JP2005221726A - Photosensitive transfer material, protrusion for liquid crystal alignment control and method for forming the same, and liquid crystal display - Google Patents

Photosensitive transfer material, protrusion for liquid crystal alignment control and method for forming the same, and liquid crystal display Download PDF

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知啓 児玉
Susumu Sugiyama
享 杉山
Hideaki Ito
英明 伊藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive transfer material suitable for use in formation of protrusions for liquid crystal alignment control which regulate alignment of liquid crystal molecules, ensuring a uniform thickness even when protrusions for liquid crystal alignment control are formed on a large substrate, and having a wide development latitude; protrusions for liquid crystal alignment control formed using the photosensitive transfer material; a method for forming the protrusions; and a liquid crystal display. <P>SOLUTION: The photosensitive transfer material has at least one photosensitive resin layer containing a cresol novolac resin on a temporary support. The protrusions for liquid crystal alignment control using the photosensitive transfer material, the method for forming the protrusions, and the liquid crystal display are also provided. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、光の照射によって化学変化する感光性樹脂層を有する転写材料、液晶配向制御用突起及びその形成方法、並びに、液晶表示装置に関する。詳細には、液晶表示装置(LCD:Liquid Crystal Display)を構成する導電層の外側から液晶層側に凸となるように設けられる液晶配向制御用突起の形成に用いられる感光性転写材料、これを用いて形成された液晶配向制御用突起及びその製造方法、並びに、液晶表示装置に関する。   The present invention relates to a transfer material having a photosensitive resin layer that is chemically changed by light irradiation, a liquid crystal alignment control protrusion, a method for forming the same, and a liquid crystal display device. Specifically, a photosensitive transfer material used for forming a liquid crystal alignment control protrusion provided so as to protrude from the outside of a conductive layer constituting a liquid crystal display (LCD) to the liquid crystal layer side, and The present invention relates to a liquid crystal alignment control protrusion formed using the same, a manufacturing method thereof, and a liquid crystal display device.

近年、CRT(Cathode−Ray Tube)ディスプレイに代わるフラットパネルディスプレイとしては、液晶表示装置(LCD)が現在最も広く使用されており、その期待も大きい。中でも、薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)方式のLCD(TFT−LCD)は、パーソナルコンピュータ、ワープロ、及びOA機器や、携帯テレビジョン等への応用によって市場の一層の拡大が期待されているとともに、画像品質の更なる向上が求められている。   In recent years, a liquid crystal display (LCD) has been most widely used as a flat panel display to replace a CRT (Cathode-Ray Tube) display, and its expectation is also great. Among them, the thin film transistor (TFT) type LCD (TFT-LCD) is expected to further expand the market by application to personal computers, word processors, OA devices, portable televisions, etc. There is a need for further improvement in image quality.

現在、TFT−LCDの中で最も広く使用されている方式は、ノーマリホワイトモードのTN(Twisted Nematic)型のLCDである。しかし、TN型のLCDは、視野角が狭いという欠点があり、表示画面を観察する位置によって表示状態が異なってしまう。このため、TN型のLCDは、その用途が限定されてしまうという問題があった。   Currently, the most widely used method among TFT-LCDs is a normally white mode TN (Twisted Nematic) type LCD. However, the TN type LCD has a drawback that the viewing angle is narrow, and the display state differs depending on the position where the display screen is observed. For this reason, the TN type LCD has a problem that its application is limited.

尚、TN型のLCDが有する問題は、電極を備える一対の基板間に液晶を挟持し、電極間に電圧印加して表示することが可能なLCD(例えば、単純マトリックス型やプラズマアドレス型LCD)においても同様に生じる問題である。   The problem with TN-type LCDs is that they can be displayed by holding a liquid crystal between a pair of substrates with electrodes and applying a voltage between the electrodes (for example, a simple matrix type or a plasma addressed type LCD). This is also a problem that occurs in the same way.

即ち、このようなLCDは、電圧を印加しない白表示の状態では、どの方位においてもほぼ白に見ることができる。しかし、所定の電圧を印加した黒表示の状態では、斜めに入射する光が垂直方向に配向された液晶分子に対して斜めに通過する。このため、黒表示のLCDを斜めから観察した場合、偏向方向がある程度捩れてしまい、完全な黒ではなく中間調(グレイ)に見えてしまう。   That is, such an LCD can be seen almost white in any orientation in a white display state where no voltage is applied. However, in a black display state in which a predetermined voltage is applied, obliquely incident light passes obliquely with respect to liquid crystal molecules aligned in the vertical direction. For this reason, when the black display LCD is observed from an oblique direction, the deflection direction is twisted to some extent, and it appears to be halftone (gray) instead of completely black.

また、中間電圧を印加した中間調表示の状態においては、セルの中間部では液晶表示が途中まで立ち上がっており、垂直に入射する光に対しては中間調(グレイ)に表示される。しかし、中間調表示の状態においては左右斜めに入射する光に対しては、その入射した方位によって見え方が異なってしまう。具体的には、右下から左上に向かう光に対しては液晶分子は平行に配向されるため、LCDを左側から観察すると黒く見えてしまう。これに対し、左下から右上に向かう光に対しては液晶分子は垂直に配向されることから、LCDを右側から観察した場合には白に近い状態に見えてしまう。このように、上述のLCDには、表示状態が視野角に依存してしまうといった欠点がある。   Further, in the halftone display state where an intermediate voltage is applied, the liquid crystal display rises halfway in the middle portion of the cell, and the light that is vertically incident is displayed in halftone (gray). However, in the state of halftone display, the appearance of light incident obliquely on the left and right differs depending on the incident direction. Specifically, since the liquid crystal molecules are aligned in parallel with respect to the light traveling from the lower right to the upper left, the LCD looks black when viewed from the left side. On the other hand, since the liquid crystal molecules are vertically aligned with respect to the light traveling from the lower left to the upper right, when the LCD is observed from the right side, it appears to be almost white. As described above, the LCD described above has a drawback that the display state depends on the viewing angle.

上述のような欠点を解決する手段としては、液晶層に対して突起を形成する技術が提案されている。かかる突起は液晶の配向を制御するために形成されるものであり、液晶配向制御用突起と称される。該突起は、その表面に沿って局部的に液晶分子の配向状態に傾きを与え、液晶面に対して斜めから観察した場合であっても、液晶面を正面から観察した場合と同様の表示状態が得られるように視野角を拡げるものである。   As a means for solving the above-described drawbacks, a technique for forming protrusions on the liquid crystal layer has been proposed. Such protrusions are formed to control the alignment of the liquid crystal and are referred to as liquid crystal alignment control protrusions. The protrusions locally incline the alignment state of the liquid crystal molecules along the surface, and even when observed obliquely with respect to the liquid crystal surface, the same display state as when the liquid crystal surface is observed from the front To widen the viewing angle.

このような技術としては、フェノールノボラック樹脂を用いて液晶配向制御用突起を形成する技術が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。かかる技術は、ポジ型のフォトレジストをスピンコータにて1.5μmの厚さに塗布して塗布層を形成し、該塗布層をプリベークした後に、露光・現像処理を施してパターン形成し、その後、240℃で20分間ポストベーク(熱フロー)を行い、液晶配向制御用突起を形成するものである。しかし、フェノールノボラック樹脂は、現像ラチチュードが狭く、現像条件による性能の変動が大きい。   As such a technique, a technique of forming a liquid crystal alignment control protrusion using a phenol novolac resin has been proposed (see, for example, Patent Document 1). In such a technique, a positive photoresist is applied to a thickness of 1.5 μm with a spin coater to form a coating layer, and after pre-baking the coating layer, exposure and development are performed to form a pattern, Post-baking (heat flow) is performed at 240 ° C. for 20 minutes to form liquid crystal alignment control protrusions. However, the phenol novolac resin has a narrow development latitude, and the performance varies greatly depending on the development conditions.

また、このように液状のフォトレジストをスピンコータによって塗布する方法では、膜厚の均一性が問題となる。特に、近年ではLCDのサイズが大型化しており、元の基板のサイズも1mを超えるものまでが実用化されつつある。このような大きなサイズの基板を用いる場合、スピンコータによる塗布では膜厚の分布が大きくなってしまう。このため、膜厚が不均一になり、LCDの表示特性にばらつき(ムラ)が生じてしまうといった問題がある。   In addition, in this method of applying a liquid photoresist by a spin coater, the uniformity of the film thickness becomes a problem. In particular, in recent years, the size of LCDs has been increased, and even the original substrate size exceeding 1 m is being put into practical use. When such a large-sized substrate is used, the film thickness distribution becomes large in the application by the spin coater. For this reason, there is a problem that the film thickness becomes non-uniform and the display characteristics of the LCD vary (unevenness).

このようにスピンコータを用いることによる問題を解決するために以下の方法が提案されている。一つは、予め1mを超える巾の仮支持体にフォトレジストを均一に塗布した塗布層を乾燥することで得られる感光性転写材料等を用いる方法である(以下、感光性転写材料を用いた方法を「転写方式」と称する場合がある。)。かかる転写方式では、液物性を適切に調整して塗布することが可能であり、膜厚の均一性を高めることができる。かかる感光性転写材料は、必要に応じて熱可塑性樹脂層、中間層及びカバーフィルムなどが使用される(例えば、特許文献2参照。)。   In order to solve the problems caused by using the spin coater as described above, the following methods have been proposed. One is a method using a photosensitive transfer material obtained by drying a coating layer in which a photoresist is uniformly applied to a temporary support having a width exceeding 1 m in advance (hereinafter, a photosensitive transfer material was used). The method may be referred to as “transfer method”). In such a transfer system, it is possible to apply the liquid property appropriately adjusted, and to improve the uniformity of the film thickness. As such a photosensitive transfer material, a thermoplastic resin layer, an intermediate layer, a cover film, and the like are used as necessary (see, for example, Patent Document 2).

上述の方式は、大型基板塗布時の均一性を、スピンコータを用いた場合と比較して改善することが可能である。しかし、これらの方法であっても、上述のようにフェノールノボラック樹脂を用いると、フェノールノボラック樹脂は現像ラチチュードが狭いことから、大型基板に塗布したものを現像する際、基板内で現像ムラが生じるため、LCDに組み込んだ際に液晶特性のムラを生じさせるという問題がある。
特開2002−122858号公報 特開平5−80503号公報
The above-described method can improve the uniformity at the time of coating a large substrate as compared with the case where a spin coater is used. However, even in these methods, when a phenol novolac resin is used as described above, the development latitude of the phenol novolac resin is narrow, so that development unevenness occurs in the substrate when developing a coating applied to a large substrate. For this reason, there is a problem in that unevenness of liquid crystal characteristics is caused when incorporated in an LCD.
JP 2002-122858 A JP-A-5-80503

本発明は、上述の問題を解決すべく、液晶分子の配向を規制する液晶配向制御用突起の形成に好適に用いられ、大型の基板に液晶配向制御用突起を形成した場合であってもその膜厚が均一であり、且つ、現像ラチチュードが広い感光性転写材料、並びに、これを用いて形成された液晶配向制御用突起、その形成方法、及び、これを用いた液晶表示装置を提供することを目的とする。   In order to solve the above-mentioned problem, the present invention is suitably used for forming a liquid crystal alignment control protrusion for regulating the alignment of liquid crystal molecules, and even when the liquid crystal alignment control protrusion is formed on a large substrate. To provide a photosensitive transfer material having a uniform film thickness and a wide development latitude, a liquid crystal alignment control protrusion formed using the same, a method for forming the same, and a liquid crystal display device using the same. With the goal.

上記課題は、下記の手段によって解決される。
<1> 仮支持体上に、クレゾールノボラック樹脂を含む感光性樹脂層を少なくとも1層有することを特徴とする感光性転写材料である。
The above problem is solved by the following means.
<1> A photosensitive transfer material comprising at least one photosensitive resin layer containing a cresol novolac resin on a temporary support.

<2> 前記感光性樹脂層が、ナフトキノンジアジドエステルを含むことを特徴とする上記<1>の感光性転写材料である。   <2> The photosensitive transfer material according to <1>, wherein the photosensitive resin layer contains naphthoquinone diazide ester.

<3> 前記感光性樹脂層が、可塑剤を含むことを特徴とする上記<1>又は<2>の感光性転写材料である。   <3> The photosensitive transfer material according to <1> or <2>, wherein the photosensitive resin layer contains a plasticizer.

<4> 前記感光性樹脂層が、高沸点溶剤を含むことを特徴とする上記<1>〜<3>の感光性転写材料である。   <4> The photosensitive transfer material according to <1> to <3>, wherein the photosensitive resin layer contains a high boiling point solvent.

<5> 前記仮支持体上に、熱可塑性樹脂層と、中間層と、前記感光性樹脂層とをこの順で有することを特徴とする上記<1>〜<4>の感光性転写材料である。   <5> The photosensitive transfer material according to the above <1> to <4>, wherein a thermoplastic resin layer, an intermediate layer, and the photosensitive resin layer are provided in this order on the temporary support. is there.

<6> 上記<1>〜<5>の感光性転写材料を用いて形成されたことを特徴とする液晶配向制御用突起である。   <6> A liquid crystal alignment control protrusion formed using the photosensitive transfer material according to the above items <1> to <5>.

<7> 上記<1>〜<5>の感光性転写材料を用いた液晶配向制御用突起の形成方法であって、前記感光性転写材料の感光性樹脂層を基板上に転写する転写工程と、前記基板上に転写された前記感光性樹脂層をパターニングするパターニング工程とを含むことを特徴とする液晶配向制御用突起の形成方法である。   <7> A method for forming a liquid crystal alignment control protrusion using the photosensitive transfer material according to the above <1> to <5>, wherein a transfer step of transferring a photosensitive resin layer of the photosensitive transfer material onto a substrate; And a patterning step of patterning the photosensitive resin layer transferred onto the substrate. A method for forming a protrusion for controlling liquid crystal alignment.

<8> 上記<6>に記載の液晶配向制御用突起を有することを特徴とする液晶表示装置である。   <8> A liquid crystal display device comprising the liquid crystal alignment control protrusion according to <6>.

本発明によれば、液晶分子の配向を規制する液晶配向制御用突起の形成に好適に用いられ、大型の基板に液晶配向制御用突起を形成した場合であってもその膜厚が均一であり、且つ、現像ラチチュードが広い感光性転写材料、並びに、これを用いて形成された液晶配向制御用突起、その形成方法、及び、これを用いた液晶表示装置を提供することができる。   According to the present invention, it is suitably used for forming a liquid crystal alignment control protrusion for regulating the alignment of liquid crystal molecules, and even when the liquid crystal alignment control protrusion is formed on a large substrate, the film thickness is uniform. In addition, it is possible to provide a photosensitive transfer material having a wide development latitude, a liquid crystal alignment control protrusion formed using the photosensitive transfer material, a method of forming the protrusion, and a liquid crystal display device using the same.

本発明の感光性転写材料は、仮支持体上に、クレゾールノボラック樹脂を含む感光性樹脂層を少なくとも1層有することを特徴とする。本発明によれば、感光性樹脂層にクレゾールノボラック樹脂を含有することで、液晶表示装置の作製に用いた場合に画像の焼き付けを防止することができる。更に本発明の感光性転写材料は、フェノールノボラック樹脂を用いた場合と比して現像ラチチュードが広いことから、感光性樹脂層を基板等に転写した際に、現像時間が長くても画素(感光性樹脂層をパターニングしたもの)が基板から脱落しにくく、現像条件に対する依存が少ない。   The photosensitive transfer material of the present invention is characterized by having at least one photosensitive resin layer containing a cresol novolac resin on a temporary support. According to the present invention, by containing a cresol novolac resin in the photosensitive resin layer, image burn-in can be prevented when used for manufacturing a liquid crystal display device. Furthermore, since the photosensitive transfer material of the present invention has a wider development latitude than when a phenol novolac resin is used, when the photosensitive resin layer is transferred to a substrate or the like, pixels (photosensitive) A pattern of the conductive resin layer) is less likely to drop off from the substrate and is less dependent on development conditions.

また、本発明は上記転写方式に用いられる転写材料である。このため、サイズの大きな基板上に液晶配向制御用突起(以下「リブ」と称する場合もある。)を形成する際にも、該基板上に厚み精度の高い感光性樹脂からなる膜を形成(転写)することができる。   The present invention also relates to a transfer material used for the transfer method. For this reason, when a liquid crystal alignment control protrusion (hereinafter also referred to as “rib”) is formed on a large-sized substrate, a film made of a photosensitive resin with high thickness accuracy is formed on the substrate ( Transfer).

