JP2007311687A - Method and apparatus for joining semiconductor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電極付きの電子基板と電極付きの半導体素子とを接合する半導体接合方法及び装置に関する。 The present invention relates to a semiconductor bonding method and apparatus for bonding an electronic substrate with electrodes and a semiconductor element with electrodes.
従来、この種の半導体接合装置としては、例えば図15に示されるような従来例1の装置が知られている(例えば特許文献1参照)。すなわち、従来例1の半導体接合装置においては、図15に示すように、粘着シート113がリング形状のウェハーリング114の上部開口を塞ぐように引き延ばされた状態でウェハーリング114に固定されている。粘着シート113の上面には、ウェハーがダイシングされて複数に分割されることにより形成され、上面の回路形成面115bに複数のバンプ115aを有する複数の半導体素子115が粘着材により一時的に固定されている。
Conventionally, as this type of semiconductor bonding apparatus, for example, an apparatus of Conventional Example 1 as shown in FIG. 15 is known (for example, see Patent Document 1). That is, in the semiconductor bonding apparatus of Conventional Example 1, as shown in FIG. 15, the
半導体素子115は、ウェハーリング114の下方に配置された突上針上下運動部130の突上針135bが円筒状の突上針ホルダ132内より上昇することにより、粘着シート113を介して上方に突き上げられて粘着シート113から剥がされ、ウェハーリング114の上方に配置された供給ヘッド141に吸着によりピックアップされる。供給ヘッド141によりピックアップされた半導体素子115は、複数のバンプ115aが上向きの状態のままウェハーリング114の側方に配置された180°反転ヘッド140に受け渡され、吸着保持される。180°反転ヘッド140に吸着保持された半導体素子115は、吸着保持された状態で、180°反転ヘッド140に一体的に連結された反転機構142により180°反転され、反転ヘッド140の下方に配置された位置決めステージ143と複数のバンプ115aとが対向する位置まで移動されたのち、吸着保持状態を解除され、位置決めステージ143上に受け渡される。位置決めステージ143上に受け渡された半導体素子115は、位置決めステージ143上に摺動可能に設けられた位置決め用爪144によりXYθ方向の位置決めをされたのち、マウントヘッド151に吸着によりピックアップされて、マウントステージ150の上面に予めセットされた被装着物152に載置される。被装着物152に載置された半導体素子115は、その上方からその下面(回路形成面115b)に浸透するように接着剤を塗布され、熱処理炉で加熱されたのち、冷却されて前記接着剤が硬化することにより被装着物115に接合される。
The
しかしながら、従来例1の半導体接合装置においては、半導体素子115が粘着シート113から剥がされて被装着物152に載置されるまでの受け渡し工程が複雑であるので、半導体素子115やバンプ115a等を損傷させる恐れがあるとともに、半導体素子115を被装着物152に供給するまでの時間が掛かり、また、前記受け渡し工程の途中で半導体素子115を落下させる恐れもある。
However, in the semiconductor bonding apparatus of Conventional Example 1, since the delivery process until the
前記のような従来例1の半導体接合装置の課題を解決する技術(以下、従来例2という)が、例えば特許文献2に開示されている。図16は、従来例2の半導体接合装置の動作を説明するための概略図である。なお、従来例1と同様の装置に関しては、同じ符号を付している。
For example,
従来例2の半導体接合装置においては、図16に示すように、回路形成面115b及び複数のバンプ115aが下向きになるように半導体素子115を保持するウェハーリング114が従来例1とは反転して位置決めされている。
In the semiconductor bonding apparatus of Conventional Example 2, as shown in FIG. 16, the
半導体素子115は、ウェハーリング114の上方に配置された突下針上下移動機構110が、ウェハーリング114の図16における上部開口を塞ぐように密閉プレート112をウェハーリング114の上面に当接させるとともに真空吸引させながら突下針111を下降させることにより、粘着シート113を介して下方に突き下げられて、粘着シート113から半導体素子115が剥がされ、回路形成面115b及び複数のバンプ115aが下向きの状態で位置決めステージ120上に半導体素子115が受け渡される。位置決めステージ120上に受け渡された半導体素子115は、位置決めステージ120の下部に備えられたXYθ移動機構122によりXYθ方向の位置決めをされたのち、XYθ移動機構122を図16の左右方向に移動可能に保持する移動ステージ123によりマウントヘッド151でピックアップ可能な位置まで搬送され、マウントヘッド151に吸着によりピックアップされる。マウントヘッド151に吸着によりピックアップされた半導体素子115は、マウントヘッド151によりマウントステージ150の上面に予めセットされた被装着物152に載置される。被装着物152に載置された半導体素子115は、その上方からその下面(回路形成面115b)に浸透するように接着剤を塗布され、熱処理炉で加熱されたのち、冷却されて前記接着剤が硬化することにより被装着物115に接合される。
In the
従来例2の半導体接合装置は、前記のように構成されることにより、半導体素子115を180°反転させる工程をなくし、前記受け渡し工程を簡潔化したので、半導体素子115やバンプ115a等が損傷するのを抑え、半導体素子115を被装着物152に供給するまでの時間を短縮するとともに前記受け渡し工程の途中で半導体素子115が落下するのを防ぐことができる。
Since the semiconductor bonding apparatus according to the conventional example 2 is configured as described above, the process of inverting the
近年、半導体素子を構成するウェハーの厚みは薄くなる傾向にあり、従来は一般的に100μm程度であったものが、現在は50μm以下(例えば30μm)にまでウェハーの厚みは薄くなってきている。一方、ウェハーに用いられる材料としては、動作速度を落とさずに半導体素子を微細化するために、脆い性質を有する低誘電率(Low−K)材料が使われてきている。 In recent years, the thickness of a wafer constituting a semiconductor element tends to be thin, and the thickness of the wafer has been reduced to 50 μm or less (for example, 30 μm), which was generally about 100 μm in the past. On the other hand, as a material used for a wafer, a low dielectric constant (Low-K) material having a brittle property has been used in order to miniaturize a semiconductor element without reducing the operation speed.
前記のように、ウェハーに低誘電率材料が使われたり、ウェハーの厚みが薄くなってくると、従来例2の半導体接合装置においても、例えば突下針111を下降させて半導体素子115を下方に突き下げて粘着シート113から剥がすときなどに、半導体素子115に局所的に応力がかかり、半導体素子115に破損や欠け等が発生する。
As described above, when a low dielectric constant material is used for the wafer or the thickness of the wafer becomes thin, in the semiconductor bonding apparatus of the conventional example 2, for example, the projecting needle 111 is lowered to move the
従って、本発明の目的は、前記問題を解決することにあって、ウェハーに低誘電率材料が使われたり、ウェハーの厚みが薄くなっても、半導体素子の破損や欠け等の発生を防止することができる半導体接合方法及び装置を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-described problems, and prevents the occurrence of breakage or chipping of semiconductor elements even when a low dielectric constant material is used for the wafer or the thickness of the wafer is reduced. It is an object of the present invention to provide a semiconductor bonding method and apparatus capable of performing the same.
本発明の第1態様によれば、電極付きの電子基板と電極付きの半導体素子とを接合する半導体接合方法であって、
個々の半導体素子に相互に分割され且つ各半導体素子の表面に電極が形成されたウェハーの裏面とウェハーシート保持体のウェハーシートとが熱剥離層で接着されて前記ウェハーを前記ウェハーシート保持体に保持した状態で、前記ウェハーの前記半導体素子のうちの1つの半導体素子の前記電極と、前記1つの半導体素子の前記電極に対応する前記電子基板の電極とを対向させて位置決めし、
前記ウェハーシート保持体に前記ウェハーを保持した状態で、前記ウェハーの前記1つの半導体素子の前記電極と前記電子基板の前記電極とを接触させつつ、前記1つの半導体素子と前記電子基板とを熱圧着して、前記1つの半導体素子の前記電極とそれに対応する前記電子基板の前記電極とを接合すると同時的に、前記熱圧着時の熱により前記熱剥離層の接着力を弱めて、前記電子基板に接合された前記1つの半導体素子を前記ウェハーシートから離脱させることを特徴とする半導体接合方法を提供する。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a semiconductor bonding method for bonding an electronic substrate with an electrode and a semiconductor element with an electrode,
The back surface of the wafer, which is divided into individual semiconductor elements and electrodes are formed on the surface of each semiconductor element, and the wafer sheet of the wafer sheet holder are bonded together by a heat release layer, and the wafer is made into the wafer sheet holder. In the held state, the electrode of one of the semiconductor elements of the wafer and the electrode of the electronic substrate corresponding to the electrode of the one semiconductor element are positioned facing each other,
With the wafer held by the wafer sheet holder, the one semiconductor element and the electronic substrate are heated while contacting the electrode of the one semiconductor element of the wafer and the electrode of the electronic substrate. At the same time as bonding the electrode of the one semiconductor element and the corresponding electrode of the electronic substrate by bonding, the adhesive force of the thermal peeling layer is weakened by heat at the time of the thermocompression bonding, and the electron A semiconductor bonding method is provided, wherein the one semiconductor element bonded to a substrate is detached from the wafer sheet.
本発明の第2態様によれば、前記1つの半導体素子と前記電子基板を前記熱圧着するときに、前記1つの半導体素子の前記電極が形成された電極面と前記電子基板の前記電極が形成された電極面との間に配置された熱硬化層を熱硬化させて、前記1つの半導体素子と前記電子基板を接着させて前記熱圧着を行うことを特徴とする第1態様に記載の半導体接合方法を提供する。 According to the second aspect of the present invention, when the one semiconductor element and the electronic substrate are thermocompression bonded, the electrode surface on which the electrode of the one semiconductor element is formed and the electrode of the electronic substrate are formed. The semiconductor according to the first aspect, wherein the thermosetting layer disposed between the electrode surfaces is thermoset, the one semiconductor element and the electronic substrate are bonded, and the thermocompression bonding is performed. A bonding method is provided.
本発明の第3態様によれば、前記熱圧着と同時的に、前記熱圧着時の熱により、熱剥離シート、熱剥離フィルム又は熱剥離接着剤の内の一つで構成されている前記熱剥離層の接着力を弱めて、前記電子基板に接合された前記1つの半導体素子を前記ウェハーシートから離脱させることを特徴とする第1又は2態様に記載の半導体接合方法を提供する。 According to the third aspect of the present invention, at the same time as the thermocompression bonding, the heat composed of one of a heat release sheet, a heat release film, and a heat release adhesive by heat during the thermocompression bonding. The semiconductor bonding method according to the first or second aspect, wherein the adhesive force of the release layer is weakened and the one semiconductor element bonded to the electronic substrate is detached from the wafer sheet.
本発明の第4態様によれば、前記熱圧着と同時的に、前記熱圧着時の熱により、熱硬化シート、熱硬化フィルム又は熱硬化接着剤の内の一つで構成されている熱硬化層を熱硬化することを特徴とする第1〜3態様のいずれか1つに記載の半導体接合方法を提供する。 According to the fourth aspect of the present invention, at the same time as the thermocompression bonding, the thermosetting is composed of one of a thermosetting sheet, a thermosetting film, or a thermosetting adhesive by heat during the thermocompression bonding. The semiconductor bonding method according to any one of the first to third aspects, wherein the layer is thermally cured.
本発明の第5態様によれば、前記熱圧着時に、前記1つの半導体素子の裏面側から熱を加えることを特徴とする第1〜4態様のいずれか1つに記載の半導体接合方法を提供する。 According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the semiconductor bonding method according to any one of the first to fourth aspects, wherein heat is applied from the back side of the one semiconductor element during the thermocompression bonding. To do.
本発明の第6態様によれば、前記熱圧着時に、前記電子基板の裏面側から熱を加えることを特徴とする第1〜5態様のいずれか1つに記載の半導体接合方法を提供する。 According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the semiconductor bonding method according to any one of the first to fifth aspects, wherein heat is applied from the back side of the electronic substrate during the thermocompression bonding.
本発明の第7態様によれば、前記熱圧着時に、前記半導体素子の裏面側から、固定された前記電子基板に向けて押圧することを特徴とする第1〜6態様のいずれか1つに記載の半導体接合方法を提供する。 According to a seventh aspect of the present invention, in any one of the first to sixth aspects, the thermocompression bonding is performed by pressing from the back surface side of the semiconductor element toward the fixed electronic substrate. A semiconductor bonding method as described is provided.
本発明の第8態様によれば、前記熱圧着時に、前記電子基板の裏面側から、固定された前記1つの半導体素子に向けて押圧することを特徴とする第1〜6態様のいずれか1つに記載の半導体接合方法を提供する。
According to an eighth aspect of the present invention, any one of the first to sixth aspects is characterized in that, during the thermocompression bonding, pressing is performed from the back surface side of the electronic substrate toward the one semiconductor element fixed. The semiconductor bonding method according to
本発明の第9態様によれば、前記熱圧着時に、前記電子基板の裏面側から前記1つの半導体素子に向けて押圧するとともに、前記1つの半導体素子の裏面側から前記電子基板に向けて押圧することを特徴とする第1〜6態様のいずれか1つに記載の半導体接合方法を提供する。 According to the ninth aspect of the present invention, at the time of the thermocompression bonding, the pressing is performed from the back surface side of the electronic substrate toward the one semiconductor element, and the pressing is performed from the back surface side of the one semiconductor element toward the electronic substrate. The semiconductor bonding method according to any one of the first to sixth aspects is provided.
本発明の第10態様によれば、前記電子基板に前記複数の半導体素子を接合するときに、前記ウェハーシート保持体の前記ウェハーシートに保持され且つ前記電子基板に接合されていない半導体素子と、前記電子基板に既に接合された半導体素子とが、干渉関係にならないように接合することを特徴とする第1〜9態様のいずれか1つに記載の半導体接合方法を提供する。 According to the tenth aspect of the present invention, when bonding the plurality of semiconductor elements to the electronic substrate, a semiconductor element that is held on the wafer sheet of the wafer sheet holder and is not bonded to the electronic substrate; The semiconductor bonding method according to any one of the first to ninth aspects, wherein bonding is performed so that the semiconductor element already bonded to the electronic substrate does not have an interference relationship.
本発明の第11態様によれば、前記複数の半導体素子の中の不良の半導体素子を不良半導体素子廃棄位置に搬送したのち、前記不良の半導体素子に対応する前記熱剥離層に熱を加えて前記不良の半導体素子を前記ウェハーシートから離脱させることを特徴とする第1〜10態様のいずれか1つに記載の半導体接合方法を提供する。 According to an eleventh aspect of the present invention, after transferring a defective semiconductor element among the plurality of semiconductor elements to a defective semiconductor element discarding position, heat is applied to the thermal separation layer corresponding to the defective semiconductor element. The semiconductor bonding method according to any one of the first to tenth aspects, wherein the defective semiconductor element is separated from the wafer sheet.
本発明の第12態様によれば、前記電子基板に前記半導体素子を接合するときに、1つの電子基板に対して1つの半導体素子のみを接合することを特徴とする第1〜11態様のいずれか1つに記載の半導体接合方法を提供する。 According to a twelfth aspect of the present invention, any one of the first to eleventh aspects is characterized in that when the semiconductor element is bonded to the electronic substrate, only one semiconductor element is bonded to one electronic substrate. A semiconductor bonding method according to any one of the above is provided.
