DE19604802C2 - Abbildungssystem und Verfahren zum Erzeugen einer Querschnittsabbildung eines Objekts - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine computerisierte Schicht­ bildaufnahme oder Laminographie und insbesondere auf Syste­ me, welche ein durchgehendes lineares Abtastverfahren für eine schnelle Untersuchung mit hoher Auflösung verwenden.

Schichtbildaufnahmetechniken werden häufig verwendet, um Querschnittsabbildungen ausgewählter Ebenen innerhalb von Objekten zu erzeugen. Die herkömmliche Schichtbildaufnahme benötigt eine koordinierte Bewegung beliebiger zwei oder drei Hauptkomponenten, die ein Schichtbildaufnahmesystem bilden, d. h. einer Strahlungsquelle, eines Objekts, das ge­ rade untersucht wird und eines Detektors. Die koordinierte Bewegung der zwei Komponenten kann in einem beliebigen einer Vielzahl von Mustern sein, einschließlich der folgenden, je­ doch nicht auf diese begrenzt: z. B. in einem linearen, einem kreisförmigen, einem elliptischen oder einem zufälligen Mu­ ster. Unabhängig davon, welches Muster einer koordinierten Bewegung ausgewählt ist, ist die Konfiguration der Quelle, des Objekts und des Detektors derart, daß ein beliebiger Punkt in der Objektebene immer auf den gleichen Punkt in der Bildebene projiziert wird, und daß ein beliebiger Punkt außerhalb der Objektebene auf eine Mehrzahl von Punkten in der Bildebene während eines Zyklus der Musterbewegung pro­ jiziert wird. Auf diese Art und Weise wird eine Quer­ schnittsabbildung der gewünschten Ebene innerhalb des Ob­ jekts auf dem Detektor gebildet. Die Abbildungen anderer Ebenen innerhalb des Objekts erfahren eine Bewegung bezüg­ lich des Detektors, wodurch ein verwischter Hintergrund auf dem Detektor erzeugt wird, auf den die scharfe Querschnitts­ abbildung der gewünschten Brennpunktebene innerhalb des Ob­ jekts gelegt wird. Obwohl ein beliebiges Muster einer koor­ dinierten Bewegung verwendet werden kann, werden im allgemeinen kreisförmige Muster bevorzugt, da sie leichter er­ zeugt werden können.

Das U.S. Patent Nr. 4,926,452 mit dem Titel "AUTOMATED LAMINOGRAPHY SYSTEM FOR INSPECTION OF ELECTRONICS", das an Baker u. a. erteilt worden ist, beschreibt ein durchgehend kreisförmig abgetastetes Schichtbildaufnahmesystem, bei dem das Objekt fest bleibt, während sich die Röntgenstrahlen­ quelle und der Detektor in einem koordinierten kreisförmigen Muster bewegen. Die sich bewegende Röntgenstrahlenquelle weist eine Mikrofokus-Röntgenstrahlenröhre auf, bei der ein Elektronenstrahl in einem kreisförmigen Abtastmuster auf ein Anodenziel abgelenkt wird. Die resultierende Bewegung der Röntgenstrahlenquelle ist mit einem rotierenden Röntgen­ strahlendetektor synchronisiert, der die Röntgenstrahlen­ schattenabbildung in eine optische Abbildung umwandelt, da­ mit sie betrachtet und in eine feste Videokamera integriert werden kann, wodurch eine Querschnittsabbildung des Objekts gebildet wird. Ein Computersystem steuert ein automatisier­ tes Positionierungssystem, das das Objekt, das untersucht wird, trägt, und bewegt aufeinanderfolgende interessierende Bereiche in das Blickfeld. Um eine hohe Bildqualität beizu­ behalten, steuert ein Computersystem ferner die Synchroni­ sation der Elektronenstrahlablenkung und die Drehung des op­ tischen Systems, wodurch Ungenauigkeiten der mechanischen Anordnungen des Systems ausgeglichen werden.

Schichtbildaufnahmen-Querschnittsabbildungen können ferner innerhalb des Datenspeichers eines Computers gebildet wer­ den, indem zwei oder mehrere einzelne Bilder, die durch ko­ ordiniertes Positionieren von zwei der drei Hauptkomponen­ ten, welche das Schichtbildaufnahmesystem aufweist, d. h., einer Quelle, eines Objekts und eines Detektors, kombiniert werden. Die Abbildungen werden innerhalb des Computerspei­ chers kombiniert, derart, daß ein beliebiger Punkt in der Objekt-Brennpunktebene in einer Abbildung immer mit demsel­ ben Punkt in der Objekt-Brennpunktebene einer anderen Abbil­ dung kombiniert wird, wobei diese andere Abbildung aus einer unterschiedlichen winkligen Ansicht des gleichen Objekts be­ steht. Wenn die einzelnen Ansichten von dem Detektor aufge­ nommen werden, der einen kreisförmigen Weg beschreibt, dann bildet die kombinierte Abbildung, die aus den einzelnen Ab­ bildungen gebildet ist, näherungsweise eine durchgehend kreisförmig abgetastete Abbildung (wie es in dem U.S. Patent Nr. 4,926,452 beschrieben ist, welches oben erörtert wurde), wenn die Anzahl einzelner Abbildungen sehr groß ist. Ein ma­ thematisches Verschieben der Pixelkombinationen der vielen einzelnen Abbildungen resultiert in der Veränderung der Po­ sition der Brennpunktebene in dem Objekt. Somit ist dieses Verfahren zum Erzeugen einer Querschnittsabbildung eines Ob­ jekts gegenüber Bewegungs- und Verwischungsverfahren vor­ teilhaft, da aus einem Satz von Abbildungen viele Schicht­ aufnahmen-Querschnittsabbildungen verschiedener Brennpunkt­ ebenen gebildet werden können. Diese Technik wurde als syn­ thetische Schichtbildaufnahme oder als computerisierte syn­ thetische Querschnittsabbildung bezeichnet.

Die Schichtbildaufnahmetechniken, die oben beschrieben wur­ den, werden gegenwärtig in einem breiten Bereich von An­ wendungen einschließlich der medizinischen und industriellen Röntgenstrahlenabbildung verwendet. Die Schichtbildaufnahme ist besonders zum Untersuchen von Objekten geeignet, welche verschiedene Schichten mit unterscheidbaren Merkmalen inner­ halb jeder Schicht aufweisen. Bestimmte frühere Schichtbild­ aufnahmesysteme, welche derartige Querschnittsabbildungen erzeugen, zeigen jedoch typischerweise Unzulänglichkeiten bei der Auflösung und/oder Untersuchungsgeschwindigkeit, weshalb sie selten verwendet werden. Diese Unzulänglichkei­ ten treten häufig aufgrund der Schwierigkeiten beim Errei­ chen einer koordinierten Hochgeschwindigkeitsbewegung der Quelle und des Detektors mit einem Genauigkeitsgrad auf, der ausreichend ist, um eine Querschnittsabbildung mit hoher Auflösung zu erzeugen.

Bei einem Schichtbildaufnahmesystem, welches ein festes Ob­ jekt betrachtet und welches ein Gesichtsfeld aufweist, das kleiner als das untersuchte Objekt ist, kann es notwendig sein, das Objekt innerhalb des Gesichtsfeldes herum zu be­ wegen, wodurch viele Schichtbildaufnahmen erzeugt werden, welche, wenn sie zusammengestückelt werden, eine Abbildung des gesamten Objekts bilden. Dies wird häufig durch Tragen des Objekts auf einem mechanischen Handhabungssystem, wie z. B. einem X, Y, Z-Positionierungstisch, erreicht. Der Tisch wird dann bewegt, um die gewünschten Abschnitte des Objekts in das Gesichtsfeld zu bringen. Eine Bewegung in der X- und der Y-Richtung positioniert den zu untersuchenden Bereich, während die Bewegung in der Z-Richtung das Objekt auf und nieder bewegt, um die Ebene innerhalb des Objekts auszuwäh­ len, in der die Querschnittsabbildung genommen werden soll. Während es dieses Verfahren effektiv ermöglicht, daß ver­ schiedene Bereiche und Ebenen des Objekts betrachtet werden können, existieren inhärente Begrenzungen, die der Geschwin­ digkeit und Genauigkeit derartiger mechanischer Bewegungen zugeordnet sind. Diese Begrenzungen wirken derart, daß sie die Zykluszeit wirksam erhöhen, wodurch die Raten reduziert werden, mit denen eine Untersuchung stattfinden kann. Ferner erzeugen diese mechanischen Bewegungen Schwingungen, welche dahin tendieren, die Systemauflösung und Genauigkeit zu re­ duzieren.

