KR20150042053A - Linear deposition unit and deposition apparutus coprising the same - Google Patents

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Abstract

This invention is about a linear deposition unit and deposition apparatus comprising the same. The deposition unit shown in example 1 of this invention includes: a linear bar module that is placed on the glass to deposit the evaporation materials on the glass with the mutually separated nozzles on the top portion; source supply module with linear aperture placed along with the length of the linear bar module, in which the evaporation materials passes. The invention increases the consuming time of evaporation materials by increasing the volume of evaporation materials and decreases the supplying number of evaporation materials.

Description

리니어 증착유닛 및 이를 포함하는 리니어 증착장치{LINEAR DEPOSITION UNIT AND DEPOSITION APPARUTUS COPRISING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a linear deposition unit and a linear deposition apparatus including the deposition unit. 2. Description of the Related Art LINEAR DEPOSITION UNIT AND DEPOSITION APPARATUS COPRISING THE SAME

본 발명은 리니어 증착유닛 및 이를 포함하는 리니어 증착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 글라스의 표면에 증착 물질을 증착시키는 리니어 증착유닛 및 이를 포함하는 리니어 증착장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear deposition unit and a linear deposition apparatus including the same, and more particularly, to a linear deposition unit for depositing an evaporation material on a surface of a glass and a linear deposition apparatus including the same.

평판 디스플레이(FPD, Flat Panel Display)로 통칭되는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 외에, 태양광 패널 등에 사용되는 기판은 그 재질이 주로 유리로서, 기판 자체를 통상 글라스라 지칭하기도 한다.In addition to LCDs (Liquid Crystal Displays), PDPs (Plasma Display Panels) and OLEDs (Organic Light Emitting Diodes), commonly referred to as flat panel displays (FPD), substrates used for solar panels, The substrate itself may also be referred to as a normal glass.

이러한 글라스는 제품화를 위해 물리적/화학적인 일련의 공정을 거칠 수 있는데, 해당 공정은 진행을 위한 최적의 환경이 조성된 다수의 프로세스 챔버 유닛(process chamber unit)과 챔버유닛 사이에 밸브유닛이 배치된 인라인 진공장치에서 수행될 수 있다. Such a glass can be subjected to a series of physical / chemical processes for commercialization, in which the process unit is provided with a plurality of process chamber units and an arrangement of valve units between the chamber units, Can be performed in an in-line vacuum apparatus.

이러한 증착공정 중 물리적 증착공정은, 일반적으로 진공챔버 내에 기판을 장착한 후, 증착될 물질(이하 '증착물질'이라 함)을 담은 가열 용기를 가열하여 그 내부의 증착될 물질을 증발 또는 승화시키며, 기체 상태의 증착물질을 글라스에 박막으로 코팅하는 프로세스를 포함한다. In the physical vapor deposition process in such a deposition process, generally, after mounting a substrate in a vacuum chamber, a heating container containing a substance to be deposited (hereinafter referred to as a 'deposition material') is heated to evaporate or sublimate the substance to be deposited therein , And a process of coating a gaseous deposited material with a thin film on a glass.

이를 위해 물리적 증착공정의 통상적인PVD(thermal physical vapor deposition) 장치는, 증착챔버(evaporation chamber) 내에 높은 열 저항 및 화학적 안정성을 갖는 도가니(crucible)가 마련되는 소스증착유닛을 포함한다.To this end, a typical PVD (thermal physical vapor deposition) device of a physical vapor deposition process includes a source deposition unit in which a crucible with high thermal resistance and chemical stability is provided in an evaporation chamber.

이러한 PVD 증착장치에서, 유기재료는 증발점(또는 승화점)까지 가열되고, 증발된 유기재료는 소스증착유닛으로부터 유동된 후 기판상에 고르게 코팅된다.In such a PVD deposition apparatus, the organic material is heated to the evaporation point (or sublimation point), and the evaporated organic material flows from the source evaporation unit and is uniformly coated on the substrate.

이때 PVD 증착장치에서, PVD 증착공정의 진행 동안에, 증발 또는 승화가 이루어지는 도가니(crucible)로부터 증발 또는 승화된 증발물질은, 균일한 박막두께를 위해서 고르게 글라스로 공급되어야 한다.At this time, in the PVD vapor deposition apparatus, during the progress of the PVD vapor deposition process, evaporated or sublimed vaporized material from a crucible in which evaporation or sublimation occurs is uniformly supplied to the glass for uniform film thickness.

