DE102004057057A1 - Substrate workstation and add-on module for a substrate workstation - Google Patents

Substrate workstation and add-on module for a substrate workstation Download PDF

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Substrat-Arbeitsstation (2) zum Bearbeiten und/oder Untersuchen und/oder Transport von Substraten. Die Substrat-Arbeitsstation (2) umfasst eine Zentraleinheit (15) und ein Gehäuse (14). Die Zentraleinheit (15) ist in dem Gehäuse (14) angeordnet und dient zum Bearbeiten und/oder Untersuchen und/oder Transport eines Substrats. Das Gehäuse (14) weist mindestens eine Schnittstelle (5) auf, an welcher ein Loadport-Modul (6) andockbar ist. Zum zumindest zeitweise Erhöhen der Funktion einer Substrat-Arbeitsstation (2) bei einer nicht oder nicht wesentlichen Erhöhung des Footprints der Substrat-Arbeitsstation (2) ist die erfindungsgemäße Substrat-Arbeitsstation (2) dadurch gekennzeichnet, dass an dem Gehäuse (14) oder an der Schnittstelle (5) ein Zusatzmodul (1) anbringbar ist, mit welchem Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar sind. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Zusatzmodul (1), welches an eine Substrat-Arbeitsstation (2) anbringbar ist und mit welchem Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar sind.The present invention relates to a substrate workstation (2) for processing and / or examining and / or transporting substrates. The substrate workstation (2) comprises a central unit (15) and a housing (14). The central unit (15) is arranged in the housing (14) and serves to process and / or examine and / or transport a substrate. The housing (14) has at least one interface (5) to which a load port module (6) can be docked. For at least temporarily increasing the function of a substrate workstation (2) in the case of a non-substantial or non-substantial increase in the footprint of the substrate workstation (2), the substrate workstation (2) according to the invention is characterized in that on the housing (14) or on the interface (5) an additional module (1) can be attached, with which substrates can be processed and / or examined and / or transported. Furthermore, the present invention relates to an additional module (1) which can be attached to a substrate workstation (2) and with which substrates can be processed and / or examined and / or transported.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Substrat-Arbeitsstation zum Bearbeiten und/oder Untersuchen und/oder Transport von Substraten. Die Substrat-Arbeitsstation umfasst eine Zentraleinheit und ein Gehäuse. Die Zentraleinheit ist in dem Gehäuse angeordnet und dient zum Bearbeiten und/oder Untersuchen und/oder Transport eines Substrats. Das Gehäuse weist mindestens eine Schnittstelle auf, an welcher ein Loadport-Modul für Substrat-Aufbewahrungskassetten andockbar ist. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Zusatzmodul, welches an eine Substrat-Arbeitsstation anbringbar ist.The The present invention relates to a substrate workstation for Editing and / or examining and / or transporting substrates. The substrate workstation includes a central unit and a housing. The central unit is in the case arranged and used for editing and / or exploring and / or Transport of a substrate. The housing has at least one interface on which a loadport module for substrate storage cassettes is dockable. Furthermore, the present invention relates to a Additional module, which attachable to a substrate workstation is.

Bei den Substraten handelt es sich einerseits um scheibenförmige Wafer, die meistens aus Silizium oder Galliumarsenid bestehen. Substrate können andererseits auch Masken sein, also Glasplatten, auf denen Strukturen aufgebracht sind oder aufgebracht werden und die als Vorlage für die Belichtung der Wafer dienen.at on the one hand, the substrates are disk-shaped wafers, which mostly consist of silicon or gallium arsenide. substrates can on the other hand also be masks, ie glass plates on which structures are applied or applied and as a template for the exposure serve the wafer.

Bei der Herstellung von Halbleiter-Wafern werden zwischen bestimmten Herstellungsschritten die Substrate in Substrat-Aufbewahrungskassetten unterschiedlicher Art zu verschiedenen Arbeitsstationen transportiert und müssen dort in die jeweilige Arbeitsstation eingeführt werden. Der Transport kann manuell oder automatisiert erfolgen. Ein an eine Substrat-Arbeitsstation andockbares Modul, welches eine Substrat-Aufbewahrungskassette zum Be- und/oder Entladen der Substrat-Arbeitsstation aufnimmt, wird auch als Loadport-Modul bzw. als Substrat-Zuführungsmodul bezeichnet und stellt quasi eine Art Interface zwischen der Substrat-Aufbewahrungskassetten und der Substrat-Arbeitsstation dar. Die Loadport-Module für Substrat-Aufbewahrungskassetten weisen zum Andocken bzw. zum Adaptieren an die Substrat-Arbeitsstationen gemäß einer SEMI-Norm normierte Schnittstellen auf. Hier ist insbesondere die SEMI-Norm E63-0600A einschlägig, welche eine normierte Andockstelle als Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS) normiert. In dieser Norm sind alle Maße der Andockstelle definiert und dargestellt.at the production of semiconductor wafers are determined between Make the substrates different in substrate storage cassettes Kind transported to different workstations and need there be introduced into the respective workstation. The transport can be done manually or automated. On to a substrate workstation dockable module comprising a substrate storage cassette for Loading and / or unloading the substrate workstation is, is also as a loadport module or as a substrate feed module refers to and provides a sort of interface between the substrate storage cassettes and the substrate workstation. The loadport modules for substrate storage cassettes have for docking or for adapting to the substrate workstations according to a SEMI standard standardized interfaces. Here is in particular the SEMI standard E63-0600A relevant which a standardized docking station as Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS) normalized. This standard defines all dimensions of the docking point and shown.

Die Substrat-Arbeitsstationen dienen unterschiedlichen Zwecken für die Behandlung der Substrate wie die Inspektion, Vermessung oder Bearbeitung der Substrate. Eine solche Untersuchung ist z.B. die Kontrolle der Waferkante (Wafer Edge Inspection oder WIE abgekürzt) oder die Kontrolle der Waferrückseite („Backside") oder die Kontrolle der Randeentlackung (auch „Edge Bead Removal" oder kurz EBR genannt). Bei der Inspektion der Substrate werden diese insbesondere hinsichtlich unerwünschter Partikel auf den Substraten oder auf Fehler in den Strukturen auf oder in der Oberfläche der Substrate optisch inspiziert. Die Inspektion kann durch den Benutzer oder automatisiert mit Hilfe einer elektronischen Kamera erfolgen. Zur Inspektion dienende Substrat-Arbeitsstationen, auch Waferinspektionsgeräte genannt, sind beispielsweise unter den Bezeichnungen INS 3000 und INS 3300 der Anmelderin aus dem Stand der Technik bekannt. In solchen oder auch in separaten Arbeitsstationen können zudem Messungen auf den Substraten vorgenommen werden. Beispielsweise können die unerwünschten Partikel oder Strukturfehler automatisch erkannt und klassifiziert werden (Defektanalyse). Zudem können die Breiten, Abstände oder Dicken der Strukturen vermessen werden (CD-Analyse, Schichtdickenanalyse). Die Inspektions- und Messabläufe sind häufig vollautomatisiert, sowohl was die Handhabung bzw. das Handling der Substrate betrifft, als auch hinsichtlich der zu inspizierenden oder zu vermessenden Orte auf dem Substrat.The Substrate workstations serve different purposes for treatment the substrates such as the inspection, surveying or processing of Substrates. Such an examination is e.g. the control of the wafer edge (Wafer Edge Inspection or AS abbreviated) or the control of Wafer backside ("Backside") or the control marginal decoating (also "Edge Bead Removal "or short EBR called). When inspecting the substrates they become especially with regard to unwanted particles on the substrates or on defects in the structures on or in the surface the substrates optically inspected. The inspection can by the User or automated with the help of an electronic camera respectively. Inspecting Substrate Workstations, too Wafer inspection equipment named, for example, under the names INS 3000 and INS 3300 known to the applicant from the prior art. In such or in separate workstations can also measurements on the Substrates are made. For example, the unwanted ones Particles or structural defects are automatically detected and classified become (defect analysis). In addition, the Widths, distances or thicknesses of the structures are measured (CD analysis, layer thickness analysis). The inspection and measuring procedures are often fully automated, both in terms of handling and handling of the substrates, as well as with regard to the places to be inspected or measured on the substrate.

Eine Substrat-Arbeitsstation ist zumeist für einen ganz speziellen Zweck bzw. für eine bestimmte Aufgabe ausgelegt und konstruiert und daher bezüglich eines vielseitigen Einsatzes in der Regel eben nicht geeignet oder ausgelegt. Des Weiteren wird eine Substrat-Arbeitsstation hauptsächlich im Reinraum eingesetzt, wo nicht zuletzt aufgrund der hohen Betriebskosten eine Substrat-Arbeitsstation idealerweise so wenig Platz wie möglich einnehmen darf und eine bestimmte Grundfläche bzw. einen so genannten „Footprint" nicht übersteigen darf. Eine zumindest zeitweise Flexibilität bei dem Einsatz von bereits installierten und betriebenen Substrat-Arbeitsstationen, beispielsweise das Hinzufügen einer zusätzlichen Inspektionsmethode, wäre wünschenswert, ist aber-wenn überhaupt möglich – entweder mit erheblichen Umrüstarbeiten einer Substrat-Arbeitsstation und damit verbundenen Ausfallzeiten in der Produktion/Inspektion der Substrate möglich, oder aber es müsste aufgrund eines an die Substrat-Arbeitsstation angebauten weiteren Inspektionsmoduls die für die Substrat-Arbeitsstation vorgesehene Grundfläche hierdurch erhöht werden, was nicht immer möglich ist.A Substrate workstation is mostly for a very special purpose or for designed and constructed a specific task and therefore with respect to a versatile use usually just not suitable or designed. Furthermore, a substrate workstation becomes mainly in the Reinraum used where not least due to the high operating costs Ideally, occupy as little space as possible for a substrate workstation may and a certain footprint or a so-called "footprint" may. An at least temporary flexibility in the use of already installed and operated substrate workstations, such as the Add an additional one Inspection method would be desirable, is but if at all possible - either with considerable conversion work a substrate workstation and associated downtime possible in the production / inspection of the substrates, or else it would have to be due an attached to the substrate workstation further inspection module the for the Substrate workstation provided base area can be increased thereby, which is not always possible is.

Es werden im Allgemeinen hohe Anforderungen an das Handling der Substrate gestellt, wie hinsichtlich der Sicherheit, Geschwindigkeit und Sauberkeit des Handling. Zudem sollen auch Substrate mit unterschiedlichen Durchmessern verwendet und im Handling eingebracht werden können. Das Handling der Substrate bedeutet dabei insbesondere die Übergabe der Substrate von einem Substrat-Zuführungsmodul in eine Arbeitsstation, die örtlichen Veränderungen innerhalb der Arbeitsstation bzw. der Transport des Substrats und schließlich wieder zurück in das Substrat-Zuführungsmodul, gegebenenfalls mit entsprechender Sortierung.It In general, high demands are placed on the handling of the substrates as regards safety, speed and cleanliness of handling. In addition, also substrates with different Diameters used and can be introduced in the handling. The Handling of the substrates means in particular the transfer the substrates of a substrate delivery module in a workstation, the local changes within the workstation or the transport of the substrate and after all back again into the substrate delivery module, if necessary with appropriate sorting.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, zumindest zeitweise die Funktion einer Substrat-Arbeitsstation erhöhen zu können, wobei hierbei der Footprint der Substrat-Arbeitsstation nicht oder nicht wesentlich erhöht werden soll.Of the The present invention is therefore based on the object, at least temporarily increase the function of a substrate workstation, where In this case, the footprint of the substrate workstation is not or not significantly increased shall be.

Die erfindungsgemäße Substrat-Arbeitsstation der eingangs genannten Art löst die voranstehende Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruchs 1. Danach ist eine Substrat-Arbeitsstation dadurch gekennzeichnet, dass an dem Gehäuse oder an der Schnittstelle ein Zusatzmodul anbringbar ist, mit welchem Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar sind.The inventive substrate workstation of the type mentioned above triggers the above object by the features of the claim 1. Thereafter, a substrate work station is characterized that on the case or at the interface an additional module can be attached, with which Substrates can be processed and / or examined and / or transported are.

Erfindungsgemäß ist zunächst erkannt worden, dass es bei manchen Anwendungen wünschenswert ist, bei einer bestehenden und installierten Substrat-Arbeitsstation zumindest zeitweise eine weitere Funktionalität bzw. Inspektionsmethode zur Verfügung zu haben. Dies kann in ganz besonders vorteilhafter Weise auch ohne Umrüstarbeiten einer bestehenden installierten Substrat-Arbeitsstation erfolgen, wenn diese weitere Funktionalität bzw. Inspektionsmethode in einem Zusatzmodul realisiert ist. Sodann ist es lediglich erforderlich, das entsprechende Zusatzmodul an eine Substrat-Arbeitsstation zeitweise oder dauerhaft zu adaptieren, so dass diese weitere Funktionalität bzw. Inspektionsmethode in Zusammenwirkung mit der Substrat-Arbeitsstation genutzt werden kann.According to the invention is initially recognized have been desirable in some applications existing and installed substrate workstation at least temporarily another functionality or inspection method available to have. This can be done in a particularly advantageous manner without retooling an existing installed substrate workstation, if this more functionality or inspection method is implemented in an additional module. thereupon it is only necessary to the appropriate additional module to temporarily or permanently adapt a substrate workstation, so that this additional functionality or inspection method interacts can be used with the substrate workstation.

Ganz allgemein kann das Zusatzmodul an eine am Gehäuse der Substrat-Arbeitsstation bereits vorgesehenen Schnittstelle adaptiert werden. Es ist jedoch auch denkbar, dass das Zusatzmodul unmittelbar am Gehäuse der Substrat-Arbeitsstation adaptierbar ist, wobei dieser Gehäuseabschnitt keine unmittelbare Schnittstellenfunktion, beispielsweise zum Austausch von Substraten zwischen der Substrat-Arbeitsstation und anderen Einheiten, aufweist. Es könnte viel mehr am Gehäuse der Substrat-Arbeitsstation ein Gehäuseteil vorgesehen sein, welches zunächst vom Gehäuse zu entfernen ist, um dann das Zusatzmodul an dem Gehäuse zu adaptieren. In diesem Fall bräuchte die Substrat-Arbeitsstation keine Schnittstelle aufweisen.All Generally, the add-on module may be provided to a housing already provided on the substrate workstation Interface can be adapted. However, it is also conceivable that the additional module can be adapted directly to the housing of the substrate workstation is, with this housing section no immediate interface function, for example for replacement of substrates between the substrate workstation and others Units comprising. It could much more on the case the substrate workstation be provided a housing part, which first from the case to remove, then to adapt the additional module to the housing. In this case would need the substrate workstation has no interface.

Insbesondere wenn die ein Zusatzmodul aufweisende zusätzliche Funktionalität nur zeitweise benötigt wird, ist das Zusatzmodul an dem Gehäuse oder an der Schnittstelle reversibel anbringbar. Hierfür könnten mechanische Schnellkopplungsverbindungen an dem Zusatzmodul und/oder an der Substrat-Arbeitsstation vorgesehen sein, so dass das Zusatzmodul mit nur wenigen Handgriffen an der Substrat-Arbeitsstation an- oder abbaubar ist.Especially if the additional functionality having an add-on module is only temporary needed is the add-on module on the housing or at the interface reversibly attachable. Therefor could mechanical quick coupling connections on the additional module and / or at the substrate workstation be provided so that the additional module with just a few simple steps on the substrate workstation on or is degradable.

Bevorzugt ist die Schnittstelle des Zusatzmoduls derart ausgebildet, dass sie im an der Substrat-Arbeitsstation adaptierten Zustand eine reinraumtaugliche Verbindung zwischen dem Zusatzmodul und der Substrat-Arbeitsstation gewährleistet. Gleiches sollte grundsätzlich für die Schnittstelle der Substrat-Arbeitsstation gelten. So könnte die Schnittstelle des Zusatzmoduls und/oder der Substrat-Arbeitsstation mindestens ein mechanisches Kopplungsmittel aufweisen, welches eine reinraumtaugliche Verbindung zwischen Zusatzmodul und Substrat-Arbeitsstation ermöglicht. Das mechanische Kopplungsmittel könnte beispielsweise einen Schraubverbinder oder einen Anpressverbinder mit einem drehbar gelagerten Hebel aufweisen.Prefers the interface of the additional module is designed such that in the state adapted to the substrate workstation, it is a clean room suitable Connection between the add-in module and the substrate workstation guaranteed. The same should basically for the Apply to the substrate workstation interface. So could the Interface of the add-on module and / or the substrate workstation have at least one mechanical coupling agent, which is a Cleanroom compatible connection between add-on module and substrate workstation allows. The mechanical coupling means could for example be a screw connector or have a Anpressverbinder with a rotatably mounted lever.

In einer ganz besonders bevorzugten Ausführungsform ist die Schnittstelle entsprechend eines Standards oder einer Industrienorm ausgebildet, vorzugsweise gemäß einer SEMI-Norm, nämlich insbesondere nach der SEMI-Norm E63-0600A. Diese Industrienorm normiert eine normierte Andockstelle als Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS). Somit kann in ganz besonders vorteilhafter Weise ein Zusatzmodul mit einer solch normierten Schnittstelle zumindest hinsichtlich der mechanischen Schnittstelleneigenschaften an jede Substrat-Arbeitsstation angekoppelt werden, welche eine derart normierte Schnittstelle aufweist. Da jedoch fast jede Substrat-Arbeitsstation zumindest eine solche Schnittstelle zum Ankoppeln eines Loadport-Moduls für Substrat-Aufbewahrungskassetten aufweist, ist durch die Ausgestaltung der Schnittstellen sowohl des Zusatzmoduls als auch der Substrat-Arbeitsstation eine universelle Ankopplung von Zusatzmodul an einer Substrat-Arbeitsstation möglich. Wenn die äußeren Maße des Zusatzmoduls im wesentlichen denen eines Loadport-Moduls entsprechen, verändert sich die Grundfläche der Substrat-Arbeitsstation mit dem daran adaptierten Zusatzmodul nicht wesentlich gegenüber der Grundfläche, die eine Substrat-Arbeitsstation mit einem daran adaptierten Loadport-Modul einnimmt. Insoweit ist hierdurch in ganz besonders vorteilhafter Weise die Funktionalität einer Substrat-Arbeitsstation flexibel und in vielseitiger Art und Weise erweiterbar, ohne dass wesentlich mehr Platz für die Substrat-Arbeitsstation zur Verfügung zu stellen ist.In a most preferred embodiment is the interface designed according to a standard or an industrial standard, preferably according to a SEMI standard, namely in particular according to the SEMI standard E63-0600A. This industry norm standardized a standardized docking station as Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS). Thus, in a particularly advantageous manner, an additional module with such a normalized interface at least in terms of the mechanical interface properties to each substrate workstation be coupled, which has such a normalized interface. However, because almost every substrate workstation has at least one Interface for coupling a loadport module for substrate storage cassettes is characterized by the design of the interfaces both the add-on module as well as the substrate workstation a universal coupling from add-on module to a substrate workstation possible. If the outer dimensions of the add-on module essentially correspond to those of a loadport module, the changes Floor space the substrate workstation with the additional module adapted thereto not significantly opposite the base area, which occupies a substrate workstation with a loadport module adapted thereto. In that regard, this is in a particularly advantageous way the functionality a substrate workstation flexible and versatile expandable, without significantly more space for the substrate workstation to disposal is to make.

Grundsätzlich kann es sich bei der Zentraleinheit einer Substrat-Arbeitsstation um eine ein Fertigungstool, ein Robotersystem, ein Randinspektionssystem, ein Mikroinspektionssystem und/oder ein Makroinspektionssystem handeln. Mit anderen Worten kommen als Substrat-Arbeitsstationen sämtliche, aus dem Stand der Technik beziehungsweise auf dem Markt erhältliche Substrat-Arbeitsstationen in Frage, an welche ein Zusatzmodul adaptierbar ist.Basically it is in the central unit of a substrate workstation one a manufacturing tool, a robotic system, a rim inspection system, a micro-inspection system and / or a macro-inspection system. In other words, all work as substrate workstations the prior art or available on the market Substrate workstations in question, to which an additional module adaptable is.

Ganz besonders bevorzugt sind an der Substrat-Arbeitsstation und/oder am Zusatzmodul Interoperationsmittel vorgesehen, mit welchen eine Interoperation zwischen der Substrat-Arbeitsstation und einem an der Substrat-Arbeitsstation adaptierten Zusatzmodul realisierbar ist. Hierbei kann es sich insbesondere um elektrische Verbindungen zur Stromversorgung eines an der Substrat-Arbeitsstation adaptierten Zusatzmoduls handeln. Weiterhin können elektrische Schnittstellen vorgesehen sein, über welche Informationen zum Ansteuern des Zusatzmoduls und/oder Messdaten zwischen Zusatzmodul und Substrat-Arbeitsstation ausgetauscht werden können. Auch der jeweilige Betriebszustand des Zusatzmoduls und/oder des Substrat-Arbeitsstationen könnte über eine solche elektrische Schnittstelle ausgetauscht werden, so dass eine reibungslose und aufeinander abgestimmte Bearbeitung der Substrate sowohl mit der Substrat-Arbeitsstation als auch mit dem Zusatzmodul möglich ist.Very particularly preferred are at the sub strat workstation and / or on the additional module Interoperationsmittel provided, with which an interoperation between the substrate workstation and an adapted to the substrate workstation additional module can be realized. These may in particular be electrical connections for the power supply of an additional module adapted to the substrate workstation. Furthermore, electrical interfaces can be provided, via which information for controlling the additional module and / or measurement data can be exchanged between the additional module and the substrate workstation. Also, the respective operating state of the additional module and / or the substrate workstations could be exchanged via such an electrical interface, so that a smooth and coordinated processing of the substrates with both the substrate workstation and with the additional module is possible.

Die eingangs genannte Aufgabe wird auch durch die Merkmale des Patentanspruchs 7 gelöst. Demnach ist ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul an eine Substrat-Arbeitsstation nach einem der Patentansprüche 1 bis 6 – vorzugsweise reversibel – anbringbar. Mit dem Zusatzmodul sind Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar.The The object mentioned at the beginning is also characterized by the features of the patent claim 7 solved. Therefore is an inventive add-on module a substrate workstation according to one of the claims 1 to 6 - preferably reversible - attachable. With the additional module substrates are editable and / or examined and / or transportable.

Letztendlich kann die Funktionalität einer beliebigen Substrat-Arbeitsstation dadurch erhöht werden, dass ein Zusatzmodul, mit welchem Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar sind, an die Substrat-Arbeitsstation adaptiert wird. Hierzu ist lediglich eine Schnittstelle an der Substrat-Arbeitsstation oder eine Kopplungsstelle an dem Gehäuse der Substrat-Arbeitsstation erforderlich, an welchem das erfindungsgemäße Zusatzmodul adaptiert werden kann. Somit kann in ganz besonders vorteilhafter Weise ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul als OEM-System ausgebildet werden.At long last can the functionality any substrate workstation can be increased by that an additional module, with which substrates can be processed and / or examined and / or transportable, adapted to the substrate workstation becomes. This is only an interface to the substrate workstation or a coupling site on the housing of the substrate workstation required at which the additional module according to the invention are adapted can. Thus, in a particularly advantageous manner, an inventive additional module designed as an OEM system become.

Hinsichtlich der Schnittstelle eines Zusatzmoduls gilt das bereits oben Gesagte. Dementsprechend ist eine Schnittstelle vorzugsweise entsprechend eines Standards oder einer Industrienorm ausgebildet, bevorzugt gemäß einer SEMI-Norm, insbesondere nach der SEMI-Norm E63-0600A, welche eine normierte Andockstelle als Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS) normiert.Regarding the interface of an add-on module applies as already stated above. Accordingly, an interface is preferably appropriate a standard or an industry standard, preferably according to a SEMI standard, in particular according to the SEMI standard E63-0600A, which is a standardized docking station as Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS) normalized.

Ganz besonders bevorzugt weist das Zusatzmodul eine Schnittstelle auf, welche komplementär zu einer Schnittstelle einer Substrat-Arbeitsstation ausgebildet ist. Hierdurch ist eine einfache und wirksame Adaption des Zusatzmoduls an der Substrat-Arbeitsstation möglich. Weiterhin könnte die Schnittstelle des Zusatzmoduls derart ausgebildet sein, dass sie, wenn sie an einer Substrat-Arbeitsstation adaptiert ist, reinraumtauglich ist. Hierunter ist insbesondere zu verstehen, dass Kontaminationen von außerhalb nicht in die Substrat-Arbeitsstation mit dem daran adaptierten Zusatzmodul eindringen können. Vorzugsweise weist die Schnittstelle mindestens ein mechanisches Kopplungsmittel auf, welches eine reinraumtaugliche Verbindung zwischen Zusatzmodul und Substrat-Arbeitsstation ermöglicht.All particularly preferably, the additional module has an interface, which complementary formed to an interface of a substrate workstation is. This is a simple and effective adaptation of the additional module possible at the substrate workstation. Furthermore could the interface of the additional module be designed such that it, if adapted to a substrate workstation, cleanroom fit is. By this is meant in particular that contaminations of outside not in the substrate workstation with the add-on module adapted thereto can penetrate. Preferably, the interface has at least one mechanical one Coupling on which a pure space suitable connection between Add-in module and substrate workstation allows.

Ganz besonders bevorzugt weist das Zusatzmodul äußere Abmessungen auf, welche an den Abmessungen der Schnittstelle einer Substrat-Arbeitsstation angepasst sind und/oder die im Wesentlichen den äußeren Abmessungen oder der Grundfläche eines Loadport-Moduls oder einer Substrat-Aufbewahrungskassette entsprechen. Somit verändert sich die Grundfläche der Substrat-Arbeitsstation mit einem daran adaptierten Zusatzmodul nicht wesentlich gegenüber der Grundfläche, die eine Substrat-Arbeitsstation mit einer daran adaptierten Substrat-Aufbewahrungskassette oder Loadport-Modul einnimmt. Insoweit ist hierdurch in ganz besonders vorteilhafter Weise die Funktionalität einer Substrat-Arbeitsstation flexibel und in vielseitiger Art und Weise erweiterbar, ohne dass wesentlich mehr Platz – beispielsweise in einem Reinraum – zur Verfügung zu stellen ist.All particularly preferably, the additional module has external dimensions which on the dimensions of the interface of a substrate workstation are adapted and / or the substantially the outer dimensions or the Floor space a loadport module or a substrate storage cassette correspond. Thus changed itself the base area the substrate workstation with an adapted thereto add-on module not significantly opposite the base area, a substrate workstation with a substrate storage cassette adapted thereto or loadport module. In that regard, this is particularly advantageous Way the functionality a substrate workstation flexible and versatile expandable, without significantly more space - for example, in a clean room - available too is.

Das Zusatzmodul könnte eine weitere Schnittstelle aufweisen, welche vorzugsweise auf der der Schnittstelle abgewandten Seite angeordnet ist. Diese weitere Schnittstelle könnte beispielsweise als Eingabe- und/oder Ausgabeport dient, über welchen Substrate von und/oder zu einer externen Substrattransport-Vorrichtung entgegennehmbar und/oder abgebbar sind. So wäre es beispielsweise denkbar, dass das Zusatzmodul an zwei gegenüberliegenden Seiten des Zusatzmoduls angeordnete BOLTS-Schnittstellen aufweist, so dass das Zusatzmodul mit der einen Schnittstelle an der Substrat-Arbeitsstation adaptierbar ist und dass an der anderen Schnittstelle des Zusatzmoduls ein Loadport-Modul andockbar ist. Es wäre auch denkbar, dass das Zusatzmodul über die weitere Schnittstelle an einer weiteren Zentraleinheit einer weiteren Substrat-Arbeitsstation anbringbar ist. Mit anderen Worten wäre das Zusatzmodul zwischen zwei Substrat-Arbeitsstationen anordenbar, und könnte hierdurch die Funktionalität dieser zwei Substrat-Arbeitsstationen erweitern.The Additional module could have a further interface, which preferably on the Interface facing away from the side is arranged. This further interface could For example, serves as an input and / or output port, via which substrates from and / or to an external substrate transport device aufnehmbar and / or deliverable. That's how it is For example, it is conceivable that the additional module on two opposite sides of the additional module arranged BOLTS interfaces, so that the add-on module with the one interface at the substrate workstation is adaptable and that at the other interface of the additional module a loadport module can be docked. It would also be conceivable that the additional module on the another interface to another central unit of another Substrate workstation is attachable. In other words, it would be the add-on module can be arranged between two substrate workstations, and could thereby the functionality expand these two substrate workstations.

Im folgenden werden einige denkbare Beispiele für Funktionalitäten von Zusatzmodulen angegeben. So könnten die Zusatzmodule derart ausgebildet sein, dass damit

  • • eine Substratrandinspektion oder eine Wafer-Edge-Inspection (WEI),
  • • eine Kontrolle der Substratrückseite,
  • • eine Kontrolle der Randentlackung des Substrats bzw. ein Edge Bead Removal (EBR) und/oder
  • • Filmschichtdickemessungen, beispielsweise von Lacken, durchführbar ist bzw. sind.
The following are some conceivable examples of additional module functionality. Thus, the additional modules could be designed such that so
  • • a substrate edge inspection or a wafer edge inspection (WEI),
  • A control of the substrate back,
  • • Edge Bead Removal (EBR) and / or Edge Bead Removal (EBR) inspection
  • • Film thickness measurements, for example of paints, is or is feasible.

Ganz besonders bevorzugt weist ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul eine Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung zur Ansteuerung und/oder Auswertung der damit durchzuführenden Arbeitsschritte auf. Insoweit kann dieses Zusatzmodul weitgehend autark die mit ihm auszuführenden Arbeitsschritte ausführen, ohne das die Substrat-Arbeitsstation, an welcher das Zusatzmodul adaptiert ist, die entsprechende Ansteuerung und/oder Auswertung der mit dem Zusatzmodul durchzuführenden Arbeitsschritte zur Verfügung stellen muss.All Particularly preferably, an additional module according to the invention has a control and / or evaluation device for the control and / or evaluation of the so to be carried out Working steps. In that regard, this additional module is largely self-sufficient the ones to be done with him Perform work steps, without the substrate workstation, at which the additional module is adapted, the corresponding control and / or evaluation of to be carried out with the additional module Work steps available must make.

Es könnte auch mindestens einen Aktuator in oder an dem Zusatzmodul vorgesehen sein, mit welchem Substrate transportierbar oder handhabbar sind. Mit einem solchen Aktuator könnte insbesondere ein Substrat verschiebbar, drehbar und/oder justierbar sein.It could Also provided at least one actuator in or on the additional module be, with which substrates can be transported or handled. With such an actuator could in particular, a substrate displaceable, rotatable and / or adjustable be.

Die mit dem Zusatzmodul erhaltenen Ergebnisse der Substratbearbeitung und/oder Substratinspektion könnten bevorzugt mittels eines am Zusatzmodul vorgesehenen Ausgabeterminals ausgegeben werden. Hierbei könnte es sich im einfachsten Fall um einen Monitor bzw. ein Display handeln. Alternativ oder zusätzlich könnten solche Ergebnisse über eine Datenschnittstelle an ein externes System, beispielsweise auf ein VISCON Terminal oder an eine zentrale Steuer- und Auswerteeinheit, zur weiteren Verarbeitung bzw. Auswertung übertragen werden. Ein so genanntes VISCON Terminal ist eine Auswertesoftware der Anmelderin mit der Bezeichnung VISCON NT, welche auf einen Computer läuft und mit welcher Bild- und Inspektionsdaten auswertbar bzw. analysierbar sind.The with the additional module results of substrate processing and / or substrate inspection preferably by means of an output terminal provided on the additional module be issued. This could be in the simplest case, it is a monitor or a display. Alternatively or in addition could such results over a data interface to an external system, for example a VISCON terminal or a central control and evaluation unit, for further processing or evaluation. A so-called VISCON Terminal is an evaluation software of the applicant with the Designation VISCON NT, which runs on a computer and with which image and inspection data can be evaluated or analyzed are.

In einer ganz besonders bevorzugten Ausführungsform ist das Zusatzmodul an eine Fertigungsstraße für Substrate ankoppelbar. Somit kann an einzelnen erforderlichen Stellen bzw. Positionen der Fertigungsstraße jeweils ein entsprechendes Zusatzmodul adaptiert werden, so dass in den Fertigungsprozess für die Substrate eine entsprechende Kontrolle, Inspektion und/oder Behandlung der Substrate mit Hilfe des Zusatzmoduls möglich ist. Hierdurch kann in ganz besonders vorteilhafter Weise die Effektivität einer Fertigungsstraße ganz erheblich verbessert werden, da ggf. vorliegende Defekte oder Verunreinigungen an den Substraten frühzeitig erkannt und gegebenenfalls behoben oder ein defektes Substrat ausgesondert werden.In In a very particularly preferred embodiment, the additional module to a production line for substrates coupled. Thus, at individual required places or Positions of the production line each adapted a corresponding additional module, so that in the manufacturing process for the substrates a corresponding inspection, inspection and / or Treatment of the substrates by means of the additional module is possible. This can in a particularly advantageous manner, the effectiveness of a production line be significantly improved, since possibly present defects or contaminants at the substrates early recognized and possibly eliminated or rejected a defective substrate become.

Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die dem Patentanspruch 1 nachgeordneten Patentansprüche und andererseits auf die nachfolgende Erläuterung der bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung der bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung werden auch im Allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigen jeweils in einer schematischen Darstellung inIt are now different ways to design the teaching of the present invention in an advantageous manner and further education. On the one hand to the claim 1 subordinate claims and on the other hand to the following explanation of the preferred embodiments of the invention with reference to the drawing. Combined with the explanation the preferred embodiments The invention with reference to the drawings are also generally preferred Embodiments and developments of the teaching explained. In of the drawing each show in a schematic representation in

1 eine perspektivische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Zusatzmoduls, 1 a perspective view of a first embodiment of an additional module according to the invention,

2 eine perspektivische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Zusatzmoduls, 2 a perspective view of a second embodiment of an additional module according to the invention,

3 eine vordere Seitenansicht eines ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Substrat-Arbeitsstation, an welcher ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul angebracht ist, 3 a front side view of a first embodiment of a substrate workstation according to the invention, to which an inventive add-on module is attached,

4 eine Aufsicht des Ausführungsbeispiels aus 3, 4 a plan view of the embodiment 3 .

5 eine Aufsicht eines um eine weitere Substrat-Arbeitsstation erweitertes Ausführungsbeispiel aus den 3 und 4, 5 a plan view of a further substrate workstation extended embodiment of the 3 and 4 .

6, 8, 10 jeweils eine vordere Seitenansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Substrat-Arbeitsstation, an welche ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul angebracht ist, 6 . 8th . 10 in each case a front side view of a further embodiment of a substrate workstation according to the invention, to which an additional module according to the invention is attached,

7, 9, 11 jeweils eine Aufsicht der Ausführungsbeispiele aus den 6, 8 und 10. 7 . 9 . 11 each a plan view of the embodiments of the 6 . 8th and 10 ,

Gleiche oder ähnliche Bauteile bzw. Baugruppen sind in den 1 bis 11 mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet.Same or similar components or assemblies are in the 1 to 11 marked with the same reference numerals.

Die 1 und 2 zeigen jeweils ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul 1, welches beispielsweise an eine erfindungsgemäße Substrat-Arbeitsstation 2, wie sie in 3 gezeigt ist, adaptierbar ist. Mit dem erfindungsgemäßen Zusatzmodul 1 können in den Figuren nicht gezeigtes Substrate bearbeitet und/oder untersucht und/oder transportiert werden. Das Zusatzmodul 1 aus 1 umfasst eine Anzeigeeinheit 3 und eine Bedienkonsole 4. Das Zusatzmodul aus 2 umfasst zur Auswertung der Messergebnisse alle notwendigen Systeme, gibt aber die entsprechenden Rohdaten an eine in der 2 nicht gezeigte Ausgabeeinheit weiter und kann somit auch von einer externen Eingabeeinheit bedient werden. Insoweit umfasst das Zusatzmodul 1 aus 2 weder eine Anzeigeeinheit noch eine Bedienkonsole.The 1 and 2 each show an inventive additional module 1 , which, for example, to a substrate workstation according to the invention 2 as they are in 3 is shown, is adaptable. With the additional module according to the invention 1 For example, substrates which are not shown in the figures can be processed and / or examined and / or transported. The additional module 1 out 1 includes a display unit 3 and a control panel 4 , The additional module 2 includes all the necessary systems for the evaluation of the measurement results, but gives the corresponding raw data to one in the 2 not shown output unit and thus can also be operated by an external input unit. In that regard, the additional module includes 1 out 2 neither a display unit nor a control panel.

Die erfindungsgemäßen Zusatzmodule 1 der 1 und 2 umfassen jeweils eine Schnittstelle 5, welche nach der SEMI-Norm E63-0600A ausgebildet ist und mit welcher ein Zusatzmodul 1 an eine entsprechend komplementär ausgebildete Schnittstelle einer Substrat-Arbeitsstation 2 ankoppelbar ist. Die SEMI-Norm E63-0600A beschreibt eine genormte Andockstelle als Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS). Hierbei entsprechen die Abmessungen des Zusatzmoduls 1 im Wesentlichen der Grund- bzw. Standfläche eines Loadport-Moduls 6 für eine Substrat-Aufbewahrungskassette 7. Auch des Loadport-Modul 6 weist eine Schnittstelle 5 auf, die zu der entsprechenden Schnittstelle 5 der Substrat-Arbeitsstation 2 komplementär ausgebildet ist.The additional modules according to the invention 1 of the 1 and 2 each comprise an interface 5 , which is designed according to the SEMI standard E63-0600A and with which an additional module 1 to a corresponding complementarily formed interface of a substrate workstation 2 can be coupled. The SEMI standard E63-0600A describes a standardized docking station as Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS). Here, the dimensions of the additional module correspond 1 essentially the base or footprint of a loadport module 6 for a substrate storage cassette 7 , Also the loadport module 6 has an interface 5 on that to the appropriate interface 5 the substrate workstation 2 is formed complementary.

3 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Substrat-Arbeitsstation 2, an welcher ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul 1 sowie zwei Loadport-Module 6 angebracht ist. Die in 2 gezeigte Substrat-Arbeitsstation 2 ist in Form eines Robotersystems 8 bzw. EFEMS (Equipment Front End Modul) ausgebildet und kann beispielsweise an eine weitere, in 3 nicht gezeigte Substrat-Arbeitsstation gekoppelt werden, die von dem Robotersystem 8 mit Substraten be- bzw. entladen wird. Das in 3 gezeigte Zusatzmodul 1 ist gemäß diesem Ausführungsbeispiel in Form eines Wafer-Edge-Inspection-Moduls (WEI) ausgebildet. Somit kann schon bei dem Robotersystem 8 eine Randinspektion der mit dem Robotersystem 8 gehandelten Substrate erfolgen. 4 zeigt das Ausführungsbeispiel aus 3 in einer Aufsicht. 3 shows a first embodiment of a substrate workstation according to the invention 2 to which an additional module according to the invention 1 as well as two loadport modules 6 is appropriate. In the 2 shown substrate workstation 2 is in the form of a robot system 8th or EFEMS (Equipment Front End Module) is formed and can, for example, to another, in 3 Substrate workstation, not shown, to be coupled by the robot system 8th is loaded or unloaded with substrates. This in 3 shown additional module 1 is formed according to this embodiment in the form of a wafer edge inspection module (WEI). Thus, even with the robot system 8th a border inspection with the robot system 8th Traded substrates take place. 4 shows the embodiment 3 in a supervision.

In 5 ist eine zu den 3 und 4 vergleichbare Konfiguration gezeigt. Jedoch ist dort eine weitere Substrat-Arbeitsstation 2 vorgesehen, die in Form eines Makroinspektionssystems 9 ausgebildet ist. Mit dem Robotersystem 8 können dem Makroinspektionssystem 9 Substrate zugeführt oder davon abgeführt werden.In 5 is one to the 3 and 4 comparable configuration shown. However, there is another substrate workstation 2 provided in the form of a macro inspection system 9 is trained. With the robot system 8th can the macro inspection system 9 Substrates are supplied or removed therefrom.

6 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Substrat-Arbeitsstation 2, an welcher ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul 1 sowie ein Loadport-Modul 6 angebracht ist. Die in 6 gezeigte Substrat-Arbeitsstation 2 ist in Form eines Fertigungstools bzw. einer Fertigungsstraße 10 ausgebildet. Auch das in 6 gezeigte Zusatzmodul 1 ist in Form eines Wafer-Edge-Inspection (WEI) ausgebildet. 7 zeigt das Ausführungsbeispiel aus 6 in einer Aufsicht. Das Loadport-Modul 6 dient zum Beladen und Entladen der Fertigungsstraße 10 und wird von deren Handlingsystem be- bzw. entladen. Hierdurch kann in ganz besonders vorteilhafter Weise an nahezu beliebiger Stelle der Fertigungsstraße 10 eine Wafer-Edge-Inspection durchgeführt werden. Voraussetzung hierfür ist lediglich, dass an der Fertigungsstraße 10 an der entsprechenden Stelle entweder eine Schnittstelle 5 oder eine Anbaustelle an dem Gehäuse der Fertigungsstraße 10 vorgesehen ist. 6 shows a further embodiment of a substrate workstation according to the invention 2 to which an additional module according to the invention 1 as well as a loadport module 6 is appropriate. In the 6 shown substrate workstation 2 is in the form of a production tool or a production line 10 educated. Also in 6 shown additional module 1 is designed in the form of a wafer edge inspection (WEI). 7 shows the embodiment 6 in a supervision. The loadport module 6 is used for loading and unloading the production line 10 and is loaded or unloaded by their handling system. As a result, in a particularly advantageous manner at almost any point of the production line 10 a wafer edge inspection will be performed. The only prerequisite for this is that on the production line 10 either an interface at the appropriate location 5 or a place of attachment to the housing of the production line 10 is provided.

8 zeigt eine der 3 vergleichbare Konfiguration, welche eine in Form eines Robotersystems 8 bzw. EFEMS ausgebildete Substrat-Arbeitsstation 2 aufweist. An dem Robotersystem 8 ist ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul 1 sowie zwei Loadport-Module 6 angebracht. Das Zusatzmodul 1 aus 8 könnte ein Modul zum Durchführen einer Wafer-Edge-Inspection sein. Weiterhin ist eine in Form eines Inspektionssystems 11 ausgebildete Substrat-Arbeitsstation 2 an dem Robotersystem 8 angekoppelt. Mit dem Robotersystem 8 wird das Inspektionssystem 11 und das Zusatzmodul 1 mit Substraten beladen bzw. entladen. 9 zeigt das Ausführungsbeispiel aus 8 in einer Aufsicht. 8th shows one of the 3 comparable configuration, which in the form of a robot system 8th or EFEMS trained substrate workstation 2 having. On the robot system 8th is an inventive additional module 1 as well as two loadport modules 6 appropriate. The additional module 1 out 8th could be a module for performing a wafer edge inspection. Furthermore, one is in the form of an inspection system 11 trained substrate workstation 2 on the robot system 8th coupled. With the robot system 8th becomes the inspection system 11 and the add-on module 1 loaded or unloaded with substrates. 9 shows the embodiment 8th in a supervision.

10 zeigt eine weitere Konfiguration, bei welcher eine in Form eines Robotersystems 8 bzw. EFEMS ausgebildete Substrat-Arbeitsstation 2 zwischen zwei weiteren Substrat-Arbeitsstationen 2 angeordnet ist. Hierbei handelt es sich um ein Makroinspektionssystem 12 und um ein Mikroinspektionssystem 13. An dem Robotersystem 8 sind zwei Loadport-Module 6 angebracht. Auf der Rückseite des bezüglich der Ansicht aus 10 gezeigten Robotersystems 8 ist ein erfindungsgemäßes Zusatzmodul 1 angebracht, siehe 11. Auch das Zusatzmodul 1 aus 11 könnte ein Modul zum Durchführen einer Wafer-Edge-Inspection sein. Mit dem Robotersystem 8 wird das Makroinspektionssystem 12, das Mikroinspektionssystem 13 und das Zusatzmodul 1 mit Substraten beladen bzw. entladen. 11 zeigt das Ausführungsbeispiel aus 10 in einer Aufsicht. 10 shows another configuration in which one in the form of a robot system 8th or EFEMS trained substrate workstation 2 between two other substrate workstations 2 is arranged. This is a macro inspection system 12 and a micro-inspection system 13 , On the robot system 8th are two loadport modules 6 appropriate. On the back of the respect to the view 10 shown robot system 8th is an inventive additional module 1 attached, see 11 , Also the additional module 1 out 11 could be a module for performing a wafer edge inspection. With the robot system 8th becomes the macro inspection system 12 , the micro inspection system 13 and the add-on module 1 loaded or unloaded with substrates. 11 shows the embodiment 10 in a supervision.

Jede der in den 3 bis 11 gezeigten Substrat-Arbeitsstationen 2 umfasst ein Gehäuse 14, in welchem die Zentraleinheit 15 angeordnet ist, die nicht näher gezeigt ist.Each of the in the 3 to 11 shown substrate workstations 2 includes a housing 14 in which the central unit 15 is arranged, which is not shown in detail.

Abschließend sei ganz besonders darauf hingewiesen, dass die voranstehend erörterten Ausführungsbeispiele lediglich zur Beschreibung der beanspruchten Lehre dienen, diese jedoch nicht auf die Ausführungsbeispiele einschränken.In conclusion, be particularly noted that the above discussed embodiments merely to describe the claimed teaching, this but not on the embodiments limit.

11
Zusatzmoduladditional module
22
Substrat-ArbeitsstationSubstrate workstation
33
Anzeigeeinheitdisplay unit
44
Bedienkonsoleoperator
55
Schnittstelleinterface
66
Loadport-ModulLoad port module
77
Substrat-AufbewahrungskassetteSubstrate storage cassette
88th
Robotersystem (EFEMS)robot system (EFEMs)
99
MakroinspektionssystemMacro Inspection System
1010
Fertigungsstraßeproduction line
1111
Inspektionssysteminspection system
1212
MakroinspektionssystemMacro Inspection System
1313
MikroinspektionssystemMicro-inspection system
1414
Gehäuse von (2)Housing of ( 2 )
1515
Zentraleinheit von (2)Central unit of ( 2 )

Claims (21)

Substrat-Arbeitsstation zum Bearbeiten und/oder Untersuchen und/oder Transport von Substraten, mit einer Zentraleinheit (15) und einem Gehäuse (14), wobei die Zentraleinheit (15) in dem Gehäuse (14) angeordnet ist und zum Bearbeiten und/oder Untersuchen und/oder Transport eines Substrats dient, und wobei das Gehäuse (14) mindestens eine Schnittstelle (5) aufweist, an welcher ein Loadport-Modul (6) andockbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Gehäuse (14) oder an der Schnittstelle (5) ein Zusatzmodul (1) anbringbar ist, mit welchem Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar sind.Substrate workstation for processing and / or examining and / or transporting substrates, having a central processing unit ( 15 ) and a housing ( 14 ), the central unit ( 15 ) in the housing ( 14 ) and is used for processing and / or examining and / or transporting a substrate, and wherein the housing ( 14 ) at least one interface ( 5 ), to which a loadport module ( 6 ) is dockable, characterized in that on the housing ( 14 ) or at the interface ( 5 ) an additional module ( 1 ) is attachable, with which substrates can be processed and / or examined and / or transported. Substrat-Arbeitsstation nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Zusatzmodul (1) an dem Gehäuse (14) oder an der Schnittstelle (5) reversibel anbringbar ist.Substrate workstation according to claim 1, characterized in that the additional module ( 1 ) on the housing ( 14 ) or at the interface ( 5 ) is reversibly attachable. Substrat-Arbeitsstation nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Schnittstelle (5) des Zusatzmoduls (1) und/oder die Schnittstelle (5) der Substrat-Arbeitsstation (2, 8, 10) derart ausgebildet ist/sind, dass sie im adaptierten Zustand reinraumtauglich ist/sind, und dass vorzugsweise die Schnittstelle (5) mindestens ein mechanisches Kopplungsmittel aufweist, welches eine reinraumtaugliche Verbindung zwischen Zusatzmodul (1) und Substrat-Arbeitsstation (2, 8, 10) ermöglicht.Substrate workstation according to claim 1 or 2, characterized in that the interface ( 5 ) of the additional module ( 1 ) and / or the interface ( 5 ) of the substrate workstation ( 2 . 8th . 10 ) is / are designed so that it is cleanroom fit in the adapted state, and that preferably the interface ( 5 ) has at least one mechanical coupling agent, which is a pure space suitable connection between additional module ( 1 ) and substrate workstation ( 2 . 8th . 10 ). Substrat-Arbeitsstation nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Schnittstelle (5) entsprechend eines Standards oder einer Industrienorm ausgebildet ist, vorzugsweise gemäß einer SEMI-Norm, insbesondere nach der SEMI-Norm E63-0600A, welche eine normierte Andockstelle als Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS) normiert.Substrate workstation according to one of claims 1 to 3, characterized in that the interface ( 5 ) is designed according to a standard or an industry standard, preferably according to a SEMI standard, in particular according to the SEMI standard E63-0600A, which normalizes a standardized docking station as Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS). Substrat-Arbeitsstation nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Zentraleinheit (15) ein Fertigungstool (10), ein Robotersystem (8), ein Randinspektionssystem, ein Mikroinspektionssystem (13) und/oder ein Makroinspektionssystem (12) aufweist.Substrate workstation according to one of claims 1 to 4, characterized in that the central unit ( 15 ) a production tool ( 10 ), a robotic system ( 8th ), a boundary inspection system, a micro-inspection system ( 13 ) and / or a macro inspection system ( 12 ) having. Substrat-Arbeitsstation nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch Interoperationsmittel, mit welchen eine Interoperation zwischen der Substrat-Arbeitsstation (2, 8, 10) und einem an der Substrat-Arbeitsstation (2, 8, 10) adaptierten Zusatzmodul (1) realisierbar ist.Substrate workstation according to one of Claims 1 to 5, characterized by interoperating means with which an interoperation between the substrate workstation ( 2 . 8th . 10 ) and one at the substrate workstation ( 2 . 8th . 10 ) adapted additional module ( 1 ) is feasible. Zusatzmodul, welches an eine Substrat-Arbeitsstation nach einem der Ansprüche 1 bis 6 – vorzugsweise reversibel – anbringbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass mit dem Zusatzmodul (1) Substrate bearbeitbar und/oder untersuchbar und/oder transportierbar sind.Additional module, which is attached to a substrate workstation according to one of claims 1 to 6 - preferably reversible - attachable, characterized in that with the additional module ( 1 ) Substrates can be processed and / or examined and / or transported. Zusatzmodul nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch eine Schnittstelle (5), welche vorzugsweise entsprechend eines Standards oder einer Industrienorm ausgebildet ist, bevorzugt gemäß einer SEMI-Norm, insbesondere nach der SEMI-Norm E63-0600A, welche eine normierte Andockstelle als Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS) normiert.Additional module according to claim 7, characterized by an interface ( 5 ), which is preferably designed according to a standard or an industry standard, preferably according to a SEMI standard, in particular according to the SEMI standard E63-0600A, which standardizes a normalized docking station as Box Opener Loader to Tool Standard (BOLTS). Zusatzmodul nach Anspruch 7 oder 8, gekennzeichnet durch eine Schnittstelle (5), welche komplementär zu einer Schnittstelle (5) einer Substrat-Arbeitsstation (2, 8, 10) ausgebildet ist, dass die Schnittstelle (5) des Zusatzmoduls (1) derart ausgebildet ist, dass sie im an einer Substrat-Arbeitsstation (2, 8, 10) adaptierten Zustand reinraumtauglich ist, und dass vorzugsweise die Schnittstelle (5) mindestens ein mechanisches Kopplungsmittel aufweist, welches eine reinraumtaugliche Verbindung zwischen Zusatzmodul (1) und Substrat-Arbeitsstation (2, 8, 10) ermöglicht.Additional module according to claim 7 or 8, characterized by an interface ( 5 ) which is complementary to an interface ( 5 ) a substrate workstation ( 2 . 8th . 10 ) is designed such that the interface ( 5 ) of the additional module ( 1 ) is designed such that it can be mounted on a substrate workstation ( 2 . 8th . 10 ) adapted state clean room is suitable, and that preferably the interface ( 5 ) has at least one mechanical coupling agent, which is a pure space suitable connection between additional module ( 1 ) and substrate workstation ( 2 . 8th . 10 ). Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 9, gekennzeichnet durch äußere Abmessungen, welche an den Abmessungen der Schnittstelle (5) einer Substrat-Arbeitsstation (2) angepasst sind und/oder die im Wesentlichen den äußeren Abmessungen, insbesondere der Standfläche oder der Grundfläche eines Loadport-Moduls (6) für eine Substrat-Aufbewahrungskassette entsprechen.An additional module according to one of claims 7 to 9, characterized by external dimensions which correspond to the dimensions of the interface ( 5 ) a substrate workstation ( 2 ) and / or the substantially the outer dimensions, in particular the footprint or the footprint of a loadport module ( 6 ) for a substrate storage cassette. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 10, gekennzeichnet durch eine weitere Schnittstelle, welche vorzugsweise auf der der Schnittstelle (5) abgewandten Seite angeordnet ist.Additional module according to one of Claims 7 to 10, characterized by a further interface which is preferably located on the interface ( 5 ) facing away from the side. Zusatzmodul nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die weitere Schnittstelle als Eingabe- und/oder Ausgabeport dient, über welchen Substrate von und/oder zu einer externen Substrattransport-Vorrichtung bzw. Loadport-Modul entgegennehmbar und/oder abgebbar sind.Additional module according to claim 11, characterized in that that the further interface as an input and / or output port serves, over which substrates from and / or to an external substrate transport device or load port module can be received and / or delivered. Zusatzmodul nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Zusatzmodul (1) über die weitere Schnittstelle (5) an einer weiteren Zentraleinheit (15) einer weiteren Substrat-Arbeitsstation (2) anbringbar ist.Additional module according to claim 11 or 12, characterized in that the additional module ( 1 ) via the further interface ( 5 ) at another central unit ( 15 ) another substrate workstation ( 2 ) is attachable. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Zusatzmodul (1) derart ausgebildet ist, dass damit eine Substratrandinspektion oder eine Wafer-Edge-Inspection (WEI) durchführbar ist.Additional module according to one of claims 7 to 13, characterized in that the additional module ( 1 ) is designed such that a substrate edge inspection or a wafer edge inspection (WEI) can be carried out with it. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Zusatzmodul (1) derart ausgebildet ist, dass damit eine Kontrolle der Substratrückseite durchführbar ist.Additional module according to one of claims 7 to 14, characterized in that the additional module ( 1 ) Is designed such that thus a control of the substrate backside is feasible. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Zusatzmodul (1) derart ausgebildet ist, dass damit eine Kontrolle der Randentlackung des Substrats bzw. ein Edge Bead Removal (EBR) durchführbar ist.Additional module according to one of claims 7 to 15, characterized in that the additional module ( 1 ) is designed such that a control of the edge decoating of the substrate or an edge bead removal (EBR) can be carried out. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass das Zusatzmodul (1) derart ausgebildet ist, dass damit Filmschichtdickemessungen, beispielsweise von Lacken, durchführbar ist.Additional module according to one of claims 7 to 16, characterized in that the additional module ( 1 ) is designed such that thus film thickness measurements, for example of paints, is feasible. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 17, gekennzeichnet durch eine Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung zur Ansteuerung und/oder Auswertung der damit durchzuführenden Arbeitsschritte.Additional module according to one of claims 7 to 17, characterized by a control and / or evaluation device for controlling and / or evaluation of the steps to be performed therewith. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 18, gekennzeichnet durch mindestens einen Aktuator, mit welchem Substrate transportierbar oder handhabbar sind, wobei insbesondere mit dem Aktuator ein Substrat verschiebbar, drehbar und/oder justierbar ist.Additional module according to one of claims 7 to 18, characterized by at least one actuator, with which substrates can be transported or manageable, wherein in particular with the actuator, a substrate slidable, rotatable and / or adjustable. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die mit dem Zusatzmodul (1) erhaltenen Ergebnisse der Substratbearbeitung oder Substratinspektion mittels eines am Zusatzmodul (1) vorgesehenen Ausgabeterminals ausgebbar sind oder über eine Datenschnittstelle an ein externes System, beispielsweise auf ein VISCON Terminal, übertragbar sind.Additional module according to one of claims 7 to 19, characterized in that the with the additional module ( 1 ) results of the substrate processing or substrate inspection by means of an additional module ( 1 ) are output or can be transferred via a data interface to an external system, such as a VISCON terminal. Zusatzmodul nach einem der Ansprüche 7 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass das Zusatzmodul (1) an eine Fertigungsstraße (10) für Substrate ankoppelbar ist.Additional module according to one of claims 7 to 20, characterized in that the additional module ( 1 ) to a production line ( 10 ) can be coupled for substrates.
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