JP2002197880A - Nonvolatile semiconductor memory - Google Patents

Nonvolatile semiconductor memory

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JP2002197880A
JP2002197880A JP2000398352A JP2000398352A JP2002197880A JP 2002197880 A JP2002197880 A JP 2002197880A JP 2000398352 A JP2000398352 A JP 2000398352A JP 2000398352 A JP2000398352 A JP 2000398352A JP 2002197880 A JP2002197880 A JP 2002197880A
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Japan
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voltage
write
erase
data
semiconductor memory
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Application number
JP2000398352A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazuyuki Shimada
和幸 島田
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a nonvolatile semiconductor memory in which write time and erasure time of a memory cell can be shortened, and an execution time of write and erase can be changed by a user command in accordance with usage. SOLUTION: In a nonvolatile semiconductor memory 45, voltage applied to a drain from a drain/source voltage setting circuit 41 when data is written in a memory cell 34 and voltage applied to a source from a drain/source voltage setting circuit 41 when data of a memory cell 34 is erased are switched to the prescribed value and applied. Also, at the time of an operation test before shipping, the number of write and erase pulses and an optimum value of drain voltage and source voltage in a range in which over-stress is not given to a memory cell are measured. And respective measured value is recorded in a test information storing memory 39.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電気的に書き込み
及び消去可能であり、データの書き込み及び消去速度を
制御可能な不揮発性半導体記憶装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a nonvolatile semiconductor memory device which is electrically writable and erasable and can control a data writing and erasing speed.

【0002】[0002]

【従来の技術】不揮発性半導体記憶装置としては、電源
のバックアップなしにデータを保持することができ、し
かも電気的に書き込み及び消去が可能なメモリであるE
EPROMが普及している。EEPROMの中でも、特
にフラッシュメモリは比較的大容量でシステム上でのデ
ータ書き替えが可能であるため、携帯電話等のアプリケ
ーションへの応用が急速に広がっている。
2. Description of the Related Art A nonvolatile semiconductor memory device is a memory which can hold data without backing up a power supply and which can be electrically written and erased.
EPROM is widespread. Among EEPROMs, flash memories, in particular, have relatively large capacities and can rewrite data on the system, so that applications to applications such as mobile phones are rapidly expanding.

【0003】このフラッシュメモリは、図1に示したよ
うな構成である。図1は、NOR型フラッシュメモリに
おける1つのメモリセルの概略の断面図である。メモリ
セルはMOSトランジスタであり、図1(A)に示した
ように、ソース1及びドレイン8とゲート(コントロー
ルゲート)6との間にフローティングゲート7を配置し
た構成である。フラッシュメモリにおいて、データのメ
モリセルへの記憶は、MOSトランジスタのフローティ
ングゲート7への電荷の出し入れによって行う。これに
より、トランジスタの閾値が変動し、これを電流のオン
/オフという形で取り出して、データの「1」、「0」
に対応づけている。
This flash memory has a configuration as shown in FIG. FIG. 1 is a schematic sectional view of one memory cell in a NOR flash memory. The memory cell is a MOS transistor, and has a configuration in which a floating gate 7 is arranged between a source 1 and a drain 8 and a gate (control gate) 6 as shown in FIG. In a flash memory, data is stored in a memory cell by transferring charges into and out of a floating gate 7 of a MOS transistor. As a result, the threshold value of the transistor fluctuates, and this is extracted in the form of current on / off, and the data “1”, “0”
Is associated with.

【0004】図1(A)は、不揮発性半導体メモリの書
き込み時の各部位に印加する電圧の状態を示している。
MOSトランジスタのソース端子2をグランドに接地
し、ドレイン端子4に所定のゲート電圧Vddを印加
し、ゲート端子3にゲート電圧Vggを印加すること
で、電子(ホットエレクトロン)9を発生させる。そし
て、トンネル酸化膜10を介して、この電子9をフロー
ティングゲート7に取り込むことで、不揮発性半導体メ
モリの書き込みを行うことができる(ホットエレクトロ
ンによるフローティングゲートへの電荷注入方式)。
FIG. 1A shows a state of a voltage applied to each part at the time of writing in a nonvolatile semiconductor memory.
Electrons (hot electrons) 9 are generated by grounding the source terminal 2 of the MOS transistor to ground, applying a predetermined gate voltage Vdd to the drain terminal 4 and applying a gate voltage Vgg to the gate terminal 3. Then, by taking the electrons 9 into the floating gate 7 through the tunnel oxide film 10, writing in the nonvolatile semiconductor memory can be performed (a method of injecting charges into the floating gate by hot electrons).

【0005】図1(B)は、不揮発性半導体メモリの消
去時の各部位に印加する電圧状態を示している。MOS
トランジスタのドレイン端子15をオープン状態に設定
し、ソース端子13にソース電圧Vssを印加し、ゲー
ト端子14にゲート電圧Vggを印加することでゲート
・ソース間に電界が発生し、トンネル効果でフローティ
ングゲート17の電子を、トンネル酸化膜20を通して
ソース側に引き抜くことで、不揮発性半導体メモリの消
去を行うことができる(高電界によるトンネル現象を用
いた電荷のソースまたは基板への引き抜き方式)。不揮
発性半導体集積回路は、図1に示したようなメモリセル
トランジスタを複数備えた構成であり、これにより大量
のデータを記憶することが可能となる。
FIG. 1B shows the state of voltage applied to each part when erasing the nonvolatile semiconductor memory. MOS
By setting the drain terminal 15 of the transistor to the open state, applying the source voltage Vss to the source terminal 13 and applying the gate voltage Vgg to the gate terminal 14, an electric field is generated between the gate and the source, and the floating effect is caused by the tunnel effect. By extracting the 17 electrons to the source side through the tunnel oxide film 20, erasing of the nonvolatile semiconductor memory can be performed (a method of extracting charges to a source or a substrate using a tunnel phenomenon by a high electric field). The non-volatile semiconductor integrated circuit has a configuration including a plurality of memory cell transistors as shown in FIG. 1, which allows a large amount of data to be stored.

【0006】しかしながら、メモリセルトランジスタに
データを書き込む際に閾値の変動が大きいと、フローテ
ィングゲートが保持する電荷にばらつきが生じる。その
ため、書き込みがうまく行かない場合には、書き込みが
完了するまで何度も書き込み及び確認(ベリファイ)を
繰り返さなければならず、データの書き込み時間が増大
するという問題があった。
[0006] However, if the threshold value fluctuates greatly when writing data to the memory cell transistor, the charge held by the floating gate varies. Therefore, if the writing is not successful, the writing and checking (verify) must be repeated many times until the writing is completed, and there is a problem that the data writing time increases.

【0007】そこで、上記の問題を解決するために、例
えば、特開平7−037395号公報には、書き込み時
間の増大を防止でき、閾値分布の狭小化を図れる不揮発
性半導体記憶装置に関する技術が開示されている。ま
た、特開平2000−113686号公報には、書き込
み後のメモリセルの閾値分布を狭小化するとともに、書
き込み時間の短縮または書き込みストレスの低減を実現
する不揮発性半導体記憶装置の書き込み方法および記録
媒体に関する技術が開示されている。
Therefore, in order to solve the above problem, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. H07-037395 discloses a technique relating to a nonvolatile semiconductor memory device capable of preventing an increase in writing time and narrowing a threshold distribution. Have been. Also, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-113686 relates to a writing method and a recording medium of a nonvolatile semiconductor memory device which realizes a narrowing of a threshold distribution of a memory cell after writing, and a shortening of a writing time or a reduction of a writing stress. Techniques are disclosed.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
7−037395号公報の不揮発性半導体記憶装置は、
単に書き込み条件を可変とする手段を有するということ
が述べられているのみで、用途に応じて可変とすること
のできる書き込み可変手段として具体的な手段が示され
ていない。
However, the nonvolatile semiconductor memory device disclosed in Japanese Patent Laid-Open Publication No.
It merely states that a means for changing the writing condition is provided, but no specific means is shown as the writing variable means that can be changed depending on the application.

【0009】特開2000−113686号公報におい
ては、「メモリセルに対して、最初の書き込み信号を印
加する前後に、メモリセルの閾値を測定し、測定された
メモリセルの閾値に基づいて、書き込み条件を決定し、
決定した書き込み条件に対応した書き込み信号をメモリ
セルに印加する」、または、「書き込み信号を印加する
前後に、メモリセルの閾値を測定し、測定されたメモリ
セルの閾値に基づいて、書き込み条件を決定し、決定し
た書き込み条件に対応した書き込み信号をメモリセルに
印加したときのメモリセルの閾値の変動が、所定の基準
値以内となる書き込み時間を検出し、検出された書き込
み時間ずつ、メモリに対する書き込みを行い、書き込み
後の閾値が所定の基準値に達するまで、メモリセルに対
する書き込みを繰り返し行う」という手段が示されてい
る。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-113686 discloses that “a threshold value of a memory cell is measured before and after a first write signal is applied to the memory cell, and a write operation is performed based on the measured threshold value of the memory cell. Determine the conditions,
A write signal corresponding to the determined write condition is applied to the memory cell, or a threshold of the memory cell is measured before and after the write signal is applied, and the write condition is determined based on the measured threshold of the memory cell. Determined, a change in the threshold value of the memory cell when a write signal corresponding to the determined write condition is applied to the memory cell is detected, and a write time during which the change is within a predetermined reference value is detected. Writing is performed, and writing to the memory cell is repeatedly performed until the threshold value after the writing reaches a predetermined reference value. "

