DE102007057892B4 - Wafer gripper with flip-over function and method for its control - Google Patents

Wafer gripper with flip-over function and method for its control Download PDF

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Abstract

Wafergreifer (1) mit mindestens einer in einer Linearführung (3) verschiebbaren Greifbacke (4) zum Greifen eines Wafers (2) und mit einem ersten Rotor (5) mit einem Drehantrieb (6) zum Öffnen und Schließen der mindestens einen Greifbacke (4),
wobei der erste Rotor (5) eine exzentrisch verlaufende Führung (9) für die mindestens eine Greifbacke (4) oder die mindestens eine Greifbacke (4) eine schräg zu ihrer Verschieberichtung (14) verlaufende Führung für den ersten Rotor (5) aufweist,
wobei die Linearführung (3) für die mindestens eine Greifbacke (4) an einem weiteren, zweiten Rotor (15) befestigt ist, der um eine Drehachse (7) des ersten Rotors (5) drehbar gelagert ist und mittels eines stationären Drehantriebs (18), der sich nicht mitdreht, verdrehbar ist,
wobei der zweite Rotor (15) das Wenden und Drehen der mindestens einen Greifbacke (4) um die Drehachse (7) in eine beliebige Winkelposition ermöglicht, und
wobei der Drehantrieb (6) des ersten Rotors...Wafer gripper (1) with at least one gripping jaw (4) displaceable in a linear guide (3) for gripping a wafer (2) and with a first rotor (5) with a rotary drive (6) for opening and closing the at least one gripping jaw (4) .
wherein the first rotor (5) has an eccentrically extending guide (9) for the at least one gripping jaw (4) or the at least one gripping jaw (4) has a guide for the first rotor (5) running obliquely to its displacement direction (14),
wherein the linear guide (3) for the at least one gripping jaw (4) is fastened to a further, second rotor (15), which is rotatably mounted about an axis of rotation (7) of the first rotor (5) and by means of a stationary rotary drive (18). who does not turn, is rotatable,
wherein the second rotor (15) allows the turning and turning of the at least one gripping jaw (4) about the axis of rotation (7) in an arbitrary angular position, and
wherein the rotary drive (6) of the first rotor ...

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Wafergreifer sowie ein Verfahren zur Ansteuerung des Wafergreifers.The present invention relates to a Wafergreifer and a method for driving the Wafergreifers.

Bisher bekannte Wafer-Greifsysteme verwenden einen Vakuumgreifer (Saugkopf), der sich an eine der beiden Waferseiten ansaugt und so den Wafer hält. Allerdings hat der Vakuumgreifer folgende Nachteile:

  • – Zum Teil ist es nicht möglich, wahlfrei aus einem Wafer-Stapel („Carrier”) Wafer zu entnehmen, da der Stapelabstand zwischen zwei benachbarten Wafern zu klein für die Vakuumgreifer ist. D. h., es kann nur der jeweils unterste Wafer aus dem Carrier entnommen werden. Desweiteren können die entnommenen Wafer nicht wieder wahlfrei in denselben Carrier bzw. immer nur von oben nach unten zurückgelegt werden.
  • – Da die angesaugte Waferseite durch den Vakuumgreifer verunreinigt/beschädigt werden kann, ist der Vakuumgreifer nur bei Wafern mit einseitig aktiven Waferseiten einsetzbar.
  • – Beim Ablegen/Entnehmen von Wafern muss der Vakuumgreifer in vertikaler Richtung bewegt werden.
  • – Der Vakuumgreifer bewegt sich beim Ablegen/Entnehmen über einen eventuell darunter liegenden Wafer mit der Gefahr, diesen zu beschädigen bzw. mit Fremdpartikeln zu verschmutzen.
  • – Perforierte Wafer können mithilfe eines Vakuumgreifers nicht gehalten werden.
  • – Bei einem Vakuumausfall wird der Wafer vom Vakuumgreifer nicht mehr gehalten, so dass zumindest mit einer Positionsänderung des Wafers zu rechnen ist. Im schlimmsten Fall wird der Wafer fallen gelassen.
Previously known wafer gripping systems use a vacuum gripper (suction head), which sucks on one of the two sides of the wafer and thus holds the wafer. However, the vacuum gripper has the following disadvantages:
  • In some cases it is not possible to remove wafers randomly from a wafer carrier carrier because the stacking distance between two adjacent wafers is too small for the vacuum grippers. This means that only the bottommost wafer can be removed from the carrier. Furthermore, the removed wafers can not be randomly returned to the same carrier or only from top to bottom.
  • - Since the sucked wafer side can be contaminated / damaged by the vacuum gripper, the vacuum gripper can only be used with wafers with wafer sides active on one side.
  • - When placing / removing wafers, the vacuum gripper must be moved in the vertical direction.
  • - The vacuum gripper moves when depositing / removing over a possibly underlying wafer with the risk of damaging it or pollute it with foreign particles.
  • - Perforated wafers can not be held using a vacuum gripper.
  • In a vacuum failure, the wafer is no longer held by the vacuum gripper, so that at least a change in the position of the wafer is to be expected. In the worst case, the wafer is dropped.

Aus der US 6 373 218 B2 ist ein als elektrische Hand ausgebildeter Greifer bekannt, der zwei jeweils in einer Führung verschiebbare Greifbacke zum Greifen eines Gegenstands und einen Rotor zum Öffnen und Schließen der Greifbacken aufweist. Der Rotor weist eine exzentrisch verlaufende Führung für die mindestens eine Greifbacke auf und wird durch einen Elektromotor angetrieben. Durch Drehen des Rotors werden die Greifbacken geöffnet oder geschlossen.From the US 6,373,218 B2 is designed as an electric hand gripper is known, which has two movable respectively in a guide gripping jaw for gripping an object and a rotor for opening and closing the gripping jaws. The rotor has an eccentrically extending guide for the at least one jaw and is driven by an electric motor. Turning the rotor opens or closes the jaws.

