荷はかからないものの、検査前の脱泡及び検査後の乾燥を要するので、望ましい手段とはいえない。   The simplest method for inspecting filter defects is by visual observation. However, it is usually impossible to observe defects from the outside due to the structure of the filter. In addition, a method (soot printing method) is known in which soot is allowed to flow into a filter, discharged soot is adhered to a white cloth, and a defect is detected depending on the degree of adhesion. However, the load is once applied to the filter, and in addition, it takes time and labor to remove the soot before shipping (after the inspection), which is not a preferable means. Furthermore, the presence or absence of defects can be inspected by placing the filter in water and applying air pressure from the fluid inflow side and checking the foaming phenomenon on the fluid permeation and outflow side. Although the filter is not loaded, it is not a desirable means because it requires defoaming before inspection and drying after inspection.

本発明は、このような事情の下、なされたものであり、本発明は、フィルタの欠陥を、フィルタに負荷をかけず、前処理と後処理に時間と手間を要さず、感度よく、容易に、検出し得る手段を提供することを課題とする。この課題を解決するため、研究が重ねられた結果、以下の手段を想到するに至った。   The present invention has been made under such circumstances, the present invention does not apply a filter defect, load on the filter, time and labor for pre-processing and post-processing, high sensitivity, It is an object to provide a means that can be easily detected. As a result of repeated research to solve this problem, the following means have been conceived.

即ち、先ず、本発明によれば、微粒子を発生させ、その微粒子をフィルタの一の側から当該フィルタ内へ導入するとともに、指向性の強い光を発生させ、その光をフィルタの他の側を通過させ、更に、フィルタの他の側で空気の振動を発生させ、その空気の振動によってフィルタの他の側から排出される微粒子を横方向へ移動させながら、その微粒子に光を照射して微粒子を可視化するフィルタの検査方法が提供される。   That is, first, according to the present invention, fine particles are generated, the fine particles are introduced into the filter from one side of the filter, light having strong directivity is generated, and the light is transmitted to the other side of the filter. Passing through the filter and generating air vibrations on the other side of the filter. The fine particles discharged from the other side of the filter are moved laterally by the vibration of the air. A method for inspecting a filter for visualizing the above is provided.

フィルタは、濾過(フィルトレーション)作用を発揮し得るものであり、本明細書において、フィルタの一の側、他の側とは、濾過作用を発揮する部材を基準として、その一の側、他の側という意味である。欠陥があってはならない最重要部分は、その濾過作用を発揮する部材(例えばハニカムフィルタにおいては多孔質の隔壁が相当する)であるから、微粒子をフィルタの一の側からフィルタ内へ導入し、フィルタの他の側から微粒子が均一に排出されるか否かを確認することで、フィルタに欠陥が有るか無いかを、検査することが出来る。   The filter is capable of exhibiting a filtration (filtering) action. In this specification, one side of the filter, the other side is based on a member that exhibits the filtering action, and one side thereof, It means the other side. The most important part that should not have defects is a member that exhibits its filtering action (for example, a porous partition corresponds to a honeycomb filter), so that fine particles are introduced into the filter from one side of the filter, By checking whether or not fine particles are uniformly discharged from the other side of the filter, it is possible to inspect whether or not the filter is defective.

本発明に係るフィルタの検査方法においては、微粒子は、水であることが好ましい。水は、不純物の少ない純水であれば、尚好ましい。微粒子が水である場合において、超音波振動子の振動によって水を微粒子化する加湿手段によって、当該微粒子を発生させることが好ましい。他に、ノズルからの噴霧によって、水である微粒子を発生させることが出来る。   In the filter inspection method according to the present invention, the fine particles are preferably water. The water is more preferably pure water with few impurities. When the fine particles are water, it is preferable that the fine particles are generated by a humidifying means that makes water fine particles by vibration of an ultrasonic vibrator. In addition, fine particles that are water can be generated by spraying from a nozzle.

尚、微粒子が水ではない場合には、例えば、線香等の香類を燃焼させる、グリコール類を加熱、気化、凝縮させて噴霧する、固体二酸化炭素や液体窒素を使用する、市販の標準粒子発生装置を用いる、炭酸カルシウム等の微粒子粉末を振動装置やブロア等で発塵させる、等の手段によって、微粒子を発生させることが可能である。   In addition, when the fine particles are not water, for example, burning standard incense such as incense, spraying glycols by heating, vaporizing, condensing, using solid carbon dioxide or liquid nitrogen, etc. It is possible to generate fine particles by using a device or by means of generating fine particles such as calcium carbonate using a vibration device or a blower.

本発明に係るフィルタの検査方法においては、二次元的に、空気の振動を発生させることが好ましい。   In the filter inspection method according to the present invention, it is preferable to generate air vibrations two-dimensionally.

本発明に係るフィルタの検査方法においては、空気中に縦波を生じさせることによって、空気の振動を発生させることが好ましい。あるいは、本発明に係るフィルタの検査方法においては、空気に縦波を発生させることによって、空気の振動を発生させることが好ましい。これらの場合において、2又はそれ以上の方向から、空気中に縦波を生じさせ、あるいは、空気を送れば、二次元的に空気の振動を発生させることが可能である。   In the filter inspection method according to the present invention, it is preferable to generate vibration of the air by generating a longitudinal wave in the air. Alternatively, in the filter inspection method according to the present invention, it is preferable to generate vibration of the air by generating a longitudinal wave in the air. In these cases, if a longitudinal wave is generated in the air from two or more directions, or if air is sent, vibration of the air can be generated two-dimensionally.

空気を媒質とする縦波は、空気の密度の振動が伝播する疎密波であり、音波とも呼ばれる。   Longitudinal waves using air as a medium are dense waves in which vibration of air density propagates and are also called sound waves.

本発明に係るフィルタの検査方法においては、フィルタは、他の側が面を有するものであり、光を面状に発生させ、その光をフィルタの他の側の面と平行に通過させ、二次元的に光を微粒子に照射することが好ましい。   In the filter inspection method according to the present invention, the filter has a surface on the other side, generates light in a planar shape, passes the light in parallel with the surface on the other side of the filter, and is two-dimensional. In particular, it is preferable to irradiate the fine particles with light.

本発明に係るフィルタの検査方法においては、可視化した微粒子の画像を、コンピュータに取り入れ、記録し、解析することが好ましい。   In the filter inspection method according to the present invention, it is preferable that a visualized image of fine particles is taken into a computer, recorded, and analyzed.

本発明に係るフィルタの検査方法においては、微粒子の粒子径は、0.3μm以上200μm以下であることが好ましい。   In the filter inspection method according to the present invention, the particle diameter of the fine particles is preferably 0.3 μm or more and 200 μm or less.

本発明に係るフィルタの検査方法は、検査対象であるフィルタが、多孔質のハニカム構造体である場合に、好適に用いられる。   The filter inspection method according to the present invention is suitably used when the filter to be inspected is a porous honeycomb structure.

本発明に係るフィルタの検査方法は、検査対象である前記フィルタが、ディーゼル・パティキュレート・フィルタである場合に、好適に用いられる。   The filter inspection method according to the present invention is suitably used when the filter to be inspected is a diesel particulate filter.

尚、本発明に係るフィルタの検査方法において、発生させた微粒子をフィルタの一の側からフィルタ内へ導入するに際し、例えば発生した微粒子をタンクに溜めて、均一濃度としてから一定圧力を加えることによりフィルタ内へ導入することが好ましい。圧力を加える代わりに、フィルタの他の側からファン等で吸引して、タンクから微粒子をフィルタ内へ導入してもよい。   In the filter inspection method according to the present invention, when the generated fine particles are introduced into the filter from one side of the filter, for example, the generated fine particles are collected in a tank, and a uniform pressure is applied after a uniform concentration. It is preferably introduced into the filter. Instead of applying pressure, fine particles may be introduced from the tank into the filter by suction from the other side of the filter with a fan or the like.

