【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、小型で体感振動を発生させるための振動アクチュエータに関するもので、特に、移動体通信機の呼び出しバイブレータや、パチンコを含むゲーム機の体感振動発生器、タッチパネルのクリック感発生器などに使用される振動アクチュエータおよびその駆動方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の振動アクチュエータは、磁気回路の振動を利用して直接人間が接触する外部筐体を振動させていた。その際の駆動信号は、固定周波数入力の場合、磁気回路の振動共振周波数とほぼ同じ周波数にしていた。特許文献１には、体感振動を発生させる振動アクチュエータについて記載されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−２５８２５３号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、振動共振周波数を利用して振動させると、入力を切った後の振動の余韻が大きく、特に短いサイクルの振動で触覚に訴えようとするクリック感発生器等に使用する場合は、めりはりの弱い振動となっていた。
【０００５】
また、振動加速度は共振点近傍では大きく変化するため、入力周波数と振動共振周波数を一致させる必要があるが、振動共振周波数は磁気回路質量のばらつき、サスペンションのバネ定数のばらつき、アクチュエータ製造のばらつき、温度変化によるばらつき、筐体への取り付け時のばらつき、筐体の保持方法によるばらつき等で、中心周波数から１０Ｈｚ前後ばらつく場合が多く、入力の周波数についても製造のばらつきがあり、これらのばらつきのために安定した振動強度が得られないという問題があった。
【０００６】
上述の問題点解決策として、入力信号を共振点中心にその前後でスウィープさせるという駆動方法も提案されているが、短いサイクルの振動には不向きであり、またスウィープ信号作成のために回路が複雑になっていた。
【０００７】
本発明の目的は、入力を切った後の振動の余韻が小さく、めりはりのある体感振動を発生させ、かつ、振動共振周波数および入力信号周波数のばらつきの影響を最小限に押さえた低コストで安定な振動をもたらす振動アクチュエータおよびその駆動方法を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、上記課題を解決するために、本発明の振動アクチュエータは、振動共振周波数より、５Ｈｚ〜５０Ｈｚ高い任意の固定周波数もしくは５Ｈｚ〜５０Ｈｚ低い任意の固定周波数を入力して駆動させている。
【０００９】
即ち、本発明は、磁気回路とコイルとで構成され、振動共振を利用して外部に振動が取り出される振動アクチュエータにおいて、振動共振周波数より５Ｈｚ〜５０Ｈｚ高い周波数を入力して駆動させた振動アクチュエータである。
【００１０】
また、本発明は、磁気回路とコイルとで構成され、振動共振を利用して外部に振動が取り出される振動アクチュエータにおいて、振動共振周波数より５Ｈｚ〜５０Ｈｚ低い周波数を入力して駆動させた振動アクチュエータである。
【００１１】
また、本発明は、前記振動アクチュエータの振動共振周波数が６０Ｈｚ〜３００Ｈｚの間にある振動アクチュエータである。
【００１２】
また、本発明は、前記振動アクチュエータにおいて、入力波形を１０サイクル未満に制限した振動アクチュエータである。
【００１３】
また、本発明は、前記振動アクチュエータは、永久磁石とヨークと前記永久磁石の磁束を集中させるために用いられるプレートとから構成された磁気回路と、該磁気回路の空隙に配置したコイルと該コイルによって駆動力が与えられる該コイルと一体化した振動板が相対的に振動するように前記振動板の周囲を振動伝達部に固定するとともに、前記磁気回路を柔軟なばねからなるサスペンションを介して振動伝達部に柔軟に支持した構造の振動アクチュエータである。
【００１４】
また、本発明は、前記振動アクチュエータは、ヨークと該ヨークの磁極に吸引力を発生させるために巻かれているコイルとから構成された磁気回路と、該磁気回路の磁極に空隙をもって対向して配置した磁性体の吸引部をもつ振動板が相対的に振動するように前記振動板の周囲を振動伝達部に固定するとともに、前記磁気回路を柔軟なばねからなるサスペンションを介して振動伝達部に柔軟に支持した構造の振動アクチュエータである。
【００１５】
また、本発明は、磁気回路とコイルとで構成される振動アクチュエータを、振動共振を利用して外部に振動を取り出す振動アクチュエータの駆動方法であって、前記振動アクチュエータの振動共振周波数より５Ｈｚ〜５０Ｈｚ高い周波数を入力して駆動させる振動アクチュエータの駆動方法である。
【００１６】
また、本発明は磁気回路とコイルとで構成される振動アクチュエータを、振動共振を利用して外部に振動を取り出す振動アクチュエータの駆動方法であって、前記振動アクチュエータの振動共振周波数より５Ｈｚ〜５０Ｈｚ低い周波数を入力して駆動させる振動アクチュエータの駆動方法である。
