JP2004241019A - Semiconductor memory device and its data input and output method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor memory device which can relieve defects without inhibiting high speed, and also provide a method for controlling the device. <P>SOLUTION: A memory cell line 21 in which data are stored with a data storage area comprising successive memory cells of prescribed plurality of N-bits as a unit, a redundancy memory cell set having areas 22, 23 and 24 which store preliminary data of N-bits, reference information and a flag, respectively, and input/output control circuits 33 to 35 are provided. The input/output circuits 33 to 35 maintain the approval for the input/output of the data to the specific data storage area if a prescribed flag area 24 is not flagged when they get access to the memory cell line 21. If the prescribed area is flagged, they prohibit the input/output of the data to a specific data storage area based on the reference information in the area 23, and permit the input/output of the data to the preliminary data storage area 22 in place of the specific data storage area. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、メモリセルアレイを構成する特定のデータ記憶領域に格納されているデータを予備のデータに置き替えて出力が可能な半導体メモリ装置と、そのデータ入出力方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年半導体微細加工技術の進展に伴って半導体メモリの大容量化が著しい進展を見せている。しかしその一方で、微細なメモリセルから発生する信号は非常に微弱となっており、製造工程のばらつきやダスト等によってセル欠陥が発生する確率が高まっている。
このような欠陥を事後的に救済すべく様々な冗長技術が提案されているが、その多くは欠陥セルをワード線またはビット線単位で予備の冗長用セルと置き替えるものであり、冗長用セルが占める面積的制約から、ランダムに発生する多数のセル欠陥を置き替えるのは困難である。
【0003】
これに対し、ロウアドレスごとに冗長用セルと欠陥アドレス格納用セル行をセットで設け、欠陥アドレス格納用セル行内に行中の欠陥セルの所在を記憶させることにより、行中の任意のセルを電気的に置換する手法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
図4に、行中の任意のセルを電気的に置換するための構成を有している半導体メモリ装置を示す。
図4に図解した半導体メモリ装置に、通常のデータを記憶するメモリアレイ100、冗長メモリセルアレイ102、アドレス用セルアレイ103、および、1ビット幅のフラグ用セルアレイ104が設けられている。ここで、“カラム”は1列のメモリセル群であると定義すると、冗長メモリセルアレイ102は、メモリセルアレイの行ごとに、データを格納するカラムを所定数有する。上記特許文献1では、カラム数が1の場合と4の場合が例示されている。アドレス用セルアレイ103は、冗長メモリセルアレイ102に格納したデータがメモリセルアレイのどのアドレスに対応するかを記憶している。冗長メモリセルアレイ102のカラム数が1の場合、メモリセルアレイ102と同じカラム数を記述できるビット数がアドレス用セルアレイ103に必要である。例えば、メモリセルアレイのカラム数が512の場合、アドレス用セルアレイ103の各行のビット数は最低でも9ビットとなる。
これらの各種セルアレイを制御する手段として、ロウデコーダ131、単一またはアレイ状のセンスアンプ群111,112,113および114、入出力セレクタ133、アドレス比較回路134が設けられている。また、図示を省略したカラムデコーダ、ワード線やセンスアンプ等を駆動する各種駆動回路、電源回路なども必要である。
【0005】
このような構成のメモリ装置において実施できるランダムな欠陥セルの救済方法の一例を述べれば、以下のごとくである。
メモリアレイ100内に欠陥セル110が存在する場合、そのカラムアドレスが同一行の欠陥アドレス格納用セル行123に予め記憶され、さらに同一行のフラグ格納用セル124には、例えば“1”が記憶される。一方、行中に欠陥セルが無い場合、フラグには“0”が記憶される。
ここでロウデコーダ131によって行が選択され、対応するワード線がアクセスされると、ワード線に接続されたメモリセル行121からのデータがセンスアンプ群111に読み出される。このとき同時に冗長用セル122、欠陥アドレス格納用セル行123及びフラグ格納用セル124からもそれぞれデータまたはアドレス等がセンスアンプ112,113,114に読み出される。
次に、外部から入力されたカラムアドレスに従ってセンスアンプ111内のデータにアクセスがなされようとすると、この入力されたカラムアドレスはアドレス比較回路134によって、センスアンプ113に読み出されている欠陥セルのアドレスと比較される。両者が一致しないか、フラグ格納セル124のフラグが“0”であれば、入出力データバスが入出力セレクタ133により通常のセンスアンプに接続される。不図示のカラムスイッチを介してセンスアンプ群111中の、入力アドレスに対応するカラムに接続されたセンスアンプに入出力データバスが接続される。一方、入力されたカラムアドレスが欠陥セルのアドレスと一致し、かつ、フラグが“1”であれば、入出力データバスは入出力セレクタ133により冗長用セルに対応するセンスアンプ112に接続される。
【0006】
上記手法を用いれば、ロウアドレスごとに、冗長用セル122にランダムな点欠陥のデータをセル単位で格納でき、格納したデータを外部からのアクセスに応じて用いることで、ランダムな多数の点欠陥を救済することができる。
このような欠陥セルの救済手法は、エラー補正による欠陥救済よりはるかに高速なアクセスが可能であり、特にメモリセルが不揮発である強誘電体メモリや高速のフラッシュメモリ、磁性抵抗を用いたメモリ等に有効である。
【0007】
【特許文献1】
特開平11−120788号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献1に記載された技術では、冗長用セル122にランダムな点欠陥のデータをセル単位で格納することから、同一行に複数のランダムな欠陥セルが存在する場合、その異なる箇所のセルデータが同じ冗長セルアレイに混在することになる。したがって、データバスに排出するデータが例えば8ビット単位で、入出力データピン数が8本の半導体メモリにおいては、アクセスされた1データ単位内に正常なセルデータとして本来のメモリセルアレイ100から読み出されたセルデータに、欠陥セルデータに対応し冗長セルアレイから読み出されたセルデータが混在することになる。このような1データ単位を揃えてデータバスに排出するためには、入出力セレクタ133および不図示のカラムスイッチ回路の制御が複雑になり、それらの回路規模が大きくなる。その結果として、データの入出力速度が低下し、高速なアクセスが不可能となるという不利益がある。
【0009】
本発明の目的は、高速性を阻害することなく欠陥救済が可能な構成の半導体メモリ装置、および、その制御方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る第1の半導体メモリ装置は、所定の複数Nビットの連続したメモリセルからなるデータ記憶領域を単位としてデータが格納されているメモリセル行と、Nビットの予備データ、特定の上記データ記憶領域に対応した参照情報、および、上記予備データに対する入出力許可のフラグを、それぞれ格納する領域を有する冗長メモリセルセットと、上記メモリセル行のアクセス時に、上記入出力許可のフラグが上記冗長メモリセルセットのフラグ領域に立っていないときは、上記特定のデータ記憶領域に対するデータの入出力許可を維持し、上記入出力許可のフラグが立っているときは、上記参照情報に基づいて上記特定のデータ記憶領域に対するデータの入出力を禁止し、当該特定のデータ記憶領域に代えて上記予備データの格納領域に対しデータの入出力を許可する入出力制御回路と、を有する。
【0011】
好適に、上記フラグ領域が複数のメモリセルから構成されている。
また、好適に、上記フラグ領域を構成するメモリセル数がM(M:2以上の整数)であるとした場合、2個の異なるフラグ値のうち何れか1つの第1のフラグ値が上記フラグ領域に立っているときに、上記入出力許可を行う。この場合、さらに好適に、当該第1のフラグ値の全てのビットを反転した第2のフラグ値により上記フラグ領域が初期化されている。
【0012】
