JP2007146219A - Vacuum vapor deposition apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、被蒸着部材と蒸発装置の少なくとも一方を直線方向に移動させつつ、蒸発装置で加熱されて気化された複数の異種材料を被蒸着部材に蒸着する真空蒸着装置に関する。 The present invention relates to a vacuum deposition apparatus that deposits a plurality of different materials heated and vaporized by an evaporation apparatus on the deposition member while moving at least one of the deposition target member and the evaporation apparatus in a linear direction.
従来、被蒸着部材である基板を直線方向に移動させつつ、移動方向と直交するライン方向に沿って配置された開口から材料を放出させて蒸着し、有機ELディスプレイを製造する成膜装置がたとえば特許文献1に開示されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a film forming apparatus that manufactures an organic EL display by moving a substrate, which is a member to be deposited, in a linear direction, discharging a material from an opening arranged along a line direction orthogonal to the moving direction, and depositing the material. It is disclosed in
上記有機ELディスプレイの基本構造は、ガラス基板上に配置された陽極(透明電極)上に、ホール輸送層、発光層、陰極が順次配置されたもので、少なくとも、上記発光層は有機材料が蒸着により形成されている。 The basic structure of the organic EL display is such that a hole transport layer, a light emitting layer, and a cathode are sequentially disposed on an anode (transparent electrode) disposed on a glass substrate, and at least the light emitting layer is formed by depositing an organic material. It is formed by.
一般的に、ガラス基板上に蒸着により薄膜を形成する場合、真空容器内に有機材料の蒸発源を配置しておき、真空状態で蒸発源を加熱し、その蒸気を同じく真空容器内に配置された基板の表面に付着させることにより薄膜が形成される。 Generally, when a thin film is formed on a glass substrate by vapor deposition, an organic material evaporation source is placed in a vacuum vessel, the evaporation source is heated in a vacuum state, and the vapor is also placed in the vacuum vessel. A thin film is formed by adhering to the surface of the substrate.
上記有機材料を蒸着させる際に、主成分であるホスト材料に微量添加成分であるドーパント材料を混合させる場合があり、この場合、2つの異なる材料を異なる割合で且つ均一な成分量比でガラス基板上に蒸着させる必要がある。 When the organic material is vapor-deposited, a dopant material that is a trace addition component may be mixed with a host material that is a main component. In this case, two different materials are mixed in different proportions and at a uniform component amount ratio. It needs to be deposited on top.
このように、複数の異種材料を蒸着させる装置、方法等として、特許文献2に示すように、真空チャンバー内の被蒸着部材に対向する下部位置に2個のセルを配置し、各セルの放出孔から異種材料をそれぞれ放出するようにしたものがある。また特許文献3,4に示すように、別個に設けられた蒸発源で発生した材料を混合室で混合して放出させるものがある。
ところで、被蒸着部材に蒸着される蒸着膜厚は、所謂コサイン則による分布を示すことが知られているが、特許文献2に示すように、異種材料を別のセル室に入れて同時に蒸着させようとする場合、離れた位置の放出孔から放出された材料のコサイン則による膜厚分布では、部位によって成分量比が一定にならないため、品質が一定であるとはいえない。
By the way, it is known that the deposited film thickness deposited on the deposition target member shows a distribution according to a so-called cosine law. However, as shown in
すなわち、図12に示すように、特許文献2の構成を特許文献1に適用して直線移動する基板3に蒸着する場合、基板3の移動方向の前部にホスト材料用の蒸発装置1を配置し、基板3の移動方向の後部にドーパント材料用の蒸発装置2を配置して蒸着すると、基板3に形成される蒸着膜全体における異種材料の成分量比が等しくなっても、膜厚方向において、最初に蒸着されるホスト材料の成分量比が膜厚の基板側で大きく、また次いで蒸着されるドーパント材料の成分量比が膜厚の表面側で大きくなり、膜厚方向において成分比率が不均一になるという問題がある。なお、図12において蒸発装置1,2の放出範囲を示す直線間に示された曲線は、蒸発流分布曲線である。
That is, as shown in FIG. 12, when the structure of
またこれを解消するために、図13に示すように、複数の防着板4を配置して材料を蒸着制御することも行われているが、各材料の蒸発流分布自体を変えるものではなく、防着板4により遮られた部分の材料が基板3に付着しないため、材料の利用効率が低下するという問題が生じる。
In order to solve this problem, as shown in FIG. 13, a plurality of
さらにまた特許文献3,4に示すように、混合した後の材料を、多数の放出孔から放出することで、被蒸着部材と放出孔との間の距離を短くして材料の利用効率の低下を改善し、成分量比も均一にしやすくなるが、異種材料を混合した後で放出する場合は、温度差の異なる異種材料を取り扱うことが困難になる。
Furthermore, as shown in
これは、有機ELディスプレイの表示部を製造する有機材料は、安定性が低く、また異種材料間で蒸発温度が異なるとともに分解してその性能を失う分解温度(蒸発温度より高い)も異なることに起因する。すなわち、異種材料をそれぞれ独立して坩堝で加熱する場合には、蒸発温度以上で、分解温度未満に設定するだけでよく比較的制約が小さいが、異種材料を混合する場合には、混合する部分で混合される材料の全ての蒸発温度以上で、かつ分解温度未満に保持して、蒸着と分解とによる材料の劣化を防ぐ必要が生じるため、坩堝により個別に加熱する場合に比べて制約が大きくなる。 This is because the organic material for manufacturing the display part of the organic EL display has low stability, and the dissociation temperature (higher than the evaporation temperature) at which the dissociation material loses its performance due to the dissimilar evaporation temperature differs. to cause. That is, when different materials are heated independently in the crucible, it is only necessary to set the temperature to be equal to or higher than the evaporation temperature and lower than the decomposition temperature, but there are relatively few restrictions. It is necessary to prevent the material from being deteriorated due to vapor deposition and decomposition by maintaining it at a temperature equal to or higher than all the evaporation temperatures of the materials mixed in the process, and there are more restrictions than when individually heating with a crucible. Become.
