JP2007114625A - Display device and electronic apparatus with same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve a problem that an area coverage modulation system has in relation to the mounting cost for an external IC and to solve the problem that a clock signal is delayed behind a start pulse signal when a signal is input from the external IC without providing a delay circuit to an input part of a driver. <P>SOLUTION: A display device has a pixel area where pixels including sub-pixels are arranged in a matrix, a source signal line driving circuit, a gate signal line driving circuit, and a control circuit, and is characterized in that the sub-pixels, source signal line driving circuit, gate signal line driving circuit, and control circuit have thin film transistors formed on a substrate and the control circuit has a circuit outputting signals for driving the source signal line driving circuit and gate signal line driving circuit with a vertical synchronizing signal, a horizontal synchronizing signal, and a dot clock signal input from outside the substrate. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、画素がマトリクス状に配置された画素領域を有する表示装置及びに関する。特に副画素を有する画素がマトリクス状に配置された画素領域を有する表示装置に関する。   The present invention relates to a display device having a pixel region in which pixels are arranged in a matrix. In particular, the present invention relates to a display device having a pixel region in which pixels having sub-pixels are arranged in a matrix.

液晶ディスプレイ(LCD)や、エレクトロルミネッセンス(EL)ディスプレイ等をはじめとする表示装置の階調表示方式の一つである面積階調方式は、画素の発光がオン状態とオフ状態の二値であるので、映像信号処理のためのDAコンバータ回路の実装の必要がない。また時間階調方式でみられる1フレームを複数のサブフレームへと分割する必要がない。そのため、映像信号を順次駆動回路に入力し、画素領域における表示に反映させることが出来る。したがって大規模なフレームメモリを実装する必要がなく、低周波数でディスプレイを動作させることができる。そのため、面積階調方式は、低消費電力化、低コスト化が実現できる表示方式である。   The area gray scale method, which is one of the gray scale display methods of display devices such as a liquid crystal display (LCD) and an electroluminescence (EL) display, is a binary light emission of pixels. Therefore, there is no need to mount a DA converter circuit for video signal processing. Further, it is not necessary to divide one frame seen in the time gray scale method into a plurality of subframes. Therefore, video signals can be sequentially input to the drive circuit and reflected in the display in the pixel area. Therefore, it is not necessary to mount a large-scale frame memory, and the display can be operated at a low frequency. Therefore, the area gradation method is a display method that can realize low power consumption and low cost.

しかしながら面積階調方式は副画素(サブ画素ともいう)を含む構成であるため、走査線の数が増加することによる駆動回路と実装コストの増大という問題があった。   However, since the area gray scale method has a configuration including sub-pixels (also referred to as sub-pixels), there is a problem in that driving circuits and mounting costs increase due to an increase in the number of scanning lines.

そこで図18のようにソース線駆動回路(SD)とゲート線駆動回路(GD)とそれぞれのバッファー回路(BUF)と画素マトリクスを同一基板(SUB)上に形成する。そして、ソース線駆動回路とゲート線駆動回路を制御する信号は、基板の外部に実装されたコントロール回路(CTL)から入力されている構成が提案されている(特許文献1参照)。
特開平10−068931号公報
Therefore, as shown in FIG. 18, the source line driver circuit (SD), the gate line driver circuit (GD), the respective buffer circuits (BUF), and the pixel matrix are formed on the same substrate (SUB). And the structure which has input the signal which controls a source line drive circuit and a gate line drive circuit from the control circuit (CTL) mounted outside the board | substrate is proposed (refer patent document 1).
Japanese Patent Laid-Open No. 10-068931

副画素を有する画素がマトリクス状に配置された画素領域を有する構成の面積階調方式では、D/Aコンバータ回路と大規模なフレームメモリを実装しない簡単な構成が可能である。しかしながら、上記特許文献1に記載の方法によるとコントロール回路を外付けすることによりICの実装コストがかかるという問題があった。   In the area gradation method having a pixel region in which pixels having sub-pixels are arranged in a matrix, a simple configuration without mounting a D / A converter circuit and a large-scale frame memory is possible. However, according to the method described in Patent Document 1, there is a problem that an IC mounting cost is required by externally attaching a control circuit.

さらに外付けICから信号を外部接続端子やFPC(Flexible Printed Circuit)を介して入力する場合、駆動回路に信号が入力されるまで外部接続端子とFPCとの接触の状態や外部のノイズの影響等によって、スタートパルス信号よりも、クロック信号が遅延してしまい、駆動回路内のシフトレジスタ回路が誤作動し、正常表示が出来なくなる問題があるため、駆動回路の入力部に遅延回路を設ける必要がある。   Further, when a signal is input from an external IC via an external connection terminal or an FPC (Flexible Printed Circuit), the state of contact between the external connection terminal and the FPC or the influence of external noise until the signal is input to the drive circuit. As a result, the clock signal is delayed from the start pulse signal, the shift register circuit in the drive circuit malfunctions, and normal display cannot be performed. Therefore, it is necessary to provide a delay circuit at the input portion of the drive circuit. is there.

本発明は前述の課題に鑑み、ごく単純な回路を同一基板上に形成するだけで外部接続端子数を減少させ、外付け部品点数を削減し低コスト化が実現でき、かつクロック信号の遅延を防ぐことのできる表示装置を提供するものである。   In view of the above-described problems, the present invention can reduce the number of external connection terminals, reduce the number of external parts by simply forming a very simple circuit on the same substrate, reduce the cost, and reduce the delay of the clock signal. A display device capable of preventing the problem is provided.

本発明の表示装置の一は、副画素を含む画素がマトリクス状に配置された画素領域、ソース信号線駆動回路、ゲート信号線駆動回路、及びコントロール回路を有し、
前記副画素、前記ソース信号線駆動回路、前記ゲート信号線駆動回路、及び前記コントロール回路は、基板上に形成された薄膜トランジスタを有し、
前記コントロール回路は前記基板の外部より入力された垂直同期信号、水平同期信号、及びドットクロック信号により、前記ソース信号線駆動回路及び前記ゲート信号線駆動回路を駆動するための信号を出力する回路を有する構成とした。
One display device of the present invention includes a pixel region in which pixels including sub-pixels are arranged in a matrix, a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, and a control circuit,
The sub-pixel, the source signal line driver circuit, the gate signal line driver circuit, and the control circuit have a thin film transistor formed on a substrate,
The control circuit outputs a signal for driving the source signal line driving circuit and the gate signal line driving circuit according to a vertical synchronizing signal, a horizontal synchronizing signal, and a dot clock signal inputted from the outside of the substrate. It was set as the structure which has.

また別の本発明の表示装置の一は、副画素を含む画素がマトリクス状に配置された画素領域、ソース信号線駆動回路、ゲート信号線駆動回路、及びコントロール回路を有し、
前記副画素、前記ソース信号線駆動回路、前記ゲート信号線駆動回路、及び前記コントロール回路は、基板上に形成された薄膜トランジスタを有し、
前記コントロール回路は前記基板の外部より入力された垂直同期信号、水平同期信号、及びドットクロック信号により、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号、並びに前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号を出力する構成とした。
Another display device of the present invention includes a pixel region in which pixels including sub-pixels are arranged in a matrix, a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, and a control circuit,
The sub-pixel, the source signal line driver circuit, the gate signal line driver circuit, and the control circuit have a thin film transistor formed on a substrate,
The control circuit includes a clock signal, an inverted clock signal, and a start pulse signal for driving the source signal line driving circuit based on a vertical synchronization signal, a horizontal synchronization signal, and a dot clock signal input from the outside of the substrate, and A clock signal, an inverted clock signal, and a start pulse signal for driving the gate signal line driving circuit are output.

また別の本発明の表示装置の一は、副画素を含む画素がマトリクス状に配置された画素領域、ソース信号線駆動回路、ゲート信号線駆動回路、及びコントロール回路を有し、
前記副画素、前記ソース信号線駆動回路、前記ゲート信号線駆動回路、及び前記コントロール回路は、基板上に形成された薄膜トランジスタを有し、
前記コントロール回路は前記基板の外部より入力された垂直同期信号、水平同期信号、及びドットクロック信号により、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号、並びに前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号を出力し、
前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号は、JKフリップフロップ回路、Dフリップフロップ回路及び複数のインバータ回路を有する回路より出力される構成とした。
Another display device of the present invention includes a pixel region in which pixels including sub-pixels are arranged in a matrix, a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, and a control circuit,
The sub-pixel, the source signal line driver circuit, the gate signal line driver circuit, and the control circuit have a thin film transistor formed on a substrate,
The control circuit includes a clock signal, an inverted clock signal, and a start pulse signal for driving the source signal line driving circuit based on a vertical synchronization signal, a horizontal synchronization signal, and a dot clock signal input from the outside of the substrate, and A clock signal for driving the gate signal line driving circuit, an inverted clock signal, and a start pulse signal;
A clock signal, an inverted clock signal, and a start pulse signal for driving the gate signal line driving circuit are output from a circuit having a JK flip-flop circuit, a D flip-flop circuit, and a plurality of inverter circuits.

また別の本発明の表示装置の一は、副画素を含む画素がマトリクス状に配置された画素領域、ソース信号線駆動回路、ゲート信号線駆動回路、及びコントロール回路を有し、
前記副画素、前記ソース信号線駆動回路、前記ゲート信号線駆動回路、及び前記コントロール回路は、基板上に形成された薄膜トランジスタを有し、
前記コントロール回路は前記基板の外部より入力された垂直同期信号、水平同期信号、及びドットクロック信号により、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号、並びに前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号を出力し、
前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号及び反転クロック信号は、前記Dフリップフロップ回路より出力される信号及び前記Dフリップフロップ回路より出力される信号の反転信号であり、前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのスタートパルス信号は、JKフリップフロップ回路より出力される構成とした。
Another display device of the present invention includes a pixel region in which pixels including sub-pixels are arranged in a matrix, a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, and a control circuit,
The sub-pixel, the source signal line driver circuit, the gate signal line driver circuit, and the control circuit have a thin film transistor formed on a substrate,
The control circuit includes a clock signal, an inverted clock signal, and a start pulse signal for driving the source signal line driving circuit based on a vertical synchronization signal, a horizontal synchronization signal, and a dot clock signal input from the outside of the substrate, and A clock signal for driving the gate signal line driving circuit, an inverted clock signal, and a start pulse signal;
The clock signal and the inverted clock signal for driving the gate signal line driving circuit are a signal output from the D flip-flop circuit and an inverted signal of the signal output from the D flip-flop circuit, and the gate signal line The start pulse signal for driving the drive circuit is output from the JK flip-flop circuit.

また別の本発明の表示装置の一は、副画素を含む画素がマトリクス状に配置された画素領域、ソース信号線駆動回路、ゲート信号線駆動回路、及びコントロール回路を有し、
前記副画素、前記ソース信号線駆動回路、前記ゲート信号線駆動回路、及び前記コントロール回路は、基板上に形成された薄膜トランジスタを有し、
前記コントロール回路は前記基板の外部より入力された垂直同期信号、水平同期信号、及びドットクロック信号により、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号、並びに前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号を出力し、
前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号及び反転クロック信号は、前記垂直同期信号の反転信号及び前記水平同期信号が入力される前記Dフリップフロップ回路より出力される信号及び前記Dフリップフロップ回路より出力される信号の反転信号であり、前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのスタートパルス信号は、前記垂直同期信号及び前記Dフリップフロップ回路より出力される信号が入力されるJKフリップフロップ回路より出力される構成とした。
Another display device of the present invention includes a pixel region in which pixels including sub-pixels are arranged in a matrix, a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, and a control circuit,
The sub-pixel, the source signal line driver circuit, the gate signal line driver circuit, and the control circuit have a thin film transistor formed on a substrate,
The control circuit includes a clock signal, an inverted clock signal, and a start pulse signal for driving the source signal line driving circuit based on a vertical synchronization signal, a horizontal synchronization signal, and a dot clock signal input from the outside of the substrate, and A clock signal for driving the gate signal line driving circuit, an inverted clock signal, and a start pulse signal;
The clock signal and the inverted clock signal for driving the gate signal line driving circuit include a signal output from the D flip-flop circuit to which the inverted signal of the vertical synchronizing signal and the horizontal synchronizing signal are input, and the D flip-flop. A JK flip-flop to which an inverted signal of a signal output from the circuit and a start pulse signal for driving the gate signal line driving circuit is input to the vertical synchronization signal and the signal output from the D flip-flop circuit It was set as the structure output from a circuit.

また別の本発明の表示装置の一は、副画素を含む画素がマトリクス状に配置された画素領域、ソース信号線駆動回路、ゲート信号線駆動回路、及びコントロール回路を有し、
前記副画素、前記ソース信号線駆動回路、前記ゲート信号線駆動回路、及び前記コントロール回路は、基板上に形成された薄膜トランジスタを有し、
前記コントロール回路は前記基板の外部より入力された垂直同期信号、水平同期信号、及びドットクロック信号により、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号、並びに前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号を出力し、
前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号は、前記ドットクロック信号を基にした信号及び前記ドットクロック信号の反転信号を基にした信号であり、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのスタートパルス信号は、前記水平同期信号を基にした信号であり、
前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号及び反転クロック信号は、前記Dフリップフロップ回路より出力される信号及び前記Dフリップフロップ回路より出力される信号の反転信号であり、前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのスタートパルス信号は、JKフリップフロップ回路より出力される構成とした。
Another display device of the present invention includes a pixel region in which pixels including sub-pixels are arranged in a matrix, a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, and a control circuit,
The sub-pixel, the source signal line driver circuit, the gate signal line driver circuit, and the control circuit have a thin film transistor formed on a substrate,
The control circuit includes a clock signal, an inverted clock signal, and a start pulse signal for driving the source signal line driving circuit based on a vertical synchronization signal, a horizontal synchronization signal, and a dot clock signal input from the outside of the substrate, and A clock signal for driving the gate signal line driving circuit, an inverted clock signal, and a start pulse signal;
The clock signal and the inverted clock signal for driving the source signal line driving circuit are a signal based on the dot clock signal and an inverted signal of the dot clock signal, and the source signal line driving circuit The start pulse signal for driving is a signal based on the horizontal synchronization signal,
The clock signal and the inverted clock signal for driving the gate signal line driving circuit are a signal output from the D flip-flop circuit and an inverted signal of the signal output from the D flip-flop circuit, and the gate signal line The start pulse signal for driving the drive circuit is output from the JK flip-flop circuit.

また別の本発明の表示装置の一は、副画素を含む画素がマトリクス状に配置された画素領域、ソース信号線駆動回路、ゲート信号線駆動回路、及びコントロール回路を有し、
前記副画素、前記ソース信号線駆動回路、前記ゲート信号線駆動回路、及び前記コントロール回路は、基板上に形成された薄膜トランジスタを有し、
前記コントロール回路は前記基板の外部より入力された垂直同期信号、水平同期信号、及びドットクロック信号により、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号、並びに前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号を出力し、
前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号は、前記ドットクロック信号を基にした信号及び前記ドットクロック信号の反転信号を基にした信号であり、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのスタートパルス信号は、前記水平同期信号を基にした信号であり、
前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号及び反転クロック信号は、前記垂直同期信号の反転信号及び前記水平同期信号が入力される前記Dフリップフロップ回路より出力される信号及び前記Dフリップフロップ回路より出力される信号の反転信号であり、前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのスタートパルス信号は、前記垂直同期信号及び前記Dフリップフロップ回路より出力される信号が入力されるJKフリップフロップ回路より出力される構成とした。
Another display device of the present invention includes a pixel region in which pixels including sub-pixels are arranged in a matrix, a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, and a control circuit,
The sub-pixel, the source signal line driver circuit, the gate signal line driver circuit, and the control circuit have a thin film transistor formed on a substrate,
The control circuit includes a clock signal, an inverted clock signal, and a start pulse signal for driving the source signal line driving circuit based on a vertical synchronization signal, a horizontal synchronization signal, and a dot clock signal input from the outside of the substrate, and A clock signal for driving the gate signal line driving circuit, an inverted clock signal, and a start pulse signal;
The clock signal and the inverted clock signal for driving the source signal line driving circuit are a signal based on the dot clock signal and an inverted signal of the dot clock signal, and the source signal line driving circuit The start pulse signal for driving is a signal based on the horizontal synchronization signal,
The clock signal and the inverted clock signal for driving the gate signal line driving circuit include a signal output from the D flip-flop circuit to which the inverted signal of the vertical synchronizing signal and the horizontal synchronizing signal are input, and the D flip-flop. A JK flip-flop to which an inverted signal of a signal output from the circuit and a start pulse signal for driving the gate signal line driving circuit is input to the vertical synchronization signal and the signal output from the D flip-flop circuit It was set as the structure output from a circuit.

また本発明において、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのスタートパルス信号は、前記水平同期信号がJKフリップフロップを介して出力される信号であってもよい   In the present invention, the start pulse signal for driving the source signal line driving circuit may be a signal from which the horizontal synchronizing signal is output via a JK flip-flop.

本発明では、コントロール回路をソース線駆動回路とゲート線駆動回路と画素マトリクスを含む同一基板上に一体形成することにより、外部接続端子数を減少させ、外付け部品の実装面積を削減し低コスト化できる。   In the present invention, the control circuit is integrally formed on the same substrate including the source line driver circuit, the gate line driver circuit, and the pixel matrix, thereby reducing the number of external connection terminals, reducing the mounting area of external components, and reducing the cost. Can be

また上記第コントロール回路の構成では、スタートパルス信号をクロック信号よりも遅延させるために、TFT基板上に遅延回路を設ける必要はない。   In the configuration of the first control circuit, it is not necessary to provide a delay circuit on the TFT substrate in order to delay the start pulse signal from the clock signal.

以下に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。但し、本発明は多くの異なる態様で実施することが可能であり、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. However, the present invention can be implemented in many different modes, and those skilled in the art can easily understand that the modes and details can be variously changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Is done. Therefore, the present invention is not construed as being limited to the description of this embodiment mode. Note that in all the drawings for describing the embodiments, the same portions or portions having similar functions are denoted by the same reference numerals, and repetitive description thereof is omitted.

なお本明細書において、各素子間の接続は、電気的に接続されていることを示す。そのため、接続関係を有する素子間に、半導体素子やスイッチング素子等を介して接続することもありうる。 Note that in this specification, connection between elements indicates that they are electrically connected. For this reason, the elements having a connection relationship may be connected via a semiconductor element, a switching element, or the like.

また本明細書において、トランジスタのソース電極及びドレイン電極は、トランジスタの構成上、ゲート電極以外の電極を便宜上区別するために採用されている名称である。本発明において、トランジスタの極性に限定されない構成の場合、その極性を考慮すると、ソース電極及びドレイン電極の名称は変化する。そのため、ソース電極又はドレイン電極を、一方の電極及び他方の電極のいずれかとして記載することがある。 In this specification, the source electrode and the drain electrode of a transistor are names used to distinguish electrodes other than the gate electrode for the sake of convenience in terms of the structure of the transistor. In the present invention, in the case of a structure that is not limited to the polarity of the transistor, the names of the source electrode and the drain electrode change in consideration of the polarity. Therefore, the source electrode or the drain electrode may be described as one of the one electrode and the other electrode.

(実施の形態1)
本実施の形態においては、本発明による表示装置の基本構成について説明する。図1は表示装置の模式図を示したものである。
(Embodiment 1)
In this embodiment, a basic configuration of a display device according to the present invention will be described. FIG. 1 is a schematic view of a display device.

図1において、基板上に、ソース線駆動回路101、ゲート線駆動回路102、画素領域106、コントロール回路107が形成されている。画素領域106は、複数の画素105がマトリクス状に配置されており、各画素105は、複数の副画素108から構成されており、副画素108はソース信号線103、ゲート信号線104によって制御される。図1においては2つの副画素で構成しているがこれに限定されず、1つの画素において副画素が3つ以上設けられていればよいことを付記する。   In FIG. 1, a source line driver circuit 101, a gate line driver circuit 102, a pixel region 106, and a control circuit 107 are formed on a substrate. In the pixel region 106, a plurality of pixels 105 are arranged in a matrix, and each pixel 105 includes a plurality of subpixels 108. The subpixels 108 are controlled by a source signal line 103 and a gate signal line 104. The In FIG. 1, two sub-pixels are used, but the present invention is not limited to this. It should be noted that three or more sub-pixels may be provided in one pixel.

なお、本明細書においては、画素とは一つの画像を構成する色要素を具備するものであり、発光素子及び発光素子を駆動する素子(例えば薄膜トランジスタで構成される回路)を有する副画素を複数含むものとする。また本明細書においては、絵素とは、一つの最小の画像を表示するための色要素を構成する画素を具備するものであるとする。よって、R(赤)G(緑)B(青)の色要素からなるフルカラー表示装置の場合には、絵素とはRの色要素、Gの色要素、Bの色要素を含む画素から構成されているものとする。また、各副画素は、その面積の大きさ、形状が異なっていてもよいし、同じでもよい。   Note that in this specification, a pixel includes color elements constituting one image, and includes a plurality of subpixels each including a light emitting element and an element that drives the light emitting element (for example, a circuit including a thin film transistor). Shall be included. In this specification, a picture element is assumed to include a pixel constituting a color element for displaying one minimum image. Therefore, in the case of a full-color display device composed of R (red), G (green), and B (blue) color elements, a picture element is composed of pixels including R color elements, G color elements, and B color elements. It is assumed that In addition, each sub-pixel may have a different area size or shape, or may be the same.

ソース線駆動回路101は、クロック信号(SCK)、クロック反転信号(SCKB)、スタート信号(SSP)の入力により、シフトレジスタ回路(SRと略記することもある)、NAND回路において順次サンプリングパルスを出力する。その後、レベルシフタ、バッファにおいて、振幅変換あるいは増幅を受け、映像信号(Data)のサンプリグを行い、順次ソース信号線へと出力する。シフトレジスタの最終段以降の出力はゲート線駆動回路のパルス幅制御信号(PWC)として用いても良い。また、ソース線駆動回路101は基板上に設けられた薄膜トランジスタを有するものである。   The source line driver circuit 101 sequentially outputs sampling pulses in a shift register circuit (sometimes abbreviated as SR) and a NAND circuit in response to input of a clock signal (SCK), a clock inversion signal (SCKB), and a start signal (SSP). To do. After that, the level shifter and the buffer are subjected to amplitude conversion or amplification, the video signal (Data) is sampled, and sequentially output to the source signal line. The output after the last stage of the shift register may be used as a pulse width control signal (PWC) of the gate line driver circuit. The source line driver circuit 101 includes a thin film transistor provided over a substrate.

ゲート線駆動回路102は、クロック信号(GCK)、クロック反転信号(GCKB)、スタート信号(GSP)の入力により、SR、NAND回路において順次行選択パルスを出力する。前記行選択パルスはパルス幅を制御された後、レベルシフタ、バッファにおいて、振幅変換あるいは増幅を受け、順次、各行のゲート信号線を選択する。ゲート線駆動回路102は基板上に設けられた薄膜トランジスタを有するものである。   The gate line driver circuit 102 sequentially outputs row selection pulses in the SR and NAND circuits in response to input of a clock signal (GCK), a clock inversion signal (GCKB), and a start signal (GSP). After the pulse width of the row selection pulse is controlled, amplitude conversion or amplification is performed in a level shifter and a buffer, and gate signal lines in each row are sequentially selected. The gate line driver circuit 102 includes a thin film transistor provided over a substrate.

コントロール回路107は、映像信号である垂直同期信号VSYNCと水平同期信号HSYNCとドットクロック信号(DCK)の入力により、ソース線駆動回路用スタート信号(SSP)、ソース線駆動回路用クロック信号(SCK)、ソース線駆動回路用クロック反転信号(SCKB)、ゲート線駆動回路用スタートパルス信号(GSP)、ゲート線駆動回路用クロック信号(GCK)、ゲート線駆動回路用クロック反転信号(GCKB)を出力する。コントロール回路107の信号出力部は信号の種類に応じてそれぞれ、ソース信号線駆動回路及びゲート信号線駆動回路の入力端それぞれの近傍に配置し、信号引き回し配線が短くなる構成をとる。   The control circuit 107 receives a source line drive circuit start signal (SSP) and a source line drive circuit clock signal (SCK) in response to the input of a vertical synchronization signal VSYNC, a horizontal synchronization signal HSYNC, and a dot clock signal (DCK), which are video signals. The source line driver circuit clock inversion signal (SCKB), the gate line driver circuit start pulse signal (GSP), the gate line driver circuit clock signal (GCK), and the gate line driver circuit clock inversion signal (GCKB) are output. . The signal output unit of the control circuit 107 is arranged in the vicinity of the input ends of the source signal line driver circuit and the gate signal line driver circuit according to the type of signal, and the signal routing wiring is shortened.

図2にコントロール回路の第1の構成を示す。コントロール回路208は、フリップフロップ回路であるDフリップフロップ回路(以下、DFFという)と2つのJフリップフロップ回路(以下、JKFFという)と複数のインバータと複数のバッファと2つのNANDを有する。Jフリップフロップ回路の具体的な構成について、図3に示した回路を採用してもよい。またDフリップフロップ回路の具体的な構成については、図4に示した回路を採用すればよい。 FIG. 2 shows a first configuration of the control circuit. The control circuit 208 includes a D flip-flop circuit (hereinafter referred to as DFF) that is a flip-flop circuit, two J flip-flop circuits (hereinafter referred to as JKFF), a plurality of inverters, a plurality of buffers, and two NANDs. As a specific configuration of the J flip-flop circuit, the circuit shown in FIG. 3 may be employed. The specific configuration of the D flip-flop circuit may be the circuit shown in FIG.

図2において、DFF201のCK端子にHSYNC信号線が電気的に接続されている。DFF201のQB端子はDFF201のD端子と電気的に接続されている。DFF201のPRESET端子はVSYNC信号線がインバータ205を介して電気的に接続されている。DFFのQ端子はバッファ204を介してゲート線駆動回路210のGCK信号線と電気的に接続されている。DFF201のQ端子はインバータ205とバッファ204を介してゲート線駆動回路210のGCKB信号線と電気的に接続されている。   In FIG. 2, the HSYNC signal line is electrically connected to the CK terminal of the DFF 201. The QB terminal of the DFF 201 is electrically connected to the D terminal of the DFF 201. A VSYNC signal line is electrically connected to the PRESET terminal of the DFF 201 via an inverter 205. The Q terminal of the DFF is electrically connected to the GCK signal line of the gate line driving circuit 210 through the buffer 204. The Q terminal of the DFF 201 is electrically connected to the GCKB signal line of the gate line driving circuit 210 via the inverter 205 and the buffer 204.

また、図2において、GCK信号線は第1のJKFF202のCK端子と電気的に接続されている。第1のNAND206の第1の入力端にはVSYNC信号線が電気的に接続されている。第1のNAND206の第2の入力端にはGCK信号線が電気的に接続されている。第1のNAND206の出力端には第1のJKFF202のPRESET端子と電気的に接続されている。   In FIG. 2, the GCK signal line is electrically connected to the CK terminal of the first JKFF 202. A VSYNC signal line is electrically connected to the first input terminal of the first NAND 206. A GCK signal line is electrically connected to the second input terminal of the first NAND 206. The output terminal of the first NAND 206 is electrically connected to the PRESET terminal of the first JKFF 202.

また、図2において、第1のJKFF202のJ端子とK端子とQ端子が電気的に接続されている。第1のJKFF202のQ端子はバッファ204を介してゲート線駆動回路のGSP信号線と電気的に接続されている。DCK信号線は、バッファ204を介してソース線駆動回路209のSCK信号線と電気的に接続されている。前記DCK信号線は、インバータ205とバッファ204を介してソース線駆動回路209のSCK信号線と電気的に接続されている。   In FIG. 2, the J terminal, the K terminal, and the Q terminal of the first JKFF 202 are electrically connected. The Q terminal of the first JKFF 202 is electrically connected to the GSP signal line of the gate line driver circuit through the buffer 204. The DCK signal line is electrically connected to the SCK signal line of the source line driver circuit 209 via the buffer 204. The DCK signal line is electrically connected to the SCK signal line of the source line driver circuit 209 via the inverter 205 and the buffer 204.

また、図2において、HSYNC信号線は第2のNAND207の第1の入力端と電気的に接続されている。第2のNAND207の第2の入力端はSCK信号線と電気的に接続されている。第2のNAND207の出力端は第2のJKFF203のPRESET端子と電気的に接続されている。SCK信号線は第2のJKFF203のCK端子と電気的に接続されている。第2のJKFF203のJ端子とK端子とQ端子が電気的に接続されている。第2のJKFF203のQ端子はバッファを介してソース線駆動回路209のSSP信号線と電気的に接続されている。上記のバッファの個数は特に限定しない。   In FIG. 2, the HSYNC signal line is electrically connected to the first input terminal of the second NAND 207. The second input terminal of the second NAND 207 is electrically connected to the SCK signal line. The output terminal of the second NAND 207 is electrically connected to the PRESET terminal of the second JKFF 203. The SCK signal line is electrically connected to the CK terminal of the second JKFF 203. The J terminal, K terminal, and Q terminal of the second JKFF 203 are electrically connected. The Q terminal of the second JKFF 203 is electrically connected to the SSP signal line of the source line driver circuit 209 through a buffer. The number of the above buffers is not particularly limited.

図2に示すコントロール回路において、外部より入力される垂直同期信号VSYNCはインバータ回路205を介して、Dフリップフロップ回路201のPRESET端子に入力される。また外部より入力される水平同期信号HSYNCはDフリップフロップ回路のCK端子に入力される。そしてDフリップフロップ回路201の出力端子は、ゲート線駆動回路に入力されるゲートクロック信号GCK、及びインバータを介して出力される反転ゲートクロック信号GCKBを出力する。   In the control circuit shown in FIG. 2, a vertical synchronization signal VSYNC input from the outside is input to the PRESET terminal of the D flip-flop circuit 201 via the inverter circuit 205. A horizontal synchronization signal HSYNC input from the outside is input to the CK terminal of the D flip-flop circuit. The output terminal of the D flip-flop circuit 201 outputs a gate clock signal GCK input to the gate line driving circuit and an inverted gate clock signal GCKB output via an inverter.

また、図2のコントロール回路において、外部より入力される垂直同期信号VSYNC及び前記ゲートクロック信号GCKが入力されるNAND回路206からの出力がJKフリップフロップ回路202のPRESET端子に入力される。また外部より入力される前記ゲートクロック信号GCKがJKフリップフロップ回路202のCK端子に入力される。そしてJKフリップフロップ回路202の出力端子は、ゲート線駆動回路に入力されるゲートスタートパルス信号GSPを出力する。   In the control circuit of FIG. 2, an output from the NAND circuit 206 to which the vertical synchronization signal VSYNC inputted from the outside and the gate clock signal GCK are inputted is inputted to the PRESET terminal of the JK flip-flop circuit 202. The gate clock signal GCK input from the outside is input to the CK terminal of the JK flip-flop circuit 202. The output terminal of the JK flip-flop circuit 202 outputs a gate start pulse signal GSP input to the gate line driving circuit.

また、図2のコントロール回路において、外部より入力されるドットクロック信号DCKは、バッファ回路を介してソース信号線駆動回路にソースクロック信号SCKとして出力される。また外部より入力されるドットクロック信号DCKはインバータ回路を介してソース線駆動回路に入力される反転ソースクロック信号SCKBとして出力される。   In the control circuit of FIG. 2, a dot clock signal DCK input from the outside is output as a source clock signal SCK to a source signal line driver circuit through a buffer circuit. The dot clock signal DCK input from the outside is output as an inverted source clock signal SCKB input to the source line driver circuit via the inverter circuit.

また、図2のコントロール回路において、外部より入力される水平同期信号HSYNC及び外部より入力されるドットクロック信号DCKが入力されるNAND回路205からの出力がJKフリップフロップ回路203のPRESET端子に入力される。また外部より入力されるドットクロック信号DCKがJKフリップフロップ回路203のCK端子に入力される。そしてJKフリップフロップ回路203の出力端子は、ソース線駆動回路に入力されるソーススタートパルス信号GSPを出力する。   In the control circuit of FIG. 2, the output from the NAND circuit 205 to which the horizontal synchronization signal HSYNC inputted from the outside and the dot clock signal DCK inputted from the outside are inputted is inputted to the PRESET terminal of the JK flip-flop circuit 203. The A dot clock signal DCK input from the outside is input to the CK terminal of the JK flip-flop circuit 203. The output terminal of the JK flip-flop circuit 203 outputs a source start pulse signal GSP input to the source line driver circuit.

次に図5にコントロール回路の動作を示す。   Next, FIG. 5 shows the operation of the control circuit.

HSYNCとほぼ同じタイミングでSSPが出力され、DCKとほぼ同じタイミングでSCKが出力され、SCKと反転した論理でSCKBが出力される。この時、入力信号と同じ波形であるが、SCKよりもSSPの方が遅延している。 SSP is output at approximately the same timing as HSYNC, SCK is output at approximately the same timing as DCK, and SCKB is output with logic inverted from SCK. At this time, the waveform is the same as that of the input signal, but SSP is delayed more than SCK.

VSYNCのHレベル301の立ち上がりとほぼ同時に、GCKがHレベル305となり、Hレベルを保ち続ける。VSYNCのHレベル301に対して、HSYNCのHレベル302の立ち上がりとほぼ同時にGCKはLレベルとなる。次のHSYNCのHレベル303の立ち上がりとほぼ同時にGCKはHレベル306となる。 At substantially the same time as the rise of the VSYNC H level 301, GCK becomes the H level 305 and keeps the H level. With respect to the H level 301 of VSYNC, GCK becomes L level almost simultaneously with the rise of the H level 302 of HSYNC. GCK becomes H level 306 almost simultaneously with the rise of the next HSYNC H level 303.

VSYNCのHレベルのパルス301と同時に立ち上がるHSYNCのHレベルのパルス304を1番目とすると、偶数番目(2m)のHレベルの立ち上がりでGCKはLレベルとなり、奇数番目(2m+1)のHレベルの立ち上げ利でGCKはHレベルとなる。GCKBはGCKと反転した論理で出力される。 Assuming that the HSYNC high-level pulse 304 that rises simultaneously with the VSYNC high-level pulse 301 is the first, GCK goes low at the even-numbered (2m) high-level rising, and the odd-numbered (2m + 1) high-level rising. GCK goes to H level with increasing interest. GCKB is output with logic inverted from GCK.

VSYNCのHレベル301の立ち上がりとほぼ同時に立ち上がるGCKの最初のHレベル305の立ち上がりとほぼ同時に、GSPがHレベル308となり、Hレベルを保ち続ける。VSYNCのHレベル301に対して、次に来るHSYNCのHレベル302の立ち上がりとほぼ同時にGCKはLレベルとなり、次のVSYNCのHレベル307の立ち上がりまでLレベルを保ち続ける。この時GCKの1番目のHレベル305の立ち上がりよりもGSPの1番目のHレベル307の立ち上がりの方が遅延し、GCKの2番目のHレベル306の立ち上がりよりもGSPの1番目のHレベル307の立ち下がりの方が遅延する。 Nearly simultaneously with the rise of the first H level 305 of GCK that rises almost simultaneously with the rise of the H level 301 of VSYNC, the GSP becomes the H level 308 and keeps the H level. With respect to the H level 301 of the VSYNC, the GCK becomes the L level almost simultaneously with the next rising of the H level 302 of the HSYNC, and keeps the L level until the next rising of the H level 307 of the VSYNC. At this time, the rise of the first H level 307 of GSP is delayed from the rise of the first H level 305 of GCK, and the first H level 307 of GSP is delayed from the rise of the second H level 306 of GCK. The falling edge is delayed.

図6に、図1におけるソース線駆動回路101の簡単なタイミングチャートを示し、以下にその動作について順次説明する。図6には、入力信号としてクロック信号(SCK、SCKB)、スタートパルス(SSP)、デジタル映像信号(Data)、出力信号として、1段目〜4段目、最終段のサンプリングパルス(SROut1〜4、最終)、ソース信号線出力(SLine1、SLine最終)を示している。   FIG. 6 shows a simple timing chart of the source line driver circuit 101 in FIG. 1, and the operation will be sequentially described below. In FIG. 6, the clock signals (SCK, SCKB), the start pulse (SSP), the digital video signal (Data) are input signals, and the first to fourth stages and the final stage sampling pulses (SROUT1 to 4) are output signals. , Last) and source signal line output (SLine1, SLine final).

まず、第1ライン期間(Period1)について説明する。クロック信号とスタートパルス501に従ってシフトレジスタが動作し、サンプリングパルス503を順次出力する。サンプリングパルス503はそれぞれ、デジタル映像信号のサンプリングを行い、ラッチ回路にデータを保持し順次ソース信号線に出力される。 First, the first line period (Period1) will be described. The shift register operates in accordance with the clock signal and the start pulse 501, and sequentially outputs the sampling pulse 503. Each sampling pulse 503 samples a digital video signal, holds data in a latch circuit, and is sequentially output to a source signal line.

なお、第1ライン期間において、デジタル映像信号504は、全てHレベルを入力している。 Note that in the first line period, all the digital video signals 504 are input at the H level.

ここで、ソース信号線出力は、Hレベルとなる(期間507)。 Here, the source signal line output is at the H level (period 507).

次に、第2ライン期間(Period2)に移る。第1ライン期間と同様に、クロック信号とスタートパルス502に従い、サンプリングパルス503が順次出力され、デジタル映像信号のサンプリングが行われる。 Next, the second line period (Period2) starts. Similar to the first line period, the sampling pulse 503 is sequentially output in accordance with the clock signal and the start pulse 502, and the digital video signal is sampled.

なお、第2ライン期間において、デジタル映像信号505は、全てLレベルを入力している。 Note that in the second line period, all the digital video signals 505 are input at the L level.

このとき、ソース信号線出力は、全段においてLレベルとなる(期間508)。 At this time, the source signal line output is at the L level in all stages (period 508).

シフトレジスタ最終段以降の出力パルス509はPWC信号としてゲート線駆動回路で用いても良い。 The output pulse 509 after the last stage of the shift register may be used as a PWC signal in the gate line driver circuit.

図7に、ゲート線駆動回路102とソース線駆動回路101のタイミングチャートを示し、以下にその動作について順次説明する。図7には、ゲート線駆動回路への入力信号としてクロック信号(GCK、GCKB)、スタートパルス(GSP)、出力信号として、1段目〜4段目のゲート線出力信号(GLine1〜4)を示している。   FIG. 7 shows a timing chart of the gate line driver circuit 102 and the source line driver circuit 101, and their operations will be sequentially described below. In FIG. 7, clock signals (GCK, GCKB) and start pulses (GSP) are input signals to the gate line driving circuit, and first to fourth gate line output signals (GLlines 1 to 4) are output signals. Show.

クロック信号とスタートパルスに従ってシフトレジスタが動作し、パルス幅をPWCを用いて調整した後、順次ゲート信号線に出力される。 The shift register operates in accordance with the clock signal and the start pulse, and the pulse width is adjusted using PWC, and then sequentially output to the gate signal line.

上記ゲート信号線出力によりソース信号線出力(SLine1、SLine最終)を副画素に入力する行を選択する。 A row in which the source signal line output (SLine1, SLine final) is input to the sub-pixel is selected by the gate signal line output.

本実施の形態の構成ではゲート線駆動回路のシフトレジスタで用いられているGCK信号線から直接GCKの立ち上がりエッジを用いて、GSPの立ち上がりと立ち下がりエッジを生成しているので、GCKがGSPよりも遅延することはない。 In the configuration of this embodiment, the rising edge and the falling edge of GSP are generated directly from the GCK signal line used in the shift register of the gate line driving circuit, so that GCK is generated from GSP. There is no delay.

本実施の形態ではソース線駆動回路のシフトレジスタで用いられているSCK信号線から直接SCKの立ち上がりエッジを用いて、SSPの立ち上がりと立ち下がりエッジを生成しているので、SCKがSSPよりも遅延することはない。 In this embodiment, the rising edge and the falling edge of SSP are generated using the rising edge of SCK directly from the SCK signal line used in the shift register of the source line driver circuit, so that SCK is delayed from SSP. Never do.

本実施の形態の構成で用いたDFFはD端子とQB端子の接続によりTフリップフロップ(TFF)として動作するのでTFFに置き換えても良い。 Since the DFF used in the configuration of this embodiment operates as a T flip-flop (TFF) by connecting the D terminal and the QB terminal, it may be replaced with TFF.

また、本実施の形態において、外部接続端子数を減少させるため、ソース線駆動回路のシフトレジスタの最終段以降の出力をゲート線駆動回路のパルス幅制御信号(PWC)として用いる構成もある。 In this embodiment, in order to reduce the number of external connection terminals, an output from the last stage of the shift register of the source line driver circuit may be used as a pulse width control signal (PWC) of the gate line driver circuit.

以上のように本実施の形態は、基板上に形成されたコントロール回路で、ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号を、ドットクロック信号を基にした信号及びドットクロック信号の反転信号を基にした信号として内部生成した信号として出力することができる。またソース信号線駆動回路を駆動するためのスタートパルス信号を、前記水平同期信号を基にした信号として内部生成した信号として出力することができる。またゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号及び反転クロック信号を、垂直同期信号の反転信号及び水平同期信号が入力されるDフリップフロップ回路より出力される信号として内部生成した信号として出力することができる。またゲート信号線駆動回路を駆動するためのスタートパルス信号は、前記垂直同期信号及び前記Dフリップフロップ回路より出力される信号が入力されるJKフリップフロップ回路より出力される信号として内部生成した信号として出力することができる。前述のコントロール回路におけるソース信号線駆動回路及びゲート信号線駆動回路に出力される各種信号は、デジタル映像信号を入力し、デジタル出力を行う形式のドライバーを用いた表示装置であれば、LCD、ELディスプレイ等、多種の表示装置において、外部接続端子数を削減することが出来る。   As described above, this embodiment is a control circuit formed on a substrate, and a clock signal and an inverted clock signal for driving a source signal line driving circuit are converted into a signal based on a dot clock signal and a dot clock signal. Can be output as a signal generated internally as a signal based on the inverted signal. A start pulse signal for driving the source signal line driving circuit can be output as a signal generated internally as a signal based on the horizontal synchronizing signal. Further, the clock signal and the inverted clock signal for driving the gate signal line driving circuit are output as internally generated signals as signals output from the D flip-flop circuit to which the inverted signal of the vertical synchronizing signal and the horizontal synchronizing signal are input. be able to. The start pulse signal for driving the gate signal line driving circuit is a signal generated internally as a signal output from the JK flip-flop circuit to which the vertical synchronization signal and the signal output from the D flip-flop circuit are input. Can be output. The various signals output to the source signal line driving circuit and the gate signal line driving circuit in the control circuit described above are LCDs, ELs, etc., as long as the display device uses a digital video signal input and digital output type driver. In various display devices such as a display, the number of external connection terminals can be reduced.

なお、本実施の形態は、本明細書中の実施例または実施の形態のいかなる記載とも自由に組み合わせて実施することが可能である。 Note that this embodiment mode can be implemented freely combining with any description in the embodiments or embodiment modes in this specification.

(実施の形態2)
本実施形態においては、実施の形態1と別の構成について説明する。コントロール回路の第1の構成よりも素子数が少なく実装面積の節約できるコントロール回路の構成を図8に示す。
(Embodiment 2)
In the present embodiment, a configuration different from that of the first embodiment will be described. FIG. 8 shows the configuration of a control circuit that has fewer elements than the first configuration of the control circuit and can save the mounting area.

フリップフロップ回路であるDFFとJKFFと複数のインバータ603と複数のバッファ604を有し、DFF601のCK端子にHSYNC信号線が電気的に接続されている。DFF601のQB端子はD端子と電気的に接続されている。DFF601のPRESET端子はVSYNC信号線がインバータを介して電気的に接続されている。DFF601のQ端子はバッファ604を介してゲート線駆動回路のGCK信号線と電気的に接続されている。DFF601のQ端子はインバータ603とバッファ604を介してGCKB信号線と電気的に接続されている。GCK信号線はJKFF602のCK端子と電気的に接続されている。JKFF602のPRESET端子はVSYNC信号線が電気的に接続されている。JKFF602のJ端子とK端子とQ端子が電気的に接続されている。JKFF602のQ端子はバッファを介してゲート線駆動回路607のGSP信号線と電気的に接続されている。HSYNC信号線はバッファ604を介してソース線駆動回路606のSCK信号線と電気的に接続されている。HSYNC信号線はインバータ603とバッファ604を介してソース線駆動回路606のSCKB信号線と電気的に接続され、HSYNC信号線はバッファ604を介してソース線駆動回路606のSSP信号線と接続されている。上記のバッファの個数は特に限定しない。   The flip-flop circuit includes DFF and JKFF, a plurality of inverters 603, and a plurality of buffers 604, and the HSYNC signal line is electrically connected to the CK terminal of the DFF 601. The QB terminal of the DFF 601 is electrically connected to the D terminal. The VRESET signal line is electrically connected to the PRESET terminal of the DFF 601 via an inverter. The Q terminal of the DFF 601 is electrically connected to the GCK signal line of the gate line driver circuit through the buffer 604. The Q terminal of the DFF 601 is electrically connected to the GCKB signal line via the inverter 603 and the buffer 604. The GCK signal line is electrically connected to the CK terminal of JKFF602. The VSYNC signal line is electrically connected to the PRESET terminal of JKFF602. The J terminal, the K terminal, and the Q terminal of the JKFF 602 are electrically connected. The Q terminal of the JKFF 602 is electrically connected to the GSP signal line of the gate line driving circuit 607 through a buffer. The HSYNC signal line is electrically connected to the SCK signal line of the source line driver circuit 606 through the buffer 604. The HSYNC signal line is electrically connected to the SCKB signal line of the source line driver circuit 606 via the inverter 603 and the buffer 604, and the HSYNC signal line is connected to the SSP signal line of the source line driver circuit 606 via the buffer 604. Yes. The number of the above buffers is not particularly limited.

図8に示すコントロール回路において、外部より入力される垂直同期信号VSYNCはインバータ回路603を介して、Dフリップフロップ回路601のPRESET端子に入力される。また外部より入力される水平同期信号HSYNCはDフリップフロップ回路のCK端子に入力される。そしてDフリップフロップ回路601の出力端子は、ゲート線駆動回路に入力されるゲートクロック信号GCK、及びインバータを介して出力される反転ゲートクロック信号GCKBを出力する。   In the control circuit shown in FIG. 8, the vertical synchronization signal VSYNC input from the outside is input to the PRESET terminal of the D flip-flop circuit 601 through the inverter circuit 603. A horizontal synchronization signal HSYNC input from the outside is input to the CK terminal of the D flip-flop circuit. The output terminal of the D flip-flop circuit 601 outputs a gate clock signal GCK input to the gate line driver circuit and an inverted gate clock signal GCKB output via an inverter.

また、図8のコントロール回路において、外部より入力される垂直同期信号VSYNCはインバータ回路603を介して、JKフリップフロップ回路202のPRESET端子に入力される。また前記ゲートクロック信号GCKがJKフリップフロップ回路602のCK端子に入力される。そしてJKフリップフロップ回路
02の出力端子は、ゲート線駆動回路に入力されるゲートスタートパルス信号GSPを出力する。
In the control circuit of FIG. 8, the vertical synchronization signal VSYNC input from the outside is input to the PRESET terminal of the JK flip-flop circuit 202 via the inverter circuit 603. The gate clock signal GCK is input to the CK terminal of the JK flip-flop circuit 602. The output terminal of the JK flip-flop circuit 02 outputs a gate start pulse signal GSP input to the gate line driving circuit.

また、図8のコントロール回路において、外部より入力されるドットクロック信号DCKは、バッファ回路を介してソース信号線駆動回路にソースクロック信号SCKとして出力される。また外部より入力されるドットクロック信号DCKはインバータ回路を介してソース線駆動回路に入力される反転ソースクロック信号SCKBとして出力される。   In the control circuit of FIG. 8, the dot clock signal DCK input from the outside is output as a source clock signal SCK to the source signal line driver circuit via the buffer circuit. The dot clock signal DCK input from the outside is output as an inverted source clock signal SCKB input to the source line driver circuit via the inverter circuit.

また、図8のコントロール回路において、外部より入力されるドットクロック信号DCKは、バッファ回路を介してソース信号線駆動回路にソーススタートパルス信号SSPとして出力される。   In the control circuit of FIG. 8, a dot clock signal DCK input from the outside is output as a source start pulse signal SSP to the source signal line driver circuit via the buffer circuit.

実施の形態1と同様に図5を用いてコントロール回路の動作を示す。 As in the first embodiment, the operation of the control circuit is shown using FIG.

HSYNCとほぼ同じタイミングでSSPが出力され、DCKとほぼ同じタイミングでSCKが出力され、SCKと反転した論理でSCKBが出力される。この時のSSPとSCKのタイミングの前後関係は不明である。
VSYNCのHレベル301の立ち上がりとほぼ同時に、GCKがHレベル305となり、Hレベルを保ち続ける。VSYNCのHレベル301に対して、HSYNCのHレベル302の立ち上がりとほぼ同時にGCKはLレベルとなる。次のHSYNCのHレベル303の立ち上がりとほぼ同時にGCKはHレベル306となる。
VSYNCのHレベルのパルス301と同時に立ち上がるHSYNCのHレベルのパルス304を1番目とすると、偶数番目(2m)のHレベルの立ち上がりでGCKはLレベルとなり、奇数番目(2m+1)のHレベルの立ち上げ利でGCKはHレベルとなる。GCKBはGCKと反転した論理で出力される。
SSP is output at approximately the same timing as HSYNC, SCK is output at approximately the same timing as DCK, and SCKB is output with logic inverted from SCK. The order of SSP and SCK timing at this time is unknown.
At substantially the same time as the rise of the VSYNC H level 301, GCK becomes the H level 305 and keeps the H level. With respect to the H level 301 of VSYNC, GCK becomes L level almost simultaneously with the rise of the H level 302 of HSYNC. GCK becomes H level 306 almost simultaneously with the rise of the next HSYNC H level 303.
Assuming that the HSYNC H level pulse 304 that rises simultaneously with the VSYNC H level pulse 301 is the first, GCK becomes L level at the even (2m) H level rise, and the odd (2m + 1) H level rise. GCK goes to H level with increasing interest. GCKB is output with logic inverted from GCK.

VSYNCのHレベル301の立ち上がりとほぼ同時に、GSPがHレベル308となり、Hレベルを保ち続ける。VSYNCのHレベル301に対して、次に来るHSYNCのHレベル302の立ち上がりとほぼ同時にGCKはLレベルとなり、次のVSYNCのHレベル307の立ち上がりまでLレベルを保ち続ける。この時GCKの2番目のHレベル306の立ち上がりよりもGSPの1番目のHレベル307の立ち下がりのタイミングの方が遅延する。 At almost the same time as the rise of the VSYNC H level 301, the GSP becomes the H level 308 and keeps the H level. With respect to the H level 301 of the VSYNC, the GCK becomes the L level almost simultaneously with the next rising of the H level 302 of the HSYNC and keeps the L level until the next rising of the H level 307 of the VSYNC. At this time, the fall timing of the first H level 307 of GSP is delayed rather than the rise of the second H level 306 of GCK.

上記第2のコントロール回路構成はGSPの立ち下がりのタイミングのみが、GCKの立ち上がりのタイミングよりも遅延する。 In the second control circuit configuration, only the fall timing of GSP is delayed from the rise timing of GCK.

本実施の形態の構成ではVSYNCの立ち上がりエッジを用いて、GSPの立ち上がりエッジを生成し、GCKの立ち上がりエッジを用いて、GSPの立ち下がりエッジを生成している。 In the configuration of the present embodiment, the rising edge of GSP is generated using the rising edge of VSYNC, and the falling edge of GSP is generated using the rising edge of GCK.

本実施の形態の構成ではGSPの立ち下がりのタイミングがGCKの立ち上がりのタイミングよりも遅延する。 In the configuration of the present embodiment, the fall timing of GSP is delayed from the rise timing of GCK.

本実施の形態の構成で用いたDFFはD端子とQB端子の接続によりTFFとして動作するのでTFFに置き換えても良い。 The DFF used in the configuration of this embodiment operates as a TFF by connecting the D terminal and the QB terminal, and may be replaced with a TFF.

なお、本実施の形態は、コントロール回路をソース線駆動回路とゲート線駆動回路と画素マトリクスを含む同一基板上に一体形成することにより、外部接続端子数を減少させ、外付け部品の実装面積を削減し低コスト化できる。また上記第コントロール回路の構成では、スタートパルス信号をクロック信号よりも遅延させるために、TFT基板上に遅延回路を設ける必要はないといった利点を得ることができる。   Note that in this embodiment, the control circuit is integrally formed over the same substrate including the source line driver circuit, the gate line driver circuit, and the pixel matrix, so that the number of external connection terminals is reduced and the mounting area of external components is reduced. Reduction and cost reduction. Further, the configuration of the first control circuit can provide an advantage that it is not necessary to provide a delay circuit on the TFT substrate in order to delay the start pulse signal from the clock signal.

なお、本実施の形態は、本明細書中の実施例または実施の形態のいかなる記載とも自由に組み合わせて実施することが可能である。 Note that this embodiment mode can be implemented freely combining with any description in the embodiments or embodiment modes in this specification.

以下に本発明の表示装置において、絶縁表面を有する基板上に薄膜トランジスタで作製する例について、作製手順を簡略に図9〜11を用いて示す。図9〜11に示す構成のアクティブマトリクス型表示装置は液晶表示装置やEL(Electro Luminescence)素子を用いた表示装置を実現することを可能とするものである。   In the following, an example of manufacturing a thin film transistor over a substrate having an insulating surface in the display device of the present invention will be briefly described with reference to FIGS. The active matrix display device having the configuration shown in FIGS. 9 to 11 can realize a liquid crystal display device or a display device using an EL (Electro Luminescence) element.

まず、図9(A)に示すように、コーニング社の#7059ガラスや#1737ガラスなどに代表されるバリウムホウケイ酸ガラス、またはアルミノホウケイ酸ガラスなどのガラス基板401上に酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜などの絶縁膜から成るブロッキング層402を形成する。例えば、プラズマCVD法でSiH4、NH3、N2Oから作製される酸化窒化シリコン膜を10〜200nm(好ましくは50〜100nm)形成し、同様にSiH4、N2Oから作製される酸化窒化水素化シリコン膜を50〜200nm(好ましくは100〜150nm)の厚さに積層形成する。本実施例ではブロッキング層402を2層構造として示したが、前記絶縁膜の単層膜または2層以上積層させた構造として形成しても良い。   First, as shown in FIG. 9A, a silicon oxide film, silicon nitride is formed on a glass substrate 401 such as barium borosilicate glass or aluminoborosilicate glass represented by Corning # 7059 glass or # 1737 glass. A blocking layer 402 made of an insulating film such as a film or a silicon oxynitride film is formed. For example, a silicon oxynitride film formed from SiH 4, NH 3, and N 2 O by plasma CVD is formed to have a thickness of 10 to 200 nm (preferably 50 to 100 nm). The layers are stacked to a thickness of ˜200 nm (preferably 100 to 150 nm). Although the blocking layer 402 is shown as a two-layer structure in this embodiment, it may be formed as a single layer film of the insulating film or a structure in which two or more layers are stacked.

島状に分割された半導体層403〜406は、非晶質構造を有する半導体膜を、レーザーアニール法やファーネスアニール炉を用いた熱処理により結晶構造を有する半導体膜(以下、結晶質半導体膜という)で形成する。この島状の半導体層403〜406の厚さは25〜80nm(好ましくは30〜60nm)の厚さで形成する。結晶質半導体膜の材料に限定はないが、好ましくはシリコンまたはシリコンゲルマニウム(SiGe)合金などで形成すると良い。   The semiconductor layers 403 to 406 divided into islands are formed by converting a semiconductor film having an amorphous structure into a semiconductor film having a crystal structure by a heat treatment using a laser annealing method or a furnace annealing furnace (hereinafter referred to as a crystalline semiconductor film). Form with. The island-shaped semiconductor layers 403 to 406 are formed to have a thickness of 25 to 80 nm (preferably 30 to 60 nm). There is no limitation on the material of the crystalline semiconductor film, but the crystalline semiconductor film is preferably formed of silicon or a silicon germanium (SiGe) alloy.

レーザーアニール法で結晶質半導体膜を作製するには、パルス発振型または連続発光型のエキシマレーザーやYAGレーザー、YVO4レーザーを用いる。レーザー発振器から出力されるレーザー光は、光学系で線状に集光し半導体膜に照射する方法を用いる。アニールの条件は実施者が適宣選択するものであるが、エキシマレーザーを用いる場合はパルス発振周波数30Hzとし、レーザーエネルギー密度を100〜400mJ/cm2(代表的には200〜300mJ/cm2)とする。また、YAGレーザーを用いる場合には、第2高調波を用いパルス発振周波数1〜10kHzとし、レーザーエネルギー密度を300〜600mJ/cm2(代表的には350〜500mJ/cm2)とすると良い。そして幅100〜1000μm、例えば400μmで線状に集光したレーザー光を基板全面に渡って照射し、この時の線状レーザー光の重ね合わせ率(オーバーラップ率)を80〜98%として行う。   In order to manufacture a crystalline semiconductor film by a laser annealing method, a pulse oscillation type or continuous light emission type excimer laser, YAG laser, or YVO4 laser is used. Laser light output from the laser oscillator is collected in a linear form by an optical system and irradiated onto the semiconductor film. The conditions for annealing are appropriately selected by the practitioner. When an excimer laser is used, the pulse oscillation frequency is 30 Hz, and the laser energy density is 100 to 400 mJ / cm 2 (typically 200 to 300 mJ / cm 2). . In the case of using a YAG laser, the second harmonic is used, the pulse oscillation frequency is set to 1 to 10 kHz, and the laser energy density is set to 300 to 600 mJ / cm 2 (typically 350 to 500 mJ / cm 2). Then, laser light condensed linearly with a width of 100 to 1000 μm, for example, 400 μm, is irradiated over the entire surface of the substrate, and the superposition ratio (overlap ratio) of the linear laser light at this time is 80 to 98%.

次いで、島状の半導体層403〜406を覆うゲート絶縁膜407を形成する。ゲート絶縁膜407はプラズマCVD法またはスパッタ法を用い、厚さを40〜150nmとしてシリコンを含む絶縁膜で形成する。本実施例では、120nmの厚さとして酸化窒化シリコン膜を形成する。勿論、ゲート絶縁膜407はこのような酸化窒化シリコン膜に限定されるものでなく、他のシリコンを含む絶縁膜を単層または積層構造として用いても良い。   Next, a gate insulating film 407 is formed to cover the island-shaped semiconductor layers 403 to 406. The gate insulating film 407 is formed of an insulating film containing silicon with a thickness of 40 to 150 nm by using a plasma CVD method or a sputtering method. In this embodiment, a silicon oxynitride film is formed with a thickness of 120 nm. Needless to say, the gate insulating film 407 is not limited to such a silicon oxynitride film, and another insulating film containing silicon may be used as a single layer or a stacked structure.

そして、ゲート絶縁膜407上にゲート電極を形成するための第1の導電膜408aと第2の導電膜408bとを形成する。本実施例では、第1の導電膜408aを窒化タンタルまたはチタンで50〜100nmの厚さに形成し、第2の導電膜408bをタングステンで100〜300nmの厚さに形成する。これらの材料は、窒素雰囲気中における400〜600℃の熱処理でも安定であり、抵抗率が著しく増大することがない。   Then, a first conductive film 408 a and a second conductive film 408 b for forming a gate electrode are formed over the gate insulating film 407. In this embodiment, the first conductive film 408a is formed with tantalum nitride or titanium to a thickness of 50 to 100 nm, and the second conductive film 408b is formed with tungsten to a thickness of 100 to 300 nm. These materials are stable even in heat treatment at 400 to 600 ° C. in a nitrogen atmosphere, and the resistivity does not increase remarkably.

次に図9(B)に示すように、レジストによるマスク409を形成し、ゲート電極を形成するための第1のエッチング処理を行う。エッチング方法に限定はないが、好適にはICP(Inductively Coupled Plasma:誘導結合型プラズマ)エッチング法を用いる。エッチング用ガスにCF4とCl2を混合し、0.5〜2Pa、好ましくは1Paの圧力でコイル型の電極に500WのRF(13.56MHz)電力を投入してプラズマを生成して行う。基板側(試料ステージ)にも100WのRF(13.56MHz)電力を投入し、実質的に負の自己バイアス電圧を印加する。CF4とCl2を混合した場合にはタングステン膜、窒化タンタル膜及びチタン膜の場合でも、それぞれ同程度の速度でエッチングすることができる。   Next, as shown in FIG. 9B, a resist mask 409 is formed, and a first etching process for forming a gate electrode is performed. There is no limitation on the etching method, but an ICP (Inductively Coupled Plasma) etching method is preferably used. CF4 and Cl2 are mixed in an etching gas, and 500 W of RF (13.56 MHz) power is supplied to the coil-type electrode at a pressure of 0.5 to 2 Pa, preferably 1 Pa, to generate plasma. 100 W RF (13.56 MHz) power is also applied to the substrate side (sample stage), and a substantially negative self-bias voltage is applied. When CF4 and Cl2 are mixed, etching can be performed at the same rate even in the case of a tungsten film, a tantalum nitride film, and a titanium film.

上記エッチング条件では、レジストによるマスクの形状と、基板側に印加するバイアス電圧の効果により端部をテーパー形状とすることができる。テーパー部の角度は25〜45度となるようにする。また、ゲート絶縁膜上に残渣を残すことなくエッチングするためには、10〜20%程度の割合でエッチング時間を増加させると良い。タングステンに対する酸化窒化シリコン膜の選択比は2〜4(代表的には3)であるので、オーバーエッチング処理により、酸化窒化シリコン膜が露出した面は20〜50nm程度エッチングされる。こうして、第1のエッチング処理により第1の導電膜と第2の導電膜から成る第1の形状の導電層410〜415(第1の導電膜410a〜415aと第2の導電膜410b〜415b)を形成する。416はゲート絶縁膜であり、第1の形状の導電層で覆われない領域は20〜50nm程度エッチングされ薄くなる。   Under the above etching conditions, the end portion can be tapered by the shape of the resist mask and the effect of the bias voltage applied to the substrate side. The angle of the tapered portion is set to 25 to 45 degrees. In order to etch without leaving a residue on the gate insulating film, it is preferable to increase the etching time at a rate of about 10 to 20%. Since the selection ratio of the silicon oxynitride film to tungsten is 2 to 4 (typically 3), the surface where the silicon oxynitride film is exposed is etched by about 20 to 50 nm by the over-etching process. Thus, the first shape conductive layers 410 to 415 (the first conductive films 410a to 415a and the second conductive films 410b to 415b) formed of the first conductive film and the second conductive film by the first etching treatment. Form. Reference numeral 416 denotes a gate insulating film, and a region not covered with the first shape conductive layer is etched and thinned by about 20 to 50 nm.

そして図9(C)に示すように、第1のドーピング処理を行いn型の不純物(ドナー)をドーピングする。ドーピングの方法はイオンドープ法若しくはイオン注入法で行う。イオンドープ法の条件はドーズ量を1×1013〜5×1014/cm2として行う。n型を付与する不純物元素として15族に属する元素、典型的にはリン(P)または砒素(As)を用いる。この場合、加速電圧を制御(例えば、20〜60keV)して、第1の形状の導電層をマスクとして利用する。こうして、第1の不純物領域417〜420を形成する。例えば、第1の不純物領域417〜420おけるn型の不純物の濃度は1×1020〜1×1021/cm3の範囲で形成する。   Then, as shown in FIG. 9C, a first doping process is performed to dope n-type impurities (donors). Doping is performed by ion doping or ion implantation. The ion doping method is performed with a dose amount of 1 × 10 13 to 5 × 10 14 / cm 2. As the impurity element imparting n-type, an element belonging to Group 15, typically phosphorus (P) or arsenic (As) is used. In this case, the acceleration voltage is controlled (for example, 20 to 60 keV), and the first shape conductive layer is used as a mask. Thus, first impurity regions 417 to 420 are formed. For example, the n-type impurity concentration in the first impurity regions 417 to 420 is formed in the range of 1 × 10 20 to 1 × 102 1 / cm 3.

図10(A)で示す第2のエッチング処理は、同様にICPエッチング装置を用い、エッチングガスにCF4とCl2とO2を混合して、1Paの圧力でコイル型の電極に500WのRF電力(13.56MHz)を供給してプラズマを生成する。基板側(試料ステージ)には50WのRF(13.56MHz)電力を投入し、第1のエッチング処理に比べ低い自己バイアス電圧を印加する。このような条件によりタングステン膜を異方性エッチングし、第1の導電層である窒化タンタル膜またはチタン膜を残存させるようにする。こうして、第2の形状の導電層421〜426(第1の導電膜421a〜426aと第2の導電膜421b〜426b)を形成する。ゲート絶縁膜は第2の形状の導電層421〜426で覆われない領域はさらに20〜50nm程度エッチングされて膜厚が薄くなる。   In the second etching process shown in FIG. 10A, similarly, using an ICP etching apparatus, CF 4, Cl 2, and O 2 are mixed in an etching gas, and RF power (500 W) is applied to a coil-type electrode at a pressure of 1 Pa. .56 MHz) to generate plasma. 50 W RF (13.56 MHz) power is applied to the substrate side (sample stage), and a lower self-bias voltage is applied than in the first etching process. Under such conditions, the tungsten film is anisotropically etched to leave the tantalum nitride film or titanium film as the first conductive layer. Thus, second shape conductive layers 421 to 426 (first conductive films 421a to 426a and second conductive films 421b to 426b) are formed. The region of the gate insulating film that is not covered with the second shape conductive layers 421 to 426 is further etched by about 20 to 50 nm to be thinned.

次いで、第2のドーピング処理を行う。第1のドーピング処理よりもドーズ量を下げ高加速電圧の条件でn型の不純物(ドナー)をドーピングする。例えば、加速電圧を70〜120keVとし、1×1013/cm2のドーズ量で行い、図9(C)で島状の半導体層に形成された第1の不純物領域の内側に第2の不純物領域427〜430を形成する。このドーピングは、第2の形状の導電層423b〜426bを不純物元素に対するマスクとして用い、第2の形状の導電層423a〜426aの下側の領域に不純物元素が添加されるようにドーピングする。この不純物領域は、第2の形状の導電層423a〜426aがほぼ同じ膜厚で残存していることから、第2の形状の導電層に沿った方向における濃度分布の差は小さく、1×1017〜1×1019/cm3の濃度でn型の不純物(ドナー)が含まれるように形成する。   Next, a second doping process is performed. The n-type impurity (donor) is doped under a condition of a high acceleration voltage with a lower dose than in the first doping process. For example, the acceleration voltage is set to 70 to 120 keV and the dose is 1 × 10 13 / cm 2, and the second impurity region 427 is formed inside the first impurity region formed in the island-shaped semiconductor layer in FIG. 9C. ˜430. In this doping, the second shape conductive layers 423b to 426b are used as masks against the impurity element, and doping is performed so that the impurity element is added to the lower region of the second shape conductive layers 423a to 426a. In this impurity region, the second shape conductive layers 423a to 426a remain with substantially the same film thickness, so that the difference in concentration distribution in the direction along the second shape conductive layer is small, and 1 × 10 17. An n-type impurity (donor) is included at a concentration of ˜1 × 10 19 / cm 3.

そして、図10(B)に示すように、第3のエッチング処理を行い、ゲート絶縁膜のエッチング処理を行う。その結果、第2の形状の導電層421a〜426aもエッチングされ、端部が後退して小さくなり、第3の形状の導電層431〜436(第1の導電膜431a〜436aと第2の導電膜431b〜436b)が形成される。437は残存するゲート絶縁膜であり、エッチングをさらに進めて半導体層の表面を露出させても良い。   Then, as shown in FIG. 10B, a third etching process is performed, and an etching process for the gate insulating film is performed. As a result, the second shape conductive layers 421a to 426a are also etched, and the end portions recede and become smaller, so that the third shape conductive layers 431 to 436 (the first conductive films 431a to 436a and the second conductive layers are reduced). Films 431b-436b) are formed. Reference numeral 437 denotes a remaining gate insulating film, which may be further etched to expose the surface of the semiconductor layer.

pチャネル型TFTに対しては、図10(C)に示すように、レジストマスク438、439を形成し、pチャネル型TFTを形成する島状の半導体層にp型の不純物(アクセプタ)をドーピングする。p型の不純物(アクセプタ)は13族に属する元素から選ばれ、典型的にはボロン(B)を用いる。第3の不純物領域440a〜440cの不純物濃度は2×1020〜2×1021/cm3となるようにする。第3の不純物領域にはリンが添加されているが、それ以上の濃度でボロンを添加して導電型を反転させておく。   For the p-channel TFT, as shown in FIG. 10C, resist masks 438 and 439 are formed, and an island-shaped semiconductor layer for forming the p-channel TFT is doped with a p-type impurity (acceptor). To do. The p-type impurity (acceptor) is selected from elements belonging to Group 13, and typically boron (B) is used. The impurity concentration of the third impurity regions 440a to 440c is set to 2 × 1020 to 2 × 1021 / cm 3. Although phosphorus is added to the third impurity region, boron is added at a concentration higher than that to reverse the conductivity type.

以上までの工程で半導体層に不純物領域が形成される。図10において、第3の形状の導電層433〜435はゲート電極となり、第3の形状の導電層436は容量配線となる。また、第3の形状の導電層431、432はソース線などの配線を形成する。   Through the above steps, impurity regions are formed in the semiconductor layer. In FIG. 10, the third shape conductive layers 433 to 435 serve as gate electrodes, and the third shape conductive layer 436 serves as a capacitor wiring. The third shape conductive layers 431 and 432 form wirings such as source lines.

次に、図11(A)では最初に、窒化シリコン膜(SiN:H)または酸化窒化シリコン膜(SiNxOy:H)から成る第1の絶縁膜441をプラズマCVD法で形成する。そして導電型の制御を目的としてそれぞれの島状の半導体層に添加された不純物元素を活性化する工程を行う。活性化はファーネスアニール炉を用いる熱アニール法で行うことが好ましい。その他に、レーザーアニール法、またはラピッドサーマルアニール法(RTA法)を適用することもできる。熱アニール法では酸素濃度が1ppm以下、好ましくは0.1ppm以下の窒素雰囲気中で400〜700℃、代表的には500〜600℃で行うものであり、本実施例では550℃で4時間の熱処理を行う。   Next, in FIG. 11A, first, a first insulating film 441 made of a silicon nitride film (SiN: H) or a silicon oxynitride film (SiNxOy: H) is formed by a plasma CVD method. Then, a step of activating the impurity element added to each island-like semiconductor layer is performed for the purpose of controlling the conductivity type. Activation is preferably performed by a thermal annealing method using a furnace annealing furnace. In addition, a laser annealing method or a rapid thermal annealing method (RTA method) can also be applied. In the thermal annealing method, the oxygen concentration is 1 ppm or less, preferably 0.1 ppm or less in a nitrogen atmosphere at 400 to 700 ° C., typically 500 to 600 ° C. In this example, the temperature is 550 ° C. for 4 hours. Heat treatment is performed.

その後、第1の絶縁膜441上に窒化シリコン膜(SiN:H)または酸化窒化シリコン膜(SiNxOy:H)から成る第2の絶縁膜442を形成する。そして、350〜500℃で熱処理を行う。第2の絶縁膜442から放出される水素により半導体膜の水素化を行う。   Thereafter, a second insulating film 442 made of a silicon nitride film (SiN: H) or a silicon oxynitride film (SiNxOy: H) is formed over the first insulating film 441. And heat processing is performed at 350-500 degreeC. The semiconductor film is hydrogenated with hydrogen released from the second insulating film 442.

さらに、図11(B)で示すように有機樹脂からなる第3の絶縁膜443を約1000nmの厚さに形成する。有機樹脂膜としては、ポリイミド、アクリル、ポリイミドアミド等を使用することができる。有機樹脂膜を用いることの利点は、成膜方法が簡単である点や、比誘電率が低いので、寄生容量を低減できる点、平坦性に優れる点などが上げられる。なお上述した以外の有機樹脂膜を用いることもできる。ここでは、基板に塗布後、熱重合するタイプのポリイミドを用い、300℃で焼成して形成する。   Further, as shown in FIG. 11B, a third insulating film 443 made of an organic resin is formed to a thickness of about 1000 nm. As the organic resin film, polyimide, acrylic, polyimide amide, or the like can be used. Advantages of using the organic resin film are that the film forming method is simple, the relative dielectric constant is low, the parasitic capacitance can be reduced, and the flatness is excellent. Organic resin films other than those described above can also be used. Here, after applying to the substrate, a thermal polymerization type polyimide is used and baked at 300 ° C.

次に、第3の絶縁膜443、第2の絶縁膜442、第1の絶縁膜441に、コンタクトホールを形成し、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、タンタル(Ta)などを用いて、接続電極451及びソースまたはドレイン配線444〜447を形成する。また、画素部においては、第1の画素電極450、ゲート配線449、接続電極448を形成する。   Next, contact holes are formed in the third insulating film 443, the second insulating film 442, and the first insulating film 441, and aluminum (Al), titanium (Ti), tantalum (Ta), or the like is used. Connection electrodes 451 and source or drain wirings 444 to 447 are formed. In the pixel portion, a first pixel electrode 450, a gate wiring 449, and a connection electrode 448 are formed.

こうして、同一の基板上にpチャネル型TFT453とnチャネル型TFT454が形成される。図11(B)ではpチャネル型TFT453とnチャネル型TFT454の断面図のみを示しているが、これらのTFTを用いて、本発明の表示装置が具備する薄膜トランジスタを同一基板上に形成することができる。   Thus, a p-channel TFT 453 and an n-channel TFT 454 are formed on the same substrate. FIG. 11B shows only a cross-sectional view of a p-channel TFT 453 and an n-channel TFT 454. By using these TFTs, a thin film transistor included in a display device of the present invention can be formed over the same substrate. it can.

本実施例で説明した薄膜トランジスタの構造はあくまで一実施例であり、図9〜11に示した作製工程及び構造に限定される必要はない。公知の薄膜トランジスタ作製方法によって、本発明の表示装置が具備する薄膜トランジスタを同一基板上に形成することができる。   The structure of the thin film transistor described in this embodiment is merely an embodiment, and is not necessarily limited to the manufacturing process and structure illustrated in FIGS. A thin film transistor included in the display device of the present invention can be formed over the same substrate by a known thin film transistor manufacturing method.

なお、本実施例は、本明細書中の他の実施の形態、実施例のいかなる記載とも自由に組み合わせて実施することが可能である。すなわちコントロール回路をソース線駆動回路とゲート線駆動回路と画素マトリクスを含む同一基板上に一体形成することにより、外部接続端子数を減少させ、外付け部品の実装面積を削減し低コスト化できる。また上記第コントロール回路の構成では、スタートパルス信号をクロック信号よりも遅延させるために、基板上に薄膜トランジスタで形成された遅延回路を設ける必要はないといった利点を得ることができる。   Note that this embodiment can be implemented freely combining with any description in the other embodiments and examples in this specification. That is, by integrally forming the control circuit on the same substrate including the source line driver circuit, the gate line driver circuit, and the pixel matrix, the number of external connection terminals can be reduced, the mounting area of external components can be reduced, and the cost can be reduced. Further, the configuration of the first control circuit can provide an advantage that it is not necessary to provide a delay circuit formed of a thin film transistor on the substrate in order to delay the start pulse signal from the clock signal.

本実施例では、アクティブマトリクス基板から、アクティブマトリクス型液晶表示装置を作製する工程を説明する。図12に示すように、図11(B)の状態の基板上に層間膜461、462を形成し、その上に第2の画素電極463を形成し、その上に配向膜551を形成する。本実施例では配向膜としてポリイミド膜を用いる。また、対向基板552には、透明導電膜553と、配向膜554とを形成する。なお、対向基板には必要に応じてカラーフィルターや遮蔽膜を形成しても良い。   In this embodiment, a process for manufacturing an active matrix liquid crystal display device from an active matrix substrate will be described. As shown in FIG. 12, interlayer films 461 and 462 are formed on the substrate in the state of FIG. 11B, a second pixel electrode 463 is formed thereon, and an alignment film 551 is formed thereon. In this embodiment, a polyimide film is used as the alignment film. A transparent conductive film 553 and an alignment film 554 are formed over the counter substrate 552. Note that a color filter or a shielding film may be formed on the counter substrate as necessary.

次に、配向膜を形成した後、ラビング処理を施して液晶分子がある一定のプレチルト角を持って配向するように調節する。そして、画素部と、駆動回路が形成されたアクティブマトリクス基板と対向基板とを、公知のセル組み工程によってシール材やスペーサ(共に図示せず)などを介して貼りあわせる。   Next, after forming an alignment film, a rubbing process is performed to adjust the liquid crystal molecules so that they are aligned with a certain pretilt angle. Then, the active matrix substrate on which the pixel portion, the drive circuit is formed, and the counter substrate are bonded to each other through a sealing material, a spacer (both not shown), and the like by a known cell assembling process.

その後、両基板の間に液晶555を注入し、封止材(図示せず)によって完全に封止する。液晶には公知の液晶材料を用いれば良い。このようにして図5に示すアクティブマトリクス型液晶表示装置が完成する。   Thereafter, liquid crystal 555 is injected between both substrates and completely sealed with a sealing material (not shown). A known liquid crystal material may be used for the liquid crystal. Thus, the active matrix type liquid crystal display device shown in FIG. 5 is completed.

次に、このアクティブマトリクス型液晶表示装置の構成を、図13の斜視図を用いて説明する。アクティブマトリクス基板は、ガラス基板701上に形成された、画素部702と、ゲート側駆動回路703と、ソース側駆動回路704で構成される。画素部の画素TFT705はnチャネル型TFTであり、画素電極706及び保持容量707に接続される。   Next, the configuration of the active matrix liquid crystal display device will be described with reference to the perspective view of FIG. The active matrix substrate includes a pixel portion 702, a gate side driver circuit 703, and a source side driver circuit 704 that are formed over a glass substrate 701. A pixel TFT 705 in the pixel portion is an n-channel TFT and is connected to the pixel electrode 706 and the storage capacitor 707.

また、周辺に設けられる本発明のコントロール回路713はFPCを介してゲート側駆動回路703と、ソース側駆動回路704に接続されている。ゲート側駆動回路703と、ソース側駆動回路704はそれぞれゲート配線708とソース配線709で画素部702に接続されている。また、FPC710が接続された外部入出力端子711にはコントロール回路713まで信号を伝達するための入出力配線(接続配線)712が設けられている。また、614は対向基板である。   Further, the control circuit 713 of the present invention provided in the periphery is connected to the gate side driving circuit 703 and the source side driving circuit 704 through the FPC. The gate side driver circuit 703 and the source side driver circuit 704 are connected to the pixel portion 702 through a gate wiring 708 and a source wiring 709, respectively. The external input / output terminal 711 to which the FPC 710 is connected is provided with an input / output wiring (connection wiring) 712 for transmitting a signal to the control circuit 713. Reference numeral 614 denotes a counter substrate.

本実施例で説明したアクティブマトリクス型液晶表示装置の構成はあくまで一実施例であり、図12、図13に示した構造に限定される必要はない。公知のアクティブマトリクス型液晶表示装置の作製方法によって、本発明の表示装置を得ればよい。   The configuration of the active matrix liquid crystal display device described in this embodiment is merely an embodiment, and is not necessarily limited to the structure shown in FIGS. The display device of the present invention may be obtained by a known method for manufacturing an active matrix liquid crystal display device.

なお、本実施例は、本明細書中の他の実施の形態、実施例のいかなる記載とも自由に組み合わせて実施することが可能である。すなわちコントロール回路をソース線駆動回路とゲート線駆動回路と画素マトリクスを含む同一基板上に一体形成することにより、外部接続端子数を減少させ、外付け部品の実装面積を削減し低コスト化できる。また上記第コントロール回路の構成では、スタートパルス信号をクロック信号よりも遅延させるために、TFT基板上に遅延回路を設ける必要はないといった利点を得ることができる。   Note that this embodiment can be implemented freely combining with any description in the other embodiments and examples in this specification. That is, by integrally forming the control circuit on the same substrate including the source line driver circuit, the gate line driver circuit, and the pixel matrix, the number of external connection terminals can be reduced, the mounting area of external components can be reduced, and the cost can be reduced. Further, the configuration of the first control circuit can provide an advantage that it is not necessary to provide a delay circuit on the TFT substrate in order to delay the start pulse signal from the clock signal.

本実施例では、薄膜トランジスタで構成された副画素を有する画素の等価回路と、その動作について説明する。ここでは画素にEL素子に代表される発光素子を有する構成について説明する。   In this embodiment, an equivalent circuit of a pixel having a sub-pixel formed of a thin film transistor and its operation will be described. Here, a structure in which a pixel includes a light-emitting element typified by an EL element is described.

図14には、発光素子2001と、ビデオ信号が入力される信号線2002、ビデオ信号の画素への入力を制御するスイッチング用のトランジスタ2003、発光素子2001の発光または非発光を制御する駆動用のトランジスタ2004、ビデオ信号の電位を保持するための容量素子2005を有する副画素の等価回路を示す。各トランジスタの特性はエンハンスメント型、又はディプリーション型トランジスタを用いることができる。   FIG. 14 shows a light emitting element 2001, a signal line 2002 to which a video signal is input, a switching transistor 2003 for controlling input of the video signal to a pixel, and a driving transistor for controlling light emission or non-light emission of the light emitting element 2001. An equivalent circuit of a subpixel including a transistor 2004 and a capacitor 2005 for holding a potential of a video signal is shown. For the characteristics of each transistor, an enhancement type or a depletion type transistor can be used.

本実施の形態では、スイッチング用のトランジスタ2003をnチャネル型トランジスタ、駆動用トランジスタ2004をpチャネル型トランジスタとする。   In this embodiment mode, the switching transistor 2003 is an n-channel transistor, and the driving transistor 2004 is a p-channel transistor.

容量素子2005は、駆動用トランジスタ2004のゲート容量が大きく、各トランジスタからのリーク電流が許容範囲である場合、設ける必要はない。   The capacitor 2005 is not necessarily provided when the gate capacitance of the driving transistor 2004 is large and the leakage current from each transistor is within an allowable range.

このような画素構成の接続関係を示す。スイッチング用トランジスタ2003のゲート電極は走査線2006に接続され、第1の電極は信号線2002に接続され、第2の電極は駆動用トランジスタ2004のゲート電極に接続されている。駆動用トランジスタ2004の第1の電極は電源線2007に接続され、駆動用トランジスタ2004のゲート・ソース間には容量素子2005が設けられている。容量素子2005はスイッチング用トランジスタ2003が非選択状態(オフ状態)にあるとき、駆動用トランジスタ2004のゲート・ソース間の電位差を保持する、つまりビデオ信号の電位を保持するように接続されている。そのため、容量素子の一方の電極は駆動用トランジスタ2004のゲート電極に接続され、他方の電極は電源線2007に接続されている。   A connection relationship of such a pixel configuration is shown. A gate electrode of the switching transistor 2003 is connected to the scanning line 2006, a first electrode is connected to the signal line 2002, and a second electrode is connected to the gate electrode of the driving transistor 2004. A first electrode of the driving transistor 2004 is connected to the power supply line 2007, and a capacitor element 2005 is provided between the gate and the source of the driving transistor 2004. The capacitor element 2005 is connected so as to hold the potential difference between the gate and the source of the driving transistor 2004, that is, hold the potential of the video signal when the switching transistor 2003 is in a non-selected state (off state). Therefore, one electrode of the capacitor is connected to the gate electrode of the driving transistor 2004, and the other electrode is connected to the power supply line 2007.

このような副画素を多数有し、各発光素子からの発光面積を制御する面積階調表示を行なう。   There are a large number of such sub-pixels, and area gradation display for controlling the light-emitting area from each light-emitting element is performed.

次に副画素における各トランジスタの具体的な動作について、図15に示すタイミングチャートを用いて説明する。なお図21(A)は、縦軸は走査線、横軸は時間のときのタイミングチャートを示し、図15(B)はj行目の走査線Gjのタイミングチャートを示す。   Next, specific operation of each transistor in the sub-pixel will be described with reference to a timing chart shown in FIG. Note that FIG. 21A shows a timing chart when the vertical axis indicates scanning lines and the horizontal axis indicates time, and FIG. 15B shows timing charts for the j-th scanning line Gj.

表示装置は、そのフレーム周波数を通常60Hz程度とする。つまり、1秒間に60回程度の画面の描画が行われ、画面の描画を1回行なう期間を1フレーム期間(単位フレーム期間)と呼ぶ。副画素は図15(A)に示すように、1フレーム期間に、書き込み期間Ta、発光期間Tsとを行なう。   The display device normally has a frame frequency of about 60 Hz. In other words, the screen drawing is performed about 60 times per second, and the period in which the screen is drawn once is called one frame period (unit frame period). As shown in FIG. 15A, the sub-pixel performs a writing period Ta and a light emitting period Ts in one frame period.

書き込み期間Taにおいて、順次走査線2006が選択されると、走査線2006に接続されているスイッチング用トランジスタ2003がオンとなる。そしてスイッチング用トランジスタ2003がオンとなると、信号線から入力されるビデオ信号によって容量素子2005に電荷が蓄積される。この電荷が駆動用トランジスタ2004のしきい値電圧Vth以上となると、駆動用トランジスタ2004がオンとなり、発光素子2001が発光する。   When the scanning line 2006 is sequentially selected in the writing period Ta, the switching transistor 2003 connected to the scanning line 2006 is turned on. When the switching transistor 2003 is turned on, electric charge is accumulated in the capacitor 2005 by a video signal input from the signal line. When this charge is equal to or higher than the threshold voltage Vth of the driving transistor 2004, the driving transistor 2004 is turned on and the light emitting element 2001 emits light.

そして発光素子2001は、供給される電流に見合った輝度で発光し、発光期間Tsとなる。   The light emitting element 2001 emits light with luminance corresponding to the supplied current, and the light emission period Ts.

発光期間Tsでは、走査線2006の電位を制御することでスイッチング用トランジスタ2003をオフとし、書き込み期間Taにおいて書き込まれたビデオ信号の電位を容量素子2005により保持している。その結果、発光素子2001は発光し続ける。   In the light emission period Ts, the switching transistor 2003 is turned off by controlling the potential of the scanning line 2006, and the potential of the video signal written in the writing period Ta is held by the capacitor 2005. As a result, the light emitting element 2001 continues to emit light.

また書き込み期間Taにおいて、信号線から入力されるビデオ信号によって駆動用トランジスタ2004がオフとなる場合、発光期間Tsでは、容量素子2005には電位が保持されていないため、発光素子は非発光となっている。   In the writing period Ta, when the driving transistor 2004 is turned off by a video signal input from the signal line, the capacitor 2005 does not hold a potential in the light emitting period Ts, and thus the light emitting element does not emit light. ing.

すなわち、書き込み期間Taにおいて駆動用トランジスタ2004をオンとする場合、発光期間Tsではビデオ信号の電位が容量素子2005によって保持されているので、発光し続けている。逆に、書き込み期間Taにおいて駆動用トランジスタ2004をオフとする場合、発光期間Tsではビデオ信号の電位は容量素子2005によって保持されず、非発光となっている。   That is, when the driving transistor 2004 is turned on in the writing period Ta, the video signal potential is held in the capacitor element 2005 in the light emission period Ts, and thus light emission continues. On the other hand, in the case where the driving transistor 2004 is turned off in the writing period Ta, the potential of the video signal is not held by the capacitor 2005 in the light emission period Ts and is not light emitting.

このように、発光素子を発光、又は非発光とすることにより階調表示を行なう。特に、各副画素における発光素子からの発光面積に重みをつけた状態で、発光素子を発光、又は非発光とすることにより面積階調表示を行なう。   In this manner, gradation display is performed by making the light emitting element emit light or not emit light. In particular, area gradation display is performed by making the light emitting element emit light or not emit light in a state where the light emitting area from the light emitting element in each sub-pixel is weighted.

なお、本実施例は、本明細書中の他の実施の形態、実施例のいかなる記載とも自由に組み合わせて実施することが可能である。すなわちコントロール回路をソース線駆動回路とゲート線駆動回路と画素マトリクスを含む同一基板上に一体形成することにより、外部接続端子数を減少させ、外付け部品の実装面積を削減し低コスト化できる。また上記第コントロール回路の構成では、スタートパルス信号をクロック信号よりも遅延させるために、TFT基板上に遅延回路を設ける必要はないといった利点を得ることができる。   Note that this embodiment can be implemented freely combining with any description in the other embodiments and examples in this specification. That is, by integrally forming the control circuit on the same substrate including the source line driver circuit, the gate line driver circuit, and the pixel matrix, the number of external connection terminals can be reduced, the mounting area of external components can be reduced, and the cost can be reduced. Further, the configuration of the first control circuit can provide an advantage that it is not necessary to provide a delay circuit on the TFT substrate in order to delay the start pulse signal from the clock signal.

本実施例では、図14に示す画素回路に対応する上面図について説明する。   In this embodiment, a top view corresponding to the pixel circuit shown in FIG. 14 will be described.

図14に相当する上面図を示す図16(A)には、信号線2401、電源線2409、走査線2408、スイッチング用のトランジスタ2403、駆動用のトランジスタ2404、第1の副画素の発光素子の第1電極2407a、第1の副画素の発光素子2410a、第2の副画素の発光素子の第1電極2407b、第1の副画素の発光素子2410b、容量素子2406a、2406b、グラウンド線GNDを示す。また、図16(A)に示す条面図に対応する回路図を図16(B)に示す。なお、本実施例では容量素子について容量素子2406a、2406bの複数の構成としたがどちらか一方であってもよいし、設けなくてもよい。   FIG. 16A showing a top view corresponding to FIG. 14 shows a signal line 2401, a power supply line 2409, a scanning line 2408, a switching transistor 2403, a driving transistor 2404, and a light emitting element of the first subpixel. The first electrode 2407a, the light emitting element 2410a of the first subpixel, the first electrode 2407b of the light emitting element of the second subpixel, the light emitting element 2410b of the first subpixel, the capacitor elements 2406a and 2406b, and the ground line GND are shown. . FIG. 16B shows a circuit diagram corresponding to the strip view shown in FIG. Note that in this embodiment, the capacitor element has a plurality of capacitor elements 2406a and 2406b, but either one may be provided or may not be provided.

図16において、各トランジスタがトップゲート構造の場合は、基板、半導体層、ゲート絶縁膜、走査線、層間絶縁膜、信号線、の順で膜が構成される。ボトムゲート構造の場合は、基板、走査線、ゲート絶縁膜、半導体層、層間絶縁膜、信号線、の順で膜が構成される。   In FIG. 16, when each transistor has a top gate structure, a film is formed in the order of a substrate, a semiconductor layer, a gate insulating film, a scanning line, an interlayer insulating film, and a signal line. In the case of the bottom gate structure, the film is formed in the order of the substrate, the scanning line, the gate insulating film, the semiconductor layer, the interlayer insulating film, and the signal line.

図24では、信号線2401と平行して、電源線2409が形成されている。そのため、信号線2408、電源線2409は同一導電膜をパターニングして得る。   In FIG. 24, a power supply line 2409 is formed in parallel with the signal line 2401. Therefore, the signal line 2408 and the power supply line 2409 are obtained by patterning the same conductive film.

スイッチング用のトランジスタ2403は半導体膜に対して二つのゲート電極が設けられたダブルゲート型構造を有し、走査線2408の一部がこれらゲート電極として機能している。またスイッチング用のトランジスタ2403の第1の電極は、コンタクトホールを介して信号線2401と接続され、第2の電極は、容量素子2406a、2406bと接続している。さらに容量素子2406bの一方の電極は、駆動用のトランジスタ2404のゲート電極と同一導電膜から構成され、他方の電極に相当する半導体膜は、電源線2409とコンタクトホールを介して接続されている。   The switching transistor 2403 has a double gate structure in which two gate electrodes are provided for a semiconductor film, and part of the scanning line 2408 functions as these gate electrodes. The first electrode of the switching transistor 2403 is connected to the signal line 2401 through a contact hole, and the second electrode is connected to the capacitor elements 2406a and 2406b. Further, one electrode of the capacitor 2406b is formed using the same conductive film as the gate electrode of the driving transistor 2404, and a semiconductor film corresponding to the other electrode is connected to the power supply line 2409 through a contact hole.

駆動用のトランジスタ2404のゲート電極は、固定電位を有する電源線2409とコンタクトホールを介して接続され、第2の電極は、信号線と同一導電膜により形成された配線と接続され、当該配線上に発光素子の第1電極2407及び2407bが形成され、接続している。配線と陽極は、コンタクトホールを介して接続されてもよい。   A gate electrode of the driving transistor 2404 is connected to a power supply line 2409 having a fixed potential through a contact hole, and a second electrode is connected to a wiring formed using the same conductive film as the signal line. The first electrodes 2407 and 2407b of the light emitting element are formed and connected to each other. The wiring and the anode may be connected via a contact hole.

なお、スイッチングトランジスタ2403、及び駆動用のトランジスタ2404のチャネル形成領域が、各々2つ形成されるダブルゲート構造について説明したが、チャネル形成領域が一つ形成されるシングルゲート構造または三つ形成されるトリプルゲート構造であってもよい。あるいは、チャネル形成領域の上下にゲート絶縁膜を介して配置された2つのゲート電極を有するデュアルゲート型やその他の構造としてもよい。   Note that although a double gate structure in which two channel formation regions of the switching transistor 2403 and the driving transistor 2404 are formed has been described, a single gate structure in which one channel formation region is formed or three channel formation regions are formed. A triple gate structure may be used. Alternatively, a dual gate type or other structure having two gate electrodes disposed above and below the channel formation region with a gate insulating film interposed therebetween may be used.

発光素子の陽極は、ITO(indium tin oxide:インジウム錫酸化物)を代表とする透明導電膜から形成され、その面積比は2407a:2407b=1:2となるように設けられ、陽極上には電界発光層、及び陰極を形成する。そして、信号線2401から入力されるビデオ信号に基づき、電界発光層は発光状態、又は非発光状態となる。その発光面積に1:2と重みをつけて、その選択により面積階調表示を行なう。   The anode of the light-emitting element is formed of a transparent conductive film typified by ITO (indium tin oxide), and the area ratio thereof is 2407a: 2407b = 1: 2, provided on the anode. An electroluminescent layer and a cathode are formed. Then, based on the video signal input from the signal line 2401, the electroluminescent layer enters a light emitting state or a non-light emitting state. The light emission area is weighted 1: 2, and area gradation display is performed by selection.

なお、本発明の表示装置の画素周辺における配線の構成は多岐にわたり、本明細書に列挙した構成に特に限定されないものであることを付記する。   Note that the configuration of the wiring around the pixel of the display device of the present invention is wide-ranging and is not particularly limited to the configuration listed in this specification.

なお、本実施例は、本明細書中の他の実施の形態、実施例のいかなる記載とも自由に組み合わせて実施することが可能である。すなわちコントロール回路をソース線駆動回路とゲート線駆動回路と画素マトリクスを含む同一基板上に一体形成することにより、外部接続端子数を減少させ、外付け部品の実装面積を削減し低コスト化できる。また上記第コントロール回路の構成では、スタートパルス信号をクロック信号よりも遅延させるために、TFT基板上に遅延回路を設ける必要はないといった利点を得ることができる。   Note that this embodiment can be implemented freely combining with any description in the other embodiments and examples in this specification. That is, by integrally forming the control circuit on the same substrate including the source line driver circuit, the gate line driver circuit, and the pixel matrix, the number of external connection terminals can be reduced, the mounting area of external components can be reduced, and the cost can be reduced. Further, the configuration of the first control circuit can provide an advantage that it is not necessary to provide a delay circuit on the TFT substrate in order to delay the start pulse signal from the clock signal.

本実施の形態では、副画素の断面の拡大図を示す。なお本実施の形態では、トランジスタとして多結晶シリコンを有する薄膜トランジスタ(TFT)を用いる場合で説明する。勿論、本発明の表示装置において、トランジスタは多結晶シリコンで形成されたものに限定されるものではなく、アモルファスシリコン等の半導体特性を有する化合物であればよいことを付記する。   In this embodiment mode, an enlarged view of a cross section of a subpixel is shown. Note that in this embodiment, the case where a thin film transistor (TFT) including polycrystalline silicon is used as a transistor is described. Needless to say, in the display device of the present invention, the transistor is not limited to the one formed of polycrystalline silicon, but may be any compound having semiconductor characteristics such as amorphous silicon.

図17(A)に示すように、絶縁表面を有する基板2800に設けられたpチャネル型の駆動用のトランジスタ2801は、レーザ照射や加熱による結晶化処理、或いはニッケル、チタンなどの金属元素の触媒作用を用いて結晶化処理が行われた結晶性半導体膜を有する。半導体膜上にはゲート絶縁膜を介してゲート電極及びゲート線が設けられており、ゲート電極下の半導体膜がチャネル形成領域となる。ゲート電極をマスクとして自己整合的にボロン等の不純物元素を半導体膜に添加し、ソース領域及びドレイン領域となる不純物領域が形成される。ゲート電極を覆うように第1の絶縁膜が設けられており、第1の絶縁膜には不純物領域上にコンタクトホールが形成されている。コンタクトホールには配線が形成され、ソース配線及びドレイン配線として機能している。ドレイン電極と電気的に接続するように、発光素子の第1電極2811が設けられる。そして、第1電極2811を覆うように第2の絶縁膜が設けられ、第2の絶縁膜の第1電極上に開口部を形成する。開口部には、電界発光層2812が設けられ、電界発光層や第2の絶縁膜を覆うように発光素子の第2電極2813が設けられる。   As shown in FIG. 17A, a p-channel driver transistor 2801 provided over a substrate 2800 having an insulating surface includes a crystallization treatment by laser irradiation or heating, or a catalyst for a metal element such as nickel or titanium. A crystalline semiconductor film which has been crystallized by using the action; A gate electrode and a gate line are provided over the semiconductor film via a gate insulating film, and the semiconductor film under the gate electrode becomes a channel formation region. An impurity element such as boron is added to the semiconductor film in a self-aligning manner using the gate electrode as a mask, so that impurity regions to be a source region and a drain region are formed. A first insulating film is provided so as to cover the gate electrode, and a contact hole is formed in the first insulating film over the impurity region. A wiring is formed in the contact hole and functions as a source wiring and a drain wiring. A first electrode 2811 of the light emitting element is provided so as to be electrically connected to the drain electrode. Then, a second insulating film is provided so as to cover the first electrode 2811, and an opening is formed on the first electrode of the second insulating film. An electroluminescent layer 2812 is provided in the opening, and a second electrode 2813 of the light emitting element is provided so as to cover the electroluminescent layer and the second insulating film.

電界発光層2812は、第1電極2811側から順に、HIL(ホール注入層)、HTL(ホール輸送層)、EML(発光層)、ETL(電子輸送層)、EIL(電子注入層)の順に積層されている。代表的には、HILとしてCuPc、HTLとしてα−NPD、ETLとしてBCP、EILとしてBCP:Liをそれぞれ用いる。   The electroluminescent layer 2812 is stacked in the order of HIL (hole injection layer), HTL (hole transport layer), EML (light emitting layer), ETL (electron transport layer), and EIL (electron injection layer) in this order from the first electrode 2811 side. Has been. Typically, CuPc is used as HIL, α-NPD is used as HTL, BCP is used as ETL, and BCP: Li is used as EIL.

また、電界発光層2812として、フルカラー表示とする場合、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の発光を示す材料を、それぞれ蒸着マスクを用いた蒸着法、またはインクジェット法などによって選択的に形成すればよい。具体的には、HILとしてCuPcやPEDOT、HTLとしてα−NPD、ETLとしてBCPやAlq3、EILとしてBCP:LiやCaF2をそれぞれ用いる。また例えばEMLは、R、G、Bのそれぞれの発光色に対応したドーパント(Rの場合DCM等、Gの場合DMQD等)をドープしたAlq3を用いればよい。なお、上記電界発光層の積層構造に限定されない。   In the case of full-color display as the electroluminescent layer 2812, materials that emit red (R), green (G), and blue (B) light are selected by an evaporation method using an evaporation mask, an inkjet method, or the like. It may be formed automatically. Specifically, CuPc or PEDOT is used as HIL, α-NPD is used as HTL, BCP or Alq3 is used as ETL, and BCP: Li or CaF2 is used as EIL. In addition, for example, EML may be Alq3 doped with a dopant corresponding to each emission color of R, G, and B (DCM for R, DMQD for G, etc.). Note that the present invention is not limited to the stacked structure of the electroluminescent layer.

より具体的な電界発光層の積層構造は、赤色の発光を示す電界発光層2812を形成する場合、例えば、CuPcを30nmし、α−NPDを60nmした後、同一のマスクを用いて、赤色の発光層としてDCM2及びルブレンが添加されたAlq3を40nmし、電子輸送層としてBCPを40nmし、電子注入層としてLiが添加されたBCPを1nmする。また、緑色の発光を示す電界発光層2812を形成する場合、例えば、CuPcを30nmし、α―NPDを60nmした後、同一の蒸着マスクを用いて、緑色の発光層としてクマリン545Tが添加されたAlq3を40nm、電子輸送層としてBCPを40nmし、電子注入層としてLiが添加されたBCPを1nmする。また、青色の発光を示す電界発光層2812を形成する場合、例えば、CuPcを30nmし、α−NPDを60nmした後、同一のマスクを用いて発光層としてビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ベンゾオキサゾラト]亜鉛:Zn(PBO)2を10nmし、電子輸送層としてBCPを40nmし、電子注入層としてLiが添加されたBCPを1nmする。   More specifically, in the case of forming the electroluminescent layer 2812 that emits red light, for example, after forming CuPc to 30 nm and α-NPD to 60 nm, the same mask is used to form a red light emitting layer 2812 that emits red light. Alq3 to which DCM2 and rubrene are added is 40 nm as the light emitting layer, BCP is 40 nm as the electron transport layer, and BCP to which Li is added is 1 nm as the electron injection layer. In the case of forming the electroluminescent layer 2812 that emits green light, for example, CuPc was 30 nm and α-NPD was 60 nm, and then coumarin 545T was added as a green light-emitting layer using the same vapor deposition mask. Alq3 is 40 nm, BCP is 40 nm as an electron transport layer, and BCP to which Li is added is 1 nm as an electron injection layer. In the case of forming the electroluminescent layer 2812 that emits blue light, for example, after CuPc is 30 nm and α-NPD is 60 nm, bis [2- (2-hydroxyphenyl) is used as the light-emitting layer using the same mask. Benzoxazolate] zinc: Zn (PBO) 2 is 10 nm, BCP is 40 nm as an electron transport layer, and BCP to which Li is added is 1 nm as an electron injection layer.

以上、各色の電界発光層のうち、共通しているCuPcやα−NPDは、画素部全面に形成することができる。またマスクは、各色で共有することもでき、例えば、赤色の電界発光層を形成後、マスクをずらして、緑色の電界発光層、再度マスクをずらして青色の電界発光層を形成することができる。形成する各色の電界発光層の順序は適宜設定すればよい。   As described above, among the electroluminescent layers of the respective colors, common CuPc and α-NPD can be formed on the entire surface of the pixel portion. The mask can also be shared by each color. For example, after forming a red electroluminescent layer, the mask can be shifted to form a green electroluminescent layer, and the mask can be shifted again to form a blue electroluminescent layer. . What is necessary is just to set suitably the order of the electroluminescent layer of each color to form.

また白色の発光を示す電界発光層を形成する場合、カラーフィルター、又はカラーフィルター及び色変換層などを別途設けることによってフルカラー表示を行なうことができる。カラーフィルターや色変換層は、第2の基板に設けた後、張り合わせればよい。   When an electroluminescent layer that emits white light is formed, full color display can be performed by separately providing a color filter or a color filter and a color conversion layer. The color filter and the color conversion layer may be attached after being provided over the second substrate.

また第1電極との仕事関数を考慮して材料を選択する。例えば、第1電極を陽極とし、第2電極を陰極とする場合で説明する。   The material is selected in consideration of the work function with the first electrode. For example, the case where the first electrode is an anode and the second electrode is a cathode will be described.

第1電極としては、仕事関数の大きい(仕事関数4.0eV)金属、合金、電気伝導性化合物、およびこれらの混合物などを用いることが好ましい。具体例な材料としては、ITO(indium tin oxide)、酸化インジウムに2〜20%の酸化亜鉛(ZnO)を混合したIZO(indium zinc oxide)の他、金(Au)、白金(Pt)、ニッケル(Ni)、タングステン(W)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、銅(Cu)、パラジウム(Pd)、または金属材料の窒化物(TiN)等を用いることができる。   As the first electrode, it is preferable to use a metal, an alloy, an electrically conductive compound, a mixture thereof, or the like having a high work function (work function 4.0 eV). Specific examples include ITO (indium tin oxide), indium oxide mixed with 2-20% zinc oxide (ZnO), IZO (indium zinc oxide), gold (Au), platinum (Pt), nickel. (Ni), tungsten (W), chromium (Cr), molybdenum (Mo), iron (Fe), cobalt (Co), copper (Cu), palladium (Pd), or metal nitride (TiN), etc. Can be used.

一方、第2電極としては、仕事関数の小さい(仕事関数3.8eV以下)金属、合金、電気伝導性化合物、およびこれらの混合物などを用いることが好ましい。具体的な材料としては、元素周期律の1族または2族に属する元素、すなわちLiやCs等のアルカリ金属、およびMg、Ca、Sr等のアルカリ土類金属、およびこれらを含む合金(Mg:Ag、Al:Li)や化合物(LiF、CsF、CaF2)の他、希土類金属を含む遷移金属を用いて形成することができる。但し、第2の電極は透光性を有するため、これら金属、又はこれら金属を含む合金を非常に薄く形成し、ITO等の金属(合金を含む)との積層により形成する。   On the other hand, it is preferable to use a metal, an alloy, an electrically conductive compound, a mixture thereof, or the like having a low work function (work function of 3.8 eV or less) as the second electrode. Specific materials include elements belonging to Group 1 or Group 2 of the element periodic rule, that is, alkali metals such as Li and Cs, and alkaline earth metals such as Mg, Ca, and Sr, and alloys containing these (Mg: In addition to Ag, Al: Li) and compounds (LiF, CsF, CaF2), transition metals including rare earth metals can be used. However, since the second electrode has a light-transmitting property, the metal or an alloy including these metals is formed very thin and is formed by stacking with a metal (including an alloy) such as ITO.

これら第1電極、及び第2電極は蒸着法、スパッタリング法等により形成することができる。 These first electrode and second electrode can be formed by vapor deposition, sputtering, or the like.

但し画素構成により、第1電極及び第2電極のいずれも陽極、又は陰極となりうる。例えば、駆動用のトランジスタの極性をnチャネル型とし、第1の電極を陰極、第2の電極と陽極とすることができる。   However, depending on the pixel configuration, both the first electrode and the second electrode can be an anode or a cathode. For example, the polarity of a driving transistor can be an n-channel type, the first electrode can be a cathode, and the second electrode and an anode.

その後、窒素を含むパッシベーション膜2814をスパッタリング法やCVD法により形成し、水分や酸素の侵入を防止する。このとき形成される空間には、窒素を封入し、さらに乾燥剤を配置してもよい。また透光性を有し、吸水性の高い樹脂を充填してもよい。さらに第1電極、第2電極、その他の電極により、表示手段の側面を覆って酸素や水分の侵入を防ぐこともできる。その後、封止基板2815を張り合わせる。   After that, a passivation film 2814 containing nitrogen is formed by a sputtering method or a CVD method to prevent moisture and oxygen from entering. In the space formed at this time, nitrogen may be sealed and a desiccant may be further disposed. Further, a resin having translucency and high water absorption may be filled. Furthermore, the first electrode, the second electrode, and other electrodes can cover the side surface of the display means to prevent oxygen and moisture from entering. After that, the sealing substrate 2815 is attached.

またコントラストを高めるため、偏光板又は円偏光板を設けてもよい。例えば、表示面の一面又は両面に偏光板、若しくは円偏光板を設けることができる。   In order to increase the contrast, a polarizing plate or a circular polarizing plate may be provided. For example, a polarizing plate or a circularly polarizing plate can be provided on one surface or both surfaces of the display surface.

このように形成された副画素を有する表示装置は、第1電極2811及び第2電極2813が透光性を有する。そのため、信号線から入力されるビデオ信号に応じた輝度で発光素子から光が両矢印方向に射出する。   In the display device including the sub-pixel formed as described above, the first electrode 2811 and the second electrode 2813 have a light-transmitting property. Therefore, light is emitted from the light emitting element in the direction of the double arrow with a luminance corresponding to the video signal input from the signal line.

図17(A)のように、発光素子を有する副画素の発光面積、つまり透明導電膜の面積に重みをつける面積階調表示であって、両方向に光が射出される表示装置は、設計上、透明導電膜の面積を大きくすることができる。その結果、非発光状態での透過率を高くすることができ好ましい。   As shown in FIG. 17A, an area gradation display that weights the light emitting area of a sub-pixel having a light emitting element, that is, the area of a transparent conductive film, in which light is emitted in both directions, is designed. The area of the transparent conductive film can be increased. As a result, the transmittance in a non-light emitting state can be increased, which is preferable.

図17(B)は、光の射出方向が封止基板2815側のみである。そのため第1電極2811は非透光性、好ましくは反射性の高い導電膜とし、第2電極2813は透光性を有する導電膜とする。その他の構成は図17(A)と同様であるため説明を省略する。   In FIG. 17B, the light emission direction is only on the sealing substrate 2815 side. Therefore, the first electrode 2811 is a light-transmitting conductive film, preferably a highly reflective conductive film, and the second electrode 2813 is a light-transmitting conductive film. The description of other structures is omitted because it is similar to that of FIG.

図17(C)は、光の射出方向が基板2800側のみである。そのため第1電極2811は透光性を有する導電膜とし、第2電極2813は非透光性、好ましくは反射性の高い導電膜とする。その他の構成は図17(A)と同様であるため説明を省略する。   In FIG. 17C, the light emission direction is only on the substrate 2800 side. Therefore, the first electrode 2811 is a light-transmitting conductive film, and the second electrode 2813 is a light-transmitting conductive film, preferably a highly reflective conductive film. The description of other structures is omitted because it is similar to that of FIG.

図17(B)、図17(C)のように、光の射出方向とならない側に設けられた発光素子の電極に、反射性の高い導電膜を用いることにより光を有効利用することができる。   As shown in FIGS. 17B and 17C, light can be effectively used by using a highly reflective conductive film for the electrode of the light-emitting element provided on the side not corresponding to the light emission direction. .

本実施例において、透光性を有する導電膜を得るためには、非透光性を有する導電膜を、透光性を有するように薄く形成し、その上に透光性を有する導電膜を積層してもよい。   In this embodiment, in order to obtain a light-transmitting conductive film, a light-transmitting conductive film is formed thin so as to have light-transmitting properties, and a light-transmitting conductive film is formed thereover. You may laminate.

なお、本実施例は、本明細書中の他の実施の形態、実施例のいかなる記載とも自由に組み合わせて実施することが可能である。すなわちコントロール回路をソース線駆動回路とゲート線駆動回路と画素マトリクスを含む同一基板上に一体形成することにより、外部接続端子数を減少させ、外付け部品の実装面積を削減し低コスト化できる。また上記第コントロール回路の構成では、スタートパルス信号をクロック信号よりも遅延させるために、TFT基板上に遅延回路を設ける必要はないといった利点を得ることができる。   Note that this embodiment can be implemented freely combining with any description in the other embodiments and examples in this specification. That is, by integrally forming the control circuit on the same substrate including the source line driver circuit, the gate line driver circuit, and the pixel matrix, the number of external connection terminals can be reduced, the mounting area of external components can be reduced, and the cost can be reduced. Further, the configuration of the first control circuit can provide an advantage that it is not necessary to provide a delay circuit on the TFT substrate in order to delay the start pulse signal from the clock signal.

本実施例においては、本発明の表示装置を表示部に有する電子機器の構成例について説明する。 In this embodiment, a structural example of an electronic device having the display device of the present invention in a display portion will be described.

発光素子を含む画素領域を備えた表示装置を用いた電子機器として、テレビジョン装置(テレビ、テレビジョン受信機)、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、携帯電話装置(携帯電話機)、PDA等の携帯情報端末、携帯型ゲーム機、モニター、コンピュータ、カーオーディオ等の音響再生装置、家庭用ゲーム機等の記録媒体を備えた画像再生装置等が挙げられる。これらの電子機器の表示部に本発明の表示装置を適用することができる。その電子機器の具体例について、図18を参照して説明する。   Mobile devices such as television devices (TVs, television receivers), digital cameras, digital video cameras, mobile phone devices (mobile phones), PDAs, and the like as electronic devices using display devices having pixel regions including light-emitting elements Examples thereof include a terminal, a portable game machine, a monitor, a computer, an audio playback device such as a car audio, and an image playback device equipped with a recording medium such as a home game machine. The display device of the present invention can be applied to display portions of these electronic devices. A specific example of the electronic device will be described with reference to FIG.

図18(A)に示す本発明の表示装置を用いた携帯情報端末は、本体9201、表示部9202等を含み、本発明により外部接続端子数を減少させ、外付け部品の実装面積を削減し低コスト化をすることができる。図18(B)に示す本発明の表示装置を用いたデジタルビデオカメラは、表示部9701、9702等を含み、本発明により外部接続端子数を減少させ、外付け部品の実装面積を削減し低コスト化をすることができる。図18(C)に示す本発明の表示装置を用いた携帯端末は、本体9101、表示部9102等を含み、本発明により外部接続端子数を減少させ、外付け部品の実装面積を削減し低コスト化をすることができる。図18(D)に示す本発明の表示装置を用いた携帯型のテレビジョン装置は、本体9301、表示部9302等を含み、本発明により外部接続端子数を減少させ、外付け部品の実装面積を削減し低コスト化をすることができる。図18(E)に示す本発明の表示装置を用いた携帯型のコンピュータは、本体9401、表示部9402等を含み、外部接続端子数を減少させ、外付け部品の実装面積を削減し低コスト化をすることができる。図18(F)に示す本発明の表示装置を用いたテレビジョン装置は、本体9501、表示部9502等を含み、外部接続端子数を減少させ、外付け部品の実装面積を削減し低コスト化をすることができる。   A portable information terminal using the display device of the present invention illustrated in FIG. 18A includes a main body 9201, a display portion 9202, and the like, and according to the present invention, the number of external connection terminals is reduced and the mounting area of external components is reduced. Cost can be reduced. A digital video camera using the display device of the present invention shown in FIG. 18B includes display portions 9701, 9702, etc., and the present invention reduces the number of external connection terminals and reduces the mounting area of external components. Cost can be reduced. A portable terminal using the display device of the present invention illustrated in FIG. 18C includes a main body 9101, a display portion 9102, and the like. According to the present invention, the number of external connection terminals is reduced, and the mounting area of external components is reduced. Cost can be reduced. A portable television device using the display device of the present invention illustrated in FIG. 18D includes a main body 9301, a display portion 9302, and the like, and according to the present invention, the number of external connection terminals is reduced and the mounting area of external components is reduced. Can be reduced and the cost can be reduced. A portable computer using the display device of the present invention illustrated in FIG. 18E includes a main body 9401, a display portion 9402, and the like. The number of external connection terminals is reduced, the mounting area of external components is reduced, and low cost is achieved. Can be made. A television set using the display device of the present invention illustrated in FIG. 18F includes a main body 9501, a display portion 9502, and the like, so that the number of external connection terminals is reduced, the mounting area of external components is reduced, and cost is reduced. Can do.

なお、本実施例は、本明細書中の他の実施の形態、実施例のいかなる記載とも自由に組み合わせて実施することが可能である。すなわちコントロール回路をソース線駆動回路とゲート線駆動回路と画素マトリクスを含む同一基板上に一体形成することにより、外部接続端子数を減少させ、外付け部品の実装面積を削減し低コスト化できる。また上記第コントロール回路の構成では、スタートパルス信号をクロック信号よりも遅延させるために、TFT基板上に遅延回路を設ける必要はないといった利点を得ることができる。   Note that this embodiment can be implemented freely combining with any description in the other embodiments and examples in this specification. That is, by integrally forming the control circuit on the same substrate including the source line driver circuit, the gate line driver circuit, and the pixel matrix, the number of external connection terminals can be reduced, the mounting area of external components can be reduced, and the cost can be reduced. Further, the configuration of the first control circuit can provide an advantage that it is not necessary to provide a delay circuit on the TFT substrate in order to delay the start pulse signal from the clock signal.

本発明の一実施形態を示す図。The figure which shows one Embodiment of this invention. コントロール回路の第1の構成を示す図。The figure which shows the 1st structure of a control circuit. JKフリップフロップ回路の回路図。The circuit diagram of a JK flip-flop circuit. Dフリップフロップ回路の回路図。A circuit diagram of a D flip-flop circuit. コントロール回路のタイミングチャートを示す図。The figure which shows the timing chart of a control circuit. ソース線駆動回路のタイミングチャートを示す図。FIG. 11 is a timing chart of a source line driver circuit. ゲート線駆動回路とソース線駆動回路のタイミングチャートを示す図。FIG. 6 is a timing chart of a gate line driver circuit and a source line driver circuit. コントロール回路の第2の構成を示す図。The figure which shows the 2nd structure of a control circuit. 本発明の表示装置の断面図。Sectional drawing of the display apparatus of this invention. 本発明の表示装置の断面図。Sectional drawing of the display apparatus of this invention. 本発明の表示装置の断面図。Sectional drawing of the display apparatus of this invention. 本発明の表示装置を説明するための図。FIG. 6 illustrates a display device of the present invention. 本発明の表示装置における斜視図。The perspective view in the display apparatus of this invention. 本発明の表示装置の画素の回路図を示す図。FIG. 9 is a diagram illustrating a circuit diagram of a pixel of a display device of the present invention. 本発明の表示装置を説明するための図。FIG. 6 illustrates a display device of the present invention. 本発明の表示装置における画素の上面図。FIG. 6 is a top view of a pixel in a display device of the present invention. 本発明の表示装置の画素における断面図。FIG. 14 is a cross-sectional view of a pixel of a display device of the present invention. 本発明の実施例5の電子機器の図。The figure of the electronic device of Example 5 of this invention. 本発明の従来例を説明する図。The figure explaining the prior art example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

101 ソース線駆動回路
102 ゲート線駆動回路
103 ソース信号線
104 ゲート信号線
105 画素
106 画素領域
107 タイミングコントロール回路
108 副画素
201 DFF
202 第1のJKFF
203 第2のJKFF
204 バッファ
205 インバータ
206 第1のNAND
209 ソース線駆動回路
210 ゲート線駆動回路
301 Hレベル
302 Hレベル
303 Hレベル
304 パルス
305 Hレベル
306 Hレベル
307 Hレベル
308 Hレベル
401 ガラス基板
402 ブロッキング層
403 半導体層
404 半導体層
405 半導体層
406 半導体層
407 ゲート絶縁膜
408a 第1の導電膜
408b 第2の導電膜
409 マスク
410 導電層
410a 第1の導電膜
410b 第2の導電膜
411 導電層
411a 第1の導電膜
411b 第2の導電膜
412 導電層
412a 第1の導電膜
412b 第2の導電膜
413 導電層
413a 第1の導電膜
413b 第2の導電膜
414 導電層
414a 第1の導電膜
414b 第2の導電膜
415 導電層
415a 第1の導電膜
415b 第2の導電膜
416 ゲート絶縁膜
417 第1の不純物領域
418 第1の不純物領域
419 第1の不純物領域
420 第1の不純物領域
421 導電層
421a 第1の導電膜
421b 第2の導電膜
422 導電層
422a 第1の導電膜
422b 第2の導電膜
423 導電層
423a 第1の導電膜
423b 第2の導電膜
424 導電層
424a 第1の導電膜
424b 第2の導電膜
425 導電層
425a 第1の導電膜
425b 第2の導電膜
426 導電層
426a 第1の導電膜
426b 第2の導電膜
427 第2の不純物領域
428 第2の不純物領域
429 第2の不純物領域
430 第2の不純物領域
431 導電層
431a 第1の導電膜
431b 第2の導電膜
432 導電層
432a 第1の導電膜
432b 第2の導電膜
433 導電層
433a 第1の導電膜
433b 第2の導電膜
434 導電層
434a 第1の導電膜
434b 第2の導電膜
435 導電層
435a 第1の導電膜
435b 第2の導電膜
436 導電層
436a 第1の導電膜
436b 第2の導電膜
437 ゲート絶縁膜
438 レジストマスク
439 レジストマスク
440a 第3の不純物領域
440b 第3の不純物領域
440c 第3の不純物領域
441 第1の絶縁膜
442 第2の絶縁膜
443 第3の絶縁膜
444 ソースまたはドレイン配線
445 ソースまたはドレイン配線
446 ソースまたはドレイン配線
447 ソースまたはドレイン配線
448 接続電極
449 ゲート配線
450 第1の画素電極
451 周辺回路
452 画素部
453 pチャネル型TFT
454 nチャネル型TFT
455 画素TFT
456 保持容量
461 層間膜
462 層間膜
463 画素電極
501 スタートパルス
502 スタートパルス
503 サンプリングパルス
504 デジタル映像信号
505 デジタル映像信号
506 デジタル映像信号505
507 期間
508 期間
509 出力パルス
601 DFF
602 JKFF
603 インバータ
604 バッファ
605 タイミングコントロール回路
606 ソース線駆動回路
607 ゲート線駆動回路
551 配向膜
552 対向基板
553 透明導電膜
554 配向膜
555 液晶
601 ガラス基板
602 画素部
603 ゲート側駆動回路
604 ソース側駆動回路
605 画素TFT
606 画素電極
607 保持容量
608 ゲート配線
609 ソース配線
610 FPC
611 外部入出力端子
612 入出力配線
613 入出力配線
614 対向基板
701 ガラス基板
702 画素部
703 ゲート側駆動回路
704 ソース側駆動回路
705 画素TFT
706 画素電極
707 保持容量
708 ゲート配線
709 ソース配線
710 FPC
711 外部入出力端子
712 入出力配線
713 コントロール回路
714 対向基板
2001 発光素子
2002 信号線
2003 スイッチング用のトランジスタ
2004 駆動用のトランジスタ
2005 容量素子
2006 走査線
2007 電源線
2401 信号線
2403 スイッチング用のトランジスタ
2404 駆動用のトランジスタ
2406a 容量素子
2406b 容量素子
2407a 第1電極
2407b 第1電極
2408 走査線
2409 電源線
2410a 発光素子
2410b 発光素子
2800 基板
2801 トランジスタ
2811 第1電極
2812 電界発光層
2813 第2電極
2814 パッシベーション膜
2815 封止基板
9101 本体
9102 表示部
9201 本体
9202 表示部
9301 本体
9302 表示部
9401 本体
9402 表示部
9501 本体
9502 表示部
9701 表示部
9702 表示部

101 Source line driver circuit 102 Gate line driver circuit 103 Source signal line 104 Gate signal line 105 Pixel 106 Pixel area 107 Timing control circuit 108 Sub pixel 201 DFF
202 1st JKFF
203 2nd JKFF
204 Buffer 205 Inverter 206 First NAND
209 Source line driver circuit 210 Gate line driver circuit 301 H level 302 H level 303 H level 304 Pulse 305 H level 306 H level 307 H level 308 H level 401 Glass substrate 402 Blocking layer 403 Semiconductor layer 404 Semiconductor layer 405 Semiconductor layer 406 Semiconductor Layer 407 gate insulating film 408a first conductive film 408b second conductive film 409 mask 410 conductive layer 410a first conductive film 410b second conductive film 411 conductive layer 411a first conductive film 411b second conductive film 412 Conductive layer 412a first conductive film 412b second conductive film 413 conductive layer 413a first conductive film 413b second conductive film 414 conductive layer 414a first conductive film 414b second conductive film 415 conductive layer 415a first Conductive film 415b second conductive film 416 gate Edge film 417 First impurity region 418 First impurity region 419 First impurity region 420 First impurity region 421 Conductive layer 421a First conductive film 421b Second conductive film 422 Conductive layer 422a First conductive film 422b second conductive film 423 conductive layer 423a first conductive film 423b second conductive film 424 conductive layer 424a first conductive film 424b second conductive film 425 conductive layer 425a first conductive film 425b second conductive Film 426 conductive layer 426a first conductive film 426b second conductive film 427 second impurity region 428 second impurity region 429 second impurity region 430 second impurity region 431 conductive layer 431a first conductive film 431b Second conductive film 432 Conductive layer 432a First conductive film 432b Second conductive film 433 Conductive layer 433a First conductive film 433b Second Conductive film 434 Conductive layer 434a First conductive film 434b Second conductive film 435 Conductive layer 435a First conductive film 435b Second conductive film 436 Conductive layer 436a First conductive film 436b Second conductive film 437 Gate insulation Film 438 Resist mask 439 Resist mask 440a Third impurity region 440b Third impurity region 440c Third impurity region 441 First insulating film 442 Second insulating film 443 Third insulating film 444 Source or drain wiring 445 Source Or drain wiring 446 source or drain wiring 447 source or drain wiring 448 connection electrode 449 gate wiring 450 first pixel electrode 451 peripheral circuit 452 pixel portion 453 p-channel TFT
454 n-channel TFT
455 pixel TFT
456 Storage capacitor 461 Interlayer film 462 Interlayer film 463 Pixel electrode 501 Start pulse 502 Start pulse 503 Sampling pulse 504 Digital video signal 505 Digital video signal 506 Digital video signal 505
507 period 508 period 509 output pulse 601 DFF
602 JKFF
603 Inverter 604 Buffer 605 Timing control circuit 606 Source line drive circuit 607 Gate line drive circuit 551 Alignment film 552 Counter substrate 553 Transparent conductive film 554 Alignment film 555 Liquid crystal 601 Glass substrate 602 Pixel portion 603 Gate side drive circuit 604 Source side drive circuit 605 Pixel TFT
606 Pixel electrode 607 Retention capacitor 608 Gate wiring 609 Source wiring 610 FPC
611 External input / output terminal 612 Input / output wiring 613 Input / output wiring 614 Counter substrate 701 Glass substrate 702 Pixel portion 703 Gate side driving circuit 704 Source side driving circuit 705 Pixel TFT
706 Pixel electrode 707 Retention capacitor 708 Gate wiring 709 Source wiring 710 FPC
711 External input / output terminal 712 Input / output wiring 713 Control circuit 714 Counter substrate 2001 Light emitting element 2002 Signal line 2003 Switching transistor 2004 Driving transistor 2005 Capacitance element 2006 Scan line 2007 Power line 2401 Signal line 2403 Switching transistor 2404 Driving Transistor 2406a capacitor 2406b capacitor 2407a first electrode 2407b first electrode 2408 scanning line 2409 power supply line 2410a light emitting element 2410b light emitting element 2800 substrate 2801 transistor 2811 first electrode 2812 electroluminescent layer 2813 second electrode 2814 passivation film 2815 sealing Stop board 9101 Main body 9102 Display unit 9201 Main unit 9202 Display unit 9301 Main unit 9302 Display unit 9401 Main unit 94 Second display unit 9501 body 9502 display portion 9701 display unit 9702 display unit

Claims (9)

副画素を含む画素がマトリクス状に配置された画素領域、ソース信号線駆動回路、ゲート信号線駆動回路、及びコントロール回路を有し、
前記副画素、前記ソース信号線駆動回路、前記ゲート信号線駆動回路、及び前記コントロール回路は、基板上に形成された薄膜トランジスタを有し、
前記コントロール回路は前記基板の外部より入力された垂直同期信号、水平同期信号、及びドットクロック信号により、前記ソース信号線駆動回路及び前記ゲート信号線駆動回路を駆動するための信号を出力する回路を有することを特徴とする表示装置。
A pixel region in which pixels including sub-pixels are arranged in a matrix, a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, and a control circuit;
The sub-pixel, the source signal line driver circuit, the gate signal line driver circuit, and the control circuit have a thin film transistor formed on a substrate,
The control circuit outputs a signal for driving the source signal line driving circuit and the gate signal line driving circuit according to a vertical synchronizing signal, a horizontal synchronizing signal, and a dot clock signal inputted from the outside of the substrate. A display device comprising:
副画素を含む画素がマトリクス状に配置された画素領域、ソース信号線駆動回路、ゲート信号線駆動回路、及びコントロール回路を有し、
前記副画素、前記ソース信号線駆動回路、前記ゲート信号線駆動回路、及び前記コントロール回路は、基板上に形成された薄膜トランジスタを有し、
前記コントロール回路は前記基板の外部より入力された垂直同期信号、水平同期信号、及びドットクロック信号により、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号、並びに前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号を出力することを特徴とする表示装置。
A pixel region in which pixels including sub-pixels are arranged in a matrix, a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, and a control circuit;
The sub-pixel, the source signal line driver circuit, the gate signal line driver circuit, and the control circuit have a thin film transistor formed on a substrate,
The control circuit includes a clock signal, an inverted clock signal, and a start pulse signal for driving the source signal line driving circuit based on a vertical synchronization signal, a horizontal synchronization signal, and a dot clock signal input from the outside of the substrate, and A display device that outputs a clock signal, an inverted clock signal, and a start pulse signal for driving the gate signal line driver circuit.
副画素を含む画素がマトリクス状に配置された画素領域、ソース信号線駆動回路、ゲート信号線駆動回路、及びコントロール回路を有し、
前記副画素、前記ソース信号線駆動回路、前記ゲート信号線駆動回路、及び前記コントロール回路は、基板上に形成された薄膜トランジスタを有し、
前記コントロール回路は前記基板の外部より入力された垂直同期信号、水平同期信号、及びドットクロック信号により、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号、並びに前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号を出力し、
前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号は、JKフリップフロップ回路、Dフリップフロップ回路及び複数のインバータ回路を有する回路より出力されることを特徴とする表示装置。
A pixel region in which pixels including sub-pixels are arranged in a matrix, a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, and a control circuit;
The sub-pixel, the source signal line driver circuit, the gate signal line driver circuit, and the control circuit have a thin film transistor formed on a substrate,
The control circuit includes a clock signal, an inverted clock signal, and a start pulse signal for driving the source signal line driving circuit based on a vertical synchronization signal, a horizontal synchronization signal, and a dot clock signal input from the outside of the substrate, and A clock signal for driving the gate signal line driving circuit, an inverted clock signal, and a start pulse signal;
A clock signal, an inverted clock signal, and a start pulse signal for driving the gate signal line driver circuit are output from a circuit having a JK flip-flop circuit, a D flip-flop circuit, and a plurality of inverter circuits. Display device.
副画素を含む画素がマトリクス状に配置された画素領域、ソース信号線駆動回路、ゲート信号線駆動回路、及びコントロール回路を有し、
前記副画素、前記ソース信号線駆動回路、前記ゲート信号線駆動回路、及び前記コントロール回路は、基板上に形成された薄膜トランジスタを有し、
前記コントロール回路は前記基板の外部より入力された垂直同期信号、水平同期信号、及びドットクロック信号により、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号、並びに前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号を出力し、
前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号及び反転クロック信号は、前記Dフリップフロップ回路より出力される信号及び前記Dフリップフロップ回路より出力される信号の反転信号であり、前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのスタートパルス信号は、JKフリップフロップ回路より出力されることを特徴とする表示装置。
A pixel region in which pixels including sub-pixels are arranged in a matrix, a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, and a control circuit;
The sub-pixel, the source signal line driver circuit, the gate signal line driver circuit, and the control circuit have a thin film transistor formed on a substrate,
The control circuit includes a clock signal, an inverted clock signal, and a start pulse signal for driving the source signal line driving circuit based on a vertical synchronization signal, a horizontal synchronization signal, and a dot clock signal input from the outside of the substrate, and A clock signal for driving the gate signal line driving circuit, an inverted clock signal, and a start pulse signal;
The clock signal and the inverted clock signal for driving the gate signal line driving circuit are a signal output from the D flip-flop circuit and an inverted signal of the signal output from the D flip-flop circuit, and the gate signal line A display device, wherein a start pulse signal for driving a driving circuit is output from a JK flip-flop circuit.
副画素を含む画素がマトリクス状に配置された画素領域、ソース信号線駆動回路、ゲート信号線駆動回路、及びコントロール回路を有し、
前記副画素、前記ソース信号線駆動回路、前記ゲート信号線駆動回路、及び前記コントロール回路は、基板上に形成された薄膜トランジスタを有し、
前記コントロール回路は前記基板の外部より入力された垂直同期信号、水平同期信号、及びドットクロック信号により、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号、並びに前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号を出力し、
前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号及び反転クロック信号は、前記垂直同期信号の反転信号及び前記水平同期信号が入力される前記Dフリップフロップ回路より出力される信号及び前記Dフリップフロップ回路より出力される信号の反転信号であり、前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのスタートパルス信号は、前記垂直同期信号及び前記Dフリップフロップ回路より出力される信号が入力されるJKフリップフロップ回路より出力されることを特徴とする表示装置。
A pixel region in which pixels including sub-pixels are arranged in a matrix, a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, and a control circuit;
The sub-pixel, the source signal line driver circuit, the gate signal line driver circuit, and the control circuit have a thin film transistor formed on a substrate,
The control circuit includes a clock signal, an inverted clock signal, and a start pulse signal for driving the source signal line driving circuit based on a vertical synchronization signal, a horizontal synchronization signal, and a dot clock signal input from the outside of the substrate, and A clock signal for driving the gate signal line driving circuit, an inverted clock signal, and a start pulse signal;
The clock signal and the inverted clock signal for driving the gate signal line driving circuit include a signal output from the D flip-flop circuit to which the inverted signal of the vertical synchronizing signal and the horizontal synchronizing signal are input, and the D flip-flop. A JK flip-flop to which an inverted signal of a signal output from the circuit and a start pulse signal for driving the gate signal line driving circuit is input to the vertical synchronization signal and the signal output from the D flip-flop circuit A display device characterized by being output from a circuit.
副画素を含む画素がマトリクス状に配置された画素領域、ソース信号線駆動回路、ゲート信号線駆動回路、及びコントロール回路を有し、
前記副画素、前記ソース信号線駆動回路、前記ゲート信号線駆動回路、及び前記コントロール回路は、基板上に形成された薄膜トランジスタを有し、
前記コントロール回路は前記基板の外部より入力された垂直同期信号、水平同期信号、及びドットクロック信号により、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号、並びに前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号を出力し、
前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号は、前記ドットクロック信号を基にした信号及び前記ドットクロック信号の反転信号を基にした信号であり、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのスタートパルス信号は、前記水平同期信号を基にした信号であり、
前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号及び反転クロック信号は、前記Dフリップフロップ回路より出力される信号及び前記Dフリップフロップ回路より出力される信号の反転信号であり、前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのスタートパルス信号は、JKフリップフロップ回路より出力されることを特徴とする表示装置。
A pixel region in which pixels including sub-pixels are arranged in a matrix, a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, and a control circuit;
The sub-pixel, the source signal line driver circuit, the gate signal line driver circuit, and the control circuit have a thin film transistor formed on a substrate,
The control circuit includes a clock signal, an inverted clock signal, and a start pulse signal for driving the source signal line driving circuit based on a vertical synchronization signal, a horizontal synchronization signal, and a dot clock signal input from the outside of the substrate, and A clock signal for driving the gate signal line driving circuit, an inverted clock signal, and a start pulse signal;
The clock signal and the inverted clock signal for driving the source signal line driving circuit are a signal based on the dot clock signal and an inverted signal of the dot clock signal, and the source signal line driving circuit The start pulse signal for driving is a signal based on the horizontal synchronization signal,
The clock signal and the inverted clock signal for driving the gate signal line driving circuit are a signal output from the D flip-flop circuit and an inverted signal of the signal output from the D flip-flop circuit, and the gate signal line A display device, wherein a start pulse signal for driving a driving circuit is output from a JK flip-flop circuit.
副画素を含む画素がマトリクス状に配置された画素領域、ソース信号線駆動回路、ゲート信号線駆動回路、及びコントロール回路を有し、
前記副画素、前記ソース信号線駆動回路、前記ゲート信号線駆動回路、及び前記コントロール回路は、基板上に形成された薄膜トランジスタを有し、
前記コントロール回路は前記基板の外部より入力された垂直同期信号、水平同期信号、及びドットクロック信号により、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号、並びに前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号、及びスタートパルス信号を出力し、
前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号、反転クロック信号は、前記ドットクロック信号を基にした信号及び前記ドットクロック信号の反転信号を基にした信号であり、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのスタートパルス信号は、前記水平同期信号を基にした信号であり、
前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのクロック信号及び反転クロック信号は、前記垂直同期信号の反転信号及び前記水平同期信号が入力される前記Dフリップフロップ回路より出力される信号及び前記Dフリップフロップ回路より出力される信号の反転信号であり、前記ゲート信号線駆動回路を駆動するためのスタートパルス信号は、前記垂直同期信号及び前記Dフリップフロップ回路より出力される信号が入力されるJKフリップフロップ回路より出力されることを特徴とする表示装置。
A pixel region in which pixels including sub-pixels are arranged in a matrix, a source signal line driver circuit, a gate signal line driver circuit, and a control circuit;
The sub-pixel, the source signal line driver circuit, the gate signal line driver circuit, and the control circuit have a thin film transistor formed on a substrate,
The control circuit includes a clock signal, an inverted clock signal, and a start pulse signal for driving the source signal line driving circuit based on a vertical synchronization signal, a horizontal synchronization signal, and a dot clock signal input from the outside of the substrate, and A clock signal for driving the gate signal line driving circuit, an inverted clock signal, and a start pulse signal;
The clock signal and the inverted clock signal for driving the source signal line driving circuit are a signal based on the dot clock signal and an inverted signal of the dot clock signal, and the source signal line driving circuit The start pulse signal for driving is a signal based on the horizontal synchronization signal,
The clock signal and the inverted clock signal for driving the gate signal line driving circuit include a signal output from the D flip-flop circuit to which the inverted signal of the vertical synchronizing signal and the horizontal synchronizing signal are input, and the D flip-flop. A JK flip-flop to which an inverted signal of a signal output from the circuit and a start pulse signal for driving the gate signal line driving circuit is input to the vertical synchronization signal and the signal output from the D flip-flop circuit A display device characterized by being output from a circuit.
請求項6または7において、前記ソース信号線駆動回路を駆動するためのスタートパルス信号は、前記水平同期信号がJKフリップフロップを介して出力される信号であることを特徴とする表示装置。   8. The display device according to claim 6, wherein the start pulse signal for driving the source signal line driving circuit is a signal from which the horizontal synchronizing signal is output through a JK flip-flop. 請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の表示装置を具備することを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the display device according to any one of claims 1 to 8.
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