JP2003068238A - Display device and manufacture thereof - Google Patents

Display device and manufacture thereof

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JP2003068238A
JP2003068238A JP2001256313A JP2001256313A JP2003068238A JP 2003068238 A JP2003068238 A JP 2003068238A JP 2001256313 A JP2001256313 A JP 2001256313A JP 2001256313 A JP2001256313 A JP 2001256313A JP 2003068238 A JP2003068238 A JP 2003068238A
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JP
Japan
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substrate
display device
sealing material
front substrate
conductive member
Prior art date
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Pending
Application number
JP2001256313A
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Japanese (ja)
Inventor
Akiyoshi Yamada
晃義 山田
Takashi Enomoto
貴志 榎本
Masahiro Yokota
昌広 横田
Koji Nishimura
孝司 西村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Priority to CNB028103106A priority patent/CN1306538C/en
Priority to EP02720557A priority patent/EP1389792A1/en
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display device for which a processing time for sealing fringing parts of a front face substrate and a rear face substrate can be reduced, and the fringing parts can be surely and easily sealed, and to provide a manufacture thereof. SOLUTION: This display device has a package in which circumferential edge parts of the front face substrate 11 and rear face substrate 12 arranged so as to be opposed each other are sealed interposing a sidewall 13 having a rectangular frame form. A sealing means for sealing the upper end of the sidewall 13 and the circumferential edge part of the front face substrate 11 comprises a conductive sealing material 21a arranged on the circumferential edge part of the front face substrate 11, a conductive member 22 having a rectangular frame form, and a sealing material 21b arranged on the sidewall 13. When both are sealed, the sealing materials 21a, 21b are energized to be heated and to be melt by energizing electrodes 22a, 22b of the conductive members. Consequently, the sidewall 13 and the circumferential edge part of the front face substrate 11 are sealed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は平坦な形状の表示
装置に係り、特に、真空の外囲器内部に多数の電子放出
素子を設けた表示装置、および表示装置の製造方法に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat display device, and more particularly to a display device having a large number of electron-emitting devices inside a vacuum envelope, and a method for manufacturing the display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、陰極線管(以下、CRTと称す
る)に代わる次世代の軽量、薄型の表示装置として様々
な平面型表示装置が開発されている。このような平面型
表示装置には、液晶の配向を利用して光の強弱を制御す
る液晶ディスプレイ(以下、LCDと称する)、プラズ
マ放電の紫外線により蛍光体を発光させるプラズマディ
スプレイパネル(以下、PDPと称する)、電界放出型
電子放出素子の電子ビームにより蛍光体を発光させるフ
ィールドエミッションディスプレイ(以下、FEDと称
する)、表面伝導型電子放出素子の電子ビームにより蛍
光体を発光させる表面伝導電子放出ディスプレイ(以
下、SEDと称する)などがある。
2. Description of the Related Art In recent years, various flat-panel display devices have been developed as next-generation lightweight and thin display devices which will replace cathode ray tubes (hereinafter referred to as CRTs). Such flat panel display devices include a liquid crystal display (hereinafter referred to as LCD) that controls the intensity of light by utilizing the alignment of liquid crystals, and a plasma display panel (hereinafter referred to as PDP) that emits a phosphor by ultraviolet rays of plasma discharge. Field emission display (hereinafter referred to as FED) that emits a phosphor by an electron beam of a field emission type electron-emitting device, and a surface conduction electron emission display that emits a phosphor by an electron beam of a surface conduction type electron-emitting device. (Hereinafter referred to as SED).

【0003】例えばFEDやSEDでは、一般に、所定
の隙間を置いて対向配置された前面基板および背面基板
を有し、これらの基板は、矩形枠状の側壁を介して周辺
部同士を互いに接合することにより真空の外囲器を構成
している。外囲器には、極めて高い真空度が要求されて
おり、背面基板および前面基板に加わる大気圧荷重を支
えるために、これら基板の間には複数の支持部材が配設
されている。また、前面基板の内面には蛍光体スクリー
ンが形成され、背面基板の内面には蛍光体を励起して発
光させる電子放出源として多数の電子放出素子(以下、
エミッタと称する)が設けられている。
For example, FEDs and SEDs generally have a front substrate and a rear substrate that are opposed to each other with a predetermined gap therebetween, and these substrates are joined to each other at their peripheral portions via a rectangular frame-shaped side wall. This constitutes a vacuum envelope. The envelope is required to have an extremely high degree of vacuum, and in order to support the atmospheric pressure load applied to the back substrate and the front substrate, a plurality of support members are arranged between these substrates. Further, a phosphor screen is formed on the inner surface of the front substrate, and a large number of electron-emitting devices (hereinafter,
(Referred to as an emitter).

【0004】背面基板側の電位はほぼアース電位であ
り、蛍光体スクリーンにはアノード電圧Vaが印加され
る。そして、蛍光体スクリーンを構成する赤、緑、青の
蛍光体にエミッタから放出された電子ビームを照射し、
蛍光体を発光させることによって画像を表示する。
The potential on the rear substrate side is almost the ground potential, and the anode voltage Va is applied to the phosphor screen. Then, the red, green, and blue phosphors forming the phosphor screen are irradiated with the electron beams emitted from the emitters,
An image is displayed by causing the phosphor to emit light.

【0005】このようなFEDやSEDでは、表示装置
の厚さを数mm程度にまで薄くすることができ、現在の
テレビやコンピュータのディスプレイとして使用されて
いるCRTと比較して、軽量化、薄型化を達成すること
ができるとともに、省電力化をも達成することができ
る。
In such an FED or SED, the thickness of the display device can be reduced to about several mm, which is lighter and thinner than the CRT currently used as a display for televisions and computers. In addition to being able to achieve power saving, power saving can also be achieved.

【0006】ところで、外囲器を真空にする方法とし
て、まず外囲器の構成部材である前面基板、背面基板お
よび側壁を適当な封着材料により大気中で加熱して接合
し、その後、前面基板または背面基板に設けた排気管を
通して内部を排気した後、排気管を真空封止する方法が
知られている。しかし、平面型の外囲器の場合、このよ
うに排気管を介した排気では、所望する真空度に達する
までに極めて多くの時間が必要となり、到達できる真空
度も低い。そのため、量産性および特性面に問題があ
る。
By the way, as a method of evacuating the envelope, first, the front substrate, the rear substrate, and the side walls, which are the constituent members of the envelope, are heated and bonded in the atmosphere with an appropriate sealing material, and then the front face is joined. A method is known in which, after exhausting the inside through an exhaust pipe provided on a substrate or a back substrate, the exhaust pipe is vacuum-sealed. However, in the case of a flat type envelope, such exhausting through the exhaust pipe requires an extremely long time until the desired vacuum degree is reached, and the attainable vacuum degree is also low. Therefore, there are problems in mass productivity and characteristics.

【0007】また、他の方法として、外囲器を構成する
前面基板および背面基板の最終組立を真空槽内で行う方
法が考えられる。この方法では、始めに真空槽内に持ち
込まれた前面基板および背面基板を十分に加熱してお
く。これは、外囲器真空度を劣化させる主因となってい
る外囲器内壁からのガス放出を軽減するためである。次
に、前面基板および背面基板が冷えて真空槽内の真空度
が十分に向上した時点で、外囲器真空度を改善、維持さ
せるためのゲッター膜を蛍光体スクリーン上に形成す
る。その後、封着材料が溶解する温度まで前面基板およ
び背面基板を再び加熱し、前面基板と背面基板とを側壁
を介して所定の位置に組み合わせた状態で封着材料が固
化するまで冷却する。
As another method, a method of finally assembling the front substrate and the rear substrate forming the envelope in a vacuum chamber can be considered. In this method, first, the front substrate and the back substrate brought into the vacuum chamber are sufficiently heated. This is to reduce the gas emission from the inner wall of the envelope, which is the main cause of degrading the vacuum degree of the envelope. Next, when the front substrate and the rear substrate are cooled and the degree of vacuum in the vacuum chamber is sufficiently improved, a getter film for improving and maintaining the degree of vacuum of the envelope is formed on the phosphor screen. Then, the front substrate and the back substrate are heated again to a temperature at which the sealing material melts, and cooled until the sealing material is solidified in a state where the front substrate and the back substrate are combined at a predetermined position via the side wall.

【0008】このような方法で作成された真空外囲器
は、封着工程と真空封止工程とを兼ねるうえ、排気管を
用いた排気に伴なう多大な時間が要らず、かつ、極めて
良好な真空度を得ることができる。
The vacuum envelope manufactured by such a method has both a sealing step and a vacuum sealing step, and does not require a great amount of time for exhausting using an exhaust pipe, and is extremely A good degree of vacuum can be obtained.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな真空中で組立を行う場合、封着工程で行なう処理
が、加熱、位置合わせ、冷却と多岐に渡り、かつ、封着
材料が溶解固化する長い時間に渡って前面基板と背面基
板とを所定の位置に維持し続けなければならない。ま
た、封着時の加熱冷却に伴い前面基板および背面基板が
熱膨張および熱収縮して位置合わせ精度が劣化し易いこ
となど、封着に伴なう生産性、特性面で問題があった。
However, in the case of assembling in such a vacuum, the processes performed in the sealing process include heating, positioning and cooling, and the sealing material is melted and solidified. The front and back substrates must be kept in place for a long time. Further, there is a problem in productivity and characteristics associated with the sealing such that the front substrate and the rear substrate are thermally expanded and contracted due to the heating and cooling during the sealing and the alignment accuracy is easily deteriorated.

【0010】このため、封着処理に要する時間を短縮で
き、基板の熱膨張や熱収縮を防止できる封着方法が知ら
れている。この方法によると、封着を要する基板および
側壁の一方に導電性ペーストを印刷し、他方にフリット
ガラスからなる封着材料を設け、両者を接合した状態で
導電性ペーストに通電し、封着材料を加熱溶融せしめて
基板と側壁とを封着する。これにより、基板や側壁を予
め加熱する必要がなく、封着処理に要する時間を短縮で
きる。
Therefore, a sealing method is known which can shorten the time required for the sealing process and prevent thermal expansion and contraction of the substrate. According to this method, a conductive paste is printed on one of the substrate and the side wall that require sealing, a sealing material made of frit glass is provided on the other side, and the conductive paste is energized in a state in which the two are bonded to each other. Is heated and melted to seal the substrate and the side wall. Accordingly, it is not necessary to heat the substrate and the side wall in advance, and the time required for the sealing process can be shortened.

【0011】しかし、この方法では、導電性ペーストを
設けるための印刷工程や焼成工程が必要であり、工程が
複雑化するとともに製造コストが増大する問題があっ
た。また、導電性ペーストを印刷により基板或いは側壁
に直接形成するため、導電性ペーストが通電により加熱
した際、基板や側壁が熱応力により割れる可能性があっ
た。また、印刷による薄い導電性ペーストの発熱を利用
して封着材料を加熱溶融するため、封着材料を所望する
温度まで加熱するのに多くの時間が必要であり、加熱時
間を早めようと電流を多く流せば容易に導電性ペースト
が断線してしまうという問題があった。また、導電性ペ
ーストを印刷した側(基板或いは側壁)では封着材料が
直に基板或いは側壁に接触していないため、この部位で
十分な気密性を得ることができなかった。
However, this method requires a printing step and a firing step for providing the conductive paste, which has a problem that the steps are complicated and the manufacturing cost is increased. Further, since the conductive paste is directly formed on the substrate or the side wall by printing, when the conductive paste is heated by energization, the substrate or the side wall may be cracked by thermal stress. In addition, since the heat of the thin conductive paste generated by printing is used to heat and melt the sealing material, it takes a lot of time to heat the sealing material to a desired temperature. There was a problem that the conductive paste would be easily broken if a large amount of liquid was flowed. Further, since the sealing material is not in direct contact with the substrate or the sidewall on the side where the conductive paste is printed (the substrate or the sidewall), sufficient airtightness cannot be obtained at this portion.

【0012】この発明は、以上の点に鑑みなされたもの
で、その目的は、前面基板および背面基板の周縁部を封
着するための処理時間を短縮でき、周縁部を確実且つ容
易に封着できる表示装置、および表示装置の製造方法を
提供することにある。
The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to shorten the processing time for sealing the peripheral portions of the front substrate and the rear substrate, and to securely and easily seal the peripheral portions. An object of the present invention is to provide a display device and a method for manufacturing the display device.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の表示装置は、前面基板と、この前面基板に
対向配置されている背面基板と、上記前面基板および背
面基板の周縁部を封着する封着手段と、を有する外囲器
を備え、上記封着手段は、通電により加熱溶融されて上
記周縁部を封着する導電性の封着材料、およびこの封着
材料よりも高い融点を有し上記周縁部に配置された導電
部材を有することを特徴とする。
In order to achieve the above object, a display device of the present invention comprises a front substrate, a back substrate arranged to face the front substrate, and peripheral portions of the front substrate and the back substrate. A sealing means for sealing, and an envelope having a sealing means, wherein the sealing means is heated and melted by energization to seal the peripheral portion, and a conductive sealing material higher than the sealing material. It is characterized by having a conductive member having a melting point and arranged at the peripheral portion.

【0014】上記発明によると、導電部材と導電性の封
着材料に通電することで、封着材料を加熱溶融し、通電
をやめることで封着材料を冷却個化し、前面基板と背面
基板とをその周縁部で封着する。このように封着材料に
通電して直接加熱するため、封着材料を短時間で溶融で
きる。また、導電部材を十分に太くすれば、通電量を多
くして溶融時間を短縮しても導電部材が断線することは
ない。さらに、前面基板および背面基板を加熱する必要
がないため、基板の熱膨張や熱収縮を防止でき、基板を
封着する際、位置精度を高くできる。
According to the above invention, by energizing the conductive member and the conductive sealing material, the sealing material is heated and melted, and the energization is stopped to cool the sealing material into individual pieces. Is sealed at its peripheral edge. Since the sealing material is directly energized and heated in this manner, the sealing material can be melted in a short time. Moreover, if the conductive member is made sufficiently thick, the conductive member will not be broken even if the amount of electricity is increased and the melting time is shortened. Further, since it is not necessary to heat the front substrate and the rear substrate, thermal expansion and thermal contraction of the substrate can be prevented, and the positional accuracy can be increased when the substrate is sealed.

【0015】また、本発明の表示装置は、前面基板と、
この前面基板に対向配置されている背面基板と、上記前
面基板および背面基板の周縁部を封着する封着手段と、
を有する外囲器を備え、上記封着手段は、加熱により溶
融されて上記周縁部を封着する封着材料、およびこの封
着材料を加熱せしめるため封着材料の中に配置され通電
により加熱される導電部材を有することを特徴とする。
The display device of the present invention comprises a front substrate,
A back substrate arranged to face the front substrate, a sealing means for sealing the peripheral portions of the front substrate and the back substrate,
And a sealing material that is melted by heating and seals the peripheral portion, and an encapsulating material that is placed in the sealing material to heat the sealing material and heats it by energization. It is characterized by having a conductive member.

【0016】上記発明によると、導電部材を封着材料の
中に配置したため、基板の周縁部に封着材料を比較的広
い面積で接触させることができ、気密性を高めることが
できる。また、従来のように、導電性ペーストを印刷す
る必要がないため、印刷工程および焼成工程を省略で
き、製造工程を簡略化でき、製造コストを低減できる。
さらに、導電部材が基板に接触しないため、基板が熱応
力によって割れる心配が少ない。
According to the above invention, since the conductive member is arranged in the sealing material, the sealing material can be brought into contact with the peripheral portion of the substrate in a relatively wide area, and the airtightness can be improved. Further, unlike the conventional case, since it is not necessary to print the conductive paste, the printing process and the firing process can be omitted, the manufacturing process can be simplified, and the manufacturing cost can be reduced.
Further, since the conductive member does not contact the substrate, there is less concern that the substrate will be cracked by thermal stress.

【0017】また、本発明の表示装置は、前面基板と、
この前面基板に対向配置されている背面基板と、上記前
面基板および背面基板間で前面基板および背面基板の周
縁部に設けられた導電性を有する枠状の側壁と、上記前
面基板および背面基板の少なくとも一方と上記側壁との
間の接合部に設けられ、上記側壁を通電することにより
加熱溶融されて上記接合部を封着する封着材料と、を有
する外囲器を備えたことを特徴とする。
The display device of the present invention includes a front substrate,
A back substrate disposed opposite to the front substrate; a frame-shaped side wall having conductivity provided between the front substrate and the back substrate at the peripheral portions of the front substrate and the back substrate; and the front substrate and the back substrate. A sealing material which is provided at a joint between at least one of the side walls and the side wall, and which is heated and melted by energizing the side wall to seal the joint part. To do.

【0018】上記発明によると、側壁を導電性とし且つ
側壁に通電するため、通電のための導電部材を省略で
き、部品点数を削減できる。
According to the above invention, since the side wall is made conductive and the side wall is energized, the conductive member for energization can be omitted and the number of parts can be reduced.

【0019】また、本発明の表示装置は、前面基板と、
この前面基板に対向配置されている背面基板と、上記前
面基板および背面基板間で前面基板および背面基板の周
縁部に設けられた枠状の側壁と、上記前面基板および背
面基板の少なくとも一方と上記側壁との間の接合部を封
着する封着手段と、を有する外囲器を備え、上記封着手
段は、加熱により溶融されて上記周縁部を封着する封着
材料、およびこの封着材料を加熱せしめるため封着材料
内に配置された通電により加熱される導電部材を有する
ことを特徴とする。
The display device of the present invention includes a front substrate,
A back substrate disposed opposite to the front substrate; a frame-shaped side wall provided between the front substrate and the back substrate at a peripheral portion of the front substrate and the back substrate; at least one of the front substrate and the back substrate; And a sealing material for sealing the joint between the side wall and the side wall, the sealing means being melted by heating to seal the peripheral portion, and the sealing material. It is characterized in that it has a conductive member which is placed in the sealing material to heat the material and which is heated by electric current.

【0020】また、本発明の表示装置の製造方法による
と、前面基板と、この前面基板に対向配置された背面基
板と、をその周縁部で封着した外囲器を備えた表示装置
の製造方法において、上記周縁部に通電により加熱溶融
される導電性の封着材料、およびこの封着材料よりも高
融点の導電部材を設け、この導電部材と上記封着材料に
通電することで該封着材料を加熱溶融し、上記前面基板
および背面基板をその周縁部で封着することを特徴とす
る。
Further, according to the method of manufacturing a display device of the present invention, a display device having an envelope in which a front substrate and a back substrate arranged to face the front substrate are sealed at their peripheral portions is manufactured. In the method, a conductive sealing material that is heated and melted by energization and a conductive member having a melting point higher than that of the sealing material are provided in the peripheral portion, and the sealing is performed by energizing the conductive member and the sealing material. The adhesive material is heated and melted, and the front substrate and the rear substrate are sealed at their peripheral portions.

【0021】また、本発明の表示装置の製造方法による
と、前面基板と、この前面基板に対向配置された背面基
板と、をその周縁部で封着した外囲器を備えた表示装置
の製造方法において、上記周縁部に加熱により溶融され
る封着材料を設け、該封着材料の中に通電により加熱す
る導電部材を設け、この導電部材に通電することで上記
封着材料を加熱溶融し、上記前面基板および背面基板を
その周縁部で封着することを特徴とする。
Further, according to the method of manufacturing a display device of the present invention, a display device having an envelope in which a front substrate and a rear substrate facing the front substrate are sealed at their peripheral portions is manufactured. In the method, a sealing material that is melted by heating is provided on the peripheral edge portion, a conductive member that is heated by energization is provided in the sealing material, and the sealing material is heated and melted by energizing the conductive member. The front substrate and the rear substrate are sealed at their peripheral portions.

【0022】また、本発明の表示装置の製造方法による
と、前面基板と、この前面基板に対向配置された背面基
板と、を基板間でその周縁部に設けた導電性の枠状の側
壁を介して封着した外囲器を備えた表示装置の製造方法
において、上記前面基板および背面基板の少なくとも一
方と上記側壁との間の接合部に通電により加熱溶融する
封着材料を設け、上記側壁を通電することで上記封着材
料を加熱溶融し、上記前面基板および背面基板をその周
縁部で封着することを特徴とする。
Further, according to the method of manufacturing a display device of the present invention, a conductive frame-shaped side wall is provided in which a front substrate and a rear substrate arranged to face the front substrate are provided in the peripheral portion between the substrates. In a method of manufacturing a display device including an envelope sealed via a sidewall, a sealing material that is heated and melted by energization is provided at a joint between at least one of the front substrate and the back substrate and the sidewall, and the sidewall is provided. Is applied to heat and melt the sealing material to seal the front substrate and the rear substrate at their peripheral portions.

【0023】さらに、本発明の表示装置の製造方法によ
ると、前面基板と、この前面基板に対向配置された背面
基板と、を基板間でその周縁部に設けた枠状の側壁を介
して封着した外囲器を備えた表示装置の製造方法におい
て、上記前面基板および背面基板の少なくとも一方と上
記側壁との間の接合部に加熱により溶融する封着材料を
設け、該封着材料の中に通電により加熱する導電部材を
設け、この導電部材に通電することで上記封着材料を加
熱溶融し、上記前面基板および背面基板をその周縁部で
封着することを特徴とする。
Further, according to the method of manufacturing a display device of the present invention, the front substrate and the back substrate arranged to face the front substrate are sealed between the substrates via the frame-shaped side wall provided in the peripheral portion thereof. In a method of manufacturing a display device including an attached envelope, a sealing material that is melted by heating is provided at a joint portion between at least one of the front substrate and the rear substrate and the side wall. Is provided with a conductive member that is heated by energization, and the encapsulating material is heated and melted by energizing the conductive member to seal the front substrate and the rear substrate at their peripheral portions.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明の表示装置をFEDに適用した実施の形態について詳
細に説明する。図1に示すように、このFEDは、絶縁
基板としてそれぞれ矩形状のガラスからなる前面基板1
1、および背面基板12を備え、これらの基板は1〜2
mmの隙間を置いて対向配置されている。そして、前面
基板11および背面基板12は、矩形枠状の側壁13を
介して周縁部同士が接合され、内部が真空状態に維持さ
れた偏平な矩形状の真空外囲器10を構成している。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments in which the display device of the present invention is applied to an FED will be described in detail below with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, this FED comprises a front substrate 1 made of rectangular glass as an insulating substrate.
1 and a back substrate 12, which are 1-2
They are arranged facing each other with a gap of mm. The front substrate 11 and the rear substrate 12 are joined together at their peripheral portions via the rectangular frame-shaped side wall 13 to form a flat rectangular vacuum envelope 10 whose inside is maintained in a vacuum state. .

【0025】図3に示すように、前面基板11と側壁1
3とは後述する封着手段20により接合され、背面基板
12と側壁13とはフリットガラス等の低融点封着部材
40により接合されている。
As shown in FIG. 3, the front substrate 11 and the side wall 1 are formed.
3, the back substrate 12 and the side wall 13 are joined by a low melting point sealing member 40 such as frit glass.

【0026】図2に示すように、真空外囲器10の内部
には、前面基板11および背面基板12に加わる大気圧
荷重を支えるため、複数の板状のスペーサ14が設けら
れている。これらのスペーサ14は、真空外囲器10の
長辺と平行な方向に配置されているとともに、短辺と平
行な方向に沿って所定の間隔を置いて配置されている。
なお、スペーサ14の形状については、特にこれに限定
されるものではなく、例えば、柱状のスペーサ等を用い
ることもできる。
As shown in FIG. 2, a plurality of plate-shaped spacers 14 are provided inside the vacuum envelope 10 to support an atmospheric pressure load applied to the front substrate 11 and the rear substrate 12. These spacers 14 are arranged in a direction parallel to the long side of the vacuum envelope 10, and are arranged at predetermined intervals along the direction parallel to the short side.
The shape of the spacer 14 is not particularly limited to this, and for example, a columnar spacer or the like can be used.

【0027】図4に示すように、前面基板11の内面上
には、赤、緑、青の蛍光体層16とマトリクス状の黒色
光吸収層17とを有した蛍光体スクリーン15が形成さ
れ、この蛍光体スクリーン上にメタルバックとしてアル
ミニウム膜(図示せず)が蒸着されている。
As shown in FIG. 4, a phosphor screen 15 having red, green and blue phosphor layers 16 and a matrix-shaped black light absorbing layer 17 is formed on the inner surface of the front substrate 11, An aluminum film (not shown) is deposited as a metal back on the phosphor screen.

【0028】図3に示すように、背面基板12の内面上
には、蛍光体層16を励起する電子放出源として多数の
電子放出素子18が設けられている。電子放出素子18
は、それぞれの蛍光体層16と1対1に対向する位置に
配置され、対応する蛍光体層に向けて電子ビームを放出
する。
As shown in FIG. 3, a large number of electron-emitting devices 18 are provided on the inner surface of the rear substrate 12 as electron-emitting sources for exciting the phosphor layer 16. Electron-emitting device 18
Are arranged at positions facing the respective phosphor layers 16 in a one-to-one manner and emit an electron beam toward the corresponding phosphor layers.

【0029】次に、上記のように構成されたFEDの製
造方法および製造装置について説明する。図5に示すよ
うに、組立前の状態において、前面基板11の内面には
蛍光体スクリーン15が形成されている。また、前面基
板11の内面であって蛍光体スクリーン15の外側周縁
部には、封着材料21aとして導電性を持つ金属はんだ
が矩形枠状に設けられている。この時点で、前面基板1
1の温度は、封着材料21aの融点よりも低い温度に設
定されており、封着材料21aは固化した状態にある。
Next, a method and an apparatus for manufacturing the FED configured as described above will be described. As shown in FIG. 5, a phosphor screen 15 is formed on the inner surface of the front substrate 11 in a state before assembly. On the inner surface of the front substrate 11 and on the outer peripheral edge of the phosphor screen 15, a conductive metallic solder is provided as a sealing material 21a in a rectangular frame shape. At this point, the front substrate 1
The temperature of 1 is set to a temperature lower than the melting point of the sealing material 21a, and the sealing material 21a is in a solidified state.

【0030】図6に示すように、組立前の状態におい
て、背面基板12の内面には、多数の電子放出素子18
(ここでは図示省略)が予め形成されているとともに、
組立時に前面基板11との隙間を確保するため、側壁1
3およびスペーサ14が低融点封着部材40により取り
付けられている。また、側壁13上には、上述した封着
材料21aと同じ導電性を持つ金属はんだが封着材料2
1bとして前面基板11側の封着材料21aと対向する
位置に矩形枠状に設けられている。この時点で、背面基
板12の温度は、封着材料21bの融点よりも低い温度
に設定されており、封着材料21bは固化した状態にあ
る。
As shown in FIG. 6, a large number of electron-emitting devices 18 are formed on the inner surface of the rear substrate 12 before being assembled.
(Not shown here) is pre-formed,
In order to secure a gap with the front substrate 11 during assembly, the side wall 1
3 and the spacer 14 are attached by a low melting point sealing member 40. Further, on the side wall 13, a metal solder having the same conductivity as that of the above-mentioned sealing material 21a is sealed.
1b is provided in a rectangular frame shape at a position facing the sealing material 21a on the front substrate 11 side. At this time, the temperature of the rear substrate 12 is set to a temperature lower than the melting point of the sealing material 21b, and the sealing material 21b is in a solidified state.

【0031】封着材料21a、21bとして、300℃
以下で溶融または軟化する材料が選択されるが、本実施
の形態では、封着材料21a、21bとして、In(イ
ンジウム)またはInを含んだ合金を用いた。
The sealing materials 21a and 21b are 300 ° C.
Although a material that melts or softens is selected below, In (indium) or an alloy containing In is used as the sealing materials 21a and 21b in the present embodiment.

【0032】図7(a)には、前面基板11の周縁部と
側壁13の上端とを封着する際、封着材料21a、21
b間に挟み込まれる矩形枠状の導電部材22を図示して
ある。この導電部材22は、上述した封着材料21a、
21bとともに本発明の封着手段20として機能する。
In FIG. 7A, sealing materials 21a and 21a are used when sealing the peripheral edge of the front substrate 11 and the upper end of the side wall 13.
A rectangular frame-shaped conductive member 22 sandwiched between b is shown. This conductive member 22 is made up of the above-mentioned sealing material 21a,
It functions as the sealing means 20 of the present invention together with 21b.

【0033】導電部材22は、断面積が0.1mm
上のニッケル合金板により形成され、対角をなす角部か
ら2つの電極22a、22b(接続端子)が一体的に突
設されている。この導電部材22の幅は、封着材料21
a、21bの幅より狭く設定してある。尚、導電部材2
2として、ニッケル(Ni)の他に、鉄(Fe)、クロ
ム(Cr)、アルミニウム(Al)などを含んだ合金を
用いても良く、融点が500℃以上の材料が用いられ
る。
The conductive member 22 is formed of a nickel alloy plate having a cross-sectional area of 0.1 mm 2 or more, and two electrodes 22a and 22b (connection terminals) are integrally projected from diagonal corners. . The width of the conductive member 22 is equal to the width of the sealing material 21.
It is set narrower than the width of a and 21b. The conductive member 2
As the material 2, an alloy containing iron (Fe), chromium (Cr), aluminum (Al) or the like in addition to nickel (Ni) may be used, and a material having a melting point of 500 ° C. or higher is used.

【0034】また、導電部材22の熱膨張係数は、封着
材料21a、21bの熱膨張係数の80〜120%程度
に設定され、或いは側壁13の熱膨張係数の80〜12
0%程度に設定され、或いは前面基板11、背面基板1
2、および側壁13それぞれの熱膨張係数のうち最小の
熱膨張係数と最大の熱膨張係数との間に設定される。
The coefficient of thermal expansion of the conductive member 22 is set to about 80 to 120% of the coefficient of thermal expansion of the sealing materials 21a and 21b, or 80 to 12 of the coefficient of thermal expansion of the side wall 13.
It is set to about 0%, or the front substrate 11 and the rear substrate 1
It is set between the minimum thermal expansion coefficient and the maximum thermal expansion coefficient of the thermal expansion coefficients of 2 and the side wall 13.

【0035】上記のような前面基板11および背面基板
12は、上記のような導電部材22を挟んで、図8に示
す工程に沿って図9に示す装置を用いて真空槽中で組立
てられる。まず、上述した前面基板11、背面基板1
2、および導電部材22を真空槽に導入し、この真空層
内を真空排気した後、加熱により前面基板11および背
面基板12を十分に脱ガスする。加熱温度は200℃〜
500℃程度に適時設定される。これは、真空外囲器と
なった後の真空度を劣化させる内壁からのガス放出速度
を軽減し、残留ガスによる特性劣化を防ぐためである。
The front substrate 11 and the rear substrate 12 as described above are assembled in a vacuum chamber by sandwiching the conductive member 22 as described above and using the apparatus shown in FIG. 9 along the steps shown in FIG. First, the front substrate 11 and the rear substrate 1 described above
2, the conductive member 22 is introduced into a vacuum chamber, the inside of this vacuum layer is evacuated, and then the front substrate 11 and the rear substrate 12 are sufficiently degassed by heating. Heating temperature is 200 ℃ ~
The time is set to about 500 ° C. This is to reduce the rate of gas release from the inner wall that deteriorates the degree of vacuum after the vacuum envelope is formed, and prevent characteristic deterioration due to residual gas.

【0036】次に、脱ガスが完了し冷却された前面基板
11の蛍光体スクリーン15にゲッター膜を形成する。
これは、真空外囲器となった後の残留ガスをゲッター膜
により吸着排気し、真空外囲器内の真空度を良好なレベ
ルに保つためである。
Next, a getter film is formed on the phosphor screen 15 of the front substrate 11 which has been degassed and cooled.
This is because the residual gas after becoming the vacuum envelope is adsorbed and exhausted by the getter film to maintain the vacuum degree in the vacuum envelope at a good level.

【0037】そして、蛍光体層16と電子放出素子18
とが対向するように前面基板11および背面基板12を
高精度に位置決めして重ね合わせる。このとき、前面基
板11の周縁部に設けられた封着材料21aと側壁13
上に設けられた封着材料21bとの間に導電部材22を
挟み込ませる。
Then, the phosphor layer 16 and the electron-emitting device 18
The front substrate 11 and the rear substrate 12 are positioned with high precision and overlapped with each other so that they face each other. At this time, the sealing material 21 a and the side wall 13 provided on the peripheral portion of the front substrate 11
The conductive member 22 is sandwiched between the sealing material 21b provided above.

【0038】このようにして導電部材22を挟んだ状態
の前面基板11および背面基板12を図9に示す装置に
セットする。そして、前面基板11よおび背面基板12
を、加圧装置23a、23bによって互いに向かい合う
方向に所定圧力で押圧して保持する。さらに、導電部材
22から導出された電極22a、22bに電源25を接
続する。
The front substrate 11 and the rear substrate 12 with the conductive member 22 sandwiched in this way are set in the apparatus shown in FIG. The front substrate 11 and the rear substrate 12
Are pressed and held by the pressurizing devices 23a and 23b at a predetermined pressure in a direction facing each other. Further, the power source 25 is connected to the electrodes 22a and 22b led out from the conductive member 22.

【0039】この状態で、電極22a、22bを介して
電源25から導電部材22に所定の電流を流し、封着材
料21a、21bを通電する。これにより、導電部材2
2および封着材料21a、21bが加熱され、封着材料
21a、21bだけが溶融される。つまり、導電部材2
2は、通電により溶融しない高融点材料により形成され
ているため、封着材料21a、21bだけが溶融され
る。溶融された封着材料21a、21bは、幅の狭い導
電部材22を包囲するように繋がる。この後、通電を止
めると、繋がった状態の熱容量の比較的小さい封着材料
21の熱が、温度勾配によって速やかに前面基板11お
よび側壁13に拡散伝導され、熱容量の大きい前面基板
11および側壁13と熱平衡に達し、封着材料21が速
やかに冷却固化される。これにより、前面基板11と側
壁13とが封着される。
In this state, a predetermined current is made to flow from the power source 25 to the conductive member 22 through the electrodes 22a and 22b to energize the sealing materials 21a and 21b. Thereby, the conductive member 2
2 and the sealing materials 21a and 21b are heated, and only the sealing materials 21a and 21b are melted. That is, the conductive member 2
Since No. 2 is formed of a high melting point material that does not melt when energized, only the sealing materials 21a and 21b are melted. The melted sealing materials 21a and 21b are connected so as to surround the narrow conductive member 22. After that, when the energization is stopped, the heat of the sealing material 21 having a relatively small heat capacity in the connected state is quickly diffused and conducted to the front substrate 11 and the side wall 13 due to the temperature gradient, and the front substrate 11 and the side wall 13 having a large heat capacity. Then, thermal equilibrium is reached, and the sealing material 21 is rapidly cooled and solidified. As a result, the front substrate 11 and the side wall 13 are sealed.

【0040】以上のように、本実施の形態によると、導
電部材22に通電するだけの極めて簡単な構成により、
封着材料21だけを効率良く選択的且つ確実に加熱溶融
することができ、封着処理に要する作業行程、処理時
間、および消費電力量を大幅に削減でき、前面基板11
および背面基板12の周縁部を確実且つ容易に封着でき
る。
As described above, according to this embodiment, the conductive member 22 is energized by an extremely simple structure.
Only the sealing material 21 can be efficiently and selectively and surely heated and melted, and the work process, processing time, and power consumption required for the sealing process can be significantly reduced, and the front substrate 11
Also, the peripheral portion of the back substrate 12 can be reliably and easily sealed.

【0041】すなわち、本実施の形態のように、導電性
を有した封着材料21と導電部材22を組み合わせて用
いることにより、封着材料21が不均一に設けられてい
る場合であっても封着材料21が断線することがなく、
全ての領域において封着材料21に確実に通電でき、封
着材料21を全長に亘って確実に溶融できる。また、封
着材料21に導電性を持たせたことにより、導電性を持
たない封着材料と比較して、封着材料21を直接的に加
熱でき、溶融時間を短縮できる。
That is, even if the sealing material 21 and the conductive member 22 are used in combination as in the present embodiment, the sealing material 21 is unevenly provided. The sealing material 21 does not break,
The sealing material 21 can be reliably energized in all regions, and the sealing material 21 can be reliably melted over the entire length. In addition, since the sealing material 21 has conductivity, the sealing material 21 can be directly heated and the melting time can be shortened as compared with the sealing material having no conductivity.

【0042】また、本実施の形態のように、導電部材2
2を封着材料21で挟むようにして設けることにより、
導電部材22が前面基板11および側壁13に接触する
ことがなく、前面基板11や側壁13が熱応力によって
割れる心配がない。また、導電部材22が前面基板11
および側壁13に接触しないため、封着材料21が前面
基板11および側壁13に接触する面積を大きくとるこ
とができ、封着性能を高めることができる。
Further, as in this embodiment, the conductive member 2
By sandwiching 2 with the sealing material 21,
The conductive member 22 does not come into contact with the front substrate 11 and the side wall 13, and there is no concern that the front substrate 11 and the side wall 13 are cracked by thermal stress. In addition, the conductive member 22 is connected to the front substrate 11.
Further, since the side wall 13 does not contact the side wall 13, the area where the sealing material 21 contacts the front substrate 11 and the side wall 13 can be made large, and the sealing performance can be improved.

【0043】また、本実施の形態によると、封着材料だ
けを選択的に加熱溶融できるため、前面基板および背面
基板を加熱する必要がなく、熱容量の小さい、つまり体
積の小さい封着材料だけを加熱すれば良く、使用する電
力量を小さくでき、基板の熱膨張や熱収縮による位置精
度の劣化等を抑制することができる。
Further, according to this embodiment, since only the sealing material can be selectively heated and melted, it is not necessary to heat the front substrate and the rear substrate, and only the sealing material having a small heat capacity, that is, a small volume is used. It suffices if heating is performed, the amount of power used can be reduced, and deterioration of positional accuracy due to thermal expansion or thermal contraction of the substrate can be suppressed.

【0044】また、基板全体を加熱する従来の方法に比
較して、加熱、冷却にかかる時間を大幅に短縮でき、量
産性を大幅に向上することができる。更に、封着に必要
な装置が電源だけであり、従来の全面加熱ヒータはもと
より電磁誘導加熱法などに対しても極めて簡略かつ超高
真空に適したクリーンな装置を実現することができる。
Further, as compared with the conventional method of heating the entire substrate, the time required for heating and cooling can be greatly shortened, and mass productivity can be greatly improved. Further, since the device required for sealing is only the power source, it is possible to realize a very simple and clean device suitable for ultra-high vacuum not only for the conventional full-scale heater but also for the electromagnetic induction heating method.

【0045】また、通電する電流の形態については、直
流電流のみならず、商用周波数で変動する交流電流を用
いても良い。この場合、交流で送信されてくる商用電流
をわざわざ直流に変換する手間が省け、装置を簡略化す
ることができる。更に、kHzレベルの高周波で変動す
る交流電流を用いても良い。この場合、表皮効果により
高周波に対する実効抵抗値が増大する分だけジュール熱
が増大するため、より小さい電流値で上記と同様の加熱
効果が得られる。
As for the form of the current to be applied, not only a direct current but also an alternating current varying at a commercial frequency may be used. In this case, it is possible to save the trouble of converting the commercial current transmitted as an alternating current into a direct current and simplify the device. Further, an alternating current that fluctuates at a high frequency of kHz level may be used. In this case, since the Joule heat increases by the amount that the effective resistance value for high frequency increases due to the skin effect, the same heating effect as described above can be obtained with a smaller current value.

【0046】また、通電する電力と時間については、実
施例では5〜30秒程度としている。通電時間が長い
(電力が小さい)と、基板周辺の温度上昇による冷却速
度の低下や熱膨張や熱収縮による弊害を生じ、通電時間
が短い(電力が大きい)と、導電性封着材料の充填不均
一に起因する断線やガラス熱応力による割れを生じる。
そのため、通電する電力および時間(時間的な電力変化
も含む)は、対象物毎に最適な条件設定を行なう必要が
ある。
Further, the electric power to be applied and the time are set to about 5 to 30 seconds in the embodiment. If the energization time is long (the power is small), the cooling rate will decrease due to the temperature rise around the substrate and the thermal expansion and contraction will cause adverse effects. If the energization time is short (the power is large), the conductive sealing material will be filled. Breakage due to unevenness and cracking due to glass thermal stress occur.
Therefore, it is necessary to set the optimum conditions for the power to be applied and the time (including temporal power change) for each object.

【0047】また、封着時の基板温度と封着材料の融点
との温度差については、本実施の形態では20℃〜15
0℃程度としている。温度差が大きい場合、冷却時間を
短縮できるがガラス熱応力が大きくなるため、これも対
象物毎に最適な条件設定を行なう必要がある。
Further, regarding the temperature difference between the substrate temperature at the time of sealing and the melting point of the sealing material, in the present embodiment, 20 ° C. to 15 ° C.
It is about 0 ° C. When the temperature difference is large, the cooling time can be shortened, but the glass thermal stress becomes large. Therefore, it is also necessary to set the optimum conditions for each object.

【0048】尚、この発明は、上述した実施の形態に限
定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変形可
能である。例えば、上述した実施の形態では、前面基板
11と背面基板12とで側壁13を挟みこむ構成の真空
外囲器10について説明したが、側壁が前面基板あるい
は背面基板と一体化された構成としてもよく、また、側
壁が前面基板と背面基板を側面から覆うように接合され
た構成としてもよい。
The present invention is not limited to the above-described embodiments, but can be variously modified within the scope of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the vacuum envelope 10 having the configuration in which the sidewall 13 is sandwiched between the front substrate 11 and the rear substrate 12 has been described, but the sidewall may be integrated with the front substrate or the rear substrate. Alternatively, the side wall may be joined so as to cover the front substrate and the rear substrate from the side surface.

【0049】また、図10に示すように、封着材料の通
電加熱により封着される封着面は、前面基板11と側壁
13との間、および背面基板12と側壁13との間の2
個所であってもよい。この場合、上述した実施の形態と
同様に側壁13と前面基板11の周縁部とを封着すると
ともに、側壁13と背面基板12の周縁部との間にも本
発明の封着手段20を介在させる。側壁13と背面基板
12の周縁部との間に設ける封着手段20は、側壁13
の下面に設けた封着材料21b、図7(b)に図示した
導電部材22、および背面基板12の周縁部に設けた封
着材料21aとなる。そして、導電部材22の2つの電
極22c、22dに電源26を接続する。
Further, as shown in FIG. 10, the sealing surface to be sealed by the energization heating of the sealing material is provided between the front substrate 11 and the side wall 13 and between the rear substrate 12 and the side wall 13.
It may be a place. In this case, the side wall 13 and the peripheral portion of the front substrate 11 are sealed together as in the above-described embodiment, and the sealing means 20 of the present invention is interposed between the side wall 13 and the peripheral portion of the rear substrate 12. Let The sealing means 20 provided between the side wall 13 and the peripheral portion of the rear substrate 12 includes the side wall 13
The sealing material 21b is provided on the lower surface of the substrate, the conductive member 22 shown in FIG. 7B, and the sealing material 21a provided on the peripheral portion of the back substrate 12. Then, the power supply 26 is connected to the two electrodes 22c and 22d of the conductive member 22.

【0050】また、図11に示すように、側壁24を導
電性を有する材料で形成し、側壁24と前面基板11の
周縁部との間に封着材料21aを設け、側壁24と背面
基板12の周縁部との間に封着材料21bを設け、側壁
24自体に通電するようにしても良い。この場合、封着
材料21を加熱溶融させるための通電部材として導電部
材22を封着材料21の中に設ける必要がなく、製造工
程を簡略化できるとともに部材点数を削減でき、製造コ
ストを低減できる。
Further, as shown in FIG. 11, the side wall 24 is formed of a conductive material, and the sealing material 21a is provided between the side wall 24 and the peripheral portion of the front substrate 11, and the side wall 24 and the rear substrate 12 are provided. The sealing material 21b may be provided between the side wall 24 itself and the peripheral part of the side wall 24b to energize the side wall 24 itself. In this case, it is not necessary to provide the conductive member 22 in the sealing material 21 as a current-carrying member for heating and melting the sealing material 21, the manufacturing process can be simplified, the number of members can be reduced, and the manufacturing cost can be reduced. .

【0051】また、封着材料21a、21bに接触する
導電部材22の表面に凹凸を形成しても良い。この場
合、封着材料21を溶融する際、封着対象となる部材
間、すなわち導電部材22と前面基板11との間、導電
部材22と背面基板12との間、および導電部材22と
側壁13との間における機械的ズレを抑制でき、前面基
板11および背面基板12の位置ズレを抑制できる。
Further, irregularities may be formed on the surface of the conductive member 22 which is in contact with the sealing materials 21a and 21b. In this case, when melting the sealing material 21, between the members to be sealed, that is, between the conductive member 22 and the front substrate 11, between the conductive member 22 and the rear substrate 12, and between the conductive member 22 and the side wall 13. It is possible to suppress mechanical displacement between the front substrate 11 and the rear substrate 12, and to prevent positional displacement between the front substrate 11 and the rear substrate 12.

【0052】また、蛍光体スクリーン15の構成や、電
子放出素子18の構成は、上述した実施の形態に限定さ
れるものではなく、他の構成としてもよい。また、封着
材料の充填は、封着される2つの面のいずれか一方のみ
でもよい。
Further, the structure of the phosphor screen 15 and the structure of the electron-emitting device 18 are not limited to those in the above-described embodiment, and other structures may be used. Further, the sealing material may be filled only on one of the two surfaces to be sealed.

【0053】さらに、この発明は、FEDやSEDなど
の真空外囲器を必要とする表示装置に限らず、PDPの
ように一度真空にしてから放電ガスを注入するような他
の表示装置にも有効である。
Furthermore, the present invention is not limited to a display device requiring a vacuum envelope such as an FED or SED, but may be applied to other display devices such as a PDP in which a discharge gas is injected after a vacuum is applied. It is valid.

【0054】以下、本発明を適用した複数の実施例につ
いて説明する。 (実施例1)図5および図6に示した前面基板11およ
び背面基板12を、36インチサイズのTV用FED表
示装置に適用した実施例について説明する。主な構成
は、上述の実施の形態で説明したものと同じである。
A plurality of embodiments to which the present invention is applied will be described below. (Embodiment 1) An embodiment in which the front substrate 11 and the rear substrate 12 shown in FIGS. 5 and 6 are applied to a 36-inch TV FED display device will be described. The main configuration is the same as that described in the above embodiment.

【0055】前面基板11と背面基板12は、共に厚さ
2.8mmのガラス材から構成され、側壁13は1.1mm
のガラス材から構成されている。前面基板11の周縁部
に設けられた封着材料21a、および背面基板12の側
壁13上に設けられた封着材料21bは、約160℃で
溶解するInとし、幅3〜5mm、片面の厚さ0.1〜
0.3mmに形成した。
Both the front substrate 11 and the rear substrate 12 are made of a glass material having a thickness of 2.8 mm, and the side wall 13 is 1.1 mm.
It is made of glass material. The sealing material 21a provided on the peripheral portion of the front substrate 11 and the sealing material 21b provided on the side wall 13 of the rear substrate 12 are In, which melts at about 160 ° C., and have a width of 3 to 5 mm and a thickness on one side. 0.1 to
It was formed to 0.3 mm.

【0056】導電部材22は、図7(a)に示すよう
に、幅1mm、厚さ0.1mmの枠板状にニッケル合金によ
り形成されている。導電部材22の電極22a、22b
は、対向する背面基板12のX配線およびY配線との干
渉が少ない対角部の対象な2箇所に設けられている。
尚、導電部材22は、通電時の十分な電流量を確保する
ため、0.1mm以上の断面積を有する。また、電極2
2a、22b間の抵抗は、室温状態で0.05〜0.5
Ω程度に設定した。
As shown in FIG. 7A, the conductive member 22 is made of a nickel alloy in the shape of a frame plate having a width of 1 mm and a thickness of 0.1 mm. Electrodes 22a and 22b of the conductive member 22
Are provided at two target positions of the diagonal part where interference with the X wiring and the Y wiring of the opposing rear substrate 12 is small.
The conductive member 22 has a cross-sectional area of 0.1 mm 2 or more in order to secure a sufficient amount of current when energized. Also, the electrode 2
The resistance between 2a and 22b is 0.05 to 0.5 at room temperature.
It was set to about Ω.

【0057】そして、これら前面基板11および背面基
板12を導電部材22と共に真空槽内に配置し、真空槽
内で脱ガス、ゲッター膜形成後、図9に示す状態、すな
わち前面基板11の周縁部と背面基板12に立設した側
壁13との間に導電部材22を挟んだ状態にして、加圧
装置23a、23bに装填する。つまり、前面基板1
1、背面基板12、および導電部材22を、約100℃
の温度で所定の位置に配置し、加圧装置23a、23b
により約50kgの荷重で重ね合わせる。さらに、導電部
材22の電極22a、22bに電源25を接続する。
Then, the front substrate 11 and the rear substrate 12 are placed in a vacuum chamber together with the conductive member 22, and after degassing and getter film formation in the vacuum chamber, the state shown in FIG. The conductive member 22 is sandwiched between the side wall 13 and the side wall 13 provided upright on the rear substrate 12, and the pressure members 23a and 23b are loaded. That is, the front substrate 1
1, the rear substrate 12, and the conductive member 22, about 100 ℃
Placed in place at the temperature of
With the load of about 50kg. Further, the power source 25 is connected to the electrodes 22a and 22b of the conductive member 22.

【0058】この状態で、電源25を介して電極22
a、22bに対して直流130Aを40秒間印加し、導
電部材22を加熱して封着部材21a、21bをその全
周に渡って均一且つ十分に溶解する。通電を停止した
後、前面基板1および背面基板12を30秒間保持して
通電加熱により温度上昇した封着部材21a、21bの
熱を前面基板11や側壁13に放熱し、封着部材21
a、21bを冷却固化させた。
In this state, the electrode 22 is connected via the power supply 25.
A direct current of 130 A is applied to a and 22b for 40 seconds to heat the conductive member 22 and melt the sealing members 21a and 21b uniformly and sufficiently over the entire circumference thereof. After the energization is stopped, the front substrate 1 and the rear substrate 12 are held for 30 seconds to radiate the heat of the sealing members 21a and 21b whose temperature has been raised by the energization heating to the front substrate 11 and the side wall 13, and the sealing member 21.
A and 21b were cooled and solidified.

【0059】このようにして真空外囲器を製作したとこ
ろ、封着にかかる時間は従来30分程度であったものが
1分程度に大幅に短縮され、封着時の装置も簡単なもの
とすることができた。
When the vacuum envelope was manufactured in this way, the time required for sealing was reduced from about 30 minutes in the past to about 1 minute, and the apparatus for sealing was simple. We were able to.

【0060】(実施例2)実施例2の主な構成は、実施
例1と同じである。実施例2では、上述の封着工程にお
いて、商用周波数である60Hzで変動する実効電流値
120Aの正弦波の交流電流を導電部材22の電極22
a、22bに60秒間印加し、その後、1分間保持して
真空外囲器を形成した。
(Second Embodiment) The main structure of the second embodiment is the same as that of the first embodiment. In the second embodiment, in the above-described sealing step, a sinusoidal alternating current with an effective current value of 120 A varying at a commercial frequency of 60 Hz is applied to the electrode 22 of the conductive member 22.
A vacuum was applied to a and 22b for 60 seconds and then held for 1 minute to form a vacuum envelope.

【0061】(実施例3)実施例3の主な構成は、実施
例1と同じである。実施例3では、上述の封着工程にお
いて、商用周波数よりも高い周波数、例えば、300k
Hzで変動する実効電流値4Aの正弦波の交流電流を導
電部材22の電極22a、22bに30秒間印加し、そ
の後、1分間保持して真空外囲器を形成した。
(Third Embodiment) The main structure of the third embodiment is the same as that of the first embodiment. In the third embodiment, in the sealing process described above, a frequency higher than the commercial frequency, for example, 300 k
A sinusoidal alternating current with an effective current value of 4 A varying at Hz was applied to the electrodes 22a and 22b of the conductive member 22 for 30 seconds and then held for 1 minute to form a vacuum envelope.

【0062】(実施例4)実施例4の主な構成は、実施
例1と同じである。実施例4では、図10に示すよう
に、上述した前面基板11と側壁13との接合と合わせ
て、背面基板12と側壁13との接合も上述した導電部
材を用いて真空槽内で行なった。このとき、前面基板1
1の周縁部と側壁13とが対向する接合部に、矩形枠状
の封着材料21a、図7(a)に示した導電部材22、
および矩形枠状の封着材料21bを設けた。また、背面
基板12の周縁部と側壁13とが対向する接合部に、矩
形枠状の封着材料21a、図7(b)に示した導電部材
22、および矩形枠状の封着材料21bを設けた。
(Fourth Embodiment) The main structure of the fourth embodiment is the same as that of the first embodiment. In Example 4, as shown in FIG. 10, in addition to the bonding between the front substrate 11 and the side wall 13 described above, the bonding between the rear substrate 12 and the side wall 13 was also performed in the vacuum chamber using the above-described conductive member. . At this time, the front substrate 1
In the joint portion where the peripheral edge portion of 1 and the side wall 13 face each other, a rectangular frame-shaped sealing material 21a, the conductive member 22 shown in FIG.
And the rectangular frame-shaped sealing material 21b was provided. Further, the rectangular frame-shaped sealing material 21a, the conductive member 22 shown in FIG. 7 (b), and the rectangular frame-shaped sealing material 21b are provided at the joint where the peripheral edge of the rear substrate 12 and the side wall 13 face each other. Provided.

【0063】そして、前面基板11、背面基板12、お
よび側壁13を上述したような所定の位置に重ね合わ
せ、電極22a、22bに電源25を介して100Aを
150秒間通電し、同時に電極22c、22dに電源2
6を介して100Aを150秒間通電した。その後、約
2分間保持して封着部材21a、21bを冷却固化さ
せ、前面基板11、背面基板12、および側壁13を封
着した。
Then, the front substrate 11, the rear substrate 12, and the side wall 13 are superposed at the predetermined positions as described above, and the electrodes 22a and 22b are energized at 100 A for 150 seconds through the power source 25, and at the same time, the electrodes 22c and 22d are simultaneously fed. Power on 2
100 A was energized for 150 seconds via No. 6. After that, the sealing members 21a and 21b were cooled and solidified by holding for about 2 minutes to seal the front substrate 11, the rear substrate 12, and the side wall 13.

【0064】(実施例5)実施例5の主な構成は、実施
例1と同じである。実施例5では、図11に示すよう
に、上述した導電部材22を用いることなく、導電性の
側壁24を介して前面基板11および背面基板12を接
合させ、側壁24自体に通電することで、前面基板11
および背面基板12を封着するようにした。この際、側
壁24として、幅2mm、高さ1.1mmの矩形枠状のSU
S304を用い、200Aを30秒間通電し、続いて1
40Aを10秒間通電した後、前面基板11および背面
基板12を約2分間保持して封着材料21a、21bを
冷却個化させた。
(Fifth Embodiment) The main configuration of the fifth embodiment is the same as that of the first embodiment. In the fifth embodiment, as shown in FIG. 11, the front substrate 11 and the rear substrate 12 are joined via the conductive side wall 24 and the side wall 24 itself is energized without using the conductive member 22 described above. Front substrate 11
The rear substrate 12 is sealed. At this time, as the side wall 24, a rectangular frame-shaped SU having a width of 2 mm and a height of 1.1 mm is used.
Using S304, energize 200A for 30 seconds, then 1
After 40 A was energized for 10 seconds, the front substrate 11 and the rear substrate 12 were held for about 2 minutes to cool and separate the sealing materials 21a and 21b.

【0065】[0065]

【発明の効果】以上説明したように、この発明の表示装
置、および表示装置の製造方法によると、前面基板およ
び背面基板の周縁部を封着するための封着処理に要する
時間を短縮でき、周縁部を確実且つ容易に封着できる。
As described above, according to the display device and the manufacturing method of the display device of the present invention, the time required for the sealing process for sealing the peripheral portions of the front substrate and the rear substrate can be shortened, The peripheral portion can be securely and easily sealed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の実施の形態に係るFEDの外観を示
す斜視図。
FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of an FED according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1のFEDの背面基板側の構成を示す斜視
図。
FIG. 2 is a perspective view showing a configuration on a rear substrate side of the FED of FIG.

【図3】図1のFEDの断面図。FIG. 3 is a sectional view of the FED of FIG.

【図4】図1のFEDの前面基板に形成された蛍光体ス
クリーンの一部を拡大して示す平面図。
4 is an enlarged plan view showing a part of a phosphor screen formed on a front substrate of the FED shown in FIG.

【図5】図1のFEDの前面基板をその内側から見た平
面図。
5 is a plan view of the front substrate of the FED shown in FIG. 1 as viewed from the inside thereof.

【図6】図1のFEDの背面基板、側壁、スペーサを示
す平面図。
FIG. 6 is a plan view showing a rear substrate, side walls, and spacers of the FED shown in FIG.

【図7】図1のFEDの製造に用いられる導電部材を示
す平面図。
FIG. 7 is a plan view showing a conductive member used for manufacturing the FED of FIG.

【図8】上記FEDの製造工程において、真空槽内での
組立ての流れを示すフローチャート。
FIG. 8 is a flowchart showing a flow of assembling in a vacuum chamber in the manufacturing process of the FED.

【図9】図1のFEDを製造するための製造装置を示す
概略図。
FIG. 9 is a schematic view showing a manufacturing apparatus for manufacturing the FED of FIG.

【図10】前面基板および背面基板と側壁との間を封着
する実施例を説明するための概略図。
FIG. 10 is a schematic view for explaining an embodiment in which the front substrate, the rear substrate and the side wall are sealed.

【図11】導電性を有する側壁に通電して封着する実施
例を説明するための概略図。
FIG. 11 is a schematic view for explaining an embodiment in which a conductive side wall is energized and sealed.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…表示装置、 11…前面基板、 12…背面基板、 13…側壁、 14…スペーサ、 15…蛍光体スクリーン、 18…電子放出素子、 21a、21b…封着材料、 22…導電部材、 22a、22b、22c、22d…電極、 23a、23b…加圧装置、 25、26、27…電源。 10 ... Display device, 11 ... Front substrate, 12 ... rear substrate, 13 ... Side wall, 14 ... Spacer, 15 ... Phosphor screen, 18 ... Electron emitting device, 21a, 21b ... sealing material, 22 ... Conductive member, 22a, 22b, 22c, 22d ... Electrodes, 23a, 23b ... Pressurizing device, 25, 26, 27 ... Power supply.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横田 昌広 埼玉県深谷市幡羅町一丁目9番地2 株式 会社東芝深谷工場内 (72)発明者 西村 孝司 埼玉県深谷市幡羅町一丁目9番地2 株式 会社東芝深谷工場内 Fターム(参考) 5C012 AA05 BC03 5C036 EE01 EE03 EE14 EE17 EF01 EF06 EF09 EG02 EG06 EH11 EH24    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Masahiro Yokota             2 shares, 1-9-1 Harara-cho, Fukaya City, Saitama Prefecture             Company Toshiba Fukaya Factory (72) Inventor Koji Nishimura             2 shares, 1-9-1 Harara-cho, Fukaya City, Saitama Prefecture             Company Toshiba Fukaya Factory F-term (reference) 5C012 AA05 BC03                 5C036 EE01 EE03 EE14 EE17 EF01                       EF06 EF09 EG02 EG06 EH11                       EH24

