JP2007132955A - X-ray analyzer - Google Patents

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Masahito Koseki
関 雅 人 小
Masami Amamiya
宮 將 美 雨
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray analyzer capable of measuring accurately a micro amount of cadmium in a plastic. <P>SOLUTION: This X-ray analyzer is arranged with an X-ray filter 6 between an X-ray tube 5 having a Rh target, and a plastic sample 4. The first X-ray filter 6a comprises zirconium, the second X-ray filter 6b comprises copper, and the third X-ray filter 6c comprises molybdenum. A thickness of the first X-ray filter 6a is about 100 μm, a thickness of the second X-ray filter 6b is about 200 μm, and a thickness of the third X-ray filter 6c is about 40 μm. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、蛍光Ｘ線分析装置などのＸ線分析装置に関する。 The present invention relates to an X-ray analyzer such as a fluorescent X-ray analyzer.

近年、地球環境問題は深刻化の度合いを増し、さらに複雑化している。この地球環境問題を受け、ＥＵ（欧州連合）は、廃電気電子リサイクル指令（ＷＥＥＥ）および特定物質の使用制限指令（ＲｏＨＳ）を発信し、その危険性を法制化という手段で警鐘を鳴らした。このＲｏＨＳで使用を制限された物質は、カドミウム（Ｃｄ）、鉛（Ｐｂ）、水銀、六価クロム、ポリ臭化ビフェニール、ポリ臭化ディフェニールエーテルの６物質である。   In recent years, global environmental problems have become more serious and more complicated. In response to this global environmental problem, the EU (European Union) issued a Waste Electrical and Electronic Recycling Directive (WEEE) and a Restricted Use of Specific Substances (RoHS), and raised a warning by means of legalizing the danger. The substances whose use is restricted by this RoHS are six substances of cadmium (Cd), lead (Pb), mercury, hexavalent chromium, polybrominated biphenyl, and polybrominated diphenyl ether.

そして、現在、流通している電気電子機器に使用されている部品の大部分はプラスチックであるが、このプラスチック中には、ＲｏＨＳで使用を制限されたカドミウムや鉛などが含まれている。そこで、最近では、プラスチック中に含まれるカドミウムや鉛の量を正確に測定することが必要となっている。   And most of the parts used for the electric and electronic equipment currently distributed are plastics, and these plastics contain cadmium, lead, etc. whose use is restricted by RoHS. Therefore, recently, it is necessary to accurately measure the amount of cadmium and lead contained in the plastic.

しかしながら、これまでの分析装置では、プラスチック中に含まれる数ｐｐｍ〜数十ｐｐｍの微量カドミウムの正確な分析結果は得られていない。 However, in the conventional analyzers, accurate analysis results of a few cadmium to several tens of ppm of cadmium contained in the plastic have not been obtained.

分析装置の１つである蛍光Ｘ線分析装置を用いても、その正確な分析結果は得られていない。この原因は、蛍光Ｘ線分析により得られたＸ線スペクトル中のバックグランドにあり、微量カドミウムのスペクトルピークのバックグランドは、そのカドミウムのスペクトルピークに対してかなり大きい。すなわち、Ｐ／Ｂ比はかなり悪い。   Even when a fluorescent X-ray analyzer, which is one of the analyzers, is used, an accurate analysis result is not obtained. This is due to the background in the X-ray spectrum obtained by X-ray fluorescence analysis, and the background of the trace peak of cadmium is considerably larger than the spectrum peak of cadmium. That is, the P / B ratio is quite bad.

本発明はこのような点に鑑みて成されたもので、その目的は、プラスチック中の微量カドミウムの量を正確に測定できるＸ線分析装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide an X-ray analyzer that can accurately measure the amount of a small amount of cadmium in a plastic.

