JP2003124153A - Dicer sheet sticking method - Google Patents
Dicer sheet sticking methodInfo
- Publication number
- JP2003124153A JP2003124153A JP2001321833A JP2001321833A JP2003124153A JP 2003124153 A JP2003124153 A JP 2003124153A JP 2001321833 A JP2001321833 A JP 2001321833A JP 2001321833 A JP2001321833 A JP 2001321833A JP 2003124153 A JP2003124153 A JP 2003124153A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- work
- dicer
- head
- dicer sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はダイサーシート貼り
付け方法、特にダイサーカットされるセラミックスウエ
ハやシリコンウエハなどのワークをダイサーシートに貼
り付けるための方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for attaching a dicer sheet, and more particularly to a method for attaching a work such as a ceramic wafer or a silicon wafer to be dicer cut to a dicer sheet.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、セラミックスウエハやシリコンウ
エハから多数のチップを切り出す際にダイサーカットが
行なわれる。ダイサーカットでは、図６に示すように、
被加工物であるワークＷをダイサーシート１０の粘着面
に貼り付けるとともに、ダイサーシート１０の裏面をエ
アチャックテーブル１１に吸着保持し、外周刃砥石を持
つブレード１２を一定位置で回転させ、テーブル１１を
水平方向へ移動させることで、ワークＷを切り込んでカ
ットする。ダイサーシート１０は、ワークＷをカットす
る際、ブレード１２がテーブル１１を傷つけるのを防止
し、切断したワークＷが飛び散るのを防止するものであ
る。2. Description of the Related Art Conventionally, dicer cutting is performed when cutting a large number of chips from a ceramics wafer or a silicon wafer. In the dicer cut, as shown in FIG.
The work W, which is a workpiece, is attached to the adhesive surface of the dicer sheet 10, and the back surface of the dicer sheet 10 is adsorbed and held on the air chuck table 11, and the blade 12 having the outer peripheral blade grindstone is rotated at a fixed position, and the table 11 is rotated. Is moved in the horizontal direction to cut and cut the work W. The dicer sheet 10 prevents the blade 12 from damaging the table 11 when cutting the work W, and prevents the cut work W from scattering.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ワークＷとダイサーシ
ート１０との間に気泡が入ると、ワークＷがダイサーシ
ート１０に安定に保持されず、カット時にチッピングな
どの不具合を生じる。そこで、ワークＷとシート１０と
の間に気泡を発生させずに貼り付ける方法が提案されて
いる。When air bubbles enter between the work W and the dicer sheet 10, the work W is not stably held on the dicer sheet 10 and problems such as chipping occur during cutting. Therefore, a method of adhering the work W and the sheet 10 without generating bubbles has been proposed.
【０００４】図７はローラ２０を用いた貼り付け方法で
あり、保持台２１上にワークＷを載置し、その上にダイ
サーシート１０を粘着面を下方に向けて載置し、その上
からローラ２０で押しつけることにより、内部の気泡を
外へ押し出しながら貼り付ける方法である。しかし、こ
のローラ２０による貼り付け方法では、ローラ２０が接
触する部分に局所的な力が加わり、ワークＷに大きなス
トレスが加わる。そのため、ワークＷの割れや欠けが発
生しやすい。FIG. 7 shows a sticking method using a roller 20, in which a work W is placed on a holding table 21, and a dicer sheet 10 is placed on the holding table 21 with its adhesive surface facing downward. This is a method in which the air bubbles inside are pushed out by pressing with the roller 20 and then pasted. However, in the sticking method using the roller 20, a local force is applied to a portion where the roller 20 comes into contact, and a great stress is applied to the work W. Therefore, the work W is easily cracked or chipped.
【０００５】その解決策として、図８のような減圧によ
るシート貼り付け方法が提案されている。この方法は、
チャンバー２２内を減圧することで、シート１０を引き
込み、ワークＷに貼り付ける方法である（特開平９−１
２９５７６号公報）。しかし、シート１０を撓ませるた
めのチャンバー２２が必要であり、チャンバー２２内部
の圧力を減圧する量をコントロールしなければならず、
装置が複雑化する問題があった。また、減圧を複数ステ
ップで行うため、貼り付けるための時間が長くかかって
いた。As a solution to this problem, a sheet attaching method using reduced pressure as shown in FIG. 8 has been proposed. This method
By depressurizing the inside of the chamber 22, the sheet 10 is drawn in and attached to the work W (JP-A-9-1).
No. 29576). However, the chamber 22 for flexing the sheet 10 is required, and the amount of reducing the pressure inside the chamber 22 must be controlled,
There was a problem that the device became complicated. In addition, since the depressurization is performed in a plurality of steps, it takes a long time to paste.
【０００６】さらに、図９のような通気性を持つ特殊シ
ート１０を使用する方法も提案されている（特開平８−
５５８２４号公報）。この方法では、気泡２３がシート
１０を通って自然に消失するが、シート１０の基材、粘
着材に制限が生じたり、コスト上昇を招く欠点があっ
た。Further, a method of using a special sheet 10 having air permeability as shown in FIG. 9 has also been proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 8-
55824). In this method, the bubbles 23 spontaneously disappear through the sheet 10, but there are drawbacks that the base material and the adhesive material of the sheet 10 are limited and the cost is increased.