本発明の第13態様によれば、電極付きの電子基板と電極付きの半導体素子とを接合する半導体接合装置であって、
ウェハーシートと、個々の半導体素子に相互に分割され且つ各半導体素子の表面に電極が形成されたウェハーの裏面と前記ウェハーシートとを接着する熱剥離層とを備えて、前記ウェハーを前記熱剥離層を介して前記ウェハーシートに接着して保持するウェハーシート保持体と、
前記ウェハーを前記ウェハーシート保持体に保持した状態で、前記ウェハーシートの前記半導体素子のうちの1つの半導体素子の電極と、前記1つの半導体素子の前記電極に対応する前記電子基板の電極とを対向させて位置決めさせたのち、前記ウェハーの前記1つの半導体素子の前記電極と前記電子基板の前記電極とを接触させつつ、前記1つの半導体素子と前記電子基板とを熱圧着して、前記1つの半導体素子の前記電極とそれに対応する前記電子基板の前記電極とを接合すると同時的に、前記熱圧着時の熱により前記熱剥離層の接着力を弱めて、前記電子基板に接合された前記1つの半導体素子を前記ウェハーシートから離脱させる接合部と、
を備えることを特徴とする半導体接合装置を提供する。
According to a thirteenth aspect of the present invention, there is provided a semiconductor bonding apparatus for bonding an electronic substrate with an electrode and a semiconductor element with an electrode,
A wafer sheet, and a thermal delamination layer for bonding the wafer sheet to the back surface of the wafer, which is divided into individual semiconductor elements and in which electrodes are formed on the surface of each semiconductor element, and the thermal delamination of the wafer A wafer sheet holder that adheres to and holds the wafer sheet through a layer;
With the wafer held by the wafer sheet holder, an electrode of one of the semiconductor elements of the wafer sheet and an electrode of the electronic substrate corresponding to the electrode of the one semiconductor element After being positioned to face each other, the one semiconductor element and the electronic substrate are thermocompression-bonded while the electrode of the one semiconductor element of the wafer and the electrode of the electronic substrate are brought into contact with each other. At the same time as bonding the electrodes of two semiconductor elements and the corresponding electrodes of the electronic substrate, the adhesive force of the thermal peeling layer is weakened by the heat during the thermocompression bonding, and the electrodes bonded to the electronic substrate A joint for separating one semiconductor element from the wafer sheet;
A semiconductor bonding apparatus is provided.
本発明の第14態様によれば、前記ウェハーシート保持体は、前記ウェハーシート保持体に保持された前記ウェハー上に、前記熱圧着時の熱硬化により前記1つの半導体素子と前記電子基板とを電極接合状態で接着させる熱硬化層を配置した状態で、前記ウェハーを前記熱剥離層を介して前記ウェハーシートに接着して保持することを特徴とする第13態様に記載の半導体接合装置を提供する。 According to a fourteenth aspect of the present invention, the wafer sheet holding body has the one semiconductor element and the electronic substrate placed on the wafer held by the wafer sheet holding body by thermosetting during the thermocompression bonding. The semiconductor bonding apparatus according to the thirteenth aspect, wherein the wafer is bonded and held to the wafer sheet via the thermal release layer in a state where a thermosetting layer to be bonded in an electrode bonding state is disposed. To do.
本発明の第15態様によれば、前記接合部により前記位置決めを行う前に前記電子基板の認識対象部を認識して電子基板認識データを出力する電子基板認識装置と、
前記1つの半導体素子と前記電子基板の接合前に前記1つの半導体素子の認識対象部を認識して半導体素子認識データを出力する半導体素子認識装置と、
をさらに備え、
前記接合部は、
前記ウェハーシート保持体に保持された前記ウェハーの前記1つの半導体素子の前記電極が形成された電極面が、前記電子基板の前記電極が形成された電極面に対向状態で配置された状態で前記ウェハーシート保持体を搬送して、前記ウェハーシート保持体に保持された前記ウェハーの前記1つの半導体素子を半導体素子用接合位置に位置させる半導体素子搬送装置と、
前記半導体素子搬送装置により搬送されて前記半導体素子用接合位置に位置した前記ウェハーシート保持体の前記ウェハーの前記1つの半導体素子を前記熱剥離層を介して接着している前記ウェハーシートに対向し且つ前記1つの半導体素子の裏面に対応する前記ウェハーシートの熱圧着領域に接触可能な熱圧着ツールと、
前記半導体素子搬送装置により搬送されて前記半導体素子用接合位置に位置した、前記ウェハーシート保持体の前記ウェハーシートの前記熱圧着領域に接触させるように前記熱圧着ツールを移動させる熱圧着ツール移動装置と、
接合前の前記電子基板の前記電極面が、前記1つの半導体素子の前記電極面に対向可能に配置された状態で接合前の前記電子基板を、前記半導体素子用接合位置に位置する前記1つの半導体素子の前記電極面に対向する電子基板用接合位置に搬送し、前記電子基板用接合位置で前記1つの半導体素子の前記電極に前記電子基板の前記電極を位置決めする電子基板搬送装置と、
前記半導体素子搬送装置と前記熱圧着ツールと前記熱圧着ツール移動装置と前記電子基板搬送装置と前記電子基板認識装置と前記半導体素子認識装置とが接続されて夫々の動作を制御することにより、前記ウェハーシート保持体を前記半導体素子搬送装置により前記半導体素子用接合位置に搬送し、前記半導体素子用接合位置に位置した前記ウェハーシート保持体の前記ウェハーシートの前記熱圧着領域で前記熱圧着ツールを接触させるとともに、接合前の前記電子基板を前記電子基板搬送装置により前記電子基板用接合位置に搬送して、前記半導体素子認識装置により出力された前記半導体素子認識データと前記電子基板認識装置により出力された前記電子基板認識データとに基づき、前記1つの半導体素子の電極に前記電子基板の前記電極が接合されるように前記半導体素子搬送装置と前記電子基板搬送装置とにより前記1つの半導体素子と前記電子基板とを位置決めし、前記1つの半導体素子と前記電子基板とを熱圧着接合するように制御する制御部と、
を備えることを特徴とする第13又は14態様に記載の半導体接合装置を提供する。
According to the fifteenth aspect of the present invention, an electronic substrate recognition apparatus that recognizes a recognition target portion of the electronic substrate and outputs electronic substrate recognition data before performing the positioning by the joint portion;
A semiconductor element recognition device for recognizing a recognition target portion of the one semiconductor element and outputting semiconductor element recognition data before joining the one semiconductor element and the electronic substrate;
Further comprising
The joint is
The electrode surface on which the electrode of the one semiconductor element of the wafer held on the wafer sheet holding body is disposed in a state of being opposed to the electrode surface on which the electrode of the electronic substrate is formed. A semiconductor element transport device that transports a wafer sheet holder and positions the one semiconductor element of the wafer held by the wafer sheet holder at a bonding position for semiconductor elements;
Opposite to the wafer sheet, which is transferred by the semiconductor element transfer device and bonded to the one semiconductor element of the wafer of the wafer sheet holding body located at the bonding position for the semiconductor element through the thermal release layer. And a thermocompression bonding tool capable of contacting a thermocompression bonding region of the wafer sheet corresponding to the back surface of the one semiconductor element;
A thermocompression bonding tool moving device that moves the thermocompression bonding tool to be brought into contact with the thermocompression bonding area of the wafer sheet of the wafer sheet holding member that is transferred by the semiconductor element transfer device and located at the bonding position for the semiconductor element. When,
The electronic substrate before bonding is positioned at the semiconductor element bonding position in a state where the electrode surface of the electronic substrate before bonding is disposed so as to face the electrode surface of the one semiconductor element. An electronic substrate transport device that transports to an electronic substrate bonding position facing the electrode surface of the semiconductor element, and positions the electrode of the electronic substrate to the electrode of the one semiconductor element at the electronic substrate bonding position;
The semiconductor element transfer device, the thermocompression bonding tool, the thermocompression bonding tool moving device, the electronic substrate transfer device, the electronic substrate recognition device, and the semiconductor element recognition device are connected to control each operation, thereby The wafer sheet holding body is transferred to the semiconductor element bonding position by the semiconductor element transfer device, and the thermocompression bonding tool is used in the thermocompression bonding area of the wafer sheet of the wafer sheet holding body positioned at the semiconductor element bonding position. The electronic substrate before bonding is transferred to the bonding position for electronic substrate by the electronic substrate transfer device, and the semiconductor element recognition data output by the semiconductor element recognition device and output by the electronic substrate recognition device. Based on the electronic substrate recognition data thus obtained, the electrode of the one semiconductor element is connected to the electric power of the electronic substrate. The one semiconductor element and the electronic substrate are positioned by the semiconductor element transfer device and the electronic substrate transfer device so that the one semiconductor element and the electronic substrate are bonded by thermocompression bonding. A control unit to control;
The semiconductor bonding apparatus according to the thirteenth or fourteenth aspect is provided.
本発明の第16態様によれば、前記電子基板搬送装置は、前記電子基板の前記電極面に、前記電子基板を接合する前に、前記熱圧着時の熱硬化により前記1つの半導体素子と前記電子基板とを電極接合状態で接着させる熱硬化層を前記電子基板上に配置した状態で、接合前の前記電子基板を前記電子基板用接合位置に搬送することを特徴とする第13又は15態様に記載の半導体接合装置を提供する。 According to a sixteenth aspect of the present invention, the electronic substrate transport apparatus may be configured such that the one semiconductor element and the electronic device are bonded by thermosetting during the thermocompression bonding before the electronic substrate is bonded to the electrode surface of the electronic substrate. A thirteenth or fifteenth aspect, wherein the electronic substrate before bonding is transported to the bonding position for the electronic substrate in a state where a thermosetting layer for bonding the electronic substrate to the electronic substrate in an electrode bonded state is disposed on the electronic substrate. The semiconductor bonding apparatus described in 1. is provided.
本発明の第17態様によれば、接合前の前記電子基板の前記電極面に前記熱硬化層が配置され且つ前記電子基板の前記電極面が前記1つの半導体素子の前記電極面に対向可能に配置された状態で前記電子基板を供給可能に収納する電子基板供給装置をさらに備え、
前記電子基板搬送装置は、前記電子基板供給装置に収納された前記電子基板を前記電子基板用接合位置に搬送して、前記電子基板用接合位置で前記1つの半導体素子の前記電極と前記電子基板の前記電極とを前記熱硬化層を介して位置決めすることを特徴とする第16態様に記載の半導体接合装置を提供する。
According to the seventeenth aspect of the present invention, the thermosetting layer is disposed on the electrode surface of the electronic substrate before bonding, and the electrode surface of the electronic substrate can face the electrode surface of the one semiconductor element. An electronic board supply device for storing the electronic board in a state where the electronic board can be supplied;
The electronic substrate transport device transports the electronic substrate housed in the electronic substrate supply device to the electronic substrate bonding position, and the electrode of the one semiconductor element and the electronic substrate at the electronic substrate bonding position The semiconductor bonding apparatus according to the sixteenth aspect is provided, wherein the electrode is positioned through the thermosetting layer.
本発明の第18態様によれば、前記電子基板に前記1つの半導体素子を接合する前に前記電子基板の前記電極面に熱硬化接着剤を塗布することにより前記熱硬化層を形成して配置する塗布装置をさらに備えることを特徴とする第16態様に記載の半導体接合装置を提供する。 According to an eighteenth aspect of the present invention, the thermosetting layer is formed and disposed by applying a thermosetting adhesive to the electrode surface of the electronic substrate before bonding the one semiconductor element to the electronic substrate. A semiconductor bonding apparatus according to the sixteenth aspect, further comprising: a coating apparatus that performs the above operation.
本発明の第19態様によれば、前記接合部は、前記ウェハーシート保持体の前記ウェハーシートに保持された前記隣接する複数の半導体素子のうちの先に接合する半導体素子から見た、次に接合する半導体素子の配列方向と、前記1つの電子基板に前記複数の半導体素子を接合するときの先に半導体素子を接合する接合位置から見た、次に半導体素子を接合する接合位置との配列方向とが180度より小さい角度をなすように、前記複数の半導体素子を電子基板に接合することを特徴とする第13〜18態様のいずれか1つに記載の半導体接合装置を提供する。 According to a nineteenth aspect of the present invention, the bonding portion is viewed from the semiconductor element bonded to the tip of the plurality of adjacent semiconductor elements held by the wafer sheet of the wafer sheet holder, Arrangement of the arrangement direction of the semiconductor elements to be bonded and the bonding position at which the semiconductor elements are bonded next, as viewed from the bonding position where the semiconductor elements are bonded first when bonding the plurality of semiconductor elements to the one electronic substrate The semiconductor bonding apparatus according to any one of the thirteenth to eighteenth aspects, wherein the plurality of semiconductor elements are bonded to an electronic substrate so that the direction forms an angle smaller than 180 degrees.
本発明の第20態様によれば、前記接合部は、前記複数の半導体素子の中の不良の半導体素子を不良半導体廃棄位置に搬送したのち、前記不良半導体素子に対応する前記熱剥離層に前記熱圧着時の熱を加えて、前記不良の半導体素子を前記ウェハーシートから離脱させることを特徴とする第13〜19態様のいずれか1つに記載の半導体接合装置を提供する。 According to a twentieth aspect of the present invention, the bonding portion transports a defective semiconductor element in the plurality of semiconductor elements to a defective semiconductor disposal position, and then attaches the bonding portion to the thermal separation layer corresponding to the defective semiconductor element. The semiconductor bonding apparatus according to any one of the thirteenth to nineteenth aspects, wherein heat at the time of thermocompression bonding is applied to separate the defective semiconductor element from the wafer sheet.
本発明の第21態様によれば、前記制御部は、前記電子基板に前記1つの半導体素子を接合したのち、前記電子基板搬送装置により、接合後の前記電子基板を前記電子基板用接合位置から退避させ、次に接合する電子基板を前記電子基板用接合位置に搬送するとともに、前記半導体素子搬送装置により次に接合する半導体素子を前記半導体素子用接合位置に搬送して、前記次に接合する電子基板と前記次に接合する半導体素子とを熱圧着接合するよう制御することを特徴とする第15態様に記載の半導体素子接合装置を提供する。 According to a twenty-first aspect of the present invention, the control unit, after bonding the one semiconductor element to the electronic substrate, causes the electronic substrate transfer device to move the electronic substrate after bonding from the bonding position for the electronic substrate. The electronic substrate to be bonded is retracted and transported to the electronic substrate bonding position, and the semiconductor element to be bonded next is transported to the semiconductor element bonding position by the semiconductor element transport device and then bonded. The semiconductor element bonding apparatus according to the fifteenth aspect, wherein the electronic element and the semiconductor element to be bonded next are controlled to be bonded by thermocompression bonding.
本発明の第1又は13態様によれば、前記ウェハーの裏面とウェハーシート保持体のウェハーシートとを熱剥離層により接着し、前記ウェハーを前記ウェハーシート保持体に保持した状態で、前記ウェハーの前記1つの半導体素子の前記電極と、それに対応する前記電子基板の電極とを対向させ、前記1つの半導体素子の前記電極と前記電子基板の前記電極とを接触させつつ、前記1つの半導体素子と前記電子基板とを熱圧着して接合すると同時的に、前記熱圧着時の熱により前記熱剥離層の接着力を弱めて、前記電子基板に接合された前記1つの半導体素子を前記ウェハーシートから離脱させるようにしている。これにより、従来例2の装置のように、半導体素子を粘着シートから剥がすときに突下針等により半導体素子に局所的に応力をかけることなく、半導体素子を容易に且つ確実に剥がすことができ、半導体素子に破損や欠け等の発生を防止することができる。また、前記1つの半導体素子と前記電子基板とを熱圧着するときの熱を利用して前記1つの半導体素子が前記熱剥離層から剥がれるようにしているので、前記1つの半導体素子と前記電子基板とを接合する時間も従来例2の装置と比べて大幅に短縮することができる。 According to the first or thirteenth aspect of the present invention, the back surface of the wafer and the wafer sheet of the wafer sheet holding body are bonded by a heat release layer, and the wafer is held in the wafer sheet holding body in a state where the wafer is held. The electrode of the one semiconductor element and the corresponding electrode of the electronic substrate are opposed to each other, and the electrode of the one semiconductor element and the electrode of the electronic substrate are brought into contact with each other. At the same time as bonding with the electronic substrate by thermocompression bonding, the adhesive force of the thermal peeling layer is weakened by heat during the thermocompression bonding, and the one semiconductor element bonded to the electronic substrate is removed from the wafer sheet. I try to let them leave. As a result, the semiconductor element can be easily and reliably peeled off without locally applying stress to the semiconductor element with a needle or the like when the semiconductor element is peeled off from the adhesive sheet as in the apparatus of Conventional Example 2. In addition, it is possible to prevent the semiconductor element from being damaged or chipped. In addition, the one semiconductor element and the electronic substrate are peeled off from the thermal peeling layer by using heat when the one semiconductor element and the electronic substrate are thermocompression bonded. As compared with the apparatus of the conventional example 2, the time for joining the two can be significantly shortened.