この目的を達成する本発明のＸ線分析装置は、Ｘ線管のターゲットからの１次Ｘ線を試料に照射し、その１次Ｘ線照射によって試料から発生した２次Ｘ線を検出して、試料中に含まれるカドミウムまたは鉛を分析するようにしたＸ線分析装置において、前記カドミウムのＫα線のエネルギーよりも高いエネルギーを有する１次Ｘ線を高エネルギー１次Ｘ線（ＸＨ）とするとき、その高エネルギー１次Ｘ線（ＸＨ）よりも低いエネルギーを有するＸ線を吸収するためのＸ線フィルタを、前記Ｘ線管のターゲットと前記試料との間に配置したことを特徴とする。 The X-ray analyzer of the present invention that achieves this object irradiates a sample with primary X-rays from an X-ray tube target, and detects secondary X-rays generated from the sample by the primary X-ray irradiation. In the X-ray analyzer for analyzing cadmium or lead contained in the sample, the primary X-ray having energy higher than the energy of the Kα ray of the cadmium is defined as high energy primary X-ray (XH). An X-ray filter for absorbing X-rays having energy lower than the high-energy primary X-ray (XH) is disposed between the target of the X-ray tube and the sample. .

本発明によれば、プラスチック中の微量カドミウムの量を正確に測定できる。   According to the present invention, the amount of cadmium in a plastic can be accurately measured.

以下、図面を用いて本発明の実施の形態について説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、本発明のＸ線分析装置の一例を示した図であり、エネルギー分散形Ｘ線分光装置（ＥＤＳ）を備えた蛍光Ｘ線分析装置を示した図である。   FIG. 1 is a diagram showing an example of the X-ray analyzer of the present invention, and is a diagram showing a fluorescent X-ray analyzer equipped with an energy dispersive X-ray spectrometer (EDS).

図１において、１は試料室カバーであり、２は試料室である。この試料室２には試料ホルダ３が配置されており、その試料ホルダ３には試料としてプラスチック４がセットされている。プラスチック４は、鉛を１％程度含み、カドミウムを数ｐｐｍ〜数十ｐｐｍ含んでいる。   In FIG. 1, 1 is a sample chamber cover, and 2 is a sample chamber. A sample holder 3 is disposed in the sample chamber 2, and a plastic 4 is set as a sample in the sample holder 3. The plastic 4 contains about 1% of lead and contains several ppm to several tens of ppm of cadmium.

５はＸ線管であり、Ｘ線管５はロジウム（Ｒｈ）からなるターゲットを有している。   Reference numeral 5 denotes an X-ray tube, and the X-ray tube 5 has a target made of rhodium (Rh).

６はＸ線フィルタであり、Ｘ線フィルタ６は、Ｘ線管５と試料４との間に配置されている。このＸ線フィルタ６は、円形のジルコニウム箔よりなる第１Ｘ線フィルタ６ａと、円形の銅箔よりなる第２Ｘ線フィルタ６ｂと、円形のモリブデン箔よりなる第３Ｘ線フィルタ６ｃとを備えている。それらのフィルタは、図１に示すように、Ｘ線管５から試料４の方に向けて、第１フィルタ６ａ、第２フィルタ６ｂ、第３フィルタ６ｃの順に配置されている。   Reference numeral 6 denotes an X-ray filter. The X-ray filter 6 is disposed between the X-ray tube 5 and the sample 4. The X-ray filter 6 includes a first X-ray filter 6a made of a circular zirconium foil, a second X-ray filter 6b made of a circular copper foil, and a third X-ray filter 6c made of a circular molybdenum foil. As shown in FIG. 1, these filters are arranged in the order of a first filter 6a, a second filter 6b, and a third filter 6c from the X-ray tube 5 toward the sample 4.

なお、第１フィルタ６ａの厚さは１００μｍ程度、第２フィルタ６ｂの厚さは２００μｍ程度、第３フィルタ６ｃの厚さは４０μｍ程度である。   The first filter 6a has a thickness of about 100 μm, the second filter 6b has a thickness of about 200 μm, and the third filter 6c has a thickness of about 40 μm.