又、本発明に係るフィルタの検査方法において、フィルタへ導入する微粒子の濃度に特に制限はない。指向性の強い光によって検出出来る程度の濃度であって、欠陥部分とそれ以外の部分とのコントラストが明確になるような濃度を、適宜、選択することが出来る。   In the filter inspection method according to the present invention, the concentration of the fine particles introduced into the filter is not particularly limited. It is possible to appropriately select a density that can be detected by light having strong directivity and that makes the contrast between the defective part and the other part clear.

次に、本発明によれば、微粒子を発生させる微粒子発生手段と、その微粒子をフィルタの一の側から当該フィルタ内へ導入する微粒子導入手段と、フィルタの他の側を通過するように指向性の強い光を発生させる光発生手段と、フィルタの他の側で空気の振動を発生させる縦波発生手段と、を具備するフィルタ検査装置が提供される。   Next, according to the present invention, fine particle generating means for generating fine particles, fine particle introducing means for introducing the fine particles into the filter from one side of the filter, and directivity so as to pass through the other side of the filter. There is provided a filter inspection device comprising light generating means for generating strong light and longitudinal wave generating means for generating air vibration on the other side of the filter.

本発明に係るフィルタ検査装置においては、微粒子が、水(微細な水滴)であることが好ましい。純水であれば、尚好ましい。   In the filter inspection apparatus according to the present invention, the fine particles are preferably water (fine water droplets). Pure water is more preferable.

本発明に係るフィルタ検査装置においては、微粒子発生手段が、超音波加湿器であることが好ましい。   In the filter inspection apparatus according to the present invention, it is preferable that the particulate generation means is an ultrasonic humidifier.

本発明に係るフィルタ検査装置においては、縦波発生手段が、2又は3以上備わることが好ましい。   In the filter inspection apparatus according to the present invention, it is preferable that two or more longitudinal wave generating means are provided.

本発明に係るフィルタ検査装置においては、縦波発生手段が、電気信号製造装置とスピーカ、及び圧電アクチュエータと振動板、から選択される少なくとも一の手段であることが好ましい。あるいは、本発明に係るフィルタ検査装置においては、縦波発生手段が、バイブレータ、又は振動モータと振動板であることが好ましい。バイブレータの例として、エアバイブレータ、振動モータの例として低周波振動モータを挙げることが出来る。   In the filter inspection apparatus according to the present invention, the longitudinal wave generating means is preferably at least one means selected from an electric signal manufacturing apparatus and a speaker, and a piezoelectric actuator and a diaphragm. Alternatively, in the filter inspection apparatus according to the present invention, the longitudinal wave generating means is preferably a vibrator, or a vibration motor and a diaphragm. As an example of a vibrator, a low frequency vibration motor can be given as an example of an air vibrator or a vibration motor.

本発明に係るフィルタ検査装置においては、光発生手段が、光を面状に発生させ、その光をフィルタの他の側の面と平行に通過させ得る手段であることが好ましい。   In the filter inspection apparatus according to the present invention, it is preferable that the light generating means is a means capable of generating light in a planar shape and allowing the light to pass in parallel to the surface on the other side of the filter.

本発明に係るフィルタ検査装置においては、微粒子を撮像するカメラ、及び、撮像された微粒子の画像を取り入れ記録し解析するコンピュータ、を具備することが好ましい。   The filter inspection apparatus according to the present invention preferably includes a camera for imaging fine particles, and a computer that takes in and records and analyzes the captured image of the fine particles.

カメラとしては、CCDあるいはフィルム等の撮像素子・媒体を有するカメラを採用することが出来る。コンピュータとしては、画像解析専用装置を使用することが好ましい。又、コンピュータは、画像解析装置及び上記電気信号製造装置を兼ねることも好ましい。   As the camera, a camera having an image pickup element / medium such as a CCD or a film can be employed. As the computer, it is preferable to use a dedicated image analysis apparatus. In addition, it is preferable that the computer also serves as an image analysis device and the electrical signal manufacturing device.

本発明に係るフィルタ検査装置においては、微粒子の粒子径は、0.3μm以上200μm以下であることが好ましい。   In the filter inspection apparatus according to the present invention, the particle diameter of the fine particles is preferably 0.3 μm or more and 200 μm or less.

本発明に係るフィルタ検査装置は、検査対象であるフィルタが、多孔質のハニカム構造体である場合に、好適に使用される。   The filter inspection apparatus according to the present invention is preferably used when the filter to be inspected is a porous honeycomb structure.

本発明に係るフィルタ検査装置は、検査対象であるフィルタが、ディーゼル・パティキュレート・フィルタである場合に、好適に使用される。   The filter inspection apparatus according to the present invention is preferably used when the filter to be inspected is a diesel particulate filter.

又、本明細書において、指向性の強い光は、微粒子に照射されて回折散乱する波長の光であれば特に制限はない。例えば、レーザ光が好ましい。固体レーザ、気体レーザ、半導体レーザ、色素レーザ、エキシマレーザ、自由電子レーザ等を好適に用いることが出来る。光の波長にも特に制限はなく、例えば650nm程度の赤色レーザ光、532nm程度の緑色レーザ光、400nm程度の紫色レーザ光等を好適に用いることが出来る。   In the present specification, the light having strong directivity is not particularly limited as long as it is light having a wavelength that is diffracted and scattered by being irradiated on the fine particles. For example, laser light is preferable. A solid laser, gas laser, semiconductor laser, dye laser, excimer laser, free electron laser, or the like can be preferably used. The wavelength of the light is not particularly limited, and for example, a red laser beam of about 650 nm, a green laser beam of about 532 nm, a violet laser beam of about 400 nm, and the like can be suitably used.

本発明に係るフィルタの検査方法は、空気の振動によってフィルタの他の側から排出される微粒子を移動させながら、その微粒子に光を照射して微粒子を可視化するので、欠陥の検出が容易であり、且つ、感度よく欠陥を検出することが可能である。   The method for inspecting a filter according to the present invention makes it easy to detect defects because the particles are visualized by irradiating the particles with light while moving the particles discharged from the other side of the filter by vibration of air. In addition, it is possible to detect defects with high sensitivity.

