JP2006066747A - Positioning apparatus and method of substrate - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To perform the positioning of a substrate at low cost without generating any dust and any damage of the substrate. <P>SOLUTION: Each slide guide 11 is fastened to the upper surface of a base 10. Each slide block 12 is fastened to the side surface of each slide arm 15. When the bearings attached to the upper and lower surfaces of each slide block 12 are rotated while contacting them with the guiding surfaces of each slide guide 11, each slide block 12 is so moved relatively to each slide guide 11 as to move each slide arm 15 relatively to the base 10. While supporting the lower surface of a glass substrate by receiving pins 5, the side surfaces of the glass substrate are so pushed by positioning rollers 6, 7, 8 (the showing of the positioning roller 8 is abbreviated) as to perform the positioning of the glass substrate. At this point, the receiving pins 5 are moved together with the glass substrate by the moving of each slide arm 15. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、例えば、ガラス基板、プラスチック基板等の基板の検査等において、基板の位置決めを行う位置決め装置及び位置決め方法に係り、特に大型の基板の位置決めを行うのに好適な位置決め装置及び位置決め方法に関する。   The present invention relates to a positioning device and a positioning method for positioning a substrate in, for example, inspection of a substrate such as a glass substrate and a plastic substrate, and more particularly to a positioning device and a positioning method suitable for positioning a large substrate. .

表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル用基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術によりガラス基板上にパターンを形成して行われる。そして、パターン形成後、検査装置を用いて、ガラス基板の表面に異物や欠陥等が無いか検査が行われる。   The manufacture of TFT (Thin Film Transistor) substrates, color filter substrates, plasma display panel substrates, organic EL (Electroluminescence) display panel substrates, etc. for liquid crystal display devices used as display panels is performed using an exposure apparatus, photolithography. This is performed by forming a pattern on a glass substrate by a technique. And after pattern formation, it test | inspects whether there is a foreign material, a defect, etc. on the surface of a glass substrate using an inspection apparatus.

従来、このような基板の検査では、基板の湾曲を防止するため、特許文献１に記載の様に基板の下面へエアを吹き付けながら基板の位置決めを行うか、あるいは特許文献２に記載の様に基板の下面を複数のピンで支持しながら基板の位置決めを行っていた。
特開平９−１９６８１７号公報 特開平１１−５９８９４号公報 Conventionally, in such a substrate inspection, in order to prevent the substrate from being bent, the substrate is positioned while blowing air to the lower surface of the substrate as described in Patent Document 1, or as described in Patent Document 2. The substrate was positioned while supporting the lower surface of the substrate with a plurality of pins.
JP-A-9-196817 Japanese Patent Laid-Open No. 11-59894

従来の基板の下面へエアを吹き付けながら基板の位置決めを行う方法は、基板の下面へ吹き付けられたエアにより気流の乱れが生じて塵埃が発生し、基板の表面に異物として付着するという問題があった。また、基板の下面を複数のピンで支持しながら基板の位置決めを行う方法は、基板の下面がピンで擦られて傷付く恐れがあった。   The conventional method of positioning the substrate while blowing air to the lower surface of the substrate has the problem that the air blown to the lower surface of the substrate causes turbulence in the air flow, generating dust and adhering to the surface of the substrate as foreign matter. It was. Further, in the method of positioning the substrate while supporting the lower surface of the substrate with a plurality of pins, the lower surface of the substrate may be rubbed with the pins and damaged.

これに対し、基板を搭載するワークテーブルを移動して基板の位置決めを行う方法も考えられるが、特に、基板が大型になる程、装置が大型化してコストが高くなるという問題がある。   On the other hand, a method of positioning the substrate by moving the work table on which the substrate is mounted is also conceivable, but in particular, there is a problem that the larger the substrate, the larger the apparatus and the higher the cost.