また、図１中、７は半導体Ｘ線検出器であり、試料４からのＸ線は半導体Ｘ線検出器７で検出される。   In FIG. 1, reference numeral 7 denotes a semiconductor X-ray detector, and X-rays from the sample 4 are detected by the semiconductor X-ray detector 7.

半導体Ｘ線検出器７の出力信号はマイクロチャンネルアナライザ（ＭＣＡ）８に入力されるように構成されている。そして、ＭＣＡ８の出力信号は中央制御装置（ＣＰＵ）９に入力されるように構成されている。   An output signal of the semiconductor X-ray detector 7 is input to a microchannel analyzer (MCA) 8. An output signal from the MCA 8 is input to a central control unit (CPU) 9.

ＭＣＡ８は、半導体Ｘ線検出器７の出力信号をそのエネルギーに応じて分離し、ＣＰＵ９の記憶部１０には、各エネルギーに対応してＸ線強度信号が積算して記憶される。すなわち、試料の分析が進むにつれて、そのＸ線強度信号の強度は大きくなる。この記憶部１０に記憶されたデータは、ＣＰＵ９のスペクトル表示部１１に送られるように構成されており、スペクトル表示部１１はこのデータに基づき、Ｘ線スペクトルをディスプレイ１２の画面上に表示させるように構成されている。たとえば、スペクトル表示部１１における現在の設定は、ＣｄＫαピークに関するＸ線スペクトルがディスプレイ１２の画面上に表示されるようになっている。   The MCA 8 separates the output signal of the semiconductor X-ray detector 7 according to the energy, and the X-ray intensity signal is accumulated and stored in the storage unit 10 of the CPU 9 corresponding to each energy. That is, as the analysis of the sample proceeds, the intensity of the X-ray intensity signal increases. The data stored in the storage unit 10 is configured to be sent to the spectrum display unit 11 of the CPU 9, and the spectrum display unit 11 displays an X-ray spectrum on the screen of the display 12 based on this data. It is configured. For example, the current setting in the spectrum display unit 11 is such that the X-ray spectrum related to the CdKα peak is displayed on the screen of the display 12.

以上、図１の装置構成について説明した。以下、動作説明を行う。   The apparatus configuration in FIG. 1 has been described above. The operation will be described below.

まず、プラスチック試料４の分析時には、Ｘ線管フィラメント（図示せず）と前記Ｒｈターゲット間に所定の電圧Ｖ１が印加されて、Ｘ線管フィラメントからの電子線はＲｈターゲットを照射する。この電子線照射により、Ｒｈターゲットから１次Ｘ線が放射される。図２（ａ）の実線は、そのＲｈターゲットから放射される１次Ｘ線のＸ線スペクトルを示したものである。   First, when analyzing the plastic sample 4, a predetermined voltage V1 is applied between an X-ray tube filament (not shown) and the Rh target, and an electron beam from the X-ray tube filament irradiates the Rh target. By this electron beam irradiation, primary X-rays are emitted from the Rh target. The solid line in FIG. 2A shows the X-ray spectrum of the primary X-ray emitted from the Rh target.

この図２（ａ）のＸ線スペクトルから分かるように、Ｘ線管５のＲｈターゲットから放射される１次Ｘ線のＸ線スペクトルには、ＲｈＬピーク，ＲｈＫαピーク，ＲｈＫβピーク，ＲｈＫβ２ピークが存在しており、それらの各ピークは大きなバックグランド上にのっている。なお、カドミウムのＣｄＫα線のエネルギー（波長）は２３．１２７ｋｅＶであって、ＲｈＫβ２線のエネルギー（２３．１７０ｋｅＶ）とほぼ同じである。 As can be seen from the X-ray spectrum of FIG. 2A, the X-ray spectrum of the primary X-ray emitted from the Rh target of the X-ray tube 5 includes the RhL peak, RhKα peak, RhKβ peak, and RhKβ 2 peak. Exist, and each of those peaks is on a large background. The energy (wavelength) of CdKα rays of cadmium is 23.127 keV, which is substantially the same as the energy of RhKβ 2 rays (23.170 keV).

