WO2024252829A1

WO2024252829A1 - 位置決め固定装置

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Publication number: WO2024252829A1
Application number: PCT/JP2024/016940
Authority: WO
Inventors: 卓也高橋
Original assignee: Pascal Engineering Corp
Current assignee: Pascal Engineering Corp
Priority date: 2023-06-05
Filing date: 2024-05-07
Publication date: 2024-12-12
Anticipated expiration: 2025-12-05
Also published as: DE112024001808T5; JP2024174464A

Abstract

シリンダ本体は、ベース体に埋設される小径部と、ベース体における第１面と反対側の第２面側から第１の方向に突出し、小径部よりも大きな外径を有する大径部とを含み、係合具はシリンダ本体の小径部に設けられ、ピストン部材を往復動させるシリンダ室がシリンダ本体の大径部に形成され、ピストン部材の内周側からシリンダ室に作動媒体を供給可能な作動媒体通路がロッド部材に形成され、係合具を介して連結部材を第１の方向に駆動することにより、固定対象物をベース体の第１面に当接させて第１の方向の位置決めを行う。

Description

位置決め固定装置

　本技術は、位置決め固定装置に関する。

　固定対象物をベース体に対して位置決めした上で固定することが可能な位置決め固定装置が従来から知られている。本技術に対する背景技術として、下記の特許文献１ないし６に記載のものが挙げられる。

国際出願公開第２００５／０７５１４５号国際出願公開第２０１４／００９２０１号特開平０９－２８５９２５号公報特開２０１９－１４０２８号公報特開２０２０－６９５５６号公報独国実用新案第２０２０１８１０４１０９号明細書

　位置決め固定の機能を維持しながら装置をさらに小型化することが要請されている。従来の位置決め固定装置には、小型化の観点からさらなる改良の余地がある。

　本技術の目的は、小型化された位置決め固定装置を提供することにある。

　本技術は、１つの態様において、以下の位置決め固定装置を提供し得る。

　［１］固定対象物をベース体の第１面に引き付けて固定するとともに、固定対象物をベース体に対して位置決めすることが可能な位置決め固定装置であって、ベース体に固定された流体圧シリンダと、外周面を有し、固定対象物に取付け可能な連結部材とを備え、流体圧シリンダは、シリンダ本体と、シリンダ本体に対して第１の方向に往復動可能な環状のピストン部材と、連結部材の外周面に係合し、ピストン部材の往復動に伴って連結部材を第１の方向に駆動する係合具と、シリンダ本体に固定され、ピストン部材の内周側に嵌合するロッド部材とを含み、シリンダ本体は、ベース体に埋設される小径部と、ベース体における第１面と反対側の第２面側から第１の方向に突出し、小径部よりも大きな外径を有する大径部とを含み、係合具はシリンダ本体の小径部に設けられ、ピストン部材を往復動させるシリンダ室がシリンダ本体の大径部に形成され、ピストン部材の内周側からシリンダ室に作動媒体を供給可能な作動媒体通路がロッド部材に形成され、係合具を介して連結部材を第１の方向に駆動することにより、固定対象物をベース体の第１面に当接させて第１の方向の位置決めを行う、位置決め固定装置。

　［２］シリンダ本体は、連結部材の外周面と当接する内周面を有する孔部をさらに含み、連結部材の外周面を孔部の内周面に当接させて第１の方向に直交する第２の方向の位置決めを行う、［１］に記載の位置決め固定装置。

　［３］ベース体は嵌入孔を有し、シリンダ本体の小径部は、第２面側から嵌入孔に圧入される、［１］または［２］に記載の位置決め固定装置。

　［４］シリンダ本体における小径部と大径部との間に段差面が形成され、段差面はベース体の第２面に当接する、［１］から［３］のいずれか１項に記載の位置決め固定装置。

　［５］ベース体は、第１面における小径部に隣接する領域において固定対象物と当接する、［１］から［４］のいずれか１項に記載の位置決め固定装置。

　［６］ピストン部材は、シリンダ本体の大径部をベース体から遠い第１室とベース体に近い第２室とに区画し、ピストン部材の内周側から外周側に達し、作動媒体通路と第２室とを連通させる貫通孔がピストン部材に形成される、［１］から［５］のいずれか１項に記載の位置決め固定装置。

　［７］ピストン部材は、シリンダ本体の大径部に嵌合される第１部分と、シリンダ本体の小径部に嵌合される第２部分とを含み、第１部分と第２部分との間に貫通孔が形成される、［６］に記載の位置決め固定装置。

　［８］ロッド部材は、シリンダ本体の小径部に設けられた係合具を保持する保持部を含む、［１］から［７］のいずれか１項に記載の位置決め固定装置。

　［９］係合具は、シリンダ本体の周方向に並ぶように設けられた複数の鋼球を含み、連結部材は、複数の鋼球が各々接触可能に形成された係合凹部を含む、［１］から［８］のいずれか１項に記載の位置決め固定装置。

　［１０］ピストン部材を固定対象物に接近する方向へ駆動し、複数の鋼球を係合凹部に各々係合させることによって固定対象物をベース体に位置決め固定し、ピストン部材を固定対象物から離間する方向へ駆動し、複数の鋼球を係合凹部から各々係合解除させることによって固定対象物をベース体から固定解除する、［９］に記載の位置決め固定装置。

　［１１］ロッド部材は、連結部材の先端側を受け入れる凹部を有する、［１］から［１０］のいずれか１項に記載の位置決め固定装置。

　［１２］シリンダ室に収納され、固定対象物が固定される方向にピストン部材を付勢する付勢部材をさらに備えた、［１］から［１１］のいずれか１項に記載の位置決め固定装置。

　本技術によれば、小型化された位置決め固定装置を得ることができる。

１つの実施の形態に係る位置決め固定装置のクランプ状態を示す断面図である。図１におけるＩＩ－ＩＩ断面図である。図１に示す位置決め固定装置における係合具周辺の拡大図である。１つの実施の形態に係る位置決め固定装置のアンクランプ状態（固定対象物および連結部材）を示す断面図である。１つの実施の形態に係る位置決め固定装置のアンクランプ状態（ベース体および流体圧シリンダ）を示す断面図である。他の実施の形態に係る位置決め固定装置のクランプ状態を示す断面図である。

　以下に、本技術の実施の形態について説明する。なお、同一または相当する部分に同一の参照符号を付し、その説明を繰返さない場合がある。

　なお、以下に説明する実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本技術の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。また、以下の実施の形態において、各々の構成要素は、特に記載がある場合を除き、本技術にとって必ずしも必須のものではない。また、本技術は、本実施の形態において言及する作用効果を必ずしもすべて奏するものに限定されない。

　なお、本明細書において、「備える（ｃｏｍｐｒｉｓｅ）」および「含む（ｉｎｃｌｕｄｅ）」、「有する（ｈａｖｅ）」の記載は、オープンエンド形式である。すなわち、ある構成を含む場合に、当該構成以外の他の構成を含んでもよいし、含まなくてもよい。

　また、本明細書において幾何学的な文言および位置・方向関係を表す文言、たとえば「平行」、「直交」、「斜め４５°」、「同軸」、「沿って」などの文言が用いられる場合、それらの文言は、製造誤差ないし若干の変動を許容する。本明細書において「上側」、「下側」などの相対的な位置関係を表す文言が用いられる場合、それらの文言は、１つの状態における相対的な位置関係を示すものとして用いられるものであり、各機構の設置方向（たとえば機構全体を上下反転させる等）により、相対的な位置関係は反転ないし任意の角度に回動し得る。

　図１は、１つの実施の形態に係る位置決め固定装置のクランプ状態を示す断面図であり、図２は、図１におけるＩＩ－ＩＩ断面図である。なお、図２においては、図示の便宜上、連結部材２００およびボルト２００Ａを示していない。以下、図１中の上下方向を「鉛直方向」ないし「第１の方向」と称し、図１中の左右方向ないし紙面に垂直な方向を「水平方向」ないし「第２の方向」と称する場合がある。

　本実施の形態に係る位置決め固定装置は、図１，図２に示すように、ベース体１に固定された流体圧シリンダ１００と、ボルト２００Ａにより固定対象物２に取付けられた連結部材２００とを含む。

　位置決め固定装置は、固定対象物２をベース体１の基準座面（基準面）としての第１面１０に引き付けて固定する。固定対象物２とベース体１の第１面１０とが当接することにより、鉛直方向において、固定対象物２をベース体１に対して位置決めすることが可能である。

　固定対象物２の例としては、たとえば、切削加工に供するワークを取り付けるワークパレット、または金型などが挙げられるが、本技術における固定対象物２はこれらに限定されない。

　図１に示すように、流体圧シリンダ１００は、シリンダ本体１１０と、ピストン部材１２０と、係合具１３０と、ロッド部材１４０と、付勢部材１５０と、止め具１６０とを含む。

　シリンダ本体１１０は、大径部１１１と、小径部１１２と、孔部１１３と、段差面１１４とを含む。

　大径部１１１は、ベース体１の第２面２０（裏面）側から鉛直方向（第１の方向）に突出する。大径部１１１は、小径部１１２よりも大きな外径を有する。

　小径部１１２は、ベース体１に埋設される。より具体的には、小径部１１２は、第２面２０側からベース体１の嵌入孔３０に圧入される。シリンダ本体１１０の小径部１１２に隣接する領域においてベース体１の第１面１０と固定対象物２とが当接する。

　孔部１１３は、固定対象物２に対向するように、小径部１１２の上面に形成される。孔部１１３の内周面は、連結部材２００の外周面２１０と当接する。シリンダ本体１１０の孔部１１３と連結部材２００の外周面２１０とが当接することにより、水平方向（第２の方向）において、固定対象物２をベース体１に対して位置決めすることが可能である。水平方向の位置決めは、図１中の左右方向および紙面に垂直な方向の両方向の位置決めであってもよいし、上記二方向のうち一方向のみの位置決めであってもよい。また、本技術において水平方向（第２の方向）の位置決めは必須ではなく、鉛直方向（第１の方向）の位置決めのみを行う位置決め固定装置であってもよい。

　段差面１１４は、大径部１１１と小径部１１２との間に形成される。段差面１１４は、ベース体１の第２面２０に当接する。ベース体１に固定された固定対象物２に外力が作用したとき、その外力は、連結部材２００および係合具１３０を介してシリンダ本体１１０に伝達される。シリンダ本体１１０に伝達された外力は、段差面１１４を介してベース体１に伝達され得る。このように、段差面１１４を介して固定対象物２に作用する力をベース体１に伝達することができるため、特に、固定対象物２をベース体１から引き離す方向の外力が作用したとき、その外力をベース体１により受け止めて、固定対象物２の意図しない位置ずれ等を抑制することができる。

　シリンダ本体１１０の内部には、シリンダ室１１０Ａ（第１室）およびシリンダ室１１０Ｂ（第２室）とが形成されている。シリンダ室１１０Ａ，１１０Ｂは、ピストン部材１２０により区画されている。シリンダ室１１０Ａ，１１０Ｂは、シリンダ本体１１０の大径部１１１に形成されている。

　固定対象物２を固定（クランプ）するときは、シリンダ室１１０Ａに作動圧が供給される。固定対象物２の固定を解除（アンクランプ）するときは、シリンダ室１１０Ｂに作動圧が供給される。

　ピストン部材１２０は、シリンダ本体１１０の大径部１１１に嵌合される。ピストン部材１２０は環状の部材であり、その内周側にロッド部材１４０が嵌合される。ピストン部材１２０は、シリンダ室１１０Ａ，１１０Ｂに対して給排される作動媒体（典型的には作動エアであるが、これに限定されず、作動油であってもよい。）の圧力によって鉛直方向に往復駆動され得る。

　ピストン部材１２０は、シリンダ本体１１０の大径部１１１に嵌合される第１部分１２１と、シリンダ本体１１０の小径部１１２に嵌合される第２部分１２２とを含む。第１部分１２１と第２部分１２２との間には、ピストン部材１２０の内周側に形成された内部空間１１０Ｃからピストン部材１２０の外周側に形成されたシリンダ室１１０Ｂに達する貫通孔１２３が形成されている。

　係合具１３０は、連結部材２００の外周面に係合し、ピストン部材１２０の鉛直方向の往復動に伴って水平方向に動きながら連結部材２００を鉛直方向（ピストン部材１２０とは逆の方向）に駆動する。係合具１３０は、シリンダ本体１１０の小径部１１２に設けられる。

　図２に示すように、係合具１３０は、シリンダ本体１１０の周方向に並ぶように設けられた複数の鋼球を含む。連結部材２００は、複数の鋼球が各々接触可能に形成された係合凹部２２０を含む。係合凹部２２０は、連結部材２００の周方向全体にわたって、連結部材２００の外周面２１０が径方向内方に凹むように形成される。

　再び図１を参照して、ロッド部材１４０は、シリンダ本体１１０に固定される。ロッド部材１４０は、ピストン部材１２０の内周側に嵌合する。ロッド部材１４０には、ピストン部材１２０の内周側からシリンダ室１１０Ａ，１１０Ｂにエア（作動媒体）を供給可能なエア通路１４０Ａ，１４０Ｂ（作動媒体通路）が形成されている。エア通路１４０Ａは、シリンダ室１１０Ａと連通する。ピストン部材１２０に形成された貫通孔１２３は、エア通路１４０Ｂと連通する内部空間１１０Ｃとシリンダ室１１０Ｂとを連通させる。これにより、エア通路１４０Ｂは、シリンダ室１１０Ｂと連通する。

　エア通路１４０Ａ，１４０Ｂには、鉛直方向下方から作動エアが供給される。エア通路１４０Ａ，１４０Ｂは、入力ポートから鉛直方向に延びる部分と、径方向または斜め方向に延びてロッド部材１４０の外周に達する部分とを有する。エア通路１４０Ａ，１４０Ｂの入力ポートは、ロッド部材１４０の下面に形成され、その中心は、鉛直方向（第１の方向）からみて係合具１３０と重なる領域、または係合具１３０よりも内周側の領域に位置する。エア通路１４０Ａ，１４０Ｂに供給された作動エアは、鉛直方向（第１の方向）からみて係合具１３０よりも外周側の領域に達するシリンダ室１１０Ａ，１１０Ｂに供給される。

　ロッド部材１４０の先端側には、シリンダ本体１１０の小径部１１２に設けられた係合具１３０を保持する保持部１４１と、連結部材２００の先端側を受け入れる凹部１４２とが設けられている。

　付勢部材１５０は、ロック側（クランプ側）のシリンダ室１１０Ａに収納される。付勢部材１５０は、ピストン部材１２０を鉛直方向上方に付勢する。すなわち、付勢部材１５０は、固定対象物２が固定される方向にピストン部材１２０を付勢する。これにより、エア圧の供給が中断された場合にも、固定対象物２が位置決め固定された状態を維持することができる。

　止め具１６０は、シリンダ本体１１０に対してロッド部材１４０を固定するために設けられる。止め具１６０により、シリンダ本体１１０に対するロッド部材１４０の変位が規制される。

　シール部材１７１，１７２，１７３，１７４，１７５がシリンダ本体１１０の内部に設けられる。シール部材１７１は、シリンダ本体１１０の大径部１１１とピストン部材１２０の第１部分１２１との摺動部分に設けられる。シール部材１７２は、シリンダ本体１１０の小径部１１２とピストン部材１２０の第２部分１２２との摺動部分に設けられる。シール部材１７３は、ロッド部材１４０とシリンダ本体１１０の大径部１１１との嵌合部に設けられる。シール部材１７４，１７５は、各々、ピストン部材１２０の内周面とロッド部材１４０との摺動部分に設けられる。シール部材１７１は、シリンダ室１１０Ａ，１１０Ｂ間をシールする。シール部材１７２は、シリンダ室１１０Ｂとシリンダ本体１１０の外部との間をシールする。シール部材１７３は、シリンダ室１１０Ａとシリンダ本体１１０の外部との間をシールする。シール部材１７４は、シリンダ室１１０Ａと内部空間１１０Ｃとの間をシールする。シール部材１７５は、内部空間１１０Ｃとシリンダ本体１１０の外部との間をシールする。シール部材１７１，１７２，１７３，１７４，１７５は、たとえばＯリングからなる。

　上述のとおり、固定対象物２をベース体１に位置決め固定するときは、シリンダ室１１０Ａにエア圧を供給し、ピストン部材１２０を固定対象物２に接近する方向へ駆動し、係合具１３０を連結部材２００の係合凹部２２０に係合させる。これにより、係合具１３０を介して連結部材２００が鉛直方向下方に駆動される。この結果、固定対象物２がベース体１の第１面１０に当接して鉛直方向の位置決めが行われ、連結部材２００の外周面２１０がシリンダ本体１１０の孔部１１３の内周面に当接して水平方向の位置決めが行われる。

　図３は、係合具１３０周辺の拡大図である。図３に示すように、ピストン部材１２０の第２部分１２２には、固定対象物２に近づくにつれて径方向外方に傾斜するテーパ面１２２Ａが形成され、ロッド部材１４０の保持部１４１には、ピストン部材１２０のテーパ面１２２Ａとは逆向きに傾斜する先端面１４１Ａが形成される。

　シリンダ室１１０Ａにエア圧が供給されると、ピストン部材１２０が上方側（シリンダ本体１１０の小径部１１２側）に駆動される。ピストン部材１２０が上方側に駆動されると、ロッド部材１４０の保持部１４１に保持されていた係合具１３０が、テーパ面１２２Ａによって連結部材２００の径方向内側に押圧される。径方向内側に押圧された係合具１３０は、連結部材２００の係合凹部２２０に係合し、連結部材２００を鉛直方向下方に駆動する。

　これにより、固定対象物２が下方に押し下げられる。すなわち、ピストン部材１２０を固定対象物２に近づく方向へ駆動し、流体圧シリンダ１００の係合具１３０を連結部材２００の係合凹部２２０に係合させることによって固定対象物２をベース体１に固定する。

　固定対象物２は、ベース体１の第１面１０に当接するまで押し下げられる。第１面１０により、固定対象物２の鉛直方向（第１の方向）の位置決めが実現される。

　連結部材２００が下方に駆動されるとき、連結部材２００の外周面２１０がシリンダ本体１１０の孔部１１３に係合する。したがって、連結部材２００は、シリンダ本体１１０の孔部１１３によってガイドされながら下降する。これにより、固定対象物２の水平方向（第２の方向）の位置決めが実現される。

　図４，図５は、上述の位置決め固定装置のアンクランプ状態を示す断面図（図４は固定対象物２および連結部材２００、図５はベース体１および流体圧シリンダ１００）を示す断面図である。

　固定対象物２の位置決め固定を解除するときは、シリンダ室１１０Ｂにエア圧を供給し、ピストン部材１２０を固定対象物２から離間する方向へ駆動し、係合具１３０と連結部材２００の係合凹部２２０との係合を解除する。これにより、図４，図５に示すように、固定対象物２がベース体１から固定解除され、両者が分離可能となる。

　図６は、変形例に係る位置決め固定装置のクランプ状態を示す断面図である。図６の例では、連結部材２００を固定対象物２に固定するためのボルト２００Ａの取付方向が図１から図５の例とは異なる。

　図６には示されていないが、本変形例においても、上述したエア通路１４０Ａ，１４０Ｂ（作動媒体通路）がロッド部材１４０に形成されている。また、図６に示すように、ロッド部材１４０の下端から凹部１４２に達するエア通路１４０Ｃが形成されている。

　エア通路１４０Ｃから凹部１４２に供給されるエア（ブローエア）により、シリンダ本体１１０内部の清掃を行うことができる。また、エア通路１４０Ｃのエア圧を検知することにより、固定対象物２のベース体１への密着の検知を行うことも可能である。

　本実施の形態に係る位置決め固定装置においては、ピストン部材１２０の内周側に嵌合されるロッド部材１４０にエア通路１４０Ａ，１４０Ｂを設け、シリンダ室１１０Ａ，１１０Ｂの内周側から作動エアを供給することにより、流体圧シリンダ１００の下方に接続された配管から作動エアの給排を行うことができるので、ベース体１にエア通路を形成する場合と比較して、機構全体を小型化することが可能となる。

　ここで、連結部材２００を駆動する係合具１３０をシリンダ本体１１０の小径部１１２に設け、小径部１１２をベース体１の嵌入孔３０に圧入し、大径部１１１をベース体１の第２面２０側から突出させることにより、鉛直方向および水平方向において機構全体を小型化することが可能となる。

　また、ベース体１と固定対象物２とを直接密着させて位置決め固定することにより、鉛直方向において機構全体を小型化することが可能である。

　また、ピストン部材１２０を往復動させるシリンダ室１１０Ａ，１１０Ｂをシリンダ本体の大径部１１１に形成することにより、シリンダ面積を確保しながら機構全体の小型化を図ることができる。

　また、大径部１１１と小径部１１２との間の段差面１１４をベース体１の第２面２０に当接させることにより、固定対象物２に作用する外力をシリンダ本体１１０により受け止めることができるので、クランプ力を維持しながら機構全体の小型化を図ることができる。

　以上、本技術の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本技術の範囲は請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

　１　ベース体、２　固定対象物、１０　第１面、２０　第２面、３０　嵌入孔、１００　流体圧シリンダ、１１０　シリンダ本体、１１０Ａ，１１０Ｂ　シリンダ室、１１０Ｃ　内部空間、１１１　大径部、１１２　小径部、１１３　孔部、１１４　段差面、１２０　ピストン部材、１２１　第１部分、１２２　第２部分、１２２Ａ　テーパ面、１２３　貫通孔、１３０　係合具、１４０　ロッド部材、１４０Ａ，１４０Ｂ，１４０Ｃ　エア通路、１４１　保持部、１４１Ａ　先端面、１４２　凹部、１５０　付勢部材、１６０　止め具、１７１，１７２，１７３，１７４，１７５　シール部材、２００　連結部材、２００Ａ　ボルト、２１０　外周面、２２０　係合凹部。

Claims

　固定対象物をベース体の第１面に引き付けて固定するとともに、前記固定対象物を前記ベース体に対して位置決めすることが可能な位置決め固定装置であって、
　前記ベース体に固定された流体圧シリンダと、
　外周面を有し、前記固定対象物に取付け可能な連結部材とを備え、
　前記流体圧シリンダは、シリンダ本体と、前記シリンダ本体に対して第１の方向に往復動可能な環状のピストン部材と、前記連結部材の前記外周面に係合し、前記ピストン部材の往復動に伴って前記連結部材を前記第１の方向に駆動する係合具と、前記シリンダ本体に固定され、前記ピストン部材の内周側に嵌合するロッド部材とを含み、
　前記シリンダ本体は、前記ベース体に埋設される小径部と、前記ベース体における前記第１面と反対側の第２面側から前記第１の方向に突出し、前記小径部よりも大きな外径を有する大径部とを含み、
　前記係合具は前記シリンダ本体の前記小径部に設けられ、
　前記ピストン部材を往復動させるシリンダ室が前記シリンダ本体の前記大径部に形成され、
　前記ピストン部材の内周側から前記シリンダ室に作動媒体を供給可能な作動媒体通路が前記ロッド部材に形成され、
　前記係合具を介して前記連結部材を前記第１の方向に駆動することにより、前記固定対象物を前記ベース体の前記第１面に当接させて前記第１の方向の位置決めを行う、位置決め固定装置。
　前記シリンダ本体は、前記連結部材の前記外周面と当接する内周面を有する孔部をさらに含み、
　前記連結部材の前記外周面を前記孔部の前記内周面に当接させて前記第１の方向に直交する第２の方向の位置決めを行う、請求項１に記載の位置決め固定装置。
　前記ベース体は嵌入孔を有し、
　前記シリンダ本体の前記小径部は、前記第２面側から前記嵌入孔に圧入される、請求項１または請求項２に記載の位置決め固定装置。
　前記シリンダ本体における前記小径部と前記大径部との間に段差面が形成され、前記段差面は前記ベース体の前記第２面に当接する、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の位置決め固定装置。
　前記ベース体は、前記第１面における前記小径部に隣接する領域において前記固定対象物と当接する、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の位置決め固定装置。
　前記ピストン部材は、前記シリンダ本体の前記大径部を前記ベース体から遠い第１室と前記ベース体に近い第２室とに区画し、
　前記ピストン部材の内周側から外周側に達し、前記作動媒体通路と前記第２室とを連通させる貫通孔が前記ピストン部材に形成される、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の位置決め固定装置。
　前記ピストン部材は、前記シリンダ本体の前記大径部に嵌合される第１部分と、前記シリンダ本体の前記小径部に嵌合される第２部分とを含み、前記第１部分と前記第２部分との間に前記貫通孔が形成される、請求項６に記載の位置決め固定装置。
　前記ロッド部材は、前記シリンダ本体の前記小径部に設けられた前記係合具を保持する保持部を含む、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の位置決め固定装置。
　前記係合具は、前記シリンダ本体の周方向に並ぶように設けられた複数の鋼球を含み、
　前記連結部材は、前記複数の鋼球が各々接触可能に形成された係合凹部を含む、請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の位置決め固定装置。
　前記ピストン部材を前記固定対象物に接近する方向へ駆動し、前記複数の鋼球を前記係合凹部に各々係合させることによって前記固定対象物を前記ベース体に位置決め固定し、
　前記ピストン部材を前記固定対象物から離間する方向へ駆動し、前記複数の鋼球を前記係合凹部から各々係合解除させることによって前記固定対象物を前記ベース体から固定解除する、請求項９に記載の位置決め固定装置。
　前記ロッド部材は、前記連結部材の先端側を受け入れる凹部を有する、請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の位置決め固定装置。
　前記シリンダ室に収納され、前記固定対象物が固定される方向に前記ピストン部材を付勢する付勢部材をさらに備えた、請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の位置決め固定装置。