【００１７】
また、本発明は、前記振動アクチュエータの振動共振周波数を６０Ｈｚ〜３００Ｈｚの間に設定する振動アクチュエータの駆動方法である。
【００１８】
また、本発明は、前記振動アクチュエータの駆動方法において、入力波形を１０サイクル未満に制限する振動アクチュエータの駆動方法である。
【００１９】
また、本発明は、前記振動アクチュエータを、永久磁石とヨークと前記永久磁石の磁束を集中させるために用いられるプレートとから構成された磁気回路と、該磁気回路の空隙に配置したコイルと該コイルによって駆動力が与えられる該コイルと一体化した振動板が相対的に振動するように前記振動板の周囲を振動伝達部に固定するとともに、前記磁気回路を柔軟なばねからなるサスペンションを介して振動伝達部に柔軟に支持した構造の振動アクチュエータの駆動方法である。
【００２０】
また、本発明は、前記振動アクチュエータを、ヨークと該ヨークの磁極に吸引力を発生させるために巻かれているコイルとから構成された磁気回路と、該磁気回路の磁極に空隙をもって対向して配置した磁性体の吸引部をもつ振動板が相対的に振動するように前記振動板の周囲を振動伝達部に固定するとともに、前記磁気回路を柔軟なばねからなるサスペンションを介して振動伝達部に柔軟に支持した構造の振動アクチュエータの駆動方法である。
【００２１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態による振動アクチュエータおよびその駆動方法について、以下に図面を参照して説明する。
【００２２】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１による動電式の可動磁気回路型振動アクチュエータの構造を示す断面図である。磁気回路は、ヨーク３１，永久磁石３２，プレート３３、中心軸３７で構成され、サスペンション３４でケースを兼ねる振動伝達部３８に柔軟に支持されている。磁気回路の空隙にはコイル３６が配置され、該コイル３６と一体化した振動板３５が周囲を振動伝達部３８に固定されている。コイル３６に交流信号を印加すると、その周波数に応じて磁気回路が振動する。
【００２３】
図２は、振動アクチュエータの振動加速度の周波数特性を示す図である。本実施の形態１では、共振点における先鋭度を緩和するようなサスペンション形状を採用しているため、その振動出力を表す振動加速度は、図２に示すような周波数特性を持っている。
【００２４】
振動共振周波数ｆ０と一致する入力周波数を印加すれば、もっとも効率良い振動が得られるが、振動共振周波数を利用して振動させると、入力を切った後の振動の余韻が大きく、特に短いサイクルの振動で触覚に訴えようとするクリック感発生器等に使用する場合は、めりはりの弱い振動となってしまう。
【００２５】
また、ｆ０近傍の特性曲線は急峻であり、入力周波数とｆ０とが離れると振動加速度が大きく変動してしまうため、入力周波数と振動共振周波数を一致させる必要がある。振動共振周波数は磁気回路質量のばらつき、サスペンションのバネ定数のばらつき、アクチュエータ製造のばらつき、温度変化によるばらつき、筐体への取り付け時のばらつき、筐体の保持方法によるばらつき等で、中心周波数から１０Ｈｚ前後ばらつく場合が多く、入力の周波数についても製造のばらつきがあり、これらのばらつきのために安定した振動強度が得られないという問題がある。ばらつきの一例をあげると、振動共振周波数ｆ０は、サスペンションのバネ定数と磁気回路の質量から決定されるため、たとえばｆ０が１４０Ｈｚの場合、サスペンションの板厚が５％ばらつくと、ｆ０は１０Ｈｚ変動する。
【００２６】
図３は、実施の形態１による振動アクチュエータの駆動方法の説明図である。ここで、サスペンションの板厚が０．１８１ｍｍのものと０．１８３ｍｍのものの振動加速度のばらつきを、図３を用いて説明する。板厚ａ（０．１８１ｍｍ）、ｂ（０．１８３ｍｍ）の振動共振周波数をそれぞれｆ０ａ，ｆ０ｂとすると、従来方式の振動共振周波数固定入力では、板厚ａを基準とした振動共振周波数と一致するよう入力周波数ｆｄ＝ｆ０ａとして設定しているので、板厚ａでは振動加速度はＡとなるが、板厚が１％変動してｂとなると振動加速度もＢとなり、４０％も低下することになる。
【００２７】
しかし、実施の形態１の振動アクチュエータでは、入力周波数ｆｄを振動共振周波数より１４Ｈｚ高い周波数に設定して駆動しているため、振動共振周波数がｆ０ａからｆ０ｂに変動しても振動加速度はＤからＣへの変動となり、変動を１５％程度に押さえることができる。また、振動共振周波数をはずして駆動させているため、入力を切った後の振動の余韻が小さくなり、特に短いサイクルの振動ではめりはりのある振動を実現できる。この場合の振動加速度の絶対値の低下については、入力電圧を上げることにより対応できる。したがって、振動効率と振動加速度のばらつきの双方を考慮し、５から５０Ｈｚの範囲で、入力周波数を振動共振周波数より高く設定する。
