WO2025210976A1 - 通知装置、通知方法および通知プログラム - Google Patents

通知装置、通知方法および通知プログラム

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WO2025210976A1
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target
replacement
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裕也 渡部
竜太 紅林
功系兆 梶芳
将史 影山
雄二 畑山
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Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
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Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/20008—Constructional details of analysers, e.g. characterised by X-ray source, detector or optical system; Accessories therefor; Preparing specimens therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05G—X-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/08—Electrical details
    • H05G1/26—Measuring, controlling or protecting

Definitions

  • X-ray analysis equipment generates X-rays by heating a filament and causing thermions to collide with a target, and then irradiates the sample with the X-rays extracted by opening and closing a shutter.
  • Parts in the X-ray generating section in particular are used under harsh conditions and deteriorate, requiring replacement when they near the end of their lifespan.
  • the usage time and number of times that parts were regularly replaced were calculated and displayed on the application screen for the user of the X-ray analysis equipment.
  • Maintenance workers from the equipment manufacturer then check the usage time and number of times that parts were used during regular maintenance visits, and identify parts that need to be replaced during the next visit.
  • the number of days for warning is a number that the user can set arbitrarily depending on the actual usage of the device. Therefore, it does not determine whether the current part is in a condition that recommends replacement or not, and does not prompt the user to replace the part.
  • the present invention was made in light of these circumstances, and aims to provide a notification device, notification method, and notification program that facilitates the replacement management of parts in X-ray analysis equipment.
  • the information storage unit further stores a plurality of different judgment conditions for notifying the replacement recommendation information
  • the notification device further has a selection unit that selects one judgment condition from the plurality of judgment conditions stored in the information storage unit for the target part
  • the condition determination unit determines whether the measurement value matches the selected judgment condition.
  • the target part is a target
  • the measurement value is the current value of the motor current of the target
  • the state determination unit determines whether the current state of the target part is such that the replacement recommendation information should be notified based on whether the time until the current value of the motor current is expected to exceed a threshold is shorter than a predetermined time.
  • the target part is a target
  • the measurement value is a parameter related to the intensity of a diffraction peak obtained from the measurement results of a standard sample
  • the state determination unit determines whether the current state of the target part is such that the replacement recommendation information should be notified based on whether the value of the parameter related to the intensity of the diffraction peak exceeds a threshold value.
  • the target part is a shutter
  • the measurement value is the open time or closed time of the shutter
  • the state determination unit determines whether the current state of the target part is such that the replacement recommendation information should be notified based on whether the time until the open time or closed time of the shutter is expected to exceed a threshold is shorter than a predetermined time.
  • the notification program of the present invention is a notification program for notifying component replacement recommendation information, characterized in that it causes a computer to execute the following processes: storing measurement value information for a target component held by an X-ray analysis device; determining, from the measurement value information, whether the current state of the target component is such that replacement recommendation information recommending replacement of the target component should be notified; and notifying the replacement recommendation information when it is determined that the current state of the target component is such that replacement recommendation information should be notified.
  • the X-ray analysis device 100 includes an irradiation unit 110 and a detection unit 120, and enables analysis of the sample S using X-rays by irradiating the sample S with X-rays and detecting the scattered X-rays.
  • the irradiation unit 110 includes components such as a filament 112, a target 115, and a shutter 117. These components are target components, i.e., components for which replacement recommendation information is notified. Note that the target components are not limited to the components exemplified here.
  • the filament 112 is the cathode and is heated by passing an electric current through it.
  • the target 115 is the anode.
  • a tube voltage is applied between the filament 112 and the target 115, negative thermoelectrons emitted from the filament 112 collide with the target 115 at high speed, generating X-rays.
  • the target 115 is grounded and is a rotary type that changes the collision position of the thermoelectrons by rotating it, for example, using a motor, and is cooled by a refrigerant such as water.
  • the shutter 117 opens and closes according to instructions, controlling the emission of the generated X-rays.
  • the notification device 200 includes a control unit 210, a measurement data storage unit 220, an information storage unit 230, a selection unit 235, a status determination unit 240, and a notification unit 250, and notifies the user or maintenance worker of recommended part replacement information. Notification of recommended replacement information simplifies the replacement management of parts in the X-ray analysis device 100. It also saves maintenance workers the trouble of calculating the next part to be replaced based on the current usage time. It also prevents the waste of replacing parts that are still usable once the time or number of times reaches a predetermined value, allowing parts to be used to the end of their lifespan. It also prevents equipment downtime due to sudden part failure.
  • Each unit can send and receive information via the control bus L.
  • the input device 310 and output device 320 are connected to the CPU via an appropriate interface.
  • the input device 310 is, for example, a keyboard or mouse, and accepts selections and specifications from the user, providing input to the notification device 200.
  • the output device 320 is, for example, a display, and can display recommended replacement information and a settings UI.
  • the control unit 210 controls the operation of the X-ray analysis device 100.
  • the control unit 210 also acquires the measurement values of each component from the X-ray analysis device 100 and stores them in the information storage unit 230.
  • the measurement data storage unit 220 stores the measurement data acquired from the X-ray analysis device 100. Information necessary for analyzing the measurement data may be included together with the measurement data.
  • the selection unit 235 selects one judgment condition from among multiple judgment conditions stored in the information storage unit 230 for the part.
  • the judgment condition can be selected based on a user instruction. Judgment conditions may be presented to the user or determined automatically based on measurement value information.
  • the status determination unit 240 determines that an alarm state has occurred, meaning that a failure could occur at any time. AI may also determine that it is time to recommend replacement based on the current status of the part.
  • the notification unit 250 When it is determined that predetermined conditions are met, the notification unit 250 notifies replacement recommendation information recommending part replacement. Specifically, the notification is made by displaying the replacement recommendation information on the output device 320.
  • the notification unit 250 can send the information to the user terminal via email or a pop-up display on the terminal, or to the maintenance worker via email. Furthermore, if a re-notification period is set, the replacement recommendation information can be re-displayed on the display unit when the re-notification conditions are met.
  • Fig. 3 is a flowchart showing the notification method.
  • information on the measurement values of the component is stored (step S1). Based on the obtained information, the current state of the component is determined (step S2).
  • step S3 it is determined whether the current state of the determined part warrants notification of replacement recommendation information. If it is determined that notification is not necessary, the process returns to step S1. If it is determined that notification is necessary, the part replacement recommendation information is notified to the user (step S4). This makes it easier to manage the replacement of parts in the irradiation unit 110 of the X-ray analysis device 100. Specific examples of each part are described below.
  • the current value of the filament current can be used as a measurement value to determine the current state of the component.
  • Figure 4 is a graph showing the relationship between the filament current value and the usage time.
  • the filament current gradually decreases as the X-ray analysis device 100 continues to be used.
  • its material tungsten
  • it gradually becomes thinner. This means that less filament current is required to generate the necessary tube current from thermions. As a result, the filament current decreases.
  • the decrease in the filament current value with increasing usage time is generally uniform and can be approximated by a curve. However, at a certain point just before the filament breaks, the current value increases significantly. If a small section of the filament suddenly thins just before it breaks, the balance between the filament current and thermions is disrupted and a reversal occurs. In other words, as the filament thins, its surface area decreases, making it necessary to increase the filament temperature, which results in an increase in filament current. By detecting these abnormal signs, it is possible to notify users of the recommendation to replace the part before it fails.
  • the user can be notified of a replacement recommendation.
  • the threshold for determining abnormal signs relative to a specified time can be set to, for example, between 30 minutes and 5 hours. This makes it possible to reliably detect an increase in the current value just before the filament breaks. In this way, the user can be notified of the replacement recommendation before the filament breaks, allowing them to replace the filament with ample time to spare.
  • the sampling period for filament current can be set to about one minute.
  • Filament current data can be acquired at one-minute intervals, and if the trend obtained by taking the moving average turns upward and continues for a specified period of time, it can be determined to be an abnormality. It is also possible to approximate the relationship between usage time and filament current value with a curve, estimate the time when abnormal symptoms will occur, and issue a notification before that time.
  • FIG. 5 is a graph showing the relationship between the target's motor current value and usage time. Due to copper deposition on the target cup water-cooled surface and wear on the bearings and mechanical seals, the motor current value versus usage time shows an overall upward trend.
  • an approximation curve is calculated for the relationship between usage time and the motor current value. This life curve is then extrapolated to calculate the point at which the current value will exceed the alarm threshold. If the time until that point is less than a specified time, the current state of the part is determined to be such that a replacement recommendation notification should be issued. In that case, the replacement recommendation information can be notified to the user.
  • the threshold can be set to a current value between 10A and 20A, for example. This makes it possible to detect the motor current value just before a failure occurs due to copper buildup or friction. The user can be notified of recommended replacement before the target fails.
  • Fig. 6 is a graph showing the relationship between the number of times the shutter is opened and closed and the open or closed time.
  • An approximate curve is calculated for the relationship between the number of times the shutter is opened and closed and the open or closed time of the shutter from the time transition from the closed state to the open state per fixed period of time, or from the time transition from the open state to the closed state per fixed period of time. This life curve is then extrapolated to calculate the time at which the current value will exceed the alarm threshold. If the time until that point is less than the specified time, the current state of the part is determined to be such that a replacement recommendation notification should be issued. In that case, the replacement recommendation information can be notified to the user.
  • the alarm threshold can be set to, for example, a time between 30 ms and 1000 ms. This allows for the detection of signs of shutter failure, such as the tendency for the shutter's open or closed time to become longer due to deterioration or wear of the moving parts. As a result, the user can be notified of the recommended shutter replacement before the shutter fails.
  • the increase in the shutter opening and closing time due to normal deterioration, such as deterioration of the rotary solenoid bearings and springs, is very gradual. Therefore, simply opening and closing 1 million times does not result in a significant increase in opening and closing time, and does not exceed the alarm threshold. Rather, the greater factors are oxidation of oil, etc. over time, and corrosion of metal due to X-rays and the ozone or nitric acid generated by them. If products from these enter and clog the rotating or sliding parts, the shutter will gradually slow down. Therefore, the shutter opening and closing time increases very slowly with the number of openings and closings, and then increases suddenly at a certain point. The life curve can be estimated from the trend of this sudden increase.
  • the current condition of a part can be determined by using diffraction peak information obtained from measuring a standard sample using an X-ray analyzer as a measurement value.
  • Diffraction peak information includes, for example, the position, intensity, and half-width values obtained from the peak at a specific diffraction position. It is preferable to use a standard sample such as silicon powder or alumina powder, whose measurement results do not change over time.
  • Figure 7 is a trend chart showing the relationship between usage time and diffraction peak information. Diffraction peak information is obtained from measurement results using silicon powder as the standard sample. In the example display in Figure 7, the changes in the diffraction intensity of Si (220), Si (511/333), and Si (620) are plotted against the measurement date.
  • the notification device 200 stores diffraction peak information obtained from measurements performed under the same conditions as on the measurement date of the standard sample.
  • the diffraction peak information is, for example, the position, intensity, or half-width value for each specific diffraction position.
  • the notification device 200 then sets a threshold value for each parameter in advance, and can determine that the current state of the part requires notification of a replacement recommendation when the stored value exceeds the threshold value. It may also calculate the average and variance of peak information from multiple measurement days as values used for the determination, and determine whether or not the value falls within the range of upper and lower threshold values.
  • diffraction measurements can be performed using alumina powder as a standard sample, and the integrated intensity of the peaks can be used as the measurement value to determine the current condition of the part.
  • the intensity of the diffraction peaks tends to decrease as the target deteriorates, making it possible to detect signs of target deterioration.
  • the user can be notified of the recommended replacement information before a decrease in intensity occurs that would affect the accuracy of the analysis.
  • the replacement recommendation information is preferably communicated to the user via the user terminal by a pop-up display on the terminal or by email, or to the maintenance worker via the worker terminal by email.
  • Fig. 8 shows a pop-up display 400 displaying a replacement recommendation notification.
  • the recommended replacement time for the filament is 2000 hours, but the usage time has reached 1600, indicating that the time for replacement is approaching.
  • the replacement recommendation information may be sent for an ion gauge, which is a pressure gauge.
  • the bottom section of the pop-up display displays re-notification time options and an OK button as the re-notification period setting operation section 410.
  • "1 day later" is displayed as an option for the re-notification time, and if the OK button is pressed in this state, a re-notification will be sent one day later.
  • Figure 9 is a table showing a list of information to be notified to the recipient.
