WO2025205366A1 - 冷却装置の製造方法および冷却装置 - Google Patents

Abstract

この冷却装置の製造方法では、本体部（１０）の第１厚み方向の一方側の面（１０ａ）において冷却流路用第１凹部（２０）を形成する工程と、冷却流路用第１凹部の底面（２０ｂ）において戻り流路用凹部（２１）を形成する工程と、第１接続凹部（２２）を形成する工程と、第２接続凹部（２３）を形成する工程と、第１接続流路（４）を、冷却流路（２）に接続する部分（４ａ）と戻り流路（３）に接続する部分（４ｂ）とに仕切る仕切部材（１１）を配置する工程と、冷却流路と戻り流路とを隔てる第１板状部材（１２）を底面（２０ｂ）に配置する工程と、面（１０ａ）に蓋部材（１５）を配置する工程と、本体部と仕切部材と蓋部材とをろう付けによって互いに接合する工程と、を備える。

Description

冷却装置の製造方法および冷却装置

　この発明は、冷却装置の製造方法および冷却装置に関し、特に、外部に設置する対象物を冷却する冷却装置の製造方法および冷却装置に関する。

　外部に設置する対象物を冷却する冷却装置の製造方法が知られている。

　特開２００９－２４８１６９号公報には、２枚の金属プレートを重ねて形成される溝に、パイプが挟まれた状態で配置される冷却装置（コールドプレート）の製造方法が開示されている。上記特開２００９－２４８１６９号公報に開示されている冷却装置の製造方法では、２枚の金属プレートの間に蛇行形状を有するパイプを配置することにより、冷却装置が製造される。また、上記特開２００９－２４８１６９号公報に開示されている冷却装置は、冷媒の入口および出口が、冷却装置の本体部のうちの同一の面に設けられており、入口から吸入された冷媒は、本体部に配置された発熱体と熱交換を行い、出口から排出される。

特開２００９－２４８１６９号公報

　上記特開２００９－２４８１６９号公報の冷却装置では、下流側になるにつれて、冷媒の温度が上昇し、冷媒と対象物の温度が近づくため、対象物との熱交換量が低下する。そこで、冷却流路の下流側になるにつれて対象物の冷却能力が低下することを抑制することが可能な冷却装置の製造方法および冷却装置が望まれている。

　この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、冷却流路の下流側において熱交換を行うことによる対象物の冷却能力の低下を抑制することが可能な冷却装置の製造方法および冷却装置を提供することである。

　上記目的を達成するため、発明に係る冷却装置の製造方法は、平板状の本体部を有し、外部に設置する対象物を冷却する冷却装置の製造方法であって、冷媒を吸入する入口および冷媒を排出する出口が設けられる本体部の厚み方向である第１厚み方向の一方側の面において、第１厚み方向の他方側に向けて窪む凹状の冷却流路用第１凹部を形成する工程と、冷却流路用第１凹部の内周面のうちの、第１厚み方向と直交する面である底面において、第１厚み方向の他方側に向けて窪む凹状の戻り流路用凹部を形成する工程と、底面と直交する面である側面と接続するとともに、戻り流路用凹部のうちの、底面の最も長い辺に沿う方向である長軸方向の一方側である、入口および出口が設けられている側の端部と接続する、第１厚み方向の他方側に向けて窪む凹状の第１接続凹部を形成する工程と、冷却流路用第１凹部の長軸方向の他方側の端部と接続するとともに、戻り流路用凹部の長軸方向の他方側の端部と接続する、第１厚み方向の他方側に向けて窪む凹状の第２接続凹部を形成する工程と、第１接続凹部と対象物の設置面を有する平板状の蓋部材とによって区画される第１接続流路を、設置面を挟んで対象物と隣接する冷却流路に接続する部分と、第２接続凹部と蓋部材とによって区画される第２接続流路を介して冷却流路と接続され、冷却流路および第２接続流路を流通した冷媒を第１接続流路に流出する戻り流路に接続する部分とに仕切る部材である仕切部材を配置する工程と、冷却流路と戻り流路とを隔てる隔壁部材である第１板状部材を、底面に配置する工程と、本体部の第１厚み方向の一方側の面に、蓋部材を配置する工程と、本体部と仕切部材と蓋部材とをろう付けによって互いに接合する工程と、を備える。

　また、発明に係る冷却装置は、外部に設置する対象物を冷却する冷却装置であって、冷媒を吸入する入口および冷媒を排出する出口が設けられ、平板状の形状を有する本体部と、本体部の厚み方向の一方側の面に設けられ、対象物の設置面を有する平板状の蓋部材と、本体部の一方側の面に形成され、厚み方向の他方側に向けて窪む凹状の冷却流路用第１凹部と、冷却流路用第１凹部の内周面のうちの、厚み方向と直交する面である底面に形成され、厚み方向の他方側に向けて窪む凹状の戻り流路用凹部と、底面と直交する面である側面と接続するとともに、戻り流路用凹部のうちの、底面の最も長い辺に沿う方向である長軸方向の一方側である、入口および出口が設けられている側の端部と接続する、厚み方向の他方側に向けて窪む凹状の第１接続凹部と、冷却流路用第１凹部の長軸方向の他方側の端部と接続するとともに、戻り流路用凹部の長軸方向の他方側の端部と接続する、厚み方向の他方側に向けて窪む凹状の第２接続凹部と、第１接続凹部と蓋部材とによって区画される第１接続流路を、設置面を挟んで対象物と隣接する冷却流路に接続する部分と、第２接続凹部と蓋部材とによって区画される第２接続流路を介して冷却流路と接続され、冷却流路および第２接続流路を流通した冷媒を第１接続流路に流出する戻り流路に接続する部分とに仕切る部材である仕切部材と、冷却流路用第１凹部の底面に設けられ、冷却流路と戻り流路とを隔てる隔壁部材である第１板状部材と、を備える。

　本発明によれば、上記のように、本体部の厚み方向である第１厚み方向の一方側の面に冷却流路用第１凹部が形成されるため、本体部に蓋部を配置することにより、冷却流路を本体部の第１厚み方向の一方側の面において蛇行することなく形成することができる。その結果、本体部の第１厚み方向の一方側の面において冷却流路が蛇行する構成と比較して、冷却流路の下流側になるにつれて対象物の冷却能力が低下することを抑制することが可能な冷却装置の製造方法および冷却装置を提供することができる。