【0010】しかし、特開2000−113686号公
報において述べられている手法にて書き込みを実施する
と、実際に書き込みに必要な書き込みパルス印加時間以
外に「パルス印加前後での閾値測定」や「必要な書き込
みパルス印加モードから閾値測定モードへの内部高電圧
回路の切り替え」が必要となり、実行書き込み時間が長
くなってしまう。また、毎回の書き込み時にメモリセル
の書き込み特性を判断するために閾値電圧の変化を測定
しなければならず、その測定のために多くの時間を費や
す必要があり、正味の実行時間が短くならない。更に
は、例えばNOR型不揮発性半導体記憶装置において
は、書き込みはワードもしくはバイト単位で実行するの
に対して、消去は例えば64kバイトブロック単位で行
われるため、一般に消去時間の方が書き込み時間よりも
はるかに長くなる。しかし、消去時間を効果的に短くす
る手段については、何ら示されていない。したがって、
不揮発性半導体記憶装置としての機能面での改善効果と
しては不十分である。
However, when writing is performed by the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-113686, “threshold value measurement before and after pulse application” and “necessary Switching of the internal high-voltage circuit from the write pulse application mode to the threshold measurement mode is required, and the execution write time becomes longer. In addition, a change in threshold voltage must be measured in order to judge the write characteristics of the memory cell at each write, so that much time needs to be spent for the measurement, and the net execution time is not shortened. Furthermore, for example, in a NOR type nonvolatile semiconductor memory device, writing is performed in units of words or bytes, whereas erasing is performed in units of, for example, 64 kbyte blocks. Therefore, erasing time is generally longer than writing time. Will be much longer. However, no means for effectively shortening the erasing time is disclosed. Therefore,
The effect of improving the function of the nonvolatile semiconductor memory device is insufficient.

【0011】そこで、本発明は上記の問題を解決するた
めに創作したものであり、その目的は、メモリセルの書
き込み及び消去の時間を短くすることが可能であり、か
つユーザコマンドにより書き込み及び消去の実行時間を
用途に応じて変更することが可能な不揮発性半導体記憶
装置を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, the present invention has been made to solve the above-mentioned problem, and an object of the present invention is to make it possible to shorten the time for writing and erasing a memory cell, and to write and erase by a user command. The purpose of the present invention is to provide a nonvolatile semiconductor memory device capable of changing the execution time of the nonvolatile semiconductor memory device according to the application.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決するための手段として、以下の構成を備えてい
る。
The present invention has the following arrangement as means for solving the above-mentioned problems.

【0013】(1) 電気的にデータの書き込み及び消去が
可能な複数のメモリセルによって構成された複数のブロ
ックを有する不揮発性半導体メモリと、該不揮発性半導
体メモリに情報の書き込み及び消去用電圧を供給する高
電圧電源部と、外部コマンドにより選択可能なマイクロ
コードを格納するマイクロコード記憶部と、外部コマン
ドにより選択されたマイクロコードに従い、該不揮発性
半導体メモリへの情報の書き込み及び消去の動作を制御
する書き込み・消去制御部と、を備える不揮発性半導体
記憶装置において、該高電圧電源部から印加された電圧
を調整して、不揮発性半導体メモリへデータ書き込み可
能な電圧及びデータ消去可能な電圧として任意の値に切
り替え可能な書き込み・消去電圧切替部を備えたことを
特徴とする。
(1) A nonvolatile semiconductor memory having a plurality of blocks constituted by a plurality of electrically readable and erasable memory cells, and a voltage for writing and erasing information in the nonvolatile semiconductor memory. A high-voltage power supply to be supplied, a microcode storage unit that stores a microcode selectable by an external command, and an operation of writing and erasing information to and from the nonvolatile semiconductor memory according to the microcode selected by the external command. And a write / erase control unit for controlling, the voltage applied from the high-voltage power supply unit is adjusted to obtain a voltage at which data can be written to the nonvolatile semiconductor memory and a voltage at which data can be erased. A write / erase voltage switching unit capable of switching to an arbitrary value is provided.

【0014】この構成において、不揮発性半導体記憶装
置は、電気的にデータの書き込み及び消去が可能な複数
のメモリセルによって構成された複数のブロックを有す
る不揮発性半導体メモリと、該不揮発性半導体メモリに
情報の書き込み及び消去用電圧を供給する高電圧電源部
と、外部コマンドにより選択可能なマイクロコードを格
納するマイクロコード記憶部と、外部コマンドにより選
択されたマイクロコードに従い、該不揮発性半導体メモ
リへの情報の書き込み及び消去の動作を制御する書き込
み・消去制御部と、該高電圧電源部から印加された電圧
を調整して、不揮発性半導体メモリへデータ書き込み可
能な電圧及びデータ消去可能な電圧として任意の値に切
り替え可能な書き込み・消去電圧切替部と、を備えてい
る。したがって、不揮発性半導体メモリは、消去(ソー
ス)電圧を高くする程、データの消去時間が短くなると
いう特性を有し、また、書き込み(ドレイン)電圧を高
くする程、データの書き込み時間が短くなるという特性
を有しているので、半導体メモリの書き込み・消去時間
を制御することが可能となる。また、不揮発性半導体メ
モリに印加する電圧に応じて複数のモードを設定するこ
とで、アプリケーションに応じて不揮発性半導体記憶装
置を使用することが可能となる。
In this configuration, the nonvolatile semiconductor memory device includes a nonvolatile semiconductor memory having a plurality of blocks each including a plurality of electrically readable and erasable memory cells, and a nonvolatile semiconductor memory. A high-voltage power supply for supplying a voltage for writing and erasing information; a microcode storage for storing a microcode selectable by an external command; and a microcode storage for storing the microcode selected by the external command. A write / erase control unit for controlling the operation of writing and erasing of information, and a voltage applied from the high-voltage power supply unit, which can be arbitrarily set as a voltage for writing data to the nonvolatile semiconductor memory and a voltage for erasing data. And a write / erase voltage switching unit capable of switching to the value of Therefore, the nonvolatile semiconductor memory has a characteristic that the data erasing time becomes shorter as the erasing (source) voltage becomes higher, and the data writing time becomes shorter as the writing (drain) voltage becomes higher. Therefore, the writing / erasing time of the semiconductor memory can be controlled. Further, by setting a plurality of modes according to the voltage applied to the nonvolatile semiconductor memory, the nonvolatile semiconductor memory device can be used according to the application.

【0015】(2) 動作試験時における前記不揮発性半導
体メモリへの書き込みパルスの電圧値及びパルス幅の書
き込み試験合格データ、並びに消去パルスの電圧値及び
パルス幅の消去試験合格データを記憶する書き込み・消
去電圧記憶部を備え、前記書き込み・消去電圧切替部
は、該書き込み・消去電圧記憶部が記憶したデータに基
づいて、高電圧電源部から印加された電圧を調整して、
不揮発性半導体メモリへデータ書き込み可能な電圧及び
データ消去可能な電圧として任意の値に切り替えること
を特徴とする。
(2) A write / read memory for storing a write test pass data of a write pulse voltage value and a pulse width and an erase pulse voltage value and a pulse width of an erase test pass data to the nonvolatile semiconductor memory during an operation test. An erase voltage storage unit, the write / erase voltage switching unit adjusts a voltage applied from a high voltage power supply unit based on data stored in the write / erase voltage storage unit,
It is characterized in that the voltage is switched to an arbitrary value as a voltage at which data can be written to the nonvolatile semiconductor memory and a voltage at which data can be erased.

【0016】この構成において、書き込み・消去電圧記
憶部が記憶した動作試験時における前記不揮発性半導体
メモリへの書き込みパルスの電圧値及びパルス幅の書き
込み試験合格データ、並びに消去パルスの電圧値及びパ
ルス幅の消去試験合格データに基づいて、高電圧電源部
から印加された電圧を調整して、不揮発性半導体メモリ
へデータ書き込み可能な電圧及びデータ消去可能な電圧
として任意の値に切り替える。したがって、量産時にお
けるプロセス等のバラツキにより不揮発性半導体メモリ
の書き込み及び消去特性が変動するが、動作試験時にデ
バイス個々のメモリセル特性に応じた最適な書き込みま
たは消去特性を測定し、そのデータを書き込み・消去電
圧記憶部に格納することにより、通常の書き込みまたは
消去パルスを印加した後、書き込みまたは消去べリファ
イを実施し、書き込みまたは消去が不十分な場合は、再
度書き込みまたは消去パルス印加とべリファイ作業が必
要であるが、書き込みおよび消去のアルゴリズムをコン
トロールする書き込み・消去制御部が、各不揮発性半導
体メモリのテストデータを格納している書き込み・消去
電圧記憶部をアクセスし、そのデータを用いて不揮発性
半導体メモリへの書き込みパルス幅または消去パルス幅
を可変し、最適な設定ができるため、1回のパルス印加
とべリファイで動作が完了することが可能になる。ま
た、書き込みまたは消去とべリファイでのモード切り替
えに関する回路的なオーバヘッド時間を極小に抑えるこ
とができるので、書き込み及び消去時間を短くすること
が可能となる。
In this configuration, at the time of the operation test stored in the write / erase voltage storage section, the write test pass data of the write value and the pulse width of the write pulse to the nonvolatile semiconductor memory, and the voltage value and the pulse width of the erase pulse The voltage applied from the high-voltage power supply unit is adjusted based on the erase test pass data of (i), and the voltage is switched to an arbitrary value as a voltage at which data can be written to the nonvolatile semiconductor memory and a voltage at which data can be erased. Therefore, the writing and erasing characteristics of the non-volatile semiconductor memory fluctuate due to variations in processes and the like at the time of mass production.・ By storing the data in the erase voltage storage section, a normal write or erase pulse is applied, and then a write or erase verify is performed. If the write or erase is insufficient, the write or erase pulse is applied again and the verify operation is performed. However, the write / erase control unit that controls the write / erase algorithm accesses the write / erase voltage storage unit that stores the test data of each nonvolatile semiconductor memory, and uses that data to perform the nonvolatile operation. Pulse width or erase The scan width was variable, since it is the optimum setting, it is possible to operate with a single pulse application bets base Rifai is complete. In addition, since the circuit overhead time related to the mode switching between the writing or erasing and the verify can be minimized, the writing and erasing time can be shortened.

【0017】(3) (2) の構成において、前記書き込み・
消去電圧記憶部は、動作試験時に測定した前記不揮発性
半導体メモリへのの書き込みパルスの電圧値及びパルス
幅を該ブロック毎に記憶し、また消去パルスの電圧値及
びパルス幅をブロック毎に記憶するとすることができ
る。
(3) In the configuration of (2), the write / read
The erase voltage storage unit stores a voltage value and a pulse width of a write pulse to the nonvolatile semiconductor memory measured during an operation test for each block, and stores a voltage value and a pulse width of an erase pulse for each block. can do.

【0018】この構成においては、動作試験時に測定し
た前記不揮発性半導体メモリへの書き込みパルスの電圧
値及びパルス幅を該ブロック毎に記憶し、また消去パル
スの電圧値及びパルス幅をブロック毎に記憶する書き込
み・消去電圧記憶部を不揮発性半導体記憶装置は備えて
いる。したがって、不揮発性半導体メモリにデータを書
き込む際には、メモリセル毎にデータを書き込むことが
可能となり、不揮発性半導体メモリのデータを消去する
際にはブロック毎にデータを消去することが可能とな
る。
In this configuration, the voltage value and pulse width of the write pulse to the nonvolatile semiconductor memory measured during the operation test are stored for each block, and the voltage value and pulse width of the erase pulse are stored for each block. The non-volatile semiconductor storage device includes a write / erase voltage storage unit to be written. Therefore, when writing data to the nonvolatile semiconductor memory, data can be written for each memory cell, and when erasing data for the nonvolatile semiconductor memory, data can be erased for each block. .

【0019】(4) 前記書き込み・消去電圧切替部は、前
記書き込み・消去電圧記憶部が記憶した前記不揮発性半
導体メモリセルへの書き込みパルスの電圧値及び書き込
みパルス幅、並びに消去パルスの電圧値及びパルス幅を
任意の値に切り替え可能であることを特徴とする。
(4) The write / erase voltage switching unit includes: a write pulse voltage value and a write pulse width for the nonvolatile semiconductor memory cell stored in the write / erase voltage storage unit; The pulse width can be switched to an arbitrary value.

【0020】この構成においては、前記書き込み・消去
電圧記憶部が記憶した前記不揮発性半導体メモリセルへ
の書き込みパルスの電圧値及び書き込みパルス幅、並び
に消去パルスの電圧値及びパルス幅を任意の値に切り替
え可能である書き込み・消去電圧切替部を不揮発性半導
体記憶装置は備えている。したがって、プロセスの分散
による個々の不揮発性半導体メモリに特性のばらつきが
あっても、実測値に基づいて書き込みまたは消去の電圧
やパルス幅を任意の値に補正することが可能となり、製
品としての特性ばらつきを抑え、均一な書き込みまたは
消去特性をもった不揮発性半導体記憶装置を提供するこ
とが可能となる。
In this configuration, the voltage value and the pulse width of the write pulse to the nonvolatile semiconductor memory cell and the voltage value and the pulse width of the erase pulse stored in the write / erase voltage storage section are set to arbitrary values. The nonvolatile semiconductor memory device includes a switchable write / erase voltage switching unit. Therefore, even if the characteristics of individual nonvolatile semiconductor memories vary due to process dispersion, it is possible to correct the writing or erasing voltage and pulse width to arbitrary values based on the actually measured values. It is possible to provide a nonvolatile semiconductor memory device which suppresses variations and has uniform writing or erasing characteristics.

【0021】(5) 前記書き込み・消去切替部は、前記不
揮発性半導体メモリセルについてのデータの書き込み及
び消去を行う際の電圧として、前記動作試験時のデータ
の書き込み電圧及び消去電圧、前記動作試験時のデータ
の書き込み電圧及び消去電圧よりも高い電圧、及び前記
動作試験時のデータの書き込み電圧及び消去電圧よりも
低い電圧に、少なくとも切り替え可能であることを特徴
とする。
(5) The write / erase switching unit includes a data write voltage and an erase voltage at the time of the operation test as voltages for writing and erasing data with respect to the nonvolatile semiconductor memory cell. At least a voltage higher than the data write voltage and the erase voltage at the time of operation and a voltage lower than the data write voltage and the erase voltage at the time of the operation test.

【0022】この構成においては、前記不揮発性半導体
メモリセルについてのデータの書き込み及び消去を行う
際の電圧として、前記動作試験時のデータの書き込み電
圧及び消去電圧、前記動作試験時のデータの書き込み電
圧及び消去電圧よりも高い電圧、及び前記動作試験時の
データの書き込み電圧及び消去電圧よりも低い電圧に、
少なくとも切り替え可能である書き込み・消去切替部を
不揮発性半導体記憶装置は備えている。したがって、動
作試験時のデータの書き込み電圧及び消去電圧よりも高
い電圧に切り替えた場合は、不揮発性半導体メモリにか
かるストレスは大きくなり、書き替え後のデータ保持期
間が短くなるが、実際のアプリケーションでは書き替え
が頻繁に行われ、データ書き替えを繰り返し実施する間
隔が短くなるので、この場合は書き替え後のデータ保持
期間が必然的に短くなり、問題は発生しない。また、動
作試験時のデータの書き込み電圧及び消去電圧よりも低
い電圧に切り替えた場合は、不揮発性半導体メモリにか
かるストレスを低減させ、書き替え後のデータ保持期間
を長くすることが可能となる。
In this configuration, the data write and erase voltages during the operation test and the data write voltage during the operation test are used as voltages for writing and erasing data in the nonvolatile semiconductor memory cell. And a voltage higher than the erase voltage, and a voltage lower than the data write voltage and the erase voltage during the operation test,
The nonvolatile semiconductor memory device has at least a switchable write / erase switching unit. Therefore, when switching to a voltage higher than the data write voltage and the erase voltage at the time of the operation test, the stress applied to the non-volatile semiconductor memory increases, and the data retention period after rewrite is shortened. Rewriting is frequently performed, and the interval at which data rewriting is repeatedly performed becomes short. In this case, the data retention period after rewriting is inevitably shortened, and no problem occurs. Further, when the voltage is switched to a voltage lower than the data write voltage and the erase voltage at the time of the operation test, the stress applied to the nonvolatile semiconductor memory can be reduced, and the data retention period after rewrite can be extended.

【0023】(6) ユーザが外部コマンドにより、書き込
み・消去速度が所定の速度である通常モード、通常モー
ドよりも高速にデータを書き込み・消去する高速モー
ド、または通常モード及び高速モードよりも書き込んだ
データ保持時間の長い高信頼性モードのいずれかを選択
可能であることを特徴とする。
(6) The user writes, in response to an external command, a normal mode in which the write / erase speed is a predetermined speed, a high-speed mode in which data is written / erased faster than the normal mode, or a write in the normal mode and the high-speed mode It is characterized in that one of the high reliability modes having a long data retention time can be selected.

【0024】この構成において、不揮発性半導体記憶装
置を使用する際には、書き込み・消去速度が所定の速度
である通常モード、通常モードよりも高速にデータを書
き込み・消去する高速モード、または通常モード及び高
速モードよりも書き込んだデータ保持時間の長い高信頼
性モードを、外部コマンドによりユーザは選択可能であ
る。したがって、ユーザは用途に応じて複数の不揮発性
半導体記憶装置を準備することなく、本発明の不揮発性
半導体記憶装置のみを使用して通常モード、高速モー
ド、高信頼性モードを利用することが可能となる。
In this configuration, when the nonvolatile semiconductor memory device is used, a normal mode in which the write / erase speed is a predetermined speed, a high-speed mode in which data is written / erased faster than the normal mode, or a normal mode The user can select a high reliability mode having a longer data retention time than the high speed mode by an external command. Therefore, the user can use the normal mode, the high-speed mode, and the high-reliability mode using only the nonvolatile semiconductor memory device of the present invention without preparing a plurality of nonvolatile semiconductor memory devices according to the application. Becomes

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】図2は、本発明の実施形態に係る
不揮発性半導体記憶装置の概略の構成を示したブロック
図である。不揮発性半導体記憶装置45は、複数のアド
レスピン21、複数のデータピン29、回路電源ピン4
2、書き込み・消去用電源ピン43及びグランドピン4
4を外部に備えている。なお、図2では、説明を簡略化
するために、複数のアドレスピン21や複数のデータピ
ン29等を、一括して表示している。また、不揮発性半
導体記憶装置45は、入力バッファ22、アドレスラッ
チ23、カラムデコーダ24、ローデコーダ25、出力
バッファ26、出力MUX27、センス回路28、入力
バッファ30、ステータスレジスタ31、デバイスコー
ドIDレジスタ32、カラムゲート33、不揮発性半導
体メモリセルであるメモリセル34、コマンドステート
マシン35、インタフェースレジスタ36、書き込み・
消去制御部であるライトステートマシン37、マイクロ
コード記憶部であるマイクロコードストレージ38、書
き込み・消去電圧記憶部であるテスト情報格納メモリ3
9、高電圧電源部である書き込み・消去用高電圧昇圧回
路40、書き込み・消去電圧切替部であるドレイン・ソ
ース電圧設定回路41を内部に備えている。
FIG. 2 is a block diagram showing a schematic configuration of a nonvolatile semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention. The nonvolatile semiconductor memory device 45 includes a plurality of address pins 21, a plurality of data pins 29, and a circuit power supply pin 4.
2. Write / erase power supply pin 43 and ground pin 4
4 is provided outside. In FIG. 2, a plurality of address pins 21 and a plurality of data pins 29 are collectively displayed to simplify the description. The nonvolatile semiconductor memory device 45 includes an input buffer 22, an address latch 23, a column decoder 24, a row decoder 25, an output buffer 26, an output MUX 27, a sense circuit 28, an input buffer 30, a status register 31, and a device code ID register 32. , A column gate 33, a memory cell 34 which is a nonvolatile semiconductor memory cell, a command state machine 35, an interface register 36,
A write state machine 37 as an erase control unit, a microcode storage 38 as a microcode storage unit, and the test information storage memory 3 as a write / erase voltage storage unit
9. A write / erase high voltage booster circuit 40 as a high voltage power supply section and a drain / source voltage setting circuit 41 as a write / erase voltage switching section are provided therein.

【0026】不揮発性半導体記憶装置45において、ユ
ーザがアドレス入力用の複数のアドレスピン21から入
力するアドレス信号は、入力バッファ22を介してアド
レスラッチ23にラッチされる。アドレスラッチ23の
出力は、ローデコーダ25とカラムデコーダ24でデコ
ードされ、複数あるローにおける1つのローを選択する
と同時に、複数あるカラムにおける1つのカラムを選択
する。
In the nonvolatile semiconductor memory device 45, an address signal input by a user from a plurality of address pins 21 for inputting an address is latched by an address latch 23 via an input buffer 22. The output of the address latch 23 is decoded by the row decoder 25 and the column decoder 24, and selects one of a plurality of rows and one of the plurality of columns.

【0027】メモリセル34は、複数のブロックを備え
ており、また、各ブロックは図1に示したような複数の
メモリセルによって構成される。メモリセル34から読
み出されたデータは、カラムゲート33を介してセンス
回路28に入力され、データの「0」及び「1」判定を
行った後、出力MUX27を通過する。出力MUX27
を通ったデータは、出力バッファ26でインピーダンス
変換されデータピン29に出力される。
The memory cell 34 has a plurality of blocks, and each block is constituted by a plurality of memory cells as shown in FIG. The data read from the memory cell 34 is input to the sense circuit 28 via the column gate 33, passes through the output MUX 27 after making a “0” or “1” determination of the data. Output MUX27
The data that has passed through is impedance-converted by the output buffer 26 and output to the data pin 29.

【0028】ステータスレジスタ31には、メモリセル
34に書き込み・消去を実行した時のライトステートマ
シン37の実行結果が、コマンドステートマシン35を
介して記録される。また、デバイスコードIDレジスタ
32にはデバイスコードが記録されており、外部データ
ピン29から入力バッファ30を介して入力されたコマ
ンドをコマンドステートマシン35がコントロールし
て、センス回路28の出力と、ステータスレジスタ31
のデータと、デバイスIDレジスタ32のデータと、を
出力MAX27により切り替える。
In the status register 31, an execution result of the write state machine 37 when writing / erasing is performed on the memory cell 34 is recorded via the command state machine 35. A device code is recorded in the device code ID register 32. A command input from the external data pin 29 via the input buffer 30 is controlled by the command state machine 35, and the output of the sense circuit 28 and the status Register 31
And the data of the device ID register 32 are switched by the output MAX27.

【0029】不揮発性半導体メモリセル34のデータ
は、ユーザによって外部から与えられるコマンドとデー
タにより書き替えられる。データピン29から与えられ
るコマンド及びデータは、入力バッファ30を介してコ
マンドステートマシン35に与えられる。与えられたコ
マンドはコマンドステートマシン35においてデコード
され、そのコマンドが書き込みコマンド、消去コマンド
またはリードコマンドのいずれであるかが識別される。
与えられたコマンドが書き込みまたは消去コマンドの場
合、コマンドと同時に入力されたデータの制御は、ライ
トステートマシン37に移管される。
The data in the nonvolatile semiconductor memory cell 34 is rewritten by a command and data externally provided by the user. Commands and data provided from the data pins 29 are provided to the command state machine 35 via the input buffer 30. The given command is decoded in the command state machine 35, and it is identified whether the command is a write command, an erase command or a read command.
When the given command is a write or erase command, control of data input at the same time as the command is transferred to the write state machine 37.

【0030】ライトステートマシン37は、マイクロコ
ードストレージ38に予め記録されている書き込みまた
は消去のアルゴリズムに従って、各部を制御する。すな
わち、書き込み・消去用高電圧昇圧回路40へ書き込み
・消去に必要な高電圧を発生させる。また、ライトステ
ータスマシン37は、テスト情報格納メモリ39の内容
に従って、インタフェースレジスタ36を介してソース
電圧やドレイン電圧を設定するためのドレイン・ソース
電圧設定回路41を作動させる。また、同時にテスト情
報格納メモリ39の情報に従って、メモリセル34に印
加する書き込み・消去パルス幅をコントロールするよう
にドレイン・ソース電圧設定回路41を制御する。この
テスト情報格納メモリ39は、動作試験時にメモリセル
に対して書き込みまたは消去を実行したときに測定され
たパルス幅が記録されている。
The write state machine 37 controls each unit according to a programming or erasing algorithm recorded in the microcode storage 38 in advance. That is, a high voltage necessary for writing / erasing is generated in the high voltage boosting circuit 40 for writing / erasing. Further, the write status machine 37 operates the drain / source voltage setting circuit 41 for setting the source voltage and the drain voltage via the interface register 36 according to the contents of the test information storage memory 39. At the same time, according to the information in the test information storage memory 39, the drain / source voltage setting circuit 41 is controlled so as to control the write / erase pulse width applied to the memory cell. In the test information storage memory 39, a pulse width measured when writing or erasing is performed on a memory cell during an operation test is recorded.

【0031】回路電源ピン42には、外部から与えられ
る内部基準電圧発生回路やロジック回路の電源が接続さ
れる。また、書き込み・消去用電源ピン43には、回路
電源ピン42に接続された電源電圧よりも高い電圧を発
生させるための書き込み・消去用高電圧昇圧回路40の
電源端子として使用される。また、グランドピン44に
は、不揮発性半導体記憶装置45の動作用基準電位とし
て接地電位が接続される。
The circuit power supply pin 42 is connected to a power supply of an internal reference voltage generating circuit or a logic circuit supplied from the outside. The write / erase power supply pin 43 is used as a power supply terminal of a write / erase high voltage booster circuit 40 for generating a voltage higher than the power supply voltage connected to the circuit power supply pin 42. Further, a ground potential is connected to the ground pin 44 as a reference potential for operation of the nonvolatile semiconductor memory device 45.

【0032】本発明の実施形態に係る不揮発性半導体記
憶装置45では、メモリセル34にデータを書き込む際
にドレイン・ソース電圧設定回路41からドレインに印
加する電圧、及びメモリセル34のデータを消去する際
にドレイン・ソース電圧設定回路41からソースに印加
する電圧を所定の値に切り替えて印加することができ
る。これにより、メモリセル34に対するデータの書き
込み及び消去の速度を任意の速度に切り替えることがで
きる。図3は、記憶内容を消去する際のメモリセルトラ
ンジスタのソース電圧と消去時間との関係を示した特性
図である。図3に示したように、メモリセルトランジス
タのソースに印加する電圧が4.7Vの場合、記憶内容
の消去時間は1.37秒であるが、印加電圧が5.0V
の場合、消去電圧は1.10秒となり、印加電圧が6.
0Vの場合、消去電圧は0.86秒となる。このよう
に、メモリセル34に限らず、一般的にフローティング
ゲートを有する不揮発性半導体メモリ(MOSトランジ
スタ)は、ソース電圧を高くする程、データの消去時間
が短くなるという特性を有している。したがって、例え
ば、ソースに印加する電圧が4.7Vの場合を高信頼性
モード、印加電圧が5.0Vの場合を通常(動作試験)
モード、印加電圧が6.0Vの場合を高速モードとして
設定することで、ユーザの使用状況に応じて不揮発性半
導体記憶装置45を使用することができる。
In the nonvolatile semiconductor memory device 45 according to the embodiment of the present invention, when data is written to the memory cell 34, the voltage applied to the drain from the drain / source voltage setting circuit 41 and the data in the memory cell 34 are erased. In this case, the voltage applied from the drain / source voltage setting circuit 41 to the source can be switched to a predetermined value and applied. As a result, the speed of writing and erasing data in the memory cell 34 can be switched to an arbitrary speed. FIG. 3 is a characteristic diagram showing a relationship between a source voltage of a memory cell transistor and an erasing time when erasing stored contents. As shown in FIG. 3, when the voltage applied to the source of the memory cell transistor is 4.7 V, the erase time of the stored contents is 1.37 seconds, but the applied voltage is 5.0 V
, The erase voltage is 1.10 seconds, and the applied voltage is 6.
In the case of 0V, the erase voltage is 0.86 seconds. Thus, not only the memory cell 34 but also a nonvolatile semiconductor memory (MOS transistor) generally having a floating gate has a characteristic that the higher the source voltage, the shorter the data erasing time. Therefore, for example, the case where the voltage applied to the source is 4.7 V is the high reliability mode, and the case where the applied voltage is 5.0 V is normal (operation test).
By setting the mode and the case where the applied voltage is 6.0 V as the high-speed mode, it is possible to use the nonvolatile semiconductor memory device 45 according to the use situation of the user.

【0033】なお、書き込み時のメモリセル34におけ
る書き込み時間−ドレイン電圧特性は示さないが、図3
に示した消去−ドレイン電圧特性と同様に、一般的にフ
ローティングゲートを有する不揮発性半導体メモリ(M
OSトランジスタ)は、ドレイン電圧を高くする程、デ
ータの書き込み時間が短くなるという特性を有してい
る。よって、メモリセル34のデータを消去する場合に
も、高信頼性モード、通常(動作試験)モード及び高速
モードを設定することで、ユーザの使用状況に応じて不
揮発性半導体記憶装置45を使用することができる。
Although the write time-drain voltage characteristic in the memory cell 34 at the time of writing is not shown, FIG.
Similarly to the erase-drain voltage characteristic shown in FIG.
The OS transistor has a characteristic that the higher the drain voltage, the shorter the data writing time. Therefore, even when erasing data in the memory cell 34, the nonvolatile semiconductor memory device 45 is used in accordance with the use situation of the user by setting the high reliability mode, the normal (operation test) mode, and the high-speed mode. be able to.

【0034】次に、本発明の不揮発性半導体記憶装置に
おける別の特徴を説明する。通常、不揮発性半導体記憶
装置は、工場出荷前の動作試験時に書き込みまたは消去
の動作を実行させるが、本発明の実施形態に係る不揮発
性半導体記憶装置45は、この試験時に、書き込みまた
は消去パルス数の測定と、メモリセルに過剰ストレスを
与えない範囲でのドレイン電圧やソース電圧の最適値の
測定と、を行う。そして、測定されたそれぞれの値を、
テスト情報格納メモリ39に記録するように構成してい
る。
Next, another feature of the nonvolatile semiconductor memory device of the present invention will be described. Normally, the nonvolatile semiconductor memory device performs a write or erase operation at the time of an operation test before shipment from a factory. However, the nonvolatile semiconductor memory device 45 according to the embodiment of the present invention performs the write or erase pulse count at the time of the test. And the measurement of the optimum values of the drain voltage and the source voltage within a range that does not apply excessive stress to the memory cell. Then, each measured value is
The test information is stored in the test information storage memory 39.

【0035】図4は、本発明の実施形態に係る不揮発性
半導体記憶装置の動作試験を説明するためのフローチャ
ートである。図4に示したように、不揮発性半導体記憶
装置の工場出荷前においては動作試験として、コンタク
トテスト(ステップ101)、DCテスト(ステップ1
02)、ロジックファンクションテスト(ステップ10
3)、メモリセルのデータ書き込みテスト(ステップ1
04)、メモリセルのデータ消去テスト(ステップ10
6)、及びその他のテスト(ステップ108)を行う。
各テストを上記の順に行い、各テストに合格すれば更に
次のテストを行い、最終的にステップ108に示したそ
の他のテストに合格すれば、良品として出荷する。一
方、各テストにおいて不合格の場合はフェールとして不
良品となり、出荷はされない。
FIG. 4 is a flowchart for explaining an operation test of the nonvolatile semiconductor memory device according to the embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4, before shipment of the nonvolatile semiconductor memory device from the factory, contact tests (step 101) and DC tests (step 1) are performed as operation tests.
02), logic function test (step 10)
3), data write test of memory cells (step 1)
04), data erase test of memory cells (step 10)
6) and other tests (step 108).
Each test is performed in the order described above. If each test is passed, the next test is further performed. If the other tests finally passed in step 108 are passed, the product is shipped as a non-defective product. On the other hand, if any of the tests fail, the product becomes a failure and is not shipped.

【0036】なお、ステップ104のメモリセルのデー
タ書き込みテストに合格した場合は、メモリセルにデー
タを書き込むための書き込み電圧値及びメモリセルにデ
ータを書き込むための書き込みパルス数が、ブロック毎
にテスト情報格納メモリ39に記録される(ステップ1
05)。そして、ステップ106が実行される。
If the data write test of the memory cell in step 104 is passed, the write voltage value for writing data to the memory cell and the number of write pulses for writing data to the memory cell are equal to the test information for each block. Recorded in the storage memory 39 (step 1
05). Then, step 106 is executed.

【0037】また、ステップ106においてメモリセル
のデータ消去テストに合格した場合は、メモリセルのデ
ータを消去するための消去電圧値及びメモリセルにデー
タを消去するための消去パルス数がテスト情報格納メモ
リ39に記録される(ステップ107)。そして、ステ
ップ108が実行される。
If the data erase test of the memory cell is passed in step 106, the erase voltage value for erasing the data of the memory cell and the number of erase pulses for erasing the data in the memory cell are the test information storage memory. 39 is recorded (step 107). Then, step 108 is executed.

【0038】上記のように、テスト情報格納メモリ39
に、動作試験時に測定した該不揮発性半導体メモリセル
の書き込みパルスの電圧値及びパルス幅、並びに消去パ
ルスの電圧値及びパルス幅を、記録しているので、書き
込みおよび消去のアルゴリズムをコントロールするライ
トステートマシンが、各不揮発性半導体メモリのテスト
データを格納しているテスト情報格納メモリをアクセス
し、そのデータを用いてメモリセルへの書き込み時のパ
ルス幅やまたは消去パルス幅を可変し、最適な設定がで
きるため、1回のパルス印加とべリファイで動作を完了
することが可能になる。したがって、書き込みまたは消
去とべリファイでのモード切り替えに関る回路的なオー
バヘッド時間を極小に抑えることができ、書き込みまた
は消去時間を短くすることができる。
As described above, the test information storage memory 39
Since the voltage value and the pulse width of the write pulse and the voltage value and the pulse width of the erase pulse of the nonvolatile semiconductor memory cell measured during the operation test are recorded, the write state for controlling the write and erase algorithms is recorded. The machine accesses the test information storage memory that stores the test data of each nonvolatile semiconductor memory, and uses that data to vary the pulse width or erase pulse width when writing to memory cells, and to set the optimum settings Therefore, the operation can be completed by one pulse application and verification. Therefore, it is possible to minimize the circuit overhead time related to the mode switching between writing or erasing and verifying, and to shorten the writing or erasing time.

【0039】また、本発明の不揮発性半導体記憶装置で
は、プロセスの分散による個々の不揮発性半導体メモリ
に特性のばらつきがあっても、実測値に基づいて書き込
みまたは消去の電圧やパルス幅を任意の値に補正ができ
る。つまり、テスト情報格納メモリ39に格納した動作
試験時に測定した該不揮発性半導体メモリセルの書き込
みパルスの電圧値及びパルス幅、並びに消去パルスの電
圧値及びパルス幅のデータに基づいて、ドレイン・ソー
ス電圧設定回路41から補正した書き込みパルスまたは
消去パルスを出力するように、ライトステートマシン3
7が制御するように設定する。これにより、製品として
の特性ばらつきを抑え、均一な書き込みまたは消去特性
をもった不揮発性半導体記憶装置を提供できる。
Further, in the nonvolatile semiconductor memory device of the present invention, even if the characteristics of individual nonvolatile semiconductor memories vary due to process dispersion, the voltage or pulse width for writing or erasing can be arbitrarily determined based on actually measured values. The value can be corrected. That is, based on the data of the voltage value and pulse width of the write pulse and the voltage value and pulse width of the erase pulse of the nonvolatile semiconductor memory cell measured during the operation test stored in the test information storage memory 39, the drain-source voltage is determined. The write state machine 3 outputs a corrected write pulse or erase pulse from the setting circuit 41.
7 is controlled. As a result, it is possible to provide a nonvolatile semiconductor memory device which suppresses variation in characteristics as a product and has uniform writing or erasing characteristics.

【0040】不揮発性半導体記憶装置45の通常の使用
状態であるユーザモードにおいて、前記のように高信頼
性モード、通常(動作試験)モード、高速モードの3モ
ードを設定した場合に、各モードの選択を行う際には、
書き込み、消去及び読み出しのコマンドをデータピン2
9から与える。この時に、書き込み、消去コマンドに続
いて書き込むデータと高速モード、通常モードまたは高
信頼性モードのモードデータをデータピン29から入力
する。このモードデータにより、書き込み時のドレイン
電圧または消去時のソース電圧をライトステートマシン
37が自動的に設定する。
In the user mode, which is the normal use state of the nonvolatile semiconductor memory device 45, when the three modes of the high reliability mode, the normal (operation test) mode, and the high speed mode are set as described above, When making a selection,
Write, erase and read commands are sent to data pin 2
Give from 9. At this time, the data to be written and the mode data of the high-speed mode, the normal mode, or the high-reliability mode are input from the data pin 29 following the write and erase commands. With this mode data, the write state machine 37 automatically sets the drain voltage at the time of writing or the source voltage at the time of erasing.

【0041】この機能により高速モードでは、メモリセ
ル34にかかるストレスは大きくなり、書き替え後のデ
ータ保持期間が短くなる。一方、高信頼性モードでは、
高速モード及び通常モードよりは書き込み・消去時間は
長くなるが、メモリセル34にかかるストレスを低減さ
せ、書き替え後のデータ保持期間を長くすることが可能
となる。
With this function, in the high-speed mode, the stress applied to the memory cell 34 is increased, and the data retention period after rewriting is shortened. On the other hand, in the high reliability mode,
Although the writing / erasing time is longer than in the high-speed mode and the normal mode, the stress applied to the memory cell 34 can be reduced, and the data retention period after rewriting can be extended.