  • the list in Figure 9 lists part replacement as the notification type, device serial number as additional information 1, date and time of notification information as additional information 2, maintenance part name as additional information 3, and part usage time as additional information 4.
  • this information is included in an email document.
  • the email subject can be set separately to any subject, and the information is notified together as shown below.
  • Parts Replacement Device serial number BD74999999-01 Date and time of occurrence: 2023/02/21 18:13:03
  • the time that has elapsed up to the current time is first calculated based on the date and time when the replacement recommendation information was displayed.
  • the period set using the re-notification period setting button (for example, one day, one week, or one month later) is then used as the threshold.
  • the re-notification condition can be set to be that the elapsed time exceeds the threshold.
  • the prediction of the recommended replacement time may be performed using an AI function, such as a machine learning model.
  • a machine learning model consisting of a neural network with an input layer, an intermediate layer, and an output layer can be used.
  • the machine learning model learns from accumulated measurement values, replacement history data, and failure data as training data. Data on the transition of filament current values and the time when a failure occurs can be used as training data.
  • the weights of each neuron in the intermediate layer are tuned by repeatedly learning the input of the filament current value so that the output layer outputs the correct time of failure with a high probability.
  • a convolutional neural network can be used to roughly recognize the target. This makes it possible to input data on the change in filament current value and the time of failure into the machine learning model, without using any special parameters, and determine whether or not to notify a replacement recommendation.
  • an X-ray analysis device 100 in which the irradiation unit 110 is composed of a filament 112, a target 115, and a shutter 117 is given as an example of a device that is subject to part replacement, but the irradiation unit may have a different configuration.
  • Figure 10 is a schematic diagram showing the configuration of the notification system 510.
  • Figure 2 is a block diagram showing the functional configuration of the notification system 10.
  • the notification system 510 includes an X-ray analysis device 600 and a notification device 200.
  • the X-ray analysis device 600 includes an irradiation unit 610 and a detection unit 120, and enables analysis of the sample S using X-rays by irradiating the sample S with X-rays and detecting the scattered X-rays.
  • the irradiation unit 610 comprises an electron gun 612, an anode-grounded rotating anode 615, a rotor 616, and a shutter 117.
  • the electron gun 612 comprises an electron emitter 612a and a Wehnelt electrode 612b for collecting electrons.
  • the electron gun 612 is configured so that a negative voltage (bias voltage) greater than the negative voltage applied to the electron emitter 612a is applied to the Wehnelt electrode 612b.
  • the rotating anode 615 is connected to the rotor 616 and rotates as the rotor 616 rotates.