本発明の感光性転写材料は、液晶表示装置を構成する導電層の外側(導電層と液晶層との間)から液晶層側に凸となるように設けられる構造体(液晶配向制御用突起)の形成に好適に用いることができる。また、上記感光性樹脂層は、更に、ナフトキノンジアジドエステル、可塑剤、及び、高沸点溶剤を含むことが好ましい。   The photosensitive transfer material of the present invention is a structure (projection for liquid crystal alignment control) provided so as to protrude from the outside (between the conductive layer and the liquid crystal layer) of the conductive layer constituting the liquid crystal display device to the liquid crystal layer side. It can use suitably for formation of. The photosensitive resin layer preferably further contains a naphthoquinone diazide ester, a plasticizer, and a high boiling point solvent.

液晶表示装置における本発明の液晶配向制御用突起の設置箇所について図1を用いて説明する。図1は、本発明の液晶配向制御用突起を用いた液晶表示装置を示す概略図である。図1(a)において、液晶表示装置10は、ガラス基板12と、導電層14と、液晶分子15を含む液晶層16と、導電層18と、ガラス基板20とをこの順で積層した構造を有している。図1(a)において液晶配向制御用突起22は、導電層14と液晶層16との間、及び、導電層18と液晶層16との間に設けることができる。また、図1(b)に示すように、液晶表示装置10が、導電層18とガラス基板20との間にカラーフィルター24を有する場合も同様に、液晶配向制御用突起22は、図1(b)に示すように導電層18と液晶層16との間、及び、導電層14と液晶層16との間に設けることができる。尚、液晶配向制御用突起22と液晶層16との間には、液晶配向膜(ポリイミド膜)が設けられていていてもよい。   The installation location of the liquid crystal alignment control projection of the present invention in the liquid crystal display device will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic view showing a liquid crystal display device using the liquid crystal alignment control protrusion of the present invention. 1A, the liquid crystal display device 10 has a structure in which a glass substrate 12, a conductive layer 14, a liquid crystal layer 16 including liquid crystal molecules 15, a conductive layer 18, and a glass substrate 20 are stacked in this order. Have. In FIG. 1A, the liquid crystal alignment control protrusions 22 can be provided between the conductive layer 14 and the liquid crystal layer 16 and between the conductive layer 18 and the liquid crystal layer 16. Further, as shown in FIG. 1B, when the liquid crystal display device 10 includes a color filter 24 between the conductive layer 18 and the glass substrate 20, the liquid crystal alignment control protrusions 22 are formed in the same manner as in FIG. As shown in b), it can be provided between the conductive layer 18 and the liquid crystal layer 16 and between the conductive layer 14 and the liquid crystal layer 16. A liquid crystal alignment film (polyimide film) may be provided between the liquid crystal alignment control protrusion 22 and the liquid crystal layer 16.

以下、本発明の感光性転写材料、並びに、これを用いて形成した液晶配向制御用突起及び液晶表示装置について詳細に説明する。   Hereinafter, the photosensitive transfer material of the present invention, the liquid crystal alignment control protrusion and the liquid crystal display device formed using the same will be described in detail.

《感光性転写材料》
本発明の感光性転写材料は、少なくとも1層の感光性樹脂層を有し、必要に応じて、熱可塑性樹脂層と、中間層とを有することができる。以下、仮支持体上に熱可塑性樹脂層、中間層及び感光性樹脂層をこの順で積層した態様を例に、本発明の感光性転写材料について説明する。但し、本発明はこれに限定されるものではなく、仮支持体上に直接感光性樹脂層が形成された態様であってもよいし、仮支持体と感光性樹脂層との間に、熱可塑性樹脂層及び中間層のいずれかのみが形成された態様であってもよい。
<Photosensitive transfer material>
The photosensitive transfer material of the present invention has at least one photosensitive resin layer, and can optionally have a thermoplastic resin layer and an intermediate layer. Hereinafter, the photosensitive transfer material of the present invention will be described by taking as an example an embodiment in which a thermoplastic resin layer, an intermediate layer, and a photosensitive resin layer are laminated in this order on a temporary support. However, the present invention is not limited to this, and may be an embodiment in which a photosensitive resin layer is formed directly on the temporary support, or between the temporary support and the photosensitive resin layer. Only one of the plastic resin layer and the intermediate layer may be formed.

<感光性樹脂層>
上記感光性樹脂層は、少なくともクレゾールノボラック樹脂を含有し、更に、必要に応じてナフトキノンジアジドエステル、更には、可塑剤や残存溶媒として高沸点溶媒、その他の添加剤を含むことが好ましい。
<Photosensitive resin layer>
The photosensitive resin layer preferably contains at least a cresol novolak resin, and further contains a naphthoquinone diazide ester as necessary, and further contains a high-boiling solvent and other additives as a plasticizer and a residual solvent.

(クレゾールノボラック樹脂)
上記クレゾールノボラック樹脂としては、クレゾールに対するホルムアルデヒドのモル比が0.7〜1.0程度のものが好ましく、0.8〜1.0が更に好ましい。また、上記クレゾールノボラック樹脂の重量平均分子量としては、800〜8000が好ましく、1000〜6000が特に好ましい。
(Cresol novolac resin)
The cresol novolac resin preferably has a molar ratio of formaldehyde to cresol of about 0.7 to 1.0, more preferably 0.8 to 1.0. Moreover, as a weight average molecular weight of the said cresol novolak resin, 800-8000 are preferable and 1000-6000 are especially preferable.

上記クレゾールノボラック樹脂の異性体比(o−体/m−体/p−体のモル比率)は特に限定はないが、現像性を高める観点から全異性体に対するp−体の比率が10モル%以上であることが好ましく、20モル%以上であることが更に好ましい。また、液晶パネル性能(焼き付け防止能など)を高める観点からは、m−体の比率が5モル%以上であることが好ましく、20モル%以上であることが好ましい。   The isomer ratio (molar ratio of o-isomer / m-isomer / p-isomer) of the cresol novolak resin is not particularly limited, but the ratio of the p-isomer to the total isomer is 10 mol% from the viewpoint of improving developability. It is preferable that it is above, and it is still more preferable that it is 20 mol% or more. Further, from the viewpoint of improving the liquid crystal panel performance (such as anti-seizing ability), the m-isomer ratio is preferably 5 mol% or more, and preferably 20 mol% or more.

上記クレゾールノボラック樹脂は、単独で用いてもよいし、2種以上の混合物として用いることもできる。この場合、フェノールノボラック等の他の樹脂と混合して用いてもよい。また、本発明においては、上記クレゾールノボラック樹脂として、ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルとの反応生成物等のクレゾールノボラック樹脂の誘導体を用いてもよい。   The cresol novolac resin may be used alone or as a mixture of two or more. In this case, it may be used by mixing with other resins such as phenol novolac. In the present invention, as the cresol novolak resin, a derivative of a cresol novolak resin such as a reaction product with naphthoquinone diazide sulfonate may be used.

上記クレゾールノボラック樹脂の使用量としては、0.1〜10g/m2が好ましく、0.5〜5g/m2がさらに好ましい。 As the usage-amount of the said cresol novolak resin, 0.1-10 g / m < 2 > is preferable and 0.5-5 g / m < 2 > is further more preferable.

(ナフトキノンジアジドエステル)
上記感光性樹脂層には、ナフトキノンジアジドエステルをクレゾールノボラック樹脂と併用することが好ましい。上記ナフトキノンジアジドエステルは、1官能の化合物であってもよいし2官能以上の化合物であってもよく、更にこれらの混合物であってもよい。1官能のナフトキノンジアジドエステルとしては、ナフトキノン−4−スルホン酸クロリド若しくはナフトキノン−5−スルホン酸クロリドと、置換フェノールとを反応させたエステル化合物であることが好ましい。
(Naphthoquinone diazide ester)
In the photosensitive resin layer, naphthoquinone diazide ester is preferably used in combination with a cresol novolac resin. The naphthoquinone diazide ester may be a monofunctional compound, a bifunctional or higher compound, and a mixture thereof. The monofunctional naphthoquinone diazide ester is preferably an ester compound obtained by reacting naphthoquinone-4-sulfonic acid chloride or naphthoquinone-5-sulfonic acid chloride with a substituted phenol.

また、2官能以上のナフトキノンジアジドエステルとしては、ナフトキノン−4−スルホン酸クロリド若しくはナフトキノン−5−スルホン酸クロリドと、フェノール性水酸基を複数有する化合物とを反応させたエステル化合物であることが好ましい。上記フェノール性水酸基を複数有する化合物としては、例えば、ビスフェノール類、トリスフェノール類、テトラキノスフェノール類等のポリフェノール類;ジヒドロキシベンゼン、トリヒドロキシベンゼン等の多官能フェノール;ビス型又はトリス型のジヒドロキシベンゼン若しくはトリヒドロキシベンゼン、非対称の多核フェノール、並びに、これらの混合物等が好ましい。   The bifunctional or higher naphthoquinone diazide ester is preferably an ester compound obtained by reacting naphthoquinone-4-sulfonic acid chloride or naphthoquinone-5-sulfonic acid chloride with a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups. Examples of the compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups include polyphenols such as bisphenols, trisphenols and tetraquinosphenols; polyfunctional phenols such as dihydroxybenzene and trihydroxybenzene; bis-type or tris-type dihydroxybenzene or Trihydroxybenzene, asymmetric polynuclear phenol, a mixture thereof, and the like are preferable.

上記フェノール性水酸基を有する化合物の具体例としては、例えば、4−t−ブチルフェノール、4−イソアミルフェノール、4−t−オクチルフェノール、2−イソプロピル−5−メチルフェノール、2−アセチルフェノール、4−ヒドロキシベンゾフェノン、3−クロロフェノール、4−ベンジルオキシカルボニルフェノール、4−ドデシルフェノール、レゾルシノール、4−(1−メチル−1−フェニルエチル)−1,3−ベンゼンジオール、フロログルシノール、4,4’−ジヒドロキシベンゾフェノン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)メタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、2,2−ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)メタン、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、4,4’−[(4−ヒドロキシフェニル)メチレン]ビス[2−シクロヘキシル−5−メチルフェノール]等が挙げられる。   Specific examples of the compound having a phenolic hydroxyl group include, for example, 4-t-butylphenol, 4-isoamylphenol, 4-t-octylphenol, 2-isopropyl-5-methylphenol, 2-acetylphenol, and 4-hydroxybenzophenone. , 3-chlorophenol, 4-benzyloxycarbonylphenol, 4-dodecylphenol, resorcinol, 4- (1-methyl-1-phenylethyl) -1,3-benzenediol, phloroglucinol, 4,4′-dihydroxy Benzophenone, bis (4-hydroxyphenyl) methane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) cyclohexane, 2,2-bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) methane, 2,3,4,4′- Tetrahydroxybenzophenone, 4, '- [(4-hydroxyphenyl) methylene] bis [2-cyclohexyl-5-methylphenol], and the like.

上記ナフトキノンジアジドエステルの具体例としては、例えば、4’−t−オクチルフェニルナフトキノンジアジド−4−スルホネート、4’−t−オクチルフェニルナフトキノンジアジド−5−スルホネート、4’−ベンゾイルフェニルナフトキノンジアジド−5−スルホネート、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノンと1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸クロリドとの反応物が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。   Specific examples of the naphthoquinonediazide ester include, for example, 4′-t-octylphenylnaphthoquinonediazide-4-sulfonate, 4′-t-octylphenylnaphthoquinonediazide-5-sulfonate, 4′-benzoylphenylnaphthoquinonediazide-5 Examples include sulfonate, a reaction product of 2,3,4,4′-tetrahydroxybenzophenone and 1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid chloride. These may be used alone or in combination of two or more.

上記感光性樹脂中のナフトキノンジアジドエステルのクレゾールノボラック樹脂に対する質量比は、現像性を高める観点から1〜200質量%が好ましく、5〜50質量%が更に好ましい。   The mass ratio of the naphthoquinone diazide ester to the cresol novolac resin in the photosensitive resin is preferably 1 to 200% by mass, and more preferably 5 to 50% by mass from the viewpoint of improving developability.

(可塑剤)
上述の通り、上記感光性樹脂層には可塑剤が含有されていることが好ましい。上記可塑剤を上記クレゾールノボラック樹脂と併用することで、感光性樹脂層の膜強度を高めることができる。このため、上記感光性樹脂層を薄膜化した場合であっても、ひび割れ欠陥等の発生を抑制することができる。
(Plasticizer)
As described above, the photosensitive resin layer preferably contains a plasticizer. By using the plasticizer in combination with the cresol novolak resin, the film strength of the photosensitive resin layer can be increased. For this reason, even if it is a case where the said photosensitive resin layer is thinned, generation | occurrence | production of a crack defect etc. can be suppressed.

上記可塑剤としては、例えば、4−t−ブチルフェノール、4−t−オクチルフェノールなどのフェノール化合物;低分子量フェノールノボラック(好ましくは、重量平均分子量1000以下のフェノールノボラック);リン酸トリクレジル(トリクレジルホスフェート)、フタル酸ジブチル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、グリセリン、プロピレングリコール等の極性低分子化合物;等が挙げられ、4−t−ブチルフェノール、低分子量フェノールノボラック、リン酸トリクレジル、プロピレングリコールが好ましい。   Examples of the plasticizer include phenol compounds such as 4-t-butylphenol and 4-t-octylphenol; low molecular weight phenol novolac (preferably a phenol novolak having a weight average molecular weight of 1000 or less); tricresyl phosphate (tricresyl phosphate) ), Polar low molecular compounds such as dibutyl phthalate, diethylene glycol monomethyl ether, glycerin, and propylene glycol; and the like, and 4-t-butylphenol, low molecular weight phenol novolak, tricresyl phosphate, and propylene glycol are preferable.

上記感光性樹脂層中の上記可塑剤の添加量は、感光性樹脂層の全固形分に対して0.5〜20質量%程度が好ましく、5〜15質量%が更に好ましい。   The amount of the plasticizer added in the photosensitive resin layer is preferably about 0.5 to 20% by mass, and more preferably 5 to 15% by mass with respect to the total solid content of the photosensitive resin layer.

(高沸点溶剤)
本発明の感光性転写材料は、感光性樹脂層中に溶剤を残存させて軟膜化し、薄膜化した際に膜が脆くなってひび割れ等が発生するのを防止することができる。
上記感光性樹脂層中に残存させる溶剤としては、上記感光性樹脂層の形成に用いられる感光性樹脂組成物に用いられる溶剤であってもよく、高沸点溶剤が特に好ましい。上記高沸点溶剤としては、1−メトキシプロピルアセテート、シクロヘキサノン、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、テトラヒドロフリルアルコール、エトキシプロピルプロピオネート等が挙げられる。
(High boiling point solvent)
In the photosensitive transfer material of the present invention, the solvent remains in the photosensitive resin layer to be softened, and when the film is thinned, the film becomes brittle and can be prevented from cracking.
The solvent remaining in the photosensitive resin layer may be a solvent used in the photosensitive resin composition used for forming the photosensitive resin layer, and a high boiling point solvent is particularly preferable. Examples of the high boiling point solvent include 1-methoxypropyl acetate, cyclohexanone, N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, tetrahydrofuryl alcohol, ethoxypropylpropionate, and the like.

また、上記高沸点溶剤の沸点としては、120℃以上が好ましく、140℃以上が更に好ましい。上記感光性樹脂層中に残存させる溶剤の感光性樹脂層中の全固形分に対する含有量は、0.1〜20質量%が好ましく、0.5〜5質量%が更に好ましい。   Moreover, as a boiling point of the said high boiling point solvent, 120 degreeC or more is preferable and 140 degreeC or more is still more preferable. The content of the solvent remaining in the photosensitive resin layer with respect to the total solid content in the photosensitive resin layer is preferably 0.1 to 20% by mass, and more preferably 0.5 to 5% by mass.

(その他の添加剤)
上記感光性樹脂層には、感光性樹脂層の現像性を促進させるために、2価以上の脂肪族カルボン酸や、2〜6価のフェノール化合物を含有していてもよい。
上記2価以上の脂肪族カルボン酸としては、例えば、マロン酸、コハク酸、フマル酸、マレイン酸、ヒドロキシコハク酸、グルタル酸、アジピン酸等が挙げられ、マロン酸、コハク酸が好ましい。上記感光性樹脂中の全固形分に対する上記2価以上の脂肪族カルボン酸の含有量としては、0.5〜20質量%が好ましく、5〜15質量%が更に好ましい。
(Other additives)
In order to promote the developability of the photosensitive resin layer, the photosensitive resin layer may contain a divalent or higher aliphatic carboxylic acid or a divalent to hexavalent phenol compound.
Examples of the divalent or higher aliphatic carboxylic acid include malonic acid, succinic acid, fumaric acid, maleic acid, hydroxysuccinic acid, glutaric acid, and adipic acid, and malonic acid and succinic acid are preferable. As content of the said bivalent or more aliphatic carboxylic acid with respect to the total solid in the said photosensitive resin, 0.5-20 mass% is preferable, and 5-15 mass% is still more preferable.

また、上記2〜6価のフェノール化合物としては、2〜4価のフェノール化合物が特に好ましい。上記2〜6価のフェノール化合物としては、例えば、レゾルシノール、4−(1−メチル−1−フェニルエチル)−1,3−ベンゼンジオール、フロログルシノール、4,4’−ジヒドロキシベンゾフェノン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)メタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、2,2−ビス(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)メタン、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、4,4’−[(4−ヒドロキシフェニル)メチレン]ビス[2−シクロヘキシル−5−メチルフェノール]等が挙げられ、レゾルシノール、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキサンが好ましい。上記感光性樹脂中の全固形分に対する上記2〜6価のフェノール化合物の含有量としては、0.5〜20質量%が好ましく、5〜15質量%が更に好ましい。   Moreover, as said 2-6 valent phenol compound, a 2-4 valent phenol compound is especially preferable. Examples of the divalent to hexavalent phenol compound include resorcinol, 4- (1-methyl-1-phenylethyl) -1,3-benzenediol, phloroglucinol, 4,4′-dihydroxybenzophenone, bis (4 -Hydroxyphenyl) methane, 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) cyclohexane, 2,2-bis (3-methyl-4-hydroxyphenyl) methane, 2,3,4,4'-tetrahydroxybenzophenone, 4 , 4 ′-[(4-hydroxyphenyl) methylene] bis [2-cyclohexyl-5-methylphenol] and the like, and resorcinol and 1,1-bis (4-hydroxyphenyl) cyclohexane are preferable. As content of the said 2-6 valent phenol compound with respect to the total solid in the said photosensitive resin, 0.5-20 mass% is preferable, and 5-15 mass% is still more preferable.

更に、上記感光性樹脂層には、液晶配向制御用突起の形成時における転写不良や精度不良等の故障の認識を可能とし、製造適性を向上させる観点から、消色性染料を添加することもできる。上記消色性染料とは、一般に、200℃、1時間の加熱により消色し得る色素を意味し、ベーク時に消色可能な有色染料である。上記消色性染料としては、180℃、1時間の加熱により消色する色素が好ましい。このような色素は、通常、熱による分解若しくは酸化等による構造変化を起こすか、或いは熱によって蒸発若しくは昇華するものである。また、消色性染料を用いて液晶配向制御用突起を作製した場合、該液晶配向制御用突起は、消色後に、400〜800nmの平行光線に対して90%以上の光透過率を有することが好ましい。   Furthermore, a decolorizable dye may be added to the photosensitive resin layer from the viewpoint of enabling recognition of failures such as transfer failure and accuracy failure during the formation of the liquid crystal alignment control protrusions and improving manufacturing suitability. it can. The decolorizable dye generally means a pigment that can be decolored by heating at 200 ° C. for 1 hour, and is a colored dye that can be decolored during baking. As the decolorizable dye, a dye that can be decolored by heating at 180 ° C. for 1 hour is preferable. Such dyes usually undergo structural changes due to thermal decomposition or oxidation, or are evaporated or sublimated by heat. In addition, when a liquid crystal alignment control protrusion is produced using a decolorizable dye, the liquid crystal alignment control protrusion has a light transmittance of 90% or more with respect to parallel light of 400 to 800 nm after decoloring. Is preferred.

上記消色性染料としては、熱によって分解する色素として、例えば、ビクトリアピュアブルーBOH、ビクトリアピュアブルーBOH−M、マラカイトグリーン、アイゼンマラカイトグリーン、マラカイトグリーン塩酸塩、アイゼンダイヤモンドグリーン等のジアルキルアミノトリフェニルメタン系の染料等が挙げられる。また、熱により蒸発又は昇華する色素としては、例えば、オリエントオイルブラウン、メチルイエロー、スミカロンブリリアントブルーB、1,3,5−トリフェニルテトラゾリウムホルマザンなどが挙げられる。   Examples of the decolorizable dye include dyes that decompose by heat, such as dialkylaminotriphenyl such as Victoria Pure Blue BOH, Victoria Pure Blue BOH-M, Malachite Green, Eisen Malachite Green, Malachite Green Hydrochloride, Eisen Diamond Green, and the like. Examples include methane-based dyes. Examples of the dye that evaporates or sublimates by heat include Orient Oil Brown, Methyl Yellow, Sumicaron Brilliant Blue B, 1,3,5-triphenyltetrazolium formazan, and the like.

上記消色性染料としては、上記のほか、染料便覧(有機合成化学協会編、丸善、昭和47年7月20日発行)に記載される、昇華堅牢試験の耐汚染性の評価(180℃、1時間以下の条件)が1〜3のものも使用可能である。具体的には、C.I. Disperse Yellow 8, 31, 72、C.I. Disperse Orange 1, 3,20, 21 、C.I. Disperse Red 15, 55, 60, 65、C.I. Disperse Violet 8, 23,26, 37、C.I. Disperse Blue 20, 26, 55, 56, 72, 90, 91, 92, 106、C.I. Disperse Black 29、 Diacellition Direct Black B M/D (三菱化成(株)製)、Sumikaron Violet RS (住友化学(株)製)、Dianix Fast Sky Blue B M/D(三菱化成(株)製)、Miketon Polyester Blue BCL, GRN (三井石油化学(株)製)、Kayaron Polyester Navy Blue GF(日本化薬(株)製)等が挙げられる。加熱装置の適性、環境汚染を考慮すると、前記消色性染料としては、熱分解性の染料が好ましい。   As the decolorizable dye, in addition to the above, the stain resistance evaluation of the sublimation fastness test described in Dye Handbook (edited by Synthetic Organic Chemistry Association, Maruzen, issued July 20, 1972) (180 ° C., Those having a condition of 1 to 3 hours) can also be used. Specifically, CI Disperse Yellow 8, 31, 72, CI Disperse Orange 1, 3,20, 21, CI Disperse Red 15, 55, 60, 65, CI Disperse Violet 8, 23,26, 37, CI Disperse Blue 20, 26, 55, 56, 72, 90, 91, 92, 106, CI Disperse Black 29, Diacellition Direct Black BM / D (Mitsubishi Kasei Co., Ltd.), Sumikaron Violet RS (Sumitomo Chemical Co., Ltd.), Dianix Fast Sky Blue BM / D (Mitsubishi Kasei Co., Ltd.), Miketon Polyester Blue BCL, GRN (Mitsui Petrochemical Co., Ltd.), Kayaro Polyester Navy Blue GF (Nippon Kayaku Co., Ltd.) . Considering the suitability of the heating device and environmental pollution, the decolorizable dye is preferably a thermally decomposable dye.

前記消色性染料の添加量としては、感光性樹脂層の全固形分に対して0.1〜10質量%であることが好ましい。   The addition amount of the decolorizable dye is preferably 0.1 to 10% by mass with respect to the total solid content of the photosensitive resin layer.

また、上記感光性樹脂層には、熱可塑性の結合剤を用いることができる。上記熱可塑性の結合剤としては、例えば、エチレン性不飽和化合物等の公知の結合剤が挙げられる。
上記結合剤及び可塑剤の添加量は、本発明の効果を損なわない範囲で適宜決定される。
Moreover, a thermoplastic binder can be used for the photosensitive resin layer. Examples of the thermoplastic binder include known binders such as ethylenically unsaturated compounds.
The addition amount of the binder and the plasticizer is appropriately determined as long as the effects of the present invention are not impaired.

(感光性樹脂層)
本発明の感光性転写材料は、感光性樹脂層にクレゾールノボラック樹脂とナフトキノンジアジドエステルとを併用することで、所望のパターンで露光した際に該露光部をアルカリ水溶液等による現像によって除去するポジ型の感光性転写材料とすることができる。即ち、アルカリ可溶性のクレゾールノボラック樹脂に対し、ナフトキノンジアジドエステルは溶解禁止剤として作用するが、光を受けると3−インデンカルボン酸を生成し、溶解禁止効果がなくなる。このため、クレゾールノボラック樹脂とナフトキノンジアジドとを含む、上記感光性樹脂層は、アルカリ現像により光照射部のみが溶解されるポジ型レジストとして機能する。
(Photosensitive resin layer)
The photosensitive transfer material of the present invention uses a cresol novolak resin and a naphthoquinone diazide ester in combination with a photosensitive resin layer to remove the exposed portion by development with an aqueous alkaline solution when exposed in a desired pattern. Photosensitive transfer material. That is, naphthoquinone diazide ester acts as a dissolution inhibitor for alkali-soluble cresol novolak resins, but when it receives light, 3-indenecarboxylic acid is produced and the dissolution inhibition effect is lost. For this reason, the said photosensitive resin layer containing a cresol novolak resin and naphthoquinone diazide functions as a positive resist in which only a light irradiation part is melt | dissolved by alkali image development.

上記感光性樹脂層の層厚としては、0.5〜10μmが好ましく、1〜6μmが更に好ましい。上記膜厚が0.5〜10μmの範囲内にあると、感光性樹脂層用塗布液を仮支持体上に塗布する際に、ピンホールが発生しにくく、現像持に露光部の除去を容易におこなうことができる。   The layer thickness of the photosensitive resin layer is preferably 0.5 to 10 μm, and more preferably 1 to 6 μm. When the film thickness is in the range of 0.5 to 10 μm, when the photosensitive resin layer coating solution is applied onto the temporary support, pinholes are unlikely to occur, and the exposed portion can be easily removed for development. Can be done.

上記感光性樹脂層は、上述のクレゾールノボラック樹脂やナフトキノンジアジドエステル等の感光性樹脂層に含まれる成分を溶剤に溶解した感光性樹脂組成物を、仮支持体(仮支持体と感光性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層や中間層が設けられている場合にはその層)上に、種々の塗布手段を用いて塗布、乾燥することで形成することができる。   The photosensitive resin layer comprises a photosensitive resin composition in which components contained in the photosensitive resin layer such as the cresol novolak resin and naphthoquinonediazide ester described above are dissolved in a solvent, a temporary support (temporary support and photosensitive resin layer). In the case where a thermoplastic resin layer or an intermediate layer is provided between the two layers, it can be formed by coating and drying on the layer) using various coating means.

上記感光性樹脂組成物に用いられる溶剤としては、本発明の効果を損なわない範囲で公知の溶剤から適宜選定したものを用いることができる。上記溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール等のアルコール類;テトラヒドロフラン等のエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート等のエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のジエチレングリコール類;プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン等のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルブタン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキンプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類;等が挙げられる。これらの有機溶剤は、一種を単独で用いてもよいし、二種以上を組合わせて用いてもよい。   As a solvent used for the said photosensitive resin composition, what was selected from the well-known solvent suitably can be used in the range which does not impair the effect of this invention. Examples of the solvent include alcohols such as methanol and ethanol; ethers such as tetrahydrofuran; glycol ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol methyl ethyl ether, and ethylene glycol monoethyl ether; methyl cellosolve acetate Ethylene glycol alkyl ether acetates such as ethyl cellosolve acetate; diethylene glycols such as diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, and diethylene glycol monobutyl ether; propylene glycol Propylene glycol alkyl ether acetates such as tilether acetate and propylene glycol ethyl ether acetate; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone and 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone; 2 -Ethyl hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, methyl 2-hydroxy-2-methylbutanoate, 3-methoxypropion And esters such as methyl acid, ethyl 3-methoquinpropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl acetate, butyl acetate; and the like. These organic solvents may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

これらの中でも、各成分の溶解性、及び膜形成性の点で、エチレングリコールジメチルエーテル等のグリコールエーテル類、エチルセロソルブアセテート等のエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル等のエステル類、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のジエチレングリコール類が特に好適である。   Among these, in terms of solubility of each component and film forming property, glycol ethers such as ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol alkyl ether acetates such as ethyl cellosolve acetate, ethyl 2-hydroxypropionate, 3-methoxypropion Particularly suitable are esters such as methyl acid and ethyl 3-ethoxypropionate and diethylene glycols such as diethylene glycol dimethyl ether.

更に、上述のように、感光性樹脂層形成後に層中に溶剤を残存させるため、上記溶剤は、例えば、1−メトキシプロピルアセテート、シクロヘキサノン、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、テトラヒドロフリルアルコール、エトキシプロピルプロピオネート等の高沸点溶剤を含むことが好ましい。   Further, as described above, in order to leave the solvent in the layer after forming the photosensitive resin layer, the solvent may be, for example, 1-methoxypropyl acetate, cyclohexanone, N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, It preferably contains a high boiling point solvent such as N-dimethylformamide, tetrahydrofuryl alcohol, ethoxypropylpropionate.

上記感光性樹脂層を形成するための上記塗布手段としては、公知の塗布手段を適宜選定することができる。   As the coating means for forming the photosensitive resin layer, a known coating means can be appropriately selected.

<仮支持体>
上記仮支持体としては、後述する熱可塑性樹脂層に対して、転写の支障とならない程度の剥離性を有するものが好ましく、化学的、熱的に安定で可撓性のものが好ましい。上記仮支持体としては、具体的に、テフロン(R)、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン等の薄膜シート若しくはこれらの積層物が好適に挙げられる。
<Temporary support>
As the temporary support, those having a releasability that does not interfere with transfer with respect to a thermoplastic resin layer described later are preferable, and those that are chemically and thermally stable and flexible are preferable. Specific examples of the temporary support include thin film sheets such as Teflon (R), polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, and polypropylene, or a laminate thereof.

上記仮支持体と熱可塑性樹脂層との間には、良好な剥離性を確保するために、グロー放電等の表面処理は施さず、またゼラチン等の下塗り層も設けないことが好ましい。上記仮支持体の厚みとしては、5〜300μmが適当であり、20〜150μmが好ましい。   Between the temporary support and the thermoplastic resin layer, it is preferable that surface treatment such as glow discharge is not performed and an undercoat layer such as gelatin is not provided in order to ensure good peelability. As thickness of the said temporary support body, 5-300 micrometers is suitable and 20-150 micrometers is preferable.

<熱可塑性樹脂層>
上述の通り、仮支持体と上記アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層とは、仮支持体上の第一層目として設けられ、主として熱可塑性樹脂を含んでなり、必要に応じて他の成分を含んでいてもよい。上記熱可塑性樹脂としては、転写後のアルカリ現像を可能とし、或いは転写時の転写条件によっては熱可塑性樹脂が周囲にはみ出して被転写体である基板上を汚染してしまう場合に除去処理を可能とするために、アルカリ性水溶液に可溶な樹脂が好適である。更に、熱可塑性樹脂層は、被転写体である基板上(又はカラーフィルタ上)に転写する際、基板上(又はカラーフィルタ上)に存在する凹凸に起因して生じうる転写不良を防止するクッション材としての機能をも発揮させる観点から、加熱密着時に被転写物表面の凹凸に応じて変形しうる性質を有することが好ましい。
<Thermoplastic resin layer>
As described above, the temporary support and the alkali-soluble thermoplastic resin layer are provided as the first layer on the temporary support, mainly comprising a thermoplastic resin, and other components as necessary. May be included. As the above-mentioned thermoplastic resin, alkali development after transfer is possible, or removal processing is possible when the thermoplastic resin protrudes to the surroundings and contaminates the substrate to be transferred depending on the transfer conditions at the time of transfer. Therefore, a resin that is soluble in an alkaline aqueous solution is preferable. Further, the thermoplastic resin layer is a cushion that prevents transfer defects that may occur due to irregularities present on the substrate (or color filter) when transferred onto the substrate (or color filter) that is the transfer target. From the viewpoint of exhibiting the function as a material, it is preferable that the material has a property that can be deformed according to the unevenness of the surface of the transfer object during heat adhesion.

上記の点から、上記熱可塑性樹脂としては、アルカリ可溶性であって、実質的な軟化点が80℃以下の樹脂が好ましい。軟化点が80℃以下の熱可塑性樹脂としては、例えば、エチレンとアクリル酸エステル共重合体とのケン化物、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体とのケン化物、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体とのケン化物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等との(メタ)アクリル酸エステル共重合体等のケン化物等が挙げられる。上記熱可塑性樹脂は、一種単独からなるものであっても、二種以上を併用したものであってもよい。   In view of the above, the thermoplastic resin is preferably an alkali-soluble resin having a substantial softening point of 80 ° C. or lower. Examples of thermoplastic resins having a softening point of 80 ° C. or lower include saponified products of ethylene and acrylate copolymers, saponified products of styrene and (meth) acrylate copolymers, vinyltoluene and (meth). Examples include saponified products such as saponified products with acrylic acid ester copolymers, poly (meth) acrylic acid esters, and (meth) acrylic acid ester copolymers of butyl (meth) acrylate and vinyl acetate. The thermoplastic resin may be a single type or a combination of two or more types.

更に、上記熱可塑性樹脂としては、「プラスチック性能便覧」(日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、1968年10月25日発行)に記載の、軟化点が約80℃以下の有機高分子物質のうち、アルカリ水溶液に可溶なものも使用できる。   Further, the thermoplastic resin has a softening point of about 80 as described in “Plastic Performance Handbook” (edited by the Japan Plastics Industry Federation, edited by the All Japan Plastics Molding Industry Association, published by the Industrial Research Council, issued on October 25, 1968). Among organic polymer substances having a temperature of 0 ° C. or lower, those soluble in an alkaline aqueous solution can also be used.

また、軟化点80℃以上の有機高分子物質であっても、その有機高分子物質中に該有機高分子物質と相溶性のある各種公知の可塑剤を添加することにより、実質的な軟化点を80℃以下に下げて使用することもできる。   In addition, even when an organic polymer substance has a softening point of 80 ° C. or higher, a substantial softening point can be obtained by adding various known plasticizers compatible with the organic polymer substance to the organic polymer substance. The temperature can be lowered to 80 ° C. or lower.

上記有機高分子物質を用いる場合、上述の仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的な軟化点が80℃を超えない範囲で、各種ポリマー、過冷却物質、密着改良剤、界面活性剤、離型剤等を加えることもできる。   When the organic polymer substance is used, various polymers, supercooling substances, adhesion improvers, interfaces, and the like within a range where the substantial softening point does not exceed 80 ° C. for the purpose of adjusting the adhesive force with the temporary support described above. An activator, a release agent and the like can also be added.

本発明の感光性転写材料は、仮支持体上に熱可塑性樹脂層の他、後述の中間層、及び上記感光性樹脂層を順次積層して構成されるが、特に熱可塑性樹脂層と仮支持体との間の接着強度が他の層間における接着強度よりも小さくすることが必要である。これにより転写の後、仮支持体を容易に剥離することができ、更に剥離の際に熱可塑性樹脂層表面の破壊を伴うことなく仮支持体を除去することができる。これは、仮支持体除去後の感光性樹脂層への露光を均一に行うことが可能となる点で好ましい態様である。   The photosensitive transfer material of the present invention is formed by sequentially laminating a thermoplastic resin layer, a later-described intermediate layer, and the photosensitive resin layer on a temporary support, and in particular, the thermoplastic resin layer and the temporary support. It is necessary that the adhesive strength between the body is smaller than the adhesive strength between other layers. Thereby, after transfer, the temporary support can be easily peeled off, and further, the temporary support can be removed without being accompanied by destruction of the surface of the thermoplastic resin layer. This is a preferable aspect in that the exposure to the photosensitive resin layer after removing the temporary support can be performed uniformly.

上記熱可塑性樹脂層は、熱可塑性樹脂と必要に応じて他の成分とを有機溶剤に溶解して塗布液(熱可塑性樹脂層用塗布液)を調製し、例えば、スピンコート法等の公知の塗布方法で塗布等して形成することが可能である。   The thermoplastic resin layer is prepared by dissolving a thermoplastic resin and other components as required in an organic solvent to prepare a coating solution (a coating solution for a thermoplastic resin layer). It can be formed by coating or the like by a coating method.

上記有機溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール等のアルコール類;テトラヒドロフラン等のエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート等のエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等のジエチレングリコール類;プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン等のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルブタン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキンプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類;等が挙げられる。これらの有機溶剤は、一種を単独で用いてもよいし、二種以上を組合わせて用いてもよい。   Examples of the organic solvent include alcohols such as methanol and ethanol; ethers such as tetrahydrofuran; glycol ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol methyl ethyl ether, and ethylene glycol monoethyl ether; methyl cellosolve Ethylene glycol alkyl ether acetates such as acetate and ethyl cellosolve acetate; diethylene glycols such as diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, and diethylene glycol monobutyl ether; propylene glycol Propylene glycol alkyl ether acetates such as rumethyl ether acetate and propylene glycol ethyl ether acetate; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone and 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone; Ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, methyl 2-hydroxy-2-methylbutanoate, 3-methoxy And esters such as methyl propionate, ethyl 3-methoquinpropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl acetate, butyl acetate; and the like. These organic solvents may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

これらの中でも、各成分の溶解性、及び膜形成性の点で、エチレングリコールジメチルエーテル等のグリコールエーテル類、エチルセロソルブアセテート等のエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル等のエステル類、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のジエチレングリコール類が特に好適である。   Among these, in terms of solubility of each component and film forming property, glycol ethers such as ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol alkyl ether acetates such as ethyl cellosolve acetate, ethyl 2-hydroxypropionate, 3-methoxypropion Particularly suitable are esters such as methyl acid and ethyl 3-ethoxypropionate and diethylene glycols such as diethylene glycol dimethyl ether.

更に、N−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチルホルムアニリド、N−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、フェニルセロソルブアセテート等の高沸点溶剤を添加することもできる。   Further, N-methylformamide, N, N-dimethylformamide, N-methylformanilide, N-methylacetamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, dimethylsulfoxide, benzylethyl ether, dihexyl ether, acetonylacetone , Isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl alcohol, benzyl acetate, ethyl benzoate, diethyl oxalate, diethyl maleate, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, phenyl cellosolve acetate, etc. A high boiling point solvent can also be added.

上記熱可塑性樹脂層の層厚としては、6〜100μmが好ましく、6〜50μmがより好ましい。上記層厚が、6〜100μmの範囲内にあると、基板(又はカラーフィルタ)上の1μm以上の凹凸を完全に吸収することができると共に、現像性、製造適性を向上させることができる。   As a layer thickness of the said thermoplastic resin layer, 6-100 micrometers is preferable and 6-50 micrometers is more preferable. When the layer thickness is in the range of 6 to 100 μm, unevenness of 1 μm or more on the substrate (or color filter) can be completely absorbed, and developability and production suitability can be improved.

<中間層>
上記感光性樹脂層や上記熱可塑性樹脂層には有機溶剤が用いられることから、両記中間層は、両層が互いに混ざり合うのを防止する機能を有する。また、上記中間層は、水又はアルカリ水溶液に分散又は溶解するものであればよく、酸素透過性の低いものが好ましい。
<Intermediate layer>
Since an organic solvent is used for the photosensitive resin layer and the thermoplastic resin layer, both intermediate layers have a function of preventing the two layers from being mixed with each other. Moreover, the said intermediate | middle layer should just be disperse | distributed or melt | dissolved in water or alkaline aqueous solution, and a thing with low oxygen permeability is preferable.

上記中間層は、水又はアルカリ水溶液に分散、溶解可能な樹脂成分を主に構成され、必要に応じて、界面活性剤等の他の成分を含んでいてもよい。上記中間層を構成する樹脂成分としては、公知のものの中から適宜選択でき、例えば、特開昭46−2121号公報や特公昭56−40824号公報に記載の、ポリビニルエーテル/無水マレイン酸重合体、カルボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロースエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポリアクリルアミド類、各種水溶性ポリアミド、ポリアクリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重合体、各種澱粉及びその類似物からなる群の水溶性塩、スチレン/マレイン酸の共重合体、マレイネート樹脂、及びこれらを2種以上組合せたもの等が挙げられる。   The intermediate layer is mainly composed of a resin component that can be dispersed and dissolved in water or an aqueous alkali solution, and may contain other components such as a surfactant, if necessary. The resin component constituting the intermediate layer can be appropriately selected from known ones. For example, the polyvinyl ether / maleic anhydride polymer described in JP-A No. 46-2121 and JP-B No. 56-40824 is disclosed. , Water-soluble salts of carboxyalkyl cellulose, water-soluble cellulose ethers, water-soluble salts of carboxyalkyl starch, polyvinyl alcohol, polyvinyl pyrrolidone, various polyacrylamides, various water-soluble polyamides, water-soluble salts of polyacrylic acid, gelatin, Examples thereof include ethylene oxide polymers, water-soluble salts of the group consisting of various starches and the like, styrene / maleic acid copolymers, maleate resins, and combinations of two or more thereof.

中でも、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとを組合せてなるものが特に好ましい。更に、上記ポリビニルアルコールとしては、鹸化率が80%以上のものが好ましい。また、上記ポリビニルピロリドンの含有量としては、中間層の固形分の1〜75質量%であることが好ましく、1〜60質量%であることが更に好ましく、10〜50質量%であることが最も好ましい。上記ポリビニルピロリドンの含有量が、1〜75質量%の範囲内にあると、感光性樹脂層との密着性を十分に高めることができ、且つ、酸素遮断能を向上させることがある。   Among them, a combination of polyvinyl alcohol and polyvinyl pyrrolidone is particularly preferable. Further, the polyvinyl alcohol preferably has a saponification rate of 80% or more. Moreover, as content of the said polyvinylpyrrolidone, it is preferable that it is 1-75 mass% of solid content of an intermediate | middle layer, It is more preferable that it is 1-60 mass%, It is most 10-50 mass% preferable. When the content of the polyvinyl pyrrolidone is in the range of 1 to 75% by mass, the adhesion with the photosensitive resin layer can be sufficiently enhanced, and the oxygen blocking ability may be improved.

上記中間層の酸素遮断能が低下すると解像度が低下することがある。このため、上記中間層の酸素透過率は小さいことが好ましい。   When the oxygen barrier ability of the intermediate layer is lowered, the resolution may be lowered. For this reason, it is preferable that the oxygen permeability of the intermediate layer is small.

上記中間層は、樹脂成分等を水系溶媒に溶解、分散して塗布液(中間層用塗布液)を調製し、該塗布液を上記熱可塑性樹脂層上に公知の塗布方法により塗布して形成することが可能である。
上記水系溶媒としては、蒸留水等の水を主成分とし、所望により本発明の効果を損なわない範囲でアルコール等の水と親和性のある溶剤や塩等を添加した溶媒が挙げられる。
The intermediate layer is formed by dissolving and dispersing a resin component or the like in an aqueous solvent to prepare a coating liquid (intermediate layer coating liquid) and coating the coating liquid on the thermoplastic resin layer by a known coating method. Is possible.
Examples of the aqueous solvent include a solvent containing water such as distilled water as a main component and, if desired, a solvent having affinity with water such as alcohol, a salt, or the like as long as the effects of the present invention are not impaired.

上記中間層の層厚としては、約0.1〜5μmが好ましく、0.5〜2μmがより好ましい。上記層厚が、約0.1〜5μmの範囲内にあると、酸素透過性が高くなりすぎて感光性樹脂層の解像度が低下することがなく、現像や中間層除去を容易に行うことができる。   The thickness of the intermediate layer is preferably about 0.1 to 5 μm, and more preferably 0.5 to 2 μm. When the layer thickness is in the range of about 0.1 to 5 μm, oxygen permeability becomes too high and the resolution of the photosensitive resin layer does not decrease, and development and intermediate layer removal can be easily performed. it can.

<カバーフィルム>
上記感光性樹脂層上には、保管等の際の汚れや損傷から保護する目的で、カバーフィルムを設けることが好ましい。上記カバーフィルムは、感光性樹脂層から容易に剥離可能なものの中から選択でき、上記仮支持体と同一又は類似の材料からなるものであってもよい。具体的には、シリコーン紙、ポリオレフィン又はポリテトラフルオロエチレンシート等が好ましく、中でも、ポリエチレン、ポリプロピレンフィルムがより好ましい。
<Cover film>
A cover film is preferably provided on the photosensitive resin layer for the purpose of protecting it from dirt and damage during storage. The cover film can be selected from those easily peelable from the photosensitive resin layer, and may be made of the same or similar material as the temporary support. Specifically, silicone paper, polyolefin, polytetrafluoroethylene sheet or the like is preferable, and among them, polyethylene and polypropylene films are more preferable.

上記カバーフィルムの厚みとしては、約5〜100μmが好ましく、10〜60μmがより好ましい。   The thickness of the cover film is preferably about 5 to 100 μm, and more preferably 10 to 60 μm.

<感光性転写材料の製造方法>
本発明の感光性転写材料は、上記仮支持体上に、まず、熱可塑性樹脂を溶剤に溶解し調製した塗布液(熱可塑性樹脂層用塗布液)を塗布・乾燥して、熱可塑性樹脂層を設け、続いて該熱可塑性樹脂層上に、熱可塑性樹脂層を溶解しない溶媒を用いてなる塗布液(中間層用塗布液)を塗布、乾燥して中間層を設け、更に該中間層上に、中間層を溶解しない溶剤にクレゾールノボラック樹脂等を溶解し調製した塗布液(感光性樹脂層用塗布液)を塗布、乾燥して感光性樹脂層を設けることにより形成することができる。或いは、上記カバーフィルム上に感光性樹脂層を設けると共に、別途仮支持体上に熱可塑性樹脂層と中間層とを設け、それぞれを中間層と感光性樹脂層とが接するように貼り合わせることにより形成することもできる。また、本発明の感光性転写材料は、上記カバーフィルム上に感光性樹脂層と中間層とを設けると共に、別途仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設け、それぞれを上述と同様に、中間層と感光性樹脂層とが接するように貼り合わせることによって、製造することができる。
<Method for producing photosensitive transfer material>
In the photosensitive transfer material of the present invention, on the temporary support, first, a coating solution (a coating solution for a thermoplastic resin layer) prepared by dissolving a thermoplastic resin in a solvent is applied and dried to obtain a thermoplastic resin layer. Subsequently, a coating liquid (intermediate layer coating liquid) using a solvent that does not dissolve the thermoplastic resin layer is applied onto the thermoplastic resin layer and dried to provide an intermediate layer. In addition, a coating liquid (coating liquid for photosensitive resin layer) prepared by dissolving cresol novolak resin or the like in a solvent that does not dissolve the intermediate layer is applied and dried to provide a photosensitive resin layer. Alternatively, by providing a photosensitive resin layer on the cover film and separately providing a thermoplastic resin layer and an intermediate layer on a temporary support, and bonding them so that the intermediate layer and the photosensitive resin layer are in contact with each other. It can also be formed. In addition, the photosensitive transfer material of the present invention is provided with a photosensitive resin layer and an intermediate layer on the cover film, and a thermoplastic resin layer separately on a temporary support, and the intermediate layer is formed in the same manner as described above. It can manufacture by sticking together so that a photosensitive resin layer may contact | connect.

また、後述するように、本発明の感光性転写材料を被転写体である基板やカラーフィルタ上に密着させた後、感光性転写材料の仮支持体を剥離する過程では、仮支持体や基板等が帯電する結果、周囲のゴミ等を引き寄せ、剥離後の感光性樹脂層上にゴミ等が付着することがある。このような場合、その後の露光過程で感光性樹脂層に未露光部ができ、その部分が現像の際に残ってしまうことがある。このため、帯電を防止する目的で、仮支持体の少なくとも一方の表面に導電性層を設けたり、或いは導電性を付与した仮支持体を用いることによって、その表面の電気抵抗を1013Ω以下にまで低下させることが好ましい。 Further, as will be described later, in the process of peeling the temporary support of the photosensitive transfer material after the photosensitive transfer material of the present invention is brought into close contact with the substrate or color filter which is the transfer target, As a result, the surrounding dust or the like may be attracted, and the dust or the like may adhere to the photosensitive resin layer after peeling. In such a case, an unexposed portion may be formed in the photosensitive resin layer in the subsequent exposure process, and the portion may remain during development. For this reason, for the purpose of preventing charging, by providing a conductive layer on at least one surface of the temporary support or using a temporary support with conductivity, the electrical resistance of the surface is 10 13 Ω or less. It is preferable to reduce to.

上述のように仮支持体に導電性を付与するためには、仮支持体中に導電性物質を含有させればよい。このような方法としては、例えば、金属酸化物の微粒子や帯電防止剤を予め練り込んでおく方法が好適である。上記金属酸化物としては、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化錫、酸化アルミニウム、酸化インジウム、酸化珪素、酸化マグネシウム、酸化バリウム、酸化モリブデン等の結晶性金属酸化物、及び/又は、その複合酸化物の微粒子が挙げられる。   In order to impart conductivity to the temporary support as described above, a conductive substance may be contained in the temporary support. As such a method, for example, a method of kneading metal oxide fine particles or an antistatic agent in advance is suitable. Examples of the metal oxide include zinc oxide, titanium oxide, tin oxide, aluminum oxide, indium oxide, silicon oxide, magnesium oxide, barium oxide, and crystalline oxides such as molybdenum oxide and / or composite oxides thereof. Fine particles are mentioned.

上記帯電防止剤としては、エレクトロストリッパーA(花王(株)製)、エレノンNo.19(第一工業製薬(株)製)等のアルキル燐酸塩系アニオン界面活性剤;アモーゲンK(第一工業製薬(株)製)等のベタイン系両性界面活性剤;ニッサンノニオンL(日本油脂(株)製)等のポリオキシエチレン脂肪酸エステル系非イオン界面活性剤;エマルゲン106、120、147、420、220、905、910(花王(株)製)やニッサンノニオンE(日本油脂(株)製)等のポリオキシエチレンアルキルエーテル系非イオン界面活性剤、等が好適である。その他、非イオン界面活性剤として、ポリオキシエチレンアルキルフェノールエーテル系、多価アルコール脂肪酸エステル系、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル系、ポリオキシエチレンアルキルアミン系等のものが挙げられる。   Examples of the antistatic agent include Electro Stripper A (manufactured by Kao Corporation), Elenon No. Alkyl phosphate anionic surfactants such as 19 (Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.); Betaine amphoteric surfactants such as Amorgen K (Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.); Nissan Nonion L (Nippon Yushi Polyoxyethylene fatty acid ester-based nonionic surfactants such as Emulgen 106, 120, 147, 420, 220, 905, 910 (made by Kao Corporation) and Nissan Nonion E (made by Nippon Oil & Fats Co., Ltd.) Polyoxyethylene alkyl ether type nonionic surfactants such as) are suitable. Other nonionic surfactants include polyoxyethylene alkylphenol ethers, polyhydric alcohol fatty acid esters, polyoxyethylene sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene alkylamines, and the like.

仮支持体上に導電性層を設ける場合、該導電性層は公知のものの中から、適宜選択して用いることができる。上記導電性層に用いる導電性物質として、ZnO、TiO2、SnO2、Al23、In23、SiO2、MgO、BaO、MoO3等から選ばれる少なくとも1種の結晶性金属酸化物、及び/又は、その複合酸化物の微粒子等が挙げられる。これらの導電性物質を導電性層に含有させて用いる方法が湿度環境に影響されず、安定した導電効果を発揮する点で好ましい。 When the conductive layer is provided on the temporary support, the conductive layer can be appropriately selected from known ones. The conductive material used for the conductive layer is at least one crystalline metal oxide selected from ZnO, TiO 2 , SnO 2 , Al 2 O 3 , In 2 O 3 , SiO 2 , MgO, BaO, MoO 3 and the like. And / or fine particles of the composite oxide thereof. A method in which these conductive substances are contained in a conductive layer and used is preferable in that a stable conductive effect is exhibited without being affected by the humidity environment.

また、上記結晶性金属酸化物又はその複合酸化物の微粒子の体積抵抗値としては、107Ω・cm以下が好ましく、105Ω・cm以下が更に好ましい。また、その粒子径としては、0.01〜0.7μmが好ましく、0.02〜0.5μmが更に好ましい。 The volume resistance value of the crystalline metal oxide or the composite oxide fine particles is preferably 10 7 Ω · cm or less, more preferably 10 5 Ω · cm or less. Moreover, as the particle diameter, 0.01-0.7 micrometer is preferable and 0.02-0.5 micrometer is still more preferable.

上記結晶性金属酸化物及びその複合酸化物の微粒子の製造方法は、特開昭56−143430号公報等に詳細に記載されている。即ち、第1に、金属酸化物微粒子を焼成によって作製し、導電性を向上させる異種原子の存在下で熱処理する方法、第2に、焼成によって金属酸化物微粒子を作製する際に導電性を向上させるための異種原子を共存させる方法、第3に、焼成により金属微粒子を作製する際に雰囲気中の酸素濃度を下げて、酸素欠陥を導入する方法等が記載されている。上記異種原子を含む具体例としては、ZnOに対してはAl、In等;TiO2に対してはNb、Ta等;、SnO2に対してはSb、Nb、ハロゲン元素等を存在させることが挙げられる。 A method for producing fine particles of the crystalline metal oxide and its composite oxide is described in detail in JP-A-56-143430. That is, firstly, metal oxide fine particles are produced by firing and heat treatment is performed in the presence of different atoms to improve conductivity, and secondly, the conductivity is improved when producing metal oxide fine particles by firing. And a third method for introducing oxygen defects by reducing the oxygen concentration in the atmosphere when producing metal fine particles by firing. Specific examples of the hetero atoms include Al, In, etc. for ZnO; Nb, Ta, etc. for TiO 2 ; Sb, Nb, halogen elements, etc. for SnO 2 . Can be mentioned.

上記異種原子の添加量としては、0.01〜30mol%が好ましく、0.1〜10mol%がより好ましい。導電性粒子の使用量としては、0.05〜20g/m2が好ましく、0.1〜10g/m2がより好ましい。 As addition amount of the said different atom, 0.01-30 mol% is preferable and 0.1-10 mol% is more preferable. As a usage-amount of electroconductive particle, 0.05-20 g / m < 2 > is preferable and 0.1-10 g / m < 2 > is more preferable.

本発明の感光性転写材料の仮支持体に設けられる導電性層には、バインダーとして、例えば、ゼラチン、セルロースナイトレート、セルローストリアセテート、セルロースジアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート等のセルロースエステル;塩化ビニリデン、塩化ビニル、スチレン、アクリロニトリル、酢酸ビニル、炭素数1〜4のアルキルアクリレート、ビニルピロリドン等を含むホモポリマー又は共重合体;可溶性ポリエステル、ポリカーボネート、可溶性ポリアミド等を使用することができる。   In the conductive layer provided on the temporary support of the photosensitive transfer material of the present invention, as a binder, for example, gelatin, cellulose nitrate, cellulose triacetate, cellulose diacetate, cellulose acetate butyrate, cellulose acetate propionate, etc. Cellulose esters; homopolymers or copolymers containing vinylidene chloride, vinyl chloride, styrene, acrylonitrile, vinyl acetate, alkyl acrylates having 1 to 4 carbon atoms, vinyl pyrrolidone, etc .; soluble polyesters, polycarbonates, soluble polyamides, etc. may be used it can.

また、これらのバインダー中に導電性粒子を分散する場合、チタン系分散剤又はシラン系分散剤等の分散液を添加してもよく、更に、必要に応じてバインダー架橋剤等を添加することもできる。   In addition, when dispersing conductive particles in these binders, a dispersion such as a titanium-based dispersant or a silane-based dispersant may be added, and a binder cross-linking agent may be added as necessary. it can.

上記チタン系分散剤としては、例えば、米国特許第4,069,192号公報、同第4,080,353号公報等に記載の、チタネート系カップリング剤、プレンアクト(味の素(株)製)などが挙げられる。上記シラン系分散剤としては、例えば、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(β−メトキシエトキシ)シラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等が挙げられ、「シランカップリング剤」(信越化学(株)製)として市販されている。上記バインダー架橋剤としては、例えば、エポキシ系架橋剤、イソシアネート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、エポキシ系架橋剤などが挙げられる。   Examples of the titanium dispersant include titanate coupling agents, preneact (manufactured by Ajinomoto Co., Inc.) and the like described in US Pat. Nos. 4,069,192 and 4,080,353. Is mentioned. Examples of the silane dispersant include vinyltrichlorosilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (β-methoxyethoxy) silane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, and γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane. "Silane coupling agent" (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). Examples of the binder crosslinking agent include an epoxy crosslinking agent, an isocyanate crosslinking agent, an aziridine crosslinking agent, and an epoxy crosslinking agent.

上記導電性層は、導電性微粒子をバインダー中に分散させて仮支持体上に塗設したり、仮支持体上に下引処理(例えば、下塗り層等)を施した上に導電性微粒子を付着させたりすることにより設けることができる。   The conductive layer is prepared by dispersing conductive fine particles in a binder and coating the temporary support or applying a subbing treatment (for example, an undercoat layer) on the temporary support. It can be provided by attaching.

上記導電性層は、仮支持体の感光性樹脂層を塗設した面とは反対の表面上に設けてもよく、この場合には、十分な耐傷性を確保する目的で、導電性層上に更に疎水性重合体層を設けることが好ましい。この疎水性重合体層は、疎水性重合体を有機溶剤に溶解した状態又は水性ラテックスの状態で塗布すればよく、その塗布量としては、乾燥質量で0.05〜1g/m2程度が好ましい。 The conductive layer may be provided on the surface of the temporary support opposite to the surface on which the photosensitive resin layer is coated. In this case, the conductive layer is formed on the conductive layer for the purpose of ensuring sufficient scratch resistance. It is preferable to further provide a hydrophobic polymer layer. The hydrophobic polymer layer may be applied in a state in which the hydrophobic polymer is dissolved in an organic solvent or in the form of an aqueous latex, and the coating amount is preferably about 0.05 to 1 g / m 2 in terms of dry mass. .

上記疎水性重合体としては、例えば、ニトロセルロース、セルロースアセテート等のセルロースエステル;塩化ビニル、塩化ビニリデン、ビニルアクリレート等を含むビニル系ポリマー;有機溶剤可溶性ポリアミド、ポリエステル等のポリマーを挙げることができる。   Examples of the hydrophobic polymer include cellulose esters such as nitrocellulose and cellulose acetate; vinyl polymers containing vinyl chloride, vinylidene chloride, vinyl acrylate and the like; polymers such as organic solvent-soluble polyamide and polyester.

上記疎水性重合体層には、スベリ性を付与する目的で、例えば、特開昭55−79435号公報に記載の有機カルボン酸アミド等のスベリ剤を使用することができる。また、必要に応じて、マット剤等を使用することもできる。このような疎水性重合体層を設けても、導電性層の効果は実質的に影響を受けない。   For the purpose of imparting smoothness to the hydrophobic polymer layer, for example, a smoothing agent such as an organic carboxylic acid amide described in JP-A-55-79435 can be used. Moreover, a mat agent etc. can also be used as needed. Even if such a hydrophobic polymer layer is provided, the effect of the conductive layer is not substantially affected.

また、下塗り層を設ける場合、特開昭51−135526号公報、米国特許第3,143,421号公報、同第3,586,508号公報、同第2,698,235号公報、同第3,567,452号公報等に記載の塩化ビニリデン系共重合体、特開昭51−114120号公報、米国特許第3,615,556号公報等に記載のブタジエン等のジオレフイン系共重合体、特開昭51−58469号公報等に記載のグリシジルアクリレート又はグリシジルメタアクリレート含有共重合体、特開昭48−24923号公報等に記載のポリアミド・エピクロルヒドリン樹脂、特開昭50−39536号公報に記載の無水マレイン酸含有共重合体等を用いることができる。   When an undercoat layer is provided, JP-A-51-135526, U.S. Pat. Nos. 3,143,421, 3,586,508, 2,698,235, No. 3,567,452 etc., vinylidene chloride copolymer described in JP-A No. 51-114120, US Pat. No. 3,615,556 etc. Glycidyl acrylate or glycidyl methacrylate-containing copolymers described in JP-A-51-58469, polyamide / epichlorohydrin resins described in JP-A-48-24923, and JP-A-50-39536 A maleic anhydride-containing copolymer can be used.

本発明においては、特開昭56−82504号公報、特開昭56−143443号公報、特開昭57−104931号公報、特開昭57−118242号公報、特開昭58−62647号公報、特開昭60−258541号公報等に記載の導電性層も必要に応じて用いることができる。   In the present invention, JP-A-56-82504, JP-A-56-143443, JP-A-57-104931, JP-A-57-118242, JP-A-58-62647, A conductive layer described in JP-A-60-258541 can be used as necessary.

仮支持体上に、導電性層を塗布する場合、ローラーコート、エアナイフコート、グラビアコート、バーコート、カーテンコート等の公知の方法により塗布することができる。十分な帯電防止効果を得るためには、導電性層又は導電性を付与した仮支持体の表面電気抵抗値を、1013Ω以下とすることが好ましく、1012Ω以下とすることが更に好ましい。 When the conductive layer is applied on the temporary support, it can be applied by a known method such as roller coating, air knife coating, gravure coating, bar coating, or curtain coating. In order to obtain a sufficient antistatic effect, the surface electrical resistance value of the conductive layer or the temporary support provided with conductivity is preferably 10 13 Ω or less, and more preferably 10 12 Ω or less. .

また、熱可塑性樹脂層と仮支持体との強固な接着を防止するため、仮支持体面に公知の微粒子を含有する滑り剤組成物、シリコーン化合物を含有する離型剤組成物等を塗布することもできる。   In addition, in order to prevent strong adhesion between the thermoplastic resin layer and the temporary support, a slip agent composition containing known fine particles, a release agent composition containing a silicone compound, etc. are applied to the temporary support surface. You can also.

仮支持体の熱可塑性樹脂層を設けない側の表面に導電性層を設ける場合には、熱可塑性樹脂層と仮支持体との接着性を向上させる目的で、仮支持体に、例えば、グロー放電処理、コロナ処理、紫外線照射処理等の表面処理、フェノール性物質、ポリ塩化ビニリデン樹脂、スチレンブタジエンゴム、ゼラチン等の下塗り処理又はこれらの処理を組み合わせた処理を施すことができる。   When a conductive layer is provided on the surface of the temporary support on which the thermoplastic resin layer is not provided, the temporary support is provided with, for example, a glow layer for the purpose of improving the adhesion between the thermoplastic resin layer and the temporary support. Surface treatment such as discharge treatment, corona treatment, ultraviolet irradiation treatment, undercoating treatment such as phenolic substance, polyvinylidene chloride resin, styrene butadiene rubber, gelatin, or a combination of these treatments can be applied.

仮支持体用のフィルムは押し出し形成により形成することが可能であるが、導電性物質又は導電性層を仮支持体と同一又は異質のプラスチック原料に含有させ、上記フィルムと同時に押し出し形成した場合には、接着性、耐傷性に優れた導電性層を容易に得ることができる。この場合、上記疎水性重合体層や下塗り層を設ける必要はなく、転写材料を構成する導電性付与仮支持体として最も好ましい実施形態である。   A film for a temporary support can be formed by extrusion, but when a conductive material or a conductive layer is contained in a plastic raw material that is the same or different from that of the temporary support and is formed simultaneously with the film, Can easily obtain a conductive layer excellent in adhesion and scratch resistance. In this case, it is not necessary to provide the hydrophobic polymer layer or the undercoat layer, and this is the most preferred embodiment as a conductivity-imparting temporary support constituting the transfer material.

《液晶配向制御用突起》
本発明の液晶配向制御用突起は、本発明の感光性転写材料を用いて感光性樹脂層を基板上に転写し(転写工程)、転写後、感光性樹脂層に光をパターン状に照射し(パターニング工程)、現像処理により不要部(露光部)を除去することによって形成することができる。
上述のようにして形成される本発明の液晶配向制御用突起は、液晶分子の配向の向きを規制し得る形状及び形態を有し、上述のように液晶表示装置の導電層の内側(導電層と基板の間)に形成されていればよく、その形状、形態には特に制限はない。本発明の液晶配向制御用突起の形状としては、公知の形状の中から適宜選択することができ、例えば、基板面(又はカラーフィルタ面)を底面とする角錐型(三角錐、四角錐等)、半球型のものや、基板面(又はカラーフィルタ面)を底面とする円錐型、台形型、蒲鉾型のもの、又は、帯状に基板上(又はカラーフィルタ上)に形成されその長さ方向と直交する断面形状が三角形である三角柱状のもの、更に、その長さ方向と直交する断面形状が半円形、四角形、台形、蒲鉾形等の柱状体のものなどを用いることができる。液晶配向制御用突起は、例えば、特許第2947350号公報等に記載された形状等に形成することができる。
《LCD alignment control protrusions》
The liquid crystal alignment control protrusion of the present invention transfers the photosensitive resin layer onto the substrate using the photosensitive transfer material of the present invention (transfer process), and after the transfer, the photosensitive resin layer is irradiated with light in a pattern. It can be formed by removing unnecessary portions (exposure portions) by (patterning step) and development processing.
The liquid crystal alignment control protrusion of the present invention formed as described above has a shape and a shape that can regulate the orientation direction of the liquid crystal molecules, and as described above, the inner side of the conductive layer of the liquid crystal display device (conductive layer) And the shape and form thereof are not particularly limited. The shape of the liquid crystal alignment control protrusion of the present invention can be appropriately selected from known shapes. For example, a pyramid shape (triangular pyramid, quadrangular pyramid, etc.) with the substrate surface (or color filter surface) as the bottom surface is available. A hemispherical type, a conical shape, a trapezoidal shape, a bowl shape having a substrate surface (or color filter surface) as a bottom surface, or a band shape formed on a substrate (or color filter) and its length direction A triangular prism having a triangular cross-sectional shape, and a columnar body having a semicircular, quadrangular, trapezoidal, bowl-shaped, etc. cross-sectional shape orthogonal to its length direction can be used. The liquid crystal alignment control protrusions can be formed in, for example, the shape described in Japanese Patent No. 2947350.

また、本発明の配向制御用突起の配置態様としては、公知の態様の中から適宜選択することができ、例えば、特許第2947350号公報等に記載の態様で形成できる。例えば、帯状に基板上に形成されその長さ方向と直交する断面形状が台形である複数の柱状体が等ピッチで1方向に平行に延びたパターンで配置され、且つ2枚の基板の各導電層と基板との両方の間に設けられてなる態様であってもよい(特許第2947350号公報の図14参照)。本発明の液晶配向制御用突起が両方の基板の導電層基板との間に設けられる場合には、必ずしも同形状の構造体を形成する必要はなく、異形状の構造体を組合せて形成してもよい。また、基板(又はカラーフィルタ)上に帯状に形成される液晶配向制御用突起は、直線状の形態に限られず、所定の角度をなして屈曲状の形態で設けられてもよい(特許第2947350号公報の図42及び図55等参照)。   In addition, the arrangement mode of the alignment control protrusions of the present invention can be appropriately selected from known modes. For example, it can be formed in the mode described in Japanese Patent No. 2947350. For example, a plurality of columnar bodies formed in a strip shape on a substrate and having a trapezoidal cross-sectional shape perpendicular to the length direction are arranged in a pattern extending in parallel in one direction at an equal pitch, and each conductive material of two substrates It may be an embodiment formed between both the layer and the substrate (see FIG. 14 of Japanese Patent No. 2947350). When the liquid crystal alignment control protrusion of the present invention is provided between the conductive layer substrates of both substrates, it is not always necessary to form a structure with the same shape, but a combination of structures with different shapes is formed. Also good. Further, the liquid crystal alignment control protrusion formed in a strip shape on the substrate (or color filter) is not limited to a linear shape, and may be provided in a bent shape at a predetermined angle (Japanese Patent No. 2947350). 42 and 55 etc.).

その他、上記液晶配向制御用突起の大きさ、配置間隔、配置形状等の詳細については、特許第2947350号公報等の記載を参照できる。   In addition, for details on the size, arrangement interval, arrangement shape, etc. of the liquid crystal alignment control protrusions, the description in Japanese Patent No. 2947350 can be referred to.

上記構造体の形状の中でも、十分な視野角が得られる点で、基板と直交する断面が台形及び蒲鉾形のいずれかの形状を有する構造体が好ましく、上記した基板面(又はカラーフィルタ面)を底面とする台形型、蒲鉾型や、帯状に基板(カラーフィルタ)上に形成され、その長さ方向と直交する断面形状が半円形、台形、蒲鉾形の柱状体などが好ましい。   Among the above-mentioned structures, a structure having a trapezoidal shape or a bowl-shaped cross section perpendicular to the substrate is preferable in that a sufficient viewing angle can be obtained. The above substrate surface (or color filter surface) A trapezoidal shape, a bowl shape, or a columnar body having a semicircular shape, a trapezoidal shape, a bowl shape, or the like that is formed on a substrate (color filter) in a band shape and perpendicular to the length direction is preferable.

また本発明の感光性転写材料を用いてスペーサーを形成することもできる。この場合、例えば、カラーフィルター形成時に、カラーフィルターの画素材料等が2種以上重なった部分を形成しておき、透明電極などを形成後、この上に、本発明の感光性転写材料を用いて感光性樹脂層を転写することによってスペーサーを形成することができる。
上記スペーサーの厚みは、一般にはセルギャップと等しくする必要があり、配向制御用突起の厚みより厚いが、前述の構成では、カラーフィルター材の厚みとスペーサーの厚みの合計の厚みでセルギャップを規定できるので、上記感光性樹脂層を厚く形成する必要は無い。このため、配向制御用突起とスペーサーとを同時に形成することができる。
A spacer can also be formed using the photosensitive transfer material of the present invention. In this case, for example, at the time of forming the color filter, a portion where two or more kinds of pixel materials of the color filter are overlapped is formed, and after forming the transparent electrode, the photosensitive transfer material of the present invention is used thereon. The spacer can be formed by transferring the photosensitive resin layer.
The thickness of the spacer generally needs to be equal to the cell gap, and is thicker than the thickness of the alignment control protrusion. In the above configuration, the cell gap is defined by the total thickness of the color filter material and the spacer. Therefore, it is not necessary to form the photosensitive resin layer thickly. For this reason, the alignment control protrusion and the spacer can be formed simultaneously.

以上の通り、本発明の液晶配向制御用突起を、導電層の外側(導電層と液晶層との間)に液晶層側に凸となるように設ることによって、構造体の凸面に沿って液晶分子の配向の向きが傾斜するように規制されるので、液晶面を観察する位置(視野角)に依存しない広視野角を確保することができる。   As described above, the liquid crystal alignment control protrusion of the present invention is provided on the outer side of the conductive layer (between the conductive layer and the liquid crystal layer) so as to protrude toward the liquid crystal layer, thereby along the convex surface of the structure. Since the orientation of the liquid crystal molecules is regulated so as to be inclined, a wide viewing angle independent of the position (viewing angle) at which the liquid crystal surface is observed can be secured.

本発明の液晶配向制御用突起が用いられる液晶表示装置は、上述のように、一般には、カラーフィルタと該カラーフィルタ上に導電層(電極)とを備えるカラーフィルタ側基板と、これと対向配置される導電層(電極)付きの対向基板との2枚の基板(前記カラーフィルタ側基板及び対向基板のいずれに薄膜トランジスタ(TFT)等の駆動素子が備えられていてもよい。)によって液晶層が挟持されてなる。本発明の液晶配向制御用突起は、上述の感光性樹脂組成物を用いて形成され、前記2枚の基板にそれぞれ設けられた導電層の少なくとも一方の内側(特に基板と導電層の間)に、液晶層側に凸となる透明な構造体として設けられる。本発明の液晶配向制御用突起を設けることで、液晶分子の配向の向きを規制し、液晶面に対する観察位置(視野角)に依存しない広視野角を確保することができる。   As described above, the liquid crystal display device using the liquid crystal alignment control protrusion according to the present invention generally has a color filter side substrate including a color filter and a conductive layer (electrode) on the color filter, and is disposed opposite to the substrate. The liquid crystal layer is formed by two substrates (a driving element such as a thin film transistor (TFT) may be provided on either the color filter side substrate or the counter substrate) and a counter substrate with a conductive layer (electrode) to be formed. It is pinched. The protrusion for controlling liquid crystal alignment according to the present invention is formed using the above-described photosensitive resin composition, and is provided on at least one inner side (particularly between the substrate and the conductive layer) of each of the conductive layers provided on the two substrates. , Provided as a transparent structure that protrudes toward the liquid crystal layer. By providing the liquid crystal alignment control projection of the present invention, the orientation direction of the liquid crystal molecules can be regulated, and a wide viewing angle independent of the observation position (viewing angle) with respect to the liquid crystal surface can be secured.

また、上述のように本発明の液晶配向制御用突起は、カラーフィルターの無い液晶表示装置(白黒表示のための装置、あるいは、バックライトの色を短時間に変更しながら表示するフィールドシーケンシャル型の装置)に適用することもできる。   In addition, as described above, the liquid crystal alignment control projection of the present invention is a liquid crystal display device without a color filter (a device for black-and-white display or a field sequential type that displays while changing the color of the backlight in a short time. (Apparatus).

続いて、本発明の感光性転写材料を用いた液晶配向制御用突起の形成方法について説明する。ここでは、本発明の感光性転写材料として、仮支持体上にアルカリ可溶な熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹脂層及びカバーフィルムがこの順に積層されてなる感光性転写材料を用い、更に、基体上の全面にカラーフィルタ層が設けられた基板を用いた一例を示す。   Next, a method for forming a liquid crystal alignment control protrusion using the photosensitive transfer material of the present invention will be described. Here, as the photosensitive transfer material of the present invention, a photosensitive transfer material in which an alkali-soluble thermoplastic resin layer, an intermediate layer, a photosensitive resin layer, and a cover film are laminated in this order on a temporary support is used. Furthermore, an example using a substrate provided with a color filter layer on the entire surface of the substrate is shown.

まず、本発明の感光性転写材料のカバーフィルムを取り除き、感光性樹脂層を加圧、加熱下で被転写体である基板のカラーフィルタ層上に密接し貼り合わせる。基板と感熱記録層との貼り合わせには、従来公知のラミネーター、真空ラミネーター等の中から適宜選択したものが使用でき、より生産性を高めるには、オートカットラミネーターも使用可能である。基板と感光性樹脂層とを貼り合わせた後、仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥がし取り、該熱可塑性樹脂層の上方から熱可塑性樹脂層及び中間層を通して感光性樹脂層を、ポジ用のパターン状に露光(パターニング)する。上記露光は、300〜500nmの波長光の照射により行える。上記露光の光源としては、例えば、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、Hg−Xeランプ等が挙げられる。   First, the cover film of the photosensitive transfer material of the present invention is removed, and the photosensitive resin layer is closely bonded onto the color filter layer of the substrate, which is a transfer target, under pressure and heating. For the bonding of the substrate and the heat-sensitive recording layer, one appropriately selected from conventionally known laminators, vacuum laminators and the like can be used, and an auto-cut laminator can also be used in order to increase productivity. After laminating the substrate and the photosensitive resin layer, the temporary support is peeled off at the interface with the thermoplastic resin layer, and the photosensitive resin layer is passed through the thermoplastic resin layer and the intermediate layer from above the thermoplastic resin layer. Exposure (patterning) into a positive pattern. The exposure can be performed by irradiation with light having a wavelength of 300 to 500 nm. Examples of the light source for the exposure include a high-pressure mercury lamp, an ultra-high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, and an Hg—Xe lamp.

また、上記パターニングの方法としては、例えば、フォトリソグラフィ法による方法、熱可塑性樹脂層の上方に露光マスクを配置し、該マスク介してパターン状に露光する方法、密着型のプロキシミティ露光装置等の露光手段を用いる方法等が挙げられる。上記密着型のプロキシミティ露光装置等の露光手段を用いる方法によるパターニングを行う際、その露光量としては、感光性樹脂層が溶解する最小露光量の1〜5倍が好ましく、プロキシミティ量としては、40〜300μmが好ましい。   Examples of the patterning method include a photolithography method, a method in which an exposure mask is arranged above the thermoplastic resin layer, and a pattern is exposed through the mask, and a proximity proximity exposure apparatus. Examples include a method using an exposure unit. When performing patterning by a method using an exposure means such as the above-described proximity proximity exposure apparatus, the exposure amount is preferably 1 to 5 times the minimum exposure amount at which the photosensitive resin layer dissolves. 40 to 300 μm is preferable.

上記露光の後、現像処理して、熱可塑性樹脂層、中間層、及び不要部(露光部分)の感光性樹脂層を除去する。すると、未照射部のみが導電層上に残り、透明構造体が形成される。   After the exposure, development processing is performed to remove the thermoplastic resin layer, the intermediate layer, and the photosensitive resin layer in an unnecessary portion (exposed portion). Then, only the unirradiated part remains on the conductive layer, and a transparent structure is formed.

上記現像は、公知の方法により行え、溶剤若しくは水性の現像液、特にアルカリ水溶液等を用いて、例えば、(a)露光後の基板自体を現像浴中に浸漬する、(b)露光後の基板にスプレー等により噴霧する等して、更に必要に応じて、溶解性を高める目的で、回転ブラシや湿潤スポンジ等で擦ったり、超音波を照射しながら行うことができる。   The development can be performed by a known method, for example, using a solvent or an aqueous developer, particularly an alkaline aqueous solution, for example, (a) immersing the exposed substrate itself in a developing bath, (b) the exposed substrate. For the purpose of further improving the solubility, for example, by spraying with a spray or the like, rubbing with a rotating brush, a wet sponge or the like, or applying ultrasonic waves.

上記アルカリ水溶液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液が好ましく、更に水混和性のある有機溶剤を少量添加したものも好適に使用することができる。上記アルカリ性物質としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物類、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等のアルカリ金属炭酸塩類、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等のアルカリ金属重炭酸塩類、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム等のアルカリ金属ケイ酸塩類、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム等のアルカリ金属メタケイ酸塩類、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のテトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類、燐酸三ナトリウム等が挙げられる。   As the alkaline aqueous solution, a dilute aqueous solution of an alkaline substance is preferable, and a solution obtained by adding a small amount of a water-miscible organic solvent can also be suitably used. Examples of the alkaline substance include alkali metal hydroxides such as sodium hydroxide and potassium hydroxide, alkali metal carbonates such as sodium carbonate and potassium carbonate, alkali metal bicarbonates such as sodium hydrogen carbonate and potassium hydrogen carbonate, silica Alkali metal silicates such as sodium silicate and potassium silicate, alkali metal metasilicates such as sodium metasilicate and potassium metasilicate, tetraalkyl such as triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, morpholine and tetramethylammonium hydroxide Ammonium hydroxides, trisodium phosphate and the like can be mentioned.

アルカリ水溶液中のアルカリ性物質の濃度としては、0.01〜30質量%が好ましく、更にpHとしては、8〜14が好ましい。   The concentration of the alkaline substance in the alkaline aqueous solution is preferably 0.01 to 30% by mass, and the pH is preferably 8 to 14.

上記水混和性を有する有機溶剤としては、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノn−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドン等が挙げられる。この有機溶剤の添加量としては、0.1〜30質量%が好ましい。   Examples of the water-miscible organic solvent include methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono n-butyl ether, benzyl alcohol, Examples include acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, and N-methylpyrrolidone. The addition amount of the organic solvent is preferably 0.1 to 30% by mass.

また、アルカリ水溶液には、公知の種々の界面活性剤を添加することもできる。界面活性剤の濃度としては、0.01〜10質量%が好ましい。現像時の温度としては、通常、室温付近〜40℃が好ましい。更に、現像処理した後に、水洗処理する工程を入れることもできる。   Various known surfactants can also be added to the alkaline aqueous solution. The concentration of the surfactant is preferably 0.01 to 10% by mass. The temperature during development is usually preferably around room temperature to 40 ° C. Furthermore, after the development processing, a step of washing with water can be added.

本発明の感光性転写材料を用いて配向制御用突起やスペーサーを形成する場合、露光、現像後に、ベークと呼ばれる熱処理を行ことにより、構造体をより硬化させることができる。また、ベークを行うことにより、構造体の収縮、適度な流動によって構造体の形状を適度になだらかにすることができる。   When forming alignment control protrusions and spacers using the photosensitive transfer material of the present invention, the structure can be further cured by performing a heat treatment called baking after exposure and development. Further, by baking, the shape of the structure can be moderately moderated by contraction of the structure and appropriate flow.

上記ベークの温度は、好ましくは200〜300℃、より好ましくは220℃〜260℃、最も好ましくは230℃〜250℃である。上記ベークの時間は、好ましくは10〜120分、更に好ましくは20〜70分、最も好ましくは30〜60分である。このように温度及び時間を設定して上記ベークを行うことで、感光性樹脂成分中の架橋反応が進行しやすく、カラーフィルターの変色を防止し生産性を高めることができる。   The baking temperature is preferably 200 to 300 ° C, more preferably 220 to 260 ° C, and most preferably 230 to 250 ° C. The baking time is preferably 10 to 120 minutes, more preferably 20 to 70 minutes, and most preferably 30 to 60 minutes. Thus, by performing the said baking by setting temperature and time, the crosslinking reaction in a photosensitive resin component can advance easily, discoloration of a color filter can be prevented, and productivity can be improved.

《液晶表示装置》
上述のように本発明の感光性転写材料及び本発明の液晶配向制御用突起を用いて形成された本発明の液晶表示装置は、互いに対向し合う側の表面に導電層が設けられた2枚の基板間に液晶層が挟持され、既述の本発明の液晶配向制御用突起を基板上の導電層の外側(導電層と液晶層との間)から液晶層側に凸となるように備えて構成することができる。また、導電層上にはこれらを覆って配向膜を形成することもできる。
<Liquid crystal display device>
As described above, the liquid crystal display device of the present invention formed using the photosensitive transfer material of the present invention and the liquid crystal alignment control protrusion of the present invention has two sheets, each having a conductive layer on the surface facing each other. The liquid crystal layer is sandwiched between the substrates, and the protrusions for controlling liquid crystal alignment according to the present invention described above are provided so as to protrude from the outside of the conductive layer on the substrate (between the conductive layer and the liquid crystal layer) to the liquid crystal layer side. Can be configured. An alignment film can be formed on the conductive layer so as to cover them.

本発明の液晶表示装置の基本的な構成態様としては、(1)薄膜トランジスタ(以下、「TFT」という場合がある。)等の駆動素子と画素電極(導電層)とが配列形成された駆動側基板と、カラーフィルタ及び対向電極(導電層)を備えるカラーフィルタ側基板とをスペーサを介在させて対向配置し、その間隙部に液晶材料を封入して構成されるもの、(2)カラーフィルタが上記駆動側基板に直接形成されたカラーフィルタ一体型駆動基板と、対向電極(導電層)を備える対向基板とをスペーサを介在させて対向配置し、その間隙部に液晶材料を封入して構成されるもの等が挙げられる。   The basic configuration of the liquid crystal display device of the present invention includes: (1) a driving side in which driving elements such as thin film transistors (hereinafter sometimes referred to as “TFTs”) and pixel electrodes (conductive layers) are arranged; A substrate and a color filter side substrate having a color filter and a counter electrode (conductive layer) are arranged to face each other with a spacer interposed therebetween, and a liquid crystal material is sealed in the gap portion; (2) the color filter The color filter integrated drive substrate directly formed on the drive side substrate and a counter substrate having a counter electrode (conductive layer) are arranged to face each other with a spacer interposed therebetween, and a liquid crystal material is sealed in the gap portion. And the like.

上記導電層としては、例えば、ITO膜;Al、Zn、Cu、Fe、Ni、Cr、Mo等の金属膜;SiO2等の金属酸化膜などが挙げられ、中でも透明性のものが好ましく、ITO膜が特に好ましい。上記駆動側基板、カラーフィルタ側基板、対向基板は、その基材として、例えば、ソーダガラス板、低膨張ガラス板、ノンアルカリガラス板、石英ガラス板等の公知のガラス板、或いはプラスチックフィルム等を用いて構成される。 Examples of the conductive layer include an ITO film; a metal film such as Al, Zn, Cu, Fe, Ni, Cr, and Mo; a metal oxide film such as SiO 2. A membrane is particularly preferred. The drive side substrate, the color filter side substrate, and the counter substrate are made of, for example, a known glass plate such as a soda glass plate, a low expansion glass plate, a non-alkali glass plate, a quartz glass plate, or a plastic film. Constructed using.

TFT等の駆動素子と画素電極とが配列形成された駆動側基板としては、例えば、互いに垂直に交わってマトリックス状に配設されたデータバスライン及びゲートバスラインと接続されたTFT、及びTFTを介してデータバスラインと接続する導電層が設けられたものなどが挙げられる。   As a driving side substrate in which driving elements such as TFTs and pixel electrodes are arranged, for example, TFTs and TFTs connected to data bus lines and gate bus lines arranged in a matrix so as to cross each other vertically are arranged. For example, a conductive layer connected to the data bus line may be provided.

上記態様のいずれにおいても、液晶表示素子を構成する基板の両方に導電層が形成され、該両導電層間に電圧が印可されその間に挟持される液晶材料がその電圧に応じて配向状態を変化させ表示を行う。従って、既述の構造体は、いずれの導電層の内側(導電層と基板の間)にも所望の形状、形態で形成することができる。   In any of the above embodiments, a conductive layer is formed on both of the substrates constituting the liquid crystal display element, a voltage is applied between the two conductive layers, and the liquid crystal material sandwiched therebetween changes the alignment state according to the voltage. Display. Accordingly, the structure described above can be formed in any desired shape and form inside any conductive layer (between the conductive layer and the substrate).

上記構成態様(1)について上述の図1を用いて説明する。上記構成態様(1)の一例としては、上述の図1(b)で示される液晶表示装置が挙げられる。図1(b)を例に説明すると、一方の基板30は、カラーフィルタ側基板である。ガラス基板20の液晶層16に対向する側の表面には、カラーフィルター24、共通電極をなす導電層(ITO膜)18、及び、等ピッチで形成された断面台形の液晶配向制御用突起22が形成されている。更に、導電層18及び液晶配向制御用突起22と液晶層16との間には、図示を省略する配向膜を設けることができる。他方の基板32は、TFTを備える駆動側基板である。基板32の液晶層16に対向する側の表面には、TFT(図示せず)、該TFTのドレイン電極と接合する導電層(ITO膜)14、及び、等ピッチで形成された断面台形の液晶配向制御用突起22(図1では1個のみ示す)が形成されている。上記基板32には、図示を省略するゲート電極をなすゲートバスラインが複数本形成されており、該ゲートバスラインに直交して図示を省略する複数本のデータバスラインが平行に形成され、これらゲートバスラインとデータバスラインの交点に対応して複数個のTFTが配列されている。更に、TFT、導電層14及び液晶配向制御用突起22と液晶層16との間には、図示を省略する配向膜を設けることができる。上記基板30及び基板32の間には、液晶材料を封入してなる液晶層16が挟持され、液晶配向制御用突起22は導電層18又は14の外側から液晶層16側に凸に突起し、該凸面に沿って液晶分子15が配向している。   The configuration mode (1) will be described with reference to FIG. An example of the configuration mode (1) is the liquid crystal display device shown in FIG. Referring to FIG. 1B as an example, one substrate 30 is a color filter side substrate. On the surface of the glass substrate 20 facing the liquid crystal layer 16, a color filter 24, a conductive layer (ITO film) 18 forming a common electrode, and a liquid crystal alignment control protrusion 22 having a trapezoidal cross section formed at an equal pitch. Is formed. Further, an alignment film (not shown) can be provided between the conductive layer 18 and the liquid crystal alignment control protrusion 22 and the liquid crystal layer 16. The other substrate 32 is a drive side substrate including TFTs. On the surface of the substrate 32 facing the liquid crystal layer 16, a TFT (not shown), a conductive layer (ITO film) 14 bonded to the drain electrode of the TFT, and a trapezoidal liquid crystal formed at an equal pitch An orientation control protrusion 22 (only one is shown in FIG. 1) is formed. The substrate 32 is formed with a plurality of gate bus lines that form gate electrodes (not shown), and a plurality of data bus lines (not shown) that are orthogonal to the gate bus lines are formed in parallel. A plurality of TFTs are arranged corresponding to the intersections of the gate bus lines and the data bus lines. Further, an alignment film (not shown) can be provided between the TFT, the conductive layer 14 and the liquid crystal alignment control protrusion 22 and the liquid crystal layer 16. A liquid crystal layer 16 in which a liquid crystal material is sealed is sandwiched between the substrate 30 and the substrate 32, and the liquid crystal alignment control protrusion 22 protrudes from the outside of the conductive layer 18 or 14 to the liquid crystal layer 16 side, The liquid crystal molecules 15 are aligned along the convex surface.

以上の通り、本発明の液晶表示装置は、基板の導電層の内側(導電層と液晶層の間)に、着色のない透明な液晶配向制御用突起が設けられるので、液晶表示面に対する観察位置(視野角)に依存しない広視野角を確保することができると共に、3原色(B(青色)、G(緑色)、R(赤色))の色純度をも損なわれず、色相ズレのない鮮明なフルカラー画像を表示し得る液晶表示装置を提供することができる。   As described above, the liquid crystal display device of the present invention is provided with the transparent liquid crystal alignment control protrusion without coloration inside the conductive layer of the substrate (between the conductive layer and the liquid crystal layer). A wide viewing angle that does not depend on (viewing angle) can be secured, and the color purity of the three primary colors (B (blue), G (green), R (red)) is not impaired, and there is no hue deviation. A liquid crystal display device capable of displaying a full-color image can be provided.

なお、上述の図1(a)に示す液晶表示装置は、カラーフィルタを備えていない以外には、上記図1(b)と同様である。即ち、基板32及び基板32の間には、液晶材料を封入してなる液晶層16が挟持され、液晶配向制御用突起22は導電層14の外側から液晶層16側に凸に突起し、該凸面に沿って液晶分子15が配向している。この構成態様によっても、基板の導電層と液晶層との間に、着色のない透明な液晶配向制御用突起が設けられるので、液晶表示面に対する観察位置(視野角)に依存しない広視野角を確保することができる。   The liquid crystal display device shown in FIG. 1A is the same as that shown in FIG. 1B except that it does not include a color filter. That is, the liquid crystal layer 16 formed by enclosing a liquid crystal material is sandwiched between the substrate 32 and the substrate 32, and the liquid crystal alignment control protrusions 22 protrude from the outside of the conductive layer 14 to the liquid crystal layer 16 side, The liquid crystal molecules 15 are aligned along the convex surface. Also according to this configuration, a transparent liquid crystal alignment control protrusion is provided between the conductive layer and the liquid crystal layer of the substrate, so that a wide viewing angle independent of the observation position (viewing angle) with respect to the liquid crystal display surface can be obtained. Can be secured.

以下、実施例及び比較例により本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。なお、実施例中の「部」及び「%」は、それぞれ「質量部」及び「質量%」を示す。以下において、本発明に係る構造体を透明構造体ということがある。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention further more concretely, this invention is not limited to these Examples at all. In the examples, “parts” and “%” represent “parts by mass” and “% by mass”, respectively. Hereinafter, the structure according to the present invention may be referred to as a transparent structure.

[実施例1]
−転写材料(1)の作製−
仮支持体として、厚さ100μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(PETフィルム)を準備し、該仮支持体上に、下記組成からなる熱可塑性樹脂層用塗布液H1を塗布、乾燥して、乾燥層厚20μmの熱可塑性樹脂層を形成した。
[Example 1]
-Production of transfer material (1)-
A polyethylene terephthalate film (PET film) having a thickness of 100 μm is prepared as a temporary support, and a thermoplastic resin layer coating solution H1 having the following composition is applied onto the temporary support and dried to obtain a dry layer thickness of 20 μm. The thermoplastic resin layer was formed.

<熱可塑性樹脂層用塗布液H1の組成>
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタク
リレート/メタクリル酸共重合体 (共重合比(モル比)=55/28.8/11.7/4.5、質量平均分子量90000) 15部
・ポリプロピレングリコールジアクリレート 6.5部
(平均分子量822)
・テトラエチレングリコールジメタクリレート 1.5部
・p−トルエンスルホンアミド 0.5部
・ベンゾフェノン 1.0部
・メチルエチルケトン 30部
<Composition of coating liquid H1 for thermoplastic resin layer>
・ Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymerization ratio (molar ratio) = 55 / 28.8 / 11.7 / 4.5, mass average molecular weight 90000) 15 parts ・ polypropylene glycol 6.5 parts of diacrylate (average molecular weight 822)
・ Tetraethylene glycol dimethacrylate 1.5 parts ・ p-Toluenesulfonamide 0.5 part ・ Benzophenone 1.0 part ・ Methyl ethyl ketone 30 parts

続いて、上記熱可塑性樹脂層上に、下記組成よりなる中間層用塗布液B1を塗布、乾燥して、乾燥層厚1.6μmの中間層を形成した。
<中間層用塗布液B1の組成>
・ポリビニルアルコール 130部
(商品名:PVA−205(ケン化率80%)、(株)クラレ製)
・ポリビニルピロリドン 60部
(商品名:PVP K−90、GAFコーポレーション社製)
・フッ素系界面活性剤 10部
(商品名:サーフロンS−131、旭硝子(株)製)
・蒸留水 3350部
Subsequently, an intermediate layer coating solution B1 having the following composition was applied onto the thermoplastic resin layer and dried to form an intermediate layer having a dry layer thickness of 1.6 μm.
<Composition of coating liquid B1 for intermediate layer>
-130 parts of polyvinyl alcohol (trade name: PVA-205 (saponification rate 80%), manufactured by Kuraray Co., Ltd.)
-60 parts of polyvinylpyrrolidone (trade name: PVP K-90, manufactured by GAF Corporation)
・ 10 parts of fluorosurfactant (trade name: Surflon S-131, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.)
・ 3350 parts of distilled water

続いて、下記組成よりなる感光性樹脂層用塗布液T1を調製し、上記中間層上に更に塗布し、乾燥して乾燥層厚2.0μmの感光性樹脂層を積層した。尚、下記において「m/p」はクレゾールノボラック樹脂中のメタ−位/パラ−位のモル比率を示し、「MW」は重量平均分子量を示す。
<感光性樹脂層用塗布液T1の組成>
・クレゾールノボラック樹脂A 30部
(m/p=60/40、MW=2600)
・クレゾールノボラック樹脂B 30部
(m/p=80/20、MW=2200)
・4’−t−オクチルフェニルナフトキノンジアジド−4−スルホネート
18部
・1−メトキシプロピルアセテート 100部
・テトラヒドロフルフリルアルコール(高沸点有機溶剤) 500部
・界面活性剤 0.05部
(商品名:メガファックF−780F、大日本インキ(株)製)
Subsequently, a photosensitive resin layer coating solution T1 having the following composition was prepared, further coated on the intermediate layer, and dried to laminate a photosensitive resin layer having a dry layer thickness of 2.0 μm. In the following, “m / p” represents the molar ratio of meta-position / para-position in the cresol novolac resin, and “MW” represents the weight average molecular weight.
<Composition of Coating Solution T1 for Photosensitive Resin Layer>
-Cresol novolac resin A 30 parts (m / p = 60/40, MW = 2600)
-30 parts of cresol novolac resin B (m / p = 80/20, MW = 2200)
4'-t-octylphenyl naphthoquinone diazide-4-sulfonate
18 parts 1-methoxypropyl acetate 100 parts Tetrahydrofurfuryl alcohol (high boiling point organic solvent) 500 parts Surfactant 0.05 parts (trade name: MegaFuck F-780F, manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.)

更に、上記感光性樹脂層上に、カバーフィルムとしてポリプロピレン(厚み12μm)フィルムを圧着貼付して設け、仮支持体上に、熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹脂層、カバーフィルムがこの順に積層された転写材料(1)を作製した。   Further, a polypropylene (thickness: 12 μm) film is provided as a cover film by pressure bonding on the photosensitive resin layer, and a thermoplastic resin layer, an intermediate layer, a photosensitive resin layer, and a cover film are arranged in this order on the temporary support. A laminated transfer material (1) was produced.

−液晶パネルの作製−
まず、所定サイズのガラス基板に、ブラックマトリクス用樹脂組成物を用いて所定サイズ、形状からなるストライプ状のブラックマトリックスと額縁状の遮光部を形成した。その後、特開2000−98599号公報に記載のカラーフィルタの製造方法により、所定の位置にR(赤色)、G(緑色)、B(青色)からなる着色膜を形成した。更にこの上に透明電極膜をITOのスパッタリングにより形成した。
-Production of liquid crystal panels-
First, a stripe-shaped black matrix having a predetermined size and shape and a frame-shaped light shielding portion were formed on a glass substrate having a predetermined size by using the black matrix resin composition. Thereafter, a colored film composed of R (red), G (green), and B (blue) was formed at a predetermined position by the method for producing a color filter described in JP-A-2000-98599. Further, a transparent electrode film was formed thereon by sputtering of ITO.

続いて、上記より得た転写材料(1)からカバーフィルムを剥がし、その感光性樹脂層の表面と上記カラーフィルタ側基板のITO膜が設けられた側の表面とを重ね合わせ、ラミネーター(商品名:VP−II、大成ラミネータ(株)製)を用いて、0.8kg/cm2、温度130℃、搬送速度1m/分の条件下で貼り合わせた。その後、転写材料の仮支持体のみを熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、除去した。この状態では、カラーフィルタ側基板上に、感光性樹脂層、中間層、熱可塑性樹脂層がこの順に積層されている。 Subsequently, the cover film is peeled off from the transfer material (1) obtained as described above, and the surface of the photosensitive resin layer and the surface of the color filter side substrate on which the ITO film is provided are overlaid, and a laminator (trade name) : VP-II, manufactured by Taisei Laminator Co., Ltd.) and bonded under the conditions of 0.8 kg / cm 2 , temperature 130 ° C., and conveyance speed 1 m / min. Thereafter, only the temporary support of the transfer material was peeled and removed at the interface with the thermoplastic resin layer. In this state, the photosensitive resin layer, the intermediate layer, and the thermoplastic resin layer are laminated in this order on the color filter side substrate.

次に、最外層である熱可塑性樹脂層の上方に、所定のフォトマスクが感光性樹脂層の表面から100μmの距離となるようにプロキシミティ露光機を配置し、該フォトマスクを介して超高圧水銀灯により照射エネルギー150mJ/cm2でプロキシミティ露光した。その後、1%トリエタノールアミン水溶液を、シャワー式現像装置にて30℃で30秒間基板に噴霧して、熱可塑性樹脂層及び中間層を溶解除去した。この段階では、感光性樹脂層は実質的に現像はされていなかった。 Next, a proximity exposure machine is arranged above the outermost thermoplastic resin layer so that the predetermined photomask is at a distance of 100 μm from the surface of the photosensitive resin layer, and the ultrahigh pressure is passed through the photomask. Proximity exposure was performed with a mercury lamp at an irradiation energy of 150 mJ / cm 2 . Thereafter, a 1% triethanolamine aqueous solution was sprayed onto the substrate at 30 ° C. for 30 seconds with a shower type developing device to dissolve and remove the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. At this stage, the photosensitive resin layer was not substantially developed.

続いて、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を、シャワー式現像装置にて33℃30秒間基板に噴霧しながら現像し、感光性樹脂層の不要部(露光部)を現像除去した。すると、カラーフィルタ側基板上には、所望の形状にパターニングされた感光性樹脂層よりなる構造体が形成された。この際、基板中央部の14μm幅のパターンと中央から40cmのところにある14μm幅のパターンとのそれぞれの線幅を測定し、現像ムラを評価した。結果を下記表1に示す。
次いで、該構造体が形成されたカラーフィルタ側基板を230℃下で30分ベークすることにより、カラーフィルタ側基板上に透明リブ(a)を形成することができた。透明リブ(a)の形状は、走査型電子顕微鏡により観察した結果、線幅11μm、中央部高さ約1.5μmの蒲鉾型の断面形状を有していた。
Subsequently, a 2.38% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution was developed while sprayed onto a substrate at 33 ° C. for 30 seconds with a shower type developing device, and unnecessary portions (exposed portions) of the photosensitive resin layer were developed and removed. As a result, a structure made of a photosensitive resin layer patterned into a desired shape was formed on the color filter side substrate. At this time, the respective line widths of the 14 μm wide pattern at the center of the substrate and the 14 μm wide pattern located 40 cm from the center were measured to evaluate development unevenness. The results are shown in Table 1 below.
Subsequently, the color filter side substrate on which the structure was formed was baked at 230 ° C. for 30 minutes, whereby a transparent rib (a) could be formed on the color filter side substrate. As a result of observing with a scanning electron microscope, the shape of the transparent rib (a) had a saddle-shaped cross-sectional shape with a line width of 11 μm and a central portion height of about 1.5 μm.

得られた基板を用いて公知の方法により液晶パネルを作製し、表示性能を評価したところ十分な性能を示した。   A liquid crystal panel was produced by a known method using the obtained substrate and the display performance was evaluated.

[実施例2]
実施例1において、感光性樹脂層用塗布液T1を下記組成よりなる感光性樹脂層用塗布液T2に変更した以外は実施例1と同様にして液晶パネルを作製した。得られた液晶パネルの表示性能を評価したところ十分な性能を示した。
<感光性樹脂層用塗布液T2の組成>
・クレゾールノボラック樹脂A 30部
(m/p=60/40、MW=2600)
・クレゾールノボラック樹脂B 30部
(m/p=80/20、MW=2200)
・4’−t−オクチルフェニルナフトキノンジアジド−4−スルホネート
18部
・1−メトキシプロピルアセテート 100部
・ビクトリアピュアブルーの30%メタノール溶液 2部
・界面活性剤 0.05部
(商品名:メガファックF−780F、大日本インキ(株)製)
・テトラヒドロフリルアルコール 500部
[Example 2]
A liquid crystal panel was produced in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive resin layer coating solution T1 in Example 1 was changed to the photosensitive resin layer coating solution T2 having the following composition. When the display performance of the obtained liquid crystal panel was evaluated, it showed sufficient performance.
<Composition of Coating Solution T2 for Photosensitive Resin Layer>
-Cresol novolac resin A 30 parts (m / p = 60/40, MW = 2600)
-30 parts of cresol novolac resin B (m / p = 80/20, MW = 2200)
4'-t-octylphenyl naphthoquinone diazide-4-sulfonate
18 parts 1-methoxypropyl acetate 100 parts Victoria Pure Blue 30% methanol solution 2 parts Surfactant 0.05 parts (trade name: MegaFuck F-780F, manufactured by Dainippon Ink, Inc.)
・ 500 parts of tetrahydrofuryl alcohol

[実施例3]
実施例1において、感光性樹脂層用塗布液T1を下記組成よりなる感光性樹脂層用塗布液T3に変更した以外は実施例1と同様にして液晶パネルを作製した。得られた液晶パネルの表示性能を評価したところ十分な性能を示した。
<感光性樹脂層用塗布液T3の組成>
・クレゾールノボラック樹脂A 30部
(m/p=60/40、MW=2600)
・クレゾールノボラック樹脂B 30部
(m/p=80/20、MW=2200)
・4’−t−オクチルフェニルナフトキノンジアジド−4−スルホネート
18部
・ビスフェノールシクロヘキシル 3.0部
・ビクトリアピュアブルーの30%メタノール溶液 5.0部
・界面活性剤 0.05部
(商品名:メガファックF−780F、大日本インキ(株)製)
・1−メトキシプロピルアセテート(高沸点溶剤) 600部
[Example 3]
A liquid crystal panel was produced in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive resin layer coating solution T1 in Example 1 was changed to the photosensitive resin layer coating solution T3 having the following composition. When the display performance of the obtained liquid crystal panel was evaluated, it showed sufficient performance.
<Composition of Coating Solution T3 for Photosensitive Resin Layer>
-Cresol novolac resin A 30 parts (m / p = 60/40, MW = 2600)
-30 parts of cresol novolac resin B (m / p = 80/20, MW = 2200)
4'-t-octylphenyl naphthoquinone diazide-4-sulfonate
18 parts Bisphenol cyclohexyl 3.0 parts Victoria Pure Blue 30% methanol solution 5.0 parts Surfactant 0.05 parts (Trade name: MegaFuck F-780F, manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.)
・ 600 parts of 1-methoxypropyl acetate (high boiling point solvent)

[実施例4]
実施例1において、感光性樹脂層用塗布液T1を下記組成よりなる感光性樹脂層用塗布液T4に変更した以外は実施例1と同様にして液晶パネルを作製した。得られた液晶パネルの表示性能を評価したところ十分な性能を示した。
<感光性樹脂層用塗布液T4の組成>
・クレゾールノボラック樹脂A 30部
(m/p=60/40、MW=2600)
・クレゾールノボラック樹脂B 30部
(m/p=80/20、MW=2200)
・4’−t−オクチルフェニルナフトキノンジアジド−4−スルホネート
18部
・ビスフェノールシクロヘキシル 3.0部
・トリクレジルホスフェート 5.0部
・界面活性剤 0.05部
(商品名:メガファックF−780F、大日本インキ(株)製)
・1−メトキシプロピルアセテート(高沸点溶剤) 600部
[Example 4]
A liquid crystal panel was produced in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive resin layer coating solution T1 in Example 1 was changed to the photosensitive resin layer coating solution T4 having the following composition. When the display performance of the obtained liquid crystal panel was evaluated, it showed sufficient performance.
<Composition of Coating Solution T4 for Photosensitive Resin Layer>
-Cresol novolac resin A 30 parts (m / p = 60/40, MW = 2600)
-30 parts of cresol novolac resin B (m / p = 80/20, MW = 2200)
4'-t-octylphenyl naphthoquinone diazide-4-sulfonate
18 parts, 3.0 parts of bisphenol cyclohexyl, 5.0 parts of tricresyl phosphate, 0.05 parts of surfactant (trade name: Megafac F-780F, manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.)
・ 600 parts of 1-methoxypropyl acetate (high boiling point solvent)

[実施例5]
実施例1において、感光性樹脂層用塗布液T1を下記組成よりなる感光性樹脂層用塗布液T5に変更した以外は実施例1と同様にして液晶パネルを作製した。得られた液晶パネルの表示性能を評価したところ十分な性能を示した。
<感光性樹脂層用塗布液T5の組成>
・クレゾールノボラック樹脂A 30部
(m/p=60/40、MW=2600)
・クレゾールノボラック樹脂B 30部
(m/p=80/20、MW=2200)
・4’−t−オクチルフェニルナフトキノンジアジド−4−スルホネート
18部
・ビスフェノールシクロヘキシル 3.0部
・トリクレジルホスフェート 5.0部
・マロン酸 5.0部
・界面活性剤 0.05部
(商品名:メガファックF−780F、大日本インキ(株)製)
・1−メトキシプロピルアセテート(高沸点溶剤) 600部
[Example 5]
A liquid crystal panel was produced in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive resin layer coating solution T1 in Example 1 was changed to the photosensitive resin layer coating solution T5 having the following composition. When the display performance of the obtained liquid crystal panel was evaluated, it showed sufficient performance.
<Composition of Coating Solution T5 for Photosensitive Resin Layer>
-Cresol novolac resin A 30 parts (m / p = 60/40, MW = 2600)
-30 parts of cresol novolac resin B (m / p = 80/20, MW = 2200)
4'-t-octylphenyl naphthoquinone diazide-4-sulfonate
18 parts, bisphenolcyclohexyl 3.0 parts, tricresyl phosphate 5.0 parts, malonic acid 5.0 parts, surfactant 0.05 parts (trade name: Megafac F-780F, manufactured by Dainippon Ink, Inc. )
・ 600 parts of 1-methoxypropyl acetate (high boiling point solvent)

[実施例6]
実施例1において、感光性樹脂層用塗布液T1をレジスト溶液(商品名:FH−2405、富士フイルムアーチ(株)製;クレゾールノボラック樹脂、ナフトキノンジアジドエステル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート含有)1000部とテトラヒドロフルフリルアルコール500部とからなる溶液に変更した以外は実施例1と同様にして液晶パネルを作製した。得られた液晶パネルの表示性能を評価したところ十分な性能を示した。
[Example 6]
In Example 1, the photosensitive resin layer coating solution T1 was treated with 1000 parts of a resist solution (trade name: FH-2405, manufactured by Fuji Film Arch Co., Ltd .; containing cresol novolac resin, naphthoquinone diazide ester, propylene glycol monomethyl ether acetate) A liquid crystal panel was produced in the same manner as in Example 1 except that the solution was changed to 500 parts of tetrahydrofurfuryl alcohol. When the display performance of the obtained liquid crystal panel was evaluated, it showed sufficient performance.

[比較例1]
実施例1において、感光性樹脂層用塗布液T1のクレゾールノボラック樹脂AおよびBの代わりに、フェノールノボラック樹脂(MW=2400)60部を用いた以外は実施例1と同様にして、同様にして液晶パネルを作製した。得られた液晶パネルの表示性能を評価したところ、満足な性能を示さなかった。
[Comparative Example 1]
In the same manner as in Example 1, except that 60 parts of phenol novolak resin (MW = 2400) was used instead of cresol novolak resins A and B in the coating solution T1 for the photosensitive resin layer in Example 1, in the same manner. A liquid crystal panel was produced. When the display performance of the obtained liquid crystal panel was evaluated, it did not show satisfactory performance.

[比較例2]
実施例1において、感光性樹脂層用塗布液T1を下記組成よりなる感光性樹脂層用塗布液T6に変更した以外は実施例1と同様にして液晶パネルを作製した。得られた液晶パネルの表示性能を評価したところ、満足な性能を示さなかった。
<感光性樹脂層用塗布液T6の組成>
・ベンジルメタアクリレート/メタアクリル酸共重合体 60部
(BzMA/MAA共重比=72/28)
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 30部
・2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4’−(N,N−ビス(エトキシカルボニルメチル)−3’−ブロモフェニル)−s−トリアジン 1.0部
・ビクトリアピュアブルーの30%メタノール溶液 2.0部
・界面活性剤 0.05部
(商品名:メガファックF−780F、大日本インキ(株)製)
・1−メトキシプロピルアセテート(高沸点溶剤) 600部
[Comparative Example 2]
A liquid crystal panel was produced in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive resin layer coating solution T1 in Example 1 was changed to the photosensitive resin layer coating solution T6 having the following composition. When the display performance of the obtained liquid crystal panel was evaluated, it did not show satisfactory performance.
<Composition of Coating Solution T6 for Photosensitive Resin Layer>
-Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer 60 parts (BzMA / MAA copolymer weight ratio = 72/28)
Dipentaerythritol hexaacrylate 30 parts 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4 '-(N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) -3'-bromophenyl) -s-triazine 1.0 Part ・ 30 parts methanol solution of Victoria Pure Blue 2.0 parts ・ Surfactant 0.05 parts (trade name: MegaFuck F-780F, manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.)
・ 600 parts of 1-methoxypropyl acetate (high boiling point solvent)

Figure 2005221726
※現像ムラについては、線幅が13μm以上15μm以下であるものを「○」、線幅が13μm未満または15μmを越えるものを「×」と評価した。
Figure 2005221726
* Regarding development unevenness, “◯” indicates that the line width is 13 μm or more and 15 μm or less, and “X” indicates that the line width is less than 13 μm or exceeds 15 μm.

表1から、実施例1〜6においては、現像ムラが少ないのに対し、比較例1においては現像ムラが顕著であった。また、実施例1〜6については液晶パネルの表示性能が満足な性能を示していたが、比較例1〜2については満足のいく性能を得ることができなかった。   From Table 1, in Examples 1 to 6, development unevenness was small, whereas in Comparative Example 1, development unevenness was significant. Moreover, although the display performance of the liquid crystal panel showed satisfactory performance for Examples 1 to 6, satisfactory performance could not be obtained for Comparative Examples 1 and 2.

本発明の液晶配向制御用突起を用いた液晶表示装置を示す概略図である。It is the schematic which shows the liquid crystal display device using the protrusion for liquid crystal orientation control of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

10 液晶表示装置
12,20 ガラス基板
14,18 導電層
15 液晶分子
16 液晶層
22 液晶配向制御用突起
24 カラーフィルター
30,32 基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Liquid crystal display device 12, 20 Glass substrate 14, 18 Conductive layer 15 Liquid crystal molecule 16 Liquid crystal layer 22 Protrusion 24 for liquid crystal orientation control Color filter 30, 32 Substrate

Claims (8)

仮支持体上に、クレゾールノボラック樹脂を含む感光性樹脂層を少なくとも1層有することを特徴とする感光性転写材料。   A photosensitive transfer material comprising at least one photosensitive resin layer containing a cresol novolac resin on a temporary support. 前記感光性樹脂層が、ナフトキノンジアジドエステルを含むことを特徴とする請求項1に記載の感光性転写材料。   The photosensitive transfer material according to claim 1, wherein the photosensitive resin layer contains naphthoquinone diazide ester. 前記感光性樹脂層が、可塑剤を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の感光性転写材料。   The photosensitive transfer material according to claim 1, wherein the photosensitive resin layer contains a plasticizer. 前記感光性樹脂層が、高沸点溶剤を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の感光性転写材料。   The photosensitive transfer material according to claim 1, wherein the photosensitive resin layer contains a high boiling point solvent. 前記仮支持体上に、熱可塑性樹脂層と、中間層と、前記感光性樹脂層とをこの順で有することを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の感光性転写材料。   The photosensitive transfer material according to any one of claims 1 to 4, further comprising a thermoplastic resin layer, an intermediate layer, and the photosensitive resin layer in this order on the temporary support. 請求項1〜5のいずれかに記載の感光性転写材料を用いて形成されたことを特徴とする液晶配向制御用突起。   A protrusion for controlling liquid crystal alignment, which is formed using the photosensitive transfer material according to claim 1. 請求項1〜5のいずれかに記載の感光性転写材料を用いた液晶配向制御用突起の形成方法であって、前記感光性転写材料の感光性樹脂層を基板上に転写する転写工程と、前記基板上に転写された前記感光性樹脂層をパターニングするパターニング工程とを含むことを特徴とする液晶配向制御用突起の形成方法。   A method for forming a liquid crystal alignment control protrusion using the photosensitive transfer material according to any one of claims 1 to 5, wherein a transfer step of transferring a photosensitive resin layer of the photosensitive transfer material onto a substrate; And a patterning step of patterning the photosensitive resin layer transferred onto the substrate. 請求項6に記載の液晶配向制御用突起を有することを特徴とする液晶表示装置。   A liquid crystal display device comprising the liquid crystal alignment control protrusion according to claim 6.
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