JP2004085391A - 温度計測システム及び温度計測方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、半導体結晶を生成する高温炉内からの電磁放射をTVカメラにより測定し、適当な2つの波長の組を選択することで高温炉内の温度を計測するシステム及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】温度計測システムは、対象物の画像データを獲得する撮像ユニットと、撮像ユニットが対象物を第1の波長で撮像して第1の画像データを獲得するための第1の波長フィルタと、第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように選択された第2の波長に対して、撮像ユニットが対象物を第2の波長で撮像して第2の画像データを獲得するための第2の波長フィルタと、第1の画像データ及び第2の画像データから対象物を黒体とみなして温度計算をする画像温度計算部と、画像温度計算部が計算した温度を黒体でない対象物に合わせて補正する計算温度補正部を含むことを特徴とする。
【選択図】 図3
【解決手段】温度計測システムは、対象物の画像データを獲得する撮像ユニットと、撮像ユニットが対象物を第1の波長で撮像して第1の画像データを獲得するための第1の波長フィルタと、第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように選択された第2の波長に対して、撮像ユニットが対象物を第2の波長で撮像して第2の画像データを獲得するための第2の波長フィルタと、第1の画像データ及び第2の画像データから対象物を黒体とみなして温度計算をする画像温度計算部と、画像温度計算部が計算した温度を黒体でない対象物に合わせて補正する計算温度補正部を含むことを特徴とする。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般に高温炉内の温度計測システム及び方法に関し、詳しくはモニタ画像を画像処理することにより温度を計測する高温炉内の温度計測システム及び方法に関する。
【従来の技術】
一般に半導体装置に用いる半導体結晶の製造工程においては、高温炉内で高周波の電磁誘導によりルツボを加熱して、結晶素材を溶融・冷却することによって結晶生成する。この際、生成中の結晶の温度を逐次計測して電磁誘導の電圧を制御すれば、生成結晶の歩留まり率を向上させることが出来る。
【発明が解決しようとする課題】
通常、ルツボ内の結晶温度の計測には熱電対が使用される。しかし高周波の電磁誘導により加熱するルツボに熱電対を使用すると、高周波により熱電対の誤動作がおきやすいという問題がある。また熱電対を半導体材料内に挿入することで、熱電対への結晶が付着してしまうなどの問題がある。従って熱電対は、種結晶挿入前の目安のための温度計測に利用されるにとどまっていた。
【0002】
上記の熱電対の問題点を鑑みると、高温炉内の結晶温度を計測するためには、非接触・無侵襲で計測することが好ましい。そのためには高温炉内からの電磁放射を検出することで、2波長比による温度計測法を適用することが出来る。
【0003】
一般に、物体からの電磁放射は物体の温度が高くなるにしたがって、放射量が増大し且つ最大放射波長が短くなることが知られている。電磁放射の輝度は波長ごとに温度により変化するので、2つの異なる波長について電磁放射を計測し、2波長の比を求めれば温度が計測可能である。しかしこの際、適当な2つの波長の組を選択して適切な2波長比を用いる必要が有るが、適当な2つの波長の組を選択することに関して従来明確な指針がなかった。
【0004】
また高温炉内の温度管理と同時に、結晶成長を観察するために形状をモニタすることも必要であり、TVカメラを使用して形状観察と共に電磁放射を計測できることが望ましい。
【0005】
以上を鑑みて、本発明は、半導体結晶を生成する高温炉内からの電磁放射をTVカメラにより測定し、適当な2つの波長の組を選択することで高温炉内の温度を計測するシステム及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
本発明による温度計測システムは、対象物を撮像して画像データを獲得する撮像ユニットと、該撮像ユニットが該対象物を第1の波長で撮像して第1の画像データを獲得するための第1の波長フィルタと、該第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように選択された第2の波長に対して、該撮像ユニットが該対象物を該第2の波長で撮像して第2の画像データを獲得するための第2の波長フィルタと、該第1の画像データ及び該第2の画像データから該対象物を黒体とみなして温度計算をする画像温度計算部と、該画像温度計算部が計算した温度を黒体でない該対象物に合わせて補正する計算温度補正部を含むことを特徴とする。
【0006】
上記温度計測システムにおいて、第1の波長の画像データと第2の波長の画像データとから対称物体の温度を計算する際に、黒体の放射特性に基づいて温度を決定するが、対象物体が実際には黒体ではないのでその為の補正を行う。この目的のために、測定温度の範囲においては、2波長比の傾きが一定であることが望ましい。上記のように、第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように選択された第2の波長を用いることで、測定温度の範囲において略一定な2波長比の傾きを実現することが出来る。
【0007】
また上記温度計測システムは、垂直偏光のみを用いて該第1の画像データ及び該第2の画像データを獲得するための垂直偏光フィルタと、水平偏光のみを用いて第3の画像データを獲得するための水平偏光フィルタを更に含むことを特徴とする。
【0008】
上記温度計測システムにおいては、水平偏光フィルタは水平偏光成分のみを通過させることで、観察対象(結晶素材)から到達する自発光の光と反射光のうち反射光のみを観察可能とする。これにより観察対象の形状を容易に把握することが可能となる。また垂直偏光フィルタは垂直偏光成分のみを通過させることで、観察対象(結晶素材)から到達する自発光の光と反射光のうち自発光の光のみを観察可能とする。これにより観察対象そのものの温度を反射光の影響なく計測することが可能となる。
【0009】
また更に本発明による温度計測方法は、第1の波長の第1の波長フィルタを選択し、該第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように第2の波長の第2の波長フィルタを選択し、該第1の波長フィルタ及び第2の波長フィルタをそれぞれ用いて第1の画像データ及び第2の画像データを獲得し、該第1及び第2の画像データを基にして対象物の温度を計算し、該対象物の電磁放射の黒体放射からのずれに関する補正係数により該計算された温度を補正する各段階を含むことを特徴とする。
【0010】