【０００７】そこで、本発明の目的は、ワークに局所的
な力を加えず、簡単な装置でかつ低コストで気泡を発生
させずにダイサーシートに貼り付けることができるダイ
サーシート貼り付け方法を提供することにある。[0007] Therefore, an object of the present invention is to provide a dicer sheet sticking method capable of sticking to a dicer sheet without applying a local force to a work, with a simple device and at low cost without generating bubbles. To do.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的は請求項１〜３
に記載の発明によって達成される。すなわち、請求項１
に係る発明は、ダイサーカットされるワークとダイサー
シートとの貼り付け方法であって、凸のＲ面を持ち、こ
のＲ面に真空吸引穴を設けた弾性体よりなるヘッドに、
上記ワークを上記Ｒ面に沿うように吸着保持する工程
と、上記ヘッドのＲ面の頂点部分に保持されたワークの
中央部分を、平坦なシート保持台に支持されたダイサー
シートの粘着面に押しつける工程と、上記ヘッドのＲ面
部分を撓ませながらダイサーシートに対して押し付け、
上記ワークの中央部分から周辺部分に向かってダイサー
シートの粘着面に押しつける工程と、上記ヘッドの吸着
保持を解除する工程と、上記ワークをダイサーシートの
粘着面に貼り付けた状態でヘッドをワークから離す工程
と、を有するダイサーシート貼り付け方法である。ま
た、請求項２に係る発明は、ダイサーカットされるワー
クとダイサーシートとの貼り付け方法であって、凸のＲ
面を持ち、このＲ面に真空吸引穴を設けた弾性体よりな
るシート保持台に、上記ダイサーシートを上記Ｒ面に沿
うように、かつ粘着面が表面に露出するように吸着保持
する工程と、上記シート保持台のＲ面の頂点部分に吸着
保持されたダイサーシートの粘着面部分に、平坦なヘッ
ドに保持されたワークの中央部分を押しつける工程と、
上記シート保持台のＲ面部分を撓ませながらワークをダ
イサーシートに対して押し付け、上記ワークの中央部分
から周辺部分に向かってダイサーシートの粘着面に押し
つける工程と、上記シート保持台の吸着保持を解除する
工程と、上記ワークをダイサーシートの粘着面に貼り付
けた状態でヘッドをワークから離す工程と、を有するダ
イサーシート貼り付け方法である。さらに、請求項３に
係る発明は、ダイサーカットされるワークとダイサーシ
ートとの貼り付け方法であって、複数のエアー吹き出し
穴を設けたシート保持台に上記ダイサーシートを粘着面
が表面に露出するように配置する工程と、上記エアー吹
き出し穴からエアーを吹き出し、ダイサーシートの中央
部分をドーム状に膨らませる工程と、上記ダイサーシー
トのドーム状に膨らんだ粘着面の頂点部分に、平坦なヘ
ッドに保持されたワークの中央部分を押しつける工程
と、上記ダイサーシートのドーム状部分を撓ませながら
ワークをダイサーシートに対して押し付け、上記ワーク
の中央部分から周辺部分に向かってダイサーシートの粘
着面に押しつける工程と、上記エアー吹き出し穴からの
エアー吹き出しを停止する工程と、上記ワークをダイサ
ーシートの粘着面に貼り付けた状態でヘッドをワークか
ら離す工程と、を有するダイサーシート貼り付け方法で
ある。The above-mentioned objects are defined in claims 1 to 3.
It is achieved by the invention described in. That is, claim 1
The invention according to claim 1 is a method for attaching a work to be dicer cut and a dicer sheet, wherein a head made of an elastic body having a convex R surface and a vacuum suction hole provided on the R surface is provided.
Step of adsorbing and holding the work along the R surface, and pressing the central portion of the work held at the apex portion of the R surface of the head against the adhesive surface of the dicer sheet supported by the flat sheet holding table. Process and pressing against the dicer sheet while bending the R surface part of the head,
A step of pressing the adhesive surface of the dicer sheet from the central portion of the work toward the peripheral portion, a step of releasing the suction holding of the head, and the head from the work with the work attached to the adhesive surface of the dicer sheet. And a step of releasing the dicer sheet. The invention according to claim 2 is a method of attaching a work to be dicer cut and a dicer sheet, wherein the convex R
A step of holding the dicer sheet by suction on a sheet holder made of an elastic material having a surface and having a vacuum suction hole on the R surface so that the dicer sheet is along the R surface and the adhesive surface is exposed on the surface. Pressing the central portion of the work held by a flat head against the adhesive surface portion of the dicer sheet suction-held on the apex portion of the R surface of the sheet holding table,
The step of pressing the work against the dicer sheet while bending the R surface portion of the sheet holding base, and pressing the work from the central portion of the work toward the peripheral portion to the adhesive surface of the dicer sheet, and the suction holding of the sheet holding base. It is a method of attaching a dicer sheet, which includes a step of releasing the head and a step of separating the head from the work while the work is attached to the adhesive surface of the dicer sheet. Further, the invention according to claim 3 is a method of attaching a work to be dicer cut and a dicer sheet, wherein the adhesive surface of the dicer sheet is exposed on the surface of a sheet holding table provided with a plurality of air blowing holes. So as to blow air from the air blowing hole to inflate the central portion of the dicer sheet into a dome shape, and the apex portion of the dome-shaped adhesive surface of the dicer sheet, to a flat head. The step of pressing the central part of the held work and pressing the work against the dicer sheet while bending the dome-shaped part of the dicer sheet, and pressing it from the central part of the work toward the peripheral part to the adhesive surface of the dicer sheet Process, stopping the air blowing from the air blowing hole, and dicing the workpiece. A step of separating the head from the workpiece in a state of being attached to the adhesive surface of the sheet, a dicer sheet paste method with.