Claims (25)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 前面基板と、 この前面基板に対向配置されている背面基板と、 上記前面基板および背面基板の周縁部を封着する封着手
段と、を有する外囲器を備え、 上記封着手段は、通電により加熱溶融されて上記周縁部
を封着する導電性の封着材料、およびこの封着材料の融
点よりも高い融点を有し上記周縁部に配置された導電部
材を有することを特徴とする表示装置。
1. An envelope comprising: a front substrate; a rear substrate arranged to face the front substrate; and a sealing means for sealing the peripheral portions of the front substrate and the rear substrate. The attaching means includes a conductive sealing material that is heated and melted by energization to seal the peripheral edge portion, and a conductive member having a melting point higher than the melting point of the sealing material and disposed on the peripheral edge portion. A display device characterized by.
【請求項2】 前面基板と、 この前面基板に対向配置されている背面基板と、 上記前面基板および背面基板の周縁部を封着する封着手
段と、を有する外囲器を備え、 上記封着手段は、加熱により溶融されて上記周縁部を封
着する封着材料、およびこの封着材料を加熱せしめるた
め封着材料の中に配置され通電により加熱される導電部
材を有することを特徴とする表示装置。
2. An envelope having a front substrate, a back substrate arranged to face the front substrate, and a sealing means for sealing the peripheral portions of the front substrate and the back substrate, the envelope comprising: The attaching means includes a sealing material that is melted by heating to seal the peripheral portion, and a conductive member that is disposed in the sealing material to heat the sealing material and that is heated by energization. Display device.
【請求項3】 前面基板と、 この前面基板に対向配置されている背面基板と、 上記前面基板および背面基板間で前面基板および背面基
板の周縁部に設けられた導電部材からなる枠状の側壁
と、 上記前面基板および背面基板の少なくとも一方と上記側
壁との間の接合部に設けられ、上記側壁を通電すること
により加熱溶融されて上記接合部を封着する封着材料
と、 を有する外囲器を備えたことを特徴とする表示装置。
3. A frame-shaped side wall composed of a front substrate, a back substrate arranged to face the front substrate, and a conductive member provided at a peripheral portion of the front substrate and the back substrate between the front substrate and the back substrate. And a sealing material which is provided at a joint between at least one of the front substrate and the rear substrate and the side wall and which is heated and melted by energizing the side wall to seal the joint. A display device comprising an enclosure.
【請求項4】 前面基板と、 この前面基板に対向配置されている背面基板と、 上記前面基板および背面基板間で前面基板および背面基
板の周縁部に設けられた枠状の側壁と、 上記前面基板および背面基板の少なくとも一方と上記側
壁との間の接合部を封着する封着手段と、を有する外囲
器を備え、 上記封着手段は、加熱により溶融されて上記周縁部を封
着する封着材料、およびこの封着材料を加熱せしめるた
め封着材料内に配置された通電により加熱される導電部
材を有することを特徴とする表示装置。
4. A front substrate, a back substrate arranged to face the front substrate, frame-shaped side walls provided on the peripheral portions of the front substrate and the back substrate between the front substrate and the back substrate, and the front face. An envelope having sealing means for sealing a joint between at least one of the substrate and the rear substrate and the side wall, the sealing means being melted by heating to seal the peripheral portion. A display device, comprising: a sealing material for heat treatment; and a conductive member disposed in the sealing material for heating the sealing material and heated by an electric current.
【請求項5】 上記封着材料は、導電性を有することを
特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の表示装
置。
5. The display device according to claim 2, wherein the sealing material has conductivity.
【請求項6】 上記封着材料は、InまたはInを含む
合金を含んでいることを特徴とする請求項1または5に
記載の表示装置。
6. The display device according to claim 1, wherein the sealing material contains In or an alloy containing In.
【請求項7】 上記封着材料は、300℃以下で溶融ま
たは軟化することを特徴とする請求項6に記載の表示装
置。
7. The display device according to claim 6, wherein the sealing material melts or softens at 300 ° C. or lower.
【請求項8】 上記導電部材は、凸凹な表面を有するこ
とを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の表示
装置。
8. The display device according to claim 1, wherein the conductive member has an uneven surface.
【請求項9】 上記導電部材は、上記外囲器の外側に延
出した少なくとも2つの接続端子を有し、これら接続端
子には電源が接続されることを特徴とする請求項1乃至
4のいずれかに記載の表示装置。
9. The conductive member has at least two connecting terminals extending to the outside of the envelope, and a power source is connected to these connecting terminals. The display device according to any one of claims.
【請求項10】 上記導電部材の断面積は、0.1mm
以上であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれ
かに記載の表示装置。
10. The cross-sectional area of the conductive member is 0.1 mm.
The display device according to claim 1, wherein the display device is two or more.
【請求項11】 上記導電部材は、Fe、Cr、Ni、
Al、Cu、Ag、Co、Tiの少なくとも1つを含む
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の表
示装置。
11. The conductive member is made of Fe, Cr, Ni,
The display device according to claim 1, further comprising at least one of Al, Cu, Ag, Co, and Ti.
【請求項12】 上記導電部材は、融点が500℃以上
の材料により形成されていることを特徴とする請求項1
乃至4のいずれかに記載の表示装置。
12. The conductive member is formed of a material having a melting point of 500 ° C. or higher.
5. The display device according to any one of 4 to 4.
【請求項13】 上記導電部材の熱膨張係数は、上記封
着材料の熱膨張係数の80〜120%であることを特徴
とする請求項1乃至4のいずれかに記載の表示装置。
13. The display device according to claim 1, wherein a thermal expansion coefficient of the conductive member is 80 to 120% of a thermal expansion coefficient of the sealing material.
【請求項14】 上記導電部材の熱膨張係数は、上記側
壁の熱膨張係数の80〜120%であることを特徴とす
る請求項4に記載の表示装置。
14. The display device according to claim 4, wherein a coefficient of thermal expansion of the conductive member is 80 to 120% of a coefficient of thermal expansion of the side wall.
【請求項15】 上記導電部材の熱膨張係数は、上記前
面基板、背面基板および側壁それぞれの熱膨張係数のう
ち最も小さい熱膨張係数と最も大きい熱膨張係数との間
にあることを特徴とする請求項4に記載の表示装置。
15. The coefficient of thermal expansion of the conductive member is between the smallest coefficient of thermal expansion and the largest coefficient of thermal expansion of the front substrate, the rear substrate and the side wall. The display device according to claim 4.
【請求項16】 上記外囲器の内部には電子源と蛍光体
が設けられ、該内部は真空にされていることを特徴とす
る請求項1乃至15のいずれかに記載の表示装置。
16. The display device according to claim 1, wherein an electron source and a phosphor are provided inside the envelope, and the inside is evacuated.
【請求項17】 前面基板と、この前面基板に対向配置
された背面基板と、をその周縁部で封着した外囲器を備
えた表示装置の製造方法において、 上記周縁部に通電により加熱溶融される導電性の封着材
料、およびこの封着材料の融点よりも高い融点を有する
導電部材を設け、この導電部材と上記封着材料に通電す
ることで該封着材料を加熱溶融し、上記前面基板および
背面基板をその周縁部で封着することを特徴とする表示
装置の製造方法。
17. A method of manufacturing a display device comprising an envelope in which a front substrate and a rear substrate arranged to face the front substrate are sealed at their peripheral portions, wherein the peripheral portions are heated and melted by energization. A conductive sealing material to be used, and a conductive member having a melting point higher than the melting point of the sealing material are provided, and the conductive material and the sealing material are energized to heat and melt the sealing material, A method of manufacturing a display device, comprising sealing a front substrate and a rear substrate at their peripheral portions.
【請求項18】 前面基板と、この前面基板に対向配置
された背面基板と、をその周縁部で封着した外囲器を備
えた表示装置の製造方法において、 上記周縁部に加熱により溶融される封着材料を設け、該
封着材料の中に通電により加熱する導電部材を設け、こ
の通電部材に通電することで上記封着材料を加熱溶融
し、上記前面基板および背面基板をその周縁部で封着す
ることを特徴とする表示装置の製造方法。
18. A method of manufacturing a display device comprising an envelope in which a front substrate and a back substrate arranged to face the front substrate are sealed at their peripheral portions, wherein the peripheral portions are melted by heating. A sealing member is provided, and a conductive member for heating by energization is provided in the sealing material. By energizing the energizing member, the sealing material is heated and melted, and the front substrate and the rear substrate are provided with peripheral portions thereof. A method for manufacturing a display device, comprising:
【請求項19】 前面基板と、この前面基板に対向配置
された背面基板と、を基板間でその周縁部に設けた導電
性の枠状の側壁を介して封着した外囲器を備えた表示装
置の製造方法において、 上記前面基板および背面基板の少なくとも一方と上記側
壁との間の接合部に通電により加熱溶融する封着材料を
設け、上記側壁を通電することで上記封着材料を加熱溶
融し、上記前面基板および背面基板をその周縁部で封着
することを特徴とする表示装置の製造方法。
19. An envelope provided with a front substrate and a rear substrate arranged to face the front substrate sealed together via conductive frame-like side walls provided between the substrates at their peripheral portions. In the method for manufacturing a display device, a sealing material that is heated and melted by energization is provided at a joint between at least one of the front substrate and the back substrate and the side wall, and the side wall is energized to heat the sealing material. A method for manufacturing a display device, which comprises melting and sealing the front substrate and the rear substrate at their peripheral portions.
【請求項20】 前面基板と、この前面基板に対向配置
された背面基板と、を基板間でその周縁部に設けた枠状
の側壁を介して封着した外囲器を備えた表示装置の製造
方法において、 上記前面基板および背面基板の少なくとも一方と上記側
壁との間の接合部に加熱により溶融する封着材料を設
け、該封着材料の中に通電により加熱する導電部材を設
け、この導電部材に通電することで上記封着材料を加熱
溶融し、上記前面基板および背面基板をその周縁部で封
着することを特徴とする表示装置の製造方法。
20. A display device having an envelope in which a front substrate and a rear substrate arranged to face the front substrate are sealed via a frame-shaped side wall provided between the substrates at a peripheral portion thereof. In the manufacturing method, a sealing material that is melted by heating is provided at a joint between at least one of the front substrate and the rear substrate and the side wall, and a conductive member that is heated by electricity is provided in the sealing material. A method for manufacturing a display device, comprising heating and melting the sealing material by energizing a conductive member to seal the front substrate and the rear substrate at their peripheral portions.
【請求項21】 上記導電部材に接続した電源を介して
該導電部材に直流電流を通電することを特徴とする請求
項17、18、20のいずれかに記載の表示装置の製造
方法。
21. The method of manufacturing a display device according to claim 17, wherein a direct current is applied to the conductive member via a power source connected to the conductive member.
【請求項22】 上記導電部材に接続した電源を介して
該導電部材に商用周波数の交流電流を通電することを特
徴とする請求項17、18、20のいずれかに記載の表
示装置の製造方法。
22. The method of manufacturing a display device according to claim 17, wherein an alternating current having a commercial frequency is applied to the conductive member via a power source connected to the conductive member. .
【請求項23】 上記導電部材に接続した電源を介して
該導電部材に商用周波数より高い周波数の交流電流を通
電することを特徴とする請求項17、18、20のいず
れかに記載の表示装置の製造方法。
23. The display device according to claim 17, wherein an alternating current having a frequency higher than a commercial frequency is applied to the conductive member via a power source connected to the conductive member. Manufacturing method.
【請求項24】 上記導電部材に通電する直前の上記前
面基板および背面基板の温度を上記封着材料の融点より
低く設定したことを特徴とする請求項17、18、20
のいずれかに記載の表示装置の製造方法。
24. The temperature of the front substrate and the rear substrate immediately before energizing the conductive member is set to be lower than the melting point of the sealing material.
A method for manufacturing a display device according to any one of 1.
【請求項25】 上記前面基板および背面基板の温度と
上記封着材料の融点との差は、20℃〜150℃である
ことを特徴とする請求項24に記載の表示装置の製造方
法。
25. The method of manufacturing a display device according to claim 24, wherein the difference between the temperature of the front substrate and the rear substrate and the melting point of the sealing material is 20 ° C. to 150 ° C.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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