さて、Ｘ線管５のＲｈターゲットから放射された１次Ｘ線は、まず、Ｘ線フィルタ６の第１フィルタ６ａに入射する。この第１フィルタ６ａはジルコニウム箔からなっており、図２（ａ）の点線は、そのジルコニウム（Ｚｒ）のＸ線吸収特性を示したものである。図２（ａ）に示すように、Ｚｒの吸収端のエネルギーは、ＲｈＫα線のエネルギー（２０．１８９ｋｅＶ）よりやや低い１７．９９３ｋｅＶである。   Now, the primary X-rays radiated from the Rh target of the X-ray tube 5 first enter the first filter 6 a of the X-ray filter 6. The first filter 6a is made of a zirconium foil, and the dotted line in FIG. 2A indicates the X-ray absorption characteristics of the zirconium (Zr). As shown in FIG. 2A, the energy at the absorption edge of Zr is 17.993 keV, which is slightly lower than the energy of the RhKα ray (20.189 keV).

このようなＺｒからなる第１フィルタ６ａにおいて、前記Ｘ線管５からの１次Ｘ線の一部は吸収される。図２（ｂ）の実線は、その第１フィルタ６ａを透過した１次Ｘ線（第２フィルタ６ｂに入射する前の１次Ｘ線）のＸ線スペクトルを示したものである。   In the first filter 6a made of Zr, a part of the primary X-rays from the X-ray tube 5 is absorbed. The solid line in FIG. 2B shows the X-ray spectrum of the primary X-ray (primary X-ray before entering the second filter 6b) transmitted through the first filter 6a.

この図２（ｂ）のＸ線スペクトルから分かるように、第１フィルタ６ａを透過した１次Ｘ線のＸ線スペクトルには、Ｚｒの吸収端付近のエネルギーをもつピークＰ１，ＲｈＫαピーク，ＲｈＫβピーク，ＲｈＫβ２ピークが存在している。 As can be seen from the X-ray spectrum of FIG. 2B, the X-ray spectrum of the primary X-ray transmitted through the first filter 6a has peaks P 1 , RhKα peak, RhKβ having energy near the absorption edge of Zr. A peak, RhKβ 2 peak exists.

しかし、ＲｈＫαピーク，ＲｈＫβピーク，ＲｈＫβ２ピークの強度は、図２（ａ）の場合より著しく低下しており、また、それらのピークのバックグランドも図２（ａ）の場合より著しく小さくなっている。 However, the intensities of the RhKα peak, the RhKβ peak, and the RhKβ 2 peak are significantly lower than in the case of FIG. 2 (a), and the background of those peaks is also significantly smaller than in the case of FIG. 2 (a). Yes.

次に、第１フィルタ６ａを透過した１次Ｘ線は、第２フィルタ６ｂに入射する。この第２フィルタ６ｂは銅箔からなっており、図２（ｂ）の点線は、その銅（Ｃｕ）のＸ線吸収特性を示したものである。図２（ｂ）に示すように、Ｃｕの吸収端のエネルギーは、８．９７８ｋｅＶである。   Next, the primary X-ray transmitted through the first filter 6a is incident on the second filter 6b. This 2nd filter 6b consists of copper foil, and the dotted line of FIG.2 (b) shows the X-ray absorption characteristic of the copper (Cu). As shown in FIG. 2B, the energy at the absorption edge of Cu is 8.978 keV.

このようなＣｕからなる第２フィルタ６ｂにおいて、前記第１フィルタ６ａを透過した１次Ｘ線の一部は吸収される。図２（ｃ）の実線は、その第２フィルタ６ｂを透過した１次Ｘ線（第３フィルタ６ｃに入射する前の１次Ｘ線）のＸ線スペクトルを示したものである。   In such a second filter 6b made of Cu, a part of the primary X-ray transmitted through the first filter 6a is absorbed. The solid line in FIG. 2C shows the X-ray spectrum of the primary X-ray (primary X-ray before entering the third filter 6c) that has passed through the second filter 6b.

この図２（ｃ）のＸ線スペクトルから分かるように、第２フィルタ６ｂを透過した１次Ｘ線のＸ線スペクトルには、図２（ｂ）の場合と同様に、ＲｈＫαピーク，ＲｈＫβピーク，ＲｈＫβ２ピークは依然として存在している。しかし、図２（ｂ）におけるピークＰ１は、図２（ｃ）のＸ線スペクトルには存在していない。一方、図２（ｃ）のＸ線スペクトルには、ＣｕＫαピークが新たに発生している。これは、銅箔からなる第２フィルタ６ｂが１次Ｘ線によって励起されて発生したものである。 As can be seen from the X-ray spectrum of FIG. 2C, the X-ray spectrum of the primary X-ray transmitted through the second filter 6b is similar to the case of FIG. The RhKβ 2 peak is still present. However, the peak P 1 in FIG. 2B does not exist in the X-ray spectrum of FIG. On the other hand, a CuKα peak is newly generated in the X-ray spectrum of FIG. This is generated when the second filter 6b made of copper foil is excited by the primary X-ray.

次に、第２フィルタ６ｂを透過した１次Ｘ線は、第３フィルタ６ｃに入射する。この第３フィルタ６ｃはモリブデン箔からなっており、図２（ｃ）の点線は、そのモリブデン（Ｍｏ）のＸ線吸収特性を示したものである。図２（ｃ）に示すように、Ｍｏの吸収端のエネルギーは、１９．９９６ｋｅＶである。   Next, the primary X-ray transmitted through the second filter 6b is incident on the third filter 6c. The third filter 6c is made of molybdenum foil, and the dotted line in FIG. 2C indicates the X-ray absorption characteristics of the molybdenum (Mo). As shown in FIG. 2 (c), the energy at the absorption edge of Mo is 19.996 keV.

このようなＭｏからなる第３フィルタ６ｃにおいて、前記第２フィルタ６ｂを透過した１次Ｘ線の一部は吸収される。図２（ｄ）は、その第３フィルタ６ｃを透過した１次Ｘ線のＸ線スペクトルを示したものである。   In such a third filter 6c made of Mo, a part of the primary X-ray transmitted through the second filter 6b is absorbed. FIG. 2 (d) shows the X-ray spectrum of the primary X-ray transmitted through the third filter 6c.

この図２（ｄ）のＸ線スペクトルから分かるように、第３フィルタ６ｃを透過した１次Ｘ線のＸ線スペクトルには、図２（ａ）〜（ｃ）において存在していたＸ線ピークは存在しておらず、また、広いエネルギー範囲にわたってバックグランドの原因になる１次Ｘ線は押さえられている。図２（ｄ）においてＸ線強度が示されているのは、ＲｈＫβ２線のエネルギー位置よりさらに高エネルギー側の部分Ｐ２だけであり、これは、ＲｈＫβ２線よりもさらに高エネルギーを有する１次Ｘ線（ＸＨ）によるものである。 As can be seen from the X-ray spectrum of FIG. 2 (d), the X-ray peak of the primary X-ray transmitted through the third filter 6c has the X-ray peak present in FIGS. 2 (a) to (c). Does not exist, and primary X-rays that cause background over a wide energy range are suppressed. The X-ray intensity are shown in FIG. 2 (d), the merely part P 2 of a higher energy side than the energy position of RhKbeta 2-wire, which has a high energy further than two-wire RhKbeta 1 This is due to the next X-ray (XH).

したがって、このような１次Ｘ線（ＸＨ）がプラスチック試料４を照射すると、試料４で反射して検出器７で検出される１次Ｘ線は、その１次Ｘ線（ＸＨ）だけであり、それより低いエネルギーの１次Ｘ線が検出されることはない。これは、バックグランドが発生しないことを意味している。   Therefore, when such a primary X-ray (XH) irradiates the plastic sample 4, the primary X-ray reflected by the sample 4 and detected by the detector 7 is only the primary X-ray (XH). Lower primary X-rays are not detected. This means that no background is generated.

一方、この１次Ｘ線（ＸＨ）は高エネルギーを有するので、プラスチック中のカドミウム（Ｃｄ）や鉛（Ｐｂ）を励起するには十分である。   On the other hand, since this primary X-ray (XH) has high energy, it is sufficient to excite cadmium (Cd) and lead (Pb) in the plastic.

この結果、ＣＰＵ９の記憶部１０には、最終的に、図２（ｅ）の実線で示すようなＸ線強度信号が記憶される。ここに現れているＣｄＫαピークは、プラスチック試料４から発生したＣｄＫα線のみによって形成されたものであり、その中に他のＸ線によるバックグランドは含まれていない。同様に、ここに現れているＰｂＬαピークとＰｂＬβピークは、プラスチック試料４から発生したＰｂＬα線とＰｂＬβ線のみによってそれぞれ形成されたものであり、その中に他のＸ線によるバックグランドは含まれていない。なお、図２（ｅ）の破線は、Ｘ線管と試料間にフィルタを置かなかったときのＸ線スペクトルを示したものである。   As a result, the X-ray intensity signal as shown by the solid line in FIG. 2E is finally stored in the storage unit 10 of the CPU 9. The CdKα peak appearing here is formed only by the CdKα ray generated from the plastic sample 4 and does not include the background due to other X-rays. Similarly, the PbLα peak and the PbLβ peak appearing here are respectively formed only by the PbLα ray and the PbLβ ray generated from the plastic sample 4, and the background due to other X-rays is included therein. Absent. In addition, the broken line of FIG.2 (e) shows the X-ray spectrum when not putting a filter between an X-ray tube and a sample.

このため、ＣＰＵ９は、この記憶部１０に記憶されたデータに基づき、プラスチック試料４中の微量カドミウムや鉛の量を求めれば、正確な定量分析結果を得ることができる。また、スペクトル表示部１１はこのデータに基づき、ＣｄＫαピークに関するＸ線スペクトルをディスプレイ１２の画面上に表示させる。   For this reason, if CPU9 calculates | requires the quantity of the trace amount cadmium and lead in the plastic sample 4 based on the data memorize | stored in this memory | storage part 10, it can obtain an exact quantitative analysis result. Further, the spectrum display unit 11 displays an X-ray spectrum related to the CdKα peak on the screen of the display 12 based on this data.

なお、従来、鉛（Ｐｂ）を含んだプラスチックの蛍光Ｘ線分析では、分析結果のＸ線スペクトル上において、ＰｂのサムピークがＣｄＫαスペクトルピークのバックグランドを押し上げていた。このバックグランドの上昇は、ＰｂＬα線とＰｂＬβ線が同時にＸ線検出されたときに最も強く出ていたが、本発明ではこのサムピークの出現を抑えることができるようになった。それは、上述したように、カドミウム（Ｃｄ）や鉛（Ｐｂ）を励起するには十分な１次Ｘ線（ＸＨ）だけを試料に照射するようにして、従来よりも試料を照射する１次Ｘ線の量を制限したためであり、これによって、Ｐｂのサムピークの発生確率を格段と下げることができるようになった。   Conventionally, in the fluorescent X-ray analysis of plastic containing lead (Pb), the sum peak of Pb pushed the background of the CdKα spectrum peak on the X-ray spectrum of the analysis result. This increase in background was strongest when PbLα and PbLβ rays were detected at the same time, but in the present invention, the appearance of this thumb peak can be suppressed. As described above, primary X-rays that irradiate a sample than before are irradiated by irradiating the sample with only primary X-rays (XH) sufficient to excite cadmium (Cd) and lead (Pb). This is because the amount of the line is limited, which makes it possible to dramatically reduce the probability of occurrence of the Pb thumb peak.

以上、図１の蛍光Ｘ線分析装置について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではない。   The fluorescent X-ray analyzer of FIG. 1 has been described above, but the present invention is not limited to this example.