より具体的に説明する。微粒子を発生させ、その微粒子をフィルタの一の側からフィルタ内へ導入するとともに、指向性の強い光を発生させ、その光をフィルタの他の側を通過させると、フィルタの他の側から排出される微粒子は、光が照射されることによって光を回折散乱させ可視化される。フィルタに欠陥があれば、そこから大きな微粒子が多く排出されるため、その大きく多い微粒子によって、光が多く回折散乱するから、欠陥が外から視認することが出来ない場所に存在していても、輝度(明るさ)の違いによって、フィルタの欠陥の有無を判断することが出来、欠陥の場所を特定することが可能となる。但し、ハニカムフィルタの他の側(微粒子の排出側)の端面の近傍に、端面に概ね平行に通過するレーザ光を発生させた場合、レーザ光の拡散光成分がハニカムフィルタの他の側の端面を照射することがある。このような場合、拡散光成分がその端面で反射され反射光(端面反射光ともいう)を生じ、微粒子による回折散乱光と、端面反射光と、の判別が困難になる。そのため、可視化した微粒子の観察を正確に行うことが出来ない。即ち、十分な感度で欠陥を検出することが出来ない。本発明に係るフィルタの検査方法は、光を回折散乱する微粒子を移動させ得ることで、微粒子による回折散乱光と、端面反射光と、の判別がし易い場所で、輝度の差を判断することが出来るから、微粒子を移動させない場合に比して、フィルタの欠陥を、より感度よく、より容易に、検出することが可能となる。加えて、相対的に輝度の高い場所(輝点ともいう)が、移動するかしないか(揺れるか揺れないか)によって、高い輝度をもたらしているものが微粒子であるかフィルタ自体であるか判断出来るので、この点からも欠陥を誤って検出するおそれを抑制することが出来る。   This will be described more specifically. When fine particles are generated, the fine particles are introduced into the filter from one side of the filter, light having strong directivity is generated, and when the light passes through the other side of the filter, it is discharged from the other side of the filter. The fine particles to be visualized are diffracted and scattered by being irradiated with light. If there is a defect in the filter, a lot of large particles are discharged from it, so a lot of light is diffracted and scattered by the large number of particles, so even if the defect exists in a place where it can not be seen from the outside, Depending on the difference in brightness (brightness), it is possible to determine the presence or absence of a filter defect, and it is possible to specify the location of the defect. However, in the case where laser light that passes substantially parallel to the end face is generated in the vicinity of the end face on the other side of the honeycomb filter (particulate discharge side), the diffused light component of the laser light becomes the end face on the other side of the honeycomb filter. May be irradiated. In such a case, the diffused light component is reflected at the end face to generate reflected light (also referred to as end face reflected light), making it difficult to distinguish between the diffracted and scattered light from the fine particles and the end face reflected light. Therefore, it is impossible to accurately observe the visualized fine particles. That is, the defect cannot be detected with sufficient sensitivity. The filter inspection method according to the present invention can determine a difference in luminance at a place where it is easy to discriminate between diffracted and scattered light by the fine particles and end surface reflected light by moving fine particles that diffract and scatter light. Therefore, it is possible to detect the filter defect more sensitively and more easily than when the fine particles are not moved. In addition, depending on whether or not a relatively bright place (also called a bright spot) moves (whether it shakes or not), it is determined whether the high brightness is caused by fine particles or the filter itself. Since this is possible, the possibility of erroneously detecting defects can be suppressed from this point.

本発明に係るフィルタの検査方法は、その好ましい態様において、微粒子は水であり、より好ましくは純水であるので、検査に際し、フィルタに余分な付着物が発生しない。そのため、前処理と後処理を行う必要がなく、従来の手段で必要であったそれらに要する時間と手間を削減することが出来る。   In the preferred embodiment of the filter inspection method according to the present invention, the fine particles are water, and more preferably pure water. Therefore, no extra deposits are generated on the filter during the inspection. Therefore, it is not necessary to perform pre-processing and post-processing, and it is possible to reduce the time and labor required for them by the conventional means.

本発明に係るフィルタの検査方法は、その好ましい態様において、超音波による加湿手段によって、水の微粒子を発生させるので、簡便に微粒子を発生させることが出来る。尚、本明細書において、発生した多くの水の微粒子全体を、水煙とも表現する。   In the preferred embodiment of the filter inspection method according to the present invention, the water fine particles are generated by the humidifying means using ultrasonic waves, so that the fine particles can be easily generated. In addition, in this specification, all the generated fine particles of water are also expressed as water smoke.

本発明に係るフィルタの検査方法は、その好ましい態様において、二次元的に空気の振動を発生させるので、一平面上において意図する方向へ自在に微粒子を移動させることが可能である。そのため、微粒子による回折散乱光と端面反射光との判別がし易く、輝度の差を判断し易い場所を、確実に、早く、探し出せる。よって、二次元的に空気の振動を発生させない場合に比して、フィルタの欠陥の有無の判断を誤る可能性を、より低減することが出来、加えて、輝度の差の判断を行うに要する時間を、より短縮することが可能である。   In the preferred embodiment of the filter inspection method according to the present invention, air vibrations are generated two-dimensionally, so that the fine particles can be freely moved in the intended direction on one plane. Therefore, it is possible to reliably and quickly find a place where it is easy to discriminate between the diffracted scattered light and the end-surface reflected light by the fine particles and to easily determine the difference in luminance. Therefore, it is possible to further reduce the possibility of misjudgment of the presence or absence of a filter defect as compared with the case where air vibration is not generated two-dimensionally, and in addition, it is necessary to judge the difference in luminance. The time can be further shortened.

本発明に係るフィルタの検査方法は、その好ましい態様において、空気中に縦波を生じさせることによって、微粒子の移動にかかる制御が容易である。縦波の周波数や波長の大きさを調節することで、意図する距離だけ微粒子を移動させることが出来る。そのため、微粒子による回折散乱光と端面反射光との判別がし易く、輝度の差を判断し易い場所を、確実に、探し出すことが可能であり、フィルタの欠陥の有無の判断を感度よく行い得る。   In a preferred embodiment of the filter inspection method according to the present invention, the longitudinal wave is generated in the air, whereby the control of the movement of the fine particles is easy. Fine particles can be moved by an intended distance by adjusting the frequency and wavelength of the longitudinal wave. Therefore, it is easy to discriminate between the diffracted scattered light and the end face reflected light by the fine particles, and it is possible to surely find the place where the difference in luminance is easy to be determined, and the presence or absence of the filter defect can be determined with high sensitivity .

本発明に係るフィルタの検査方法は、その好ましい態様において、例えばバイブレータによって空気に縦波を発生させることによって、微粒子を素早く移動させることが出来る。発生させる縦波の振動数、振幅、波形を調節することで、意図する距離だけ微粒子を早く移動させ得る。そのため、微粒子による回折散乱光と端面反射光との判別がし易く、輝度の差を判断し易い場所を、早く、探し出すことが可能であり、フィルタの欠陥の有無の判断を迅速に行い得る。   In the preferred embodiment of the filter inspection method according to the present invention, fine particles can be moved quickly by generating a longitudinal wave in the air using, for example, a vibrator. By adjusting the frequency, amplitude, and waveform of the longitudinal wave to be generated, the fine particles can be moved quickly by the intended distance. Therefore, it is possible to quickly find a place where it is easy to discriminate between the diffracted scattered light and the end face reflected light due to the fine particles, and to easily determine the difference in luminance, and it is possible to quickly determine whether there is a filter defect.

本発明に係るフィルタの検査方法は、その好ましい態様において、フィルタは、他の側が面を有するものであり、光を面状に発生させ、その光をフィルタの他の側の面と平行に通過させ、二次元的に光を微粒子に照射するので、欠陥の場所を特定し易く、加えて、感度よく欠陥を検出することが出来る。   In a preferred embodiment of the filter inspection method according to the present invention, the filter has a surface on the other side, generates light in a planar shape, and passes the light parallel to the surface on the other side of the filter. Since the fine particles are irradiated two-dimensionally, the location of the defect can be easily specified, and in addition, the defect can be detected with high sensitivity.

本発明に係るフィルタの検査方法は、その好ましい態様において、可視化した微粒子の画像を、コンピュータに取り入れ、記録し、解析するので、確実に、フィルタの欠陥の有無、欠陥の場所を記録することが可能である。加えて、欠陥の発生し易い場所等のデータベースを構築することが出来るから、フィルタの製造方法へフィードバックして、製造方法を改善するのに有用である。   In the preferred embodiment of the filter inspection method according to the present invention, the visualized fine particle image is taken into a computer, recorded, and analyzed, so that the presence or absence of the filter defect and the location of the defect can be recorded reliably. Is possible. In addition, since it is possible to construct a database of places where defects are likely to occur, it is useful for improving the manufacturing method by feeding back to the filter manufacturing method.

本発明に係るフィルタの検査方法は、その好ましい態様において、微粒子の粒子径は、0.3μm以上200μm以下であるので、感度よく欠陥を検出することが出来る。   In a preferred embodiment of the filter inspection method according to the present invention, since the particle diameter of the fine particles is 0.3 μm or more and 200 μm or less, defects can be detected with high sensitivity.

