JP2004130338A - Semi-conductor laser device - Google Patents

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semiconductor laser
laser device
lens unit
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semi
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Moriaki Kawasaki
川崎 守亮
Hidefumi Omatsu
尾松 英文
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semi-conductor laser device for preventing stains of a condensing lens unit, preventing degradation of the laser beam output even when repeating melting and joining, and realizing uniform machining with reproducibility. <P>SOLUTION: The semi-conductor laser device comprises a semi-conductor laser unit 2 to output laser beams by supplying the energy from a power supply unit 1 and a condensing lens unit 3 to condense the laser beams to a workpiece 8. Deposition of spatter generated in melting and joining the workpiece 8 on the condensing lens unit 3 is prevented by disposing an air curtain mechanism 6 to blow air on a tip of the condensing lens unit 3. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、アルミや非鉄金属の連続接合、鉄系薄板の連続またはスポット接合、樹脂の連続またはスポット接合として利用される半導体レーザ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年YAGレーザ等の固体レーザ以外に、高出力の半導体レーザを用いたレーザ装置が様々な物質の加熱溶接、接合などに広く採用されつつある。
【0003】
従来の半導体レーザ装置は、反射光による半導体レーザ部の破損を防止するため、半導体レーザ部と集光レンズ部を収めたレーザヘッドを被加熱物に対して斜めに配置して照射している(例えば特許文献1参照)。
【0004】
図4は上記従来の半導体レーザ装置の構成図を示しており、101は電源部、102半導体レーザ部、103は集光レンズ部、105はレーザヘッド、108は被加工物である。
【0005】
レーザヘッド105には、半導体レーザ部102と、集光レンズ部103が収められている。
【0006】
以上のように構成された半導体レーザ装置について、その動作を説明する。
【0007】
半導体レーザ部102は電源部101よりエネルギーを供給されて発光し、レーザ光を出力する。出力されたレーザ光は集光レンズ部103で集光されてレーザヘッド105から出射し、被加工物108へ照射され、被加工物108を溶融・接合する。
【0008】
【特許文献1】
特開2001−252776号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の半導体レーザ装置は、被加工物108を溶融・接合する際に発生するスパッタが集光レンズ部103に付着することがあり、溶融・接合を繰り返すことによりスパッタが蓄積して、集光レンズ103の透過率が減少し、レーザ光107の出力が低下することによって、溶融・接合に必要なレーザ出力が得られなくなり、溶融・接合を繰り返して行うと、加工の再現性がなくなり均一な加工ができなるという課題を有していた。
【0010】
本発明は、これらの課題を解決する半導体レーザ装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1記載の半導体レーザ装置は、上記課題を解決するために、被加工物を溶融・接合する際に発生するスパッタが集光手段に付着するのを防ぐエアー吹き出し手段を備えている。そして、この構成により集光手段の汚れを防止することとなる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図1から図3を用いて説明する。
【0013】
(実施の形態1)
図1において、1は電源部、2は半導体レーザ部、3は集光レンズ部、5はレーザヘッド、6はエアーカーテン機構、7はレーザ光である半導体レーザ装置を示す。
【0014】
以上のように構成された半導体レーザ装置について、その動作を説明する。
【0015】
半導体レーザ部2は電源部1よりエネルギーを供給されてレーザ光を出力し、出力されたレーザ光は集光レンズ部3で集光される。集光されたレーザ光7は、半導体レーザ部2、集光レンズ部3とエアーカーテン機構6が収められたレーザヘッド5より出射されて、被加工物8に照射される。
【0016】
レーザ光7が被加工物8に照射されると被加工物8が溶融する際に発生するスパッタが飛散するが、集光レンズ部3の先端部に配置されたエア吹き出し手段であるエアーカーテン機構6より噴出されるエアーにより、飛散したスパッタが吹飛ばされるため、集光レンズ部3まで到達して付着することができず、集光レンズ部3の表面の汚れを防止することができる。
【0017】
以上のように、本実施の形態によればエアーカーテン機構6が被加工物8を溶融・接合する際に発生するスパッタが集光レンズ部3に付着することを防止することにより、集光レンズ部3の汚れを防止することができるため、溶融・接合を繰り返して行ってもレーザ出力7が低下しないので、再現性のある均一な加工を実現することができる。
【0018】
(実施の形態2)
本実施の形態において実施の形態1と同様の箇所については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。図2において、4は保護窓であり、実施の形態1と異なるのは、集光レンズ部3の先端部に保護窓4を有した点である。
【0019】
以下,本実施の形態における半導体レーザ装置について、その動作を説明する。
エアーカーテン機構6は保護窓4の先端部に配置され、保護窓4にエアーを吹き付けるため、溶融・接合する際に飛散したスパッタは保護窓4に付着することができず、保護窓4の表面の汚れを防止することができる。
【0020】
以上のように、本実施の形態によればエアーカーテン機構6が被加工物8を溶融・接合する際に発生するスパッタが保護窓4に付着することを防止することにより、保護窓4の汚れを防止することができるため、溶融・接合を繰り返して行ってもレーザ出力7が低下しないので、再現性のある均一な加工を実現することができる。
【0021】
(実施の形態3)
本実施の形態において実施の形態1または実施の形態2と同様の箇所については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。図3において、9は遮蔽用ガスノズルであり、10は加工用の補助ガスを排出する加工用ガスノズルである。
【0022】
以下,本実施の形態における半導体レーザ装置について、その動作を説明する。
【0023】
遮蔽用ガスノズル9は、エアーカーテン機構6と加工用ガスノズル10の間に配置され、遮蔽用ガスノズル9から排出されたガスは、エアーカーテン機構6から排出されて保護窓4等で反射したエアーが加工用ガスノズル10から排出されるガスの流れに影響を与えないように遮蔽するため、加工用ガスの流れの乱れを防止することができる。
【0024】
以上のように、本実施の形態によればエアーカーテン機構6が被加工物8を溶融・接合する際に発生するスパッタが保護窓4に付着することを防止することにより、保護窓4の汚れを防止することができるため、溶融・接合を繰り返して行ってもレーザ出力7が低下せず、かつ、、エアーカーテン機構6から排出されて保護窓4等で反射したエアーが、遮蔽用ガスノズル9から排出されたガスにより、加工用ガスノズル10から排出される加工用ガスの流れに影響を与えないので、加工用ガスの流れが乱れずに被加工物8に排出されるため、再現性のある均一な加工を実現することができる。
【0025】
【発明の効果】
以上のように、本発明はエア吹き出し手段により集光手段にスパッタが付着するのを防止することにより、レーザ光の出力低下を防ぐことができるので、レーザ光出力が一定となり、かつ、遮蔽用ガスノズルにより加工用ガスの乱れを防止することができるので、溶融・接合を繰り返して行っても、再現性のある均一な加工を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における半導体レーザ装置の構成図
【図2】同実施の形態2における半導体レーザ装置の構成図
【図3】同実施の形態2における半導体レーザ装置の構成図
【図4】従来における半導体レーザ装置の構成図
【符号の説明】
1 電源部
2 半導体レーザ部
3 集光レンズ部
4 保護窓
5 レーザヘッド
6 エアカーテン機構
7 レーザ光
8 被加工物
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a semiconductor laser device used as, for example, continuous joining of aluminum and non-ferrous metals, continuous or spot joining of iron-based thin plates, and continuous or spot joining of resin.
[0002]
[Prior art]
In recent years, in addition to solid-state lasers such as YAG lasers, laser devices using high-power semiconductor lasers are being widely adopted for heat welding and joining of various substances.
[0003]
In a conventional semiconductor laser device, in order to prevent damage to the semiconductor laser part due to reflected light, a laser head containing the semiconductor laser part and the condenser lens part is disposed obliquely with respect to the object to be heated (irradiation). For example, see Patent Document 1).
[0004]
FIG. 4 shows a configuration diagram of the conventional semiconductor laser device, where 101 is a power supply unit, 102 semiconductor laser unit, 103 is a condenser lens unit, 105 is a laser head, and 108 is a workpiece.
[0005]
The laser head 105 houses a semiconductor laser unit 102 and a condensing lens unit 103.
[0006]
The operation of the semiconductor laser device configured as described above will be described.
[0007]
The semiconductor laser unit 102 is supplied with energy from the power supply unit 101 to emit light, and outputs laser light. The output laser light is condensed by the condensing lens unit 103, emitted from the laser head 105, irradiated to the workpiece 108, and melts and bonds the workpiece 108.
[0008]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 2001-252776
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional semiconductor laser device, spatter generated when the workpiece 108 is melted / bonded may adhere to the condenser lens portion 103, and the spatter accumulates due to repeated melting / bonding. The transmittance of the optical lens 103 is reduced and the output of the laser beam 107 is lowered, so that the laser output necessary for melting and joining cannot be obtained. There was a problem that it was difficult to process.
[0010]
An object of this invention is to provide the semiconductor laser apparatus which solves these subjects.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, a semiconductor laser device according to claim 1 of the present invention includes an air blowing means for preventing spatter generated when melting and joining workpieces from adhering to the light collecting means. Yes. And this structure prevents contamination of the light collecting means.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.
[0013]
(Embodiment 1)
In FIG. 1, 1 is a power supply unit, 2 is a semiconductor laser unit, 3 is a condenser lens unit, 5 is a laser head, 6 is an air curtain mechanism, and 7 is a semiconductor laser device that is laser light.
[0014]
The operation of the semiconductor laser device configured as described above will be described.
[0015]
The semiconductor laser unit 2 is supplied with energy from the power supply unit 1 to output laser light, and the output laser light is condensed by the condenser lens unit 3. The condensed laser beam 7 is emitted from the laser head 5 in which the semiconductor laser unit 2, the condensing lens unit 3, and the air curtain mechanism 6 are housed, and is irradiated on the workpiece 8.
[0016]
When the workpiece 8 is irradiated with the laser beam 7, spatter generated when the workpiece 8 is melted is scattered, but an air curtain mechanism that is an air blowing means disposed at the tip of the condenser lens unit 3. Since the scattered spatter is blown off by the air ejected from 6, the surface cannot reach the condenser lens unit 3 and adhere to it, and the surface of the condenser lens unit 3 can be prevented from being contaminated.
[0017]
As described above, according to the present embodiment, the sputter generated when the air curtain mechanism 6 melts and joins the workpiece 8 is prevented from adhering to the condensing lens unit 3, thereby collecting the condensing lens. Since the contamination of the portion 3 can be prevented, the laser output 7 does not decrease even when the melting and joining are repeated, so that reproducible and uniform processing can be realized.
[0018]
(Embodiment 2)
In the present embodiment, the same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. In FIG. 2, reference numeral 4 denotes a protective window, which is different from the first embodiment in that the protective window 4 is provided at the distal end portion of the condenser lens portion 3.
[0019]
The operation of the semiconductor laser device in the present embodiment will be described below.
Since the air curtain mechanism 6 is disposed at the tip of the protective window 4 and air is blown onto the protective window 4, the spatter scattered during melting and joining cannot adhere to the protective window 4, and the surface of the protective window 4. Can prevent dirt.
[0020]
As described above, according to the present embodiment, the spatter generated when the air curtain mechanism 6 melts and joins the workpiece 8 is prevented from adhering to the protective window 4, so that the protective window 4 becomes dirty. Since the laser output 7 does not decrease even when the melting and joining are repeated, it is possible to realize uniform processing with reproducibility.
[0021]
(Embodiment 3)
In the present embodiment, the same portions as those in the first embodiment or the second embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. In FIG. 3, 9 is a shielding gas nozzle, and 10 is a processing gas nozzle for discharging auxiliary processing gas.
[0022]
The operation of the semiconductor laser device in the present embodiment will be described below.
[0023]
The shielding gas nozzle 9 is disposed between the air curtain mechanism 6 and the processing gas nozzle 10, and the gas discharged from the shielding gas nozzle 9 is processed by the air that is discharged from the air curtain mechanism 6 and reflected by the protective window 4 or the like. Since the shielding is performed so as not to affect the flow of the gas discharged from the working gas nozzle 10, the turbulence of the working gas flow can be prevented.
[0024]
As described above, according to the present embodiment, the spatter generated when the air curtain mechanism 6 melts and joins the workpiece 8 is prevented from adhering to the protective window 4, so that the protective window 4 becomes dirty. Therefore, the laser output 7 does not decrease even when melting and joining are repeated, and the air discharged from the air curtain mechanism 6 and reflected by the protective window 4 or the like is the shielding gas nozzle 9. Since the gas discharged from the gas does not affect the flow of the processing gas discharged from the processing gas nozzle 10, the flow of the processing gas is discharged to the workpiece 8 without being disturbed, and therefore has reproducibility. Uniform processing can be realized.
[0025]
【The invention's effect】
As described above, the present invention prevents the spatter from adhering to the light collecting means by the air blowing means, thereby preventing the laser light output from decreasing. Disturbance of the processing gas can be prevented by the gas nozzle, so that reproducible and uniform processing can be realized even when repeated melting and joining.
[Brief description of the drawings]
1 is a configuration diagram of a semiconductor laser device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a configuration diagram of a semiconductor laser device according to a second embodiment. FIG. 3 is a configuration diagram of a semiconductor laser device according to the second embodiment. FIG. 4 is a block diagram of a conventional semiconductor laser device.
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Power supply part 2 Semiconductor laser part 3 Condensing lens part 4 Protective window 5 Laser head 6 Air curtain mechanism 7 Laser beam 8 Workpiece

Claims (3)

電源部からエネルギーが供給されてレーザ光を出力する半導体レーザ手段と、前記レーザ光を被加工物へ集光する集光手段とを有し、前記集光手段の先端部はエアーを吹き出すエア吹き出し手段を有した半導体レーザ装置。An air blower that blows out air at the tip of the condensing means, having a semiconductor laser means for outputting laser light when energy is supplied from a power supply part, and condensing means for condensing the laser light onto a workpiece; Semiconductor laser device having means. 集光手段は保護窓を有しその保護窓にエアーを吹き付ける請求項1記載の半導体レーザ装置。2. The semiconductor laser device according to claim 1, wherein the condensing means has a protective window and blows air onto the protective window. 集光手段先端部のさらに先端にガスを吹き出すノズルを有し、さらに先端に加工用ガスのノズルを有した請求項1または2記載の半導体レーザ装置。3. The semiconductor laser device according to claim 1, further comprising a nozzle for blowing gas at the tip of the condensing means tip and further having a nozzle for processing gas at the tip.
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