たとえば、上記例において、第２Ｘ線フィルタを、亜鉛またはニッケルでつくるようにしてもよい。   For example, in the above example, the second X-ray filter may be made of zinc or nickel.

また、前記第１Ｘ線フィルタを銅または亜鉛またはニッケルでつくり、前記第２Ｘ線フィルタをジルコニウムでつくり、前記第３Ｘ線フィルタをモリブデンでつくるようにしてもよい。また、前記第１Ｘ線フィルタを銅または亜鉛またはニッケルでつくり、前記第２Ｘ線フィルタをモリブデンでつくり、前記第３Ｘ線フィルタをジルコニウムでつくるようにしてもよい。   The first X-ray filter may be made of copper, zinc or nickel, the second X-ray filter may be made of zirconium, and the third X-ray filter may be made of molybdenum. The first X-ray filter may be made of copper, zinc or nickel, the second X-ray filter may be made of molybdenum, and the third X-ray filter may be made of zirconium.

また、前記Ｘ線管のターゲットがモリブデンのときは、前記第１Ｘ線フィルタをモリブデンでつくり、前記第２Ｘ線フィルタを銅または亜鉛またはニッケルでつくり、前記第３Ｘ線フィルタをモリブデンでつくるようにすれば、上記例と同様な効果を得ることができる。なお、このときの第１Ｘ線フィルタの厚さは８０μｍ程度、第２Ｘ線フィルタの厚さは２００μｍ程度、第３Ｘ線フィルタの厚さは４０μｍ程度にすればよい。   When the target of the X-ray tube is molybdenum, the first X-ray filter is made of molybdenum, the second X-ray filter is made of copper, zinc or nickel, and the third X-ray filter is made of molybdenum. Thus, the same effect as the above example can be obtained. At this time, the thickness of the first X-ray filter may be about 80 μm, the thickness of the second X-ray filter may be about 200 μm, and the thickness of the third X-ray filter may be about 40 μm.

本発明の一例を示した図である。It is the figure which showed an example of this invention. 図１の装置の動作説明に利用した図である。It is the figure utilized for operation | movement description of the apparatus of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１・・・試料室チャンバ、２・・・試料室、３・・・試料ホルダ、４・・・試料、５・・・Ｘ線管、６・・・Ｘ線フィルタ、７・・・半導体Ｘ線検出器、８・・・ＭＣＡ、９・・・ＣＰＵ、１０・・・記憶部、１１・・・スペクトル表示部、１２・・・ディスプレイ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Sample chamber chamber, 2 ... Sample chamber, 3 ... Sample holder, 4 ... Sample, 5 ... X-ray tube, 6 ... X-ray filter, 7 ... Semiconductor X Line detector, 8 ... MCA, 9 ... CPU, 10 ... storage unit, 11 ... spectrum display unit, 12 ... display

Claims (1)

Ｘ線管のターゲットからの１次Ｘ線を試料に照射し、その１次Ｘ線照射によって試料から発生した２次Ｘ線を検出して、試料中に含まれるカドミウムまたは鉛を分析するようにしたＸ線分析装置において、
前記カドミウムのＫα線のエネルギーよりも高いエネルギーを有する１次Ｘ線を高エネルギー１次Ｘ線（ＸＨ）とするとき、その高エネルギー１次Ｘ線（ＸＨ）よりも低いエネルギーを有するＸ線を吸収するためのＸ線フィルタを、前記Ｘ線管のターゲットと前記試料との間に配置したことを特徴とするＸ線分析装置。 The sample is irradiated with primary X-rays from the target of the X-ray tube, and secondary X-rays generated from the sample are detected by the primary X-ray irradiation, and cadmium or lead contained in the sample is analyzed. X-ray analyzer
When a primary X-ray having an energy higher than that of the cadmium Kα ray is a high-energy primary X-ray (XH), an X-ray having an energy lower than that of the high-energy primary X-ray (XH) An X-ray analysis apparatus, wherein an X-ray filter for absorption is disposed between a target of the X-ray tube and the sample.
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