JP2001249112A - Data collecting method and apparatus for time-of-flight mass spectrometer, and data processing method and apparatus - Google Patents

Data collecting method and apparatus for time-of-flight mass spectrometer, and data processing method and apparatus

Info

Publication number
JP2001249112A
JP2001249112A JP2000326570A JP2000326570A JP2001249112A JP 2001249112 A JP2001249112 A JP 2001249112A JP 2000326570 A JP2000326570 A JP 2000326570A JP 2000326570 A JP2000326570 A JP 2000326570A JP 2001249112 A JP2001249112 A JP 2001249112A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
data
time
shift
signal
clock
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000326570A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3986747B2 (en
Inventor
Tadashi Watanabe
正 渡邉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jeol Ltd filed Critical Jeol Ltd
Priority to JP2000326570A priority Critical patent/JP3986747B2/en
Publication of JP2001249112A publication Critical patent/JP2001249112A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3986747B2 publication Critical patent/JP3986747B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/0027Methods for using particle spectrometers
    • H01J49/0036Step by step routines describing the handling of the data generated during a measurement
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26Mass spectrometers or separator tubes
    • H01J49/34Dynamic spectrometers
    • H01J49/40Time-of-flight spectrometers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To collect data using smaller amount of memory and a smaller circuit scale at lower cost than with a simple ADC method by enabling a TOFMS to handle a wider dynamic range than a simple TDC type device. SOLUTION: TOF spectrum signals are classified into a plurality of levels by means of a discriminator apparatus 2, with the classified signals inputted to a data collection apparatus 6 having serial in and parallel out shift registers. On condition that there is a classified signal input to any of the shift registers every time a shift clock from an oscillator 5 is divided by a dividing circuit 4 to make a shift for a certain number of bits, the time elapsed since the start of the clock and shift data are read and stored in the memory of the data collection apparatus 6.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はイオン化された試料
を加速し、質量の相違に基づく検出器への到達時間差を
測定して試料分析を行う飛行時間型質量分析装置(Time
Of Flight Mass Spectrometer : TOFMS)用のデー
タ収集及び処理を行う方法及び装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a time-of-flight mass spectrometer (Time-of-flight mass spectrometer) for accelerating an ionized sample, measuring a difference in arrival time at a detector based on a difference in mass, and analyzing the sample.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for collecting and processing data for Of Flight Mass Spectrometer (TOFMS).

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、TOFMSにおけるTOFデータ
を収集する方式には、イオン化された試料を加速した時
間を起点として、(1)イオンが検出器に到達した時間
を、次々にストツプウォッチ方式で記録するTime to Di
gital (TDC)方式、(2)スペクトルをAnalogue to Di
gital Converter (ADC)でA/D変換する方式があり、
両者には各々得失がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, TOF data is collected in TOFMS by a method of (1) starting from a time at which an ionized sample is accelerated and arriving at a detector by a stopwatch method. Time to Di to record
gital (TDC) method, (2) Analyze to Diode
There is a method of A / D conversion with gital Converter (ADC).
Both have their advantages and disadvantages.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】TDC方式は、ある閾
値(スレッショルドレベル)以下のパルスを計数しない
ように設定できるためノイズに強く、またイオンが検出
器に到着した時間のみ記録するので、必要とするメモリ
が少なくてすむ利点があるが、パルスが連続して来た時
にストップウォッチ動作が間に合わず数え落とし(不感
時間:Dead Time)があるため、計測できるイオン量が少
なく、試料導入量を少なくしておかなければならないと
いう欠点がある。
The TDC method can be set so as not to count pulses below a certain threshold (threshold level), so that it is resistant to noise and records only the time when ions arrive at the detector. The advantage is that less memory is required, but the stopwatch operation cannot be performed in time when pulses come in succession, and counts down (dead time) .Therefore, the amount of ions that can be measured is small, and the amount of sample introduced is small. There is a disadvantage that must be kept.

【0004】ADC方式は、イオン検出器として使用さ
れる二次電子増倍管のパルス領域から電流領域までの広
い動作領域でA/D変換できるため、扱えるイオン量は
多いが、検出器の出力パルス幅が狭い場合、A/D変換
速度が遅いとパルスをA/D変換し損ねるため高速AD
Cを高速のクロックで動作させる必要があり、これによ
りメモリが大量に必要となる。また高速ADCに対して
メモリは低速なので、ADCとメモリを接続する制御回
路は複数(通常8個以上)並列に動作させる必要があり、
回路規模が大きくなる。また、高速ADCは高価でもあ
る。また、TDC方式に比べノイズの影響を受けやす
い。
In the ADC system, since the A / D conversion can be performed in a wide operation range from a pulse region to a current region of a secondary electron multiplier used as an ion detector, the amount of ions that can be handled is large, but the output of the detector is large. When the pulse width is narrow, if the A / D conversion speed is low, the pulse cannot be A / D converted, so that high-speed AD
It is necessary to operate C with a high-speed clock, which requires a large amount of memory. Also, since the memory speed is low for the high-speed ADC, it is necessary to operate a plurality of (normally eight or more) control circuits for connecting the ADC and the memory in parallel.
The circuit scale becomes large. High-speed ADCs are also expensive. In addition, they are more susceptible to noise than the TDC method.

【0005】本発明は上記課題を解決するためのもの
で、TOFデータを収集する際、単なるTDC方式より
TOFMSの扱える試料のダイナミックレンジを大きく
し、単なるADC方式より少ないメモリ、小さな回路規
模で、かつ低コストでデータ収集ができるようにするこ
とを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problem. When collecting TOF data, the dynamic range of a sample that can be handled by TOFMS is made larger than that of a mere TDC method, and the memory and the circuit scale are smaller than those of a simple ADC method. Another object of the present invention is to enable data collection at low cost.