  • the notification device 200 can receive information on measurement values for components of the X-ray analysis device 600 and notify the user of recommended component replacement information.
  • the electron gun 612 and the rotating anode unit 615 correspond to the filament 112 and the target 115, respectively.
  • the notification device 200 can also notify the user of recommended component replacement information for the electron gun 612 and the rotating anode unit 615, in the same way as for the filament 112 and the target 115.
  • Notification system 100 X-ray analysis device (first embodiment) 110 Irradiation unit (first embodiment) 112 Filament 115 Target 117 Shutter 120 Detector 200 Notification device 210 Control unit 220 Measurement data storage unit 230 Information storage unit 235 Selection unit 240 Status determination unit 250 Notification unit 310 Input device 320 Output device 400 Pop-up display 410 Re-notification period setting operation unit 510 Notification system (second embodiment) 600 X-ray analysis device (second embodiment) 610 Irradiation unit (second embodiment) 612 Electron gun 612a Electron emission section 612b Wehnelt electrode 615 Rotating anode section 616 Rotor L Control bus S Sample

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Abstract

Ｘ線分析装置が有するＸ線発生部の部品の交換管理を容易にする通知装置、通知方法および通知プログラムを提供する。部品の交換推奨情報を通知する通知装置２００であって、Ｘ線分析装置が有する対象部品に対する測定値の情報を記憶する情報記憶部２３０と、測定値の情報から対象部品の現在の状態が部品の交換を推奨する交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定する状態判定部２４０と、対象部品の現在の状態が交換推奨情報を通知すべき状態であると判定されたときに、交換推奨情報を通知する通知部２５０と、を備える。対象部品には、フィラメント、ターゲットおよびシャッタが挙げられる。

Description

通知装置、通知方法および通知プログラム
　本発明は、部品の交換推奨情報を通知する通知装置、通知方法および通知プログラムに関する。
　Ｘ線分析装置は、フィラメントを加熱し、熱電子をターゲットに衝突させて、Ｘ線を発生させ、シャッタの開閉により取り出したＸ線を試料に照射する。特にＸ線発生部の部品は過酷な条件で使用され劣化するため、寿命が近づくと交換が必要になる。
　従来、定期的な交換部品の使用時間や駆動回数を積算し、それらをＸ線分析装置のユーザに向けて、アプリケーション画面に表示している。そして、装置メーカーのメンテナンス作業者が定期的保守の訪問時に部品の使用時間や駆動回数を確認し、次回の訪問時に交換する部品を認識している。
　しかしながら、客先訪問または客先に問い合わせてはじめて、メンテナンス作業者は部品の状態を認識するため、ユーザの使用頻度変化による部品交換タイミングの変動に応じた部品交換まではできない。
　このような課題に対し、部品ごとに警告日数を設定し、使用日数が警告日数を経過すると交換を促す警告を通知する技術が知られている（特許文献１参照）。
国際公開２０２０／１７９１１１号
　上記の特許文献１では、警告日数は、実際に装置を使用するユーザの使用状況に応じてユーザが任意に設定する日数である。そのため、現在の部品が交換の推奨される状態であるか否かを判定し、部品交換を促すものではない。
　本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、Ｘ線分析装置が有する部品の交換管理を容易にする通知装置、通知方法および通知プログラムを提供することを目的とする。
　（１）上記の目的を達成するため、本発明の通知装置は、部品の交換推奨情報を通知する通知装置であって、Ｘ線分析装置が有する対象部品に対する測定値の情報を記憶する情報記憶部と、前記測定値の情報から前記対象部品の現在の状態が前記対象部品の交換を推奨する交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定する状態判定部と、前記対象部品の現在の状態が前記交換推奨情報を通知すべき状態であると判定されたときに、前記交換推奨情報を通知する通知部と、を備えることを特徴としている。
　（２）また、上記（１）記載の通知装置において、前記情報記憶部は、前記交換推奨情報を通知するための異なる複数の判定条件をさらに記憶し、前記通知装置は、前記対象部品に対して前記情報記憶部に記憶されている複数の判定条件の中から１つの判定条件を選択する選択部をさらに有し、前記状態判定部は、前記測定値が、前記選択された判定条件に合致するか否かを判定することを特徴としている。
　（３）また、上記（１）または（２）記載の通知装置において、前記対象部品は、前記Ｘ線分析装置を構成する照射部の部品であり、前記照射部は、電子銃と、接地された対陰極部と、を備え、前記電子銃は、電子放出部と、電子集光用のウェーネルト電極と、を備え、前記ウェーネルト電極は、前記電子放出部に印加される負の電圧に対してより大きい負の電圧を印加する構造を有し、前記対象部品は、前記電子放出部、前記ウェーネルト電極または前記対陰極部のいずれかであることを特徴としている。
　（４）また、上記（１）または（２）記載の通知装置において、前記対象部品は、フィラメントであり、前記測定値は、フィラメント電流の電流値であり、前記状態判定部は、前記フィラメントの使用時間に対し前記フィラメント電流の電流値の増加時間が閾値を超えているか否かで、前記対象部品の現在の状態が前記交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定することを特徴としている。
　（５）また、上記（１）または（２）記載の通知装置において、前記対象部品は、ターゲットであり、前記測定値は、前記ターゲットのモータ電流の電流値であり、前記状態判定部は、前記モータ電流の電流値が閾値を超えると予想される時点までの時間が所定時間より小さいか否かで、前記対象部品の現在の状態が前記交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定することを特徴としている。