本発明の記述を続ける前に、添付図面において同じ部品については同じ参照符号を付している。
以下、本発明の最良の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
Before continuing the description of the present invention, the same parts are denoted by the same reference numerals in the accompanying drawings.
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, exemplary embodiments of the invention will be described with reference to the drawings.
《第1実施形態》
本発明の第1実施形態にかかる半導体接合方法及び装置に用いられる半導体素子2について、図1A〜図1C、図2A〜図2E、図3A及び図3Bを参照しつつ説明する。図1Aは、本発明の第1実施形態にかかる半導体接合装置のウェハーシート保持体1に、個々の半導体素子2に相互に分割されたウェハー2Aが保持されている状態を示す斜視図であり、図1Bは1つの半導体素子2の斜視図であり、図1Cは熱剥離層の一例である熱剥離シート3の断面図である。図2A〜図2Eは、ウェハー2Aが個々の半導体素子2に相互に分割されて、ウェハーシート保持体1に保持されるまでの工程を説明するための概略説明図である。図3Aは、半導体素子2を電子基板7に接合する状態を示す概略図であり、図3Bは、図3Aの部分拡大図である。
<< First Embodiment >>
A
本発明の第1実施形態にかかる半導体接合方法及び装置に用いられる半導体素子2は、図1Aに示すように、ウェハーシート保持体1に保持されるウェハー2Aがダイシングにより相互に複数に分割されることにより形成される。各半導体素子2の電極面(表面)2bには、図1Bに示すように、ニッケル、金、又ははんだ等で形成された複数の電極2aが設けられている。なお、複数の電極2a上には夫々、金やはんだ等で形成されたバンプ(図示せず)が設けられてもよい。
As shown in FIG. 1A, the
ウェハーシート保持体1は、図1Cに示すように、リング形状の外側リング体1aと、外側リング体1aより直径の短いリング形状の内側リング体1bと、外側リング1aよりも長い直径を有する円形のウェハーシート4と、ウェハーシート4の表面(上面)に接着している熱剥離シート3とで構成されている。
As shown in FIG. 1C, the
ウェハーシート4は、外側全周を外側リング体1aと内側リング体1bとの間に挟持されて、内側リング体1bの上面1b−1と、内側リング体1bの上面1b−1と対向する外側リング体1aの下面1a−1に挟持される位置に対する中央付近のたわみが例えば1mm以下となるように張設されている(ピンと張った状態で設けられている)。
The
熱剥離シート3は、図1Cに示すように、熱剥離粘着剤層3a、ポリエステルフィルム基材層3b、及び感圧粘着剤層3cの3層構造で構成されている。熱剥離シート3は、感圧粘着剤層3cでウェハーシート4の表面(上面)に接着し、熱剥離粘着剤層3aで被接着物(ウェハー2Aの裏面)を接着するように構成されている。熱剥離シート3の熱剥離粘着剤層3aは、常温では通常の粘着シートと同様に接着力を有し、加熱(例えば100℃)されるとその接着力が弱く(例えば0)なり、被接着物が熱剥離粘着剤層3aから容易に剥がれるように形成されたものである。一方、熱剥離シート3の感圧粘着剤層3cは加熱されても被粘着物との接着力は弱くならないように形成されたものである。
熱剥離シート3の熱剥離粘着剤層3aの加熱前の接着力及び感圧粘着剤層3cの接着力は夫々、ウェハーシート保持体1の各半導体素子2の電極面2bを下向きにされたり、前記下向きの状態のまま搬送されるなどしても、各半導体素子2がウェハーシート4から落下及び位置ズレしないように設定されている。
熱剥離シート3の一例としては、日東電工製、商品名リバアルファが挙げられる。このリバアルファは、加熱前の被接着物との粘着力が例えば2.5〜7.3N/20mmであり、例えば90℃〜170℃で加熱されると被接着物との粘着力がほぼ0となり、被接着物が熱剥離粘着剤層3aから容易に剥離するようになっている。なお、熱剥離シート3に代えて、熱剥離層の一例である熱剥離フィルム又は熱剥離接着剤を用いても同様の効果を得ることができる。
As shown in FIG. 1C, the
The adhesive force before heating of the heat-peeling adhesive layer 3a of the heat-peeling
An example of the
次に、ウェハー2Aが個々の半導体素子2に相互に分割され、ウェハーシート保持体1に保持されるまでの工程について、図1A及び図2A〜図2Eを参照しつつ説明する。
なお、初期状態においては、図2Aに示すように、ウェハー2Aの表面(上面)、つまり電極面2bには、多数の電極2aが形成されており、ウェハー2Aの裏面(下面)には熱剥離層3の熱剥離粘着剤層3aが接着されているものとする。つまり、ウェハー2Aと熱剥離層3との接着力は、加熱されることにより弱くなるようになっている。また、ウェハーシート4の表面(上面)には、熱剥離層3の感圧粘着剤層3cが接着されているものとする。
Next, a process until the
In the initial state, as shown in FIG. 2A, a large number of
この初期状態から、図2Bに示すように、ウェハー2Aの電極面2b及び電極2aを覆うように熱硬化層5が貼付又は塗布形成される。熱硬化層5は、熱硬化シート、熱硬化フィルム、又は熱硬化接着剤の内のいずれか1つで構成され、加熱及び押圧されることにより熱硬化して接合力を有するようになるものである。熱硬化シートや熱硬化フィルムの例としては、導電性粒子を含む異方性導電フィルム(ACF)や導電性粒子を含まない非導電性フィルム(NCF)等が挙げられ、熱硬化接着剤の例としては、異方性導電ペースト(ACP)や非導電性ペースト(NCP)等が挙げられる。
From this initial state, as shown in FIG. 2B, the
次いで、図2Cに示すように、熱硬化シート5の上面に対してほぼ垂直に配置された円盤状のダイサー6により、熱硬化シート5、ウェハー2A、熱剥離層3及びウェハーシート4の一部がダイシングされて、図2Dに示すように複数の半導体素子2に分割される。このとき、ダイシングした後の隣り合う半導体素子2間の隙間は、例えば30μm〜50μmに形成される。
次いで、図2Eに示すように、ウェハーシート4の外側全周が外側リング体1aと内側リング体1bとの間で挟持されて、ウェハー2Aがエキスパンドされる。これにより、ウェハーシート4が外側リング体1aと内側リング体1bとで挟持される部分に対する中央付近のたわみが例えば1.0mm以下となるように張設されるとともに、隣り合う半導体素子2間の隙間が例えば0.5mm〜1.0mmに広げられる。
以上のようにして、ウェハー2Aが、図1Aに示すように個々の半導体素子2に相互に分割され、ウェハーシート保持体1に保持される。
Next, as shown in FIG. 2C, a part of the
Next, as shown in FIG. 2E, the entire outer periphery of the
As described above, the
次に、前記のようにしてウェハーシート保持体1に保持されたウェハー2Aの接合対象となる1つの半導体素子2が、電子基板7に接合される原理について、図3A及び図3Bを参照しつつ説明する。
なお、電子基板7の電極面7cには、はんだめっき、はんだ、又は金メッキ等で形成された複数の電極7aが設けられており、複数の電極7aの夫々には、はんだや金等で形成されたバンプ7bが設けられている。なお、バンプ7bは半導体素子2の電極2a上に設けられてもよい。また、バンプ7bは必ずしも設けられなくてもよい。
また、図3A中の符号8は熱圧着ツールを示している。熱圧着ツール8は、直方体で形成され、1つの半導体素子2の裏面と略同じ大きさの矩形の熱圧着面8aを有している。熱圧着ツール8は、ウェハーシート保持体1の1つの半導体素子2が半導体素子用接合位置A1(熱圧着ツール8により半導体素子2が電子基板7に接触してバンプ7bを介しての電極同士の接合を行うときの半導体素子2の接合位置)に位置した状態で、熱剥離層3を介して接着しているウェハーシート4に対向し且つ1つの半導体素子2の裏面に対応する熱圧着位置C1(熱圧着時に熱圧着ツール8により電子基板7のバンプ7bを加熱するときの熱圧着ツール8の位置)に熱圧着面8aで接触可能に構成されている。
また、熱圧着ツール8は、1つの半導体素子2を電子基板7に向けて熱圧着面8aで押圧可能であるとともに、ウェハーシート4、熱剥離層3及び1つの半導体素子2を介して熱硬化層5を熱圧着面8aで加熱可能に構成されている。なお、熱圧着ツール8の押圧力は、電子基板7のバンプ7bの先端がつぶれる程度(例えば10g〜50g/バンプ程度)の圧力に設定されるのが好ましい。また、熱圧着ツール8の加熱温度は、半導体素子2の電極2a、熱剥離層3、熱硬化層5、電子基板7の電極7a、及びバンプ7bの材料に応じて最適温度が異なるが、熱剥離層3が前記1つの半導体素子2から剥がれるとともにバンプ7bが溶融しない温度、例えば90℃から200℃の範囲の温度に設定されることが好ましい。
また、電子基板7は、初期状態において、半導体素子用接合位置A1に位置する1つの半導体素子2の電極面2bに対向する電子基板用接合位置B1(熱圧着ツール8により半導体素子2が電子基板7に接触してバンプ7bを介しての電極同士の接合を行うときの電子基板7の接合位置)に位置決め固定されているものとする。
Next, the principle of bonding one
The
Moreover, the code |
Further, the
Further, in the initial state, the
まず、ウェハーシート保持体1に保持されたウェハー2Aの1つの半導体素子2の電極2aとそれに対応する電子基板7に形成された電極7a上のバンプ7bとを、対向させて位置決めする。
次いで、熱圧着ツール8を上昇させて半導体素子2を電子基板用接合位置B1で位置決め固定された電子基板7に向けて半導体素子用接合位置A1まで移動させる。これにより、図3A及び図3Bに示すように1つの半導体素子2と電子基板7との間に熱硬化層5を介在させた状態で、前記1つの半導体素子2の電極2aをそれに対応する電子基板7のバンプ7bに所定の圧力で接触させる。このとき、前記1つの半導体素子2は、ウェハーシート保持体1に保持されたウェハー2Aの隣接する他の半導体素子2−1よりも図3Aの上方へ(例えば0.5mm程度)突出し、他の半導体素子2−1は電子基板7と接触しないようになっている(なお、図3Aは理解を容易にするため、突出量を誇張して記載している)。
First, the
Next, the
この状態で、熱圧着ツール8により、ウェハーシート4を介して熱剥離層3を加熱するとともに、ウェハーシート4、熱剥離層3及び1つの半導体素子2を介して熱硬化層5を加熱する。これにより、前記1つの半導体素子2と熱剥離層3との接着力が弱まる(例えば0になる)とともに、前記1つの半導体素子2の全ての電極2aが熱硬化層5を貫通して電子基板7の対応するバンプ7bと当接し、当該当接した状態で熱硬化層5が熱硬化して前記1つの半導体素子2と電子基板7とが前記1つの半導体素子2と加熱後の熱剥離層3との接着力よりも強い力で接合される。
In this state, the
次いで、熱圧着ツール8の熱圧着面8aによる押圧状態を解除して熱圧着ツール8をウェハーシート4から離すと、ウェハーシート4の張力により熱剥離層3及びウェハーシート4は電子基板7に接合された前記1つの半導体素子2から離れて、すなわち熱剥離層3及びウェハーシート4が電子基板7に接合された前記1つの半導体素子2から離れてほぼ元に戻る程度のウェハーシート4の張力(例えば数10g程度)により、熱圧着ツール8の熱圧着面8aにより押圧される前の初期の位置に戻る。
以上のようにして、ウェハーシート保持体1に保持されたウェハー2Aの前記1つの半導体素子2の電子基板7への接合が完了する。
Next, when the pressed state by the
As described above, the bonding of the
なお、本第1実施形態においては、前記1つの半導体素子2の裏面と略同じ大きさの熱圧着面8aを有する熱圧着ツール8のみで、前記1つの半導体素子2を電子基板7に熱圧着するように構成したが、本発明はこれに限定されない。例えば、図4Aに示すように、熱圧着ツール8が四角筒形状の冷却ブロック8b内で上下動可能となるように構成されてもよい。このように構成されることで、前記1つの半導体素子2を電子基板7に熱圧着する際には、熱圧着ツール8のみを図4Bに示すように上昇させてウェハーシート4を介して前記1つの半導体素子2に接触させ、熱圧着ツール8により前記1つの半導体素子2を電子基板7に熱圧着することができる。一方、このとき、冷却ブロック8bは、ウェハーシート4を介して他の半導体素子2−1に接触して、熱圧着ツール8の熱が他の半導体素子2−1に伝達されないように、他の半導体素子2−1を冷却することができる。冷却ブロック8bの冷却方法としては、例えば、冷却ブロック8bの冷却面8b−1の近傍に冷却パイプを配置し、当該冷却パイプに熱剥離層3の接着力が弱くならない温度(例えば20℃)の冷却用流体を流す方法や、冷却ブロック8bが他の半導体素子2−1に伝達される熱を奪うように、冷却ブロック8bの熱容量を他の半導体素子2−1の熱容量よりも大きくする方法が挙げられる。
In the first embodiment, only one
また、図4Aに示すように、熱圧着ツール8に吸引穴8cを設けて、後述する制御部80に駆動を制御される吸引装置8dにより、吸引穴8cに前記1つの半導体素子2を吸着可能な吸引力を発生させ、その吸引力により前記1つの半導体素子2を吸着しながら、前記1つの半導体素子2を電子基板7に熱圧着するように構成してもよい。このように構成することで、前記1つの半導体素子2の位置ズレを防いで、前記1つの半導体素子2と電子基板7との接合精度をより高くすることができる。
また、本第1実施形態においては、熱硬化層5を半導体素子2の電極面2b上に設けたが、本発明はこれには限定されない。例えば、熱硬化層5を電子基板7の電極面7c上に設けてもよい。
Further, as shown in FIG. 4A, a
In the first embodiment, the
次に、本発明の第1実施形態にかかる半導体接合装置の全体構成を図5及び図6を参照しつつ説明する。図5は、本発明の第1実施形態にかかる半導体接合装置の全体構成を示す斜視図であり、図6は、本発明の第1実施形態にかかる半導体接合装置の横から見た概略説明図である。 Next, the overall configuration of the semiconductor bonding apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a perspective view showing the overall configuration of the semiconductor bonding apparatus according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a schematic explanatory view seen from the side of the semiconductor bonding apparatus according to the first embodiment of the present invention. It is.
本発明の第1実施形態にかかる半導体接合装置は、半導体素子供給装置10と、半導体素子搬送装置20と、熱圧着ツール8と、熱圧着ツール移動装置30と、電子基板供給装置40と、電子基板搬送装置50と、電子基板認識装置60と、半導体素子認識装置70と、制御部80と、記憶部81とを備えている。
The semiconductor bonding apparatus according to the first embodiment of the present invention includes a semiconductor
半導体素子供給装置10は、内部に複数の段を有する立方体形状の箱体で形成され、ウェハーシート保持体1に保持されたウェハー2Aの各半導体素子2の電極面2bが夫々電子基板7の電極面7cに対向状態で配置された状態(図5及び図6では電極面2bは上向き)の複数のウェハーシート保持体1を、前記各段に収納する半導体素子収納部11と、接合対象となる1つのウェハーシート保持体1が半導体素子収納部11内の搬送可能位置10A(図6参照)に位置するように半導体素子収納部11を昇降させる上下リフター12とを有している。
The semiconductor
上下リフター12は、上下方向(以下、±Z方向という)に延在するネジ軸13と、ネジ軸13の下端部に取り付けられ、制御部80により正逆方向の駆動を制御されることでネジ軸13を正逆方向に回転させることができる駆動用モータ14を備えている。
半導体素子収納部11は、ネジ軸13が正方向に回転することにより上方向(以下、+Z方向という)に移動可能であるとともに、ネジ軸13が逆方向に回転することにより下方向(以下、−Z方向という)に移動可能となるように、ネジ軸13の上端部に取り付けられている。
The upper and
The semiconductor
半導体素子搬送装置20は、U字状に形成されるとともに図示しない係合部で半導体素子収納部11内の搬送可能位置10Aに位置するウェハーシート保持体1の外周部を保持可能に形成され、半導体素子供給装置10の搬送可能位置10Aに位置するウェハーシート保持体1を引き出し、半導体素子供給装置10の搬送可能位置10Aから±Z方向と直交する±Y方向に離れた半導体素子用接合位置A1(図3A参照)まで搬送可能な保持フレーム21と、基台200上で且つ保持フレーム21の下側に配置され、保持フレーム21を半導体素子供給装置10の搬送可能位置10Aと半導体素子用接合位置A1(図3A参照)との間で±Y方向に移動させるY軸テーブル(図示せず)とを備えている。
Y軸テーブルは、±Y方向に延在し、基台200に回転自在に固定されたネジ軸(図示せず)と、前記ネジ軸が回転することにより前記ネジ軸上を移動可能に構成され、保持フレーム21に固定されるナット部材(図示せず)と、前記ネジ軸を回転させるモータ20Mとで構成されている。
The semiconductor
The Y-axis table extends in the ± Y direction, and is configured to be movable on the screw shaft by rotating the screw shaft (not shown) that is rotatably fixed to the
熱圧着ツール移動装置30は、熱圧着ツール8を±Y方向及び±Z方向と直交する±X方向に熱圧着ツール8を移動可能なX軸テーブル31と、X軸テーブル31上に配置され且つ熱圧着ツール8を±Y方向に移動可能なY軸テーブル32と、Y軸テーブル32上に配置されるとともに一端部に熱圧着ツール8が固定されて熱圧着ツール8を±Z方向に移動可能なZ軸テーブル33とを備えている。
熱圧着ツール移動装置30の各テーブル31〜33の夫々は、X、Y、又は±Z方向に延在するネジ軸(図示せず)と、前記ネジ軸が回転することにより前記ネジ軸上を移動可能なナット部材(図示せず)と、前記ネジ軸を回転させるモータ31M〜33Mとを備えている。X軸テーブル31のナット部材はY軸テーブル32に連結され、Y軸テーブル32のネジ軸が回転することにより前記ネジ軸上を移動可能なナット部材はZ軸テーブル33に連結され、Z軸テーブル33のネジ軸が回転することにより前記ネジ軸上を移動可能なナット部材は熱圧着ツール8に連結されている。これにより、熱圧着ツール8は、各テーブル31〜33の夫々のモータ31M〜33Mが正逆方向に駆動されることで±X方向、±Y方向及び±Z方向に夫々移動可能となっている。
熱圧着ツール移動装置30は、各テーブル31〜33のモータ31M〜33Mが駆動することにより、半導体素子搬送装置20により搬送されて半導体素子用接合位置A1(図3A参照)に位置したウェハーシート保持体1のウェハーシート4に対向し、且つウェハーシート4に保持されたウェハー2Aの前記1つの半導体素子2の裏面に対応する熱圧着位置C1(図3A参照)に熱圧着ツール8を移動させることができるように構成されている。
なお、ウェハーシート保持体1に保持された各半導体素子2は、ダイサー6により分割された方向と、本第1実施形態の半導体接合装置におけるX方向及びY方向とが略同一方向になるように配置されて、つまり各半導体素子2がX方向に整列するとともにY方向に整列するように配置されて、半導体素子収納部11内の搬送可能位置10Aから半導体素子用接合位置A1に搬送されるのが好ましい。以下の本発明の第2実施形態等においても、同様とする。
また、ウェハーシート保持体1に保持された各半導体素子2が、ダイサー6により分割された方向と、本第1実施形態の半導体接合装置におけるX方向及びY方向とが略同一方向にならないように配置された場合には、熱圧着ツール移動装置30に熱圧着ツール8をXY平面上で回動可能にするθ軸(図示しない)をさらに設けて、前記分割方向と前記X方向及びY方向とが略同一方向になるように調整可能に構成されることが好ましい。以下の本発明の第2実施形態等においても、同様とする。
The thermocompression
Each of the tables 31 to 33 of the thermocompression bonding
The thermocompression
Each
Further, the direction in which each
電子基板供給装置40は、内部に複数の段を有する直方体形状の箱体で形成され、複数の電子基板7が、電子基板7の電極面7cが半導体素子2の電極面2bに対向可能に配置された状態(ここでは電極面7cは下向き)で載置されたトレイ42を、前記各段に収納する電子基板収納部41と、接合対象となるトレイ42が電子基板収納部41内の搬送可能位置40A(図6参照)に位置するように電子基板収納部41を昇降させる上下リフター12−1とを有している。上下リフター12−1の構成は、半導体素子供給装置10の上下リフター12の構成と同様であるので説明は省略する。
The electronic
電子基板搬送装置50は、基台200上に配置され、電子基板供給装置40の搬送可能位置40Aに位置するトレイ42を引き出し、電子基板収納部41の外部に搬送可能なトレイ搬送装置45と、トレイ搬送装置45により電子基板収納部41の外部に引き出されたトレイ42に載置された複数の電子基板7の中の1つの電子基板7を吸着し、電子基板用接合位置B1に搬送可能に配置された吸着ヘッド51とを備えている。また、電子基板搬送装置50は、トレイ搬送装置45より上方で基台200に立設された取付壁201に側部を固定され、吸着ヘッド51を±Y方向に移動可能なY軸テーブル53と、Y軸テーブル53上に配置され、吸着ヘッド51を±X方向に移動可能なX軸テーブル52と、X軸テーブル52上に配置され、吸着ヘッド51を±Z方向に移動可能なZ軸テーブル54と、Z軸テーブル54の下端部に配置され、別途設けられたモータ(図示せず)により吸着ヘッド51をXY平面上で回動可能にするθ軸55とを備えている。
The electronic
トレイ搬送装置45は、複数の電子基板7が載置されたトレイ42を保持可能に形成された保持台46と、基台200に固定され、保持台46を±Y方向に移動可能なY軸テーブル47とを備えている。Y軸テーブル47は、±Y方向に延在するネジ軸(図示せず)と、前記ネジ軸が回転することにより前記ネジ軸上を移動可能なナット部材(図示せず)と、前記ネジ軸を回転させるモータ47Mとを備えている。Y軸テーブル47のナット部材には保持台46が固定されている。これにより、保持台46は、Y軸テーブル47のモータ47Mが正逆方向に駆動されることで±Y方向に移動可能となっている。
トレイ搬送装置45は、前記のように±Y方向に移動可能に構成された保持台46により、電子基板供給装置40の搬送可能位置40Aに位置するトレイ42を引き出し、電子基板収納部41の外部に搬送可能に構成されている。
The
The
電子基板搬送装置50の各テーブル52〜54の夫々は、±X、±Y、又は±Z方向に延在するネジ軸(図示せず)と、前記ネジ軸が回転することにより前記ネジ軸上を移動可能なナット部材(図示せず)と、前記ネジ軸を回転させるモータ52M〜54Mとを備えている。Y軸テーブル53のネジ軸が回転することにより前記ネジ軸上を移動可能なナット部材はX軸テーブル52に連結され、X軸テーブル52のネジ軸が回転することにより前記ネジ軸上を移動可能なナット部材はZ軸テーブル54に連結されている。Z軸テーブル54のネジ軸が回転することにより前記ネジ軸上を移動可能なナット部材はθ軸55に連結されている。これにより、吸着ヘッド51は、各テーブル52〜54の夫々のモータが正逆方向に駆動されることにより±X方向、±Y方向及び±Z方向に夫々移動可能となり、θ軸55のモータが正逆方向に回転駆動を制御されることによりXY平面上で正逆回動可能となっている。また、吸着ヘッド51は、吸引穴(図示せず)を備え、吸引装置56が前記吸引穴に電子基板7及び、接合後の電子基板7及び半導体素子2を吸着可能な吸引力を発生させることにより、電子基板7を吸着可能に構成されている。
Each of the tables 52 to 54 of the electronic
電子基板搬送装置50は、前記のように構成された吸着ヘッド51により、トレイ搬送装置45により電子基板収納部41の外に搬送された前記1つのトレイ42に載置された前記1つの電子基板7を吸着して、半導体素子用接合位置A1に位置する前記1つの半導体素子2の電極面2bに対向する電子基板用接合位置B1(図3A参照)に搬送し、電子基板用接合位置B1で前記1つの半導体素子2の電極2aに前記1つの電子基板7の電極7aを位置決め可能に構成されている。
The electronic
電子基板認識装置60は、電子基板搬送装置50が吸着ヘッド51により1つの電子基板7をトレイ42より吸着し電子基板用接合位置B1に位置させる電子基板搬送経路の下方で基台200に固定されたカメラ61より構成されている。電子基板認識装置60は、電子基板搬送装置50により前記位置決めを行う前に、前記1つの電子基板7の認識対象部(図示せず、例えば電極7aの位置や電子基板7に設けられた認識マーク等の基準位置)をカメラ61で認識して、電子基板認識データを制御部80に出力するように構成されている。
The electronic
半導体素子認識装置70は、電子基板搬送装置50のZ軸テーブル54に固定されたカメラ71より構成されている。半導体素子認識装置70は、前記1つの半導体素子2と前記1つの電子基板7の接合前に、前記1つの半導体素子2の認識対象部(図示せず、例えば電極2aの位置や前記1つの半導体素子2に設けられた認識マーク等の基準位置)をカメラ71で認識して、半導体素子認識データを制御部80に出力するように構成されている。
The semiconductor
制御部80は、半導体素子供給装置10と、半導体素子搬送装置20と、熱圧着ツール8と、熱圧着ツール移動装置30と、電子基板供給装置40と、電子基板搬送装置50と、吸着装置56と、電子基板認識装置60と、半導体素子認識装置70と、記憶部81とに接続されて、記憶部81に予め記憶された動作プログラム及び実装データに基づいて夫々の動作を制御するように構成されている。制御部80の制御動作は、以下で詳しく説明する。
The
なお、本第1実施形態にかかる半導体接合装置においては、半導体素子搬送装置20と、熱圧着ツール8と、熱圧着ツール移動装置30と、電子基板供給装置40と、電子基板搬送装置50と、吸引装置56と、制御部80と、記憶部81とにより接合部を構成している。
本第1実施形態にかかる半導体接合装置は、以上のように構成されている。
In the semiconductor bonding apparatus according to the first embodiment, the semiconductor
The semiconductor bonding apparatus according to the first embodiment is configured as described above.