최근의 PVD 증착장치에서는 대면적 글라스에 대한 증착이 진행되어 한 번에 증착되는 증착 물질이 증가되었을 뿐만 아니라, 대면적의 박막을 고르게 형성하기 위해 스캔 방식으로 증착할 수 있도록 리니어바(linear bar) 형상을 갖는 소스증착유닛이 사용된다.In recent PVD deposition apparatuses, evaporation on a large-area glass has progressed, deposition materials deposited at one time have increased, and linear bar has been developed so as to deposit by a scanning method in order to uniformly form a large- A source deposition unit having a shape is used.

이러한 소스증착유닛은, 글라스의 폭 방향으로 배치되어 글라스에 대해 상대 이동되면서 글라스에 증착물질을 고르게 분배하여 글라스에 대한 증착을 수행할 수 있다.Such a source evaporation unit can be disposed in the width direction of the glass and relatively moved relative to the glass, so that the evaporation material can be evenly distributed to the glass to perform deposition on the glass.

그런데, 종래의 소스증착유닛과 소스공급유닛은, 소스증착유닛의 중앙부에 소스공급유닛이 결합되어 중앙의 통로를 통해서만 증발된 증착물질이 노즐로 공급되도록 되어 있으므로, 소스공급유닛의 용량을 증가시키기 어려웠으며, 증착물질의 빠른 소모로 증착물질의 공급작업이 빈번하게 이루어지는 문제점이 있었다.However, since the conventional source vapor deposition unit and the source supply unit are such that the source supply unit is coupled to the central portion of the source vapor deposition unit so that the evaporated material evaporated only through the central passage is supplied to the nozzle, And the supply of the evaporation material is frequently performed due to rapid consumption of the evaporation material.

대한민국 특허출원 제10-2009-091564호Korean Patent Application No. 10-2009-091564

본 발명의 일 실시 예는, 증착물질의 용량을 증가시켜 증착물질의 소모시간을 증가시키며, 증착물질의 공급작업 횟수를 줄일 수 있는 리니어 증착유닛 및 이를 포함하는 리니어 증착장치를 제공하고자 한다.An embodiment of the present invention is to provide a linear deposition unit and a linear deposition apparatus including the same, which can increase the consumption time of the deposition material by increasing the capacity of the deposition material and reduce the number of times of supplying the deposition material.

본 발명의 일 측면에 따르면, 노즐들이 상호 이격되어 상부에 배치되며, 글라스에 증착물질을 증착시키도록 상기 글라스에 상대 이동 가능하게 배치되는 리니어 바모듈; 및 상기 노즐들에 상기 증착물질을 공급하도록 상기 증착물질이 통과하되, 상기 리니어 바모듈의 길이 방향을 따라 배치되는 리니어 개구가 마련되는 소스공급모듈을 포함하는 리니어 증착유닛이 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a linear bar module, wherein nozzles are spaced apart from each other and disposed on top of each other, the linear bar module being disposed to be movable relative to the glass to deposit a deposition material on the glass; And a source supply module including a source opening through which the evaporation material is supplied to supply the evaporation material to the nozzles, the source supply module including a linear opening disposed along a longitudinal direction of the linear bar module.

상기 소스공급모듈은, 상기 증착물질이 수용되도록 상기 리니어 바모듈을 따라 배치되되, 상부가 개방되는 리니어 저장부; 및 상기 리니어 저장부의 상부에 배치되되, 상기 리니어 개구가 마련되는 리니어 패널부를 포함할 수 있다.Wherein the source supply module includes: a linear storage unit disposed along the linear bar module to receive the deposition material, the linear storage unit having an open top; And a linear panel unit disposed on the linear storage unit and provided with the linear openings.

상기 리니어 바모듈과 상기 소스공급모듈은, 슬라이드 결합구조로 마련될 수 있다.The linear bar module and the source supply module may be provided in a slide coupling structure.

상기 리니어 바모듈은, 상기 노즐들이 상부에 배치되며, 상기 리니어 개구에 대응하도록 하부가 개방되는 리니어 증착본체; 및 상기 리니어 증착본체의 하부에 배치되되, 상기 소스공급모듈이 슬라이드 결합되어 이동 가능하도록 슬라이드 통로가 마련되는 슬라이드 레일을 포함하며, 상기 소스공급모듈은, 상기 슬라이드 레일의 상기 슬라이드 통로에 삽입되어 이동 가능하게 결합되는 슬라이드부를 더 포함할 수 있다.Wherein the linear bar module comprises: a linear deposition body having the nozzles disposed on an upper portion thereof and the lower portion thereof opened corresponding to the linear openings; And a slide rail disposed at a lower portion of the linear deposition body, wherein the source supply module is slidably coupled and provided with a slide passage, wherein the source supply module is inserted into the slide passage of the slide rail to move And may further include a slide portion that is coupled as far as possible.

상기 슬라이드부는, 상기 소스공급모듈의 상단 양쪽에 배치될 수 있다.The slide portion may be disposed on both upper ends of the source supply module.

상기 슬라이드부는, 상기 리니어 저장부와 상기 리니어 패널부의 결합에 의한 플랜지 형상으로 마련될 수 있다.The slide part may be provided in a flange shape by coupling the linear storage part and the linear panel part.

상기 리니어 개구는, 상기 노즐들의 배치길이에 상응하도록 배치될 수 있다.The linear openings may be arranged to correspond to the arrangement length of the nozzles.

상기 리니어 개구는, 상기 소스공급모듈의 중앙부에 일정구간으로 배치될 수 있다.The linear opening may be arranged at a central portion of the source supply module at a predetermined interval.

상기 리니어 개구의 폭은, 상기 노즐의 내경보다 작게 마련될 수 있다.The width of the linear opening may be smaller than the inner diameter of the nozzle.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 글라스에 대한 증착공정이 진공상태에서 진행되도록 마련되는 증착챔버유닛; 및 상기 글라스로 증착물질이 증착되도록 상기 증착챔버유닛의 내부에 마련되는 상기 제1 항 내지 제10 항 중 어느 한 항에 따른 상기 리니어 증착유닛을 포함하는 증착장치가 제공될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a deposition apparatus including: a deposition chamber unit in which a deposition process for a glass is performed in a vacuum state; And a deposition apparatus including the linear deposition unit according to any one of claims 1 to 10 provided inside the deposition chamber unit to deposit the glass deposition material.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 증착물질의 용량을 증가시켜 증착물질의 소모시간을 증가시키며, 증착물질의 공급작업 횟수를 줄일 수 있는 리니어 증착유닛 및 이를 포함하는 리니어 증착장치를 제공할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, there can be provided a linear deposition unit and a linear deposition apparatus including the same, wherein the deposition time of the deposition material is increased by increasing the capacity of the deposition material, and the number of times of supplying the deposition material can be reduced .

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 리니어 증착유닛의 개략적인 입체도이다.
도 2는 도 1의 리니어 바모듈과 소스공급모듈의 분해도이다.
도 3은 도 2의 소스공급모듈의 분해도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 리니어 증착유닛이 탑재되는 증착장치의 개략적인 측면도이다.
도 5는 도 2의 소스공급모듈의 다른 분해도이다.1 is a schematic perspective view of a linear deposition unit according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is an exploded view of the linear bar module and the source supply module of Figure 1;
Figure 3 is an exploded view of the source supply module of Figure 2;
4 is a schematic side view of a deposition apparatus on which a linear deposition unit according to an embodiment of the present invention is mounted.
Figure 5 is another exploded view of the source supply module of Figure 2;

이하, 첨부된 도면에 도시된 특정 실시 예들에 의해 본 발명의 다양한 실시 예들을 설명한다. 후술되는 본 발명의 실시 예들에 차이는 상호 배타적이지 않은 사항으로 이해되어야 한다. 즉 본 발명의 기술 사상 및 범위를 벗어나지 않으면서, 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은, 일 실시 예에 관련하여 다른 실시 예로 구현될 수 있으며, 각각의 개시된 실시 예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 변경될 수 있음이 이해되어야 하며, 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.Various embodiments of the present invention will now be described by way of specific embodiments shown in the accompanying drawings. The differences between the embodiments of the present invention described below are to be understood as mutually exclusive. That is, the specific shapes, structures, and characteristics described may be embodied in other embodiments in accordance with one embodiment without departing from the spirit and scope of the present invention, It is to be understood that the arrangements may be altered, where like reference numerals refer to like or similar features throughout the several views, and length and area, thickness, and the like may be exaggerated for convenience.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 증착장치의 개략적인 입체도이며, 도 2는 도 1의 리니어 바모듈과 소스공급모듈의 분해도이며, 도 3은 도 2의 소스공급모듈의 분해도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 리니어 증착유닛이 탑재되는 증착장치의 개략적인 측면도이며, 도 5는 도 2의 소스공급모듈의 다른 분해도이다.1 is an exploded view of a linear bar module and a source supply module of FIG. 1, FIG. 3 is an exploded view of the source supply module of FIG. 2, FIG. 4 is a schematic side view of a deposition apparatus on which a linear deposition unit according to an embodiment of the present invention is mounted, and FIG. 5 is another exploded view of the source supply module of FIG.

도 1내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 리니어 증착유닛(100)은, 노즐(112)들이 상호 이격되어 상부에 배치되며, 글라스(g)에 증착물질(s)을 증착시키도록 글라스(g)에 상대 이동 가능하게 배치되는 리니어 바모듈(110)과, 노즐(112)들에 증착물질(s)을 공급하도록 증착물질(s)이 통과하되 리니어 바모듈(110)의 길이 방향을 따라 배치되는 리니어 개구(122)가 마련되는 소스공급모듈(120)을 포함할 수 있다.1 to 4, a linear deposition unit 100 according to an embodiment of the present invention includes nozzles 112 spaced apart from each other and disposed on a glass g, A linear bar module 110 disposed so as to be able to move relative to the glass g so as to deposit a deposition material s on the nozzle 112, And a linear opening 122 arranged along the longitudinal direction of the source supply module 120.

이러한 본 실시 예에 따르면, 소스공급모듈(120)의 증착물질(s)에 대한 저장용량이 증가되어 리니어 바모듈(110)에서 증착물질(s)의 소모시간을 증가시킬 수 있으며, 소스공급모듈(120)에 대한 증착물질(s)의 공급횟수를 줄일 수 있으므로, 증착물질(s)이 증착되는 글라스(g)의 생산량을 증가시킬 수 있다.According to this embodiment, the storage capacity of the source supply module 120 for the deposition material s can be increased to increase the consumption time of the deposition material s in the linear bar module 110, The number of times of supplying the evaporation material s to the evaporation source 120 can be reduced, so that the production amount of the glass material g on which the evaporation material s is deposited can be increased.

즉 리니어 바모듈(110)에 대응하는 소스공급모듈(120)이, 기존의 단일용기에 비해서 리니어 바모듈(110)의 길이 방향을 따라 배치되어 있으므로, 증가되는 길이만큼 증착물질(s)의 저장부피가 증가되어 더 많은 증착물질(s)이 수용될 수 있으므로, 증착물질(s)의 소모시간이 늘어날 수 있다.That is, since the source supply module 120 corresponding to the linear bar module 110 is disposed along the longitudinal direction of the linear bar module 110 as compared with the conventional single vessel, the storage of the deposition material s by the increased length The volume can be increased and more deposition material s can be accommodated, so that the consumption time of the deposition material s can be increased.

이하 본 발명의 일 실시 예에 따른 전술한 리니어 증착유닛(100)의 구성요소들을 좀더 상세하게 설명한다.Hereinafter, the components of the above-described linear deposition unit 100 according to an embodiment of the present invention will be described in more detail.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 먼저 소스공급모듈(120)은, 증착물질(s)이 수용되도록 리니어 바모듈(110)을 따라 배치되되 상부가 개방되는 리니어 저장부(125)와, 리니어 저장부(125)의 상부에 배치되되 리니어 개구(122)가 마련되는 리니어 패널부(127)를 포함할 수 있다.1 to 3, the source supply module 120 includes a linear storage portion 125 disposed along the linear bar module 110 and open at an upper portion thereof to receive the deposition material s, And a linear panel unit 127 disposed on the linear storage unit 125 and provided with a linear opening 122.

이러한 리니어 저장부(125)와 리니어 패널부(127)는, 상부에 리니어 개구(122)가 마련되는 기다란 사각형상의 도가니를 제공할 수 있다. 즉 본 실시 예에 따른 리니어 저장부(125)는, 사각의 기다란 용기형상으로 마련될 수 있다. 이러한 사각형상의 도가니 내부에는 증발 또는 승화되는 증착물질(s)이 기존의 보다 충분하게 수용될 수 있다.The linear storage unit 125 and the linear panel unit 127 may provide an elongated rectangular crucible having a linear opening 122 at an upper portion thereof. In other words, the linear storage unit 125 according to the present embodiment may be provided in a rectangular container shape. In this quadrangular crucible, the evaporation material sublimated or sublimed can be more fully accommodated in the conventional furnace.

이때 리니어 패널부(127)는, 리니어 개구(122)가 마련되어 리니어 저장부(125)의 상면부에 배치됨으로써 리니어 개구(122)를 통해서만 증착물질(s)이 유출될 수 있는 구조를 제공할 수 있다. 증착물질(s)은, 리니어 개구(122)를 통해서 유출되어 리니어 바모듈(110)로 유동되며, 노즐(112)들을 통해서 스캔 방식으로 글라스(g)에 제공될 수 있다.At this time, the linear panel portion 127 is provided on the upper surface portion of the linear storage portion 125 by providing the linear opening 122, thereby providing a structure in which the deposition material s can flow out only through the linear opening 122 have. The deposition material s flows out through the linear opening 122 and flows into the linear bar module 110 and can be supplied to the glass g through the nozzles 112 in a scanning manner.

즉 본 실시 예에 따른 리니어 증착유닛(100)은, 노즐(112)들의 상부로 글라스(g)가 상대 이동될 수 있도록 후술되는 증착챔버유닛(140)에 탑재될 수 있으며, 글라스(g)의 저면에는 증착물질(s)이 증착될 수 있다. 증착물질(s)은 글라스(g)에 반복적으로 도포되어 미리 정해진 두께로 증착될 수 있다.That is, the linear deposition unit 100 according to the present embodiment can be mounted on the deposition chamber unit 140, which will be described later, so that the glass g can be relatively moved to the upper part of the nozzles 112, A deposition material (s) may be deposited on the bottom surface. The deposition material (s) may be repeatedly applied to the glass (g) and deposited to a predetermined thickness.

한편, 도 4를 더 참조하면 본 실시 예에 따른 리니어 바모듈(110)과 소스공급모듈(120)은, 슬라이드 결합구조로 마련될 수 있다.4, the linear bar module 110 and the source supply module 120 according to the present embodiment may be provided in a slide coupling structure.

즉 리니어 바모듈(110)은, 소스공급모듈(120)로부터 슬라이드 이동되어 일측으로 분리될 수 있으며, 소스공급모듈(120)에는 필요한 증착물질(s)이 수용될 수 있다. 이에 따라 소스공급모듈(120)의 증착물질(s)이 모두 소모된 후, 재충전하는 작업시간을 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 리니어 바모듈(110)과 소스공급모듈(120)을 신속하게 다시 결합시킨 후 증착공정을 재개할 수 있다.That is, the linear bar module 110 can be slid from the source supply module 120 to one side, and the source supply module 120 can receive the necessary deposition material s. As a result, not only the time for recharging after the evaporation material s of the source supply module 120 is consumed can be reduced, but also the linear bar module 110 and the source supply module 120 can be quickly re- The post-deposition process can be resumed.

이를 위해서 본 실시 예에 따른 리니어 바모듈(110)은, 노즐(112)들이 상부에 배치되며, 리니어 개구(122)에 대응하도록 하부가 개방되는 리니어 증착본체(135)와, 리니어 증착본체(135)의 하부에 배치되되 소스공급모듈(120)이 슬라이드 결합되어 이동 가능하도록 슬라이드 통로(139)가 마련되는 슬라이드 레일(137)을 포함하며, 소스공급모듈(120)은 슬라이드 레일(137)의 슬라이드 통로(139)에 삽입되어 이동 가능하게 결합되는 슬라이드부(130)를 더 포함할 수 있다.To this end, the linear bar module 110 according to the present embodiment includes a linear deposition body 135 in which nozzles 112 are disposed at the upper portion and the lower portion is opened to correspond to the linear openings 122, And a slide rail 137 provided at a lower portion of the slide rail 137 and provided with a slide passage 139 so that the source supply module 120 is slidably coupled to the slide rail 137. The source supply module 120 includes a slide rail 137, And may further include a slide part 130 inserted and movably coupled to the passage 139.

이러한 리니어 바모듈(110)과 소스공급모듈(120)의 슬라이드 결합구조는, 리니어 바모듈(110)과 소스공급모듈(120)의 분리 및 결합작업을 보다 쉽게 수행할 수 있는 구조이다.The slide coupling structure of the linear bar module 110 and the source supply module 120 is a structure that can more easily perform the separation and coupling operation of the linear bar module 110 and the source supply module 120.

즉 본 실시 예에 따른 리니어 증착유닛(100)은, 후술되는 증착챔버유닛(140)의 하부에 배치될 수 있으며, 주로 글라스(g)의 이동 방향에 교차하게 배치될 수 있는데, 소스공급모듈(120)은, 증착챔버유닛(140)의 하부에서 글라스(g)의 이동 방향에 교차하는 방향으로 쉽게 분리되어 증착챔버유닛(140)의 외부로 배출될 수 있다.That is, the linear deposition unit 100 according to the present embodiment may be disposed below the deposition chamber unit 140 described later, and may be arranged to cross mainly the moving direction of the glass g, 120 can be easily separated from the lower portion of the deposition chamber unit 140 in the direction crossing the direction of movement of the glass g and discharged to the outside of the deposition chamber unit 140.

즉 작업자는, 증착챔버유닛(140)의 외부에서 소스공급모듈(120)을 증착챔버유닛(140)의 외부로 쉽게 분리시킬 수 있으며, 이에 따라 소스공급모듈(120)에 대한 증착물질(s)의 충전작업시간을 상당히 줄일 수 있다.The operator can easily separate the source supply module 120 from the outside of the deposition chamber unit 140 from the outside of the deposition chamber unit 140 so that the deposition material s to the source supply module 120 can be removed, Can be significantly reduced.

이를 위해 본 실시 예에 따른 슬라이드부(130)는, 소스공급모듈(120)의 상단 양쪽에 배치될 수 있으며, 슬라이드부(130)는 리니어 저장부(125)와 리니어 패널부(127)의 결합에 의한 플랜지 형상으로 마련될 수 있다.For this, the slide part 130 according to the present embodiment may be disposed on both upper ends of the source supply module 120, and the slide part 130 may be disposed on both sides of the linear storage part 125 and the linear panel part 127 As shown in Fig.

즉 슬라이드부(130)는, 소스공급모듈(120)의 상단 양쪽으로 돌출되는 플랜지 형상을 갖는다. 이를 위해 리니어 바모듈(110)은, 소스증착모듈보다 폭이 넓게 마련될 수 있다.That is, the slide portion 130 has a flange shape protruding to both upper ends of the source supply module 120. To this end, the linear bar module 110 may be formed to have a width larger than that of the source vapor deposition module.

이처럼 소스공급모듈(120)의 상단 양쪽에 플랜지 형상으로 마련되는 슬라이드부(130)는, 리니어 바모듈(110)의 슬라이드 레일(137)에 마련되는 슬라이드 통로(139)에 슬라이드 방식으로 삽입되어 쉽게 결합될 수 있으며, 다시 쉽게 분리될 수 있다.The slide part 130 provided in a flange shape on both upper ends of the source supply module 120 is slidably inserted into the slide passage 139 provided in the slide rail 137 of the linear bar module 110, And can be easily separated again.

이러한 리니어 바모듈(110)과 소스공급모듈(120)의 결합구조와 더불어 본 실시 예에 따른 리니어 증착유닛(100)에는 주요한 요소로서, 노즐(112)들에 대응하는 리니어 개구(122)가 마련된다.In addition to the combined structure of the linear bar module 110 and the source supply module 120, the linear deposition unit 100 according to the present embodiment is provided with a linear opening 122 corresponding to the nozzles 112 do.

본 실시 예에 따른 리니어 개구(122)는, 전술한 바와 같이 리니어 패널부(127)에 마련될 수 있다. 이러한 리니어 개구(122)는 노즐(112)들의 배치길이에 상응하도록 배치될 수 있다.The linear opening 122 according to the present embodiment can be provided in the linear panel portion 127 as described above. The linear openings 122 may be arranged to correspond to the arrangement lengths of the nozzles 112.

즉 리니어 개구(122)는, 리니어 저장부(125)의 길이 방향을 따라 리니어 패널부(127)의 중앙부에 배치된다. 이에 따라 리니어 저장부(125)의 증착물질(s)은, 리니어 저장부(125)의 길이 방향을 따라 중앙 상부에 배치되어 있는 리니어 개구(122)를 통해서 리니어 바모듈(110)로 제공될 수 있다.In other words, the linear openings 122 are arranged at the central portion of the linear panel portion 127 along the longitudinal direction of the linear storage portion 125. The deposition material s of the linear storage part 125 can be supplied to the linear bar module 110 through the linear opening 122 disposed at the upper center in the longitudinal direction of the linear storage part 125 have.

이때 리니어 바모듈(110)의 노즐(112)들이 리니어 개구(122)의 배치 방향을 따라 간격을 두고 배치되어 있으므로, 증착물질(s)은 노즐(112)들을 통해서 글라스(g)의 진행방향에 교차하는 라인 위로 글라스(g)에 고르게 도달될 수 있다.Since the nozzles 112 of the linear bar module 110 are disposed at intervals along the direction in which the linear openings 122 are arranged, the deposition material s flows in the advancing direction of the glass g through the nozzles 112 It can reach the glass g evenly over the intersecting line.

이를 위해서 리니어 개구(122)의 폭은, 노즐(112)의 내경보다 작게 마련될 수 있다. 즉 증착물질(s)은, 리니어 저장부(125)로터 상승하여 노즐(112)에 도달될 때, 출발지점의 영역보다 도달지점의 영역이 증가하게 되는데, 상승된 증착물질(s)의 폭이 노즐(112)에 적절히 대응될 수 있도록 리니어 개구(122)의 폭이 노즐(112)의 내경보다 작게 형성된다.To this end, the width of the linear opening 122 may be smaller than the inner diameter of the nozzle 112. That is, when the deposition material s reaches the nozzle 112 by rising the rotor of the linear storage part 125, the area of the arrival point is increased more than the area of the starting point, The width of the linear opening 122 is formed to be smaller than the inner diameter of the nozzle 112 so as to properly correspond to the nozzle 112. [

이하에서는, 본 발명의 다른 실시 예에 대해서 설명한다. 이러한 다른 실시 예는, 리니어 개구(122)에 대해서만 전술한 실시 예와 다르므로 다른 요소들에 대한 중복적인 설명은 생략한다.Hereinafter, another embodiment of the present invention will be described. This alternative embodiment differs from the above-described embodiment only in the linear opening 122, so that redundant description of other elements is omitted.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 리니어 개구(222)는, 소스공급모듈(220)의 중앙부에 일정구간으로 배치될 수 있다. 즉 리니어 개구(222)는, 소스공급모듈(220)에 마련되는 증착물질(s)의 길이에 대응하도록 배치될 수 있다.As shown in FIG. 5, according to another embodiment of the present invention, the linear openings 222 may be disposed at a central portion of the source supply module 220 at a predetermined interval. That is, the linear openings 222 may be arranged to correspond to the length of the evaporation material s provided in the source supply module 220.

도 1 내지 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 또 다른 실시 예에 따르면, 글라스(g)에 대한 증착공정이 진공상태에서 진행되도록 마련되는 증착챔버유닛(140)과, 글라스(g)로 증착물질(s)이 증착되도록 증착챔버유닛(140)의 내부에 마련되는 전술한 리니어 증착유닛(100)을 포함하는 증착장치가 제공될 수 있다.1 to 3 and 4, according to another embodiment of the present invention, a deposition chamber unit 140 in which a deposition process for a glass g is performed in a vacuum state, a deposition apparatus including the above-described linear deposition unit 100 provided inside the deposition chamber unit 140 so that the deposition material s may be deposited by the deposition apparatus 100 may be provided.

이상과 같이 본 발명의 일 실시 예에 대하여 설명하였으나, 이를 기초로 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Deletion, addition or the like of the present invention may be variously modified and changed within the scope of the present invention.

100: 리니어 증착유닛
110: 리니어 바모듈
112: 노즐
120: 소스공급모듈
122: 리니어 개구
125: 리니어 저장부
127: 리니어 패널부
130: 슬라이드부
135: 리니어 증착본체
137: 슬라이드 레일
139: 슬라이드 통로
140: 증착챔버유닛100: Linear deposition unit
110: linear bar module
112: nozzle
120: source supply module
122: Linear opening
125: linear storage unit
127: Linear panel section
130:
135: Linear deposition body
137: slide rail
139: slide passage
140: Deposition chamber unit

Claims (10)

노즐들이 상호 이격되어 상부에 배치되며, 글라스에 증착물질을 증착시키도록 상기 글라스에 상대 이동 가능하게 배치되는 리니어 바모듈; 및
상기 노즐들에 상기 증착물질을 공급하도록 상기 증착물질이 통과하되, 상기 리니어 바모듈의 길이 방향을 따라 배치되는 리니어 개구가 마련되는 소스공급모듈을 포함하는 리니어 증착유닛.A linear bar module disposed above the nozzles and spaced apart from each other, the linear bar module being movable relative to the glass to deposit a deposition material on the glass; And
And a source supply module through which the deposition material passes to supply the deposition material to the nozzles, wherein a linear opening is provided along the longitudinal direction of the linear bar module. 제1 항에 있어서,
상기 소스공급모듈은,
상기 증착물질이 수용되도록 상기 리니어 바모듈을 따라 배치되되, 상부가 개방되는 리니어 저장부; 및
상기 리니어 저장부의 상부에 배치되되, 상기 리니어 개구가 마련되는 리니어 패널부를 포함하는 리니어 증착유닛.The method according to claim 1,
The source supply module includes:
A linear storage unit disposed along the linear bar module to receive the deposition material, the linear storage unit having an open top; And
And a linear panel unit disposed on the linear storage unit and having the linear openings. 제2 항에 있어서,
상기 리니어 바모듈과 상기 소스공급모듈은, 슬라이드 결합구조로 마련되는 리니어 증착유닛.3. The method of claim 2,
Wherein the linear bar module and the source supply module are provided in a slide coupling structure. 제3 항에 있어서,
상기 리니어 바모듈은,
상기 노즐들이 상부에 배치되며, 상기 리니어 개구에 대응하도록 하부가 개방되는 리니어 증착본체; 및
상기 리니어 증착본체의 하부에 배치되되, 상기 소스공급모듈이 슬라이드 결합되어 이동 가능하도록 슬라이드 통로가 마련되는 슬라이드 레일을 포함하며,
상기 소스공급모듈은, 상기 슬라이드 레일의 상기 슬라이드 통로에 삽입되어 이동 가능하게 결합되는 슬라이드부를 더 포함하는 리니어 증착유닛.The method of claim 3,
The linear bar module includes:
A linear deposition body in which the nozzles are disposed at an upper portion and the lower portion is opened to correspond to the linear openings; And
And a slide rail disposed at a lower portion of the linear deposition body, wherein the slide rail is provided so that the source supply module is slidably coupled and movable,
Wherein the source supply module further includes a slide portion inserted and movably coupled to the slide passage of the slide rail. 제4 항에 있어서,
상기 슬라이드부는, 상기 소스공급모듈의 상단 양쪽에 배치되는 리니어 증착유닛.5. The method of claim 4,
And the slide portion is disposed on both upper ends of the source supply module. 제5 항에 있어서,
상기 슬라이드부는, 상기 리니어 저장부와 상기 리니어 패널부의 결합에 의한 플랜지 형상으로 마련되는 리니어 증착유닛.6. The method of claim 5,
Wherein the slide portion is provided in a flange shape by engagement of the linear storage portion and the linear panel portion. 제2 항에 있어서,
상기 리니어 개구는, 상기 노즐들의 배치길이에 상응하도록 배치되는 리니어 증착유닛.3. The method of claim 2,
Wherein the linear opening is arranged to correspond to an arrangement length of the nozzles. 제2 항에 있어서,
상기 리니어 개구는, 상기 소스공급모듈의 중앙부에 일정구간으로 배치되는 리니어 증착유닛.3. The method of claim 2,
Wherein the linear openings are arranged at a central portion of the source supply module at a predetermined interval. 제2 항에 있어서,
상기 리니어 개구의 폭은, 상기 노즐의 내경보다 작게 마련되는 리니어 증착유닛.3. The method of claim 2,
Wherein the width of the linear opening is smaller than the inner diameter of the nozzle. 글라스에 대한 증착공정이 진공상태에서 진행되도록 마련되는 증착챔버유닛; 및
상기 글라스로 증착물질이 증착되도록 상기 증착챔버유닛의 내부에 마련되는 상기 제1 항 내지 제9 항 중 어느 한 항에 따른 상기 리니어 증착유닛을 포함하는 증착장치.A deposition chamber unit in which a deposition process for a glass is performed in a vacuum state; And
The deposition apparatus according to any one of claims 1 to 9, which is provided inside the deposition chamber unit so that the glass deposition material is deposited.
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