実施形態の冷却装置を示す模式的な斜視図である。 実施形態の冷却装置を示す斜視図である。 実施形態の冷却装置に係る本体部をＺ２方向に見た模式図である。 実施形態の冷却装置に係る各凹部が形成される前の本体部をＺ２方向に見た模式図である。 実施形態の冷却装置に係る冷却流路用第１凹部が形成された後の本体部をＺ２方向に見た模式図である。 実施形態の冷却装置に係る戻り流路用凹部が形成された後の本体部をＺ２方向に見た模式図である。 実施形態の冷却装置に係る段差部が形成された後の本体部をＺ２方向に見た模式図である。 実施形態の冷却装置に係る第１接続凹部が形成された後の本体部をＺ２方向に見た模式図である。 実施形態の冷却装置に係る第２接続凹部が形成された後の本体部をＺ２方向に見た模式図である。 実施形態の冷却装置に係る第３接続凹部および第４接続凹部が形成された後の本体部をＺ２方向に見た模式図である。 実施形態の冷却装置に係る入口および出口が形成された後の本体部をＺ２方向に見た模式図である。 実施形態の冷却装置に係るねじ孔が形成された後の本体部をＺ２方向に見た模式図である。 実施形態の冷却装置に係るＩ-Ｉ線に沿った断面を示す図である。 実施形態の冷却装置に係るＩ-Ｉ線に沿った断面図の拡大した段差部を示す図である。 実施形態の冷却装置に係る仕切部材をＺ２方向に見た模式図である。 実施形態の冷却装置に係る仕切部材をＹ２方向に見た模式図である。 実施形態の冷却装置に係るＩＩ-ＩＩ線に沿った断面を示す図である。 実施形態の冷却装置に係るＩＩ-ＩＩ線に沿った拡大した断面を示す図である。 実施形態の冷却装置に係るＩＩＩ-ＩＩＩ線に沿った断面を示す図である。 実施形態の冷却装置に係る仕切部材が配置された本体部を示す斜視図である。 実施形態の冷却装置に係る第１板状部材が配置された本体部を示す斜視図である。 実施形態の冷却装置に係るフィン部材が配置された本体部を示す斜視図である。 実施形態の冷却装置に係るＩＶ-ＩＶ線に沿った拡大した断面を示す図である。 実施形態の冷却装置に係るＶ-Ｖ線に沿った拡大した断面を示す図である。 実施形態の冷却装置に係るＶＩ-ＶＩ線に沿った断面を示す図である。 実施形態の冷却装置に係る各流路の接続関係および冷却装置とポンプと放熱装置との接続関係を示すブロック図である。 実施形態の冷却装置に係る製造方法を示すフローチャートである。 実施形態の冷却装置に係る第１の変形例の製造方法を示すフローチャートである。 実施形態の冷却装置に係る第２の変形例の製造方法を示すフローチャートである。 第３の変形例の冷却装置を示す模式的な斜視図である。 第３の変形例の冷却装置に係る製造方法を示すフローチャートである。 第４の変形例に係る仕切部材を示す模式図である。

　以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。なお、同一の要素には同一の符号を付し、詳細な説明を省略することがある。

　（冷却装置の全体構成）
　図１を参照して、本実施形態に係る冷却装置１００の構成について説明する。

　図１は、本実施形態の冷却装置１００を示す模式的な斜視図である。冷却装置１００は、いわゆる、コールドプレートである。冷却装置１００は、内部を流通する冷媒と外部に設置する対象物９０との間で熱交換を行うことにより、対象物９０を冷却する。冷媒は、たとえば、水である。なお、冷媒は、対象物９０と熱交換することが可能であれば、不凍液（ブライン）などの水以外の液体でもよい。対象物９０は、たとえば、ＩＧＢＴ（Ｉｎｓｕｌａｔｅｄ　Ｇａｔｅ　Ｂｉｐｏｌａｒ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）などの素子である。

　図２は、本実施形態の冷却装置１００を示す斜視図である。冷却装置１００は、本体部１０、仕切部材１１、第１板状部材１２、フィン部材１３、第２板状部材１４、および、蓋部材１５を備える。冷却装置１００は、本体部１０、仕切部材１１、第１板状部材１２、フィン部材１３、第２板状部材１４、および、蓋部材１５がろう付けによって接合されることにより製造される。また、冷却装置１００の厚み方向（Ｚ方向）の一方側に、対象物９０が配置される。

　図２において、冷却装置１００の本体部１０の厚み方向をＺ方向とする。本体部１０の厚み方向とは、本体部１０に蓋部材１５などが積層される際の積層方向である。Ｚ方向のうち、一方の向きをＺ１方向、他方の向きをＺ２方向とする。請求の範囲の「本体部の厚み方向」は、本体部１０の厚み方向（Ｚ方向）である。また、請求の範囲の「第１厚み方向」は、本体部１０の厚み方向（Ｚ方向）の一例である。

　また、本体部１０のうちのＺ方向と直交する面を構成する辺のうち、一方の辺に沿う方向をＸ方向とし、他方の辺に沿う方向をＹ方向とする。Ｘ方向のうち、一方の向きをＸ１方向、他方の向きをＸ２方向とする。また、Ｙ方向のうち、一方の向きをＹ１方向、他方の向きをＹ２方向とする。また、請求の範囲の「第１方向」は、Ｘ方向である。

　本体部１０は、平板形状の金属部材である。本体部１０は、たとえば、アルミニウムまたはアルミニウム合金である。

　仕切部材１１は、細長形状の金属部材である。仕切部材１１は、第１接続流路４を、冷却流路２に接続する部分４ａと、戻り流路３に接続する部分４ｂとに仕切る部材である（図２５参照）。仕切部材１１は、たとえば、アルミニウムまたはアルミニウム合金である。なお、細長形状とは、細い形状であり、かつ、所定の方向に沿って延びる形状である。

　第１板状部材１２は、芯材と、芯材の両面に設けられたろう材層とを有する部材である。第１板状部材１２は、平板形状である。第１板状部材１２は、Ｚ方向の一方側の面および他方側の面にろう材層を有する。第１板状部材１２は、たとえば、ブレージングシートである。

　フィン部材１３は、コルゲートフィンである。フィン部材１３は、たとえば、プレーン型、パーホレート型、ヘリンボーン型、ルーバー型、および、セレート型のうちのいずれかの形式である。フィン部材１３は、第１板状部材１２の上面に配置される。

　第２板状部材１４は、芯材と、芯材の両面に設けられたろう材層とを有する部材である。第２板状部材１４は、平板形状である。第２板状部材１４は、Ｚ方向の一方側の面および他方側の面にろう材層を有する。第２板状部材１４は、たとえば、ブレージングシートである。第２板状部材１４には、対象物９０を固定するためのねじが挿通される貫通孔１４ａが設けられる。

　蓋部材１５は、平板形状の金属部材である。蓋部材１５は、たとえば、アルミニウムまたはアルミニウム合金である。蓋部材１５は、本体部１０のＺ方向の一方側の面１０ａに設けられる。蓋部材１５は、対象物の設置面１５ａを有する。なお、図２では、対象物の設置面１５ａを、破線で図示している。また、蓋部材１５には、対象物９０を固定するためのねじが挿通される貫通孔１５ｂが設けられる。

　（本体部の構造）
　図３は、本実施形態の冷却装置１００に係る本体部１０をＺ２方向に見た模式図である。本体部１０には、入口１、出口８、冷却流路用第１凹部２０、戻り流路用凹部２１、第１接続凹部２２、第２接続凹部２３、段差部２４、第３接続凹部２５、および、第４接続凹部２６が設けられる。また、本体部１０には、対象物９０（図１参照）を固定するためのねじ孔９１が設けられる。

　入口１は、第３接続凹部２５と接続される貫通孔である。入口１は、本体部１０のＹ２方向側の端面に設けられる。

　出口８は、第４接続凹部２６と接続される貫通孔である。出口８は、本体部１０のＹ２方向側の端面のうち、Ｘ方向の位置が入口１とは異なる位置に設けられる。

　冷却流路用第１凹部２０は、本体部１０に形成された凹部である。冷却流路用第１凹部２０は、第３接続凹部２５と第２接続凹部２３との間を接続するように設けられている。図３では、冷却流路用第１凹部２０は、４つ設けられる。

　戻り流路用凹部２１は、本体部１０に形成された凹部である。戻り流路用凹部２１は、冷却流路用第１凹部２０の内周面のうちの、厚み方向と直交する面である底面２０ｂに形成される。図３では、戻り流路用凹部２１は、１つの冷却流路用第１凹部２０に対して、２つ設けられる。すなわち、図３では、戻り流路用凹部２１は、合計８つ設けられる。