次に、本第1実施形態にかかる半導体接合装置の接合動作を、図5、図6、図7A〜図7Fを参照しつつ説明する。図7A〜図7Fは、本第1実施形態にかかる半導体接合装置の接合動作を示す概略説明図であって、この接合動作は制御部80の制御の下に行われる。なお、ここでは、前記1つの半導体素子2と前記1つの電子基板7とは、略同じ形状及び大きさ(例えば1mm角〜40mm角の正方形)を有しているものとし、前記1つの半導体素子2の電極2aと前記1つの電子基板7の電極7aとはバンプ7bを介さず、直接、接合されるものとする。
Next, the bonding operation of the semiconductor bonding apparatus according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 5, 6, and 7A to 7F. 7A to 7F are schematic explanatory views showing the bonding operation of the semiconductor bonding apparatus according to the first embodiment, and this bonding operation is performed under the control of the
まず、半導体素子供給装置10の上下リフター12のモータ14の駆動を制御して、上下リフター12により半導体素子収納部11を昇降させ、半導体素子収納部11内の接合対象となる1つのウェハーシート保持体1を搬送可能位置10Aに位置させるとともに、電子基板供給装置40の上下リフター12−1のモータ14−1の駆動を制御して、上下リフター12−1を昇降させ、電子基板収納部41の接合対象となる1つのトレイ42を搬送可能位置40Aに位置させる。
First, driving of the
次いで、半導体素子搬送装置20のY軸テーブル(図示せず)のモータ20Mの駆動を制御して制御して、保持フレーム21により、半導体素子収納部11内で搬送可能位置10Aに位置するウェハーシート保持体1を半導体素子収納部11内から引き出して、ウェハーシート保持体1内で最初に接合対象となる1つの半導体素子2を半導体素子用接合位置A1(図7A参照)に+Y方向(図5参照)に搬送して位置決めさせる。このウェハーシート保持体1が搬送可能位置10Aから半導体素子用接合位置A1に向けて+Y方向(図5参照)に移動する間に、電子基板搬送装置50の駆動により半導体素子認識装置70を移動させて、半導体素子認識装置70が、ウェハーシート保持体1のうちの前記最初に接合対象となる1つの半導体素子2の認識対象部を認識して、半導体素子認識装置70から制御部80に半導体素子認識データを出力する。
Next, the wafer sheet positioned at the
また、このとき、電子基板搬送装置50のトレイ搬送装置45のモータ47Mの駆動を制御して、保持基台46により、電子基板収納部41内で搬送可能位置40Aに位置するトレイ42を電子基板収納部41の外部に搬送させる。その後、電子基板搬送装置50の各テーブル52〜54の夫々のモータ52M〜54Mの駆動及び吸引装置56の駆動を夫々制御して、吸着ヘッド51により、トレイ42内で前記最初に接合対象となる1つの電子基板7を吸着してトレイ42から上方にピックアップし、電子基板用接合位置B1の上方の電子基板用接合準備位置B2(電子基板用接合位置B1の上方でかつ電子基板用接合位置B1から離れた位置であって次の接合対象となる電子基板7の熱圧着接合のための準備位置)へ搬送させる(図7A参照)。この前記最初に接合対象となる1つの電子基板7が、搬送可能位置40Aから電子基板用接合準備位置B2に移動する間に、電子基板認識装置60の上方を通過することにより、電子基板認識装置60が、電子基板7の認識対象部(図示せず)を認識して、電子基板認識装置60から制御部80に電子基板認識データを出力する。
次いで、熱圧着ツール移動装置30の各テーブル31〜33の夫々のモータ31M〜33Mの駆動を夫々制御して、熱圧着ツール8を、前記接合対象の1つの半導体素子2の裏面に接触するウェハーシート4の熱圧着領域D1(熱圧着時に熱圧着ツール8により電子基板7のバンプ7bに直接加熱できないため、ウェハーシート4を介して半導体素子2を加熱するときに熱圧着ツール8が接触するウェハーシート4の領域)の下方で前記熱圧着領域D1に対向する熱圧着準備位置C2(熱圧着領域D1の下方でかつ熱圧着領域D1に対向して離れた位置であって加熱のための熱圧着ツール8の準備位置)に移動させる(図7A参照)。
At this time, the driving of the
Next, the wafers that are in contact with the back surface of one
このようにして、前記接合対象となる1つの半導体素子2が半導体素子用接合位置A1に位置決めされたのち、熱圧着ツール8を熱圧着準備位置C2に位置決めするとき、制御部80に入力された半導体素子認識装置70の半導体素子認識データに基づいて、熱圧着ツール移動装置30の各テーブル31〜33の夫々のモータ31M〜33Mの駆動を夫々制御部80により制御されて、位置決め補正されている。また、電子基板用接合準備位置B2に、前記接合対象となる1つの電子基板7が位置決めされるとき、制御部80に入力された電子基板認識装置60の電子基板認識データに基づいて、電子基板搬送装置50のX軸テーブル52、Y軸テーブル53及びZ軸テーブル54の夫々のモータ52M〜54M、及びθ軸55のモータ(図示せず)の駆動が夫々制御部80により制御されて、位置決め補正されている。
In this way, after one
次いで、熱圧着ツール移動装置30のZ軸テーブル33のモータ33Mの駆動を制御して、熱圧着ツール8を熱圧着準備位置C2から熱圧着位置C1に上昇させて熱圧着面8aをウェハーシート4の熱圧着領域D1に接触させるとともに、電子基板搬送装置50のZ軸テーブル54のモータ54Mの駆動を制御して、吸着ヘッド51を下降させて前記1つの電子基板7を電子基板用接合準備位置B2から電子基板用接合位置B1に下降させ、熱圧着ツール8の熱圧着面8aと吸着ヘッド51との間で、前記1つの電子基板7の複数の電極7aとそれに対応する前記1つの半導体素子2の複数の電極2aとを、半導体素子2上の熱硬化層5を介して、夫々所定の圧力で押圧接触させる(図7B及び図7C参照)。
Next, the driving of the
次いで、熱圧着ツール8及び吸着ヘッド51とで前記1つの半導体素子2及び前記1つの電子基板7を挟んで所定の圧力で押圧した状態で熱圧着ツール8を加熱させて熱圧着動作を行う。なお、熱圧着ツール8は、ウェハーシート4の熱圧着領域D1に接触する前に加熱を開始されていても構わない。
この熱圧着動作により、ウェハーシート4を介して熱剥離層3も加熱されて、前記1つの半導体素子2と熱剥離層3との接着力が弱まるとともに、ウェハーシート4、熱剥離層3及び半導体素子2を介して熱硬化層5が加熱されて、前記1つの半導体素子2の全ての電極2aが熱硬化層5を貫通して前記電子基板7の電極7aと夫々当接した状態で熱硬化層5が熱硬化して、前記1つの半導体素子2と前記電子基板7とが、前記1つの半導体素子2と加熱後の熱剥離層3との接着力よりも強い力で接合される。
Next, the
By this thermocompression operation, the
次いで、熱圧着ツール移動装置30のZ軸テーブル33のモータ33Mの駆動を制御して、熱圧着ツール8を熱圧着位置C1から熱圧着準備位置C2に下降させるとともに、電子基板搬送装置50のZ軸テーブル54のモータ54Mの駆動を制御して、吸着ヘッド51で吸着保持され且つ前記1つの半導体素子2が接合された前記1つの電子基板7を、電子基板用接合位置B1から電子基板用接合準備位置B2に上昇させる。このとき、前記1つの半導体素子2は、前記電子基板7との接合力が加熱後の熱剥離層3との接着力よりも強いために、熱剥離層3から離れる(図7D参照)。
Next, the driving of the
次いで、電子基板搬送装置50の各テーブル52〜54の夫々のモータ52M〜54M及び吸引装置56の駆動を夫々制御して、接合後の前記1つの電子基板7及び前記1つの半導体素子2を、電子基板用接合準備位置B2からトレイ42(又は別途設けられたトレイ)の上方まで搬送し、当該トレイ42(又は別途設けられたトレイ)の接合完了部品載置スペースに載置させ、吸着ヘッド51の電子基板7の吸着状態を解除させる。
このとき、熱圧着ツール移動装置30の各テーブル31〜33の夫々のモータ31M〜33Mの駆動を夫々制御して、熱圧着ツール8を熱圧着準備位置C2から、次の熱圧着準備位置C2−1まで移動させる(図7E及び図7F参照)。
Next, the
At this time, the driving of the
次いで、電子基板搬送装置50の各テーブル52〜54の夫々のモータ52M〜54M及び吸引装置56の駆動を夫々制御して、吸着ヘッド51により次に接合対象となる1つの電子基板7をトレイ42内から吸着してピックアップし、次の電子基板用接合準備位置B2−1へ搬送させる。
以下、前述したように、吸着ヘッド51により保持された電子基板7と、熱圧着ツール8の上方の半導体素子2とが、吸着ヘッド51と熱圧着ツール8との間で熱圧着接合される。
以下、本発明の第1実施形態にかかる半導体接合装置は、前記と同様の動作を行うことで、複数の接合後の前記1つの電子基板7及び前記1つの半導体素子2を順に得ることができる。
なお、トレイ42に載置され且つ接合対象となる複数の電子基板7の全てが半導体素子2と接合されると、トレイ搬送装置45のモータ47Mの駆動を制御して、接合が完了したトレイ42を電子基板供給装置40の電子基板収納部41内にトレイ搬送装置45により戻し、接合前の複数の電子基板7を載置した新たな1つのトレイ42を、電子基板収納部41内の搬送可能位置40Aから電子基板収納部41外にトレイ搬送装置45により搬送させる。同様に、ウェハーシート保持体1の接合対象となる全ての半導体素子2の接合が完了した場合には、半導体素子搬送装置20のY軸テーブル(図示せず)のモータ20Mの駆動を制御して、接合が完了したウェハーシート保持体1を半導体素子供給装置10の半導体素子収納部11に戻し、接合前の複数の半導体素子2を保持した新たなウェハーシート保持体1を、半導体素子収納部11内で搬送可能位置10Aから半導体素子収納部11外の半導体素子用接合位置A1に搬送させる。
Next, the driving of the
Hereinafter, as described above, the
Hereinafter, the semiconductor bonding apparatus according to the first embodiment of the present invention can sequentially obtain the one
When all of the plurality of
本発明の第1実施形態にかかる半導体接合方法及び装置は、ウェハーシート保持体1のウェハーシート4とウェハー2Aとを熱剥離層3により接着し、ウェハー2Aをウェハーシート保持体1に保持した状態で、ウェハー2Aの1つの半導体素子2の電極2aとそれに対応する電子基板7の電極7aとを対向させ、1つの半導体素子2の電極2aと電子基板7の電極7aとを接触させつつ、前記1つの半導体素子2と電子基板7とを熱圧着して接合すると同時的に、熱圧着時の熱により熱硬化層5が熱硬化されつつ熱剥離層3の接着力を弱めて、電子基板7に接合された前記1つの半導体素子2がウェハーシート4から離脱させるようにしている。これにより、従来例2の装置のように、半導体素子を粘着シートから剥がすときに突下針等により半導体素子に局所的に応力をかけることなく、半導体素子を容易にかつ確実に剥がすことができ、半導体素子に破損や欠け等の発生を防止することができる。また、前記1つの半導体素子2と電子基板7とを熱圧着するときの熱を利用して前記1つの半導体素子が前記熱剥離層から剥がれるようにしているので、1つの半導体素子2と電子基板7とを接合する時間も従来例2の装置と比べて大幅に短縮することができる。
In the semiconductor bonding method and apparatus according to the first embodiment of the present invention, the
なお、本第1実施形態においては、前記1つの半導体素子2と前記1つの電子基板7とは、略同じ大きさを有しているものとしたが、本発明はこれには限定されない。例えば、半導体素子2を1つのみ、電子基板7に接合する場合には、前記1つの電子基板7のサイズが前記1つの半導体素子2のサイズよりも大きく形成されてもよい。
In the first embodiment, the one
また、本第1実施形態においては、熱圧着ツール8と吸着ヘッド51の両方を移動させて、前記1つの半導体素子2の裏面側と前記電子基板7の裏面側の両方から押圧するように構成したが、本発明はこれには限定されない。例えば、前記1つの半導体素子2の裏面側と前記電子基板7の裏面側のいずれか一方を例えば固定台に載置するなどして固定し、その他方から押圧されるように構成されても同様の効果を得ることができる。
In the first embodiment, both the
《第2実施形態》
本発明の第2実施形態にかかる半導体接合方法及び装置について、図8及び図9を用いて、参照しつつ説明する。図8は、本発明の第2実施形態にかかる半導体接合装置の全体構成を示す斜視図であり、図9は、本発明の第2実施形態にかかる半導体接合装置の横から見た概略説明図である。本発明の第2実施形態にかかる半導体接合装置は、第1実施形態にかかる半導体接合装置の半導体素子搬送装置20、熱圧着ツール移動装置30及び電子基板搬送装置50に代えて、半導体素子搬送装置20a、熱圧着ツール移動装置30a及び電子基板搬送装置50aを備え、さらに吸着ステージ9を備える点で、本発明の第1実施形態にかかる半導体接合装置と異なる。それ以外の点については、本発明の第1実施形態にかかる半導体接合装置と同様であるので、重複する説明は省略する。
<< Second Embodiment >>
A semiconductor bonding method and apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 8 and 9. FIG. 8 is a perspective view showing the entire configuration of the semiconductor bonding apparatus according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a schematic explanatory view seen from the side of the semiconductor bonding apparatus according to the second embodiment of the present invention. It is. The semiconductor bonding apparatus according to the second embodiment of the present invention replaces the semiconductor
本発明の第2実施形態にかかる半導体接合方法及び装置は、電子基板7の電極面7cが上向きの状態で電子基板用接合位置B1a(熱圧着ツール8により半導体素子2が電子基板7に接触してバンプ7bを介しての電極同士の接合を行うときの電子基板7の接合位置)(図10A参照)に搬送されて吸着ステージ9に載置されたのち、半導体素子2の電極面2bが下向きの状態でウェハーシート保持体1に保持されて半導体素子用接合位置A1a(熱圧着ツール8により半導体素子2が電子基板7に接触してバンプ7bを介しての電極同士の接合を行うときの半導体素子2の接合位置)(図9参照)に搬送され、前記1つの半導体素子2の上方から熱圧着ツール8を接触させて前記1つの半導体素子2の電極2aをそれに対応する電子基板7の電極7aに接触させるとともに、熱圧着ツール8と吸着ステージ9との間で挟み込んで前記半導体素子2と電子基板7とを熱圧着接合するようにしたものである。
In the semiconductor bonding method and apparatus according to the second embodiment of the present invention, the electronic substrate bonding position B1a (the
本発明の第2実施形態にかかる半導体接合装置において、半導体素子供給装置10の半導体素子収納部11は、各半導体素子2の電極面2bが下向き(−Z方向)の状態でウェハーシート保持体1を収納しており、電子基板供給装置40の電子基板収納部41は、各電子基板7の電極面7cが上向き(+Z方向)の状態でトレイ42を保持している。
In the semiconductor bonding apparatus according to the second embodiment of the present invention, the semiconductor
半導体素子搬送装置20aは、U字状に形成されるとともに図示しない係合部で半導体素子収納部11内の搬送可能位置10Aに位置するウェハーシート保持体1の外周部を保持可能に形成され、半導体素子供給装置10の搬送可能位置10Aに位置するウェハーシート保持体1を引き出し、半導体素子用接合位置A1aの上方の半導体素子用接合準備位置A2a(半導体素子用接合位置A1aの上方でかつ半導体素子用接合位置A1aから離れた位置であって次の接合対象となる1つの半導体素子2の熱圧着接合のための準備位置)を経由して、半導体素子用接合位置A1aまで搬送可能な保持フレーム21aを備えている。また、半導体素子搬送装置20aは、保持フレーム21aが固定され、保持フレーム21aをモータ(図示せず)によりXY平面上で回動可能にするθ軸25aと、保持フレーム21aをモータ24aMの正逆駆動により±Z方向に進退移動可能なZ軸テーブル24aと、Z軸テーブル24aが固定され、保持フレーム21aをモータ23aMの正逆駆動により±Y方向に進退移動可能なY軸テーブル23aと、Y軸テーブル23aが固定されるとともに一端部が基台200に立設された取付壁201に固定され、保持フレーム21aをモータ22aMの正逆駆動により±X方向に進退移動させるX軸テーブル22aとを備えている。
The semiconductor
熱圧着ツール移動装置30aは、XYZ軸テーブル31〜33がウェハーシート保持体1の上方に配置されている以外は、半導体素子搬送装置20aと同様に構成されている。
The thermocompression bonding
電子基板搬送装置50aは、トレイ搬送装置45と、トレイ搬送装置45により電子基板収納部41内の搬送可能位置40Aから電子基板収納部41の外部に引き出されたトレイ42に載置された多数の電子基板7のうちから、接合対象となる1つの電子基板7を吸着保持可能であるとともに、電子基板用接合位置B1aまで搬送可能に配置された吸着ヘッド51aとを備えている。また、電子基板搬送装置50aは、下端部に吸着ヘッド51aが固定されてZ軸回転駆動モータ55aMにより吸着ヘッド51aをXY平面上で正逆回転させるZ軸55aと、Z軸55aを垂下しかつZ軸55aを介して吸着ヘッド51aをモータ54aMの正逆駆動により±Z方向に進退移動可能なZ軸テーブル54aと、Z軸テーブル54aを垂下するように支持してZ軸テーブル54aを介して吸着ヘッド51aをモータ52aMの正逆駆動により±X方向に進退移動可能なX軸テーブル52aと、基台200上に配置されるとともにX軸テーブル52aを上面側に支持し、Z軸テーブル54a及びX軸テーブル52aを介して吸着ヘッド51aを、トレイ42から前記1つの電子基板7を吸着保持可能な位置と、吸着ステージ9上の電子基板7の電子基板用接合位置B1aとの間でモータ53aMの正逆駆動により±Y方向に進退移動可能なY軸テーブル53aとを備えている。
吸着ヘッド51aは、180度位相を異ならせて配置された2つの吸引ノズル51a−1,51a−2を有している。2つの吸引ノズル51a−1,51a−2の夫々には、吸引装置56aが独立に各吸引ノズル51a−1,51a−2に働くように接続されている。
The electronic
The
電子基板搬送装置50aは、例えば、トレイ側では、吸引ノズル51a−1,51a−2の一方の吸引ノズルにより、一方の吸引ノズルに吸着保持されかつ半導体素子2が接合された接合後の電子基板7をトレイ42に収納して吸着解除し、前記吸着解除した吸引ノズルで、トレイ搬送装置45により電子基板収納部41の外に搬送された接合対象となる1つのトレイ42に載置された多数の電子基板7の中から次に接合対象となる1つの電子基板7を吸着する。なお、前記では吸着解除した吸引ノズルで前記次に接合対象となる1つの電子基板7を吸着するようにしたが、Z軸回転駆動モータ55aMによりZ軸55aを180度回転させて、他方の吸引ノズルで前記次に接合対象となる1つの電子基板7を吸着するようにしてもよい。
また、吸着ステージ9側では、吸引ノズル51a−1,51a−2の一方の吸引ノズルにより、吸着ステージ9の電子基板用接合位置B1aに位置した、接合後の電子基板7を吸着保持し、Z軸回転駆動モータ55aMによりZ軸55aを180度回転させたのち、他方の吸引ノズルにより、トレイ側で他方の吸引ノズルに吸着保持した接合対象の電子基板7を吸着ステージ9の電子基板用接合位置B1aに載置して吸着解除する。
For example, on the tray side, the electronic
On the
吸着ステージ9は、一例として前記1つの半導体素子2の電極面2bよりも大きい矩形の保持板9aと、上端部が保持板9aの下面に固定されるとともに下端部が基台200に固定されて、保持板9aを別途設けられたモータ(図示せず)が正逆方向に駆動されることにより昇降可能に構成されたZ軸テーブル9bとを備えて構成している。保持板9aには多数の吸引穴(図示せず)が形成されており、別途設けられた吸引装置(図示せず)により、前記吸引穴から吸引して保持板9a上に載置され位置決めされた電子基板7を吸着保持できるようにしている。
As an example, the
電子基板認識装置60aは、電子基板搬送装置50aのZ軸テーブル54aの−Y方向側に固定されたカメラ61aより構成されている。電子基板認識装置60aは、電子基板搬送装置50aにより保持板9a上に載置され位置決めされ吸着保持された電子基板7の認識対象部(図示せず、例えば電極7aの位置や電子基板7に設けられた認識マーク等の基準位置)をカメラ61aで認識して、電子基板認識データを制御部80に出力するように構成されている。
The electronic
半導体素子認識装置70aは、半導体素子搬送装置20aによる半導体素子搬送経路(搬送可能位置10Aと半導体素子用接合位置A1aとを通る経路)の下方でかつ吸着ステージ9の保持板9aの近傍で基台200に固定されたカメラ71aより構成されている。半導体素子認識装置70aは、前記1つの半導体素子2と前記電子基板7の接合前に、前記1つの半導体素子2の認識対象部(図示せず、例えば電極2aの位置や1つの半導体素子2に設けられた認識マーク等の基準位置)をカメラ71aで認識して、半導体素子認識データを制御部80に出力するように構成されている。
The semiconductor
本第2実施形態にかかる半導体接合装置は、以上のように構成されている。
次に、本第2実施形態にかかる半導体接合装置の接合動作を、図8、図9、図10A〜図10Eを参照しつつ説明する。図10A〜図10Eは、本第2実施形態にかかる半導体接合装置の接合動作を示す概略説明図であって、この接合動作は制御部80の制御の下に行われる。なお、ここでは、前記1つの電子基板7のサイズは、前記1つの半導体素子2のサイズよりも十分大きなもの(例えば10倍のサイズ)とし、前記1つの半導体素子2の電極2aと前記1つの電子基板7の電極7aとはバンプ7bを介さず、直接、接合されるものとするが、これに限られるものではない。
The semiconductor bonding apparatus according to the second embodiment is configured as described above.