Aus der DE 39 10 083 A1 ist weiterhin ein Verfahren eines Werkzeugsantriebs bekannt, bei dem ein Hohlrotor eines ersten Motors in Abhängigkeit der Drehung eines Hohlrotors eines zweiten Motors gedreht wird. Eine Steuereinheit besitzt einen Steuerschaltkreis, der in Abhängigkeit von Signalen von Fotosensoren zur Erfassung der jeweiligen Winkellage der Motoren arbeitet und in Abhängigkeit davon die Rotation dieser Motoren synchron bzw. in Übereinstimmung miteinander steuert.From the DE 39 10 083 A1 Furthermore, a method of a tool drive is known in which a hollow rotor of a first motor is rotated in response to the rotation of a hollow rotor of a second motor. A control unit has a control circuit which operates in response to signals from photosensors for detecting the respective angular position of the motors and, in response, controls the rotation of these motors synchronously with each other.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, bei einem Wafergreifer ein mehrmaliges Wenden/Drehen („Flippen”) der mindestens einen Greifbacke in der gleichen Drehrichtung um die Drehachse des Rotors auf möglichst einfache Weise zu ermöglichen.It is the object of the present invention, in a Wafergreifer a repeated turning / turning ("flipping") to allow the at least one gripping jaw in the same direction of rotation about the axis of rotation of the rotor in the simplest possible way.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch einen Wafergreifer mit mindestens einer in einer Linearführung verschiebbaren Greifbacke zum Greifen eines Wafers und mit einem ersten Rotor mit einem Drehantrieb zum Öffnen und Schließen der mindestens einen Greifbacke, wobei der erste Rotor eine exzentrisch verlaufende Führung für die mindestens eine Greifbacke oder die mindestens eine Greifbacke eine schräg zu ihrer Verschieberichtung verlaufende Führung für den ersten Rotor aufweist, wobei die Linearführung für die mindestens eine Greifbacke an einem weiteren, zweiten Rotor befestigt ist, der um eine Drehachse des ersten Rotors drehbar gelagert ist und mittels eines stationären Drehantriebs, der sich nicht mitdreht, verdrehbar ist, wobei der zweite Rotor das Wenden und Drehen der mindestens einen Greifbacke um die Drehachse in eine beliebige Winkelposition ermöglicht, und wobei der Drehantrieb des ersten Rotors eine Steuereinheit aufweist, die derart ausgebildet ist, dass sie den ersten Rotor in Abhängigkeit der Drehung des zweiten Rotors ansteuert oder umgekehrt, um zu verhindern, dass sich die mindestens eine Greifbacke über den ersten Rotor beim Drehen und Wenden öffnet oder schließt. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Ansteuern eines solchen Wafergreifers mit den Merkmalen von Patentanspruch 8.This object is achieved by a Wafergreifer with at least one movable in a linear guide gripping jaw for gripping a wafer and with a first rotor with a rotary drive for opening and closing the at least one jaw, wherein the first rotor an eccentrically extending guide for the at least one gripping jaw or the at least one gripping jaw has a guide extending obliquely to its direction of displacement for the first rotor, wherein the linear guide for the at least one gripping jaw is fastened to a further, second rotor which is rotatably mounted about an axis of rotation of the first rotor and by means of a stationary rotary drive which does not rotate with rotatable, wherein the second rotor allows turning and turning of the at least one gripping jaw about the rotation axis in an arbitrary angular position, and wherein the rotary drive of the first rotor has a control unit, which is designed such It controls the first rotor as a function of the rotation of the second rotor or vice versa, in order to prevent the at least one gripping jaw from opening or closing via the first rotor during turning and turning. The invention also relates to a method for driving such a wafer gripper with the features of claim 8.

Der zweite Rotor ermöglicht das Wenden/Drehen („Flippen”) der Greifbacken um die Drehachse in eine beliebige Winkelposition. Um zu verhindern, dass sich die Greifbacken über den ersten Rotor beim Flippen öffnen oder schließen, wird der erste Rotor in Abhängigkeit zum zweiten Rotor – mit- oder gegenläufig – gedreht, oder umgekehrt. Der Drehantrieb für den ersten Rotor erkennt z. B. über einen Sensor, ob und wie schnell sich der Drehantrieb für den zweiten Rotor dreht, und kann ein Öffnen bzw. Schließen der sich drehenden Greiferbacken durch eigene Rotation verhindern. Es gibt keinerlei Begrenzungen in Bezug auf die Anzahl der Umdrehungen oder des Drehwinkels. Die Besonderheit dieser Ausführungsform besteht darin, dass die Drehantriebe stationär angeordnet sind und sich nur die Rotoren drehen. Da sich die Drehantriebe nicht mitdrehen, sind keine Schleppketten und keine beweglichen Kabel notwendig, wodurch sich die Lebensdauer des Wafergreifers deutlich erhöht. Die Greiferbacken können sich auch mehrfach um sich selbst drehen, was speziell für die manuelle optische Kontrolle der Wafer wichtig ist.The second rotor allows turning / turning ("flipping") of the gripper jaws about the axis of rotation in any angular position. In order to prevent the gripper jaws from opening or closing via the first rotor when flipping, the first rotor is rotated in relation to the second rotor, with or without rotation, or vice versa. The rotary drive for the first rotor detects z. Example, via a sensor, whether and how fast the rotary drive rotates for the second rotor, and can prevent opening or closing of the rotating gripper jaws by their own rotation. There are no limitations on the number of revolutions or the angle of rotation. The peculiarity of this embodiment is that the rotary actuators are stationary and rotate only the rotors. Since the rotary drives do not rotate, no drag chains and no moving cables are necessary, which significantly increases the service life of the wafer gripper. The gripper jaws can also rotate around themselves several times, which is especially important for the manual optical inspection of the wafers.

Besonders bevorzugt sind zwei jeweils in einer Linearführung verschiebbare Greifbacken vorgesehen, wobei der erste Rotor exzentrisch verlaufende Führungen für jede Greifbacke oder jede Greifbacke eine schräg zur Verschieberichtung der Greifbacken verlaufende Führungen für den ersten Rotor aufweist. Wenn die Führungen für die Greifbacken bezüglich der Drehachse des Rotors symmetrisch sind, öffnen und schließen die Greifbacken synchron. Particularly preferably, two gripping jaws each displaceable in a linear guide are provided, the first rotor having eccentrically extending guides for each gripping jaw or gripping jaw an obliquely to the direction of displacement of the jaws guides for the first rotor. When the guides for the jaws are symmetrical with respect to the axis of rotation of the rotor, the jaws open and close synchronously.

Wenn sich der Greifbereich der bzw. jeder Greifbacke nur auf den Außenrandbereich des Wafers beschränkt, können auch Wafer mit zwei aktiven Waferflächen randseitig gegriffen werden, ohne die aktiven Waferflächen zu beschädigen. Ein Drehantrieb des Rotors mittels Unterdruck hat den Vorteil, dass keine elektrischen Leitungen erforderlich sind und dass der Wafergreifer problemlos in Reinräumen, in denen gegenüber außen Überdruck herrscht, eingesetzt werden kann.If the gripping area of the or each gripping jaw is limited only to the outer edge area of the wafer, wafers with two active wafer areas can also be gripped at the edge, without damaging the active wafer areas. A rotary drive of the rotor by means of negative pressure has the advantage that no electrical lines are required and that the Wafergreifer can be used easily in clean rooms, where there is overpressure against the outside.

Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung und der Zeichnung. Ebenso können die vorstehend genannten und die noch weiter aufgeführten Merkmale je für sich oder zu mehreren in beliebigen Kombinationen Verwendung finden. Further advantages of the invention will become apparent from the description and the drawings. Likewise, the features mentioned above and the features listed further can be used individually or in combination in any combination.

Es zeigen:Show it:

1 einen nicht erfindungsgemäßen Wafergreifer ohne Flipperfunktion; und 1 a non-inventive wafer gripper without flipper function; and

2 den erfindungsgemäßen Wafergreifer von 1 mit zusätzlicher Flipperfunktion. 2 the wafers of the invention 1 with additional pinball function.

Der in 1 gezeigte Kantengreifer 1 dient der Handhabung eines Wafers 2 z. B. aus einem Waferstapel/Carrier, dem Transport des Wafers 2 zu einem Bearbeitungsort und der Eingabe des Wafers 2 zurück in einen Waferstapel/Carrier oder auf eine andere definierte Ablage. Der Kantengreifer 1 ist für alle üblichen Waferdurchmesser von ca. 60 bis 300 mm einsetzbarThe in 1 shown edge gripper 1 is used to handle a wafer 2 z. B. from a wafer stack / carrier, the transport of the wafer 2 to a processing location and the input of the wafer 2 back to a wafer stack / carrier or other defined storage. The edge gripper 1 can be used for all usual wafer diameters of approx. 60 to 300 mm