好適に、上記入出力制御回路に、複数の上記Nビットのデータを同時に出力するために複数のデータバスが接続され、特定の上記データバスの識別値が、上記参照情報として上記冗長メモリセルセット内に格納され、上記入出力制御回路は、上記フラグ領域のフラグ値が上記入出力許可を示すときは、上記データバスの識別値に対応して一意に決まる上記特定のデータ記憶領域からのデータの入出力経路を切り離し、上記予備データの入出力経路の接続先を上記複数のデータバス内で割り当てる。
【0013】
本発明に係る半導体メモリ装置のデータ入出力方法は、所定の複数Nビットの連続したメモリセルからなるデータ記憶領域を単位としてデータが格納されるメモリセル行と、Nビットの予備データ、特定の上記データ記憶領域に対応した参照情報、および、上記予備データに対する入出力許可のフラグを、それぞれ格納する領域を含む冗長メモリセルセットと、を有する半導体メモリ装置のデータ入出力方法であって、上記メモリセル行のアクセス時に、上記入出力許可のフラグが上記冗長メモリセルセットのフラグ領域に立っていないときは、上記特定のデータ記憶領域に対する上記Nビットを単位としたデータの入出力許可を維持し、上記入出力許可のフラグが立っているときは、上記参照情報に基づいて上記特定のデータ記憶領域からのデータの入出力を禁止し、当該特定のデータ記憶領域に代えて上記予備データの格納領域に対し上記Nビットを単位としたデータの入出力を許可する。
【0014】
本発明の半導体メモリ装置においては、メモリセル行内に、データが所定の複数Nビットを単位として記憶されている。このビット数Nのデータを記憶した個々のメモリセル行部分を、データ記憶領域という。メモリセル行に、例えば欠陥セルが存在する場合、冗長メモリセルセット内の所定の領域に、欠陥セルを含むデータ記憶領域(特定のデータ記憶領域)に書き込まれたと同じNビットデータが予備データとして予め格納されている。この予備データとメモリセル行内のデータと対応関係は、参照情報として冗長メモリセルセットの所定の領域に予め記憶されている。参照情報としては、例えば、予備データと同じNビットデータが書き込まれているメモリセル行のデータ記憶領域のアドレス、あるいは、そのデータ記憶領域からデータを読み出し、あるいは、当該データ記憶領域にデータを書き込む際のデータバスの識別値の何れかとする。また、予備データの入出力許可のフラグが冗長メモリセルセットのフラグ領域に予め記憶されている。
【0015】
本発明の半導体メモリ装置のデータ出力では、上記メモリセル行のアクセス時に、予備データの入出力許可のフラグを調べ、そのフラグ値が入出力許可を示すものであるときは、参照情報に基づいて特定のデータ記憶領域からのデータの入出力を禁止し、当該特定のデータ記憶領域に代えて予備データを出力させる。一方、入出力許可のフラグが立っていないときは、特定のデータ記憶領域に対するデータの入出力許可を維持する。
なお、本発明の半導体メモリ装置において、これらのデータ出力の制御は入出力制御回路が行う。入出力制御回路は、複数Nビットごとのデータを1まとまりとして扱い、Nビットのデータ内で特定のビットを入れ替える制御は行わない。
【0016】
上記構成においてフラグを複数ビットからなるとすると、予備データ出力の許可の値と不許可の値との間の数値上の距離を大きくすることができる。例えば、フラグが2ビットからなる場合、入出力許可のフラグ値(第1のフラグ値)を例えば“11”とし、不許可を示すフラグ値の初期設定値(第2のフラグ値)を、“11”からビット間距離で最も遠い“00”に設定する。この場合、欠陥セルを含むデータ記憶領域と、欠陥セルを含まないデータ記憶領域の存在確率は、後者の正常なものが殆どを占めているのは通常であることから、殆どのフラグ値は初期設定時の第2のフラグ値“11”を取る。このとき、第2のフラグ値“11”の何れか1ビットに欠陥が生じ、誤って“01”または“10”となっても判定は出力不許可のままである。2ビットとも欠陥となって初めて誤判定が起こる。メモリの点欠陥の発生モードでは、このような連続したビットの欠陥の発生は極めてまれであることから、本発明では、予備データ出力の許可/不許可の誤判定の発生確率が極めて小さい。
【0017】
一方、冗長メモリセルセット内の参照情報が、データバスの識別値である場合、入出力制御回路は、フラグ領域のフラグ値が入出力許可を示すときは、データバスの識別値に対応して一意に決まる特定のデータ記憶領域からのデータの入出力経路を切り離し、予備データの入出力経路の接続先を複数のデータバス内で割り当てる。この制御では、いわゆるバースト転送が可能となる。
【0018】
【発明の実施の形態】
[第1の実施の形態]
図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体メモリ装置の構成を示すブロック図である。
図1に図解した半導体メモリ装置のメモリセルアレイ2に、例えば、各行に8ビットを単位としてデータが記憶される。各行に、この8ビットデータの記憶領域(データ記憶領域)が、例えば64個配置されている。この8ビットのデータ記憶領域のメモリセルアレイ2の列を、以下、単に“カラム”と称する。また、アラムのアドレスを“カラムアドレス”という。
【0019】
半導体メモリ装置は、冗長用の予備データ、カラムアドレスおよびフラグを記憶する予備のメモリセルアレイを有する。ここでは、この予備のメモリセルアレイに記憶されたカラムアドレスが本発明の“参照情報”の実施の形態を構成する。予備のメモリセルアレイは、1行が8ビットの予備データ格納領域2、1行が6ビットの参照情報記憶領域3、および、1行が4ビットのフラグを記憶するフラグ領域4を有する。本実施の形態において、フラグのビット数は複数であればよいが、ここでは、4ビットの場合を例示する。予備データ格納領域2、参照情報記憶領域3およびフラグ領域4の各セルは、メモリセルと同様な構成を有する。
【0020】
メモリセルアレイ1と予備のメモリセルアレイの各行を同時に選択するためのロウデコーダ31が、メモリセルアレイ1の、図示を省略した各ワード線に接続されている。
また、メモリセルアレイ1に、図示を省略した各ビット線に接続され、記憶データを検出するセンスアンプからなるセンスアンプアレイ11が接続されている。予備データ格納領域2のビット線に接続され、予備データ格納領域2に記憶されている予備のデータを検出するセンスアンプからなるセンスアンプアレイ12が、予備データ格納領域2に接続されている。参照情報記憶領域3のビット線に接続され、参照情報記憶領域3に記憶されている参照情報を検出するセンスアンプからなるセンスアンプアレイ13が、参照情報記憶領域3に接続されている。
フラグ領域4のビット線に接続され、フラグ値を検出するセンスアンプからなるセンスアンプアレイ14が、フラグ領域4に接続されている。
【0021】
図1に示す半導体メモリ装置は、さらに、カラムスイッチ回路32、入出力セレクタ33、比較器34およびラッチ回路35を有する。これらカラムスイッチ回路32、入出力セレクタ33、比較器34およびラッチ回路35は、本発明の“入出力制御回路”の実施の形態を構成する。
ラッチ回路35は、外部から入力されるカラムアドレス(以下、入力アドレスという)を一時的に記憶する。比較器34は、センスアンプアレイ14により検出されたフラグ値を参照しながら、ラッチ回路35に保持されている入力アドレスを、センスアンプアレイ13により検出された参照情報と比較する。
一方、カラムスイッチ回路32は、ラッチ回路35から出力される入力アドレスに応じて、メモリセルアレイの1データ(8ビット)分の列を選択する。入出力セレクタ33は、カラムスイッチ回路32により選択され出力される8ビットデータ(以下、カラムデータという)と、センスアンプアレイ12から出力される予備データ格納領域の1カラムデータ(以下、予備カラムデータという)の何れかを選択し、8ビットのデータバス36に出力する。このように、入出力セレクタ33は、出力すべきカラムデータの選択を、比較器34からの比較結果に基づいて行う。
【0022】
つぎに、このように構成された半導体メモリ装置の動作を、データ読み出しの場合を例に説明する。なお、データの書き込み時には、データの流れが読み出し時と逆となる違いがあるが、アクセス対象のカラムの置き替え処理は読み出し時と共通するため、ここでの説明は省略する。
メモリアレイ1内に欠陥セル10が存在する場合、そのカラムアドレスが同一行の参照情報記憶領域3内の参照情報格納用セル行に参照情報として予め記憶される。さらに、同一行のフラグ用セル24に予備データの入出力許可を示す第1のフラグ値、例えば“1111”が記憶される。一方、同じ行中に欠陥セルが無い場合、フラグ用セル24に予備データの入出力の不許可を示すフラグ値の初期設定値(第2のフラグ値)、例えば“0000”が記憶される。
これらの処理は、例えば、IC出荷時あるいは定期的に行う機能テスト時に実行される。
【0023】
データの読み出し時に、ロウデコーダ31によって行が選択され、対応するワード線がアクセスされると、ワード線に接続されたメモリセル行21からのデータがセンスアンプアレイ11に読み出される。このとき同時に、8ビットの冗長用セル22、6ビットの参照情報格納用セル行23、および、4ビットのフラグ格納用セル行24からも、それぞれデータ、アドレスおよびフラグがセンスアンプアレイ12,13,14に読み出される。なお、8ビットの冗長用セル22、6ビットの参照情報格納用セル行23、および、4ビットのフラグ格納用セル行24により、1つの冗長メモリセルセットが構成される。
【0024】
次に、外部から入力された入力アドレスに従ってセンスアンプアレイ11内のデータにアクセスがなされようとする。このとき、ラッチ回路35に一時的に保持された当該入力アドレスが比較器34によって、センスアンプアレイ13に読み出されている欠陥セルを含むデータ記憶領域の参照アドレス(参照情報)と比較される。両者が一致しないか、センスアンプアレイ14によって読み出されたフラグが“1111”以外であれば、8ビットの入出力データバス36は入出力セレクタ33により、通常のセンスアンプに接続される。即ち、入出力データバス36は、カラムスイッチ回路32を介してセンスアンプアレイ11中の入力アドレスに対応するカラムに接続された8ビットのセンスアンプに接続される。一方、両者が一致し、かつ、フラグが“1111”であれば、入出力データバス36は入出力セレクタ33により冗長用セルに対応する8ビットのセンスアンプアレイ12に接続される。