【０００９】請求項１におけるダイサーシート貼り付け
方法の手順について説明する。まず、凸のＲ面を持ち、
このＲ面に真空吸引穴を設けた弾性体よりなるヘッドを
準備する。Ｒ面の曲率半径は、吸着すべきワークの材質
によって変更可能であるが、セラミックスウエハのよう
に脆弱なワークの場合には、Ｒ面の曲率半径をできるだ
け大きくするのがよい。このヘッドのＲ面にワークを吸
着保持することにより、ワークはＲ面にそって湾曲す
る。次に、ヘッドのＲ面の頂点部分に保持されたワーク
の中央部分を、平坦なシート保持台に支持されたダイサ
ーシートの粘着面に押しつける。ワークはＲ面に沿って
湾曲しているので、その中央部を始点としてダイサーシ
ートの粘着面に押しつけられる。ワークをダイサーシー
トに押しつけるに従い、ヘッドはダイサーシートを支持
するシート保持台からの反力により、Ｒ面に頂点部分か
ら押し撓められる。そして、ワークは一気にダイサーシ
ートに貼り付けられるのではなく、中央部から周辺部に
かけて徐々に貼り付けられるので、ワークとダイサーシ
ートとの間の空気が外側へ押し出され、ワークとダイサ
ーシートとの間に気泡が発生しない。ワークの全面をダ
イサーシートに接着した後、ヘッドの吸着保持を解除す
る。これにより、ワークはヘッドから分離可能となる。
ワークをダイサーシートの粘着面に貼り付けた状態でヘ
ッドをワークから離すと、上記のようにワークはダイサ
ーシートに貼り付けられた状態で残り、貼り付け作業を
終了する。The procedure of the method for attaching a dicer sheet according to claim 1 will be described. First, having a convex R surface,
An elastic head having a vacuum suction hole on the R surface is prepared. The radius of curvature of the R surface can be changed depending on the material of the work to be attracted, but in the case of a fragile work such as a ceramic wafer, it is preferable to make the radius of curvature of the R surface as large as possible. By sucking and holding the work on the R surface of the head, the work bends along the R surface. Next, the central portion of the work held at the apex of the R surface of the head is pressed against the adhesive surface of the dicer sheet supported by the flat sheet holding table. Since the work is curved along the R surface, it is pressed against the adhesive surface of the dicer sheet starting from the center thereof. As the work is pressed against the dicer sheet, the head is pushed and bent from the apex portion to the R surface by the reaction force from the sheet holding table that supports the dicer sheet. Then, the work is not attached to the dicer sheet all at once, but is gradually attached from the central portion to the peripheral portion, so that the air between the work and the dicer sheet is pushed out, and the work and the dicer sheet are separated. No bubbles are generated in After adhering the entire surface of the work to the dicer sheet, the suction holding of the head is released. This allows the work to be separated from the head.
When the head is separated from the work in a state where the work is attached to the adhesive surface of the dicer sheet, the work remains in the state where the work is attached to the dicer sheet as described above, and the attachment work is completed.
【００１０】上記のようにＲ状に撓んだワークの中央部
から周辺部へと接着面が拡大するようにダイサーシート
に貼り付けられるので、ワークとダイサーシートとの間
に気泡が発生しない。また、ローラを用いる方法のよう
に、ワークに局所的な力を加えずに済み、しかも弾性体
よりなるヘッドとシート支持台とを用いるだけであるか
ら、簡単な装置でかつ低コストでダイサーシートに貼り
付けることができる。As described above, the R-shaped work is attached to the dicer sheet so that the adhesion surface is expanded from the central portion to the peripheral portion, so that no bubbles are generated between the work and the dicer sheet. Further, unlike the method using a roller, it is not necessary to apply a local force to the work, and since only the head made of an elastic body and the sheet support are used, the dicer sheet is a simple device and can be manufactured at low cost. Can be pasted on.
【００１１】請求項２の場合は、ワークをＲ状に湾曲さ
せるのではなく、ダイサーシートをＲ状に湾曲させて保
持する点で請求項１と異なる。すなわち、凸のＲ面を持
ち、このＲ面に真空吸引穴を設けた弾性体よりなるシー
ト保持台に、ダイサーシートをＲ面に沿うように、かつ
粘着面が表面に露出するように吸着保持する。次に、シ
ート保持台のＲ面の頂点部分に吸着保持されたダイサー
シートの粘着面部分に、平坦なヘッドに保持されたワー
クの中央部分を押しつける。そして、シート保持台のＲ
面部分を撓ませながらワークをダイサーシートに対して
押し付け、ワークの中央部分から周辺部分に向かってダ
イサーシートの粘着面に押しつける。これにより、ワー
クとダイサーシートとの間に気泡を包み込まずに、ワー
クをダイサーシートに貼り付けることができる。その
後、シート保持台の吸着保持を解除し、ワークをダイサ
ーシートの粘着面に貼り付けた状態でヘッドをワークか
ら離す。The second aspect differs from the first aspect in that the work is not curved in an R shape, but the dicer sheet is curved in an R shape and held. That is, the dicer sheet is adsorbed and held on a sheet holder made of an elastic body having a convex R surface and a vacuum suction hole provided on the R surface so that the dicer sheet is along the R surface and the adhesive surface is exposed on the surface. To do. Next, the central portion of the work held by the flat head is pressed against the adhesive surface portion of the dicer sheet sucked and held on the apex portion of the R surface of the sheet holding table. And R of the sheet holding table
The work is pressed against the dicer sheet while bending the surface portion, and pressed against the adhesive surface of the dicer sheet from the center portion of the work toward the peripheral portion. Thereby, the work can be attached to the dicer sheet without enclosing air bubbles between the work and the dicer sheet. Then, the suction holding of the sheet holding table is released, and the head is separated from the work while the work is attached to the adhesive surface of the dicer sheet.
【００１２】請求項３の場合は、ワークをＲ状に湾曲さ
せるのではなく、ダイサーシートをＲ状に湾曲させる点
で請求項２と同様であるが、ダイサーシートを空気で膨
らませる点で請求項２と異なる。すなわち、複数のエア
ー吹き出し穴を設けたシート保持台にダイサーシートを
粘着面が表面に露出するように配置し、エアー吹き出し
穴からエアーを吹き出し、ダイサーシートの中央部分を
ドーム状に膨らませる。次に、ダイサーシートのドーム
状に膨らんだ粘着面の頂点部分に、平坦なヘッドに保持
されたワークの中央部分を押しつける。そして、ダイサ
ーシートのドーム状部分を撓ませながらワークをダイサ
ーシートに対して押し付け、ワークの中央部分から周辺
部分に向かってダイサーシートの粘着面に押しつける。
これにより、ワークとダイサーシートとの間に気泡を包
み込まずに、ワークをダイサーシートに貼り付けること
ができる。そして、エアー吹き出し穴からのエアー吹き
出しを停止し、ワークをダイサーシートの粘着面に貼り
付けた状態でヘッドをワークから離す。この場合には、
ワークは平坦なヘッドによって湾曲されずに保持される
ので、ワークに余計な負荷が掛からない。The third aspect is the same as the second aspect in that the work is not curved in an R shape but the dicer sheet is curved in an R shape, but the dicer sheet is inflated with air. Different from item 2. That is, a dicer sheet is arranged on a sheet holding table provided with a plurality of air blowing holes so that the adhesive surface is exposed on the surface, and air is blown from the air blowing holes to inflate the central portion of the dicer sheet into a dome shape. Next, the central portion of the work held by the flat head is pressed against the apex portion of the dome-shaped adhesive surface of the dicer sheet. Then, the work is pressed against the dicer sheet while bending the dome-shaped portion of the dicer sheet, and pressed against the adhesive surface of the dicer sheet from the central portion of the work toward the peripheral portion.