Next, the bonding operation of the semiconductor bonding apparatus according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. 8, 9, and 10A to 10E. 10A to 10E are schematic explanatory views showing the bonding operation of the semiconductor bonding apparatus according to the second embodiment, and this bonding operation is performed under the control of the
まず、半導体素子供給装置10の上下リフター12のモータ14の駆動を制御して、上下リフター12により半導体素子収納部11を昇降させ、半導体素子収納部11内の接合対象となる1つのウェハーシート保持体1を搬送可能位置10Aに位置させるとともに、電子基板供給装置40の上下リフター12−1のモータ14−1の駆動を制御して、上下リフター12−1を昇降させ、電子基板収納部41の接合対象となる1つのトレイ42を搬送可能位置40Aに位置させる。
First, driving of the
次いで、電子基板搬送装置50aのトレイ搬送装置45のモータ47Mの駆動を制御して、保持台46により、電子基板収納部41内で搬送可能位置40Aに位置するトレイ42を電子基板収納部41の外部に搬送する。その後、電子基板搬送装置50aの各テーブル52a〜54aの夫々のモータ52aM〜54aMの駆動及び吸引装置56aの駆動を制御して、吸着ヘッド51aの吸引ノズル51a−1により、トレイ42内で接合対象となる1つの電子基板7を吸着してトレイ42から上方にピックアップし、電子基板用接合位置B1aへ搬送させる(図10A参照)。なお、最初に接合対象となる電子基板7を電子基板用接合位置B1aに移動させる時には、吸引ノズル51a−1,51a−2の両方にトレイ42から最初に接合対象となる電子基板7又は次に接合対象となる電子基板7を吸着させて動作するようにし、一方の吸引ノズルに吸着された最初に接合対象となる電子基板7と前記1つの半導体素子2が接合されたときには、次に接合対象となる接合前の電子基板7が他方の吸引ノズルに吸着されている状態にしておく。
Next, the driving of the
このとき、吸着ステージ9のZ軸テーブル9bのモータ(図示せず)の駆動及び吸引装置(図示せず)の駆動を制御して、保持板9aを電子基板用接合位置B1aの下方の電子基板保持準備位置E2(電子基板用接合位置B1aの下方でかつ電子基板用接合位置B1aから離れた位置であってかつ保持板9aにより電子基板7の下面を支持するための準備位置)から電子基板保持位置E1(電子基板用接合位置B1aの下方でかつ電子基板用接合位置B1aの電子基板7の下面を保持板9aにより支持して保持する位置)に上昇させ、電子基板保持位置E1に位置した保持板9aに、吸引ノズル51a−1に吸着保持されて電子基板用接合位置B1aまで移動して当該電子基板用接合位置B1aに位置決めされた接合対象となる1つの電子基板7を、吸着保持させる。また、このとき、電子基板搬送装置50aの吸引装置56aの駆動を制御して、吸引ノズル51a−1による前記最初に接合対象となる1つの電子基板7の吸着保持状態を解除する。
次いで、電子基板搬送装置50aの駆動を制御して、吸着ステージ9上に吸着保持された前記接合対象となる1つの電子基板7の上方に、電子基板搬送装置50aに固定される電子基板認識装置60aを移動させることにより、電子基板認識装置60aが、前記接合対象となる1つの電子基板7の認識対象部(図示せず)を認識して、電子基板認識装置60aから制御部80に電子基板認識データを出力する。
At this time, the driving of the motor (not shown) of the Z-axis table 9b of the
Next, the electronic substrate recognition device fixed to the electronic
次いで、半導体素子搬送装置20aの各テーブル22a〜24aの夫々のモータ22aM〜24aM及びθ軸25aのモータの駆動を夫々制御して、保持フレーム21aにより、半導体素子保管庫11内で搬送可能位置10Aに位置するウェハーシート保持体1を半導体素子保管庫11内から引き出して、ウェハーシート保持体1内で最初に接合対象となる1つの半導体素子2を半導体素子用接合準備位置A2aに+Y方向に搬送して位置決めさせる(図10B参照)。このウェハーシート保持体1が搬送可能位置10Aから半導体素子用接合準備位置A2aに向けて移動する間に、ウェハーシート保持体1が半導体素子認識装置70a上を通過して、半導体素子認識装置70aが、ウェハーシート保持体1のうちの前記最初に接合対象となる1つの半導体素子2の認識対象部(図示せず)を認識して、半導体素子認識装置70aから制御部80に半導体素子認識データを出力する。
また、このとき、熱圧着ツール移動装置30aの各テーブル31〜33の夫々のモータ31M〜33Mの駆動を夫々制御して、熱圧着ツール8を、前記接合対象の1つの半導体素子2の裏面に接触するウェハーシート4の熱圧着領域D1aの上方で対向する熱圧着準備位置C2a(熱圧着領域D1aの上方でかつ熱圧着領域D1aから離れた位置であって熱圧着ツール8により加熱するための準備位置)に向けて搬送させる(図10B参照)。
Next, the respective motors 22aM to 24aM of the respective tables 22a to 24a of the semiconductor
At this time, the driving of the
このようにして、前記接合対象となる1つの半導体素子2が半導体素子用接合準備位置A2aに位置決めされたのち、熱圧着ツール8を熱圧着準備位置C2aに位置決めするとき、熱圧着ツール8は、制御部80に入力された半導体素子認識装置70aの半導体素子認識データに基づいて、熱圧着ツール移動装置30aの各テーブル31〜33の夫々のモータ31M〜33Mの駆動を夫々制御部80により制御されて、位置決め補正されている。
Thus, after positioning one
次いで、半導体素子搬送装置20aの各テーブル22a〜24aの夫々のモータ22aM〜24aM及びθ軸25aのモータの駆動を夫々制御して、ウェハーシート保持体1を半導体素子用接合準備位置A2aから半導体素子用接合位置A1aに下降させて、前記接合対象となる1つの半導体素子2の複数の電極2aとそれに対応する電子基板7の複数の電極7aとを夫々接触させる(図10C参照)。このとき同時に、熱圧着ツール移動装置30aのZ軸テーブル33のモータ33Mの駆動を制御して、熱圧着ツール8を熱圧着準備位置C2aから熱圧着位置C1a(熱圧着時に熱圧着ツール8により前記接合対象となる半導体素子2に対応する熱剥離層3及び熱硬化層5を加熱するときの熱圧着ツール8の位置)に下降させて、熱圧着ツール8の熱圧着面8aを、ウェハーシート4の熱圧着領域D1aを介して前記接合対象となる1つの半導体素子2の裏面に接触させる(図10C参照)。なお、図10C中の右側の2つの半導体素子2は、前記1つの電子基板7に接触していない。
Next, the respective motors 22aM to 24aM of the respective tables 22a to 24a of the semiconductor
次いで、熱圧着ツール8及び保持板9aとで前記1つの半導体素子2及び前記1つの電子基板7を挟んで押圧した状態で、熱圧着ツール8を加熱させて熱圧着動作を行う。なお、熱圧着ツール8は、ウェハーシート4の熱圧着領域D1aに接触する前に加熱を開始されていても構わない。
この熱圧着動作により、ウェハーシート4を介して熱剥離層3も加熱されて、前記1つの半導体素子2と熱剥離層3との接着力が弱まるとともに、ウェハーシート4、熱剥離層3及び半導体素子2を介して熱硬化層5が加熱されて、前記1つの半導体素子2の全ての電極2aが熱硬化層5を貫通して前記電子基板7の電極7aと夫々当接し、当該当接した状態で熱硬化層5が熱硬化して前記1つの半導体素子2と前記電子基板7とが、前記1つの半導体素子2と加熱後の熱剥離層3との接着力よりも強い力で接合される。
Next, in a state where the one
By this thermocompression operation, the
次いで、熱圧着ツール移動装置30aのZ軸テーブル33のモータ33Mの駆動を制御して、熱圧着ツール8を熱圧着位置C1aから熱圧着準備位置C2aに上昇させるとともに、半導体素子搬送装置20aのZ軸テーブル24aのモータ24aMの駆動を制御して、ウェハーシート保持体1を半導体素子用接合位置A1aから半導体素子用接合準備位置A2aに上昇させる。これにより、吸着ステージ9の保持板9a上に吸着保持され且つ前記1つの半導体素子2が接合された前記電子基板7は、前記半導体素子2との接合力が加熱後の熱剥離層3との接着力よりも強いために熱剥離層3から離れる(図10D参照)。
Next, the driving of the
次いで、熱圧着ツール移動装置30aの各テーブル31〜33の夫々のモータ31M〜33Mの駆動を制御するとともに、半導体素子搬送装置20aの各テーブル22a〜24aの夫々のモータ22aM〜24aMの駆動を制御して、電子基板搬送装置50aが吸着ステージ9の保持板9a上に吸着保持された前記1つの半導体素子が接合された前記電子基板7を搬送できるように、熱圧着ツール8及びウェハーシート保持体1を移動させる。
Next, the driving of the
次いで、電子基板搬送装置50aの各テーブル52a〜54aの夫々のモータ52aM〜54aMの駆動及び吸引装置56aの駆動を制御して、吸引ノズル51a−2により、前記次の接合対象となる1つの電子基板7を吸着保持させたままで、もう一方の吸引ノズル51a−1により、前記1つの半導体素子2が接合された前記電子基板7を吸着保持させると同時的に、又はその吸着保持の直前に、吸着ステージ9の吸引装置(図示せず)の駆動を制御して、前記1つの半導体素子2が接合された前記電子基板7の吸着ステージ9による吸着を解除する。
次いで、吸着ステージ9のZ軸テーブル9bのモータの駆動を制御して、保持板9aを電子基板保持位置E1から電子基板保持準備位置E2に下降させ、前記1つの半導体素子2が接合された前記電子基板7と保持板9aとの接触状態を解除させる。このとき、一方の吸引ノズル51a−1により、前記1つの半導体素子2が接合された前記電子基板7を吸着保持された状態が維持されている。
次いで、電子基板搬送装置50aのZ軸55aのZ軸回転駆動モータ55aMの駆動を制御して、吸着ヘッド51aを180°回転させ、他方の吸引ノズル51a−2に吸着保持され且つ前記次の接合対象となる1つの電子基板7を電子基板用接合位置B1aに移動させる(図10E参照)とともに、一方の吸引ノズル51a−1に吸着保持され且つ前記半導体素子2が接合された前記電子基板7を電子基板用接合位置B1aから退避させる。このとき同時的に、吸着ステージ9のZ軸テーブル9bのモータ(図示せず)の駆動及び吸引装置(図示せず)の駆動を制御して、保持板9aを電子基板保持準備位置E2から電子基板保持位置E1に上昇させて、前記電子基板用接合位置B1aで前記次の接合対象となる1つの電子基板7を保持板9aに吸着保持させるとともに、電子基板搬送装置50aの吸引装置56aの駆動を制御して、吸引ノズル51a−2による前記次の接合対象となる1つの電子基板7の吸着保持状態を解除させる。
Next, the driving of the respective motors 52aM to 54aM and the driving of the
Next, the driving of the motor of the Z-axis table 9b of the
Next, the driving of the Z-axis rotation drive motor 55aM of the Z-
次いで、電子基板搬送装置50aの駆動を制御して、吸着ステージ9上に吸着保持された前記次の接合対象となる1つの電子基板7の上方に、電子基板搬送装置50aに固定される電子基板認識装置60aを移動させることにより、電子基板認識装置60aが、前記次の接合対象となる1つの電子基板7の認識対象部(図示せず)を認識して、電子基板認識装置60aから制御部80に電子基板認識データを出力する。この後、電子基板搬送装置50aの吸着ヘッド51aを、吸着ノズル51a−2により前記1つの半導体素子2が接合された前記電子基板7を吸着保持させたまま、トレイ42の方に移動させる。
電子基板搬送装置50aの吸着ヘッド51aがトレイ42の方に移動した後、又は移動すると同時に、半導体素子搬送装置20aの各テーブル22a〜24aの夫々のモータ22aM〜24aMの駆動を制御してウェハーシート保持体1を半導体素子認識装置70aの上方に移動させ、半導体素子認識装置70aにより、次の接合対象となる1つの半導体素子2の認識対象部(図示せず)を認識させて、制御部80に半導体素子認識データを出力させたのち、次の1つの半導体素子2を半導体素子用接合準備位置A2aに位置させる。
Next, by controlling the driving of the electronic
After the
次いで、前記次の接合対象となる1つの電子基板7に前記1つの半導体素子2が接合されるまでの間に、電子基板搬送装置50aの各テーブル52a〜54aの夫々のモータ52aM〜54aMの駆動及び吸引装置56aの駆動を制御して、吸引ノズル51a−1により吸着保持された前記1つの半導体素子2が接合された前記電子基板7をトレイ42上で吸着保持状態を解除して載置するとともに、吸引ノズル51a−1によりトレイ42のさらに次の接合対象となる1つの電子基板7を吸着保持し、前記さらに次の接合対象となる電子基板7を電子基板用接合位置B1aの近傍まで移動させておく。
Next, the motors 52aM to 54aM of the respective tables 52a to 54a of the electronic
以下、本発明の第2実施形態にかかる半導体接合装置は、前記と同様の動作を行うことで、複数の接合後の1つの電子基板7及び1つの半導体素子2を得ることができる。
なお、トレイ42に載置された多数の電子基板7の全てが半導体素子2と接合される場合、及びウェハーシート保持体1の複数の半導体素子2の接合が完了した場合の動作は、第1実施形態の半導体接合装置と同様であるので説明は省略する。
Hereinafter, the semiconductor bonding apparatus according to the second embodiment of the present invention can obtain one
The operation when all of the many
本発明の第2実施形態の半導体接合装置は、電子基板7の電極面7cが上向きの状態で電子基板用接合位置B1aに搬送され、半導体素子2の電極面2bが下向きの状態でウェハーシート保持体1に保持されて半導体素子用接合位置A1aに搬送され、1つの半導体素子2の上方から熱圧着ツール8を接触させて前記1つの半導体素子2の電極2aをそれに対応する電子基板7の電極7aに接触させるとともに電子基板7の裏面(下面)から吸着ステージ9を接触させて、半導体素子2と電子基板7とを熱圧着接合するように構成されることにより、本発明の第1実施形態の半導体接合装置と同様の効果を得ることができる。すなわち、従来例2の装置のように、半導体素子を粘着シートから剥がすときに突下針等により半導体素子に局所的に応力をかけることなく、半導体素子を容易に剥がすことができ、半導体素子に破損や欠け等が発生するのを抑えることができる。また、前記1つの半導体素子2と電子基板7とを熱圧着するときの熱を利用して、前記1つの半導体素子が前記熱剥離層から剥がれるようにしているので、前記1つの半導体素子2と電子基板7とを接合する時間も従来例2の装置と比べて大幅に短縮することができる。
The semiconductor bonding apparatus according to the second embodiment of the present invention is transported to the electronic substrate bonding position B1a with the
また、本発明の第2実施形態の半導体接合装置によれば、吸着ヘッド51aを180°回転させるだけの動作で、2つの吸引ノズル51a−1,51a−2により、接合前の1つの電子基板7と接合後の1つの電子基板7とを同時に吸着できるようにしたので、本発明の第1実施形態の半導体接合装置のように、1つの電子基板7に1つの半導体素子2を接合する毎に吸着ヘッド51aを±Y方向に移動させる必要がなく、短時間で複数の電子基板7と複数の半導体素子2とを接合することができる。
なお、本発明の第2実施形態の半導体接合装置においては、前記接合対象となる電子基板7を、電子基板搬送装置50aにより、トレイ42の中から吸着ステージ9上に搬送し、電子基板用接合位置B1aに位置させるように構成したが、本発明はこれに限定されない。例えばコンベアのような搬送装置によって、前記接合対象となる電子基板7を吸着ステージ9上に位置決めするようにしてもよい。
Further, according to the semiconductor bonding apparatus of the second embodiment of the present invention, one electronic substrate before bonding is obtained by the two
In the semiconductor bonding apparatus according to the second embodiment of the present invention, the
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
例えば、本発明の第1及び第2実施形態の第1変形例として、本発明の第1及び第2実施形態の半導体接合装置においては、前記電子基板7に前記1つの半導体素子2を接合する毎に吸着ヘッド51,51aを上下方向(±Z方向)に移動させたが、本発明はこれには限定されるものではない。例えば、ウェハーシート保持体1のウェハーシート4と電子基板7との隙間寸法を大略一定に(例えば1mm)維持した状態で、ウェハーシート4と電子基板7との隙間寸法をほとんど変えることなく(言い換えれば、ウェハーシート4と電子基板7とを相対的に離すようにいずれか一方の部材を他方の部材に対して上昇又は下降させることなく)、1つの電子基板7に複数の半導体素子2を熱圧着ツール8で連続的に熱圧着接合するように制御部80で動作制御させてもよい。
As mentioned above, although embodiment of this invention has been described, this invention is not limited to each said embodiment, A various deformation | transformation is possible.
For example, as a first modification of the first and second embodiments of the present invention, in the semiconductor bonding apparatus according to the first and second embodiments of the present invention, the one
なお、前記のように動作させる場合、ウェハーシート保持体1又は電子基板7の移動の方向によっては、電子基板7に接合後の半導体素子2に、ウェハーシート保持体1に保持された接合前の半導体素子2が接触することが有り得る。そのため、制御部80が、前記ウェハーシート保持体1の前記ウェハーシート4に保持された前記隣接する複数の半導体素子2のうちの先に接合する半導体素子2から見た、次に接合する半導体素子2の配列方向と、前記1つの電子基板7に前記複数の半導体素子2を接合するときの先に半導体素子2を接合する接合位置から見た、次に半導体素子2を接合する接合位置との配列方向とが180度とならないように(0度以上でかつ180度より小さい角度をなすように)、前記複数の半導体素子2を電子基板7に接合するようにすればよい。
In the case of operating as described above, depending on the direction of movement of the
このように構成される例を以下に説明する。
ここで、ウェハー2Aは、図11Aに上から見た透視図として示すように、±y方向(前記±Y方向と同一の方向でもよいし、前記±Y方向とは全く異なる方向でもよい。)に3列、±x方向(前記±X方向と同一の方向でもよいし、前記±X方向とは全く異なる方向でもよい。)に3行の合計9つの半導体素子S11〜S13,S21〜S23,S31〜S33に分割されてウェハーシート保持体1に保持されているものとする。すなわち、図11Aのウェハー2Aにおいて、+x方向の最も上流側でかつ+y方向の最も上流側には半導体素子S11が配置され、+y方向の最も上流側の列には、半導体素子S11,S21,S31が+x方向の上流側から下流側に向けて夫々順に配置され、次いで、+y方向の上流側と下流側の中間の列には、半導体素子S12,S22,S32が+x方向の上流側から下流側に向けて夫々順に配置され、次いで、+y方向の最も下流側には、半導体素子S13,S23,S33が+x方向の上流側から下流側に向けて夫々順に配置されているとする。
An example of such a configuration will be described below.
Here, as shown in a perspective view seen from above in FIG. 11A, the
前記したようなウェハー2Aにおいて、例えば、図11B及び図11Cに示すように、半導体素子用接合位置A1−1〜A1−3が+y方向の上流側から下流側に向けて直列に配列されている場合には、ウェハーシート保持体1が+y方向にのみ搬送されれば、半導体素子S11〜S13を電子基板7の半導体素子用接合位置A1−1〜A1−3に順に接合可能である。
このような場合には、以下のように制御部80で動作制御する。
例えば、まず、図11Dに示すように、ウェハー2Aの+y方向の最も上流側に位置する半導体素子S11を、電子基板7の+y方向の最も上流側に位置する半導体素子用接合位置A1−1に前記したように圧着接合する。
次いで、図11Eに示すように、ウェハー2Aの+y方向の2番目に上流側に位置する半導体素子S12を、電子基板7の+y方向の2番目に上流側に位置する半導体素子用接合位置A1−2に前記したように圧着接合する。
次いで、図11Fに示すように、ウェハー2Aの+y方向の最も下流側に位置する半導体素子S13を、電子基板7の+y方向の最も下流側に位置する半導体素子用接合位置A1−3に前記したように圧着接合する。
すなわち、ウェハーシート保持体1の単一の搬送方向である+y方向の上流側に位置する半導体素子2から下流側に向けて順に、複数の半導体素子2を、電子基板7の搬送方向と同一方向に配列された複数の接合位置のうちの搬送方向である+y方向の上流側に位置する接合位置から順に複数の接合位置に夫々圧着接合するように動作制御すればよい。
In the
In such a case, the operation is controlled by the
For example, first, as shown in FIG. 11D, the semiconductor element S11 located on the most upstream side in the + y direction of the
Next, as shown in FIG. 11E, the semiconductor element S12 located on the second upstream side in the + y direction of the
Next, as shown in FIG. 11F, the semiconductor element S13 located on the most downstream side in the + y direction of the
That is, the plurality of
言い換えれば、隣接する複数の半導体素子S11〜S13の内の先に接合した半導体素子S11から見た、次に接合対象となる半導体素子S12の配列方向(例えば図11Aの半導体素子S11からS12の右方向)と、前記1つの電子基板7に前記複数の半導体素子S11とS12を順に接合するときの先に半導体素子S11を接合する半導体素子用接合位置A1−1から見た、次に半導体素子S12を接合する半導体素子用接合位置A1−2の配列方向(例えば図11Cの電子基板7の半導体素子用接合位置A1−1からA1−2の右方向)とが同じ方向になるようにすればよい。逆に言えば、まず、半導体素子S12を半導体素子用接合位置A1−1に接合したのち、半導体素子S11を接合するために、例えば固定された電子基板7に対してウェハーシート保持体1を図11Aの+y方向(右方向)に搬送しようとすると、ウェハーシート保持体1に保持された半導体素子S11が、半導体素子用接合位置A1−1に接合された半導体素子S12と接触することになり、このような接合動作を避ける必要がある。
先に接合された半導体素子と、ウェハーシート保持体1に保持された半導体素子との接触を避けるためには、図11A〜図11Fで説明したように、半導体素子2の配列方向と半導体素子用接合位置の配列方向とを同一にするものに限られるものではなく、本発明の第1及び第2実施形態の第2変形例として図12A〜図12Dに示すように、半導体素子2の配列方向と半導体素子用接合位置の配列方向とが、ある所定の角度をなすようにしてもよい。
In other words, the arrangement direction of the semiconductor element S12 to be joined next (for example, the right side of the semiconductor elements S11 to S12 in FIG. 11A) viewed from the semiconductor element S11 joined first among the plurality of adjacent semiconductor elements S11 to S13. Direction) and the semiconductor element S12, as viewed from the semiconductor element bonding position A1-1 where the semiconductor element S11 is bonded first when the semiconductor elements S11 and S12 are bonded to the one
In order to avoid contact between the semiconductor element joined first and the semiconductor element held by the
すなわち、例えば、図11Aのウェハー2Aを使用する場合であって、図12Aに示すように、半導体素子用接合位置が一列に配列されているのではなく、半導体素子用接合位置A1−4,A1−5が、+x方向の上流側から下流側に向けて直線的に配置され、半導体素子用接合位置A1−6が、半導体素子用接合位置A1−4,A1−5の中間位置から+y方向の下流側に離れて配置されていると仮定する。
このような場合に接合動作時間を短縮化するためには、まず、ウェハーシート保持体1を+x方向に搬送して半導体素子用接合位置A1−4,A1−5で夫々半導体素子2を接合したのち、+x方向及び+y方向に搬送して半導体素子用接合位置A1−6で半導体素子2を接合すればよい。
より具体的には、図12Bに示すように、図11Aのウェハー2Aにおいて+x方向の最も上流側で且つ+y方向の最も上流側に位置する半導体素子S11を、電子基板7の+x方向の最も上流側で且つ+y方向の最も上流側に位置する半導体素子用接合位置A1−4に前記したように圧着接合する。
次いで、図12Cに示すように、図11Aのウェハー2Aにおいて+x方向の2番目に上流側で且つ+y方向の最も上流側に位置する半導体素子S21を、電子基板7の+x方向の2番目に上流側で且つ+y方向の最も上流側に位置する半導体素子用接合位置A1−5に圧着接合する。
次いで、図12Dに示すように、図11Aのウェハー2Aにおいて+x方向の最も下流側で且つ+y方向の最も上流側に位置する半導体素子S31を、電子基板7の+y方向の最も下流側に位置する半導体素子用接合位置A1−6に圧着接合する。
すなわち、ウェハーシート保持体1の半導体素子S11,S21,S31の配列方向(図12B〜図12Dの下方向)と、電子基板7の接合位置の配列方向(接合位置A1−4と接合位置A1−5とでの配列方向は図12B〜図12Dの下方向、接合位置A1−5と接合位置A1−6とでの配列方向は図12B〜図12Dの斜め右上方向)とが同一及び所定の角度をなすように配置されている。
従って、半導体素子2の配列方向と半導体素子用接合位置の配列方向とが、逆方向(180度位相が異なる方向)以外の方向にすれば、すなわち、0度以上でかつ180度より小さい角度をなすようにすれば、ウェハーシート保持体1に保持された半導体素子2が、半導体素子用接合位置に接合された半導体素子2と接触することを避けることができる。
なお、1つの電子基板7に対して1つの半導体素子2のみを接合するようにすれば、次に接合対象となる半導体素子2が接合後の半導体素子2と接触する恐れがないので、制御部80の制御を簡潔にすることができる。
That is, for example, in the case of using the
In order to shorten the bonding operation time in such a case, first, the
More specifically, as shown in FIG. 12B, the semiconductor element S11 located on the most upstream side in the + x direction and the most upstream side in the + y direction in the
Next, as shown in FIG. 12C, in the
Next, as shown in FIG. 12D, the semiconductor element S31 located on the most downstream side in the + x direction and the most upstream side in the + y direction in the
That is, the arrangement direction of semiconductor elements S11, S21, and S31 (downward direction in FIGS. 12B to 12D) of the
Therefore, if the arrangement direction of the
If only one
以上のように、1つの電子基板7における、先に半導体素子2を接合する位置と次に半導体素子2を接合する位置との関係と、ウェハーシート保持体1に保持されている、先に接合する半導体素子2と次に接合する半導体素子2との位置との関係から、前記1つの電子基板7に複数の半導体素子2を接合するときには、ウェハーシート保持体1に保持され且つ前記1つの電子基板7に接合されていない半導体素子2と、前記1つの電子基板7に既に接合された半導体素子2とが、接触しないように制御部80で制御するようにして、接合を繰り返していくようにする。
言い換えれば、前記1つの電子基板7にウェハーシート保持体1に保持されている複数の半導体素子2を接合するときには、前記接合する半導体素子2以外の前記ウェハーシート4上に残された半導体素子2と、前記1つの電子基板に既に接合されている半導体素子2とが、干渉関係にならないように接合を行うようにする。このようにすれば、前記1つの電子基板7に複数の半導体素子2を接合できる。
As described above, in one
In other words, when bonding a plurality of
一方、本発明の第1及び第2実施形態の第3変形例として、ウェハーシート保持体1に保持される複数の半導体素子2の中には、製造不良等で、接合すべきではない半導体素子(以下、不良半導体素子という)S100が含まれる場合がある。ウェハーシート保持体1のどの半導体素子2が不良半導体素子S100であるかどうかは、一般的に、例えば半導体素子2を製造した半導体製造装置で生成された不良半導体素子の検出情報や、他の検査装置などにより検出されて上位コンピュータ等に記憶された不良半導体素子の検出情報が、データ(以下、ウェハーマッピングデータという)として、制御部80に予め送られて記憶部81に記憶されたり、半導体素子2上に不良マークを直接つけるという形で示される。
On the other hand, as a third modification of the first and second embodiments of the present invention, a plurality of
そこで、例えば、図13に示すように、不良半導体素子S100の廃棄箱90を(例えば半導体素子搬送装置20による半導体素子搬送経路(搬送可能位置10Aと接合位置A1との間)の下方)にさらに設けて、制御部80が、ウェハーマッピングデータ又は、半導体素子認識装置70が認識した前記不良マークに基づいて、不良半導体素子S100を廃棄箱90に入れるように各装置を制御するよう構成されるのが好ましい。
つまり、制御部80が、次に接合される半導体素子2が不良半導体素子S100である場合には、不良半導体素子S100が廃棄箱90の上方に位置する廃棄位置までウェハーシート保持体1を搬送し、熱圧着ツール8で不良半導体素子S100の裏面から下方に押圧し且つ加熱して、不良半導体素子S100の裏面とウェハーシート4の熱剥離層3の熱剥離粘着剤層3aとの間の接着力を弱めて、不良半導体素子S100をウェハーシート4の熱剥離層3から離脱させて廃棄箱90に入れるように各装置を制御するよう構成されるのが好ましい。このように構成されることにより、ウェハーシート保持体1に保持される複数の半導体素子2の中に不良半導体素子S100が含まれていても、不良半導体素子S100を電子基板7に接合せずに容易にかつ確実に廃棄することができる。なお、この廃棄動作は、接合動作開始前に、予め、不良半導体素子S100のみを廃棄するようにしてもよい。
Therefore, for example, as shown in FIG. 13, the
That is, when the
また、本発明の第1及び第2実施形態の第4変形例として、本発明の第1又は2実施形態の半導体接合装置においては、熱硬化層5を、一例として、半導体素子2の電極面2b上又は電子基板7cの電極面7c上に予め塗布して形成することについても言及しているが、この塗布形成について、以下に、詳細に説明する。
例えば、図14A〜図14Fに示されるように、熱硬化接着剤5aを収納保持する熱硬化接着剤注入器91を別途備えて、XYZ軸テーブルなどにより±XYZ方向に夫々熱硬化接着剤注入器91を移動可能に構成している。そして、半導体素子2と電子基板7とを接合する直前に、熱硬化接着剤注入器91により熱硬化接着剤5aを電子基板7の電極面7c上(又は半導体素子2の電極面2b上)に塗布して熱硬化層5を形成するように構成されてもよい。なお、この場合、熱硬化接着剤5aを電子基板7に塗布する前に、熱硬化接着剤5aの温度を熱圧着ツール8の加熱設定温度近くまで予め引き上げておくと、半導体素子2と電子基板7との熱圧着接合時に、熱硬化接着剤5aを溶融させるのに要する加熱時間を短縮することができる。したがって、1つの又は複数の電子基板7に複数の半導体素子2を接合するのに要する時間を短縮することができる。
Further, as a fourth modification of the first and second embodiments of the present invention, in the semiconductor bonding apparatus according to the first or second embodiment of the present invention, the
For example, as shown in FIGS. 14A to 14F, a thermosetting
また、本発明の第1又は2実施形態の半導体接合装置においては、熱圧着ツール8を半導体素子2の裏面側に対応するウェハーシート4の熱圧着領域D1に接触させて、半導体素子2の裏面側から熱を加えるように構成したが、本発明はこれには限定されない。例えば、電子基板7の裏面側、又は半導体素子2の裏面側及び電子基板7の裏面側の両方から熱を加えるように構成されても同様の効果を得ることができる。
In the semiconductor bonding apparatus according to the first or second embodiment of the present invention, the
また、前記各実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、夫々の有する効果を奏するようにすることができる。 In addition, by appropriately combining arbitrary embodiments among the above-described embodiments, the respective effects can be achieved.
