WO2025239244A1 - モータ制御システム、ロボットシステム、および、モータ制御方法 - Google Patents

Abstract

このロボットシステム（１００）は、モータの駆動状態を示すフィードバック値（ＦＢ）を用いたフィードバック制御により動作対象を動作させるとともに、フィードバック値（ＦＢ）とは別個に取得された姿勢情報（ｙ_ｉｎｉ）に基づいて、フィードバック制御における制御パラメータ（ρ）を設定するデータ駆動型制御によって、制御パラメータ（ρ）を調整する調整動作を行う。

Description

モータ制御システム、ロボットシステム、および、モータ制御方法

　この開示は、モータ制御システム、ロボットシステム、および、モータ制御方法に関する。

　従来、モータ制御システムが開示されている。特許第５２０６９９４号公報には、電動機を制御する電動機制御装置が記載されている。この電動機制御装置では、指令信号と、電動機の動作量とが一致するように電動機を制御するフィードバックループが構成されている。また、特許第５２０６９９４号公報に記載の電動機制御装置は、フィードバック制御における制御ゲインを自動的に調整するために、駆動信号に掃引正弦波の外乱信号を加えることによって電動機による動作に振動を生じさせる。そして、外乱信号により生じた振動の大きさおよび周波数に基づいて制御ゲインが自動調整される。

特許第５２０６９９４号公報

　しかしながら、上記特許第５２０６９９４号公報に記載の電動機制御装置のように、制御パラメータとしての制御ゲインの自動調整において外乱信号を加える場合には、電動機の駆動により動作する動作対象に振動が生じる。この場合には、生じた振動に起因して、動作対象が周囲に配置された部材に対して物理的に干渉する場合がある。そこで、動作対象に振動を生じさせることなく制御パラメータの自動調整を行うことが望まれている。

　この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この開示の１つの目的は、動作対象に振動を生じさせることなく制御パラメータの自動調整を行うことが可能なモータ制御システム、ロボットシステム、および、モータ制御方法を提供することである。

　この開示の第１の局面によるモータ制御システムは、モータと、モータの駆動により動作する動作対象と、モータの駆動状態を示すフィードバック値を用いたフィードバック制御により動作対象を動作させるとともに、フィードバック値とは別個に取得された動作対象の姿勢を示す姿勢情報に基づいて、フィードバック制御における制御パラメータを設定するデータ駆動型制御によって、制御パラメータを調整する調整動作を行う制御部と、を備える。

　この開示の第１の局面によるモータ制御システムは、上記のように、モータの駆動状態を示すフィードバック値を用いたフィードバック制御により動作対象を動作させるとともに、フィードバック値とは別個に取得された動作対象の姿勢を示す姿勢情報に基づいて、フィードバック制御における制御パラメータを設定するデータ駆動型制御によって、制御パラメータを調整する調整動作を行う制御部を備えている。これにより、動作対象に振動を生じさせることなく、データ駆動型制御によって姿勢情報に基づいて制御パラメータを調整できる。その結果、動作対象に振動を生じさせることなく制御パラメータの自動調整を行うことができる。

　この開示の第２の局面によるロボットシステムは、モータと、互いに接続された複数のリンク部を有し、モータの駆動により動作するロボットアーム部と、モータの駆動状態を示すフィードバック値を用いたフィードバック制御によりロボットアーム部を動作させるとともに、フィードバック値とは別個に取得されたロボットアーム部の姿勢を示す姿勢情報に基づいて、フィードバック制御における制御パラメータを設定するデータ駆動型制御によって、制御パラメータを調整する調整動作を行う制御部と、を備える。

　この開示の第２の局面によるロボットシステムは、上記のように、モータの駆動状態を示すフィードバック値を用いたフィードバック制御によりロボットアーム部を動作させるとともに、フィードバック値とは別個に取得されたロボットアーム部の姿勢を示す姿勢情報に基づいて、フィードバック制御における制御パラメータを設定するデータ駆動型制御によって、制御パラメータを調整する調整動作を行う制御部を備えている。これにより、動作対象に振動を生じさせることなく、データ駆動型制御によって姿勢情報に基づいて制御パラメータを調整できる。その結果、動作対象に振動を生じさせることなく制御パラメータの自動調整を行うことが可能なロボットシステムを提供できる。

　この開示の第３の局面によるモータ制御方法は、モータの駆動により動作する動作対象を、モータの駆動状態を示すフィードバック値を用いたフィードバック制御により動作させることによって、フィードバック値とは別個に動作対象の姿勢を示す姿勢情報を取得することと、フィードバック値とは別個に取得された姿勢情報に基づいて、フィードバック制御における制御パラメータを設定するデータ駆動型制御によって、制御パラメータを調整することと、を備える。

　この開示の第３の局面によるモータ制御方法は、上記のように、フィードバック値とは別個に取得された姿勢情報に基づいて、フィードバック制御における制御パラメータを設定するデータ駆動型制御によって、制御パラメータを調整する。これにより、動作対象に振動を生じさせることなく、データ駆動型制御によって姿勢情報に基づいて制御パラメータを調整できる。その結果、動作対象に振動を生じさせることなく制御パラメータの自動調整を行うことが可能なモータ制御方法を提供できる。

　本開示のモータ制御システム、ロボットシステム、および、モータ制御方法は、動作対象に振動を生じさせることなく制御パラメータの自動調整を行うことができる。

本開示の第１実施形態によるロボットシステムが配置されている基板処理システムを示す模式図である。 本開示の第１実施形態によるロボットシステムの構成を示すブロック図である。 ロボットアーム部の構成を模式的に示した斜視図である。 ロボットアーム部に配置された駆動部の構成を示したブロック図である。 制御部による制御処理を説明するためのブロック線図である。 ロボットアーム部におけるリンク角を説明するための模式図である。 ＦＲＩＴ法によるデータ駆動型制御を説明するためのブロック線図である。 第１実施形態によるモータ制御方法を説明するためのフロー図である。 本開示の第２実施形態によるロボットシステムの構成を示すブロック図である。 制御部による姿勢情報の推定を説明するためのブロック線図である。

　以下、本開示を具体化した本開示の一実施形態を図面に基づいて説明する。

　［第１実施形態］
　図１から図７までを参照して、第１実施形態によるロボットシステム１００の構成について説明する。ロボットシステム１００は、モータ制御システムの一例である。

　（ロボットシステムの構成）
　図１に示すように、ロボットシステム１００は、たとえば、クリーンルームにおいて、基板１０１に対してレジストの塗布、または、エッヂングなどの処理を行う基板処理システム９００に配置されている。基板処理システム９００は、基板１０１に対して処理を行う処理装置１０２を備えている。処理装置１０２では、基板１０１の取入れ、および、取出しを行うための場所であるロードロック部において、処理装置１０２に基板１０１を受け渡すために基板１０１が載置される基板載置部１０２ａが配置されている。

　ロボットシステム１００は、基板１０１に対して処理が行われる基板処理システム９００において、複数の基板１０１が収納される容器であるＦＯＵＰ１０３（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｕｎｉｆｙ　Ｐｏｄ）と、処理装置１０２との間における基板１０１の搬送を行う。ロボットシステム１００は、たとえば、ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ　Ｆｒｏｎｔ　Ｅｎｄ　Ｍｏｄｕｌｅ）である。ＦＯＵＰ１０３は、基板１０１が載置される基板載置部１０３ａを有する。ＦＯＵＰ１０３では、複数の基板１０１が上下方向に並んで配置される。基板１０１は、円板形状を有する半導体ウエハである。基板１０１は、たとえば、シリコン、ゲルマニウム、または、石英ガラスなどにより形成されている。

　図２に示すように、ロボットシステム１００は、ロボット１０を備えている。ロボット１０は、ロボットアーム部２０、基板保持ハンド３０、および、駆動部４０を備えている。また、ロボットシステム１００は、センサ部５０、制御部６０、記憶部７０、および、表示部８０を備えている。ロボット１０は、基板１０１を搬送する基板搬送ロボットである。ロボット１０は、ＥＦＥＭにおいて外部から区画された搬送室内に配置されている。なお、ロボットアーム部２０は、動作対象の一例である。

　図３に示すように、ロボットアーム部２０は、互いに接続された複数のリンク部２１、リンク部２２、および、リンク部２３を有する。リンク部２１、２２、および、２３同士は、互いに平行な回転軸線Ａ１、Ａ２、および、Ａ３回りに回転する。すなわち、ロボットアーム部２０は、水平多関節のロボットアームである。回転軸線Ａ１、Ａ２、および、Ａ３は、上下方向であるＺ方向に沿って延びている。リンク部２１、２２、および、２３は、ロボットアーム部２０の基端から先端に向かってこの順に互いに接続されている。ロボットアーム部２０の基端は、床面に配置されたベース部２４に接続されている。ロボットアーム部２０の先端には、基板保持ハンド３０が接続されている。具体的には、リンク部２１の一方端部は、関節ＪＴ１を介してベース部２４に接続されている。リンク部２２の一方端部は、関節ＪＴ２を介してリンク部２１の他方端部に接続されている。リンク部２３の一方端部は、関節ＪＴ３を介してリンク部２２の他方端部に接続されている。リンク部２３の他方端部には、基板保持ハンド３０が接続されている。関節ＪＴ１は、ベース部２４に対してリンク部２１を、上下方向であるＺ方向に延びる回転軸線Ａ１回りに回転させる。関節ＪＴ２は、リンク部２１に対してリンク部２２を、上下方向であるＺ方向に延びる回転軸線Ａ２回りに回転させる。関節ＪＴ３は、リンク部２２に対してリンク部２３を、上下方向であるＺ方向に延びる回転軸線Ａ３回りに回転させる。基板保持ハンド３０は、リンク部２３に対して一体的に動作するように接続されている。また、ロボットアーム部２０は、ベース部２４に対して上下方向に移動する。

