DE3218992A1 - Monolithically integrated circuit - Google Patents

Monolithically integrated circuit

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DE3218992A1 DE19823218992 DE3218992A DE3218992A1 DE 3218992 A1 DE3218992 A1 DE 3218992A1 DE 19823218992 DE19823218992 DE 19823218992 DE 3218992 A DE3218992 A DE 3218992A DE 3218992 A1 DE3218992 A1 DE 3218992A1
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    • G11C29/789Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with redundancy programming schemes using non-volatile cells or latches

Abstract

The invention relates to a monolithically integrated circuit with subcircuits integrated on a chip. In the circuit, the linking at least of two subcircuits can be altered after the subcircuits are fabricated in such a way that at least one EEPROM cell (E1) is provided. Depending on the programming state of the latter, various subcircuits (T2, T3) can be interlinked by means of a circuit arrangement (2, 3, 4). <IMAGE>

Description

Monolithisch integrierter Schaltkreis Die Erfindung betrifft einen monolithisch integrierten Schaltkreis mit auf einem Chip integrierten Teilschaltungen, bei dem die Verknüpfung mindestens zweier Teilschaltungen nach Herstellung der Teilschaltungen änderbar ist.Monolithic Integrated Circuit The invention relates to a monolithic integrated circuit with subcircuits integrated on a chip, in which the linking of at least two subcircuits after the subcircuits have been produced is changeable.

Bei der Herstellung von monolithisch integrierten Schaltungen ist bei festliegender Fertigungstechnik das elektrische Verhalten der Schaltungen durch die Strukturen der Fotomasken eindeutig festgelegt.In the manufacture of monolithic integrated circuits is with fixed manufacturing technology, the electrical behavior of the circuits the structures of the photomasks clearly defined.

Die Funktion der Schaltung ist nachträglich nur eingeschränkt zu oeeinflussen. Eine solche Änderung der Funktion ist aber aus verschiedenen Gründen wünschenswert, so z.B. zur Funktionsverbesserung (beispielsweise zum Abgleich), zur Ausbeuteverbesserung (Verwendung von Redundanzschaltungen) und zur Verringerung der Typenvielfalt.The function of the circuit can only be influenced to a limited extent afterwards. However, such a change in function is desirable for various reasons, e.g. to improve functionality (e.g. for comparison), to improve yield (Use of redundancy circuits) and to reduce the variety of types.

Als integrierte Schalt'creise, die die zölichXceit unterschiedlicher Verknüpfung von Teilschaltungen bieten, sind die sogenannten Gate-Arrays bekannt, bei denen vorgegebene Gatterstrukturen aufweisende Teilschaltkreise durch Änderungen der sie verbindenden metallischen Leiterbahnen je nach Wunsch des Kunden miteinander we knüpft werden können. Diese Verknüpfung muß jedoch beim Halbleiterhersteller erfolgen und kann nicht vom Kunden selbst durchgeführt werden.As an integrated circuit that makes the most of different Linking sub-circuits are known as gate arrays, in which subcircuits having predetermined gate structures by changes of the metallic conductor tracks connecting them, depending on the customer's wishes we can be linked. However, this link must be made by the semiconductor manufacturer and cannot be carried out by the customer himself.

Nte 1 vi/13.05.1982 Ferner ist es bekannt zum Programmieren eines PROM's (Programmable Read Only Memory) und zum Ersatz defekter Speicherteile in dynamischen RAM's (Random Access Memory), d.h. zum ersatz einer fehlerhaften Adresse durch eine redundante Adresse, das Schmelzen von Fusible Links zu verwenden. Die Anwendung entsprechender Fusible Links ist z.B. aus W.Söll u. J. -H. Kirchner, Digitale Speicher, Vogel-Verlag, Würzburg, 1978, Seiten 156 bis 159, bekannt. Fusible Links in MOS-Schaltungen benötigen aber Zusatzschaltungen und Zusatzanordnungen wie Treiber, Schutzringe, Fenster in der Passivierungsschicht und Stromzuführungen, die chipflächenaufwendig sind, und weisen ferner ein Zuverlässigkeitsrisiko auf, da beispielsweise die mit dem Wegschmelzen verbundene Verdampfung von Metall nachteilige Auswirkungen haben kann und derartige Speicher beim Hersteller nicht vollständig prüfbar sind.Nte 1 vi / 13.05.1982 It is also known for programming a PROM (Programmable Read Only Memory) and to replace defective memory parts in dynamic RAM's (Random Access Memory), i.e. to replace a faulty one Address through a redundant address to use the melting of fusible links. The use of corresponding fusible links is e.g. from W.Söll and J. -H. Kirchner, Digital memory, Vogel-Verlag, Würzburg, 1978, pages 156 to 159, known. Fusible However, links in MOS circuits require additional circuits and additional arrangements such as drivers, protective rings, windows in the passivation layer and power supply lines, which are chip area-consuming and also have a reliability risk, because, for example, the evaporation of metal associated with melting away is disadvantageous Can have an impact and such memory at the manufacturer is not complete are verifiable.

Eine nachträgliche Funktionsbeeinflussung einer integrierten Schaltung ist auch durch die softwaremäßige Festlegung eines Mikroprozessors, der als Programmspeicher einen EPROM (Erasable PROM)- oder EEPROM (Electrically Erasable PROM) -Technik ausgeführten Speicher aufweist, durch Beschreibung seines Programmspeichers möglich. Nachteilig sind aber in vielen Anwendungen die gegenüber Hardwareverdrahtung geringere Verarbeitungsgeschwindigkeit und die für kleine Systeme hohen Kosten eines Prozessors.Subsequent influencing of the function of an integrated circuit is also through the software definition of a microprocessor, which acts as a program memory an EPROM (Erasable PROM) or EEPROM (Electrically Erasable PROM) technology Has memory, possible by describing its program memory. Disadvantageous In many applications, however, the processing speed is lower than that of hardware wiring and the high cost of a processor for small systems.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, hier Abhilfe zu schaffen und eine monolithisch integrierte Schaltung vorzusehen, deren electrische Funktion auch nach Produktfertigstellung noch hardwaremäßig definiert und bleibend beeinflußt werden kann.The object of the present invention is to provide a remedy here and to provide a monolithic integrated circuit whose electrical function Even after the product has been completed, it is still defined in terms of hardware and permanently influenced can be.

