JP2003060474A - Piezoelectric device, and mobile telephone apparatus and electronic appliance utilizing the piezoelectric device - Google Patents

Piezoelectric device, and mobile telephone apparatus and electronic appliance utilizing the piezoelectric device

Info

Publication number
JP2003060474A
JP2003060474A JP2001246280A JP2001246280A JP2003060474A JP 2003060474 A JP2003060474 A JP 2003060474A JP 2001246280 A JP2001246280 A JP 2001246280A JP 2001246280 A JP2001246280 A JP 2001246280A JP 2003060474 A JP2003060474 A JP 2003060474A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
package
base portion
piezoelectric
piezoelectric device
vibrating piece
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001246280A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3894284B2 (en
Inventor
Hideo Endo
秀男 遠藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2001246280A priority Critical patent/JP3894284B2/en
Publication of JP2003060474A publication Critical patent/JP2003060474A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3894284B2 publication Critical patent/JP3894284B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric device, and mobile telephone apparatuses and electronic apparatuses which utilize the piezoelectric device whose shock resistance is made superior, owing to the fastening of its piezoelectric vibrating piece being firm, even when its constitution is made compact. SOLUTION: A tuning-fork type piezoelectric vibrating piece 32 stored in the piezoelectric device 30 has a base portion 51, fastened to the side of a package 36 and has a pair of vibrating arms 34, 35 extended in parallel with each other from the base portion, and further, there are made into curved-form or chamfered shapes of both the end portions 57, 57 present on the opposite side of the base portion 51 to the vibrating arms which are both the end potions in its width direction.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、音叉型の圧電振動
片をパッケージに内蔵した圧電デバイスに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric device having a tuning fork type piezoelectric vibrating piece built in a package.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、HDD(ハード・ディスク・ドラ
イブ)、モバイルコンピュータ、あるいはICカード等
の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、あるいは
ページングシステム等の移動体通信機器において装置の
小型薄型化がめざましく、それらに用いられる圧電デバ
イスも小型薄型化が要求されている。また、それととも
に、装置の回路基板に両面実装が可能な表面実装タイプ
の圧電デバイスが求められている。
2. Description of the Related Art In recent years, devices such as HDDs (hard disk drives), mobile computers, and small information devices such as IC cards, and mobile communication devices such as mobile phones, car phones, and paging systems are small and thin. The piezoelectric devices used in these devices are required to be small and thin. At the same time, there is a demand for a surface-mounting type piezoelectric device that can be mounted on both sides of a circuit board of an apparatus.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】図14は、このような
小型化の要請の下に、試作が検討されている圧電デバイ
スの構成例を示す概略平面図であり、図14(a)は、
小型の圧電デバイスの構成を示す概略断面図、図14
(b)は、図14(a)の部分Aを拡大して示す図であ
る。図14において、試作が検討されている圧電デバイ
ス1は、パッケージ6の内部に、圧電振動片2を収容し
ている。この圧電振動片2は、例えば水晶基板を利用し
て形成されている。この圧電振動片2は、パッケージ6
の電極部に接合される基部11と、この基部11から平
行に延びる一対の振動腕4,5を有する音叉型に形成さ
れ、その表面に図示しない駆動用の金属電極が形成され
ている。
FIG. 14 is a schematic plan view showing an example of the structure of a piezoelectric device which is under trial manufacture under the demand for miniaturization as described above. FIG.
FIG. 14 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a small piezoelectric device.
(B) is a figure which expands and shows the part A of Fig.14 (a). In FIG. 14, the piezoelectric device 1, which is under trial production, contains the piezoelectric vibrating piece 2 inside the package 6. The piezoelectric vibrating piece 2 is formed by using, for example, a quartz substrate. This piezoelectric vibrating piece 2 is a package 6
Is formed into a tuning fork type having a base portion 11 joined to the electrode portion and a pair of vibrating arms 4 and 5 extending in parallel from the base portion 11, and a driving metal electrode (not shown) is formed on the surface thereof.

【0004】パッケージ6は、セラミック製の複数の基
板を積層して内側に所定の内部空間Sを形成するように
されている。この内部空間Sにおいて、パッケージ6の
内側の底部には、導電性の接着剤7等を介して、上述し
た圧電振動片2の基部11が電極部3,3上に接合固定
されており、圧電振動片2の先端部は自由端とされてい
る。そして、パッケージ6の開放された上端には、低融
点ガラス等のロウ材を介して、ガラス等の光を透過する
材料,すなわち光透過性の材料で形成された蓋体9が接
合されることにより、封止されている。
The package 6 is formed by stacking a plurality of ceramic substrates to form a predetermined internal space S inside. In the internal space S, the base portion 11 of the piezoelectric vibrating piece 2 described above is bonded and fixed on the electrode portions 3 and 3 to the inner bottom portion of the package 6 via the conductive adhesive 7 or the like. The tip of the resonator element 2 is a free end. Then, a lid 9 made of a light-transmitting material such as glass, that is, a light-transmitting material, is joined to the open upper end of the package 6 through a brazing material such as low-melting glass. Are sealed by.

【0005】圧電デバイス1は、以上のように構成され
ており、外部からの駆動電圧が、電極部3及び導電性接
着剤7を介して、圧電振動片2に伝えられると、圧電振
動片2の図示しない励振電極からの電圧が圧電材料に伝
えられることで、一対の振動腕4,5が屈曲振動を生
じ、所定の周波数で振動する。この所定の周波数を外部
に取り出すことによって、所定の周波数の出力を得るこ
とができるようになっている。
The piezoelectric device 1 is configured as described above, and when the driving voltage from the outside is transmitted to the piezoelectric vibrating piece 2 via the electrode portion 3 and the conductive adhesive 7, the piezoelectric vibrating piece 2 is formed. By transmitting a voltage from the excitation electrode (not shown) to the piezoelectric material, the pair of vibrating arms 4 and 5 generate bending vibration and vibrate at a predetermined frequency. By outputting this predetermined frequency to the outside, it is possible to obtain the output of the predetermined frequency.

【0006】ここで、圧電デバイス1は、上述した小型
化の要請のために、図示のような音叉型の圧電振動片2
を用いて、例えば、図14(a)の各寸法を次のように
設定している。図において、パッケージ6の全長aは
3.20mm、パッケージ6の全幅bは1.50mm、
圧電振動片2の全長dは2.20mm、圧電振動片2の
基部11とパッケージ6内壁との間隔cは、0.1m
m、圧電振動片2の振動腕4,5の先端とパッケージ6
内壁との間隔eは、0.1mmである。
Here, the piezoelectric device 1 is a tuning fork type piezoelectric vibrating piece 2 as shown in the drawings because of the above-mentioned demand for miniaturization.
Using, the dimensions of FIG. 14A are set as follows, for example. In the figure, the total length a of the package 6 is 3.20 mm, the total width b of the package 6 is 1.50 mm,
The total length d of the piezoelectric vibrating piece 2 is 2.20 mm, and the distance c between the base 11 of the piezoelectric vibrating piece 2 and the inner wall of the package 6 is 0.1 m.
m, the tips of the vibrating arms 4 and 5 of the piezoelectric vibrating piece 2 and the package 6
The distance e from the inner wall is 0.1 mm.

【0007】このように、小型化された圧電デバイス1
のパッケージ6内に、圧電振動片2を接合する場合に
は、上述したように、パッケージ6の内側底部に形成さ
れた電極部3,3上に、導電性接着剤7,7を適用し、
その上に圧電振動片2の基部11を載せて、上から軽く
押さえ、導電性接着剤7,7を基部11の下で拡げてか
ら、硬化させるようにしている。
The piezoelectric device 1 thus miniaturized
When bonding the piezoelectric vibrating reed 2 in the package 6, the conductive adhesives 7, 7 are applied on the electrode portions 3, 3 formed on the inner bottom of the package 6, as described above,
The base portion 11 of the piezoelectric vibrating reed 2 is placed on it, and is lightly pressed from above to spread the conductive adhesives 7, 7 under the base portion 11 and then cured.