有機ELディスプレイなどは一部製品が出回っているが、確立された分野とはいえず、特に、その材料においてはこれからどのようなものが出てくるかも知れず、蒸発温度と分解温度による制約を装置が大きく受ける構成は望ましいとはいえない。 Some products such as organic EL displays are on the market, but it is not an established field. Especially, what kind of materials may appear in the future, and there are restrictions due to evaporation temperature and decomposition temperature. A configuration in which the apparatus receives a large amount is not desirable.
本発明は上記問題点を解決して、被蒸着部材と蒸発源とを相対移動させて異種材料を蒸着させる場合、被蒸着部材に均一な異種材料の成分量比で蒸着することができる真空蒸着装置を提供することを目的とする。 The present invention solves the above-described problems, and when vapor deposition is performed on a member to be vapor-deposited by relatively moving the member to be vapor-deposited and the evaporation source, vacuum deposition can be performed on the member to be vapor-deposited at a uniform component amount ratio. An object is to provide an apparatus.
請求項1記載の発明は、異種の蒸着材料をそれぞれ加熱して気化させる複数の蒸発装置と、真空蒸着容器内で前記蒸発装置から気化された複数の蒸発材料を蒸着させる被蒸着部材と、前記蒸発装置と被蒸着部材の少なくとも一方を直線方向に移動させる移動装置とを具備し、前記蒸発装置に、異種の蒸着材料をそれぞれ加熱して気化する複数の蒸発部と、前記各蒸発部から導入された蒸発材料をそれぞれ拡散する複数の拡散部と、前記各拡散部にそれぞれ設けられて被蒸着部材に向かって蒸発材料を放出するノズル群とを設け、前記ノズル群は、異種の蒸発材料をそれぞれ放出する複数のノズルを近接配置したノズル組を有し、前記ノズル組が前記移動装置による移動方向を横断する方向にライン状に配置されたものである。
The invention according to
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、各ノズル組は、異種の蒸発材料をそれぞれ放出するノズルが、移動装置による移動方向の前後位置に配置されたものである。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, each nozzle set is configured such that nozzles that discharge different kinds of evaporation materials are arranged in front and rear positions in the moving direction of the moving device.
請求項3記載の発明は、請求項1記載の発明において、各ノズル組は、異種の蒸発材料をそれぞれ放出するノズルが、移動装置による移動方向を横断する方向の前後位置に配置されたものである。 According to a third aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, each nozzle set includes nozzles that discharge different kinds of evaporation materials at front and rear positions in a direction transverse to the moving direction of the moving device. is there.
請求項4記載の発明は、請求項1記載の発明において、各ノズル組は、隣接するノズル組で異種の蒸発材料をそれぞれ放出するノズルが千鳥位置に配置されたものである。
請求項5記載の発明は、請求項1記載の発明において、各ノズル組は、異種の蒸発材料を放出するノズルが、同一軸心状に外嵌するように中心側と外周側とに配置されたものである。
According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, each nozzle set includes nozzles that discharge different kinds of evaporation materials from adjacent nozzle sets at staggered positions.
According to a fifth aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, each nozzle set is arranged on the center side and the outer peripheral side so that the nozzles that discharge different kinds of evaporation materials are fitted on the same axis. It is a thing.
請求項1記載の発明によれば、異種の蒸発材料を放出するノズルが近接配置されたノズル組を、移動装置による移動方向を横断する方向にライン状に配置したので、ノズルから放出される異種の蒸発材料の蒸発流分布がほぼ重なり、被蒸着部材に均一な成分量比で異種の蒸発材料を蒸着することができる。また異種の蒸発材料は、蒸発源から拡散部を介して複数のノズルに導入されるので、均一な放出が可能となり、均一な厚みの蒸着膜を形成することができる。 According to the first aspect of the present invention, the nozzle set in which the nozzles that discharge different kinds of evaporation materials are arranged close to each other is arranged in a line shape in a direction crossing the moving direction by the moving device, so that the different kinds discharged from the nozzles. The evaporation flow distributions of the evaporation materials substantially overlap, so that different evaporation materials can be deposited on the deposition target member with a uniform component amount ratio. In addition, since different kinds of evaporation materials are introduced from the evaporation source to the plurality of nozzles via the diffusing portion, it is possible to discharge uniformly and form a vapor deposition film having a uniform thickness.
請求項3記載の発明によれば、各ノズル組において、異種の蒸発材料を放出するノズルを千鳥位置に配置することにより、さらに異種の蒸発材料の蒸発流の混合が図れ、より均一な成分量比の蒸着膜を形成することができる。 According to the third aspect of the present invention, in each nozzle set, the nozzles that discharge different kinds of evaporation materials are arranged in a staggered position, so that the evaporation flows of different kinds of evaporation materials can be further mixed, and a more uniform component amount can be obtained. A vapor deposition film having a specific ratio can be formed.
請求項5記載の発明によれば、各ノズル組において、異種の蒸発材料を放出するノズルを同一軸心状に配置することにより、異種の蒸発材料の蒸発流が重なり、蒸着膜における異種材料の成分量比をより均一にすることができる。 According to the fifth aspect of the present invention, the nozzles that discharge different kinds of evaporation materials are arranged in the same axial center in each nozzle set, so that the evaporation flows of the different kinds of evaporation materials overlap, and the different kinds of materials in the vapor deposition film overlap. The component amount ratio can be made more uniform.
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
[実施の形態1]
真空蒸発装置の実施の形態1を図1〜図5を参照して説明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[Embodiment 1]
A first embodiment of a vacuum evaporation apparatus will be described with reference to FIGS.