　第１接続凹部２２は、本体部１０に形成された凹部である。第１接続凹部２２は、底面２０ｂと直交する面である側面２０ｃと接続する。また、第１接続凹部２２は、戻り流路用凹部２１のうちの、長軸方向の一方側の端部２１ａと接続する。なお、長軸方向とは、底面２０ｂの最も長い辺に沿う方向である。また、長軸方向は、Ｙ方向である。また、長軸方向の一方側とは、入口１および出口８が設けられているＹ１方向側である。図３では、第１接続凹部２２は、４つの冷却流路用第１凹部２０と、８つの戻り流路用凹部２１とを接続する。

　第２接続凹部２３は、本体部１０に形成された凹部である。第２接続凹部２３は、冷却流路用第１凹部２０のうちの、長軸方向の他方側の端部２０ｄと接続する。長軸方向の他方側とは、入口１および出口８が設けられていないＹ２方向側である。また、第２接続凹部２３は、戻り流路用凹部２１の長軸方向の他方側の端部２１ｂと接続する。図３では、第２接続凹部２３は、４つの冷却流路用第１凹部２０と、８つの戻り流路用凹部２１とを接続する。

　段差部２４は、第１接続凹部の内周面２２ａに設けられた段差状の部分である。段差部２４は、第１接続凹部の内周面２２ａに設けられる。段差部２４には、仕切部材１１（図２参照）が配置される。

　第３接続凹部２５は、Ｚ方向の他方側（Ｚ２方向側）に向けて窪む凹部である。また、第３接続凹部２５は、入口１と第１接続凹部２２とを接続する凹部である。また、第３接続凹部２５は、複数の冷却流路用第１凹部２０に対応する位置に形成される。

　第４接続凹部２６は、Ｚ方向の他方側（Ｚ２方向側）に向けて窪む凹部である。また、第４接続凹部２６は、出口８と第１接続凹部２２とを接続する凹部である。

　ねじ孔９１は、対象物９０（図１参照）を固定するねじが挿通される孔である。ねじ孔９１は、設置面１５ａ（図２参照）に対応する位置に複数個設けられる。具体的には、ねじ孔９１は、各設置面１５ａの４つの角に対応する位置に設けられる。

　（各凹部およびねじ孔を形成する工程）
　次に、図４～図１２を参照して、本体部１０に対して各凹部およびねじ孔９１を形成する工程について説明する。

　図４は、本実施形態の冷却装置１００に係る各凹部が形成される前の本体部１０をＺ２方向に見た模式図である。なお、図４では、各凹部およびねじ孔９１が形成される前の本体部１０には、蓋部材１５（図２参照）が配置される面１０ａが形成される。

　蓋部材１５が配置される面１０ａは、蓋部材１５の形状および厚みに相当する部分を、本体部のＺ方向の一方側の面から削り取ることにより形成される。

　図５は、本実施形態の冷却装置１００に係る冷却流路用第１凹部２０が形成された後の本体部１０をＺ２方向に見た模式図である。冷却流路用第１凹部２０は、切削加工によって、本体部１０の面１０ａに形成される。冷却流路用第１凹部２０は、所定の間隔を隔てて複数形成される。図５では、冷却流路用第１凹部２０は、Ｘ方向に所定の間隔を隔てて、４つ形成される。

　図６は、本実施形態の冷却装置１００に係る戻り流路用凹部２１が形成された後の本体部１０をＺ２方向に見た模式図である。戻り流路用凹部２１は、切削加工によって、冷却流路用第１凹部の底面２０ｂに形成される。戻り流路用凹部２１は、複数の冷却流路用第１凹部の各々の底面２０ｂにおいて複数形成される。図６では、戻り流路用凹部２１は、各冷却流路用第１凹部の底面２０ｂに対して、２つずつ形成される。すなわち、図６では、戻り流路用凹部２１は、合計８つ形成される。

　図７は、本実施形態の冷却装置１００に係る段差部２４が形成された後の本体部１０をＺ２方向に見た模式図である。段差部２４は、切削加工によって、各冷却流路用第１凹部２０および各戻り流路用凹部２１と接続するように形成される。図７では、段差部２４は、各戻り流路用凹部のＹ１方向側の端部２１ａを、Ｙ方向に接続するように形成される。

　図８は、本実施形態の冷却装置１００に係る第１接続凹部２２が形成された後の本体部１０をＺ２方向に見た模式図である。第１接続凹部２２は、切削加工によって、段差部の外周縁に形成される。

　図９は、本実施形態の冷却装置１００に係る第２接続凹部２３が形成された後の本体部１０をＺ２方向に見た模式図である。第２接続凹部２３は、切削加工によって、各冷却流路用第１凹部２０および各戻り流路用凹部２１と接続するように形成される。図９では、第２接続凹部２３は、各冷却流路用第１凹部のＹ２方向側の端部２０ｄ、および、各戻り流路用凹部のＹ２方向側の端部２１ｂを、Ｙ方向に接続するように形成される。

　図１０は、本実施形態の冷却装置１００に係る第３接続凹部２５および第４接続凹部２６が形成された後の本体部１０をＺ２方向に見た模式図である。第３接続凹部２５は、切削加工によって、各冷却流路用第１凹部のＹ１方向側の端部２０ｅと接続するように形成される。図１０では、第３接続凹部２５は、各冷却流路用第１凹部の端部２０ｅをＹ方向に接続するように形成される。

　また、第４接続凹部２６は、切削加工によって、第１接続凹部２２と接続するように形成される。

　図１１は、本実施形態の冷却装置１００に係る入口１および出口８が形成された後の本体部１０をＺ２方向に見た模式図である。

　入口１は、切削加工によって第３接続凹部２５と接続するように形成される。

　また、出口８は、切削加工によって第４接続凹部２６と接続するように形成される。

　図１２は、本実施形態の冷却装置１００に係るねじ孔９１が形成された後の本体部１０をＺ２方向に見た模式図である。

　ねじ孔９１は、本体部１０の面１０ａのうちの、所定の位置に設けられる。具体的には、ねじ孔９１は、各冷却流路用第１凹部２０のＸ方向の両側において、設置面１５ａ（図２参照）に対応する位置に設けられる。

　（第１接続凹部および段差部の構造）
　次に、図１３および図１４を参照して、第１接続凹部２２および段差部２４の構造について説明する。

　図１３は、本実施形態の冷却装置１００に係るＩ‐Ｉ線に沿った断面を示す図である。第１接続凹部２２は、Ｚ方向の他方側（Ｚ２方向側）に向けて窪む凹状の形状である。

　また、第１接続凹部２２は、複数の冷却流路用第１凹部２０および複数の戻り流路用凹部２１が形成可能なＸ方向の長さＬ１を有する。図１３では、第１接続凹部２２は、少なくとも、４つ以上の冷却流路用第１凹部２０、および、８つ以上の戻り流路用凹部２１が形成可能な長さＬ１を有する。

　図１４は、本実施形態の冷却装置１００に係るＩ‐Ｉ線に沿った断面図の拡大した段差部２４を示す図である。段差部２４のうちの、Ｚ方向に沿った部分２４ａの長さである第１深さＤ１が、第１接続凹部のＺ方向の長さである第２深さＤ２よりも小さい。

　また、段差部２４のうちの、Ｘ方向に沿った部分２４ｂに、仕切部材１１（図２参照）が配置される。

　（仕切部材の構造）
　次に、図１５および図１６を参照して、仕切部材１１の構造について説明する。

　図１５は、本実施形態の冷却装置１００に係る仕切部材１１をＺ２方向に見た模式図である。

　仕切部材１１は、第１接続流路４（図２４参照）を仕切る部材である。仕切部材１１が第１接続流路４を仕切る構成については、後述する。

　仕切部材１１には、複数の冷却流路用第１凹部の各々と対応する位置に、複数の冷却流路用第１凹部の各々が窪む方向に対応した方向に向けて窪む凹状の冷却流路用第２凹部１１ａが設けられる。図１５では、仕切部材１１には、４つの冷却流路用第２凹部１１ａが設けられる。また、仕切部材１１は、３つの隔壁１１ｂと、２つの側壁１１ｃとを有する。

　隔壁１１ｂは、冷却流路用第２凹部１１ａの間に設けられる壁部である。冷却装置１００（図２３参照）が製造された際に、隔壁１１ｂは、冷却流路２（図１９参照）の側壁となる。

　側壁１１ｃは、仕切部材１１の長辺の一方側の端部および他方側の端部に設けられる壁部である。図１５では、側壁１１ｃは、仕切部材１１のＸ１方向側の端部およびＸ２方向側の端部に設けられる。冷却装置１００が製造された際に、側壁１１ｃは、隔壁１１ｂとともに、冷却流路２の側壁となる。

　複数の冷却流路用第２凹部の各々は、冷却流路用第２凹部の内周面１１ｄのうちの、互いに対向する面の間の長さである第２幅Ｗ２が、冷却流路用第１凹部の内周面２０ａ（図１８参照）のうちの、Ｘ方向に互いに対向する面の間の長さである第１幅Ｗ１（図１８参照）に対応する長さを有する。

　図１６は、本実施形態の冷却装置１００に係る仕切部材１１をＹ２方向に見た模式図である。仕切部材１１のＺ方向の厚みＴ１は、後述するＺ方向（第１厚み方向）に沿った冷却流路用第１凹部の長さである第４深さＤ４（図１８参照）よりも大きい。

　また、仕切部材の厚み方向である第２厚み方向に沿った冷却流路用第２凹部の長さである第３深さＤ３が、第４深さＤ４に対応する長さである。

　（冷却流路用第１凹部および戻り流路用凹部の構造）
　次に、図１７および図１８を参照して、冷却流路用第１凹部２０および戻り流路用凹部２１の構造について説明する。図１７は、本実施形態の冷却装置１００に係るＩＩ-ＩＩ線に沿った断面を示す図である。

　冷却流路用第１凹部２０は、Ｚ方向の他方側（Ｚ２方向側）に向けて窪む凹状の形状を有する。

　また、戻り流路用凹部２１は、Ｚ方向の他方側に向けて窪む凹状の形状である。

　図１８は、本実施形態の冷却装置１００に係るＩＩ-ＩＩ線に沿った拡大した断面を示す図である。戻り流路用凹部の内周面のうちの、底面２０ｂと直交し、互いに対向する面の間の長さである第３幅Ｗ３は、冷却流路用第１凹部の内周面のうちの、底面２０ｂと直交し、互いに対向する面の間の長さである第１幅Ｗ１よりも小さい。

　図１８では、２つの戻り流路用凹部の第３幅Ｗ３を足し合わせた長さは、冷却流路用第１凹部の第１幅Ｗ１よりも小さい。

　また、戻り流路用凹部のＺ方向に沿った長さである第５深さＤ５は、冷却流路用第１凹部のＺ方向に沿った長さである第４深さＤ４よりも大きい。

　冷却流路用第１凹部の第４深さＤ４、および、戻り流路用凹部の第５深さＤ５は、第１接続凹部の第２深さＤ２（図１４参照）よりも小さい。

　また、冷却流路用第１凹部２０は、Ｚ方向の一方側の面１０ａに形成される。具体的には、冷却流路用第１凹部２０は、Ｚ１方向側の面１０ａのうちの、戻り流路用凹部２１よりも、Ｚ１方向側に設けられる。

　また、戻り流路用凹部２１は、本体部１０のＺ１方向側の面１０ａのうち、冷却流路用第１凹部２０よりもＺ２方向側に設けられる。

　言い換えると、冷却流路用第１凹部の底面２０ｂは、戻り流路用凹部の内周面のうちの、底面２０ｂと平行な面である底面２１ｄよりも、Ｚ１方向側に設けられる。

　（第２接続凹部の構造）
　次に、図１９を参照して、第２接続凹部２３の構造について説明する。図１９は、本実施形態の冷却装置１００に係るＩＩＩ-ＩＩＩ線に沿った拡大した断面を示す図である。言い換えると、図１９は、本実施形態の冷却装置１００に係る第２接続凹部２３をＹ１方向側から見た断面図である。

　第２接続凹部２３は、Ｚ方向の他方側（Ｚ２方向側）に向けて窪む凹状の形状である。また、第２接続凹部２３は、複数の冷却流路用第１凹部２０および複数の戻り流路用凹部２１が形成可能なＸ方向の長さＬ２を有する。図１９では、第２接続凹部２３は、少なくとも、４つ以上の冷却流路用第１凹部２０、および、８つ以上の戻り流路用凹部２１が形成可能な長さＬ２を有する。

　また、Ｚ方向に沿った第２接続凹部の長さである第６深さＤ６は、第４深さＤ４（図１８参照）および第５深さＤ５（図１８参照）よりも大きい。

　（本体部に対する仕切部材、第１板状部材、および、フィン部材の配置）
　次に、図２０～図２２を参照して、本体部１０に対する仕切部材１１、第１板状部材１２、および、フィン部材１３の配置について説明する。

　図２０は、本実施形態の冷却装置１００に係る仕切部材１１が配置された本体部１０を示す斜視図である。なお、図２０では、仕切部材１１を把握し易くするために、仕切部材１１に対してハッチングを付している。

　仕切部材１１は、本体部１０のうちの、段差部２４のＺ１方向側に配置される。

　図２１は、本実施形態の冷却装置１００に係る第１板状部材１２が配置された本体部１０を示す斜視図である。なお、図２１では、第１板状部材１２を把握し易くするために、第１板状部材１２に対してハッチングを付している。

　第１板状部材１２は、本体部１０のうちの、仕切部材１１および底面２０ｂのＺ１方向側に配置される。

　図２２は、本実施形態の冷却装置１００に係るフィン部材１３が配置された本体部１０を示す斜視図である。なお、図２２では、フィン部材１３を把握し易くするために、フィン部材１３に対してハッチングを付している。

　フィン部材１３は、本体部１０のうちの、第１板状部材１２のＺ１方向側に配置される。

　（冷却流路および戻り流路の構造）
　次に、図２３～図２５を参照して、冷却流路２および戻り流路３の構造について説明する。

　図２３は、本実施形態の冷却装置１００に係るＩＶ－ＩＶ線に沿った断面を示す図である。言い換えると、図２３は、本実施形態の冷却装置１００に係る仕切部材１１が配置されている部分の断面図である。

　冷却流路２は、設置面１５ａを挟んで対象物９０と隣接する位置に設けられる。また、仕切部材１１が配置されている部分では、冷却流路２は、仕切部材１１と、第１板状部材１２と、第２板状部材１４とによって区画される。すなわち、冷却流路２は、Ｘ方向の側面２ａが、仕切部材１１によって区画される。また、冷却流路２は、Ｚ方向と直交する面のうちの、Ｚ２方向側の面である底面２ｂが、第１板状部材１２によって区画される。また、冷却流路２は、Ｚ方向と直交する面のうちの、Ｚ１方向側の面である天面２ｃが、第２板状部材１４によって区画される。

　また、仕切部材１１が配置されている部分では、第１板状部材１２は、仕切部材１１の底面１１ｅに配置される。

　また、仕切部材１１が配置されている部分では、戻り流路３は、戻り流路用凹部２１および仕切部材１１によって区画される。具体的には、戻り流路３は、戻り流路用凹部のＺ１方向側に仕切部材１１が配置されることにより、Ｚ方向と直交する面のうちの、Ｚ１方向側の面である天面３ｂが区画される。すなわち、戻り流路３は、戻り流路用凹部の内周面２１ｃと、天面３ｂとによって区画される。

　図２４は、本実施形態の冷却装置１００に係るＶ－Ｖ線に沿った拡大した断面を示す図である。言い換えると、図２４は、本実施形態の冷却装置に係る仕切部材１１が配置されていない部分の断面図である。

　第１板状部材１２は、冷却流路用第１凹部の底面２０ｂに設けられる。すなわち、第１板状部材１２は、冷却流路２と戻り流路３とを隔てる隔壁部材である。

　仕切部材１１が配置されていない部分では、冷却流路２は、冷却流路用第１凹部２０と、第１板状部材１２と、第２板状部材１４とによって区画される。すなわち、冷却流路２は、Ｘ方向の側面２ｄが、冷却流路用第１凹部の内周面のうちの、底面２０ｂと直交する面によって区画される。また、冷却流路２は、Ｚ方向と直交する面のうちの、Ｚ２方向側の面である底面２ｅが、第１板状部材１２によって区画される。また、冷却流路２は、Ｚ方向と直交する面のうちの、Ｚ１方向側の面である天面２ｃが、第２板状部材１４によって区画される。

　また、仕切部材１１が配置されていない部分では、戻り流路３は、戻り流路用凹部２１および第１板状部材１２によって区画される。具体的には、戻り流路３は、戻り流路用凹部のＺ１方向側に第１板状部材１２が配置されることにより、Ｚ方向と直交する面のうちの、Ｚ１方向側の面である天面３ｂが区画される。すなわち、戻り流路３は、戻り流路用凹部の内周面２１ｃと、天面３ｂとによって区画される。

　（第１接続流路および第２接続流路）
　次に、図２５を参照して、第１接続流路４および第２接続流路５について説明する。図２５は、本実施形態の冷却装置１００に係るＶＩ－ＶＩ線に沿った断面を示す図である。

　第１接続流路４は、第１接続凹部２２と蓋部材１５とによって区画される流路である。具体的には、第１接続流路４は、第１接続凹部２２と、蓋部材１５と、仕切部材１１と、第２板状部材１４とによって区画される。

　第１接続流路４は、第１接続凹部２２に対して第２板状部材１４および蓋部材１５が配置されて形成された空間が、仕切部材１１によって仕切られることにより、冷却流路２に接続する部分４ａと、戻り流路３に接続する部分４ｂとに分けられる。

　すなわち、仕切部材１１は、第１接続流路４を、冷却流路２に接続する部分４ａと戻り流路３に接続する部分４ｂとに仕切る部材である。

　第１接続流路のうち、戻り流路３と接続する部分４ｂは、複数の戻り流路３をＹ方向に接続する。

　また、第２接続流路５は、第２接続凹部２３と蓋部材１５とによって区画される流路である。第２接続流路５は、冷却流路２と戻り流路３とを接続する。すなわち、第２接続流路５は、冷却流路２から流出した冷媒を、戻り流路３に流入する。

　（冷却装置の流路の接続関係）
　次に、図２６を参照して、冷却装置１００の各流路の接続関係について説明する。図２６は、本実施形態の冷却装置１００に係る各流路の接続関係および冷却装置１００とポンプ２００と放熱装置２０１との接続関係を示すブロック図である。冷却装置１００は、入口１と、冷却流路２と、戻り流路３と、第１接続流路４と、第２接続流路５と、第３接続流路６と、第４接続流路７と、出口８と、を備える。

　入口１は、冷却装置１００の内部に冷媒を吸入する貫通孔である。入口１は、第３接続流路６と接続する貫通孔である。入口１は、吸入した冷媒を、第３接続流路６に流出する。

　冷却流路２は、冷媒を流通させて対象物９０（図１参照）と熱交換を行う流路である。冷却流路２は、第２接続流路５および第３接続流路６と接続する流路である。冷却流路２は、第３接続流路６から流入された冷媒を第２接続流路５に流出する。

　戻り流路３は、第１接続流路４および第２接続流路５と接続する流路である。戻り流路３は、第２接続流路５を流通した冷媒を第１接続流路４に流出する流路である。

　第１接続流路４は、戻り流路３および第４接続流路７と接続する流路である。第１接続流路４は、戻り流路３から流入した冷媒を、第４接続流路７に流出する。

　第２接続流路５は、冷却流路２および戻り流路３と接続する流路である。第２接続流路５は、冷却流路２から流入した冷媒を、戻り流路３に流出する。

　第３接続流路６は、入口１および冷却流路２と接続する流路である。第３接続流路６は、入口１から流入した冷媒を、冷却流路２に流出する。

　第４接続流路７は、第１接続流路４および出口８と接続する流路である。第４接続流路７は、第１接続流路４から流入した冷媒を、出口８に流出する。

　出口８は、冷却装置１００の内部から冷媒を排出する貫通孔である。出口８は、第４接続流路７と接続する。出口８は、第４接続流路７から流入した冷媒は排出する。

　また、冷却装置１００は、導入流路２０２および導出流路２０３を介して、ポンプ２００および放熱装置２０１と接続されている。冷却装置１００は、導入流路２０２から流出された冷媒を、入口１から吸入し、第３接続流路６、冷却流路２、第２接続流路５、戻り流路３、第１接続流路４、第４接続流路７、および、出口８に流通させ、出口８から導出流路２０３に流出する。また、冷却装置１００から流出した冷媒は、放熱装置２０１によって冷却される。放熱装置２０１は、ラジエータおよびファンを備える。

　（冷却装置の製造方法）
　次に、図２７を参照して、冷却装置の製造方法について説明する。図２７は、本実施形態の冷却装置１００に係る製造方法を示すフローチャートである。

　本体部１０に対して、冷却流路用第１凹部２０を形成する（Ｓ１、図５参照）。具体的には、所定の間隔を隔てて複数の冷却流路用第１凹部２０を形成する。

　次に、本体部１０に対して、戻り流路用凹部２１を形成する（Ｓ２、図６参照）。具体的には、冷却流路用第１凹部の内周面のうちの、Ｚ方向と直交する面である底面２０ｂにおいて、Ｚ方向の他方側に向けて窪む凹状の戻り流路用凹部２１を形成する。より具体的には、複数の冷却流路用第１凹部の各々の底面２０ｂに、戻り流路用凹部２１を形成する（図６参照）。また、戻り流路用凹部の第５深さＤ５が、冷却流路用第１凹部の第４深さＤ４よりも大きくなるように、戻り流路用凹部２１を形成する（図１８参照）。

　次に、必要な本数の戻り流路用凹部２１が形成されているか否かを判定する（Ｓ３）。必要な本数の戻り流路用凹部２１が形成されていない場合（Ｓ３　ＮＯ）、Ｓ２の工程に進む。必要な本数の戻り流路用凹部２１が形成されている場合（Ｓ３　ＹＥＳ）、Ｓ４の工程に進む。すなわち、Ｓ２の工程を繰り返すことにより、必要な本数の戻り流路用凹部２１を形成する。

　次に、本体部１０に対して段差部２４を形成する（Ｓ４、図７参照）。具体的には、複数の冷却流路用第１凹部２０および複数の戻り流路用凹部２１と接続する段差部２４を形成する。

　次に、段差部２４の外周縁に対して、第１接続凹部２２を形成する（Ｓ５、図８参照）。具体的には、底面２０ｂと直交する面である側面２０ｃと接続する、Ｚ方向の他方側に向けて窪む凹状の第１接続凹部２２を形成する。また、戻り流路用凹部２１の長軸方向の一方側（Ｙ１方向側）の端部２１ａと接続する、第１接続凹部２２を形成する。すなわち、Ｓ４の工程およびＳ５の工程により、段差部２４のうちのＺ方向に沿った部分２４ａの長さである第１深さＤ１が、第１接続凹部２２のＺ方向の長さである第２深さＤ２よりも小さい段差部２４が形成される（図１４参照）。

　次に、本体部１０に対して、第２接続凹部２３を形成する（Ｓ６、図９参照）。具体的には、冷却流路用第１凹部２０の長軸方向の他方側（Ｙ２方向側）の端部２０ｄと接続する、Ｚ方向の他方側に向けて窪む凹状の第２接続凹部２３を形成する。また、戻り流路用凹部２１の長軸方向の他方側の端部２１ｂと接続する、第２接続凹部２３を形成する。

　次に、第３接続凹部２５および第４接続凹部２６を本体部１０に形成する（Ｓ７、図１０参照）。

　次に、本体部１０のＹ１方向側の端面に対して、貫通孔を形成することにより、入口１および出口８を形成する（Ｓ８、図１１参照）。

　次に、仕切部材１１を段差部２４に配置する（Ｓ９、図２０参照）。具体的には、細長形状を有する仕切部材１１を、複数の冷却流路用第１凹部２０が並ぶ方向であるＸ方向に沿った方向に向けて、第１接続流路４に配置する。

　次に、第１板状部材１２を、底面２０ｂに配置する（Ｓ１０、図２１参照）。

　次に、配置された第１板状部材１２にフィン部材１３を配置する（Ｓ１１、図２２参照）。

　次に、冷却流路用第１凹部のＺ方向の一方側の面２０ｆ（図２５参照）に、第２板状部材１４を配置する（Ｓ１２）。

　次に、蓋部材１５（図２参照）を配置する（Ｓ１３）。具体的には、本体部のＺ方向の一方側の面１０ａ（図２参照）に、蓋部材１５を配置する。より具体的には、第２板状部材１４のＺ向の一方側の面に、蓋部材１５を配置する。

　次に、ろう付けによって互いに接合する（Ｓ１４）。具体的には、本体部１０と仕切部材１１と蓋部材１５とをろう付けによって互いに接合する。その後、冷却装置の製造方法は、終了する（エンド）。

　（本実施形態の効果）
　本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

　（本実施形態の第１の効果）
　実施形態の製造方法によれば、冷却流路２を本体部の第１厚み方向の一方側の面１０ａにおいて蛇行することなく形成することができる。その結果、本体部の第１厚み方向の一方側の面１０ａにおいて冷却流路２が蛇行する構成と比較して、冷却流路の下流側になるにつれて対象物の冷却能力が低下することを抑制することができる。

　（本実施形態の第２の効果）
　また、実施形態の製造方法によれば、本体部の第１厚み方向の一方側の面１０ａに冷却流路用第１凹部２０を形成し、他方側の面に戻り流路用凹部２１を形成して、両側から別個の蓋部材１５を配置することなく、冷却装置１００を製造することが可能となる。

　（本実施形態の第３の効果）
　また、実施形態の製造方法によれば、段差部の第１深さＤ１が第１接続凹部の第２深さＤ２よりも小さいので、段差部２４に仕切部材１１を配置することにより、第２深さＤ２の範囲内において、第１接続凹部２２を第１厚み方向において２つの部分に仕切ることができる。その結果、第１接続凹部２２に段差部２４が設けられていない構成と比較して、第１接続流路４を、冷却流路２に接続する部分４ａと、戻り流路３に接続する部分４ｂとに容易に仕切ることができる。

　（本実施形態の第４の効果）
　また、実施形態の製造方法によれば、細長形状を有する仕切部材１１によって、第１接続流路４を複数の冷却流路２に接続する部分４ａおよび戻り流路３に接続する部分４ｂに仕切ることができる。その結果、複数の冷却流路２および複数の戻り流路３を備える冷却装置１００において、製造工程数、および、部品点数を抑えつつ、冷却能力が低下することを抑制することが可能な冷却装置の製造方法を提供することができる。

　（本実施形態の第５の効果）
　また、実施形態の製造方法によれば、段差部２４に仕切部材１１を配置することにより、第１接続流路のうちの、冷却流路２に接続する部分の形状を、冷却流路用第１凹部の内周面の形状に対応する形状にすることができる。したがって、複数の冷却流路の各々が、第１接続流路４によって互いに接続されることを抑制することができる。これにより、各冷却流路２において冷媒が混合されることを抑制することができる。その結果、各冷却流路２における熱交換量が低下することを抑制することができる。

　（本実施形態の第６の効果）
　また、実施形態の製造方法によれば、戻り流路用凹部の第３幅Ｗ３が冷却流路用第１凹部の第１幅Ｗ１よりも小さいので、第３幅Ｗ３を第１幅Ｗ１と同じ長さに形成する構成と比較して、戻り流路用凹部２１を形成する際の本体部の加工量を削減することができる。また、第５深さＤ５が第４深さＤ４と等しい構成と比較して、戻り流路用凹部の断面積を大きくすることができる。その結果、戻り流路３における圧力損失が増加することを抑制することができる。

　（本実施形態の第７の効果）
　また、実施形態の製造方法によれば、冷却流路２にフィン部材１３が配置されるので、フィン部材１３を配置しない構成と比較して、冷却流路２における伝熱面積を増加させることができる。したがって、冷却流路２における熱交換量を向上させることができる。その結果、フィン部材１３を配置しない構成と比較して、冷却装置１００の冷却能力を向上させることができる。

　（本実施形態の第８の効果）
　また、実施形態の製造方法によれば、本体部１０と仕切部材１１と蓋部材１５とをろう付けする際に、第２板状部材１４も併せてろう付けされるため、蓋部材の他方側の面にろう材層を配置した状態で、本体部１０と仕切部材１１と第２板状部材１４と蓋部材１５とをろう付けすることができる。その結果、第２板状部材１４を配置しない構成と比較して、本体部１０と仕切部材１１と第２板状部材１４と蓋部材１５とをより強固に接合することができる。

　（本実施形態の第９の効果）
　また、実施形態の冷却装置１００によれば、上記冷却装置の製造方法と同様に、冷却流路の下流側になるにつれて対象物の冷却能力が低下することを抑制することが可能な冷却装置１００を提供することができる。

　（本実施形態の第１０の効果）
　また、上記冷却装置の製造方法と同様に、第１厚み方向の一方側の面１０ａに冷却流路用第１凹部２０を形成し、他方側の面に戻り流路用凹部２１を形成して、両側から別個の蓋部材１５を配置することなく製造可能な冷却装置１００を提供することができる。

　［変形例］
　（第１の変形例）
　図２８を参照して、冷却装置１００に係る第１の変形例の製造方法について説明する。図２８は、実施形態の冷却装置１００に係る第１の変形例の製造方法を示すフローチャートである。図２８に示す第１の変形例のように、Ｓ６の工程は、Ｓ４およびＳ５の工程よりも先に行われてもよい。すなわち、Ｓ４の工程およびＳ５の工程と、Ｓ６の工程とは、どちらが先に行われてもよい。

　（第２の変形例）
　図２９を参照して、冷却装置１００に係る第２の変形例の製造方法について説明する。図２９は、実施形態の冷却装置１００に係る第２の変形例の製造方法を示すフローチャートである。図２９に示す第２の変形例のように、Ｓ８の工程は、Ｓ７の工程よりも先に行われてもよい。すなわち、Ｓ７の工程と、Ｓ８の工程とは、どちらが先に行われてもよい。

　（第３の変形例）
　図３０を参照して、第３の変形例の冷却装置３００について説明する。図３０は、第３の変形例の冷却装置３００を示す模式的な斜視図である。図３０に示す第３の変形例による冷却装置３００のように、本体部１０と仕切部材１１との間に、第３板状部材１６を配置してもよい。

　第３板状部材１６は、Ｚ方向の両面にろう材層を有する板状部材である。すなわち、第３板状部材１６はブレージングシートである。

　また、第３板状部材１６は、仕切部材１１に対応する形状である。具体的には、第３板状部材１６は、Ｚ１方向側から見た上面視において、仕切部材１１に対応する矩形形状である。

　次に、図３１を参照して、第３の変形例による冷却装置の製造方法について説明する。図３１は、第３の変形例の冷却装置３００に係る製造方法を示すフローチャートである。

　Ｓ１～Ｓ８の工程によって、各凹部、段差部２４、入口１および出口８を形成する。

　次に、第１接続凹部２２に第３板状部材１６を配置する（Ｓ２０、図３０参照）。

　次に、Ｓ９～Ｓ１３の工程で、仕切部材１１、第１板状部材１２、フィン部材１３、第２板状部材１４、および、蓋部材１５を配置する。

　次に、ろう付けによって互いに接合する（Ｓ２１）。具体的には、本体部１０と、第３板状部材１６と、仕切部材１１と、第１板状部材１２と、フィン部材１３と、第２板状部材１４と、蓋部材１５とをろう付けによって互いに接合する。その後、冷却装置の製造方法は、終了する（エンド）。

　なお、第３の変形例によるその他の構成は、上記実施形態による構成と同様である。

　（第３の変形例の効果）
　第３の変形例の製造方法によれば、仕切部材の底面１１ｅと第１接続凹部２２との間に、ろう材層を有する第３板状部材１６が配置されるので、ろう付けによって接合することにより、第１接続流路のうちの、冷却流路２と接続する部分４ａの液密性を向上させることができる。

　なお、第３の変形例の構成によるその他の効果は、上記実施形態の構成による効果と同様である。

　（第４の変形例）
　図３２を参照して、第４の変形例に係る仕切部材１１１について説明する。図３２は、第４の変形例に係る仕切部材１１１を示す模式図である。段差部２４を形成する代わりに、図３２に示す第４の変形例による仕切部材１１１のように、仕切部材１１１が、支持部１１ｆおよび支持部１１ｇを有していてもよい。

　支持部１１ｆは、仕切部材１１０が第１接続凹部２２（図３参照）に配置された際に、仕切部材１１０を支持する部分である。支持部１１ｆは、仕切部材の一方側（Ｘ１方向側）の側壁１１ｃから、外側（Ｘ１方向）に向けて突出するように、側壁１１ｃに設けられる。支持部１１ｆは、第１接続凹部２２にＺ１方向側から当接することにより、仕切部材１１０を支持するように構成されている。

　支持部１１ｇは、仕切部材１１０が第１接続凹部２２に配置された際に、仕切部材１１０を支持する部分である。支持部１１ｇは、仕切部材の他方側（Ｘ２方向側）の側壁１１ｃから、外側（Ｘ２方向）に向けて突出するように、側壁１１ｃに設けられる。支持部１１ｇは、第１接続凹部２２（図３参照）にＺ１方向側から当接することにより、仕切部材１１０を支持するように構成されている。

　図３２に示す第４の変形例による仕切部材１１１によっても、第１接続凹部２２に仕切部材１１を配置し、その後、蓋部材１５を配置することにより、上記実施形態による構成と同様に、第１接続流路４を、冷却流路２に接続する部分４ａと、戻り流路３に接続する部分４ｂとに容易に仕切ることができる。しかしながら、支持部１１ｆおよび支持部１１ｇを有する仕切部材１１０を第１接続凹部２２に配置した場合、支持部１１ｆおよび支持部１１ｇが第１接続凹部２２の端面よりもＺ１方向側に配置される。この場合、蓋部材１５を配置した際に、支持部および支持部の近傍において、蓋部材１５と本体部１０との間に隙間が生じる。蓋部材１５と本体部１０との間に隙間が生じることを抑制するためには、蓋部材１５に凹部を形成する必要があり、製造工程数が増加する。したがって、第１接続凹部２２に段差部２４を設ける構成が好ましい。

　（第５の変形例）
　また、冷却流路用第１凹部の数は、４つに限られない。冷却流路用第１凹部の数は、４つより多くてもよいし、少なくてもよい。また、冷却流路用第１凹部の数は、１つでもよい。冷却流路用第１凹部の数は、任意に設定し得る。

　（第６の変形例）
　また、１つの冷却流路用第１凹部毎の戻り流路用凹部の数は、２つに限られない。１つの冷却流路用第１凹部毎の戻り流路用凹部の数は、２つより多くてもよいし、１つであってもよい。１つの冷却流路用第１凹部毎の戻り流路用凹部の数は、任意に設定し得る。

　（第７の変形例）
　また、仕切部材１１は、冷却流路用第２凹部１１ａを有していなくてもよい。すなわち、仕切部材１１は、一対の側壁１１ｃのみを有していてもよい。しかしながら、仕切部材１１が冷却流路用第２凹部１１ａを有していない場合、冷却流路２を流通する冷媒が、仕切部材１１が配置された位置において互いに混合する。この場合、冷却流路２による熱交換量が低下し、冷却装置１００による対象物の冷却能力が低下する。したがって、仕切部材１１は、冷却流路用第２凹部１１ａを有していることが好ましい。

　（第８の変形例）
　また、冷却流路用第２凹部の第２幅Ｗ２は、冷却流路用第１凹部の第１幅Ｗ１に対応する長さでなくてもよい。しかしながら、冷却流路用第２凹部の第２幅Ｗ２が、冷却流路用第１凹部の第１幅Ｗ１に対応する長さでない場合、冷却流路２を流通する冷媒が、仕切部材１１が配置された位置において互いに混合する。この場合、冷却流路２による熱交換量が低下し、冷却装置１００による対象物の冷却能力が低下する。したがって、冷却流路用第２凹部の第２幅Ｗ２は、却流路用第１凹部の第１幅Ｗ１に対応する長さであることが好ましい。

　また、冷却流路用第２凹部の第３深さＤ３は、冷却流路用第１凹部の第４深さＤ４に対応する長さでなくてもよい。

　（第９の変形例）
　第２板状部材１４は、Ｚ方向の一方側の面にろう材層を有していれば、他方側の面にろう材層を有していなくてもよい。なお、第２板状部材１４がＺ方向の他方側の面にもろう材層を有している場合、第２板状部材１４がＺ方向の一方側の面にのみろう材層を有している構成と比較して、本体部１０と蓋部材１５との接合強度を向上させることができる。

　１　入口
　２　冷却流路
　３　戻り流路
　４　第１接続流路
　５　第２接続流路
　８　出口
　１０　本体部
　１０ａ　本体部の第１厚み方向（厚み方向）の一方側の面
　１１、１１１　仕切部材
　１１ａ　冷却流路用第２凹部
　１２　第１板状部材
　１３　フィン部材
　１４　第２板状部材
　１５　蓋部材
　１５ａ　設置面
　２０　冷却流路用第１凹部
　２０ｂ　底面（冷却流路用第１凹部の底面）
　２０ｃ　側面（冷却流路用第１凹部の底面と直交する面）
　２１　戻り流路用凹部
　２２　第１接続凹部
　２３　第２接続凹部
　２４　段差部
　２４ａ　段差部のうちの第１厚み方向に沿った部分
　９０　対象物
　１００、３００　冷却装置
　Ｄ１　第１深さ（段差部のうちの第１厚み方向に沿った部分の長さ）
　Ｄ２　第２深さ（第１接続凹部の第１厚み方向の長さ）
　Ｄ３　第３深さ（仕切部材の厚み方向である第２厚み方向に沿った冷却流路用第２凹部の長さ）
　Ｄ４　第４深さ（第１厚み方向に沿った冷却流路用第１凹部の長さ）
　Ｄ５　第５深さ（戻り流路用凹部の第１厚み方向に沿った長さ）
　Ｗ１　第１幅（冷却流路用第１凹部の内周面のうちの、第１方向に互いに対向する面の間の長さ）
　Ｗ２　第２幅（冷却流路用第２凹部の内周面のうちの、互いに対向する面の間の長さ）
　Ｗ３　第３幅（戻り流路用凹部の内周面のうちの、底面と直交し、互いに対向する面の間の長さ）
　Ｘ方向　第１方向（冷却流路用第１凹部が並ぶ方向）
　Ｚ方向　本体部の厚み方向

Claims (8)

1. 　平板状の本体部を有し、外部に設置する対象物を冷却する冷却装置の製造方法であって、
   　冷媒を吸入する入口および前記冷媒を排出する出口が設けられる前記本体部の厚み方向である第１厚み方向の一方側の面において、前記第１厚み方向の他方側に向けて窪む凹状の冷却流路用第１凹部を形成する工程と、
   　前記冷却流路用第１凹部の内周面のうちの、前記第１厚み方向と直交する面である底面において、前記第１厚み方向の他方側に向けて窪む凹状の戻り流路用凹部を形成する工程と、
   　前記底面と直交する面である側面と接続するとともに、前記戻り流路用凹部のうちの、前記底面の最も長い辺に沿う方向である長軸方向の一方側である、前記入口および前記出口が設けられている側の端部と接続する、前記第１厚み方向の他方側に向けて窪む凹状の第１接続凹部を形成する工程と、
   　前記冷却流路用第１凹部の前記長軸方向の他方側の端部と接続するとともに、前記戻り流路用凹部の前記長軸方向の他方側の端部と接続する、前記第１厚み方向の他方側に向けて窪む凹状の第２接続凹部を形成する工程と、
   　前記第１接続凹部と前記対象物の設置面を有する平板状の蓋部材とによって区画される第１接続流路を、前記設置面を挟んで前記対象物と隣接する冷却流路に接続する部分と、前記第２接続凹部と前記蓋部材とによって区画される第２接続流路を介して前記冷却流路と接続され、前記冷却流路および前記第２接続流路を流通した前記冷媒を前記第１接続流路に流出する戻り流路に接続する部分とに仕切る部材である仕切部材を配置する工程と、
   　前記冷却流路と前記戻り流路とを隔てる隔壁部材である第１板状部材を、前記底面に配置する工程と、
   　前記本体部の前記第１厚み方向の一方側の面に、前記蓋部材を配置する工程と、
   　前記本体部と前記仕切部材と前記蓋部材とをろう付けによって互いに接合する工程とを備える、
   　冷却装置の製造方法。
2. 　前記冷却流路用第１凹部を形成する工程では、前記第１接続凹部の内周面に設けられ、前記第１厚み方向に沿った部分の長さである第１深さが、前記第１接続凹部の前記第１厚み方向の長さである第２深さよりも小さい段差部を形成し、
   　前記仕切部材を配置する工程では、前記仕切部材を前記段差部に配置する、
   　請求項１に記載の冷却装置の製造方法。
3. 　前記冷却流路用第１凹部を形成する工程では、所定の間隔を隔てて複数の前記冷却流路用第１凹部を形成し、
   　前記戻り流路用凹部を形成する工程では、複数の前記冷却流路用第１凹部の各々の前記底面に、前記戻り流路用凹部を形成し、
   　前記仕切部材を配置する工程では、細長形状を有する前記仕切部材を、複数の前記冷却流路用第１凹部が並ぶ方向である第１方向に沿った方向に向けて、前記第１接続流路に配置する、
   　請求項２に記載の冷却装置の製造方法。
4. 　前記仕切部材には、複数の前記冷却流路用第１凹部の各々と対応する位置に、複数の前記冷却流路用第１凹部の各々が窪む方向に対応した方向に向けて窪む凹状の冷却流路用第２凹部が設けられており、
   　複数の前記冷却流路用第２凹部の各々は、前記冷却流路用第２凹部の内周面のうちの、互いに対向する面の間の長さである第２幅が、前記冷却流路用第１凹部の内周面のうちの、前記第１方向に互いに対向する面の間の長さである第１幅に対応する長さであり、かつ、前記仕切部材の厚み方向である第２厚み方向に沿った前記冷却流路用第２凹部の長さである第３深さが、前記第１厚み方向に沿った前記冷却流路用第１凹部の長さである第４深さに対応する長さである、
   　請求項３に記載の冷却装置の製造方法。
5. 　前記戻り流路用凹部を形成する工程では、前記戻り流路用凹部の内周面のうちの、前記底面と直交し、互いに対向する面の間の長さである第３幅が、前記冷却流路用第１凹部の内周面のうちの、前記底面と直交し、互いに対向する面の間の長さである第１幅よりも小さく、かつ、前記戻り流路用凹部の前記第１厚み方向に沿った長さである第５深さが、前記冷却流路用第１凹部の前記第１厚み方向に沿った長さである第４深さよりも大きくなるように、前記戻り流路用凹部を形成する、
   　請求項１に記載の冷却装置の製造方法。
6. 　配置された前記第１板状部材にフィン部材を配置する工程をさらに備える、
   　請求項１に記載の冷却装置の製造方法。
7. 　前記冷却流路用第１凹部の前記第１厚み方向の一方側の面に、ろう材層を有する第２板状部材を配置する工程をさらに備え、
   　前記蓋部材を配置する工程では、前記第２板状部材の前記第１厚み方向の一方側の面に、前記蓋部材を配置する、
   　請求項１に記載の冷却装置の製造方法。
8. 　外部に設置する対象物を冷却する冷却装置であって、
   　冷媒を吸入する入口および前記冷媒を排出する出口が設けられ、平板状の形状を有する本体部と、
   　前記本体部の厚み方向の一方側の面に設けられ、前記対象物の設置面を有する平板状の蓋部材と、
   　前記本体部の一方側の面に形成され、前記厚み方向の他方側に向けて窪む凹状の冷却流路用第１凹部と、
   　前記冷却流路用第１凹部の内周面のうちの、前記厚み方向と直交する面である底面に形成され、前記厚み方向の他方側に向けて窪む凹状の戻り流路用凹部と、
   　前記底面と直交する面である側面と接続するとともに、前記戻り流路用凹部のうちの、前記底面の最も長い辺に沿う方向である長軸方向の一方側である、前記入口および前記出口が設けられている側の端部と接続する、前記厚み方向の他方側に向けて窪む凹状の第１接続凹部と、
   　前記冷却流路用第１凹部の前記長軸方向の他方側の端部と接続するとともに、前記戻り流路用凹部の前記長軸方向の他方側の端部と接続する、前記厚み方向の他方側に向けて窪む凹状の第２接続凹部と、
   　前記第１接続凹部と前記蓋部材とによって区画される第１接続流路を、前記設置面を挟んで前記対象物と隣接する冷却流路に接続する部分と、前記第２接続凹部と前記蓋部材とによって区画される第２接続流路を介して前記冷却流路と接続され、前記冷却流路および前記第２接続流路を流通した前記冷媒を前記第１接続流路に流出する戻り流路に接続する部分とに仕切る部材である仕切部材と、
   　前記冷却流路用第１凹部の前記底面に設けられ、前記冷却流路と前記戻り流路とを隔てる隔壁部材である第１板状部材と、を備える、
   　冷却装置。