WO2024257583A1 - 保管システム - Google Patents

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WO2024257583A1
WO2024257583A1 PCT/JP2024/019148 JP2024019148W WO2024257583A1 WO 2024257583 A1 WO2024257583 A1 WO 2024257583A1 JP 2024019148 W JP2024019148 W JP 2024019148W WO 2024257583 A1 WO2024257583 A1 WO 2024257583A1
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WO
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storage
transport vehicle
ceiling
article
movable
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PCT/JP2024/019148
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English (en)
French (fr)
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靖久 伊藤
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Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H10P72/3404—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3216—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3222—Loading to or unloading from a conveyor

Definitions

  • the present invention relates to a storage system, and in particular to a storage system for storing items such as containers containing semiconductor wafers.
  • JP 62-297050 A An example of a conventional storage system for transporting goods within a factory is described in JP 62-297050 A.
  • This storage system is equipped with an overhead self-propelled vehicle that transports the goods, and a rack for storing the goods.
  • the rack is disposed below and to the side of the ceiling track along which the overhead self-propelled vehicle runs, and is equipped with multiple shelves arranged vertically.
  • the shelves are designed to move (slide) to directly below the overhead self-propelled vehicle so that goods can be transferred between the rack and the overhead self-propelled vehicle.
  • the container is filled with inert gas to prevent deterioration of the semiconductor wafers.
  • the inert gas gradually flows out of the container. Therefore, it is assumed that the rack is provided with a facility for purging the inert gas into the container even while the item is being stored.
  • the racks are arranged in multiple levels in the vertical direction, all the rack levels are provided with movable shelves that move the articles to directly below the ceiling-mounted mobile vehicle.
  • the mechanism for providing purging piping becomes complicated, which can cause design problems and make it difficult.
  • the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and aims to provide a storage system that is capable of supplying a purge gas, such as an inert gas, to items with a simple structure.
  • a purge gas such as an inert gas
  • the present invention provides a storage system comprising an overhead transport vehicle that travels on an overhead track to transport items, and storage equipment that is located below and to the side of the overhead track and receives and stores items from the overhead transport vehicle, wherein the overhead transport vehicle is equipped with a lateral movement device for moving the items it carries sideways, and the storage equipment has multiple storage sections arranged in a vertical direction, and the topmost storage section of this storage equipment is a fixed storage section that cannot move sideways, and the storage sections other than the topmost are movable storage sections that can move between a position advanced directly below the ceiling track and a position retreated to the side from directly below the ceiling track when viewed from above, and the storage equipment further comprises purge equipment that supplies purge gas to items placed on the topmost fixed storage section.
  • the topmost storage section of the storage facility is a fixed storage section that cannot move sideways
  • the storage sections other than the topmost are movable storage sections that can move back and forth between a position advanced directly below the ceiling track when viewed from above and a position retreated to the side from directly below the ceiling track
  • the storage facility further includes purging equipment that supplies purging gas to items placed on the topmost fixed storage section. Therefore, even if the storage sections are arranged in multiple levels in the vertical direction, it is only necessary to supply purging gas to the topmost fixed storage section using the purging equipment, which simplifies the arrangement of purging piping, etc., resulting in an extremely practical storage system.
  • the movable storage unit is preferably installed on the floor and the fixed storage unit is suspended from the ceiling.
  • the movable storage section is installed on the floor and the fixed storage section is suspended from the ceiling, so that by installing the movable storage section on the floor, the movable storage sections other than the top level can be made to have a simple structure.
  • all of the multiple storage sections are suspended from the ceiling.
  • the space between the multiple storage sections and the floor surface can be effectively utilized.
  • the fixed storage section includes a fixed shelf
  • the movable storage section includes a movable shelf.
  • the fixed storage section includes a fixed shelf
  • the movable storage section includes a movable shelf, so that both storage sections can have a simple structure.
  • a controller is further provided which designates a storage section in which the item is to be stored and instructs the ceiling transport vehicle to transfer the item to this storage section, and when the controller determines that it is necessary to supply purge gas to the item, it instructs the ceiling transport vehicle to transfer the item to the topmost fixed storage section, and when the controller determines that it is not necessary to supply purge gas to the item, it instructs the ceiling transport vehicle to transfer the item to a movable storage section other than the topmost section.
  • the present invention is a storage system having an overhead transport vehicle that travels along an overhead track to transport items, and storage equipment that is located below and to the side of the overhead track to receive and store items from the overhead transport vehicle, the storage equipment having a plurality of first storage sections arranged vertically, and a second storage section that is fixedly arranged below the plurality of storage sections and directly below the ceiling track, the first storage section of the storage equipment being a movable storage section that can move back and forth between a position advanced directly below the ceiling track in a top view and a position retreated to the side from directly below the ceiling track, and the storage equipment further having a purge equipment that supplies purge gas to items placed on the second storage section.
  • the storage system of the present invention makes it possible to supply purge gas, such as an inert gas, to items with a simple structure.
  • FIG. 1 is a schematic plan view showing a transport system to which a storage system according to a first embodiment of the present invention is applied.
  • 1 is a perspective view showing a storage system according to a first embodiment of the present invention;
  • 1 is a front view showing a transport vehicle and a part (fixed shelf) of a storage unit of a storage system according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a front view showing a part of a storage section equipped with a purging device provided in a storage system according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a system configuration of a storage system according to a first embodiment of the present invention. 4 is a flowchart showing operations performed by the storage system according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a perspective view showing a storage system according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a perspective view showing a storage system according to a third embodiment of the present invention.
  • the present invention is applied to a storage system that stores items such as FOUPs containing semiconductor wafers and reticle pods containing reticles in a clean room of a semiconductor manufacturing factory.
  • Fig. 1 is a schematic plan view showing a transport system to which a storage system according to the first embodiment of the present invention is applied.
  • a conveying system 1 to which the first embodiment of the present invention is applied includes a conveying vehicle 4 that conveys an article to be processed in a processing device 2, a plurality of buffers 6 that are temporary storage units for temporarily storing the article to be conveyed, a plurality of intrabay tracks 7 that can convey the article to the processing device 2, and an interbay track 8 that connects these intrabay tracks 7.
  • the conveying system 1 includes a controller (not shown), which controls the conveying vehicle 4 to convey the article processed in the first processing device 2 to the buffer 6, and after the article is stored in the buffer 6, when a second processing device 2 that will perform the next process on the article is determined, conveys the article to the second processing device 2.
  • the intrabay track 7 is a running track made up of rails installed on the ceiling, and multiple processing equipment 2 are arranged along this intrabay track 7 so that items can be transported to the processing equipment 2.
  • the transport vehicle 4 travels while suspended from the intrabay track 7, and is therefore able to transport an item M from one processing equipment 2 arranged along the intrabay track 7 to another processing equipment 2.
  • the transport vehicle 4 is a ceiling transport vehicle that travels along a running track installed on the ceiling.
  • the transport system 1 also has multiple intrabay tracks 7, and the rails that make up each intrabay track 7 are suspended from the ceiling of the semiconductor manufacturing plant.
  • the interbay track 8 is a running track made up of a circular rail suspended from the ceiling of the semiconductor manufacturing plant, and is connected to each intrabay track 6 via the branch track 7a. This allows the transport vehicles 2 provided in the transport system 1 to move from one intrabay track 6 to another intrabay track 6 via the interbay track 8. In other words, the transport system 1 can transport items M from a processing device 12 arranged along one intrabay track 6 to another processing device 12 arranged along another intrabay track 6.
  • Fig. 2 is a perspective view showing the storage system according to the first embodiment of the present invention.
  • a storage system 10 according to a first embodiment of the present invention includes the transport vehicle 4, which is the above-mentioned ceiling transport vehicle, and a storage facility 12 for storing items M.
  • the storage facility 12 is equipped with multi-tier buffers 14 arranged on both sides (right and left sides in Figure 2) in the direction of travel of the transport vehicle 4.
  • the multi-tier buffer 14 on one side (left side) has a fixed shelf 16, which serves as a storage section, on the top tier, and below this fixed shelf 16 are seven tiers of movable shelves 18 arranged vertically.
  • the fixed shelves 16 are suspended from the ceiling 17 (see Figure 3) and are unable to move laterally (widthwise) themselves.
  • the movable shelves 18 are also arranged on the floor surface 19, allowing items M to move laterally (widthwise) up to directly below the transport vehicle 4.
  • the movable shelves 18 are for receiving and storing items M from the transport vehicle 4, and for transferring the stored items M to the transport vehicle 4, and therefore the movable shelves 18 are capable of moving laterally. For this reason, each level of the movable shelves 18 is provided with a movement mechanism 20 for moving the movable shelves 18 laterally.
  • the moving mechanism 20 includes rails 20a extending laterally from the bottom of each movable shelf 18, rollers 20b attached to the movable shelf 18 and running on the rails 20a, and a drive motor 20c that rotates and drives the rollers 20b.
  • the moving mechanism 20 moves the movable shelf 18 to directly below the transport vehicle 4, allowing the handover of items M between the movable shelf 18 and the transport vehicle 4.
  • the multi-tier buffer 14 on the other side is similar to the right side, with a fixed shelf 16 that serves as a storage section at the top, and seven movable shelves 18 arranged vertically below the fixed shelf 16.
  • the movable shelves 18 are also provided with a movement mechanism 20 for moving the movable shelves 18 laterally, and the movement mechanism 20 also has rails 20a, rollers 20b, and a drive motor 20c.
  • Fig. 3 is a front view showing the transport vehicle and a part (fixed shelf) of the storage unit of the storage system according to the first embodiment.
  • the transport vehicle 4 can travel to a target position by being suspended from rails 22 constituting the intrabay track 7 using a traveling mechanism 24.
  • the transport vehicle 4 also includes a slide mechanism 26 and a gripping mechanism 28.
  • the slide mechanism 26 can be extended and retracted horizontally by a ball screw drive mechanism (not shown), and a gripping mechanism 28 is attached to the tip thereof for gripping a flange M1 provided on the upper part of the article M.
  • the gripping mechanism 28 also includes a suspension belt 28a and a gripper 28b.
  • Four suspension belts 28a are provided for each transport vehicle 4, and are wound around a reel (not shown) provided at the tip of the slide mechanism 26.
  • the gripper 28b has an opening and closing function that allows it to grip the flange M1 of the article M.
  • the grippers 28b are suspended from four suspending belts 28a, and are adapted to move up and down via the suspending belts 28a by forward and reverse rotation of the reel by a driving device (not shown) such as a motor.
  • the length of the suspending belts 28a is set so that the grippers 28b can grip the article M on the fixed shelf 16 and move it up and down.
  • the grippers 28b are lowered to above the article M.
  • the grippers 28b are opened and closed to hold the flange M1.
  • the fixed shelf 16 is an overhead buffer (OHB) suspended from the ceiling 17 by a suspension rod 30 .
  • the transport vehicle 4 travels on the intrabay track 7 and stops at a position opposite the multi-tier buffer 14, and unrolls the slide mechanism 26 toward the uppermost fixed shelf 16 of the multi-tier buffer 14. This moves the gripper 28b of the gripping mechanism 28 that is not gripping the item M to directly above the item M.
  • the suspension belt 28a is extended, and the gripper 28b is lowered to above the specified item M in the fixed shelf 16, and the gripper 28b grips the flange M1 arranged on the item M.
  • the reel (not shown) is rotated to wind up the suspension belt 28a, and the item M is raised together with the gripper 28b, and then the slide mechanism 26 is retracted.
  • the movable shelf 18 is moved laterally inward by the moving mechanism 20, and the item M in the movable shelf 18 is moved to directly below the transport vehicle 4.
  • the suspension belt 28a of the gripping mechanism 28 that is not gripping the item M is extended, and the gripper 28b is lowered to above the specified item M, and the gripper 28b grips the flange M1 arranged on the item M.
  • the reel (not shown) is rotated to wind up the suspension belt 28a, and the item M is raised together with the gripper 28b to the transport vehicle 4.
  • the moving mechanism 20 returns the movable shelf 18 from the position directly below the transport vehicle 4 to its original lateral position.
  • the transport vehicle 4 carrying the item M travels along the intrabay track 7 and interbay track 8 toward the next destination of the item M.
  • the loading operation of item M is as follows. First, when loading item M onto the fixed shelf 16, the loading operation is similarly performed in the reverse order to the unloading operation. That is, the transport vehicle 4, which has been traveling along the intrabay track 7 with item M gripped by the gripper 28b, stops at a predetermined position facing the fixed shelf 16 on which item M is to be loaded. Next, the slide mechanism 26 is unwound to move item M directly above the fixed shelf 16, and the suspension belt 28a is extended by rotating the reel (not shown), and the gripper 28b gripping item M is lowered to the height position of the fixed shelf 16 on which item M is to be loaded. Thereafter, the gripper 28b is released to load item M onto the fixed shelf 16.
  • the placement work is similarly performed in the reverse order to the removal.
  • the fixed shelf 18 is moved laterally inward by the moving mechanism 20, and the movable shelf 18 is moved to directly below the transport vehicle 4.
  • the suspension belt 28a of the gripping mechanism 28 gripping item M is extended, and the gripper 28b gripping the item is lowered to the height position of the movable shelf 18.
  • the gripper 28b is then released, and item M is placed on the movable shelf 18.
  • the moving mechanism 20 then returns the movable shelf 18 from the position directly below the transport vehicle 4 to its original lateral position.
  • Fig. 4 is a front view showing a part of a storage section equipped with the purging equipment provided in the storage system according to the first embodiment of the present invention.
  • the article M is placed on the fixed shelf 16.
  • the article M is a container for storing semiconductor wafers, reticles, etc.
  • the fixed shelf 16 is provided with a purge facility 32 for supplying a purge gas to the article M.
  • an opening M2 is formed on the side of the container (item M), and this opening M2 is closed by a lid M3.
  • Semiconductor wafers and the like are stored inside the container (item M) through this opening M2.
  • a purge gas inlet 34 and a purge gas outlet 36 are formed on the bottom surface of the container (item M).
  • Check valves (not shown) are provided at the purge gas inlet 34 and outlet 36.