【００２８】
先の例では、入力周波数を振動共振周波数より高く設定しているが、振動の周波数特性によっては、入力周波数を振動共振周波数より５〜５０Ｈｚの範囲で低くしてもよい。なお、体感振動発生器として使用する場合には、振動アクチュエータの振動共振周波数は、６０〜３００Ｈｚの範囲に設定することが望ましい。また、クリック感を持たせるために、入力波形は１０サイクル未満に制限される。
【００２９】
（実施の形態２）
図４は、本発明の実施の形態２による振動アクチュエータの構造を示す断面図である。実施の形態２の振動アクチュエータは、図４に示すように、振動アクチュエータの構造を電磁式振動アクチュエータの構造としてもよい。すなわち、ヨーク１０１と該ヨークの磁極１０９に吸引力を発生させるために巻かれているコイル１０６とバイアス磁界をかけるために設置された永久磁石１０２から構成された磁気回路と、該磁気回路の磁極１０９に空隙をもって対向して配置した磁性体吸引部１１０をもつ振動板１０５が相対的に振動するように前記振動板の周囲を振動伝達部１０８に固定するとともに、前記磁気回路を柔軟なばねからなるサスペンション１０４を介して振動伝達部１０８に柔軟に支持した構造の振動アクチュエータであり、コイル１０６に交流信号を印加するとその周波数に応じて磁気回路が振動する。
【００３０】
実施の形態２の振動アクチュエータにおいても、入力周波数を振動共振周波数より５から５０Ｈｚの範囲で高く設定して、めりはりのある振動を実現できる。または、入力周波数を振動共振周波数より５から５０Ｈｚの範囲で低く設定しても、同様にめりはりのある振動を実現できる。なお、クリック感を持たせるために、入力波形は、１０サイクル未満に制限される。
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、入力を切った後の振動の余韻が小さくなり、特に短いサイクルの振動では、めりはりのある振動を実現できる振動アクチュエータおよび振動アクチュエータの駆動方法を提供できる。また、振動共振周波数および入力信号周波数のばらつきの影響を最小限に押さえた低コストで安定な振動をもたらす振動アクチュエータおよびその駆動方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１による振動アクチュエータの構造を示す断面図。
【図２】振動アクチュエータの振動加速度の周波数特性を示す図。
【図３】本発明の実施の形態１による振動アクチュエータの駆動方法の説明図。
【図４】本発明の実施の形態２による振動アクチュエータの構造を示す断面図。
【符号の説明】
３１，１０１ ヨーク
３２，１０２ 永久磁石
３３ プレート
３４，１０４ サスペンション
３５，１０５ 振動板
３６，１０６ コイル
３７ 中心軸
３８，１０８ 振動伝達部
１０９ 磁極
１１０ 磁性体吸引部[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a vibration actuator for generating a bodily sensational vibration in a small size, and is particularly used for a call vibrator of a mobile communication device, a bodily sensation vibration generator of a game machine including a pachinko machine, a click sensation generator of a touch panel, and the like. The present invention relates to a vibration actuator to be used and a driving method thereof.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, this type of vibration actuator vibrates an external housing directly contacted by a human using the vibration of a magnetic circuit. In this case, the drive signal had a frequency substantially the same as the vibration resonance frequency of the magnetic circuit in the case of a fixed frequency input. Patent Literature 1 describes a vibration actuator that generates bodily sensation vibration.
[0003]
[Patent Document 1]
JP-A-10-258253
[Problems to be solved by the invention]
However, when the vibration is applied using the vibration resonance frequency, the vibration after turning off the input is large, and particularly when used in a click feeling generator or the like that appeals to the tactile sensation with a short cycle of vibration, it is difficult to use. The beam had a weak vibration.
[0005]
In addition, since the vibration acceleration changes greatly near the resonance point, it is necessary to match the input frequency and the vibration resonance frequency. However, the vibration resonance frequency varies with the magnetic circuit mass, the suspension spring constant, the actuator manufacturing variation, and the like. Due to variations due to temperature changes, variations during mounting to the housing, variations due to the method of holding the housing, etc., the frequency often fluctuates around 10 Hz from the center frequency, and the input frequency also has manufacturing variations. However, there is a problem that a stable vibration intensity cannot be obtained.
[0006]
As a solution to the above-mentioned problem, a driving method in which an input signal is swept around a resonance point before and after the resonance point has been proposed.However, this method is not suitable for short-cycle oscillation, and the circuit is complicated for generating a sweep signal. Had become.
[0007]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a low-cost vibration that has a small lingering vibration after turning off the input, generates a bouncy bodily vibration, and minimizes the influence of variations in the vibration resonance frequency and the input signal frequency. It is an object of the present invention to provide a vibration actuator and a driving method thereof that provide stable vibrations.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, in order to solve the above problem, the vibration actuator of the present invention is driven by inputting any fixed frequency higher by 5 Hz to 50 Hz or lower by 5 Hz to 50 Hz than the vibration resonance frequency. .
[0009]
That is, the present invention relates to a vibration actuator which is constituted by a magnetic circuit and a coil, and which takes out vibrations to the outside by utilizing vibration resonance, wherein the vibration actuator is driven by inputting a frequency higher by 5 Hz to 50 Hz than the vibration resonance frequency. is there.
[0010]
Further, the present invention is directed to a vibration actuator which is configured by a magnetic circuit and a coil, and which takes out vibration outside by utilizing vibration resonance, wherein the vibration actuator is driven by inputting a frequency lower by 5 Hz to 50 Hz than the vibration resonance frequency. is there.
[0011]
Further, the present invention is the vibration actuator, wherein the vibration resonance frequency of the vibration actuator is between 60 Hz and 300 Hz.
[0012]
Further, the present invention is the above-mentioned vibration actuator, wherein the input waveform is limited to less than 10 cycles.
[0013]
Further, according to the present invention, in the vibration actuator, the magnetic circuit includes a permanent magnet, a yoke, and a plate used for concentrating a magnetic flux of the permanent magnet; a coil disposed in a gap of the magnetic circuit; The vibrating plate integrated with the coil to which the driving force is applied is fixed to a vibration transmitting portion so that the vibrating plate is relatively vibrated, and the magnetic circuit is vibrated through a suspension made of a flexible spring. This is a vibration actuator having a structure flexibly supported by a transmission unit.
[0014]
Further, according to the present invention, in the vibration actuator, a magnetic circuit including a yoke and a coil wound to generate an attractive force on a magnetic pole of the yoke is opposed to a magnetic pole of the magnetic circuit with a gap. The periphery of the diaphragm is fixed to the vibration transmitting unit such that the diaphragm having the magnetic material suction unit is relatively vibrated, and the magnetic circuit is connected to the vibration transmitting unit via a suspension made of a flexible spring. This is a vibration actuator with a structure that is flexibly supported.
[0015]
The present invention also relates to a method of driving a vibration actuator comprising a magnetic circuit and a coil to extract vibrations to the outside by utilizing vibration resonance, wherein the vibration actuator has a vibration resonance frequency of 5 Hz to 50 Hz. This is a method of driving a vibration actuator that drives by inputting a high frequency.
[0016]
The present invention also relates to a method of driving a vibration actuator comprising a magnetic circuit and a coil to extract vibrations to the outside by using vibration resonance, wherein the vibration actuator is 5 Hz to 50 Hz lower than the vibration resonance frequency of the vibration actuator. This is a method of driving a vibration actuator that is driven by inputting a frequency.
[0017]
Further, the present invention is a method for driving a vibration actuator, wherein the vibration resonance frequency of the vibration actuator is set between 60 Hz and 300 Hz.
[0018]
The present invention is also a method for driving a vibration actuator, wherein the input waveform is limited to less than 10 cycles.
[0019]
Also, the present invention provides a magnetic circuit comprising a permanent magnet, a yoke and a plate used for concentrating a magnetic flux of the permanent magnet, a coil disposed in a gap of the magnetic circuit, and a coil. The vibrating plate integrated with the coil to which the driving force is applied is fixed to a vibration transmitting portion so that the vibrating plate is relatively vibrated, and the magnetic circuit is vibrated through a suspension made of a flexible spring. This is a method of driving a vibration actuator having a structure flexibly supported by a transmission unit.
[0020]
Also, the present invention provides a method wherein the vibration actuator is opposed to a magnetic circuit including a yoke and a coil wound to generate an attractive force on a magnetic pole of the yoke with a gap between the magnetic circuit and the magnetic pole of the magnetic circuit. The periphery of the diaphragm is fixed to the vibration transmitting unit such that the diaphragm having the magnetic material suction unit is relatively vibrated, and the magnetic circuit is connected to the vibration transmitting unit via a suspension made of a flexible spring. This is a method for driving a vibration actuator having a structure that is flexibly supported.
[0021]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
A vibration actuator and a driving method thereof according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0022]
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a sectional view showing the structure of an electrokinetic movable magnetic circuit type vibration actuator according to Embodiment 1 of the present invention. The magnetic circuit is composed of a yoke 31, a permanent magnet 32, a plate 33, and a central shaft 37, and is flexibly supported by a vibration transmitting portion 38 also serving as a case by a suspension 34. A coil 36 is arranged in the gap of the magnetic circuit, and a vibration plate 35 integrated with the coil 36 is fixed to a vibration transmission unit 38 around the periphery. When an AC signal is applied to the coil 36, the magnetic circuit vibrates according to the frequency.
[0023]
FIG. 2 is a diagram illustrating frequency characteristics of the vibration acceleration of the vibration actuator. In the first embodiment, since the suspension shape that reduces the sharpness at the resonance point is adopted, the vibration acceleration representing the vibration output has a frequency characteristic as shown in FIG.
[0024]
The most efficient vibration can be obtained by applying an input frequency that matches the vibration resonance frequency f 0. However, when the vibration is used by using the vibration resonance frequency, the vibration after turning off the input is large, and the cycle is particularly short. When used in a click feeling generator or the like that attempts to appeal to the tactile sensation due to the vibration, the vibration becomes weak.
[0025]
Further, f 0 is the vicinity of the characteristic curve steep, since the vibration acceleration and the input frequency and f 0 and away fluctuates greatly, it is necessary to match the input frequency and the vibration resonance frequency. The vibration resonance frequency is 10 Hz from the center frequency due to variations in the mass of the magnetic circuit, variations in the spring constant of the suspension, variations in the manufacture of the actuator, variations due to temperature changes, variations during mounting to the housing, and variations due to the method of holding the housing. In many cases, there is a variation in manufacturing before and after the input frequency, and there is a problem that a stable vibration intensity cannot be obtained due to these variations. As an example of the variation, the vibration resonance frequency f 0 is determined from the spring constant of the suspension and the mass of the magnetic circuit. For example, when f 0 is 140 Hz, if the plate thickness of the suspension varies by 5%, f 0 becomes It fluctuates by 10 Hz.
