DE102018111552B3 - Device for testing the degree of separation of a filter for its quality assurance - Google Patents

Device for testing the degree of separation of a filter for its quality assurance Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft Einrichtungen zur Prüfung des Abscheidegrades eines Filters zu dessen Qualitätssicherung.Die Einrichtungen eignen sich insbesondere zur Qualitätssicherung jedes hergestellten Filters. Dazu weist die Einrichtung- eine Einrichtung zur Prüfluftaufbereitung und Aerosoleinleitung,- eine Probenahme zur Bestimmung der Rohgaskonzentration der das Aerosol enthaltenden Prüfluft mit einem ersten Partikelzähler,- einen rohgasseitigen Adapter zur Filterankopplung,- den zu prüfenden Filter,- einen reingasseitigen Adapter zur Filterankopplung,- eine Einrichtung zur Zuführung von partikelfreiem Gas,- parallel geschaltete zweite Partikelzähler zur Messung der Partikel im Reingas und- eine Einrichtung zur Erzeugung des Volumenstromes auf, die nacheinander im Volumenstrom angeordnet sind.Weiterhin umfasst die Einrichtung Durchflussmesser zur Bestimmung des Volumenstroms durch die zweiten Partikelzähler, so dass die Summe des Volumenstroms durch die zweiten Partikelzähler gleich oder größer des nominellen Volumenstromes des Filters ist. Eine Differenz ist durch Zuführung von partikelfreiem Gas am Eingang der Partikelzähler zuspeisbar.The invention relates to devices for testing the degree of separation of a filter for its quality assurance. The devices are particularly suitable for quality assurance of each filter produced. For this purpose, the device comprises a device for test air preparation and aerosol introduction, a sampling for determining the raw gas concentration of the aerosol-containing test air with a first particle counter, a raw-gas-side adapter for filter coupling, the filter to be tested, a pure-gas adapter for filter coupling, a device for supplying particle-free gas, - parallel second particle counter for measuring the particles in the clean gas and- a device for generating the volume flow, which are arranged sequentially in the volume flow.Furthermore, the device comprises flow meter for determining the volume flow through the second particle counter, such that the sum of the volume flow through the second particle counter is equal to or greater than the nominal volume flow of the filter. A difference can be added by supplying particle-free gas to the inlet of the particle counter.

Description

Die Erfindung betrifft Einrichtungen zur Prüfung des Abscheidegrades eines Filters zu dessen Qualitätssicherung.The invention relates to devices for testing the degree of separation of a filter for its quality assurance.

Filter sind in der industriellen Technik essentielle Bauteile. Ein wichtiges Einsatzgebiet ist die Abscheidung fester oder flüssiger Partikel aus einem Gasstrom. Das Prozessziel der Partikelabscheidung kann aus einer potentiellen Schadwirkung von Partikeln auf ein Produkt einerseits und auf die Umwelt und den Menschen andererseits motiviert sein. Beispiele für die erstere Anwendung sind die Herstellung von Halbleitererzeugnissen oder empfindlichen feinmechanischen Baugruppen, für die zweite Anwendung der Umgang mit partikelförmigen radioaktiven Stoffen oder biologisch gefährlichen Mikroorganismen.Filters are essential components in industrial engineering. An important field of application is the separation of solid or liquid particles from a gas stream. The process objective of particle separation may be motivated by a potential harmful effect of particles on a product on the one hand, and on the environment and on the other hand. Examples of the former application are the production of semiconductor products or sensitive fine mechanical assemblies, for the second application, the handling of particulate radioactive substances or biologically hazardous microorganisms.

Bekannterweise besteht eine Filterprüfeinrichtung aus den Komponenten Prüfluftaufbereitung, Hinzugabe des Prüfaerosols, Probenahme zur Bestimmung der Rohgaskonzentration, zu prüfender Filter, der Probenahme für die Reingaskonzentration und einer Einrichtung zur Erzeugung des Prüfvolumenstromes.As is known, a filter testing device consists of the components test air preparation, addition of the test aerosol, sampling for determining the raw gas concentration, filter to be tested, sampling for the clean gas concentration and a device for generating the test volume flow.

Die Druckschrift DE 20 2012 101 230 U1 beinhaltet eine Einrichtung zur Qualitätsprüfung von hocheffizienten Partikelfiltern für die Luft von Rein- und Reinsträumen. Ein wesentlicher Anteil der Taktzeit wird durch das Ein- und Ausbringen des Prüflings in die Prüfeinrichtung beansprucht, insbesondere dann, wenn aufgrund eines vertretbaren Kostenrahmens dieser Vorgang manuell durchgeführt wird. Die Partikelfilter nacheinander in die Einrichtung und damit in den Aerosolstrom einzubringen, wird bei der Einrichtung zur Qualitätsprüfung teilweise aufgehoben. Die Prüfung sowie das Ein- und Ausbringen des Prüflings in die Einrichtung wird zeitlich parallel realisiert. Dazu sind Kammern für jeweils einen Partikelfilter als Prüfling parallel zueinander angeordnet. Mittels Schaltventilen können diese wahlweise in den Aerosolstrom eingeschleift werden.The publication DE 20 2012 101 230 U1 includes a facility for quality inspection of high-efficiency particulate filters for the air of clean and clean rooms. A significant proportion of the cycle time is claimed by the insertion and removal of the test specimen in the test device, especially if, due to a reasonable cost, this process is carried out manually. Introducing the particulate filters one after the other into the device and thus into the aerosol stream is partially eliminated in the device for quality testing. The test as well as the insertion and removal of the test object in the device is realized in parallel. For this purpose, chambers for each particle filter as a test object are arranged parallel to each other. By means of switching valves, these can optionally be looped into the aerosol stream.