  • the purge equipment 32 is equipment for supplying a purge gas into the container (item M).
  • the purge gas is, for example, a gas such as nitrogen gas that is inert to the items stored in the container. Clean dry air, which is dry air, may also be used as the purge gas.
  • the purge equipment 32 includes a purge nozzle 38 and an exhaust nozzle 40.
  • the purge nozzle 38 and the exhaust nozzle 40 are provided on the upper surface of the fixed shelf 16.
  • the purge nozzle 38 and the exhaust nozzle 40 are arranged so as to be connected to the purge gas inlet 34 and the purge gas outlet 36 of the container (item M), respectively, when the item M is placed on the movable shelf 16.
  • the purge nozzle 38 is connected to a purge gas supply source via a pipe
  • the exhaust nozzle 40 is connected to an exhaust path for the purge gas via a pipe.
  • a suction device 42 is provided to prevent the leaked purge gas from accumulating near the lid M3.
  • the suction device 42 includes a hood 44, which includes a wall 44a, a space 44b, and an opening 44c.
  • a space 44b is formed inside the wall 44a, and this space 44b functions as a flow path for the sucked gas.
  • the opening 44c opens toward the lid M3 of the container (item M) and serves as an inlet for the gas flow path inside the hood 44.
  • An exhaust path 46 is connected to the outlet of the hood 44, and the sucked gas is exhausted from the opening 44c of the hood 44 through this exhaust path 46.
  • a fan 48 is provided in the space 44b of the hood, and the gas is exhausted to the outside when the fan 48 is driven.
  • Fig. 5 is a schematic diagram showing the system configuration of the storage system according to the first embodiment.
  • the storage system 10 includes the transport vehicle 4 that travels on the intrabay track 9, and the multi-tier buffer 14 as the storage facility 12.
  • the multi-tier buffer 14 includes a top fixed shelf 16 and multiple tiers of movable shelves 18 located below it.
  • the fixed shelf 16 is provided with a purge facility 32 for supplying purge gas to the containers (items M).
  • a manufacturing management system (MES) 50, a transport management system (MCS) 52, a purge controller 54, a transport vehicle controller 56, a fixed shelf control panel 58, and a movable shelf control panel 60 are provided as control devices for operating the storage system 10.
  • MES manufacturing management system
  • MCS transport management system
  • purge controller 54 a transport vehicle controller
  • transport vehicle controller 56 a fixed shelf control panel 58
  • movable shelf control panel 60 movable shelf control panel
  • the manufacturing management system (MES) 50 is a controller for managing production throughout the factory
  • the transport management system (MCS) 52 is a controller for managing the transport of items M by transport vehicles
  • the purge controller 54 is a controller for reporting the purging status and errors of the fixed shelves 16 to the transport management system (MCS) 52
  • the transport vehicle controller 56 is a controller for providing information about the transport vehicles 2 to the movable shelves 18 of the multi-stage buffer 14
  • the fixed shelf control panel 58 is a control panel for controlling the purging of the fixed shelves 16
  • the movable shelf control panel 60 is a control panel for controlling the movement of the movable shelves 18. It is also possible to not provide the purge controller 54 and not report the purge status to the transport management system (MCS) 52.
  • the manufacturing management system (MES) 50 determines which container (item M) in the fixed shelf 16 should receive the purge gas.
  • Fig. 6 is a flow chart showing the operation performed by the storage system according to the first embodiment of the present invention.
  • S indicates each step.
  • S1 the transport vehicle 2 transports the article M.
  • S2 the process proceeds to S2, where it is determined whether or not it is necessary to supply purge gas to the article M. If it is necessary to supply purge gas (YES), the process proceeds to S3.
  • the topmost storage section of the storage equipment 12 is a fixed shelf 16 that cannot be moved back and forth laterally, and the storage sections other than the topmost section are movable shelves 18 that can be moved back and forth between a position advanced to directly below the ceiling track or transport vehicle 4 when viewed from above and a position retreated to the side from directly below the ceiling track or transport vehicle 4, and the storage equipment 12 further includes purging equipment 32 that supplies purging gas to the items M placed on the topmost fixed shelf 18.
  • the movable shelves 18 are installed on the floor surface 19, and the fixed shelves 16 are suspended from the ceiling 17. Therefore, by installing the movable shelves 18 on the floor surface 19, the movable shelves 18 other than the topmost shelf can have a simple structure.
  • the fixed shelf 16 is provided as the fixed storage section
  • the movable shelf 18 is provided as the movable storage section, so that both storage sections can have a simple structure.
  • FIG. 7 is a perspective view showing a storage system according to the second embodiment of the present invention.
  • a storage system 70 according to the second embodiment of the present invention has the transport vehicle 4, which is the above-mentioned ceiling transport vehicle, and a storage facility 12 for storing items M.
  • the storage facility 12 is equipped with multi-tier buffers 14 arranged on both sides (the right and left sides in FIG. 7) in the direction of travel of the transport vehicle 4.
  • the multi-tier buffer 14 on one side (the right side) is equipped with a fixed shelf 16, which is a storage section, on the top tier, and two tiers of movable shelves 18 below the fixed shelf 16.
  • the top tier fixed shelf 16 and the two tiers of movable shelves 18 are suspended from the ceiling 17 (see FIG. 3) by a suspension rod 72.
  • the fixed shelf 16 is designed so that it cannot move laterally (widthwise) by itself, and the movable shelf 18 is designed so that the item M can move laterally (widthwise) to directly below the transport vehicle 4.
  • the fixed shelf 16 is equipped with a purge facility 32 for supplying purge gas to the container (item M) as in the first embodiment described above.
  • the movable shelves 18 are similar to those in the first embodiment and are used to receive and store items M from the transport vehicle 4, and to transfer the stored items M to the transport vehicle 4, and therefore the movable shelves 18 are capable of moving laterally. For this reason, each level of the movable shelves 18 is provided with a movement mechanism 20 for moving the movable shelves 18 laterally.
  • the moving mechanism 20 includes rails 20a extending laterally from the bottom of each movable shelf 18, rollers 20b attached to the movable shelf 18 and running on the rails 20a, and a drive motor 20c that rotates and drives the rollers 20b.
  • the moving mechanism 20 moves the movable shelf 18 to directly below the transport vehicle 4, allowing the handover of items M between the movable shelf 18 and the transport vehicle 4.
  • the multi-tier buffer 14 on the other side is similar to the right side, with a fixed shelf 16 on the top tier, which is a storage section, and two tiers of movable shelves 18 below this fixed shelf 16.
  • the top tier fixed shelf 16 and the two tiers of movable shelves 18 are suspended from the ceiling 17 (see Figure 3) by hanging rods 72.
  • the fixed shelf 16 itself cannot move laterally (widthwise), and the movable shelf 18 is designed so that the item M can move laterally (widthwise) up to directly below the transport vehicle 4.
  • the movable shelf 18 is also provided with a movement mechanism 20 for moving the movable shelf 18 laterally, and this movement mechanism 20 also has rails 20a, rollers 20b, and a drive motor 20c.
  • the second embodiment provides the same advantageous effects as the first and third advantageous effects provided by the storage system according to the first embodiment described above.
  • all of the fixed shelves 16 and movable shelves 18 that make up the multi-tiered storage section are suspended from the ceiling 17, making it possible to effectively utilize the space between the multi-tiered storage section and the floor surface 19.
  • Fig. 8 is a perspective view showing a storage system according to the third embodiment of the present invention.
  • a storage system 80 according to a third embodiment of the present invention has the transport vehicle 4, which is the above-mentioned ceiling transport vehicle, and a storage facility 12 for storing items M.
  • the storage facility 12 is equipped with multi-tier buffers 14 arranged on both sides (right and left sides in FIG. 8) in the direction of travel of the transport vehicle 4.
  • the multi-tier buffer 14 on one side (right side) is equipped with three tiers of movable shelves 18.
  • the three tiers of movable shelves 18 are suspended from the ceiling 17 (see FIG. 3) by hanging rods 74.
  • the movable shelves 18 are designed so that the items M can move laterally (widthwise) to directly below the transport vehicle 4.
  • the fixed shelves 16 are equipped with purge equipment 32 for supplying purge gas to the containers (items M), as in the first embodiment described above.
  • the movable shelves 18 are similar to those in the first embodiment and are used to receive and store items M from the transport vehicle 4, and to transfer the stored items M to the transport vehicle 4, and therefore the movable shelves 18 are capable of moving laterally. For this reason, each level of the movable shelves 18 is provided with a movement mechanism 20 for moving the movable shelves 18 laterally.
  • the moving mechanism 20 includes rails 20a extending laterally from the bottom of each movable shelf 18, rollers 20b attached to the movable shelf 18 and running on the rails 20a, and a drive motor 20c that rotates and drives the rollers 20b.
  • the moving mechanism 20 moves the movable shelf 18 to directly below the transport vehicle 4, allowing the handover of items M between the movable shelf 18 and the transport vehicle 4.
  • the multi-tier buffer 14 on the other side is similar to the right side and has three tiers of movable shelves 18.
  • the three tiers of movable shelves 18 are suspended from the ceiling 17 (see Figure 3) by hanging rods 74.
  • the movable shelves 18 are designed so that the items M can move laterally (widthwise) to directly below the transport vehicle 4.
  • the movable shelves 18 are also provided with a movement mechanism 20 for moving the movable shelves 18 laterally, and this movement mechanism 20 also has rails 20a, rollers 20b, and a drive motor 20c.
  • a fixed shelf 16 is provided below these movable shelves 18 and directly below the transport vehicle 2. This fixed shelf 18 is suspended by the suspension rod 74 described above. The fixed shelf 18 itself cannot move laterally (widthwise).
  • the third embodiment provides the same advantageous effects as the first and third advantageous effects provided by the storage system according to the first embodiment described above.
  • all of the fixed shelves 16 and movable shelves 18 that make up the multi-tiered storage section are suspended from the ceiling 17, making it possible to effectively utilize the space between the multi-tiered storage section and the floor surface 19.
  • Transport system 4 Transport vehicle 6 Buffer 7 Intra-bay track 8 Inter-bay track 10, 70, 80 Storage system 12 Storage facility 14 Multi-stage buffer 16, 82 Fixed shelf 17 Ceiling 18 Movable shelf 19 Floor surface 20 Moving mechanism 20a Rail 20b Roller 20c Drive motor 22 Rail 24 Travel mechanism 26 Slide mechanism 28 Grip mechanism 30, 72, 74 Suspension rod 32 Purge facility 34 Inlet 36 Outlet 38 Purge nozzle 40 Exhaust nozzle 50 Manufacturing management device 52 Transport management device 54 Purge controller 56 Transport vehicle controller 58 Fixed shelf control panel 60 Movable shelf control panel M Item

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Abstract

簡単な構造により物品に不活性ガス等のパージガスを供給することが可能な保管システムを提供する。本発明は、天井軌道を走行して物品Ｍを搬送する搬送車４と、天井軌道の下方且つ側方に位置し、搬送車から物品を受け取って保管する保管設備１２と有する保管システム１０であって、搬送車は搭載する物品を側方に移動させるためのスライド機構２６を備え、保管設備は、上下方向に配置された複数段の保管部を備え、この保管設備の最上段の保管部は、側方への進退が不能な固定棚１６であり、最上段以外の保管部は、上面視で天井軌道の真下に進出した位置と天井軌道の真下から側方に待避した位置との間で進退可能な可動棚１８であり、保管設備は、さらに、最上段の固定棚に載置された物品にパージガスを供給するパージ設備３２を備えている。

Description

保管システム
　本発明は、保管システムに係わり、特に、半導体ウェハを収容した容器等の物品を保管する保管システムに関する。
　従来の工場内における搬送物である物品の保管システムの一例が、特開昭６２－２９７０５０号公報に記載されている。この保管システムは、物品を搬送する天井自走車と、物品を保管するラックを備えている。ラックは、天井自走車が走行する天井軌道の下方且つ側方に配置され、上下方向に並ぶ複数の棚板を備えている。この棚板は、ラックと天井自走車との間で物品が移載できるように、天井自走車の真下まで移動（スライド）するようになっている。
特開昭６２－２９７０５０号公報
　上述した従来の保管システムにおいて、例えば、上記の物品が半導体ウェハを収容した容器の場合、半導体ウェハの劣化を防止するために、容器内は不活性ガスで満たされている。容器がラックに長期間保管されている場合には、不活性ガスは徐々に容器外に流出する。そのため、物品の保管中にも不活性ガスを容器内にパージするための設備をラックに設けることが想定される。
　ラックが上下方向に複数段配置される場合には、全ての段のラックに物品を天井自走車の真下まで移動させる可動式の棚板が設けられている。しかしながら、棚板が可動式の場合には、パージ用の配管を設けるための機構が複雑となり、設計上の問題が生じ、困難な場合がある。
　本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、簡単な構造により物品に不活性ガス等のパージガスを供給することが可能な保管システムを提供することを目的としている。
　上記の目的を達成するために、本発明は、天井軌道を走行して物品を搬送する天井搬送車と、天井軌道の下方且つ側方に位置し、天井搬送車から物品を受け取って保管する保管設備と有する保管システムであって、天井搬送車は搭載する物品を側方に移動させるための側方移動用装置を備え、保管設備は、上下方向に配置された複数段の保管部を備え、この保管設備の最上段の保管部は、側方への進退が不能な固定保管部であり、最上段以外の保管部は、上面視で天井軌道の真下に進出した位置と天井軌道の真下から側方に待避した位置との間で進退可能な可動保管部であり、保管設備は、さらに、最上段の固定保管部に載置された物品にパージガスを供給するパージ設備を備えている。
　このように構成された本発明においては、保管設備の最上段の保管部は、側方への進退が不能な固定保管部であり、最上段以外の保管部は、上面視で天井軌道の真下に進出した位置と天井軌道の真下から側方に待避した位置との間で進退可能な可動保管部であり、保管設備は、さらに、最上段の固定保管部に載置された物品にパージガスを供給するパージ設備を備えているので、保管部を上下方向に複数段配置した場合であっても、パージ設備により、パージガスを最上段の固定保管部に供給すればよいので、パージ用の配管等の配置を簡単化することができ、極めて実用的な保管システムとなる。
　本発明において、好ましくは、可動保管部は床面に設置され、固定保管部は天井から吊り下げられている。
　このように構成された本発明においては、可動保管部は床面に設置され、固定保管部は天井から吊り下げられているので、可動保管部が床面に設置されることにより、最上段以外の可動保管部を簡易な構造とすることができる。
　本発明において、好ましくは、複数段の保管部の全てが天井から吊り下げられている。
　このように構成された本発明においては、複数段の保管部の全てが天井から吊り下げられているので、複数段の保管部と床面との間の空間を有効に利用することができる。
　本発明において、好ましくは、固定保管部は固定棚を備え、可動保管部は可動棚を備える。
　このように構成された本発明においては、固定保管部は固定棚を備え、可動保管部は可動棚を備えているので、両保管部を簡易な構造とすることができる。
　本発明において、好ましくは、さらに、物品を保管すべき保管部を指定してこの保管部への物品の移載を天井搬送車に指示するコントローラを備え、このコントローラは、物品へのパージガスの供給が必要であると判断する場合に、最上段の固定保管部への物品の移載を天井搬送車に指示し、物品へのパージガスの供給が不要であると判断する場合に、最上段以外の可動保管部への物品の移載を天井搬送車に指示する。
　本発明は、天井軌道を走行して物品を搬送する天井搬送車と、天井軌道の下方且つ側方に位置し、天井搬送車から物品を受け取って保管する保管設備と有する保管システムであって、保管設備は、上下方向に配置された複数の第１保管部、及び、これらの複数の保管部の下方で且つ上記天井軌道の真下に固定配置された第２保管部を備え、保管設備の第１保管部は、上面視で天井軌道の真下に進出した位置と天井軌道の真下から側方に待避した位置との間で進退可能な可動保管部であり、保管設備は、さらに、第２保管部に載置された物品にパージガスを供給するパージ設備を備えている。
　本発明の保管システムによれば、簡単な構造により物品に不活性ガス等のパージガスを供給することが可能となる。
本発明の第１実施形態による保管システムが適用される搬送システムを示す概略平面図である。 本発明の第１実施形態による保管システムを示す斜視図である。 本発明の第１実施形態による保管システムの搬送車及び保管部の一部（固定棚）を示す正面図である。 本発明の第１実施形態による保管システムに設けられたパージ設備を備えた保管部の一部を示す正面図である。 本発明の第１実施形態による保管システムのシステム構成を示す概略図である。 本発明の第１実施形態による保管システムにより実行される動作を示すフローチャートである。 本発明の第２実施形態による保管システムを示す斜視図である。 本発明の第３実施形態による保管システムを示す斜視図である。
　以下、図面を参酌して、本発明の実施形態による保管システムについて説明する。
　先ず、図１乃至図３により、本発明の第１実施形態による保管システムの基本構造について説明する。
　なお、本実施形態においては、半導体製造工場のクリーンルーム内において、半導体ウェハを収容したフープ（ＦＯＵＰ）や、レクチルを収容したレチクルポッド（Ｒｅｔｉｃｌｅ　Ｐｏｄ）等の物品を保管する保管システムに、本発明が適用されている。
　最初に、図１により、本発明の第１実施形態による保管システムが適用される搬送システムについて説明する。図１は本発明の第１実施形態による保管システムが適用される搬送システムを示す概略平面図である。
　図１に示すように、本発明の第１実施形態が適用される搬送システム１は、処理装置２おいて処理すべき物品を搬送する搬送車４と、搬送すべき物品を一時的に保管する複数の一時保管部であるバッファ６と、処理装置２に物品を搬送することができる複数のイントラベイ軌道７と、これらのイントラベイ軌道７を接続するインターベイ軌道８と、を有する。さらに、搬送システム１はコントローラ（図示せず）を有し、コントローラは、搬送車４を制御して、第１の処理装置２において処理された物品をバッファ６に搬送すると共に、このバッファ６に物品が保管された後で、その物品に対して次工程の処理を行う第２の処理装置２が決定されると、物品を第２の処理装置２に搬送する。
　まず、イントラベイ軌道７は、天井に設けられたレールによって構成された走行軌道であり、処理装置２に物品を搬送することができるように、このイントラベイ軌道７に沿って複数の処理装置２が配置されている。搬送車４は、イントラベイ軌道７から吊り下げられた状態で走行することにより、イントラベイ軌道７に沿って配置された或る処理装置２から他の処理装置２へ物品Ｍを搬送することができる。このように、搬送車４は、天井に設けられた走行軌道に沿って走行する天井搬送車である。また、搬送システム１は、複数のイントラベイ軌道７を備えており、各イントラベイ軌道７を構成するレールは、半導体製造工場の天井から吊り下げられている。
　次に、インターベイ軌道８は、半導体製造工場の天井から吊り下げられた環状のレールによって構成された走行軌道であり、分岐軌道７ａを介して各イントラベイ軌道６に夫々接続されている。これにより、搬送システム１に備えられた搬送車２は、インターベイ軌道８を介して、或るイントラベイ軌道６から、他のイントラベイ軌道６へ相互に乗り入れることができる。即ち、搬送システム１は、或るイントラベイ軌道６に沿って配置された処理装置１２から、他のイントラベイ軌道６に沿って配置された他の処理装置１２へ、物品Ｍを搬送することができる。
　次に、図２により、本発明の第１実施形態による保管システムについて説明する。図２は本発明の第１実施形態による保管システムを示す斜視図である。
　図２に示すように、本発明の第１実施形態による保管システム１０は、上述した天井搬送車である搬送車４と、物品Ｍを保管する保管設備１２を有する。
　保管設備１２は、搬送車４の走行方向に対して、両側（図２において右側と左側）にそれぞれ配置された多段バッファ１４を備えている。一方の側（左側）の多段バッファ１４は、最上段に保管部である固定棚１６を備え、この固定棚１６の下方に上下方向に７段の可動棚１８を備えている。固定棚１６は、天井１７（図３参照）から吊り下げされており、それ自体が横方向（幅方向）に移動できないようになっている。また、可動棚１８は、床面１９に配置され、物品Ｍが搬送車４の真下まで横方向（幅方向）に移動できるようになっている。
　可動棚１８は、搬送車４から物品Ｍを受け取って保管し、且つ、保管した物品Ｍを搬送車４に受け渡すためのものであり、そのため、可動棚１８を横方向に移動させることができるようになっている。そのため、各段の可動棚１８には、それぞれ、可動棚１８を横方向に移動させるために移動機構２０が設けられている。
　移動機構２０は、各可動棚１８の下部に設けられた横方向に延びるレール２０ａと、可動棚１８に取り付けられ、このレール２０ａ上を走行するローラ２０ｂと、このローラ２０ｂを回転駆動させる駆動モータ２０ｃを備えている。この移動機構２０により、可動棚１８が搬送車４の真下まで移動することにより、可動棚１８と搬送車４との間で、物品Ｍの引き渡しができるようになっている。
　他方の側（右側）の多段バッファ１４も、右側と同様であり、最上段に保管部である固定棚１６を備え、この固定棚１６の下方に上下方向に７段の可動棚１８を備えている。可動棚１８も、可動棚１８を横方向に移動させるために移動機構２０が設けられており、この移動機構２０も、レール２０ａ、ローラ２０ｂ、及び、駆動モータ２０ｃを備えている。
　次に、図３により、搬送車４及び固定棚１６について説明する。図３は第１実施形態による保管システムの搬送車及び保管部の一部（固定棚）を示す正面図である。
　図３に示すように、搬送車４は、イントラベイ軌道７を構成するレール２２から吊り下げられた状態で、走行機構２４により走行し、目標となる位置まで移動することができる。また、搬送車４は、スライド機構２６及び把持機構２８を備えている。
　スライド機構２６は、ボールねじ駆動機構（図示せず）によって水平方向に伸縮することができ、先端には物品Ｍの上部に設けられたフランジＭ１を把持するための把持機構２８が取り付けられている。また、把持機構２８は、懸垂ベルト２８ａ及びグリッパ２８ｂを備えている。
　懸垂ベルト２８ａは、１つの搬送車４に４本備えられており、スライド機構２６の先端に設けられたリール（図示せず）に巻回している。また、グリッパ２８ｂは、物品ＭのフランジＭ１を狭持可能な開閉機能を有している。
　グリッパ２８ｂは、４本の懸垂ベルト２８ａに吊るされており、モータ等の駆動装置（図示せず）によるリールの正逆回転により、懸垂ベルト２８ａを介してグリッパ２８ｂが上下移動するようになっている。また、懸垂ベルト２８ａの長さは、固定棚１６上の物品Ｍを、グリッパ２８ｂによって把持して上下移動させることができるように設定されている。スライド機構２６が伸張し、把持機構２８が物品Ｍの真上の位置に移動すると、グリッパ２８ｂが物品Ｍの上まで降下される。さらに、グリッパ２８ｂを開閉させてフランジＭ１を狭持するようになっている。
　さらに、図３に示すように、固定棚１６は、吊下ロッド３０により天井１７から吊り下げられたオーバーヘッドバッファ（ＯＨＢ）である。
　次に、図２及び図３により、搬送車４による物品Ｍの保管設備１２の多段バッファ１４への載置及び搬出について説明する。
　物品Ｍの搬出動作は以下のようになる。先ず、固定棚１６内の物品Ｍを搬出する場合、イントラベイ軌道７を走行し、多段バッファ１４の対向位置に停止した搬送車４は、多段バッファ１４の最上段の固定棚１６へ向けてスライド機構２６を繰り出す。これにより物品Ｍを把持していない把持機構２８のグリッパ２８ｂを物品Ｍの真上まで移動させる。目的とする物品Ｍの真上までグリッパ２８ｂを移動させた後、懸垂ベルト２８ａを伸張させ、固定棚１６内の所定の物品Ｍの上までグリッパ２８ｂを降下させて、グリッパ２８ｂで物品Ｍに配設されたフランジＭ１を把持する。次いで、物品Ｍを把持した後、リール（図示せず）を回転させることで懸垂ベルト２８ａを巻き上げ、グリッパ２８ｂと共に物品Ｍを上昇させ、続いてスライド機構２６を縮退させる。
　次に、可動棚１８内の物品Ｍを搬出する場合、可動棚１８を移動機構２０により横方向内側に移動させ、可動棚１８内の物品Ｍを搬送車４の真下まで移動させる。次に、搬送車４のスライド機構２６は動作させることなく、物品Ｍを把持していない把持機構２８の懸垂ベルト２８ａを伸張させ、所定の物品Ｍの上までグリッパ２８ｂを降下させて、グリッパ２８ｂで物品Ｍに配設されたフランジＭ１を把持する。次いで、物品Ｍを把持した後、リール（図示せず）を回転させることで懸垂ベルト２８ａを巻き上げ、グリッパ２８ｂと共に物品Ｍを搬送車４まで上昇させる。その後、移動機構２０により可動棚１８を搬送車４の真下の位置からもとの側方位置まで戻す。
　このようにして、物品Ｍを搭載した搬送車４は物品Ｍの次の搬送先に向かいイントラベイ軌道７及びインターベイ軌道８を走行する。
　次に、物品Ｍの載置動作は以下のようになる。先ず、固定棚１６に物品Ｍを載置する場合、同様に、搬出とは逆の順序で載置作業を実施する。即ち、物品Ｍをグリッパ２８ｂにより把持してイントラベイ軌道７を走行してきた搬送車４は、物品Ｍを載置する固定棚１６の所定の対向位置に停止する。次いで、スライド機構２６を繰り出して物品Ｍを固定棚１６の真上に移動させ、リール（図示せず）を回転させることで懸垂ベルト２８ａ伸長させて、物品Ｍを把持したグリッパ２８ｂを、物品Ｍを載置する固定棚１６の高さ位置まで降下させる。その後、グリッパ２８ｂを開放することで物品Ｍが固定棚１６に載置される。
　次に、固定棚１８に物品Ｍを載置する場合、同様に、搬出とは逆の順序で対置作業を実施する。固定棚１８を移動機構２０により横方向内側に移動させ、可動棚１８を搬送車４の真下まで移動させる。次に、搬送車４のスライド機構２６は動作させることなく、物品Ｍを把持した把持機構２８の懸垂ベルト２８ａを伸張させ、物品を把持したグリッパ２８ｂを可動棚１８の高さ位置まで降下させる。その後、グリッパ２８ｂを開放することで物品Ｍが可動棚１８に載置される。その後、移動機構２０により可動棚１８を搬送車４の真下の位置からもとの側方位置まで戻す。
　次に、図４により、本発明の第１実施形態による保管システムの固定棚に設けられたパージ設備について説明する。図４は本発明の第１実施形態による保管システムに設けられたパージ設備を備えた保管部の一部を示す正面図である。
　図４に示すように、固定棚１６には、物品Ｍが載置されている。この物品Ｍは、上述したように、半導体ウェハやレチクルなどを収納する容器である。固定棚１６には、物品Ｍにパージガスを供給するためのパージ設備３２が設けられている。
　先ず、容器である物品Ｍには、その側方に開口Ｍ２が形成され、この開口Ｍ２は、蓋Ｍ３により塞がれている。半導体ウェハ等は、この開口Ｍ２を介して容器（物品Ｍ）の内部に収納される。また、容器（物品Ｍ）の底面にはパージガスの導入口３４と、パージガスの排出口３６が形成されている。これらのパージガスの導入口３４と排出口３６には逆止弁（図示せず）が設けられている。
　パージ設備３２は、容器（物品Ｍ）内にパージガスを供給するための設備である。パージガスは、例えば、窒素ガスなど、容器に収納した物品に対して不活性なガスである。また、パージガスとして、乾燥した空気であるクリーンドライエアも使用される。
　パージ設備３２は、パージノズル３８及び排気ノズル４０を備えている。これらのパージノズル３８及び排気ノズル４０は、固定棚１６の上面に設けられている。また、パージノズル３８及び排気ノズル４０は、可動棚１６に物品Ｍを載置した際に、それぞれ、容器（物品Ｍ）のパージガスの導入口３４とパージガスの排出口３６と接続するように配置されている。パージノズル３８は、配管を介してパージガス供給源に接続され、排気ノズル４０は、配管を介してパージガスの排気経路に接続されている。
　ところで、容器（物品Ｍ）にパージされたパージガスは、容器の蓋Ｍ３のシール部分等から漏れることがある。パージガスは、ガスの種類又はガスの濃度によっては、漏れたパージガスが周囲環境を悪化させるおそれがある。
　そのため、本実施形態においては、図４に示すように、吸引装置４２を設け、漏れたパージガスが蓋Ｍ３の近傍に滞留するのを抑制するようにしている。
　この吸引装置４２は、フード４４を備え、このフード４４は、壁部４４ａと、空間部４４ｂと、開口部４４ｃを備えている。壁部４４ａの内部に空間部４４ｂが形成され、この空間部４４ｂが、吸引したガスの流路として機能する。また、開口部４４ｃは、容器（物品Ｍ）の蓋Ｍ３に向かって開いており、フード４４内においけるガス流路の流入口となっている。また、フード４４の流出口には、排出経路４６が接続され、この排出経路４６により、フード４４の開口部４４ｃから吸引したガスを排出するようになっている。なお、フードの空間部４４ｂには、ファン４８が設けられており、このファン４８が駆動されることにより、ガスが外部に排出されるようになっている。
　次に、図５により、第１実施形態による保管システムのシステム構成を説明する。図５は第１実施形態による保管システムのシステム構成を示す概略図である。
　保管システム１０は、上述したように、イントラベイ軌道９を走行する搬送車４と、保管設備１２として多段バッファ１４を備えている。多段バッファ１４は、最上段の固定棚１６と、その下方に位置する複数段の可動棚１８を備えている。固定棚１６には、容器（物品Ｍ）にパージガスを供給するためのパージ設備３２が設けられている。
　図５に示すように、保管システム１０を動作させるための制御機器として、製造管理装置（ＭＥＳ）５０、搬送管理装置（ＭＣＳ）５２、パージコントローラ５４、搬送車コントローラ５６、固定棚制御盤５８、可動棚制御盤６０が設けられている。
　本実施形態においては、これらの制御機器より、多段バッファ１４の固定棚１６に物品Ｍが載置されたとき、容器（物品Ｍ）にパージガスがパージされるようになっている。
　製造管理装置（ＭＥＳ）５０は工場全体の生産管理を行うためのコントローラであり、搬送管理装置（ＭＣＳ）５２は搬送車による物品Ｍの搬送を管理するコントローラであり、パージコントローラ５４は搬送管理装置（ＭＣＳ）５２に対して固定棚１６のパージの状況やエラーを報告するためのコントローラであり、搬送車コントローラ５６は多段バッファ１４の可動棚１８に搬送車２の情報を提供するためのコントローラであり、固定棚制御盤５８は固定棚１６におけるパージを制御するための制御盤であり、可動棚制御盤６０は可動棚１８の移動動作を制御するための制御盤である。
　なお、パージコントローラ５４を設けることなく、搬送管理装置（ＭＣＳ）５２にパージの状況等を報告しないようにしてもよい。また、固定棚１６において、どの容器（物品Ｍ）にパージガスを供給するかは、製造管理装置（ＭＥＳ）５０により判断される。
　次に、第１実施形態による保管システムにより実行される動作を説明する。図６は本発明の第１実施形態による保管システムにより実行される動作を示すフローチャートである。図６において、Ｓは各ステップを示す。
　最初に、Ｓ１において、搬送車２により物品Ｍを搬送する。次に、Ｓ２に進み、物品Ｍへのパージガスの供給が必要か否かを判断する。パージガスの供給が必要な場合（ＹＥＳ）には、Ｓ３に進む。
　Ｓ３において、最上段の固定棚１６に物品Ｍを載置する。次に、Ｓ４に進み、物品Ｍにパージガスを供給する。
　一方、Ｓ２において、物品Ｍへのパージガスの供給は不要である（ＮＯ）と判断された場合には、Ｓ５に進む。Ｓ５において、最上段以外の可動棚１８へ物品Ｍを載置する。
　次に、上述した第１実施形態による保管システムの作用効果を説明する。
　第１に、第１実施形態においては、保管設備１２の最上段の保管部は、側方への進退が不能な固定棚１６であり、最上段以外の保管部は、上面視で天井軌道又は搬送車４の真下に進出した位置と天井軌道又は搬送車４の真下から側方に待避した位置との間で進退可能な可動棚１８であり、保管設備１２は、さらに、最上段の固定棚１８に載置された物品Ｍにパージガスを供給するパージ設備３２を備えているので、保管部を上下方向に複数段配置した場合であっても、パージ設備３２により、パージガスを最上段の固定棚１６に供給すればよいので、パージ用の配管等の配置を簡単化することができ、極めて実用的な保管システムとなる。
　第２に、第１実施形態においては、可動棚１８は床面１９に設置され、固定棚１６は天井１７から吊り下げられているので、可動棚１８が床面１９に設置されることにより、最上段以外の可動棚１８を簡易な構造とすることができる。
　第３に、第１実施形態においては、固定保管部として固定棚１６を備え、可動保管部として可動棚１８を備えているので、両保管部を簡易な構造とすることができる。
　次に、図７により、本発明の第２実施形態による保管システムについて説明する。図７は本発明の第２実施形態による保管システムを示す斜視図である。
　図７に示すように、本発明の第２実施形態による保管システム７０は、上述した天井搬送車である搬送車４と、物品Ｍを保管する保管設備１２を有する。
　保管設備１２は、搬送車４の走行方向に対して、両側（図７に置いて右側と左側）にそれぞれ配置された多段バッファ１４を備えている。一方の側（右側）の多段バッファ１４は、最上段に保管部である固定棚１６を備え、この固定棚１６の下方に２段の可動棚１８を備えている。最上段の固定棚１６及び２段の可動棚１８は、吊下ロッド７２により、天井１７（図３参照）から吊り下げされている。固定棚１６は、それ自体が横方向（幅方向）に移動できないようになっており、また、可動棚１８は、物品Ｍが搬送車４の真下まで横方向（幅方向）に移動できるようになっている。固定棚１６には、上述した第１実施形態と同様に、容器（物品Ｍ）にパージガスを供給するためのパージ設備３２が設けられている。
　可動棚１８は、第１実施形態と同様であり、搬送車４から物品Ｍを受け取って保管し、且つ、保管した物品Ｍを搬送車４に受け渡すためのものであり、そのため、可動棚１８を横方向に移動させることができるようになっている。そのため、各段の可動棚１８には、それぞれ、可動棚１８を横方向に移動させるために移動機構２０が設けられている。
　移動機構２０は、各可動棚１８の下部に設けられた横方向に延びるレール２０ａと、可動棚１８に取り付けられ、このレール２０ａ上を走行するローラ２０ｂと、このローラ２０ｂを回転駆動させる駆動モータ２０ｃを備えている。この移動機構２０により、可動棚１８が搬送車４の真下まで移動することにより、可動棚１８と搬送車４との間で、物品Ｍの引き渡しができるようになっている。
　他方の側（左側）の多段バッファ１４も、右側と同様であり、最上段に保管部である固定棚１６を備え、この固定棚１６の下方に２段の可動棚１８を備えている。最上段の固定棚１６及び２段の可動棚１８は、吊下ロッド７２により、天井１７（図３参照）から吊り下げされている。固定棚１６は、それ自体が横方向（幅方向）に移動できないようになっており、また、可動棚１８は、物品Ｍが搬送車４の真下まで横方向（幅方向）に移動できるようになっている。可動棚１８にも、可動棚１８を横方向に移動させるために移動機構２０が設けられており、この移動機構２０も、レール２０ａ、ローラ２０ｂ、及び、駆動モータ２０ｃを備えている。
　次に、上述した第２実施形態による保管システムの作用効果を説明する。
　第１に、第２実施形態においては、上述した第１実施形態による保管システムが奏する第１及び第３の作用効果と同様な作用効果を奏する。
　第２に、第２実施形態においては、複数段の保管部である固定棚１６及び可動棚１８の全てが天井１７から吊り下げられているので、複数段の保管部と床面１９との間の空間を有効に利用することができる。
　次に、図８により、本発明の第３実施形態による保管システムについて説明する。図８は本発明の第３実施形態による保管システムを示す斜視図である。
　図８に示すように、本発明の第３実施形態による保管システム８０は、上述した天井搬送車である搬送車４と、物品Ｍを保管する保管設備１２を有する。
　保管設備１２は、搬送車４の走行方向に対して、両側（図８において右側と左側）にそれぞれ配置された多段バッファ１４を備えている。一方の側（右側）の多段バッファ１４は、３段の可動棚１８を備えている。３段の可動棚１８は、吊下ロッド７４により、天井１７（図３参照）から吊り下げされている。可動棚１８は、物品Ｍが搬送車４の真下まで横方向（幅方向）に移動できるようになっている。固定棚１６には、上述した第１実施形態と同様に、容器（物品Ｍ）にパージガスを供給するためのパージ設備３２が設けられている。
　可動棚１８は、第１実施形態と同様であり、搬送車４から物品Ｍを受け取って保管し、且つ、保管した物品Ｍを搬送車４に受け渡すためのものであり、そのため、可動棚１８を横方向に移動させることができるようになっている。そのため、各段の可動棚１８には、それぞれ、可動棚１８を横方向に移動させるために移動機構２０が設けられている。
　移動機構２０は、各可動棚１８の下部に設けられた横方向に延びるレール２０ａと、可動棚１８に取り付けられ、このレール２０ａ上を走行するローラ２０ｂと、このローラ２０ｂを回転駆動させる駆動モータ２０ｃを備えている。この移動機構２０により、可動棚１８が搬送車４の真下まで移動することにより、可動棚１８と搬送車４との間で、物品Ｍの引き渡しができるようになっている。
　他方の側（左側）の多段バッファ１４も、右側と同様であり、３段の可動棚１８を備えている。３段の可動棚１８は、吊下ロッド７４により、天井１７（図３参照）から吊り下げされている。可動棚１８は、物品Ｍが搬送車４の真下まで横方向（幅方向）に移動できるようになっている。可動棚１８にも、可動棚１８を横方向に移動させるために移動機構２０が設けられており、この移動機構２０も、レール２０ａ、ローラ２０ｂ、及び、駆動モータ２０ｃを備えている。
　第３実施形態においては、上述した両側にそれぞれ設けられた３段の可動棚１８に加えて、これらの可動棚１８の下方で且つ搬送車２の真下の位置に、固定棚１６が設けられている。この固定棚１８は、上述した吊下げロッド７４により吊下げられている。固定棚１８は、それ自体が横方向（幅方向）に移動できないようになっている。
　次に、上述した第３実施形態による保管システムの作用効果を説明する。
　第１に、第３実施形態においては、上述した第１実施形態による保管システムが奏する第１及び第３の作用効果と同様な作用効果を奏する。
　第２に、第２実施形態においては、複数段の保管部である固定棚１６及び可動棚１８の全てが天井１７から吊り下げられているので、複数段の保管部と床面１９との間の空間を有効に利用することができる。
　１　搬送システム
　４　搬送車
　６　バッファ
　７　イントラベイ軌道
　８　インターベイ軌道
１０、７０、８０　保管システム
１２　保管設備
１４　多段バッファ
１６、８２　固定棚
１７　天井
１８　可動棚
１９　床面
２０　移動機構
２０ａ　レール
２０ｂ　ローラ
２０ｃ　駆動モータ
２２　レール
２４　走行機構
２６　スライド機構
２８　把持機構
３０、７２、７４　吊下ロッド
３２　パージ設備
３４　導入口
３６　排出口
３８　パージノズル
４０　排気ノズル
５０　製造管理装置
５２　搬送管理装置
５４　パージコントローラ
５６　搬送車コントローラ
５８　固定棚制御盤
６０　可動棚制御盤
Ｍ　物品

Claims (6)

  1. 　天井軌道を走行して物品を搬送する天井搬送車と、天井軌道の下方且つ側方に位置し、天井搬送車から物品を受け取って保管する保管設備と有する保管システムであって、
    　上記天井搬送車は搭載する物品を側方に移動させるための側方移動用装置を備え、
    　上記保管設備は、上下方向に配置された複数段の保管部を備え、
    　この保管設備の最上段の保管部は、側方への進退が不能な固定保管部であり、最上段以外の保管部は、上面視で天井軌道の真下に進出した位置と天井軌道の真下から側方に待避した位置との間で進退可能な可動保管部であり、
    　上記保管設備は、さらに、上記最上段の固定保管部に載置された物品にパージガスを供給するパージ設備を備えている、保管システム。
  2. 　上記可動保管部は床面に設置され、上記固定保管部は天井から吊り下げられている、請求項１に記載の保管システム。
  3. 　上記複数段の保管部の全てが天井から吊り下げられている、請求項１に記載の保管システム。
  4. 　上記固定保管部は固定棚を備え、上記可動保管部は可動棚を備える、請求項１に記載の保管システム。
  5. 　さらに、物品を保管すべき保管部を指定してこの保管部への物品の移載を天井搬送車に指示するコントローラを備え、
    　このコントローラは、物品へのパージガスの供給が必要であると判断する場合に、最上段の固定保管部への上記物品の移載を天井搬送車に指示し、物品へのパージガスの供給が不要であると判断する場合に、最上段以外の可動保管部への上記物品の移載を天井搬送車に指示する、請求項１乃至４の何れか１項に記載の保管システム。
  6. 　天井軌道を走行して物品を搬送する天井搬送車と、天井軌道の下方且つ側方に位置し、天井搬送車から物品を受け取って保管する保管設備と有する保管システムであって、
    　上記保管設備は、上下方向に配置された複数の第１保管部、及び、これらの複数の保管部の下方で且つ上記天井軌道の真下に固定配置された第２保管部を備え、
    　上記保管設備の第１保管部は、上面視で天井軌道の真下に進出した位置と天井軌道の真下から側方に待避した位置との間で進退可能な可動保管部であり、
    　上記保管設備は、さらに、上記第２保管部に載置された物品にパージガスを供給するパージ設備を備えている、保管システム。
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