本発明の課題は、塵埃を発生させず、かつ基板を傷付けることなく、基板の位置決めを低コストで行うことである。   An object of the present invention is to perform substrate positioning at a low cost without generating dust and damaging the substrate.

本発明の基板の位置決め装置は、基板の下面を支持する複数のピンと、複数のピンが取り付けられた可動部材と、可動部材を移動可能に保持する保持機構と、複数のピンにより支持された基板の側面を押して、基板の位置決めを行う位置決め手段とを備え、複数のピンが、位置決め手段により基板の側面が押されたとき、保持機構に保持された可動部材の移動によって、基板と共に移動するものである。   A substrate positioning apparatus according to the present invention includes a plurality of pins that support the lower surface of the substrate, a movable member to which the plurality of pins are attached, a holding mechanism that movably holds the movable member, and a substrate that is supported by the plurality of pins. Positioning means for positioning the substrate by pushing the side surface of the substrate, and the plurality of pins move together with the substrate by the movement of the movable member held by the holding mechanism when the side surface of the substrate is pushed by the positioning means. It is.

また、本発明の基板の位置決め方法は、可動部材に取り付けられた複数のピンで基板の下面を支持し、基板の側面を押して、基板を複数のピンと共に移動して基板の位置決めを行うものである。   Further, the substrate positioning method of the present invention is to position the substrate by supporting the lower surface of the substrate with a plurality of pins attached to the movable member, pressing the side surface of the substrate, and moving the substrate together with the plurality of pins. is there.

基板の下面を、可動部材に取り付けられた複数のピンで支持する。複数のピンは、位置決め手段により基板の側面が押されたとき、可動部材の移動によって基板と共に移動する。エアを用いないので塵埃が発生せず、また基板の下面を支持するピンが基板と共に移動するので、基板の下面に傷が付かない。そして、ワークテーブルを移動する場合に比べ、基板の位置決めを低コストで行うことができる。   The lower surface of the substrate is supported by a plurality of pins attached to the movable member. The plurality of pins move together with the substrate by the movement of the movable member when the side surface of the substrate is pushed by the positioning means. Since air is not used, dust is not generated, and the pins that support the lower surface of the substrate move together with the substrate, so that the lower surface of the substrate is not damaged. And compared with the case where a work table is moved, positioning of a board | substrate can be performed at low cost.

さらに、本発明の基板の位置決め装置は、可動部材を所定の位置へ移動して、複数のピンを所定の位置に合わせる位置合わせ機構を備えたものである。また、本発明の基板の位置決め方法は、基板の下面を支持する前に、可動部材を所定の位置へ移動して、複数のピンを所定の位置に合わせるものである。   Furthermore, the substrate positioning apparatus of the present invention includes an alignment mechanism that moves the movable member to a predetermined position and aligns the plurality of pins with the predetermined position. In the substrate positioning method of the present invention, before the lower surface of the substrate is supported, the movable member is moved to a predetermined position to align the plurality of pins with the predetermined position.

複数のピンが基板と共に移動した後、そのままでは、次に支持する基板の下面の位置が異なってしまう。基板の下面を支持する前に、複数のピンを所定の位置に合わせることにより、常に基板の下面の同じ位置を支持することができる。   If the plurality of pins move together with the substrate, the position of the lower surface of the substrate to be supported next is different. By supporting a plurality of pins at a predetermined position before supporting the lower surface of the substrate, the same position on the lower surface of the substrate can always be supported.

さらに、可動部材を固定して、複数のピンの移動を阻止するロック機構を設けると、基板の位置合わせ以外でピンの移動が必要ないときに、複数のピンの移動を阻止することができる。   Furthermore, if the movable member is fixed and a lock mechanism for preventing the movement of the plurality of pins is provided, the movement of the plurality of pins can be prevented when the movement of the pins other than the alignment of the substrate is not necessary.

本発明によれば、塵埃を発生させず、かつ基板を傷付けることなく、基板の位置決めを低コストで行うことができる。   According to the present invention, the substrate can be positioned at low cost without generating dust and damaging the substrate.