【0008】しかしながら、このような圧電振動片2の
接合固定作業においては、以下のような問題がある。図
15は、圧電振動片2の固定される領域を示しており、
図14(a)における圧電振動片2の基部11の上部を
拡大して示す平面図である。圧電振動片2をパッケージ
6内に収容して、確実に固定しようとする場合には、電
極部3上に導電性接着剤7を比較的多量に適用し、その
上に基部11を載せて導電性接着剤7を硬化させる。図
15の場合には、圧電振動片2が多量の導電性接着剤7
によって、電極部3上にしっかりと固定され、圧電デバ
イス1に外部から衝撃が加えられた場合にも、破壊され
にくいという利点がある。
However, there are the following problems in the work of joining and fixing the piezoelectric vibrating piece 2 as described above. FIG. 15 shows a region where the piezoelectric vibrating piece 2 is fixed,
It is a top view which expands and shows the upper part of the base 11 of the piezoelectric vibrating piece 2 in FIG. 14 (a). When the piezoelectric vibrating reed 2 is housed in the package 6 and is intended to be securely fixed, a relatively large amount of the conductive adhesive 7 is applied on the electrode portion 3, and the base portion 11 is placed on the conductive adhesive 7 to conduct the electric conduction. The adhesive agent 7 is cured. In the case of FIG. 15, the piezoelectric vibrating piece 2 contains a large amount of conductive adhesive 7.
Thus, there is an advantage that the piezoelectric device 1 is firmly fixed on the electrode part 3 and is not easily broken even when an external impact is applied to the piezoelectric device 1.

【0009】ところが、導電性接着剤7を多量に適用す
ると、図15に示すように、横へ拡がり、基部11全体
だけでなく、この基部11と、振動腕4の基端付近の拡
幅部12との間に存在する切り欠き部13まで導電性接
着剤7が回り込んでしまう場合がある。ここで、切り欠
き部13は、振動腕4からの振動が基部11に漏れ込み
にくいように設けられるものであり、図示のように、導
電性接着剤7が、切り欠き部13に回り込み、振動腕4
に近い部分まで導電性接着剤7で固定するようになる
と、固定後に切り欠き部13の本来の機能を阻害して、
CI(クリスタルインピーダンス)値の上昇を招く場合
がある。
However, when a large amount of the conductive adhesive 7 is applied, it spreads laterally as shown in FIG. 15, and not only the entire base 11 but also the base 11 and the widened portion 12 near the base end of the vibrating arm 4. In some cases, the conductive adhesive 7 may wrap around to the notch 13 existing between and. Here, the notch 13 is provided so that the vibration from the vibrating arm 4 does not easily leak to the base 11, and the conductive adhesive 7 wraps around the notch 13 and vibrates as illustrated. Arm 4
When the conductive adhesive 7 is used to fix even a portion close to the position, the original function of the cutout portion 13 is impaired after fixing,
In some cases, the CI (crystal impedance) value may increase.

【0010】このような事態を回避するために、導電性
接着剤7の量を制限し、例えば、図15に平行斜線で示
すように、基部11の中央付近に相当する範囲となるよ
うに、少量の導電性接着剤7を電極部3上に適用し、上
から基部11を載置して、軽く押圧した場合には、図1
6に示すような状態となる場合がある。
In order to avoid such a situation, the amount of the conductive adhesive 7 is limited, and for example, as shown by the hatched lines in FIG. 15, a range corresponding to the vicinity of the center of the base 11 is provided. When a small amount of the conductive adhesive 7 is applied on the electrode part 3 and the base part 11 is placed from above and lightly pressed,
In some cases, the state shown in 6 may occur.

【0011】すなわち、図16は、圧電振動片2の基部
11の底面11bと導電性接着剤7との関係を示してお
り、少量の導電性接着剤7は、基部11により上から押
圧されても、量が不足することから、基部11の底面1
1b全体に回り込まない場合がある。特に、図14
(b)及び図15に示されているように、基部11の端
部11c側の両角部は、直角に形成されているので、こ
の角隅部には、導電性接着剤7が回り込まないで、隙間
ないしノッチ14が形成されてしまう。この隙間14の
箇所は、導電性接着剤7により固定されないことから、
圧電デバイス1に外部から衝撃が加えられた場合に、応
力が集中し、破壊されるおそれがある。
That is, FIG. 16 shows the relationship between the bottom surface 11b of the base portion 11 of the piezoelectric vibrating piece 2 and the conductive adhesive agent 7. A small amount of the conductive adhesive agent 7 is pressed from above by the base portion 11. Also, since the amount is insufficient, the bottom surface 1 of the base 11 is
There is a case where it does not go around the entire 1b. In particular, FIG.
As shown in (b) and FIG. 15, both corners of the base 11 on the side of the end 11c are formed at right angles, so that the conductive adhesive 7 does not go around the corners. , A gap or notch 14 is formed. Since the gap 14 is not fixed by the conductive adhesive 7,
When an impact is applied to the piezoelectric device 1 from the outside, stress is concentrated and there is a risk that the device is broken.

【0012】本発明の目的は、上述の問題を解決するた
めになされたものであり、小型に構成しても、圧電振動
片が強固に固定されることで、優れた耐衝撃性を備える
圧電デバイスと、このデバイスを利用した携帯電話装置
及び電子機器を提供することを目的とする。
The object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and even if the piezoelectric vibrating reed is firmly fixed even with a small size, the piezoelectric vibrating piece has excellent impact resistance. An object of the present invention is to provide a device, a mobile phone device and an electronic device using the device.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上述の目的は、請求項1
の発明によれば、音叉型の圧電振動片を片持ち式に固定
して内部に収容するようにしたパッケージとこのパッケ
ージに固定される蓋体とを有する圧電デバイスであっ
て、前記音叉型の圧電振動片が、パッケージ側に固定さ
れる基部と、この基部から平行に延びる一対の振動腕と
を備えており、前記基部の前記振動腕と反対側の幅方向
両端部が曲線状もしくは面取り形状とされている、圧電
デバイスにより、達成される。請求項1の構成によれ
ば、圧電振動片の前記基部の前記振動腕と反対側の幅方
向両端部が曲線状もしくは面取り形状とされているか
ら、この基部の底面の当該領域に角隅部が存在しない。
このため、比較的少ない量の導電性接着剤を使用した場
合にも、この接着剤は基部の底面の全面に付着する。こ
のため、導電性接着剤が付着しないで角隅部の底面に隙
間をつくることがないから、外部からの衝撃を受けて、
応力が集中する箇所がなく、破断しやすい領域が形成さ
れないので、圧電振動片は強固に固定される。ここで、
圧電デバイスとは、圧電振動子や圧電発振器等のパッケ
ージ内に圧電振動片を収容した圧電素子を広く含むもの
である。
The above-mentioned object is defined in claim 1.
According to another aspect of the invention, there is provided a piezoelectric device having a package in which a tuning-fork type piezoelectric vibrating piece is fixed in a cantilever manner and accommodated therein, and a lid body fixed to the package. The piezoelectric vibrating piece includes a base portion fixed to the package side and a pair of vibrating arms extending in parallel from the base portion, and both widthwise opposite ends of the base portion on the side opposite to the vibrating arms are curved or chamfered. It is achieved by a piezoelectric device which is said to be. According to the structure of claim 1, since both ends of the piezoelectric vibrating reed in the width direction on the side opposite to the vibrating arms of the base portion are curved or chamfered, corner portions are formed in the region of the bottom surface of the base portion. Does not exist.
Therefore, even when a relatively small amount of conductive adhesive is used, this adhesive adheres to the entire bottom surface of the base. For this reason, there is no gap on the bottom surface of the corner without the conductive adhesive attached.
The piezoelectric vibrating reed is firmly fixed because there is no place where stress is concentrated and a region that easily breaks is not formed. here,
The piezoelectric device broadly includes a piezoelectric element in which a piezoelectric vibrating piece is housed in a package such as a piezoelectric vibrator or a piezoelectric oscillator.

【0014】請求項2の発明は、請求項1の構成におい
て、前記基部の前記振動腕と反対側の幅方向両端部が、
楕円もしくは長円の一部を含む曲線状に形成されている
ことを特徴とする。請求項2の構成によれば、圧電振動
片の基部の前記振動腕と反対側の幅方向両端部が、楕円
もしくは長円の一部を含む曲線状に形成されていること
から、請求項1の場合と同様に、この箇所に角隅部がな
く、導電性接着剤が付着しない隙間を生じることがな
い。
According to a second aspect of the present invention, in the structure of the first aspect, both widthwise end portions of the base portion on the side opposite to the vibrating arm are:
It is characterized in that it is formed in a curved shape including a part of an ellipse or an ellipse. According to the configuration of claim 2, since both ends in the width direction of the base portion of the piezoelectric vibrating reed opposite to the vibrating arm are formed in a curved shape including a part of an ellipse or an ellipse. In the same manner as in the above case, there is no corner at this location, and there is no gap where the conductive adhesive does not adhere.