【0006】また、本発明は、そのようにして収集され
たデータに基づいて時間データを作成する処理方法及び
装置を提供することを目的とする。
Another object of the present invention is to provide a processing method and apparatus for creating time data based on data collected in this manner.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の飛行時間型質量
分析装置用データ収集方法は、スペクトル信号を複数の
レベル別に弁別し、弁別された各信号をシリアルイン−
パラレルアウトの各シフトレジスタに入力し、シフトク
ロックで一定のビット数シフトする毎に、シフトレジス
タに弁別した信号入力があったことを条件に、クロック
スタートからの時間とシフトデータを読み出して記録す
るようにしたことを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION A data collection method for a time-of-flight mass spectrometer according to the present invention discriminates a spectrum signal into a plurality of levels and serializes each of the discriminated signals.
Input to each shift register of the parallel-out, and every time a certain number of bits are shifted by the shift clock, read and record the time from the clock start and the shift data on condition that there is a discriminated signal input to the shift register. It is characterized by doing so.

【0008】更に、本発明の飛行時間型質量分析装置用
データ処理方法は、スペクトル信号を複数のレベル別に
弁別し、弁別された各信号をシリアルイン−パラレルア
ウトの各シフトレジスタに入力し、シフトクロックで一
定のビット数シフトする毎に、シフトレジスタに弁別し
た信号入力があったことを条件に、クロックスタートか
らの時間とシフトデータを読み出して記録し、記録され
たシフトデータに基づいて時間データを作成し、作成し
た時間データを該シフトデータと対応して記録されたク
ロックスタートからの時間と組み合わせて記録するよう
にしたことを特徴とする。
Further, in the data processing method for a time-of-flight mass spectrometer according to the present invention, the spectrum signal is discriminated by a plurality of levels, each discriminated signal is input to each serial-in / parallel-out shift register, and the shift is performed. Each time the clock shifts by a certain number of bits, the time from the clock start and the shift data are read out and recorded, on condition that there is a discriminated signal input to the shift register, and the time data is based on the recorded shift data. And recording the created time data in combination with the time from the clock start recorded corresponding to the shift data.

【0009】また、本発明の飛行時間型質量分析装置用
データ収集装置は、スペクトル信号が入力される異なる
スレッショルドレベルに設定された複数のコンパレータ
と、前記各コンパレータで弁別された信号が入力される
シリアルイン−パラレルアウトの複数のシフトレジスタ
と、シフトクロックを分周して一定のシフトクロック数
毎に出力を発生する分周回路と、分周回路の出力を計数
するカウンタと、分周回路の出力とシフトデータの論理
積信号により読み出し信号を発生する読み出し信号発生
手段と、読み出し信号によりシフトデータが書き込まれ
るとともに、前記カウンタの内容が書き込まれるメモリ
とを備えたことを特徴とする。
Further, in the data acquisition device for a time-of-flight mass spectrometer of the present invention, a plurality of comparators set to different threshold levels to which spectrum signals are inputted, and signals discriminated by each of the comparators are inputted. A plurality of serial-in / parallel-out shift registers; a frequency dividing circuit for dividing the shift clock to generate an output for each fixed number of shift clocks; a counter for counting the output of the frequency dividing circuit; A read signal generating means for generating a read signal by an AND signal of the output and the shift data, and a memory in which the shift data is written by the read signal and the contents of the counter are written.

【0010】更に、本発明の飛行時間型質量分析装置用
データ処理装置は、スペクトル信号が入力される異なる
スレッショルドレベルに設定された複数のコンパレータ
と、前記各コンパレータで弁別された信号が入力される
シリアルイン−パラレルアウトの複数のシフトレジスタ
と、シフトクロックを分周して一定のシフトクロック数
毎に出力を発生する分周回路と、分周回路の出力を計数
するカウンタと、 分周回路の出力とシフトデータの論
理積信号により読み出し信号を発生する読み出し信号発
生手段と、該読み出し信号発生手段からの読み出し信号
に基づいてシフトデータと前記カウンタの出力値を組み
合わせて記憶する第1のメモリと、該組み合わせて記憶
されたカウンタの出力値とシフトデータの内のシフトデ
ータに基づいて1つ又は複数の時間データを作成するデ
コーダと、該デコーダにより作成された1つ又は複数の
時間データと前記組み合わせて記憶されたカウンタの出
力値とを組み合わせて1つ又は複数の複合時間データと
して記録する第2のメモリと、を備えたことを特徴とす
る。
Further, in the data processing apparatus for a time-of-flight mass spectrometer according to the present invention, a plurality of comparators set to different threshold levels to which a spectrum signal is input, and a signal discriminated by each of the comparators are input. A plurality of serial-in / parallel-out shift registers, a frequency dividing circuit for dividing the shift clock and generating an output every fixed number of shift clocks, a counter for counting the output of the frequency dividing circuit, and a frequency dividing circuit. A read signal generating means for generating a read signal by an AND signal of the output and the shift data; a first memory for storing a combination of the shift data and the output value of the counter based on the read signal from the read signal generating means; One based on the output value of the counter and the shift data among the shift data stored in combination. Alternatively, a decoder for creating a plurality of time data, and one or a plurality of time data created by the decoder and an output value of the counter stored in combination are recorded as one or a plurality of composite time data. And a second memory.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。図1は本発明の飛行時間型質量分析装置用
データ収集及び処理装置の全体構成を示す図、図2は図
1においてデータ収集回路1を例にした説明図、図3、
図4はTOFスペクトル信号とコンパレータのスレッシ
ョルドの関係を説明する図である。
Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 is a diagram showing the overall configuration of a data collection and processing device for a time-of-flight mass spectrometer of the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram of the data collection circuit 1 in FIG.
FIG. 4 is a diagram illustrating the relationship between the TOF spectrum signal and the threshold of the comparator.

【0012】図1において、TOFスペクトル信号は、
スレッショルドレベルがそれぞれ別個に設定されている
コンパレータA〜Dからなるレベル弁別装置2にバッフ
ァアンプ1を通して加えられる。各コンパレータのスレ
ッショルドレベルは、各コンパレータに付属した可変直
流電圧源により図3(a)、図4(a)のように設定され、
コンパレータによってスレッショルドレベルと比較され
た結果、スレッショルドレベル以上であれば「1」、未
満であれば「0」のデジタル化された信号となり、この
レベル弁別装置2の出力は、オシレー夕(OSC)3から
のクロックでデータ収集回路A〜Dからなるデータ収集
装置6にイオンの飛行時間の下位桁として取り込まれ
る。
In FIG. 1, the TOF spectrum signal is
The threshold level is applied through a buffer amplifier 1 to a level discriminator 2 comprising comparators A to D, each of which is set separately. The threshold level of each comparator is set as shown in FIGS. 3 (a) and 4 (a) by a variable DC voltage source attached to each comparator.
As a result of comparison with the threshold level by the comparator, a digitized signal of “1” is obtained when the level is equal to or higher than the threshold level, and “0” is output when the level is lower than the threshold level. The output of the level discriminator 2 is an oscilloscope (OSC) 3 The data is taken into the data collection device 6 including the data collection circuits A to D as a lower digit of the flight time of the ion by the clock from the clock.

【0013】TOFスペクトル信号は、試料のイオンを
高電圧パルスにより衝撃加速して発生させるが、その衝
撃加速のトリガ信号によりOSC3をスタートさせてい
る。TOFMSの時間分解能はOSCの周波数で決まる
ため、OSCは可能な限り高い周波数(例えば1GHz)の
クロック信号を発生させる。また、OSC3のクロック
は1/2n分周回路4で分周され、分周出力はデータ収
集装置6のメモリヘの書き込み信号となり、またmビッ
トカウンタ5でカウントされてイオンの飛行時間の上位
桁としてデータ収集装置6に書き込まれる。
The TOF spectrum signal is generated by impact acceleration of a sample ion by a high voltage pulse, and the OSC 3 is started by a trigger signal of the impact acceleration. Since the time resolution of TOFMS is determined by the frequency of the OSC, the OSC generates a clock signal having the highest possible frequency (for example, 1 GHz). The clock of the OSC 3 is frequency-divided by a 1/2 n frequency dividing circuit 4, and the frequency-divided output is a write signal to the memory of the data collecting device 6. Is written to the data collection device 6.

【0014】データ収集装置6の各データ収集回路A〜
Dは同一構成であるので、データ収集回路Aを例にした
図2を参照してより詳細に説明すると、OSC3で発生
された原クロック(例1GHz)は、2nビットシフトレジス
タ10(例n=4、ビット数16)のシリアルシフトクロ
ックに入力される。
Each of the data collection circuits A to A of the data collection device 6
Since D has the same configuration, the details will be described with reference to FIG. 2 taking the data collection circuit A as an example. The original clock (example 1 GHz) generated by the OSC 3 is a 2 n- bit shift register 10 (example n) = 4, the number of bits is 16).

【0015】このシフトレジスタ10はシリアルイン−
パラレルアウトであり、シフトクロックによりシリアル
データインに入力されているデジタル化されたコンパレ
ータAの弁別出力が、イオンの飛行時間の下位桁を示す
シフトデータとして取り込まれる。シフトレジスタ10
のパラレルアウトは、(m+2n)ビットのFIFO(First
In First Out)メモリ(例m=16、n=4の場合、32ビット
FIFOメモリ)のデータインの下位桁(下位16ビッ
ト)に接続されている。
The shift register 10 has a serial input
The digitized discrimination output of the comparator A, which is a parallel out and is input to the serial data in by the shift clock, is taken in as shift data indicating the lower digit of the flight time of ions. Shift register 10
Is a (m + 2 n ) -bit FIFO (First
In First Out) (for example, when m = 16 and n = 4, a 32-bit FIFO memory) is connected to the lower digit (lower 16 bits) of the data in.

【0016】一方、OSC3で発生された原クロック
(例1GHz)は、1/2n分周回路4で分周(例n=4、周波
数1GHz/16=62.5MHz)され、mビットカウンタ
5(m=16→65536進)とAND回路13に供給さ
れる。mビットカウンタ5の内容はイオンの飛行時間の
上位桁を表しており、これがFIFOメモリ11のデー
タインの上位桁(上位16ビット)へ送られて書き込まれ
る。シフトレジスタ10のパラレルアウトは、OR回路
12で全ビットのORがとられてAND回路13に入力
されている。
On the other hand, the original clock generated by OSC3
(Example 1 GHz) is 1/2 divided by n frequency dividing circuit 4 (Example n = 4, the frequency 1 GHz / 16 = 62.5 MHz) is, m-bit counter 5 (m = 16 → 65536 binary) and AND circuit 13 Supplied to The contents of the m-bit counter 5 indicate the upper digit of the flight time of the ion, and this is sent to the upper digit (upper 16 bits) of the data-in of the FIFO memory 11 and written therein. The parallel output of the shift register 10 is ORed for all bits by an OR circuit 12 and input to an AND circuit 13.

【0017】すなわち、シフトレジスタ内のシフトデー
タに1個でも「1」があれば、62.5MHzのクロック
がFIFOメモリの書き込み入力(ライトクロック)に印
加されてデータ(イオンの飛行時間の上位桁(16ビッ
ト)とシフトデータ(16ビット))がFIFOメモリ13
に書き込まれる。シフトデータに1個も「1」がなけれ
ばデータの書き込みは行われない。上記書き込みクロッ
ク(1GHz/16=62.5MHz)は、シフトビット数16
と一致させてあるため、シフトデータに1個でも「1」
があればシフトデータ16個に一回FIFOメモリに書
き込みが行われる。
That is, if there is at least one "1" in the shift data in the shift register, a clock of 62.5 MHz is applied to the write input (write clock) of the FIFO memory and the data (the upper digit of the flight time of ions) is applied. (16 bits) and shift data (16 bits))
Is written to. If there is no "1" in the shift data, data writing is not performed. The write clock (1 GHz / 16 = 62.5 MHz) has a shift bit number of 16
, Even one shift data is "1"
If there is, writing to the FIFO memory is performed once for every 16 shift data.

【0018】シフトデータを飛行時間の下位桁へ換算す
ること、及び飛行時間の上位桁との接続はダイムエンコ
ーダ14で行われる。タイムエンコーダ14は16ビッ
ト解読するごとに読み取り信号をFIFOメモリ11へ
送ってデータを解読し、時間信号を生成する。弁別レベ
ル間の時間関係は、時間上位桁がシフトデータと同一ワ
ード内に記録されているので、ヒストグラム演算装置7
では時間上位桁が一致するデータを一つのパルスとして
認識することができ、複数回のスキャンが行われた場
合、ヒストグラム化される。なお、ヒストグラム演算装
置7は、前記各コンパレータに付属する直流電圧源を制
御し、各コンパレータに適宜なスレッショルドレベルを
設定する役割も持つ。
The conversion of the shift data into the lower digits of the flight time and the connection with the upper digits of the flight time are performed by the dime encoder 14. The time encoder 14 sends a read signal to the FIFO memory 11 every time it decodes 16 bits, decodes the data, and generates a time signal. As for the time relationship between the discrimination levels, since the upper digit of the time is recorded in the same word as the shift data, the histogram calculation device 7
In, data in which the upper digits of the time match can be recognized as one pulse, and when a plurality of scans are performed, a histogram is formed. The histogram calculation device 7 also has a role of controlling a DC voltage source attached to each of the comparators, and setting an appropriate threshold level for each comparator.

【0019】図3、図4は、m=16、n=4の場合の
TOFスペクトル信号とコンパレータのスレッショルド
レベルの関係を示している。図3(a)、図4(a)に示す
ようなTOFスペクトル信号が検出されたとき(なお、
便宜上、図3と図4に分けているがこれらは連続してい
るものとする)、最初のピークP1はレベル1とレベル2
の間にあり、他の小さなピークはレベル1に達しないた
め、ピークP1のみシフトレジスタに「1」として書き
込まれ、16ビット目にAND回路13から書き込みク
ロック(62.5MHz)がFIFOメモリ11のライトク
ロックに印加され、データ(イオンの飛行時間の上位桁
とシフトデータ(図3(b))が書き込まれる。
FIGS. 3 and 4 show the relationship between the TOF spectrum signal and the threshold level of the comparator when m = 16 and n = 4. When a TOF spectrum signal as shown in FIGS. 3 (a) and 4 (a) is detected (note that
For the sake of convenience, FIG. 3 and FIG. 4 are separated, but these are assumed to be continuous.) The first peak P1 is level 1 and level 2
Since the other small peaks do not reach level 1, only the peak P1 is written as "1" in the shift register, and the write clock (62.5 MHz) from the AND circuit 13 at the 16th bit is stored in the FIFO memory 11. The data is applied to the write clock, and the data (the upper digits of the flight time of the ions and the shift data (FIG. 3B)) are written.

【0020】このときレベル2〜4のシフトデータに1
個も「1」がないためAND回路13から書き込みクロ
ックが出力されず、FIFOメモリヘの書き込みは行わ
れない。次のピークP2ではレベル2とレベル3の間に
あり、レベル1では3個の「1」が連続して書き込ま
れ、レベル2では1個の「1」が書き込まれ、レベル
3、4ではシフトデータに1個も「1」がないため、A
ND回路13から書き込みクロックが出力されず、FI
FOメモリヘの書き込みは行われない。
At this time, 1 to the shift data of levels 2 to 4
Since there is no "1", no write clock is output from the AND circuit 13, and writing to the FIFO memory is not performed. At the next peak P2, it is between level 2 and level 3, at level 1, three "1" s are written continuously, at level 2, one "1" is written, and at levels 3, 4 it is shifted Since there is no "1" in the data, A
No write clock is output from the ND circuit 13, and the FI
Writing to the FO memory is not performed.

【0021】ピークP3の場合は、ピークP1の場合と
同様にレベル1のみデータが書き込まれる。ピークP4
の場合も同様に、レベル3では2個の「1」が、レベル
2では4個の「1」が、レベル1では6個の「1」がそ
れぞれ連続して書き込まれ、ピークP5の場合は、レベ
ル4では1個の「1」が、レベル3では4個の「1」
が、レベル2では6個の「1」が、レベル1では8個の
「1」がそれぞれ連続して書き込まれる。各レベル別に
「1」のデータを抽出した図3(c)、図4(c)のデータ
から、各ピークについて、その高さと幅の情報が得られ
ていることが分かる。
In the case of the peak P3, only the level 1 data is written as in the case of the peak P1. Peak P4
Similarly, in the case of level 3, two "1" s are continuously written in level 3, four "1" s are written continuously in level 2, and six "1" s are written in level 1 continuously. In the case of peak P5, , One “1” at level 4 and four “1” s at level 3
However, at level 2, six “1” s are continuously written, and at level 1, eight “1” s are written continuously. It can be seen from the data of FIGS. 3 (c) and 4 (c) that the data of "1" is extracted for each level, information on the height and width of each peak is obtained.

【0022】すなわち、検出器からのパルスの到達時間
と、パルス高さ、パルス幅が同時に計測されている。な
お、このデータをヒストグラム化する場合、レベル1〜
4で重複してパルスがカウントされているので、この補
正を行うようにする。
That is, the arrival time of the pulse from the detector, the pulse height and the pulse width are measured simultaneously. When this data is converted into a histogram, levels 1 to 1
Since the pulses are counted in duplicate in step 4, this correction is performed.

【0023】図5は、前述したタイムエンコーダ14の
構成例を示すブロック図である。図5において、FIF
Oメモリ11は、便宜上、下位16ビットデータ(シフ
トデータ)と上位16ビットデータ(タイムデータ)をそ
れぞれ格納するFIFOメモリ11a,11bの2つに
分けて描かれている。このFIFOメモリ11a,11
bからのデータを受け取ってタイムデータに変換するタ
イムエンコーダは、FIFOメモリ11bからタイムデ
ータを受け取るレジスタHと、レジスタHからのタイム
データがデータイン(上位16ビット)に供給される20
ビットFIFOメモリ21と、FIFOメモリ11aか
らタイムデータを受け取るレジスタSと、レジスタSか
らのシフトデータを受けてシフトデータに含まれるパル
スの位置に応じたタイミングで書き込み信号を作成する
ためのデコーダ22,OR回路23,AND回路24、及
びタイムエンコードクロックをカウントし、カウント出
力を前記FIFOメモリ21のデータイン(下位4ビッ
ト)及び前記デコーダ22に供給する4ビット2進カウ
ンタ25とから構成される。
FIG. 5 is a block diagram showing a configuration example of the time encoder 14 described above. In FIG.
For convenience, the O memory 11 is illustrated as being divided into two FIFO memories 11a and 11b that store lower 16-bit data (shift data) and upper 16-bit data (time data), respectively. The FIFO memories 11a and 11
The time encoder that receives the data from b and converts it into time data includes a register H that receives the time data from the FIFO memory 11b, and the time data from the register H is supplied to the data-in (upper 16 bits).
A bit FIFO memory 21, a register S for receiving time data from the FIFO memory 11a, and a decoder 22 for receiving shift data from the register S and generating a write signal at a timing corresponding to a pulse position included in the shift data. It comprises an OR circuit 23, an AND circuit 24, and a 4-bit binary counter 25 that counts a time encode clock and supplies a count output to the data-in (lower 4 bits) of the FIFO memory 21 and to the decoder 22.

【0024】今、FIFOメモリ11a,11bのリー
ド入力にリードパルスが与えられると、FIFOメモリ
11aからレジスタSにシフトデータが、FIFOメモ
リ11bからタイムデータがそれぞれ書き込まれてラッ
チされる。
When a read pulse is applied to the read inputs of the FIFO memories 11a and 11b, shift data is written from the FIFO memory 11a to the register S, and time data is written from the FIFO memory 11b and latched.

【0025】ここで、レジスタS内のシフトデータは、
時間の若い順にT0〜T15として並んでいる。レジスタH
に時間データの上位が格納されているので、これをH(m)
とすれば、m=16の場合、H(m)は0〜65535の値を取
り、かつH(m)は、シフト数を2nとすれば、16を乗じ
た値が時間データの上位を表わす。したがって、T0〜T1
5に時間を付与する場合には、 T0(H(m))=(H(m)X16+0[Clk],T1(H(m))=(H(m)X16+1[Cl
k],・・・ T15(H(m))=(H(m)X16+15[Clk] となる。[Clk]は時間単位で、原クロックが1GHzと
すれば、1nSである。
Here, the shift data in the register S is
They are arranged as T0 to T15 in ascending order of time. Register H
Since the upper part of the time data is stored in H (m)
Then, when m = 16, H (m) takes a value of 0 to 65535, and H (m) is a value multiplied by 16 when the number of shifts is 2 n, which is higher in time data. Express. Therefore, T0-T1
When time is given to 5, T0 (H (m)) = (H (m) X16 + 0 [Clk], T1 (H (m)) = (H (m) X16 + 1 [Cl
k],... T15 (H (m)) = (H (m) X16 + 15 [Clk] where [Clk] is 1 nS if the original clock is 1 GHz.

【0026】タイムエンコードクロック(原クロックと
は必ずしも同期している必要はないが、タイムエンコー
ド処理を高速に行う必要から、20MHz以上が望まれる)
は、タイムデータの下位を決定するためにカウントする
カウンタ25(シフトデータが24=16ビットの場合4
ビット)のクロック入力と前記AND回路24に供給さ
れている。
Time encode clock (not necessarily synchronized with the original clock, but 20 MHz or more is desired because it is necessary to perform time encode processing at high speed)
Is a counter 25 that counts to determine the lower order of the time data ( 4 when shift data is 2 4 = 16 bits).
) Clock input and supplied to the AND circuit 24.

【0027】カウンタ25のカウントコード出力(A,/A,
B,/B,C,/C,D,/D)は、バイナリコード0000,0001,0002,00
03,・・・1110,1111としてデコーダ22を構成する16
個の5入力AND回路に供給される。そして、各AND
回路においてレジスタSの出力とANDが取られ、各A
ND回路の出力はOR回路でORが取られ、更に、タイ
ムエンコードクロックとANDを取るためのAND回路
24に供給される。
The count code output (A, / A,
(B, / B, C, / C, D, / D) is the binary code 0000,0001,0002,00
03,... Constituting the decoder 22 as 1110, 1111 16
Are supplied to the five 5-input AND circuits. And each AND
In the circuit, the output of the register S is ANDed and each A
The output of the ND circuit is ORed by an OR circuit and further supplied to an AND circuit 24 for ANDing with a time encoding clock.

【0028】図6は、タイムエンコードクロックとT0〜
T15およびFIFOメモリ21へのデータ書き込み指令パル
ス(Write Clock)のタイミングを示す図である。この例
は、T0,T5,T6,T12が「1」すなわちイオンが検出器
に到達しパルスとして検出されたタイミングである。書
き込み指令パルスは、t0,t5,t6,t12の時のみ発生
し、そのタイミングでカウンタ25からの4ビットの下
位データとFIFOメモリ11bからの16ビットの上
位データとからなる20ビットのタイムデータがFIF
Oメモリ21へ書き込まれる。
FIG. 6 shows the time encode clock and T0 to
FIG. 9 is a diagram illustrating timings of T15 and a data write command pulse (Write Clock) to the FIFO memory 21. In this example, T0, T5, T6, and T12 are "1", that is, the timing at which ions reach the detector and are detected as pulses. The write command pulse is generated only at times t0, t5, t6, and t12. At that timing, 20-bit time data consisting of 4-bit lower data from the counter 25 and 16-bit upper data from the FIFO memory 11b is generated. FIF
The data is written to the O memory 21.

【0029】図7は、FIFOメモリ11a,11b内
に格納されていたタイムエンコード前のデータ(タイム
データおよびシフトデータ)が、FIFOメモリ21内
にタイムエンコードされて格納された様子を表わす図で
ある。図7(a)において下線を付したFIFOメモリ1
1b,11aの先頭のデータ「0000000000001010」,
「0001000001100001」が、図7(b)において下線を付し
たFIFOメモリ21の先頭から4つのデータ 「0000000000001010 0000」 「0000000000001010 0101」 「0000000000001010 0110」 「0000000000001010 1100」 に変換されている。この4つのデータの下位4ビット
は、先に説明したt0,t5,t6,t12のタイミングでの、
カウンタ25のカウント出力で与えられたものであり、
シフトデータ「0001000001100001」中の4つの「1」が
存在する位置が時間に変換されていることが分かる。
FIG. 7 is a diagram showing a state in which data (time data and shift data) before time encoding stored in the FIFO memories 11a and 11b are time-encoded and stored in the FIFO memory 21. . FIFO memory 1 underlined in FIG.
Data “0000000000001010” at the beginning of 1b and 11a,
“0001000001100001” is converted into four data “0000000000001010 0000”, “0000000000001010 0101”, “0000000000001010 0110”, and “0000000000001010 1100” from the beginning of the FIFO memory 21 underlined in FIG. 7B. The lower 4 bits of these four data are at the timings t0, t5, t6, and t12 described above.
Given by the count output of the counter 25,
It can be seen that the position where the four “1” s in the shift data “0001000001100001” are converted to time.

【0030】以後、順次FIFOメモリ11a,11b
からデータが読み出され、タイムエンコードされた結果
がFIFOメモリ21に書き込まれて行く。そして、ヒ
ストグラム演算装置7は、FIFOメモリ21のタイム
データを読み出し、繰り返しのスキャン(測定)が行われ
た場合のヒストグラム処理を行う。
Thereafter, the FIFO memories 11a and 11b are sequentially
, And the time-encoded result is written to the FIFO memory 21. Then, the histogram calculation device 7 reads the time data from the FIFO memory 21 and performs a histogram process when repeated scanning (measurement) is performed.

【0031】図8は、タイムエンコーダの他の構成例を
示している。本例では、図5に示された構成におけるレ
ジスタSとデコーダ22とOR回路23の代わりに、パ
ラレルインシリアルアウトのシフトレジスタ30が用い
られている。
FIG. 8 shows another configuration example of the time encoder. In this example, a parallel-in serial-out shift register 30 is used instead of the register S, the decoder 22, and the OR circuit 23 in the configuration shown in FIG.

【0032】なお、スレッショルドレベルき上述した例
のように等間隔に設定する必要はない。例えば図9(a)
に示すように最初のレベルを高く取り、後を等間隔に設
定しても良いし、図9(b)に示すように最初のレベルを
低く取り、後を等間隔に設定しても良いし、図9(c)に
示すようにレベル1から徐々に狭くなるようにしても良
い。
The threshold levels need not be set at equal intervals as in the above-described example. For example, FIG.
As shown in FIG. 9, the first level may be set high and the rear may be set at regular intervals, or as shown in FIG. 9B, the initial level may be set low and the rear set at equal intervals. Alternatively, as shown in FIG. 9 (c), it may be gradually narrowed from level 1.

【0033】更に、各パルスの高さの情報を取り出す
際、上記例では4つのスレッショルドレベルにより4段
階に区分して取り出しているが、スレッショルドレベル
を更に多く設定すれば、更に多段階に区分して取り出す
ことができる。また、4つのスレッショルドレベルのま
までも、以下のような考え方を導入することにより、5
段階以上に区分して各パルスの高さ情報を取り出すこと
も可能である。
Further, when information on the height of each pulse is taken out, in the above example, the information is divided into four stages according to the four threshold levels. However, if more threshold levels are set, the information is divided into more stages. Can be taken out. In addition, even if the four threshold levels remain, by introducing the following idea,
It is also possible to extract the height information of each pulse by dividing it into stages or more.

【0034】例えば、図10に示すパルスP7のよう
に、一番高いレベル4において計測されるパルス幅があ
る程度以上広い(例えばクロック2個分以上)場合、その
パルスは更に高いレベル5(実際には設定されていない
が)を越えるものと推測し、そのパルスのレベルを4で
はなく5に補正して認定するという考え方である。この
ような考え方を導入することにより、限られた数のコン
パレータにより、広いダイナミックレンジでパルスの高
さ情報を取り出すことが可能となる。
For example, when the pulse width measured at the highest level 4 is wider than a certain level (for example, two clocks or more) as in the pulse P7 shown in FIG. Is not set, but the pulse level is estimated to exceed 5), and the level of the pulse is corrected to 5 instead of 4. By introducing such a concept, it is possible to extract pulse height information in a wide dynamic range with a limited number of comparators.

【0035】また、コンパレータA〜Dにおいてスレッ
ショルドレベルを規定する可変電圧源として、D/A変
換器を用いることができる。D/A変換器を用いれば、
スレッショルドレベルの変更が容易かつ迅速に行えるの
で、前述した各種の設定を任意に選択できる。
In addition, a D / A converter can be used as a variable voltage source for defining a threshold level in the comparators A to D. If a D / A converter is used,
Since the threshold level can be changed easily and quickly, the various settings described above can be arbitrarily selected.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、検出器か
らのパルスの到達時間、パルス幅、パルス高を同時計測
することにより、単なるTDC方式よりTOFMSの扱
える試料のダイナミックレンジを大きくし、単なるAD
C方式より少ないメモリ、小さな回路規模で、かつ低コ
ストでデータ収集することが可能となる。.
As described above, according to the present invention, by simultaneously measuring the arrival time, pulse width, and pulse height of a pulse from a detector, the dynamic range of a sample that can be handled by TOFMS can be increased as compared with a simple TDC method. , Just AD
Data can be collected with less memory, a smaller circuit scale, and lower cost than in the C method. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の飛行時間型質量分析装置用データ収集
及び処理装置の全体構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of a data acquisition and processing device for a time-of-flight mass spectrometer of the present invention.

【図2】図1においてデータ収集回路1を例にした説明
図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram exemplifying a data collection circuit 1 in FIG. 1;

【図3】TOFスペクトル信号とコンパレータのスレッ
ショルドの関係を説明する図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating a relationship between a TOF spectrum signal and a threshold of a comparator.

【図4】TOFスペクトル信号とコンパレータのスレッ
ショルドの関係を説明する図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a relationship between a TOF spectrum signal and a threshold of a comparator.

【図5】タイムエンコーダ14の構成例を示すブロック
図である。
FIG. 5 is a block diagram illustrating a configuration example of a time encoder 14.

【図6】タイムエンコードクロックとT0〜T15およびFIF
Oメモリ21へのデータ書き込み指令パルスのタイミン
グを示す図である。
FIG. 6 shows a time encoding clock, T0 to T15, and FIF.
FIG. 4 is a diagram showing the timing of a data write command pulse to the O memory 21.

【図7】FIFOメモリ11a,11b内に格納されて
いたタイムエンコード前のデータが、FIFOメモリ2
1内にタイムエンコードされて格納される様子を表わす
図である。
FIG. 7 shows data before time encoding stored in FIFO memories 11a and 11b.
FIG. 3 is a diagram illustrating a state where the time-encoded data is stored in the storage unit 1;

【図8】タイムエンコーダの他の構成例を示す図であ
る。
FIG. 8 is a diagram illustrating another configuration example of the time encoder.

【図9】スレッショルドレベルの他の設定例を示す図で
ある。
FIG. 9 is a diagram illustrating another example of setting a threshold level.

【図10】限られた数のコンパレータにより、広いダイ
ナミックレンジでパルスの高さ情報を取り出す考え方を
説明するための図である。
FIG. 10 is a diagram for explaining a concept of extracting pulse height information in a wide dynamic range using a limited number of comparators.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…バッファアンプ 2…レベル弁別装置 3…発振器 4…分周回路 5…カウンタ 6…データ収集装置 7…ヒストグラム演算装置 10…シフトレジスタ 11,11a,11b,21…FIFOメモリ 12,23…OR回路 13,24…AND回路 14…タイムエンコーダ 22…デコーダ 25…2進カウンタ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Buffer amplifier 2 ... Level discriminator 3 ... Oscillator 4 ... Division circuit 5 ... Counter 6 ... Data collection device 7 ... Histogram calculation device 10 ... Shift register 11,11a, 11b, 21 ... FIFO memory 12,23 ... OR circuit 13, 24: AND circuit 14: Time encoder 22: Decoder 25: Binary counter

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】スペクトル信号を複数のレベル別に弁別
し、弁別された各信号をシリアルイン−パラレルアウト
の各シフトレジスタに入力し、シフトクロックで一定の
ビット数シフトする毎に、シフトレジスタに弁別した信
号入力があったことを条件に、クロックスタートからの
時間とシフトデータを読み出して記録するようにしたこ
とを特徴とする飛行時間型質量分析装置用データ収集方
法。
1. A spectrum signal is discriminated by a plurality of levels, each discriminated signal is inputted to each serial-in / parallel-out shift register, and discriminated by a shift register every time a predetermined number of bits are shifted by a shift clock. A data collection method for a time-of-flight mass spectrometer, wherein a time from a clock start and shift data are read out and recorded on condition that there is a signal input.
【請求項2】スペクトル信号を複数のレベル別に弁別
し、弁別された各信号をシリアルイン−パラレルアウト
の各シフトレジスタに入力し、シフトクロックで一定の
ビット数シフトする毎に、シフトレジスタに弁別した信
号入力があったことを条件に、クロックスタートからの
時間とシフトデータを読み出して記録し、記録されたシ
フトデータに基づいて時間データを作成し、作成した時
間データを該シフトデータと対応して記録されたクロッ
クスタートからの時間と組み合わせて記録するようにし
たことを特徴とする飛行時間型質量分析装置用データ処
理方法。
2. A spectrum signal is discriminated by a plurality of levels, each discriminated signal is inputted to each serial-in / parallel-out shift register, and discriminated to a shift register every time a predetermined number of bits are shifted by a shift clock. Under the condition that there is a signal input, the time and shift data from the clock start and shift data are read out and recorded, time data is created based on the recorded shift data, and the created time data corresponds to the shift data. A data processing method for a time-of-flight mass spectrometer, wherein the data is recorded in combination with the time recorded from the clock start.
【請求項3】スペクトル信号が入力される異なるスレッ
ショルドレベルに設定された複数のコンパレータと、 前記各コンパレータで弁別された信号が入力されるシリ
アルイン−パラレルアウトの複数のシフトレジスタと、 シフトクロックを分周して一定のシフトクロック数毎に
出力を発生する分周回路と、 分周回路の出力を計数するカウンタと、 分周回路の出力とシフトデータの論理積信号により読み
出し信号を発生する読み出し信号発生手段と、 該読み出し信号発生手段からの読み出し信号に基づいて
シフトデータと前記カウンタの出力値を組み合わせて記
憶するメモリと、 を備えたことを特徴とする飛行時間型質量分析装置用デ
ータ収集装置。
3. A plurality of comparators set to different threshold levels to which spectral signals are input, a plurality of serial-in / parallel-out shift registers to which signals discriminated by the comparators are input, and a shift clock. A frequency divider that divides the frequency to generate an output at every fixed number of shift clocks, a counter that counts the output of the frequency divider, and a read that generates a read signal based on the logical product signal of the output of the frequency divider and the shift data A signal generation means, and a memory for storing a combination of shift data and an output value of the counter based on a read signal from the read signal generation means, and data acquisition for a time-of-flight mass spectrometer. apparatus.
【請求項4】前記複数のコンパレータは、それぞれに付
属して設けられるD/A変換器によってスレッショルド
レベルが設定されることを特徴とする請求項3記載の飛
行時間型質量分析装置用データ収集装置。
4. The data collection device for a time-of-flight mass spectrometer according to claim 3, wherein the threshold level of each of the plurality of comparators is set by a D / A converter provided in each of the comparators. .
【請求項5】スペクトル信号が入力される異なるスレッ
ショルドレベルに設定された複数のコンパレータと、 前記各コンパレータで弁別された信号が入力されるシリ
アルイン−パラレルアウトの複数のシフトレジスタと、 シフトクロックを分周して一定のシフトクロック数毎に
出力を発生する分周回路と、 分周回路の出力を計数するカウンタと、 分周回路の出力とシフトデータの論理積信号により読み
出し信号を発生する読み出し信号発生手段と、 該読み出し信号発生手段からの読み出し信号に基づいて
シフトデータと前記カウンタの出力値を組み合わせて記
憶する第1のメモリと、 該組み合わせて記憶されたカウンタの出力値とシフトデ
ータの内のシフトデータに基づいて1つ又は複数の時間
データを作成するデコーダと、 該デコーダにより作成された1つ又は複数の時間データ
と前記組み合わせて記憶されたカウンタの出力値とを組
み合わせて1つ又は複数の複合時間データとして記録す
る第2のメモリと、 を備えたことを特徴とする飛行時間型質量分析装置用デ
ータ処理装置。
5. A plurality of comparators set at different threshold levels to which spectral signals are inputted, a plurality of serial-in / parallel-out shift registers to which signals discriminated by the respective comparators are inputted, and a shift clock. A frequency divider that divides the frequency to generate an output at every fixed number of shift clocks, a counter that counts the output of the frequency divider, and a read that generates a read signal based on the logical product signal of the output of the frequency divider and the shift data A signal generating means, a first memory for storing a combination of the shift data and the output value of the counter based on a read signal from the read signal generating means, and a first memory for storing the combined output value of the counter and the shift data. A decoder for generating one or more time data based on shift data in the decoder; And a second memory that combines the one or more time data created by the above and the output value of the counter stored in combination to record as one or a plurality of composite time data. Data processor for time-of-flight mass spectrometers.
【請求項6】前記第1及び第2のメモリは、FIFOメ
モリであることを特徴とする請求項5記載の飛行時間型
質量分析装置用データ処理装置。
6. The data processing apparatus for a time-of-flight mass spectrometer according to claim 5, wherein said first and second memories are FIFO memories.
JP2000326570A 1999-12-28 2000-10-26 Data collection method and apparatus for time-of-flight mass spectrometer and data processing method and apparatus Expired - Fee Related JP3986747B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000326570A JP3986747B2 (en) 1999-12-28 2000-10-26 Data collection method and apparatus for time-of-flight mass spectrometer and data processing method and apparatus

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP37425599 1999-12-28
JP11-374255 1999-12-28
JP2000326570A JP3986747B2 (en) 1999-12-28 2000-10-26 Data collection method and apparatus for time-of-flight mass spectrometer and data processing method and apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001249112A true JP2001249112A (en) 2001-09-14
JP3986747B2 JP3986747B2 (en) 2007-10-03

Family

ID=26582570

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000326570A Expired - Fee Related JP3986747B2 (en) 1999-12-28 2000-10-26 Data collection method and apparatus for time-of-flight mass spectrometer and data processing method and apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3986747B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009539216A (en) * 2006-06-01 2009-11-12 マイクロマス ユーケー リミテッド Mass spectrometer

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009539216A (en) * 2006-06-01 2009-11-12 マイクロマス ユーケー リミテッド Mass spectrometer
US8809767B2 (en) 2006-06-01 2014-08-19 Micromass Uk Limited Time of flight mass spectrometer with analog to digital converter and method of using

Also Published As

Publication number Publication date
JP3986747B2 (en) 2007-10-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4490806A (en) High repetition rate transient recorder with automatic integration
US6680476B1 (en) Summed time-of-flight mass spectrometry utilizing thresholding to reduce noise
US6563902B2 (en) Energy dispersive X-ray analyzer
WO1995000236A1 (en) Transient recorder in time-of-flight mass spectrometer
AU757820B2 (en) Timing circuit
US6822227B1 (en) Time-of-flight mass spectrometry utilizing finite impulse response filters to improve resolution and reduce noise
US7863556B2 (en) Enhanced resolution mass spectrometer and mass spectrometry method
US20240152097A1 (en) Time to digital conversion
JP2001249112A (en) Data collecting method and apparatus for time-of-flight mass spectrometer, and data processing method and apparatus
US6744044B2 (en) Time-of-flight mass spectrometry utilizing a split memory
JP2002343300A (en) Data collection method for time-of-flight mass spectrometer and the mass spectrometer
JP2002260577A (en) Method and device for collecting data for time-of-flight mass spectroscope
JP2002245963A (en) Data collection method and time-of-flight mass spectrometer
JP4357342B2 (en) Mass spectrometer
JPH01227948A (en) Measuring instrument for multichannel fluorescent damping waveform
JP2566006B2 (en) Wave height detection circuit for radiation detector
EP1585167A2 (en) Data acquisition and processing in mass spectrometers
JPS5952379B2 (en) Rotation speed detection circuit
JP3830366B2 (en) Data collection method and apparatus for time-of-flight mass spectrometer
Bunn et al. Design and operation of a 12.5‐ns multichannel scaler
JPS5948658A (en) Aliasing error detecting circuit
US5204833A (en) Method and apparatus for recording waveform
SU894860A1 (en) Analogue-digital converter
JP3163244B2 (en) Circuit to convert pulse width to digital value using multi-phase interpolation
JP2000294189A (en) Data collection system for time-of-flight type mass spectrograph

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040615

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060919

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061110

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070703

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070711

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100720

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100720

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110720

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120720

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120720

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130720

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130720

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees