WO2024143706A1 - Method for driving electro-absorption modulator operating in burst mode - Google Patents

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WO2024143706A1
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김정수
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    • H04B10/50Transmitters

Definitions

  • the present invention relates to a method of driving a modulator, and particularly to a method of driving an electric field absorption modulator that operates in burst mode.
  • DFB-LD Distributed Feed Back-Laser Diode
  • an optical modulator is mounted on the optical output part of the DFB-LD to operate the optical modulator. Create a modulation signal using .
  • FIG. 2 is a case where the absorption spectrum of the modulator itself was measured at a temperature of 300K, and is a diagram showing the change in the absorption spectrum when a voltage is applied to the modulator maintained at 300K.
  • the band gap of the semiconductor material used as an absorbing material in the modulator changes depending on the temperature, and the absorption spectrum shifts according to the electric field from this changed band gap wavelength. This is shown in Figure 2.
  • the “1” signal and “0” signal of the field absorption modulator produce a “0” signal with a DC voltage +1/2 modulation voltage, and “1” with a DC voltage - 1/2 modulation voltage. ” It is desirable to generate a signal or apply a modulation voltage in an equivalent process, and that the reduction function of the DC voltage and the modulation voltage after the field absorption modulator operates decreases exponentially with time.
  • the laser diode may have a reverse mesa structure with a heater mounted on the top.
  • the electric field absorption modulator preferably has a reverse mesa structure with a heater mounted on the top.
  • the heater mounted on top of the field absorption modulator is driven to offset temperature changes due to light absorption of the modulator operating in burst mode.
  • Figure 5 is an example of the optical output characteristics of a modulator modulated by changing the driving voltage of the modulator to offset the temperature change in the absorption region of the modulator according to the present invention
  • Figure 7 is another example of the temperature change in the modulator area due to light absorption from the start of operation of the modulator according to the present invention.
  • Figure 5 shows an example of the optical output characteristics of a modulator modulated by changing the driving voltage of the modulator to offset temperature changes in the absorption region of the modulator according to the present invention.
  • the modulation voltage does not necessarily have to be implemented in this way, and various methods are possible for applying voltage according to the “1” and “0” signals.
  • a change in the temperature of the modulator leads to a change in the absorption spectrum, and accordingly, in order to obtain a change in the modulation voltage to offset the change in the modulation characteristics of the modulator, the temperature change of the modulator according to the operating time of the modulator must first be measured.
  • the change in temperature from the start of operation of the modulator varies depending on the structure of the modulator and the intensity of light entering the modulator.
  • Figures 6 and 7 show an example of the change in temperature from the start of operation of the modulator.
  • the temperature change of the modulator can be simulated using an exponential function and a high order term of the fourth square term. Since the wavelength shift of the modulator changes almost linearly with temperature, as in the example shown in Figures 6 and 7, the temperature change of the modulator is first simulated, the resulting change in the modulator spectrum is inferred, and then the characteristics such as the extinction ratio of the modulator are changed accordingly.
  • the DC voltage and AC modulation voltage to cancel can be obtained as a function of time. There may be various changes in FIGS. 6 and 7, but the important point is that the changed DC voltage and AC modulation voltage are applied to the modulator to offset temperature changes over time and changes in modulator characteristics at each time.

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Abstract

The present invention relates to a method for driving an electro-absorption modulator operating in a burst mode. In the provided method for driving an electro-absorption modulator operating in a burst mode, according to the present invention, the magnitude of DC voltage and AC voltage for driving the electro-absorption modulator is functionally reduced according to the elapse of time from the time at which laser light is injected into the electro-absorption modulator so that light absorption begins, and thus offset light absorption characteristics due to changes in temperature of the electro-absorption modulator area can be offset.

Description

버스트 모드로 동작하는 전계 흡수 변조기의 구동 방법Driving method of a field absorption modulator operating in burst mode
본 발명은 변조기의 구동 방법에 관한 것으로, 특히 버스트 모드(burst mode)로 동작하는 전계 흡수 변조기(Electro Absorption Modulator)의 구동 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a method of driving a modulator, and particularly to a method of driving an electric field absorption modulator that operates in burst mode.
현재 고속 광통신에 사용되는 발광소자는 변조기 집적형 반도체 레이저의 형태로 사용되고 있다. 변조기 집적형 반도체 레이저(Electro-Absorption Modulator Integrated DFB-LD : EML)에서는 DFB-LD(Distributed Feed Back-Laser Diode)는 연속 동작을 하게 하고 DFB-LD의 광 출력 부분에 광 변조기를 장착하여 광 변조기를 이용하여 변조 신호를 만들어 낸다. Currently, light emitting devices used in high-speed optical communications are used in the form of modulator-integrated semiconductor lasers. In a modulator integrated semiconductor laser (Electro-Absorption Modulator Integrated DFB-LD: EML), the DFB-LD (Distributed Feed Back-Laser Diode) operates continuously and an optical modulator is mounted on the optical output part of the DFB-LD to operate the optical modulator. Create a modulation signal using .
이러한 광 변조기의 동작 특성은 도 1과 같다. The operating characteristics of this optical modulator are shown in Figure 1.
변조기는 역전압이 걸리지 않을 때의 파장에 따른 흡수 스펙트럼 곡선이, 변조기에 역전압이 걸리면서 흡수 스펙트럼 곡선이 낮아지면서 장파장 이동을 한다. 도 1에서 변조기는 변조기에 인입되는 B 파장의 광원에 대해 전기장 E=0 V/cm 일 때 B1의 낮은 흡수율을 가지다가, 변조기에 5.4E4 V/cm의 전압이 걸리게 되면 변조기의 흡수 스펙트럼이 변화하여 B2의 높은 흡수율을 가져, B1과 B2의 흡수율 차이로부터 변조기를 통과하는 빛의 세기가 달라지게 된다. 이러한 변조기를 통과한 빛의 세기가 변조기에 가해지는 역전압의 크기에 따라 결정되는 소자를 전계 흡수 변조기(electro absorption modulator)라 한다. The absorption spectrum curve according to the wavelength when no reverse voltage is applied to the modulator moves to a longer wavelength as the absorption spectrum curve decreases when a reverse voltage is applied to the modulator. In Figure 1, the modulator has a low absorption rate of B1 when the electric field E = 0 V/cm for the B-wavelength light source entering the modulator, but when a voltage of 5.4E4 V/cm is applied to the modulator, the absorption spectrum of the modulator changes. Therefore, B2 has a high absorption rate, and the intensity of light passing through the modulator varies from the difference in absorption rate between B1 and B2. A device in which the intensity of light passing through such a modulator is determined by the magnitude of the reverse voltage applied to the modulator is called an electro absorption modulator.
변조기 자체의 밴드 갭과 인입되는 광의 파장에 따라, 동일한 변조기라 하더라도 도 1의 C, 도 1의 D의 파장에서 변조기 동작이 일어날 수 있다. 그러므로 변조기 자체의 밴드 갭과 인입되는 파장 사이에는 잘 조절된 일정한 관계가 필요하다. 도 2는 변조기 자체의 흡수 스펙트럼을 300K 온도에서 측정한 경우로서, 300K로 유지되는 변조기에 전압을 가하였을 때의 흡수 스펙트럼의 변화를 도시한 그림이다. 그러나 모든 물질은 에너지를 흡수하면 온도가 바뀌게 되는데, 이는 흡수되는 에너지의 양과 물질의 방열에 따라 달라지게 된다. 변조기에서 흡수 물질로 사용되는 반도체 물질은 온도에 따라 밴드 갭 자체가 바뀌게 되고, 이 변화된 밴드 갭 파장으로부터 전류장(electric field)에 따른 흡수 스펙트럼(spectrum) 이동이 일어나게 된다. 이는 도 2에 도시되어 있다. Depending on the band gap of the modulator itself and the wavelength of the incoming light, modulator operation may occur at wavelengths C in FIG. 1 and D in FIG. 1 even for the same modulator. Therefore, a certain, well-controlled relationship is required between the band gap of the modulator itself and the incoming wavelength. Figure 2 is a case where the absorption spectrum of the modulator itself was measured at a temperature of 300K, and is a diagram showing the change in the absorption spectrum when a voltage is applied to the modulator maintained at 300K. However, when all substances absorb energy, their temperature changes, and this varies depending on the amount of energy absorbed and the heat dissipation of the substance. The band gap of the semiconductor material used as an absorbing material in the modulator changes depending on the temperature, and the absorption spectrum shifts according to the electric field from this changed band gap wavelength. This is shown in Figure 2.