【0015】請求項3の発明は、請求項1または2のい
ずれかの構成において、前記圧電振動片が、前記振動腕
の基端部と前記基部との間に切り欠き部を有しており、
前記圧電振動片の基部の底面と前記パッケージの電極部
との間に適用される導電性接着剤が、この切り欠き部よ
りも内側に適用されていることを特徴とする。請求項3
の構成によれば、請求項1または2の構成により、比較
的少量の導電性接着剤で、圧電振動片を強固に固定でき
るので、多量の導電性接着剤を使用することがなく、導
電性接着剤が前記切り欠き部に達することがないので、
この切り欠き部の機能を阻害することなく、CI値の上
昇を有効に防止できる。
According to a third aspect of the present invention, in the structure of the first or second aspect, the piezoelectric vibrating piece has a notch portion between a base end portion of the vibrating arm and the base portion. ,
The conductive adhesive applied between the bottom surface of the base portion of the piezoelectric vibrating piece and the electrode portion of the package is applied inside the cutout portion. Claim 3
According to the structure of claim 1, since the piezoelectric vibrating piece can be firmly fixed with a relatively small amount of the conductive adhesive according to the structure of claim 1 or 2, the conductive material can be made conductive without using a large amount of the conductive adhesive. Since the adhesive does not reach the notch,
An increase in the CI value can be effectively prevented without impeding the function of the cutout portion.

【0016】請求項4の発明は、請求項1ないし3のい
ずれかの構成において、前記パッケージの底部に開口を
形成して、この開口に封止材を充填したことを特徴とす
る。請求項4の構成によれば、圧電振動片をパッケージ
内にマウントして、蓋体を封止固定した後において、こ
の蓋体を透明な材料で構成しておくことによって、外部
から蓋体を透過させてレーザ光を照射し、圧電振動片の
上に、予め設けた周波数調整用の金属被膜を蒸散させて
周波数調整した後で、前記開口からパッケージ内を真空
に引きつつ前記封止材を充填することができる。すなわ
ち、圧電振動片をマウントした状態で周波数調整した上
で、パッケージを真空封止することができる。
According to a fourth aspect of the present invention, in the structure according to any one of the first to third aspects, an opening is formed in the bottom of the package, and the opening is filled with a sealing material. According to the structure of claim 4, after mounting the piezoelectric vibrating reed in the package and sealingly fixing the lid, the lid is made of a transparent material, so that the lid is externally mounted. After irradiating with laser light through the piezoelectric vibrating piece, the metal coating for frequency adjustment provided on the piezoelectric vibrating piece is evaporated and the frequency is adjusted, and then the sealing material is pulled while the package is evacuated through the opening. Can be filled. That is, the package can be vacuum-sealed after the frequency is adjusted with the piezoelectric vibrating piece mounted.

【0017】また、上述の目的は、請求項5の発明によ
れば、音叉型の圧電振動片を片持ち式に固定して内部に
収容するようにしたパッケージとこのパッケージに固定
される蓋体とを有する圧電デバイスであって、前記音叉
型の圧電振動片が、パッケージ側に固定される基部と、
この基部から平行に延びる一対の振動腕を備えており、
前記基部の少なくとも前記振動腕と反対側の幅方向両端
部が、底面に向かって内方に向かう傾斜を有する圧電デ
バイスにより、達成される。請求項5の構成によれば、
圧電振動片の基部の幅方向の両端部の底面が内方に向か
う傾斜を有していることにより、基部を導電性接着剤の
上に載置することで、導電性接着剤は、比較的少量用い
た場合でも、この傾斜に沿って回り込むので、導電性接
着剤が付着しない隙間を生じることがない。このため、
導電性接着剤が付着しないで角隅部の底面に隙間をつく
ることがないから、外部からの衝撃を受けて、応力が集
中する箇所がなく、破断しやすい領域が形成されないの
で、圧電振動片は強固に固定される。
Further, according to the invention of claim 5, the above object is to provide a package in which the tuning fork type piezoelectric vibrating reed is fixed in a cantilever manner and accommodated therein, and a lid fixed to the package. A piezoelectric device having a tuning fork type piezoelectric vibrating piece, and a base fixed to the package side,
Equipped with a pair of vibrating arms extending in parallel from this base,
This is achieved by a piezoelectric device in which at least both ends of the base in the width direction on the side opposite to the vibrating arm have an inward slope toward the bottom surface. According to the configuration of claim 5,
Since the bottom surfaces of both ends in the width direction of the base portion of the piezoelectric vibrating piece have an inwardly inclined bottom surface, the base portion is placed on the conductive adhesive. Even when used in a small amount, it wraps around along this slope, so there is no gap where the conductive adhesive does not adhere. For this reason,
Since no gap is created on the bottom of the corner without the conductive adhesive attached, there is no place where stress is concentrated due to external impact, and there is no area where breakage easily occurs. Is firmly fixed.

【0018】請求項6の発明は、請求項5の構成におい
て、前記圧電振動片が、前記振動腕の基端部と前記基部
との間に切り欠き部を有しており、前記圧電振動片の基
部の底面と前記パッケージの電極部との間に適用される
導電性接着剤が、この切り欠き部よりも内側に適用され
ていることを特徴とする。請求項6の構成によれば、請
求項5の構成により、比較的少量の導電性接着剤で、圧
電振動片を強固に固定できるので、多量の導電性接着剤
を使用することがなく、導電性接着剤が前記切り欠き部
に達することがないので、この切り欠き部の機能を阻害
することなく、CI値の上昇を有効に防止できる。
According to a sixth aspect of the present invention, in the configuration of the fifth aspect, the piezoelectric vibrating piece has a notch portion between a base end portion of the vibrating arm and the base portion, and the piezoelectric vibrating piece is provided. The conductive adhesive applied between the bottom surface of the base part and the electrode part of the package is applied inside the cutout part. According to the structure of claim 6, according to the structure of claim 5, the piezoelectric vibrating piece can be firmly fixed with a relatively small amount of the conductive adhesive, so that a large amount of the conductive adhesive is not used and the conductive Since the adhesive does not reach the notch, it is possible to effectively prevent the CI value from increasing without impeding the function of the notch.

【0019】請求項7の発明は、請求項5または6のい
ずれかの構成において、前記パッケージの底部に開口を
形成して、この開口に封止材を充填したことを特徴とす
る。
According to a seventh aspect of the present invention, in the structure of the fifth or sixth aspect, an opening is formed in the bottom of the package, and the opening is filled with a sealing material.

【0020】また、上述の目的は、請求項8の発明によ
れば、音叉型の圧電振動片を片持ち式に固定して内部に
収容するようにしたパッケージとこのパッケージに固定
される蓋体とを有する圧電デバイスを利用した携帯電話
装置であって、前記音叉型の圧電振動片が、パッケージ
側に固定される基部と、この基部から平行に延びる一対
の振動腕を備えており、前記基部の前記振動腕と反対側
の幅方向両端部が曲線状もしくは面取り形状とされてい
る圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るよ
うにした、携帯電話装置により、達成される。
Further, according to the invention of claim 8, the above object is to provide a package in which the tuning fork type piezoelectric vibrating piece is fixed in a cantilever manner and accommodated therein, and a lid body fixed to this package. And a tuning fork type piezoelectric vibrating piece, which includes a base portion fixed to the package side and a pair of vibrating arms extending in parallel from the base portion. This is achieved by a mobile phone device in which a clock signal for control is obtained by a piezoelectric device in which both ends in the width direction opposite to the vibrating arm are curved or chamfered.

【0021】また、上述の目的は、請求項9の発明によ
れば、音叉型の圧電振動片を片持ち式に固定して内部に
収容するようにしたパッケージとこのパッケージに固定
される蓋体とを有する圧電デバイスを利用した電子機器
であって、前記音叉型の圧電振動片が、パッケージ側に
固定される基部と、この基部から平行に延びる一対の振
動腕を備えており、前記基部の前記振動腕と反対側の幅
方向両端部が曲線状もしくは面取り形状とされている圧
電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るように
した、電子機器により、達成される。
Further, according to the invention of claim 9, the above-mentioned object is a package in which a tuning fork type piezoelectric vibrating reed is fixed in a cantilever manner and accommodated therein, and a lid body fixed to this package. An electronic device using a piezoelectric device having, wherein the tuning fork type piezoelectric vibrating piece includes a base portion fixed to the package side and a pair of vibrating arms extending in parallel from the base portion. This is achieved by an electronic device in which a width direction opposite to the vibrating arm in the width direction has a curved or chamfered piezoelectric device to obtain a control clock signal.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】図1は、本発明の圧電デバイスの
第1の実施の形態を示しており、図1(a)はその概略
平面図、図1(b)は図1(a)のA−A線概略断面図
である。これらの図において、圧電デバイス30は、圧
電振動子を構成した例を示しており、圧電デバイス30
は、パッケージ36内に圧電振動片32を収容してい
る。パッケージ36は、例えば、セラミックグリーンシ
ートを成形して焼結した酸化アルミニウム質焼結体等を
利用した複数の基板を積層して形成されている。複数の
各基板は、その内側に所定の孔を形成することで、積層
した場合に内側に所定の内部空間Sを形成するようにさ
れている。
1 shows a piezoelectric device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1 (a) is a schematic plan view thereof, and FIG. 1 (b) is shown in FIG. 1 (a). 3 is a schematic cross-sectional view taken along line AA of FIG. In these drawings, the piezoelectric device 30 shows an example in which a piezoelectric vibrator is configured.
Accommodates the piezoelectric vibrating piece 32 in a package 36. The package 36 is formed by stacking a plurality of substrates using, for example, an aluminum oxide sintered body obtained by molding and sintering a ceramic green sheet. By forming a predetermined hole inside each of the plurality of substrates, a predetermined internal space S is formed inside when stacked.