本発明に係るフィルタ検査装置は、上記した本発明に係るフィルタの検査方法を実施することが可能な装置であり、本発明に係るフィルタの検査方法の実施を通じて、上記した効果を奏する。   The filter inspection apparatus according to the present invention is an apparatus capable of implementing the above-described filter inspection method according to the present invention, and exhibits the above-described effects through the implementation of the filter inspection method according to the present invention.

具体的には、本発明に係るフィルタ検査装置では、市販されている超音波加湿器で、簡易に、水の微粒子を発生させることが出来る。又、縦波発生手段が、(好ましくは一平面上に位置して)2又は3以上備わることで、二次元的に空気の振動を発生させることが可能である。電気信号製造装置で所望の電気信号を作製しスピーカで振動に変換して空気中へ伝搬させることで、空気中に縦波を生じさせ空気の振動を発生させることが可能である。圧電アクチュエータの変位やバイブレータの変位によって振動板を振動させることでも、同様に、空気中に縦波を生じさせ空気の振動を発生させることが出来る。   Specifically, in the filter inspection apparatus according to the present invention, water fine particles can be easily generated with a commercially available ultrasonic humidifier. Further, by providing two or more longitudinal wave generating means (preferably located on one plane), it is possible to generate air vibrations two-dimensionally. By producing a desired electric signal with an electric signal manufacturing apparatus, converting it into vibration with a speaker and propagating it into the air, it is possible to generate a longitudinal wave in the air and generate vibration of the air. Similarly, by vibrating the diaphragm by the displacement of the piezoelectric actuator or the displacement of the vibrator, a longitudinal wave can be generated in the air and the vibration of the air can be generated.

以下、本発明について、適宜、図面を参酌しながら、実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されて解釈されるべきものではない。本発明に係る要旨を損なわない範囲で、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良、置換を加え得るものである。例えば、図面は、好適な本発明に係る実施の形態を表すものであるが、本発明は図面に表される態様や図面に示される情報により制限されない。本発明を実施し又は検証する上では、本明細書中に記述されたものと同様の手段若しくは均等な手段が適用され得るが、好適な手段は、以下に記述される手段である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with appropriate reference to the drawings, but the present invention should not be construed as being limited thereto. Various changes, modifications, improvements, and substitutions can be added based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the scope of the present invention. For example, the drawings show preferred embodiments according to the present invention, but the present invention is not limited by the modes shown in the drawings or the information shown in the drawings. In practicing or verifying the present invention, the same means as described in this specification or equivalent means can be applied, but preferred means are those described below.

先ず、図2〜図5を参照し、ハニカムフィルタを検査する場合を例にとって、検査対象であるハニカムフィルタ、フィルタの欠陥を検出する原理、及びフィルタの検査方法における好ましい条件、について説明する。   First, with reference to FIG. 2 to FIG. 5, taking a case of inspecting a honeycomb filter as an example, a honeycomb filter to be inspected, a principle for detecting a filter defect, and preferable conditions in the filter inspection method will be described.

ハニカムフィルタについて、説明する。図2は、検査対象(被検体)であるハニカムフィルタの一例を模式的に示す斜視図であり、図3は、ハニカムフィルタの一例を模式的に示す断面図である。尚、理解容易なように、図2に比して、図3においては、構造は簡略化して描かれている。   The honeycomb filter will be described. FIG. 2 is a perspective view schematically illustrating an example of a honeycomb filter that is an inspection target (subject), and FIG. 3 is a cross-sectional view schematically illustrating an example of the honeycomb filter. For easier understanding, the structure is simplified in FIG. 3 as compared to FIG.

図2及び図3に示されるハニカムフィルタ1は、外周壁8で囲われた内部に、流体の流路となる複数のセル3を区画形成する、多孔質の隔壁4を備えたハニカム構造体において、セル3の端部を目封止する目封止部10を形成したものである。隔壁4は、二つの端面2a,2b間を連通する複数のセル3が形成されるように配置され、目封止部10は、何れかの端面2a,2bにおいてセル3を目封止するように配置されている。目封止部10は、隣接するセル3が互いに反対側の端部(端面2a,2bの何れか側の端部)で目封止されるように存在し、その結果、ハニカムフィルタ1の端面は市松模様状を呈する(図2を参照)。   The honeycomb filter 1 shown in FIG. 2 and FIG. 3 is a honeycomb structure including a porous partition wall 4 in which a plurality of cells 3 serving as fluid flow paths are defined in an interior surrounded by an outer peripheral wall 8. A plugged portion 10 for plugging the end portion of the cell 3 is formed. The partition wall 4 is arranged so as to form a plurality of cells 3 communicating between the two end faces 2a and 2b, and the plugging portion 10 plugs the cells 3 at any of the end faces 2a and 2b. Is arranged. The plugged portions 10 exist so that adjacent cells 3 are plugged at opposite ends (ends on either side of the end surfaces 2a and 2b). As a result, the end surfaces of the honeycomb filter 1 are present. Exhibits a checkered pattern (see Figure 2).

フィルタの欠陥を検出する原理について、説明する。図4は、欠陥検出原理を示す図であって、ハニカムフィルタの一例を模式的に示す断面図である。図5は、空気の振動によって微粒子を移動させる様子を示す図であって、ハニカムフィルタの端面を示す拡大図(図2において上から見た拡大図に相当する)である。   The principle of detecting a filter defect will be described. FIG. 4 is a diagram illustrating the defect detection principle, and is a cross-sectional view schematically illustrating an example of a honeycomb filter. FIG. 5 is a diagram showing a state in which fine particles are moved by vibration of air, and is an enlarged view (corresponding to an enlarged view seen from above in FIG. 2) showing an end face of the honeycomb filter.

図3に示されるように、ハニカムフィルタ1は、DPFとして使用される場合に、排気ガス(流体)が、一方の端面2a側から、セル3(所定のセル3)内に流入し、濾過部材である隔壁4を通過し、透過流体として、他方の端面2b側が開口したセル3(残余のセル3)へと流出し、更に、他方の端面2b側から外部へ流出する。隔壁4を通過する際に、排気ガスに含まれるPMは、隔壁4で捕集される。ところが、隔壁4に意図しない穴等の欠陥があれば、そこからPMは通り抜け、DPFとしてのPM捕集能力が低下するので、出荷にあたっては、欠陥の検査を要する。   As shown in FIG. 3, when the honeycomb filter 1 is used as a DPF, the exhaust gas (fluid) flows into the cell 3 (predetermined cell 3) from the one end face 2a side, and is filtered. Passes through the partition wall 4 and flows out to the cell 3 (remaining cell 3) opened on the other end face 2b side as permeate fluid, and further flows out from the other end face 2b side to the outside. When passing through the partition walls 4, PM contained in the exhaust gas is collected by the partition walls 4. However, if there is a defect such as an unintended hole in the partition wall 4, PM passes through the partition wall 4, and the PM collecting ability as the DPF is lowered. Therefore, inspection of the defect is required at the time of shipment.

図4に示されるように、ハニカムフィルタ1において、セル3に(例えば)端面2a側から、微粒子7を導入すると、微粒子7は隔壁4を通過して、端面2b側から排出される。端面2bの近傍において端面2bに平行に、レーザ装置51で、レーザ光を発生させレンズで拡散させて(あるいは走査させて)、面状にレーザ光を照射しておくと、排出された微粒子7は光を回折散乱させ可視化される。このとき、隔壁4に欠陥6があると、そこから、欠陥6がない場合に比して、粒子径がより大きな微粒子7が、より多く、排出されることになる。より大きな微粒子7は、光をより多く回折散乱させることから、より大きな欠陥(欠陥6)のある隔壁4で形成されたセル3の上方(図4において丸囲いしたA部分)において、レーザ光はより多く回折散乱する。従って、ハニカムフィルタ1の(例えば)端面2bの近傍の輝度の差によって、欠陥6のある隔壁4で形成されたセル3を検出することが可能である。同様に、目封止部10に欠陥がある場合にも、そこから、粒子径がより大きな微粒子が、より多く、排出されるから、目封止部10に欠陥のあるセル3を検出することが出来る。   As shown in FIG. 4, in the honeycomb filter 1, when the fine particles 7 are introduced into the cells 3 from the end surface 2a side (for example), the fine particles 7 pass through the partition walls 4 and are discharged from the end surface 2b side. When the laser device 51 generates laser light and diffuses it with a lens (or scans) in the vicinity of the end face 2b in the vicinity of the end face 2b and irradiates the laser light in a planar shape, the discharged fine particles 7 Is diffracted and scattered by light and visualized. At this time, if there are defects 6 in the partition walls 4, more fine particles 7 having a larger particle diameter are discharged from there as compared with the case where there are no defects 6. Since the larger fine particle 7 diffracts and scatters more light, the laser beam is emitted above the cell 3 (part A circled in FIG. 4) formed by the partition 4 having a larger defect (defect 6). More diffraction scattering. Therefore, it is possible to detect the cell 3 formed by the partition wall 4 having the defect 6 based on the difference in luminance in the vicinity of the end face 2b (for example) of the honeycomb filter 1. Similarly, when there is a defect in the plugged portion 10, a larger number of fine particles having a larger particle diameter are discharged therefrom, so that the cell 3 having a defect in the plugged portion 10 is detected. I can do it.

ハニカムフィルタ1の端面2bに照射される光(端面照射光ともいう)には、レーザ光の拡散光成分以外に、レーザ光を微粒子に照射することによって生じる回折散乱光の一部等がある。粒子径5μm程度の微粒子を用いて欠陥の検出を行う場合、上記回折散乱光は、レーザ光の進行方向と同一方向に進む光となり、この回折散乱光の一部が、端面照射光となり、微粒子による回折散乱光と、端面反射光と、の判別が困難になる。そのため、可視化した微粒子の観察を正確に行うことが出来ない。即ち、十分な感度で欠陥を検出することが出来ない。粒子径5μm程度の微粒子を多数用いる場合、回折散乱光は、主に、レーザ光の進行方向と同一方向に進む光であるため、微粒子の像を撮像する撮像装置に入射する光は少なくなる。従って、得られる微粒子の像が暗くなる傾向がある。加えて、従来、端面反射光を欠陥として検出してしまうため、十分な検出感度が得られない。   In addition to the diffused light component of the laser light, the light irradiated onto the end face 2b of the honeycomb filter 1 includes a part of diffraction scattered light generated by irradiating fine particles with the laser light. When a defect is detected using fine particles having a particle diameter of about 5 μm, the diffracted scattered light becomes light traveling in the same direction as the traveling direction of the laser light, and a part of the diffracted scattered light becomes end face irradiation light, It becomes difficult to discriminate between diffracted and scattered light and end face reflected light. Therefore, it is impossible to accurately observe the visualized fine particles. That is, the defect cannot be detected with sufficient sensitivity. When a large number of fine particles having a particle diameter of about 5 μm are used, the diffracted scattered light is mainly light that travels in the same direction as the traveling direction of the laser light, so that the amount of light incident on the imaging device that captures an image of the fine particles is reduced. Therefore, the obtained fine particle image tends to be dark. In addition, since the end surface reflected light is conventionally detected as a defect, sufficient detection sensitivity cannot be obtained.

これに対し、ハニカムフィルタ1の端面2bの側で、(例えば、図4では示さない)電気信号製造装置とスピーカによって音波を発生させて、その音波によって微粒子7を移動させて、微粒子による回折散乱光と、端面反射光との判別がし易い場所で、輝度の差を観察・解析すれば、誤検出を避けることが出来る。又、輝点が、移動するかしないか(揺れるか揺れないか)によって、輝度をもたらすものが微粒子であるかフィルタ自体であるか判断することが出来るので、隔壁4又は目封止部10に欠陥があると誤って判断をするおそれが小さくなる。   On the other hand, on the end face 2b side of the honeycomb filter 1, sound waves are generated by an electric signal manufacturing apparatus and a speaker (for example, not shown in FIG. 4), and the fine particles 7 are moved by the sound waves, and diffraction scattering by the fine particles. If a difference in luminance is observed and analyzed in a place where it is easy to discriminate between light and end-surface reflected light, erroneous detection can be avoided. Further, since it is possible to determine whether the brightness is a fine particle or the filter itself depending on whether the bright spot moves (whether it shakes or not), the partition 4 or the plugging portion 10 The risk of making a mistake when there is a defect is reduced.

音波によって微粒子7を移動させるにあたっては、図5に示されるように、音波発生源である2つのスピーカ21a,21bを、セル3に対して、例えば90°(図5においてθ=90°)の位置に配置し、スピーカ21a,21bそれぞれの波形を調節することによって、微粒子を軌道42上で回転移動させることが可能である。軌道42上を輝点41が移動すれば、この輝点は微粒子に起因するものであり、隔壁4(目封止部10があれば目封止部10)に欠陥があると判断することが出来る。   When moving the microparticles 7 by sound waves, as shown in FIG. 5, the two speakers 21a and 21b, which are sound wave generation sources, are, for example, 90 ° (θ = 90 ° in FIG. 5) with respect to the cell 3. The fine particles can be rotated and moved on the track 42 by adjusting the waveforms of the speakers 21a and 21b. If the bright spot 41 moves on the track 42, the bright spot is caused by the fine particles, and it can be determined that the partition wall 4 (the plugged portion 10 if there is the plugged portion 10) is defective. I can do it.

フィルタの検査方法における好ましい条件について、説明する。微粒子7が拡散して感度が低下することを防止する観点から、指向性の強い光を、微粒子7が排出する端面2bの直上から5mmまでの範囲を通過させることが好ましい。より好ましくは、端面2bの直上から3mmまでの範囲である。   Preferred conditions in the filter inspection method will be described. From the viewpoint of preventing the fine particles 7 from diffusing and lowering the sensitivity, it is preferable that light with high directivity is allowed to pass through a range from directly above the end face 2b from which the fine particles 7 are discharged to 5 mm. More preferably, it is in the range from directly above the end face 2b to 3 mm.

微粒子7の粒子径は、0.3μm以上200μm以下であることが好ましく、0.5μm以上50μm以下であることが更に好ましく、1μm以上10μm以下であると尚更に好ましい。但し、これは、検出感度の観点から選定される範囲であって、微粒子7の粒子径は、検査対象となるフィルタの形状や多孔質体である場合の細孔径等により、適切なものを選ぶことが出来る。例えば、欠陥の種類と排出される微粒子の粒度分布の関係を調べることによって、検査対象に合った適切な粒子径を選ぶことが可能である。   The particle diameter of the fine particles 7 is preferably 0.3 μm or more and 200 μm or less, more preferably 0.5 μm or more and 50 μm or less, and even more preferably 1 μm or more and 10 μm or less. However, this is a range selected from the viewpoint of detection sensitivity, and the particle diameter of the fine particles 7 is selected appropriately depending on the shape of the filter to be inspected, the pore diameter in the case of a porous body, and the like. I can do it. For example, by examining the relationship between the type of defect and the particle size distribution of the discharged fine particles, it is possible to select an appropriate particle size suitable for the inspection object.

次に、図1を参照して、ハニカムフィルタを検査する場合を例にとって、フィルタ検査装置及びフィルタの検査方法について説明する。   Next, a filter inspection apparatus and a filter inspection method will be described with reference to FIG. 1 taking a case of inspecting a honeycomb filter as an example.