　（６）また、上記（１）または（２）記載の通知装置において、前記対象部品は、ターゲットであり、前記測定値は、標準試料の測定結果から得られる回折ピークの強度に関するパラメータであり、前記状態判定部は、前記回折ピークの強度に関するパラメータの値が閾値を超えているか否かで、前記対象部品の現在の状態が前記交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定することを特徴としている。
　（７）また、上記（１）または（２）記載の通知装置において、前記対象部品は、シャッタであり、前記測定値は、前記シャッタのオープン時間またはクローズ時間であり、前記状態判定部は、前記シャッタのオープン時間またはクローズ時間が閾値を超えると予想される時点までの時間が所定時間より小さいか否かで、前記対象部品の現在の状態が前記交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定することを特徴としている。
　（８）また、上記（２）記載の通知装置において、前記記憶された判定条件は、前記測定値が閾値を超えているか否かであり、前記測定値は、前記対象部品の使用時間またはそれに相当する量であり、前記閾値は、前記対象部品ごとに決められた推奨値に所定の割合を乗じた値、前記対象部品の使用時間実績の平均値に所定の値を乗じた値または任意の値のいずれかひとつを設定できることを特徴としている。
　（９）また、上記（１）から（７）のいずれかに記載の通知装置において、前記交換推奨情報は、端末のポップアップ表示もしくは電子メールによりユーザ端末を介してユーザに伝達される、または、メールにより作業者端末を介してメンテナンス作業者に伝達されることを特徴としている。
　（１０）また、上記（８）記載の通知装置において、前記情報記憶部は、前記交換推奨情報が表示された日にちと時刻を記憶し、前記ポップアップ表示の画面に、再通知期間設定操作部を表示し、前記交換推奨情報が表示された後に前記再通知期間設定操作部に対する入力を受け付け前記再通知期間設定操作部により設定された再通知条件を満たした場合に、前記通知部は、前記交換推奨情報を再表示することを特徴としている。
　（１１）また、本発明の通知方法は、部品の交換推奨情報を通知する通知方法であって、Ｘ線分析装置が有する対象部品に対する測定値の情報を記憶するステップと、前記測定値の情報から前記対象部品の現在の状態が前記対象部品の交換を推奨する交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定するステップと、前記対象部品の現在の状態が前記交換推奨情報を通知すべき状態であると判定されたときに、前記交換推奨情報を通知するステップと、を含むことを特徴としている。
　（１２）また、本発明の通知プログラムは、部品の交換推奨情報を通知する通知プログラムであって、Ｘ線分析装置が有する対象部品に対する測定値の情報を記憶する処理と、前記測定値の情報から前記対象部品の現在の状態が前記対象部品の交換を推奨する交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定する処理と、前記対象部品の現在の状態が前記交換推奨情報を通知すべき状態であると判定されたときに、前記交換推奨情報を通知する処理と、をコンピュータに実行させることを特徴としている。
第１実施形態の通知システムの構成を示す概略図である。 通知システムの機能的構成を示すブロック図である。 通知方法を示すフローチャートである。 フィラメント電流値と使用時間との関係を示すグラフである。 ターゲットのモータ電流値と使用時間との関係を示すグラフである。 シャッタの開閉回数とオープン時間との関係を示すグラフである。 使用時間と回折ピークの情報との関係を示すトレンドチャートである。 交換推奨通知を示すポップアップ表示である。 通知先に通知する情報の一覧を示すテーブルである。 第２実施形態の通知システムの構成を示す概略図である。
　次に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
　［第１実施形態］
　［通知システム］
　図１は、通知システム１０の構成を示す概略図である。図２は、通知システム１０の機能的構成を示すブロック図である。通知システム１０は、Ｘ線分析装置１００および通知装置２００を備えている。
　［Ｘ線分析装置］
　Ｘ線分析装置１００は、照射部１１０および検出部１２０を備えており、試料ＳにＸ線を照射し、散乱されたＸ線を検出することで、Ｘ線による試料Ｓの分析を可能にしている。照射部１１０には、部品としてフィラメント１１２、ターゲット１１５およびシャッタ１１７が含まれている。これらの部品は、対象部品、すなわち交換推奨情報が通知される部品である。なお、対象部品は、ここで例示された部品に限定されない。
　フィラメント１１２は、陰極であり、電流を流すことで加熱する。ターゲット１１５は、陽極であり、フィラメント１１２とターゲット１１５との間に管電圧がかけられると、フィラメント１１２から出たマイナスの熱電子がターゲット１１５に高速で衝突し、Ｘ線が発生する。ターゲット１１５は、接地されており、例えばモータにより回転することで熱電子の衝突位置を変える回転式であり、水のような冷媒により冷却される。シャッタ１１７は、指示に応じて開閉し、発生したＸ線の照射を制御する。
　［通知装置］
　通知装置２００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit／中央演算処理装置）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、メモリをバスに接続してなるコンピュータによって構成されている。通知装置２００は、Ｘ線分析装置１００に接続され、Ｘ線分析装置１００を制御し、測定データを処理する制御装置または処理装置としても機能する。通知装置２００は、Ｘ線分析装置１００からは散乱Ｘ線の検出により得られた測定結果だけでなく、部品に対する測定値の情報を受け取る。
　通知装置２００は、ＰＣ端末であってもよいし、クラウド上のサーバであってもよい。また、全体の装置だけでなく、一部の装置や装置内の一部の機能がクラウド上に設けられてもよい。例えば、測定現場でＸ線分析装置１００に併設された制御装置が通知すべきか否かの判定までの機能を有し、居室のＰＣ端末や携帯端末がユーザへの交換推奨情報の通知の機能を有してもよい。その場合、機能を有する装置の集合を通知装置２００と呼ぶことができる。
　通知装置２００は、制御部２１０、測定データ記憶部２２０、情報記憶部２３０、選択部２３５、状態判定部２４０および通知部２５０を備え、部品の交換推奨情報をユーザまたはメンテナンス作業者に通知する。交換推奨情報の通知により、Ｘ線分析装置１００が有する部品の交換管理が容易になる。また、メンテナンス作業者も次に交換すべき部品を、現在の使用時間から計算する手間を省くことができる。また、時間や回数が所定値に達したら使用可能な部品であっても交換するという無駄を防止でき、部品を寿命まで使い切ることができる。突発的な部品故障による装置ダウンタイムの発生も防止できる。
　各部は、制御バスＬにより情報を送受できる。入力装置３１０および出力装置３２０は適宜のインターフェースを介してＣＰＵに接続されている。入力装置３１０は、例えばキーボード、マウスであり、ユーザによる選択や指定を受け付け、通知装置２００への入力を行う。出力装置３２０は、例えばディスプレイであり、交換推奨情報を表示したり、設定用のＵＩを表示したりすることができる。
　制御部２１０は、Ｘ線分析装置１００の動作を制御する。また、制御部２１０は、Ｘ線分析装置１００から各部品の測定値を取得し、情報記憶部２３０に記憶させる。測定データ記憶部２２０は、Ｘ線分析装置１００から取得した測定データを記憶する。測定データと合わせて、測定データの分析に必要な情報が含まれてもよい。
　情報記憶部２３０は、Ｘ線分析装置１００が有する照射部１１０の部品に対する測定値の情報を記憶する。測定値としては、フィラメントの使用時間に対するフィラメント電流値、ターゲットの使用時間に対するターゲットのモータ電流値およびシャッタ開閉回数に対するシャッタのオープン時間またはシャッタのクローズ時間が挙げられる。情報記憶部２３０は、交換推奨情報を通知するための異なる複数の判定条件を記憶してもよい。
　選択部２３５は、部品に対して情報記憶部２３０に記憶されている複数の判定条件の中から１つの判定条件を選択する。判定条件の選択は、ユーザの指示に基づいて行うことができる。測定値の情報に応じて、ユーザへの判定条件の提示や判定条件の決定が自動で行われてもよい。
　状態判定部２４０は、判定条件として、例えば測定値の情報から部品の現在の状態が交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定する。状態判定部２４０は、例えばフィラメントのような部品に対し、測定値が通常の範囲内でかつ通常のトレンドに従う場合、通常の状態と判定し、通常のトレンドでない場合には、異常徴候を示している状態と判定する。状態判定部２４０は、測定値が、選択部２３５により選択された判定条件に合致するか否かを判定することができる。
　この場合、さらに異常徴候が継続している時間が閾値を超えているか否かを判定してもよい。その結果に応じて、状態判定部２４０は、部品の現在の状態が交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定することができる。なお、部品が異常徴候を示している状態にあったとしても、すぐに通常の状態に戻る場合もありうる。したがって、閾値として、部品が通常の状態には戻らないと考えてよい時間が設定されることが好ましい。
　状態判定部２４０は、判定条件として、測定値がアラーム閾値を超えると予想される時点までの時間が所定時間より小さいか否かで、部品の現在の状態が交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定してもよい。ターゲットやシャッタのような特定の部品においては、時間や使用回数と測定値の関係を寿命曲線として曲線で近似できる。状態判定部２４０は、寿命曲線を算出し、その寿命曲線を外挿し、測定値が閾値を超える時点を算出してもよい。そして、その時点までの時間が所定時間より小さい場合には、部品の現在の状態が交換推奨情報を通知すべき状態と判定する。
　状態判定部２４０は、判定条件として、測定値が閾値を超えているか否かを判定してもよい。その場合、例えば、測定値は、部品の使用時間またはそれに相当する量であり、閾値は、部品ごとに決められた推奨値に所定の割合を乗じた値、部品の使用時間実績の平均値に所定の値を乗じた値、任意の値のいずれかひとつを設定できる。
　また、状態判定部２４０は、現在の部品の測定値がアラーム閾値を超え、通常の範囲内にない場合にはいつ故障してもおかしくないアラーム状態と判定する。ＡＩが部品の現在の状態から交換推奨時期と判断することであってもよい。
　通知部２５０は、所定の条件が満たされたと判定されたときに、部品の交換を推奨する交換推奨情報を通知する。具体的には、出力装置３２０に交換推奨情報を表示させることで通知を行う。通知部２５０は、電子メール、端末のポップアップ表示によりユーザ端末に送付させたり、メールによりメンテナンス作業者に送付させたりすることができる。また、再通知期間が設定された場合には、再通知条件を満たした場合に表示部に交換推奨情報を再表示することができる。
　［通知方法］
　次に、上記のように構成された通知システム１０を用いた通知方法を説明する。図３は、通知方法を示すフローチャートである。まず、部品の測定値の情報を記憶する（ステップＳ１）。得られた情報に基づいて、部品の現在の状態を判定する（ステップＳ２）。
　そして、判定された部品の現在の状態が交換推奨情報を通知すべきか否かを判定する（ステップＳ３）。通知すべきと判定されない場合には、ステップＳ１に戻る。通知すべきと判定された場合には、部品の交換推奨情報をユーザへ通知する（ステップＳ４）。これにより、Ｘ線分析装置１００が有する照射部１１０の部品の交換管理が容易になる。以下に各部品の具体例を説明する。
　［フィラメントの交換］
　交換推奨通知を行う対象である部品がフィラメントである場合、フィラメント電流の電流値を測定値として部品の現在の状態を判定できる。図４は、フィラメント電流値と使用時間との関係を示すグラフである。
　図４に示すように、異常徴候のない通常の状態では、Ｘ線分析装置１００を使い続けていく限り少しずつフィラメント電流は小さくなる。フィラメントを真空中で加熱していると、その材料（タングステン）が蒸発し、徐々に細くなる。そうなると必要な熱電子による管電流を取り出すためのフィラメント電流が少なくて済む。そのため、フィラメント電流が下がる。
　使用時間の増加に対するフィラメント電流の電流値の減少は概ね一様であり、曲線で近似が可能である。ところが、フィラメントが切れる直前のある時点で、その電流値が大きく増加する。フィラメントが切れる直前にごく一部が急激に細くなると、フィラメント電流と熱電子の関係のバランスが崩れ、逆転が生じる。すなわち、フィラメントが細くなることで、フィラメントの表面積が小さくなり、フィラメント温度を上げる必要が生じるため、フィラメント電流の増加が生じる。この異常兆候を検知することで、部品故障前に交換推奨情報を通知できる。
　例えば、フィラメントの使用時間に対しフィラメント電流の電流値が増加している時間が閾値を超えている場合に交換推奨情報をユーザに通知することができる。所定時間に対する異常徴候確定の閾値としては、例えば３０分以上５時間以下の時間を設定できる。これにより、フィラメントが切れる直前の電流値の増加を確実に検知できる。このようにして、フィラメントが切れる前に交換推奨情報をユーザに通知し、余裕をもってフィラメントを交換できる。
　フィラメント電流のサンプリング周期は１分程度とすることができる。フィラメント電流のデータを１分間隔等で取得し、移動平均をとったトレンドが上昇に転じてからそのトレンドが所定時間継続していくようなら、異常徴候と判定できる。なお、使用時間とフィラメント電流値の関係を曲線で近似し、異常徴候が生じる時点を推定し、その前に通知することも考えられる。
　［ターゲットの交換］
　交換推奨通知を行う対象である部品がターゲットである場合、ターゲットのモータ電流の電流値を測定値として部品の現在の状態を判定できる。図５は、ターゲットのモータ電流値と使用時間との関係を示すグラフである。ターゲットカップ水冷面への銅の堆積およびベアリング・メカシールの摩耗によって、使用時間に対するモータ電流値は、全体的には上昇トレンドとなる。
　一定時間あたりのターゲットのモータ電流の増加推移から、使用時間とモータ電流の電流値との関係について近似曲線を算出する。そして、その寿命曲線を外挿し、電流値がアラーム閾値を超える時点を算出する。そして、その時点までの時間が所定時間より小さい場合には、部品の現在の状態が交換推奨情報を通知すべき状態と判定する。その場合には、交換推奨情報をユーザに通知することができる。
　閾値としては、例えば１０Ａ以上２０Ａ以下の電流値を設定できる。これにより、銅の堆積や摩擦によって故障が生じる直前のモータ電流値を検知できる。ターゲットの故障前に交換推奨情報をユーザに通知できる。
　［シャッタの交換］
　交換推奨通知を行う対象である部品がシャッタである場合、シャッタのオープン時間またはクローズ時間を測定値として部品の現在の状態を判定できる。図６は、シャッタの開閉回数とオープン時間またはクローズ時間との関係を示すグラフである。
　一定時間あたりのシャッタの閉状態からシャッタの開状態までの時間推移、または一定時間あたりのシャッタの開状態からシャッタの閉状態までの時間推移から、シャッタの開閉回数とシャッタのオープン時間またはクローズ時間との関係について近似曲線を算出する。そして、その寿命曲線を外挿し、電流値がアラーム閾値を超える時点を算出する。そして、その時点までの時間が所定時間より小さい場合には、部品の現在の状態が交換推奨情報を通知すべき状態と判定する。その場合には、交換推奨情報をユーザに通知することができる。
　アラーム閾値としては、例えば３０ｍｓ以上１０００ｍｓ以下の時間を設定できる。これにより、可動部の劣化や摩耗によりシャッタのオープン時間またはクローズ時間が長くなる傾向があり、シャッタの故障の兆候を検知できる。その結果、シャッタの故障前に交換推奨情報をユーザに通知できる。
　なお、ロータリーソレノイドの軸受けおよびバネの劣化のような通常考えられる劣化によるシャッタの開閉時間の増加は、非常に緩やかである。したがって、単に１００万回開閉しただけでは、それほど開閉時間は増加せず、アラーム閾値を超えない。むしろ、時間経過による油等の酸化や、Ｘ線やそれによって発生したオゾンまたは硝酸によって金属が腐食する方が要因として大きい。それらによる生成物が回転部やスライド部に入って詰まると、徐々にシャッタの動きが遅くなる。したがって、シャッタの開閉時間は、開閉回数とともに極めて緩やかに増え、ある時期から急に増える。この急に増えたときの傾向から寿命曲線を推定できる。
　Ｘ線分析装置で標準試料を測定した結果から得られる回折ピークの情報を測定値として部品の現在の状態を判定できる。回折ピークの情報は、例えば、特定の回折位置のピークから求めた位置、強度、半値幅の値である。標準試料としては、シリコン粉末やアルミナ粉末などの時間経過により測定結果が変化しない試料を用いることが好ましい。図７は、使用時間と回折ピークの情報との関係を示すトレンドチャートである。回折ピークの情報は、標準試料としてシリコン粉末を用いた測定結果から取得される。図７の表示例では、測定日に対し、Ｓｉ（２２０）、Ｓｉ（５１１／３３３）およびＳｉ（６２０）の回折強度の推移がプロットされている。
　通知装置２００は、標準試料の測定日と同一条件で測定した結果から得られた回折ピークの情報を記憶する。回折ピークの情報は、例えば特定の回折位置毎の位置、強度または半値幅の値である。そして、通知装置２００は、予めパラメータ毎に閾値を設定し、記憶した値が閾値を超えた場合に部品の現在の状態が交換推奨情報を通知すべき状態と判定できる。また、判定に用いる値として複数日の測定日のピーク情報の平均と分散を算出し、閾値として上限値と下限値の範囲に入るか否かを判定してもよい。
　例えば、交換推奨通知を行う対象である部品がターゲットである場合、アルミナ粉末を標準試料として回折測定を行い、ピークの積分強度を測定値とし部品の現在の状態を判定できる。ターゲットの劣化により回折ピークの強度が減少していく傾向があり、ターゲットの劣化の兆候を検知できる。その結果、分析の精度に影響を及ぼすような強度減少が起こる前に交換推奨情報をユーザに通知できる。
　［ユーザへの情報伝達］
　交換推奨情報は、端末のポップアップ表示もしくは電子メールによりユーザ端末を介してユーザに伝達されるか、または電子メールにより作業者端末を介してメンテナンス作業者に伝達されることが好ましい。
　図８は、交換推奨通知を示すポップアップ表示４００である。図８の表示例では、フィラメントの交換推奨時間２０００時間に対して使用時間が１６００に達しており、交換すべき時期が近くなっていることが分かる。表示例のように、圧力計であるイオンゲージを対象部品として交換推奨情報を通知してもよい。ポップアップ表示の下段には、再通知期間設定操作部４１０として再通知時間の選択肢とＯＫボタンが表示されている。図８の表示例では、再通知の時間の選択肢として、「１日後」が表示されており、この状態でＯＫボタンが押されると１日後に再通知がなされる。
　図９は、通知先に通知する情報の一覧を示すテーブルである。図９の一覧では、通知種別として部品交換、付帯情報１として装置シリアルナンバー、付帯情報２として通知情報の発生日時、付帯情報３としてメンテナンス部品名称、付帯情報４として部品使用時間が列挙されている。例えば、これらの情報がメール文書内に記載される。メールの件名は任意の件名に別途設定可能であり、以下のようにまとめて通知される。
　通知種別            ：Parts Replacement
　装置シリアルナンバー：BD74999999-01
　発生日時            ：2023/02/21 18:13:03
　メンテナンス部品名称：Target
　部品使用時間        ：8000h
　このような表示によってユーザへの情報伝達を行う場合、再通知条件を満たしたときに表示部に交換推奨情報を再表示することとしてもよい。これにより、交換可能時期を逃して突発的な部品故障により、装置ダウンタイムが発生することを防止できる。
　通知装置２００は、情報記憶部２３０に、交換推奨情報が表示された日にちと時刻を記憶させておく。再表示を行う場合、ポップアップ表示画面には再通知期間設定ボタンを表示する。そして、交換推奨情報が表示された後に再通知期間設定ボタンに対する入力を受け付け、再通知期間設定ボタンにより設定された再通知条件を満たした場合、通知部２５０は、出力装置３２０の表示部に交換推奨情報を再表示することができる。
　再表示のためには、まず交換推奨情報が表示された日にちと時刻をもとに現在の時刻までの経過時間を算出する。そして、再通知期間設定ボタンにより設定された期間（例えば、１日後、１週間後または１か月後）を閾値とする。例えば、再通知条件として経過時間が閾値を超えた場合に再表示することができる。
　［通知時期の調整］
　以上の各部品の交換推奨情報の通知時期については、ユーザが調整可能である。例えば、フィラメントの異常徴候が確定してから所定時間をおいて通知してもよい。また、ターゲットやシャッタについては、アラーム閾値に達する時点までの所定時間を調整することで通知時期を調整できる。
　［ＡＩの利用］
　交換推奨時間の予測は、機械学習モデルに代表されるＡＩ機能により行ってもよい。例えば、入力層、中間層および出力層からなるニューラルネットワークで構成される機械学習モデルを利用できる。その場合、蓄積された測定値、交換実績データおよび故障データを教師データとして機械学習モデルに学習させる。フィラメント電流値の推移と故障発生時間のデータを教師データに用いることができる。
　例えば、フィラメント電流値の推移を入力し、出力層で正しい故障発生時期を高確率で出力するように、繰り返し学習させることで中間層の各ニューロンの重みをチューニングする。その際には、大まかに対象を認識できるように畳み込みニューラルネットワークを用いてもよい。これにより、特にパラメータなどを用いなくても、フィラメント電流値の推移と故障発生時間のデータを機械学習モデルに入力すれば、交換推奨情報を通知すべきかを判定できる。
　このようにして部品の測定値の入力に対し、故障発生時期および交換推奨時間を出力する機械学習モデルを構成できる。これにより、さらに正確に部品の交換推奨情報を通知できる。
　［第２実施形態］
　上記の実施形態では、照射部１１０がフィラメント１１２、ターゲット１１５およびシャッタ１１７で構成されているＸ線分析装置１００を、部品交換の対象となる装置例として挙げているが、照射部は別の構成を有していてもよい。
　図１０は、通知システム５１０の構成を示す概略図である。図２は、通知システム１０の機能的構成を示すブロック図である。通知システム５１０は、Ｘ線分析装置６００および通知装置２００を備えている。Ｘ線分析装置６００は、照射部６１０および検出部１２０を備えており、試料ＳにＸ線を照射し、散乱されたＸ線を検出することで、Ｘ線による試料Ｓの分析を可能にしている。