【0023】パッケージ36の内部空間S内の図におい
て左端部付近において、内部空間Sに露出して底部を構
成するベースとなる積層基板には、Au及びNiメッキ
が施された電極部31,31が図1(a)に示すように
所定の間隔を隔てて形成されている。電極部31,31
は、外部と接続されて、駆動電圧を供給するものであ
る。この各電極部31,31の上に導電性接着剤43,
43が塗布されており、この導電性接着剤43,43の
上に圧電振動片32の基部51が載置されて、導電性接
着剤43,43が硬化されることにより接合されてい
る。
In the interior space S of the package 36 in the vicinity of the left end in the figure, the laminated substrate serving as a base which is exposed to the interior space S and constitutes the bottom, has electrode portions 31, 31 plated with Au and Ni. Are formed at a predetermined interval as shown in FIG. Electrode parts 31, 31
Is connected to the outside and supplies a drive voltage. A conductive adhesive 43, on each of the electrode portions 31, 31
43 is applied, the base 51 of the piezoelectric vibrating piece 32 is placed on the conductive adhesives 43, 43, and the conductive adhesives 43, 43 are hardened to be bonded.

【0024】本実施形態では、後述するように、この導
電性接着剤43,43を比較的少量用いても、圧電振動
片32を強固に固定できる構造となっている。圧電振動
片32の基部51の導電性接着剤43,43と触れる部
分には、駆動電圧を伝えるための引出電極(図示せず)
が形成されており、これにより、圧電振動片32は、後
述する駆動用電極がパッケージ36側の電極部31,3
1と導電性接着剤43,43を介して、電気的に接続さ
れている。
In this embodiment, as will be described later, the piezoelectric vibrating reed 32 can be firmly fixed even if a relatively small amount of the conductive adhesives 43, 43 is used. An extraction electrode (not shown) for transmitting a drive voltage is provided on a portion of the base portion 51 of the piezoelectric vibrating piece 32 that comes into contact with the conductive adhesives 43, 43.
Thus, in the piezoelectric vibrating piece 32, the driving electrode described later has electrode portions 31, 3 on the package 36 side.
1 and electrically conductive adhesives 43, 43, and electrically connected.

【0025】圧電振動片32は、例えば水晶で形成され
ており、水晶以外にもタンタル酸リチウム,ニオブ酸リ
チウム等の圧電材料を利用することができる。本実施形
態の場合、圧電振動片32は、小型に形成して、必要な
性能を得るために、特に図示する形状とされている。す
なわち、圧電振動片32は、パッケージ36側と後述す
るようにして固定される基部51と、この基部51の一
端部において、好ましくは、部分的に両側から縮幅する
ことで、括れるようにして設けられた切り欠き部53,
53と、この切り欠き部53,53より幅広く形成され
た領域である拡幅部52,52を有している。さらに、
圧電振動片32は、この拡幅部52,52を基端とし
て、図において右方に向けて、二股に別れて平行に延び
る一対の振動腕34,35を備えており、全体が音叉の
ような形状とされた、所謂、音叉型圧電振動片が利用さ
れている。これにより、特にこの実施形態の圧電振動片
32においては、固定側である基部51に対して、一対
の振動腕34,35の振動が、できるだけ漏れ込むこと
がないようにされており、これにより、極力CI値を低
減するように構成されている。
The piezoelectric vibrating reed 32 is made of, for example, crystal, and other than crystal, a piezoelectric material such as lithium tantalate or lithium niobate can be used. In the case of the present embodiment, the piezoelectric vibrating piece 32 is formed in a small size, and has a shape shown in the drawing in order to obtain required performance. That is, the piezoelectric vibrating piece 32 is formed so that the base portion 51 fixed to the package 36 side as described later and the one end portion of the base portion 51 are preferably partially narrowed from both sides to be constricted. Notch 53 provided in the
53 and widened portions 52, 52 which are regions formed wider than the cutout portions 53, 53. further,
The piezoelectric vibrating piece 32 is provided with a pair of vibrating arms 34 and 35 which are divided into two forks and extend in parallel toward the right side in the drawing with the widened portions 52 and 52 as the base ends, and the whole is like a tuning fork. A so-called tuning fork type piezoelectric vibrating piece having a shape is used. Accordingly, particularly in the piezoelectric vibrating piece 32 of this embodiment, the vibration of the pair of vibrating arms 34 and 35 is prevented from leaking into the base portion 51 on the fixed side as much as possible. , Is configured to reduce the CI value as much as possible.

【0026】パッケージ36の開放された上端には、低
融点ガラス等のロウ材33を介して、蓋体39が接合さ
れることにより、封止されている。蓋体39は、後述す
る周波数調整を行うために、光を透過する材料,例え
ば、ガラスで形成されている。
A lid 39 is joined to the open upper end of the package 36 through a brazing material 33 such as low melting point glass to seal the package 36. The lid 39 is formed of a material that transmits light, for example, glass, in order to adjust the frequency described later.

【0027】また、パッケージ36の底面のほぼ中央付
近には、パッケージ36を構成する2枚の積層基板(図
示せず)に連続する貫通孔37a,37bを形成するこ
とにより、開口37が設けられている。この開口37を
構成する2つの貫通孔のうち、パッケージ内部に開口す
る第1の孔37aに対して、第2の孔である外側の貫通
孔37bは、より大きな内径を備えるようにされてい
る。これにより、開口37は段つき開口とされており、
好ましくは、第2の孔である貫通孔37bの段部と、貫
通孔37aの孔内周面には金属が被覆されている。開口
37には、金属製封止材38が充填されることにより、
パッケージ36に蓋体39を固定した後で、封止するこ
とができるようにされている。開口37に充填される金
属製封止材38としては、例えば、金(Au)と錫(S
n)による合金が用いられ、第2の孔37aの段部と、
孔内周面の金属被覆部には、ニッケルメッキによる下地
層の上に金メッキを被覆した構成が適している。
Further, near the center of the bottom surface of the package 36, the openings 37 are provided by forming through holes 37a and 37b continuous with the two laminated substrates (not shown) constituting the package 36. ing. Of the two through holes that form the opening 37, the outer through hole 37b that is the second hole has a larger inner diameter than the first hole 37a that opens inside the package. . As a result, the opening 37 is a stepped opening,
Preferably, the stepped portion of the through hole 37b which is the second hole and the hole inner peripheral surface of the through hole 37a are coated with metal. By filling the opening 37 with the metal sealing material 38,
After fixing the lid 39 to the package 36, the package 36 can be sealed. Examples of the metal sealing material 38 filled in the opening 37 include gold (Au) and tin (S).
n) is used, and the step portion of the second hole 37a is used,
For the metal-coated portion on the inner peripheral surface of the hole, a configuration in which a gold-plated underlayer is plated with nickel is suitable.

【0028】さらに、この実施形態では、パッケージ3
6を構成する積層基板の最下層の基板には、図において
右端部付近に孔を形成することにより、この積層基板の
厚みに対応した凹部42が形成されている。この凹部4
2は、圧電振動片32の自由端32bの下方に位置して
いる。これにより、パッケージ36に外部から衝撃が加
わった場合に、圧電振動片32の自由端32bが矢印方
向に振れた場合に、パッケージ36の内側底面と当接さ
れることを有効に防止している。
Further, in this embodiment, the package 3
In the lowermost layer substrate of the laminated substrate constituting No. 6, a recess 42 corresponding to the thickness of this laminated substrate is formed by forming a hole in the vicinity of the right end in the figure. This recess 4
2 is located below the free end 32b of the piezoelectric vibrating piece 32. This effectively prevents the free end 32b of the piezoelectric vibrating piece 32 from abutting against the inner bottom surface of the package 36 when the free end 32b of the piezoelectric vibrating piece 32 is swung in the direction of the arrow when an external impact is applied to the package 36. .