【0025】
上述のようにフラグを4ビットで構成し、特定値“1111”の時のみ冗長セル22を使用するようにすれば、上記フラグの4ビット中3ビットが欠陥で、例えばフラグ格納セル24から“0111”が出力されても、冗長セル22に代わってメモリセルアレイ内1のセルが誤って選択されることが無い。また、上記フラグの4ビット中2ビットが欠陥で、例えば“1100”、“1010”、“1001”、“0110”、“0101”、“0011”が出力されても、冗長セル22に代わってメモリセルアレイ1内のセルが誤って選択されることが無い。これらの連続した欠陥セルの発生は、通常極めて稀である。さらに、4ビット中1ビットが欠陥で、例えば“1110”、“1101”、“1011”、“0111”が出力されても、冗長セル22に代わってメモリセルアレイ1内のセルが誤って選択されることが無い。
【0026】
これに対し、データのビット数を8とし、カラム数を64とした本例と同じメモリセルアレイ構成で、フラグを1ビットとすると、その場合の冗長メモリセルセットには、予備データに8ビット、アドレスに6ビット、フラグに1ビットの計15ビットを必要とする。この場合、フラグに欠陥セルが存在すると、冗長セル22へのアクセスが禁止され、誤ってメモリセルアレイ1内のセルが選択されてしまう。
このような欠陥セルのうち、特にリーク電流の増大、或いは隣接セルとの電気的ショート等による不良となったセルは、データ読み出し時のタイミングやデータ配列によって“1”と“0”の異なるビットデータを不規則に出力することが多い。フラグが1ビット構成の場合、アクセス対象が冗長セルと正規のメモリセルとで不規則に切り替わってしまう。その結果、所望のデータの書き込み或いは読み出しができなくなってしまう。
【0027】
これに対し、本実施の形態では、フラグのビット数Mを複数にするだけで、上記誤動作の発生確率を桁違いに小さくすることができる。前述したように、(M−1)個のビットのランダムな誤りまでは、予備データ入出力(冗長置き換え)の不許可が維持されるからである。上記例ではフラグのビット数が1ビットから4ビットになっただけ冗長メモリセルセットのビット数が、合計18ビットに増加するが、アレイ全体の中での面積増加の割合は僅かである。また、入出力制御回路は、複数Nビット(上記例では8ビット)を1まとまりのデータとして制御し、従来のようにビットごとの入れ替えは行わないので、動作速度が格段に向上し、また回路構成が簡略化できるという大きな利点がある。
【0028】
以下、さらにアクセス速度を改善した第2および第3の実施の形態を説明する。なお、これらの実施の形態では、第1の実施の形態と同じ構成は、同一符号を付して、その説明を省略する。
【0029】
[第2の実施の形態]
図2は、第2の実施の形態に係る半導体メモリ装置の構成を示すブロック図である。
前述した第1の実施の形態では8ビットの入出力データバス36に対応する8個の隣接セルを1行とするようにカラムを定義し、カラムごとにメモリセルをグループ化していた。
【0030】
第2の実施の形態では、入出力データバスの数を8本とした場合、メモリセルアレイ1B内で、そのデータバス数と同じ数のデータグループ(第1の実施形態では8カラム分のデータ)を一括して入出力可能なメモリセル領域を1カラムと定義する。つまり、本実施形態では、カラムの1行が連続した64(=8×8)個のメモリセルから構成される。メモリセルアレイ1Bのデータの置き替え単位と同様に、予備データ格納領域2Bの各行のビット数も64ビットとなっている。また、参照情報記憶領域3Bは、欠陥セル10Bを含む1つのカラムに対応したデータバス(以下、欠陥データバスという)を8本のデータバスB11〜B18から識別する情報を記憶する。第2および第3の実施の形態では、この欠陥データバスの識別情報が、本発明の“参照情報”の実施の形態を構成する。図2の例では、欠陥セル10Bを含む第4番目のカラムに対応したデータバスB14が欠陥データバスとなる。この入出力データバスの数を8本とした場合、参照情報記憶領域3Bの各行が3ビットで構成されている。フラグ領域4は第1の実施の形態と同様に、その各行が複数Mビット、例えば4ビットで構成されている。
【0031】
センスアンプアレイ11に、正規のデータ用のカラムスイッチ回路32Bを介して入出力セレクタ37Bが接続されている。また、センスアンプアレイ12Bに、予備データ用のカラムスイッチ回路32Rを介して入出力セレクタ37Bが接続されている。本例の入出力セレクタ37Bおよびカラムスイッチ回路32B,32Rは、カラムごとに64個のセンスアンプ群と入出力データバスB21〜B28との接続と遮断を制御する。この入出力セレクタ37Bおよびカラムスイッチ回路32B,32Rは、本発明における“入出力制御回路”の実施の形態を構成する。
【0032】
より詳細に、本例の入出力セレクタ37Bは、センスアンプアレイ14に読み出されたフラグ値により入出力が許可されているときは、センスアンプアレイ13Bから読み出された欠陥データバスB14の識別値に応じて欠陥データバスB14を入出力データバスB21〜B28と切り離し、代わりに、予備のスイッチング回路32Rに接続された予備データバスBを入出力データバスB21〜B28のいずれかと接続する。データバスB11〜B18およびBは、通常内部バスと称され、本発明における“データの入出力経路”の具体例に該当する。
【0033】
メモリアレイ1B内に欠陥セル10Bが存在する場合、その欠陥データバスを識別する3ビットの値が同一行の参照情報格納用セル行23Bに予め記憶され、さらに、同一行のフラグ格納用セル行24Bには、例えば“1111”が記憶される。一方、同一行中に欠陥セルが無い場合、フラグ格納用セル行24Bには初期値として“0000”が記憶される。
【0034】
データの入出力時に、ロウデコーダ31によって行が選択され、対応するワード線がアクセスされると、ワード線に接続されたメモリセル行21Bからのデータがセンスアンプアレイ11に読み出される。このとき同時に、64ビットの冗長セル行22B、3ビットの参照情報格納用セル行23B、および、4ビットのフラグ格納用セル行24Bからもそれぞれ予備データ等がセンスアンプアレイ12B,13B,14Bに読み出される。
【0035】
入出力セレクタ37Bは、センスアンプアレイ14Bに呼び出されたフラグが“1111”であれば、センスアンプアレイ13Bに読み出された欠陥データバスの識別値に応じてデータバスの接続状態を、例えばシフトさせ、欠陥データバスを入出力データバス側から切り離す。本例ではデータバスB14が欠陥セル10Bを含むカラムに対応した内部バスであることから、これが欠陥データバスとして識別されると、データバスB11,B12,B13が、それぞれ入出力データバスB21,B22,B23に、データバスB15〜B18及び予備データバスBが、それぞれ入出力データバスB24〜B28に接続される。
【0036】
一方、センスアンプアレイ14に呼び出されたフラグ値が“1111”以外であれば、入出力セレクタ37Bによるデータバスの接続シフトは行われず、各々のデータバスB11〜B18は入出力データバスB21〜B28と接続される。
【0037】
以上の結果として、予備データの入出力許可(フラグが“1111”)の場合は、データバスの識別値に応じた特定のカラムに対するデータの入出力経路、即ち欠陥データバスB14に対し、入出力データバス側からのデータの入力または出力が禁止される。と同時に、予備データの入出力経路、即ち予備データバスBに対し、入出力データバス側からのデータの入力または出力が許可される。
したがって、以後の読み出し時には、欠陥セル10Bを含むカラムの選択行のデータ記憶領域の代わりに、冗長セル行22Bから予備データが読み出される。
また、書き込み時には、るいは、欠陥セル10Bを含むカラムの選択行のデータ記憶領域の代わりに、冗長セル行22Bに対し、所定のデータが書き込まれる。
【0038】
第2の実施の形態では、第1の実施の形態と同様、複数Nビットのデータを1まとまりとして、書き込みまたは読み出しが行われるため、動作速度が向上し、入出力制御回路の構成が簡素化されている。
また、第2の実施の形態の特有の利点として、バースト転送という高速なデータ入出力方式を採用しているが、ワード線がアクセスされた際に1度だけバス接続のセットアップが行われ、その後のカラム選択では余分な信号操作はなされない。このとき、アドレスの参照は行わないので、カラムアドレスが変更されるごとに欠陥セルを含むカラムアドレスとの一致を検出する必要がない。データバスの識別値によってバス接続のセットアップが行われた後は、データの入力先および排出先を意識することなくバースト転送を高速に実施することが可能である。
【0039】
なお、上記説明では、図2に示すように、データ入出力が禁止された内部バスB14より後(図では右側)の内部バスB15〜B18の接続先を上位に1つずつシフトさせた例を示すが、これに限らず、シフトさせずに、通常は内部バスB14の接続先であり、本例では空いている入出力データバスB24に予備の内部バスBを接続させてもよい。
【0040】
[第3の実施の形態]
上記の第2の実施の形態では、説明を簡単にするため、8ビットの入出力データバスに対応した8ビットの内部データバスを有する場合について説明したが、メモリアレイに接続される内部データバスのビット数(バス幅)は必ずしもチップの入出力データバス構成とは一致しなくてもよい。近年、高速化の要求に従ってバス幅を広くとる傾向があり、例えばチップの入出力ビット数が8ビットでも内部バスのビット数は64ビットとなっているケースもある。
【0041】
このようなケースでは6ビットのカラムアドレスが上位3ビットと下位3ビットに分けられ、上位3ビットはセンスアンプから64ビットの内部バスへの接続時の選択に使用され、下位3ビットは64ビットの内部バスから8ビットの入出力データバスを選択するのに使用される。
【0042】
以下、上記の例を用いて、第3の実施の形態を説明する。
図3は、第3の実施の形態に係る半導体メモリ装置の構成を示すブロック図である。
【0043】
第3の実施の形態では、冗長メモリセルセットをさらにもう1セット追加するための構成として、予備データ格納領域5、参照情報記憶領域6、および、フラグ領域7が追加されている。
【0044】
本例では、第1の実施形態と同様、データバスごとに8ビットのセルをグループ化して配置している。これに伴って置き替え単位もその1グループに対応する8ビットとなり、予備データ格納領域2,5の各行が8ビットとなっている。また、参照情報記憶領域3,6は64本のデータバスから択一的に欠陥データバスを識別するために、その各行が6ビットとなっている。フラグ領域4,7は第1および第2の実施の形態と同様に、その各行が4ビットである。
【0045】
メモリアレイ1内に欠陥セル10,20が存在する場合、そのデータバスを識別する6ビットの値が同一行の参照情報格納用セル行23,26に予め記憶され、さらに、同一行のフラグ格納用セル行24,27に、例えば“1111”が記憶される。一方、同じ行中に欠陥セルが無い場合、フラグ格納用セル行24,27に“0000”が記憶される。
【0046】
ロウデコーダ31によって行が選択され、対応するワード線がアクセスされると、ワード線に接続されたメモリセル行21からのデータがセンスアンプアレイ11に読み出される。このとき同時に、8ビットの冗長用セル行22,25、6ビットの参照情報格納用セル行23,26及び4ビットのフラグ格納用セル行24,27からも、それぞれデータ等が対応する各センスアンプアレイに読み出される。
【0047】
本例の第1のセレクタ回路37Cは、センスアンプアレイ14または17に読み出されたフラグ値が“1111”であれば、センスアンプアレイ13または16に読み出された参照情報としてのバス識別値に応じてデータバスの接続状態をシフトさせ、欠陥データバスを入出力データバスから切り離す。また、第1のセレクタ回路37Cは、カラムスイッチ回路32R,32Lに接続された予備データバスB,Bを適宜入出力データバスと接続する。
例えば2本のデータバスB103,B162が欠陥データバスとして識別されると、予備データバスB、データバスB101及びB102が入出力データバスB201〜B203に、データバスB104〜B161が入出力データバスB204〜B261に、データバスB163,B164及び予備データバスBが入出力データバスB262〜B264にそれぞれ接続される。
【0048】
一方、センスアンプアレイ14及び17に読み出されたフラグ値が共に“1111”以外であれば、第1のセレクタ回路37Cによる接続シフトは行われず、予備データバスB,Bが第1のセレクタ回路37Cから切り離され、各々のデータバスB101〜B164が入出力データバスB201〜B264と接続された状態が維持される。
【0049】
次に、外部から入力されたカラムアドレスの上位3ビットに従って、センスアンプアレイ11の中からカラムごとに1ビットずつセンスアンプがカラムスイッチ回路32Cで選択され、各データバスB101〜B164に接続される。
さらに、冗長用セルに対応するセンスアンプアレイ12,15からも入力されたカラムアドレスに対応する各1ビットが予備データバスB,Bに接続される。
【0050】
このようにして、それぞれ適切なデータが64本の入出力データバスB201〜B264に入出力される。そのうち、カラムアドレスの下位3ビットに対応した8本のバスが第2のカラムスイッチ回路38により選択され、8ビットの入出力データバス36Cに接続される。
【0051】
本例では各冗長メモリセルセットは、データが8ビット、アドレスが6ビット、フラグが4ビットの合計18ビットよりなり、それを2セット設けている。これにより、ワード線ごとに、256ビットのセル行から独立した2ヶ所の欠陥を救済することが出来る。
【0052】
なお、第1〜第3の実施形態の欠陥救済方法を、通常のワード線やビット線単位の冗長方式と組み合わせて使用しても良く、このようにすればあらゆる欠陥モードに対応でき、半導体メモリの製造歩留まりを飛躍的に向上させることが出来る。
また、例えばシステム立ち上げ時にテストを行い、その場で欠陥セルを検出して冗長セルをセットすることもでき、そのようにすれば揮発性メモリにも適用できる。
【0053】
上述した第1〜第3の実施の形態では、以下の効果を奏する。
複数Nビットからなるデータ記憶領域を単位として、メモリセルへのデータの入出力を制御する構成において、欠陥救済用のデータの置き替え処理も、この複数Nビットを単位として行う。これにより、入出力制御回路の構成および制御が簡素化されて、高速なアクセスが可能となる。
【0054】
フラグ格納用セル行の欠陥に伴う誤選択を防止するため、フラグ格納用セル行に複数ビットを使用し、それが特定値の時のみ冗長セルを使用するようにする。
冗長メモリセルセットを不使用にする場合、フラグ格納セル行に、上記特定値のビット反転値を予め書き込んでおく。
このため、フラグ格納用セル行内に欠陥セルがあっても、複数ビットのフラグ値中に1ビットでも正常なら誤って冗長セルが選択されることはない。従って、上述の致命的欠陥を劇的に低減できる。
【0055】
さらに、第2および第3の実施の形態では、バースト転送の速度を向上させるため、センスアンプに読み出された欠陥アドレスをもとに回路の接続状態を変え、アドレス比較なしに直接冗長が行える仕組みを提供する。
具体的には参照情報格納用セル行にはカラムアドレスではなく欠陥セルに対応するデータバスの所在を記録し、そのデータをもとにバスの接続をシフトさせることによって欠陥セルへのアクセスを禁止し、かつ冗長セルへアクセスされるようにする。
また、第2および第3の実施の形態では、カラムアクセスにおけるアドレス比較を不要にでき、その結果、カラムアドレスが変わるごとに回路状態を変更する必要もなく、高速なバースト転送が可能になり、メモリのアクセス性能を大幅に向上させることが出来る。
【0056】
【発明の効果】
本発明の半導体メモリ装置およびその制御方法によれば、複数のビット数単位でのデータ入出力に適合した欠陥救済が可能となり、このため欠陥救済のための処理が高速なメモリのデータ入出力速度を阻害しない。その結果、高速メモリに適した欠陥救済が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態に係る半導体メモリ装置の構成を示すブロック図である。
【図2】第2の実施の形態に係る半導体メモリ装置の構成を示すブロック図である。
【図3】第3の実施の形態に係る半導体メモリ装置の構成を示すブロック図である。
【図4】行中の任意のセルを電気的に置換するための構成を有している従来の半導体メモリ装置のブロック図である。
【符号の説明】
1,1B…メモリセルアレイ、2,2B,5…予備データ格納領域、3,3B,6…参照情報記憶領域、4,7…フラグ領域、10,20…欠陥セル、31…ロウアドレスデコーダ、32,12〜17…センスアンプアレイ、33,37,37B,37C,38…入出力セレクタ、34…比較器、35…ラッチ回路。
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a semiconductor memory device capable of replacing data stored in a specific data storage area constituting a memory cell array with spare data and outputting the data, and a data input / output method therefor.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art In recent years, with the development of semiconductor fine processing technology, a large capacity of a semiconductor memory has been remarkably advanced. However, on the other hand, a signal generated from a fine memory cell is extremely weak, and the probability that a cell defect occurs due to a variation in a manufacturing process, dust, or the like is increasing.
Various redundancy techniques have been proposed to remedy such defects afterwards, but most of them replace defective cells with spare redundancy cells in units of word lines or bit lines. It is difficult to replace a large number of randomly generated cell defects due to the area constraint occupied by the.
[0003]
On the other hand, by providing a set of a redundant cell and a defective address storage cell row for each row address and storing the location of the defective cell in the row in the defective address storage cell row, any cell in the row can be stored. A method of electrically replacing has been proposed (for example, see Patent Document 1).
[0004]
FIG. 4 shows a semiconductor memory device having a structure for electrically replacing an arbitrary cell in a row.