【0042】高速書き込み・高速消去モードを使用する
場合、実際のアプリケーションでは書き替えが頻繁に行
われ、データ書き替えを繰り返し実施する間隔が短くな
る。したがって、この場合は書き替え後のデータ保持期
間が必然的に短くなるので問題は発生しない。他方、メ
モリセルの内容を頻繁には書き替えない場合、データ保
持特性が要求されるため、書き込み・消去の時間を低速
で行うことで実現可能となる。
When the high-speed writing / high-speed erasing mode is used, rewriting is frequently performed in an actual application, and the interval at which data rewriting is repeatedly performed becomes short. Therefore, in this case, no problem occurs because the data retention period after rewriting is inevitably shortened. On the other hand, when the contents of the memory cells are not frequently rewritten, data retention characteristics are required, and this can be realized by performing writing / erasing at a low speed.

【0043】また、書き込み・消去を複数回繰り返して
いくことで、書き込みまたは消去特性が変化し、当初の
測定されたパルス幅ではカバーできなくなってくる場合
がある。この場合において、ライトステートマシン37
は、インタフェースレジスタ36を介してドレイン・ソ
ース電圧設定回路41からメモリセル34に不足分のパ
ルスを別途印加して補うに制御することができる。以
下、図5乃至図7に基づいて説明する。図5は、不揮発
性半導体記憶装置における従来のデータの書き込み及び
消去動作を説明するためのフローチャートである。図6
は、書き込み処理を説明するためのフローチャートであ
る。図7は、消去処理を説明するためのフローチャート
である。
Further, by repeating the writing / erasing a plurality of times, the writing or erasing characteristics are changed, and sometimes the pulse width cannot be covered by the initially measured pulse width. In this case, the light state machine 37
Can be controlled so as to compensate for the insufficient pulse by separately applying the insufficient pulse from the drain / source voltage setting circuit 41 to the memory cell 34 via the interface register 36. Hereinafter, description will be made with reference to FIGS. FIG. 5 is a flowchart for explaining a conventional data write and erase operation in a nonvolatile semiconductor memory device. FIG.
9 is a flowchart for explaining a writing process. FIG. 7 is a flowchart for explaining the erasing process.

【0044】図5に示したように、不揮発性半導体記憶
装置の制御部は、ユーザが外部からデータの書き込みコ
マンドを入力したか否かを判定し(ステップ201)、
ユーザが外部から書き込みコマンドを入力した場合、不
揮発性半導体記憶装置の制御部はデータの書き込み処理
を行う(ステップ211)。一方、ステップ201にお
いて、書き込みコマンドの入力が無い場合、制御部はユ
ーザが外部からデータの消去コマンドを入力したか否か
を判定する(ステップ202)。ユーザが外部から消去
コマンドを入力した場合、不揮発性半導体記憶装置の制
御部はデータの消去処理を行う(ステップ212)。
As shown in FIG. 5, the control unit of the nonvolatile semiconductor memory device determines whether the user has input a data write command from outside (step 201).
When the user inputs a write command from outside, the control unit of the nonvolatile semiconductor memory device performs a data write process (step 211). On the other hand, if there is no input of the write command in step 201, the control unit determines whether or not the user has input a data erase command from outside (step 202). When the user inputs an erasing command from the outside, the control unit of the nonvolatile semiconductor memory device performs a data erasing process (step 212).

【0045】メモリセル34に対するデータ書き込み処
理は以下のように行われる。図6に示したように、書き
込み処理において、ライトステートマシン37は、先
ず、テスト情報格納メモリ39に格納した動作試験時の
測定値の読み込みを行い(ステップ221)、データ書
き込みを行うメモリセル34のメモリセルトランジスタ
のアドレスをセットする(ステップ222)。また、ラ
イトステートマシン37は、ドレイン・ソース電圧設定
回路41に、書き込み・消去用高電圧昇圧電圧回路40
から供給された電圧を、テスト情報格納メモリ39から
読み込んだ動作試験時の測定値に基づいた所定の電圧値
及びパルス幅の書き込みパルスをメモリセル34に印加
するようにセットアップさせる(ステップ223)。そ
して、ドレイン・ソース電圧設定回路41からメモリセ
ル34に書き込みパルスを印加させる(ステップ22
4)。所定の書き込みパルスの印加が終了したら、ドレ
イン・ソース電圧設定回路41に書き込みパルスの印加
を停止させる(ステップ225)。
The data write processing to the memory cell 34 is performed as follows. As shown in FIG. 6, in the write processing, the write state machine 37 first reads the measured value during the operation test stored in the test information storage memory 39 (step 221), and the memory cell 34 into which data is written. The address of the memory cell transistor is set (step 222). Further, the write state machine 37 includes a high voltage step-up voltage circuit 40 for writing / erasing in the drain / source voltage setting circuit 41.
Is set up so as to apply a write pulse having a predetermined voltage value and pulse width based on the measured value at the time of the operation test read from the test information storage memory 39 to the memory cell 34 (step 223). Then, a write pulse is applied from the drain / source voltage setting circuit 41 to the memory cell 34 (step 22).
4). When the application of the predetermined write pulse is completed, the application of the write pulse to the drain / source voltage setting circuit 41 is stopped (step 225).

【0046】次に、ライトステートマシン37は、ドレ
イン・ソース電圧設定回路41が所定のベリファイ電圧
をメモリセル34に印加するようにセットし(ステップ
226)、メモリセル34の書き込みが良好であるかを
確認するためにベリファイを行う(ステップ227)。
書き込みがうまく行われていなかった場合、ライトステ
ートマシン37は、ベリファイ電圧の出力を停止させて
(ステップ231)、予め設定しておいた再書き込み用
の電圧値及びパルス幅の書き込みパルスをメモリセル3
4に印加するようにセットする(ステップ232)。そ
して、そして、ドレイン・ソース電圧設定回路41から
メモリセル34に書き込みパルスを印加させる(ステッ
プ233)。書き込みパルスの印加が終了したら、ドレ
イン・ソース電圧設定回路41に書き込みパルスの印加
を停止させる(ステップ225)。このように、メモリ
セル34の書き込みが良好となるまで、順次書き込み電
圧を変更しながら、書き込み、ベリファイを繰り返し行
う。
Next, the write state machine 37 sets the drain / source voltage setting circuit 41 to apply a predetermined verify voltage to the memory cell 34 (step 226). Verify is performed to confirm (Step 227).
If the writing has not been successfully performed, the write state machine 37 stops the output of the verify voltage (step 231), and sends a preset write pulse having a rewrite voltage value and a pulse width to the memory cell. 3
4 (step 232). Then, a write pulse is applied from the drain / source voltage setting circuit 41 to the memory cell 34 (step 233). When the application of the write pulse is completed, the application of the write pulse to the drain / source voltage setting circuit 41 is stopped (step 225). As described above, the writing and the verifying are repeatedly performed while sequentially changing the writing voltage until the writing of the memory cell 34 becomes good.

【0047】一方、ステップ227において、メモリセ
ル34の書き込みが良好の場合、ライトステートマシン
37は、ベリファイ電圧の出力を停止させて(ステップ
228)、書き込み処理を終了する。
On the other hand, if the writing of the memory cell 34 is good in step 227, the write state machine 37 stops outputting the verify voltage (step 228), and ends the write processing.

【0048】また、メモリセル34に対するデータ消去
処理は以下のように行われる。図7に示したように、消
去処理において、ライトステートマシン37は、先ず、
テスト情報格納メモリ39に格納した動作試験時の測定
値の読み込みを行い(ステップ241)、データ消去を
行うメモリセル34のブロックのアドレスをセットする
(ステップ242)。また、ライトステートマシン37
は、ドレイン・ソース電圧設定回路41に、書き込み・
消去用高電圧昇圧電圧回路40から供給された電圧を、
テスト情報格納メモリ39から読み込んだ動作試験時の
測定値に基づいた所定の電圧値及びパルス幅の消去パル
スをメモリセル34に印加するようにセットアップさせ
る(ステップ243)。そして、ドレイン・ソース電圧
設定回路41からメモリセル34に消去パルスを印加さ
せる(ステップ244)。所定の消去パルスの印加が終
了したら、ドレイン・ソース電圧設定回路41に消去パ
ルスの印加を停止させる(ステップ245)。
The data erasing process for the memory cell 34 is performed as follows. As shown in FIG. 7, in the erasing process, the write state machine 37 first
The measured value during the operation test stored in the test information storage memory 39 is read (step 241), and the address of the block of the memory cell 34 from which data is to be erased is set (step 242). In addition, the light state machine 37
Is written to the drain / source voltage setting circuit 41.
The voltage supplied from the high voltage boosting voltage circuit for erasing 40 is
The memory cell 34 is set up so that an erase pulse having a predetermined voltage value and a pulse width based on the measurement value at the time of the operation test read from the test information storage memory 39 is applied to the memory cell 34 (step 243). Then, an erase pulse is applied from the drain / source voltage setting circuit 41 to the memory cell 34 (step 244). When the application of the predetermined erase pulse is completed, the application of the erase pulse to the drain / source voltage setting circuit 41 is stopped (step 245).