Eine Adaptierung von Filterkassetten ist beispielsweise durch die Druckschrift DE 100 11 940 A1 als Vorrichtung zur Prüfung von Reinstraumfiltern bekannt. Um Zeit und Aufwand beim Wechseln der Filterkassetten zu verringern, ist zur Aufnahme und umfangsseitigen Abdichtung der Filterkassette ein aus vier Wänden bestehender pyramidenförmiger Trichter vorgesehen.An adaptation of filter cartridges is for example by the document DE 100 11 940 A1 known as a device for testing clean room filters. In order to reduce time and effort when changing the filter cartridges, a four-walled pyramidal funnel is provided for receiving and circumferentially sealing the filter cartridge.

Die Druckschrift „Wikipedia, Die freie Enzyklopädie. Bearbeitungsstand: 05. August 2016, URL: https://de.wikipedia.org/wiki/Abscheidegrad“ beinhaltet eine Definition des Abscheidegrades, der in der Verfahrenstechnik die Wirksamkeit eines Trennverfahrens beschreibt. Dazu ist dieser das Verhältnis der in einem System abgeschiedenen zu der in das System eingetretenen Menge eines Stoffes oder der jeweiligen Konzentrationen.The publication "Wikipedia, The Free Encyclopedia. Processing status: 05. August 2016, URL: https://de.wikipedia.org/wiki/Decision level "contains a definition of the degree of separation, which describes the effectiveness of a separation process in process engineering. This is the ratio of the deposited in a system to the occurred in the system amount of a substance or the respective concentrations.

Die Druckschrift DE 42 15 783 A1 offenbart ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Feststellen der Filtrationswirkung von Filtern zur Filtration von Luft, Gasen oder Flüssigkeiten an Füll- und Verschließmaschinen oder dergleichen, insbesondere bei der Sterilluftaufbereitung. In ein Sterilluftsystem ist dabei ein Filtertestsystem integriert, welches einen Aerosolerzeuger und ein Partikelmessgerät aufweist, wobei die eine Seite des Filters mit einem Prüfaerosol beaufschlagt und auf der anderen Seite des Filters eine Partikelmessung im austretenden Luftstrom vorgenommen wird. Das Filtertestsystem besitzt nur einen Partikelzähler auf der Reinseite des Filters. Bei der Prüfung des Filters gelangt Prüfaerosol über die Unreinseite des Filters und den Filter auf die Reinseite und damit zum Partikelzähler. Im umgekehrten Betrieb gelangt das Prüfaerosol auf die Reinseite mit dem Partikelzähler. Ein Verhältnismessung von Partikeln auf der Unreinseite und der Reinseite ist nicht vorgesehen.The publication DE 42 15 783 A1 discloses a method and apparatus for detecting the filtration effect of filters for filtration of air, gases or liquids on filling and closing machines or the like, in particular in sterile air conditioning. In a sterile air system, a filter test system is integrated, which has an aerosol generator and a particle measuring device, wherein the one side of the filter acted upon by a test aerosol and on the other side of the filter, a particle measurement is performed in the exiting air flow. The filter test system has only one particle counter on the clean side of the filter. When testing the filter, test aerosol reaches the clean side via the impure side of the filter and the filter and thus to the particle counter. In reverse operation, the test aerosol reaches the clean side with the particle counter. A ratio measurement of particles on the impure and the clean side is not provided.

Durch die Druckschrift DE 20 2012 101 230 U1 ist eine Einrichtung zur Qualitätsprüfung von hocheffizienten Partikelfiltern für die Luft von Rein- und Reinsträumen bekannt. Die Einrichtung besitzt eine Vorrichtung zur Probenahmeumschaltung in Verbindung mit einem Partikelzählgerät. Um das Verhältnis von zugeführten und nach dem Filter abgeführten Partikeln zu ermitteln, ist eine Umschaltung der Probenahme notwendig.Through the publication DE 20 2012 101 230 U1 is a device for quality testing of highly efficient particulate filters for the air of clean and clean rooms known. The device has a device for sampling switching in conjunction with a particle counter. In order to determine the ratio of supplied and after the filter discharged particles, a switchover of the sampling is necessary.

Die Druckschrift US 7 758 664 B2 betrifft ein Sicherheitsbehältergehäuse mit integrierten Dämpfern. Das Gehäuse beinhaltet einen Filter und eine nachgeordnete Sonde mit einem Partikelzähler.The publication US 7,758,664 B2 relates to a containment housing with integrated dampers. The housing includes a filter and a downstream probe with a particle counter.

Der im Patentanspruch 1 angegebenen Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zur Prüfung des Abscheidegrades eines Filters so zu schaffen, dass diese sich zur Qualitätssicherung jedes hergestellten Filters eignet.The specified in claim 1 invention has for its object to provide a device for testing the degree of separation of a filter so that it is suitable for quality assurance of each filter produced.

Diese Aufgabe wird mit den im Patentanspruch 1 aufgeführten Merkmalen gelöst.This object is achieved with the features listed in claim 1.

Die Einrichtungen zur Prüfung des Abscheidegrades eines Filters zu dessen Qualitätssicherung zeichnen sich insbesondere dadurch aus, dass diese sich zur Qualitätssicherung jedes hergestellten Filters eignen.The facilities for testing the degree of separation of a filter for its quality assurance are characterized in particular by the fact that they are suitable for the quality assurance of each filter produced.