Diese Aufgabe wird bei einem integrierten Schaltkreis der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß mindestens eine ESPROM-Zelle vorgesehen ist, in Abhängigkeit von deren Programmierzustand unterschiedliche Teilschaltungen mittels einer Schaltungsanordnung miteinander verknüpfbar sind. Auf diese Weise gelingt es, monolithisch integrierte Schaltungen so auszuführen, daß ihre elektrische Funktion über die Hardware auch nach der Fertigstellung des Produktes noch bleibend veränderbar ist, da die Veränderung der Hardewareeigenschaften dadurch erreicht wird, daß einzelne Teilschaltungen der integrierten Schaltungen durch Verwendung von EEPROM-Zellen in der Weise miteinander verknüpft sind, daß durch Löschen oder Schreiben der EEPROM's nachträglich Teilschaltungen zu- oder abgeschaltet werden. Diese minderung kann beispielsweise bein Testen du-chgeführt werden und entspricht einer hardwaremäßigen Programmierung von Schaltungseigenschaften bzw. -funktionen.In the case of an integrated circuit, this task is described in the introduction mentioned type solved according to the invention in that at least one ESPROM cell is provided is different subcircuits depending on their programming status can be linked to one another by means of a circuit arrangement. In this way succeeds in designing monolithically integrated circuits so that their electrical Function via the hardware remains even after the product has been completed is changeable, since the change in the hardware properties is achieved thereby is that individual subcircuits of the integrated circuits by using of EEPROM cells are linked together in such a way that by deletion or Writing of the EEPROM's can be switched on or off afterwards. This reduction can for example be carried out during testing and corresponds hardware programming of circuit properties and functions.

Unter EEPROM-Zellen im Sinne der ErfIndung werden alle Speicherzellen verstanden, die elektrisch programmierbar und elektrisch löschbar sind.EEPROM cells in the sense of the invention are all memory cells understood that are electrically programmable and electrically erasable.

Als SEPROM-Speicherzellen, die mit der integrierten Schaltung in der Weise verknüpft sind, daß ihr Programmierzustand die Arboitsweise der Schaltung bleibend verändert, können z.B. EEPROM-Zellen vom Floating-Gate-Type verwendet werden, wie sie aus Electronics, 28. Februar 1980, Seiten 113 bis 117, bekannt sind.As SEPROM memory cells that are integrated with the integrated circuit in the Are linked in a way that their programming state determines the Arboitsweise of the circuit permanently changed, e.g. EEPROM cells of the floating gate type can be used, as known from Electronics, February 28, 1980, pages 113-117.

Die Datenerhaltung entsprechender Speicherzellen ist mit 1O oder 100 Jahren lnger als die veraussichtliche Produktlebensdauer des integrierten Schaltkreises, so d eine entsprechende Techni': zur realisierung erfindugsgemäßer Schaltungen besonders geeignet ist.The data retention of corresponding memory cells is with 1O or 100 Years longer than the expected product life of the integrated circuit, So there is a corresponding technique: especially for realizing circuits according to the invention suitable is.

Mit Hilfe der EEPROM-Zellen können erfindungsgemäß ganz allgemein auf eine Chip Schaltungsteile nachträglich, d.h. nach der Herstellung der integrierten Schaltung, hinzu- oder abgeschaltet werden. Die erfindungsgemäße Ausführung einer Schaltung ist besonders einfach, wenn die integrierte Schaltung im Rahmen ihrer Funktion sowieso einen EEPROM-Speicher benötigt und zusätzliche Prozeßschritte nicht erforderlich sind.With the help of the EEPROM cells, according to the invention, very generally on a chip circuit parts subsequently, i.e. after the production of the integrated Switching, switched on or off. The inventive implementation of a Circuitry is particularly simple when the integrated circuit is in the context of its Function anyway requires an EEPROM memory and no additional process steps required are.

Andererseits sind auch die gegenüber standardmäßiger MOS-Technik bei EEPROM's notwendigen zusätzlichen Prozeßschritte in vielen Anwendungsfällen wirtschaftlich vertretbar.On the other hand, there are also those compared to standard MOS technology EEPROM's necessary additional process steps are economical in many applications justifiable.

Herstellbar sind dann integrierte Schaltkreise, die beispielsweise beim Testen durch Programmieren der EEPROM-Zellen an spezielle Kundenwünsche oder Kundenspezifikationen angepaßt werden, etwa zur Invertierung von Signalpegeln oder zur Kodierung, ie z.3. durch Einprogrammierung von Adressen.Integrated circuits can then be produced, for example when testing by programming the EEPROM cells to special customer requests or Customer specifications can be adapted, for example to invert signal levels or for coding, ie z.3. by programming addresses.

Im allgemeinen Fall werden auf dem Chip implementierte Teilschaltungen durch freie Programmierung der EEPROM-Zellen auf gewünschte Weise miteinander verknüpft, wobei im Gegensatz zu Gate-Arrays die gewünschte VerlKnUDfunx vom unden selbst durchgeführt werden kann.In the general case, subcircuits are implemented on the chip linked to one another in the desired manner by freely programming the EEPROM cells, whereas, in contrast to gate arrays, the desired VerlKnUDfunx is carried out by the person himself can be.

Die erfindungsgemäß eingesetzten EEPROM-Zellen können schließlich zum Abgleich analoger Funktionen benutzt erden. Der Abgleich selbst ist einerseits digital, z.3. über das Zuschalten von Widerständen, und andererseits analog, z.3. über die kontrollierte Verschiebung der Einsatzspannung in einer EEPROM-Zelle, realisierbar Die kontrollierte Verschiebung der Einsatzspannung von EEPROM-Speicherzellen mittels Zeitstcuerung ist in der DE-OS 28 28 855 beschrieben.The EEPROM cells used according to the invention can finally used to adjust analog functions. The comparison itself is on the one hand digital, e.g. 3. via the connection of resistors, and on the other hand analogously, e.g. 3. can be implemented via the controlled shifting of the threshold voltage in an EEPROM cell The controlled shifting of the threshold voltage of EEPROM memory cells by means of Time control is described in DE-OS 28 28 855.