【0049】次に、ライトステートマシン37は、ドレ
イン・ソース電圧設定回路41が所定のベリファイ電圧
をメモリセル34に印加するようにセットし(ステップ
246)、メモリセル34の消去が良好であるかを確認
するためにベリファイを行う(ステップ247)。消去
がうまく行われていなかった場合、ライトステートマシ
ン37は、ベリファイ電圧の出力を停止させて(ステッ
プ251)、予め設定しておいた再消去用の電圧値及び
パルス幅の消去パルスをメモリセル34に印加するよう
にセットする(ステップ252)。そして、そして、ド
レイン・ソース電圧設定回路41からメモリセル34に
消去パルスを印加させる(ステップ253)。消去パル
スの印加が終了したら、ドレイン・ソース電圧設定回路
41に消去パルスの印加を停止させる(ステップ24
5)。このように、メモリセル34の消去が良好となる
まで、順次書き込み電圧を変更しながら、書き込み、ベ
リファイを繰り返し行う。
Next, the write state machine 37 sets the drain / source voltage setting circuit 41 so as to apply a predetermined verify voltage to the memory cell 34 (step 246). Verification is performed to confirm the operation (step 247). If the erasure has not been successfully performed, the write state machine 37 stops the output of the verify voltage (step 251), and sends a preset erase value having a voltage value and a pulse width for re-erase to the memory cell. 34 to be applied (step 252). Then, an erase pulse is applied from the drain / source voltage setting circuit 41 to the memory cell 34 (step 253). When the application of the erase pulse is completed, the application of the erase pulse to the drain / source voltage setting circuit 41 is stopped (step 24).
5). As described above, the writing and the verifying are repeatedly performed while sequentially changing the writing voltage until the erasing of the memory cell 34 becomes satisfactory.

【0050】一方、ステップ247において、メモリセ
ル34の消去が良好の場合、ライトステートマシン37
は、ベリファイ電圧の出力を停止させて(ステップ24
8)、消去処理を終了する。
On the other hand, in step 247, if the erasure of the memory cell 34 is good, the write state machine 37
Stops the output of the verify voltage (step 24).
8), end the erasing process.

【0051】以上のように、本発明の実施形態に係る不
揮発性半導体記憶装置では、書き込みおよび消去動作を
制御するライトステートマシン37をアルゴリズミック
に制御するマイクロコードを最適に組み込むことで、書
き込み時のドレイン電圧、または、消去時のソース電圧
が適正に選択されるので、ユーザの使用時に書き込みま
たは消去コマンドを入力するとき、同時にモード設定を
行うと、「高速書き込みまたは消去モード(高速モー
ド)」、「デフォルトでの工場出荷時の書き込みまたは
消去モード(通常モード)」または「書き替え後の長期
データ保持特性モード(高信頼性モード)」を容易に選
択可能となる。
As described above, in the nonvolatile semiconductor memory device according to the embodiment of the present invention, the write state machine 37 for controlling the write and erase operations is optimally incorporated with the microcode for algorithmically controlling the write state machine 37. Since the drain voltage or the source voltage at the time of erasing is properly selected, if a mode is set at the same time when a user inputs a write or erase command, the "high-speed write or erase mode (high-speed mode)" It is possible to easily select the "factory default writing or erasing mode (normal mode)" or the "long-term data retention characteristic mode after rewriting (high reliability mode)".

【0052】[0052]

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。
According to the present invention, the following effects can be obtained.

【0053】(1) 不揮発性半導体記憶装置は、電気的に
データの書き込み及び消去が可能な複数のメモリセルに
よって構成された複数のブロックを有する不揮発性半導
体メモリと、該不揮発性半導体メモリに情報の書き込み
及び消去用電圧を供給する高電圧電源部と、外部コマン
ドにより選択可能なマイクロコードを格納するマイクロ
コード記憶部と、外部コマンドにより選択されたマイク
ロコードに従い、該不揮発性半導体メモリへの情報の書
き込み及び消去の動作を制御する書き込み・消去制御部
と、該高電圧電源部から印加された電圧を調整して、不
揮発性半導体メモリへデータ書き込み可能な電圧及びデ
ータ消去可能な電圧として任意の値に切り替え可能な書
き込み・消去電圧切替部と、を備えているので、不揮発
性半導体メモリは、消去(ソース)電圧を高くする程、
データの消去時間が短くなるという特性を有し、また、
書き込み(ドレイン)電圧を高くする程、データの書き
込み時間が短くなるという特性を有しているので、半導
体メモリの書き込み・消去時間を制御することができ
る。また、不揮発性半導体メモリに印加する電圧に応じ
て複数のモードを設定することで、アプリケーションに
応じて不揮発性半導体記憶装置を使用することができ
る。
(1) A nonvolatile semiconductor memory device includes a nonvolatile semiconductor memory having a plurality of blocks each including a plurality of electrically rewritable and erasable memory cells, and information stored in the nonvolatile semiconductor memory. A high-voltage power supply for supplying a voltage for writing and erasing, a microcode storage for storing a microcode selectable by an external command, and information to the nonvolatile semiconductor memory according to the microcode selected by the external command. A write / erase control unit for controlling the writing and erasing operations, and a voltage applied from the high-voltage power supply unit to adjust the voltage as a voltage at which data can be written to the nonvolatile semiconductor memory and a voltage at which data can be erased. And a write / erase voltage switching unit capable of switching to a value. The higher the erase (source) voltage,
It has the property that data erasing time is shortened,
Since the data writing time is shortened as the writing (drain) voltage is increased, the writing / erasing time of the semiconductor memory can be controlled. Further, by setting a plurality of modes according to the voltage applied to the nonvolatile semiconductor memory, the nonvolatile semiconductor memory device can be used according to the application.

【0054】(2) 書き込み・消去電圧記憶部が記憶した
動作試験時における前記不揮発性半導体メモリへの書き
込みパルスの電圧値及びパルス幅の書き込み試験合格デ
ータ、並びに消去パルスの電圧値及びパルス幅の消去試
験合格データに基づいて、高電圧電源部から印加された
電圧を調整して、不揮発性半導体メモリへデータ書き込
み可能な電圧及びデータ消去可能な電圧として任意の値
に切り替えるため、量産時におけるプロセス等のバラツ
キにより不揮発性半導体メモリの書き込み及び消去特性
が変動するが、動作試験時にデバイス個々のメモリセル
特性に応じた最適な書き込みまたは消去特性を測定し、
そのデータを書き込み・消去電圧記憶部に格納すること
により、通常の書き込みまたは消去パルスを印加した
後、書き込みまたは消去べリファイを実施し、書き込み
または消去が不十分な場合は、再度書き込みまたは消去
パルス印加とべリファイ作業が必要であるが、書き込み
および消去のアルゴリズムをコントロールする書き込み
・消去制御部が、各不揮発性半導体メモリのテストデー
タを格納している書き込み・消去電圧記憶部をアクセス
し、そのデータを用いて不揮発性半導体メモリへの書き
込みパルス幅または消去パルス幅を可変し、最適な設定
ができるため、1回のパルス印加とべリファイで動作が
完了することができる。また、書き込みまたは消去とべ
リファイでのモード切り替えに関する回路的なオーバヘ
ッド時間を極小に抑えることができるので、書き込み及
び消去時間を短くすることができる。
(2) Write test pass data of the write pulse voltage value and pulse width to the nonvolatile semiconductor memory at the time of the operation test stored in the write / erase voltage storage section, and the erase pulse voltage value and pulse width Based on the erasure test pass data, the voltage applied from the high-voltage power supply is adjusted to switch the voltage to any value as the voltage at which data can be written to the nonvolatile semiconductor memory and the voltage at which data can be erased. The writing and erasing characteristics of the non-volatile semiconductor memory fluctuate due to such variations.However, during the operation test, the optimum writing or erasing characteristics according to the memory cell characteristics of each device are measured,
By storing the data in the write / erase voltage storage unit, a normal write / erase pulse is applied, and then a write / erase verify is performed. Although application and verification are required, the write / erase control unit that controls the write and erase algorithms accesses the write / erase voltage storage unit that stores the test data for each nonvolatile semiconductor memory, and stores the data. Can be used to change the write pulse width or erase pulse width to the nonvolatile semiconductor memory and make the optimum setting, so that the operation can be completed by one pulse application and verification. Further, the circuit overhead time related to the mode switching between the writing or erasing and the verify can be minimized, so that the writing and erasing time can be shortened.

【0055】(3) 前記書き込み・消去電圧記憶部が記憶
した前記不揮発性半導体メモリセルへの書き込みパルス
の電圧値及び書き込みパルス幅、並びに消去パルスの電
圧値及びパルス幅を任意の値に切り替え可能である書き
込み・消去電圧切替部を不揮発性半導体記憶装置は備え
ているため、プロセスの分散による個々の不揮発性半導
体メモリに特性のばらつきがあっても、実測値に基づい
て書き込みまたは消去の電圧やパルス幅を任意の値に補
正することができ、製品としての特性ばらつきを抑え、
均一な書き込みまたは消去特性をもった不揮発性半導体
記憶装置を提供することができる。
(3) The write pulse voltage value and write pulse width, and the erase pulse voltage value and pulse width to the nonvolatile semiconductor memory cell stored in the write / erase voltage storage section can be switched to arbitrary values. Since the nonvolatile semiconductor memory device includes the write / erase voltage switching unit which is a variable write / erase voltage or a write / erase voltage based on the actually measured value even if the characteristics of individual nonvolatile semiconductor memories vary due to process dispersion. The pulse width can be corrected to any value, suppressing characteristic variations as a product,
A nonvolatile semiconductor memory device having uniform writing or erasing characteristics can be provided.

【0056】(4) 前記不揮発性半導体メモリセルについ
てのデータの書き込み及び消去を行う際の電圧として、
前記動作試験時のデータの書き込み電圧及び消去電圧、
前記動作試験時のデータの書き込み電圧及び消去電圧よ
りも高い電圧、及び前記動作試験時のデータの書き込み
電圧及び消去電圧よりも低い電圧に、少なくとも切り替
え可能である書き込み・消去切替部を不揮発性半導体記
憶装置は備えているので、動作試験時のデータの書き込
み電圧及び消去電圧よりも高い電圧に切り替えた場合
は、不揮発性半導体メモリにかかるストレスは大きくな
り、書き替え後のデータ保持期間が短くなるが、実際の
アプリケーションでは書き替えが頻繁に行われ、データ
書き替えを繰り返し実施する間隔が短くなるので、この
場合は書き替え後のデータ保持期間が必然的に短くな
り、問題は発生させずにデータを利用できる。また、動
作試験時のデータの書き込み電圧及び消去電圧よりも低
い電圧に切り替えた場合は、不揮発性半導体メモリにか
かるストレスを低減させ、書き替え後のデータ保持期間
を長くすることができる。
(4) As a voltage for writing and erasing data with respect to the nonvolatile semiconductor memory cell,
Data write voltage and erase voltage during the operation test,
A non-volatile semiconductor device comprising a write / erase switching unit which is at least switchable to a voltage higher than a data write voltage and an erase voltage during the operation test, and a voltage lower than a data write voltage and an erase voltage during the operation test. Since the memory device is provided, when the voltage is switched to a voltage higher than the data writing voltage and the erasing voltage in the operation test, the stress applied to the nonvolatile semiconductor memory increases, and the data retention period after rewriting becomes shorter. However, in an actual application, rewriting is performed frequently, and the interval for repeatedly executing data rewriting is shortened.In this case, the data retention period after rewriting is inevitably shortened, and no problem occurs. Data is available. Further, when the voltage is switched to a voltage lower than the data write voltage and the erase voltage during the operation test, stress applied to the nonvolatile semiconductor memory can be reduced, and the data retention period after rewrite can be extended.

【0057】(5) 不揮発性半導体記憶装置を使用する際
には、書き込み・消去速度が所定の速度である通常モー
ド、通常モードよりも高速にデータを書き込み・消去す
る高速モード、または通常モード及び高速モードよりも
書き込んだデータ保持時間の長い高信頼性モードを、外
部コマンドによりユーザは選択可能であるので、ユーザ
は用途に応じて複数の不揮発性半導体記憶装置を準備す
ることなく、本発明の不揮発性半導体記憶装置のみを使
用して通常モード、高速モード、高信頼性モードを利用
することができる。
(5) When using the nonvolatile semiconductor memory device, a normal mode in which the write / erase speed is a predetermined speed, a high-speed mode in which data is written / erased faster than the normal mode, or a normal mode The user can select a high-reliability mode in which the written data retention time is longer than that in the high-speed mode by an external command, so that the user does not need to prepare a plurality of nonvolatile semiconductor memory devices according to the intended use. The normal mode, high-speed mode, and high-reliability mode can be used by using only the nonvolatile semiconductor memory device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】NOR型フラッシュメモリにおける1つのメモ
リセルの概略の断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view of one memory cell in a NOR flash memory.

【図2】本発明の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装
置の概略の構成を示したブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram showing a schematic configuration of a nonvolatile semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention.

【図3】記憶内容を消去する際のメモリセルトランジス
タのソース電圧と消去時間との関係を示した特性図であ
る。
FIG. 3 is a characteristic diagram showing a relationship between a source voltage of a memory cell transistor and an erasing time when erasing stored contents.

【図4】本発明の実施形態に係る不揮発性半導体記憶装
置の動作試験を説明するためのフローチャートである。
FIG. 4 is a flowchart for explaining an operation test of the nonvolatile semiconductor memory device according to the embodiment of the present invention.

【図5】不揮発性半導体記憶装置における従来のデータ
の書き込み及び消去動作を説明するためのフローチャー
トである。
FIG. 5 is a flowchart illustrating a conventional data write and erase operation in a nonvolatile semiconductor memory device.

【図6】書き込み処理を説明するためのフローチャート
である。
FIG. 6 is a flowchart illustrating a writing process.

【図7】消去処理を説明するためのフローチャートであ
る。
FIG. 7 is a flowchart illustrating an erasing process.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

34−メモリセル 37−ライトステートマシン 38−マイクロコードストレージ 39−テスト情報格納メモリ 41−ドレイン・ソース電圧設定回路 45−不揮発性半導体記憶装置 34-memory cell 37-write state machine 38-microcode storage 39-test information storage memory 41-drain / source voltage setting circuit 45-nonvolatile semiconductor storage device

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01R 31/28 B V Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat II (Reference) G01R 31/28 B V

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電気的にデータの書き込み及び消去が可
能な複数のメモリセルによって構成された複数のブロッ
クを有する不揮発性半導体メモリと、該不揮発性半導体
メモリに情報の書き込み及び消去用電圧を供給する高電
圧電源部と、外部コマンドにより選択可能なマイクロコ
ードを格納するマイクロコード記憶部と、外部コマンド
により選択されたマイクロコードに従い、該不揮発性半
導体メモリへの情報の書き込み及び消去の動作を制御す
る書き込み・消去制御部と、を備える不揮発性半導体記
憶装置において、 該高電圧電源部から印加された電圧を調整して、不揮発
性半導体メモリへデータ書き込み可能な電圧及びデータ
消去可能な電圧として任意の値に切り替え可能な書き込
み・消去電圧切替部を備えたことを特徴とする不揮発性
半導体記憶装置。
1. A nonvolatile semiconductor memory having a plurality of blocks constituted by a plurality of electrically rewritable and erasable memory cells, and supplying a voltage for writing and erasing information to the nonvolatile semiconductor memory. A high-voltage power supply unit, a microcode storage unit that stores microcodes that can be selected by an external command, and controls the operation of writing and erasing information to and from the nonvolatile semiconductor memory according to the microcode selected by the external command. And a write / erase control unit for controlling the voltage applied from the high-voltage power supply unit so that the voltage can be arbitrarily determined as a voltage at which data can be written to the nonvolatile semiconductor memory and a voltage at which data can be erased. Characterized by having a write / erase voltage switching unit capable of switching to different values Conductor memory device.
【請求項2】 動作試験時における前記不揮発性半導体
メモリへの書き込みパルスの電圧値及びパルス幅の書き
込み試験合格データ、並びに消去パルスの電圧値及びパ
ルス幅の消去試験合格データを記憶する書き込み・消去
電圧記憶部を備え、 前記書き込み・消去電圧切替部は、該書き込み・消去電
圧記憶部が記憶したデータに基づいて、高電圧電源部か
ら印加された電圧を調整して、不揮発性半導体メモリへ
データ書き込み可能な電圧及びデータ消去可能な電圧と
して任意の値に切り替えることを特徴とする請求項1に
記載の不揮発性半導体記憶装置。
2. A write / erase memory for storing a write test pass data of a write pulse voltage value and a pulse width and an erase pulse voltage value and a pulse width erase test pass data to the nonvolatile semiconductor memory during an operation test. A voltage storage unit, wherein the write / erase voltage switching unit adjusts a voltage applied from the high-voltage power supply unit based on the data stored in the write / erase voltage storage unit, and stores the data in the nonvolatile semiconductor memory. 2. The nonvolatile semiconductor memory device according to claim 1, wherein the writable voltage and the data erasable voltage are switched to arbitrary values.
【請求項3】 前記書き込み・消去電圧切替部は、前記
書き込み・消去電圧記憶部が記憶した前記不揮発性半導
体メモリセルへの書き込みパルスの電圧値及び書き込み
パルス幅、並びに消去パルスの電圧値及びパルス幅を任
意の値に切り替え可能であることを特徴とする請求項1
または2に記載の不揮発性半導体記憶装置。
3. The write / erase voltage switching unit includes: a write pulse voltage value and a write pulse width for the nonvolatile semiconductor memory cell stored in the write / erase voltage storage unit; and an erase pulse voltage value and a pulse. The width can be switched to any value.
Or the nonvolatile semiconductor memory device according to 2.
【請求項4】 前記書き込み・消去切替部は、前記不揮
発性半導体メモリセルについてのデータの書き込み及び
消去を行う際の電圧として、前記動作試験時のデータの
書き込み電圧及び消去電圧、前記動作試験時のデータの
書き込み電圧及び消去電圧よりも高い電圧、及び前記動
作試験時のデータの書き込み電圧及び消去電圧よりも低
い電圧に、少なくとも切り替え可能であることを特徴と
する請求項1乃至3のいずれかに記載の不揮発性半導体
記憶装置。
4. The write / erase switching unit includes: a data write voltage and an erase voltage during the operation test; and a data write and erase voltage during the operation test, when writing and erasing data with respect to the nonvolatile semiconductor memory cell. 4. The device according to claim 1, wherein the voltage is at least switchable between a voltage higher than the data write voltage and the erase voltage and a voltage lower than the data write voltage and the erase voltage during the operation test. 5. 3. The nonvolatile semiconductor memory device according to 1.
【請求項5】 ユーザが外部コマンドにより、書き込み
・消去速度が所定の速度である通常モード、通常モード
よりも高速にデータを書き込み・消去する高速モード、
または通常モード及び高速モードよりも書き込んだデー
タ保持時間の長い高信頼性モードのいずれかを選択可能
であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記
載の不揮発性半導体記憶装置。
5. A normal mode in which a user performs a write / erase speed at a predetermined speed by an external command, a high-speed mode in which data is written / erased faster than the normal mode,
5. The non-volatile semiconductor memory device according to claim 1, wherein one of a high reliability mode and a high reliability mode having a longer data retention time than the normal mode and the high speed mode can be selected.
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