フィルタ検査装置について、説明する。図1は、本発明に係るフィルタの検査装置の一の実施形態を示す図であり、内部を透視した側面図である。図1に示される検査装置100は、筐体19に収められた水煙タンク12、レーザ装置51、2台のカメラ15(CCDカメラ)、複数の照明16(LED照明)、1台のスピーカ21、及び載置台25、並びに、筐体19外の2台の超音波加湿器11、電気信号製造装置22、及び画像解析装置17で構成される。   The filter inspection apparatus will be described. FIG. 1 is a view showing an embodiment of a filter inspection apparatus according to the present invention, and is a side view seen through the inside. 1 includes a water tank 12 housed in a housing 19, a laser device 51, two cameras 15 (CCD camera), a plurality of lights 16 (LED lights), a single speaker 21, And the mounting table 25, the two ultrasonic humidifiers 11 outside the housing 19, the electric signal manufacturing device 22, and the image analysis device 17.

画像解析装置17は、電気信号製造装置22を兼ねたものである。又、レーザ装置51において、レンズはレーザ光が通過する位置に取り付けられている。レーザ装置51は、昇降機14に取り付けられ、自在に上下移動する。カメラ15及び照明16は、アーム24を介して昇降機14に取り付けられ、同様に、自在に上下移動する。水煙タンク12には、圧力計27及び微粒子濃度計28が備えられており、水煙タンク12内の圧力及び微粒子濃度を管理することが可能である。   The image analysis device 17 also serves as the electrical signal manufacturing device 22. In the laser device 51, the lens is attached at a position where the laser beam passes. The laser device 51 is attached to the elevator 14 and freely moves up and down. The camera 15 and the illumination 16 are attached to the elevator 14 via the arm 24 and similarly move up and down freely. The smoke tank 12 is provided with a pressure gauge 27 and a fine particle concentration meter 28, and the pressure and fine particle concentration in the smoke tank 12 can be managed.

フィルタの検査方法について、説明する。検査に際しては、先ず、被検体であるハニカムフィルタ1が、スライドする載置台25に載って、筐体19内に入る。ハニカムフィルタ1の搬入(搬出)は、筐体19に備わる扉18が(例えば自動で)開閉することによって行われる。検査中は、扉18は閉じられており、筐体19内は閉じた空間になる。そのため、外乱によって微粒子(水煙)の動きが乱れることはない。又、照明16は、水煙が出ていないときのハニカムフィルタ1の状態を撮影するために設置してある。載置台25は、ハニカムフィルタ1の端面2bに対面する部分が開口しているが、筐体19内に入った状態では、合成樹脂製のパッキン等を介して、水煙タンク12と密着する。   A filter inspection method will be described. In the inspection, first, the honeycomb filter 1 as the subject is placed on the slide mounting table 25 and enters the housing 19. The honeycomb filter 1 is loaded (unloaded) by opening and closing (for example, automatically) the door 18 provided in the housing 19. During the inspection, the door 18 is closed, and the inside of the housing 19 becomes a closed space. Therefore, the movement of the fine particles (smoke) is not disturbed by the disturbance. Moreover, the illumination 16 is installed in order to photograph the state of the honeycomb filter 1 when water smoke is not emitted. The mounting table 25 is open at a portion facing the end face 2 b of the honeycomb filter 1, but in a state of entering the housing 19, the mounting table 25 is in close contact with the water tank 12 through a synthetic resin packing or the like.

次に、微粒子がハニカムフィルタ1の端面2aの側からセル3内へ導入される。具体的には、微粒子発生手段に相当する超音波加湿器11が、水と空気を原料として、微細な概ね5μm程度の水滴(微粒子に相当する)が浮遊してなる水煙20を発生する。この超音波加湿器11は、送風ファンを備えた機器であり、ダクト13を介して水煙タンク12と通じている(ダクト13及び水煙タンク12が微粒子導入手段に相当する)。発生した水煙20は、水煙タンク12に貯まり、更に、載置台25の開口を通じて、ハニカムフィルタ1の端面2aからセル3内に入り、隔壁4に加圧状態で接する。そして、多孔質である隔壁4の細孔を通じて、ハニカムフィルタ1の端面2bの側へ通過し、筐体19内で開放される。尚、加圧状態である水煙タンク12内の圧力は、被検体によって異なる。被検体が多孔質なハニカムフィルタ1の場合は1〜150Pa程度に加圧される。   Next, fine particles are introduced into the cell 3 from the end face 2 a side of the honeycomb filter 1. Specifically, the ultrasonic humidifier 11 corresponding to the fine particle generating means generates water smoke 20 in which fine water droplets (corresponding to fine particles) of about 5 μm are suspended using water and air as raw materials. The ultrasonic humidifier 11 is a device including a blower fan, and communicates with the water smoke tank 12 through the duct 13 (the duct 13 and the water smoke tank 12 correspond to the particle introduction means). The generated smoke 20 is stored in the smoke tank 12 and further enters the cell 3 from the end face 2a of the honeycomb filter 1 through the opening of the mounting table 25 and contacts the partition wall 4 in a pressurized state. Then, it passes through the pores of the partition walls 4, which are porous, to the end face 2 b side of the honeycomb filter 1 and is opened in the housing 19. Note that the pressure in the smoke tank 12 in a pressurized state varies depending on the subject. When the specimen is a porous honeycomb filter 1, the pressure is about 1 to 150 Pa.

上記ハニカムフィルタ1の端面2bの側で開放された水煙20に、レーザ光を照射し、輝度の差を観察ないし解析することによって、ハニカムフィルタ1における欠陥の有無又は欠陥場所が特定される。   The presence or absence of a defect in the honeycomb filter 1 or the defect location is specified by irradiating the smoke 20 released on the end face 2b side of the honeycomb filter 1 with laser light and observing or analyzing the difference in luminance.

レーザ光を照射するにあたっては、昇降機14によって、光発生手段であるレーザ装置51が適正な位置に調節し、指向性の強い光であるレーザ光を、ハニカムフィルタ1の端面2bと平行に、且つ、端面2b上の適切な位置を通過させるようにする。   When irradiating the laser light, the elevator 14 adjusts the laser device 51, which is a light generating means, to an appropriate position so that the laser light, which is highly directional light, is parallel to the end face 2b of the honeycomb filter 1, and , To pass through an appropriate position on the end face 2b.

輝度の差を観察ないし解析するにあたっては、縦波発生手段である電気信号製造装置22及びスピーカ21を使用する。具体的には、電気信号製造装置22で作製された電気信号に基づいてスピーカ21から音波を発し、その音波で水煙20を移動させ、輝点が移動するか否かを観察しつつ、移動する場合には、微粒子による回折散乱光と端面反射光との判別がし易く、輝度の差を判断し易い適切な場所に輝点を移動させて、輝度の差を観察・解析する。   In observing or analyzing the difference in luminance, the electric signal manufacturing apparatus 22 and the speaker 21 which are longitudinal wave generating means are used. Specifically, the sound wave is emitted from the speaker 21 based on the electric signal produced by the electric signal manufacturing apparatus 22, the water smoke 20 is moved by the sound wave, and it moves while observing whether the bright spot moves. In this case, the brightness difference is observed and analyzed by moving the bright spot to an appropriate place where it is easy to discriminate between the diffracted scattered light from the fine particles and the end face reflected light, and to easily determine the brightness difference.

輝度の分布は、カメラ15の位置を調節することによって、適切な輝度情報として、画像解析装置17に集約される。輝度の差は、画像解析装置17のモニタで人間の視覚を通じて判断され、あるいは画像解析装置17に備わるプログラムで自動解析され、これらを通じて、欠陥の有無及び欠陥場所の特定がなされる。検査を終えたら、被検体であるハニカムフィルタ1は、スライドする載置台25に載って、筐体19外へ出る。   The luminance distribution is collected in the image analysis device 17 as appropriate luminance information by adjusting the position of the camera 15. The difference in luminance is determined through human vision on the monitor of the image analysis device 17 or automatically analyzed by a program provided in the image analysis device 17, and through these, the presence or absence of a defect and the location of the defect are specified. When the inspection is completed, the honeycomb filter 1 as the subject is placed on the mounting table 25 that slides and goes out of the housing 19.

以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated concretely based on an Example, this invention is not limited to these Examples.

(実施例1)測定対象として、図2及び図3に示されるハニカムフィルタ1を用意した。この実施例で使用したハニカムフィルタ1は、その直径が229mm、長さは279mm、セル密度は46.5個/cmであった。 Example 1 A honeycomb filter 1 shown in FIGS. 2 and 3 was prepared as an object to be measured. The honeycomb filter 1 used in this example had a diameter of 229 mm, a length of 279 mm, and a cell density of 46.5 cells / cm 2 .

用意したハニカムフィルタ1について、図1に示される検査装置100を用いて、欠陥の検出を行った。スピーカ21は、レーザ装置51からみてハニカムフィルタ1の反対側に、その中心が、ハニカムフィルタ1の端面2bからの高さ4mmになるように、配設した。   About the prepared honey-comb filter 1, the detection of the defect was performed using the test | inspection apparatus 100 shown by FIG. The speaker 21 is disposed on the opposite side of the honeycomb filter 1 as viewed from the laser device 51 so that the center thereof is 4 mm from the end face 2 b of the honeycomb filter 1.

先ず、超音波加湿器11によって、粒子径5μmの微粒子を発生させ、超音波加湿器11に付属した(図示しない)微粒子供給ファンによって、微粒子をダクト13に導入し、水煙タンク12で、微粒子の濃度を均一化させた後、微粒子を、ハニカムフィルタ1の端面2a側から、複数のセル3の中へ導入し、端面2b側に排出させた。併せて、レーザ装置51によって、端面2bからの高さが4mmである位置に、端面2bに平行な平面状のHe−Neレーザ光を出射し、このHe−Neレーザ光によって、微粒子を照射して、可視化した。   First, fine particles having a particle diameter of 5 μm are generated by the ultrasonic humidifier 11, and the fine particles are introduced into the duct 13 by a fine particle supply fan (not shown) attached to the ultrasonic humidifier 11. After equalizing the concentration, the fine particles were introduced into the plurality of cells 3 from the end face 2a side of the honeycomb filter 1 and discharged to the end face 2b side. At the same time, the laser device 51 emits a planar He—Ne laser beam parallel to the end surface 2 b to a position where the height from the end surface 2 b is 4 mm, and the He—Ne laser beam irradiates fine particles. And visualized.

そして、画像解析装置17を兼ねる電気信号製造装置22から送られた電気信号によってスピーカ21を振動させて、空気の振動を発生させ、その空気の振動によって、可視化させた微粒子を移動させながら、その微粒子の像を、カメラ15によって撮像し、画像解析装置17で確認して、ハニカムフィルタ1の欠陥を検査した。   Then, the speaker 21 is vibrated by the electric signal sent from the electric signal manufacturing apparatus 22 also serving as the image analysis device 17 to generate air vibration, and the visualized fine particles are moved by the air vibration, An image of the fine particles was picked up by the camera 15 and confirmed by the image analyzer 17 to inspect the honeycomb filter 1 for defects.

(比較例1)電気信号製造装置22及びスピーカ21を使用せず、空気の振動によって、可視化させた微粒子を移動させることを行わず、端面2b側に、自然に排出した微粒子の像を、カメラ15によって撮像し、画像解析装置17で確認した。それ以外は、実施例1と同様にして、ハニカムフィルタ1の欠陥を検査した。   (Comparative Example 1) Without using the electric signal manufacturing apparatus 22 and the speaker 21, the image of the fine particles discharged naturally is not captured on the end face 2b side without moving the visualized fine particles by the vibration of air. The image was picked up by 15 and confirmed by the image analysis device 17. Otherwise, the honeycomb filter 1 was inspected for defects in the same manner as in Example 1.

(検査結果と考察)実施例1においては、比較例1に比して、検出率が7%(N数20個)上昇した。又、実施例1においては、比較例1に比して、画像解析装置17により、欠陥の発生しているセルから排出された微粒子の像が、はっきりと明るく見えた。更に、実施例1において、光が回折散乱した部分が空気の振動によって異動するか否かにより、その散乱が微粒子によるものであるか否かを判断可能なことを、確認することが出来た。   (Test results and discussion) In Example 1, the detection rate increased by 7% (N number: 20) as compared with Comparative Example 1. Further, in Example 1, as compared with Comparative Example 1, the image of the fine particles discharged from the cell in which the defect was generated by the image analysis device 17 appeared clearly and brightly. Furthermore, in Example 1, it was confirmed that it was possible to determine whether or not the scattering was caused by fine particles depending on whether or not the portion where the light was diffracted and scattered was changed by the vibration of air.

[検出率]欠陥を有する20体のハニカムフィルタ1について、実施例1及び比較例1それぞれについて、欠陥の発生しているセル数(検出欠陥数)を測定した。そして、その結果より、{(実施例1で検出された欠陥数)/(比較例1で検出された欠陥数)×100}−100(%)を算出して、検出数上昇割合とした。例えば、実施例1による欠陥数が11個であり、比較例1による欠陥数が10個であった場合には、検出数上昇割合は10%である。このようにしてハニカムフィルタ(20体)について、検出数上昇割合を得て、得られた検出数上昇割合の平均値を、検出率とした。   [Detection Rate] With respect to 20 honeycomb filters 1 having defects, the number of cells in which defects occurred (number of detected defects) was measured for each of Example 1 and Comparative Example 1. Then, from the result, {(number of defects detected in Example 1) / (number of defects detected in Comparative Example 1) × 100} −100 (%) was calculated and set as a detection number increase rate. For example, when the number of defects according to Example 1 is 11 and the number of defects according to Comparative Example 1 is 10, the rate of increase in the detection number is 10%. Thus, about the honeycomb filter (20 bodies), the detection number increase rate was obtained, and the average value of the obtained detection number increase rate was set as the detection rate.

本発明に係るフィルタの検査方法及びフィルタ検査装置は、フィルタの欠陥の有無を検査する手段として利用することが出来る。特に、粒子状物質を排気ガス中から除去するDPFとして使用される、多孔質のハニカムフィルタを検査する手段として、好適に用いられる。   The filter inspection method and filter inspection apparatus according to the present invention can be used as means for inspecting the presence or absence of a filter defect. In particular, it is suitably used as a means for inspecting a porous honeycomb filter used as a DPF for removing particulate matter from exhaust gas.

本発明に係るフィルタの検査装置の一の実施形態を示す(内部を透視した)側面図である。It is a side view which shows one Embodiment of the inspection apparatus of the filter which concerns on this invention (the inside was seen through). 検査対象であるハニカムフィルタの一例を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically an example of the honey-comb filter which is a test object. 検査対象であるハニカムフィルタの一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the honey-comb filter which is a test object. 本発明に係るフィルタの検査方法の欠陥検出原理を示す図であって、ハニカムフィルタの一例を模式的に示す断面図である。It is a figure which shows the defect detection principle of the inspection method of the filter which concerns on this invention, Comprising: It is sectional drawing which shows typically an example of a honey-comb filter. 本発明に係るフィルタの検査方法における空気の振動によって微粒子を移動させる様子を示す図であって、ハニカムフィルタの端面を示す拡大図である。It is a figure which shows a mode that microparticles | fine-particles are moved by the vibration of the air in the inspection method of the filter which concerns on this invention, Comprising: It is an enlarged view which shows the end surface of a honeycomb filter.