Der Wafergreifer 2 umfasst zwei in Linearführungen 3 parallel verschiebbare Greifbacken 4, die den Wafer 2 in axialer Richtung an den beiden Waferseiten greifen, und einen Rotor 5 zum synchronen Öffnen und Schließen der beiden Greifbacken 4. Der Greifbereich der Greifbacken 4 beschränkt sich nur auf den Außenrandbereich des Wafers 2 und beträgt bei einem Waferaußendurchmesser von z. B. 150 mm nur maximal 5 mm. Der Rotor 5 ist mittels eines stationären Drehantriebs 6 um die Drehachse 7 drehbar (Doppelpfeil 8) und weist an seiner den Greifbacken 4 zugewandten Vorderseite zwei bezüglich der Drehachse 7 exzentrisch verlaufende Kulissenführungen 9 auf, in die die Greifbacken 4 jeweils mit einem hier als Kugel ausgeführten Mitnehmer 10 (2) eingreifen. Die beiden exzentrischen Kulissenführungen 9 sind bezüglich der Drehachse 7 zueinander spiegelsymmetrisch. Der Drehantrieb 6 weist, wie in 1 schematisch angedeutet ist, ein Flügelrad 11 auf, das pneumatisch mittels Unterdruck (oder Überdruck) angetrieben wird. Genauer gesagt ist das Flügelrad 11 in einem Zylinder 12 angeordnet, der über einen Vakuumschlauch 13 an eine Vakuumpumpe (nicht gezeigt) angeschlossen ist. Alternativ kann ein anderer Unter- oder Überdruckantrieb, der eine Kolben/Zylinder- oder Membananordnung verwendet, oder ein anderer Drehantrieb, z. B. Elektromotor eingesetzt sein. Durch Drehen des Rotors 5 werden die beiden Greifbacken 4 in ihren Linearführungen 3, jeweils angetrieben vom Rotor 5, synchron geöffnet oder geschlossen (Doppelpfeil 14). Mit anderen Worten werden die beiden Greifbacken 4 über die in den Kulissenführungen 9 des Rotors 5 geführten Kugeln 10 bewegt. Der maximale Öffnungsabstand der beiden Greifbacken 4 wird über den maximalen Außendurchmesser der Kulissenführungen 9 bestimmt.The wafers 2 includes two in linear guides 3 parallel movable jaws 4 that the wafer 2 in the axial direction on the two wafer sides, and a rotor 5 for synchronous opening and closing of the two jaws 4 , The gripping area of the gripping jaws 4 is limited only to the outer edge region of the wafer 2 and is at a wafer outer diameter of z. B. 150 mm only a maximum of 5 mm. The rotor 5 is by means of a stationary rotary drive 6 around the axis of rotation 7 rotatable (double arrow 8th ) and has at its the gripping jaws 4 facing front two with respect to the axis of rotation 7 eccentric slide guides 9 on, in which the gripping jaws 4 each with a run here as a ball driver 10 ( 2 ) intervene. The two eccentric slide tours 9 are with respect to the axis of rotation 7 mirror-symmetrical to each other. The rotary drive 6 points as in 1 is indicated schematically, an impeller 11 which is driven pneumatically by means of negative pressure (or overpressure). More precisely, the impeller is 11 in a cylinder 12 arranged, via a vacuum hose 13 connected to a vacuum pump (not shown). Alternatively, another vacuum or positive pressure drive using a piston / cylinder or Membananordnung, or another rotary drive, for. B. electric motor used. By turning the rotor 5 become the two gripping jaws 4 in their linear guides 3 , each driven by the rotor 5 , synchronously opened or closed (double arrow 14 ). In other words, the two gripping jaws 4 about the in the slide guides 9 of the rotor 5 guided balls 10 emotional. The maximum opening distance of the two jaws 4 is beyond the maximum outer diameter of the slide guides 9 certainly.

Statt eines Vakuumantriebs kann der Drehantrieb 6 auch als Elektromotor (z. B. DC Servomotor) ausgebildet sein. Durch ein geeignetes Motorgetriebe und Untersetzungsverhalten des Rotors 5 können so trotz geringer Motordrehmomente sehr hohe Greifkräfte erreicht werden. Optional kann der Drehantrieb 6 mit einer Magnetbremse ausgerüstet sein, so dass auch bei Stromausfall oder Not-Aus der Wafer 2 immer noch zuverlässig gehalten wird.Instead of a vacuum drive, the rotary drive 6 also be designed as an electric motor (eg DC servomotor). By a suitable motor gearbox and reduction behavior of the rotor 5 Thus, very high gripping forces can be achieved despite low engine torques. Optionally, the rotary drive 6 be equipped with a magnetic brake, so that even in case of power failure or emergency stop the wafer 2 is still held reliably.