【0029】次に、本実施形態における圧電振動片32
の基部51の構成を詳しく説明する。図2は、図1
(a)の部分Bを拡大して示している。図において、圧
電振動片32の基部51の端部51aにおいて、その幅
方向両端部57,57が曲線状とされている。この曲線
状とされている箇所は、図1(a)において、符号5
7,57で示すように、基部51の幅方向両端部で、長
さ方向の端部に相当する。
Next, the piezoelectric vibrating piece 32 in the present embodiment.
The configuration of the base portion 51 will be described in detail. 2 is shown in FIG.
The part B of (a) is expanded and shown. In the figure, at the end portion 51a of the base portion 51 of the piezoelectric vibrating piece 32, both width direction end portions 57, 57 are curved. This curved portion is indicated by reference numeral 5 in FIG.
As indicated by reference numerals 7 and 57, both ends in the width direction of the base portion 51 correspond to the ends in the length direction.

【0030】したがって、基部51の長さ方向の端部
で、しかも幅方向両端部には、鋭角もしくは直角状等に
突出した角隅部が存在しない。このため、図3に示すよ
うに、比較的少ない量の導電性接着剤43を、使用した
場合にも、導電性接着剤43は、基部51の底面51b
の全面に付着する。これにより、導電性接着剤43が付
着しないで角隅部の底面に隙間をつくることがないか
ら、外部からの衝撃を受けて、応力が集中する箇所がな
く、破断しやすい領域が形成されないので、圧電振動片
32は強固に固定される。
Therefore, there is no sharp corner or right angled corners at both ends in the length direction of the base 51 and at both ends in the width direction. For this reason, as shown in FIG. 3, even when a relatively small amount of the conductive adhesive 43 is used, the conductive adhesive 43 does not contact the bottom surface 51 b of the base 51.
Adheres to the entire surface of. As a result, since the conductive adhesive 43 is not attached and no gap is formed on the bottom surface of the corner, there is no area where stress is concentrated due to an external impact, and a region which is easily broken is not formed. The piezoelectric vibrating piece 32 is firmly fixed.

【0031】また、比較的少量の導電性接着剤43で、
圧電振動片32を強固に固定できるので、多量の導電性
接着剤43を使用することがなく、導電性接着剤43が
圧電振動片32の切り欠き部53に達することがないの
で、この切り欠き部53の機能を阻害することなく、C
I値の上昇を有効に防止できる。
Also, with a relatively small amount of conductive adhesive 43,
Since the piezoelectric vibrating piece 32 can be firmly fixed, a large amount of the conductive adhesive 43 is not used, and the conductive adhesive 43 does not reach the cutout portion 53 of the piezoelectric vibrating piece 32. C without impairing the function of the part 53
It is possible to effectively prevent an increase in the I value.

【0032】図4は、本発明の圧電デバイスの第2の実
施形態を示す概略平面図である。図において、第1の実
施形態と同一の符号を付した箇所は共通する構成である
から、重複する説明は省略し、相違点を中心に説明す
る。
FIG. 4 is a schematic plan view showing a second embodiment of the piezoelectric device of the present invention. In the figure, the portions denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment have the same configuration, and therefore, duplicate description will be omitted and different points will be mainly described.

【0033】第2の実施形態に係る圧電デバイス60
は、圧電振動片32の基部51の形状以外は、全て第1
の実施形態と同じ構成である。図5は、図4の部分Cを
拡大して示した図である。図示されているように、基部
51の長さ方向の端部で、しかも幅方向両端部(図5で
は片方の端部を示しており、他方の端部も構造は同じ)
56が、直線的に、斜めに面取りされている。
The piezoelectric device 60 according to the second embodiment.
Except for the shape of the base portion 51 of the piezoelectric vibrating piece 32, all are the first
The configuration is the same as that of the above embodiment. FIG. 5 is an enlarged view of the portion C of FIG. As shown in the drawing, at the end in the length direction of the base portion 51, and at the both ends in the width direction (one end is shown in FIG. 5, the other end has the same structure).
56 is linearly and diagonally chamfered.

【0034】したがって、第2の実施形態の場合も基部
51の長さ方向の端部で、しかも幅方向両端部には、鋭
角もしくは直角状等に突出した角隅部が存在しない。こ
のため、図3で説明した場合と同様に、比較的少ない量
の導電性接着剤43を使用した場合にも、導電性接着剤
43は、基部51の底面の全面に付着する。これによ
り、導電性接着剤43が付着しないで角隅部の底面に隙
間をつくることがないから、外部からの衝撃を受けて、
応力が集中する箇所がなく、破断しやすい領域が形成さ
れないので、圧電振動片32は強固に固定される。
Therefore, also in the case of the second embodiment, there is no sharp corner or right-angled corners at both ends in the length direction of the base 51 and at both ends in the width direction. Therefore, as in the case described with reference to FIG. 3, even when a relatively small amount of the conductive adhesive 43 is used, the conductive adhesive 43 adheres to the entire bottom surface of the base 51. As a result, since the conductive adhesive 43 does not adhere to form a gap in the bottom surface of the corner, it receives an impact from the outside,
The piezoelectric vibrating reed 32 is firmly fixed because there is no place where stress is concentrated and a region that easily breaks is not formed.

【0035】図6は、本発明の圧電デバイスの第3の実
施形態を示す概略平面図である。図において、第1の実
施形態と同一の符号を付した箇所は共通する構成である
から、重複する説明は省略し、相違点を中心に説明す
る。
FIG. 6 is a schematic plan view showing a third embodiment of the piezoelectric device of the present invention. In the figure, the portions denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment have the same configuration, and therefore, duplicate description will be omitted and different points will be mainly described.

【0036】第3の実施形態に係る圧電デバイス70で
は、パッケージ76の形状が第1の実施形態のパッケー
ジ36よりもやや長い形状である点と、圧電振動片32
の基部51の形状以外は、全て第1の実施形態と同じ構
成である。図7は、図6の部分Dを拡大して示した図で
ある。図示されているように、基部51の長さ方向の端
部で、しかも幅方向両端部(図7では片方の端部を示し
ており、他方の端部も構造は同じ)を含む両側面71
が、楕円もしくは長円の一部を含む曲線状に形成されて
いる。
In the piezoelectric device 70 according to the third embodiment, the shape of the package 76 is slightly longer than that of the package 36 of the first embodiment, and the piezoelectric vibrating piece 32.
The configuration is the same as that of the first embodiment except for the shape of the base 51. FIG. 7 is an enlarged view of the portion D of FIG. As shown in the drawing, both side surfaces 71 including the end portion in the length direction of the base portion 51 and also the both end portions in the width direction (one end portion is shown in FIG. 7, and the other end portion has the same structure) 71
Is formed in a curved shape including a part of an ellipse or an ellipse.

【0037】したがって、第3の実施形態の場合も基部
51の長さ方向の端部で、しかも幅方向両端部を含む両
側面71,71には、鋭角もしくは直角状等に突出した
角隅部が存在しない。このため、図3で説明した場合と
同様に、比較的少ない量の導電性接着剤43を使用した
場合にも、導電性接着剤43は、基部51の底面の全面
に付着する。これにより、導電性接着剤43が付着しな
いで角隅部の底面に隙間をつくることがないから、外部
からの衝撃を受けて、応力が集中する箇所がなく、破断
しやすい領域が形成されないので、圧電振動片32は強
固に固定される。
Therefore, also in the case of the third embodiment, both side surfaces 71, 71 at both ends in the lengthwise direction of the base 51 and including both ends in the widthwise direction have corners protruding in an acute angle or a right angle. Does not exist. Therefore, as in the case described with reference to FIG. 3, even when a relatively small amount of the conductive adhesive 43 is used, the conductive adhesive 43 adheres to the entire bottom surface of the base 51. As a result, since the conductive adhesive 43 is not attached and no gap is formed on the bottom surface of the corner, there is no area where stress is concentrated due to an external impact, and a region which is easily broken is not formed. The piezoelectric vibrating piece 32 is firmly fixed.

【0038】図8は、本発明の圧電デバイスの第4の実
施形態を示す概略平面図である。図において、第1の実
施形態と同一の符号を付した箇所は共通する構成である
から、重複する説明は省略し、相違点を中心に説明す
る。
FIG. 8 is a schematic plan view showing a fourth embodiment of the piezoelectric device of the present invention. In the figure, the portions denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment have the same configuration, and therefore, duplicate description will be omitted and different points will be mainly described.