Das U.S. Patent Nr. 5,259,012 mit dem Titel "LAMINOGRAHY SYSTEM AND METHOD WITH ELECTROMAGNETICALLY DIRECTED MULTI­ PATH RADIATION SOURCE", das an Baker u. a. erteilt worden ist, beschreibt ein System, welches es ermöglicht, daß viele Positionen innerhalb eines Objekts ohne eine mechanische Bewegung des Objekts abgebildet werden. Das Objekt wird zwischen eine rotierende Röntgenstrahlenquelle und einen synchronisiert rotierenden Detektor gelegt. Eine Brennpunkt­ ebene innerhalb des Objekts wird auf dem Detektor abgebil­ det, derart, daß eine Querschnittsabbildung des Objekts erzeugt wird. Die Röntgenstrahlenquelle wird durch Ablenken eines Elektronenstrahls auf eine Zielanode erzeugt. Die Zielanode emittiert Röntgenstrahlen, wo die Elektroden auf das Ziel fallen. Der Elektronenstrahl wird durch eine Elektronenkanone erzeugt, welche X- und Y-Ablenkspulen zum Ab­ lenken des Elektronenstrahls in der X- und der Y-Richtung aufweist. Ablenkungsspannungssignale werden an die X- und an die Y-Ablenkspule angelegt und bewirken, daß die Röntgen­ strahlenquelle in einem kreisförmigen Spurenweg rotiert. Ei­ ne zusätzliche Gleichspannung, die an die X- oder an die Y-Ablenkungsspule angelegt wird, bewirkt, daß sich der kreisförmige Weg, den die Röntgenstrahlenquelle verfolgt, in der X- oder Y-Richtung um eine Strecke verschiebt, die der Größe der Gleichspannung proportional ist. Dies bewirkt ein anderes Gesichtsfeld, das abgebildet werden soll, welches in der X- oder in der Y-Richtung von der vorher abgebildeten Region verschoben ist. Veränderungen des Radius des Röntgen­ strahlenquellenwegs resultieren in einer Veränderung der Z-Höhe der abgebildeten Brennpunktebene. Dieses System löst viele Probleme früherer Schichtbildaufnahmesysteme beim Er­ zeugen von Querschnittsabbildungen mit hoher Auflösung und hoher Geschwindigkeit. Dieses System stellt eine Verbesse­ rung gegenüber dem dar, das in dem U.S. Patent Nr. 4,926,452 beschrieben ist, da es die Untersuchung von Objekten er­ laubt, die größer als das Gesichtsfeld sind, indem Quer­ schnittsabbildungen außerhalb der Drehachse der Quelle und des Detektors erzeugt werden, wodurch eine Hauptquelle der mechanischen Bewegung eliminiert wird. Zusätzlich wird die Auswahl der Brennpunktebene durch elektronische Größenein­ stellung des Durchmessers der kreisförmigen Abtastung er­ reicht, wodurch die mechanische Z-Bewegung von dem System, das in dem U.S. Patent Nr. 4,926,452 beschrieben ist, elimi­ niert wird. Das Verfahren zum Erzeugen von Querschnittsab­ bildungen, das in dem U.S. Patent Nr. 5,259,012 beschrieben ist, kann theoretisch doppelt so schnell laufen wie das System, das in dem U.S. Patent Nr. 4,926,452 beschrieben ist, da es nicht auf eine mechanische Bewegung warten muß. Es weist die gleichen Begrenzungen wie das System, das in dem U.S. Patent Nr. 4.926,452 beschrieben ist, bezüglich der Quellenleistung und Lichtfleckengrößenbegrenzungen auf. So­ mit stellt die Gesamtuntersuchungsgeschwindigkeit lediglich eine zwei- bis dreifache Verbesserung dar, während eine beträchtliche Komplexität an elektronischen Schaltungsanord­ nungen und Kalibrationsanstrengungen hinzugefügt werden. Während das System, das in dem U.S. Patent Nr. 5,259,012 beschrieben ist, zwar keinen X, Y, Z-Tisch benötigt, um das zu untersuchende Objekt zu positionieren, benötigt es immer noch eine sehr komplexe und große Röntgenstrahlenröhre, um es zu ermöglichen, daß das System arbeitet. Der Durchmesser der Röntgenstrahlenröhre muß etwas größer als die größte horizontale Abmessung des zu untersuchenden Objekts bei der Querschnittsabbildung sein. Andernfalls muß das Objekt oder der Detektor und die Röntgenstrahlenröhre in der X-Richtung und/oder der Y-Richtung bewegt werden, um das gesamte Objekt zu untersuchen. Ein weiterer Nachteil dieses Systems ist die Anforderung, daß das rotierende Detektorabbildungssystem auf einer schnellen Rotation einer mechanischen Anordnung bei 600 oder mehr Umdrehungen pro Minute (RPM; RPM = Revolution per Minute) aufbaut.

Das U.S. Patent Nr. 5,020,086 mit dem Titel "Microfocus X-Ray System", das an Peugeot erteilt worden ist, offenbart ein System zur Tomosynthese, bei dem ein Objekt durch einen Röntgenstrahl aus einer kreisförmigen Position auf einem Ziel abgetastet wird, die daraus resultiert, daß der Elek­ tronenstrahl durch geeignete Steuerungssignale von einer Strahlensteuerung, welche an die Ablenkspulen einer Mikro­ fokus-Röntgenstrahlenröhre angelegt werden, in einem Kreis abgetastet wird. Die Tomosynthese wird durch das bekannte Verfahren einer In-Register-Kombination einer Serie von di­ gitalen Röntgenstrahlenabbildungen erreicht, die durch Rönt­ genstrahlen erzeugt worden sind, welche aus verschiedenen Positionen austreten. Dies wird erreicht, indem eine Rönt­ genstrahlenquelle an vielen Punkten auf einem Kreis um eine Mittelachse positioniert werden. Dieses System eliminiert einiges an mechanischer Bewegung, die von dem System, das in dem U.S. Patent Nr. 4,926,452 beschrieben worden ist, benö­ tigt wird, derart, daß der Detektor nicht rotieren muß. Praktische Begrenzungen der Pixelgröße und Auflösung tendie­ ren jedoch dahin, das System von Peugeot auf Untersuchungen von Objekten mit kleinen Gesichtsfeldern begrenzen. Zusätz­ lich benötigt das System immer noch einen X, Y-Tisch, um das Objekt unter das Gesichtsfeld zu positionieren. Die Ge­ schwindigkeit eines kommerziellen Prototypen dieses Systems ist nicht wesentlich höher als bei dem System, das in dem U.S. Patent Nr. 5,259,012 beschrieben ist, dasselbe weist jedoch etwas niedrigere Herstellungskosten auf.

Obwohl das System, das in dem U.S. Patent Nr. 4,926,452 be­ schrieben ist, einen ordentlichen kommerziellen Erfolg auf­ wies, und obwohl ein bestimmtes kommerzielles Interesse an den beiden Systemen vorhanden ist, die in dem U.S. Patent Nr. 5,020,086 und in dem U.S. Patent Nr. 5,259,012 be­ schrieben sind, wünscht die Industrie immer noch ein Quer­ schnittuntersuchungssystem, welches bei einer noch höheren Untersuchungsgeschwindigkeit arbeitet, wohingegen es weniger als die existierenden industriellen Querschnittuntersu­ chungssysteme kosten soll. Wenn ein neues Querschnittsabbil­ dungssystem die Forderungen nach niedrigen Kosten und hoher Leistungsfähigkeit erfüllen könnte, würden die kommerziellen Anwendungen und die Verwendung im Vergleich zur herkömmli­ chen Technologie rapide anwachsen, wodurch der Nutzen für die Elektronikindustrie zur Schaltungsplatinenuntersuchung wesentlich erhöht sein würde.

Die US-A-4,064,440 betrifft ein Untersuchungsgerät für sich bewegende Objekte, welches Röntgen- oder Gamma-Strahlen ver­ wendet. Das Untersuchungsgerät umfaßt eine Strahlungsquelle und eine Mehrzahl von Detektoren. Über eine Abschirmung wird Strahlung von der Quelle nur durch ein Objekt zu den Detek­ toren geleitet.

Die GB 2 084 832 A betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung von Schnittbildern eines dreidimensionalen Objekts, die eine große Anzahl von Quellen in einer Strahlungsquellenebene um­ faßt, um beschränkte Strahlungsstrahlen zu bilden, welche sich schneiden und mit demselben Strahlquerschnitt in einer Bestrahlungsebene überlappen. Ferner ist ein Strahlungsbildumwandlungsgerät vorgesehen um Abbildungen zu empfangen, die aufgrund der Strahlen 4 erzeugt wurden.

G. Roziere et al. Halbleiterbildaufnehmer für die Röntgen­ technik, Elektronik 17/22, 8. 1986, S. 62 bis 66 beschreibt Halbleiterbildaufnehmer für die Röntgentechnik, welche aus einer Mehrzahl von photoempfindlichen Elementen gebildet sind, wobei jedes der Elemente mit einer röntgenstrahlen­ empfindlichen Beschichtung versehen ist.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Abbildungssystem und ein Verfahren zum Erzeugen einer Quer­ schnittsabbildung eines Objekts zu schaffen, um eine verbes­ serte, preisgünstigere und einfachere Querschnittsabbildung mit hoher Geschwindigkeit und Auflösung zu schaffen.

Diese Aufgabe wird durch ein Abbildungssystem gemäß Anspruch 1, durch ein Abbildungssystem gemäß Anspruch 2, durch ein Verfahren gemäß Anspruch 6 und durch ein Verfahren gemäß An­ spruch 7 gelöst.

Dementsprechend bestehen Vorteile der vor­ liegenden Erfindung darin, daß sie eine verbesserte, preis­ günstigere und einfachere Art und Weise schafft, um das Querschnittsabbilden mit hoher Geschwindigkeit und hoher Auflösung für die Untersuchung elektrischer Verbindungen zu erreichen, als es bei bekannten Systemen der Fall ist.

Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß die teuere und komplexe Röntgenstrahlenröhre vom abgetasteten Strahlentyp, die in den U.S. Patenten mit den Nummern 5,020,086 und 5,259,012 verwendet wird, vermieden wird und durch ein preisgünstiges Standard-Röntgenstrahlensystem ersetzen wird.

Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß der teuere X, Y-Positionierungstisch (U.S. Patent Nr. 5,020,086) oder der X, Y, Z-Tisch (U.S. Patent Nr. 5,259,012) durch ein preisgünstiges, hochzuverlässiges Einzelachsensystem mit durchgehender Bewegung ersetzt wird.

Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß die teuere und hochkomplexe Röntgenstrahlenröhre mit großem Durchmesser und das System, welche in dem U.S. Patent Nr. 5,259,012 verwendet wird, durch ein preisgünstiges Standard-Röntgenstrahlensystem ersetzt wird.

Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß die komplexen Drehdetektorsysteme, die in den U.S. Patenten mit den Nummern 4,926,452 und 5,259,012 offenbart sind, und der teuere Vakuumröhrendetektor mit großem Durchmesser, der in dem U.S. Patent Nr. 5,020,086 offenbart ist, durch herkömmliche, hochzuverlässige, massenproduzierte, preisgünstige Festkör­ per-Hochleistungsdetektoren vom linearen Linienabtasttyp ersetzt wird.

Die vorliegende Erfindung schafft ein wesentlich verbesser­ tes, computerisiertes Schichtbildaufnahmesystem oder auch Laminographiesystem, welches ein durchgehendes Abtastver­ fahren für eine Hochgeschwindigkeitsuntersuchung mit hoher Auflösung verwendet. Gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung benötigt das System keine Bewegung des Detektors, der Röntgenstrahlenröhre, der Lichtflecke der Röntgenstrahlen oder des Röntgenstrahls selbst. Die einzige Bewegung, die benötigt wird, ist eine sanfte lineare Bewe­ gung des abzubildenden Objekts. Die vorliegende Erfindung ist schneller als bekannte Schichtbildaufnahmesysteme für die Untersuchung elektrischer Verbindungen auf einer Schal­ tungsplatine.

Schaltungsplatinen werden mit einer Geschwindigkeit von etwa 7,62 mm (0,3 Zoll) pro Sekunde mit gleichmäßiger Geschwindigkeit in das Röntgenstrahlen-Schichtbildaufnahme-Abtastgerät einge­ speist. Die Schaltungsplatinen sind um etwa 17,78 mm (0,7 Zoll) voneinander getrennt. Die Vorrichtung, die die gleichförmige lineare Bewegung liefert, ist ein sich bewegender Kettenriemen, der die Schaltungsplatinen auf ihren zwei ge­ genüberliegenden parallelen Seiten trägt.

Das Detektorsystem umfaßt minimal zwei lineare Abtastdetek­ toren (vorzugsweise vier lineare Abtastdetektoren), die in einer winkligen Beziehung zu der Schaltungsplatine symme­ trisch angeordnet sind. Die linearen Abtastdetektoren sind derart befestigt, daß sie sehr nahe an der Unterseite der zu testenden Platine angeordnet sind. Jeder lineare Abtastde­ tektor weist eine dünne Auflage aus Röntgenstrahlen-empfind­ lichem Phosphor auf der Detektoroberfläche auf und erreicht eine Auflösung von etwa 16 lp/mm (lp/mm = Linienpaare pro Millimeter). Zusätzlich weist jeder lineare Abtastdetektor eine eingebaute elektronische Anordnung auf, um einen 8- bis 16-Bit-Datenstrom mit einer Digitalelektronik zu schaffen, die direkt mit einem Personalcomputer (PC) in schnittstel­ lenmäßiger Verbindung steht.

Die Röntgenstrahlenquelle umfaßt mindestens eine Quelle von Röntgenstrahlen (vorzugsweise zwei), die derart ausgerichtet sind, daß jede Röntgenstrahlenröhre zwei Fächerstrahlen aus Röntgenstrahlen abgibt. Die Röntgenstrahlenquellen sind be­ züglich der Schaltungsplatine befestigt, um den bevorzugten Schichtbildaufnahmewinkel zu schaffen und sie sind in dem bevorzugten Abstand von der Schaltungsplatine und den line­ aren Abtastdetektoren befestigt, daß die Kombination ihrer Lichtfleckgröße und des Platine-zu-Detektor-Abstands und die verfügbare Röntgenstrahlenleistung derart zusammenwirken, um eine Abbildung mit hoher Auflösung mit ausreichenden Licht­ pegeln auf dem Detektor zu schaffen.

Die bevorzugte Quelle ist eine Standard-Röntgenstrahlenröh­ re, die in der Lage ist, bei 125 Kilovolt (kV) mit einem Anodenstrom in dem Bereich von etwa 0,1 Milliampere (mA) bis 1,0 mA zu arbeiten. Wenn zwei Röhren verwendet werden, kön­ nen beide Röhren durch eine einzige Hochspannungs- Versorgung versorgt werden. Die bevorzugte Brennpunktgröße der Röntgenstrahlenröhre liegt in dem Bereich von etwa 100 µm bis 1000 µm im Durchmesser.

Die Daten von jedem linearen Abtastdetektor werden verwen­ det, um innerhalb einer Computerspeichers ein vollständiges Röntgenstrahlenbild der (21,59 cm × 30,48 cm)-Schaltungs­ platinen ((8,5 Zoll × 12 Zoll)-Schaltungsplatinen) zu erzeu­ gen. Bei einem Vier-Detektor-System beträgt die minimale Speicheranforderung etwa 260 Megabyte. Damit das System eine Schaltungsplatine analysieren kann, während eine andere Ab­ bildung einer zweiten Schaltungsplatine erfaßt wird, benö­ tigt es zusätzliche 260 Megabyte an Speicher. Somit werden insgesamt 520 Megabyte Speicher bei einem System benötigt, das vier lineare Abtastdetektoren aufweist und das einen Satz von vier Abbildungen erfaßt, während der vorher erfaßte Satz von vier Abbildungen gerade analysiert wird. Es wird bevorzugt, daß der Computerspeicher derart entworfen ist, daß er den Detektoren zum Bilderfassen, und dann einem Ab­ bildungsanalysecomputer zugeschaltet werden kann, um die Scheibenabbildung oder -Abbildungen zur Analyse zu erzeugen, obwohl diese variable Speicherzuschaltung kein Merkmal dar­ stellt.

Schichtbildaufnahmescheiben werden durch Kombinieren der vier getrennten Abbildungen durch Verschieben der Pixelposi­ tionen in X und Y erzeugt, damit sie einer spezifischen Brennpunktebene in dem Objekt entsprechen. Eine beliebige Anzahl von Brennpunktebenen kann durch dieses Verfahren aus einem einzigen Satz von vier Abbildungen erzeugt werden.

Die Schichtbildaufnahmeabbildungen werden dann auf eine her­ kömmliche Art und Weise analysiert, um Daten über die Quali­ tät der elektrischen Verbindung auf der Schaltungsplatine zu ergeben.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich­ nungen detaillierter erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines Schichtbildauf­ nahmesystems mit durchgehender linearer Abtastung gemäß der vorliegenden Erfindung.

Fig. 2 eine Ansicht von oben des Schichtbildaufnahmesy­ stems mit durchgehender linearer Abtastung von Fig. 1.

Fig. 3 eine Seitenansicht des Schichtbildaufnahmesystems mit durchgehender linearer Abtastung, das in den Fig. 1 und 2 gezeigt ist.

Fig. 4 eine Endansicht von dem Schaltungsglatinen-Ladungs­ ende des Schichtabbildungssystems mit durchgehender linearer Abtastung aus, das in den Fig. 1, 2 und 3 gezeigt ist.

Fig. 5 ein Testobjekt zum Demonstrieren des Schichtbild­ aufnahmeverfahrens.

Fig. 6a bis 6d herkömmliche Schattenbildabbildungen des Testobjekts, das in Fig. 5 gezeigt ist, die in je­ dem der vier linearen Röntgenstrahlendetektoren ge­ bildet werden.

Fig. 7 eine Querschnitts-Schichtbildaufnahmeabbildung des Testobjekts in einer Brennpunktebene, die aus der Kombination der herkömmlichen Schichtbildaufnahme­ abbildungen, die in den Fig. 6a bis 6d gezeigt sind, abgeleitet ist.

Fig. 8 eine perspektivische Ansicht eines alternativen Ausführungsbeispiels eines Schichtbildaufnahmesy­ stems mit durchgehender linearer Abtastung gemäß der vorliegenden Erfindung.

In den Fig. 1, 2, 3 und 4 sind eine perspektivische Ansicht, eine Ansicht von oben, eine Seitenansicht bzw. eine Endan­ sicht eines Schichtbildaufnahmesystems mit durchgehender linearer Abtastung gemäß der vorliegenden Erfindung gezeigt. Unter Bezugnahme auf die Fig. 1, 2, 3 und 4 sind eine erste Röntgenstrahlenquelle 10 und eine zweite Röntgenstrahlen­ quelle 20 über und entlang gegenüberliegender Seiten eines Fördersystems 30 positioniert. Die erste Röntgenstrahlen­ quelle 10 umfaßt einen vorderen Kollimator 32 und einen hin­ teren Kollimator 34. Auf ähnliche Weise umfaßt die zweite Röntgenstrahlenquelle 20 einen vorderen Kollimator 36 und einen hinteren Kollimator 38. Ein erster linearer Röntgen­ strahlendetektor 40 ist neben einem zweiten linearen Rönt­ genstrahlendetektor 50 auf der rechten Seite (in der posi­ tiven X-Richtung) einer Mittellinie (nicht gezeigt) entlang der Y-Richtung positioniert, welche durch Verbinden der er­ sten Röntgenstrahlenquelle 10 mit der zweiten Röntgenstrah­ lenquelle 20 definiert ist. Ein dritter linearer Röntgen­ strahlendetektor 60 ist neben einem vierten linearen Rönt­ genstrahlendetektor 70 auf der linken Seite (in der negati­ ven X-Richtung) der Mittellinie, die die erste und die zwei­ te Röntgenstrahlenquelle 10, 20 verbindet, positioniert. Der erste, der zweite, der dritte und der vierte lineare Rönt­ genstrahlendetektor 40, 50, 60, 70 sind unter dem Fördersy­ stem 30 positioniert. Das Fördersystem 30 umfaßt eine erste Antriebskettenvorrichtung 80 und eine Führungsschiene 82 auf einer ersten Seite und eine zweite Kettenantriebsvorrichtung 84 und eine zweite Führungsschiene 86 auf einer zweiten Sei­ te. Ein synchronisierter Antriebsmotor 90 ist mit der ersten und mit der zweiten Kettenantriebsvorrichtung 80, 84 verbun­ den. Der synchronisierte Antriebsmotor 90 ist mit einem Steuerungscomputer und einem Abbildungsanalysesystem 100 durch Motorversorgungs- und Steuerungsleitungen 104 verbun­ den. Der Steuerungscomputer und das Abbildungsanalysesystem 100 sind ferner mittels Detektorversorgungs-, Steuerungs- und Signal-Leitungen 106 mit dem ersten, dem zweiten, dem dritten und dem vierten linearen Röntgenstrahlendetektor 40, 50, 60, 70 verbunden.

Im Betrieb sind Schaltungsplatinen 120a, 120b, 120c auf den Kettenantriebsvorrichtungen 80, 84 positioniert und diesel­ ben werden durch die Führungsschienen 82, 86 durch das För­ dersystem 30 geführt. Zwecks des Beschreibens des Betriebs der Erfindung werden Schaltungsplatinen mit einer Größe von 21,59 cm × 30,48 cm (8,5 Zoll × 12 Zoll) angenommen. Es kön­ nen ebenfalls andere Größen verwendet werden, wobei diese Abmessungen in keiner Weise irgendeine Begrenzung darstel­ len. Die Schaltungsplatinen 120a, 120b, 120c werden durch die Antriebskettenvorrichtungen 80, 84 mit einer konstanten Geschwindigkeit von etwa 7,62 mm/s (0,3 Zoll/s) durch den synchronisierten Antriebsmotor 90 sanft vorgeschoben. Die Schaltungsplatinen 120a, 120b, 120c sind voneinander um etwa 1,778 cm (0,7 Zoll) getrennt. Der synchronisierte Antriebs­ motor 90 wird durch den Steuerungs- und Abbildungsanalyse­ computer 100 über die Motorversorgungs- und Steuerungslei­ tungen 104 betrieben. Fig. 1 und 2 zeigen folgenden Zustand: a) die Untersuchung der Schaltungsplatine 120c ist vollen­ det; b) die Untersuchung der Schaltungsplatine 120b wird ge­ rade durchgeführt; und c) die Schaltungsplatine 120a wurde gerade auf das Fördersystem 30 geladen, wobei dieselbe un­ mittelbar nach der Vollendung der Untersuchung der Schal­ tungsplatine 120b untersucht werden wird.

Röntgenstrahlenerzeugung und -Ausrichtung

Die Röntgenstrahlen aus den Quellen 10 und 20 werden durch Kollimato­ ren 32, 34, 36, 38 ausgerichtet (d. h. kollimiert), um die Winkelausbreitung der Strahlung aus der ersten und zweiten Röntgenstrahlenquelle 10, 20 in sowohl der X-Richtung als auch der Y-Richtung zu begrenzen, derart, daß jede Rönt­ genstrahlenquelle 10, 20 zwei Fächerstrahlen von Röntgen­ strahlen erzeugt. Die erste Röntgenstrahlenquelle 10 gibt Fächerstrahlen von Röntgenstrahlen 130, 132 ab, während die zweite Röntgenstrahlenquelle 20 Fächerstrahlen von Röntgenstrahlen 134, 136 abgibt. Die Röntgenstrahlenquellen 10, 20 sind auf eine herkömmliche Art und Weise in einer Position befestigt, welche geeignete Schichtbildaufnahmewinkel zum Erzeugen von Querschnittsabbildungen der Schaltungsplatine 120b schaffen. Die Röntgenstrahlenquellen 10, 20 sind bei­ spielsweise, wie es in den Fig. 1 und 4 zu sehen ist, in Winkeln von etwa ±45° bezüglich der Normalen der Schal­ tungsplatine 120b (der Z-Richtung) positioniert. Zusätzlich sind die Röntgenstrahlenquellen 10, 20 in einem Abstand von der Schaltungsplatine 120b und von den linearen Röntgen­ strahlendetektoren 40, 50, 60, 70 positioniert, derart, daß die Kombination folgender Größen zusammenwirkt, um ausrei­ chende Strahlungspegel an den linearen Röntgenstrahlendetektoren 40, 50, 60, 70 zu schaffen, um Abbildungen mit hoher Auflö­ sung zu schaffen: 1) die Brennpunktlichtfleckgrößen der Röntgenstrahlenquellen 10, 20; 2) der Abstand zwischen der Schaltungsplatine 120b und den linearen Röntgenstrahlende­ tektoren 40, 50, 60, 70 (typischerweise 2,54 cm (1 Zoll) oder weniger); und 3) die Leistungsausgabe der Röntgenstrah­ lenquellen 10, 20.

Die bevorzugten Röntgenstrahlenquellen 10, 20 sind industri­ elle Standard-Röntgenstrahlenröhren, die bei Spannungen bis zu 120 Kilovolt mit einem Anodenstrom im Bereich von etwa 0,1 mA bis 1,0 mA betreibbar sind. Die erste und die zweite Röntgenstrahlenröhre 10, 20 können beide durch eine einzige Hochspannungs-Versorgung (nicht gezeigt) versorgt werden. Die bevorzugte Brennpunktlichtfleckgröße der Rönt­ genstrahlen 10, 20 liegt im Bereich von 100 µm bis 1000 µm im Durchmesser.

Die Schaltungsplatine 120b, die gerade untersucht wird, wird von Röntgenstrahlen bestrahlt, die von den Röntgenstrahlen­ quellen 10, 20 erzeugt werden. Die Winkelausbreitung der Röntgenstrahlen, die von der ersten Röntgenstrahlenquelle 10 emittiert werden, werden: 1) in der X-Richtung durch den vorderen Kollimator 32 in dem schmalen Fächerstrahl von Röntgenstrahlen 130 ausgerichtet, welcher konfiguriert ist, um nur einen ersten kleinen Abschnitt der Schaltungsplatine 120b und eine vordere Oberfläche des ersten linearen Rönt­ genstrahlendetektor 40 zu beleuchten, nachdem er durch den beleuchteten ersten kleinen Abschnitt der Schaltungsplatine 120b durchgelaufen ist; und 2) in der X-Richtung durch den hinteren Kollimator 34 in den schmalen Fächerstrahl von Röntgenstrahlen 132 ausgerichtet, welcher konfiguriert ist, um nur einem dritten kleinen Abschnitt einer Schaltungspla­ tine 120b und die vordere Oberfläche des dritten linearen Röntgenstrahlendetektors 60 zu beleuchten, nachdem er durch den dritten schmalen Abschnitt der Schaltungsplatine 120b durchgelaufen ist. Auf ähnliche Weise werden Röntgenstrah­ len, die von der zweiten Röntgenstrahlenquelle 20 emittiert werden: 1) in der X-Richtung durch den vorderen Kollimator 36 in den schmalen Fächerstrahl von Röntgenstrahlen 134 aus­ gerichtet, der konfiguriert ist, um nur einen zweiten klei­ nen Abschnitt der Schaltungsplatine 120b und die vordere Oberfläche des zweiten linearen Röntgenstrahlendetektors 50 zu beleuchten, nachdem er durch den zweiten kleinen Ab­ schnitt der Schaltungsplatine 120b durchgelaufen ist; und 2) in der X-Richtung durch den hinteren Kollimator 38 in den schmalen Fächerstrahl von Röntgenstrahlen 136 ausgerichtet, welcher konfiguriert ist, um nur einen vierten kleinen Ab­ schnitt der Schaltungsplatine 120b und die vordere Oberflä­ che des vierten linearen Röntgenstrahlendetektors 70 zu be­ leuchten, nachdem er durch den vierten kleinen Abschnitt der Schaltungsplatine 120b durchgelaufen ist. Somit empfängt der erste lineare Röntgenstrahlendetektor 40 nur Röntgenstrah­ len, die von der ersten Röntgenstrahlenquelle 10 erzeugt werden und durch den vorderen Kollimator 32 emittiert wer­ den. Der zweite lineare Röntgenstrahlendetektor 50 empfängt nur Röntgenstrahlen, die von der zweiten Röntgenstrahlen­ quelle 20 erzeugt und durch den vorderen Kollimator 36 emit­ tiert werden. Der dritte lineare Röntgenstrahlendetektor 60 empfängt nur Röntgenstrahlen, die von der ersten Röntgen­ strahlenquelle 10 erzeugt und durch den hinteren Kollimator 34 emittiert werden. Der vierte lineare Röntgenstrahlende­ tektor 70 empfängt nur Röntgenstrahlen, die von der zweiten Röntgenstrahlenquelle 20 erzeugt und durch den hinteren Kol­ limator 38 emittiert werden. Zusätzlich wird, wie es am be­ sten in den Fig. 2 und 4 dargestellt ist, jeder der schmalen Fächerstrahlen von Röntgenstrahlen 130, 132, 134, 136 in der Y-Richtung durch seinen jeweiligen Kollimator 32, 34, 36, 38 auf eine Art und Weise ausgerichtet, welche es verhindert, daß sich Röntgenstrahlen über die horizontale Ausdehnung (Y-Richtung) seines jeweiligen linearen Röntgenstrahlende­ tektors 40, 50, 60, 70 hinaus erstrecken.

Röntgenstrahlenerfassung, Abbildungsbildung und Datenhandhabung

Das Fördersystem 30 transportiert die zu testende Schal­ tungsplatine 120b durch die vier ausgerichteten Fächer­ strahlen von Röntgenstrahlen 130, 132, 134, 136. Röntgen­ strahlen, welche durch die Schaltungsplatine 120b laufen, werden von den linearen Röntgenstrahlendetektoren 40, 50, 60, 70 erfaßt. Jeder lineare Röntgenstrahlendetektor 40, 50, 60, 70 wandelt das Muster von Röntgenstrahlen, die durch die zu testende Schaltungsplatine 120b gelaufen sind, in ein elektrisches Signal um, das über die Detektorversorgungs-, Steuerungs- und Signalleitungen 106 zu dem Steuerungscom­ puter und zu dem Abbildungsanalysesystem 100 zum Verarbeiten gesendet wird.

Die linearen Röntgenstrahlendetektoren 40, 50, 60, 70 sind bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel etwa 21,59 cm (8,5 Zoll) breit und weisen eine horizontale Auflösung (X-Rich­ tung) von etwa 16 bis 20 Linienpaaren pro Millimeter (lp/mm) auf. Dies entspricht etwa 400 bis 500 Linienpaaren pro Zoll (157,5 bis 197 Linienpaaren pro Zentimeter) oder 800 bis 1000 Punkten pro Zoll in der Terminologie des Desktopab­ tastens. Jeder der linearen Röntgenstrahlendetektoren 40, 50, 60, 70 weist eine eingebaute Digitalisierungselektronik zum Schaffen eines digitalisierten Datenstroms von 8 Bit bis 16 Bit auf, wobei sie direkt mit dem Steuerungscomputer und dem Abbildungsanalysesystem 100 in schnittstellenmäßiger Verbindung stehen. Die linearen Röntgenstrahlendetektoren 40, 50, 60, 70 sind aus Standard-Linienabtastungsdetektoren gebildet, die bei Desktop-Publishing-Abtastgeräten verwendet werden. Jeder lineare Röntgenstrahlendetektor 40, 50, 60, 70 weist eine dünne Beschichtung aus Röntgenstrahlen-empfindli­ chem Phosphor auf, die direkt auf der Vorderseite des licht­ empfindlichen Bereichs des Detektors abgelegt ist. Typi­ scherweise ist der Röntgenstrahlen-empfindliche Phosphor Gadolinium-Oxysulfid, wobei jedoch ebenfalls weitere Ma­ terialien verwendet werden können, wie z. B. Cadmium-Wolfra­ mat. Die Daten aus jedem linearen Röntgenstrahlendetektor 40, 50, 60, 70 erzeugen eine vollständige Röntgenstrahlen- Schattenbildabbildung der zu testenden (21,59 cm × 30,48 cm)-Schaltungsplatine 120b, während sie über den jeweiligen Detektor läuft. (Siehe die Fig. 6a bis 6d).

Die linearen Röntgenstrahlendetektoren 40, 50, 60, 70 sind Ladungs-gekoppelten Bauelementen (CCD; CCD = Charge Coupled Devices) ähnlich, die allgemein in Videokameras zu finden sind. Die Ladungs-gekoppelten Bauelemente, die in Videoka­ meras verwendet werden, sind typischerweise integrierte Festkörper-Schaltungschips mit einem zweidimensionalen Array von diskreten lichtempfindlichen Elementen, die auf densel­ ben gebildet sind. Die linearen Röntgenstrahlendetektoren 40, 50, 60, 70 sind lineare oder eindimensionale Arrays von diskreten lichtempfindlichen Elementen, die auf einem einzi­ gen Chip gebildet sind. Lineare Arrays werden üblicherweise in Taschenabtastgeräten bei Flughafensicherheitsstationen verwendet, um Röntgenstrahlen-Schattenbildabbildungen mit niedriger Auflösung einer Tasche zu erzeugen.

Ein geeigneter linearer Röntgenstrahlendetektor, der als der RLS-Detektor (RLS = Radiographic Line Scan = radiographische Linienabtastung) bekannt ist, ist kommerziell bei Bio-Ima­ ging Research, Inc. in Lincolnshire, Illinois erhältlich. Ein Artikel von Charles R. Smith und Joseph W. Erker, mit dem Titel "Low cost, high resolution x-ray detector system for digital radiography and computed tomography", SPIE X-Ray Detector Physics and Applications II, Bd. 2009, 1993, S. 31-35, umfaßt eine detaillierte Beschreibung dieses Bauele­ ments. Ein weiterer geeigneter linearer Detektor, der als der IL-C8-6000 Turbosensor bekannt ist, ist bei Dalsa in Waterloo, Canada, erhältlich. Ein weiterer Hersteller von linearen Arrays ist EG & G Reticon, welcher ein Diodenarray der Modellnummer RL2048S herstellt, welches ein monolithi­ sches, selbstabtastendes lineares Photodiodenarray mit 2048 Photodiodensensorelementen mit einer 25 Mikrometer Mitte- zu-Mitte-Beabstandung ist. Dieses Bauelement besteht aus einer Reihe von Photodioden, wobei jede einen zugeordneten Speicherkondensator aufweist, auf dem der Photostrom inte­ griert wird, und einen Multiplexschalter zum Auslesen durch ein unabhängiges integriertes Schieberegister aufweist. So­ mit existieren mehrere Bezugsquellen für kommerziell verfüg­ bare lineare Arraybauelemente, welche zur Verwendung bei der vorliegenden Erfindung angepaßt werden können.

Während es bevorzugt wird, daß jeder der 21,59 cm (8,5 Zoll) langen linearen Röntgenstrahlendetektoren 40, 50, 60, 70 ei­ ne einzige Einheit ist, wird es für einen Fachmann offen­ sichtlich sein, daß kürzere Einheiten kombiniert werden kön­ nen, um jede beliebige gewünschte Gesamtlänge zu erhalten. Das heißt, daß zwei der oben erwähnten IL-C8-6000-Turbosen­ soren, von denen jeder 15,24 cm (6 Zoll) lang ist, etwas versetzt befestigt werden können, derart, daß das Ende des einen mit dem Ende des anderen übereinstimmt, wodurch ein Erfassungsbereich für eine 30,48 cm (12 Zoll) breite Schal­ tungsplatine geschaffen ist. Alternativ kann ein Linsensy­ stem oder eine Glasfaseroptik-Reduziereinrichtung zwischen einem Röntgenstrahlen-Szintillationsbildschirm der gewünsch­ ten Länge und dem linearen Sensor einer kürzeren Länge posi­ tioniert sein. Die auf dem Bildschirm erzeugte Abbildung wird dann durch das Linsensystem auf den linearen Sensor mit einer kürzeren Länge fokussiert oder durch eine geeignete reduzierende Glasfaseroptik auf den linearen Sensor gerich­ tet.

Die Daten von den linearen Röntgenstrahlendetektoren 40, 50, 60, 70 werden in einer Speicherbank innerhalb des Steue­ rungscomputers und des Abbildungsanalysesystems 100 gespei­ chert. Für ein System mit einer Auflösung von 800 DPI (DPI = Dots Per Inch = Punkte pro Zoll) und einer Breite von 21,59 cm (8,5 Zoll) existieren 6800 Pixel entlang der Breite (X- Richtung) von 21,59 cm (8,5 Zoll), welche der Breite der zu testenden Schaltungsplatine 120b entspricht. Bei einer Auf­ lösung von 800 DPI entspricht die Länge von 30,48 cm (12 Zoll) der zu testenden Schaltungsplatine 120b 9600 Pixeln entlang der Längenrichtung (Y-Richtung). Somit muß die Spei­ cherbank, die verwendet wird, um die vollständige Abbildung der 21,59 cm × 30,48 cm (8,5 Zoll × 12 Zoll) - Schaltungs­ platine 120b zu speichern, eine Speicherkapazität von 6800 × 9600 × 8 Bits oder etwa 65 Megabyte aufweisen. Da vier li­ neare Röntgenstrahlendetektoren 40, 50, 60, 70 vorhanden sind, ist ein Gesamtspeicher von 260 Megabyte notwendig. Wenn das System Abbildungen für eine Schaltungsplatine 120c analysieren soll, während das System die Abbildungen der nächsten Schaltungsplatine 120b erfaßt, muß die Speicherbank innerhalb des Steuerungscomputers und des Bildanalysesystems 100 verdoppelt werden, um eine Gesamtgröße von 520 Megabyte aufzuweisen. Die Speicherbank ist derart entworfen, daß eine erste Hälfte der Speicherbank mit den linearen Röntgenstrah­ lendetektoren 40, 50, 60, 70 verbunden ist, während ein Bild gerade erfaßt wird, während eine zweite Hälfte der Speicher­ bank, welche die Abbildungen für die vorherige Schaltungs­ platine enthält, mit dem Bildanalyseabschnitt des Steue­ rungscomputers und des Bildanalysesystems 100 verbunden ist. Wenn die Abbildungserfassung in der ersten Hälfte der Spei­ cherbank und die Abbildungsanalyse der Daten in der zweiten Hälfte der Speicherbank vollendet sind, wird die erste Hälf­ te der Speicherbank von den linearen Röntgenstrahlendetek­ toren 40, 50, 60, 70 abgetrennt und mit dem Abbildungsana­ lyseabschnitt des Steuerungscomputers und Bildanalysesystems 100 verbunden, und die zweite Hälfte der Speicher­ bank wird von dem Bildanalyseabschnitt des Steuerungscomputers und Bildanalysesystems 100 abgetrennt und mit den linearen Röntgenstrahlendetektoren 40, 50, 60, 70 verbunden.

Schichtbildaufnahme-Querschnittsabbildungsbildung

Wie vorher beschrieben wurde, erzeugen der erste, der zwei­ te, der dritte und der vierte lineare Röntgenstrahlendetek­ tor 40, 50, 60, 70 jeder für sich eine herkömmliche Röntgen­ strahl-Schattenbildabbildung des gerade untersuchten Ob­ jekts, das beispielsweise eine Schaltungsplatine 120b ist. Eine Schichtbildaufnahme-Querschnittsabbildung des Objekts wird aus den vier resultierenden Schattenbildabbildungen auf eine herkömmliche Art und Weise gebildet. Diese Technik ist detailliert in dem U.S. Patent Nr. 3,818,220 mit dem Titel "Variable Depth Laminagraphy", das an Richards erteilt wor­ den ist, und in dem U.S. Patent Nr. 3,499,146, mit dem Titel "VARIABLE DEPTH LAMINAGRAPHY WITH MEANS FOR HIGHLIGHTING THE DETAIL OF SELECTED LAMINA", beschrieben, das an Richards er­ teilt worden ist.

Fig. 5 zeigt ein Testobjekt 140 zum Darstellen der Technik des Erzeugens einer Schichtbildaufnahme-Querschnittsabbil­ dung einer ausgewählten Ebene innerhalb des Testobjekts 140 aus vier Schattenbildabbildungen 160, 260, 360, 460 (siehe die Fig. 6a bis 6d). Das Testobjekt 140 enthält Muster in der Gestalt eines Pfeils 142, eines Kreises 144 und eines Kreuzes 146, die innerhalb des Testobjekts 140 in drei ver­ schiedenen Ebenen 152, 154 bzw. 156 eingebettet sind.

In den Fig. 6a bis 6d sind die Schattenbildabbildungen ge­ zeigt, die von den vier linearen Röntgenstrahlendetektoren 40, 50, 60, 70 erzeugt werden. Das Testobjekt 140 ist auf dem Fördersystem 30 ausgerichtet, wie es in den Fig. 1 bis 4 gezeigt ist, wobei der Pfeil 142 in der negativen X-Richtung zeigt, d. h. zu der Schaltungsplatine 120a hin. Fig. 6b zeigt eine Schattenbildabbildung 160 des Testobjekts 140, welche durch den ersten linearen Röntgenstrahlendetektor 40 erzeugt worden ist. Der Pfeil 142 bildet eine Abb. 162a (a = arrow = Pfeil), der Kreis 144 bildet eine Abb. 162c (c = circle = Kreis) und das Kreuz 146 bildet eine Abb. 162x (x = cross = Kreuz). Fig. 6a zeigt eine Schattenbildab­ bildung 260 des Testobjekts 140, das durch den zweiten li­ nearen Röntgenstrahlendetektor 50 erzeugt worden ist. Der Pfeil 142 bildet eine Abb. 262a, der Kreis 144 bildet eine Abb. 262c und das Kreuz 146 bildet eine Abb. 262x. Fig. 6d zeigt eine Schattenbildabbildung 360 des Test­ objekts 140, das durch den dritten linearen Röntgenstrahlen­ detektor 60 erzeugt worden ist. Der Pfeil 142 bildet eine Abb. 362a, der Kreis 144 bildet eine Abb. 362c und das Kreuz 146 bildet eine Abb. 362x. Fig. 6c zeigt eine Schattenbildabbildung 460 des Testobjekts 140, die durch den vierten linearen Röntgenstrahlendetektor 70 erzeugt worden ist. Der Pfeil 142 bildet eine Abb. 462a, der Kreis 144 bildet eine Abb. 462c und das Kreuz 146 bildet eine Abb. 462x.

Die Bildung einer Schichtbildaufnahme-Querschnittsabbildung einer ausgewählten Ebene innerhalb des Testobjekts 140 aus den vier Schattenbildabbildungen 160, 260, 360, 460 wird durch Zusammenfügen der vier Schattenbildabbildungen 160, 260, 360, 460 auf eine Art und Weise erreicht, welche die Abbildungen in einer ausgewählten Ebene auf Kosten der Ab­ bildungen in den anderen Ebenen verstärkt. Die Art und Wei­ se, auf die die vier Schattenbildabbildungen 160, 260, 360, 460 zusammengefügt werden, um eine Schichtbildaufnahme-Quer­ schnittsabbildung 500 des Pfeils 142 in der Ebene 152 zu bilden, ist in Fig. 7 gezeigt. Wie es in Fig. 7 gezeigt ist, wird jede der vier Schattenbildabbildungen 160, 260, 360, 460 um einen für jede jeweilige Abbildung in der X-Richtung und/oder der Y-Richtung geeigneten Abstand verschoben, wobei der Abstand bewirkt, daß die vier Abbildungen des Pfeils 162a, 262a, 362a, 462a sich im wesentlichen überlappen, wo­ durch eine verstärkte Abbildung des Pfeils 562 in der Schichtbildaufnahme-Querschnittsabbildung 500 erzeugt wird. Der Bereich, der die verstärkte Abbildung des Pfeils 562 umgibt, besteht aus den vier Abbildungen des Kreises 162c, 262c, 362, 462c und den vier Abbildungen des Kreuzes 162x, 262x, 362x, 462x. Da die Abbildungen des Kreises und des Kreuzes über verschiedene Positionen verstreut sind, ver­ stärken sie sich nicht untereinander, wie es dagegen die überlappenden Abbildungen des Pfeils 162a, 262a, 362a, 462a tun. Auf eine ähnliche Art und Weise können die vier Schat­ tenbildabbildungen 160, 260, 360, 460 zusammengefügt werden, um Schichtbildaufnahme-Querschnittsabbildungen des Kreises 144 in der Ebene 154 oder des Kreuzes 146 in der Ebene 156 oder irgendeiner anderen vorher ausgewählten Ebene innerhalb des Testobjekts 140 zu bilden.

Das oben beschriebene bevorzugte Ausführungsbeispiel be­ schreibt eine Vorrichtung mit durchgehender Abtastung und ein Verfahren zur Hochgeschwindigkeitsuntersuchung mit hoher Auflösung, welches keine Bewegung des Detektors, der Rönt­ genstrahlenröhre, des Lichtflecks der Röntgenstrahlen oder des Röntgenstrahls selbst benötigt. Die einzige benötigte Bewegung ist eine sanfte lineare Bewegung des abzubildenden Testobjekts. Ein Fachmann wird jedoch erkennen, daß ein äquivalentes System ein System ist, bei dem das Testobjekt, das abgebildet wird, fest bleibt und der Röntgenstrahlende­ tektor (die Röntgenstrahlendetektoren), die Röntgenstrahlen­ röhre (die Röntgenstrahlenröhren) und der Strahl (die Strah­ len) der Röntgenstrahlen eine sanfte lineare Bewegung bezüg­ lich des abzubildenden festen Testobjekts ausführen, wodurch Schattenbildabbildungen erzeugt werden, welche zusammenge­ fügt werden können, um Schichtbildaufnahme-Querschnittsab­ bildungen einer beliebigen vorher ausgewählten Ebene inner­ halb des festen Testobjekts zu bilden, wie vorher beschrie­ ben wurde. Fig. 8 zeigt ein Beispiel eines derartigen äqui­ valenten Systems, bei dem das abzubildende Testobjekt fest bleibt und die Röntgenstrahlenröhre (die Röntgenstrahlenröh­ ren) und der Röntgenstrahlendetektor (die Röntgenstrahlende­ tektoren) eine sanfte lineare Bewegung bezüglich des festen abzubildenden Testobjekts ausführen. In Fig. 8 werden die gleichen Bezugszeichen für identische oder entsprechende Elemente der Ausführungsbeispiele, die in den vorherigen Fi­ guren gezeigt sind, verwendet.

Wie es in Fig. 8 gezeigt ist, sind die erste Röntgenstrah­ lenquelle 10 und die zweite Röntgenstrahlenquelle 20 auf einem oberen Arm 602 einer C-förmigen Kanalträgereinheit 604 befestigt, derart, daß sie über und entlang gegenüberlie­ gender Seiten der Schaltungsplatinen 120 positioniert sind, welche auf einer Schaltungsplatinen-Trägereinheit 608 ange­ ordnet sind. Die Schaltungsplatinen-Trägereinheit 608 weist Öffnungen 610 auf, über denen die Schaltungsplatinen 120 an­ geordnet sind, derart, daß die Röntgenstrahlen 130, 132, 134, 136 auf ihren Wegen von den Röntgenstrahlenquellen 10, 20 zu den Röntgenstrahlendetektoren 40, 50, 60, 70 nur durch die Schaltungsplatinen 120 laufen, d. h. nicht durch die Schaltungsplatinen-Trägereinheit 608. Die erste Röntgen­ strahlenquelle 10 umfaßt den vorderen Kollimator 32 und den hinteren Kollimator 34. Auf ähnliche Weise umfaßt die zweite Röntgenstrahlenquelle 20 den vorderen Kollimator 36 und den hinteren Kollimator 38 (in Fig. 8 nicht gezeigt). Der erste, der zweite, der dritte und der vierte lineare Röntgenstrah­ lendetektor 40, 50, 60, 70 sind auf einem unteren Arm 606 der C-förmigen Kanalträgereinheit 604 befestigt. Der erste lineare Röntgenstrahlendetektor 40 ist neben dem zweiten linearen Röntgenstrahlendetektor 50 auf der rechten Seite (in der positiven X-Richtung) einer Mittellinie (nicht ge­ zeigt) entlang der Y-Richtung, die durch Verbinden der er­ sten Röntgenstrahlenquelle 10 mit der zweiten Röntgenstrah­ lenquelle 20 definiert ist, befestigt. Der dritte lineare Röntgenstrahlendetektor 60 ist neben dem vierten linearen Röntgenstrahlendetektor 70 auf der linken Seite (in der ne­ gativen X-Richtung) der Mittellinie positioniert, die die erste und die zweite Röntgenstrahlenquelle 10, 20 verbindet. Der erste, der zweite, der dritte und der vierte lineare Röntgenstrahlendetektor 40, 50, 60, 70 sind somit unter den Schaltungsplatinen 120, unter den Schaltungsplatinen-Trä­ gereinheitsöffnungen 610 und unter der Schaltungsplatinenträgereinheit 608 positioniert. Die C-förmige Kanalträgereinheit 604 ist auf Gleitschienen 612 befestigt, wodurch es ermöglicht wird, daß sich die C-förmige Kanal­ trägereinheit 604 zusammen mit der befestigten ersten und der befestigten zweiten Röntgenstrahlenquelle 10, 20 und dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrah­ lendetektor 40, 50, 60, 70 als eine Einheit in der positiven und der negativen X-Richtung bewegen. Der synchronisierte Antriebsmotor 9 (Fig. 1) steuert die Bewegung der C-förmigen Kanalträgereinheit 604 auf den Gleitschienen 612. Wie vorher erörtert wurde, ist der synchronisierte Antriebsmotor 90 mit dem Steuerungscomputer und Bildanalysesystem 100 (Fig. 1) verbunden. Der Steuerungscomputer und das Bildanalysesystem 100 sind ferner mit dem ersten, dem zweiten, dem dritten und dem vierten linearen Röntgenstrahlendetektor 40, 50, 60, 70 verbunden.

Im Betrieb arbeitet das Ausführungsbeispiel von Fig. 8 auf dieselbe Art und Weise wie das Ausführungsbeispiel von Fig. 1, das vorher beschrieben wurde, wobei jedoch folgende Aus­ nahme besteht. Bei dem Ausführungsbeispiel in Fig. 1 wird eine lineare Abtastung der Schaltungsplatinen durch Halten der ersten und der zweiten Röntgenstrahlenquelle 10, 20 und des ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgen­ strahlendetektors 40, 50, 60, 70 in einer befestigten oder festen Position und durch Bewegen der Schaltungsplatinen 120a, 120b, 120c durch die Röntgenstrahlen 130, 132, 134, 136 auf dem Fördersystem 30 durchgeführt. Bei dem Ausfüh­ rungsbeispiel in Fig. 8 wird eine lineare Abtastung der Schaltungsplatinen durch die Röntgenstrahlen 130, 132, 134, 136 durch Halten der Schaltungsplatinen 120a, 120b, 120c in einer befestigten oder festen Position auf der Schaltungs­ platinen-Trägereinheit 608 und durch Bewegen der C-förmigen Kanalträgereinheit 604 mit der befestigten ersten und zwei­ ten Röntgenstrahlenquelle 10, 20 und dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrahlendetektor 40, 50, 60, 70 entlang den Schaltungsplatinen 120 über die Gleit­ schienen 612 durchgeführt. Ein Fachmann wird erkennen, daß die linearen Abtastungen, die somit durch die Ausführungsbeispiele von Fig. 1 und Fig. 8 erzeugt werden, äquivalent sind.

Claims (9)

1. Abbildungssystem, gekennzeichnet durch
eine erste Röntgenstrahlenquelle (10), die auf einer ersten Seite einer longitudinalen Achse (X) des Ab­ bildungssystems positioniert ist;
einen ersten linearen Röntgenstrahlendetektor (60), der positioniert ist, um Röntgenstrahlen (132) aufzufangen, die von der ersten Röntgenstrahlenquelle (10) in einem ersten Winkel emittiert werden;
einen zweiten linearen Röntgenstrahlendetektor (40), der positioniert ist, um Röntgenstrahlen (130) aufzufangen, die von der ersten Röntgenstrahlenquelle (10) in einem zweiten Winkel emittiert werden;
eine zweite Röntgenstrahlenquelle (20), die bezüglich der ersten Röntgenstrahlenquelle (10) auf einer zweiten Seite der longitudinalen Achse (X) des Abbildungssy­ stems gegenüber der ersten Seite der longitudinalen Achse (X) des Abbildungssystems positioniert ist;
einen dritten linearen Röntgenstrahlendetektor (70), der positioniert ist, um Röntgenstrahlen (136) aufzu­ fangen, die von der zweiten Röntgenstrahlenquelle (20) in einem dritten Winkel emittiert werden;
einen vierten linearen Röntgenstrahlendetektor (50), der positioniert ist, um Röntgenstrahlen (134) aufzu­ fangen, die von der zweiten Röntgenstrahlenquelle (20) in einem vierten Winkel emittiert werden;
ein lineares Bewegungssystem (30), das zwischen der er­ sten und zweiten Röntgenstrahlenquelle (10, 20) und dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgen­ strahlendetektor (60, 40, 70, 50) positioniert ist, wo­ bei das lineare Bewegungssystem (30) ferner einen Trä­ ger (80, 84) für ein Testobjekt (140) aufweist, wobei das lineare Bewegungssystem (30) konfiguriert ist, um das Testobjekt (140) entlang der longitudinalen Achse (X) des Abbildungssystems durch die Röntgenstrahlen (130, 132, 134, 136) zu transportieren, die in dem er­ sten Winkel, in dem zweiten Winkel, in dem dritten Win­ kel und in dem vierten Winkel emittiert werden, und, nachdem sie durch das Testobjekt (140) gelaufen sind, von dem ersten linearen Röntgenstrahlendetektor (60), dem zweiten linearen Röntgenstrahlendetektor (40), dem dritten linearen Röntgenstrahlendetektor (70) bzw. dem vierten linearen Röntgenstrahlendetektor (50) erfaßt werden, wodurch erste, zweite, dritte und vierte Schat­ tenbildabbildungen (360, 160, 460, 260) des Testobjekts (140) gebildet werden; und
ein Steuerungssystem (100), das mit dem linearen Bewe­ gungssystem (30) und dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrahlendetektor (60, 40, 70, 50) verbunden ist, wobei das Steuerungssystem (100) das lineare Bewegungssystem (30) und die Bildung der er­ sten, zweiten, dritten und vierten Schattenbildabbil­ dungen (360, 160, 460, 260) regelt, um eine Schicht­ bildaufnahme-Querschnittsabbildung (500) einer Schnitt­ ebene (152, 154, 156) des Testobjekts (140) zu erzeu­ gen.

2. Abbildungssystem, gekennzeichnet durch
eine erste Röntgenstrahlenquelle (10), die auf einer ersten Seite einer longitudinalen Achse (X) des Ab­ bildungssystems positioniert ist;
eine zweite Röntgenstrahlenquelle (20), die auf einer zweiten Seite der longitudinalen Achse (X) des Abbildungssystems positioniert ist;
einen ersten linearen Röntgenstrahlendetektor (60), der positioniert ist, um Röntgenstrahlen (132) aufzufangen, die von der ersten Röntgenstrahlenquelle (10) in einem ersten Winkel emittiert werden;
einen zweiten linearen Röntgenstrahlendetektor (40), der positioniert ist, um Röntgenstrahlen (130), die von der ersten Röntgenstrahlenquelle (10) in einem zweiten Winkel emittiert werden, aufzufangen;
einen dritten linearen Röntgenstrahlendetektor (70), der positioniert ist, um Röntgenstrahlen (136) aufzu­ fangen, die von der zweiten Röntgenstrahlenquelle (20) in einem dritten Winkel emittiert werden;
einen vierten linearen Röntgenstrahlendetektor (50), der positioniert ist, um Röntgenstrahlen (134) aufzu­ fangen, die von der zweiten Röntgenstrahlenquelle (20) in einem vierten Winkel emittiert werden;
ein lineares Bewegungssystem (604, 612), an dem die er­ ste und die zweite Röntgenstrahlenquelle (10, 20) und der erste, zweite, dritte und vierte lineare Röntgen­ strahlendetektor (60, 40, 70, 50) befestigt sind, wobei das lineare Bewegungssystem (604, 612) ferner einen Weg aufweist, durch den ein stationäres Testobjekt (140) durchläuft, wobei das lineare Bewegungssystem (604, 612) konfiguriert ist, um die erste und die zweite Röntgenstrahlenquelle (10, 20) und den ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrahlendetektor (60, 40, 70, 50) an dem stationären Testobjekt (140) derart vorbei zu bewegen, daß die Röntgenstrahlen, die in dem ersten, zweiten, dritten und vierten Winkel (132, 130, 136, 134) emittiert werden, von dem ersten, zweiten, dritten bzw. vierten linearen Röntgenstrahlen­ detektor (60, 40, 70, 50) erfaßt werden, nachdem sie durch das stationäre Testobjekt (140) gelaufen sind, wodurch eine erste Schattenbildabbildung (360), eine zweite Schattenbildabbildung (160), eine dritte Schat­ tenbildabbildung (460) und eine vierte Schattenbildab­ bildung (260) des stationären Testobjekts (140) gebil­ det wird; und
ein Steuerungssystem (100), das mit dem linearen Bewe­ gungssystem (604, 612) und dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrahlendetektor (60, 40, 70, 50) verbunden ist, wobei das Steuerungssystem (100) das lineare Bewegungssystem (602, 612) und das Bilden der ersten, zweiten, dritten und vierten Schattenbild­ abbildungen (360, 160, 460, 260) steuert, um eine Schichtbildaufnahme-Querschnittsabbildung (500) einer Schnittebene (152, 154, 156) des stationären Test­ objekts (140) zu erzeugen.

3. Abbildungssystem gemäß Anspruch 1 oder 2, das ferner folgende Merkmale aufweist:
einen ersten Kollimator (34), der bezüglich der ersten Röntgenstrahlenquelle (10) derart positioniert ist, daß der erste Kollimator (34) konfiguriert ist, um Röntgen­ strahlen (132), die von der ersten Röntgenstrahlenquel­ le (10) emittiert werden, zu dem ersten linearen Rönt­ genstrahlendetektor (60) zu richten, und um Röntgen­ strahlen, die sich in anderen Richtungen ausbreiten, zu blockieren;
einen zweiten Kollimator (32), der bezüglich der ersten Röntgenstrahlenquelle (10) derart positioniert ist, daß der zweite Kollimator (32) konfiguriert ist, um Rönt­ genstrahlen (130), die von der ersten Röntgenstrahlen­ quelle (10) emittiert werden, zu dem zweiten linearen Röntgenstrahlendetektor (40) zu richten und um Röntgen­ strahlen, die sich in anderen Richtungen ausbreiten, zu blockieren;
einen dritten Kollimator (38), der bezüglich der zwei­ ten Röntgenstrahlenquelle (20) derart positioniert ist, daß der dritte Kollimator (38) konfiguriert ist, um Röntgenstrahlen (136), die von der zweiten Röntgen­ strahlenquelle (20) emittiert werden, zu dem dritten linearen Röntgenstrahlendetektor (70) zu richten, und um Strahlen, die sich in anderen Richtungen ausbreiten, zu blockieren; und
einen vierten Kollimator (36), der bezüglich der zwei­ ten Röntgenstrahlenquelle (20) derart positioniert ist, daß der vierte Kollimator (36) konfiguriert ist, um Röntgenstrahlen (134), die von der zweiten Röntgen­ strahlenquelle (20) emittiert werden, zu dem vierten linearen Röntgenstrahlendetektor (50) zu richten, und um Röntgenstrahlen, die sich in anderen Richtungen aus­ breiten, zu blockieren.

4. Abbildungssystem gemäß Anspruch 1 oder 2, bei dem der erste, zweite, dritte und vierte lineare Röntgenstrahlendetektor (60, 40, 70, 50) ferner durch monolithische, selbst-abtastende, lineare Photodioden­ arrays gekennzeichnet sind.

5. Abbildungssystem gemäß Anspruch 4, ferner gekennzeich­ net durch ein Röntgenstrahlen-Szintillationsmaterial, das auf dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Photo­ diodenarray-Röntgenstrahlendetektor aufgebracht ist.

6. Verfahren zum Erzeugen einer Querschnittsabbildung (500) eines Objekts (140), gekennzeichnet durch folgende Schritte:
Bereitstellen einer ersten Quelle von Röntgenstrahlen (10), die auf einer ersten Seite einer longitudinalen Achse (X) eines linearen Bewegungssystems (30) posi­ tioniert ist;
Erfassen von Röntgenstrahlen (132), die von der ersten Quelle von Röntgenstrahlen (10) erzeugt werden, mit ei­ nem ersten linearen Röntgenstrahlendetektor (60), nach­ dem die Röntgenstrahlen (132) aus einer ersten Winkel­ ausrichtung auf das Objekt (140) aufgetroffen sind und dasselbe durchdrungen haben;
Erfassen von Röntgenstrahlen (130), die von der ersten Quelle von Röntgenstrahlen (10) erzeugt werden, mit ei­ nem zweiten linearen Röntgenstrahlendetektor (40), nachdem die Röntgenstrahlen (130) aus einer zweiten Winkelausrichtung auf das Objekt (140) aufgetroffen sind und dasselbe durchdrungen haben;
Bereitstellen einer zweiten Quelle von Röntgenstrahlen (20), die bezüglich der ersten Röntgenstrahlenquelle (10) auf einer zweiten Seite der longitudinalen Achse (X) des linearen Bewegungssystems (30) positioniert ist;
Erfassen von Röntgenstrahlen (136), die durch die zwei­ te Quelle von Röntgenstrahlen (20) erzeugt werden, mit einem dritten Röntgenstrahlendetektor (70), nachdem die Röntgenstrahlen (136) aus einer dritten Winkelausrich­ tung auf das Objekt (140) aufgetroffen sind und das­ selbe durchdrungen haben;
Erfassen von Röntgenstrahlen (134), die durch die zwei­ te Quelle von Röntgenstrahlen (20) erzeugt werden, mit einem vierten linearen Röntgenstrahlendetektor (50), nachdem die Röntgenstrahlen (134) aus einer vierten Winkelausrichtung auf das Objekt (140) aufgetroffen sind und dasselbe durchdrungen haben;
Bewegen des Objekts (140) zwischen der ersten und zwei­ ten Quelle von Röntgenstrahlen (10, 20) und dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrahlen­ detektor (60, 40, 70, 50) entlang eines im wesentlichen linearen Wegs, der im wesentlichen parallel zu der longitudinalen Achse (X) des linearen Bewegungssystems (30) ist;
Erzeugen einer ersten Röntgenstrahlen-Schattenbildab­ bildung (360) des Objekts (140) mit den Röntgenstrah­ len, die von dem ersten linearen Röntgenstrahlendetek­ tor (60) erfaßt werden, während das Objekt (140) den im wesentlichen linearen Weg zwischen der ersten Quelle von Röntgenstrahlen (10) und dem ersten linearen Rönt­ genstrahlendetektor (60) durchquert;
Erzeugen einer zweiten Röntgenstrahlen-Schattenbildab­ bildung (160) des Objekts (140) mit den Röntgenstrah­ len, die von dem zweiten linearen Röntgenstrahlendetek­ tor (40) erfaßt werden, während das Objekt (140) den im wesentlichen linearen Weg zwischen der ersten Quelle von Röntgenstrahlen (10) und dem zweiten linearen Rönt­ genstrahlendetektor (40) durchquert;
Erzeugen einer dritten Röntgenstrahlen-Schattenbildab­ bildung (460) des Objekts (140) mit den Röntgenstrah­ len, die von dem dritten linearen Röntgenstrahlendetek­ tor (70) erfaßt werden, während das Objekt (140) den im wesentlichen linearen Weg zwischen der zweiten Quelle von Röntgenstrahlen (20) und dem dritten linearen Rönt­ genstrahlendetektor (70) durchquert;
Erzeugen einer vierten Röntgenstrahlen-Schattenbildab­ bildung (260) des Objekts (140) mit den Röntgenstrah­ len, die von dem vierten linearen Röntgenstrahlendetek­ tor (50) erfaßt werden, während das Objekt (140) den im wesentlichen linearen Weg zwischen der zweiten Quelle von Röntgenstrahlen (20) und dem vierten linearen Röntgenstrahlendetektor (50) durchquert; und
Kombinieren der ersten, der zweiten, der dritten und der vierten Röntgenstrahlen-Schattenbildabbildung (360, 160, 460, 260) des Objekts (140), um eine Querschnitts­ abbildung (500) des Objekts (140) zu bilden.

7. Verfahren zum Erzeugen einer Querschnittsabbildung (500) eines stationären Objekts (140) gekennzeichnet durch folgende Schritte:
Bereitstellen einer ersten Quelle von Röntgenstrahlen (10), die auf einer ersten Seite einer longitudinalen Achse (X) eines linearen Bewegungssystems (604, 612) po­ sitioniert ist;
Erfassen von Röntgenstrahlen (132), die von der ersten Quelle von Röntgenstrahlen (10) erzeugt werden, mit ei­ nem ersten linearen Röntgenstrahlendetektor (60), nach­ dem die Röntgenstrahlen (132) aus einer ersten Winkel­ ausrichtung auf das stationäre Objekt (140) aufgetrof­ fen sind und dasselbe durchdrungen haben;
Erfassen von Röntgenstrahlen (130), die von der ersten Quelle von Röntgenstrahlen (10) erzeugt werden, mit ei­ nem zweiten linearen Röntgenstrahlendetektor (40), nachdem die Röntgenstrahlen (130) aus einer zweiten Winkelausrichtung auf das stationäre Objekt (140) auf­ getroffen sind und dasselbe durchdrungen haben;
Bereitstellen einer zweiten Quelle von Röntgenstrahlen (20), die auf einer zweiten Seite der longitudinalen Achse (X) des linearen Bewegungssystems (604, 612) posi­ tioniert ist;
Erfassen von Röntgenstrahlen (136), die durch die zwei­ te Quelle von Röntgenstrahlen (20) erzeugt werden, mit einem dritten Röntgenstrahlendetektor (70), nachdem die Röntgenstrahlen (136) aus einer dritten Winkelausrich­ tung auf das Objekt (140) aufgetroffen sind und dassel­ be durchdrungen haben;
Erfassen von Röntgenstrahlen (134), die durch die zwei­ te Quelle von Röntgenstrahlen (20) erzeugt werden, mit einem vierten linearen Röntgenstrahlendetektor (50), nachdem die Röntgenstrahlen (134) aus einer vierten Winkelausrichtung auf das Objekt (140) aufgetroffen sind und dasselbe durchdrungen haben;
Bewegen der ersten und der zweiten Quelle von Röntgen­ strahlen (10, 20) und des ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrahlendetektors (60, 40, 70, 50) entlang eines im wesentlichen linearen Wegs an dem stationären Objekt (140) vorbei, derart, daß die Rönt­ genstrahlen (132, 130, 136, 134) der ersten und der zweiten Quelle von Röntgenstrahlen (10, 20) das sta­ tionäre Objekt (140) durchdringen und von dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrahlen­ detektor (60, 40) erfaßt werden;
Erzeugen einer ersten Röntgenstrahlen-Schattenbildab­ bildung (360) des stationären Objekts (140) mit den Röntgenstrahlen, die von dem ersten linearen Röntgen­ strahlendetektor (60) erfaßt werden, während der erste lineare Röntgenstrahlendetektor (60) und die erste Quelle von Röntgenstrahlen (10) den im wesentlichen li­ nearen Weg an dem stationären Objekt (140) vorbei durchqueren;
Erzeugen einer zweiten Röntgenstrahlen-Schattenbildab­ bildung (160) des stationären Objekts (140) mit den Röntgenstrahlen, die von dem zweiten linearen Röntgen­ strahlendetektor (40) erfaßt werden, während der zweite lineare Röntgenstrahlendetektor (40) und die erste Quelle von Röntgenstrahlen (10) den im wesentlichen li­ nearen Weg an dem stationären Objekt (140) vorbei durchqueren;
Erzeugen einer dritten Röntgenstrahlen-Schattenbildab­ bildung (460) des Objekts (140) mit den Röntgenstrah­ len, die von dem dritten linearen Röntgenstrahlendetek­ tor (70) erfaßt werden, während der dritte lineare Röntgenstrahlendetektor (70) und die zweite Quelle von Röntgenstrahlen (20) den im wesentlichen linearen Weg an dem stationären Objekt (140) vorbei durchqueren;
Erzeugen einer vierten Röntgenstrahlen-Schattenbildab­ bildung (260) des Objekts (140) mit den Röntgenstrah­ len, die von dem vierten linearen Röntgenstrahlendetek­ tor (50) erfaßt werden, während der vierte lineare Röntgenstrahlendetektor (50) und die zweite Quelle von Röntgenstrahlen (20) den im wesentlichen linearen Weg an dem stationären Objekt (140) vorbei durchqueren; und
Kombinieren der ersten, der zweiten, der dritten und der vierten Röntgenstrahlen-Schattenbildabbildung (360, 160, 460, 260) des stationären Objekts (140), um eine Querschnittsabbildung (500) des stationären Objekts (140) zu bilden.

8. Verfahren gemäß Anspruch 6 oder 7, das ferner durch folgende Schritte gekennzeichnet ist:
Ausrichten der ersten Quelle von Röntgenstrahlen (10) mit einem ersten Kollimator (34), der konfiguriert ist, um Röntgenstrahlen (132), die von der ersten Quelle von Röntgenstrahlen (10) emittiert werden, zu dem ersten linearen Röntgenstrahlendetektor (60) zu richten, und um Röntgenstrahlen, die sich in anderen Richtungen aus­ breiten, zu blockieren;
Ausrichten der ersten Quelle von Röntgenstrahlen (10) mit einem zweiten Kollimator (32), der konfiguriert ist, um Röntgenstrahlen (130), die von der ersten Quelle von Röntgenstrahlen (10) emittiert werden, zu dem zweiten linearen Röntgenstrahlendetektor (40) zu rich­ ten, und um Röntgenstrahlen, die sich in anderen Rich­ tungen ausbreiten, zu blockieren;
Ausrichten der zweiten Quelle von Röntgenstrahlen (20) mit einem dritten Kollimator (38), der konfiguriert ist, um Röntgenstrahlen (136), die von der zweiten Quelle von Röntgenstrahlen (20) emittiert werden, zu dem dritten linearen Röntgenstrahlendetektor (70) zu richten, und um Röntgenstrahlen, die sich in anderen Richtungen ausbreiten, zu blockieren; und
Ausrichten der zweiten Quelle von Röntgenstrahlen (20) mit einem vierten Kollimator (36) der konfiguriert ist, um Röntgenstrahlen (134), die von der zweiten Quelle von Röntgenstrahlen (20) emittiert werden, zu dem vier­ ten linearen Röntgenstrahlendetektor (50) zu richten, und um Röntgenstrahlen, die sich in anderen Richtungen ausbreiten, zu blockieren.

9. Verfahren gemäß Anspruch 6 oder 7, bei dem die Schritte des Erfassens von Röntgenstrahlen mit dem ersten, zweiten, dritten und vierten linearen Röntgenstrahlendetektor (60, 40, 70, 50) ferner den Schritt des Bereitstellens von Röntgenstrahlen-empfind­ lichen, monolithischen, selbst-abtastenden, linearen Photodiodenarrays aufweisen.