JP2004047077A - Recording/reproducing head support mechanism and recording/reproducing device - Google Patents

Recording/reproducing head support mechanism and recording/reproducing device Download PDF

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JP2004047077A
JP2004047077A JP2003189009A JP2003189009A JP2004047077A JP 2004047077 A JP2004047077 A JP 2004047077A JP 2003189009 A JP2003189009 A JP 2003189009A JP 2003189009 A JP2003189009 A JP 2003189009A JP 2004047077 A JP2004047077 A JP 2004047077A
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Shinji Ichikawa
市川 慎司
Keiichi Soeno
添野 佳一
Takamitsu Tsuna
綱 隆満
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent electrostatic destruction of an electromagnetic conversion element or an optical module without inhibiting the displacement performance of an actuator in a recording/reproducing head support mechanism of a magnetic disk drive and an optical disk drive having the actuator for small displacement. <P>SOLUTION: This recording/reproducing head support mechanism has a slider 2 provided with the electromagnetic conversion element or the optical module and a suspension 3. The slider 2 is supported by the suspension 3 through the actuator 4 for displacing the slider and has a wiring pattern including a ground wiring 90 electrically connected to the slider 2. The wiring pattern includes an adhesion wiring 5A adhered to the suspension 3 and a floating wiring 5B extending up to the slider 2 away from the suspension 3 and being movable and/or deformable in the displacement direction of the slider 2 by the actuator 4. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ハードディスクドライブ(以下、HDDと略記する)や光ディスクドライブなどの記録/再生装置における記録/再生ヘッド支持機構と、この記録/再生ヘッド支持機構を有する記録/再生装置とに関する。
【0002】
【従来の技術】
HDDに用いられる従来の磁気ヘッド支持機構は、電磁変換素子を設けたスライダをサスペンションにより支持し、電磁変換素子に接続する配線パターンを設けたものが一般的である。
【0003】
電磁変換素子は、電気信号と磁気信号とを相互に変換するための磁極およびコイルや、これらに加え、磁気信号を電圧信号に変換するための磁気抵抗効果素子などを有するものであり、これらは薄膜形成技術や組立加工技術等により形成されている。スライダは、Al−TiCやCaTiOなどの非磁性セラミックスやフェライトなどの磁性体から構成され、その形状は概ね直方体状であり、ディスク媒体に対向する面(エアベアリング面)が、ディスク媒体と微小な距離を隔てて浮上するための圧力を発生するのに適した形状に加工されたものである。スライダを支持するサスペンションは、弾性を有するステンレス板などに曲げや抜きなどの加工を施すことにより形成されたものである。
【0004】
スライダには、実際の使用時に静電気が発生することがある。この静電気は、コンタクト・スタート・ストップ(CSS)におけるスライダ浮上面とディスク媒体表面との間の摺動、高速回転するディスク媒体表面に対してスライダの浮上量が非常に小さいことにより生じるスライダ浮上面とディスク媒体表面との接触、スライダと空気との間の摩擦などによって発生する。
【0005】
スライダに静電気が生じると、電磁変換素子に静電破壊現象の発生することがある。これを防止するために多くの磁気ヘッドでは、スライダを接地している(例えば特開平2−61810号公報、特開平2−244419号公報、特開平8−111015号公報)。上記特開平2−61810号公報には、スライダに設けた磁気コアに電気的に接続した導体を、アース電位であるサスペンションのジンバル部に導電性接着剤により接着した薄膜磁気ヘッドが記載されている。また、上記特開平2−244419号公報には、スライダ側面とサスペンションとを導電性接着剤により接着することが記載されている。また、上記特開平8−111015号公報には、サスペンション上に設けたフレキシブル配線基板に接地電極を設け、この接地電極をスライダに電気的に接続した磁気ヘッド装置が記載されている。
【0006】
ところでHDDでは、小型化、高密度記録化が進むにしたがって、トラック密度がより高く、トラック幅がより狭くなってきている。高密度記録HDDにおいてトラッキング精度を向上させるためには、電磁変換素子やスライダをサスペンションに対し微小変位させるアクチュエータを磁気ヘッドに設けることが有効である。このようなアクチュエータは、例えば特開平6−259905号公報、同6−309822号公報、同8−180623号公報に記載されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
アクチュエータを有する磁気ヘッドでは、アクチュエータによりスライダを駆動する際にスライダがサスペンションに対し相対的に変位する。したがって、サスペンション側とスライダ側とを接続する電気配線がこの変位を阻害する可能性がある。
【0008】
しかし、アクチュエータを設けることが記載されている前記各公報には、スライダの接地に関する記載はない。したがって、当然、アクチュエータを介在させた場合にアクチュエータの変位性能を阻害することなくスライダを接地するための手段については記載されていない。
【0009】
本発明の目的は、微小変位用のアクチュエータを有する磁気ディスク装置や光ディスク装置の記録/再生ヘッド支持機構において、アクチュエータの変位性能を阻害することなく電磁変換素子または光学モジュールの静電破壊を防ぐことである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、以下の構成により達成される。
(1) 電磁変換素子または光学モジュールが設けられたスライダと、サスペンションとを有し、スライダがこれを変位させるためのアクチュエータを介してサスペンションに支持されており、
電磁変換素子または光学モジュールに電気的に接続する配線と、スライダに電気的に接続する接地用配線とを含む配線パターンを有し、この配線パターンが、サスペンションに密着する密着配線と、サスペンションから離れてスライダまで延び、アクチュエータによるスライダの変位方向に可動および/または変形可能な浮動配線とを含む記録/再生ヘッド支持機構。
(2) 電磁変換素子または光学モジュールが設けられたスライダと、サスペンションとを有し、スライダがこれを変位させるためのアクチュエータを介してサスペンションに支持されており、
サスペンションの先端部がスライダ側に湾曲または屈曲し、かつ、前記先端部が、アクチュエータによるスライダの変位方向に可動および/または変形可能な可撓領域を有し、
この可撓領域の表面に配線パターンが密着しており、この配線パターンが、電磁変換素子または光学モジュールに電気的に接続する配線と、スライダに電気的に接続する接地用配線とを含む記録/再生ヘッド支持機構。
(3) サスペンションが導電性材料から構成され、前記配線パターンから前記接地用配線が引き出されてサスペンションに電気的に接続されている上記(1)または(2)の記録/再生ヘッド支持機構。
(4) 上記(1)〜(3)のいずれかの記録/再生ヘッド支持機構を有する記録/再生装置。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明の記録/再生ヘッド支持機構は、電磁変換素子または光学モジュールが設けられたスライダと、サスペンションとを有し、スライダがこれを変位させるためのアクチュエータを介してサスペンションに支持されたものである。以下、本発明を、スライダに電磁変換素子が設けられた磁気ヘッドに適用する場合を例に挙げて説明する。
【0012】
まず、サスペンション、アクチュエータおよびスライダの代表的な構成について説明する。
【0013】
図11に、アクチュエータを有する磁気ヘッド支持機構の構成例を分解斜視図として示す。この磁気ヘッド支持機構は、電磁変換素子1を設けたスライダ2と、このスライダ2を支持するサスペンション3とを有し、スライダ2とサスペンション3との間に、アクチュエータ4を設けたものである。
【0014】
アクチュエータ4は、スライダ2をサスペンション3に対して微小変位させるためのものであり、サスペンション3の末端部に設けたジンバル部3aに、接着等により固定してある。ジンバル部3aは、スライダをディスク媒体面に追従させることを目的として、エッチングや打ち抜き等により溝を設けることにより形成したものである。なお、この磁気ヘッドには、サスペンション全体を駆動するための主アクチュエータ(VCM等)も設けられる。
【0015】
アクチュエータ4は、固定部43と可動部44とを有し、さらに、これらを接続する2本の棒状の変位発生部41、41を有する。変位発生部41には、両側に電極層が存在する圧電・電歪材料層が少なくとも1層設けられ、電極層に電圧を印加することにより伸縮を発生する構成となっている。圧電・電歪材料層は、逆圧電効果または電歪効果により伸縮する圧電・電歪材料からなる。変位発生部41の一端は固定部43を介してサスペンションに連結され、変位発生部41の他端は可動部44を介してスライダに連結され、変位発生部41の伸縮によりスライダが変位して、電磁変換素子がディスク媒体の記録トラックと交差するように弧状に変位する構成となっている。
【0016】
アクチュエータ4では、変位発生部41において、圧電・電歪材料層がPZT等のいわゆる圧電材料から構成されている場合、圧電・電歪材料層には、通常、変位性能向上のための分極処理が施されている。この分極処理による分極方向は、アクチュエータの厚さ方向である。電極層に電圧を印加したときの電界の向きが分極の向きと一致する場合、両電極間の圧電・電歪材料層はその厚さ方向に伸長(圧電縦効果)し、その面内方向では収縮(圧電横効果)する。一方、電界の向きが分極の向きと逆である場合、圧電・電歪材料層はその厚さ方向に収縮(圧電縦効果)し、その面内方向では伸長(圧電横効果)する。そして、一方の変位発生部と他方の変位発生部とに、収縮を生じさせる電圧を交互に印加すると、一方の変位発生部の長さと他方の変位発生部の長さとの比率が変化し、これによって両変位発生部はアクチュエータの面内において同方向に撓む。この撓みによって、固定部43に対し可動部44が、電圧無印加時の位置を中央として図中矢印方向に揺動することになる。この揺動は、可動部44が、変位発生部41の伸縮方向に対しほぼ直交する方向に弧状の軌跡を描く変位であり、揺動方向はアクチュエータの面内に存在する。したがって、電磁変換素子も弧状の軌跡を描いて揺動することになる。このとき、電圧と分極とは向きが同じなので、分極減衰のおそれがなく、好ましい。なお、両変位発生部に交互に印加する電圧が変位発生部を伸長させるものであっても、同様な揺動が生じる。
【0017】
図示するアクチュエータでは、両変位発生部に、互いに逆の変位が生じるような電圧を同時に印加してもよい。すなわち、一方の変位発生部と他方の変位発生部とに、一方が伸長したとき他方が収縮し、一方が収縮したとき他方が伸長するような交番電圧を同時に印加してもよい。このときの可動部44の揺動は、電圧無印加時の位置を中央とするものとなる。この場合、駆動電圧を同じとしたときの揺動の振幅は、電圧を交互に印加する上記場合の約2倍となる。ただし、この場合、揺動の一方の側では変位発生部を伸長させることになり、このときの駆動電圧は分極の向きと逆となる。このため、印加電圧が高い場合や継続的に電圧印加を行う場合には、圧電・電歪材料の分極が減衰するおそれがある。したがって、分極と同じ向きに一定の直流バイアス電圧を加えておき、このバイアス電圧に前記交番電圧を重畳したものを駆動電圧とすることにより、駆動電圧の向きが分極の向きと逆になることがないようにする。この場合の揺動は、バイアス電圧だけを印加したときの位置を中央とするものとなる。
【0018】
図示するアクチュエータは、所定箇所に電極層を設けた圧電・電歪材料の板状体に孔部および切り欠きを形成することにより、変位発生部41、固定部43および可動部44を一体的に形成した構造となっている。したがって、アクチュエータの剛性および寸法精度を高くでき、組立誤差が生じる心配もない。また、アクチュエータ製造に接着剤を用いないため、変位発生部の変形によって応力が生じる部分に接着剤層が存在しない。このため、接着剤層による伝達ロスや、接着強度の経年変化などの問題も生じない。
【0019】
本明細書において圧電・電歪材料とは、逆圧電効果または電歪効果により伸縮する材料を意味する。圧電・電歪材料は、上述したようなアクチュエータの変位発生部に適用可能な材料であれば何であってもよいが、剛性が高いことから、通常、PZT[Pb(Zr,Ti)O]、PT(PbTiO)、PLZT[(Pb,La)(Zr,Ti)O]、チタン酸バリウム(BaTiO)等のセラミックス圧電・電歪材料が好ましい。アクチュエータをセラミックス圧電・電歪材料から構成する場合、シート法や印刷法等の厚膜法を用いて容易に製造できる。なお、アクチュエータは、薄膜法により作製することもできる。圧電・電歪材料が結晶構造を有する場合、多結晶体であっても単結晶体であってもよい。
【0020】
電極層の形成方法は特に限定されず、圧電・電歪材料層の形成方法を考慮して、導電性ペーストの印刷、焼成や、スパッタ、蒸着等の各種方法から適宜選択すればよい。
【0021】
アクチュエータは、変位発生部に、両側を電極層に挟まれた圧電・電歪材料層が少なくとも1層存在する構成であればよいが、好ましくは、このような圧電・電歪材料層が2層以上積層された積層型のものであることが好ましい。圧電・電歪材料層の伸縮量は電界強度に比例するが、上記積層型とすれば、圧電・電歪材料層が薄くなるので、必要な電界強度が低電圧で得られるようになり、駆動電圧を低減できる。また、単層構造の場合と同じ駆動電圧とすれば、より大きな伸縮量が得られる。圧電・電歪材料層の厚さは特に限定されず、駆動電圧や、必要とされる伸縮量、製造しやすさ等の各種条件に応じて適宜決定すればよいが、通常、5〜50μm程度であることが好ましい。圧電・電歪材料層の積層数の上限は特になく、目的とする厚さの変位発生部が得られるように適宜決定すればよい。なお、最も外側にある電極層のさらに外側には、通常、カバー部としての圧電・電歪材料層が設けられる。
【0022】
スライダ2は、電気抵抗が比較的低いセラミックス、例えばAl−TiCやMn−Znフェライトなどから構成される。スライダ2の一側面には、絶縁層を介して磁性コアやコイルなどが設けられて電磁変換素子1を構成している。
【0023】
なお、図示はしていないが、サスペンション3の表面には、アクチュエータ4を駆動するための配線パターンや、電磁変換素子1に接続される配線パターンが必要に応じて形成される。また、サスペンション3表面に、ヘッドドライブ用のICチップ(リードライトIC)を搭載してもよい。信号処理ICをサスペンション上に設ければ、電磁変換素子から信号処理ICまでの配線パターンの長さを短くできるので、誘導成分が減って共振周波数を高くすることができる。
【0024】
本発明は、図11に示す構造の一体型アクチュエータを利用する場合に好適であるが、このほか、圧電素子を用いる組立構造の各種アクチュエータ、静電気力を用いるアクチュエータ、電磁力を用いるアクチュエータ等のいずれを利用する場合にも適用できる。
【0025】
サスペンション3は、一般に、ステンレス鋼等の弾性を有する金属材料から構成するが、樹脂等の絶縁性材料から構成してもよい。一方、配線パターンは、その一部を、樹脂被覆によって導体線を覆う構造とし、これをサスペンション表面に密着させることが一般的である。このような構造の配線パターンの形成方法は特に限定されないが、例えば、サスペンション3の表面に絶縁膜として樹脂膜を形成し、この上に導体線を形成し、さらに、保護膜として樹脂膜を形成する方法を用いたり、このような樹脂膜と導体線との積層体からなる配線用フィルム(フレキシブル配線基板)を、サスペンション3に接着したりする方法を利用する。
【0026】
本発明では、上述したような構成を有する磁気ヘッド支持機構において、スライダを接地することにより電磁変換素子の静電破壊を防ぐ。以下、本発明および参考例におけるスライダの接地について具体的に説明する。
【0027】
第1の態様(参考例)では、アクチュエータによるスライダの変位方向に可動および/または変形可能な電気的接続部材により、サスペンションが有する接地領域とスライダとが電気的に接続される。
【0028】
第1の態様の構成例を図1に示す。図1は、サスペンション3に、アクチュエータ4を介してスライダ2を取り付けた状態を示す側面図である。アクチュエータ4の固定部43とサスペンション3との接着およびアクチュエータ4の可動部44とスライダ2との接着には、いずれも接着剤7aが利用されている。サスペンション3は金属等の導電性材料から構成され、接地電位に保たれている。したがって、ここではサスペンション3自体が上記接地領域となる。スライダ2とサスペンション3とは、柔軟性の高いリード線8により電気的に接続され、スライダ2に発生した静電気はリード線8を経てサスペンション3に流れる。なお、スライダ2およびサスペンション3に対するリード線8の電気的接続は、それぞれ導電性接着剤7bによりなされている。
【0029】
第1の態様の他の構成例を図2に示す。図2は、サスペンション3に、アクチュエータ4を介してスライダ2を取り付けた状態を、サスペンション3のディスク媒体対向面側から見た平面図である。図2では、サスペンション3表面に接地用配線90が形成され、その一端に上記接地領域である接地用電極91が接続されている。接地用配線90の他端は、接地電位の導電体(HDDの筐体など)に接続されている。接地用電極91とスライダ2とは、柔軟性の高いリード線8により電気的に接続されているので、スライダ2は接地されていることになる。なお、スライダ2および接地用電極91に対するリード線8の電気的接続は、それぞれ導電性接着剤7bによりなされている。図中の符号52は、2本の信号用配線と1本の接地用配線とからなるアクチュエータ駆動用配線であり、サスペンション3表面に密着して設けられている。また、図中の符号51は、電磁変換素子を電気的に接続する信号用配線であり、サスペンション3の図中裏面側からサスペンション3の先端を回り込んで、スライダ2に設けた電磁変換素子の端子電極群へと接続する。
【0030】
図1および図2では、柔軟性の高いリード線8を用いるため、スライダ2の接地がアクチュエータ4の変位を妨げることはない。また、リード線8のスライダ2への接続箇所を比較的自由に選択できる。図2に示す構成は、サスペンション3が絶縁性材料から構成されている場合にもスライダ2の接地が可能である。
【0031】
図3に、第1の態様の他の構成例を示す。図1では、スライダ2の背面側、すなわち、スライダ2のサスペンション3側の面に、アクチュエータ4を配置しているが、図3では、全体の高さを抑えるためにスライダ2の側面側にアクチュエータ4を配置している。図3におけるそのほかの構成は、図1と同様である。なお、第1の態様に限らず、本発明に包含されるすべての態様において、スライダとアクチュエータとの位置関係は図1および図3のいずれであってもよい。
【0032】
第2の態様(参考例)では、アクチュエータの少なくとも一部に導電性領域が形成されており、この導電性領域を介して、サスペンションの接地領域とスライダとが電気的に接続される。
【0033】
第2の態様の構成例を図4に示す。図4は、サスペンション3に、アクチュエータ4を介してスライダ2を取り付けた状態を示す側面図である。サスペンション3は、金属等の導電性材料から構成され、接地電位に保たれている。また、アクチュエータ4の表面には、固定部43と可動部44とを結ぶように、前記導電性領域として接地用導体9が形成されている。また、アクチュエータ4の固定部43とサスペンション3との接着およびアクチュエータ4の可動部44とスライダ2との接着には、いずれも導電性接着剤7bが利用され、これらの接着剤7bは、上記接地用導体9の一端部および他端部をそれぞれ覆っている。したがって、スライダ2は接地されていることになる。
【0034】
なお、アクチュエータの種類によっては、アクチュエータの全体または表面付近を導電性材料から構成することができる。この場合には、アクチュエータの全体または表面付近を前記導電性領域として利用し、スライダを接地することができる。
【0035】
第2の態様の他の構成例を図5に示す。図5に示すアクチュエータ4は、前記した積層型の圧電アクチュエータである。前述したように、積層型の圧電アクチュエータでは、各圧電・電歪材料層を一対の電極層が挟んだ構造になっている。図5では、この一対の電極層の一方である接地電極(図中の接地用導体9)を、スライダ2接地のための前記導電性領域として利用している。具体的には、接地用導体9の両端をアクチュエータ4の側面に露出させ、一端をサスペンション3に、他端をスライダ2に、それぞれ導電性接着剤7bにより電気的に接続することにより、スライダ2を接地している。そのほかの構成は図4と同様である。
【0036】
図4および図5では、アクチュエータ4をサスペンション3およびスライダ2にそれぞれ接着するに際し、通常の接着剤に替えて導電性接着剤を用い、かつ、アクチュエータ4の製造に際し、接地用導体9を形成ないし露出させるだけでスライダ2を接地することができる。そのため、スライダ2の接地がアクチュエータ4の変位性能を阻害することは全くない。しかも、スライダ2を接地させるために必要な工程数の増加も少なくて済む。
【0037】
なお、図4および図5では導電性接着剤だけを利用しているが、導電性接着剤は、接着性樹脂中に銀箔や炭素粉末などの導電性材料を分散させたものが一般的であり、通常の接着剤に比べ接着性が劣ることがある。したがって、必要に応じ通常の接着剤を併用してもよい。
【0038】
図6に、第2の態様の他の構成例を示す。図6では、スライダ2の電磁変換素子に電気的に接続する信号用配線を含むフレキシブル配線基板からなる配線パターンが設けられている。この配線パターンは、サスペンション3表面に密着する密着配線5Aと、サスペンション3から離れてスライダ2まで延びる浮動配線5Bとから構成される。なお、アクチュエータ駆動用配線は図示を省略してある。
【0039】
密着配線5Aと浮動配線5Bとからなる配線パターンは、まず、サスペンション3の媒体対向面にフレキシブル配線基板からなる密着配線を形成し、次いで、サスペンション3先端部を除去し、上記密着配線の一部を浮動状態とすることにより形成したものである。図示例では、あらかじめフレキシブル配線基板の先端部に、電磁変換素子との電気的接続を行うための端子電極群を形成した後、この端子電極群近傍を端子電極板32として残すように、サスペンション3先端部の一部を除去している。そして、浮動配線5Bをスライダ2側に湾曲または屈曲させて、端子電極板32の一方の面をスライダ2に他方の面をアクチュエータ4にそれぞれ接着すると共に、前記端子電極群をスライダ2の端子電極群と接続している。サスペンション3の一部除去は、例えば打ち抜きやウエットエッチングにより行うことができる。
【0040】
図6では、アクチュエータ4の接地用導体9を、スライダ2接地のための前記導電性領域として利用している点で図5と同様である。ただし、図6では、アクチュエータ4の可動部44側において、接地用導体9と端子電極板32の一方の面とを導電性接着剤7bにより接続し、さらに、端子電極板32の他方の面とスライダ2とを導電性接着剤7bにより接続している。端子電極板32はサスペンション3と同じ導電性材料から構成されているので、スライダ2とサスペンション3とを電気的に接続することができる。
【0041】
図5および図6では、導電性のサスペンション3と接地用導体9とを導電性接着剤7bにより接続することにより、これらを介してスライダ2を接地させているが、このほか、接地用導体9に接地用配線を接続して、この接地用配線をサスペンション3側に引き出す構成としてもよい。具体的には、例えば図2に示すように接地用配線を含むアクチュエータ駆動用配線52を用いればよい。その場合、接地用配線は導電性のサスペンション3に接続してもよく、接地電位の導電体(HDDの筐体など)に接続してもよい。前者の場合、図10における接地用配線90と同様に、配線パターンの途中から接地用配線を引き出してサスペンション3に接続すればよい。後者の場合、サスペンション3が導電体である必要はない。このように接地用配線を利用すれば、スライダ2を接地させるための製造工程変更を最小限に抑えることができる。また、サスペンション3に対するアクチュエータ4の接着を通常の接着剤で行うことができるため、導電性接着剤を利用する場合に比べ接着強度を高くできる。
【0042】
第3の態様(本発明)における磁気ヘッドは、電磁変換素子に電気的に接続する配線と、スライダに電気的に接続する接地用配線とを含む配線パターンを有する。この配線パターンは、サスペンションに密着する密着配線と、サスペンションから離れてスライダまで延びる浮動配線とを含み、この密着配線は、アクチュエータによるスライダの変位方向に可動および/または変形可能なものである。
【0043】
第3の態様の構成例を図7に示す。図7は、サスペンション3に、アクチュエータ4を介してスライダ2を取り付けた状態を、サスペンション3のディスク媒体対向面側から見た平面図である。
【0044】
図7では、スライダ2の電磁変換素子に電気的に接続する信号用配線51を含むフレキシブル配線基板からなる配線パターンが設けられている。この配線パターンは、サスペンション3表面に密着する密着配線5Aと、サスペンション3から離れてスライダ2まで延びる浮動配線5Bとから構成される。なお、図中の符号52は、アクチュエータ駆動用配線であり、サスペンション3表面に密着して設けられている。
【0045】
密着配線5Aと浮動配線5Bとからなる配線パターンは、まず、サスペンション3の媒体対向面にフレキシブル配線基板からなる密着配線を形成し、次いで、サスペンション3先端部を除去し、上記密着配線の一部を浮動状態とすることにより形成したものである。図示例では、あらかじめフレキシブル配線基板の先端部に4つの端子電極からなる端子電極群94を形成した後、端子電極群94近傍を端子電極板32として残すように、サスペンション3先端部の一部を除去している。そして、浮動配線5Bをスライダ2側に湾曲または屈曲させて、端子電極板32をスライダ2の図中裏面側に接着すると共に、端子電極群94をスライダ2の端子電極群と接続している。ただし、端子電極板32を形成することは必須ではなく、浮動配線5Bをスライダ2の端子電極群に直接つなぐ構成としてもよい。サスペンション3の一部除去は、例えば打ち抜きやウエットエッチングにより行うことができる。
【0046】
図7では、浮動配線5Bを、スライダ2の端子電極群と接続可能であって、かつ、その接続した状態においてアクチュエータ4によるスライダ2の変位方向に可動および/または変形可能となるように、形成する。したがって、浮動配線5Bがアクチュエータ4の変位性能を阻害することはない。
【0047】
密着配線5Aと浮動配線5Bとからなる配線パターンには、電磁変換素子に電気的に接続する信号用配線51に加え、接地用配線90が含まれる。この接地用配線90は、一端が、浮動配線5Bに形成された端子電極群94と並ぶ接地用電極91に接続され、他端が、接地電位の導電体(HDDの筐体など)に接続されている。接地用電極91は、スライダ2に導電性接着剤や金ボール等により電気的に接続されるので、スライダ2は接地されることになる。
【0048】
図7では、浮動配線5B上の接地用電極91を、スライダ2の電磁変換素子形成面に電気的に接続しているが、この面にAl−TiC等の低抵抗セラミックスが露出していない場合には、図8に示すように接地用電極91の位置を変更することにより、低抵抗セラミックスが露出している側面に接続することができる。また、図9に示すように、浮動配線5B上の接地用電極91とスライダ2とを、リード線8により接続する構成とすれば、スライダ2への接続箇所を比較的自由に選択することができる。
【0049】
第3の態様では、上記した浮動配線5Bのような柔軟性をもつ配線を用いてスライダ2を接地させるため、スライダ2の接地がアクチュエータ4の変位性能を阻害することはほとんどない。また、スライダ2を接地させるに際し、アクチュエータ4の構造を変更する必要がない。また、他の態様に比べ工程数が少なくて済み、生産工程の自動化にも適している。
【0050】
図10に、第3の態様の他の構成例を示す。図10では、密着配線5Aから接地用配線90を引き出し、その端部を導電性接着剤7bによりサスペンション3に固定している。この構造とする場合には、サスペンション3を導電性材料から構成する。図10におけるそのほかの構成は、図8と同様である。
【0051】
なお、第3の態様では、サスペンション3の媒体と対向しない表面に密着配線5Aを形成し、この密着配線5Aに連続する浮動配線5Bが、サスペンション3を乗り越えてスライダ2に到達する構成としてもよい。
【0052】
第4の態様(本発明)における磁気ヘッドでは、サスペンションの先端部がスライダ側に湾曲または屈曲し、かつ、前記先端部が、アクチュエータによるスライダの変位方向に可動および/または変形可能な可撓領域を有する。この可撓領域の表面には配線パターンが密着しており、この配線パターンは、電磁変換素子に電気的に接続する配線と、スライダに電気的に接続する接地用配線とを含む。
【0053】
第4の態様の磁気ヘッドは、上記第3の態様の磁気ヘッドと類似の方法により作製することができる。例えば第3の態様を示す図7では、端子電極板32とサスペンション3との間を完全に除去しているが、第4の態様の磁気ヘッドを作製する場合には、端子電極板32とサスペンション3との間を完全には除去せずに、その一部を、上記配線パターンが密着した状態で残すようにすればよい。そして、この端子電極板が、図7に示す端子電極板32と同様にアクチュエータ4を越えてスライダ2に届くように、サスペンション先端部を湾曲または屈曲させればよい。このような構成とする場合、サスペンション先端部は、上記のように湾曲または屈曲させることが可能であって、かつ、アクチュエータによるスライダの変位方向に可動および/または変形が可能な程度に剛性が低い必要がある。このように剛性が低い可撓領域は、上記したように密着配線を形成してからサスペンション先端部の両側をエッチングすることによって形成できるが、先端部の剛性が低くなる形状にあらかじめ加工されているサスペンションを用いてもよい。なお、第4の態様においても、第3の態様と同様に端子電極板32は必須ではない。
【0054】
以上では、記録/再生ヘッドのうちHDDの磁気ヘッドについて述べたが、本発明は光ディスク装置にも適用できる。従来の光ディスク装置では、少なくともレンズを有する光学モジュールを備えた光ピックアップを利用している。この光ピックアップは、光ディスクの記録面に焦点が合うようにレンズが機械的に制御されるものである。しかし、最近、光ディスクの記録密度を飛躍的に高める方法として、ニア・フィールド記録が提案されており[NIKKEI ELECTRONICS 1997.6.16(no.691),p.99]、このニア・フィールド記録では、浮上型ヘッドを用いる。この浮上型ヘッドは、浮上型磁気ヘッドと同様なスライダを用い、このスライダに、SIL(solid immersion lens)と呼ばれる半球状のレンズと、磁界変調記録用コイルと、プリフォーカスレンズとを有する光学モジュールを組み込んだものである。ニア・フィールド記録用の浮上型ヘッドは、米国特許第5,497,359号明細書にも記載されている。このような浮上型ヘッドでは、HDD用の磁気ヘッドと同様に高記録密度化に伴ってトラッキング精度の向上が必要とされるため、微小変位アクチュエータが有効である。したがって、本発明は、このような光記録媒体用の記録/再生ヘッド(光学ヘッド)にも適用することができる。
【0055】
より一般的にいうと、本発明が適用できる光学ヘッドは、上記した磁気ヘッドと同様なスライダを有し、このスライダに光学モジュールを組み込むか、スライダ自体を光学モジュールから構成したものである。光学モジュールは少なくともレンズを有し、さらに、必要に応じてレンズアクチュエータや磁界発生用コイルなどが組み込まれる。このような光学ヘッドとしては、上記したニア・フィールド記録用の浮上型ヘッドのほか、スライダが記録媒体表面を摺動するような光学ヘッド、すなわち疑似接触型や接触型の光学ヘッドが挙げられる。本発明を光学ヘッドに適用した場合については、上記説明において電磁変換素子を光学モジュールと読み替えれば、容易に理解できる。なお、本発明は、磁気ヘッドにおいても疑似接触型や接触型のものに適用することができる。
【0056】
本明細書では、記録/再生ヘッドを、記録再生ヘッドと記録専用ヘッドと再生専用ヘッドとを含む概念とし、記録/再生装置も同様に、記録再生装置と記録専用装置と再生専用装置とを含む概念とする。また、記録媒体も、記録可能媒体に限らず、例えば再生専用光ディスクなどのように再生専用型の媒体を含む概念とする。
【0057】
【発明の効果】
本発明の記録/再生ヘッド支持機構では、アクチュエータの変位性能を阻害することなくスライダを接地することができるので、電磁変換素子や光学モジュールの位置決め精度を犠牲にすることなく、これらの静電破壊を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の態様の磁気ヘッドの構成例を示し、サスペンションにアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す側面図である。
【図2】第1の態様の磁気ヘッドの他の構成例を示し、サスペンションの媒体対向面にアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す平面図である。
【図3】第1の態様の磁気ヘッドの他の構成例を示し、サスペンションにアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す側面図である。
【図4】第2の態様の磁気ヘッドの構成例を示し、サスペンションにアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す側面図である。
【図5】第2の態様の磁気ヘッドの他の構成例を示し、サスペンションにアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す側面図である。
【図6】第2の態様の磁気ヘッドの他の構成例を示し、サスペンションにアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す側面図である。
【図7】第3の態様の磁気ヘッドの構成例を示し、サスペンションの媒体対向面にアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す平面図である。
【図8】第3の態様の磁気ヘッドの他の構成例を示し、サスペンションの媒体対向面にアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す平面図である。
【図9】第3の態様の磁気ヘッドの他の構成例を示し、サスペンションの媒体対向面にアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す平面図である。
【図10】第3の態様の磁気ヘッドの他の構成例を示し、サスペンションの媒体対向面にアクチュエータを介してスライダを取り付けた状態を示す平面図である。
【図11】磁気ヘッド支持機構の構成例を示す分解斜視図である。
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a recording / reproducing head support mechanism in a recording / reproducing apparatus such as a hard disk drive (hereinafter abbreviated as HDD) or an optical disk drive, and a recording / reproducing apparatus having the recording / reproducing head supporting mechanism.
[0002]
[Prior art]
A conventional magnetic head support mechanism used for an HDD generally supports a slider provided with an electromagnetic transducer by a suspension and has a wiring pattern connected to the electromagnetic transducer.
[0003]
The electromagnetic conversion element has a magnetic pole and a coil for mutually converting an electric signal and a magnetic signal, and, in addition to these, a magnetoresistive element for converting a magnetic signal into a voltage signal, and the like. It is formed by a thin film forming technique, an assembly processing technique, or the like. The slider is Al 2 O 3 -TiC and CaTiO 3 It is composed of a magnetic material such as non-magnetic ceramics or ferrite, and its shape is almost a rectangular parallelepiped. The surface (air bearing surface) facing the disk medium floats at a very small distance from the disk medium. It is processed into a shape suitable for generating pressure. The suspension supporting the slider is formed by subjecting an elastic stainless steel plate or the like to processing such as bending or punching.
[0004]
The slider may generate static electricity during actual use. This static electricity is caused by the sliding between the slider flying surface and the disk medium surface at the contact start / stop (CSS), and the flying height of the slider being extremely small with respect to the disk medium surface rotating at high speed. This occurs due to contact between the slider and the disk medium surface, friction between the slider and air, and the like.
[0005]
When static electricity is generated in the slider, an electrostatic breakdown phenomenon may occur in the electromagnetic transducer. To prevent this, in many magnetic heads, the slider is grounded (for example, JP-A-2-61810, JP-A-2-244419, and JP-A-8-111015). Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-61810 discloses a thin-film magnetic head in which a conductor electrically connected to a magnetic core provided on a slider is bonded to a gimbal portion of a suspension at a ground potential with a conductive adhesive. . Japanese Patent Laid-Open No. 2-244419 discloses that a slider side surface and a suspension are bonded with a conductive adhesive. Japanese Patent Application Laid-Open No. HEI 8-111015 describes a magnetic head device in which a ground electrode is provided on a flexible wiring board provided on a suspension, and the ground electrode is electrically connected to a slider.
[0006]
By the way, in the HDD, as the miniaturization and the recording density increase, the track density becomes higher and the track width becomes narrower. In order to improve the tracking accuracy in a high-density recording HDD, it is effective to provide an actuator for minutely displacing an electromagnetic transducer or a slider with respect to a suspension in a magnetic head. Such an actuator is described in, for example, JP-A-6-259905, JP-A-6-309822, and JP-A-8-180623.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
In a magnetic head having an actuator, when the slider is driven by the actuator, the slider is displaced relative to the suspension. Therefore, the electric wiring connecting the suspension side and the slider side may hinder this displacement.
[0008]
However, there is no description about the grounding of the slider in each of the above publications in which an actuator is provided. Therefore, there is no description of a means for grounding the slider without interfering with the displacement performance of the actuator when the actuator is interposed.
[0009]
An object of the present invention is to prevent electrostatic breakdown of an electromagnetic conversion element or an optical module without impairing the displacement performance of an actuator in a recording / reproducing head support mechanism of a magnetic disk device or an optical disk device having an actuator for minute displacement. It is.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
Such an object is achieved by the following configurations.
(1) It has a slider provided with an electromagnetic transducer or an optical module, and a suspension, and the slider is supported by the suspension via an actuator for displacing the slider.
It has a wiring pattern including a wiring electrically connected to the electromagnetic transducer or the optical module, and a ground wiring electrically connected to the slider. A recording / reproducing head support mechanism including a floating wiring extending to the slider and movable and / or deformable in the direction of displacement of the slider by the actuator.
(2) a slider provided with an electromagnetic transducer or an optical module, and a suspension, wherein the slider is supported by the suspension via an actuator for displacing the slider;
The tip of the suspension bends or bends toward the slider, and the tip has a flexible region movable and / or deformable in the direction of displacement of the slider by the actuator;
A wiring pattern is in close contact with the surface of the flexible region, and the wiring pattern includes a wiring that electrically connects to the electromagnetic transducer or the optical module and a ground wiring that electrically connects to the slider. Reproduction head support mechanism.
(3) The recording / reproducing head support mechanism according to the above (1) or (2), wherein the suspension is made of a conductive material, and the ground wiring is drawn out from the wiring pattern and is electrically connected to the suspension.
(4) A recording / reproducing apparatus having the recording / reproducing head support mechanism according to any one of (1) to (3).
[0011]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
The recording / reproducing head support mechanism of the present invention has a slider provided with an electromagnetic transducer or an optical module, and a suspension, and the slider is supported by the suspension via an actuator for displacing the slider. . Hereinafter, an example in which the present invention is applied to a magnetic head in which an electromagnetic transducer is provided on a slider will be described.
[0012]
First, representative configurations of the suspension, the actuator, and the slider will be described.
[0013]
FIG. 11 is an exploded perspective view showing a configuration example of a magnetic head support mechanism having an actuator. This magnetic head support mechanism has a slider 2 provided with an electromagnetic transducer 1 and a suspension 3 supporting the slider 2, and an actuator 4 is provided between the slider 2 and the suspension 3.
[0014]
The actuator 4 is for slightly displacing the slider 2 with respect to the suspension 3, and is fixed to a gimbal portion 3a provided at the end of the suspension 3 by bonding or the like. The gimbal portion 3a is formed by providing a groove by etching or punching for the purpose of causing the slider to follow the surface of the disk medium. The magnetic head is also provided with a main actuator (VCM or the like) for driving the entire suspension.
[0015]
The actuator 4 has a fixed part 43 and a movable part 44, and further has two rod-shaped displacement generating parts 41, 41 connecting these parts. The displacement generating section 41 is provided with at least one piezoelectric / electrostrictive material layer having an electrode layer on both sides, and is configured to generate expansion and contraction by applying a voltage to the electrode layer. The piezoelectric / electrostrictive material layer is made of a piezoelectric / electrostrictive material that expands and contracts by an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect. One end of the displacement generating section 41 is connected to the suspension via the fixed section 43, and the other end of the displacement generating section 41 is connected to the slider via the movable section 44. The electromagnetic transducer is displaced in an arc shape so as to intersect the recording track of the disk medium.
[0016]
In the actuator 4, in the displacement generating section 41, when the piezoelectric / electrostrictive material layer is made of a so-called piezoelectric material such as PZT, the piezoelectric / electrostrictive material layer is usually subjected to a polarization treatment for improving the displacement performance. It has been subjected. The polarization direction by this polarization processing is the thickness direction of the actuator. When the direction of the electric field when a voltage is applied to the electrode layer matches the direction of polarization, the piezoelectric / electrostrictive material layer between the two electrodes extends in the thickness direction (piezoelectric longitudinal effect), and in the in-plane direction, Shrink (piezoelectric lateral effect). On the other hand, when the direction of the electric field is opposite to the direction of polarization, the piezoelectric / electrostrictive material layer contracts in its thickness direction (piezoelectric longitudinal effect) and elongates in its in-plane direction (piezoelectric transverse effect). When a voltage that causes contraction is alternately applied to one of the displacement generators and the other, the ratio between the length of one displacement generator and the length of the other displacement generator changes. As a result, the two displacement generating portions bend in the same direction in the plane of the actuator. Due to this bending, the movable portion 44 swings relative to the fixed portion 43 in a direction indicated by an arrow in FIG. This swing is a displacement in which the movable section 44 draws an arc-shaped trajectory in a direction substantially perpendicular to the direction of expansion and contraction of the displacement generating section 41, and the swing direction exists in the plane of the actuator. Therefore, the electromagnetic transducer also swings along an arc-shaped trajectory. At this time, since the direction of the voltage is the same as that of the polarization, there is no fear of the polarization decay, which is preferable. Note that even if the voltage applied alternately to both the displacement generators causes the displacement generators to extend, similar swinging occurs.
[0017]
In the illustrated actuator, voltages that cause opposite displacement may be simultaneously applied to both displacement generating units. That is, an alternating voltage may be simultaneously applied to one displacement generating unit and the other displacement generating unit such that when one expands, the other contracts, and when one contracts, the other expands. The swing of the movable portion 44 at this time is centered on the position when no voltage is applied. In this case, the amplitude of the swing when the driving voltage is the same is about twice as large as the above case where the voltage is applied alternately. However, in this case, the displacement generating portion is extended on one side of the swing, and the driving voltage at this time is opposite to the direction of the polarization. Therefore, when the applied voltage is high or when the voltage is continuously applied, the polarization of the piezoelectric / electrostrictive material may be attenuated. Therefore, by applying a constant DC bias voltage in the same direction as the polarization and superimposing the alternating voltage on the bias voltage as the drive voltage, the direction of the drive voltage may be opposite to the direction of the polarization. Not to be. In this case, the swing is centered on the position when only the bias voltage is applied.
[0018]
The illustrated actuator forms the displacement generating section 41, the fixed section 43, and the movable section 44 integrally by forming a hole and a notch in a plate-shaped body of a piezoelectric / electrostrictive material provided with an electrode layer at a predetermined position. It has a formed structure. Therefore, the rigidity and dimensional accuracy of the actuator can be increased, and there is no fear that an assembly error occurs. Further, since no adhesive is used for manufacturing the actuator, no adhesive layer is present in a portion where stress is generated by deformation of the displacement generating portion. Therefore, problems such as transmission loss due to the adhesive layer and aging of the adhesive strength do not occur.
[0019]
In this specification, a piezoelectric / electrostrictive material means a material that expands and contracts due to an inverse piezoelectric effect or an electrostrictive effect. The piezoelectric / electrostrictive material may be any material as long as it can be applied to the displacement generating portion of the actuator as described above. However, because of its high rigidity, PZT [Pb (Zr, Ti) O 3 ], PT (PbTiO 3 ), PLZT [(Pb, La) (Zr, Ti) O 3 ], Barium titanate (BaTiO 3 ) Are preferred. When the actuator is made of a ceramic piezoelectric / electrostrictive material, it can be easily manufactured using a thick film method such as a sheet method or a printing method. Note that the actuator can also be manufactured by a thin film method. When the piezoelectric / electrostrictive material has a crystal structure, it may be a polycrystal or a single crystal.
[0020]
The method for forming the electrode layer is not particularly limited, and may be appropriately selected from various methods such as printing, baking, sputtering, and vapor deposition of a conductive paste in consideration of the method for forming the piezoelectric / electrostrictive material layer.
[0021]
The actuator may have a configuration in which at least one piezoelectric / electrostrictive material layer sandwiched between electrode layers on both sides is present in the displacement generating section, and preferably, two such piezoelectric / electrostrictive material layers are provided. It is preferable to be a laminated type laminated as described above. The amount of expansion and contraction of the piezoelectric / electrostrictive material layer is proportional to the electric field strength. However, if the above-mentioned laminated type is used, the piezoelectric / electrostrictive material layer becomes thin, so that the required electric field strength can be obtained at a low voltage, and the Voltage can be reduced. If the same driving voltage is used as in the case of the single-layer structure, a larger amount of expansion and contraction can be obtained. The thickness of the piezoelectric / electrostrictive material layer is not particularly limited, and may be appropriately determined according to various conditions such as a driving voltage, a required amount of expansion and contraction, and ease of manufacturing, but is usually about 5 to 50 μm. It is preferable that There is no particular upper limit on the number of stacked piezoelectric / electrostrictive material layers, and the upper limit may be appropriately determined so that a displacement generating portion having a desired thickness is obtained. Note that a piezoelectric / electrostrictive material layer as a cover portion is usually provided further outside the outermost electrode layer.
[0022]
The slider 2 is made of a ceramic having a relatively low electric resistance, for example, Al. 2 O 3 -Composed of TiC or Mn-Zn ferrite. A magnetic core, a coil, and the like are provided on one side surface of the slider 2 with an insulating layer interposed therebetween, thereby forming the electromagnetic transducer 1.
[0023]
Although not shown, a wiring pattern for driving the actuator 4 and a wiring pattern connected to the electromagnetic transducer 1 are formed on the surface of the suspension 3 as necessary. Further, an IC chip (read / write IC) for head drive may be mounted on the surface of the suspension 3. If the signal processing IC is provided on the suspension, the length of the wiring pattern from the electromagnetic transducer to the signal processing IC can be reduced, so that the inductive component is reduced and the resonance frequency can be increased.
[0024]
The present invention is suitable for the case of using an integrated actuator having the structure shown in FIG. 11, but may be any of various actuators having an assembly structure using a piezoelectric element, an actuator using an electrostatic force, an actuator using an electromagnetic force, and the like. It can also be applied when using.
[0025]
The suspension 3 is generally made of an elastic metal material such as stainless steel, but may be made of an insulating material such as a resin. On the other hand, it is general that the wiring pattern has a structure in which a part of the wiring pattern is covered with a resin coating, and the wiring is closely attached to the suspension surface. The method of forming the wiring pattern having such a structure is not particularly limited. For example, a resin film is formed as an insulating film on the surface of the suspension 3, a conductor line is formed thereon, and a resin film is formed as a protective film. Or a method of bonding a wiring film (flexible wiring board) formed of a laminate of such a resin film and a conductor wire to the suspension 3.
[0026]
According to the present invention, in the magnetic head supporting mechanism having the above-described configuration, the slider is grounded to prevent the electromagnetic transducer from being electrostatically damaged. Hereinafter, the grounding of the slider according to the present invention and the reference example will be specifically described.
[0027]
In the first mode (reference example), the slider is electrically connected to the ground region of the suspension by an electrical connection member movable and / or deformable in the direction of displacement of the slider by the actuator.
[0028]
FIG. 1 shows a configuration example of the first embodiment. FIG. 1 is a side view showing a state where the slider 2 is attached to the suspension 3 via the actuator 4. The adhesive 7a is used for bonding between the fixed part 43 of the actuator 4 and the suspension 3 and bonding between the movable part 44 of the actuator 4 and the slider 2. The suspension 3 is made of a conductive material such as a metal and is kept at a ground potential. Therefore, the suspension 3 itself is the above-mentioned ground region here. The slider 2 and the suspension 3 are electrically connected by a highly flexible lead 8, and static electricity generated in the slider 2 flows to the suspension 3 via the lead 8. The electrical connection of the lead wire 8 to the slider 2 and the suspension 3 is made by a conductive adhesive 7b.
[0029]
FIG. 2 shows another configuration example of the first embodiment. FIG. 2 is a plan view showing a state where the slider 2 is attached to the suspension 3 via the actuator 4 as viewed from the disk medium facing surface side of the suspension 3. In FIG. 2, a grounding wire 90 is formed on the surface of the suspension 3, and one end of the wire 90 is connected to a grounding electrode 91 which is the grounding region. The other end of the ground wiring 90 is connected to a conductor having a ground potential (such as a housing of an HDD). Since the ground electrode 91 and the slider 2 are electrically connected by the highly flexible lead wire 8, the slider 2 is grounded. The electrical connection of the lead wire 8 to the slider 2 and the ground electrode 91 is made by a conductive adhesive 7b. Reference numeral 52 in the figure denotes an actuator driving wiring including two signal wirings and one ground wiring, and is provided in close contact with the surface of the suspension 3. Reference numeral 51 in the figure denotes a signal wiring for electrically connecting the electromagnetic transducers. The signal wire 51 extends around the front end of the suspension 3 from the back side of the suspension 3 in the figure, and is provided on the slider 2. Connect to terminal electrode group.
[0030]
In FIGS. 1 and 2, the grounding of the slider 2 does not hinder the displacement of the actuator 4 because the lead wire 8 having high flexibility is used. Further, the connection point of the lead wire 8 to the slider 2 can be selected relatively freely. The configuration shown in FIG. 2 allows the slider 2 to be grounded even when the suspension 3 is made of an insulating material.
[0031]
FIG. 3 shows another configuration example of the first mode. In FIG. 1, the actuator 4 is arranged on the rear side of the slider 2, that is, on the surface of the slider 2 on the suspension 3 side. In FIG. 3, the actuator 4 is arranged on the side surface of the slider 2 in order to suppress the entire height. 4 are arranged. Other configurations in FIG. 3 are the same as those in FIG. It should be noted that the positional relationship between the slider and the actuator may be any of FIGS. 1 and 3 in all aspects included in the present invention, not limited to the first aspect.
[0032]
In the second aspect (reference example), a conductive region is formed in at least a part of the actuator, and the ground region of the suspension and the slider are electrically connected through the conductive region.
[0033]
FIG. 4 shows a configuration example of the second mode. FIG. 4 is a side view showing a state where the slider 2 is attached to the suspension 3 via the actuator 4. The suspension 3 is made of a conductive material such as a metal and is kept at a ground potential. On the surface of the actuator 4, a grounding conductor 9 is formed as the conductive region so as to connect the fixed part 43 and the movable part 44. In addition, a conductive adhesive 7b is used for bonding the fixed part 43 of the actuator 4 to the suspension 3 and bonding the movable part 44 of the actuator 4 to the slider 2, and these adhesives 7b are connected to the ground. One end and the other end of the conductor for use 9 are respectively covered. Therefore, the slider 2 is grounded.
[0034]
Note that, depending on the type of the actuator, the entirety or the vicinity of the surface of the actuator can be made of a conductive material. In this case, the slider can be grounded by using the whole or near the surface of the actuator as the conductive region.
[0035]
FIG. 5 shows another configuration example of the second embodiment. The actuator 4 shown in FIG. 5 is the above-described laminated piezoelectric actuator. As described above, the laminated piezoelectric actuator has a structure in which each piezoelectric / electrostrictive material layer is sandwiched between a pair of electrode layers. In FIG. 5, a ground electrode (ground conductor 9 in the figure) which is one of the pair of electrode layers is used as the conductive region for grounding the slider 2. Specifically, both ends of the grounding conductor 9 are exposed on the side surface of the actuator 4, and one end is electrically connected to the suspension 3 and the other end is electrically connected to the slider 2 by a conductive adhesive 7 b, respectively. Is grounded. Other configurations are the same as those in FIG.
[0036]
4 and 5, in bonding the actuator 4 to the suspension 3 and the slider 2, respectively, a conductive adhesive is used instead of a normal adhesive, and the grounding conductor 9 is not formed or formed when the actuator 4 is manufactured. The slider 2 can be grounded only by exposing it. Therefore, the grounding of the slider 2 does not hinder the displacement performance of the actuator 4 at all. In addition, an increase in the number of steps required to ground the slider 2 can be reduced.
[0037]
In FIGS. 4 and 5, only the conductive adhesive is used, but the conductive adhesive is generally obtained by dispersing a conductive material such as silver foil or carbon powder in an adhesive resin. However, the adhesiveness may be inferior to that of a normal adhesive. Therefore, a normal adhesive may be used in combination as needed.
[0038]
FIG. 6 shows another configuration example of the second mode. In FIG. 6, a wiring pattern formed of a flexible wiring board including signal wiring electrically connected to the electromagnetic transducer of the slider 2 is provided. This wiring pattern is composed of a contact wiring 5A that is in close contact with the surface of the suspension 3 and a floating wiring 5B that extends from the suspension 3 to the slider 2. The actuator drive wiring is not shown.
[0039]
The wiring pattern including the contact wiring 5A and the floating wiring 5B is formed by first forming a contact wiring made of a flexible wiring substrate on the medium facing surface of the suspension 3, and then removing the tip of the suspension 3 to form a part of the contact wiring. In a floating state. In the illustrated example, a terminal electrode group for making an electrical connection with the electromagnetic transducer is formed in advance on the distal end of the flexible wiring board, and the suspension 3 is formed so that the vicinity of the terminal electrode group is left as the terminal electrode plate 32. Part of the tip is removed. Then, the floating wiring 5B is bent or bent toward the slider 2 to bond one surface of the terminal electrode plate 32 to the slider 2 and the other surface to the actuator 4, and to connect the terminal electrode group to the terminal electrode of the slider 2. Connected to a group. Partial removal of the suspension 3 can be performed by, for example, punching or wet etching.
[0040]
FIG. 6 is similar to FIG. 5 in that the grounding conductor 9 of the actuator 4 is used as the conductive region for grounding the slider 2. However, in FIG. 6, on the movable portion 44 side of the actuator 4, the grounding conductor 9 and one surface of the terminal electrode plate 32 are connected by the conductive adhesive 7 b, and further, the other surface of the terminal electrode plate 32 is connected to the other surface. The slider 2 is connected to the slider 2 by a conductive adhesive 7b. Since the terminal electrode plate 32 is made of the same conductive material as the suspension 3, the slider 2 and the suspension 3 can be electrically connected.
[0041]
In FIGS. 5 and 6, the slider 2 is grounded by connecting the conductive suspension 3 and the grounding conductor 9 with the conductive adhesive 7b. And a ground wire may be connected to the suspension 3. Specifically, for example, as shown in FIG. 2, an actuator driving wiring 52 including a ground wiring may be used. In this case, the ground wiring may be connected to the conductive suspension 3 or may be connected to a conductor at the ground potential (such as an HDD housing). In the former case, similarly to the ground wiring 90 in FIG. 10, the ground wiring may be drawn out of the wiring pattern and connected to the suspension 3. In the latter case, the suspension 3 does not need to be a conductor. By using the ground wiring in this way, it is possible to minimize a change in the manufacturing process for grounding the slider 2. Further, since the actuator 4 can be bonded to the suspension 3 with a normal adhesive, the bonding strength can be increased as compared with the case where a conductive adhesive is used.
[0042]
The magnetic head according to the third aspect (the present invention) has a wiring pattern including a wiring electrically connected to the electromagnetic transducer and a ground wiring electrically connected to the slider. The wiring pattern includes a close wiring that closely contacts the suspension and a floating wiring that extends from the suspension to the slider, and the close wiring is movable and / or deformable in the direction of displacement of the slider by the actuator.
[0043]
FIG. 7 shows a configuration example of the third mode. FIG. 7 is a plan view showing a state in which the slider 2 is attached to the suspension 3 via the actuator 4 as viewed from the disk medium facing surface side of the suspension 3.
[0044]
In FIG. 7, a wiring pattern formed of a flexible wiring board including a signal wiring 51 electrically connected to the electromagnetic transducer of the slider 2 is provided. This wiring pattern is composed of a contact wiring 5A that is in close contact with the surface of the suspension 3 and a floating wiring 5B that extends from the suspension 3 to the slider 2. Reference numeral 52 in the drawing denotes an actuator drive wiring, which is provided in close contact with the surface of the suspension 3.
[0045]
The wiring pattern including the contact wiring 5A and the floating wiring 5B is formed by first forming a contact wiring made of a flexible wiring substrate on the medium facing surface of the suspension 3, and then removing the tip of the suspension 3 to form a part of the contact wiring. In a floating state. In the illustrated example, a terminal electrode group 94 composed of four terminal electrodes is formed in advance at the distal end of the flexible wiring board, and then a part of the distal end of the suspension 3 is partially removed so that the vicinity of the terminal electrode group 94 is left as the terminal electrode plate 32. Has been removed. Then, the floating wiring 5B is bent or bent toward the slider 2, the terminal electrode plate 32 is adhered to the rear surface side of the slider 2 in the drawing, and the terminal electrode group 94 is connected to the terminal electrode group of the slider 2. However, it is not essential to form the terminal electrode plate 32, and the floating electrode 5B may be directly connected to the terminal electrode group of the slider 2. Partial removal of the suspension 3 can be performed by, for example, punching or wet etching.
[0046]
In FIG. 7, the floating wiring 5B is formed so as to be connectable to the terminal electrode group of the slider 2 and to be movable and / or deformable in the displacement direction of the slider 2 by the actuator 4 in the connected state. I do. Therefore, the floating wiring 5B does not hinder the displacement performance of the actuator 4.
[0047]
The wiring pattern including the close contact wiring 5A and the floating wiring 5B includes a ground wiring 90 in addition to the signal wiring 51 electrically connected to the electromagnetic transducer. One end of the grounding wire 90 is connected to a grounding electrode 91 aligned with the terminal electrode group 94 formed on the floating wire 5B, and the other end is connected to a conductor having a ground potential (such as a housing of an HDD). ing. Since the ground electrode 91 is electrically connected to the slider 2 by a conductive adhesive, a gold ball, or the like, the slider 2 is grounded.
[0048]
In FIG. 7, the ground electrode 91 on the floating wiring 5B is electrically connected to the surface of the slider 2 where the electromagnetic transducer is formed. 2 O 3 When the low-resistance ceramic such as TiC is not exposed, by changing the position of the grounding electrode 91 as shown in FIG. 8, it is possible to connect to the side where the low-resistance ceramic is exposed. Further, as shown in FIG. 9, if the ground electrode 91 on the floating wiring 5B and the slider 2 are connected by the lead wire 8, the connection point to the slider 2 can be selected relatively freely. it can.
[0049]
In the third aspect, since the slider 2 is grounded using a flexible wiring such as the floating wiring 5B described above, the grounding of the slider 2 hardly hinders the displacement performance of the actuator 4. When the slider 2 is grounded, it is not necessary to change the structure of the actuator 4. In addition, the number of steps is smaller than in other aspects, which is suitable for automation of a production process.
[0050]
FIG. 10 shows another configuration example of the third mode. In FIG. 10, the ground wiring 90 is pulled out from the close-contact wiring 5A, and its end is fixed to the suspension 3 with the conductive adhesive 7b. In the case of this structure, the suspension 3 is made of a conductive material. Other configurations in FIG. 10 are the same as those in FIG.
[0051]
In the third embodiment, the contact wiring 5A may be formed on the surface of the suspension 3 not facing the medium, and the floating wiring 5B connected to the contact wiring 5A may pass over the suspension 3 and reach the slider 2. .
[0052]
In the magnetic head according to the fourth aspect (the present invention), the distal end of the suspension bends or bends toward the slider, and the distal end has a flexible region movable and / or deformable in the direction of displacement of the slider by the actuator. Having. A wiring pattern is in close contact with the surface of the flexible region, and the wiring pattern includes a wiring electrically connected to the electromagnetic transducer and a ground wiring electrically connected to the slider.
[0053]
The magnetic head of the fourth embodiment can be manufactured by a method similar to that of the magnetic head of the third embodiment. For example, in FIG. 7 showing the third embodiment, the space between the terminal electrode plate 32 and the suspension 3 is completely removed. However, when the magnetic head of the fourth embodiment is manufactured, the terminal electrode plate 32 and the suspension 3 are removed. 3 may not be completely removed, and a part thereof may be left in a state where the wiring pattern is in close contact. Then, like the terminal electrode plate 32 shown in FIG. 7, the distal end of the suspension may be bent or bent so as to reach the slider 2 beyond the actuator 4. In the case of such a configuration, the suspension distal end can be bent or bent as described above, and has low rigidity to the extent that it can be moved and / or deformed in the direction of displacement of the slider by the actuator. There is a need. Such a flexible region having low rigidity can be formed by forming the close contact wiring as described above and then etching both sides of the suspension distal end portion, but is processed in advance into a shape that reduces the rigidity of the distal end portion. A suspension may be used. Note that, also in the fourth embodiment, the terminal electrode plate 32 is not essential as in the third embodiment.
[0054]
In the above, the magnetic head of the HDD among the recording / reproducing heads has been described. 2. Description of the Related Art A conventional optical disk device utilizes an optical pickup including an optical module having at least a lens. In this optical pickup, the lens is mechanically controlled so that the recording surface of the optical disc is focused. However, recently, near field recording has been proposed as a method for dramatically increasing the recording density of an optical disc [NIKKEI ELECTRONICS 1997.6.16 (No. 691), p. 99] In this near-field recording, a flying head is used. This flying type head uses a slider similar to the flying type magnetic head, and the slider has an optical module having a hemispherical lens called SIL (solid immersion lenses), a magnetic field modulation recording coil, and a prefocus lens. It incorporates A flying head for near field recording is also described in US Pat. No. 5,497,359. In such a flying head, since a tracking accuracy needs to be improved with an increase in recording density as in the case of a magnetic head for an HDD, a minute displacement actuator is effective. Therefore, the present invention can be applied to such a recording / reproducing head (optical head) for an optical recording medium.
[0055]
More generally, an optical head to which the present invention can be applied has a slider similar to the above-described magnetic head, and incorporates an optical module into this slider or constitutes the slider itself from the optical module. The optical module has at least a lens, and further incorporates a lens actuator, a magnetic field generating coil, and the like as necessary. As such an optical head, in addition to the above-described floating head for near-field recording, an optical head in which a slider slides on the surface of a recording medium, that is, a pseudo contact type or contact type optical head is exemplified. The case where the present invention is applied to an optical head can be easily understood by replacing the electromagnetic transducer with an optical module in the above description. In addition, the present invention can be applied to a pseudo contact type or a contact type magnetic head.
[0056]
In the present specification, the recording / reproducing head is a concept including a recording / reproducing head, a recording-only head, and a reproducing-only head, and a recording / reproducing device similarly includes a recording / reproducing device, a recording-only device, and a reproducing-only device. Concept. Further, the recording medium is not limited to a recordable medium, but includes a read-only medium such as a read-only optical disk.
[0057]
【The invention's effect】
According to the recording / reproducing head support mechanism of the present invention, the slider can be grounded without hindering the displacement performance of the actuator. Therefore, the electrostatic breakdown of the electromagnetic transducer or the optical module can be achieved without sacrificing the positioning accuracy. Can be prevented.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view showing a configuration example of a magnetic head according to a first embodiment, showing a state where a slider is attached to a suspension via an actuator.
FIG. 2 is a plan view showing another configuration example of the magnetic head according to the first embodiment, showing a state in which a slider is attached to a medium facing surface of a suspension via an actuator.
FIG. 3 is a side view showing another configuration example of the magnetic head of the first embodiment, showing a state where a slider is attached to a suspension via an actuator.
FIG. 4 is a side view showing a configuration example of a magnetic head according to a second embodiment, showing a state where a slider is attached to a suspension via an actuator.
FIG. 5 is a side view showing another configuration example of the magnetic head of the second embodiment, showing a state where a slider is attached to a suspension via an actuator.
FIG. 6 is a side view showing another configuration example of the magnetic head of the second embodiment, showing a state where a slider is attached to a suspension via an actuator.
FIG. 7 is a plan view showing a configuration example of a magnetic head according to a third embodiment, showing a state where a slider is attached to a medium facing surface of a suspension via an actuator.
FIG. 8 is a plan view showing another configuration example of the magnetic head according to the third embodiment, showing a state where a slider is attached to a medium facing surface of a suspension via an actuator.
FIG. 9 is a plan view showing another configuration example of the magnetic head according to the third embodiment, showing a state in which a slider is attached to a medium facing surface of a suspension via an actuator.
FIG. 10 is a plan view showing another configuration example of the magnetic head according to the third embodiment, showing a state where a slider is attached to a medium facing surface of a suspension via an actuator.
FIG. 11 is an exploded perspective view showing a configuration example of a magnetic head support mechanism.

Claims (4)

電磁変換素子または光学モジュールが設けられたスライダと、サスペンションとを有し、スライダがこれを変位させるためのアクチュエータを介してサスペンションに支持されており、
電磁変換素子または光学モジュールに電気的に接続する配線と、スライダに電気的に接続する接地用配線とを含む配線パターンを有し、この配線パターンが、サスペンションに密着する密着配線と、サスペンションから離れてスライダまで延び、アクチュエータによるスライダの変位方向に可動および/または変形可能な浮動配線とを含む記録/再生ヘッド支持機構。
A slider provided with an electromagnetic transducer or an optical module, and a suspension, wherein the slider is supported by the suspension via an actuator for displacing the slider;
It has a wiring pattern including a wiring electrically connected to the electromagnetic transducer or the optical module, and a ground wiring electrically connected to the slider. A recording / reproducing head support mechanism including a floating wiring extending to the slider and movable and / or deformable in the direction of displacement of the slider by the actuator.
電磁変換素子または光学モジュールが設けられたスライダと、サスペンションとを有し、スライダがこれを変位させるためのアクチュエータを介してサスペンションに支持されており、
サスペンションの先端部がスライダ側に湾曲または屈曲し、かつ、前記先端部が、アクチュエータによるスライダの変位方向に可動および/または変形可能な可撓領域を有し、
この可撓領域の表面に配線パターンが密着しており、この配線パターンが、電磁変換素子または光学モジュールに電気的に接続する配線と、スライダに電気的に接続する接地用配線とを含む記録/再生ヘッド支持機構。
A slider provided with an electromagnetic transducer or an optical module, and a suspension, wherein the slider is supported by the suspension via an actuator for displacing the slider;
The tip of the suspension bends or bends toward the slider, and the tip has a flexible region movable and / or deformable in the direction of displacement of the slider by the actuator;
A wiring pattern is in close contact with the surface of the flexible region, and the wiring pattern includes a wiring that electrically connects to the electromagnetic transducer or the optical module and a ground wiring that electrically connects to the slider. Reproduction head support mechanism.
サスペンションが導電性材料から構成され、前記配線パターンから前記接地用配線が引き出されてサスペンションに電気的に接続されている請求項1または2の記録/再生ヘッド支持機構。3. The recording / reproducing head support mechanism according to claim 1, wherein the suspension is made of a conductive material, and the ground wiring is drawn out from the wiring pattern and is electrically connected to the suspension. 請求項1〜3のいずれかの記録/再生ヘッド支持機構を有する記録/再生装置。A recording / reproducing apparatus having the recording / reproducing head support mechanism according to claim 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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