Dazu weist die Einrichtung

  • - eine Einrichtung zur Prüfluftaufbereitung und Aerosoleinleitung,
  • - eine Probenahme zur Bestimmung der Rohgaskonzentration der das Aerosol enthaltenden Prüfluft mit einem ersten Partikelzähler,
  • - einen rohgasseitigen Adapter zur Filterankopplung,
  • - den zu prüfenden Filter,
  • - einen reingasseitigen Adapter zur Filterankopplung,
  • - eine Einrichtung zur Zuführung von partikelfreiem Gas,
  • - parallel geschaltete zweite Partikelzähler zur Messung der Partikel im Reingas und
  • - eine Einrichtung zur Erzeugung des Volumenstromes auf,
die nacheinander im Volumenstrom angeordnet sind.For this purpose, the device
  • - a device for test air preparation and aerosol introduction,
  • a sampling for determining the raw gas concentration of the aerosol-containing test air with a first particle counter,
  • a raw gas side adapter for filter coupling,
  • - the filter to be tested,
  • a pure-gas adapter for filter coupling,
  • a device for supplying particle-free gas,
  • - Parallel connected second particle counter for measuring the particles in the clean gas and
  • a device for generating the volume flow,
which are arranged one after the other in the volume flow.

Weiterhin umfasst die Einrichtung Durchflussmesser zur Bestimmung des Volumenstroms durch die zweiten Partikelzähler, so dass die Summe des Volumenstroms durch die zweiten Partikelzähler gleich oder größer des nominellen Volumenstromes des Filters ist. Eine Differenz ist durch Zuführung von partikelfreiem Gas am Eingang der Partikelzähler zuspeisbar.Furthermore, the device comprises flow meters for determining the volume flow through the second particle counter, so that the sum of the volume flow through the second particle counter is equal to or greater than the nominal volume flow of the filter. A difference can be added by supplying particle-free gas to the inlet of the particle counter.

Zunehmend wird von Anwenderseite gefordert, die mit dem Abscheidegrad ausgedrückte Qualität der Filter nicht mehr nur als statistische Kenngröße an einer Stichprobe zu ermitteln, sondern jedes hergestellte Exemplar entsprechend zu prüfen. Jedes Filterexemplar weist so einen garantierten Abscheidegrad auf. Damit wird die Prüfung auf den Abscheidegrad Bestandteil des Herstellungsprozesses der Filter. Die Einrichtung eignet sich vorteilhafterweise zur Qualitätssicherung in der laufenden Produktion von Filtern. Daraus resultieren eine Reihe von speziellen, neuen Anforderungen an eine solche Prüfeinrichtung des Abscheidegrades zur Qualitätssicherung. Speziell zeigen sich für eine solche Filterprüfung das Erfordernis einer sehr geringen Taktzeit und einer integrierte Möglichkeit der Plausibilitätskontrolle der Prüfergebnisse. Die Einrichtung erfüllt damit allgemeine Anforderungen an die Prüfung des Abscheidegrades von Filtern. Soll jedoch eine Filterprüfung im Rahmen der Qualitätssicherung mit Taktzeiten bis hinunter in den Sekundenbereich durchgeführt werden, sind weitere technische Einrichtungen erforderlich und tragen maßgeblich zur Erfüllung der Prüfaufgabe bei. Desweiteren treten technische Erfordernisse in den Vordergrund, die bei Laborprüfungen nur eine untergeordneten Stellenwert besitzen.Increasingly, the user side is demanding that the quality of the filters expressed with the degree of separation no longer be determined merely as a statistical parameter on a random sample, but that each manufactured copy should be checked accordingly. Each filter copy thus has a guaranteed degree of separation. This makes the test on the degree of separation part of the manufacturing process of the filter. The device is advantageously suitable for quality assurance in the ongoing production of filters. This results in a number of special, new requirements for such a test device of the degree of separation for quality assurance. Specifically, the need for a very short cycle time and an integrated possibility of checking the plausibility of the test results for such a filter test. The device thus fulfills general requirements for testing the separation efficiency of filters. However, if a filter test within the framework of quality assurance with cycle times down to the second range is to be carried out, further technical facilities are required and contribute significantly to the fulfillment of the testing task. Furthermore, technical requirements come to the fore, which have only a minor importance in laboratory tests.

Beispielhaft für ein solches technisches Erfordernis soll hier die Plausibilität der Prüfergebnisse genannt werden. Stehen bei einer Laborprüfung erforderlichenfalls die Prüfergebnisse einer Vielzahl von Wiederholungsmessungen am gleichen Prüfobjekt zur Verfügung, ist es bei der Prüfung innerhalb der Qualitätssicherung stets nur ein einzelnes Prüfergebnis. Damit ist die Beurteilung der Plausibilität der Prüfergebnisse ungleich schwieriger.As an example of such a technical requirement, the plausibility of the test results should be mentioned here. If, in a laboratory test, the test results of a large number of repeat measurements are available on the same test object if necessary, the quality assurance check is always a single test result. Thus, the assessment of the plausibility of the test results is much more difficult.

Ebenfalls spezifisch ist die Wirkung einer begrenzten, zur Verfügung stehenden Zeit für die Filterprüfung. Die Genauigkeit des Messens von Partikelkonzentrationen, immanenter Bestandteil jeder Filterprüfung, steigt mit der Anzahl der bewerteten Partikel und ist damit eine Funktion der Zeit. Eine Labormessung kann geraume Zeit einnehmen, eine Messung unter den Bedingungen der Qualitätssicherung unterliegt den Taktzeiten der Filterproduktion, bis hinunter in den Sekundenbereich. Deshalb sind Technologien bevorzugt, die in der bestehenden Messzeit ein Maximum an Genauigkeit ermöglichen.Also specific is the effect of a limited time available for filter testing. The accuracy of measuring particle concentrations, an inherent part of each filter test, increases with the number of particles being evaluated and is thus a function of time. A laboratory measurement can take a long time, a measurement under the conditions of quality assurance is subject to the cycle times of filter production, down to the second range. Therefore, technologies are preferred that allow maximum accuracy in the existing measurement time.

Die Merkmale der Einrichtung orientieren sich an den Hauptforderungen an eine solche Prüfeinrichtung des Abscheidegrades zur Qualitätssicherung.The features of the device are based on the main requirements of such a test device of the degree of separation for quality assurance.

Die zur Verfügung stehende Messzeit soll maximal für die Gewinnung von Information genutzt werden. In dieser Messzeit entsteht ein Volumen an Reingas, dessen Gehalt an Partikeln die Bestimmung des Abscheidegrades ermöglicht. Üblich sind Teilstromentnahmen aus diesem Reingasstrom mit Messung der dort vorhandenen Partikelkonzentration und Führung des übrigen Gasstromes in die Abluft. Da das Messen von Partikeln und die Teilstromentnahme ein statistischer Prozess sind, steigt die Zuverlässigkeit des Ergebnisses mit dem Anteil der Probenahme, die tatsächlich bewertet wird.The available measuring time should be used maximally for the extraction of information. During this measuring time, a volume of clean gas is created whose content of particles makes it possible to determine the degree of separation. Conventional are partial current draws from this clean gas flow with measurement of the particle concentration present there and guidance of the remaining gas flow into the exhaust air. Since particle measurement and partial flow sampling are a statistical process, the reliability of the result increases with the proportion of sampling that is actually evaluated.

Zwischen dem reingasseitigen Adapter zur Filterankopplung und den zweiten Partikelzählern befindet sich eine Schutzeinrichtung zum Schutz der zweiten Partikelzähler bei offenen Adaptern. Die Schutzeinrichtung ist dazu die Einrichtung zur Zuführung von partikelfreiem Gas oder eine weitere Einrichtung zur Zuführung von partikelfreiem Gas. Bei offenen Adaptern ist der durch die Schutzeinrichtung eingespeiste Volumenstrom größer als die Summe der Volumenströme der zweiten Partikelzähler.Between the clean-gas side adapter for filter coupling and the second particle counters is a protective device for protecting the second particle counter with open adapters. The protective device is for this purpose the device for supplying particle-free gas or another device for supplying particle-free gas. With open adapters, the volume flow fed through the protective device is greater than the sum of the volume flows of the second particle counter.

Das bezieht sich auf die Wechselwirkung des Partikelzählers mit der Umgebungsluft. Das zu messende Reingas weist bei höhereffizienten Filtern stets eine sehr niedrige Konzentration an Partikeln auf. Wird nun der Filter zur Prüfung im Produktionstakt gewechselt und damit die Adapter geöffnet, so kommen die Partikelzähler nur bei unterbrochener Gasdurchströmung nicht mit dem hochkonzentrierten Aerosol der Umgebungsluft in Kontakt. Soll die Gasdurchführung bei der zeitkritischen Filterprüfung nicht unterbrochen werden, wird, nachteilig in diesem Fall, durch die offenen Adapter Umgebungsluft angesaugt. Umgebungsluft verunreinigt Partikelzähler, so dass diese erst gespült werden müssen, um wieder niedrigkonzentrierte Aerosole präzise messen zu können. Die Einrichtung speist für den Zeitraum des geöffneten Zustandes der Adapter partikelfreies Gas in den Ansaugzweig der Partikelzähler ein. Der Volumenstrom wird dabei so eingestellt, dass er höher als die Summe der Volumenströme der Partikelzählers ist, so dass sogar partikelfreie Luft aus dem reingasseitigen Adapter austritt und diesen spült.This refers to the interaction of the particle counter with the ambient air. The clean gas to be measured always has a very low concentration of particles in higher efficient filters. If now the filter is changed for testing in the production cycle and thus the adapters are opened, then the particle counters only come into contact with the highly concentrated aerosol of the ambient air only when the gas flow is interrupted. If the gas feedthrough in the time-critical filter test is not interrupted, is disadvantageous in this case, by the open adapters sucked in ambient air. Ambient air contaminates particle counters so that they first have to be rinsed in order to be able to precisely measure low-concentration aerosols again. The device feeds for the period of the open state of the adapter particle-free gas in the intake branch of the particle counter. The volume flow is adjusted so that it is higher than the sum of the volume flows of the particle counter, so that even particle-free air escapes from the clean gas side adapter and flushes it.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Patentansprüchen 2 bis 6 angegeben.Advantageous embodiments of the invention are specified in the claims 2 to 6.

Zwischen der Einrichtung zur Prüfluftaufbereitung und Aerosoleinleitung und dem rohgasseitigen Adapter zur Filterankopplung befindet sich nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 2 eine Aerosolsicherheitsabsaugung, so dass das Rohgas mit der Aerosolsicherheitsabsaugung abgesaugt wird.Between the device for Prüfluftaufbereitung and aerosol introduction and the raw gas side adapter for filter coupling is located after the embodiment of claim 2 an aerosol safety suction, so that the raw gas is sucked with the Aerosolsicherheitsabsaugung.

Diese Ausführung der Einrichtung betrifft die Handhabung des Aerosols zur Filterprüfung. Aufgrund der zeitkritischen Abläufe sollen analog zur ständigen Durchströmung der Partikelzähler bei Wechsel des zu prüfenden Filters auch die Bereitstellung des Aerosols unterbrechungsfrei betrieben werden. Nur so werden Anfahrvorgänge vermieden, die Zeitverzüge durch eine Konsolidierungsphase nach Filterwechsel und nächster Prüfung bedeuten würden. Für den Fall des kontinuierlichen Betriebes der Aerosolgenerierung würde jedoch Aerosol für den Zeitraum offener Adapter nachteilig an die Umgebung abgegeben werden. Für diesen Fall wird die Aerosolsicherheitsabsaugung eingesetzt, die das Aerosol für die Zeit offener Adapter absaugt.This embodiment of the device relates to the handling of the aerosol for filter testing. Due to the time-critical processes should be operated without interruption analogous to the constant flow through the particle counter when changing the filter to be tested and the provision of the aerosol. This is the only way to avoid start-ups that would mean time delays due to a consolidation phase after changing the filter and the next test. However, in the case of continuous operation of aerosol generation, aerosol would be adversely released to the environment for the period of open adapters. In this case, the aerosol safety suction is used, which sucks the aerosol for the time of open adapter.

In Fortführung ist oder sind nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 3 der Aerosolsicherheitsabsaugung ein Filter zur Aerosolabscheidung und/oder eine Abluftanlage nachgeschaltet.In continuation or after the development of claim 3 of the Aerosolsicherheitsabsaugung is followed by a filter for aerosol separation and / or an exhaust system downstream.

Der rohgasseitige Adapter zur Filterankopplung und der reingasseitige Adapter zur Filterankopplung sind nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 4 automatisiert lösbare Adapter. Die Adapter sind dazu so ausgebildet, dass diese in einer kurzen Taktzeit den Filter fluiddicht verbinden und während des Wechselns zum nächsten Filter das Eindringen von Partikeln in den Reingasanschluss und das Austreten von Prüfaerosol aus dem Rohgasanschluss verhindern.The crude gas side adapter for filter coupling and the clean gas side adapter for filter coupling are according to the embodiment of claim 4 automatically detachable adapter. The adapters are designed to fluid-tightly connect the filter in a short cycle time and prevent the penetration of particles into the clean gas connection and the escape of test aerosol from the raw gas connection during the change to the next filter.

Wenigstens einer der Adapter ist nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 5 mit einer angetriebenen Positioniereinheit verbunden, die weiterhin mit einer Steuereinrichtung verbunden ist.At least one of the adapters is connected according to the embodiment of claim 5 with a driven positioning unit, which is further connected to a control device.

Nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 6 sind

  • - die Positioniereinheit,
  • - die Einrichtung zur Prüfluftaufbereitung und Aerosoleinleitung,
  • - der erste Partikelzähler,
  • - die Einrichtung zur Zuführung von partikelfreiem Gas,
  • - die zweiten Partikelzähler,
  • - die Einrichtung zur Erzeugung des Volumenstromes und
  • - die Durchflussmesser
mit der Steuereinrichtung verbunden.After the development of claim 6 are
  • the positioning unit,
  • - the device for test air conditioning and aerosol introduction,
  • - the first particle counter,
  • the device for supplying particle-free gas,
  • the second particle counters,
  • - The device for generating the flow rate and
  • - the flow meter
connected to the control device.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Zeichnungen jeweils prinzipiell dargestellt und wird im Folgenden näher beschrieben.An embodiment of the invention is illustrated in principle in the drawings and will be described in more detail below.

Es zeigen:

  • 1 eine Einrichtung zur Prüfung des Abscheidegrades eines Filters zu dessen Qualitätssicherung,
  • 2 eine Einrichtung zur Prüfung des Abscheidegrades eines Filters zu dessen Qualitätssicherung mit einem Schutz der zweiten Partikelzähler bei geöffneten Adaptern und
  • 3 eine Einrichtung zur Prüfung des Abscheidegrades eines Filters zu dessen Qualitätssicherung mit zusätzlicher Aerosolsicherheitsabsaugung.

Eine Einrichtung zur Prüfung des Abscheidegrades eines Filters 3 zu dessen Qualitätssicherung besteht im Wesentlichen aus
  • - einer Einrichtung 1 zur Prüfluftaufbereitung und Aerosoleinleitung,
  • - einer Probenahme 2 zur Bestimmung der Rohgaskonzentration der das Aerosol enthaltenden Prüfluft mit einem ersten Partikelzähler 4,
  • - einem rohgasseitigen Adapter 6a zur Filterankopplung,
  • - dem zu prüfenden Filter 3,
  • - einem reingasseitigen Adapter 6b zur Filterankopplung,
  • - einer Einrichtung 8 zur Zuführung von partikelfreiem Gas,
  • - parallel geschaltete zweite Partikelzähler 7 zur Messung der Partikel im Reingas,
  • - einer Einrichtung 5 zur Erzeugung des Volumenstromes und Durchflussmessern zur Bestimmung des Volumenstroms durch die zweiten Partikelzähler 7.
Show it:
  • 1 a device for testing the degree of separation of a filter for its quality assurance,
  • 2 a device for testing the degree of separation of a filter for its quality assurance with a protection of the second particle counter with open adapters and
  • 3 a device for testing the degree of separation of a filter for its quality assurance with additional aerosol safety extraction.

A device for testing the degree of separation of a filter 3 its quality assurance essentially consists of
  • - a facility 1 for test air conditioning and aerosol introduction,
  • - a sampling 2 for determining the raw gas concentration of the aerosol-containing test air with a first particle counter 4 .
  • - a raw gas side adapter 6a for filter coupling,
  • - the filter to be tested 3 .
  • - a pure gas adapter 6b for filter coupling,
  • - a facility 8th for the supply of particle-free gas,
  • - Parallel connected second particle counter 7 for measuring the particles in the clean gas,
  • - a facility 5 for generating the volume flow and flow meters for determining the volume flow through the second particle counter 7 ,

Die 1 zeigt eine Einrichtung zur Prüfung des Abscheidegrades eines Filters 3 zu dessen Qualitätssicherung in einer prinzipiellen Darstellung.The 1 shows a device for testing the degree of separation of a filter 3 for its quality assurance in a basic presentation.

Die Einrichtung 1 zur Prüfluftaufbereitung und Aerosoleinleitung, die Probenahme 2 zur Bestimmung der Rohgaskonzentration der das Aerosol enthaltenden Prüfluft mit dem ersten Partikelzähler 4, der rohgasseitige Adapter 6a zur Filterankopplung, der zu prüfende Filter 3, der reingasseitige Adapter 6b zur Filterankopplung, die Einrichtung 8 zur Zuführung von partikelfreiem Gas, die parallel geschalteten zweiten Partikelzähler 7 zur Messung der Partikel im Reingas und die Einrichtung 5 zur Erzeugung des Volumenstromes sind nacheinander im Volumenstrom angeordnet. Mittels der Durchflussmesser wird der Volumenstrom durch die zweiten Partikelzähler 7 ermittelt, wobei die Summe des Volumenstroms durch die zweiten Partikelzähler 7 gleich oder größer des nominellen Volumenstromes des Filters 3 ist. Eine Differenz ist durch Zuführung von partikelfreiem Gas am Eingang der zweiten Partikelzähler 7 zuspeisbar.The device 1 for test air preparation and aerosol introduction, the sampling 2 for determining the raw gas concentration of the aerosol-containing test air with the first particle counter 4 , the raw gas side adapter 6a for filter coupling, the filter to be tested 3 , the clean-side adapter 6b for filter coupling, the device 8th for supplying particle-free gas, the second particle counter connected in parallel 7 for measuring the particles in the clean gas and the device 5 for generating the volume flow are arranged one after the other in the flow. By means of the flow meter, the volume flow through the second particle counter 7 determined, wherein the sum of the volume flow through the second particle counter 7 equal to or greater than the nominal volume flow of the filter 3 is. A difference is due to the supply of particle-free gas at the entrance of the second particle counter 7 zuspeisbar.

Die 2 zeigt eine Einrichtung zur Prüfung des Abscheidegrades eines Filters 3 zu dessen Qualitätssicherung mit einem Schutz der zweiten Partikelzähler 7 bei geöffneten Adaptern 6 in einer prinzipiellen Darstellung.The 2 shows a device for testing the degree of separation of a filter 3 for its quality assurance with a protection of the second particle counter 7 with open adapters 6 in a schematic representation.

In einer Ausführungsform befindet sich zwischen dem reingasseitigen Adapter 6b zur Filterankopplung und den zweiten Partikelzählern 7 eine Schutzeinrichtung 9 zum Schutz der zweiten Partikelzähler 7 bei offenen Adaptern 6. Die Schutzeinrichtung 9 ist die Einrichtung 8 zur Zuführung von partikelfreiem Gas oder eine weitere Einrichtung zur Zuführung von partikelfreiem Gas. Bei offenem Adaptern 6 ist der durch die Schutzeinrichtung 9 eingespeiste Volumenstrom größer als die Summe der Volumenströme der zweiten Partikelzähler 7.In one embodiment, located between the clean gas side adapter 6b for filter coupling and the second particle counters 7 a protective device 9 to protect the second particle counter 7 with open adapters 6 , The protective device 9 is the device 8th for the supply of particle-free gas or another device for supplying particle-free gas. With open adapters 6 is the one through the protection device 9 fed volume flow greater than the sum of the volume flows of the second particle counter 7 ,

Die 3 zeigt eine Einrichtung zur Prüfung des Abscheidegrades eines Filters 3 zu dessen Qualitätssicherung mit zusätzlicher Aerosolsicherheitsabsaugung 10 in einer prinzipiellen Darstellung.The 3 shows a device for testing the degree of separation of a filter 3 for its quality assurance with additional aerosol safety extraction 10 in a schematic representation.

In einer weiteren Ausführungsform befindet sich zwischen der Einrichtung 1 zur Prüfluftaufbereitung und Aerosoleinleitung und dem rohgasseitigen Adapter 6a zur Filterankopplung eine Aerosolsicherheitsabsaugung 10, so dass das Rohgas mit der Aerosolsicherheitsabsaugung 10 abgesaugt wird. Dieser ist oder sind ein Filter zur Aerosolabscheidung und/oder eine Abluftanlage nachgeschaltet.In a further embodiment is located between the device 1 for test air preparation and aerosol introduction and the raw gas side adapter 6a for filter coupling an aerosol safety extraction 10 , so that the raw gas with the aerosol safety suction 10 is sucked off. This is or are downstream of a filter for aerosol separation and / or an exhaust system.

Der rohgasseitige Adapter 6a zur Filterankopplung und der reingasseitige Adapter 6b zur Filterankopplung sind insbesondere automatisiert lösbare Adapter 6, wobei wenigstens einer der Adapter 6 dazu mit einer angetriebenen Positioniereinheit verbunden ist, welche weiterhin mit einer Steuereinrichtung verbunden ist. Damit sind

  • - die Positioniereinheit,
  • - die Einrichtung 1 zur Prüfluftaufbereitung und Aerosoleinleitung,
  • - der erste Partikelzähler 4,
  • - die Einrichtung 8 zur Zuführung von partikelfreiem Gas,
  • - die zweiten Partikelzähler 7,
  • - die Einrichtung 5 zur Erzeugung des Volumenstromes und
  • - die Durchflussmesser
mit der Steuereinrichtung verbunden.The raw gas side adapter 6a for filter coupling and the clean gas side adapter 6b For filter coupling are in particular automated detachable adapter 6 , wherein at least one of the adapters 6 is connected to a driven positioning unit, which is further connected to a control device. This is
  • the positioning unit,
  • - the device 1 for test air conditioning and aerosol introduction,
  • - the first particle counter 4 .
  • - the device 8th for the supply of particle-free gas,
  • - the second particle counter 7 .
  • - the device 5 for generating the volume flow and
  • - the flow meter
connected to the control device.

Natürlich können auch beide Adapter 6 jeweils mit einer Positioniereinheit verbunden sein.Of course, both adapters can 6 each connected to a positioning unit.

Von besonderer Bedeutung ist dabei eine Langzeitfunktionalität der Adapter 6 durch deren häufige Benutzung. Eine verschleißarme Gestaltung kann so mit einer mit Druckluft aufblasbaren Abdichtung zum Filter 3 erfolgen.Of particular importance is a long-term functionality of the adapter 6 by their frequent use. A low-wear design can thus with a compressed air inflatable seal to the filter 3 respectively.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Einrichtung zur Prüfluftaufbereitung und AerosoleinleitungDevice for test air preparation and aerosol introduction
22
Probenahme zur Bestimmung der RohgaskonzentrationSampling to determine the raw gas concentration
33
Filterfilter
44
erster Partikelzählerfirst particle counter
55
Einrichtung zur Erzeugung des VolumenstromesDevice for generating the volume flow
66
Adapteradapter
77
zweiter Partikelzählersecond particle counter
88th
Einrichtung zur Zuführung von partikelfreiem GasDevice for supplying particle-free gas
99
Schutzeinrichtungguard
1010
AerosolsicherheitsabsaugungAerosolsicherheitsabsaugung

Claims (6)

Einrichtung zur Prüfung des Abscheidegrades eines Filters (3) zu dessen Qualitätssicherung, durch Bestimmung der Rohgaskonzentration der ein Aerosol enthaltenden Prüfluft und der Reingaskonzentration nach dem zu prüfenden Filter (3) mit - einer Einrichtung (1) zur Prüfluftaufbereitung und Aerosoleinleitung, - einer Probenahme (2) zur Bestimmung der Rohgaskonzentration der das Aerosol enthaltenden Prüfluft mit einem ersten Partikelzähler (4), - einem rohgasseitigen Adapter (6a) zur Filterankopplung, - dem zu prüfenden Filter (3), - einem reingasseitigen Adapter (6b) zur Filterankopplung, -einer Einrichtung (9) zum Schutz nachgeordneter, zweiter Partikelzähler (7) bei offenen Adaptern (6), welche eine Einrichtung (8) zur Zuführung von partikelfreiem Gas ist, so dass bei offenem Adaptern (6) der durch die Schutzeinrichtung (9) eingespeiste Volumenstrom größer als die Summe der Volumenströme der zweiten Partikelzähler (7) ist, - den parallel geschalteten zweiten Partikelzählern (7) zur Messung der Konzentration an Partikeln im Reingas und - einer Einrichtung (5) zur Erzeugung des Volumenstromes, wobei diese Einrichtungen nacheinander im Volumenstrom des Aerosols angeordnet sind, und Durchflussmessern zur Bestimmung des Volumenstroms durch die zweiten Partikelzähler (7), so dass die Summe des Volumenstroms durch die zweiten Partikelzähler (7) gleich oder größer des nominellen Volumenstromes des Filters (3) ist, wobei eine Differenz durch Zuführung von partikelfreiem Gas am Eingang der zweiten Partikelzähler (7) zuspeisbar ist.Device for testing the degree of separation of a filter (3) for its quality assurance, by determining the raw gas concentration of a Aerosol-containing test air and the clean gas concentration after the filter to be tested with: - a device (1) for Prüfluftaufbereitung and aerosol introduction, - a sampling (2) for determining the raw gas concentration of the aerosol-containing test air with a first particle counter (4), - a raw gas side adapter (6a) for filter coupling, - the filter to be tested (3), - a clean-gas side adapter (6b) for filter coupling, -a device (9) for protecting downstream, second particle counter (7) with open adapters (6), which is a device (8) for the supply of particle-free gas, so that with open adapters (6) of the protective device (9) fed volume flow is greater than the sum of the volume flows of the second particle counter (7), - the parallel connected second particle counters (7) for measuring the concentration of particles in the clean gas and - means (5) for generating the volume flow, said Einrich are successively arranged in the volume flow of the aerosol, and flow meters for determining the volume flow through the second particle counter (7), so that the sum of the volume flow through the second particle counter (7) is equal to or greater than the nominal volume flow of the filter (3) a difference by supplying particle-free gas at the entrance of the second particle counter (7) is zuspeisbar. Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich zwischen der Einrichtung (1) zur Prüfluftaufbereitung und Aerosoleinleitung und dem rohgasseitigen Adapter (6a) zur Filterankopplung eine Aerosolsicherheitsabsaugung (10) befindet, so dass das Rohgas mit der Aerosolsicherheitsabsaugung (10) abgesaugt wird.Setup after Claim 1 , characterized in that between the means (1) for Prüfluftaufbereitung and aerosol introduction and the crude gas side adapter (6a) for filter coupling an aerosol safety suction (10), so that the raw gas with the Aerosolsicherheitsabsaugung (10) is sucked off. Einrichtung nach Patentanspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Aerosolsicherheitsabsaugung (10) ein Filter zur Aerosolabscheidung und/oder eine Abluftanlage nachgeschaltet ist oder sind.Setup after Claim 2 , characterized in that the aerosol safety suction (10) is a filter for aerosol separation and / or an exhaust system downstream or are. Einrichtung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der rohgasseitige Adapter (6a) zur Filterankopplung und der reingasseitige Adapter (6b) zur Filterankopplung automatisiert lösbare Adapter (6) sind.Setup after Claim 1 , characterized in that the raw gas side adapter (6a) for filter coupling and the clean gas side adapter (6b) for filter coupling are automatically detachable adapter (6). Einrichtung nach Patentanspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens einer der Adapter (6) mit einer angetriebenen Positioniereinheit verbunden ist und dass die Positioniereinheit mit einer Steuereinrichtung verbunden ist.Setup after Claim 4 , characterized in that at least one of the adapters (6) is connected to a driven positioning unit and that the positioning unit is connected to a control device. Einrichtung nach den Patentansprüchen 1 und 5, dadurch gekennzeichnet, dass - die Positioniereinheit, - die Einrichtung (1) zur Prüfluftaufbereitung und Aerosoleinleitung, - der erste Partikelzähler (4), - die Einrichtung (8) zur Zuführung von partikelfreiem Gas, - die zweiten Partikelzähler (7), - die Einrichtung (5) zur Erzeugung des Volumenstromes und - die Durchflussmesser mit der Steuereinrichtung verbunden sind.Furnishing according to the Claims and 5 , characterized in that - the positioning unit, - the means (1) for Prüffuftaufbereitung and aerosol introduction, - the first particle counter (4), - the means (8) for supplying particle-free gas, - the second particle counter (7), - Device (5) for generating the volume flow and - the flowmeter are connected to the control device.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021103867A1 (en) 2021-02-18 2022-08-18 Topas Gmbh Technologieorientierte Partikel-, Analysen- Und Sensortechnik Device for the sequential testing of filters and their use

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4215783A1 (en) 1992-05-13 1993-11-18 Jagenberg Ag Method and device for determining the filtration effect of filters for the filtration of air, gases or liquids on filling and closing machines or the like, in particular in the treatment of sterile air
DE10011940A1 (en) 2000-03-11 2001-09-20 Topas Gmbh Filter cartridge testing unit comprises a channel for supplying a test gas, a seal, and a particle counter.
US7758664B2 (en) 2005-08-09 2010-07-20 Camfil Farr, Inc. Integrated containment system
DE202012101230U1 (en) 2012-04-04 2012-04-25 Topas Gmbh Technologie-Orientierte Partikel-, Analysen- Und Sensortechnik Equipment for quality testing of high-efficiency particle filters for the air of clean and clean rooms

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4215783A1 (en) 1992-05-13 1993-11-18 Jagenberg Ag Method and device for determining the filtration effect of filters for the filtration of air, gases or liquids on filling and closing machines or the like, in particular in the treatment of sterile air
DE10011940A1 (en) 2000-03-11 2001-09-20 Topas Gmbh Filter cartridge testing unit comprises a channel for supplying a test gas, a seal, and a particle counter.
US7758664B2 (en) 2005-08-09 2010-07-20 Camfil Farr, Inc. Integrated containment system
DE202012101230U1 (en) 2012-04-04 2012-04-25 Topas Gmbh Technologie-Orientierte Partikel-, Analysen- Und Sensortechnik Equipment for quality testing of high-efficiency particle filters for the air of clean and clean rooms

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Wikipedia Eintrag zu „Abscheidegrad", [abgerufen am 22.01.2019]Via time machine Rekonstruktion des Datenstandes vom 05. August 2016 (dieses Datum liegt vor dem Anmeldetag). *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021103867A1 (en) 2021-02-18 2022-08-18 Topas Gmbh Technologieorientierte Partikel-, Analysen- Und Sensortechnik Device for the sequential testing of filters and their use
WO2022174971A1 (en) 2021-02-18 2022-08-25 Topas Gmbh Technologie-Orientierte Partikel-, Analysen- Und Sensortechnik Device for the sequential testing of filters and their use
DE102021103867B4 (en) 2021-02-18 2023-08-17 Topas Gmbh Technologieorientierte Partikel-, Analysen- Und Sensortechnik Method and device for the sequential testing of filters and their use

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