　基板保持ハンド３０は、ロボットアーム部２０の先端に接続されており、基板１０１を保持するエンドエフェクタである。ロボット１０は、ＦＯＵＰ１０３と処理装置１０２との間における基板１０１の搬送動作を行う場合に、基板保持ハンド３０において水平面に沿って基板１０１を保持した状態で、基板１０１を搬送する。基板保持ハンド３０は、板状のＵ字形状を有しており、先端部分が二股に分かれている。ロボット１０は、基板保持ハンド３０のＺ１方向側である上方側の面に基板１０１を載置した状態で、ロボットアーム部２０を動作させることによって、基板１０１を搬送する。

　図４に示すように、関節ＪＴ１、関節ＪＴ２、および、関節ＪＴ３の各関節には、ロボットアーム部２０を駆動する駆動部４０が配置されている。駆動部４０は、モータ４１、エンコーダ４２、および、伝達機構４３を含む。モータ４１、エンコーダ４２、および、伝達機構４３の各々は、関節ＪＴ１、関節ＪＴ２、および、関節ＪＴ３の各関節ごとに配置されている。モータ４１は、駆動部４０における駆動力の駆動源となる。すなわち、ロボットアーム部２０は、モータ４１の駆動により動作する。モータ４１は、たとえば、サーボモータである。エンコーダ４２は、モータ４１の回転角を検出する。具体的には、エンコーダ４２は、モータ４１の出力軸の回転位置を検出する。伝達機構４３は、モータ４１の駆動力を伝達する。伝達機構４３は、たとえば、複数の歯車を有する減速機を含む。駆動部４０は、モータ４１の駆動力を伝達機構４３が伝達することによって、ロボットアーム部２０における複数のリンク部２１、２２、および、２３が互いに成す角であるリンク角を変更させる。なお、エンコーダ４２は、回転角検出部の一例である。

　図３に示すように、センサ部５０は、ロボットアーム部２０の姿勢を検出する。センサ部５０は、検出光を出射することによって、ロボットアーム部２０の姿勢を検出するレーザートラッカーを含む。たとえば、センサ部５０は、ロボットアーム部２０の先端に対して検出光としてのレーザ光を照射するとともに、ロボットアーム部２０の先端から反射された検出光を検出することによって、ロボットアーム部２０の先端の３次元的な位置を検出する。たとえば、センサ部５０は、ロボットアーム部２０の先端として、リンク部２３の先端であって、基板保持ハンド３０の基端の位置を検出する。具体的には、リンク部２３の先端において、検出光を反射する一対のターゲット５０ａが配置されている。センサ部５０は、一対のターゲット５０ａに対して検出光を出射するとともに、一対のターゲット５０ａにおいて反射された検出光を検出することによって、一対のターゲット５０ａの位置を検出する。センサ部５０は、ターゲット５０ａの位置を検出することによって、ロボットアーム部２０の姿勢を検出する。センサ部５０は、ロボットアーム部２０に対して検出光を照射する位置に配置されており、たとえば、ロボットアーム部２０の上方に配置されている。ターゲット５０ａは、ロボットアーム部２０において、リンク部２３の上方の面に配置されている。

　図２に示すように、制御部６０は、メイン制御部６０ａ、サーボ制御部６０ｂ、および、駆動回路部６０ｃを含む。制御部６０は、ロボットアーム部２０の動作を制御する。また、制御部６０は、ロボットシステム１００の各部の動作を制御する。制御部６０は、ロボット１０の動作を制御するロボットコントローラである。制御部６０は、ロボット１０による基板１０１の搬送動作を制御する。メイン制御部６０ａ、および、サーボ制御部６０ｂは、たとえば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）を含む。メイン制御部６０ａは、ロボットアーム部２０の関節ＪＴ１、ＪＴ２、および、ＪＴ３の各々における回転動作を制御する。サーボ制御部６０ｂは、メイン制御部６０ａからの指令に基づいてロボットアーム部２０を動作させるための駆動源となるモータ４１に出力される駆動電流を制御する。駆動回路部６０ｃは、関節ＪＴ１、ＪＴ２、および、ＪＴ３に駆動電力を供給する。駆動回路部６０ｃは、モータ４１に交流電力を供給するインバータ回路を含む。駆動回路部６０ｃは、関節ＪＴ１、ＪＴ２、および、ＪＴ３の各々ごとに配置されている。

　記憶部７０は、ハードディスクなどの記憶装置を含む。記憶部７０は、制御部６０により実行される制御処理に用いられる各種のプログラムおよびパラメータなどを記憶している。制御部６０は、記憶部７０に記憶されたプログラムおよびパラメータなどに基づいて制御処理を実行する。

　表示部８０は、制御部６０の制御によりロボットシステム１００の動作状況を示す情報を表示する。表示部８０は、液晶または有機ＥＬなどのモニターディスプレイを含む。

　（ロボットアーム部の動作の制御）
　図５に示すように、本実施形態では、制御部６０は、設定された制御パラメータρによるフィードバック制御によって、ロボットアーム部２０の動作を制御する。制御部６０は、入力された目標値ｒとフィードバック値ＦＢとによりモータ４１を動作させるための操作量ｕ_ｉｎｉを出力するフィードバック制御によって、モータ４１を駆動させることによりロボットアーム部２０を動作させる。制御部６０は、フィードバック制御における機能的な構成として、制御器６１、制御器６２、および、制御器６３を含む。制御器６１、制御器６２、および、制御器６３は、記憶部７０に格納された所定の制御プログラムを制御部６０の演算装置が読み出して実行することによって実現される機能ブロックである。すなわち、制御部６０が、制御器６１、制御器６２、および、制御器６３として動作する。なお、制御器６１、制御器６２、および、制御器６３の各々を、電子回路等のハードウェアにより構成してもよい。

　制御部６０は、フィードフォワードコントローラとしての制御器６１および６２と、フィードバックコントローラとしての制御器６３とを有する２自由度制御を行う。制御器６１による演算処理をＣ_Ａ、制御器６２による演算処理をＣ_Ｂ、そして、制御器６３による演算処理をＫ（ρ）とすると、入力された目標値ｒに対する操作量ｕ_ｉｎｉは、以下の式（１）により表される。
　ここで、目標値ｒは、たとえば、モータ４１の回転角の角度指令値である。ρは、制御器６３における制御パラメータを示す。制御器６３は、たとえば、制御パラメータρによるＰＩＤ制御を行う。なお、Ｐは、比例制御、Ｉは、積分制御、Ｄは、微分制御を表している。制御パラメータρは、ＰＩＤ制御における、比例ゲイン、積分ゲイン、および、微分ゲインの値を含む。また、ＦＢは、モータ４１の駆動状態を示すフィードバック値を表す。制御部６０は、フィードバック値ＦＢとして、エンコーダ４２による検出結果に基づいてモータ４１の回転角を示す値を取得する。操作量ｕ_ｉｎｉは、モータ４１に対する電流指令を含む。制御器６１および６２の各々におけるフィードフォワード制御のパラメータは、予め設定されて記憶部７０に記憶されている。制御器６１および６２の各々におけるフィードフォワード制御のパラメータは、固定値であってもよいし、ロボットアーム部２０の動作、または、外乱の状態などに応じて値が変化するようにしてもよい。また、制御器６３におけるフィードバック制御の制御パラメータρは、同様に、記憶部７０に記憶されている。

　〈制御パラメータの調整動作〉
　本実施形態では、制御部６０は、予め設定された制御パラメータρによって、フィードバック値ＦＢを用いたフィードバック制御によりロボットアーム部２０を動作させるとともに、フィードバック値ＦＢとは別個に取得されたロボットアーム部２０の姿勢を示す姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいて、フィードバック制御における制御パラメータρを設定するデータ駆動型制御によって、制御パラメータρを調整する調整動作を行う。調整動作において、制御部６０は、姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得するために、たとえば、処理装置１０２の基板載置部１０２ａから、ＦＯＵＰ１０３の基板載置部１０３ａまで基板１０１を搬送する動作をロボットアーム部２０に実行させる。

　制御部６０は、センサ部５０からの検出信号に基づいて、姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得する。具体的には、制御部６０は、調整動作において、予め設定された制御パラメータρに基づいて、時系列データとしての操作量ｕ_ｉｎｉを出力することによって、ロボットアーム部２０により基板保持ハンド３０の位置を変更する動作を行う。制御部６０は、操作量ｕ_ｉｎｉによりロボットアーム部２０を動作させることによって、センサ部５０からの検出信号に基づいて時系列データとしての姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得する。制御部６０は、姿勢情報ｙ_ｉｎｉとして、ロボットアーム部２０の先端の位置を示す情報を取得する。制御部６０は、たとえば、センサ部５０からのターゲット５０ａの位置を示す検出信号を取得するとともに、ロボットアーム部２０の先端に配置されたターゲット５０ａの３次元的な位置を取得する。そして、制御部６０は、取得されたターゲット５０ａの位置に基づいて、ロボットアーム部２０の先端の３次元的な位置および向きを示す情報を取得する。

　詳細には、図６に示すように、制御部６０は、予め記憶部７０に記憶しているリンク部２１、２２、および、２３の長さなどの構造的な特徴と、リンク部２３における一対のターゲット５０ａの位置とに基づいて演算処理を行うことによって、リンク部２１、２２、および、２３同士が互いになす角度であるリンク角θ_１、リンク角θ_２、および、リンク角θ_３を取得する。リンク角θ_１は、ベース部２４の基準方向に対するリンク部２１の延びる方向の角度である。基準方向は、たとえば、Ｘ方向である。リンク部２１の延びる方向は、水平面であるＸＹ平面における関節ＪＴ１の回転軸線Ａ１の位置から関節ＪＴ２の回転軸線Ａ２の位置に向かう方向である。また、リンク角θ_２は、リンク部２１の延びる方向に対するリンク部２２の延びる方向の角度である。リンク部２２の延びる方向は、水平面であるＸＹ平面における関節ＪＴ２の回転軸線Ａ２の位置から関節ＪＴ３の回転軸線Ａ３の位置に向かう方向である。リンク角θ_３は、リンク部２２の延びる方向に対するリンク部２３の延びる方向の角度である。リンク部２３の延びる方向は、水平面であるＸＹ平面における関節ＪＴ３の回転軸線Ａ３の位置から基板保持ハンド３０において基板１０１の中心が配置される位置に向かう方向である。制御部６０は、リンク角θ_１、θ_２、および、θ_３と、リンク部２１、２２、および、２３の長さとによって、ロボットアーム部２０の先端の位置を算出する演算処理を逆関数により逆変換することによって、センサ部５０からの検出信号に基づいて取得されるロボットアーム部２０の先端の位置から、リンク角θ_１、θ_２、および、θ_３を算出する。

　制御部６０は、取得されたリンク角θ_１、θ_２、および、θ_３に基づいて、ロボットアーム部２０の先端の位置を示す姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得する。姿勢情報ｙ_ｉｎｉは、取得されたリンク角θ_１、θ_２、および、θ_３を、それぞれ、関節ＪＴ１、ＪＴ２、および、ＪＴ３ごとに配置された減速機を含む伝達機構４３における減速比に基づいて、モータ４１の回転角に相当する値に変換した値である。このようにして、制御部６０は、関節ＪＴ１、ＪＴ２、および、ＪＴ３ごとに配置された複数のモータ４１を動作させることによって、ロボットアーム部２０の共通の姿勢を示す姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得する。ここで言う「共通の姿勢を示す姿勢情報」とは、ロボットアーム部２０の先端の位置を示す共通の情報に基づいて、関節ＪＴ１、ＪＴ２、および、ＪＴ３の各々ごとの姿勢情報ｙ_ｉｎｉが取得されることを意味する。すなわち、制御部６０は、姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得するために関節ＪＴ１、ＪＴ２、および、ＪＴ３ごとにロボットアーム部２０に個別の動作を行わせるのではなく、共通の一の動作を行わせることによって、関節ＪＴ１、ＪＴ２、および、ＪＴ３の各々に対応する姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得する。

　図７に示すように、制御部６０は、取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいて、疑似参照入力ｒ_ｆ（ρ）による繰り返し調整法であるＦＲＩＴ法（Ｆｉｃｔｉｔｉｏｕｓ　Ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ　Ｉｔｅｒａｔｉｖｅ　Ｔｕｎｉｎｇ）によって、データ駆動型制御による制御パラメータρの調整を行う。制御部６０は、調整動作において、電流指令を含む操作量ｕ_ｉｎｉと、フィードバック値ＦＢとは別個に取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉとに基づいて目標値ｒを擬似的に算出した疑似参照入力ｒ_ｆ（ρ）を取得する。２自由度制御のＦＲＩＴ法では、下記の式（２）により、疑似参照入力ｒ_ｆ（ρ）が算出される。
　そして、制御部６０は、下記の式（３）により、調整動作において、姿勢情報ｙ_ｉｎｉを用いた評価関数Ｊ_Ｆ（ρ）により制御パラメータρを算出することによって、データ駆動型制御による制御パラメータρの調整を行う。具体的には、制御部６０は、予め設定された目標となる応答特性Ｔ_ｄと、取得された疑似参照入力ｒ_ｆ（ρ）と、取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉとを用いた評価関数Ｊ_Ｆ（ρ）を最適化することによって、制御パラメータρの調整を行う。

　詳細には、ＦＲＩＴ法による調整動作において、制御部６０は、取得された一の時系列データである姿勢情報ｙ_ｉｎｉと、対応する一の時系列データである操作量ｕ_ｉｎｉとを用いたデータ駆動型制御により制御パラメータρを算出することによって、調整動作を行う。すなわち、制御部６０は、共通の一の動作をロボットアーム部２０に実行させることによって、複数のモータ４１の各々に対応する姿勢情報ｙ_ｉｎｉと、調整動作におけるフィードバック制御による出力である電流指令を含む操作量ｕ_ｉｎｉとを取得して、複数のモータ４１の各々ごとに式（２）による演算処理により疑似参照入力ｒ_ｆ（ρ）を取得する。そして、制御部６０は、疑似参照入力ｒ_ｆ（ρ）に基づく目標となる応答特性Ｔ_ｄによる出力と、実際の出力として取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉとの誤差のＬ２ノルムとして、式（３）により表される評価関数Ｊ_Ｆ（ρ）を取得する。すなわち、制御部６０は、疑似参照入力ｒ_ｆ（ρ）による応答特性Ｔ_ｄの出力と取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉとの二乗誤差が最小となる制御パラメータρを算出する。制御部６０は、評価関数Ｊ_Ｆ（ρ）において最小値をとる制御パラメータρを取得することによって、評価関数Ｊ_Ｆ（ρ）を最適化して適切な制御パラメータρの値を取得する。制御部６０は、複数のモータ４１の各々ごとに対応する一の時系列データとしての姿勢情報ｙ_ｉｎｉと操作量ｕ_ｉｎｉとによる評価関数Ｊ_Ｆ（ρ）を最適化することによって、複数のモータ４１の各々ごとに、対応する複数種類の制御パラメータρを調整する。すなわち、制御部６０は、１度の制御パラメータρの調整において、複数回に渡る動作を行うことなく、１度の動作による１組のデータセットを用いることによって、データ駆動型制御による演算処理を行って適切な制御パラメータρを算出する。

　なお、目標となる応答特性Ｔ_ｄは、たとえば、一次系の伝達関数、または、二次系の伝達関数が用いられる。目標となる応答特性Ｔ_ｄとして一次系の伝達関数を用いる場合、下記の式（４）に示される時定数Ｔを設定することにより、応答の速さが設定される。
　時定数Ｔは、指令値がステップ入力により０から１に変化したタイミングから、目標となる応答特性Ｔ_ｄの伝達関数による出力が０．６３２の値を取るタイミングまでの時間を表している。なお、ｓは経過時間を表す。一次系の伝達関数を用いる場合には、時定数Ｔの値を予め設定して記憶しておくことによって、目標となる応答特性Ｔ_ｄが設定される。また、目標となる応答特性Ｔ_ｄとして二次系の伝達関数を用いる場合、下記の式（５）に示される固有周波数ω_ｎおよび減衰係数ζを設定することにより、応答の特性が設定される。
　固有周波数ω_ｎは、ロボットアーム部２０において共振しやすい周波数が設定される。減衰係数ζは、振動の強さに応じて設定される。固有周波数ω_ｎおよび減衰係数ζにより目標となる応答特性Ｔ_ｄにおける応答の速さが設定される。なお、ロボットアーム部２０の動作において、制御の応答におけるむだ時間が予め判明している場合は、目標となる応答特性Ｔ_ｄに対してむだ時間特性を追加するようにしてもよい。

　〈リミット当たり判定〉
　ここで、調整動作において、ロボットアーム部２０の動作によりモータ４１を流れる電流が電流上限値に到達した場合には、取得される姿勢情報ｙ_ｉｎｉなどのデータの安定性が低下する。すなわち、モータ４１を流れる電流が電流上限値に到達する前後において、取得されるデータの変化度合が異なることに起因して、データの連続性が失われる。その場合には、姿勢情報ｙ_ｉｎｉおよび操作量ｕ_ｉｎｉに基づく評価関数Ｊ_Ｆ（ρ）の最適化において適切な制御パラメータρを取得することが困難となる。

　そこで、本実施形態では、制御部６０は、調整動作において、モータ４１に流される電流の大きさが所定の電流上限値に到達した場合に、姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得するためのロボットアーム部２０の動作を変更する。たとえば、制御部６０は、操作量ｕ_ｉｎｉとして取得される電流指令の値が、予め設定されて記憶部７０に記憶されている電流上限値に到達した場合に、モータ４１に流れる電流が電流上限値に到達したと判断する。なお、電流上限値は、モータ４１における電流の上限値、駆動回路部６０ｃにおける電流の上限値、または、ソフトウェア的に設定されている電流の上限値などの複数の上限値のうちの最も小さい値として設定される。また、電流の上限値は、瞬時のピーク値を用いて判断されてもよいし、実行値、または、移動平均値などを用いて判断されてもよい。制御部６０は、調整動作においてモータ４１に流れる電流が電流上限値に到達したと判断した場合には、調整動作におけるロボットアーム部２０の動作速度を小さくするように変更するとともに、変更された動作速度により調整動作を再度行う。制御部６０は、モータ４１に流れる電流が電流上限値に到達した場合には、たとえば、予め設定された９０％などの所定の割合により調整動作におけるロボットアーム部２０の動作速度の設定値を変更する。

　〈履歴情報および報知情報の出力〉
　また、制御部６０は、調整動作を行うごとに、調整された制御パラメータρを記憶部７０に記憶させる。制御部６０は、たとえば、基板処理システム９００のメンテナンス時などにおいて、所定の期間ごとに調整動作を行うとともに、調整動作において調整された制御パラメータρの値を記憶部７０に記憶させる。所定の期間は、たとえば、１日である。また、制御部６０は、記憶部７０に記憶された制御パラメータρの履歴情報を出力する。たとえば、制御部６０は、制御パラメータρの履歴情報を出力することによって、表示部８０に履歴情報を表示させる。制御部６０は、検査作業者が用いる外部のコンピュータ、または、サーバ装置などに、制御パラメータρの履歴情報を出力するようにしてもよい。また、制御部６０は、制御パラメータρの調整度合いを報知する報知情報を出力する。制御部６０が、制御パラメータρの値が適切であるか否かの判定を行うようにしてもよい。たとえば、制御部６０は、調整動作により設定された制御パラメータρの値が予め設定された所定の判定範囲に含まれない場合には、制御パラメータρの値が適切ではないと判断する。制御部６０は、制御パラメータρの値が適切ではないと判断された場合に、制御パラメータρの調整度合いを報知する報知情報として、制御パラメータρの値が適切ではないことを示す報知情報を出力する。制御部６０は、たとえば、報知情報を表示部８０に表示してもよいし、外部のコンピュータまたはサーバ装置に出力するようにしてもよい。

　（モータ制御方法）
　次に、図８までを参照して、本実施形態によるモータ制御方法の制御処理をフローチャート図に基づいて説明する。図８に示すステップＳ１からステップＳ１０までのモータ制御方法の制御処理は、ロボットシステム１００における制御部６０により調整動作が行われる場合に実行される。

