DE102007057891A1 - Wafer gripper has gripper jaw which is shifted in guidance by drive, where gripper jaw grips wafer, and rotating drive has low pressure driven impeller - Google Patents

Wafer gripper has gripper jaw which is shifted in guidance by drive, where gripper jaw grips wafer, and rotating drive has low pressure driven impeller Download PDF

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Abstract

The wafer gripper (1) has a gripper jaw (4) which is shifted in a guidance (3) by a drive (6). The gripper jaw grips the wafer. The drive is a rotating drive and is driven by a low pressure. The rotating drive has a low pressure driven impeller (11). The rotating drive has a rotor (5) which has excentric guidance (9) diagonal to the shifting direction (14). An independent claim is also included for a method of controlling wafer gripper.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Wafergreifer mit mindestens einer in einer Führung verschiebbaren Greifbacke zum Greifen eines Wafers und mit einem Antrieb zum Verschieben der mindestens einen Greifbacke, sowie ein Verfahren zur Ansteuerung des Wafergreifers.The The present invention relates to a wafer gripper with at least a movable in a guide gripping jaw for gripping a wafer and with a drive to move the at least a jaw, and a method for controlling the Wafergreifers.

Ein derartiger Greifer ist beispielsweise aus der US 6,373,218 bekannt geworden.Such a gripper is for example from the US 6,373,218 known.

Bisher bekannte Wafer-Greifsysteme verwenden einen Vakuumgreifer (Saugkopf), der sich an eine der beiden Waferseiten ansaugt und so den Wafer hält. Allerdings hat der Vakuumgreifer folgende Nachteile:

  • – Zum Teil ist es nicht möglich, wahlfrei aus einem Wafer-Stapel („Carrier”) Wafer zu entnehmen, da der Stapelabstand zwischen zwei benachbarten Wafern zu klein für die Vakuumgreifer ist. D. h., es kann nur der jeweils unterste Wafer aus dem Carrier entnommen werden. Desweiteren können die entnommenen Wafer nicht wieder wahlfrei in denselben Carrier bzw. immer nur von oben nach unten zurückgelegt werden.
  • – Da die angesaugte Waferseite durch den Vakuumgreifer verunreinigt/beschädigt werden kann, ist der Vakuumgreifer nur bei Wafern mit einseitig aktiven Waferseiten einsetzbar.
  • – Beim Ablegen/Entnehmen von Wafern muss der Vakuumgreifer in vertikaler Richtung bewegt werden.
  • – Der Vakuumgreifer bewegt sich beim Ablegen/Entnehmen über einen eventuell darunter liegenden Wafer mit der Gefahr, diesen zu beschädigen bzw. mit Fremdpartikeln zu verschmutzen.
  • – Perforierte Wafer können mithilfe eines Vakuumgreifers nicht gehalten werden.
  • – Bei einem Vakuumausfall wird der Wafer vom Vakuumgreifer nicht mehr gehalten, so dass zumindest mit einer Positionsänderung des Wafers zu rechnen ist. Im schlimmsten Fall wird der Wafer fallen gelassen.
Previously known wafer gripping systems use a vacuum gripper (suction head), which sucks on one of the two sides of the wafer and thus holds the wafer. However, the vacuum gripper has the following disadvantages:
  • In some cases it is not possible to remove wafers randomly from a wafer carrier carrier because the stacking distance between two adjacent wafers is too small for the vacuum grippers. This means that only the bottommost wafer can be removed from the carrier. Furthermore, the removed wafers can not be randomly returned to the same carrier or only from top to bottom.
  • - Since the sucked wafer side can be contaminated / damaged by the vacuum gripper, the vacuum gripper can only be used with wafers with wafer sides active on one side.
  • - When placing / removing wafers, the vacuum gripper must be moved in the vertical direction.
  • - The vacuum gripper moves when depositing / removing over a possibly underlying wafer with the risk of damaging it or pollute it with foreign particles.
  • - Perforated wafers can not be held using a vacuum gripper.
  • In a vacuum failure, the wafer is no longer held by the vacuum gripper, so that at least a change in the position of the wafer is to be expected. In the worst case, the wafer is dropped.