符号の説明Explanation of symbols

1:ハニカムフィルタ、2a,2b:端面、3:セル、4:隔壁、6:欠陥、7:微粒子、8:外周壁、10:目封止部、11:超音波加湿器、12:水煙タンク、13:ダクト、14:昇降機、15:カメラ、16:照明、17:画像解析装置、18:扉、19:筐体、20:水煙、21,21a,21b:スピーカ、22:電気信号製造装置、24:アーム、25:載置台、27:圧力計、28:微粒子濃度計、51:レーザ装置、100:検査装置。 1: honeycomb filter, 2a, 2b: end face, 3: cell, 4: partition, 6: defect, 7: fine particle, 8: outer peripheral wall, 10: plugged portion, 11: ultrasonic humidifier, 12: water smoke tank , 13: Duct, 14: Elevator, 15: Camera, 16: Illumination, 17: Image analysis device, 18: Door, 19: Housing, 20: Smoke, 21, 21a, 21b: Speaker, 22: Electric signal manufacturing device , 24: arm, 25: mounting table, 27: pressure gauge, 28: fine particle concentration meter, 51: laser device, 100: inspection device.

Claims (22)

微粒子を発生させ、その微粒子をフィルタの一の側から当該フィルタ内へ導入するとともに、指向性の強い光を発生させ、その光を前記フィルタの他の側を通過させ、更に、前記フィルタの他の側で空気の振動を発生させ、その空気の振動によって前記フィルタの他の側から排出される前記微粒子を移動させながら、その微粒子に前記光を照射して微粒子を可視化するフィルタの検査方法。   Generate fine particles, introduce the fine particles into the filter from one side of the filter, generate highly directional light, pass the light through the other side of the filter, and A method for inspecting a filter in which air vibration is generated on the side of the filter and the fine particles discharged from the other side of the filter are moved by the vibration of the air, and the light is irradiated to the fine particles to visualize the fine particles. 前記微粒子は、水である請求項1に記載のフィルタの検査方法。   The filter inspection method according to claim 1, wherein the fine particles are water. 超音波による加湿手段によって、前記微粒子を発生させる請求項2に記載のフィルタの検査方法。   The filter inspection method according to claim 2, wherein the fine particles are generated by a humidifying means using ultrasonic waves. 二次元的に、前記空気の振動を発生させる請求項1〜3の何れか一項に記載のフィルタの検査方法。   The filter inspection method according to claim 1, wherein the vibration of the air is generated two-dimensionally. 空気中に縦波を生じさせることによって、前記空気の振動を発生させる請求項1〜4の何れか一項に記載のフィルタの検査方法。   The filter inspection method according to claim 1, wherein a vibration of the air is generated by generating a longitudinal wave in the air. 空気に縦波を発生させることによって、前記空気の振動を発生させる請求項1〜4の何れか一項に記載のフィルタの検査方法。   The filter inspection method according to claim 1, wherein vibration of the air is generated by generating a longitudinal wave in the air. 前記フィルタは、前記他の側が面を有するものであり、
前記光を面状に発生させ、その光を前記フィルタの他の側の面と平行に通過させ、二次元的に前記光を前記微粒子に照射する請求項1〜6の何れか一項に記載のフィルタの検査方法。
The filter has a surface on the other side,
7. The light according to claim 1, wherein the light is generated in a planar shape, the light is passed in parallel with the surface on the other side of the filter, and the fine particles are irradiated two-dimensionally. Filter inspection method.
可視化した前記微粒子の画像を、コンピュータに取り入れ、記録し、解析する請求項1〜7の何れか一項に記載のフィルタの検査方法。   The filter inspection method according to claim 1, wherein the visualized image of the fine particles is taken into a computer, recorded, and analyzed. 前記微粒子の粒子径は、0.3μm以上200μm以下である請求項1〜8の何れか一項に記載のフィルタの検査方法。   The filter inspection method according to claim 1, wherein a particle diameter of the fine particles is 0.3 μm or more and 200 μm or less. 検査対象である前記フィルタは、多孔質のハニカム構造体である請求項1〜9の何れか一項に記載のフィルタの検査方法。   The filter inspection method according to claim 1, wherein the filter to be inspected is a porous honeycomb structure. 検査対象である前記フィルタは、ディーゼル・パティキュレート・フィルタである請求項1〜10の何れか一項に記載のフィルタの検査方法。   The filter inspection method according to claim 1, wherein the filter to be inspected is a diesel particulate filter. 微粒子を発生させる微粒子発生手段と、その微粒子をフィルタの一の側から当該フィルタ内へ導入する微粒子導入手段と、前記フィルタの他の側を通過するように指向性の強い光を発生させる光発生手段と、前記フィルタの他の側で空気の振動を発生させる縦波発生手段と、を具備するフィルタ検査装置。   Fine particle generating means for generating fine particles, fine particle introducing means for introducing the fine particles into the filter from one side of the filter, and light generation for generating highly directional light so as to pass through the other side of the filter And a longitudinal wave generating means for generating vibration of air on the other side of the filter. 前記微粒子が、水である請求項12に記載のフィルタ検査装置。   The filter inspection apparatus according to claim 12, wherein the fine particles are water. 前記微粒子発生手段が、超音波加湿器である請求項13に記載のフィルタ検査装置。   The filter inspection apparatus according to claim 13, wherein the fine particle generation means is an ultrasonic humidifier. 前記縦波発生手段が、2又は3以上備わる請求項12〜14の何れか一項に記載のフィルタ検査装置。   The filter inspection apparatus according to any one of claims 12 to 14, wherein the longitudinal wave generating means includes two or three or more. 前記縦波発生手段が、電気信号製造装置とスピーカ、及び圧電アクチュエータと振動板、から選択される少なくとも一の手段である請求項12〜15の何れか一項に記載のフィルタ検査装置。   The filter inspection apparatus according to any one of claims 12 to 15, wherein the longitudinal wave generating means is at least one means selected from an electric signal manufacturing apparatus and a speaker, and a piezoelectric actuator and a diaphragm. 前記縦波発生手段が、バイブレータ、又は振動モータと振動板である請求項12〜15の何れか一項に記載のフィルタ検査装置。   The filter inspection apparatus according to any one of claims 12 to 15, wherein the longitudinal wave generating means is a vibrator or a vibration motor and a diaphragm. 前記光発生手段が、前記光を面状に発生させ、その光を前記フィルタの他の側の面と平行に通過させ得る手段である請求項12〜17の何れか一項に記載のフィルタ検査装置。   The filter inspection according to any one of claims 12 to 17, wherein the light generating means is means for generating the light in a planar shape and allowing the light to pass in parallel with the surface on the other side of the filter. apparatus. 前記微粒子を撮像するカメラ、及び、撮像された前記微粒子の画像を取り入れ記録し解析するコンピュータ、を具備する請求項12〜18の何れか一項に記載のフィルタ検査装置。   The filter inspection apparatus according to any one of claims 12 to 18, further comprising a camera that captures the fine particles, and a computer that takes in and records and analyzes the captured image of the fine particles. 前記微粒子の粒子径は、0.3μm以上200μm以下である請求項12〜19の何れか一項に記載のフィルタ検査装置。   The filter inspection apparatus according to any one of claims 12 to 19, wherein a particle diameter of the fine particles is 0.3 µm or more and 200 µm or less. 検査対象である前記フィルタは、多孔質のハニカム構造体である請求項12〜20の何れか一項に記載のフィルタ検査装置。   The filter inspection apparatus according to any one of claims 12 to 20, wherein the filter to be inspected is a porous honeycomb structure. 検査対象である前記フィルタは、ディーゼル・パティキュレート・フィルタである請求項12〜21の何れか一項に記載のフィルタ検査装置。   The filter inspection apparatus according to any one of claims 12 to 21, wherein the filter to be inspected is a diesel particulate filter.
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