2 zeigt den Wafergreifer 1 mit zusätzlicher Flipperfunktion, um die Greifbacken 4 auch um die Rotationsachse 7 in eine beliebige Winkelposition zu drehen. Dazu sind die beiden Linearführungen 3 an einem äußeren Rotor 15 befestigt, der um die Drehachse 7 des inneren Rotors 5 drehbar gelagert ist. Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist der äußere Rotor 15 mittels Kugellagern 16 auf der Antriebswelle 17 des inneren Rotors 5 gelagert. Der äußere Rotor 15 ist mittels eines eigenen stationären Drehantriebs 18 (z. B. Elektromotor) drehbar, der über einen Riemen oder, wie in 2 gezeigt, über ein Zahnrad 19, das mit einem Zahnkranz 20 des äußeren Rotors 5 kämmt, den äußeren Rotor 15 antreibt. Da die beiden Greifbacken 4 einerseits in den Linearführungen 3 des äußeren Rotors 15 und andererseits in den Kulissenführungen 9 des inneren Rotors 5 geführt sind, sind die Drehbewegungen der beiden Rotoren 5, 15 miteinander gekoppelt. So bewirkt eine Drehung (Doppelpfeil 21) des äußeren Rotors 15, d. h. das Drehen der Greifbacken 4, bei stillstehendem innerem Rotor 5 stets auch eine Öffnungs- bzw. Schließbewegung der Greifbacken 4. Um zu verhindern, dass sich die Greifbacken 4 über den inneren Rotor 5 beim Drehen (Flippen) öffnen oder schließen, wird der Drehantrieb 6 des inneren Rotors 5 in Abhängigkeit der Drehung des äußeren Rotors 15 mit- oder gegenläufig angesteuert. Über einen Sensor (z. B. Drehwinkelgeber) 22 am Drehantrieb 18 des äußeren Rotors 15 erkennt eine Steuereinheit 23 des Drehantriebs 6, ob und wie schnell sich der Drehantrieb 18 dreht, und kann durch entsprechende Rotationsansteuerung des Drehantriebs 6 ein Öffnen bzw. Schließen der Greifbacken 4 verhindern. 2 shows the wafers 1 with additional flipper function to the jaws 4 also around the axis of rotation 7 to turn in any angular position. These are the two linear guides 3 on an outer rotor 15 attached to the axis of rotation 7 of the inner rotor 5 is rotatably mounted. In the embodiment shown, the outer rotor 15 by means of ball bearings 16 on the drive shaft 17 of the inner rotor 5 stored. The outer rotor 15 is by means of its own stationary rotary drive 18 (eg electric motor) rotatable via a belt or, as in 2 shown over a gear 19 that with a sprocket 20 the outer rotor 5 combs, the outer rotor 15 drives. Because the two gripping jaws 4 on the one hand in the linear guides 3 the outer rotor 15 and on the other hand in the slide guides 9 of the inner rotor 5 are guided, are the rotational movements of the two rotors 5 . 15 coupled together. This is how a rotation (double arrow 21 ) of the outer rotor 15 ie turning the jaws 4 , with stationary inner rotor 5 always an opening or closing movement of the jaws 4 , To prevent the gripping jaws 4 over the inner rotor 5 when turning (flipping) open or close, the rotary drive 6 of the inner rotor 5 depending on the rotation of the outer rotor 15 with or in opposite directions. Via a sensor (eg rotary encoder) 22 at the rotary drive 18 the outer rotor 15 detects a control unit 23 of the rotary drive 6 , whether and how fast the rotary drive 18 rotates, and can by appropriate rotation control of the rotary drive 6 an opening or closing of the jaws 4 prevent.

Mit dem äußeren Rotor 15 lassen sich die Greiferbacken 4 um die Drehachse 7 drehen, ohne dass sich die Drehantriebe 6, 18 mitdrehen. Die Drehantriebe 6, 18 bleiben stationär, und es sind keine Schleppketten und keine beweglichen Kabel notwendig, wodurch sich die Lebensdauer des Wafergreifers 1 verlängert. Die Greiferbacken 4 können auch mehrfach um die Drehachse 7 gedreht werden, was insbesondere für die manuelle optische Kontrolle der Wafer wichtig ist.With the outer rotor 15 let the gripper jaws 4 around the axis of rotation 7 turn without the rotary actuators 6 . 18 rotate. The rotary actuators 6 . 18 stay stationary, and there are no drag chains and no moving cables necessary, which increases the life of the wafers 1 extended. The gripper jaws 4 can also be multiple times around the rotation axis 7 be rotated, which is particularly important for the manual optical control of the wafer.

Claims (8)

Wafergreifer (1) mit mindestens einer in einer Linearführung (3) verschiebbaren Greifbacke (4) zum Greifen eines Wafers (2) und mit einem ersten Rotor (5) mit einem Drehantrieb (6) zum Öffnen und Schließen der mindestens einen Greifbacke (4), wobei der erste Rotor (5) eine exzentrisch verlaufende Führung (9) für die mindestens eine Greifbacke (4) oder die mindestens eine Greifbacke (4) eine schräg zu ihrer Verschieberichtung (14) verlaufende Führung für den ersten Rotor (5) aufweist, wobei die Linearführung (3) für die mindestens eine Greifbacke (4) an einem weiteren, zweiten Rotor (15) befestigt ist, der um eine Drehachse (7) des ersten Rotors (5) drehbar gelagert ist und mittels eines stationären Drehantriebs (18), der sich nicht mitdreht, verdrehbar ist, wobei der zweite Rotor (15) das Wenden und Drehen der mindestens einen Greifbacke (4) um die Drehachse (7) in eine beliebige Winkelposition ermöglicht, und wobei der Drehantrieb (6) des ersten Rotors (5) eine Steuereinheit (23) aufweist, die derart ausgebildet ist, dass sie den ersten Rotor (5) in Abhängigkeit der Drehung des zweiten Rotors (15) ansteuert oder umgekehrt, um zu verhindern, dass sich die mindestens eine Greifbacke (4) über den ersten Rotor (5) beim Drehen und Wenden öffnet oder schließt.Wafer gripper ( 1 ) with at least one in a linear guide ( 3 ) movable jaw ( 4 ) for gripping a wafer ( 2 ) and with a first rotor ( 5 ) with a rotary drive ( 6 ) for opening and closing the at least one jaw ( 4 ), wherein the first rotor ( 5 ) an eccentrically running guide ( 9 ) for the at least one jaw ( 4 ) or the at least one jaw ( 4 ) an oblique to their direction of displacement ( 14 ) extending guide for the first rotor ( 5 ), wherein the linear guide ( 3 ) for the at least one jaw ( 4 ) on a further, second rotor ( 15 ) which is mounted around a rotation axis ( 7 ) of the first rotor ( 5 ) is rotatably mounted and by means of a stationary rotary drive ( 18 ), which does not rotate, is rotatable, wherein the second rotor ( 15 ) the turning and turning of the at least one jaw ( 4 ) about the axis of rotation ( 7 ) in any angular position, and wherein the rotary drive ( 6 ) of the first rotor ( 5 ) a control unit ( 23 ) formed to receive the first rotor (14) 5 ) in dependence on the rotation of the second rotor ( 15 ) or vice versa, to prevent the at least one jaw ( 4 ) over the first rotor ( 5 ) when turning and turning opens or closes. Wafergreifer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwei jeweils in einer Linearführung (3) verschiebbare Greifbacken (4) vorgesehen sind und dass der erste Rotor (5) exzentrisch verlaufende Führungen (9) für jede Greifbacke (4) oder jede Greifbacke (4) eine