上記温度計測方法においては、第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように選択された第2の波長を用いることで、適切に補正を行い対象物の温度を計測することが可能となる。
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施例を添付の図面を用いて詳細に説明する。
【0011】
図1は、本発明による高温炉温度計測システムの概略構成を示す図である。
【0012】
図1の高温炉温度計測システム10は、高温炉11、TVカメラ12、及び制御装置13を含む。
【0013】
高温炉11は、内部にルツボを備え電磁コイルにより高周波の電磁誘導を起こすことで、ルツボ内部に配置される半導体の結晶素材を有用させる。高温炉11には観測窓11aが設けられており、ルツボ内部の結晶素材の様子を観察出来るようになっている。観測窓11aの近傍にはTVカメラ12が配置されており、内蔵のCCD素子などにより、観測窓11aを介して観察される結晶素材の様子を撮像する。撮像された画像データは、制御装置13に供給される。
【0014】
制御装置13は、TVカメラ12操作用の機器、コンピュータ、高温炉11制御用の機器等からなり、TVカメラ12を制御して得られた画像データに基づいて、コンピュータにより高温炉11内の結晶素材温度を計測し、その計測結果に基づいて高温炉11の温度を調整する。この温度の調整は、電磁コイルに供給する電圧等を制御することで行うことが出来る。またこの調整は、測定温度から判断してオペレータが操作することにより温度調節してもよく、また測定温度に基づいてコンピュータが自動的に温度調節するよう構成してもよい。
【0015】
図2は、高温炉11の内部構成を示す図である。高温炉11は、高温炉カバー21、電磁コイル22、及びルツボ23を含む。電磁コイル22に高周波電圧が印加されることで、電磁誘導によりルツボ23内部の結晶素材が高温に熱せられる。ルツボ23には、観察用穴24が設けられており、図1に示される観測窓11a及びこの観察用穴24を介して、外部からルツボ23内の結晶素材を観察することが出来る。ルツボ23内には、結晶素材25が入れられる。
【0016】
図3は、図1の制御装置13の温度計測に係る部分の構成を示す図である。
【0017】
図3に示されるように、制御装置13の温度計測に係る部分は、画像入力部31、第1の波長用の画像記憶部32、第2の波長用の画像記憶部33、計測範囲指定部34、画像データ読出し部35、画像温度計算部36、補正値換算用温度入力部37、補正値計算部38、補正値格納部39、計算温度補正部40、及び計測温度格納部41を含む。これらの各機能は例えば、制御装置13のコンピュータにおいてCPUがソフトウェアプログラムを実行することにより実現するよう構成してよい。
【0018】
画像入力部31は、TVカメラ12からの画像データを入力し、第1の波長に対して検出された画像データを画像記憶部32に送り、第2の波長に対して検出された画像データを画像記憶部33に送る。画像記憶部32及び33は、夫々の画像データを格納する。
【0019】
計測範囲指定部34は、画像データのうちで温度計測の対象となる部位を指定する。計測範囲指定部34が指定する部位の情報が画像データ読出し部35に供給され、指定された部位の画像データが画像記憶部32及び33から読み出されて画像温度計算部36に供給される。計測範囲指定部34は、例えばオペレータからの指示に基づいて計測対象となる部位を指定してもよく、或いは所定の部位を自動的に指定しても良く、また広がった領域について自動的にスキャンするように構成しても良い。
【0020】
画像温度計算部36は、画像の指定部位の第1の波長のデータと第2の波長のデータとを基にして、当該指定部位に対応する物体の温度を計算する。この際、黒体の放射特性に基づいて温度を決定するが、対象物体が黒体ではないのでその為の補正を行う必要がある。補正値換算用温度入力部37は補正計算のための温度情報を入力して提供し、補正値計算部38は当該温度を用いて補正係数を計算する。計算された補正係数は補正値格納部39に格納する。計算温度補正部40は、画像温度計算部36からの測定値に基づく計算温度と補正値格納部39からの補正係数を用いて、補正後の温度を計算する。計算された補正後の温度は計測温度格納部41に格納され、コンピュータ表示部に表示してオペレータに通知してもよく、また高温炉11の制御のパラメータとして使用してもよい。
【0021】
この補正計算については後程詳細に説明する。
【0022】
図4は、本発明によるカメラ画像入力に関する構成の第1の実施例を示す図である。
【0023】
図4の構成では、形状観察用のカメラ41と温度測定用のカメラ42との2つのカメラを用いる。形状観察用のカメラ41のレンズ前方には減光フィルタ51、干渉フィルタ52、及び水平偏光フィルタ53を光軸上に配置する。減光フィルタ51は、撮像画像がカメラ41の撮像輝度レンジ内に収まるように光強度を減らすためのものであり、水平偏光フィルタ53は水平偏光成分のみを通過させることで、観察対象(結晶素材)から到達する自発光の光と反射光のうち反射光のみを観察可能とする。これにより観察対象の形状を容易に把握することが可能となる。
【0024】
温度測定用のカメラ42のレンズ前方には波長フィルタ55、干渉フィルタ56、及び垂直偏光フィルタ57を光軸上に配置する。垂直偏光フィルタ57は垂直偏光成分のみを通過させることで、観察対象(結晶素材)から到達する自発光の光と反射光のうち自発光の光のみを観察可能とする。これにより観察対象そのものの温度を反射光の影響なく計測することが可能となる。波長フィルタ55は、第1の波長フィルタと第2の波長フィルタとを入れ換えて、夫々の波長で結晶素材を撮像する。この際、両波長の輝度差が大きいので、一方の波長の入力輝度をカメラのダイナミックレンジに収まるように設定すると、他方の波長の入力輝度がダイナミックレンジの外に出てしまう。従って、一方の波長フィルタと共に減光フィルタを用いることで、両波長の入力光をカメラ42の撮像輝度レンジ内に収めるようにする。
【0025】
図5は、本発明によるカメラ画像入力に関する構成の第2の実施例を示す図である。
【0026】
図5の構成では、1つのカメラ61を使用し、カメラ61とレンズ62の間に種々のフィルタを備えた回転版67を配置して回転版67を回転することでフィルタを選択する。レンズ62の前には干渉フィルタ63が設けられる。回転版67には、形状観察用として水平偏光フィルタと減光フィルタとを組み合せたフィルタ66、温度計測用として垂直偏光フィルタと減光フィルタと波長フィルタとを組み合せたフィルタ64及び65が設けられる。フィルタ64及び65の一方には、必要が無い場合には減光フィルタを含めなくともよい。
【0027】