The semiconductor memory device illustrated in FIG. 4 includes a memory array 100 for storing normal data, a redundant memory cell array 102, an address cell array 103, and a 1-bit wide flag cell array 104. Here, if the "column" is defined as a memory cell group of one column, the redundant memory cell array 102 has a predetermined number of columns for storing data for each row of the memory cell array. In Patent Literature 1, the case where the number of columns is one and the case where the number of columns is four are exemplified. The address cell array 103 stores which address of the memory cell array the data stored in the redundant memory cell array 102 corresponds to. When the number of columns of the redundant memory cell array 102 is 1, the number of bits that can describe the same number of columns as the memory cell array 102 is required for the address cell array 103. For example, when the number of columns of the memory cell array is 512, the number of bits in each row of the address cell array 103 is at least 9 bits.
As means for controlling these various cell arrays, a row decoder 131, sense amplifier groups 111, 112, 113 and 114 in a single or array form, an input / output selector 133, and an address comparison circuit 134 are provided. Further, a column decoder (not shown), various driving circuits for driving word lines, sense amplifiers, and the like, a power supply circuit, and the like are also required.
[0005]
An example of a method for relieving random defective cells that can be implemented in the memory device having such a configuration is as follows.
When a defective cell 110 exists in the memory array 100, the column address is stored in advance in the defective address storage cell row 123 in the same row, and further, for example, “1” is stored in the flag storage cell 124 in the same row. Is done. On the other hand, when there is no defective cell in the row, “0” is stored in the flag.
Here, when a row is selected by the row decoder 131 and a corresponding word line is accessed, data from the memory cell row 121 connected to the word line is read out to the sense amplifier group 111. At this time, data, addresses, and the like are simultaneously read out from the redundancy cell 122, the defective address storage cell row 123, and the flag storage cell 124 by the sense amplifiers 112, 113, and 114, respectively.
Next, when an attempt is made to access data in the sense amplifier 111 in accordance with a column address input from the outside, the input column address is used by the address comparison circuit 134 to determine the defective cell read to the sense amplifier 113. Compared to the address. If they do not match or the flag in the flag storage cell 124 is “0”, the input / output data bus is connected to the normal sense amplifier by the input / output selector 133. An input / output data bus is connected to a sense amplifier connected to a column corresponding to an input address in the sense amplifier group 111 via a column switch (not shown). On the other hand, if the input column address matches the address of the defective cell and the flag is “1”, the input / output data bus is connected to the sense amplifier 112 corresponding to the redundant cell by the input / output selector 133. .
[0006]
By using the above method, random point defect data can be stored in the redundancy cell 122 for each row address in a cell unit, and the stored data can be used in response to an external access so that a large number of random point defects can be stored. Can be rescued.
Such a method for repairing a defective cell enables access at a much higher speed than that for repairing a defect by error correction. In particular, a ferroelectric memory in which the memory cell is non-volatile, a high-speed flash memory, a memory using a magnetic resistance, and the like. It is effective for
[0007]
[Patent Document 1]
JP-A-11-120788
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
According to the technique described in Patent Document 1, random point defect data is stored in the redundant cell 122 in units of cells. Therefore, when a plurality of random defective cells exist in the same row, cells in different locations are used. Data will be mixed in the same redundant cell array. Therefore, in a semiconductor memory in which data to be output to the data bus is, for example, in units of 8 bits and the number of input / output data pins is 8, normal cell data is read from the original memory cell array 100 in one accessed data unit. The cell data read out from the redundant cell array corresponding to the defective cell data is mixed in the read cell data. In order to align such one data unit and discharge it to the data bus, the control of the input / output selector 133 and the column switch circuit (not shown) becomes complicated, and the circuit scale thereof becomes large. As a result, there is a disadvantage that the data input / output speed decreases and high-speed access becomes impossible.
[0009]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a semiconductor memory device having a configuration capable of repairing a defect without impairing high-speed performance, and a control method thereof.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
The first semiconductor memory device according to the present invention includes a memory cell row in which data is stored in units of a data storage area composed of a predetermined plurality of N-bit continuous memory cells, N-bit spare data, The reference information corresponding to the data storage area, and the redundant memory cell set having an area for storing the input / output permission flag for the spare data, and the input / output permission flag is set when the memory cell row is accessed. When not standing in the flag area of the redundant memory cell set, the data input / output permission to the specific data storage area is maintained. When the input / output permission flag is set, the data input / output permission is performed based on the reference information. Data input / output to / from a specific data storage area is prohibited, and the storage area of the spare data is replaced with the specific data storage area. Having a output control circuit that allows input and output of data to.
[0011]
Preferably, the flag area includes a plurality of memory cells.
Preferably, when the number of memory cells constituting the flag area is M (M: an integer of 2 or more), M The input / output permission is performed when any one of the different flag values stands in the flag area. In this case, more preferably, the flag area is initialized by a second flag value obtained by inverting all bits of the first flag value.
[0012]
Preferably, a plurality of data buses are connected to the input / output control circuit to simultaneously output a plurality of the N-bit data, and an identification value of the specific data bus is used as the reference information in the redundant memory cell set. When the flag value of the flag area indicates the input / output permission, the input / output control circuit stores data from the specific data storage area uniquely determined in correspondence with the identification value of the data bus. And the connection destination of the spare data input / output path is allocated in the plurality of data buses.
[0013]
A data input / output method of a semiconductor memory device according to the present invention includes a memory cell row in which data is stored in units of a data storage area composed of a predetermined plurality of N-bit continuous memory cells, an N-bit spare data, A data input / output method for a semiconductor memory device comprising: a reference information corresponding to the data storage area; and a redundant memory cell set including an area for storing an input / output permission flag for the spare data. When the input / output permission flag does not stand in the flag area of the redundant memory cell set when accessing the memory cell row, the input / output permission of data in units of the N bits with respect to the specific data storage area is maintained. However, when the input / output permission flag is on, the specific data storage area is Prohibits the input and output of data, to allow input and output of data in units of the N bits for storage areas of the preliminary data in place of the specific data storage area.
[0014]
In the semiconductor memory device of the present invention, data is stored in a memory cell row in units of a predetermined plurality of N bits. Each memory cell row portion storing the data of the bit number N is called a data storage area. If, for example, a defective cell exists in the memory cell row, the same N-bit data as that written in the data storage area (specific data storage area) including the defective cell is stored in a predetermined area in the redundant memory cell set as spare data. It is stored in advance. The correspondence between the spare data and the data in the memory cell row is stored in advance in a predetermined area of the redundant memory cell set as reference information. As the reference information, for example, the address of the data storage area of the memory cell row in which the same N-bit data as the spare data is written, or the data is read from the data storage area, or the data is written to the data storage area The identification value of the data bus. In addition, a flag for input / output permission of spare data is stored in advance in a flag area of the redundant memory cell set.
[0015]
In the data output of the semiconductor memory device of the present invention, when accessing the memory cell row, a flag for input / output permission of spare data is checked, and if the flag value indicates input / output permission, it is determined based on reference information. Data input / output from a specific data storage area is prohibited, and spare data is output in place of the specific data storage area. On the other hand, when the input / output permission flag is not set, data input / output permission for a specific data storage area is maintained.
Incidentally, in the semiconductor memory device of the present invention, these data outputs are controlled by an input / output control circuit. The input / output control circuit treats data for each of a plurality of N bits as one unit, and does not perform control for replacing a specific bit in the N-bit data.
[0016]
If the flag is composed of a plurality of bits in the above configuration, the numerical distance between the value of the permission of the preliminary data output and the value of the non-permission can be increased. For example, when the flag has two bits, the input / output permission flag value (first flag value) is set to, for example, “11”, and the initial setting value (second flag value) of the flag value indicating non-permission is set to “11”. 11 is set to "00", which is the farthest bit distance. In this case, since the existence probability of the data storage area including the defective cell and the data storage area not including the defective cell is normally occupied mostly by the latter normal one, most flag values are initially set. The second flag value “11” at the time of setting is taken. At this time, if any one bit of the second flag value “11” becomes defective and becomes “01” or “10” erroneously, the determination remains output disabled. Misjudgment occurs only when both bits are defective. In the point defect occurrence mode of the memory, such a defect of consecutive bits is extremely rare. Therefore, in the present invention, the probability of erroneous determination of permission / non-permission of preliminary data output is extremely small.
[0017]
On the other hand, when the reference information in the redundant memory cell set is the identification value of the data bus, the input / output control circuit responds to the identification value of the data bus when the flag value of the flag area indicates the input / output permission. An input / output path for data from a specific data storage area which is uniquely determined is separated, and a connection destination of the input / output path for spare data is allocated in a plurality of data buses. This control enables so-called burst transfer.
[0018]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
[First Embodiment]
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of the semiconductor memory device according to the first embodiment of the present invention.
In the memory cell array 2 of the semiconductor memory device illustrated in FIG. 1, for example, data is stored in units of 8 bits in each row. In each row, for example, 64 storage areas (data storage areas) for the 8-bit data are arranged. The columns of the memory cell array 2 in the 8-bit data storage area are hereinafter simply referred to as “columns”. The address of the alum is referred to as a “column address”.