Es liegt in Rahmen.der Erfindung, daß als Teilschaltungen ein Speicherfeld und mindestens eine redundante, in der Anzahl der Speicherzellen einem Teilbereich des Speicherfeldes entsprechende Speicherzellenanordnung vorgesehen ist, und daß ein als EEPROM-Speicher ausgefUhwter Fehleradreßspeicher vorgesehen ist, in Abhängigkeit von dessen Programmierzustand der Speicherzugriff vom Speicherfeld auf die redundante Speicherzellenanordnung umschaltbar ist.It is within the framework of the invention that a memory field and at least one redundant sub-area in the number of memory cells the memory cell arrangement corresponding to the memory field is provided, and that an error address memory designed as an EEPROM memory is provided, depending on from its programming status the memory access from the memory field to the redundant one Memory cell arrangement is switchable.

Ein entsprechender Schaltkreis ist vorteilhafterweise so ausgeführt, daß ein über einen Dekodierer ansteuerbares Speicherfeld vorgesehen ist, daß ein als EEPROM ausgeführter Fehleradreßspeicher vorgesehen ist, in den die Adresse eines für sich adressierbaren oneicherbereiches des Speicherfeldes abspeicherbar ist, daß ein Adreßregister, in dem aktuelle Speicheradresse zwischenspiecherbar ist und das mit dem Dekodierer und dem Fehleradreßspeicher verbunden ist, vorgesehen rist, da eine redundante Speicherzellenanordnung vorgesehen ist, deren Speicherzellenanzahl einem für sich adressierbaren Speicherbereich des Speicherfeldes entspricht, daß ein Komparator vorgesehen ist, dessen erster wingang mit dem Adreßregister und dessen zweiter Eingang mit den Fehleradreßspeicher verbunden ist und dessen Ausgang mit der redundanten Speicherzellenanordnung verbunden ist und daß eine Sperreinrichtung vorgesehen ist, mittels derer in Abhängigkeit vom Ausgangssignal des Komparators der Zugriff auf d?s Speicherfeld sperrbar ist.A corresponding circuit is advantageously designed in such a way that that a controllable via a decoder memory field is provided that a designed as an EEPROM error address memory is provided in which the address of a can be stored for an addressable secure area of the memory field, that an address register in which the current memory address can be temporarily stored and which is connected to the decoder and the fault address memory is provided, since a redundant memory cell arrangement is provided, the number of memory cells corresponds to an addressable memory area of the memory field that a comparator is provided, the first wingang with the address register and its second input is connected to the error address memory and its output with the redundant memory cell arrangement is connected and that a blocking device is provided, by means of which depending on the output signal of the comparator access to the memory field can be blocked.

Die erfindung wird im folgenden anhand der Figuren nahe- erläutert.The invention is explained in more detail below with reference to the figures.

Es zeigen: Die Fig. 1 das Schaltbild einer Schaltungsanordnung die in Abhängigkeit vom programmierten Zustand einer EEPROM-Zelle zwei Teilschaltungen alternativ mit einer dritten Teilschaltung verbindet, die Fig. 2 ein Blockschaltbild eines Ausführungsbeispiels zur Umdekodierung defekter Speicherbereiche in EEPROM's auf redundante Speicherzellen und die Fig. 3 das Schaltbild einer erfindungsgemäßen Anordnung nach Fig. 2.They show: FIG. 1 the circuit diagram of a circuit arrangement two sub-circuits depending on the programmed state of an EEPROM cell alternatively connects to a third subcircuit, which FIG. 2 is a block diagram of an embodiment for re-decoding defective memory areas in EEPROMs to redundant memory cells and FIG. 3 shows the circuit diagram of an inventive Arrangement according to FIG. 2.

In den Figuren sind gleiche Elemente mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet.In the figures, the same elements are denoted by the same reference symbols.

Die Fig. 1 zeigt das Schaltbild einer Schaltungsanordnung, die in Abhängigkeit vom programmierten Zustand einer EEPROM-Zelle zwei Teilschaltungen T2 und T3 alternativ mit einer dritten Teilschaltung T1 verbindet, wobei die EEPROM-Zelle mit ihren Peripherieschaltungen aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht dargestellt ist.Fig. 1 shows the circuit diagram of a circuit arrangement shown in Two sub-circuits depending on the programmed state of an EEPROM cell T2 and T3 alternatively connects to a third subcircuit T1, the EEPROM cell with their peripheral circuits not shown for reasons of clarity is.

Die Teilschaltung T2 ist über ein Transfewgate 2 mit der dritten Tsilschaltung T1 verbunden, während die Teilschaltung T3 über ein Transfergate 4 mit der dritten Teilschaltung T1 verbunden ist. Der Programmierte Zustand der EEPROM-Zelle, d.h. entweder eine "1" oder eine "O", liegt am Punkt 1 und damit einarseits direkt am Steuergate des Transfergates 2 und andererseits über den Inverter 3 invertiert am Steuergate des Transfergates 4 an. Somit ist am Vorliegen einer "1'' am ?un:t 1 das Transfergate 2 durchgeschaltet und somit die Teilschaltung T2 mit der Teilschantung T1 verbunden, während das Transfergate 4 sperrt. Bei Vorliegen einer "O" am Punkt 1 ist dagegen das Transfergate 2 g.3sperrt und das über den Inverter 3 anoesteuerte Transfergate offen, so daß die Teilschaltung T3 mit der Teilschaltun,, T1 verbunden ist. Wtit einer entsprechenden eine fachen Schaltungsanordnung sind alse durch Programmier- en eines EEPROM's unterschiedliche Teilschaltungen miteinander verbindbar.The subcircuit T2 is connected to the third subcircuit via a transfer gate 2 T1 connected, while the subcircuit T3 via a transfer gate 4 with the third Subcircuit T1 is connected. The programmed state of the EEPROM cell, i.e. either a "1" or an "O" is at point 1 and thus directly on the one side Control gate of the transfer gate 2 and, on the other hand, inverted via the inverter 3 on Control gate of transfer gate 4 on. Thus, the presence of a "1" means? Un: t 1 the transfer gate 2 is switched through and thus the subcircuit T2 with the partial sheath T1 connected while the transfer gate 4 blocks. If there is an "O" at the point 1, on the other hand, the transfer gate 2 is blocked and that which is triggered via the inverter 3 Transfer gate open, so that the subcircuit T3 is connected to the subcircuit T1 is. With a corresponding one-fold circuit arrangement are as a result of programming en of an EEPROM, different subcircuits can be connected to one another.

Die Fig. 2 zeigt ein Blockschaltbild eines Ausführungsbeispiels zur Umdekodierun; eines defekten Speicherbereiches des Speichers S auf redundante Speicherzellen E. Das aktive Speicherfeld des z.B. in EEPROM-Technik ausgeführten Speichers S ist z.B. wortweise adressierbar, wobei nAdressbits ftir 2n Speicheradressen erforderlich sind (z.B. n = 11 für einen 16 kbit-Speicher mit 8 Bit je Wort).Ein Speicherwort mit wenigstens einer defekten Speicherzelle des Speichers S soll nun durch ein redundantes, in Ersatzspeicher E abgespeichertes Speicherwort ersetzbar sein, d.h. im dargestellten Ausführungsbeispiel ist nur eine redundante Speicherzelle s vorgesehen. Zu diesem Zweck weist die Anordnung nach Fig. 2 ein Adressregister A auf, in de die aktuelle, zur Adressierung des Speichers S Ventite Speicheradresse zwischenspeicherbar ist.Fig. 2 shows a block diagram of an embodiment for Re-decoding; a defective memory area of the memory S to redundant memory cells E. The active memory field of the memory S, for example implemented in EEPROM technology, is e.g. addressable word by word, where naddress bits are required for 2n memory addresses (e.g. n = 11 for a 16 kbit memory with 8 bits per word) with at least one defective memory cell of the memory S should now be replaced by a redundant, The memory word stored in the substitute memory E can be replaced, i.e. in the illustrated Embodiment only one redundant memory cell s is provided. To this Purpose, the arrangement of Fig. 2 has an address register A, in de the current, for addressing the memory S Ventite memory address can be temporarily stored.

Das Adressregister A ist mit dem Zeilendekodierer D des Speichers 5 verbunden. Weitere zurn Speicherfeld 5 gehörende Peripherieschaltungen wie Spaltendekodierer, Ein- und Ausgabeschaltung ect. sind in der Fig. 2 aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht dargestellt und ebenso wie der Zeilendekodierer (Wortdekoder) D in an sich bekannter Weise ausführbar (vergleiche z.B. W. Söll und J. -d. Kirchner, Digitale Speicher, Vogel-Verlag-Würzburg, 1?73, Seiten 128 bis 131 und Seiten 152, 153).The address register A is connected to the row decoder D of the memory 5 connected. Other peripheral circuits belonging to the memory field 5, such as column decoders, Input and output circuit ect. are in Fig. 2 for the sake of clarity not shown and just like the line decoder (word decoder) D in itself feasible in a known manner (compare e.g. W. Söll and J. -d. Kirchner, Digitale Speicher, Vogel-Verlag-Würzburg, 1? 73, pages 128 to 131 and pages 152, 153).

Der als 1- aus 2n-Dekodierer arbeitende Zeilendekodierer D kann wie z.B. aus A. Reiß, H. Liedl, W. Spichall, Integrierte Digitalbausteine, Siemens AG, Berlin-München, 1970, Seite 235, 236 bekannt, als NOR-Dekondierer ausgeführt sein.The row decoder D, operating as a 1-out of 2n decoder, can as e.g. from A. Reiß, H. Liedl, W. Spichall, Integrated Digital Modules, Siemens AG, Berlin-Munich, 1970, page 235, 236 known to be designed as a NOR deconditioner.

Zur Speicherung der beim Testen des Speicherfeldes S ermittelten Adressinformation des fehlerhaften Speicherwortes des Speichers S ist ein Fehleradresspeicher F, der EEPROM-Zellen aufweist und mit einer Ansteuerschaltung 5 verbunden ist, die in an sich bekannter Weise arbeitet und mit der Programmierspannung Upp zur Programmierung der EEPROM-Zellen verbunden ist, vorgesehen.For storing the address information determined during the testing of the memory field S. the faulty memory word of the memory S is a fault address memory F, the EEPROM cells and is connected to a control circuit 5, which is in on works in a known way and with the programming voltage Upp for programming connected to the EEPROM cells.

Der Inhalt des Adressregisters A ist einerseits über die Leitung 6 dem Fehleradresspeicher F und andererseits dem ersten Eingang eines Komparators K über die Leitung 7 zuführbar. Der zweite Eingang des Komparators K wird über die, vom Fehleradresspeicher F kommende Leitung s beaufschlagt. Das Ausgangssignal KA des Komparators K, der als handelsüblicher Komparator in der Weise arbeitet, daß er bei Koinzidenz seiner an den Eingängem anliegenden Signale als Ausgangssignal KA eine "1" ausgangsseitig abgibt. beaufschlagt zn einen den Ersatzspeicher r und zum anderen eine Spe-reinrichtung Sp. Die Sperreinrichtung Sp beaufschlagt den Zeilendekodierer D beziehungsweise das Speicherfeld S in der Weise, daß sie in Abhängigkeit des Ausgangssignals KA des Komparators K den Zugriff auf das Speicherfeld S sperrt.The content of the address register A is on the one hand via the line 6 the fault address memory F and on the other hand the first input of a comparator K can be fed in via line 7. The second input of the comparator K is Line s coming from the fault address memory F is applied. The output signal KA of the comparator K, which works as a commercially available comparator in such a way that it as an output signal if its signals applied to the inputs coincide KA issues a "1" on the output side. acts on one of the replacement memories r and on the other hand a storage device Sp. The blocking device Sp acts on the line decoder D or the memory field S in such a way that it depends on the output signal KA of the comparator K blocks access to the memory field S.

Die Schaltung nach Fig. 2 arbeitet wie folgt: Jede in Adressregister A stehende Adressinformation wird im Komparator K mit der in Fehleradresspeicher Z bei Testen des Speicherfeldes S abgespeicherten Adresse des fehlerhaften Speicherbereiches des Speichers S verglichen. Erkennt der Komparator K bei Adressdatengleichheit die fehlerhafte Speicherzeile, so wird über das Ausgangssignal KA des Komparators K (KA = "1") sowohl die Ersatzzeile, die den fehlerhaften Speicherbereich des Speichens 8 ersetzt, also Ersatzspei- cher E, angewählt, als auch das reguläre Speicherfeld S über die Sperreinrichtung Sp gesperrt.The circuit of Figure 2 operates as follows: Each in address register A standing address information is stored in the comparator K with that in the error address memory Z when the memory field S is tested, the address of the faulty memory area stored of the memory S compared. If the comparator K recognizes the same address data faulty memory line, the output signal KA of the comparator K (KA = "1") both the replacement line, which is the faulty memory area of the memory 8 replaced, i.e. replacement memory cher E, selected, as well as the regular one Memory field S blocked via the blocking device Sp.

Das Schaltbild einer erfindungsgemäßen, dem Blockschaltbild der Fig. 2 entsprechend arbeitenden Anordnung zeigt die Fig. 3. Das Speicherfeld S ist für 2n Adressen auslegt, der Zeilendekpdierer D als 1- aus 2n-NOR-Dekodierer ausgeführt. Das Adressregister A eist n Speicherzellen auf, wobei aus Gründen der Übersichtlichkeit nur die Speicherzelle 9 für das erst Bit A1 und die Speicherzelle 10 für das n-te 3it dargestellt sind.The circuit diagram of an inventive, the block diagram of FIG. 2 shows the arrangement operating in accordance with FIG. 3. The memory field S is for Interprets 2n addresses, the row decoder D is designed as a 1- out of 2n NOR decoder. The address register A eist n memory cells, for reasons of clarity only the memory cell 9 for the first bit A1 and the memory cell 10 for the nth 3it are shown.

Der Koparator K ist in der Weise ausgeführt, daß für ein Bit, z.B. das erste 3it Al des Adressregisters A, ein UND-Gatter 15 und zwei NOR-Gatter 13 und 14 vorgesehen sind. Das Adressbit A1 beaufschlagt je einen Eingang des UND-Gatters 15 und des NOT-Gatters 13, während die vom Fehleradresspeicher F kommende Leitung 3 den zweiten Eingang dos Gatters 15 und des Gatters 13 beaufschlagt. Die Ausgänge der Gatter 13 und 15 beaufschlagen das NOR-Gatter 14, dessen Ausgang mit eine Eingang des Vierlfach-NOR-Gatters 16, an dessen Ausgang das Signal KA entnehmbar ist, beaufschlagt. Die weiteren Komparatorzellen sind entsprechend ausgeführt, in der ig. 3 ist aus Gründen der Übersichtlichkeit nur noch die n-te Komparatorzelle dargestellt.The coparator K is designed in such a way that for one bit, e.g. the first 3it Al of the address register A, an AND gate 15 and two NOR gates 13 and 14 are provided. The address bit A1 applies to one input of the AND gate 15 and the NOT gate 13, while the line coming from the fault address memory F 3 applied to the second input dos gate 15 and gate 13. The exits the gates 13 and 15 act on the NOR gate 14, the output of which has an input of the quadruple NOR gate 16, at the output of which the signal KA can be taken, is applied. The other comparator cells are designed accordingly, in the ig. 3 is off For the sake of clarity, only the nth comparator cell is shown.

Die Sperreinrichtung Sp besteht aus zwei ODER-Gattern 11 und 12, wobei je ein Eingang der Gatter 11 und 12 vom Ausgangssignal KA des komparators K beaufschlagt wird.The locking device Sp consists of two OR gates 11 and 12, wherein One input of each of the gates 11 and 12 has the output signal KA of the comparator K applied to it will.

Der zweite Eingang des Gatters 11 ist mit dem Adressbit A1 beaufschlagbar, während der zweite Eingang des Gatters 12 nit dem komplementären Adressbit Al beaufschlagbar ist. Der Zeilendekedierer D wird dann eingangsseitig anstelle des Admessbits A1 vom dem Ausgang des Gatters 11 entnehmbaren Signal A1' und anstelle des komplement.aren Adressbits Al vom dem Ausgang des Gatters 12 entnehmbaren Signal A1 beaufschlagt. Die weiteren Speicherzellen des Adressregisters A sind, wei bei Speicherzelle 10 gezeigt, Uber die Bits An und An führende Leitungen mit dem Zeilendekodierer D verbunden.The second input of the gate 11 can be acted upon with the address bit A1, while the second input of the gate 12 can be acted upon with the complementary address bit A1 is. The line decoder D is then used on the input side instead of the Admessbits A1 from the exit of the gate 11 removable signal A1 'and instead of the complementary address bit A1 from the signal which can be taken from the output of the gate 12 A1 applied. The other memory cells of the address register A are white Memory cell 10 shown, via the bits An and An lines leading to the row decoder D connected.

Der nicht flüchtige elektrisch umprogrammierbare Fehleradresspeicher F weist n+1 Speicherzellen EI bis En+1 und die dazugehörigen Absteuerschaltungen auf.The non-volatile, electrically reprogrammable fault address memory F has n + 1 memory cells EI to En + 1 and the associated cutoff circuits on.

Der Fehleradresspeicher F ist vorteilhafter.veise als EEPROM-Speicher vom n-Kanal-Silikon-Gate-Typ mit Floating-Gate und Tunnelprogrammierung ausgeführt, wie er beispielsweise in der Zeitschrift Electronics, 23. Februar 1930, Seiten 113 bis 117, beschrieben ist.The fault address memory F is more advantageous than an EEPROM memory made of n-channel silicon gate type with floating gate and tunnel programming, as described, for example, in Electronics magazine, February 23, 1930, pages 113 to 117.

In den ersten n EEPROM-Zellen E1 bis En ist die beim Testen ermittelte Adressinformation des fehlerhaften Speicherwortes abspeicherbar. Aus Gründen der Übersichtlichkeit ist wiederum nur die erste Zelle EI und die n-te Zelle En dargestellt. Jede in Adressregister stehende Adressinformatwon wird im Komparator K mit der im Fehleradresspeicher F gespeicherten Fehleradresse verglichen. Erkennt der Komparator bei Adressdatengieicrheit die fehlerhafte Speicherzeile,.so wird über das Ausgangssignal KA des Komparators K (KA = "1't) der Ersatzspeicher -, in dem die fehlerhafte Speicherzeile abgespeichert ist, angewählt. Ferner werden über das Signal KA, beispielsweise wie in der Fig. 3 dargestellt, für das Adressbit A1 beide Eingangsleitungen A1' und A1" des Zeilendekoders D auf "1" geschaltet. Da alle Zeilenleitungen eine "O" führen, ist auf diese Weise die Zeilenanwahl im als NOR-Dekodierer ausgeführten Dekodierer D unterbunden und somit das Speicherfeld S gesperrt, so daß die Daten aus dem Ersatz speicher E und nicht aus der defekten Speicherzeile des Speichers ausgelesen werden.The one determined during testing is in the first n EEPROM cells E1 to En Address information of the faulty memory word can be stored. Because of Again, only the first cell EI and the nth cell En are shown for clarity. Each address information contained in the address register is compared in the comparator K with the im Error address memory F compared to stored error address. Detects the comparator in the case of address data energy the faulty memory line, .so is via the output signal KA of the comparator K (KA = "1't) the spare memory - in which the faulty memory line is saved, selected. Furthermore, via the signal KA, for example how shown in Fig. 3, for the address bit A1, both input lines A1 'and A1 "of the row decoder D is switched to" 1 ". Since all row lines carry an" O ", is in this way the line selection in the decoder designed as a NOR decoder D prevented and thus the memory field S blocked, so that the data from the replacement memory E and not read from the defective memory line of the memory.

Das Löschen einer EEPROM-Floating-Gate-Zelle (z.B. E1) wird auf bekannte Weise, wie z.B. in der oben grennnnten Literaturstelle "Electronics" beschrieben, dadurch erreicht, daß Elektronen aus dem Substrat in das floatende Sceichergate 20 hineintunneln. Durch das negativ aufgeladene Floatinggate 20 ist der Spaichertransistor EI beim Auslesen gesperrt, am Ausgang 22 erscheint eine "1".Erasing an EEPROM floating gate cell (e.g. E1) is known in the art Manner, as described, for example, in the above-mentioned reference "Electronics", achieved in that electrons from the substrate into the floating Sceichergate 20 tunnel in. The memory transistor is due to the negatively charged floating gate 20 EI blocked when reading, a "1" appears at output 22.

Zu Beginn der Umdekodierung wird der Fehleradresspeicher in einen definierten "1"-Ausgangszustand geloscht.At the beginning of the decoding, the error address memory is converted into a defined "1" initial state deleted.

Der Löschvorgang wird für alle n+1 EEPROM-Zellen E1 bis En+1 gleichzeitig durchgeführt, Das Tunnelfenster der Zellen befindet sich auf der Seite der Drain-Elektrode 22 des Speichertransistors. Für das Umprogrammieren, Löschen wie Schreiben, ist der Potentialunterschied zwischen den Steuergate 21 und der Drain-Elektrode 22 des Speichertransistors entsctneidend. Bein Löschen liegt die gemeinsame Gateleitung 24 aller Speicherzellen über den Transistor TO auf der Programmierspannung U?, .3. auf etwa 2O V. IjIit dieser Spannung sind alle Speichertransistoren E1 bis En+1 leitend und nehmen den durch die als Lastelemente wirkenden Transistoren T11 bis T1n+1, die über den Transistor T6 mit der Versorgungsspannung VDD verbunden sind, fließenden Strom auf. Die Drain-Elektroden 22 der Speicherzellen liegen, da die Source-Elektroden 23 mit Masse verbunden sind, auf O V und der zum Löschen erforderliche Spannungsunterschied an beiden Seiten des Tunnelfensters ist gegeben.The erasing process is carried out simultaneously for all n + 1 EEPROM cells E1 to En + 1 The tunnel window of the cells is on the side of the drain electrode 22 of the memory transistor. For reprogramming, erasing like writing, is the potential difference between the control gate 21 and the drain electrode 22 of the Decutting memory transistor. The common gate line is used when erasing 24 of all memory cells via the transistor TO on the programming voltage U ?, .3. to about 20 V. With this voltage, all memory transistors E1 to En + 1 are conductive and take the through the acting as load elements transistors T11 to T1n + 1, which are connected to the supply voltage VDD via the transistor T6, flowing stream on. The drain electrodes 22 of the memory cells are because the Source electrodes 23 are connected to ground, on O V and the one required for erasing There is a voltage difference on both sides of the tunnel window.

Zum Beschreiben der Speicherzellen EI bis En+1 in den "O"-Zustand tunneln Elektronen aus dem floatenden Gate 20 (zurück) in des Substrat. Die Speicherzellen verändern sich durch die positive Ladung am Floatinggete 20 in Richtung auf den leitenden Zustand. Während des Schreibens liegt die Gate-Leitung 24 aller Zellen über die Transistoren T3 und T9 nu der Spannung O V und die Speicherzellen sind aufgrund der vorhergehenden Löschung sicher gesperrt. Da nur während des Schreibens die Transistoren T21 bis T2n leiten, hängt die Spannung an der Drain-Elektrode 22 der Speichertransistoren von der Information A1 bis An im Adressregister A ab. Ist ein Adress-Bit in Zustand "O", so ist der zugehörige Transistor T31 bis T3n gesperrt.For writing the memory cells EI to En + 1 in the "O" state electrons tunnel from the floating gate 20 (back) into the substrate. The memory cells change due to the positive charge on Floatinggete 20 in the direction of the conductive state. During the writing, the gate line 24 of all cells is present above the transistors T3 and T9 nu the voltage O V and the memory cells are due the previous deletion securely blocked. Since only while writing the transistors Conduct T21 to T2n, the voltage depends on the drain electrode 22 of the memory transistors from the information A1 to An in the address register A. Is an address bit in state "O", the associated transistor T31 to T3n is blocked.

Die Drainelektrode 22 der Speichertransistoren floatet über die Transistoren T11 bis T1n+l und den Transistor T4 auf etwa 20 V hoch. Die Spannungsdifferenz durch das Tunnelfenster ist gegeben und der Schreibvergang der Zelle in den "O"-Zustand findet statt. Ist die an den Bitleitungen Al bis Mn anliegende Adressinformation jedoch "1", so wird z.B. im Falle des Dits Al über den Transistor T31 und den Transistor T21 die Drainelektrode 22 de Speicherzeile E1 auf niedrige Spannung gelegt. Eine Schreibspannung ist nicht effektiv, d Zeile bleibt gelöscht im "1"-Zustand.The drain electrode 22 of the memory transistors floats over the transistors T11 to T1n + 1 and transistor T4 to about 20V high. The voltage difference through the tunnel window is given and the cell is in the "O" state takes place. Is the address information present on the bit lines Al to Mn but "1", for example, in the case of the Dits, Al becomes through the transistor T31 and the transistor T21, the drain electrode 22 of the memory row E1 is set to low voltage. One Write voltage is not effective, the line remains erased in the "1" state.

Nach dem Schreiben ist also logische Übereinstimmung zwischen der Information im Adressregister A und der Information im Fehleradresspeicher F hergestellt, d.h. die Adresse des bei Testen als fehlerhaft festgestellten Speicherwortes des Speicherwortes 8 ist im Fehleradresspeicher F abgespeichert. Immer, wenn im Verlauf der spärteren Speicherbenutzung diese Adresse anliegt, wird also über den Komparator K die Umdekodierung vorgenommen und nicht die fehlerhafte Speicher zeile das Speicherfeldes 5, sondern die i.- Ersatzspeicher S. abgespeicherte Information ausgelesen.So after writing there is a logical correspondence between the Information in address register A and the information in error address memory F established, i.e. the address of the memory word of the Memory word 8 is stored in the fault address memory F. Whenever in the course the later use of the memory this address is present, is thus via the comparator K carried out the decoding and not the faulty memory line of the memory field 5, but read out the information stored in the spare memory S.

Der Fehleradresspeicher F arbeitet insgesamt in drei Betriebszuständen: Löschen, Schreiben und Auslegen wobei Löschen und Schreiben nur je ein einziges Mal vorgenommen wird. Zur Steuerung sind also wenigstens zwei Bit Steuerinformation erforderlich. Zur Ver- meidung unerwünschter Fehlprogrammierung des Fehleradresspeichers F, beispielsweise beim Einschalten des EEPRROM-Speichers, wird die Programmierspannung Upp von etwa 20 V vorteilhafterweise selbst als eine Steuerinformation benutzt, die nur beim Löschen oder Schreiben im "High"-Zustand liegen darf, beim Auslesen jedoch"O"sein muß. Die hohe Spannung wird über den Transistor TO bzw. T4 an die Speicherzellen EI bis En+1 herangeführt, die Enhancement-Transistoren T5 bzw. T6 sind gesperrt. Für Upp = 0 sind während des Auslesens dagegen die Enhancement-Transistoren T0 und T4 gesperrt. Die Auslesespannung von etwa 5 V am Gate 21 der Speicherzellen wird über den Transistor TS, der Drain-Strom dagegen über den Transistor T6 aus der 5 Volt-Betriebsspannungsquelle VDD geliefert.The fault address memory F works in a total of three operating states: Erasing, writing and laying out, erasing and writing only one each Times is made. There are therefore at least two bits of control information for control necessary. For avoidance of unwanted programming errors of the error address memory F, for example when switching on the EEPRROM memory, the programming voltage Upp of about 20 V is advantageously used as one itself Control information is used that is only used when deleting or writing in the "high" state may lie, but must be "O" when reading out. The high voltage is across the transistor TO or T4 brought up to the memory cells EI to En + 1, the enhancement transistors T5 and T6 are blocked. For Upp = 0, on the other hand, the enhancement transistors are during the readout T0 and T4 blocked. The read-out voltage of about 5 V at gate 21 of the memory cells is switched off via the transistor TS, while the drain current is switched off via the transistor T6 the 5 volt operating voltage source VDD.

Die zweite Steuerinformation S/L (Schreiben/Löshen) entscheidet, ob gelöscht wird (S/L = "O") oder gesschrieben werden soll (S/L = "1") und hat während des Auslesens keinen Einfluß.The second control information S / L (write / release) decides whether is deleted (S / L = "O") or should be written (S / L = "1") and has during the readout has no effect.

Wird die Umkodierung der fehlerhaften Speicheradresse während der Scheibenmessung, d.h. zu einem Zeitpunkt, zu dem die einzelnen Chips, auf denen eine Anordnung nach Fig. 3 integriert ist, noch nicht aus dem Scheibenverband getrennt sind, durchgeführt, so wird die Programmierspannung Upp zweckmäßigerweise über einen eigenen Anschlußkontaktflecken (Pad) P zugeführt, der bei der spiteren Chipmontage nicht kontaktiert (gebondet) wird. Damit ist eine nachträgliche Fehlprogrammierung ausgeschlossen. Die Spannung Upp bleibt dann über den Depletion-Transistor T7 immer auf 0 V.If the recoding of the incorrect memory address is carried out during the Slice measurement, i.e. at a point in time when the individual chips on which an arrangement according to FIG. 3 is integrated, not yet separated from the pane association are carried out, the programming voltage Upp is expediently via a own connection pads (pad) P supplied to the later chip assembly is not contacted (bonded). This is a subsequent incorrect programming locked out. The voltage Upp then always remains through the depletion transistor T7 to 0 V.

Da der Zustand der Leitung S/L für Upp gleich 0 V ehne Einfluß ist, kann diese Leitung ohne Risiko einer Fehlfunktion mit der Steuerung des aktiven EEPROM-Betriches (Speich@ feld @) γ @nüpft werden.Since the state of the line S / L for Upp is 0 V without influence, can use this line without risk of malfunction with the control of the active EEPROM area (memory @ field @) γ @ can be accessed.

Die überzählige Speicherzelle En+1 des Fehleradresspeichers F, deren Drainelektrode ebenfalls einen Eingang des Vielfach-NOR-Gatters 16 des Komparators K beaufschlagt, dient zur Sperrung des Ausgangs des Komparators , wenn das redundante Sceicherwort des Ersatzspeichers E nicht verwendet wird (keine fehlerhafte Speicherzeile im Speicherfeld S). Das Löschen des Fehleradresspeichers F in den '1"-Zustand erfolgt gleich zu Beginn der Scheibenmessung und der Komparator K wird gesperrt, er bleibt dann gesperrt, wenn wegen Fehlerfreiheit des regulären Speicherfeldes S ein Schreibvorgang nicht erfolgt.The surplus memory cell En + 1 of the fault address memory F, whose Drain electrode also an input of the multiple NOR gate 16 of the comparator K applied, is used to block the output of the comparator, if the redundant Memory word of spare memory E is not used (no faulty memory line in memory field S). The error address memory F is erased to the '1 "state right at the beginning of the target measurement and the comparator K is blocked, it remains then blocked if a write process is carried out because the regular memory field S is free from errors not happened.

Die Ansteuereinrichtung für den Fehleradresspeicher F muß nich mit Speicherfeld 3 und Fehleradersspeicher F auf einem Chip integriert werden, sie kann auch extern vorgesehen sein und bei der Scheibenmessung zur Ansteuerung verwendet werden.The control device for the fault address memory F does not have to be included Memory field 3 and fault wire memory F are integrated on one chip, it can can also be provided externally and used for control when measuring the target will.

3 figuren 3 Patentansprüche3 figures 3 claims

Claims (3)

Patentansprüche 1. Monolithisch integrierter Schaltkreis mit auf einem Chip integrierten Teilschaltungen, bei dem die Verknüpfung mindestens zweier Teil schaltungen nach Herstellung der Teilschaltungen änderbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine EEPROM-Zelle (E1) vorgesehen ist, in Abhängigkeit von deren Programmierzustand unterschiedliche Teilschaltungen (T2, T3) mittels einer Schaltungsanordnung (2,3,4) miteinander verknüpfbar sind.Claims 1. Monolithic integrated circuit with on one Chip integrated subcircuits in which the linking of at least two parts circuits can be changed after production of the subcircuits, characterized in that that at least one EEPROM cell (E1) is provided, depending on their Programming state different subcircuits (T2, T3) by means of a circuit arrangement (2,3,4) can be linked to one another. 2. Schaltkreis nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß als Teilschaltungen (T1,T2,T3) ein Speicherfeld (S) und mindestens eine redundante, in der Anzahl der Speicherzellen einem Teilbereich des Speicherfeldes (S) entsprechende Speicherzellenanordnung (E) vorgesehen ist, und daß ein als EEPROM-Speicher ausgeftihrter rehleradreßspeicher (F) vorgesehen ist, in Abhängigkeit von dessen Programmierzustand der Speicherzugriff vom Speicherfeld (S) auf die redundante Speicherzellenanordnung (E) umschaltbar ist.2. Circuit according to claim 1, characterized in that as sub-circuits (T1, T2, T3) a memory field (S) and at least one redundant, in the number of Memory cells a memory cell arrangement corresponding to a sub-area of the memory field (S) (E) is provided, and that a controller address memory designed as an EEPROM memory (F) is provided, depending on the programming state of the memory access switchable from the memory field (S) to the redundant memory cell arrangement (E) is. 3. Schaltkreis nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß ein über einen Dekodierer (D) ansteuerbares Speicherfeld (S) vorgesehen ist, daß ein als EEPROM ausgeführter Fehleradreßspeicher (r) Zorszesehen ist, in dem die Adresse eines für sich adressierbaren Speicherbereiches des Speicherfeldes (S) abspeicherbar ist, daß ein Adreßregister (A), in dem die aktuelle Speicheradresse zwischenspeicherbar ist und das mit de Dekodierer (D) und dem Fehleradreßspeicher (F) verbunden ist, vorgesehen ist, daß eine redundante Speicherzellenanordnung (E) vorgesehen ist, deren Speicherzcllenanzahl einem fUr sich adressierbaren Speicherbereich des Speicherfeldes (S) entspricht, daß ein Komparator (K) vorgesehen ist, dessen erster eingang mit dem Adreßregister (A) und dessen zweiter Eingang mit dem Fehleradreßspeicher (-) verbunden ist und dessen Ausgang (KA) mit der redundanten Speicherzellenanordnung (E) verbunden ist und daß eine Sperreinrichtung (Sp) vorgesehen ist, mittels derer in Abhängigkeit vom Ausgangssignal (KA) des Komparators (IC) der Zugriff auf das Speicherfeld (s) sperrbar ist.3. A circuit according to claim 1 or 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t that a memory field (S) which can be controlled via a decoder (D) it is provided that a fault address memory (r) designed as an EEPROM can be seen is, in which the address of an addressable memory area of the memory field (S) can be saved, that an address register (A) in which the current Memory address can be temporarily stored and that with the decoder (D) and the error address memory (F) is connected, it is provided that a redundant memory cell arrangement (E) is provided, the number of memory cells of which is a memory area that can be addressed by itself of the memory field (S) corresponds to the fact that a comparator (K) is provided whose first input with the address register (A) and its second input with the error address memory (-) is connected and its output (KA) with the redundant memory cell arrangement (E) is connected and that a locking device (Sp) is provided by means of which depending on the output signal (KA) of the comparator (IC) the access to the Storage field (s) is lockable.
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