また、基板の下面を支持する前に、複数のピンを所定の位置に合わせることにより、常に基板の下面の同じ位置を支持することができる。   In addition, the same position on the lower surface of the substrate can always be supported by aligning the plurality of pins at a predetermined position before supporting the lower surface of the substrate.

さらに、可動部材を固定して、複数のピンの移動を阻止するロック機構を設けることにより、基板の位置合わせ以外でピンの移動が必要ないときに、複数のピンの移動を阻止することができる。   Further, by providing a lock mechanism that fixes the movable member and prevents the movement of the plurality of pins, the movement of the plurality of pins can be prevented when the movement of the pins other than the alignment of the substrate is not necessary. .

図１は、本発明の一実施の形態による基板の位置決め装置の上面図である。本実施の形態は、ガラス基板の検査装置に用いられる位置決め装置の例を示している。   FIG. 1 is a top view of a substrate positioning apparatus according to an embodiment of the present invention. This embodiment shows an example of a positioning device used in a glass substrate inspection device.

位置決め装置の上面には、ワークテーブル２が設けられている。ワークテーブル２は、破線で示したガラス基板１を真空吸着して固定するものである。本実施の形態で、図示しない検査装置は、所定の幅の検査光をワークテーブル２に搭載されたガラス基板１へ照射し、ガラス基板１からの反射光又は散乱光を受光して、ガラス基板１の表面の異物等を検査する。このとき、検査装置からの検査光はＸ方向へ走査される。１回の走査が終了すると、位置決め装置によりガラス基板１をＹ方向へ所定の距離だけ移動して、次の走査を行う。   A work table 2 is provided on the upper surface of the positioning device. The work table 2 is for fixing the glass substrate 1 indicated by a broken line by vacuum suction. In the present embodiment, an inspection apparatus (not shown) irradiates a glass substrate 1 mounted on the work table 2 with inspection light having a predetermined width, receives reflected light or scattered light from the glass substrate 1, and receives the glass substrate. Inspect foreign matter on the surface of 1. At this time, the inspection light from the inspection device is scanned in the X direction. When one scan is completed, the glass substrate 1 is moved in the Y direction by a predetermined distance by the positioning device, and the next scan is performed.

ワークテーブル２には、３本の溝２ａ，２ｂ，２ｃが設けられており、また左右に切り欠き部２ｄ，２ｅが設けられている。溝２ａ内には、受けピン５が配置されている。溝２ｂ，２ｃ内には、リフトピン４、受けピン５、及びＹ方向の位置決めローラ６，７の軸６ａ，７ａが配置されている。切り欠き部２ｄ，２ｅ内には、Ｘ方向の位置決めローラ８及びその駆動機構が配置されている。   The work table 2 is provided with three grooves 2a, 2b, 2c, and notches 2d, 2e on the left and right. A receiving pin 5 is disposed in the groove 2a. In the grooves 2b and 2c, lift pins 4, receiving pins 5, and shafts 6a and 7a of Y-direction positioning rollers 6 and 7 are arranged. In the notches 2d and 2e, an X-direction positioning roller 8 and its driving mechanism are arranged.

なお、本実施の形態では、４本のリフトピン４と６本の受けピン５とが設けられているが、リフトピン４及び受けピン５の数は、これに限るものではない。また、本実施の形態では、それぞれ２本の位置決めローラ６，７，８が設けられているが、位置決めローラ６，７，８の数は、これに限るものではない。   In the present embodiment, four lift pins 4 and six receiving pins 5 are provided, but the number of lift pins 4 and receiving pins 5 is not limited to this. In this embodiment, two positioning rollers 6, 7, and 8 are provided, but the number of positioning rollers 6, 7, and 8 is not limited to this.

図２は、本発明の一実施の形態による基板の位置決め装置の主要部を示す上面図である。また、図３は、本発明の一実施の形態による基板の位置決め装置の主要部を示す斜視図である。図２及び図３は、図１のワークテーブル２、位置決めローラ８及びその駆動機構を取り外した状態を示している。   FIG. 2 is a top view showing a main part of the substrate positioning apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 3 is a perspective view showing a main part of the substrate positioning apparatus according to the embodiment of the present invention. 2 and 3 show a state in which the work table 2, the positioning roller 8 and the driving mechanism of FIG. 1 are removed.

図３に示すように、リフトピン４はベース３０に取り付けられている。ベース３０は、図示しない昇降機構によってＺ方向へ移動し、これによりリフトピン４が、ベース３０の上方に設けられたベース１０の溝及び図示しないワークテーブル２の溝２ｂ，２ｃを通って、上昇及び下降する。   As shown in FIG. 3, the lift pins 4 are attached to the base 30. The base 30 is moved in the Z direction by an elevating mechanism (not shown), whereby the lift pin 4 is lifted and lowered through the groove of the base 10 provided above the base 30 and the grooves 2b and 2c of the work table 2 (not shown). Descend.

一方、受けピン５は、Ｅ字形のスライドアーム１５に取り付けられている。スライドアーム１５は、後述する保持機構によって、ベース１０に対し移動可能に保持されている。ベース１０は、図示しない昇降機構によってＺ方向へ移動し、これにより受けピン５が、図示しないワークテーブル２の溝２ａ，２ｂ，２ｃを通って、上昇及び下降する。また、ベース１０は、図示しない移動機構によってＹ方向へ移動し、これにより受けピン５が、図示しないワークテーブル２の溝２ａ，２ｂ，２ｃ内をＹ方向へ移動する。   On the other hand, the receiving pin 5 is attached to an E-shaped slide arm 15. The slide arm 15 is held movably with respect to the base 10 by a holding mechanism described later. The base 10 is moved in the Z direction by an elevating mechanism (not shown), whereby the receiving pin 5 is raised and lowered through the grooves 2a, 2b, 2c of the work table 2 (not shown). The base 10 is moved in the Y direction by a moving mechanism (not shown), whereby the receiving pin 5 is moved in the grooves 2a, 2b, 2c of the work table 2 (not shown) in the Y direction.

図４は、図２のＡ−Ａ部の一部断面側面図である。保持機構は、スライドガイド１１、スライドブロック１２、及びベアリング１３を含んで構成されている。スライドガイド１１は、ベース１０の上面に固定されている。スライドブロック１２は、スライドアーム１５の側面に固定されている。スライドブロック１２の上面及び下面には、ベアリング１３が取り付けられており、ベアリング１３はスライドガイド１１のガイド面１１ａに接触している。ベアリング１３がスライドガイド１１のガイド面１１ａに接触しながら回転すると、スライドブロック１２がスライドガイド１１に対して移動し、スライドアーム１５がベース１０に対して移動する。   4 is a partial cross-sectional side view of the AA portion of FIG. The holding mechanism includes a slide guide 11, a slide block 12, and a bearing 13. The slide guide 11 is fixed to the upper surface of the base 10. The slide block 12 is fixed to the side surface of the slide arm 15. Bearings 13 are attached to the upper and lower surfaces of the slide block 12, and the bearings 13 are in contact with the guide surface 11 a of the slide guide 11. When the bearing 13 rotates while contacting the guide surface 11 a of the slide guide 11, the slide block 12 moves relative to the slide guide 11, and the slide arm 15 moves relative to the base 10.

図２において、スライドアーム１５には、ローラ受け２２が取り付けられている。一方、スライダ２４には、ローラ２３が取り付けられている。スライダ２４がエアシリンダ２５によりＹ方向へ移動すると、ローラ２３がローラ受け２２に接触して、スライドアーム１５が所定の位置へ移動する。これにより、受けピン５を所定の位置に合わせるセンタリングが行われる。エアシリンダ２５は、ベース１０上に設けられたプレート２０に固定されている。   In FIG. 2, a roller receiver 22 is attached to the slide arm 15. On the other hand, a roller 23 is attached to the slider 24. When the slider 24 is moved in the Y direction by the air cylinder 25, the roller 23 comes into contact with the roller receiver 22, and the slide arm 15 is moved to a predetermined position. As a result, centering is performed to align the receiving pin 5 with a predetermined position. The air cylinder 25 is fixed to a plate 20 provided on the base 10.

図４において、ベース１０の下方に設けられたエアシリンダ２８の先端には、ストッパ２９が取り付けられている。エアシリンダ２８によりストッパ２９をスライドブロック１２へ押し付けると、スライドアーム１５が移動できなくなり、受けピン５がロックされる。   In FIG. 4, a stopper 29 is attached to the tip of an air cylinder 28 provided below the base 10. When the stopper 29 is pressed against the slide block 12 by the air cylinder 28, the slide arm 15 cannot move and the receiving pin 5 is locked.

図２において、位置決めローラ６の軸６ａは、コの字形の位置決めアーム１６に取り付けられている。位置決めアーム１６は、エアスライド２６によりＹ方向へ移動し、これにより位置決めローラ６がＹ方向へ移動する。同様に、位置決めローラ７の軸７ａは、コの字形の位置決めアーム１７に取り付けられている。位置決めアーム１７は、エアスライド２７によりＹ方向へ移動し、これにより位置決めローラ７がＹ方向へ移動する。エアスライド２６，２７は、ベース１０上に設けられたプレート２０に固定されている。   In FIG. 2, the shaft 6 a of the positioning roller 6 is attached to a U-shaped positioning arm 16. The positioning arm 16 is moved in the Y direction by the air slide 26, whereby the positioning roller 6 is moved in the Y direction. Similarly, the shaft 7 a of the positioning roller 7 is attached to a U-shaped positioning arm 17. The positioning arm 17 is moved in the Y direction by the air slide 27, whereby the positioning roller 7 is moved in the Y direction. The air slides 26 and 27 are fixed to a plate 20 provided on the base 10.

以下、本発明の一実施の形態による基板の位置決め装置の動作を説明する。図５〜図７は、本発明の一実施の形態による基板の位置決め方法を示す図である。作業開始前の状態では、図５（ａ）に示すように、ベース３０及びベース１０が下降しており、リフトピン４及び受けピン５の先端が破線で示すワークテーブル２の上面より下方に位置する。   Hereinafter, the operation of the substrate positioning apparatus according to the embodiment of the present invention will be described. 5 to 7 are views showing a substrate positioning method according to an embodiment of the present invention. In the state before the work starts, as shown in FIG. 5A, the base 30 and the base 10 are lowered, and the tips of the lift pins 4 and the receiving pins 5 are located below the upper surface of the work table 2 indicated by broken lines. .

まず、図５（ｂ）に示すように、ベース３０を上昇させて、リフトピン４の先端をワークテーブル２の上面から突き出す。この状態で、ロボットアームを用いてガラス基板１をリフトピン４の先端に搭載し、ガラス基板１をロードする。ガラス基板１の下面は、リフトピン４により支持される。   First, as shown in FIG. 5 (b), the base 30 is raised and the tip of the lift pin 4 protrudes from the upper surface of the work table 2. In this state, the glass substrate 1 is mounted on the tip of the lift pin 4 using the robot arm, and the glass substrate 1 is loaded. The lower surface of the glass substrate 1 is supported by lift pins 4.

続いて、図５（ｃ）に示すように、ベース１０を上昇させて、受けピン５の先端をワークテーブル２の上面から突き出す。そして、図６（ａ）に示すように、ベース３０を下降させてリフトピン４を下降させ、ガラス基板１をリフトピン４から受けピン５へ渡す。ガラス基板１の下面は、受けピン５により支持される。   Subsequently, as shown in FIG. 5C, the base 10 is raised, and the tip of the receiving pin 5 protrudes from the upper surface of the work table 2. Then, as shown in FIG. 6A, the base 30 is lowered to lower the lift pins 4, and the glass substrate 1 is transferred from the lift pins 4 to the receiving pins 5. The lower surface of the glass substrate 1 is supported by the receiving pins 5.

ガラス基板１の下面を受けピン５により支持した状態で、図６（ｂ）に示すように、位置決めローラ６，７，８（位置決めローラ８は図示省略）をＹ方向又はＸ方向へ移動する。位置決めローラ６，７，８は、ガラス基板１の側面を押して、ガラス基板１の位置決めを行う。このとき、受けピン５は、保持機構の働きによるスライドアーム１５の移動によって、ガラス基板１と共に移動する。   With the lower surface of the glass substrate 1 supported by the pins 5, the positioning rollers 6, 7, and 8 (the positioning roller 8 is not shown) are moved in the Y direction or the X direction as shown in FIG. The positioning rollers 6, 7, 8 press the side surface of the glass substrate 1 to position the glass substrate 1. At this time, the receiving pin 5 moves together with the glass substrate 1 by the movement of the slide arm 15 by the action of the holding mechanism.

ガラス基板１の位置決めが終了したら、受けピン５をロックし、位置決めローラ６，７，８を元の位置へ戻す。そして、図６（ｃ）に示すように、ベース１０を下降させて受けピン５を下降させ、ガラス基板１をワークテーブル２に搭載する。受けピン５を下降させた後、受けピン５のロックを一旦解除し、受けピン５のセンタリングを行って、再び受けピン５をロックする。位置決め装置は、ワークテーブル２によりガラス基板１を真空吸着し、検査装置は、検査光による１回目の走査を行う。   When the positioning of the glass substrate 1 is completed, the receiving pin 5 is locked, and the positioning rollers 6, 7, and 8 are returned to their original positions. Then, as shown in FIG. 6C, the base 10 is lowered to lower the receiving pins 5, and the glass substrate 1 is mounted on the work table 2. After the receiving pin 5 is lowered, the receiving pin 5 is once unlocked, the receiving pin 5 is centered, and the receiving pin 5 is locked again. The positioning device vacuum-sucks the glass substrate 1 with the work table 2, and the inspection device performs the first scanning with the inspection light.

１回目の走査が終了したら、ワークテーブル２によるガラス基板１の真空吸着を解除し、ベース１０を上昇させて、受けピン５の先端をワークテーブル２の上面から突き出す。ガラス基板１は再び受けピン５で支持され、図６（ａ）に示した状態となる。   When the first scan is completed, the vacuum suction of the glass substrate 1 by the work table 2 is released, the base 10 is raised, and the tip of the receiving pin 5 protrudes from the upper surface of the work table 2. The glass substrate 1 is again supported by the receiving pins 5 and is in the state shown in FIG.

この状態で、図７（ａ）に示すように、ベース１０を移動することにより、ガラス基板１をＹ方向へ所定の距離だけ移動する。そして、受けピン５のロックを解除し、図７（ｂ）に示すように、位置決めローラ６，７，８（位置決めローラ８は図示省略）をＹ方向又はＸ方向へ移動して、ガラス基板１の位置決めを行う。   In this state, as shown in FIG. 7A, by moving the base 10, the glass substrate 1 is moved by a predetermined distance in the Y direction. Then, the lock of the receiving pin 5 is released, and as shown in FIG. 7B, the positioning rollers 6, 7, 8 (the positioning roller 8 is not shown) are moved in the Y direction or the X direction, and the glass substrate 1 Perform positioning.

ガラス基板１の位置決めが終了したら、受けピン５をロックし、位置決めローラ６，７，８を元の位置へ戻す。そして、図７（ｃ）に示すように、ベース１０を下降させて受けピン５を下降させ、ガラス基板１をワークテーブル２に搭載する。受けピン５を下降させた後、受けピン５のロックを一旦解除し、受けピン５のセンタリングを行って、再び受けピン５をロックする。位置決め装置は、ワークテーブル２によりガラス基板１を真空吸着し、検査装置は、検査光による２回目の走査を行う。以後、同様の動作を繰り返して、ガラス基板１の表面全体の走査を行う。   When the positioning of the glass substrate 1 is completed, the receiving pin 5 is locked, and the positioning rollers 6, 7, and 8 are returned to their original positions. Then, as shown in FIG. 7C, the base 10 is lowered to lower the receiving pins 5, and the glass substrate 1 is mounted on the work table 2. After the receiving pin 5 is lowered, the receiving pin 5 is once unlocked, the receiving pin 5 is centered, and the receiving pin 5 is locked again. The positioning device vacuum-sucks the glass substrate 1 with the work table 2, and the inspection device performs a second scan with inspection light. Thereafter, the same operation is repeated to scan the entire surface of the glass substrate 1.

ガラス基板１の表面全体の走査が終了したら、ベース１０を移動することにより、ガラス基板１をＹ方向の元の位置へ移動する。そして、ベース３０を上昇させて、リフトピン４の先端をワークテーブル２の上面から突き出し、ガラス基板１を受けピン５からリフトピン４へ渡す。続いて、ベース１０を下降させて、受けピン５を下降させる。ガラス基板１はリフトピン４で支持され、図５（ｂ）に示した状態となる。この状態で、ロボットアームを用いてガラス基板１をリフトピン４の先端から持ち上げ、ガラス基板１をアンロードする。   When the scanning of the entire surface of the glass substrate 1 is completed, the glass substrate 1 is moved to the original position in the Y direction by moving the base 10. Then, the base 30 is raised, the tip of the lift pin 4 protrudes from the upper surface of the work table 2, and the glass substrate 1 is received from the pin 5 to the lift pin 4. Subsequently, the base 10 is lowered and the receiving pin 5 is lowered. The glass substrate 1 is supported by the lift pins 4 and is in the state shown in FIG. In this state, the glass substrate 1 is lifted from the tip of the lift pin 4 using the robot arm, and the glass substrate 1 is unloaded.

以上説明した実施の形態によれば、ガラス基板の位置決めを行う際、エアを用いないので塵埃が発生せず、またガラス基板の下面を支持するピンがガラス基板と共に移動するので、ガラス基板の下面に傷が付かない。そして、ワークテーブルを移動する場合に比べ、ガラス基板の位置決めを低コストで行うことができる。   According to the embodiment described above, when the glass substrate is positioned, no air is used, so that dust is not generated, and the pins supporting the lower surface of the glass substrate move together with the glass substrate. Is not scratched. And compared with the case where a work table is moved, positioning of a glass substrate can be performed at low cost.

また、ガラス基板の下面を支持する前に、受けピンを所定の位置に合わせるセンタリングを行うことにより、常にガラス基板の下面の同じ位置を支持することができる。   In addition, by performing centering for aligning the receiving pin with a predetermined position before supporting the lower surface of the glass substrate, it is possible to always support the same position on the lower surface of the glass substrate.

さらに、受けピンが取り付けられたスライドアームを固定するロック機構を設けることにより、ガラス基板のＹ方向への移動等受けピンの移動が必要ないときに、受けピンをロックすることができる。   Furthermore, by providing a lock mechanism for fixing the slide arm to which the receiving pin is attached, the receiving pin can be locked when it is not necessary to move the receiving pin such as movement of the glass substrate in the Y direction.

本発明は、基板の検査に限らず、表示用パネルの製造工程で基板の位置決めが必要な場合にも適用することができる。   The present invention can be applied not only to the inspection of the substrate but also to the case where the substrate needs to be positioned in the manufacturing process of the display panel.

本発明の一実施の形態による基板の位置決め装置の上面図である。It is a top view of the positioning apparatus of the board | substrate by one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態による基板の位置決め装置の主要部を示す上面図である。It is a top view which shows the principal part of the positioning device of the board | substrate by one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態による基板の位置決め装置の主要部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the principal part of the positioning device of the board | substrate by one embodiment of this invention. 図２のＡ−Ａ部の一部断面側面図である。It is a partial cross section side view of the AA part of FIG. 本発明の一実施の形態による基板の位置決め方法を示す図である。It is a figure which shows the positioning method of the board | substrate by one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態による基板の位置決め方法を示す図である。It is a figure which shows the positioning method of the board | substrate by one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態による基板の位置決め方法を示す図である。It is a figure which shows the positioning method of the board | substrate by one embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ ガラス基板
２ ワークテーブル
４ リフトピン
５ 受けピン
６，７，８ 位置決めローラ
１０，３０ ベース
１１ スライドガイド
１２ スライドブロック
１３ ベアリング
１５ スライドアーム
１６，１７ 位置決めアーム
２０ プレート
２２ ローラ受け
２３ ローラ
２４ スライダ
２５，２８ エアシリンダ
２６，２７ エアスライド
２９ ストッパ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate 2 Worktable 4 Lift pin 5 Receiving pins 6, 7, 8 Positioning roller 10, 30 Base 11 Slide guide 12 Slide block 13 Bearing 15 Slide arm 16, 17 Positioning arm 20 Plate 22 Roller receiving 23 Roller 24 Slider 25, 28 Air cylinder 26, 27 Air slide 29 Stopper

Claims (5)

基板の下面を支持する複数のピンと、
前記複数のピンが取り付けられた可動部材と、
前記可動部材を移動可能に保持する保持機構と、
前記複数のピンにより支持された基板の側面を押して、基板の位置決めを行う位置決め手段とを備え、
前記複数のピンは、前記位置決め手段により基板の側面が押されたとき、前記保持機構に保持された前記可動部材の移動によって、基板と共に移動することを特徴とする基板の位置決め装置。 A plurality of pins for supporting the lower surface of the substrate;
A movable member to which the plurality of pins are attached;
A holding mechanism for movably holding the movable member;
Positioning means for positioning the substrate by pressing the side surface of the substrate supported by the plurality of pins,
The plurality of pins move together with the substrate by the movement of the movable member held by the holding mechanism when the side surface of the substrate is pushed by the positioning means. 前記可動部材を所定の位置へ移動して、前記複数のピンを所定の位置に合わせる位置合わせ機構を備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板の位置決め装置。   The substrate positioning apparatus according to claim 1, further comprising an alignment mechanism that moves the movable member to a predetermined position to align the plurality of pins with the predetermined position. 前記可動部材を固定して、前記複数のピンの移動を阻止するロック機構を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板の位置決め装置。   The substrate positioning apparatus according to claim 1, further comprising a lock mechanism that fixes the movable member and prevents movement of the plurality of pins. 可動部材に取り付けられた複数のピンで基板の下面を支持し、
基板の側面を押して、基板を複数のピンと共に移動して基板の位置決めを行うことを特徴とする基板の位置決め方法。 Support the lower surface of the substrate with a plurality of pins attached to the movable member,
A method for positioning a substrate, wherein the substrate is positioned by pressing a side surface of the substrate and moving the substrate together with a plurality of pins. 基板の下面を支持する前に、可動部材を所定の位置へ移動して、複数のピンを所定の位置に合わせることを特徴とする請求項４に記載の基板の位置決め方法。   5. The substrate positioning method according to claim 4, wherein the movable member is moved to a predetermined position and the plurality of pins are adjusted to the predetermined position before supporting the lower surface of the substrate.
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