回転版67を図1の制御装置13により制御されるモータ(図示せず)等により回転させることで、測定目的に適したフィルタを選択して使用する。例えば形状観察が必要な場合には、回転版67を回転させ、水平偏光フィルタと減光フィルタとを組み合せたフィルタ66を光軸上に設定して撮像する。また温度計測が必要な場合には、回転版67を回転させ、垂直偏光フィルタと減光フィルタと波長フィルタとを組み合せたフィルタ64をまず光軸上に設定して撮像し、次にフィルタ65光軸上に設定して撮像する。これにより2つの波長の画像データを得ることができる。
【0028】
図6は、本発明によるカメラ画像入力に関する構成の第3の実施例を示す図である。
【0029】
図6の構成は、形状観察用カメラ71、第1の波長用カメラ72、第2の波長用カメラ73、波長フィルタ74、減光フィルタと波長フィルタ75、干渉フィルタ76、レンズ77、偏光スプリッタ78、及びスプリッタ79を含む。偏光スプリッタ78は、干渉フィルタ76及びレンズ77を介して対象物から到来した光を垂直偏光と水平偏光とに分離し、水平偏光を形状観察用カメラ71に向かう光路に供給し、垂直偏光をスプリッタ79に向かう光路に供給する。スプリッタ79は、垂直偏光を2つのビームに分離して、一方を波長フィルタ74を介して第1の波長用カメラ72に供給し、他方を減光フィルタと波長フィルタ75を介して第2の波長用カメラ73に供給する。これにより、形状観察用カメラ71により水平偏光を用いて対象の形状を観察し、また第1の波長用カメラ72及び第2の波長用カメラ73により垂直偏光を用いて対象そのものの温度を計測することが出来る。
【0030】
以下に本発明による温度計算方法の詳細について説明する。
【0031】
2波長温度計測は、2種類の波長フィルタを通したカメラの撮像画像を用いて行う。通常のカメラは可視光領域を対称としているので、可視光領域の波長フィルタの組み合わせが必要となる。この際、想定する測定温度において、測定精度が高くなるように最適な2波長の組み合わせを決定する必要がある。また前述したように第1の波長のデータと第2の波長のデータとから対称物体の温度を計算する際に、黒体の放射特性に基づいて温度を決定するが、対象物体が実際には黒体ではないのでその為の補正を行う必要がある。この目的のために、測定温度の範囲においては、2波長比の傾きが一定であることが望ましい。
【0032】
カメラによる計測に適した可視光波長を選択するとして、平均的なCCDカメラの分光感度特性から考えると、有効波長は約450−600nmである。また波長フィルタの入手容易性・コスト等を考慮すると、市販され波長フィルタを用いて最適な組み合わせを選択する必要がある。
【0033】
まず想定する測定温度において測定精度が高くなるように、第1の波長を適宜に選択したとき、測定温度において波長比が最大となる第2の波長を求めることが望ましい。
【0034】
2つの波長の波長比Rは、
logR = C3 + C4/T
C3 = 5log(λ2/λ1)
C4 = C2(1/λ2−1/λ1)
であり、λ1は第1のフィルタの波長、λ2は第2のフィルタの波長、Tは温度(K)、C2は第2放射定数(1.438769×(mK))である。
【0035】
上式を展開すると、
R(T) = (λ2/λ1)5 × e [(C2/T)(1/λ2−1/λ1)] (1)
となる。
【0036】
図7は、上記の式で計算した温度と波長比の関係を適当な2波長の組み合わせについて示す図である。図に示されるように、2波長比Rは温度上昇により増大していくが、傾きが一定でない。そのために計算値(黒体放射比)と実測合わせの補正の際に誤差が生ずる要因となる。
【0037】
しかし2波長比Rと温度の曲線は、比較的傾きが一定となる個所が存在する。そこで2波長比の組み合わせを選択する際に、例えば計測範囲の中心温度において、傾きが略一定となるような組を計算により求め、2波長の組み合わせを選択する。これによって、温度計測に適した2つの波長を見つけることが可能となる。
【0038】
2波長比Rの傾きが一定となる点は、1次微分R’の傾きが0であるから、2次微分R”=0となる点である。式(1)に求めたRを2次微分して、
R” = 2 + (C2/T)(1/λ2−1/λ1)
R”=0として、
λ2 = C2 / (−2T + C2/λ1) (2)
となる。
【0039】
市販のフィルタを用いて予め用意したフィルタセットから、まず波長の短い方の第1の波長λ1を適宜選択する。この選択した波長λ1と測定温度Tとに基づいて式(2)を計算して波長値λ2を求める。更にこの求めた波長値λ2に最も近いフィルタ波長を第2の波長として、上記フィルタセットの中から適切なフィルタを選択する。即ち、第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように、第2の波長を選択する。このようにして、最適な2波長のフィルタの組み合わせを選択し、以降の温度計測に使用する。
【0040】
以下に、2つの波長画像から温度を計測する方法について説明する。
【0041】
まず初期作業として、初期温度Tsで黒体温度に対する補正係数を求めるために、初期温度Tsで実際の画像を入力し、波長λ1の画像p1と波長λ2の画像p2との2つの画像の輝度値に基づいて、放射比Rpを次式により求める。
【0042】
Rp=λ1画像の輝度×p1NDフィルタ補正値×p1カメラ分光特性補正
/λ2画像の輝度×p2NDフィルタ補正値×p2カメラ分光特性補正
求めたRpを次式に代入して温度Tpを求める。
【0043】
Tp = C2(1/λ2−1/λ1)/(logRp − 5log(λ2/λ1)) (3)
なおこの温度計算は、図3に示す画像温度計算部36が行う。こうして求めた温度Tpを用いて、温度換算補正係数Hを以下のように求める。
【0044】
H = Ts/Tp (4)
この補正係数の計算処理は、図3に示す補正値計算部38が行う。このようにして温度換算補正係数Hを初期作業としてまず求めておき、補正値格納部39に格納しておく。その後、以下のように実際の温度測定を実行する。
【0045】
温度計測のために波長λ1の画像p1と波長λ2の画像p2との2つの画像を入力し、画像の輝度値に基づいて、放射比Rを次式で求める。
【0046】
R =λ1画像の輝度×p1NDフィルタ補正値×p1カメラ分光特性補正/λ2画像の輝度×p2NDフィルタ補正値×p2カメラ分光特性補正
求めたRを次式に代入して温度Tを求める。
【0047】
T = C2(1/λ2−1/λ1)/(logR − 5log(λ2/λ1))
なおこの温度計算は、図3に示す画像温度計算部36が行う。こうして求めた温度Tに式(4)より求めた温度換算補正係数Hを掛けて、
Tp=T×H
計測温度Tpを求める。この計測温度の補正計算は図3の計算温度補正部40によって行われる。
【0048】
以上のようにして、温度計測対象である結晶素材の温度を求めることが出来る。
【0049】
図8は、最適な2波長のフィルタの組み合わせを選択して温度計測する方法を示すフローチャートである。
【0050】
図8のステップS1において、まず第1の波長の波長フィルタを選択する。ステップS2において、測定対称温度付近で温度・波長比特性の傾きが略一定となるような第2の波長の波長フィルタを選択する。ステップS3において、選択したこれら2つのフィルタを用いて第1の波長の画像データと第2の波長の画像データとを獲得する。ステップS4において、これらの画像データを基にして温度を計算する。更にステップS5において、黒体放射からのずれを補正係数により補正する。これにより、温度計測対象である結晶素材の温度を被接触且つ無侵襲で計測することが可能となる。
【0051】
なお以上に説明した温度計算において、画像の輝度値に基づいて温度を求めるが、この際入力された画像データの1画素ごとの輝度値を計算に用いることで、1画素ごとの温度分布を画像として算出することが出来る。また1画素ごとの輝度値ではノイズが大きく適正に温度分布を計算することが難しい場合等には、複数画素の輝度値を平均することにより、平滑化フィルタが掛けられた画像を用いて温度分布を算出してもよい。
【0052】
以上、本発明を実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の範囲内で様々な変形が可能である。
【0053】
なお本発明は、以下の内容を含むものである。
(付記1)対象物を撮像して画像データを獲得する撮像ユニットと、
該撮像ユニットが該対象物を第1の波長で撮像して第1の画像データを獲得するための第1の波長フィルタと、
該第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように選択された第2の波長に対して、該撮像ユニットが該対象物を該第2の波長で撮像して第2の画像データを獲得するための第2の波長フィルタと、
該第1の画像データ及び該第2の画像データから該対象物を黒体とみなして温度計算をする画像温度計算部と、
該画像温度計算部が計算した温度を黒体でない該対象物に合わせて補正する計算温度補正部
を含むことを特徴とする温度計測システム。
(付記2)垂直偏光のみを用いて該第1の画像データ及び該第2の画像データを獲得するための垂直偏光フィルタと、
水平偏光のみを用いて第3の画像データを獲得するための水平偏光フィルタ
を更に含むことを特徴とする付記1記載の温度計測システム。
(付記3)電磁誘導により該対象物を加熱する高温炉と、
該高温炉を制御する制御装置
を更に含むことを特徴とする付記1記載の温度計測システム。
(付記4)該撮像ユニットは、
単一のカメラと、
該第1の波長フィルタと該第2の波長フィルタとを支持する可動支持部材
を含み、該可動支持部材を動かすことで該カメラに使用するフィルタを逐次交換することを特徴とする付記1記載の温度計測システム。
(付記5)該撮像ユニットは、
第1のカメラと、
第2のカメラと、
該対象物から到来する光を2つの光路に分割する第1のスプリッタ
を含み、該第1のスプリッタにより分割された一方の光路には該第1のフィルタと該第1のカメラを配置し他方の光路には該第2のフィルタと該第2のカメラを配置することを特徴とする付記1記載の温度計測システム。
(付記6)該対象物から到来する光を垂直偏光と水平偏光との2つに分割する偏光スプリッタである第2のスプリッタと、
該第2のスプリッタからの該水平偏光により第3の画像データを獲得する第3のカメラ
を更に含み、該第2のスプリッタからの該垂直偏光を該第1のスプリッタに供給して該垂直偏光により該第1の画像データ及び該第2の画像データを獲得することを特徴とする付記5記載の温度計測システム。
(付記7)該第1のフィルタ及び該第2のフィルタが選択される複数のフィルタからなるフィルタキットを更に含むことを特徴とする付記1記載の温度計測システム。
(付記8)該画像温度計算部は該温度計算を該第1の画像データ及び該第2の画像データの1画素ごとに実行することを特徴とする付記1記載の温度計測システム。
(付記9)該画像温度計算部は該第1の画像データ及び該第2の画像データの複数画素ごとの平均値に対して該温度計算を実行することを特徴とする付記1記載の温度計測システム。
(付記10)第1の波長の第1の波長フィルタを選択し、
該第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように第2の波長の第2の波長フィルタを選択し、
該第1の波長フィルタ及び第2の波長フィルタをそれぞれ用いて第1の画像データ及び第2の画像データを獲得し、
該第1及び第2の画像データを基にして対象物の温度を計算し、
該対象物の電磁放射の黒体放射からのずれに関する補正係数により該計算された温度を補正する
各段階を含むことを特徴とする温度計測方法。
【発明の効果】
本発明による温度計測システムにおいて、第1の波長の画像データと第2の波長の画像データとから対称物体の温度を計算する際に、黒体の放射特性に基づいて温度を決定するが、対象物体が実際には黒体ではないのでその為の補正を行う。この目的のために、測定温度の範囲においては、2波長比の傾きが一定であることが望ましい。本発明では、第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように選択された第2の波長を用いることで、測定温度の範囲において略一定な2波長比の傾きを実現することが出来る。
【0054】
また上記温度計測システムにおいては、水平偏光フィルタにより水平偏光成分のみを通過させることで、観察対象(結晶素材)から到達する自発光の光と反射光のうち反射光のみを観察可能とする。これにより観察対象の形状を容易に把握することが可能となる。また垂直偏光フィルタにより垂直偏光成分のみを通過させることで、観察対象(結晶素材)から到達する自発光の光と反射光のうち自発光の光のみを観察可能とする。これにより観察対象そのものの温度を反射光の影響なく計測することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による高温炉温度計測システムの概略構成を示す図である。
【図2】高温炉の内部構成を示す図である。
【図3】制御装置の温度計測に係る部分の構成を示す図である。
【図4】本発明によるカメラ画像入力に関する構成の第1の実施例を示す図である。
【図5】本発明によるカメラ画像入力に関する構成の第2の実施例を示す図である。
【図6】本発明によるカメラ画像入力に関する構成の第3の実施例を示す図である。
【図7】温度と波長比の関係を種々の2波長の組み合わせについて示す図である。
【図8】最適な2波長のフィルタの組み合わせを選択して温度計測する方法を示すフローチャートである。
【符号の説明】
10 高温炉温度計測システム
11 高温炉
12 TVカメラ
13 制御装置
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般に高温炉内の温度計測システム及び方法に関し、詳しくはモニタ画像を画像処理することにより温度を計測する高温炉内の温度計測システム及び方法に関する。
【従来の技術】
一般に半導体装置に用いる半導体結晶の製造工程においては、高温炉内で高周波の電磁誘導によりルツボを加熱して、結晶素材を溶融・冷却することによって結晶生成する。この際、生成中の結晶の温度を逐次計測して電磁誘導の電圧を制御すれば、生成結晶の歩留まり率を向上させることが出来る。
【発明が解決しようとする課題】
通常、ルツボ内の結晶温度の計測には熱電対が使用される。しかし高周波の電磁誘導により加熱するルツボに熱電対を使用すると、高周波により熱電対の誤動作がおきやすいという問題がある。また熱電対を半導体材料内に挿入することで、熱電対への結晶が付着してしまうなどの問題がある。従って熱電対は、種結晶挿入前の目安のための温度計測に利用されるにとどまっていた。
【0002】
上記の熱電対の問題点を鑑みると、高温炉内の結晶温度を計測するためには、非接触・無侵襲で計測することが好ましい。そのためには高温炉内からの電磁放射を検出することで、2波長比による温度計測法を適用することが出来る。
【0003】
一般に、物体からの電磁放射は物体の温度が高くなるにしたがって、放射量が増大し且つ最大放射波長が短くなることが知られている。電磁放射の輝度は波長ごとに温度により変化するので、2つの異なる波長について電磁放射を計測し、2波長の比を求めれば温度が計測可能である。しかしこの際、適当な2つの波長の組を選択して適切な2波長比を用いる必要が有るが、適当な2つの波長の組を選択することに関して従来明確な指針がなかった。
【0004】
また高温炉内の温度管理と同時に、結晶成長を観察するために形状をモニタすることも必要であり、TVカメラを使用して形状観察と共に電磁放射を計測できることが望ましい。
【0005】
以上を鑑みて、本発明は、半導体結晶を生成する高温炉内からの電磁放射をTVカメラにより測定し、適当な2つの波長の組を選択することで高温炉内の温度を計測するシステム及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
本発明による温度計測システムは、対象物を撮像して画像データを獲得する撮像ユニットと、該撮像ユニットが該対象物を第1の波長で撮像して第1の画像データを獲得するための第1の波長フィルタと、該第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように選択された第2の波長に対して、該撮像ユニットが該対象物を該第2の波長で撮像して第2の画像データを獲得するための第2の波長フィルタと、該第1の画像データ及び該第2の画像データから該対象物を黒体とみなして温度計算をする画像温度計算部と、該画像温度計算部が計算した温度を黒体でない該対象物に合わせて補正する計算温度補正部を含むことを特徴とする。
【0006】
上記温度計測システムにおいて、第1の波長の画像データと第2の波長の画像データとから対称物体の温度を計算する際に、黒体の放射特性に基づいて温度を決定するが、対象物体が実際には黒体ではないのでその為の補正を行う。この目的のために、測定温度の範囲においては、2波長比の傾きが一定であることが望ましい。上記のように、第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように選択された第2の波長を用いることで、測定温度の範囲において略一定な2波長比の傾きを実現することが出来る。
【0007】
また上記温度計測システムは、垂直偏光のみを用いて該第1の画像データ及び該第2の画像データを獲得するための垂直偏光フィルタと、水平偏光のみを用いて第3の画像データを獲得するための水平偏光フィルタを更に含むことを特徴とする。
【0008】
上記温度計測システムにおいては、水平偏光フィルタは水平偏光成分のみを通過させることで、観察対象(結晶素材)から到達する自発光の光と反射光のうち反射光のみを観察可能とする。これにより観察対象の形状を容易に把握することが可能となる。また垂直偏光フィルタは垂直偏光成分のみを通過させることで、観察対象(結晶素材)から到達する自発光の光と反射光のうち自発光の光のみを観察可能とする。これにより観察対象そのものの温度を反射光の影響なく計測することが可能となる。
【0009】
また更に本発明による温度計測方法は、第1の波長の第1の波長フィルタを選択し、該第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように第2の波長の第2の波長フィルタを選択し、該第1の波長フィルタ及び第2の波長フィルタをそれぞれ用いて第1の画像データ及び第2の画像データを獲得し、該第1及び第2の画像データを基にして対象物の温度を計算し、該対象物の電磁放射の黒体放射からのずれに関する補正係数により該計算された温度を補正する各段階を含むことを特徴とする。
【0010】
上記温度計測方法においては、第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように選択された第2の波長を用いることで、適切に補正を行い対象物の温度を計測することが可能となる。
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施例を添付の図面を用いて詳細に説明する。
【0011】
図1は、本発明による高温炉温度計測システムの概略構成を示す図である。
【0012】
図1の高温炉温度計測システム10は、高温炉11、TVカメラ12、及び制御装置13を含む。
【0013】
高温炉11は、内部にルツボを備え電磁コイルにより高周波の電磁誘導を起こすことで、ルツボ内部に配置される半導体の結晶素材を有用させる。高温炉11には観測窓11aが設けられており、ルツボ内部の結晶素材の様子を観察出来るようになっている。観測窓11aの近傍にはTVカメラ12が配置されており、内蔵のCCD素子などにより、観測窓11aを介して観察される結晶素材の様子を撮像する。撮像された画像データは、制御装置13に供給される。
【0014】
制御装置13は、TVカメラ12操作用の機器、コンピュータ、高温炉11制御用の機器等からなり、TVカメラ12を制御して得られた画像データに基づいて、コンピュータにより高温炉11内の結晶素材温度を計測し、その計測結果に基づいて高温炉11の温度を調整する。この温度の調整は、電磁コイルに供給する電圧等を制御することで行うことが出来る。またこの調整は、測定温度から判断してオペレータが操作することにより温度調節してもよく、また測定温度に基づいてコンピュータが自動的に温度調節するよう構成してもよい。
【0015】
図2は、高温炉11の内部構成を示す図である。高温炉11は、高温炉カバー21、電磁コイル22、及びルツボ23を含む。電磁コイル22に高周波電圧が印加されることで、電磁誘導によりルツボ23内部の結晶素材が高温に熱せられる。ルツボ23には、観察用穴24が設けられており、図1に示される観測窓11a及びこの観察用穴24を介して、外部からルツボ23内の結晶素材を観察することが出来る。ルツボ23内には、結晶素材25が入れられる。
【0016】
図3は、図1の制御装置13の温度計測に係る部分の構成を示す図である。
【0017】
図3に示されるように、制御装置13の温度計測に係る部分は、画像入力部31、第1の波長用の画像記憶部32、第2の波長用の画像記憶部33、計測範囲指定部34、画像データ読出し部35、画像温度計算部36、補正値換算用温度入力部37、補正値計算部38、補正値格納部39、計算温度補正部40、及び計測温度格納部41を含む。これらの各機能は例えば、制御装置13のコンピュータにおいてCPUがソフトウェアプログラムを実行することにより実現するよう構成してよい。
【0018】
画像入力部31は、TVカメラ12からの画像データを入力し、第1の波長に対して検出された画像データを画像記憶部32に送り、第2の波長に対して検出された画像データを画像記憶部33に送る。画像記憶部32及び33は、夫々の画像データを格納する。
【0019】
計測範囲指定部34は、画像データのうちで温度計測の対象となる部位を指定する。計測範囲指定部34が指定する部位の情報が画像データ読出し部35に供給され、指定された部位の画像データが画像記憶部32及び33から読み出されて画像温度計算部36に供給される。計測範囲指定部34は、例えばオペレータからの指示に基づいて計測対象となる部位を指定してもよく、或いは所定の部位を自動的に指定しても良く、また広がった領域について自動的にスキャンするように構成しても良い。
【0020】
画像温度計算部36は、画像の指定部位の第1の波長のデータと第2の波長のデータとを基にして、当該指定部位に対応する物体の温度を計算する。この際、黒体の放射特性に基づいて温度を決定するが、対象物体が黒体ではないのでその為の補正を行う必要がある。補正値換算用温度入力部37は補正計算のための温度情報を入力して提供し、補正値計算部38は当該温度を用いて補正係数を計算する。計算された補正係数は補正値格納部39に格納する。計算温度補正部40は、画像温度計算部36からの測定値に基づく計算温度と補正値格納部39からの補正係数を用いて、補正後の温度を計算する。計算された補正後の温度は計測温度格納部41に格納され、コンピュータ表示部に表示してオペレータに通知してもよく、また高温炉11の制御のパラメータとして使用してもよい。
【0021】
この補正計算については後程詳細に説明する。
【0022】
図4は、本発明によるカメラ画像入力に関する構成の第1の実施例を示す図である。
【0023】
図4の構成では、形状観察用のカメラ41と温度測定用のカメラ42との2つのカメラを用いる。形状観察用のカメラ41のレンズ前方には減光フィルタ51、干渉フィルタ52、及び水平偏光フィルタ53を光軸上に配置する。減光フィルタ51は、撮像画像がカメラ41の撮像輝度レンジ内に収まるように光強度を減らすためのものであり、水平偏光フィルタ53は水平偏光成分のみを通過させることで、観察対象(結晶素材)から到達する自発光の光と反射光のうち反射光のみを観察可能とする。これにより観察対象の形状を容易に把握することが可能となる。
【0024】
温度測定用のカメラ42のレンズ前方には波長フィルタ55、干渉フィルタ56、及び垂直偏光フィルタ57を光軸上に配置する。垂直偏光フィルタ57は垂直偏光成分のみを通過させることで、観察対象(結晶素材)から到達する自発光の光と反射光のうち自発光の光のみを観察可能とする。これにより観察対象そのものの温度を反射光の影響なく計測することが可能となる。波長フィルタ55は、第1の波長フィルタと第2の波長フィルタとを入れ換えて、夫々の波長で結晶素材を撮像する。この際、両波長の輝度差が大きいので、一方の波長の入力輝度をカメラのダイナミックレンジに収まるように設定すると、他方の波長の入力輝度がダイナミックレンジの外に出てしまう。従って、一方の波長フィルタと共に減光フィルタを用いることで、両波長の入力光をカメラ42の撮像輝度レンジ内に収めるようにする。
【0025】
図5は、本発明によるカメラ画像入力に関する構成の第2の実施例を示す図である。
【0026】
図5の構成では、1つのカメラ61を使用し、カメラ61とレンズ62の間に種々のフィルタを備えた回転版67を配置して回転版67を回転することでフィルタを選択する。レンズ62の前には干渉フィルタ63が設けられる。回転版67には、形状観察用として水平偏光フィルタと減光フィルタとを組み合せたフィルタ66、温度計測用として垂直偏光フィルタと減光フィルタと波長フィルタとを組み合せたフィルタ64及び65が設けられる。フィルタ64及び65の一方には、必要が無い場合には減光フィルタを含めなくともよい。
【0027】
回転版67を図1の制御装置13により制御されるモータ(図示せず)等により回転させることで、測定目的に適したフィルタを選択して使用する。例えば形状観察が必要な場合には、回転版67を回転させ、水平偏光フィルタと減光フィルタとを組み合せたフィルタ66を光軸上に設定して撮像する。また温度計測が必要な場合には、回転版67を回転させ、垂直偏光フィルタと減光フィルタと波長フィルタとを組み合せたフィルタ64をまず光軸上に設定して撮像し、次にフィルタ65光軸上に設定して撮像する。これにより2つの波長の画像データを得ることができる。
【0028】
図6は、本発明によるカメラ画像入力に関する構成の第3の実施例を示す図である。
【0029】
図6の構成は、形状観察用カメラ71、第1の波長用カメラ72、第2の波長用カメラ73、波長フィルタ74、減光フィルタと波長フィルタ75、干渉フィルタ76、レンズ77、偏光スプリッタ78、及びスプリッタ79を含む。偏光スプリッタ78は、干渉フィルタ76及びレンズ77を介して対象物から到来した光を垂直偏光と水平偏光とに分離し、水平偏光を形状観察用カメラ71に向かう光路に供給し、垂直偏光をスプリッタ79に向かう光路に供給する。スプリッタ79は、垂直偏光を2つのビームに分離して、一方を波長フィルタ74を介して第1の波長用カメラ72に供給し、他方を減光フィルタと波長フィルタ75を介して第2の波長用カメラ73に供給する。これにより、形状観察用カメラ71により水平偏光を用いて対象の形状を観察し、また第1の波長用カメラ72及び第2の波長用カメラ73により垂直偏光を用いて対象そのものの温度を計測することが出来る。
【0030】
以下に本発明による温度計算方法の詳細について説明する。
【0031】
2波長温度計測は、2種類の波長フィルタを通したカメラの撮像画像を用いて行う。通常のカメラは可視光領域を対称としているので、可視光領域の波長フィルタの組み合わせが必要となる。この際、想定する測定温度において、測定精度が高くなるように最適な2波長の組み合わせを決定する必要がある。また前述したように第1の波長のデータと第2の波長のデータとから対称物体の温度を計算する際に、黒体の放射特性に基づいて温度を決定するが、対象物体が実際には黒体ではないのでその為の補正を行う必要がある。この目的のために、測定温度の範囲においては、2波長比の傾きが一定であることが望ましい。
【0032】
カメラによる計測に適した可視光波長を選択するとして、平均的なCCDカメラの分光感度特性から考えると、有効波長は約450−600nmである。また波長フィルタの入手容易性・コスト等を考慮すると、市販され波長フィルタを用いて最適な組み合わせを選択する必要がある。
【0033】
まず想定する測定温度において測定精度が高くなるように、第1の波長を適宜に選択したとき、測定温度において波長比が最大となる第2の波長を求めることが望ましい。
【0034】
2つの波長の波長比Rは、
logR = C3 + C4/T
C3 = 5log(λ2/λ1)
C4 = C2(1/λ2−1/λ1)
であり、λ1は第1のフィルタの波長、λ2は第2のフィルタの波長、Tは温度(K)、C2は第2放射定数(1.438769×(mK))である。
【0035】
上式を展開すると、
R(T) = (λ2/λ1)5 × e [(C2/T)(1/λ2−1/λ1)] (1)
となる。
【0036】
図7は、上記の式で計算した温度と波長比の関係を適当な2波長の組み合わせについて示す図である。図に示されるように、2波長比Rは温度上昇により増大していくが、傾きが一定でない。そのために計算値(黒体放射比)と実測合わせの補正の際に誤差が生ずる要因となる。
【0037】
しかし2波長比Rと温度の曲線は、比較的傾きが一定となる個所が存在する。そこで2波長比の組み合わせを選択する際に、例えば計測範囲の中心温度において、傾きが略一定となるような組を計算により求め、2波長の組み合わせを選択する。これによって、温度計測に適した2つの波長を見つけることが可能となる。
【0038】
2波長比Rの傾きが一定となる点は、1次微分R’の傾きが0であるから、2次微分R”=0となる点である。式(1)に求めたRを2次微分して、
R” = 2 + (C2/T)(1/λ2−1/λ1)
R”=0として、
λ2 = C2 / (−2T + C2/λ1) (2)
となる。
【0039】
市販のフィルタを用いて予め用意したフィルタセットから、まず波長の短い方の第1の波長λ1を適宜選択する。この選択した波長λ1と測定温度Tとに基づいて式(2)を計算して波長値λ2を求める。更にこの求めた波長値λ2に最も近いフィルタ波長を第2の波長として、上記フィルタセットの中から適切なフィルタを選択する。即ち、第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように、第2の波長を選択する。このようにして、最適な2波長のフィルタの組み合わせを選択し、以降の温度計測に使用する。
【0040】
以下に、2つの波長画像から温度を計測する方法について説明する。
【0041】
まず初期作業として、初期温度Tsで黒体温度に対する補正係数を求めるために、初期温度Tsで実際の画像を入力し、波長λ1の画像p1と波長λ2の画像p2との2つの画像の輝度値に基づいて、放射比Rpを次式により求める。
【0042】
Rp=λ1画像の輝度×p1NDフィルタ補正値×p1カメラ分光特性補正
/λ2画像の輝度×p2NDフィルタ補正値×p2カメラ分光特性補正
求めたRpを次式に代入して温度Tpを求める。
【0043】
Tp = C2(1/λ2−1/λ1)/(logRp − 5log(λ2/λ1)) (3)
なおこの温度計算は、図3に示す画像温度計算部36が行う。こうして求めた温度Tpを用いて、温度換算補正係数Hを以下のように求める。
【0044】
H = Ts/Tp (4)
この補正係数の計算処理は、図3に示す補正値計算部38が行う。このようにして温度換算補正係数Hを初期作業としてまず求めておき、補正値格納部39に格納しておく。その後、以下のように実際の温度測定を実行する。
【0045】
温度計測のために波長λ1の画像p1と波長λ2の画像p2との2つの画像を入力し、画像の輝度値に基づいて、放射比Rを次式で求める。
【0046】
R =λ1画像の輝度×p1NDフィルタ補正値×p1カメラ分光特性補正/λ2画像の輝度×p2NDフィルタ補正値×p2カメラ分光特性補正
求めたRを次式に代入して温度Tを求める。
【0047】
T = C2(1/λ2−1/λ1)/(logR − 5log(λ2/λ1))
なおこの温度計算は、図3に示す画像温度計算部36が行う。こうして求めた温度Tに式(4)より求めた温度換算補正係数Hを掛けて、
Tp=T×H
計測温度Tpを求める。この計測温度の補正計算は図3の計算温度補正部40によって行われる。
【0048】
以上のようにして、温度計測対象である結晶素材の温度を求めることが出来る。
【0049】
図8は、最適な2波長のフィルタの組み合わせを選択して温度計測する方法を示すフローチャートである。
【0050】
図8のステップS1において、まず第1の波長の波長フィルタを選択する。ステップS2において、測定対称温度付近で温度・波長比特性の傾きが略一定となるような第2の波長の波長フィルタを選択する。ステップS3において、選択したこれら2つのフィルタを用いて第1の波長の画像データと第2の波長の画像データとを獲得する。ステップS4において、これらの画像データを基にして温度を計算する。更にステップS5において、黒体放射からのずれを補正係数により補正する。これにより、温度計測対象である結晶素材の温度を被接触且つ無侵襲で計測することが可能となる。
【0051】
なお以上に説明した温度計算において、画像の輝度値に基づいて温度を求めるが、この際入力された画像データの1画素ごとの輝度値を計算に用いることで、1画素ごとの温度分布を画像として算出することが出来る。また1画素ごとの輝度値ではノイズが大きく適正に温度分布を計算することが難しい場合等には、複数画素の輝度値を平均することにより、平滑化フィルタが掛けられた画像を用いて温度分布を算出してもよい。
【0052】
以上、本発明を実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の範囲内で様々な変形が可能である。
【0053】
なお本発明は、以下の内容を含むものである。
(付記1)対象物を撮像して画像データを獲得する撮像ユニットと、
該撮像ユニットが該対象物を第1の波長で撮像して第1の画像データを獲得するための第1の波長フィルタと、
該第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように選択された第2の波長に対して、該撮像ユニットが該対象物を該第2の波長で撮像して第2の画像データを獲得するための第2の波長フィルタと、
該第1の画像データ及び該第2の画像データから該対象物を黒体とみなして温度計算をする画像温度計算部と、
該画像温度計算部が計算した温度を黒体でない該対象物に合わせて補正する計算温度補正部
を含むことを特徴とする温度計測システム。
(付記2)垂直偏光のみを用いて該第1の画像データ及び該第2の画像データを獲得するための垂直偏光フィルタと、
水平偏光のみを用いて第3の画像データを獲得するための水平偏光フィルタ
を更に含むことを特徴とする付記1記載の温度計測システム。
(付記3)電磁誘導により該対象物を加熱する高温炉と、
該高温炉を制御する制御装置
を更に含むことを特徴とする付記1記載の温度計測システム。
(付記4)該撮像ユニットは、
単一のカメラと、
該第1の波長フィルタと該第2の波長フィルタとを支持する可動支持部材
を含み、該可動支持部材を動かすことで該カメラに使用するフィルタを逐次交換することを特徴とする付記1記載の温度計測システム。
(付記5)該撮像ユニットは、
第1のカメラと、
第2のカメラと、
該対象物から到来する光を2つの光路に分割する第1のスプリッタ
を含み、該第1のスプリッタにより分割された一方の光路には該第1のフィルタと該第1のカメラを配置し他方の光路には該第2のフィルタと該第2のカメラを配置することを特徴とする付記1記載の温度計測システム。
(付記6)該対象物から到来する光を垂直偏光と水平偏光との2つに分割する偏光スプリッタである第2のスプリッタと、
該第2のスプリッタからの該水平偏光により第3の画像データを獲得する第3のカメラ
を更に含み、該第2のスプリッタからの該垂直偏光を該第1のスプリッタに供給して該垂直偏光により該第1の画像データ及び該第2の画像データを獲得することを特徴とする付記5記載の温度計測システム。
(付記7)該第1のフィルタ及び該第2のフィルタが選択される複数のフィルタからなるフィルタキットを更に含むことを特徴とする付記1記載の温度計測システム。
(付記8)該画像温度計算部は該温度計算を該第1の画像データ及び該第2の画像データの1画素ごとに実行することを特徴とする付記1記載の温度計測システム。
(付記9)該画像温度計算部は該第1の画像データ及び該第2の画像データの複数画素ごとの平均値に対して該温度計算を実行することを特徴とする付記1記載の温度計測システム。
(付記10)第1の波長の第1の波長フィルタを選択し、
該第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように第2の波長の第2の波長フィルタを選択し、
該第1の波長フィルタ及び第2の波長フィルタをそれぞれ用いて第1の画像データ及び第2の画像データを獲得し、
該第1及び第2の画像データを基にして対象物の温度を計算し、
該対象物の電磁放射の黒体放射からのずれに関する補正係数により該計算された温度を補正する
各段階を含むことを特徴とする温度計測方法。
【発明の効果】
本発明による温度計測システムにおいて、第1の波長の画像データと第2の波長の画像データとから対称物体の温度を計算する際に、黒体の放射特性に基づいて温度を決定するが、対象物体が実際には黒体ではないのでその為の補正を行う。この目的のために、測定温度の範囲においては、2波長比の傾きが一定であることが望ましい。本発明では、第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように選択された第2の波長を用いることで、測定温度の範囲において略一定な2波長比の傾きを実現することが出来る。
【0054】
また上記温度計測システムにおいては、水平偏光フィルタにより水平偏光成分のみを通過させることで、観察対象(結晶素材)から到達する自発光の光と反射光のうち反射光のみを観察可能とする。これにより観察対象の形状を容易に把握することが可能となる。また垂直偏光フィルタにより垂直偏光成分のみを通過させることで、観察対象(結晶素材)から到達する自発光の光と反射光のうち自発光の光のみを観察可能とする。これにより観察対象そのものの温度を反射光の影響なく計測することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による高温炉温度計測システムの概略構成を示す図である。
【図2】高温炉の内部構成を示す図である。
【図3】制御装置の温度計測に係る部分の構成を示す図である。
【図4】本発明によるカメラ画像入力に関する構成の第1の実施例を示す図である。
【図5】本発明によるカメラ画像入力に関する構成の第2の実施例を示す図である。
【図6】本発明によるカメラ画像入力に関する構成の第3の実施例を示す図である。
【図7】温度と波長比の関係を種々の2波長の組み合わせについて示す図である。
【図8】最適な2波長のフィルタの組み合わせを選択して温度計測する方法を示すフローチャートである。
【符号の説明】
10 高温炉温度計測システム
11 高温炉
12 TVカメラ
13 制御装置
Claims (5)
- 対象物を撮像して画像データを獲得する撮像ユニットと、
該撮像ユニットが該対象物を第1の波長で撮像して第1の画像データを獲得するための第1の波長フィルタと、
該第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように選択された第2の波長に対して、該撮像ユニットが該対象物を該第2の波長で撮像して第2の画像データを獲得するための第2の波長フィルタと、
該第1の画像データ及び該第2の画像データから該対象物を黒体とみなして温度計算をする画像温度計算部と、
該画像温度計算部が計算した温度を黒体でない該対象物に合わせて補正する計算温度補正部
を含むことを特徴とする温度計測システム。 - 垂直偏光のみを用いて該第1の画像データ及び該第2の画像データを獲得するための垂直偏光フィルタと、
水平偏光のみを用いて第3の画像データを獲得するための水平偏光フィルタ
を更に含むことを特徴とする請求項1記載の温度計測システム。 - 該撮像ユニットは、
単一のカメラと、
該第1の波長フィルタと該第2の波長フィルタとを支持する可動支持部材
を含み、該可動支持部材を動かすことで該カメラに使用するフィルタを逐次交換することを特徴とする請求項1記載の温度計測システム。 - 該撮像ユニットは、
第1のカメラと、
第2のカメラと、
該対象物から到来する光を2つの光路に分割する第1のスプリッタ
を含み、該第1のスプリッタにより分割された一方の光路には該第1のフィルタと該第1のカメラを配置し他方の光路には該第2のフィルタと該第2のカメラを配置することを特徴とする請求項1記載の温度計測システム。 - 第1の波長の第1の波長フィルタを選択し、
該第1の波長との波長比の温度変化に対する変化率が測定対称温度付近で略一定となるように第2の波長の第2の波長フィルタを選択し、
該第1の波長フィルタ及び第2の波長フィルタをそれぞれ用いて第1の画像データ及び第2の画像データを獲得し、
該第1及び第2の画像データを基にして対象物の温度を計算し、
該対象物の電磁放射の黒体放射からのずれに関する補正係数により該計算された温度を補正する
各段階を含むことを特徴とする温度計測方法。
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