【0039】第4の実施形態に係る圧電デバイス80で
は、圧電振動片32の基部51の形状以外は、全て第1
の実施形態と同じ構成である。図9は、図8の部分Eを
拡大して示した図である。図示されているように、基部
51の長さ方向の端部で、しかも幅方向両端部(図9で
は片方の端部を示しており、他方の端部も構造は同じ)
81が、図10に示す形状とされている。
In the piezoelectric device 80 according to the fourth embodiment, except for the shape of the base portion 51 of the piezoelectric vibrating piece 32, the piezoelectric device 80 has the first shape.
The configuration is the same as that of the above embodiment. FIG. 9 is an enlarged view of the portion E of FIG. As shown in the drawing, at the end in the length direction of the base portion 51 and at the both ends in the width direction (in FIG. 9, one end is shown, and the other end has the same structure).
81 has a shape shown in FIG.

【0040】図10は、基部51の底面51bを上に向
けて、上述した幅方向両端部81,81の形状がよく表
れるように示した部分拡大斜視図である。図示されてい
るように、この基部51の幅方向の両端部81,81が
底面に向かって内方に向かう傾斜を有する傾斜面82,
82を備えている。ここで、図10の各傾斜面82,8
2は、図示のように、平面的な傾斜面だけでなく、外側
に僅かに突出したり、内側の僅かに凹となる曲面で構成
してもよい。
FIG. 10 is a partially enlarged perspective view of the base 51 with the bottom surface 51b facing upward so that the shapes of the both widthwise end portions 81, 81 can be clearly seen. As shown in the figure, both widthwise end portions 81, 81 of the base portion 51 have an inclined surface 82 having an inward inclination toward the bottom surface.
82 is provided. Here, the inclined surfaces 82 and 8 of FIG.
As shown in the drawing, the reference numeral 2 may be a flat inclined surface, or may be a curved surface slightly protruding outward or slightly concave inside.

【0041】本実施形態は以上のように構成されてお
り、図9のa−a線に沿った部分断面図に示されている
ように、基部51を導電性接着剤43の上に載置して、
軽く押圧すると、導電性接着剤43は、比較的少量用い
た場合でも、この傾斜面82,82に沿って回り込むの
で、導電性接着剤43が付着しない隙間を生じることが
ない。これにより、導電性接着剤43が付着しないで角
隅部の底面に隙間をつくることがないから、外部からの
衝撃を受けて、応力が集中する箇所がなく、破断しやす
い領域が形成されないので、圧電振動片32は強固に固
定される。
This embodiment is configured as described above, and the base 51 is placed on the conductive adhesive 43 as shown in the partial cross-sectional view taken along the line aa in FIG. do it,
When lightly pressed, the conductive adhesive 43 wraps around the inclined surfaces 82, 82 even when a relatively small amount is used, so that there is no gap where the conductive adhesive 43 does not adhere. As a result, since the conductive adhesive 43 is not attached and no gap is formed on the bottom surface of the corner, there is no area where stress is concentrated due to an external impact, and a region which is easily broken is not formed. The piezoelectric vibrating piece 32 is firmly fixed.

【0042】図12は、本発明の圧電デバイスの第5の
実施の形態の構成を示す概略断面図である。図におい
て、圧電デバイス90は、圧電振動片32を用いて、圧
電発振器を形成した例を示しており、第1の実施の形態
と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、
重複した説明は省略し、相違点を中心に説明する。
FIG. 12 is a schematic sectional view showing the configuration of the fifth embodiment of the piezoelectric device of the present invention. In the figure, the piezoelectric device 90 shows an example in which a piezoelectric oscillator is formed by using the piezoelectric vibrating piece 32, and the portions denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment have the same configuration.
A duplicate description will be omitted, and the description will focus on the differences.

【0043】圧電デバイス90のパッケージ91には、
中央付近に凹部92が形成されており、その内側底部に
は、図示しない電極が設けられている。この電極上に
は、集積回路93が実装されており、集積回路93は、
所定の分周回路等を構成していて、圧電振動片32の駆
動電極と電気的に接続され、集積回路93から出力され
た駆動電圧が圧電振動片32に与えられるようになって
いる。また、圧電振動片32の基部51の長さ方向の端
部で、しかも幅方向両端部94,94には、第1の実施
形態ないし第4の実施形態における当該部分と同一の構
成が選択的に採用されている。
In the package 91 of the piezoelectric device 90,
A recess 92 is formed near the center, and an electrode (not shown) is provided on the inner bottom of the recess 92. An integrated circuit 93 is mounted on this electrode, and the integrated circuit 93 is
A predetermined frequency dividing circuit or the like is configured and is electrically connected to the drive electrode of the piezoelectric vibrating piece 32, and the drive voltage output from the integrated circuit 93 is applied to the piezoelectric vibrating piece 32. In addition, the same configuration as that portion in the first to fourth embodiments is selectively used for the end portion in the length direction of the base portion 51 of the piezoelectric vibrating piece 32 and for the both end portions 94, 94 in the width direction. Has been adopted by.

【0044】本実施形態は以上のように構成されてお
り、圧電発振器である圧電デバイス90においても、第
1の実施形態ないし第4の実施形態と同様に、圧電デバ
イス32の基部51の底面において、導電性接着剤43
が付着しないで角隅部の底面に隙間をつくることがない
から、外部からの衝撃を受けて、応力が集中する箇所が
なく、破断しやすい領域が形成されないので、圧電振動
片32は強固に固定される。
The present embodiment is configured as described above, and also in the piezoelectric device 90 which is a piezoelectric oscillator, as in the first to fourth embodiments, on the bottom surface of the base 51 of the piezoelectric device 32. , Conductive adhesive 43
Since no gaps are formed on the bottom surface of the corners without adhering to each other, there is no place where stress is concentrated due to an external impact, and a region that is easily broken is not formed. Fixed.

【0045】図13は、本発明の上述した実施形態に係
る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジ
タル式携帯電話装置の概略構成を示す図である。図にお
いて、送信者の音声を受信するマイクロフォン308及
び受信内容を音声出力とするためのスピーカ309を備
えており、さらに、送受信信号の変調及び復調部に接続
された制御部としての集積回路等でなるコントローラ3
01を備えている。コントローラ301は、送受信信号
の変調及び復調の他に画像表示部としてのLCDや情報
入力のための操作キー等でなる情報の入出力部302
や、RAM,ROM等でなる情報記憶手段303の制御
を行うようになっている。このため、コントローラ30
1には、圧電デバイス30が取り付けられて、その出力
周波数をコントローラ301に内蔵された所定の分周回
路(図示せず)等により、制御内容に適合したクロック
信号として利用するようにされている。このコントロー
ラ301に取付けられる圧電デバイス30は、圧電デバ
イス30単体でなくても、圧電デバイス30と、所定の
分周回路等とを組み合わせた発振器である図12のよう
な圧電デバイス60であってもよい。
FIG. 13 is a diagram showing a schematic configuration of a digital mobile phone device as an example of an electronic apparatus using the piezoelectric device according to the above-described embodiment of the present invention. In the figure, a microphone 308 for receiving the voice of the sender and a speaker 309 for outputting the received content as a voice are provided, and further, an integrated circuit or the like as a control unit connected to a modulation and demodulation unit of a transmission / reception signal. Controller 3
It is equipped with 01. The controller 301 includes an information input / output unit 302 including an LCD as an image display unit and operation keys for inputting information, in addition to modulation and demodulation of transmission / reception signals.
Alternatively, it controls the information storage means 303 including a RAM and a ROM. Therefore, the controller 30
1, a piezoelectric device 30 is attached, and its output frequency is used as a clock signal suitable for the control content by a predetermined frequency dividing circuit (not shown) built in the controller 301. . The piezoelectric device 30 attached to the controller 301 is not limited to the piezoelectric device 30 alone, but may be the piezoelectric device 60 as shown in FIG. 12, which is an oscillator in which the piezoelectric device 30 and a predetermined frequency dividing circuit are combined. Good.

【0046】コントローラ301は、さらに、温度補償
水晶発振器(TCXO)305と接続され、温度補償水
晶発振器305は、送信部307と受信部306に接続
されている。これにより、コントローラ301からの基
本クロックが、環境温度が変化した場合に変動しても、
温度補償水晶発振器305により修正されて、送信部3
07及び受信部306に与えられるようになっている。
The controller 301 is further connected to a temperature compensated crystal oscillator (TCXO) 305, and the temperature compensated crystal oscillator 305 is connected to a transmitter 307 and a receiver 306. As a result, even if the basic clock from the controller 301 changes when the environmental temperature changes,
The transmitter 3 is modified by the temperature-compensated crystal oscillator 305.
07 and the receiving unit 306.