　照射部６１０は、電子銃６１２、アノード接地型の回転対陰極部６１５、ロータ６１６およびシャッタ１１７を備えており、電子銃６１２は、電子放出部６１２ａと、電子集光用のウェーネルト電極６１２ｂを備えている。電子銃６１２は、ウェーネルト電極６１２ｂに対し、電子放出部６１２ａに印加される負の電圧に対してより大きい負の電圧（バイアス電圧）が印加される構造を有する。回転対陰極部６１５は、ロータ６１６と接続されており、ロータ６１６が回転することで回転する。
　このように構成されたＸ線分析装置６００に対しても、通知装置２００は、Ｘ線分析装置６００の部品に対する測定値の情報を受け取り、部品の交換推奨情報をユーザに通知することができる。この場合、電子銃６１２および回転対陰極部６１５がそれぞれフィラメント１１２およびターゲット１１５に相当する。通知装置２００は、電子銃６１２および回転対陰極部６１５に対しても、フィラメント１１２およびターゲット１１５と同様にユーザへ交換推奨情報を通知することができる。
　なお、本出願は、２０２４年４月２日に出願した日本国特許出願第２０２４－５９５４５号に基づく優先権を主張するものであり、日本国特許出願第２０２４－５９５４５号の全内容を本出願に参照により援用する。
１０　通知システム（第１実施形態）
１００　Ｘ線分析装置（第１実施形態）
１１０　照射部（第１実施形態）
１１２　フィラメント
１１５　ターゲット
１１７　シャッタ
１２０　検出部
２００　通知装置
２１０　制御部
２２０　測定データ記憶部
２３０　情報記憶部
２３５　選択部
２４０　状態判定部
２５０　通知部
３１０　入力装置
３２０　出力装置
４００　ポップアップ表示
４１０　再通知期間設定操作部
５１０　通知システム（第２実施形態）
６００　Ｘ線分析装置（第２実施形態）
６１０　照射部（第２実施形態）
６１２　電子銃
６１２ａ　電子放出部
６１２ｂ　ウェーネルト電極
６１５　回転対陰極部
６１６　ロータ
Ｌ　制御バス
Ｓ　試料
 
 

 

Claims (12)

  1. 　部品の交換推奨情報を通知する通知装置であって、
    　Ｘ線分析装置が有する対象部品に対する測定値の情報を記憶する情報記憶部と、
    　前記測定値の情報から前記対象部品の現在の状態が前記対象部品の交換を推奨する交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定する状態判定部と、
    　前記対象部品の現在の状態が前記交換推奨情報を通知すべき状態であると判定されたときに、前記交換推奨情報を通知する通知部と、を備えることを特徴とする通知装置。
  2. 　前記情報記憶部は、前記交換推奨情報を通知するための異なる複数の判定条件をさらに記憶し、
    　前記通知装置は、前記対象部品に対して前記情報記憶部に記憶されている複数の判定条件の中から１つの判定条件を選択する選択部をさらに有し、
    　前記状態判定部は、前記測定値が、前記選択された判定条件に合致するか否かを判定することを特徴とする請求項１記載の通知装置。
  3. 　前記対象部品は、前記Ｘ線分析装置を構成する照射部の部品であり、
    　前記照射部は、電子銃と、接地された対陰極部と、を備え、
    　前記電子銃は、電子放出部と、電子集光用のウェーネルト電極と、を備え、
    　前記ウェーネルト電極は、前記電子放出部に印加される負の電圧に対してより大きい負の電圧を印加する構造を有し、
    　前記対象部品は、前記電子放出部、前記ウェーネルト電極または前記対陰極部のいずれかであることを特徴とする請求項１または請求項２記載の通知装置。
  4. 　前記対象部品は、フィラメントであり、
    　前記測定値は、フィラメント電流の電流値であり、
    　前記状態判定部は、前記フィラメントの使用時間に対し前記フィラメント電流の電流値の増加時間が閾値を超えているか否かで、前記対象部品の現在の状態が前記交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定することを特徴とする請求項１または請求項２記載の通知装置。
  5. 　前記対象部品は、ターゲットであり、
    　前記測定値は、前記ターゲットのモータ電流の電流値であり、
    　前記状態判定部は、前記モータ電流の電流値が閾値を超えると予想される時点までの時間が所定時間より小さいか否かで、前記対象部品の現在の状態が前記交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定することを特徴とする請求項１または請求項２記載の通知装置。
  6. 　前記対象部品は、ターゲットであり、
    　前記測定値は、標準試料の測定結果から得られる回折ピークの強度に関するパラメータであり、
    　前記状態判定部は、前記回折ピークの強度に関するパラメータの値が閾値を超えているか否かで、前記対象部品の現在の状態が前記交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定することを特徴とする請求項１または請求項２記載の通知装置。
  7. 　前記対象部品は、シャッタであり、
    　前記測定値は、前記シャッタのオープン時間またはクローズ時間であり、
    　前記状態判定部は、前記シャッタのオープン時間またはクローズ時間が閾値を超えると予想される時点までの時間が所定時間より小さいか否かで、前記対象部品の現在の状態が前記交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定することを特徴とする請求項１または請求項２記載の通知装置。
  8. 　前記記憶された判定条件は、前記測定値が閾値を超えているか否かであり、
    　前記測定値は、前記対象部品の使用時間またはそれに相当する量であり、
    　前記閾値は、前記対象部品ごとに決められた推奨値に所定の割合を乗じた値、前記対象部品の使用時間実績の平均値に所定の値を乗じた値または任意の値のいずれかひとつを設定できることを特徴とする請求項２記載の通知装置。
  9. 　前記交換推奨情報は、端末のポップアップ表示もしくは電子メールによりユーザ端末を介してユーザに伝達される、または、メールにより作業者端末を介してメンテナンス作業者に伝達されることを特徴とする請求項１または請求項２記載の通知装置。
  10. 　前記情報記憶部は、前記交換推奨情報が表示された日にちと時刻を記憶し、
    　前記ポップアップ表示の画面に、再通知期間設定操作部を表示し、
    　前記交換推奨情報が表示された後に前記再通知期間設定操作部に対する入力を受け付け前記再通知期間設定操作部により設定された再通知条件を満たした場合に、前記通知部は、前記交換推奨情報を再表示することを特徴とする請求項９記載の通知装置。
  11. 　部品の交換推奨情報を通知する通知方法であって、
    　Ｘ線分析装置が有する対象部品に対する測定値の情報を記憶するステップと、
    　前記測定値の情報から前記対象部品の現在の状態が前記対象部品の交換を推奨する交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定するステップと、
    　前記対象部品の現在の状態が前記交換推奨情報を通知すべき状態であると判定されたときに、前記交換推奨情報を通知するステップと、を含むことを特徴とする通知方法。
  12. 　部品の交換推奨情報を通知する通知プログラムであって、
    　Ｘ線分析装置が有する対象部品に対する測定値の情報を記憶する処理と、
    　前記測定値の情報から前記対象部品の現在の状態が前記対象部品の交換を推奨する交換推奨情報を通知すべき状態か否かを判定する処理と、
    　前記対象部品の現在の状態が前記交換推奨情報を通知すべき状態であると判定されたときに、前記交換推奨情報を通知する処理と、をコンピュータに実行させることを特徴とする通知プログラム。
     

     
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