Thereby, the work can be attached to the dicer sheet without enclosing air bubbles between the work and the dicer sheet. Then, the air blowing from the air blowing hole is stopped, and the head is separated from the work while the work is attached to the adhesive surface of the dicer sheet. In this case,
Since the work is held by the flat head without being bent, an unnecessary load is not applied to the work.
【００１３】本発明のＲ面とは、円筒状Ｒ面のほか、球
Ｒ面であってもよい。また、Ｒ面とは真円の円弧面であ
る必要はなく、２次曲線的な変形した円弧面を含むもの
である。このような変形円弧面であっても同様の効果を
有する。The R surface of the present invention may be a spherical R surface as well as a cylindrical R surface. Further, the R surface does not have to be a perfect circular arc surface, but includes a quadratic curved deformed arc surface. Even such a deformed arc surface has the same effect.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】図１は本発明によるダイサーシー
ト貼り付け装置の第１実施例を示す。Ｗはワークであ
り、ここでは薄板状のセラミック基板を用いた。１は下
面に凸のＲ面１ａを持つヘッドであり、このヘッド１は
少なくとも上下に昇降できる駆動装置２の下面に固定さ
れている。ヘッド１は例えば柔らかいゴム弾性を有する
弾性体で構成されている。ヘッド１には、Ｒ面１ａに開
口する多数の吸引穴１ｂが設けられており、これら吸引
穴１ｂは図示しない真空吸引装置に接続されている。ワ
ークＷはヘッド１のＲ面１ａに吸着保持されており、Ｒ
面１ａに沿うように湾曲している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows a first embodiment of a dicer sheet sticking apparatus according to the present invention. W is a work, and a thin ceramic substrate was used here. Reference numeral 1 is a head having a convex R surface 1a on its lower surface, and this head 1 is fixed to at least the lower surface of a drive device 2 which can be moved up and down. The head 1 is made of, for example, an elastic body having soft rubber elasticity. The head 1 is provided with a large number of suction holes 1b that open to the R surface 1a, and these suction holes 1b are connected to a vacuum suction device (not shown). The work W is adsorbed and held on the R surface 1a of the head 1,
It is curved so as to follow the surface 1a.
【００１５】シート保持台３は平坦な上面を有する剛体
またはヘッド１より高硬度の材料よりなり、上面には複
数の吸引穴３ａが開口している。シート保持台３の上
に、粘着面を上側にしたダイサーシート４が真空吸引に
より保持されている。シート保持台３は、例えばエアチ
ャックテーブルと兼用してもよい。ダイサーシート４
は、周知のようにＰＥＴなどの樹脂基材シートの片面に
例えば感圧型の粘着剤層を設けたものである。The sheet holding base 3 is made of a rigid body having a flat upper surface or a material having a hardness higher than that of the head 1, and a plurality of suction holes 3a are opened in the upper surface. A dicer sheet 4 having an adhesive surface on the upper side is held on the sheet holding table 3 by vacuum suction. The sheet holding table 3 may also be used as an air chuck table, for example. Dicer sheet 4
As is well known, a pressure-sensitive adhesive layer, for example, is provided on one surface of a resin base material sheet such as PET.
【００１６】図２において、ワークＷとして例えば５０
μｍの厚みで一辺が３０ｍｍの正方形状の圧電セラミッ
ク基板を用いた場合、ヘッド１のＲ面１ａを例えばＲ１
３０以上の曲率半径の大きな曲面とし、ヘッド１のゴム
硬度を３０度以下にするのが望ましい。ワークＷをＲ面
１ａに吸着した状態で、ワークＷの中央部が下方へ湾曲
するが、その中央部と周辺部との高さの差は約０．９ｍ
ｍ程度である。そのため、ワークＷに過大な曲げ応力が
かからず、ワークＷの割れを防止できる。In FIG. 2, the work W is, for example, 50.
When a square piezoelectric ceramic substrate having a thickness of μm and a side of 30 mm is used, the R surface 1a of the head 1 is, for example, R1.
It is preferable that the curved surface has a large radius of curvature of 30 or more and the rubber hardness of the head 1 is 30 degrees or less. While the work W is attracted to the R surface 1a, the central portion of the work W bends downward, but the height difference between the central portion and the peripheral portion is about 0.9 m.
It is about m. Therefore, excessive bending stress is not applied to the work W, and the work W can be prevented from cracking.
【００１７】ここで、上記ダイサーシート貼り付け方法
について、図１，図３に従って説明する。まず、図１の
（ａ）のようにヘッド１のＲ面１ａにワークＷを吸着保
持した状態で、ヘッド１の下方にダイサーシート４を保
持したシート保持台３を移動させる。次に、図１の
（ｂ）のように駆動装置２によってヘッド１を降下さ
せ、ヘッド１のＲ面１ａの頂点部分に保持されたワーク
Ｗの中央部分を、シート保持台３に保持されたダイサー
シート４の粘着面に押しつける。ヘッド１は弾性体より
なり、シート保持台３は剛体よりなるので、ヘッド１の
Ｒ面１ａは中央部から順に押し撓められ、これに従って
ワークＷも中央部からダイサーシート４に押しつけられ
る。図１の（ｃ）のように、ヘッド１をさらに降下さ
せ、シート保持台３に対して押し付けると、ワークＷの
中央部分から周辺部分に向かってダイサーシート４の粘
着面に押しつけられる。ワークＷとダイサーシート４と
が加圧されていく段階で、ワークＷは一気にダイサーシ
ート４に貼り付けられるのではなく、図３に示すよう
に、ヘッド１の弾性により中央部から周辺部にかけて徐
々に貼り付けられる。そのため、ワークＷとダイサーシ
ート４との間の空気が外周部へ押し出され、ワークＷと
ダイサーシート４との間に気泡を包み込まない。このよ
うにして、ワークＷはその全面でダイサーシート４に貼
り付けられる。この段階で、ヘッド１の吸引穴１ｂから
の真空吸引を停止する。次に、図１の（ｄ）のようにヘ
ッド１を上昇させると、ヘッド１には既に吸引力はな
く、ワークＷはダイサーシート４に全面で貼り付けられ
ているので、ワークＷはダイサーシート４上に残り、ヘ
ッド１だけが上昇する。こうして貼り付け作業が終了す
る。Here, a method for attaching the dicer sheet will be described with reference to FIGS. First, as shown in FIG. 1A, with the work W sucked and held on the R surface 1a of the head 1, the sheet holding table 3 holding the dicer sheet 4 is moved below the head 1. Next, as shown in FIG. 1B, the head 1 is lowered by the driving device 2, and the central portion of the work W held at the apex portion of the R surface 1 a of the head 1 is held by the sheet holding table 3. Press on the adhesive surface of the dicer sheet 4. Since the head 1 is made of an elastic body and the sheet holding base 3 is made of a rigid body, the R surface 1a of the head 1 is pushed and bent in order from the central portion, and the work W is also pressed against the dicer sheet 4 from the central portion accordingly. As shown in FIG. 1C, when the head 1 is further lowered and pressed against the sheet holding table 3, the work W is pressed against the adhesive surface of the dicer sheet 4 from the central portion to the peripheral portion. At the stage where the work W and the dicer sheet 4 are pressurized, the work W is not attached to the dicer sheet 4 at once, but as shown in FIG. 3, due to the elasticity of the head 1, the work W gradually moves from the central portion to the peripheral portion. Pasted on. Therefore, the air between the work W and the dicer sheet 4 is pushed out to the outer peripheral portion, and air bubbles are not enclosed between the work W and the dicer sheet 4. In this way, the work W is attached to the dicer sheet 4 over its entire surface. At this stage, vacuum suction from the suction hole 1b of the head 1 is stopped. Next, when the head 1 is lifted as shown in FIG. 1D, the head 1 has no suction force and the work W is attached to the entire surface of the dicer sheet 4. 4 remains and only head 1 rises. Thus, the pasting work is completed.
【００１８】図４は本発明によるダイサーシート貼り付
け装置の第２実施例を示す。図１と同一部分には同一符
号を付して重複説明を省略する。（ａ）のように、ヘッ
ド１の下面には平坦面１ｃが形成され、この平坦面１ｃ
に開口する吸引穴１ｂによってワークＷが吸着保持され
ている。ヘッド１は剛体またはシート保持台３より高硬
度の材料で形成されている。一方、シート保持台３は柔
らかな弾性体で構成されており、その中央部上面に凸の
Ｒ面３ｂが設けられている。このＲ面３ｂは、第１実施
例におけるヘッド１のＲ面１ａと同様な曲率に形成する
のがよい。シート保持台３上にはダイサーシート４が粘
着面を上側に向けて配置され、吸引穴３ａによって吸着
保持されている。そのため、ダイサーシート４はＲ面３
ｂに沿って上側へ湾曲している。（ｂ）のように、駆動
装置２によりヘッド１を降下させる。このとき、上側へ
湾曲したダイサーシート４の頂点部分に平坦に保持され
たワークＷの下面中央部が最初に接触する。（ｃ）のよ
うに、ヘッド１をさらに降下させると、シート保持台３
のＲ面３ｂ部分を押し撓めながらワークＷは中央部から
周辺部に向かってダイサーシート４の粘着面に徐々に貼
り付けられる。そのため、ワークＷとダイサーシート４
との間の空気が外周部へ押し出され、ワークＷとダイサ
ーシート４との間に気泡を包み込まさずに貼り付けるこ
とができる。ヘッド１により平面状に押しつけた段階
で、ヘッド１の吸引穴１ｂからの真空吸引を停止する。
次に、（ｄ）のように、ヘッド１を上昇させると、ヘッ
ド１による吸引力が働かないので、ワークＷはダイサー
シート４に貼り付けられた状態で残る。なお、シート保
持台３は自身の弾性によってそのＲ面３ｂが隆起し、ダ
イサーシート４およびワークＷもＲ面３ｂに沿って湾曲
するが、Ｒ面３ｂの曲率半径が大きいので、ワークＷが
割れる心配はない。FIG. 4 shows a second embodiment of the dicer sheet sticking apparatus according to the present invention. The same parts as those in FIG. As shown in (a), a flat surface 1c is formed on the lower surface of the head 1, and the flat surface 1c is formed.
The work W is adsorbed and held by the suction hole 1b which is opened in the. The head 1 is formed of a rigid body or a material having a hardness higher than that of the sheet holding table 3. On the other hand, the sheet holding base 3 is made of a soft elastic body, and a convex R surface 3b is provided on the upper surface of the central portion thereof. The R surface 3b is preferably formed to have the same curvature as the R surface 1a of the head 1 in the first embodiment. The dicer sheet 4 is arranged on the sheet holding table 3 with the adhesive surface facing upward, and is sucked and held by the suction holes 3a. Therefore, the dicer sheet 4 has an R side 3
Curved upward along b. As shown in (b), the head 1 is lowered by the drive device 2. At this time, the central portion of the lower surface of the work W held flatly first comes into contact with the apex portion of the dicer sheet 4 curved upward. When the head 1 is further lowered as shown in (c), the sheet holding table 3
The work W is gradually attached to the adhesive surface of the dicer sheet 4 from the central portion to the peripheral portion while pressing and bending the R surface 3b portion. Therefore, work W and dicer sheet 4
The air between and is pushed out to the outer peripheral portion, so that it can be attached between the work W and the dicer sheet 4 without enclosing air bubbles. At the stage of pressing the head 1 in a plane, the vacuum suction from the suction hole 1b of the head 1 is stopped.
Next, as shown in (d), when the head 1 is raised, the suction force by the head 1 does not work, so that the work W remains attached to the dicer sheet 4. The R surface 3b of the sheet holding table 3 is raised by its own elasticity, and the dicer sheet 4 and the work W are also curved along the R surface 3b. However, since the radius of curvature of the R surface 3b is large, the work W is broken. Don't worry.
【００１９】図５は本発明によるダイサーシート貼り付
け装置の第３実施例を示す。図１と同一部分には同一符
号を付して重複説明を省略する。（ａ）のように、ヘッ
ド１の下面には平坦面１ｃが形成され、この平坦面１ｃ
に開口する吸引穴１ｂによってワークＷが吸着保持され
ている。一方、シート保持台３も平坦な表面を有してお
り、その表面に多数の空気穴３ａが開口している。シー
ト保持台３上にはダイサーシート４が粘着面を上側に向
けて配置され、周辺部の空気穴３ａ1 から吸引すること
によってダイサーシート４の周辺部が吸着保持され、中
央部の空気穴３ａ2 から空気を吹き出すことによって、
ダイサーシート４の中央部４ａがドーム状に膨らむ。そ
して、シート保持台３とダイサーシート４との間には空
気室５が形成される。次に（ｂ）のように、駆動装置２
によりヘッド１を降下させる。このとき、上側へ膨らん
だダイサーシート４の頂点部分４ａに平坦に保持された
ワークＷの下面中央部が最初に接触する。次に（ｃ）の
ように、ヘッド１をさらに降下させると、ドーム状に膨
らんだダイサーシート４の中央部４ａを押し撓めながら
ワークＷは中央部から周辺部に向かってダイサーシート
４の粘着面に徐々に貼り付けられる。そのため、ワーク
Ｗとダイサーシート４との間の空気が外周部へ押し出さ
れ、ワークＷとダイサーシート４との間に気泡を包み込
まずに貼り付けることができる。ヘッド１により平面状
に押しつけた段階で、ヘッド１の吸引穴１ｂからの真空
吸引を停止する。次に、（ｄ）のように、シート保持台
３の中央部の空気穴３ａ2 からの空気吹き出しを停止し
て吸引し、ヘッド１を上昇させると、ヘッド１による吸
引力が働かないので、ワークＷはダイサーシート４に貼
り付けられた状態で残る。ダイサーシート４およびワー
クＷはシート保持台３の平坦な表面に保持されるので、
ダイサーシート４およびワークＷが湾曲せず、ワークＷ
の割れを防止できる。FIG. 5 shows a third embodiment of the dicer sheet sticking apparatus according to the present invention. The same parts as those in FIG. As shown in (a), a flat surface 1c is formed on the lower surface of the head 1, and the flat surface 1c is formed.
The work W is adsorbed and held by the suction hole 1b which is opened in the. On the other hand, the sheet holding base 3 also has a flat surface, and a large number of air holes 3a are opened on the surface. The dicer sheet 4 is arranged on the sheet holding table 3 with the adhesive surface facing upward, and the peripheral portion of the dicer sheet 4 is sucked and held by sucking from the peripheral air holes 3a 1 and the central air holes 3a. By blowing air out of 2 ,
The central portion 4a of the dicer sheet 4 bulges like a dome. An air chamber 5 is formed between the sheet holder 3 and the dicer sheet 4. Next, as shown in FIG.
To lower the head 1. At this time, the central portion of the lower surface of the work W held flat is first contacted with the apex portion 4a of the dicer sheet 4 which bulges upward. Next, as shown in (c), when the head 1 is further lowered, the work W adheres to the dicer sheet 4 from the central portion to the peripheral portion while pushing and bending the central portion 4a of the dome-shaped dicer sheet 4. It is gradually attached to the surface. Therefore, the air between the work W and the dicer sheet 4 is pushed out to the outer peripheral portion, and the air can be stuck between the work W and the dicer sheet 4 without enclosing the air bubbles. At the stage of pressing the head 1 in a plane, the vacuum suction from the suction hole 1b of the head 1 is stopped. Next, as shown in (d), when the air blowing from the air hole 3a 2 in the central portion of the sheet holding table 3 is stopped and sucked to raise the head 1, the suction force by the head 1 does not work, The work W remains attached to the dicer sheet 4. Since the dicer sheet 4 and the work W are held on the flat surface of the sheet holding table 3,
The dicer sheet 4 and the work W do not bend, and the work W
Can be prevented from cracking.
【００２０】本発明の上記実施例に限定されるものでは
ない。例えば、ヘッドおよびシート保持台に複数の吸引
穴を設けたが、これら吸引穴に代えてヘッドおよびシー
ト保持台そのものをポーラスな材料で形成してもよい。
本発明による貼り付け方法が適用されるワークとして
は、実施例のようなセラミック基板に限るものではな
く、シリコンウエーハのような撓みにくい材料であって
もよい。The present invention is not limited to the above embodiment. For example, although the head and the sheet holding table are provided with a plurality of suction holes, the head and the sheet holding table itself may be made of a porous material instead of these suction holes.
The work to which the pasting method according to the present invention is applied is not limited to the ceramic substrate as in the embodiment, but may be a material such as a silicon wafer which is hard to bend.
【００２１】[0021]
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、請求項１
に係る発明によれば、Ｒ状に撓んだワークの中央部から
周辺部へと広がるようにダイサーシートに徐々に貼り付
けられるので、ワークとダイサーシートとの間の空気が
外側へ押し出され、ワークとダイサーシートとの間に気
泡を包み込まない。また、ローラを用いる方法のよう
に、貼り付け時の加圧力がワークの一部分に集中せず、
面で受けることができるので、ワークへの局所的なスト
レスがなく、割れや欠けの発生を防止できる。さらに、
弾性体よりなるヘッドとシート支持台とを用いるだけで
あるから、シートを撓ませるためのチャンバーや減圧制
御装置などが不要であり、装置を簡素化できるととも
に、貼り付け工程が簡単であり、貼り付け時間を短縮す
ることができる。As is apparent from the above description, claim 1
According to the invention according to, since it is gradually attached to the dicer sheet so as to spread from the central portion of the work bent in an R shape to the peripheral portion, air between the work and the dicer sheet is pushed out to the outside, Do not wrap air bubbles between the work and the dicer sheet. Also, unlike the method using a roller, the pressing force during attachment does not concentrate on a part of the work,
Since it can be received by the surface, there is no local stress on the work and cracks and chips can be prevented from occurring. further,
Since only the elastic head and sheet support are used, there is no need for a chamber for bending the sheet or a decompression control device, which simplifies the device and simplifies the attaching process. The attaching time can be shortened.
【００２２】また、請求項２に係る発明によれば、ワー
クを撓めるのではなくダイサーシートをＲ状に撓め、そ
のＲ状のダイサーシートに対してワークを中央部から周
辺部にかけて徐々に貼り付けるので、請求項１と同様に
ワークとダイサーシートとの間に気泡を包み込まず、か
つワークへの局所的なストレスもない。そして、装置も
簡素化でき、貼り付け時間を短縮できる。Further, according to the second aspect of the invention, the dicer sheet is not bent but the R-shaped dicer sheet is bent, and the R-shaped dicer sheet is gradually bent from the central portion to the peripheral portion of the workpiece. Since it is affixed to the substrate, air bubbles are not wrapped between the work and the dicer sheet as in claim 1, and there is no local stress on the work. Also, the device can be simplified and the attachment time can be shortened.
【００２３】さらに、請求項３に係る発明によれば、ダ
イサーシートをＲ状に膨らませ、この膨らんだダイサー
シートに対してワークを中央部から周辺部にかけて徐々
に貼り付けるので、請求項１と同様にワークとダイサー
シートとの間に気泡を包み込まず、かつワークへの局所
的なストレスもない。そして、装置も簡素化でき、貼り
付け時間を短縮できる。Further, according to the invention of claim 3, the dicer sheet is inflated in an R shape, and the work is gradually attached to the inflated dicer sheet from the central portion to the peripheral portion. In addition, it does not enclose air bubbles between the work and the dicer sheet, and there is no local stress on the work. Also, the device can be simplified and the attachment time can be shortened.
【図１】本発明にかかるダイサーシート貼り付け装置の
第１実施例の動作を示す工程図である。FIG. 1 is a process chart showing the operation of a first embodiment of a dicer sheet sticking apparatus according to the present invention.
【図２】Ｒ状に湾曲したワークの拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of a work curved in an R shape.
【図３】図１の一部の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a part of FIG.
【図４】本発明にかかるダイサーシート貼り付け装置の
第２実施例の動作を示す工程図である。FIG. 4 is a process chart showing the operation of the second embodiment of the dicer sheet sticking apparatus according to the present invention.
【図５】本発明にかかるダイサーシート貼り付け装置の
第３実施例の動作を示す工程図である。FIG. 5 is a process drawing showing the operation of the third embodiment of the dicer sheet sticking apparatus according to the present invention.
【図６】ダイサーカット装置の一例の概略図である。FIG. 6 is a schematic view of an example of a dicer cutting device.
【図７】従来のダイサーシート貼り付け方法の一例の図
である。FIG. 7 is a diagram showing an example of a conventional dicer sheet attaching method.
【図８】従来のダイサーシート貼り付け方法の他の例の
図である。FIG. 8 is a diagram of another example of a conventional dicer sheet attaching method.
【図９】従来のダイサーシート貼り付け方法のさらに他
の例の図である。FIG. 9 is a view of still another example of the conventional dicer sheet attaching method.
【符号の説明】 Ｗ ワーク １ ヘッド １ａ Ｒ面 １ｂ 吸引穴 ３ シート保持台 ４ ダイサーシート[Explanation of symbols] W work 1 head 1a R side 1b Suction hole 3 sheet holder 4 dicer sheet
Claims (3)
ートとの貼り付け方法であって、凸のＲ面を持ち、この
Ｒ面に真空吸引穴を設けた弾性体よりなるヘッドに、上
記ワークを上記Ｒ面に沿うように吸着保持する工程と、
上記ヘッドのＲ面の頂点部分に保持されたワークの中央
部分を、平坦なシート保持台に支持されたダイサーシー
トの粘着面に押しつける工程と、上記ヘッドのＲ面部分
を撓ませながらダイサーシートに対して押し付け、上記
ワークの中央部分から周辺部分に向かってダイサーシー
トの粘着面に押しつける工程と、上記ヘッドの吸着保持
を解除する工程と、上記ワークをダイサーシートの粘着
面に貼り付けた状態でヘッドをワークから離す工程と、
を有するダイサーシート貼り付け方法。1. A method for attaching a work to be dicer cut and a dicer sheet, wherein the work is attached to a head made of an elastic body having a convex R surface and a vacuum suction hole provided on the R surface. A step of adsorbing and holding along the R surface,
The step of pressing the central portion of the work held on the apex portion of the R surface of the head against the adhesive surface of the dicer sheet supported by the flat sheet holding base, and the dicer sheet while bending the R surface portion of the head. Pressing against, pressing the adhesive surface of the dicer sheet from the central part of the work toward the peripheral part, releasing the suction holding of the head, in a state where the work is attached to the adhesive surface of the dicer sheet. The process of separating the head from the work,
A method for attaching a dicer sheet having a.
ートとの貼り付け方法であって、凸のＲ面を持ち、この
Ｒ面に真空吸引穴を設けた弾性体よりなるシート保持台
に、上記ダイサーシートを上記Ｒ面に沿うように、かつ
粘着面が表面に露出するように吸着保持する工程と、上
記シート保持台のＲ面の頂点部分に吸着保持されたダイ
サーシートの粘着面部分に、平坦なヘッドに保持された
ワークの中央部分を押しつける工程と、上記シート保持
台のＲ面部分を撓ませながらワークをダイサーシートに
対して押し付け、上記ワークの中央部分から周辺部分に
向かってダイサーシートの粘着面に押しつける工程と、
上記シート保持台の吸着保持を解除する工程と、上記ワ
ークをダイサーシートの粘着面に貼り付けた状態でヘッ
ドをワークから離す工程と、を有するダイサーシート貼
り付け方法。2. A method of attaching a work to be cut by a dicer and a dicer sheet, wherein the dicer is attached to a sheet holding base made of an elastic body having a convex R surface and a vacuum suction hole provided on the R surface. The step of adsorbing and holding the sheet along the R surface and so that the adhesive surface is exposed on the surface, and the adhesive surface portion of the dicer sheet adsorbed and held at the apex portion of the R surface of the sheet holding base are flattened. A step of pressing the central part of the work held by a different head, and pressing the work against the dicer sheet while bending the R surface part of the sheet holding table, and moving the dicer sheet from the central part of the work toward the peripheral part. The process of pressing it on the adhesive surface,
A dicer sheet sticking method comprising: a step of releasing the suction holding of the sheet holding base; and a step of separating the head from the work in a state where the work is stuck to the adhesive surface of the dicer sheet.
ートとの貼り付け方法であって、複数のエアー吹き出し
穴を設けたシート保持台に上記ダイサーシートを粘着面
が表面に露出するように配置する工程と、上記エアー吹
き出し穴からエアーを吹き出し、ダイサーシートの中央
部分をドーム状に膨らませる工程と、上記ダイサーシー
トのドーム状に膨らんだ粘着面の頂点部分に、平坦なヘ
ッドに保持されたワークの中央部分を押しつける工程
と、上記ダイサーシートのドーム状部分を撓ませながら
ワークをダイサーシートに対して押し付け、上記ワーク
の中央部分から周辺部分に向かってダイサーシートの粘
着面に押しつける工程と、上記エアー吹き出し穴からの
エアー吹き出しを停止する工程と、上記ワークをダイサ
ーシートの粘着面に貼り付けた状態でヘッドをワークか
ら離す工程と、を有するダイサーシート貼り付け方法。3. A method of attaching a work to be cut by a dicer and a dicer sheet, wherein the step of disposing the dicer sheet on a sheet holding table provided with a plurality of air blowing holes so that the adhesive surface is exposed on the surface. And a step of blowing air from the air blowing hole to inflate the central portion of the dicer sheet in a dome shape, and the apex portion of the dome-shaped inflated adhesive surface of the dicer sheet, of the work held by a flat head. The step of pressing the central part, pressing the work against the dicer sheet while bending the dome-shaped part of the dicer sheet, pressing the work from the central part of the work toward the peripheral part to the adhesive surface of the dicer sheet, and the air The process of stopping the air blow from the blow hole and the above work on the adhesive surface of the dicer sheet. Dicer sheet pasting method having the steps of separating the head from the workpiece in a state in which Ri attached has.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001321833A JP2003124153A (en) | 2001-10-19 | 2001-10-19 | Dicer sheet sticking method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001321833A JP2003124153A (en) | 2001-10-19 | 2001-10-19 | Dicer sheet sticking method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003124153A true JP2003124153A (en) | 2003-04-25 |
Family
ID=19138981
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001321833A Pending JP2003124153A (en) | 2001-10-19 | 2001-10-19 | Dicer sheet sticking method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003124153A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005150311A (en) * | 2003-11-13 | 2005-06-09 | Nec Machinery Corp | Chip mounting method and apparatus thereof |
| JP2011040744A (en) * | 2009-08-11 | 2011-02-24 | Samsung Electronics Co Ltd | Semiconductor chip attaching apparatus and method of the same |
| JP2011199159A (en) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Nitto Denko Corp | Semiconductor wafer mounting method and semiconductor wafer mounting device |
| JP2017059581A (en) * | 2015-09-14 | 2017-03-23 | リンテック株式会社 | Sheet sticking device and sheet sticking method |
| JP2018064013A (en) * | 2016-10-12 | 2018-04-19 | リンテック株式会社 | Sheet bonding device and bonding method |
| JP2019106493A (en) * | 2017-12-13 | 2019-06-27 | 第一精工株式会社 | Method for sticking adhesive tape to substrate and device for sticking adhesive tape to substrate |
-
2001
- 2001-10-19 JP JP2001321833A patent/JP2003124153A/en active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005150311A (en) * | 2003-11-13 | 2005-06-09 | Nec Machinery Corp | Chip mounting method and apparatus thereof |
| JP2011040744A (en) * | 2009-08-11 | 2011-02-24 | Samsung Electronics Co Ltd | Semiconductor chip attaching apparatus and method of the same |
| JP2011199159A (en) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Nitto Denko Corp | Semiconductor wafer mounting method and semiconductor wafer mounting device |
| JP2017059581A (en) * | 2015-09-14 | 2017-03-23 | リンテック株式会社 | Sheet sticking device and sheet sticking method |
| JP2018064013A (en) * | 2016-10-12 | 2018-04-19 | リンテック株式会社 | Sheet bonding device and bonding method |
| JP2019106493A (en) * | 2017-12-13 | 2019-06-27 | 第一精工株式会社 | Method for sticking adhesive tape to substrate and device for sticking adhesive tape to substrate |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101529575A (en) | Chip pickup method and chip pickup apparatus | |
| JP2008103494A (en) | Fixed jig, and method and apparatus for picking up chip | |
| CN101802999B (en) | Securing tool and work processing method | |
| JP4405211B2 (en) | Semiconductor chip peeling apparatus, peeling method, and semiconductor chip supply apparatus | |
| KR101151023B1 (en) | Expansion method and device | |
| CN100392798C (en) | Device and method for separating thin crystalline grains | |
| KR20050028802A (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
| KR20040086577A (en) | Method of mamufacturing a semiconductor device | |
| JPH10275852A (en) | Method and device of bonding semiconductor substrate | |
| JP2000208447A (en) | Semiconductor manufacturing apparatus and manufacture of semiconductor device | |
| JP4143623B2 (en) | Tape applicator | |
| JP4570084B2 (en) | Substrate bonding method | |
| JP2000195828A (en) | Method and device for cutting/separating wafer | |
| JP4238669B2 (en) | Expanding method and expanding apparatus | |
| JP2003124153A (en) | Dicer sheet sticking method | |
| WO2007026497A1 (en) | Device and method for picking up semiconductor chip | |
| JP4755634B2 (en) | Pickup device and pickup method | |
| JPH08172061A (en) | Method of affixing sheet | |
| JP5329916B2 (en) | Semiconductor wafer support | |
| WO2008053673A1 (en) | Pickup device for semiconductor chip | |
| JP2007194571A (en) | Separation method and equipment of semiconductor chip | |
| JP2002353296A (en) | Equipment for peeling wafer protective tape and wafer mounting equipment | |
| JP2003059862A (en) | Peeling device | |
| JP4134774B2 (en) | Electronic component supply method | |
| JP5005403B2 (en) | Electronic component mounting tools and mounting equipment |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040122 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061213 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061219 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070508 |