[0019]
The semiconductor memory device has a spare memory cell array for storing redundant spare data, a column address and a flag. Here, the column addresses stored in the spare memory cell array constitute an embodiment of the "reference information" of the present invention. The spare memory cell array has a spare data storage area 2 in which one row has 8 bits, a reference information storage area 3 in which one row has 6 bits, and a flag area 4 in which one row stores a flag of 4 bits. In the present embodiment, the number of bits of the flag may be plural, but the case of 4 bits is exemplified here. Each cell of the spare data storage area 2, the reference information storage area 3, and the flag area 4 has the same configuration as the memory cell.
[0020]
A row decoder 31 for simultaneously selecting each row of the memory cell array 1 and the spare memory cell array is connected to each word line (not shown) of the memory cell array 1.
Further, the memory cell array 1 is connected to a sense amplifier array 11 which is connected to each bit line (not shown) and includes sense amplifiers for detecting stored data. A sense amplifier array 12 connected to a bit line of the spare data storage area 2 and configured by a sense amplifier for detecting spare data stored in the spare data storage area 2 is connected to the spare data storage area 2. A sense amplifier array 13 that is connected to the bit line of the reference information storage area 3 and includes a sense amplifier that detects the reference information stored in the reference information storage area 3 is connected to the reference information storage area 3.
A sense amplifier array 14, which is connected to the bit lines of the flag area 4 and includes a sense amplifier for detecting a flag value, is connected to the flag area 4.
[0021]
The semiconductor memory device shown in FIG. 1 further includes a column switch circuit 32, an input / output selector 33, a comparator 34, and a latch circuit 35. The column switch circuit 32, the input / output selector 33, the comparator 34, and the latch circuit 35 constitute an embodiment of the "input / output control circuit" of the present invention.
The latch circuit 35 temporarily stores a column address input from the outside (hereinafter, referred to as an input address). The comparator 34 compares the input address held in the latch circuit 35 with reference information detected by the sense amplifier array 13 while referring to the flag value detected by the sense amplifier array 14.
On the other hand, the column switch circuit 32 selects a column for one data (8 bits) in the memory cell array according to the input address output from the latch circuit 35. The input / output selector 33 includes 8-bit data (hereinafter referred to as column data) selected and output by the column switch circuit 32 and one column data (hereinafter referred to as spare column data) of a spare data storage area output from the sense amplifier array 12. ) And outputs it to the 8-bit data bus 36. As described above, the input / output selector 33 selects the column data to be output based on the comparison result from the comparator 34.
[0022]
Next, the operation of the semiconductor memory device configured as described above will be described by taking a case of reading data as an example. Although there is a difference that the flow of data is opposite to that at the time of reading at the time of data writing, the replacement process of the column to be accessed is common to that at the time of reading, and therefore the description is omitted here.
When a defective cell 10 exists in the memory array 1, its column address is stored in advance as reference information in a reference information storage cell row in the reference information storage area 3 on the same row. Further, a first flag value indicating permission of input / output of spare data, for example, “1111” is stored in the flag cell 24 in the same row. On the other hand, when there is no defective cell in the same row, the flag cell 24 stores an initial setting value (second flag value) of a flag value indicating that input / output of spare data is not permitted, for example, “0000”.
These processes are executed, for example, at the time of shipment of an IC or at the time of a function test performed periodically.
[0023]
At the time of data reading, when a row is selected by the row decoder 31 and a corresponding word line is accessed, data from the memory cell row 21 connected to the word line is read to the sense amplifier array 11. At the same time, data, addresses and flags are also read from the 8-bit redundant cell 22, the 6-bit reference information storing cell row 23, and the 4-bit flag storing cell row 24, respectively, from the sense amplifier arrays 12 and 13. , 14. The 8-bit redundant cell 22, the 6-bit reference information storing cell row 23, and the 4-bit flag storing cell row 24 constitute one redundant memory cell set.
[0024]
Next, data in the sense amplifier array 11 is to be accessed according to an input address input from the outside. At this time, the input address temporarily stored in the latch circuit 35 is compared by the comparator 34 with a reference address (reference information) of a data storage area including a defective cell that has been read out to the sense amplifier array 13. . If the two do not match or the flag read by the sense amplifier array 14 is other than “1111”, the 8-bit input / output data bus 36 is connected to the normal sense amplifier by the input / output selector 33. That is, the input / output data bus 36 is connected to the 8-bit sense amplifier connected to the column corresponding to the input address in the sense amplifier array 11 via the column switch circuit 32. On the other hand, if they match and the flag is “1111”, the input / output data bus 36 is connected to the 8-bit sense amplifier array 12 corresponding to the redundant cell by the input / output selector 33.
[0025]
As described above, if the flag is composed of four bits and the redundant cell 22 is used only when the specific value is "1111", three bits out of the four bits of the flag are defective. Even if "0111" is output, the cell in the memory cell array is not erroneously selected in place of the redundant cell 22. Further, even if two bits out of the four bits of the flag are defective, for example, “1100”, “1010”, “1001”, “0110”, “0101”, and “0011” are output, instead of the redundant cell 22, A cell in the memory cell array 1 is not erroneously selected. The occurrence of these consecutive defective cells is usually very rare. Further, even if one of the four bits is defective and "1110", "1101", "1011", or "0111" is output, a cell in the memory cell array 1 is erroneously selected instead of the redundant cell 22. There is no.
[0026]
On the other hand, assuming that the flag is 1 bit in the same memory cell array configuration as in the present example in which the number of bits of data is 8 and the number of columns is 64, the redundant memory cell set in this case has 8 bits for the spare data, A total of 15 bits are required, 6 bits for the address and 1 bit for the flag. In this case, if a defective cell exists in the flag, access to the redundant cell 22 is prohibited, and a cell in the memory cell array 1 is erroneously selected.
Among such defective cells, particularly, a cell which becomes defective due to an increase in leak current or an electrical short with an adjacent cell is a bit having a different bit of “1” and “0” depending on the data read timing and data arrangement. Data is often output irregularly. When the flag has a 1-bit configuration, the access target is switched irregularly between the redundant cell and the normal memory cell. As a result, desired data cannot be written or read.
[0027]
On the other hand, in the present embodiment, the probability of occurrence of the malfunction can be reduced by orders of magnitude only by increasing the number M of bits of the flag. As described above, the non-permission of the spare data input / output (redundancy replacement) is maintained up to the random error of (M-1) bits. In the above example, the number of bits of the redundant memory cell set is increased to a total of 18 bits as the number of bits of the flag is changed from 1 bit to 4 bits, but the rate of increase in area in the entire array is small. In addition, the input / output control circuit controls a plurality of N bits (8 bits in the above example) as one set of data, and does not perform bit-by-bit replacement as in the conventional case, so that the operation speed is remarkably improved. There is a great advantage that the configuration can be simplified.
[0028]
Hereinafter, second and third embodiments in which the access speed is further improved will be described. In these embodiments, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted.
[0029]
[Second embodiment]
FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of the semiconductor memory device according to the second embodiment.
In the above-described first embodiment, columns are defined so that eight adjacent cells corresponding to the 8-bit input / output data bus 36 are defined as one row, and memory cells are grouped for each column.
[0030]
In the second embodiment, when the number of input / output data buses is eight, the same number of data groups as the number of data buses in the memory cell array 1B (data of eight columns in the first embodiment). Are defined as one column in which memory cells can be input / output collectively. That is, in the present embodiment, one row of columns is composed of 64 (= 8 × 8) memory cells. Similarly to the data replacement unit of the memory cell array 1B, the number of bits in each row of the spare data storage area 2B is also 64 bits. The reference information storage area 3B includes eight data buses B (hereinafter, referred to as defective data buses) corresponding to one column including the defective cell 10B. 11 ~ B 18 Is stored. In the second and third embodiments, the identification information of the defective data bus constitutes the embodiment of the “reference information” of the present invention. In the example of FIG. 2, the data bus B corresponding to the fourth column including the defective cell 10B 14 Becomes a defective data bus. When the number of input / output data buses is eight, each row of the reference information storage area 3B is composed of three bits. As in the first embodiment, each row of the flag area 4 is composed of a plurality of M bits, for example, 4 bits.
[0031]
The input / output selector 37B is connected to the sense amplifier array 11 via a regular data column switch circuit 32B. Further, an input / output selector 37B is connected to the sense amplifier array 12B via a column switch circuit 32R for spare data. The input / output selector 37B and the column switch circuits 32B and 32R of this example are composed of 64 sense amplifier groups and an input / output data bus B for each column. 21 ~ B 28 Controls connection and disconnection with. The input / output selector 37B and the column switch circuits 32B, 32R constitute an embodiment of the "input / output control circuit" of the present invention.