schräg zur Verschieberichtung (14) der Greifbacken (4) verlaufende Führung für den ersten Rotor (5) aufweist.Wafer gripper according to claim 1, characterized in that two in each case in a linear guide ( 3 ) movable jaws ( 4 ) are provided and that the first rotor ( 5 ) eccentrically extending guides ( 9 ) for each jaw ( 4 ) or each jaw ( 4 ) an oblique to the direction of displacement ( 14 ) of the jaws ( 4 ) extending guide for the first rotor ( 5 ) having. Wafergreifer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die eine oder die beiden exzentrischen Führungen (9) des ersten Rotors (5) als Kulissenführungen ausgebildet sind, in die die Greifbacken (4) jeweils eingreifen.Wafer gripper according to one of the preceding claims, characterized in that the one or both eccentric guides ( 9 ) of the first rotor ( 5 ) are designed as sliding guides, into which the jaws ( 4 ) intervene respectively. Wafergreifer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Drehantrieb (6) für den ersten Rotor (5) stationär angeordnet ist, so dass er sich nicht mitdreht.Wafer gripper according to one of the preceding claims, characterized in that the rotary drive ( 6 ) for the first rotor ( 5 ) is arranged stationary so that it does not rotate. Wafergreifer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Drehantrieb (6) für den ersten Rotor (5) ein elektrisch oder pneumatisch betriebener Antrieb ist.Wafer gripper according to claim 4, characterized in that the rotary drive ( 6 ) for the first rotor ( 5 ) is an electrically or pneumatically operated drive. Wafergreifer nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der pneumatisch betriebene Drehantrieb (6) für den ersten Rotor (5) mittels Unter- oder Überdruck angetrieben ist.Wafer gripper according to claim 5, characterized in that the pneumatically operated rotary drive ( 6 ) for the first rotor ( 5 ) is driven by negative or positive pressure. Wafergreifer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die eine oder die beiden Greifbacken (4) zum Greifen der Kante des Wafers (2) ausgebildet sind.Wafer gripper according to one of the preceding claims, characterized in that the one or both gripping jaws ( 4 ) for gripping the edge of the wafer ( 2 ) are formed. Verfahren, bei dem ein Wafergreifer (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche angesteuert wird, mit Drehen des zweiten Rotors (15), um das Wenden und Drehen der mindestens einen Greifbacke (4) oder der beiden Greifbacken (4) um die Drehachse (7) in eine beliebige Winkelposition zu ermöglichen, wobei der Drehantrieb (6) des ersten Rotors (5) in Abhängigkeit der Drehung des zweiten Rotors (15) derart angesteuert wird, dass der erste Rotor (5) in Abhängigkeit des zweiten Rotors (15) mit- oder gegenläufig gedreht wird, um das Öffnen und Schließen der mindestens einen Greifbacke (4) oder der beiden Greifbacken (4) über den ersten Rotor (5) beim Wenden zu verhindern.Method in which a wafer gripper ( 1 ) is driven according to one of the preceding claims, with rotation of the second rotor ( 15 ) to turn and rotate the at least one jaw ( 4 ) or the two jaws ( 4 ) about the axis of rotation ( 7 ) in any angular position, wherein the rotary drive ( 6 ) of the first rotor ( 5 ) in dependence on the rotation of the second rotor ( 15 ) is controlled such that the first rotor ( 5 ) in dependence of the second rotor ( 15 ) is rotated with or in opposite directions in order to open and close the at least one jaw ( 4 ) or the two jaws ( 4 ) over the first rotor ( 5 ) to prevent turning.
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