Der aus US 6,373,218 bekannte Greifer ist als elektrische Hand ausgebildet und weist zwei jeweils in einer Führung verschiebbare Greifbacken zum Greifen eines Gegenstands und einen Rotor zum Öffnen und Schließen der Greifbacken auf. Der Rotor weist eine exzentrisch verlaufende Führung für die mindestens eine Greifbacke auf und wird durch einen Elektromotor angetrieben. Durch Drehen des Rotors werden die Greifbacken geöffnet oder geschlossen.The out US 6,373,218 Known gripper is designed as an electric hand and has two movable respectively in a guide gripping jaws for gripping an object and a rotor for opening and closing the gripping jaws. The rotor has an eccentrically extending guide for the at least one jaw and is driven by an electric motor. Turning the rotor opens or closes the jaws.

Es ist demgegenüber die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Wafergreifer der eingangs genannten Art dahingehend weiterzubilden, dass der Antrieb möglichst keine Kabel aufweist, welche das Wenden/Drehen („Flippen") des Wafergreifers einschränken können.It In contrast, the object of the present invention is to further develop a waferbreifer of the type mentioned, that the drive has as possible no cables, which restrict the turning / turning ("flipping") of the wafer gripper can.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass der Antrieb mittels Unterdruck, d. h. Vakuum, angetrieben ist. Vorzugsweise ist der Antrieb ein mittels Unterdruck angetriebener Drehantrieb oder Schubantrieb.These The object is achieved according to the invention that the drive by means of negative pressure, d. H. Vacuum, is driven. Preferably, the drive is driven by a vacuum Rotary drive or linear actuator.

Der erfindungsgemäße Antrieb (Vakuumantrieb) mittels eines gegenüber der Atmosphäre herrschenden Unterdrucks (Vakuumantrieb) hat den Vorteil, dass keine elektrischen Leitungen erforderlich sind und dass der Wafergreifer problemlos in Reinräumen, in denen gegenüber außen Überdruck herrscht, eingesetzt werden kann.Of the Drive according to the invention (vacuum drive) by means a negative pressure prevailing with respect to the atmosphere (Vacuum drive) has the advantage that no electrical wires are required and that the wafers easily in clean rooms, in which there is overpressure against the outside, can be used.

Besonders bevorzugt sind zwei jeweils in einer Führung verschiebbare Greifbacken vorgesehen, wobei der Rotor exzentrisch verlaufende Führungen für jede Greifbacke oder jede Greifbacke eine schräg zur Verschieberichtung der Greifbacken verlaufende Führungen für den Rotor aufweist. Wenn die Führungen für die Greifbacken bezüglich der Drehachse des Rotors symmetrisch sind, öffnen und schließen die Greifbacken synchron.Especially preferably two are each displaceable in a guide Gripping jaws provided, wherein the rotor eccentric running Guides for each jaw or jaw an oblique to the direction of the gripping jaws guides for the rotor. If the guides for the jaws symmetrical with respect to the axis of rotation of the rotor are, open and close the jaws synchronously.

Wenn sich der Greifbereich der bzw. jeder Greifbacke nur auf den Außenrandbereich des Wafers beschränkt, können auch Wafer mit zwei aktiven Waferflächen randseitig gegriffen werden, ohne die aktiven Waferflächen zu beschädigen. Ein Drehantrieb des Rotors mittels Unterdruck hat den Vorteil, dass keine elektrischen Leitungen erforderlich sind.If the gripping area of the or each gripping jaw only on the outer edge region Wafers can also use wafers with two active wafer surfaces are gripped edge, without damage the active wafer surfaces. A rotary drive the rotor by means of negative pressure has the advantage that no electrical Lines are required.

Bei ganz besonders bevorzugten Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Wafergreifers sind die eine bzw. die beiden Führungen für die eine bzw. die beiden Greifbacken an einem weiteren, zweiten Rotor befestigt, der um die Drehachse des ersten Rotors drehbar gelagert ist und mittels eines Drehantriebs verdrehbar ist. Dieser zweite Rotor ermöglicht das Wenden/Drehen („Flippen") der Greifbacken um die Drehachse in eine beliebige Winkelposition. Um zu verhindern, dass sich die Greifbacken über den ersten Rotor beim Flippen öffnen oder schließen, wird der erste Rotor in Abhängigkeit zum zweiten Rotor – mit- oder gegenläufig – gedreht. Der Drehantrieb für den ersten Rotor erkennt z. B. über einen Sensor, ob und wie schnell sich der Drehantrieb für den zweiten Rotor dreht, und kann ein Öffnen bzw.at very particularly preferred embodiments of the invention Wafer grippers are the one or both guides for the one or both gripping jaws at a further, second Rotor mounted, which is rotatable about the axis of rotation of the first rotor is mounted and rotatable by means of a rotary drive. This second rotor allows turning / turning ("flipping") the jaws around the axis of rotation in any angular position. To prevent the gripper jaws from over the first Rotor when tapping open or close, is the first rotor in dependence on the second rotor - mit- or in reverse - turned. The rotary drive for the first rotor detects z. B. via a sensor, whether and how fast the rotary drive for the second rotor turns, and can open or

Schließen der sich drehenden Greiferbacken durch eigene Rotation verhindern. Es gibt keinerlei Begrenzungen in Bezug auf die Anzahl der Umdrehungen oder des Drehwinkels. Die Besonderheit dieser Ausführungsform besteht darin, dass die Drehantriebe stationär angeordnet sind und sich nur die Rotoren drehen. Da sich die Drehantriebe nicht mitdrehen, sind keine Schleppketten und keine beweglichen Kabel notwendig, wodurch sich die Lebensdauer des Wafergreifers deutlich erhöht. Die Greiferbacken können sich auch mehrfach um sich selbst drehen, was speziell für die manuelle optische Kontrolle der Wafer wichtig ist.Close the rotating gripper jaws prevent by own rotation. There are no limitations on the number of revolutions or the angle of rotation. The peculiarity of this embodiment is that the rotary actuators are stationary and rotate only the rotors. Since the rotary actuators do not rotate hen, no drag chains and no moving cables are necessary, which significantly increases the life of the Wafergreifers. The gripper jaws can also rotate around themselves several times, which is especially important for the manual optical inspection of the wafers.

Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung und der Zeichnung. Ebenso können die vorstehend genannten und die noch weiter aufgeführten Merkmale je für sich oder zu mehreren in beliebigen Kombinationen Verwendung finden. Die gezeigten und beschriebenen Ausführungsformen sind nicht als abschließende Aufzählung zu verstehen, sondern haben vielmehr beispielhaften Charakter für die Schilderung der Erfindung.Further Advantages of the invention will become apparent from the description and the Drawing. Likewise, the above and the even more features listed in each case or to several in any combination use. The shown and described embodiments are not to understand as a final list, but rather have exemplary character for the description the invention.

Es zeigen:It demonstrate:

1 den erfindungsgemäßen Wafergreifer mit einem Drehantrieb; 1 the wafer gripper according to the invention with a rotary drive;

2 den Wafergreifer von 1 mit zusätzlicher Flipperfunktion; und 2 the wafers of 1 with additional pinball function; and

3 den erfindungsgemäßen Wafergreifer mit einem Drehantrieb. 3 the wafer gripper according to the invention with a rotary drive.

Der in 1 gezeigte Kantengreifer 1 dient der Handhabung eines Wafers 2 z. B. aus einem Waferstapel/Carrier, dem Transport des Wafers 2 zu einem Bearbeitungsort und der Eingabe des Wafers 2 zurück in einen Waferstapel/Carrier oder auf eine andere definierte Ablage. Der Kantengreifer 1 ist für alle üblichen Waferdurchmesser von ca. 60 bis 300 mm einsetzbar.The in 1 shown edge gripper 1 is used to handle a wafer 2 z. B. from a wafer stack / carrier, the transport of the wafer 2 to a processing location and the input of the wafer 2 back to a wafer stack / carrier or other defined storage. The edge gripper 1 can be used for all usual wafer diameters of approx. 60 to 300 mm.

Der Wafergreifer 2 umfasst zwei in Linearführungen 3 parallel verschiebbare Greifbacken 4, die den Wafer 2 in axialer Richtung an den beiden Waferseiten greifen, und einen Rotor 5 zum synchronen Öffnen und Schließen der beiden Greifbacken 4. Der Greifbereich der Greifbacken 4 beschränkt sich nur auf den Außenrandbereich des Wafers 2 und beträgt bei einem Waferaußendurchmesser von z. B. 150 mm nur maximal 5 mm. Der Rotor 5 ist mittels eines stationären Drehantriebs 6 um die Drehachse 7 drehbar (Doppelpfeil 8) und weist an seiner den Greifbacken 4 zugewandten Vorderseite zwei bezüglich der Drehachse 7 exzentrisch verlaufende Kulissenführungen 9 auf, in die die Greifbacken 4 jeweils mit einem hier als Kugel ausgeführten Mitnehmer 10 (2) eingreifen. Die beiden exzentrischen Kulissenführungen 9 sind bezüglich der Drehachse 7 zueinander spiegelsymmetrisch. Der Drehantrieb 6 weist, wie in 1 schematisch angedeutet ist, ein Flügelrad 11 auf, das pneumatisch mittels Unterdruck (Vakuum) angetrieben wird. Genauer gesagt ist das Flügelrad 11 in einem Zylinder 12 angeordnet, der über einen Vakuumschlauch 13 an eine Vakuumpumpe (nicht gezeigt) angeschlossen ist. Alternativ kann ein anderer Unterdruckantrieb, der eine Kolben/Zylinder- oder Membananordnung verwendet, oder ein anderer Drehantrieb, z. B. Elektromotor eingesetzt sein. Durch Drehen des Rotors 5 werden die beiden Greifbacken 4 in ihren Linearführungen 3, jeweils angetrieben vom Rotor 5, synchron geöffnet oder geschlossen (Doppelpfeil 14). Mit anderen Worten werden die beiden Greifbacken 4 über die in den Kulissenführungen 9 des Rotors 5 geführten Kugeln 10 bewegt. Der maximale Öffnungsabstand der beiden Greifbacken 4 wird über den maximalen Außendurchmesser der Kulissenführungen 9 bestimmt.The wafers 2 includes two in linear guides 3 parallel movable jaws 4 that the wafer 2 in the axial direction on the two wafer sides, and a rotor 5 for synchronous opening and closing of the two jaws 4 , The gripping area of the gripping jaws 4 is limited only to the outer edge region of the wafer 2 and is at a wafer outer diameter of z. B. 150 mm only a maximum of 5 mm. The rotor 5 is by means of a stationary rotary drive 6 around the axis of rotation 7 rotatable (double arrow 8th ) and has at its the gripping jaws 4 facing front two with respect to the axis of rotation 7 eccentric slide guides 9 on, in which the gripping jaws 4 each with a run here as a ball driver 10 ( 2 ) intervene. The two eccentric slide tours 9 are with respect to the axis of rotation 7 mirror-symmetrical to each other. The rotary drive 6 points as in 1 is indicated schematically, an impeller 11 which is pneumatically powered by negative pressure (vacuum). More precisely, the impeller is 11 in a cylinder 12 arranged, via a vacuum hose 13 connected to a vacuum pump (not shown). Alternatively, another vacuum drive, which uses a piston / cylinder or Membananordnung, or another rotary drive, for. B. electric motor used. By turning the rotor 5 become the two gripping jaws 4 in their linear guides 3 , each driven by the rotor 5 , synchronously opened or closed (double arrow 14 ). In other words, the two gripping jaws 4 about the in the slide guides 9 of the rotor 5 guided balls 10 emotional. The maximum opening distance of the two jaws 4 is beyond the maximum outer diameter of the slide guides 9 certainly.

Statt eines Vakuumantriebs kann der Drehantrieb 6 auch als Elektromotor (z. B. DC Servomotor) ausgebildet sein. Durch ein geeignetes Motorgetriebe und Untersetzungsverhalten des Rotors 5 können so trotz geringer Motordrehmomente sehr hohe Greifkräfte erreicht werden. Optional kann der Drehantrieb 6 mit einer Magnetbremse ausgerüstet sein, so dass auch bei Stromausfall oder Not-Aus der Wafer 2 immer noch zuverlässig gehalten wird.Instead of a vacuum drive, the rotary drive 6 also be designed as an electric motor (eg DC servomotor). By a suitable motor gearbox and reduction behavior of the rotor 5 Thus, very high gripping forces can be achieved despite low engine torques. Optionally, the rotary drive 6 be equipped with a magnetic brake, so that even in case of power failure or emergency stop the wafer 2 is still held reliably.

2 zeigt den Wafergreifer 1 mit zusätzlicher Flipperfunktion, um die Greifbacken 4 auch um die Rotationsachse 7 in eine beliebige Winkelposition zu drehen. Dazu sind die beiden Linearführungen 3 an einem äußeren Rotor 15 befestigt, der um die Drehachse 7 des inneren Rotors 5 drehbar gelagert ist. Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist der äußere Rotor 15 mittels Kugellagern 16 auf der Antriebswelle 17 des inneren Rotors 5 gelagert. Der äußere Rotor 15 ist mittels eines eigenen stationären Drehantriebs 18 (z. B. Elektromotor) drehbar, der über einen Riemen oder, wie in 2 gezeigt, über ein Zahnrad 19, das mit einem Zahnkranz 20 des äußeren Rotors 5 kämmt, den äußeren Rotor 15 antreibt. Da die beiden Greifbacken 4 einerseits in den Linearführungen 3 des äußeren Rotors 15 und andererseits in den Kulissenführungen 9 des inneren Rotors 5 geführt sind, sind die Drehbewegungen der beiden Rotoren 5, 15 miteinander gekoppelt. So bewirkt eine Drehung (Doppelpfeil 21) des äußeren Rotors 15, d. h. das Drehen der Greifbacken 4, bei stillstehendem innerem Rotor 5 stets auch eine Öffnungs- bzw. Schließbewegung der Greifbacken 4. Um zu verhindern, dass sich die Greifbacken 4 über den inneren Rotor 5 beim Drehen (Flippen) öffnen oder schließen, wird der Drehantrieb 6 des inneren Rotors 5 in Abhängigkeit der Drehung des äußeren Rotors 15 mit- oder gegenläufig angesteuert. Über einen Sensor (z. B. Drehwinkelgeber) 22 am Drehantrieb 18 des äußeren Rotors 15 erkennt eine Steuereinheit 23 des Drehantriebs 6, ob und wie schnell sich der Drehantrieb 18 dreht, und kann durch entsprechende Rotationsansteuerung des Drehantriebs 6 ein Öffnen bzw. Schließen der Greifbacken 4 verhindern. 2 shows the wafers 1 with additional flipper function to the jaws 4 also around the axis of rotation 7 to turn in any angular position. These are the two linear guides 3 on an outer rotor 15 attached to the axis of rotation 7 of the inner rotor 5 is rotatably mounted. In the embodiment shown, the outer rotor 15 by means of ball bearings 16 on the drive shaft 17 of the inner rotor 5 stored. The outer rotor 15 is by means of its own stationary rotary drive 18 (eg electric motor) rotatable via a belt or, as in 2 shown over a gear 19 that with a sprocket 20 the outer rotor 5 combs, the outer rotor 15 drives. Because the two gripping jaws 4 on the one hand in the linear guides 3 the outer rotor 15 and on the other hand in the slide guides 9 of the inner rotor 5 are guided, are the rotational movements of the two rotors 5 . 15 coupled together. This is how a rotation (double arrow 21 ) of the outer rotor 15 ie turning the jaws 4 , with stationary inner rotor 5 always an opening or closing movement of the jaws 4 , To prevent the gripping jaws 4 over the inner rotor 5 when turning (flipping) open or close, the rotary drive 6 of the inner rotor 5 depending on the rotation of the outer rotor 15 with or in opposite directions. Via a sensor (eg rotary encoder) 22 at the rotary drive 18 the outer rotor 15 detects a control unit 23 of the rotary drive 6 , whether and how fast the rotary drive 18 rotates, and can by appropriate rotation control of the rotary drive 6 an opening or closing of the jaws 4 prevent.

Mit dem äußeren Rotor 15 lassen sich die Greiferbacken 4 um die Drehachse 7 drehen, ohne dass sich die Drehantriebe 6, 18 mitdrehen. Die Drehantriebe 6, 18 bleiben stationär, und es sind keine Schleppketten und keine beweglichen Kabel notwendig, wodurch sich die Lebensdauer des Wafergreifers 1 verlängert. Die Greiferbacken 4 können auch mehrfach um die Drehachse 7 gedreht werden, was insbesondere für die manuelle optische Kontrolle der Wafer wichtig ist.With the outer rotor 15 let the gripper jaws 4 around the axis of rotation 7 turn without the rotary actuators 6 . 18 rotate. The rotary actuators 6 . 18 stay stationary, and there are no drag chains and no moving cables necessary, which increases the life of the wafers 1 extended. The gripper jaws 4 can also be multiple times around the rotation axis 7 be rotated, which is particularly important for the manual optical control of the wafer.

Vom Kantengreifer der 2 unterscheidet sich der in 3 gezeigte Kantengreifer 1 dadurch, dass hier zum synchronen Öffnen und Schließen der beiden Greifbacken 4 kein Drehantrieb, sondern ein Schubantrieb 30 vorgesehen ist. Der Schubantrieb 30 weist einen mittels Unterdruck (Vakuum) gegen die Wirkung einer Rückstellkraft in einem Zylinder verschiebbaren Kolben 31 auf, der eine rechtwinklig zur Bewegungsrichtung der Greifbacke 4 verschiebbare Schubstange 32 antreibt. Die Schubstange 32 greift über zwei angelenkte Arme 33, die jeweils schräg zur Schubrichtung 34 der Schubstange 32 und schräg zur Bewegungsrichtung 14 der Greifbacken 4 gerichtet sind, an den Greifbacken 4 an. Die Schubstange 32 samt Armen 33 ist in den Kugellagern 16 um ihre Achse 7 drehbar gelagert und über eine Kupplung 35 vom Kolben 31 bzw. Schubantrieb 30 in Drehrichtung entkoppelt, d. h. gegenüber dem Kolben 31 frei drehbar gelagert. Zum Öffnen und Schließen der Greifbacken 4 wird die Schubstange 32 über den Schubantrieb 30 bzw. die Rückstellkraft in Schubrichtung 34 bewegt und dadurch die Greifbacken 4 synchron geöffnet oder geschlossen. Zum Flippen der Greifbacken 4 wird der Rotor 15 durch den stationären Drehantrieb 18 gedreht, wodurch die Greifbacken 4 und gleichzeitig auch die Schubstange 32 um die Achse 7 gedreht werden. Wegen der Kupplung 35 sind der Schubantrieb 30 und der Drehantrieb 18 nicht miteinander gekoppelt.From the edge gripper of 2 is different in the 3 shown edge gripper 1 in that here for the synchronous opening and closing of the two jaws 4 no rotary drive, but a linear actuator 30 is provided. The linear actuator 30 has a by means of vacuum (vacuum) against the action of a restoring force in a cylinder displaceable piston 31 on, which is a right angle to the direction of movement of the jaw 4 sliding push rod 32 drives. The push rod 32 reaches over two articulated arms 33 , each obliquely to the thrust direction 34 the push rod 32 and obliquely to the direction of movement 14 the gripping jaws 4 are directed to the gripping jaws 4 at. The push rod 32 including arms 33 is in the ball bearings 16 around its axis 7 rotatably mounted and via a coupling 35 from the piston 31 or linear actuator 30 decoupled in the direction of rotation, ie relative to the piston 31 freely rotatably mounted. For opening and closing the jaws 4 becomes the push rod 32 over the thrust drive 30 or the restoring force in the thrust direction 34 moves and thereby the gripping jaws 4 open or closed synchronously. For flipping the gripping jaws 4 becomes the rotor 15 through the stationary rotary drive 18 rotated, causing the jaws 4 and at the same time the push rod 32 around the axis 7 to be turned around. Because of the clutch 35 are the thrust drive 30 and the rotary drive 18 not coupled with each other.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • - US 6373218 [0002, 0004] - US 6373218 [0002, 0004]

Claims (18)

Wafergreifer (1) mit mindestens einer in einer Führung (3) verschiebbaren Greifbacke (4) zum Greifen eines Wafers (2) und mit einem Antrieb (6, 30) zum Verschieben der mindestens einen Greifbacke (4), dadurch gekennzeichnet, dass der Antrieb (6, 30) mittels Unterdruck angetrieben ist.Wafer gripper ( 1 ) with at least one in a leadership ( 3 ) movable jaw ( 4 ) for gripping a wafer ( 2 ) and with a drive ( 6 . 30 ) for moving the at least one jaw ( 4 ), characterized in that the drive ( 6 . 30 ) is driven by negative pressure. Wafergreifer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Antrieb (6, 30) stationär angeordnet ist.Wafer gripper according to claim 1, characterized in that the drive ( 6 . 30 ) is arranged stationary. Wafergreifer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Antrieb ein mittels Unterdruck angetriebener Drehantrieb (6) ist.Wafer gripper according to claim 1 or 2, characterized in that the drive is a negative pressure driven rotary drive ( 6 ). Wafergreifer nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Drehantrieb (6) ein mittels Unterdruck angetriebenes Flügelrad (11) aufweist.Wafer gripper according to claim 3, characterized in that the rotary drive ( 6 ) a vacuum-driven impeller ( 11 ) having. Wafergreifer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Drehantrieb (6) einen Rotor (5) aufweist und dass der Rotor (5) eine exzentrisch verlaufende Führung (9) für die mindestens eine Greifbacke (4) oder die mindestens eine Greifbacke (4) eine schräg zu ihrer Verschieberichtung (14) verlaufende Führung für den Rotor (5) aufweist.Wafer gripper according to one of the preceding claims, characterized in that the rotary drive ( 6 ) a rotor ( 5 ) and that the rotor ( 5 ) an eccentrically running guide ( 9 ) for the at least one jaw ( 4 ) or the at least one jaw ( 4 ) an oblique to their direction of displacement ( 14 ) running guide for the rotor ( 5 ) having. Wafergreifer nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass zwei jeweils in einer Führung (3) verschiebbare Greifbacken (4) vorgesehen sind und dass der Rotor (5) exzentrisch verlaufende Führungen (9) für jede Greifbacke (4) oder jede Greifbacke (4) eine schräg zur Verschieberichtung (14) der Greifbacken (4) verlaufende Führungen für den Rotor (5) aufweist.Wafer gripper according to claim 5, characterized in that two each in a guide ( 3 ) movable jaws ( 4 ) are provided and that the rotor ( 5 ) eccentrically extending guides ( 9 ) for each jaw ( 4 ) or each jaw ( 4 ) an oblique to the direction of displacement ( 14 ) of the jaws ( 4 ) running guides for the rotor ( 5 ) having. Wafergreifer nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die eine bzw. die beiden exzentrischen Führungen (9) des Rotors (5) als Kulissenführungen ausgebildet sind, in die die Greifbacken (4) jeweils eingreifen.Wafer gripper according to claim 5 or 6, characterized in that the one or both eccentric guides ( 9 ) of the rotor ( 5 ) are designed as sliding guides, into which the jaws ( 4 ) intervene respectively. Wafergreifer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die eine bzw. die beiden Führungen (3) für die eine bzw. die beiden Greifbacken (4) an einem weiteren, zweiten Rotor (15) befestigt sind, der um die Drehachse (7) des ersten Rotors (5) drehbar gelagert ist und mittels eines stationären Drehantriebs (18) verdrehbar ist.Wafer gripper according to one of the preceding claims, characterized in that the one or both guides ( 3 ) for the one or the two jaws ( 4 ) on a further, second rotor ( 15 ), which are mounted around the axis of rotation ( 7 ) of the first rotor ( 5 ) is rotatably mounted and by means of a stationary rotary drive ( 18 ) is rotatable. Wafer-Kantengreifer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Drehantrieb (6) des ersten Rotors (5) den ersten Rotor (5) in Abhängigkeit der Drehung des zweiten Rotors (15), insbesondere für eine mit- oder gegenläufige Drehung, ansteuert, oder umgekehrt.Wafer edge gripper according to claim 8, characterized in that the rotary drive ( 6 ) of the first rotor ( 5 ) the first rotor ( 5 ) in dependence on the rotation of the second rotor ( 15 ), in particular for a concomitant or opposite rotation, controls, or vice versa. Wafergreifer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Antrieb ein mittels Unterdruck angetriebener Schubantrieb (30) ist.Wafer gripper according to one of the preceding claims, characterized in that the drive is a negative pressure driven thrust drive ( 30 ). Wafergreifer nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Schubantrieb (30) einen mittels Unterdruck angetriebenen Kolben (31) oder eine mittels Unterdruck angetriebene Membran aufweist.Wafer gripper according to claim 10, characterized in that the thrust drive ( 30 ) a vacuum-driven piston ( 31 ) or a negative pressure driven membrane. Wafergreifer nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Schubantrieb (30) eine im Wesentlichen rechtwinklig zur Bewegungsrichtung (14) der Greifbacke (4) verschiebbare Schubstange (32) aufweist, die über einen angelenkten Arm (33), welcher schräg zur Schubrichtung (34) der Schubstange (32) und schräg zur Bewegungsrichtung (14) der Greifbacke (4) gerichtet ist, an der Greifbacke (4) angreift.Wafer gripper according to claim 10 or 11, characterized in that the thrust drive ( 30 ) a substantially perpendicular to the direction of movement ( 14 ) of the jaw ( 4 ) sliding push rod ( 32 ), which via a hinged arm ( 33 ), which obliquely to the thrust direction ( 34 ) of the push rod ( 32 ) and obliquely to the direction of movement ( 14 ) of the jaw ( 4 ), on the jaw ( 4 ) attacks. Wafergreifer nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass zwei jeweils in einer Führung (3) verschiebbare Greifbacken (4) vorgesehen sind und dass die Schubstange (32) über zwei angelenkte Arme (33), die jeweils schräg zur Schubrichtung (34) der Schubstange (32) und schräg zur Bewegungsrichtung (14) der Greifbacken (4) gerichtet sind, an den Greifbacken (4) angreift.Wafer gripper according to claim 12, characterized in that two each in a guide ( 3 ) movable jaws ( 4 ) are provided and that the push rod ( 32 ) over two hinged arms ( 33 ), each obliquely to the thrust direction ( 34 ) of the push rod ( 32 ) and obliquely to the direction of movement ( 14 ) of the jaws ( 4 ), on the jaws ( 4 ) attacks. Wafergreifer nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest der oder die Arme (33) der Schubstange (32) um die Achse (7) der Schubstange (32) drehbar gelagert und mittels eines stationären Drehantriebs (18) verdrehbar sind.Wafer gripper according to claim 12 or 13, characterized in that at least one or more arms ( 33 ) of the push rod ( 32 ) around the axis ( 7 ) of the push rod ( 32 ) and rotatable by means of a stationary rotary drive ( 18 ) are rotatable. Wafergreifer nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Schubantrieb (30) und der Schubstange (32) eine Kupplung (35) vorgesehen ist, die die Schubstange (32) in Drehrichtung (21) von dem Schubantrieb (30) entkoppelt.Wafer gripper according to one of claims 12 to 14, characterized in that between the thrust drive ( 30 ) and the push rod ( 32 ) a coupling ( 35 ) is provided which the push rod ( 32 ) in the direction of rotation ( 21 ) from the linear actuator ( 30 ) decoupled. Wafergreifer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die eine bzw. die beiden Greifbacken (4) zum Greifen der Kante des Wafers (2) ausgebildet sind.Wafer gripper according to one of the preceding claims, characterized in that the one or both gripping jaws ( 4 ) for gripping the edge of the wafer ( 2 ) are formed. Wafergreifer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die eine bzw. die beiden Führungen (3) für die eine bzw. die beiden Greifbacken (4) als Linearführungen ausgebildet sind.Wafer gripper according to one of the preceding claims, characterized in that the one or both guides ( 3 ) for the one or the two jaws ( 4 ) are designed as linear guides. Verfahren zum Ansteuern des Wafergreifers (1) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Rotor (5) in Abhängigkeit der Drehung des zweiten Rotors (15), insbesondere mit- oder gegenläufig, gedreht wird.Method for activating the wafer gripper ( 1 ) according to claim 9, characterized in that the first rotor ( 5 ) in dependence on the rotation of the second rotor ( 15 ), in particular with or opposite, is rotated.
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