この真空蒸着装置は、図1〜図3に示すように、たとえば有機ELディスプレイの表示部を製造するもので、真空蒸着容器11の蒸着室11a内で、たとえば2種類の蒸着材料をガラス基板(被蒸着部材)13に蒸着する。ここで、異種の蒸着材料、2種類のうち、主成分であるホスト材料を第1蒸着材料A、また微量添加成分であるドーピング材料を第2蒸着材料Bといい、第1,第2蒸着材料A,Bを加熱して気化させたものをそれぞれ第1蒸発材料、第2蒸発材料という。
As shown in FIGS. 1-3, this vacuum evaporation apparatus manufactures the display part of an organic electroluminescent display, for example, In the
この真空蒸着装置は、真空ポンプ(図示せず)が接続されて蒸着室11aを形成する真空蒸着容器11と、第1,第2蒸着材料A,Bをそれぞれ加熱して気化させる蒸発装置12と、複数の保持ローラ14aを介してガラス基板13を一定高さに保持し水平な移動方向(以下、x方向という)に沿って所定速度で移動させる基板保持移動装置(移動装置)14とを具備している。
The vacuum deposition apparatus includes a
前記蒸発装置12は、真空蒸着容器11の下部で外側に設けられて第1蒸着材料Aを加熱し気化する第1蒸発部(蒸発部)21Aおよび第2蒸着材料Bを加熱し気化する第2蒸発部(蒸発部)21Bと、第1,第2蒸発部21A,21Bから蒸発された第1,第2蒸発材料をそれぞれ蒸着室11a内に導入する第1,第2誘導管22A,22Bと、蒸着室11a内に設けられて第1,第2蒸発材料をそれぞれガラス基板13に向かって放出する放出部23とを具備し、前記第1,第2誘導管22A,22Bには、真空蒸着容器11の外側に、第1,第2蒸発材料の流量をそれぞれ調整する第1,第2流量制御弁24A,24Bが介在されている。
The
前記第1蒸発部21Aおよび第2蒸発部21Bは、第1,第2蒸着材料A,Bをそれぞれ収容するセル(坩堝)21a,21aと、これらセル21a,21aに収容された第1,第2蒸着材料A,Bを加熱し気化する加熱装置21b,21bが設けられている。
The
前記放出部23には、上下2段に所定の隙間をあけて配設された第1拡散容器(拡散部)23Aおよび第2拡散容器(拡散部)23Bと、複数のノズル組25A,25Bを有するノズル群25とが具備されている。前記第1,第2拡散容器23A,23Bは横長の箱体状で、x方向に直交する横断方向(以下、y方向という)に沿って配置されている。第1拡散容器23A内には第1蒸発材料を均一に分散させる拡散空間(バッファ空間ともいう)が形成され、さらに第2拡散容器23Bを貫通した第1誘導管22Aが接続されている。また第2拡散容器23B内には第2蒸発材料を均一に分散させる拡散空間(バッファ空間ともいう)が形成され、さらに第2誘導管22Bが接続されている。
The
前記ノズル群25は、図4に示すように、y方向に沿って所定間隔tごとにライン状に配置された複数のノズル組25A,25Bからなり、各ノズル組25A,25Bは、第1拡散容器23Aの上面の所定位置に突設された第1ノズル筒(ノズル)25aと、第2拡散容器23Bの所定位置に突設された第2ノズル筒(ノズル)25bとがそれぞれx方向に近接配置されている。また第1ノズル組25Aと第2ノズル組25Bは、y方向に交互に配置されるとともに、第1ノズル筒25aと第2ノズル筒25bが逆位置に配置され、全体として第1ノズル筒25aと第2ノズル筒25bがいわゆる千鳥状に配置される。
As shown in FIG. 4, the
ここで「近接配置」とは、第1ノズル筒25aと第2ノズル筒25bとが互いに接している状態から、図4に示す所定の隙間δ(たとえば約15mm以下)をあけて配置された状態を含むものとする。
Here, “adjacent arrangement” means a state in which the
また第1ノズル筒25aは第1拡散容器23Aの上面に突設され、さらに第2ノズル筒25bは、基端部が第2拡散容器23Bの上面に接続開口され、先端部が第1拡散容器23Aの貫通穴に断熱部材を介して挿入されてその上面に突出されているが、図11(a)に示すように、上部に配置される第1拡散容器23Aの第1ノズル筒25aを筒状とせずに、第1拡散容器23Aの上面板に穿設開口されたノズル口(ノズル)25a’としてもよい。
The
基板保持移動装置14は、たとえば図示するローラ駆動式の直線移動機構が採用され、ガラス基板13の両側辺部を、それぞれx方向に所定間隔ごとに配置された保持ローラ14aにより下方から保持させるとともに、保持ローラ14aを駆動装置(図示せず)により回転させることでガラス基板13を所定速度でx方向に移動させる。なお、ローラ駆動式以外に、ねじ軸式やラック・ピニオン式などの公知の他の直線移動機構を採用してもよい。
The substrate holding and moving
また第1,第2拡散容器23A,23Bには、第1,第2蒸発材料の冷却や付着を防止するために加熱ヒータ(図示せず)がそれぞれ設けられており、この輻射熱対策として、第1,第2拡散容器23A,23Bを覆い、かつ第1,第2ノズル筒25a,25bの対応位置に開口部が形成された防熱カバー(図示せず)が設けられる。さらにこの防熱カバー上に冷却板(図示せず)を設けて輻射熱を効果的に放散させることもできる。
Each of the first and
そして、この真空蒸着装置には、図2に示すように、ガラス基板13に蒸着される膜厚を調整する膜厚制御装置26が設けられている。この膜厚制御装置26は、蒸着作業開始時などに、真空蒸着室11内のノズル群25の上方に配置された膜厚センサ27の検出信号と、第1,第2蒸発部21A,21Bのセル21a,21aに設置された温度センサ28A,28Bの検出信号とに基づいて、一定の蒸発量が検出されると、第1,第2蒸発部21A,21Bの加熱装置21b,21bを一定温度に保持しつつ、第1,第2流量制御弁24A,24Bを所定の開度で開放し、さらに基板保持移動装置駆動部14bによりガラス基板13を所定速度で移動してガラス基板13上に蒸着膜を形成する。また、膜厚の制御に際して、セル21a,21aの温度を一定に保持し、第1,第2流量制御弁24A,24Bにより蒸発流量を制御することにより、膜厚を均一に制御することができる。
The vacuum deposition apparatus is provided with a film
また実施の形態1では、図4,図5に示すように、第1,第2ノズル筒25a,25bからガラス基板13までの蒸着距離Hが決定されると、x方向の上流側(下流側)の第1,第2ノズル筒25a,25bからガラス基板13の前辺部(後辺部)の移動始点(移動終点)までのノズル筒−始終点間距離:x0が決まる。またy方向で最も外側の第1,第2ノズル組25A,25Bの第1,第2ノズル筒25a,25bからガラス基板13の両側辺までのノズル筒−基板側辺間距離:y0も十分に長く決定される。ここでx0≧y0に設定されているが、ガラス基板13の中央部と、移動方向の前後辺部、左右側辺部も膜厚が均一となるように適宜設定されていればよい。なお、ノズル筒−基板側辺間距離:y0は、ライン状に配置されたy0におけるノズル組25A,25Bの間隔(ピッチ)を中央部より小さくしたり、y0における第1,第2ノズル筒25a,25bの口径を大きくすることにより、適宜短く変更することが可能となる。
In the first embodiment, as shown in FIGS. 4 and 5, when the deposition distance H from the first and
またここで、各ノズル組25の第1,第2ノズル筒25a,25bの口径を同一に設定し、x0≧y0とした場合に、蒸発レート10Å/secで、膜厚の均一性を±5%以内とすることができた。
Here, when the diameters of the first and
上記構成において、第1蒸発部21Aで加熱装置21bによりセル21aが加熱されて第1蒸着材料Aが気化され、気化された第1蒸発材料が第1誘導管22Aから第1拡散容器23Aの拡散空間に導入されて均一に分散され、さらに第1蒸発材料が第1拡散容器23Aから第1ノズル筒25aを介して上方に向かって放出される。また第2蒸発部21Bで加熱装置21bによりセル21aが加熱されて第2蒸着材料Bが気化され、気化された第2蒸発材料Bが第2誘導管22Bから第2拡散容器23Bの拡散空間に導入されて均一に分散され、さらに第2蒸発材料が第2拡散容器23Bから第2ノズル筒25bを介して上方に向かって放出される。そして、第1ノズル筒25aから放出された第1蒸発材料と第2ノズル筒25bから放出された第2蒸発材料が共に、基板保持移動装置14により移動されるガラス基板13上にそれぞれ蒸着される。
In the above configuration, the
上記実施の形態1によれば、蒸発装置12において第1,第2拡散容器23A,23Bでそれぞれ均一に分散された第1,第2蒸発材料が、近接配置された第1,第2ノズル筒25a,25bからそれぞれガラス基板13に向かって放出される。これにより各蒸発流がそれぞれコサイン則によりほぼ重なった状態で広がり、また第2ノズル筒25a,25bを有する第1,第2ノズル組25A,25Bがy方向にライン状に配置されることで、x方向に移動されるガラス基板13全体に成分量比が均一な蒸着膜を形成することができる。
According to the first embodiment, the first and second nozzle cylinders in which the first and second evaporation materials uniformly dispersed in the first and
またライン状に配置された第1,第2ノズル組25A,25Bの第1,第2ノズル筒25a,25bが千鳥状に配置されることから、膜厚方向における成分量比のむらをなくして均一な蒸着膜を形成することができる。
In addition, since the first and
なお、図6(a)に示すように、各ノズル組25Eの第1,第2ノズル筒25a,25bがy方向に位置ずれした千鳥状の配置であってもよい。
また図6(b)に示すように、第1,第2ノズル筒25a,25bを千鳥状に配置するのでなく、第1,第2ノズル組25C,25Dの第1,第2ノズル筒25a,25bをy方向に沿ってほぼ接した状態で配置し、第1,第2ノズル組25C,25Dをy方向に沿って所定の間隔t’をあけてライン状に配置してもよい。なお、ここでは第1ノズル組25Cと第2ノズル組25Dとは、第1,第2ノズル筒25a,25bの位置がy方向に逆に配置され、第1ノズル筒25aが内側となるように、y方向の中心線CLの一方側に第1ノズル組25Cが、他方側に第2ノズル組25Dが配置されている。
In addition, as shown to Fig.6 (a), the staggered arrangement | positioning which the 1st,
In addition, as shown in FIG. 6B, the first and
[実施の形態2]
この実施の形態2は、実施の形態1における第1,第2ノズル組25A,25Bの第1,第2ノズル筒25a,25bを、同心状に外嵌された二重管ノズルとしたもので、図7〜図9を参照して説明する。なお、実施の形態1と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
[Embodiment 2]
In the second embodiment, the first and
すなわち、図7〜図9に示すように、ノズル群35におけるすべてのノズル組35Aは、第1拡散容器23Aの上板に突設された第1ノズル筒(ノズル)35aと、第2拡散容器23Bから第1拡散容器23Aの上下方向の貫通穴23aに断熱部材(図示せず)を介して挿入され第1拡散容器23A上に突出された第2ノズル筒(ノズル)35bからなり、第2ノズル筒35bは第1ノズル筒35a内に同一軸心上に配置されて二重管ノズルに構成され、第1拡散容器23Aの上にy方向に沿ってライン状に所定のピッチで配置されている。
That is, as shown in FIGS. 7 to 9, all the nozzle sets 35 </ b> A in the
もちろん、図11(b)に示すように、第1ノズル筒35aを筒状とせずに、第1拡散容器23Aの上板に穿設開口された第1ノズル口(ノズル)35a’としてもよい。
上記実施の形態2によれば、ガラス基板13の移動方向と直交する方向にライン状に配置された複数のノズル群35を、各ノズル組35Aを第2蒸発材料を放出する第2ノズル筒35bの外周部に、第1蒸発材料を放出する第1ノズル筒35aを同一軸心上に外嵌して配置した二重管ノズルに構成したので、第1,第2蒸発材料の蒸発流が互いに重なり合ってガラス基板13に蒸着されることにより、ガラス基板13に均一な膜厚で蒸着膜を形成することができ、第1蒸着材料Aおよび第2蒸着材料Bの成分量比もさらに均一にすることができる。
Of course, as shown in FIG. 11 (b), the
According to the second embodiment, the plurality of
なお、上記実施の形態1,2では、蒸発装置12の第1蒸発部21Aと第2蒸発部21Bとを、真空蒸着容器11の外側に配置したが、次の実施の形態3のように、真空蒸着容器11内に蒸発装置12の全体を配置することもできる。
In the first and second embodiments, the
[実施の形態3]
実施の形態1,2では、基板保持移動装置14を設けてガラス基板13をx方向に移動させたが、この実施の形態3では、蒸発源移動装置41により蒸発装置12をx方向に移動するように構成したもので、図10を参照して説明する。なお、先の実施の形態1,2と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
[Embodiment 3]
In the first and second embodiments, the substrate holding / moving
蒸発源移動装置41は、蒸着室11aの底部に複数のリニアレール42が敷設され、このリニアレール42にリニアベアリングを介して移動台43が移動自在に設置されている。そしてこの移動台43に、第1,第2蒸発部21A,21B、第1,第2誘導管22A,22B、第1,第2拡散容器23A,23B、第1,第2流量制御弁24A,24B、ノズル群25(または35)を有する蒸発装置12が設置されている。真空蒸着容器11の外側には、駆動ロッド44を介して移動台43を押し引き駆動するねじ軸式の駆動部45が設けられている。
In the evaporation
この駆動部45では、前記駆動ロッド44が、ガイドロッド45aに案内される駆動部材45bに連結され、さらに移動用回転駆動装置(電動モータ)45cにより回転駆動されるねじ軸45dがx方向に配設されている。そしてねじ軸45dに駆動部材45bに設けられた雌ねじ部材45eが螺合され、駆動ロッド44は真空シール用の蛇腹45fにより覆われている。したがって、移動用回転駆動装置45cによりねじ軸45dを回転駆動し雌ねじ部材45eを介して駆動部材45bを移動させ、さらに駆動ロッド44を介して移動台43をx方向に往復移動させることができる。
In the
またガラス基板13は基板保持具46により保持されている。
さらに蒸着作業開始前には、真空蒸着室11内の一方の端部(図10左側)で防着板で区画されたレート調整部に蒸発装置12を移動させて膜厚センサ27により蒸発流密度を検出し調整する。
The
Further, before the vapor deposition operation is started, the