【0047】このように、制御部を備えた携帯電話装置
300のような電子機器に、上述した実施形態に係る圧
電デバイスを利用することにより、この圧電デバイスの
圧電振動片が強固に固定されているので、装置全体とし
ても優れた耐衝撃性を備えることができる。
As described above, by using the piezoelectric device according to the above-described embodiment in the electronic device such as the portable telephone device 300 having the control unit, the piezoelectric vibrating piece of the piezoelectric device is firmly fixed. Therefore, it is possible to provide excellent shock resistance as the entire device.

【0048】本発明は上述の実施形態に限定されない。
圧電振動片32の基部51の長さ方向の端部で、しかも
幅方向両端部の構成は、導電性接着剤が回り込むことが
できる形状であれば、上述した形態の他、種々の形態を
採用できる。また、各実施形態の各構成はこれらを適宜
組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合
わせることができる。
The invention is not limited to the embodiments described above.
Various configurations other than the above-described configurations are adopted as the configuration of the end portion in the length direction of the base portion 51 of the piezoelectric vibrating piece 32 and the both end portions in the width direction as long as the conductive adhesive can be wrapped around. it can. Further, the respective configurations of the respective embodiments can be appropriately combined or omitted, and can be combined with other configurations not shown.

【0049】[0049]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、小
型に構成しても、圧電振動片が強固に固定されること
で、優れた耐衝撃性を備える圧電デバイスと、このデバ
イスを利用した携帯電話装置及び電子機器を提供するこ
とができる。
As described above, according to the present invention, a piezoelectric device having excellent shock resistance by firmly fixing the piezoelectric vibrating piece even if it is made compact, and this device are provided. It is possible to provide a mobile phone device and an electronic device that are used.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の圧電デバイスの第1の実施形態を示し
ており、(a)はその概略平面図、(b)は図1(a)
のA−A線概略断面図。
FIG. 1 shows a first embodiment of a piezoelectric device of the present invention, (a) is a schematic plan view thereof, and (b) is FIG. 1 (a).
A-A line schematic sectional view.

【図2】図1(a)の部分Bの拡大図。FIG. 2 is an enlarged view of a portion B of FIG.

【図3】図1の圧電デバイスの圧電振動片の基部の幅方
向両端部の底面付近を示す概略断面図。
3 is a schematic cross-sectional view showing the vicinity of the bottom surface of both ends in the width direction of the base portion of the piezoelectric vibrating piece of the piezoelectric device of FIG.

【図4】本発明の圧電デバイスの第2の実施形態の概略
平面図。
FIG. 4 is a schematic plan view of a second embodiment of the piezoelectric device of the present invention.

【図5】図4の部分Cの拡大図。5 is an enlarged view of a portion C of FIG.

【図6】本発明の圧電デバイスの第3の実施形態の概略
平面図。
FIG. 6 is a schematic plan view of a third embodiment of the piezoelectric device of the present invention.

【図7】図6の部分Dの拡大図。FIG. 7 is an enlarged view of a portion D of FIG.

【図8】本発明の圧電デバイスの第4の実施形態の概略
平面図。
FIG. 8 is a schematic plan view of a piezoelectric device according to a fourth embodiment of the invention.

【図9】図8の部分Eの拡大図。9 is an enlarged view of a portion E of FIG.

【図10】図8の圧電デバイスの圧電振動片の基部の底
面付近の形状を示す部分概略斜視図。
10 is a partial schematic perspective view showing the shape near the bottom surface of the base portion of the piezoelectric vibrating piece of the piezoelectric device shown in FIG.

【図11】図8のa−a線に沿った部分断面図。11 is a partial cross-sectional view taken along the line aa of FIG.

【図12】本発明の圧電デバイスの第5の実施形態の構
成を示す概略断面図。
FIG. 12 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a fifth embodiment of the piezoelectric device of the present invention.

【図13】本発明の各実施形態に係る圧電デバイスを利
用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置
の概略構成を示す図。
FIG. 13 is a diagram showing a schematic configuration of a digital mobile phone device as an example of an electronic apparatus using the piezoelectric device according to each embodiment of the present invention.

【図14】超小型の圧電デバイスに関する試作例の構成
を示しており、(a)はその概略平面図、(b)は図1
4(a)の部分Aの拡大図。
14A and 14B show a configuration of a prototype example of a microminiature piezoelectric device, in which FIG. 14A is a schematic plan view thereof, and FIG.
The enlarged view of the part A of 4 (a).

【図15】図14の圧電デバイスの圧電振動片を接着す
る様子を示す説明図。
FIG. 15 is an explanatory view showing a state in which the piezoelectric vibrating piece of the piezoelectric device of FIG. 14 is bonded.

【図16】図14の圧電デバイスの圧電振動片の基部の
底部付近の接着の様子を示す部分断面図。
16 is a partial cross-sectional view showing how the piezoelectric vibrating reed of the piezoelectric device of FIG. 14 is bonded near the bottom of the base.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

30,60,70,80,90 圧電デバイス 32 圧電振動片 51 基部 51a 端部 36,76 パッケージ 37 開口 38 封止材 39 蓋体 42 凹部 30, 60, 70, 80, 90 Piezoelectric device 32 Piezoelectric vibrating piece 51 base 51a end 36,76 package 37 opening 38 Sealant 39 Lid 42 recess

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5J079 AA02 AA04 BA49 FA01 HA03 HA07 HA09 HA16 HA25 HA29 KA01 KA05 5J108 BB02 BB04 CC06 CC08 EE03 EE04 EE07 EE18 FF11 FF14 GG03 GG09 GG16 GG17 JJ04   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F-term (reference) 5J079 AA02 AA04 BA49 FA01 HA03                       HA07 HA09 HA16 HA25 HA29                       KA01 KA05                 5J108 BB02 BB04 CC06 CC08 EE03                       EE04 EE07 EE18 FF11 FF14                       GG03 GG09 GG16 GG17 JJ04

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 音叉型の圧電振動片を片持ち式に固定し
て内部に収容するようにしたパッケージとこのパッケー
ジに固定される蓋体とを有する圧電デバイスであって、 前記音叉型の圧電振動片が、 パッケージ側に固定される基部と、この基部から平行に
延びる一対の振動腕とを備えており、 前記基部の前記振動腕と反対側の幅方向両端部が、曲線
状もしくは面取り形状とされていることを特徴とする、
圧電デバイス。
1. A piezoelectric device having a package in which a tuning fork type piezoelectric vibrating reed is fixed in a cantilever manner and accommodated therein, and a lid body fixed to the package, wherein the tuning fork type piezoelectric vibrating piece is provided. The vibrating piece includes a base portion fixed to the package side and a pair of vibrating arms extending in parallel from the base portion, and both widthwise opposite ends of the base portion on the side opposite to the vibrating arms are curved or chamfered. Is characterized by
Piezoelectric device.
【請求項2】 前記基部の前記振動腕と反対側の幅方向
両端部が、楕円もしくは長円の一部を含む曲線状に形成
されていることを特徴とする、請求項1に記載の圧電デ
バイス。
2. The piezoelectric element according to claim 1, wherein both end portions in the width direction of the base portion on the side opposite to the vibrating arm are formed in a curved shape including a part of an ellipse or an ellipse. device.
【請求項3】 前記圧電振動片が、前記振動腕の基端部
と前記基部との間に切り欠き部を有しており、 前記圧電振動片の基部の底面と前記パッケージの電極部
との間に適用される導電性接着剤が、この切り欠き部よ
りも内側に適用されていることを特徴とする、請求項1
または2のいずれかに記載の圧電デバイス。
3. The piezoelectric vibrating piece has a cutout portion between the base end portion of the vibrating arm and the base portion, and a bottom surface of the base portion of the piezoelectric vibrating piece and an electrode portion of the package are formed. The conductive adhesive applied in between is applied to the inside of the cutout portion.
Or the piezoelectric device according to any one of 2).
【請求項4】 前記パッケージの底部に開口を形成し
て、この開口に封止材を充填したことを特徴とする、請
求項1ないし3のいずれかに記載の圧電デバイス。
4. The piezoelectric device according to claim 1, wherein an opening is formed at the bottom of the package and the opening is filled with a sealing material.
【請求項5】 音叉型の圧電振動片を片持ち式に固定し
て内部に収容するようにしたパッケージとこのパッケー
ジに固定される蓋体とを有する圧電デバイスであって、 前記音叉型の圧電振動片が、 パッケージ側に固定される基部と、この基部から平行に
延びる一対の振動腕とを備えており、 前記基部の少なくとも前記振動腕と反対側の幅方向両端
部が、底面に向かって内方に向かう傾斜を有することを
特徴とする、圧電デバイス。
5. A piezoelectric device having a package in which a tuning-fork type piezoelectric vibrating piece is fixed in a cantilever manner and accommodated therein, and a lid body fixed to the package. The vibrating piece includes a base portion fixed to the package side and a pair of vibrating arms extending in parallel from the base portion, and at least both widthwise end portions of the base portion on the opposite side of the vibrating arm are directed toward the bottom surface. A piezoelectric device characterized by having an inwardly directed slope.
【請求項6】 前記圧電振動片が、前記振動腕の基端部
と前記基部との間に切り欠き部を有しており、 前記圧電振動片の基部の底面と前記パッケージの電極部
との間に適用される導電性接着剤が、この切り欠き部よ
りも内側に適用されていることを特徴とする、請求項5
に記載の圧電デバイス。
6. The piezoelectric vibrating piece has a cutout portion between the base end portion of the vibrating arm and the base portion, and a bottom surface of the base portion of the piezoelectric vibrating piece and an electrode portion of the package are formed. The conductive adhesive applied in between is applied to the inner side of the cutout portion.
The piezoelectric device according to.
【請求項7】 前記パッケージの底部に開口を形成し
て、この開口に封止材を充填したことを特徴とする、請
求項5または6のいずれかに記載の圧電デバイス。
7. The piezoelectric device according to claim 5, wherein an opening is formed at the bottom of the package, and the opening is filled with a sealing material.
【請求項8】 音叉型の圧電振動片を片持ち式に固定し
て内部に収容するようにしたパッケージとこのパッケー
ジに固定される蓋体とを有する圧電デバイスを利用した
携帯電話装置であって、 前記音叉型の圧電振動片が、 パッケージ側に固定される基部と、この基部から平行に
延びる一対の振動腕とを備えており、 前記基部の前記振動腕と反対側の幅方向両端部が、曲線
状もしくは面取り形状とされている圧電デバイスによ
り、制御用のクロック信号を得るようにしたことを特徴
とする、携帯電話装置。
8. A mobile phone device using a piezoelectric device having a package in which a tuning fork type piezoelectric vibrating reed is fixed in a cantilever manner and accommodated therein, and a lid fixed to the package. The tuning fork type piezoelectric vibrating piece includes a base portion fixed to the package side and a pair of vibrating arms extending in parallel from the base portion, and the width direction both end portions of the base portion on the opposite side to the vibrating arm are provided. A cellular phone device, wherein a clock signal for control is obtained by a curved or chamfered piezoelectric device.
【請求項9】 音叉型の圧電振動片を片持ち式に固定し
て内部に収容するようにしたパッケージとこのパッケー
ジに固定される蓋体とを有する圧電デバイスを利用した
電子機器であって、 前記音叉型の圧電振動片が、 パッケージ側に固定される基部と、この基部から平行に
延びる一対の振動腕とを備えており、 前記基部の前記振動腕と反対側の幅方向両端部が、曲線
状もしくは面取り形状とされている圧電デバイスによ
り、制御用のクロック信号を得るようにしたことを特徴
とする、電子機器。
9. An electronic apparatus using a piezoelectric device having a package in which a tuning fork type piezoelectric vibrating reed is fixed in a cantilever manner and accommodated therein, and a lid body fixed to the package, The tuning-fork type piezoelectric vibrating piece includes a base portion fixed to the package side, and a pair of vibrating arms extending in parallel from the base portion, and both widthwise end portions of the base portion on the opposite side to the vibrating arm, An electronic device, wherein a clock signal for control is obtained by a curved or chamfered piezoelectric device.
JP2001246280A 2001-08-14 2001-08-14 Piezoelectric device Expired - Fee Related JP3894284B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001246280A JP3894284B2 (en) 2001-08-14 2001-08-14 Piezoelectric device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001246280A JP3894284B2 (en) 2001-08-14 2001-08-14 Piezoelectric device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003060474A true JP2003060474A (en) 2003-02-28
JP3894284B2 JP3894284B2 (en) 2007-03-14

Family

ID=19075863

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001246280A Expired - Fee Related JP3894284B2 (en) 2001-08-14 2001-08-14 Piezoelectric device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3894284B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006114936A1 (en) * 2005-04-18 2006-11-02 Daishinku Corporation Piezoelectric vibration piece and piezoelectric vibration device
JP2008079014A (en) * 2006-09-21 2008-04-03 Daishinku Corp Tuning fork type piezoelectric oscillation device
US9793876B2 (en) 2014-06-30 2017-10-17 Seiko Epson Corporation Resonator element, method for manufacturing resonator element, resonator, gyro sensor, electronic apparatus, and moving object

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006114936A1 (en) * 2005-04-18 2006-11-02 Daishinku Corporation Piezoelectric vibration piece and piezoelectric vibration device
JPWO2006114936A1 (en) * 2005-04-18 2008-12-18 株式会社大真空 Piezoelectric vibrating piece and piezoelectric vibrating device
US8004157B2 (en) 2005-04-18 2011-08-23 Daishinku Corporation Piezoelectric resonator plate and piezoelectric resonator device
JP2008079014A (en) * 2006-09-21 2008-04-03 Daishinku Corp Tuning fork type piezoelectric oscillation device
JP4595913B2 (en) * 2006-09-21 2010-12-08 株式会社大真空 Tuning fork type piezoelectric vibration device
US9793876B2 (en) 2014-06-30 2017-10-17 Seiko Epson Corporation Resonator element, method for manufacturing resonator element, resonator, gyro sensor, electronic apparatus, and moving object

Also Published As

Publication number Publication date
JP3894284B2 (en) 2007-03-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7067966B2 (en) Piezoelectric device, cellular phone system using the piezoelectric device, and electronic equipment using the piezoelectric device
US8692632B2 (en) Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device
US6768247B2 (en) Vibrating reed, vibrator, oscillator and electronic device
CN102142827A (en) Vibrating member, vibrating device, and electronic apparatus
JP2004208237A (en) Piezoelectric device, mobile telephone equipment utilizing piezoelectric device, and electronic equipment utilizing piezoelectric device
JP2003258589A (en) Piezoelectric device, radio watch utilizing the piezoelectric device, mobile phone utilizing the piezoelectric device, and electronic device utilizing the piezoelectric device
JP2012129904A (en) Electronic apparatus
JP2005278069A (en) Piezoelectric vibrating piece and piezoelectric device using it
JP2005136705A (en) Bonding structure and bonding method for piezoelectric vibrator, piezoelectric device and its manufacturing method, and portable telephone set and electronic apparatus using piezoelectric device
JP2003133897A (en) Piezoelectric device, mobile phone unit utilizing the same and electronic equipment utilizing the piezoelectric device
JP2003152499A (en) Piezoelectric device and manufacturing method of piezoelectric vibrating piece thereof, cellular telephone employing piezoelectric device and electronic equipment employing piezoelectric device
JP3975860B2 (en) Piezoelectric device, mobile phone device using piezoelectric device, and electronic device using piezoelectric device
JP4329286B2 (en) Vibrating piece, vibrator, oscillator and electronic device
JP2005086783A (en) Surface mounted piezoelectric device and its package, mobile phone utilizing surface mounted piezoelectric device, and electronic apparatus utilizing surface mounted piezoelectric device
JP2003060474A (en) Piezoelectric device, and mobile telephone apparatus and electronic appliance utilizing the piezoelectric device
JP2003069368A (en) Method for joining piezoelectric device and piezoelectric vibration chip, mobile phone employing the piezoelectric device and electronic device employing the piezoelectric device
JP2003198311A (en) Method of joining piezoelectric device and piezoelectric oscillating piece, portable telephone utilizing piezoelectric device, and electric apparatus utilizing piezoelectric device
JP2006300784A (en) Saw pressure sensor
JP2006005970A (en) Piezo-electric device and cell phone unit, electronic apparatus using the piezo-electric device
JP2004201211A (en) Joining structure of piezoelectric vibrating piece, piezoelectric device, its manufacturing method, and cellular phone unit and electronic equipment using the device
JP4114149B2 (en) Piezoelectric device, manufacturing method thereof, mobile phone device using piezoelectric device, and electronic apparatus using piezoelectric device
JP2013168467A (en) Package, vibration device and electronic apparatus
JP2012090083A (en) Vibration device and electronic apparatus
JP3937314B2 (en) Piezoelectric device, mobile phone device using piezoelectric device, and electronic equipment using piezoelectric device
JP2004222053A (en) Piezoelectric device, mobile telephone unit, and electronic equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040329

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060301

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060310

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060502

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20061122

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20061205

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101222

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101222

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111222

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111222

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121222

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121222

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131222

Year of fee payment: 7

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees