WO2024190069A1 - プローブ - Google Patents

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    • G01R31/2889—Interfaces, e.g. between probe and tester

Definitions

  • the present invention relates to a probe.
  • one object of the present invention is to stably press the plunger against the inner wall of the barrel.
  • One aspect of the present invention is a probe comprising a first plunger, a barrel that holds the first plunger in a movable state, and a coil spring that biases the first plunger, the coil spring having a first coil portion, a second coil portion, and a third coil portion, the first coil portion being located at one end of the third coil portion and in contact with the first plunger, and the second coil portion being located at the other end of the third coil portion, and in a state where no load is applied to the coil spring, at least one of a first plane perpendicular to the first central axis of the first coil portion and a second plane perpendicular to the second central axis of the second coil portion is non-parallel to a third plane perpendicular to the third central axis of the third coil portion.
  • the above aspect of the present invention allows the plunger to be stably pressed against the inner wall of the barrel.
  • FIG. 4 is a configuration diagram of the probe before a force is applied to a first plunger in the embodiment.
  • FIG. FIG. 2 is an exploded view of the probe according to the embodiment.
  • FIG. 2 is a side view of the coil spring of the present embodiment.
  • 4 is a configuration diagram of the probe in the present embodiment in a state where a force is applied to a first plunger.
  • the barrel 13 is shown in cross section, and the other members are shown in side view.
  • the direction in which the plunger and barrel are aligned is defined as the x direction
  • the direction perpendicular to the x direction is defined as the y direction.
  • the direction in which the first plunger 11, barrel 13, and second plunger 12 are aligned is the x direction
  • the radial direction of each of the first plunger 11, barrel 13, and second plunger 12 is the y direction.
  • the directions indicated by the arrows on the x and y axes are defined as the leftward and upward directions, respectively.
  • the probe 1 in this embodiment includes a first plunger (terminal on the substrate side of the inspection device) 11, a second plunger (terminal on the inspection target side) 12, a barrel 13, and a coil spring 14.
  • the probe 1 is a measuring device used for semiconductor inspection (see FIGS. 1 and 2).
  • the first plunger 11, the second plunger 12, the barrel 13, and the coil spring 14 are made of conductive materials.
  • the probe 1 is configured such that the coil spring 14 in the barrel 13 biases the first plunger 11 in a direction to protrude from the barrel 13.
  • the first plunger 11 has a first contact portion 11a and a first base end portion 11b.
  • the radial size of the first contact portion 11a is smaller than the radial size of the first base end portion 11b.
  • the end (first tip a1) of the first contact portion 11a protrudes from the inside to the outside of the barrel 13. That is, at least a part of the first contact portion 11a is exposed from the barrel 13.
  • the first base end 11b is held by the barrel 13 in a state in which it can move in the x direction.
  • the side of the first contact portion 11a that contacts the first base end 11b (the left side of the first contact portion 11a in the x direction) is located inside the barrel 13.
  • the end (second tip a2) on the left side in the x direction of the first base end 11b is formed with a first protrusion 11c that protrudes to the side where the second plunger 12 is located (the left side in the x direction).
  • the radial size of the first protrusion 11c is smaller than the radial size of the second tip a2.
  • the second tip a2 has a flat shape in the radial direction.
  • the first coil portion 14a of the coil spring 14 is inserted into the first protrusion 11c.
  • the second plunger 12 has a second contact portion 12a and a second base end portion 12b.
  • the radial size of the second contact portion 12a is smaller than the radial size of the second base end portion 12b.
  • the end (third tip a3) of the second contact portion 12a protrudes from the inside to the outside of the barrel 13. That is, at least a part of the second contact portion 12a is exposed from the barrel 13.
  • the second base end 12b is held by the barrel 13 in a state where it cannot move relative to the barrel 13.
  • the end (fourth tip a4) on the right side in the x direction of the second base end 12b is formed with a second protrusion 12c that protrudes to the side where the first plunger 11 is located (right side in the x direction).
  • the radial size of the second protrusion 12c is smaller than the radial size of the fourth tip a4.
  • the fourth tip a4 is a flat shape in the radial direction.
  • the second coil portion 14b of the coil spring 14 is inserted into the second protrusion 12c.
  • the second base end 12b has a first recessed region 12b1 whose outer diameter is smaller than that of the adjacent region.
  • the barrel 13 has a main body portion 13a having a cylindrical shape.
  • the end (fifth tip a5) of the main body 13a that holds the first plunger 11 is bent toward the inside of the cylindrical shape, forming a narrowed region (first convex region 13a1) with a smaller inner diameter.
  • the first convex region 13a1 prevents the first base end 11b of the first plunger 11 from slipping out to the right in the x direction.
  • the first convex region 13a1 may be formed around the entire circumference of the fifth tip a5, or may be formed on only a part of the fifth tip a5.
  • a narrowed area (second convex area 13a2) that protrudes toward the inside of the cylindrical shape and has a smaller inner diameter is formed.
  • the first recessed area 12b1 of the second base end 12b of the second plunger 12 is hooked onto the second convex area 13a2, and the second plunger 12 is fixed to the barrel 13.
  • the second convex area 13a2 may be formed around the entire circumference of the inner wall of the main body 13a, or may be formed on only a part of the inner wall of the main body 13a.
  • the coil spring 14 is located in the barrel 13 and biases the first plunger 11 in the x-direction, causing the first contact portion 11a of the first plunger 11 to protrude from the inside to the outside of the barrel 13.
  • the coil spring 14 has a first coil portion 14a, a second coil portion 14b, and a third coil portion 14c (see FIGS. 3 and 4).
  • the first coil portion 14a, the second coil portion 14b, and the third coil portion 14c are integrally formed.
  • the first coil portion 14a is located at one end of the third coil portion 14c and contacts the first plunger 11.
  • the first coil portion 14a includes a seat winding and is configured with a closed end.
  • the second coil portion 14b is located at the other end of the third coil portion 14c and contacts the second plunger 12.
  • the second coil portion 14b includes a seat winding and is configured with a closed end.
  • the inner diameters of the first coil portion 14a and the second coil portion 14b are smaller than the inner diameter of the third coil portion 14c.
  • the third coil portion 14c is deflected more greatly in response to a load than the first coil portion 14a and the second coil portion 14b.
  • the third coil portion 14c is formed of a generally cylindrical spring whose inner diameter at the end portion is smaller than the inner diameter at the center portion.
  • the outer diameters of the first coil portion 14a, the second coil portion 14b, and the third coil portion 14c are smaller than the inner diameter of the barrel 13.
  • the first plane E1 perpendicular to the central axis (first central axis LX1) of the first coil portion 14a forms a predetermined angle (first angle ⁇ 1) less than 90 degrees with the central axis (third central axis LX3) of the third coil portion 14c. That is, the first plane E1 is not parallel to the third plane E3 perpendicular to the third central axis LX3. In other words, the first plane E1 is inclined with respect to the third plane E3. Since the first plane E1 is inclined with respect to the third plane E3, the first central axis LX1 extends in a direction different from the direction in which the third central axis LX3 extends (x direction). In addition, the first central axis LX1 intersects with the end face of the first coil portion 14a at a position shifted from the area through which the third central axis LX3 passes on the end face of the first coil portion 14a.
  • the second plane E2 perpendicular to the central axis (second central axis LX2) of the second coil portion 14b forms a predetermined angle (second angle ⁇ 2) less than 90 degrees with the third central axis LX3. That is, the second plane E2 is not parallel to the third plane E3 perpendicular to the third central axis LX3. In other words, the second plane E2 is inclined with respect to the third plane E3. Since the second plane E2 is inclined with respect to the third plane E3, the second central axis LX2 extends in a direction different from the direction in which the third central axis LX3 extends (x direction). In addition, the second central axis LX2 intersects with the end face of the second coil portion 14b at a position shifted from the area through which the third central axis LX3 passes on the end face of the second coil portion 14b.
  • first angle ⁇ 1 and the second angle ⁇ 2 are the same angle between 75 degrees and 85 degrees.
  • the winding pitch of the coil spring 14 is formed as follows:
  • At least one of the pitch of the windings close to the first coil portion 14a of the third coil portion 14c (11th pitch P11) and the pitch between the third coil portion 14c and the first coil portion 14a (12th pitch P12) on one side in the y direction (e.g., the upper side in the y direction) is narrower than the pitch of the other region (the pitch of the region of the third coil portion 14c away from the first coil portion 14a and the second coil portion 14b (3rd pitch P3)).
  • at least one of the 11th pitch P11 and the 12th pitch P12 on the other side in the y direction is wider than the third pitch P3.
  • At least one of the pitch of the winding of the third coil portion 14c close to the second coil portion 14b (21st pitch P21) and the pitch between the third coil portion 14c and the second coil portion 14b (22nd pitch P22) on one side of the y direction is narrower than the third pitch P3. And/or at least one of the pitches of the 21st pitch P21 and the 22nd pitch P22 on the other side of the y direction is wider than the third pitch P3.
  • the coil spring 14 is formed so that on one side of the y direction, the first plane E1 and the third plane E3 approach each other, and on the other side of the y direction, the first plane E1 and the third plane E3 move away from each other, and on one side of the y direction, the second plane E2 and the third plane E3 approach each other, and on the other side of the y direction, the second plane E2 and the third plane E3 move away from each other, i.e., the first plane E1 and the second plane E2 intersect to form an approximate V-shape.
  • the coil spring 14 be formed so that the first plane E1 and the second plane E2 are in a line-symmetrical positional relationship, i.e., so that the first angle ⁇ 1 and the second angle ⁇ 2 are equal.
  • first plane E1 and the second plane E2 are not parallel to the third plane E3
  • other positional relationships are also possible, such as the first plane E1 and the second plane E2 being parallel.
  • a second convex region 13a2 is formed by a punch or the like.
  • the first recessed region 12b1 of the second base end 12b fits into the second convex region 13a2 of the body portion 13a of the barrel 13, and the second plunger 12 is fixed to the barrel 13.
  • the probe 1 of this embodiment is formed.
  • the force applied to the first plunger 11 and the second plunger 12 pushes the first plunger 11 into the barrel 13.
  • a compressive force is applied to the coil spring 14.
  • the third coil portion 14c contracts in the x direction and is partially displaced in the y direction, deforming into an arched or serpentine shape. Because the third coil portion 14c deforms into an arched or serpentine shape, a portion of the third coil portion 14c comes into contact with the inner wall of the barrel 13.
  • the first coil portion 14a pushes the first plunger 11 in the x direction.
  • the first coil portion 14a also pushes the first plunger 11 in the y direction, in the opposite direction to the displacement of the third coil portion 14c (applies lateral pressure).
  • the first coil portion 14a pushes the first plunger 11 in the y direction, the first base end portion 11b is pressed against the inner wall of the barrel 13, causing the first plunger 11 to become tilted.
  • the first plunger 11 is electrically connected to the second plunger 12 via the barrel 13.
  • the first plunger 11 can be stably pressed against the inner wall of the barrel 13, making it easier to maintain the first plunger 11 electrically connected to the barrel 13. And it makes it easier to maintain the first plunger 11 electrically connected to the second plunger 12 via the barrel 13.
  • the coil spring 14 can be deformed into an arched or serpentine shape, so that a portion of the coil spring 14 can easily come into contact with the inner wall of the barrel 13. Even if the second plane E2 is inclined with respect to the third plane E3, a portion of the coil spring 14 can be easily brought into contact with the inner wall of the barrel 13. Therefore, as long as at least one of the first plane E1 and the second plane E2 is inclined with respect to the third plane E3, the first plunger 11 can be pressed against the inner wall of the barrel 13 in a stable manner.
  • the first plunger 11 can be pressed against the inner wall of the barrel 13 more stably in a configuration in which both the first plane E1 and the second plane E2 are inclined with respect to the third plane E3 than in a configuration in which only one of the first plane E1 and the second plane E2 is inclined with respect to the third plane E3.
  • the coil spring 14 is easier to form than in a configuration in which the first plane E1 and the second plane E2 are not line-symmetrically positioned. Also, the coil spring 14 can be inserted into the barrel 13 without considering the insertion direction.
  • the first protrusion 11c functions as a spring support for the coil spring 14 and restricts the first coil portion 14a of the coil spring 14 from being significantly displaced in the radial direction (such as the y direction). By restricting the first coil portion 14a from being significantly displaced in the radial direction, the coil spring 14 can reliably press the first plunger 11 against the inner wall of the barrel 13.
  • the second plunger 12 In the present embodiment, an example has been described in which the second plunger 12 is fixed to the barrel 13. However, the second plunger 12 may be held in the barrel 13 in a state in which it is movable in the x direction. When the second plunger 12 is held in the barrel 13 in a state in which it is movable in the x direction, the coil spring 14 of the present embodiment can also stably press the second plunger 12 against the inner wall of the barrel 13.
  • first coil portion 14a and the second coil portion 14b Application examples of the first coil portion 14a and the second coil portion 14b
  • the first coil portion 14a and the second coil portion 14b include end turns and are configured with closed ends.
  • at least one of the first coil portion 14a and the second coil portion 14b may be configured with an open end without including an end turn.
  • Aspect 1 comprises a first plunger, a barrel that holds the first plunger in a movably state, and a coil spring that biases the first plunger, wherein the coil spring has a first coil portion, a second coil portion, and a third coil portion, wherein the first coil portion is located at one end of the third coil portion and is in contact with the first plunger, and the second coil portion is located at the other end of the third coil portion, and when no load is applied to the coil spring, at least one of a first plane perpendicular to a first central axis of the first coil portion and a second plane perpendicular to a second central axis of the second coil portion is non-parallel to a third plane perpendicular to a third central axis of the third coil portion.
  • the coil spring when a compressive force is applied to the coil spring, the coil spring deforms into an arched or serpentine shape, and a portion of the coil spring is likely to come into contact with the inner wall of the barrel. Because a portion of the coil spring comes into contact with the inner wall of the barrel, the force with which the first coil portion presses the first plunger against the inner wall of the barrel increases, making it easier to maintain contact between the first plunger and the barrel. In other words, the first plunger can be stably pressed against the inner wall of the barrel, making it easier to maintain the first plunger electrically connected to the barrel.
  • the coil spring is formed in a positional relationship in which the first plane and the second plane intersect with each other when no load is applied to the coil spring.
  • the radial component of the biasing force of the coil spring is large, and compared to a configuration in which the first plane and the second plane do not intersect, the end face of the first coil portion can be pressed against the barrel of the first plunger more stably.
  • the coil spring is formed in a positional relationship in which the first plane and the second plane are line-symmetrical when no load is applied to the coil spring.
  • the above-mentioned embodiment makes it easier to form the coil spring compared to a configuration in which the coil spring is formed in a positional relationship in which the first plane and the second plane are not line-symmetrical.
  • the coil spring can be inserted into the barrel without considering the insertion direction.
  • the first plunger is formed with a protrusion into which the first coil portion is inserted.
  • the protrusion functions as a spring support for the coil spring, restricting the first coil portion of the coil spring from being displaced significantly in the radial direction.
  • the coil spring can reliably press the first plunger against the inner wall of the barrel.

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Abstract

プランジャーを安定的にバレルの内壁に押しつける。　プローブは、第１プランジャーと、前記第１プランジャーを移動可能な状態で保持するバレルと、前記第１プランジャーを付勢するコイルバネと、を備え、前記コイルバネは、第１コイル部と、第２コイル部と、第３コイル部とを有し、前記第１コイル部は、前記第３コイル部の端部の一方に位置し、前記第１プランジャーと接し、前記第２コイル部は、前記第３コイル部の端部の他方に位置し、前記コイルバネに荷重負荷を与えない状態で、前記第１コイル部の第１中心軸に垂直な第１平面と、前記第２コイル部の第２中心軸に垂直な第２平面の少なくとも一方は、前記第３コイル部の第３中心軸と垂直な第３平面と非平行である。

Description

プローブ
　本発明は、プローブに関する。
　従来、特許文献１のように、検査用ソケットなどに取り付けられるプローブなどが提案されている。
特開２０２０－１６５８０３号公報
　しかしながら、プランジャーをバレルの内壁に押しつける力が十分でない。
　したがって本発明の目的の一例は、プランジャーを安定的にバレルの内壁に押しつけることである。本発明の他の目的は、本明細書の記載から明らかになるであろう。
　本発明の一態様は、第１プランジャーと、前記第１プランジャーを移動可能な状態で保持するバレルと、前記第１プランジャーを付勢するコイルバネと、を備え、前記コイルバネは、第１コイル部と、第２コイル部と、第３コイル部とを有し、前記第１コイル部は、前記第３コイル部の端部の一方に位置し、前記第１プランジャーと接し、前記第２コイル部は、前記第３コイル部の端部の他方に位置し、前記コイルバネに荷重負荷を与えない状態で、前記第１コイル部の第１中心軸に垂直な第１平面と、前記第２コイル部の第２中心軸に垂直な第２平面の少なくとも一方は、前記第３コイル部の第３中心軸と垂直な第３平面と非平行である、プローブである。
　本発明の上記態様によれば、プランジャーを安定的にバレルの内壁に押しつけることができる。
本実施形態における、第１プランジャーに力が加えられる前のプローブの構成図である。 本実施形態のプローブの分解構成図である。 本実施形態のコイルバネの側面図である。 本実施形態の第１プランジャーに力が加えられた状態のプローブの構成図である。
　以下、本実施形態について、図１～図４を用いて説明する。なお、実施形態は、以下の実施形態に限られるものではない。また、一つの実施形態に記載した内容は、原則として他の実施形態にも同様に適用される。また、各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが出来る。
　なお、図１、図２、図４では、バレル１３は断面を示しており、他の部材は側面を示している。また、方向を説明するため、プランジャーとバレルが並ぶ方向をｘ方向と定義し、ｘ方向に垂直な方向をｙ方向と定義する。
　具体的には、図１～図４に示すように、本実施形態では、第１プランジャー１１とバレル１３と第２プランジャー１２が並ぶ方向がｘ方向であり、第１プランジャー１１、バレル１３、第２プランジャー１２の各々の径方向がｙ方向である。また、図１～図４において、ｘｙ軸のそれぞれの矢印が指し示す方向をそれぞれ左方向、上方向と定義する。
　（プローブ１）
　本実施形態におけるプローブ１は、第１プランジャー（検査装置の基板側端子）１１、第２プランジャー（検査対象物側端子）１２、バレル１３、コイルバネ１４を備える。プローブ１は、半導体検査に用いられる計測機器である（図１、図２参照）。第１プランジャー１１、第２プランジャー１２、バレル１３、コイルバネ１４は、導電性の部材で構成される。プローブ１は、バレル１３内のコイルバネ１４で第１プランジャー１１をバレル１３から突出させる向きに付勢する構成である。
　（第１プランジャー１１）
　第１プランジャー１１は、第１接触部１１ａ、第１基端部１１ｂを有する。第１接触部１１ａの径方向の大きさは、第１基端部１１ｂの径方向の大きさよりも小さい。
　第１接触部１１ａの端部（第１先端部ａ１）は、バレル１３の内側から外側に突出する。すなわち、第１接触部１１ａの少なくとも一部は、バレル１３から露出する。第１基端部１１ｂは、ｘ方向に移動可能な状態で、バレル１３に保持される。第１接触部１１ａの第１基端部１１ｂと接する側（第１接触部１１ａのｘ方向左側）は、バレル１３の内側に位置する。第１基端部１１ｂのｘ方向左側の端部（第２先端部ａ２）には、第２プランジャー１２がある側（ｘ方向左側）に突出する第１凸部１１ｃが形成される。第１凸部１１ｃの径方向の大きさは、第２先端部ａ２の径方向の大きさよりも小さい。第２先端部ａ２は、径方向に平面形状である。第１凸部１１ｃには、コイルバネ１４の第１コイル部１４ａが挿入される。
　（第２プランジャー１２）
　第２プランジャー１２は、第２接触部１２ａ、第２基端部１２ｂを有する。第２接触部１２ａの径方向の大きさは、第２基端部１２ｂの径方向の大きさよりも小さい。
　第２接触部１２ａの端部（第３先端部ａ３）は、バレル１３の内側から外側に突出する。すなわち、第２接触部１２ａの少なくとも一部は、バレル１３から露出する。第２基端部１２ｂは、バレル１３に対して移動不能な状態で、バレル１３に保持される。第２基端部１２ｂのｘ方向右側の端部（第４先端部ａ４）には、第１プランジャー１１がある側（ｘ方向右側）に突出する第２凸部１２ｃが形成される。第２凸部１２ｃの径方向の大きさは、第４先端部ａ４の径方向の大きさよりも小さい。第４先端部ａ４は、径方向に平面形状である。第２凸部１２ｃには、コイルバネ１４の第２コイル部１４ｂが挿入される。第２基端部１２ｂは、隣接する領域よりも外径が細くなる第１凹み領域１２ｂ１を有する。
　（バレル１３）
　バレル１３は、筒形状を有する本体部１３ａを有する。
　本体部１３ａにおける第１プランジャー１１を保持する側の端部（第５先端部ａ５）には、筒形状の内側に向かって屈折し、内径が小さくなる狭窄領域（第１凸領域１３ａ１）が形成される。第１凸領域１３ａ１により、第１プランジャー１１の第１基端部１１ｂがｘ方向右側に抜けることが防止される。なお、第１凸領域１３ａ１は、第５先端部ａ５の全周に亘って形成されてもよいし、第５先端部ａ５の一部に形成されてもよい。
　本体部１３ａにおける第２プランジャー１２の第２基端部１２ｂを収容する領域には、筒形状の内側に向かって突出し、内径が小さくなる狭窄領域（第２凸領域１３ａ２）が形成される。第２凸領域１３ａ２に、第２プランジャー１２の第２基端部１２ｂの第１凹み領域１２ｂ１が掛け止めされ、第２プランジャー１２がバレル１３に固定される。なお、第２凸領域１３ａ２は、本体部１３ａの内壁の全周に亘って形成されてもよいし、本体部１３ａの内壁の一部に形成されてもよい。
　（コイルバネ１４）
　コイルバネ１４は、バレル１３内に位置し、第１プランジャー１１をｘ方向に付勢し、第１プランジャー１１の第１接触部１１ａをバレル１３の内側から外側に突出させる。コイルバネ１４は、第１コイル部１４ａ、第２コイル部１４ｂ、第３コイル部１４ｃを有する（図３、図４参照）。第１コイル部１４ａと第２コイル部１４ｂと第３コイル部１４ｃは、一体的に構成される。第１コイル部１４ａは、第３コイル部１４ｃの端部の一方に位置し、第１プランジャー１１と接する。第１コイル部１４ａは、座巻を含み、クローズドエンドで構成される。第２コイル部１４ｂは、第３コイル部１４ｃの端部の他方に位置し、第２プランジャー１２と接する。第２コイル部１４ｂは、座巻を含み、クローズドエンドで構成される。第１コイル部１４ａと第２コイル部１４ｂの内径は、第３コイル部１４ｃの内径よりも小さい。第３コイル部１４ｃは、第１コイル部１４ａと第２コイル部１４ｂと比べて、荷重負荷に応じて大きく撓む。第３コイル部１４ｃは、端部の内径が中心部の内径よりも細い略たる型形状のバネで構成される。第１コイル部１４ａと第２コイル部１４ｂと第３コイル部１４ｃの外径は、バレル１３の内径よりも小さい。
　コイルバネ１４に荷重負荷を与えない状態で、第１コイル部１４ａの中心軸（第１中心軸ＬＸ１）に垂直な第１平面Ｅ１は、第３コイル部１４ｃの中心軸（第３中心軸ＬＸ３）と９０度未満の所定角度（第１角度θ１）をなす。すなわち、第１平面Ｅ１は、第３中心軸ＬＸ３と垂直な第３平面Ｅ３と非平行である。言い換えると、第１平面Ｅ１は、第３平面Ｅ３に対して傾斜する。第１平面Ｅ１は、第３平面Ｅ３に対して傾斜するため、第１中心軸ＬＸ１は、第３中心軸ＬＸ３が延びる方向（ｘ方向）と異なる方向に延びる。また、第１コイル部１４ａの端面における第３中心軸ＬＸ３が通る領域とずれた位置で、第１中心軸ＬＸ１は第１コイル部１４ａの端面と交差する。
　コイルバネ１４に荷重負荷を与えない状態で、第２コイル部１４ｂの中心軸（第２中心軸ＬＸ２）に垂直な第２平面Ｅ２は、第３中心軸ＬＸ３と９０度未満の所定角度（第２角度θ２）をなす。すなわち、第２平面Ｅ２は、第３中心軸ＬＸ３と垂直な第３平面Ｅ３と非平行である。言い換えると、第２平面Ｅ２は、第３平面Ｅ３に対して傾斜する。第２平面Ｅ２は、第３平面Ｅ３に対して傾斜するため、第２中心軸ＬＸ２は、第３中心軸ＬＸ３が延びる方向（ｘ方向）と異なる方向に延びる。また、第２コイル部１４ｂの端面における第３中心軸ＬＸ３が通る領域とずれた位置で、第２中心軸ＬＸ２は第２コイル部１４ｂの端面と交差する。
　本実施形態では、第１角度θ１と第２角度θ２が７５度から８５度の間の同じ角度である例を示す。
　コイルバネ１４の巻き線のピッチは、以下のように形成される。
　ｙ方向の一方（例えば、ｙ方向上側）における、第３コイル部１４ｃの第１コイル部１４ａに近い巻き線のピッチ（第１１ピッチＰ１１）と、第３コイル部１４ｃと第１コイル部１４ａの間のピッチ（第１２ピッチＰ１２）の少なくとも一方が、他の領域のピッチ（第３コイル部１４ｃの第１コイル部１４ａ及び第２コイル部１４ｂから離れた領域のピッチ（第３ピッチＰ３））よりも狭い。そして／若しくは、ｙ方向の他方（例えば、ｙ方向下側）における、第１１ピッチＰ１１と第１２ピッチＰ１２の少なくとも一方が、第３ピッチＰ３よりも広い。
　ｙ方向の一方における、第３コイル部１４ｃの第２コイル部１４ｂに近い巻き線のピッチ（第２１ピッチＰ２１）と、第３コイル部１４ｃと第２コイル部１４ｂの間のピッチ（第２２ピッチＰ２２）の少なくとも一方が、第３ピッチＰ３よりも狭い。そして／若しくは、ｙ方向の他方における、第２１ピッチＰ２１と第２２ピッチＰ２２のピッチの少なくとも一方が、第３ピッチＰ３よりも広い。
　本実施形態（図３参照）では、ｙ方向の一方における第１１ピッチＰ１１と第１２ピッチＰ１２が、第３ピッチＰ３よりも狭く、ｙ方向の一方における第２１ピッチＰ２１と第２２ピッチＰ２２が、第３ピッチＰ３よりも狭い例を示す。
　ｙ方向の一方で、第１平面Ｅ１と第３平面Ｅ３とが近づき、ｙ方向の他方で、第１平面Ｅ１と第３平面Ｅ３とが遠ざかり、ｙ方向の一方で、第２平面Ｅ２と第３平面Ｅ３とが近づき、ｙ方向の他方で、第２平面Ｅ２と第３平面Ｅ３とが遠ざかるように、すなわち、第１平面Ｅ１と第２平面Ｅ２とが交差し、略Ｖ字を形成する位置関係で、コイルバネ１４が形成されることが望ましい。
　特に、第１平面Ｅ１と第２平面Ｅ２が線対称となる位置関係、すなわち、第１角度θ１と第２角度θ２が等しくなるように、コイルバネ１４が形成されるのが望ましい。
　ただし、第１平面Ｅ１と第２平面Ｅ２の少なくとも一方が第３平面Ｅ３と非平行であればよく、第１平面Ｅ１と第２平面Ｅ２とが平行になるなど、他の位置関係であってもよい。
　（第１プランジャー１１のバレル１３への取り付け）
　第１プランジャー１１の第１基端部１１ｂの第２先端部ａ２が、バレル１３の本体部１３ａの第１凸領域１３ａ１がある側の端部（第５先端部ａ５）から挿入される。なお、この際にはバレル１３には第１凸領域１３ａ１と第２凸領域１３ａ２は形成されていない。バレル１３の本体部１３ａに第１基端部１１ｂが完全に挿入されると、カシメ加工などにより、第１凸領域１３ａ１が形成される。
　（第２プランジャー１２のバレル１３への取り付け）
　第１プランジャー１１がバレル１３に取り付けられた後、コイルバネ１４が、バレルの本体部における第２プランジャーを保持する側の端部（第６先端部ａ６）から挿入され、続いて、第２プランジャー１２の第２基端部１２ｂが、第６先端部ａ６から挿入される。第１プランジャー１１の第１凸部１１ｃには、コイルバネ１４の第１コイル部１４ａが挿入され、第２プランジャー１２の第２凸部１２ｃには、コイルバネ１４の第２コイル部１４ｂが挿入される。
　第２プランジャー１２の挿入後に、ポンチなどによって、第２凸領域１３ａ２が形成される。第２基端部１２ｂの第１凹み領域１２ｂ１と、バレル１３の本体部１３ａの第２凸領域１３ａ２とが嵌合し、第２プランジャー１２がバレル１３に固定される。第２プランジャー１２がバレル１３に固定されることにより、本実施形態のプローブ１が形成される。
　（動作手順）
　プローブ１が検査用ソケット（不図示）に取り付けられ、プローブ１の第１プランジャー１１の第１接触部１１ａの第１先端部ａ１が検査装置の基板１００に接触すると、プローブ１が検査対象物側に持ち上がる。その後、検査対象物側から第２プランジャー１２に力が加えられる（図４参照）。
　第１プランジャー１１と第２プランジャー１２に加えられる力によって、第１プランジャー１１がバレル１３の内部に押し込められる。コイルバネ１４には、圧縮する力が加えられる。第３コイル部１４ｃは、ｘ方向に縮むと共に、一部がｙ方向に変位し、アーチ形状若しくは蛇行形状に変形する。第３コイル部１４ｃはアーチ形状若しくは蛇行形状に変形するため、第３コイル部１４ｃの一部は、バレル１３の内壁に接触する。第１コイル部１４ａは、ｘ方向に第１プランジャー１１を押す。また、第１コイル部１４ａは、ｙ方向であって第３コイル部１４ｃが変位した方と反対方向に第１プランジャー１１を押す（側圧を与える）。第１コイル部１４ａが第１プランジャー１１をｙ方向に押すため、第１基端部１１ｂがバレル１３の内壁に押しつけられ、第１プランジャー１１が傾いた状態になる。第１プランジャー１１が傾いた状態になることで、第１プランジャー１１は、バレル１３を介して、第２プランジャー１２と電気的に接続した状態になる。
　（端部が傾いたコイルバネ１４を用いたことの効果）
　第１平面Ｅ１が第３平面Ｅ３に対して傾斜しているため、第１平面Ｅ１と第３平面Ｅ３とが平行である形態に比べて、コイルバネ１４にｘ方向の圧縮力が加わった時に、コイルバネ１４がアーチ形状若しくは蛇行形状に変形して一部がバレル１３の内壁に接触しやすい。
　第１平面Ｅ１が第３平面Ｅ３に対して傾斜していることでバネ１４の一部がバレル１３の内壁に接触しやすいため、第１コイル部１４ａが第１プランジャー１１をバレル１３の内壁に押しつける力が強くなり、第１プランジャー１１とバレル１３との接触状態の維持が容易になる。すなわち、第１プランジャー１１を安定的にバレル１３の内壁に押しつけることが出来、第１プランジャー１１がバレル１３と電気的に接続した状態の維持が容易になる。そして、第１プランジャー１１がバレル１３を介して第２プランジャー１２と電気的に接続した状態の維持が容易になる。
　なお、第２平面Ｅ２が第３平面Ｅ３に対して傾斜していてもコイルバネ１４がアーチ形状若しくは蛇行形状に変形して一部をバレル１３の内壁に接触しやすく出来る。第２平面Ｅ２が第３平面Ｅ３に対して傾斜していてもコイルバネ１４の一部をバレル１３の内壁に接触しやすく出来るため、第１平面Ｅ１と第２平面Ｅ２の少なくとも一方が第３平面Ｅ３に対して傾斜していれば、第１プランジャー１１を安定的にバレル１３の内壁に押しつけることが出来る。ただし、第１平面Ｅ１と第２平面Ｅ２の両方が、第３平面Ｅ３に対して傾斜している形態の方が、第１平面Ｅ１と第２平面Ｅ２の一方だけが、第３平面Ｅ３に対して傾斜している形態よりも、第１プランジャー１１をより安定的にバレル１３の内壁に押しつけることが出来る。
　（第１平面Ｅ１と第２平面Ｅ２とが交差する位置関係でコイルバネ１４が形成されることの効果）
　コイルバネ１４による付勢力の径方向成分が大きくなり、第１平面Ｅ１と第２平面Ｅ２とが交差しない形態と比べて、第１コイル部１４ａの端面が、第１プランジャー１１のバレル１３への押しつけを安定的に出来る。
　（第１平面Ｅ１と第２平面Ｅ２とが線対称となる位置関係でコイルバネ１４が形成されることの効果）
　第１平面Ｅ１と第２平面Ｅ２とが線対称でない位置関係でコイルバネ１４が形成される形態に比べて、コイルバネ１４を形成しやすい。また、挿入する向きを考慮せずに、コイルバネ１４をバレル１３に挿入出来る。
　（第１凸部１１ｃを設けたことの効果）
　第１凸部１１ｃが、コイルバネ１４のバネ受けとして機能し、コイルバネ１４の第１コイル部１４ａが径方向（ｙ方向など）に大きくずれることを制限する。第１コイル部１４ａが径方向に大きくずれることが制限されることにより、コイルバネ１４によって確実に第１プランジャー１１をバレル１３の内壁に押しつけることが可能になる。
　（第２プランジャー１２の応用例）
　本実施形態では、第２プランジャー１２がバレル１３に固定される例を説明した。しかしながら、第２プランジャー１２がｘ方向に移動可能な状態で、バレル１３に保持されてもよい。第２プランジャー１２がｘ方向に移動可能な状態で、バレル１３に保持されている場合、本実施形態のコイルバネ１４によって、第２プランジャー１２も安定的にバレル１３の内壁に押しつけることが出来る。
　（第１コイル部１４ａ、第２コイル部１４ｂの応用例）
　本実施形態では、第１コイル部１４ａと第２コイル部１４ｂが座巻を含み、クローズドエンドで構成される例を説明した。しかしながら、第１コイル部１４ａと第２コイル部１４ｂの少なくとも一方が、座巻を含まずに、オープンエンドで構成されてもよい。
　本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態及びその変形は、発明の範囲及び要旨に含まれると同様に、請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
　本明細書によれば、以下の態様のプローブが提供される。
　（態様１）
　態様１は、第１プランジャーと、前記第１プランジャーを移動可能な状態で保持するバレルと、前記第１プランジャーを付勢するコイルバネと、を備え、前記コイルバネは、第１コイル部と、第２コイル部と、第３コイル部とを有し、前記第１コイル部は、前記第３コイル部の端部の一方に位置し、前記第１プランジャーと接し、前記第２コイル部は、前記第３コイル部の端部の他方に位置し、前記コイルバネに荷重負荷を与えない状態で、前記第１コイル部の第１中心軸に垂直な第１平面と、前記第２コイル部の第２中心軸に垂直な第２平面の少なくとも一方は、前記第３コイル部の第３中心軸と垂直な第３平面と非平行である。
　上述の態様によれば、コイルバネに圧縮力が加わった時に、コイルバネがアーチ形状若しくは蛇行形状に変形して一部がバレルの内壁に接触しやすい。コイルバネの一部がバレルの内壁に接触するため、第１コイル部が第１プランジャーをバレルの内壁に押しつける力が強くなり、第１プランジャーとバレルとの接触状態の維持が容易になる。すなわち、第１プランジャーを安定的にバレルの内壁に押しつけることが出来、第１プランジャーがバレルと電気的に接続した状態の維持が容易になる。
　（態様２）
　態様２では、前記コイルバネに荷重負荷を与えない状態で、前記第１平面と前記第２平面とが、交差する位置関係で、前記コイルバネが形成される。
　上述の態様によれば、コイルバネによる付勢力の径方向成分が大きくなり、第１平面と第２平面とが交差しない形態と比べて、第１コイル部の端面が、第１プランジャーのバレルへの押しつけを安定的に出来る。
　（態様３）
　態様３では、前記コイルバネに荷重負荷を与えない状態で、前記第１平面と前記第２平面は線対称となる位置関係で、前記コイルバネが形成される。
　上述の態様によれば、第１平面と第２平面とが線対称でない位置関係でコイルバネが形成される形態に比べて、コイルバネを形成しやすい。また、挿入する向きを考慮せずに、コイルバネをバレルに挿入出来る。
　（態様４）
　態様４では、前記第１プランジャーには、前記第１コイル部が挿入される凸部が形成される。
　上述の態様によれば、凸部が、コイルバネのバネ受けとして機能し、コイルバネの第１コイル部が径方向に大きくずれることを制限する。第１コイル部が径方向に大きくずれることを制限することにより、コイルバネによって確実に第１プランジャーをバレルの内壁に押しつけることが可能になる。
　１　プローブ、１１　第１プランジャー、１１ａ　第１接触部、１１ｂ　第１基端部、１１ｃ　第１凸部、１２　第２プランジャー、１２ａ　第２接触部、１２ｂ　第２基端部、１２ｂ１　第１凹み領域、１２ｃ　第２凸部、１３　バレル、１３ａ　本体部、１３ａ１　第１凸領域、１３ａ２　第２凸領域、１４　コイルバネ、１４ａ　第１コイル部、１４ｂ　第２コイル部、１４ｃ　第３コイル部、１００　検査装置の基板、ａ１　第１先端部（第１接触部の端部）、ａ２　第２先端部（第１基端部の端部）、ａ３　第３先端部（第２接触部の端部）、ａ４　第４先端部（第２基端部の端部）、ａ５　第５先端部（バレルの本体部における第１プランジャーを保持する側の端部）、ａ６　第６先端部（バレルの本体部における第２プランジャーを保持する側の端部）、Ｅ１　第１平面、Ｅ２　第２平面、Ｅ３　第３平面、ＬＸ１　第１中心軸、ＬＸ２　第２中心軸、ＬＸ３　第３中心軸、Ｐ１１　第１１ピッチ、Ｐ１２　第１２ピッチ、Ｐ２１　第２１ピッチ、Ｐ２２　第２２ピッチ、Ｐ３　第３ピッチ、θ１　第１角度、θ２　第２角度
 
 

Claims (4)

  1. 　第１プランジャーと、
    　前記第１プランジャーを移動可能な状態で保持するバレルと、
    　前記第１プランジャーを付勢するコイルバネと、を備え、
    　前記コイルバネは、第１コイル部と、第２コイル部と、第３コイル部とを有し、
    　前記第１コイル部は、前記第３コイル部の端部の一方に位置し、前記第１プランジャーと接し、
    　前記第２コイル部は、前記第３コイル部の端部の他方に位置し、
    　前記コイルバネに荷重負荷を与えない状態で、前記第１コイル部の第１中心軸に垂直な第１平面と、前記第２コイル部の第２中心軸に垂直な第２平面の少なくとも一方は、前記第３コイル部の第３中心軸と垂直な第３平面と非平行である、プローブ。
  2. 　前記コイルバネに荷重負荷を与えない状態で、前記第１平面と前記第２平面とが、交差する位置関係で、前記コイルバネが形成される、請求項１に記載のプローブ。
  3. 　前記コイルバネに荷重負荷を与えない状態で、前記第１平面と前記第２平面は線対称となる位置関係で、前記コイルバネが形成される、請求項２に記載のプローブ。
  4. 　前記第１プランジャーには、前記第１コイル部が挿入される凸部が形成される、請求項１～３のいずれか一項に記載のプローブ。

     
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