[0032]
More specifically, when input / output is permitted by the flag value read to the sense amplifier array 14, the input / output selector 37B of the present example outputs the defective data bus B read from the sense amplifier array 13B. 14 Data bus B according to the identification value of 14 To the input / output data bus B 21 ~ B 28 And a spare data bus B connected to the spare switching circuit 32R instead. R To the input / output data bus B 21 ~ B 28 Connect with one of Data bus B 11 ~ B 18 And B R Are usually referred to as internal buses, and correspond to specific examples of “data input / output path” in the present invention.
[0033]
When the defective cell 10B exists in the memory array 1B, a 3-bit value for identifying the defective data bus is stored in advance in the same row of the reference information storage cell row 23B, and further, the same row of the flag storage cell row 23B. For example, “1111” is stored in 24B. On the other hand, if there is no defective cell in the same row, “0000” is stored as an initial value in the flag storage cell row 24B.
[0034]
At the time of data input / output, when a row is selected by the row decoder 31 and a corresponding word line is accessed, data from the memory cell row 21B connected to the word line is read out to the sense amplifier array 11. At this time, the spare data and the like are simultaneously transferred to the sense amplifier arrays 12B, 13B, and 14B from the 64-bit redundant cell row 22B, the 3-bit reference information storage cell row 23B, and the 4-bit flag storage cell row 24B. Is read.
[0035]
If the flag called by the sense amplifier array 14B is “1111”, the input / output selector 37B shifts the connection state of the data bus, for example, according to the identification value of the defective data bus read by the sense amplifier array 13B. Then, the defective data bus is disconnected from the input / output data bus side. In this example, the data bus B 14 Is an internal bus corresponding to the column including the defective cell 10B, and if this is identified as a defective data bus, the data bus B 11 , B 12 , B Thirteen Are the input / output data bus B 21 , B 22 , B 23 And data bus B Fifteen ~ B 18 And spare data bus B R Are the input / output data bus B 24 ~ B 28 Connected to.
[0036]
On the other hand, if the flag value called by the sense amplifier array 14 is other than "1111", the data bus connection shift is not performed by the input / output selector 37B, and each data bus B is not shifted. 11 ~ B 18 Is the input / output data bus B 21 ~ B 28 Is connected to
[0037]
As a result of the above, when the input / output of spare data is permitted (the flag is “1111”), the input / output path of data to a specific column corresponding to the identification value of the data bus, that is, the defective data bus B 14 On the other hand, input or output of data from the input / output data bus side is prohibited. At the same time, the spare data input / output path, ie, the spare data bus B R , Input or output of data from the input / output data bus side is permitted.
Therefore, at the time of subsequent reading, the spare data is read from the redundant cell row 22B instead of the data storage area of the selected row of the column including the defective cell 10B.
At the time of writing, predetermined data is written to the redundant cell row 22B instead of the data storage area of the selected row of the column including the defective cell 10B.
[0038]
In the second embodiment, as in the first embodiment, writing or reading is performed by collecting a plurality of N-bit data as one unit, so that the operation speed is improved and the configuration of the input / output control circuit is simplified. Have been.
Also, as a unique advantage of the second embodiment, a high-speed data input / output method called burst transfer is adopted, but when a word line is accessed, the bus connection is set up only once, and thereafter, No extra signal manipulation is done in the column selection of. At this time, since the address is not referred to, it is not necessary to detect a match with the column address including the defective cell every time the column address is changed. After the bus connection is set up according to the data bus identification value, burst transfer can be performed at high speed without being aware of the data input destination and data output destination.
[0039]
Note that, in the above description, as shown in FIG. 14 Internal bus B after (right side in the figure) Fifteen ~ B 18 Is shifted to the higher order one by one. However, the present invention is not limited to this example. 14 In this example, the vacant input / output data bus B 24 Spare internal bus B R May be connected.
[0040]
[Third Embodiment]
In the above-described second embodiment, for simplicity of description, a case has been described in which an 8-bit internal data bus corresponding to an 8-bit input / output data bus is provided, but an internal data bus connected to a memory array is provided. (Bus width) does not always need to match the input / output data bus configuration of the chip. In recent years, there has been a tendency to increase the bus width in accordance with the demand for higher speed. For example, even if the number of input / output bits of the chip is 8 bits, the number of bits of the internal bus may be 64 bits.
[0041]
In such a case, the 6-bit column address is divided into upper 3 bits and lower 3 bits. The upper 3 bits are used for selection when connecting the sense amplifier to the 64-bit internal bus, and the lower 3 bits are 64 bits. Is used to select an 8-bit input / output data bus from the internal bus.
[0042]
Hereinafter, the third embodiment will be described using the above example.
FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of the semiconductor memory device according to the third embodiment.
[0043]
In the third embodiment, a spare data storage area 5, a reference information storage area 6, and a flag area 7 are added as a configuration for adding another redundant memory cell set.
[0044]
In this example, as in the first embodiment, 8-bit cells are grouped and arranged for each data bus. Accordingly, the replacement unit also has 8 bits corresponding to the one group, and each row of the spare data storage areas 2 and 5 has 8 bits. Each of the reference information storage areas 3 and 6 has 6 bits in order to identify a defective data bus from the 64 data buses. Each of the flag areas 4 and 7 has 4 bits in each row as in the first and second embodiments.
[0045]
When the defective cells 10 and 20 exist in the memory array 1, the 6-bit value for identifying the data bus is previously stored in the reference information storage cell rows 23 and 26 of the same row, and the flag storage of the same row is performed. For example, “1111” is stored in the cell rows 24 and 27 for use. On the other hand, if there is no defective cell in the same row, “0000” is stored in the flag storage cell rows 24 and 27.
[0046]
When a row is selected by the row decoder 31 and a corresponding word line is accessed, data from the memory cell row 21 connected to the word line is read out to the sense amplifier array 11. At the same time, each of the senses to which data and the like correspond from the 8-bit redundant cell rows 22 and 25, the 6-bit reference information storing cell rows 23 and 26, and the 4-bit flag storing cell rows 24 and 27, respectively. Read to the amplifier array.
[0047]
If the flag value read to the sense amplifier array 14 or 17 is “1111”, the first selector circuit 37C of this example uses the bus identification value as reference information read to the sense amplifier array 13 or 16. , The connection state of the data bus is shifted in accordance with, and the defective data bus is disconnected from the input / output data bus. Further, the first selector circuit 37C includes a spare data bus B connected to the column switch circuits 32R and 32L. R , B L Is connected to an input / output data bus as appropriate.
For example, two data buses B 103 , B 162 Is identified as a defective data bus, the spare data bus B L , Data bus B 101 And B 102 Is the input / output data bus B 201 ~ B 203 And data bus B 104 ~ B 161 Is the input / output data bus B 204 ~ B 261 And data bus B 163 , B 164 And spare data bus B R Is the input / output data bus B 262 ~ B 264 Connected to each other.
[0048]
On the other hand, if the flag values read to the sense amplifier arrays 14 and 17 are both other than "1111", the connection shift by the first selector circuit 37C is not performed, and the spare data bus B R , B L Are disconnected from the first selector circuit 37C, and each data bus B 101 ~ B 164 Is the input / output data bus B 201 ~ B 264 And the connected state is maintained.
[0049]
Next, a sense amplifier is selected by the column switch circuit 32C one bit at a time from the sense amplifier array 11 for each column in the sense amplifier array 11 in accordance with the upper three bits of the column address input from the outside. 101 ~ B 164 Connected to.
Further, each one bit corresponding to the column address input from the sense amplifier arrays 12 and 15 corresponding to the redundant cell is used as the spare data bus B. R , B L Connected to.
[0050]
In this way, each of the appropriate data has 64 input / output data buses B 201 ~ B 264 Input and output. Of these, eight buses corresponding to the lower three bits of the column address are selected by the second column switch circuit 38 and connected to the 8-bit input / output data bus 36C.
[0051]
In this example, each redundant memory cell set is composed of a total of 18 bits of 8 bits for data, 6 bits for address, and 4 bits for flag, and two sets are provided. As a result, it is possible to remedy two defects independent of the 256-bit cell row for each word line.
[0052]
Note that the defect remedy methods of the first to third embodiments may be used in combination with a normal word line or bit line unit redundancy method. Can significantly improve the production yield.
Further, for example, a test can be performed at the time of starting the system, a defective cell can be detected on the spot, and a redundant cell can be set. In this case, the present invention can be applied to a volatile memory.
[0053]
The first to third embodiments have the following effects.
In a configuration in which input / output of data to / from a memory cell is controlled in units of a data storage area including a plurality of N bits, replacement processing of defect repair data is also performed in units of the plurality of N bits. This simplifies the configuration and control of the input / output control circuit, and enables high-speed access.
[0054]
In order to prevent erroneous selection due to a defect in the flag storage cell row, a plurality of bits are used in the flag storage cell row, and a redundant cell is used only when it has a specific value.
When the redundant memory cell set is not used, the bit inversion value of the specific value is previously written in the flag storage cell row.
Therefore, even if there is a defective cell in the flag storage cell row, a redundant cell is not erroneously selected if at least one bit in the multiple-bit flag value is normal. Therefore, the above-mentioned fatal defects can be dramatically reduced.
[0055]
Further, in the second and third embodiments, in order to improve the speed of the burst transfer, the connection state of the circuit is changed based on the defective address read by the sense amplifier, and the redundancy can be directly performed without address comparison. Provide a mechanism.
Specifically, the location of the data bus corresponding to the defective cell is recorded in the reference information storage cell row instead of the column address, and access to the defective cell is prohibited by shifting the bus connection based on the data. And access to the redundant cells.
Further, in the second and third embodiments, the address comparison in the column access can be made unnecessary. As a result, it is not necessary to change the circuit state every time the column address changes, and high-speed burst transfer becomes possible. The access performance of the memory can be greatly improved.
[0056]
【The invention's effect】
According to the semiconductor memory device and the control method thereof of the present invention, it is possible to perform defect repair suitable for data input / output in a unit of a plurality of bits, and therefore, the data input / output speed of the memory can be reduced. Does not inhibit. As a result, defect relief suitable for a high-speed memory can be realized.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of a semiconductor memory device according to a first embodiment.
FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of a semiconductor memory device according to a second embodiment.
FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a semiconductor memory device according to a third embodiment.
FIG. 4 is a block diagram of a conventional semiconductor memory device having a configuration for electrically replacing an arbitrary cell in a row.
[Explanation of symbols]
1, 1B ... memory cell array, 2, 2B, 5 ... spare data storage area, 3, 3B, 6 ... reference information storage area, 4, 7 ... flag area, 10, 20 ... defective cell, 31 ... row address decoder, 32 , 12 to 17: sense amplifier array, 33, 37, 37B, 37C, 38: input / output selector, 34: comparator, 35: latch circuit.

Claims (10)

所定の複数Nビットの連続したメモリセルからなるデータ記憶領域を単位としてデータが格納されているメモリセル行と、
Nビットの予備データ、特定の上記データ記憶領域に対応した参照情報、および、上記予備データに対する入出力許可のフラグを、それぞれ格納する領域を有する冗長メモリセルセットと、
上記メモリセル行のアクセス時に、上記入出力許可のフラグが上記冗長メモリセルセットのフラグ領域に立っていないときは、上記特定のデータ記憶領域に対するデータの入出力許可を維持し、上記入出力許可のフラグが立っているときは、上記参照情報に基づいて上記特定のデータ記憶領域に対するデータの入出力を禁止し、当該特定のデータ記憶領域に代えて上記予備データの格納領域に対しデータの入出力を許可する入出力制御回路と、を有する半導体メモリ装置。
A memory cell row in which data is stored in units of a data storage area composed of a predetermined plurality of N-bit continuous memory cells;
A redundant memory cell set having an area for storing N-bit spare data, reference information corresponding to the specific data storage area, and an input / output permission flag for the spare data;
When the input / output permission flag does not stand in the flag area of the redundant memory cell set when accessing the memory cell row, the data input / output permission for the specific data storage area is maintained, and the input / output permission is maintained. Is set, the input / output of data to / from the specific data storage area is prohibited based on the reference information, and the input / output of data to / from the spare data storage area is performed instead of the specific data storage area. A semiconductor memory device comprising: an input / output control circuit that permits output.
上記フラグ領域が複数のメモリセルから構成されている請求項1に記載の半導体メモリ装置。2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein said flag area is composed of a plurality of memory cells. 上記フラグ領域を構成するメモリセル数がM(M:2以上の整数)であるとした場合、2個の異なるフラグ値のうち何れか1つの第1のフラグ値が上記フラグ領域に立っているときに、上記入出力許可を行う請求項2に記載の半導体メモリ装置。Assuming that the number of memory cells constituting the flag area is M (M: an integer of 2 or more), any one of the 2 M different flag values will cause the first flag value to stand in the flag area. 3. The semiconductor memory device according to claim 2, wherein said input / output permission is performed when said device is in operation. 前記第1のフラグ値の全てのビットを反転した第2のフラグ値により上記フラグ領域が初期化されている請求項3に記載の半導体メモリ装置。4. The semiconductor memory device according to claim 3, wherein said flag area is initialized by a second flag value obtained by inverting all bits of said first flag value. 上記入出力制御回路に、複数の上記Nビットのデータを同時に出力するために複数のデータバスが接続され、
特定の上記データバスの識別値が、上記参照情報として上記冗長メモリセルセット内に格納され、
上記入出力制御回路は、上記フラグ領域のフラグ値が上記入出力許可を示すときは、上記データバスの識別値に対応して一意に決まる上記特定のデータ記憶領域からのデータの入出力経路を切り離し、上記予備データの入出力経路の接続先を上記複数のデータバス内で割り当てる請求項1に記載の半導体メモリ装置。
A plurality of data buses are connected to the input / output control circuit to simultaneously output the plurality of N-bit data,
The identification value of the specific data bus is stored in the redundant memory cell set as the reference information,
When the flag value of the flag area indicates the input / output permission, the input / output control circuit sets an input / output path for data from the specific data storage area that is uniquely determined according to the identification value of the data bus. 2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the connection destination of the input / output path of the spare data is allocated in the plurality of data buses.
所定の複数Nビットの連続したメモリセルからなるデータ記憶領域を単位としてデータが格納されるメモリセル行と、Nビットの予備データ、特定の上記データ記憶領域に対応した参照情報、および、上記予備データに対する入出力許可のフラグを、それぞれ格納する領域を含む冗長メモリセルセットと、を有する半導体メモリ装置のデータ入出力方法であって、
上記メモリセル行のアクセス時に、上記入出力許可のフラグが上記冗長メモリセルセットのフラグ領域に立っていないときは、上記特定のデータ記憶領域に対する上記Nビットを単位としたデータの入出力許可を維持し、上記入出力許可のフラグが立っているときは、上記参照情報に基づいて上記特定のデータ記憶領域からのデータの入出力を禁止し、当該特定のデータ記憶領域に代えて上記予備データの格納領域に対し上記Nビットを単位としたデータの入出力を許可する半導体メモリ装置のデータ入出力方法。
A memory cell row in which data is stored in units of a data storage area composed of a predetermined plurality of N-bit continuous memory cells, N-bit spare data, reference information corresponding to the specific data storage area, and A redundant memory cell set including an area for storing an input / output permission flag for data, and a data input / output method for a semiconductor memory device, comprising:
When the input / output permission flag does not stand in the flag area of the redundant memory cell set when accessing the memory cell row, the input / output permission of the data in units of the N bits with respect to the specific data storage area is performed. When the input / output permission flag is set, input / output of data from / to the specific data storage area is prohibited based on the reference information, and the spare data is replaced in place of the specific data storage area. A data input / output method for a semiconductor memory device which permits input / output of data in units of N bits to / from the storage area of the memory device.
上記フラグ領域が複数のメモリセルから構成されている請求項6に記載の半導体メモリ装置のデータ入出力方法。7. The data input / output method for a semiconductor memory device according to claim 6, wherein said flag area is composed of a plurality of memory cells. 上記フラグ領域を構成するメモリセル数がM(M:2以上の整数)であるとした場合、2個の異なるフラグ値のうち何れか1つの第1のフラグ値が上記フラグ領域に立っているときに、上記入出力許可を行う請求項7に記載の半導体メモリ装置のデータ入出力方法。Assuming that the number of memory cells constituting the flag area is M (M: an integer of 2 or more), any one of the 2 M different flag values will cause the first flag value to stand in the flag area. 8. The data input / output method for a semiconductor memory device according to claim 7, wherein the input / output is permitted when the data is input. 前記第1のフラグ値の全てのビットを反転した第2のフラグ値により上記フラグ領域を予め初期化する請求項8に記載の半導体メモリ装置のデータ入出力方法。9. The data input / output method for a semiconductor memory device according to claim 8, wherein said flag area is initialized in advance by a second flag value obtained by inverting all bits of said first flag value. 複数の上記Nビットのデータを同時に出力するために複数のデータバスのうち、特定の上記データバスの識別値が、上記参照情報として上記冗長メモリセルセット内に格納され、
上記メモリセル行のアクセス時に、上記フラグ領域のフラグ値が上記入出力許可を示すときは、上記データバスの識別値に対応して一意に決まる上記特定のデータ記憶領域からのデータの入出力経路を切り離し、上記予備データの入出力経路の接続先を上記複数のデータバス内で割り当てる請求項6に記載の半導体メモリ装置のデータ入出力方法。
An identification value of a specific data bus among the plurality of data buses for simultaneously outputting the plurality of N-bit data is stored in the redundant memory cell set as the reference information;
When the flag value in the flag area indicates the input / output permission at the time of accessing the memory cell row, an input / output path for data from the specific data storage area uniquely determined in correspondence with the identification value of the data bus. 7. The data input / output method for a semiconductor memory device according to claim 6, wherein a connection destination of the input / output path of the spare data is allocated in the plurality of data buses.
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