上記実施の形態3によれば、実施の形態1,2の基板保持移動装置14に替えて蒸発装置12を移動させる蒸発源移動装置41を設け、基板保持具46によりガラス基板13を固定状態で保持されることにより、実施の形態1,2と同様の作用効果を奏することができる。
According to the third embodiment, the evaporation
なお、上記実施の形態1〜3では、第1,第2拡散容器23A,23Bを上下に配置したが、ガラス基板13の移動方向に並べて設置することもできる。
また異種の蒸着材料を2種類としたが、3種類以上とすることもできる。この場合、複数の拡散容器を、上下位置に3段以上に配置したり、またはx方向への並設と上下配置とを組み合わせて設置してもよく、またノズル筒を折り曲げてたり傾斜させることもできる。
In the first to third embodiments, the first and
Further, although two kinds of different vapor deposition materials are used, three or more kinds can be used. In this case, a plurality of diffusion containers may be arranged in three or more stages in the vertical position, or may be installed in combination with the parallel arrangement in the x direction and the vertical arrangement, and the nozzle tube is bent or inclined. You can also.
さらに、蒸発源移動装置41と部材保持移動装置14とを並設し、蒸発装置12とガラス基板13とをそれぞれ相対方向に移動させて蒸着することもできる。
Further, the evaporation
A 第1蒸着材料
B 第2蒸着材料
11 真空蒸着容器
11a 蒸着室
12 蒸発装置
13 ガラス基板
14 基板保持移動装置
21A 第1蒸発部
21B 第2蒸発部
22A 第1誘導管
22B 第2誘導管
23 放出部
23A 第1拡散容器
23B 第2拡散容器
24A 第1流量調整弁
24B 第2流量調整弁
25 ノズル群
25A,25B ノズル組
25a 第1ノズル筒
25a’ 第1ノズル口
25b 第2ノズル筒
35 ノズル群
35A ノズル組
35a 第1ノズル筒
35b 第2ノズル筒
41 蒸発源移動装置
46 基板保持具
A 1st vapor deposition material B 2nd
Claims (5)
前記蒸発装置に、異種の蒸着材料をそれぞれ加熱して気化する複数の蒸発部と、前記各蒸発部から導入された蒸発材料をそれぞれ拡散する複数の拡散部と、前記各拡散部にそれぞれ設けられて被蒸着部材に向かって蒸発材料を放出するノズル群とを設け、
前記ノズル群は、異種の蒸着材料をそれぞれ放出する複数のノズルを近接配置したノズル組を有し、前記ノズル組が移動装置による移動方向を横断する方向にライン状に配置された
真空蒸着装置。 A plurality of evaporation devices that heat and vaporize different types of vapor deposition materials, a vapor deposition member that vapor deposits a plurality of vaporization materials vaporized from the vaporization device in a vacuum vapor deposition container, and at least one of the evaporation device and the vapor deposition member A moving device for moving one side in a linear direction,
The evaporation device is provided with a plurality of evaporation units that heat and vaporize different kinds of vapor deposition materials, a plurality of diffusion units that diffuse the evaporation materials introduced from the evaporation units, and the diffusion units, respectively. And a group of nozzles that discharge the evaporation material toward the vapor deposition member,
The nozzle group has a nozzle set in which a plurality of nozzles that respectively discharge different types of vapor deposition materials are arranged close to each other, and the nozzle set is arranged in a line in a direction crossing the moving direction of the moving device.
請求項1記載の真空蒸着装置。 The vacuum vapor deposition apparatus according to claim 1, wherein each nozzle set includes nozzles that discharge different kinds of vapor deposition materials at front and rear positions in a movement direction of the movement apparatus.
請求項1記載の真空蒸着装置。 The vacuum deposition apparatus according to claim 1, wherein each nozzle set includes nozzles that discharge different kinds of deposition materials at front and rear positions in a direction transverse to the moving direction of the moving apparatus.
請求項1記載の真空蒸着装置。 The vacuum deposition apparatus according to claim 1, wherein each nozzle set includes nozzles that discharge different kinds of vapor deposition materials from adjacent nozzle sets at staggered positions.
請求項1記載の真空蒸着装置。
The vacuum deposition apparatus according to claim 1, wherein each nozzle set is arranged on a center side and an outer peripheral side so that nozzles that discharge different kinds of evaporation materials are fitted on the same axis.
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---|---|---|---|
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005341304A JP4767000B2 (en) | 2005-11-28 | 2005-11-28 | Vacuum deposition equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4767000B2 (en) |
Cited By (61)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009108375A (en) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Canon Inc | Vapor deposition apparatus and vapor deposition source |
JP2009280861A (en) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Hitachi Zosen Corp | Structure of release part in vacuum deposition apparatus |
WO2010080109A1 (en) * | 2008-12-18 | 2010-07-15 | Veeco Instruments Inc. | Vacuum deposition sources having heated effusion orifices |
KR100977374B1 (en) | 2009-08-03 | 2010-08-20 | 텔리오솔라 테크놀로지스 인크 | Fast devaporation system for large-sized thin film-type cigs solar cell manufacturing and method thereof |
JP2010270363A (en) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Ulvac Japan Ltd | Vacuum deposition device |
JP2011017059A (en) * | 2009-07-10 | 2011-01-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Vacuum vapor deposition apparatus |
US20110052796A1 (en) * | 2009-08-25 | 2011-03-03 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Method and device for producing stoichiometry gradients and layer systems |
JP2011042874A (en) * | 2009-08-24 | 2011-03-03 | Samsung Mobile Display Co Ltd | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
JP2011140717A (en) * | 2010-01-11 | 2011-07-21 | Samsung Mobile Display Co Ltd | Thin film deposition apparatus |
EP2373825A1 (en) * | 2008-12-18 | 2011-10-12 | Veeco Instruments Inc. | Linear deposition source |
JP2011233521A (en) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Samsung Mobile Display Co Ltd | Thin film deposition device, method for manufacturing organic light-emitting display device utilizing the device, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
JP2012023026A (en) * | 2010-07-12 | 2012-02-02 | Samsung Mobile Display Co Ltd | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
JP2012107302A (en) * | 2010-11-19 | 2012-06-07 | Ulvac Japan Ltd | Vapor deposition apparatus and vapor deposition method |
JP2012146658A (en) * | 2011-01-12 | 2012-08-02 | Samsung Mobile Display Co Ltd | Vapor deposition source and organic film deposition device including the same |
EP2507403A1 (en) * | 2009-11-30 | 2012-10-10 | Veeco Instruments Inc. | Linear deposition source |
JP2012193413A (en) * | 2011-03-16 | 2012-10-11 | Ulvac Japan Ltd | Vacuum deposition apparatus and method for forming thin film |
JP2012251213A (en) * | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Ulvac Japan Ltd | Film-forming apparatus |
JP2013032587A (en) * | 2011-08-02 | 2013-02-14 | Samsung Display Co Ltd | Vapor deposition source assembly, organic layer vapor-depositing apparatus, and method for manufacturing organic light emitting display apparatus using the same |
WO2013125598A1 (en) * | 2012-02-23 | 2013-08-29 | 旭硝子株式会社 | Device and method for producing fluorine-containing organosilicon compound thin film |
US8709161B2 (en) | 2009-08-05 | 2014-04-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
KR101416589B1 (en) | 2012-10-17 | 2014-07-08 | 주식회사 선익시스템 | Downward Type Evaporation Source and Thin-film Deposition Apparatus Having the Same |
JP2014141714A (en) * | 2013-01-24 | 2014-08-07 | Kaneka Corp | Manufacturing method of vacuum evaporation system and organic el apparatus |
US8852687B2 (en) | 2010-12-13 | 2014-10-07 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
US8859325B2 (en) | 2010-01-14 | 2014-10-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US8859043B2 (en) | 2011-05-25 | 2014-10-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US8865252B2 (en) | 2010-04-06 | 2014-10-21 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
JP2014201833A (en) * | 2013-04-01 | 2014-10-27 | 上海和輝光電有限公司Everdisplay Optronics (Shanghai) Limited | Evaporation source assembly |
US8871542B2 (en) | 2010-10-22 | 2014-10-28 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method |
US8876975B2 (en) | 2009-10-19 | 2014-11-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US8882556B2 (en) | 2010-02-01 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US8882922B2 (en) | 2010-11-01 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
US8906731B2 (en) | 2011-05-27 | 2014-12-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus |
US8916237B2 (en) | 2009-05-22 | 2014-12-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of depositing thin film |
US8951610B2 (en) | 2011-07-04 | 2015-02-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
US8968829B2 (en) | 2009-08-25 | 2015-03-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US8973525B2 (en) | 2010-03-11 | 2015-03-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US9062369B2 (en) | 2009-03-25 | 2015-06-23 | Veeco Instruments, Inc. | Deposition of high vapor pressure materials |
JP2015117429A (en) * | 2013-12-20 | 2015-06-25 | 株式会社カネカ | Vapor deposition device and production method of organic el device |
JP2015120982A (en) * | 2010-04-28 | 2015-07-02 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. | Thin film deposition device, method for manufacturing organic light-emitting display device utilizing the device, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US9121095B2 (en) | 2009-05-22 | 2015-09-01 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
KR20150121453A (en) * | 2014-04-21 | 2015-10-29 | 엘지전자 주식회사 | Device for providing deposition material and Deposition apparatus including the same |
US9249493B2 (en) | 2011-05-25 | 2016-02-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same |
US9260778B2 (en) | 2012-06-22 | 2016-02-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method |
US9279177B2 (en) | 2010-07-07 | 2016-03-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
WO2016070942A1 (en) * | 2014-11-07 | 2016-05-12 | Applied Materials, Inc. | Material deposition arrangement and material distribution arrangement for vacuum deposition |
US9388488B2 (en) | 2010-10-22 | 2016-07-12 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US9450140B2 (en) | 2009-08-27 | 2016-09-20 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same |
US9512515B2 (en) | 2011-07-04 | 2016-12-06 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US9534288B2 (en) | 2013-04-18 | 2017-01-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using same, and organic light-emitting display apparatus manufactured by using deposition apparatus |
CN106835028A (en) * | 2017-03-10 | 2017-06-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | A kind of vapor deposition source, evaporation coating device and evaporation coating method |
CN107058973A (en) * | 2017-03-10 | 2017-08-18 | 常州大学 | The Preparation equipment of large area perovskite thin film |
KR20180049821A (en) * | 2018-04-26 | 2018-05-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | Apparatus for organic layer deposition for manufacturing of organic light emitting display apparatus |
CN109207956A (en) * | 2018-08-30 | 2019-01-15 | 有研国晶辉新材料有限公司 | Prepare the equipment and technique of CVD infrared optical material |
CN111206220A (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | Film coating equipment and film coating method |
CN111206203A (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | Deposition chamber, coating equipment and coating method |
CN111206205A (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | Deposition chamber, coating equipment and coating method |
CN111206224A (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | Deposition chamber, coating equipment and coating method |
CN111206219A (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | Deposition chamber, coating equipment and coating method |
CN111206207A (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | Deposition chamber, coating equipment and coating method |
CN111206221A (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | Film coating equipment and film coating method |
WO2020213228A1 (en) * | 2019-04-19 | 2020-10-22 | 株式会社アルバック | Vapor deposition source and vapor deposition device |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58500173A (en) * | 1981-03-06 | 1983-02-03 | バテル メモリアル インステイチユ−ト | Method and apparatus for depositing a mineral oxide coating on a support |
JP2005336527A (en) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Hitachi Zosen Corp | Vapor deposition apparatus |
JP2006057173A (en) * | 2004-08-24 | 2006-03-02 | Tohoku Pioneer Corp | Film deposition source, vacuum film deposition apparatus and method for producing organic el panel |
-
2005
- 2005-11-28 JP JP2005341304A patent/JP4767000B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58500173A (en) * | 1981-03-06 | 1983-02-03 | バテル メモリアル インステイチユ−ト | Method and apparatus for depositing a mineral oxide coating on a support |
JP2005336527A (en) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Hitachi Zosen Corp | Vapor deposition apparatus |
JP2006057173A (en) * | 2004-08-24 | 2006-03-02 | Tohoku Pioneer Corp | Film deposition source, vacuum film deposition apparatus and method for producing organic el panel |
Cited By (91)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009108375A (en) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Canon Inc | Vapor deposition apparatus and vapor deposition source |
JP2009280861A (en) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Hitachi Zosen Corp | Structure of release part in vacuum deposition apparatus |
EP2373825A1 (en) * | 2008-12-18 | 2011-10-12 | Veeco Instruments Inc. | Linear deposition source |
WO2010080109A1 (en) * | 2008-12-18 | 2010-07-15 | Veeco Instruments Inc. | Vacuum deposition sources having heated effusion orifices |
EP2373825A4 (en) * | 2008-12-18 | 2013-10-23 | Veeco Instr Inc | Linear deposition source |
US9062369B2 (en) | 2009-03-25 | 2015-06-23 | Veeco Instruments, Inc. | Deposition of high vapor pressure materials |
JP2010270363A (en) * | 2009-05-21 | 2010-12-02 | Ulvac Japan Ltd | Vacuum deposition device |
US9121095B2 (en) | 2009-05-22 | 2015-09-01 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US9873937B2 (en) | 2009-05-22 | 2018-01-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US8916237B2 (en) | 2009-05-22 | 2014-12-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of depositing thin film |
US11920233B2 (en) | 2009-05-22 | 2024-03-05 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US11624107B2 (en) | 2009-05-22 | 2023-04-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US10689746B2 (en) | 2009-05-22 | 2020-06-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
JP2011017059A (en) * | 2009-07-10 | 2011-01-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Vacuum vapor deposition apparatus |
US9863034B2 (en) | 2009-07-10 | 2018-01-09 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Vacuum vapor deposition method |
KR100977374B1 (en) | 2009-08-03 | 2010-08-20 | 텔리오솔라 테크놀로지스 인크 | Fast devaporation system for large-sized thin film-type cigs solar cell manufacturing and method thereof |
US8709161B2 (en) | 2009-08-05 | 2014-04-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
JP2011042874A (en) * | 2009-08-24 | 2011-03-03 | Samsung Mobile Display Co Ltd | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US8968829B2 (en) | 2009-08-25 | 2015-03-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US20110052796A1 (en) * | 2009-08-25 | 2011-03-03 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Method and device for producing stoichiometry gradients and layer systems |
US8563084B2 (en) * | 2009-08-25 | 2013-10-22 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Method and device for producing stoichiometry gradients and layer systems |
US9450140B2 (en) | 2009-08-27 | 2016-09-20 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same |
US9224591B2 (en) | 2009-10-19 | 2015-12-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of depositing a thin film |
US8876975B2 (en) | 2009-10-19 | 2014-11-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
EP2507403A4 (en) * | 2009-11-30 | 2013-10-23 | Veeco Instr Inc | Linear deposition source |
EP2507403A1 (en) * | 2009-11-30 | 2012-10-10 | Veeco Instruments Inc. | Linear deposition source |
US10246769B2 (en) | 2010-01-11 | 2019-04-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US10287671B2 (en) | 2010-01-11 | 2019-05-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
JP2011140717A (en) * | 2010-01-11 | 2011-07-21 | Samsung Mobile Display Co Ltd | Thin film deposition apparatus |
US8859325B2 (en) | 2010-01-14 | 2014-10-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US8882556B2 (en) | 2010-02-01 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US9453282B2 (en) | 2010-03-11 | 2016-09-27 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US8973525B2 (en) | 2010-03-11 | 2015-03-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US8865252B2 (en) | 2010-04-06 | 2014-10-21 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
JP2015120982A (en) * | 2010-04-28 | 2015-07-02 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. | Thin film deposition device, method for manufacturing organic light-emitting display device utilizing the device, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US9136310B2 (en) | 2010-04-28 | 2015-09-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
JP2011233521A (en) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Samsung Mobile Display Co Ltd | Thin film deposition device, method for manufacturing organic light-emitting display device utilizing the device, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
CN102286727A (en) * | 2010-04-28 | 2011-12-21 | 三星移动显示器株式会社 | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US8894458B2 (en) | 2010-04-28 | 2014-11-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US9279177B2 (en) | 2010-07-07 | 2016-03-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
JP2012023026A (en) * | 2010-07-12 | 2012-02-02 | Samsung Mobile Display Co Ltd | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US8871542B2 (en) | 2010-10-22 | 2014-10-28 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method |
US9388488B2 (en) | 2010-10-22 | 2016-07-12 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US8882922B2 (en) | 2010-11-01 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
JP2012107302A (en) * | 2010-11-19 | 2012-06-07 | Ulvac Japan Ltd | Vapor deposition apparatus and vapor deposition method |
US8852687B2 (en) | 2010-12-13 | 2014-10-07 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
JP2012146658A (en) * | 2011-01-12 | 2012-08-02 | Samsung Mobile Display Co Ltd | Vapor deposition source and organic film deposition device including the same |
US9748483B2 (en) | 2011-01-12 | 2017-08-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition source and organic layer deposition apparatus including the same |
JP2012193413A (en) * | 2011-03-16 | 2012-10-11 | Ulvac Japan Ltd | Vacuum deposition apparatus and method for forming thin film |
US9249493B2 (en) | 2011-05-25 | 2016-02-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same |
US8859043B2 (en) | 2011-05-25 | 2014-10-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US8906731B2 (en) | 2011-05-27 | 2014-12-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus |
JP2012251213A (en) * | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Ulvac Japan Ltd | Film-forming apparatus |
US9777364B2 (en) | 2011-07-04 | 2017-10-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US8951610B2 (en) | 2011-07-04 | 2015-02-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
US9512515B2 (en) | 2011-07-04 | 2016-12-06 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
JP2013032587A (en) * | 2011-08-02 | 2013-02-14 | Samsung Display Co Ltd | Vapor deposition source assembly, organic layer vapor-depositing apparatus, and method for manufacturing organic light emitting display apparatus using the same |
WO2013125598A1 (en) * | 2012-02-23 | 2013-08-29 | 旭硝子株式会社 | Device and method for producing fluorine-containing organosilicon compound thin film |
US9260778B2 (en) | 2012-06-22 | 2016-02-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method |
KR101416589B1 (en) | 2012-10-17 | 2014-07-08 | 주식회사 선익시스템 | Downward Type Evaporation Source and Thin-film Deposition Apparatus Having the Same |
JP2014141714A (en) * | 2013-01-24 | 2014-08-07 | Kaneka Corp | Manufacturing method of vacuum evaporation system and organic el apparatus |
JP2014201833A (en) * | 2013-04-01 | 2014-10-27 | 上海和輝光電有限公司Everdisplay Optronics (Shanghai) Limited | Evaporation source assembly |
US9534288B2 (en) | 2013-04-18 | 2017-01-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using same, and organic light-emitting display apparatus manufactured by using deposition apparatus |
JP2015117429A (en) * | 2013-12-20 | 2015-06-25 | 株式会社カネカ | Vapor deposition device and production method of organic el device |
KR102222576B1 (en) | 2014-04-21 | 2021-03-05 | 엘지전자 주식회사 | Device for providing deposition material and Deposition apparatus including the same |
KR20150121453A (en) * | 2014-04-21 | 2015-10-29 | 엘지전자 주식회사 | Device for providing deposition material and Deposition apparatus including the same |
CN107502858A (en) * | 2014-11-07 | 2017-12-22 | 应用材料公司 | Vacuum deposition chamber |
WO2016070942A1 (en) * | 2014-11-07 | 2016-05-12 | Applied Materials, Inc. | Material deposition arrangement and material distribution arrangement for vacuum deposition |
CN107002221A (en) * | 2014-11-07 | 2017-08-01 | 应用材料公司 | Arrangement is distributed for vacuum-deposited material deposition arrangement and material |
EP3594378A4 (en) * | 2017-03-10 | 2020-11-25 | Changzhou University | Apparatus for preparing large-area perovskite thin film |
CN106835028A (en) * | 2017-03-10 | 2017-06-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | A kind of vapor deposition source, evaporation coating device and evaporation coating method |
CN107058973A (en) * | 2017-03-10 | 2017-08-18 | 常州大学 | The Preparation equipment of large area perovskite thin film |
CN106835028B (en) * | 2017-03-10 | 2019-01-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | A kind of evaporation source, evaporation coating device and evaporation coating method |
KR20180049821A (en) * | 2018-04-26 | 2018-05-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | Apparatus for organic layer deposition for manufacturing of organic light emitting display apparatus |
KR101889919B1 (en) | 2018-04-26 | 2018-08-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | Apparatus for organic layer deposition for manufacturing of organic light emitting display apparatus |
CN109207956A (en) * | 2018-08-30 | 2019-01-15 | 有研国晶辉新材料有限公司 | Prepare the equipment and technique of CVD infrared optical material |
CN111206219A (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | Deposition chamber, coating equipment and coating method |
CN111206221A (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | Film coating equipment and film coating method |
CN111206207A (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | Deposition chamber, coating equipment and coating method |
CN111206220A (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | Film coating equipment and film coating method |
CN111206224A (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | Deposition chamber, coating equipment and coating method |
CN111206205A (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | Deposition chamber, coating equipment and coating method |
CN111206203A (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-29 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | Deposition chamber, coating equipment and coating method |
KR20210058963A (en) * | 2019-04-19 | 2021-05-24 | 가부시키가이샤 아루박 | Evaporation source and evaporation device |
CN113039306A (en) * | 2019-04-19 | 2021-06-25 | 株式会社爱发科 | Vapor deposition source and vapor deposition device |
JP7016420B2 (en) | 2019-04-19 | 2022-02-04 | 株式会社アルバック | Thin-film deposition source and thin-film deposition equipment |
TWI759697B (en) * | 2019-04-19 | 2022-04-01 | 日商愛發科股份有限公司 | Vapor deposition source and vapor deposition apparatus |
JPWO2020213228A1 (en) * | 2019-04-19 | 2021-05-06 | 株式会社アルバック | Thin-film deposition source and thin-film deposition equipment |
CN113039306B (en) * | 2019-04-19 | 2023-06-06 | 株式会社爱发科 | Vapor deposition source and vapor deposition device |
KR102551540B1 (en) * | 2019-04-19 | 2023-07-06 | 가부시키가이샤 아루박 | Evaporation Source and Evaporation Device |
WO2020213228A1 (en) * | 2019-04-19 | 2020-10-22 | 株式会社アルバック | Vapor deposition source and vapor deposition device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JP4767000B2 (en) | 2011-09-07 |
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