[0026]
FIG. 3 is an explanatory diagram of a driving method of the vibration actuator according to the first embodiment. Here, the variation of the vibration acceleration between the suspension having a thickness of 0.181 mm and the suspension having a thickness of 0.183 mm will be described with reference to FIG. Assuming that the vibration resonance frequencies of the plate thicknesses a (0.181 mm) and b (0.183 mm) are f 0 a and f 0 b, respectively, in the conventional vibration resonance frequency fixed input, the vibration resonance based on the plate thickness a Since the input frequency f d = f 0 a is set so as to match the frequency, the vibration acceleration is A at the plate thickness a, but the vibration acceleration is also B at the plate thickness f that changes by 1% and becomes b. % Will also decrease.
[0027]
However, the vibration actuator according to the first embodiment, since the drive to set the input frequency f d to 14Hz higher frequency than the vibration resonance frequency, the vibration resonance frequency be varied from f 0 a to f 0 b vibration The acceleration changes from D to C, and the change can be suppressed to about 15%. In addition, since the driving is performed with the vibration resonance frequency removed, the reverberation of the vibration after the input is turned off is reduced, and particularly, the vibration having a short cycle can be realized. In this case, the absolute value of the vibration acceleration can be reduced by increasing the input voltage. Therefore, the input frequency is set higher than the vibration resonance frequency in the range of 5 to 50 Hz in consideration of both the vibration efficiency and the variation of the vibration acceleration.
[0028]
In the above example, the input frequency is set higher than the vibration resonance frequency. However, depending on the frequency characteristics of the vibration, the input frequency may be lower than the vibration resonance frequency in the range of 5 to 50 Hz. When used as a bodily sensation vibration generator, the vibration resonance frequency of the vibration actuator is desirably set in the range of 60 to 300 Hz. Also, the input waveform is limited to less than 10 cycles in order to have a click feeling.
[0029]
(Embodiment 2)
FIG. 4 is a sectional view showing the structure of the vibration actuator according to the second embodiment of the present invention. In the vibration actuator according to the second embodiment, as shown in FIG. 4, the structure of the vibration actuator may be the structure of an electromagnetic vibration actuator. That is, a magnetic circuit composed of a yoke 101, a coil 106 wound to generate an attractive force on a magnetic pole 109 of the yoke, and a permanent magnet 102 installed to apply a bias magnetic field, and a magnetic pole of the magnetic circuit. The periphery of the diaphragm is fixed to the vibration transmitting unit 108 so that the diaphragm 105 having the magnetic material suction unit 110 disposed opposite to the gap 109 with a gap is relatively vibrated, and the magnetic circuit is formed by a flexible spring. This is a vibration actuator having a structure flexibly supported by a vibration transmission unit 108 via a suspension 104, and when an AC signal is applied to a coil 106, a magnetic circuit vibrates according to the frequency.
[0030]
Also in the vibration actuator according to the second embodiment, the input frequency is set to be higher than the vibration resonance frequency in the range of 5 to 50 Hz, so that it is possible to realize a vibrating vibration. Alternatively, even if the input frequency is set lower than the vibration resonance frequency in the range of 5 to 50 Hz, it is possible to realize the vibration with a sharp edge. Note that the input waveform is limited to less than 10 cycles in order to have a click feeling.
[0031]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, there is provided a vibration actuator and a driving method of the vibration actuator which can realize a pulsating vibration, particularly in a short cycle of vibration, in which the lingering of the vibration after the input is turned off is reduced. Can be provided. In addition, it is possible to provide a vibration actuator and a method of driving the same that provide stable vibration at low cost while minimizing the influence of variations in the vibration resonance frequency and the input signal frequency.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a sectional view showing a structure of a vibration actuator according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating frequency characteristics of vibration acceleration of a vibration actuator.
FIG. 3 is an explanatory diagram of a driving method of the vibration actuator according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a sectional view showing a structure of a vibration actuator according to a second embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
31, 101 Yoke 32, 102 Permanent magnet 33 Plate 34, 104 Suspension 35, 105 Vibration plate 36, 106 Coil 37 Center axis 38, 108 Vibration transmitting unit 109 Magnetic pole 110 Magnetic material attracting unit