本発明の半導体接合方法及び装置は、ウェハーに低誘電率材料が使われたり、ウェハーの厚みが薄くなっても、半導体素子の破損や欠け等が発生するのを抑えることができるので、電極付きの電子基板と電極付きの半導体素子とを接合する半導体接合方法及び装置に有用である。 The semiconductor bonding method and apparatus of the present invention can suppress the occurrence of breakage or chipping of a semiconductor element even when a low dielectric constant material is used for the wafer or the thickness of the wafer is reduced. The present invention is useful for a semiconductor bonding method and apparatus for bonding an electronic substrate and a semiconductor element with an electrode.
1 ウェハーシート保持体
2 半導体素子
2A ウェハー
3 熱剥離層
4 ウェハーシート
5 熱硬化層
6 ダイサー
7 電子基板
8 熱圧着ツール
9 吸着ステージ
10 半導体素子供給装置
11 半導体素子収納部
12 上下リフター
13 ネジ軸
14 駆動用モータ
20 半導体素子搬送装置
21 保持フレーム
31,52 X軸テーブル
32,47,53 Y軸テーブル
33,54 Z軸テーブル
30 熱圧着ツール移動装置
40 電子基板供給装置
41 電子基板収納部
42 トレイ
45 トレイ搬送装置
46 保持台
50 電子基板搬送装置
51 吸着ヘッド
55 θ軸
60 電子基板認識装置
70 半導体素子認識装置
80 制御部
81 記憶部
90 廃棄箱
91 熱硬化接着剤注入器
DESCRIPTION OF
Claims (21)
個々の半導体素子に相互に分割され且つ各半導体素子の表面に電極が形成されたウェハーの裏面とウェハーシート保持体のウェハーシートとが熱剥離層で接着されて前記ウェハーを前記ウェハーシート保持体に保持した状態で、前記ウェハーの前記半導体素子のうちの1つの半導体素子の前記電極と、前記1つの半導体素子の前記電極に対応する前記電子基板の電極とを対向させて位置決めし、
前記ウェハーシート保持体に前記ウェハーを保持した状態で、前記ウェハーの前記1つの半導体素子の前記電極と前記電子基板の前記電極とを接触させつつ、前記1つの半導体素子と前記電子基板とを熱圧着して、前記1つの半導体素子の前記電極とそれに対応する前記電子基板の前記電極とを接合すると同時的に、前記熱圧着時の熱により前記熱剥離層の接着力を弱めて、前記電子基板に接合された前記1つの半導体素子を前記ウェハーシートから離脱させることを特徴とする半導体接合方法。 A semiconductor bonding method for bonding an electronic substrate with an electrode and a semiconductor element with an electrode,
The back surface of the wafer, which is divided into individual semiconductor elements and electrodes are formed on the surface of each semiconductor element, and the wafer sheet of the wafer sheet holder are bonded together by a heat release layer, and the wafer is made into the wafer sheet holder. In the held state, the electrode of one of the semiconductor elements of the wafer and the electrode of the electronic substrate corresponding to the electrode of the one semiconductor element are positioned facing each other,
With the wafer held by the wafer sheet holder, the one semiconductor element and the electronic substrate are heated while contacting the electrode of the one semiconductor element of the wafer and the electrode of the electronic substrate. At the same time as bonding the electrode of the one semiconductor element and the corresponding electrode of the electronic substrate by bonding, the adhesive force of the thermal peeling layer is weakened by heat at the time of the thermocompression bonding, and the electron A semiconductor bonding method, wherein the one semiconductor element bonded to a substrate is detached from the wafer sheet.
ウェハーシートと、個々の半導体素子に相互に分割され且つ各半導体素子の表面に電極が形成されたウェハーの裏面と前記ウェハーシートとを接着する熱剥離層とを備えて、前記ウェハーを前記熱剥離層を介して前記ウェハーシートに接着して保持するウェハーシート保持体と、
前記ウェハーを前記ウェハーシート保持体に保持した状態で、前記ウェハーシートの前記半導体素子のうちの1つの半導体素子の電極と、前記1つの半導体素子の前記電極に対応する前記電子基板の電極とを対向させて位置決めさせたのち、前記ウェハーの前記1つの半導体素子の前記電極と前記電子基板の前記電極とを接触させつつ、前記1つの半導体素子と前記電子基板とを熱圧着して、前記1つの半導体素子の前記電極とそれに対応する前記電子基板の前記電極とを接合すると同時的に、前記熱圧着時の熱により前記熱剥離層の接着力を弱めて、前記電子基板に接合された前記1つの半導体素子を前記ウェハーシートから離脱させる接合部と、
を備えることを特徴とする半導体接合装置。 A semiconductor bonding apparatus for bonding an electronic substrate with an electrode and a semiconductor element with an electrode,
A wafer sheet, and a thermal delamination layer for bonding the wafer sheet to the back surface of the wafer, which is divided into individual semiconductor elements and in which electrodes are formed on the surface of each semiconductor element, and the thermal delamination of the wafer A wafer sheet holder that adheres to and holds the wafer sheet through a layer;
With the wafer held by the wafer sheet holder, an electrode of one of the semiconductor elements of the wafer sheet and an electrode of the electronic substrate corresponding to the electrode of the one semiconductor element After being positioned to face each other, the one semiconductor element and the electronic substrate are thermocompression-bonded while the electrode of the one semiconductor element of the wafer and the electrode of the electronic substrate are brought into contact with each other. At the same time as bonding the electrodes of two semiconductor elements and the corresponding electrodes of the electronic substrate, the adhesive force of the thermal peeling layer is weakened by the heat during the thermocompression bonding, and the electrodes bonded to the electronic substrate A joint for separating one semiconductor element from the wafer sheet;
A semiconductor bonding apparatus comprising:
前記1つの半導体素子と前記電子基板の接合前に前記1つの半導体素子の認識対象部を認識して半導体素子認識データを出力する半導体素子認識装置と、
をさらに備え、
前記接合部は、
前記ウェハーシート保持体に保持された前記ウェハーの前記1つの半導体素子の前記電極が形成された電極面が、前記電子基板の前記電極が形成された電極面に対向状態で配置された状態で前記ウェハーシート保持体を搬送して、前記ウェハーシート保持体に保持された前記ウェハーの前記1つの半導体素子を半導体素子用接合位置に位置させる半導体素子搬送装置と、
前記半導体素子搬送装置により搬送されて前記半導体素子用接合位置に位置した前記ウェハーシート保持体の前記ウェハーの前記1つの半導体素子を前記熱剥離層を介して接着している前記ウェハーシートに対向し且つ前記1つの半導体素子の裏面に対応する前記ウェハーシートの熱圧着領域に接触可能な熱圧着ツールと、
前記半導体素子搬送装置により搬送されて前記半導体素子用接合位置に位置した、前記ウェハーシート保持体の前記ウェハーシートの前記熱圧着領域に接触させるように前記熱圧着ツールを移動させる熱圧着ツール移動装置と、
接合前の前記電子基板の前記電極面が、前記1つの半導体素子の前記電極面に対向可能に配置された状態で接合前の前記電子基板を、前記半導体素子用接合位置に位置する前記1つの半導体素子の前記電極面に対向する電子基板用接合位置に搬送し、前記電子基板用接合位置で前記1つの半導体素子の前記電極に前記電子基板の前記電極を位置決めする電子基板搬送装置と、
前記半導体素子搬送装置と前記熱圧着ツールと前記熱圧着ツール移動装置と前記電子基板搬送装置と前記電子基板認識装置と前記半導体素子認識装置とが接続されて夫々の動作を制御することにより、前記ウェハーシート保持体を前記半導体素子搬送装置により前記半導体素子用接合位置に搬送し、前記半導体素子用接合位置に位置した前記ウェハーシート保持体の前記ウェハーシートの前記熱圧着領域で前記熱圧着ツールを接触させるとともに、接合前の前記電子基板を前記電子基板搬送装置により前記電子基板用接合位置に搬送して、前記半導体素子認識装置により出力された前記半導体素子認識データと前記電子基板認識装置により出力された前記電子基板認識データとに基づき、前記1つの半導体素子の電極に前記電子基板の前記電極が接合されるように前記半導体素子搬送装置と前記電子基板搬送装置とにより前記1つの半導体素子と前記電子基板とを位置決めし、前記1つの半導体素子と前記電子基板とを熱圧着接合するように制御する制御部と、
を備えることを特徴とする請求項13又は14に記載の半導体接合装置。 An electronic substrate recognition device for recognizing a recognition target portion of the electronic substrate and outputting electronic substrate recognition data before performing the positioning by the bonding portion;
A semiconductor element recognition device for recognizing a recognition target portion of the one semiconductor element and outputting semiconductor element recognition data before joining the one semiconductor element and the electronic substrate;
Further comprising
The joint is
The electrode surface on which the electrode of the one semiconductor element of the wafer held on the wafer sheet holding body is disposed in a state of being opposed to the electrode surface on which the electrode of the electronic substrate is formed. A semiconductor element transport device that transports a wafer sheet holder and positions the one semiconductor element of the wafer held by the wafer sheet holder at a bonding position for semiconductor elements;
Opposite to the wafer sheet, which is transferred by the semiconductor element transfer device and bonded to the one semiconductor element of the wafer of the wafer sheet holding body located at the bonding position for the semiconductor element through the thermal release layer. And a thermocompression bonding tool capable of contacting a thermocompression bonding region of the wafer sheet corresponding to the back surface of the one semiconductor element;
A thermocompression bonding tool moving device that moves the thermocompression bonding tool to be brought into contact with the thermocompression bonding area of the wafer sheet of the wafer sheet holding member that is transferred by the semiconductor element transfer device and located at the bonding position for the semiconductor element. When,
The electronic substrate before bonding is positioned at the semiconductor element bonding position in a state where the electrode surface of the electronic substrate before bonding is disposed so as to face the electrode surface of the one semiconductor element. An electronic substrate transport device that transports to an electronic substrate bonding position facing the electrode surface of the semiconductor element, and positions the electrode of the electronic substrate to the electrode of the one semiconductor element at the electronic substrate bonding position;
The semiconductor element transfer device, the thermocompression bonding tool, the thermocompression bonding tool moving device, the electronic substrate transfer device, the electronic substrate recognition device, and the semiconductor element recognition device are connected to control each operation, thereby The wafer sheet holding body is transferred to the semiconductor element bonding position by the semiconductor element transfer device, and the thermocompression bonding tool is used in the thermocompression bonding area of the wafer sheet of the wafer sheet holding body positioned at the semiconductor element bonding position. The electronic substrate before bonding is transferred to the bonding position for electronic substrate by the electronic substrate transfer device, and the semiconductor element recognition data output by the semiconductor element recognition device and output by the electronic substrate recognition device. Based on the electronic substrate recognition data thus obtained, the electrode of the one semiconductor element is connected to the electric power of the electronic substrate. The one semiconductor element and the electronic substrate are positioned by the semiconductor element transfer device and the electronic substrate transfer device so that the one semiconductor element and the electronic substrate are bonded by thermocompression bonding. A control unit to control;
The semiconductor bonding apparatus according to claim 13 or 14, further comprising:
前記電子基板搬送装置は、前記電子基板供給装置に収納された前記電子基板を前記電子基板用接合位置に搬送して、前記電子基板用接合位置で前記1つの半導体素子の前記電極と前記電子基板の前記電極とを前記熱硬化層を介して位置決めすることを特徴とする請求項16に記載の半導体接合装置。 The electronic substrate is supplied in a state where the thermosetting layer is disposed on the electrode surface of the electronic substrate before bonding and the electrode surface of the electronic substrate is disposed so as to be opposed to the electrode surface of the one semiconductor element. An electronic board supply device that can be stored is further provided,
The electronic substrate transport device transports the electronic substrate housed in the electronic substrate supply device to the electronic substrate bonding position, and the electrode of the one semiconductor element and the electronic substrate at the electronic substrate bonding position The semiconductor bonding apparatus according to claim 16, wherein the electrode is positioned through the thermosetting layer.
The controller, after joining the one semiconductor element to the electronic substrate, retracts the electronic substrate after joining from the joining position for the electronic substrate by the electronic substrate transport device, and then attaches the electronic substrate to be joined next A semiconductor element that is transported to the bonding position for the electronic substrate and a semiconductor element to be bonded next by the semiconductor element transfer device is transferred to the bonding position for the semiconductor element to be bonded to the electronic substrate to be bonded next. The semiconductor element bonding apparatus according to claim 15, which is controlled so as to be bonded by thermocompression bonding.
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