　まず、ステップＳ１において、調整動作におけるロボットアーム部２０の動作の設定が行われる。制御部６０は、調整動作において、姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得するためにロボットアーム部２０をどのように動作させるかの移動経路を設定する。調整動作におけるロボットアーム部２０の動作経路は、複数種類設定される。調整動作におけるロボットアーム部２０の動作経路は、たとえば、基板１０１の搬送先の個数分だけ設定される。たとえば、処理装置１０２の基板載置部１０２ａから、ＦＯＵＰ１０３の基板載置部１０３ａまで基板１０１を搬送する動作と、基板載置部１０３ａから基板載置部１０２ａまで基板１０１を搬送する動作との２種類の動作が、調整動作として設定される。調整動作におけるロボットアーム部２０の動作は、基板処理システム９００における基板１０１の搬送動作と同様の動作が設定される。したがって、調整動作において、基板１０１、または、基板１０１を模した治具を基板保持ハンド３０に保持させた状態でロボットアーム部２０を動作させるようにしてもよい。

　次に、ステップＳ２において、予め設定された制御パラメータρに基づくフィードバック制御によりロボットアーム部２０を動作させることによって、フィードバック制御におけるフィードバック値ＦＢとは別個に姿勢情報ｙ_ｉｎｉが取得される。制御部６０は、姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得するために、複数の動作経路のうちから設定された一の動作経路においてロボットアーム部２０を動作させる。制御部６０は、設定された一の動作によりロボットアーム部２０を動作させるとともに、一の動作が行われている期間における時系列データとしての姿勢情報ｙ_ｉｎｉと、一の動作に対応する時系列データとしての操作量ｕ_ｉｎｉを取得する。

　次に、ステップＳ３において、姿勢情報ｙ_ｉｎｉのデータ取得が正常に完了したか否かの判断が行われる。姿勢情報ｙ_ｉｎｉの取得が完了したと判断された場合には、ステップＳ５に進む。姿勢情報ｙ_ｉｎｉの取得が完了していないと判断された場合には、ステップＳ４に進む。具体的には、ステップＳ３では、ステップＳ２における調整動作において、モータ４１に流される電流の大きさが所定の電流上限値に到達したか否かを判断することによって、データ取得が正常に完了したか否かを判断する。すなわち、制御部６０は、モータ４１に流される電流の大きさが所定の電流上限値に到達した場合には、姿勢情報ｙ_ｉｎｉの取得が完了していないと判断してステップＳ４に進む。また、制御部６０は、モータ４１に流される電流の大きさが所定の電流上限値に到達していない場合には、姿勢情報ｙ_ｉｎｉの取得が完了していると判断してステップＳ５に進む。なお、制御部６０は、複数のモータ４１のうちの少なくとも１つにおいて、流される電流の大きさが所定の電流上限値に到達した場合には、データ取得が完了していないと判断する。そして、制御部６０は、複数のモータ４１の全てにおいて流される電流の大きさが所定の電流上限値に到達していない場合に、データ取得が完了していると判断する。

　ステップＳ４では、調整動作におけるロボットアーム部２０の動作が修正される。具体的には、制御部６０は、調整動作においてモータ４１に流される電流の大きさが所定の電流上限値に到達してると判断して、ロボットアーム部２０の動作速度を小さくするように、設定されたロボットアーム部２０の動作を修正する。ステップＳ４によりロボットアーム部２０の動作が修正された後に、再度ステップＳ２に戻って、再度姿勢情報ｙ_ｉｎｉの取得の動作が行われる。

　ステップＳ５では、取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉおよび操作量ｕ_ｉｎｉの時系列データに対して、ノイズ除去などの前処理が行われる。ノイズ除去は、たとえば、ローパスフィルタ処理などを含む。

　次に、ステップＳ６において、制御パラメータρが調整される。制御部６０は、式（２）および式（３）により表される演算処理を行うことによって、フィードバック値ＦＢとは別個に取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいて、フィードバック制御における制御パラメータρを設定するデータ駆動型制御によって、制御パラメータρを調整する。

　次に、ステップＳ７において、調整動作における全ての動作が完了したか否かが判断される。全ての動作が完了したと判断された場合には、ステップＳ９に進む。全ての動作が完了したと判断されない場合には、ステップＳ８に進む。制御部６０は、調整動作において設定されたロボットアーム部２０の複数種類の動作のうちの全てが完了したか否かを判断する。

　ステップＳ８では、設定された動作のうちの別の動作が設定される。すなわち、調整動作におけるロボットアーム部２０の動作が変更される。その後、ステップＳ２に戻って、変更された動作によりステップＳ２からステップＳ６までが実行されることによって、再度制御パラメータρが調整される。

　ステップＳ９では、ステップＳ６において取得された制御パラメータρを格納するテーブルが作成されて、記憶部７０に記憶される。制御部６０は、設定された動作ごとに制御パラメータρを記憶部７０に記憶する。すなわち、制御部６０は、ロボットアーム部２０の複数種類の動作の各々ごとに、互いに別個に制御パラメータρを設定して記憶部７０に記憶させる。

　次に、ステップＳ１０において、制御パラメータρを調整する調整動作が終了される。これにより、本実施形態のモータ制御方法の制御処理が終了される。

　［第１実施形態の効果］
　第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

　第１実施形態では、上記のように、ロボットシステム１００は、モータ４１の駆動状態を示すフィードバック値ＦＢを用いたフィードバック制御により動作対象としてのロボットアーム部２０を動作させるとともに、フィードバック値ＦＢとは別個に取得されたロボットアーム部２０の姿勢を示す姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいて、フィードバック制御における制御パラメータρを設定するデータ駆動型制御によって、制御パラメータρを調整する調整動作を行う制御部６０を備えている。これにより、ロボットアーム部２０に振動を生じさせることなく、データ駆動型制御によって姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいて制御パラメータρを調整できる。その結果、ロボットアーム部２０に振動を生じさせることなく制御パラメータρの自動調整を行うことができる。

　また、フィードバック値ＦＢとは別個に取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいたデータ駆動型制御によって制御パラメータρを調整することによって、制御パラメータρを直接的に設定することなく、姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいて制御パラメータρを自動的に調整できる。そのため、制御パラメータρを直接的に設定する場合に比べて、制御パラメータρを容易に調整できる。また、フィードバック値ＦＢに基づいたデータ駆動型制御によって制御パラメータρを調整する場合に比べて、フィードバック値ＦＢとは別個に取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいたデータ駆動型制御によって制御パラメータρを調整することによって、動作対象としてのロボットアーム部２０の実際の姿勢に基づいて制御パラメータρの調整ができるので、ロボットアーム部２０の動作において弾性成分が含まれる場合にも、ロボットアーム部２０の動作をより正確に制御するよう制御パラメータρを調整できる。そのため、ロボットアーム部２０に振動を生じさせることなく制御パラメータρの自動調整をより正確に行うことができる。

　制御部６０は、調整動作において、フィードバック値ＦＢとは別個に取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉを用いた評価関数Ｊ_Ｆ（ρ）により制御パラメータρを算出することによって、データ駆動型制御による制御パラメータρの調整を行う。これにより、動作対象としてのロボットアーム部２０の姿勢を示す姿勢情報ｙ_ｉｎｉを直接的に用いることによって取得された評価関数Ｊ_Ｆ（ρ）によって、実際のロボットアーム部２０の姿勢から直接的に制御パラメータρの調整を評価できる。そのため、実際のロボットアーム部２０の姿勢に対応するようにデータ駆動型制御により制御パラメータρを調整できるので、ロボットアーム部２０に振動を生じさせることなく制御パラメータρの自動調整をより精度よく行うことができる。

　モータ制御システムとしてのロボットシステム１００は、動作対象として、互いに接続された複数のリンク部２１、２２、および、２３を有するロボットアーム部２０を含む。制御部６０は、調整動作において、フィードバック制御によりロボットアーム部２０を動作させることによって取得されたロボットアーム部２０の姿勢を示す姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいて、制御パラメータρを調整する。これにより、ロボットアーム部２０を動作させる場合にも、ロボットアーム部２０に振動を生じさせることなく制御パラメータρの自動調整を容易に行うことができる。そのため、ロボットアーム部２０が狭小な領域において動作するように配置されている場合にも、周囲に配置された部材に対してロボットアーム部２０が物理的に干渉することを効果的に抑制できるとともに、ロボットアーム部２０の動作を制御するための制御パラメータρを自動的に調整できる。

　制御部６０は、取得された一の姿勢情報ｙ_ｉｎｉを用いたデータ駆動型制御により制御パラメータρを算出することによって、調整動作を行う。これにより、複数の姿勢情報ｙ_ｉｎｉを用いる場合に比べて、一の姿勢情報ｙ_ｉｎｉを用いたデータ駆動型制御により制御パラメータρを算出して調整動作を行うことによって、姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得するために要する作業時間を短縮できる。そのため、制御パラメータρの調整を行うために要する作業時間の増大を抑制できる。

　モータ制御システムとしてのロボットシステム１００は、複数のモータ４１を含む。制御部６０は、調整動作において、複数のモータ４１を動作させることにより取得された共通の姿勢を示す姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいて、複数のモータ４１の各々ごとに対応する複数種類の制御パラメータρを調整する。これにより、複数のモータ４１によって複数のリンク部２１、２２、および、２３などの部材を動作させる場合にも、複数のモータ４１の各々に対応する制御パラメータρに対して、動作対象としてのロボットアーム部２０の共通の姿勢を示す姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいて、データ駆動型制御によって自動調整を行うことができる。そのため、ロボットアーム部２０の全体の姿勢に基づいて複数のモータ４１の各々に対応する制御パラメータρを自動的に調整できるので、複数のモータ４１の各々ごとに個別にロボットアーム部２０を動作させて姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得する場合と異なり、複数の部材同士の共振などの干渉を考慮した制御パラメータρの調整を容易に行うことができる。その結果、複数の部材同士の共振に起因する振動を抑制するように制御パラメータρを調整できるので、複数のモータ４１の各々ごとに個別にロボットアーム部２０を動作させて姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得する場合に比べて、制御パラメータρをより適切に調整できる。また、複数のモータ４１の各々ごとに個別にロボットアーム部２０を動作させる場合には、ロボットアーム部２０の動作範囲が大きくなる。そのため、共通の姿勢によって取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉによって複数のモータ４１の各々に対応する制御パラメータρを調整できるので、ロボットアーム部２０が狭小な領域において動作するように配置されている場合にも、周囲に配置された部材に対してロボットアーム部２０が物理的に干渉することをより抑制できる。

　制御部６０は、入力された目標値ｒとフィードバック値ＦＢとによりモータ４１を動作させるための操作量ｕ_ｉｎｉを出力するフィードバック制御によりモータ４１を駆動させることによって動作対象としてのロボットアーム部２０を動作させる。また、制御部６０は、調整動作において、操作量ｕ_ｉｎｉと、フィードバック値ＦＢとは別個に取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉとに基づいて目標値ｒを擬似的に算出した疑似参照入力ｒ_ｆ（ρ）を取得するとともに、予め設定された目標となる応答特性Ｔ_ｄと、取得された疑似参照入力ｒ_ｆ（ρ）と、取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉとを用いた評価関数Ｊ_Ｆ（ρ）を最適化することによって、制御パラメータρの調整を行う。これにより、フィードバック値ＦＢとは別個に取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいて疑似参照入力ｒ_ｆ（ρ）が算出されるため、フィードバック値ＦＢにより疑似参照入力ｒ_ｆ（ρ）を算出する場合に比べて、ロボットアーム部２０の実際の姿勢に対応するように疑似参照入力ｒ_ｆ（ρ）を算出できる。そのため、疑似参照入力ｒ_ｆ（ρ）に対する目標となる応答特性Ｔ_ｄによる出力と、実際のロボットアーム部２０の姿勢を示す姿勢情報ｙ_ｉｎｉとを評価関数Ｊ_Ｆ（ρ）により比較して評価することによって、ロボットアーム部２０の実際の姿勢に対応するように制御パラメータρをより適切に調整できる。

　制御部６０は、入力された目標値ｒとフィードバック値ＦＢとによりモータ４１を動作させるための操作量ｕ_ｉｎｉを出力するフィードバック制御によりモータ４１を駆動させることによってロボットアーム部２０を動作させる。また、制御部６０は、調整動作において、モータ４１に対するトルク指令または電流指令を含む操作量ｕ_ｉｎｉと、ロボットアーム部２０の先端の位置を示す姿勢情報ｙ_ｉｎｉとに基づいて、データ駆動型制御により制御パラメータρを調整する。ここで、ロボットアーム部２０の剛性、または、モータ４１の駆動力を伝達する減速機などの伝達機構４３において弾性成分が含まれる場合には、弾性成分に起因してロボットアーム部２０の先端の位置がずれる場合がある。これに対して、第１実施形態では、調整動作において、モータ４１に対するトルク指令または電流指令を含む操作量ｕ_ｉｎｉと、ロボットアーム部２０の先端の位置を示す姿勢情報ｙ_ｉｎｉとに基づいて、データ駆動型制御により制御パラメータρを調整するため、モータ４１の回転角などのフィードバック値ＦＢを直接的に用いたデータ駆動型制御を行う場合とは異なり、ロボットアーム部２０の先端の位置を示す姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づくデータ駆動型制御により制御パラメータρを調整することによって、実際のロボットアーム部２０の先端の位置に対応するように制御パラメータρを調整できる。その結果、ロボットアーム部２０の動作を制御する制御パラメータρをより適切に調整できる。

　モータ制御システムとしてのロボットシステム１００は、動作対象としてのロボットアーム部２０の姿勢を検出するセンサ部５０を備える。制御部６０は、調整動作において、センサ部５０からの検出信号に基づいて姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得することによって、データ駆動型制御により制御パラメータρを調整する。これにより、センサ部５０からの検出信号に基づいて姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得できるので、データ駆動型制御に用いられる姿勢情報ｙ_ｉｎｉを容易に取得できる。そのため、ロボットアーム部２０に振動を生じさせることなく制御パラメータρの自動調整を容易に行うことができる。

　制御部６０は、調整動作において、モータ４１に流される電流の大きさが所定の電流上限値に到達した場合に、姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得するためのロボットアーム部２０の動作を変更する。ここで、モータ４１に流される電流の大きさが所定の電流上限値に到達した場合には、電流の大きさが制限されることに起因してロボットアーム部２０の動作が制限される。その場合には、ロボットアーム部２０の動作が一定ではなくなることに起因して、取得される姿勢情報ｙ_ｉｎｉが一定ではなくなる。このため、一定ではない姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいてデータ駆動型制御により制御パラメータρの調整を行うこととなるため、制御パラメータρの調整の精度が低下することが考えられる。これを考慮して、第１実施形態では、モータ４１に流される電流の大きさが所定の電流上限値に到達した場合に、姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得するためのロボットアーム部２０の動作を変更する。これにより、モータ４１に流される電流の大きさが所定の電流上限値に達しない状態で調整動作を行うことができるため、調整動作において取得される姿勢情報ｙ_ｉｎｉが一定ではなくなることを抑制できる。その結果、データ駆動型制御による制御パラメータρの調整の精度が低下することを抑制できる。

　モータ制御システムとしてのロボットシステム１００は、ロボットアーム部２０の先端に接続され、基板１０１を保持する基板保持ハンド３０を備える。制御部６０は、調整動作において、ロボットアーム部２０により基板保持ハンド３０の位置を変更する動作が行われることにより取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいて、データ駆動型制御により制御パラメータρを調整する。ここで、基板保持ハンド３０により基板１０１を保持することによってロボットアーム部２０の動作により基板１０１を搬送する場合には、狭小な領域において搬送動作が行われる場合がある。その場合には、調整動作を行うためにロボットアーム部２０を振動させることが困難な場合がある。これに対して、第１実施形態によるロボットシステム１００のように、調整動作において、ロボットアーム部２０により基板保持ハンド３０の位置を変更する動作が行われることにより取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいて、データ駆動型制御により制御パラメータρを調整することによって、基板１０１を搬送する通常の動作を行うことにより取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいて、データ駆動型制御により制御パラメータρを調整できる。その結果、基板１０１を保持する基板保持ハンド３０を用いて基板１０１を搬送する場合にも、ロボットアーム部２０に振動を生じさせることなく制御パラメータρの自動調整をより効果的に行うことができる。

　モータ制御システムとしてのロボットシステム１００は、互いに平行な回転軸線Ａ１、Ａ２、および、Ａ３回りに回動する複数のリンク部２１、２２、および、２３を含む水平多関節のロボットアーム部２０を含む。制御部６０は、調整動作において、水平多関節のロボットアーム部２０の動作を制御する制御パラメータρを、データ駆動型制御により調整する。ここで、水平多関節のロボットアーム部２０では、上面視においてロボットアーム部２０が設置される領域の面積をより小さくするとともに、ロボットアーム部２０の動作範囲をより大きくするために、ロボットアーム部２０に含まれる複数のリンク部２１、２２、および、２３同士の長さなどの構造的な差異をより小さくする場合がある。その場合には、複数のリンク部２１、２２、および、２３の各々における固有振動数の値が互いに近い値となるため、ロボットアーム部２０の動作において、複数のリンク部２１、２２、および、２３同士が互いに共振するように干渉する。この干渉に起因して、水平多関節のロボットアーム部２０では、動作に振動が生じる場合がある。これを考慮して、第１実施形態によるロボットシステム１００は、調整動作において、水平多関節のロボットアーム部２０の動作を制御する制御パラメータρを、データ駆動型制御により調整する。これにより、水平多関節のロボットアーム部２０の姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいてデータ駆動型制御により制御パラメータρを自動的に調整できるので、複数のリンク部２１、２２、および、２３同士の干渉に起因する振動を抑制するように、制御パラメータρを効果的に調整できる。

　制御部６０は、記憶された制御パラメータρの履歴情報、および、制御パラメータρの調整度合いを報知する報知情報の少なくとも一方を出力する。これにより、制御部６０により出力された履歴情報および報知情報の少なくとも一方を参照して、調整動作により制御パラメータρがどのように変化しているかを確認できる。

　［第２実施形態］
　図９および図１０を参照して、第２実施形態によるロボットシステム２００について説明する。第２実施形態では、センサ部５０からの検出信号に基づいて姿勢情報ｙ_ｉｎｉが取得された第１実施形態とは異なり、回転角検出部としてのエンコーダ４２による検出結果に基づいて姿勢情報ｙ_ｉｎｉが推定される。なお、第１実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して、説明を省略する。また、ロボットシステム２００は、モータ制御システムの一例である。

　（第２実施形態によるロボットシステムの構成）
　図９に示すように、第２実施形態によるロボットシステム２００は、第１実施形態と同様に、ロボットアーム部２０、基板保持ハンド３０、および、駆動部４０を含むロボット１０と、記憶部７０と、表示部８０とを備えている。そして、第２実施形態では、ロボットシステム２００は、ロボットアーム部２０の姿勢を検出するセンサ部５０を備えておらず、制御部２６０を備えている。第２実施形態の制御部２６０は、第１実施形態の制御部６０と同様に、ロボットシステム２００の各部の動作を制御する。また、制御部２６０は、第１実施形態と同様に、設定された制御パラメータρに基づいて、フィードバック制御によりロボットアーム部２０の動作を制御するとともに、フィードバック制御におけるフィードバック値ＦＢとは別個に取得された姿勢情報ｙ_ｉｎｉと、フィードバック制御における操作量ｕ_ｉｎｉとに基づいて、ＦＲＩＴ法によるデータ駆動型制御によって、制御パラメータρを調整する調整動作を行う。

　（姿勢情報の推定）
　第１実施形態の制御部６０と同様に、制御部２６０は、フィードバック制御において、エンコーダ４２による検出結果に基づいて、モータ４１の駆動状態を示すフィードバック値ＦＢを取得する。そして、第２実施形態では、制御部２６０は、調整動作において、エンコーダ４２による検出結果に基づいて取得されるフィードバック値ＦＢとは別個に、エンコーダ４２による検出結果に基づいて姿勢情報ｙ_ｉｎｉを推定するとともに、推定された姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいてデータ駆動型制御により制御パラメータρを調整する。

　図１０に示すように、制御部２６０は、機能的な構成として、制御器６１、制御器６２、制御器６３、および、推定部２６４を含んでいる。推定部２６４は、制御器６１、制御器６２、および、制御器６３と同様に、記憶部７０に格納された所定の制御プログラムを制御部２６０の演算装置が読み出して実行することによって実現される機能ブロックである。すなわち、制御部２６０が、推定部２６４として動作する。なお、推定部２６４を、電子回路等のハードウェアにより構成してもよい。

　推定部２６４は、関節ＪＴ１、関節ＪＴ２、および、関節ＪＴ３ごとに、エンコーダ４２による検出結果に基づいて、モータ４１の回転角を取得する。そして、推定部２６４は、取得されたモータ４１の回転角に基づいて、リンク部２１、２２、および、２３のリンク角θ_１、θ_２、および、θ_３を推定する。そして、制御部２６０は、推定されたリンク角θ_１、θ_２、および、θ_３に基づいて、第１実施形態と同様に姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得することによって、姿勢情報ｙ_ｉｎｉを推定する。すなわち、推定部２６４は、記憶部７０に記憶された情報と、エンコーダ４２による検出結果とに基づいて、姿勢情報ｙ_ｉｎｉを推定する状態推定オブザーバとして機能する。

　たとえば、制御部２６０の推定部２６４は、予め設定されて記憶部７０に記憶された演算処理によって、モータ４１の回転角に基づいて、リンク部２１、２２、および、２３のリンク角θ_１、θ_２、および、θ_３を推定するようにしてもよい。また、推定部２６４は、予め記憶部７０に記憶されたロボットアーム部２０の３Ｄモデルを用いることによって、リンク角θ_１、θ_２、および、θ_３を推定するようにしてもよい。３Ｄモデルを用いる場合、記憶部７０には、ロボットアーム部２０のリンク部２１、２２、および、２３の各々の形状、大きさ、および、剛性などの特性を模した３Ｄモデルが記憶されている。推定部２６４は、取得されたモータ４１の回転角に基づいて、３Ｄモデルを動作させることによって、ロボットアーム部２０の動作をシミュレートする。このシミュレート結果に基づいて、推定部２６４は、リンク角θ_１、θ_２、および、θ_３を推定する。

　なお、推定された姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づくデータ駆動型制御による制御パラメータρの調整の制御処理は、第１実施形態と同様である。すなわち、制御部２６０は、推定された姿勢情報ｙ_ｉｎｉと、操作量ｕ_ｉｎｉとにより疑似参照入力ｒ_ｆ（ρ）を取得するとともに、取得された疑似参照入力ｒ_ｆ（ρ）と、目標となる応答特性Ｔ_ｄと、姿勢情報ｙ_ｉｎｉとを用いた評価関数Ｊ_Ｆ（ρ）を最適化するＦＲＩＴ法によるデータ駆動型制御によって、制御パラメータρの値を調整する。なお、第２実施形態によるその他の構成は、第１実施形態と同様である。

　第２実施形態では、モータ制御システムとしてのロボットシステム２００は、モータ４１の回転角を検出する回転角検出部としてのエンコーダ４２を備える。制御部２６０は、エンコーダ４２による検出結果に基づいて、モータ４１の駆動状態を示すフィードバック値ＦＢを取得する。そして、制御部２６０は、調整動作において、エンコーダ４２による検出結果に基づいて取得されるフィードバック値ＦＢとは別個に、エンコーダ４２による検出結果に基づいて姿勢情報ｙ_ｉｎｉを推定するとともに、推定された姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいてデータ駆動型制御により制御パラメータρを調整する。これにより、エンコーダ４２による検出結果に基づいて、モータ４１の駆動の制御に用いられるフィードバック値ＦＢを取得するとともに、フィードバック値ＦＢとは別個に姿勢情報ｙ_ｉｎｉを推定できるので、姿勢情報ｙ_ｉｎｉを取得するための構成をエンコーダ４２とは別個に配置する場合に比べて、ロボットシステム２００の構成が複雑化することを抑制できる。第２実施形態のその他の効果は、第１実施形態と同様である。

　［変形例］
　なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

　上記第１および第２実施形態では、動作対象としてのロボットアーム部２０が、水平多関節のロボットアームである例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、ロボットアーム部が、垂直多関節のロボットアームであってもよい。また、ロボットアーム部が平行リンク機構を有していてもよい。また、スライド機構を有する直線移動機構などのロボットアーム以外の移動機構を動作対象としてもよい。また、基板の向きを検出するアライナ装置を動作対象としてもよい。たとえば、アライナ装置において載置された基板を回転させるためのモータを制御する制御パラメータを、基板の回転位置を姿勢情報として取得することによって、データ駆動型制御によって調整するようにしてもよい。また、一対のロボットアーム部を有する双腕ロボットの動作において、姿勢情報に基づくデータ駆動型制御によって制御パラメータを調整するようにしてもよい。双腕ロボットにおける一対のロボットアーム部の形状が互いに共通である場合には、一対のロボットアーム部の動作において共振などの干渉が生じやすい場合がある。その場合に、一対のロボットアーム部を動作させながら取得された姿勢情報に基づいて、データ駆動型制御によって制御パラメータを調整することによって、一対のロボットアーム部同士の共振などの干渉を考慮した制御パラメータの調整を効果的に行うことができる。

　上記第１および第２実施形態では、動作対象としてのロボットアーム部２０に、基板１０１を保持する基板保持ハンド３０が接続されている例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、ロボットアーム部において、エンドエフェクタとして基板以外のワークを保持するハンドが接続されていてもよい。また、ロボットアーム部において、ワークに対して加工などの処理を行うエンドエフェクタが接続されていてもよい。

　上記第１および第２実施形態では、動作対象としてのロボットアーム部２０が床面に配置されたベース部２４に接続されている例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、ロボットアーム部は、壁面に配置されていてもよいし、天面に配置されていてもよい。また、ロボットアーム部を、車輪部と車輪部を駆動させる駆動部とを有する移動可能な台車部に配置するようにしてもよい。

　上記第１および第２実施形態では、式（２）により表される疑似参照入力ｒ_ｆ（ρ）を取得するとともに、式（３）により表される評価関数Ｊ_Ｆ（ρ）により制御パラメータρが算出されるＦＲＩＴ法によるデータ駆動型制御によって、姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいて制御パラメータρが調整される例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、ＦＲＩＴ法以外のデータ駆動型制御によって、姿勢情報に基づいて制御パラメータを調整するようにしてもよい。たとえば、ＶＲＦＴ法（ｖｉｒｔｕａｌ　ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ　ｆｅｅｄｂａｃｋ　ｔｕｎｉｎｇ：仮想参照入力によるフィードバック調整）によるデータ駆動型制御によって、姿勢情報に基づいて制御パラメータを調整するようにしてもよい。ＶＲＦＴ法では、以下の式（６）により仮想参照入力ｒ_ｖが取得される。
　ここで、ｚ_αｉｎｉはリンク角を表す姿勢情報である。そして、以下の式（７）により取得される評価関数Ｊ_ＶＲＦＴ（ρ）を最適化することによって、目標となる応答特性Ｔ_ｄに制御系の特性を近づけるように制御パラメータが取得される。
　なお、ｕ_αｉｎｉは、フィードバック制御における操作量を示しており、ｙ_αｉｎｉは、モータの回転角を表す値である。ＶＲＦＴ法では、疑似参照入力に基づく出力を評価したＦＲＩＴ法とは異なり、仮想参照入力ｒ_ｖによりモータの入力側である操作量ｕ_αｉｎｉを評価することによって、制御パラメータが調整される。なお、ＶＲＦＴ法によるデータ駆動型制御を行う場合にも、操作量ｕ_αｉｎｉ、モータの回転角ｙ_αｉｎｉ、姿勢情報ｚ_αｉｎｉに対して、ノイズ除去用のフィルタリング処理などの前処理が行われるようにしてもよい。また、データ駆動型制御として、ＮＣｂＴ法（Ｎｏｎｉｔｅｒａｔｉｖｅ　ｖｅｒｓｉｏｎ　ｏｆ　Ｃｏｒｒｅｌａｔｉｏｎ　ｂａｓｅｄ　Ｔｕｎｉｎｇ：相関に基づく調整）を用いるようにしてもよい。

　また、ＦＲＩＴ法を用いる場合にも、上記式（２）および（３）とは異なる形の演算処理を行うようにしてもよい。たとえば、フィードフォワード制御を用いない１自由度制御によるフィードバック制御において、ＦＲＩＴ法によるデータ駆動型制御によって制御パラメータを調整するようにしてもよい。また、過度な入力となることを防ぐように、式（８）に示される評価関数Ｊ_ＥＦ（ρ）を用いるＥ－ＦＲＩＴ法（Ｅｘｔｅｎｄｅｄ－ＦＲＩＴ：拡張ＦＲＩＴ法）により、制御パラメータを調整してもよい。
　なお、Δｕは、調整が行われている制御パラメータにおける操作量ｕ_ｉｎｉに対する差分を示す。λは、入力ペナルティの大きさを設定するパラメータとして予め設定される。Ｅ－ＦＲＩＴ法では、ＦＲＩＴ法の評価関数に入力の操作量ｕ_ｉｎｉの変動にペナルティが追加される。

　上記第１および第２実施形態では、調整動作において、複数のモータ４１を動作させることにより取得された共通の一の姿勢を示す姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づいて制御パラメータρを調整する例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、複数の姿勢情報に基づいて制御パラメータを調整するようにしてもよい。また、複数のモータを動作させて動作対象を駆動する場合に、複数のモータごとの制御パラメータの調整において、共通の動作による姿勢情報を用いないようにしてもよい。たとえば、複数のモータの各々ごとに、互いに異なる動作により姿勢情報が取得されるようにしてもよい。たとえば、動作対象としてのロボットアーム部における複数の関節を１つずつ軸ごとに動作させることによって、姿勢情報が取得されるようにしてもよい。また、動作対象を動作させるためのモータは、１つであってもよい。

　上記第１および第２実施形態では、調整動作において、モータ４１に対する操作量ｕ_ｉｎｉが電流指令を含む例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、モータに対する操作量がトルク指令を含んでいてもよい。また、ロボットシステムにトルクセンサを配置するようにしてもよい。ロボットアーム部の各関節ごとにトルクセンサを配置することによってトルク指令によるフィードバック制御が行われるようにしてもよい。また、ロボットシステムにおいて、トルクセンサとして電流センサを配置するようにしてもよい。すなわち、電流センサにより検出された電流に基づいて各関節ごとのトルクを算出してもよい。電流センサは、ロボットアーム部において各関節ごとに配置されていてもよいし、ロボットコントローラとしての制御部の駆動回路部において各関節ごとの電流を検出するようにしてもよい。

　上記第１実施形態では、検出光を出射するレーザートラッカーであるセンサ部５０によって、動作対象としてのロボットアーム部２０の姿勢が検出される例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、レーザートラッカー以外のセンサ部によって動作対象の姿勢が検出されてもよい。たとえば、検出光を出射するとともに、出射された検出光が遮られたことによりロボットアーム部を検出する光電センサを用いることによって、ロボットアーム部の先端の位置を検出するようにしてもよい。また、ロボットアーム部の先端に配置された基板保持ハンドなどのエンドエフェクタ、または、エンドエフェクタに保持された基板などのワークの位置を検出するとともに、検出結果に対して逆変換処理などの所定の演算処理を行うことによってロボットアーム部の先端の位置を示す姿勢情報が取得されるようにしてもよい。また、検出光を出射せず、磁気センサ、静電容量センサ、機械式の接触センサ、または、電流センサなどのセンサをセンサ部として配置することによって、動作対象の姿勢が検出されるようにしてもよい。また、動作対象を光学撮像することによって、撮像された画像に基づいて動作対象の姿勢を検出するようにしてもよい。また、センサ部としてレーザートラッカーを用いる場合に、ロボットアーム部などの動作対象にターゲットを配置しないようにしてもよい。たとえば、動作対象の外表面において反射された検出光を直接的に検出することによって、動作対象の姿勢を検出するようにしてもよい。

　上記第１および第２実施形態では、操作量ｕ_ｉｎｉとしての電流指令の値に基づいて、電流指令の値が所定の電流上限値に到達した場合に、モータ４１に流れる電流が所定の電流上限値に到達したとして、調整動作におけるロボットアーム部２０の動作を変更する例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、モータに流れる電流が電流上限値に到達した場合にも、ロボットアーム部の動作を変更せずに取得された姿勢情報などのデータに基づいてデータ駆動型制御により制御パラメータを調整するようにしてもよい。また、モータに流れる電流を検出する電流センサを配置することによって、操作量としての電流指令の値ではなく、電流センサによる検出結果に基づいて、モータに流れる電流が電流上限値に到達しているか否かを判断するようにしてもよい。また、電流ではなくロボットアーム部の動作速度を検出することによって、検出された速度が速度上限値に到達した場合に、調整動作におけるロボットアーム部の動作を変更するようにしてもよい。また、ロボットアーム部以外の動作対象の調整動作においても、モータに流れる電流が所定の電流上限値に到達した場合に、調整動作における動作対象の動作を変更するようにしてもよい。

　上記第１および第２実施形態では、複数のモータ４１の駆動により動作対象としてのロボットアーム部２０において、関節ＪＴ１、ＪＴ２、および、ＪＴ３の各々ごとに、減速機を含む伝達機構４３が配置されている例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、減速機などの伝達機構が配置されていなくともよい。たとえば、ロボットアーム部を、モータの回転軸により直接的に動作するダイレクトドライブ形式により動作させるようにしてもよい。その場合にも、ロボットアーム部のリンク部自体の弾性成分に起因して、モータの回転角とリンク角との間にずれが生じる場合があるため、姿勢情報に基づくデータ駆動型制御を行うことによって、適切な制御パラメータを取得できる。

　上記第１および第２実施形態では、姿勢情報ｙ_ｉｎｉとして、リンク角θ_１、θ_２、および、θ_３が伝達機構４３における減速比に基づいてモータ４１の回転角に相当する値に変換されたものが取得される例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、取得されたリンク角をそのまま姿勢情報として取得することによって、姿勢情報に基づいて制御パラメータを調整する調整動作を行うようにしてもよい。たとえば、姿勢情報を用いた評価関数の最適化において、減速比に応じて値を補正することによって、モータの回転角の次元ではなくリンク角の次元の姿勢情報を用いてＦＲＩＴ法などのデータ駆動型制御による演算処理を行うようにしてもよい。

　上記第１および第２実施形態では、モータ制御システムとしてのロボットシステム１００および２００が配置されている基板処理システム９００のメンテナンス時などにおいて、所定の期間ごとに調整動作が行われる例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、モータ制御システムの使用が開始される前に、モータ制御システムの出荷前に調整動作を行うようにしてもよい。その場合に、動作対象が実際に運用される際の動作とは異なる動作を行うことによって制御パラメータを調整するようにしてもよい。

　上記第１および第２実施形態では、制御部６０および２６０が、記憶部７０に記憶された制御パラメータρの履歴情報を出力するとともに、制御パラメータρの値が予め設定された所定の判定範囲に含まれない場合に、制御パラメータρの値が適切ではないことを示す報知情報を出力する例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、制御部は、履歴情報と報知情報との少なくとも一方を出力するようにしてもよい。また、制御部は、制御パラメータに対して移動平均の演算処理を行うことによって、制御パラメータの調整度合いを報知する報知情報を出力するようにしてもよい。たとえば、制御部は、複数回の調整動作の各々において取得された制御パラメータに対して移動平均の演算処理を行うとともに、移動平均の結果が所定の範囲に含まれるか否かを判断するようにしてもよい。そして、制御部は、移動平均の結果が所定の範囲に含まれないと判断された場合に、制御パラメータの調整度合いを報知する報知情報として、制御パラメータの値が適切ではないことを示す報知情報を出力するようにしてもよい。また、制御部を、制御パラメータ、または、制御パラメータの移動平均の結果が所定の範囲に含まれるか否かの判定結果自体を報知情報として出力するようにしてもよい。

　上記第１および第２実施形態では、動作対象としてのロボットアーム部２０の動作の制御と、姿勢情報ｙ_ｉｎｉに基づくデータ駆動型制御による制御パラメータρの調整の制御とを、共通の制御部６０および２６０により実行する例を示したが、本開示はこれに限られない。本開示では、動作対象の動作の制御と、姿勢情報に基づくデータ駆動型制御による制御パラメータの調整の制御とを、互いに別個の制御装置により実行するようにしてもよい。たとえば、センサ部からの検出信号に基づく姿勢情報の取得の制御を、動作対象の動作を制御する制御部とは別個に配置された制御装置により実行するようにしてもよい。

　本明細書で開示する要素の機能は、開示された機能を実行するよう構成またはプログラムされた汎用プロセッサ、専用プロセッサ、集積回路、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ　Ｓｐｅｃｉｆｉｃ　Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｃｉｒｃｕｉｔｓ）、従来の回路、および／または、それらの組み合わせ、を含む回路または処理回路を使用して実行できる。プロセッサは、トランジスタやその他の回路を含むため、処理回路または回路と見なされる。本開示において、回路、ユニット、または手段は、列挙された機能を実行するハードウェアであるか、または、列挙された機能を実行するようにプログラムされたハードウェアである。ハードウェアは、本明細書に開示されているハードウェアであってもよいし、あるいは、列挙された機能を実行するようにプログラムまたは構成されているその他の既知のハードウェアであってもよい。ハードウェアが回路の一種と考えられるプロセッサである場合、回路、手段、またはユニットはハードウェアとソフトウェアの組み合わせであり、ソフトウェアはハードウェアおよび／またはプロセッサの構成に使用される。

　［態様］
　上記した例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

　（態様１）
　モータと、
　前記モータの駆動により動作する動作対象と、
　前記モータの駆動状態を示すフィードバック値を用いたフィードバック制御により前記動作対象を動作させるとともに、前記フィードバック値とは別個に取得された前記動作対象の姿勢を示す姿勢情報に基づいて、前記フィードバック制御における制御パラメータを設定するデータ駆動型制御によって、前記制御パラメータを調整する調整動作を行う制御部と、を備える、モータ制御システム。

　（態様２）
　前記制御部は、前記調整動作において、前記フィードバック値とは別個に取得された前記姿勢情報を用いた評価関数により前記制御パラメータを算出することによって、前記データ駆動型制御による前記制御パラメータの調整を行う、態様１に記載のモータ制御システム。

　（態様３）
　前記動作対象は、互いに接続された複数のリンク部を有するロボットアーム部を含み、
　前記制御部は、前記調整動作において、前記フィードバック制御により前記ロボットアーム部を動作させることによって取得された前記ロボットアーム部の姿勢を示す前記姿勢情報に基づいて、前記制御パラメータを調整する、態様１または態様２に記載のモータ制御システム。

　（態様４）
　前記制御部は、取得された一の前記姿勢情報を用いた前記データ駆動型制御により前記制御パラメータを算出することによって、前記調整動作を行う、態様１から態様３までのいずれかに記載のモータ制御システム。

　（態様５）
　前記モータは、複数の前記モータを含み、
　前記制御部は、前記調整動作において、前記複数のモータを動作させることにより取得された共通の姿勢を示す前記姿勢情報に基づいて、前記複数のモータの各々ごとに対応する複数種類の前記制御パラメータを調整する、態様１から態様４までのいずれかに記載のモータ制御システム。

　（態様６）
　前記制御部は、
　　入力された目標値と前記フィードバック値とにより前記モータを動作させるための操作量を出力する前記フィードバック制御により前記モータを駆動させることによって前記動作対象を動作させ、
　　前記調整動作において、前記操作量と、前記フィードバック値とは別個に取得された前記姿勢情報とに基づいて前記目標値を擬似的に算出した疑似参照入力を取得するとともに、予め設定された目標となる応答特性と、取得された前記疑似参照入力と、取得された前記姿勢情報とを用いた前記評価関数を最適化することによって、前記制御パラメータの調整を行う、態様２に記載のモータ制御システム。

　（態様７）
　前記制御部は、
　　入力された目標値と前記フィードバック値とにより前記モータを動作させるための操作量を出力する前記フィードバック制御により前記モータを駆動させることによって前記ロボットアーム部を動作させるとともに、
　　前記調整動作において、前記モータに対するトルク指令または電流指令を含む前記操作量と、前記ロボットアーム部の先端の位置を示す前記姿勢情報とに基づいて、前記データ駆動型制御により前記制御パラメータを調整する、態様３に記載のモータ制御システム。

　（態様８）
　前記動作対象の姿勢を検出するセンサ部をさらに備え、
　前記制御部は、前記調整動作において、前記センサ部からの検出信号に基づいて前記姿勢情報を取得することによって、前記データ駆動型制御により前記制御パラメータを調整する、態様１から態様７までのいずれかに記載のモータ制御システム。

　（態様９）
　前記モータの回転角を検出する回転角検出部をさらに備え、
　前記制御部は、
　　前記回転角検出部による検出結果に基づいて、前記モータの駆動状態を示す前記フィードバック値を取得し、
　　前記調整動作において、前記回転角検出部による検出結果に基づいて取得される前記フィードバック値とは別個に、前記回転角検出部による検出結果に基づいて前記姿勢情報を推定するとともに、推定された前記姿勢情報に基づいて前記データ駆動型制御により前記制御パラメータを調整する、態様１から態様８までのいずれかに記載のモータ制御システム。

　（態様１０）
　前記制御部は、前記調整動作において、前記モータに流される電流の大きさが所定の電流上限値に到達した場合に、前記姿勢情報を取得するための前記ロボットアーム部の動作を変更する、態様３に記載のモータ制御システム。

　（態様１１）
　前記ロボットアーム部の先端に接続され、基板を保持する基板保持ハンドをさらに備え、
　前記制御部は、前記調整動作において、前記ロボットアーム部により前記基板保持ハンドの位置を変更する動作が行われることにより取得された前記姿勢情報に基づいて、前記データ駆動型制御により前記制御パラメータを調整する、態様３に記載のモータ制御システム。

　（態様１２）
　前記ロボットアーム部は、互いに平行な回転軸線回りに回動する前記複数のリンク部を含む水平多関節の前記ロボットアーム部を含み、
　前記制御部は、前記調整動作において、水平多関節の前記ロボットアーム部の動作を制御する前記制御パラメータを、前記データ駆動型制御により調整する、態様３に記載のモータ制御システム。

　（態様１３）
　前記制御部は、記憶された前記制御パラメータの履歴情報、および、前記制御パラメータの調整度合いを報知する報知情報の少なくとも一方を出力する、態様１から態様１２までのいずれかに記載のモータ制御システム。

　（態様１４）
　モータと、
　互いに接続された複数のリンク部を有し、前記モータの駆動により動作するロボットアーム部と、
　前記モータの駆動状態を示すフィードバック値を用いたフィードバック制御により前記ロボットアーム部を動作させるとともに、前記フィードバック値とは別個に取得された前記ロボットアーム部の姿勢を示す姿勢情報に基づいて、前記フィードバック制御における制御パラメータを設定するデータ駆動型制御によって、前記制御パラメータを調整する調整動作を行う制御部と、を備える、ロボットシステム。

　（態様１５）
　モータの駆動により動作する動作対象を、前記モータの駆動状態を示すフィードバック値を用いたフィードバック制御により動作させることによって、前記フィードバック値とは別個に前記動作対象の姿勢を示す姿勢情報を取得することと、
　前記フィードバック値とは別個に取得された前記姿勢情報に基づいて、前記フィードバック制御における制御パラメータを設定するデータ駆動型制御によって、前記制御パラメータを調整することと、を備える、モータ制御方法。

　２０　ロボットアーム部
　２１、２２、２３　リンク部
　３０　基板保持ハンド
　４１　モータ
　４２　エンコーダ（回転角検出部）
　５０　センサ部
　６０、２６０　制御部
　７０　記憶部
　８０　表示部
　１００、２００　ロボットシステム（モータ制御システム）
　１０１　基板

Claims (15)

1. 　モータと、
   　前記モータの駆動により動作する動作対象と、
   　前記モータの駆動状態を示すフィードバック値を用いたフィードバック制御により前記動作対象を動作させるとともに、前記フィードバック値とは別個に取得された前記動作対象の姿勢を示す姿勢情報に基づいて、前記フィードバック制御における制御パラメータを設定するデータ駆動型制御によって、前記制御パラメータを調整する調整動作を行う制御部と、を備える、モータ制御システム。
2. 　前記制御部は、前記調整動作において、前記フィードバック値とは別個に取得された前記姿勢情報を用いた評価関数により前記制御パラメータを算出することによって、前記データ駆動型制御による前記制御パラメータの調整を行う、請求項１に記載のモータ制御システム。
3. 　前記動作対象は、互いに接続された複数のリンク部を有するロボットアーム部を含み、
   　前記制御部は、前記調整動作において、前記フィードバック制御により前記ロボットアーム部を動作させることによって取得された前記ロボットアーム部の姿勢を示す前記姿勢情報に基づいて、前記制御パラメータを調整する、請求項１に記載のモータ制御システム。
4. 　前記制御部は、取得された一の前記姿勢情報を用いた前記データ駆動型制御により前記制御パラメータを算出することによって、前記調整動作を行う、請求項１に記載のモータ制御システム。
5. 　前記モータは、複数の前記モータを含み、
   　前記制御部は、前記調整動作において、前記複数のモータを動作させることにより取得された共通の姿勢を示す前記姿勢情報に基づいて、前記複数のモータの各々ごとに対応する複数種類の前記制御パラメータを調整する、請求項１に記載のモータ制御システム。
6. 　前記制御部は、
   　　入力された目標値と前記フィードバック値とにより前記モータを動作させるための操作量を出力する前記フィードバック制御により前記モータを駆動させることによって前記動作対象を動作させ、
   　　前記調整動作において、前記操作量と、前記フィードバック値とは別個に取得された前記姿勢情報とに基づいて前記目標値を擬似的に算出した疑似参照入力を取得するとともに、予め設定された目標となる応答特性と、取得された前記疑似参照入力と、取得された前記姿勢情報とを用いた前記評価関数を最適化することによって、前記制御パラメータの調整を行う、請求項２に記載のモータ制御システム。
7. 　前記制御部は、
   　　入力された目標値と前記フィードバック値とにより前記モータを動作させるための操作量を出力する前記フィードバック制御により前記モータを駆動させることによって前記ロボットアーム部を動作させるとともに、
   　　前記調整動作において、前記モータに対するトルク指令または電流指令を含む前記操作量と、前記ロボットアーム部の先端の位置を示す前記姿勢情報とに基づいて、前記データ駆動型制御により前記制御パラメータを調整する、請求項３に記載のモータ制御システム。
8. 　前記動作対象の姿勢を検出するセンサ部をさらに備え、
   　前記制御部は、前記調整動作において、前記センサ部からの検出信号に基づいて前記姿勢情報を取得することによって、前記データ駆動型制御により前記制御パラメータを調整する、請求項１に記載のモータ制御システム。
9. 　前記モータの回転角を検出する回転角検出部をさらに備え、
   　前記制御部は、
   　　前記回転角検出部による検出結果に基づいて、前記モータの駆動状態を示す前記フィードバック値を取得し、
   　　前記調整動作において、前記回転角検出部による検出結果に基づいて取得される前記フィードバック値とは別個に、前記回転角検出部による検出結果に基づいて前記姿勢情報を推定するとともに、推定された前記姿勢情報に基づいて前記データ駆動型制御により前記制御パラメータを調整する、請求項１に記載のモータ制御システム。
10. 　前記制御部は、前記調整動作において、前記モータに流される電流の大きさが所定の電流上限値に到達した場合に、前記姿勢情報を取得するための前記ロボットアーム部の動作を変更する、請求項３に記載のモータ制御システム。
11. 　前記ロボットアーム部の先端に接続され、基板を保持する基板保持ハンドをさらに備え、
    　前記制御部は、前記調整動作において、前記ロボットアーム部により前記基板保持ハンドの位置を変更する動作が行われることにより取得された前記姿勢情報に基づいて、前記データ駆動型制御により前記制御パラメータを調整する、請求項３に記載のモータ制御システム。
12. 　前記ロボットアーム部は、互いに平行な回転軸線回りに回動する前記複数のリンク部を含む水平多関節の前記ロボットアーム部を含み、
    　前記制御部は、前記調整動作において、水平多関節の前記ロボットアーム部の動作を制御する前記制御パラメータを、前記データ駆動型制御により調整する、請求項３に記載のモータ制御システム。
13. 　前記制御部は、記憶された前記制御パラメータの履歴情報、および、前記制御パラメータの調整度合いを報知する報知情報の少なくとも一方を出力する、請求項１に記載のモータ制御システム。
14. 　モータと、
    　互いに接続された複数のリンク部を有し、前記モータの駆動により動作するロボットアーム部と、
    　前記モータの駆動状態を示すフィードバック値を用いたフィードバック制御により前記ロボットアーム部を動作させるとともに、前記フィードバック値とは別個に取得された前記ロボットアーム部の姿勢を示す姿勢情報に基づいて、前記フィードバック制御における制御パラメータを設定するデータ駆動型制御によって、前記制御パラメータを調整する調整動作を行う制御部と、を備える、ロボットシステム。
15. 　モータの駆動により動作する動作対象を、前記モータの駆動状態を示すフィードバック値を用いたフィードバック制御により動作させることによって、前記フィードバック値とは別個に前記動作対象の姿勢を示す姿勢情報を取得することと、
    　前記フィードバック値とは別個に取得された前記姿勢情報に基づいて、前記フィードバック制御における制御パラメータを設定するデータ駆動型制御によって、前記制御パラメータを調整することと、を備える、モータ制御方法。