도 3에서 파란색 흡수 스펙트럼 곡선은 전압이 걸리지 않았을 때, 온도에 따른 흡수 스펙트럼 곡선이며, 황토색은 각 온도에서 전압에 따라 이동한 흡수 스펙트럼 곡선이다. 그러므로 변조기를 통과하는 빛의 세기와 정확한 소광비(Extinction ratio : “1” 신호와 “0” 신호의 신호 세기의 비율)를 얻기 위해서는 변조기의 온도와 가해지는 전압을 정확히 조절하여야 한다. 즉, 도 2에서 300K 온도에서 “B”의 입력광 파장에 대해 영전압(E=0 V/cm)과 E=5.4E4 V/cm을 가하였을 때의 소광비와, 변조기의 온도가 310K 온도에서 같은 입력광 파장에 대해 영전압(E=0 V/cm)과 E=5.4E4 V/cm을 가하였을 때의 소광비는 달라지게 되며, 평균 광 출력도 변화하게 된다. In Figure 3, the blue absorption spectrum curve is the absorption spectrum curve according to temperature when no voltage is applied, and the yellowish yellow color is the absorption spectrum curve moving according to voltage at each temperature. Therefore, in order to obtain the intensity of light passing through the modulator and an accurate extinction ratio (ratio of the signal intensity of the “1” signal and the “0” signal), the temperature and applied voltage of the modulator must be accurately controlled. That is, in FIG. 2, the extinction ratio when zero voltage (E=0 V/cm) and E=5.4E4 V/cm are applied to the input light wavelength of “B” at a temperature of 300K, and the temperature of the modulator at a temperature of 310K. When zero voltage (E=0 V/cm) and E=5.4E4 V/cm are applied to the same input light wavelength, the extinction ratio changes and the average light output also changes.
변조기에서 “1”과 “0”신호가 생성된 광신호는 광섬유를 통하여 전송되어, 광 수신단에서 “1”과 “0”신호의 통계적 전력과 신호 소광비를 이용하여 “1”과 “0”신호를 추출한다. 그러므로 변조기의 동작시점부터 동일한 전압을 이용하여 변조기를 구동할 경우에는 시간이 경과 함에 따라 변조기의 온도가 달라지게 되고, 이에 따라 변조기에서 발생하는 신호의 평균 전력과 소광비가 달라지게 되며, 이는 수신단의 에러로 작용하게 된다. The optical signal from which the “1” and “0” signals are generated in the modulator is transmitted through the optical fiber, and the optical receiving end uses the statistical power and signal extinction ratio of the “1” and “0” signals to produce “1” and “0” signals. Extract . Therefore, when the modulator is driven using the same voltage from the moment of operation, the temperature of the modulator changes over time, and the average power and extinction ratio of the signal generated from the modulator change accordingly, which changes the signal at the receiving end. It acts as an error.
종래 전계 흡수형 변조기는 CW(continuous wave, 연속동작)로 작동하여, 초기 시간이 지난 후에는 변조기의 온도가 안정화되어 이러한 변조기 영역의 추가적인 온도 변화는 발생하지 않는 반면에, 도 4와 같이 버스트 모드(Burst Mode)로 동작하는 변조기에서는 변조기에 광이 인가되지 않는 시간과, 변조기에 광이 인가되어 변조 신호를 형성하는 시간대로 구동이 바뀌므로, 변조기의 광 흡수 영역의 온도는 버스트 동작에 따라 지속적으로 변화를 겪게 되며, 이에 따라 버스트 모드의 변조기를 이용한 신호 전송이 어렵게 된다. The conventional electric field absorption modulator operates in CW (continuous wave, continuous operation), and after an initial period of time, the temperature of the modulator is stabilized and no additional temperature change in the modulator area occurs, whereas in burst mode as shown in FIG. 4, the temperature of the modulator is stabilized. In a modulator operating in (Burst Mode), the operation changes between the time when light is not applied to the modulator and the time when light is applied to the modulator to form a modulation signal, so the temperature of the light absorption area of the modulator is continuously maintained according to the burst operation. changes, and as a result, signal transmission using a burst mode modulator becomes difficult.
[선행기술문헌][Prior art literature]
[특허문헌][Patent Document]
(특허문헌 1) 대한민국 등록특허공보 제10-0362060호 (2002.11.11. 등록)(Patent Document 1) Republic of Korea Patent Publication No. 10-0362060 (registered on November 11, 2002)
본 발명은 상기 종래 버스트 모드로 동작하는 전계 흡수 변조기에서 발생하는 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 버스트 모드로 동작하는 전계 흡수 변조기(Electro absorption modulator)에서 광원의 동작에 따라 변조기로 인입되는 광원의 세기 변화가 발생하고, 이에 따라 변조기에서 흡수되는 빛의 세기에 따라 변조기의 온도 변화가 발생하여, 변조기의 온도 변화를 감안하지 않은 변조기 구동조건에서는 시간에 따라 변조기를 통과하는 빛의 평균 세기와 소광비가 달라져 광 수신단에서의 신호 판별이 어려워지는 것을 해결할 수 있도록 하는 전계 흡수 변조기의 구동 방법을 제공하는 데 있다. The present invention was proposed to solve the problems occurring in the conventional electric field absorption modulator operating in burst mode. The purpose of the present invention is to provide a modulator according to the operation of a light source in an electric field absorption modulator operating in burst mode. There is a change in the intensity of the light source coming into the modulator, and as a result, the temperature of the modulator changes depending on the intensity of the light absorbed by the modulator. In the modulator driving conditions that do not take into account the temperature change of the modulator, the light passing through the modulator changes over time. The goal is to provide a method of driving a field absorption modulator that can solve the problem of difficulty in distinguishing signals at the optical receiving end due to changes in average intensity and extinction ratio.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전계 흡수 변조기의 구동 방법은 버스트 모드(burst mode)로 동작하는 전계 흡수 변조기(Electro Absorption Modulator)의 구동 방법에 있어서, 상기 전계 흡수 변조기를 구동하는 DC 전압과 AC 전압의 크기는, 상기 전계 흡수 변조기에 레이저 광이 주입되어 광의 흡수가 진행되기 시작한 시점부터 시간 경과에 따라 함수적으로 감소되도록 한다. A method of driving an electric field absorption modulator according to the present invention to achieve the above object is a method of driving an electric field absorption modulator operating in burst mode, wherein a DC voltage for driving the electric field absorption modulator The magnitude of the AC voltage decreases as a function of time from the point when laser light is injected into the field absorption modulator and light absorption begins.
이때, 시간의 경과에 따라 DC 전압과 AC 전압의 크기가 감소하는 함수는 미리 정하여져 메모리에 기록된다. At this time, the function by which the magnitude of the DC voltage and AC voltage decreases over time is predetermined and recorded in the memory.
한편, 상기 전계 흡수 변조기의 광 입력 부분에 광원인 레이저 다이오드가 일체형으로 제작되어 작동하는 것이 바람직하다.Meanwhile, it is preferable that a laser diode as a light source is manufactured and operated integrally with the optical input part of the field absorption modulator.
또한, 상기 전계 흡수 변조기의 광 출력 부분에 광증폭기가 일체형으로 제작되어 작동할 수 있다. Additionally, an optical amplifier may be manufactured and operated integrally with the optical output portion of the field absorption modulator.
상기 전계 흡수 변조기는 딥 리지(deep ridge)의 구조를 가지는 리지(ridge) 형 변조기일 수 있다. The electric field absorption modulator may be a ridge type modulator having a deep ridge structure.
한편, 상기 전계 흡수 변조기는 전계 흡수 변조기의 “1” 신호와 “0” 신호는, DC 전압 +1/2 변조 전압으로 “0” 신호를 제작하고, DC 전압 - 1/2 변조전압으로 “1” 신호를 만들어 내거나, 또는 이와 동등한 과정의 변조 전압을 인가하며, 전계 흡수 변조기가 가동한 이후의 DC 전압과 변조 전압의 감소 함수는 시간에 따라 지수함수적으로 감소하는 것이 바람직하다. Meanwhile, the “1” signal and “0” signal of the field absorption modulator produce a “0” signal with a DC voltage +1/2 modulation voltage, and “1” with a DC voltage - 1/2 modulation voltage. ” It is desirable to generate a signal or apply a modulation voltage in an equivalent process, and that the reduction function of the DC voltage and the modulation voltage after the field absorption modulator operates decreases exponentially with time.
또한, 상기 전계 흡수 변조기는 전계 흡수 변조기의 “1” 신호와 “0” 신호는, DC 전압 +1/2 변조 전압으로 “0” 신호를 제작하고, DC 전압 - 1/2 변조전압으로 “1” 신호를 만들어 내거나, 또는 이와 동등한 과정의 변조 전압을 인가하며, 전계 흡수 변조기가 가동한 이후의 DC 전압과 변조 전압의 감소 함수는 시간에 따라 전계 흡수 변조기의 온도 상승을 상쇄하는 특징을 가지는 함수일 수 있다. In addition, the “1” signal and “0” signal of the field absorption modulator produce a “0” signal with a DC voltage +1/2 modulation voltage, and “1” with a DC voltage - 1/2 modulation voltage. ” Generates a signal or applies a modulation voltage in an equivalent process, and the reduction function of the DC voltage and modulation voltage after the field absorption modulator is operated is a function that has the characteristic of offsetting the temperature increase of the field absorption modulator over time. You can.
상기 레이저 다이오드는 상부에 히터가 장착된 역메사(reverse mesa) 구조로 이루어질 수 있다. The laser diode may have a reverse mesa structure with a heater mounted on the top.
또한, 상기 전계 흡수 변조기는 상부에 히터를 장착한 역메사(reverse mesa) 구조로 이루어지는 것이 바람직하다. In addition, the electric field absorption modulator preferably has a reverse mesa structure with a heater mounted on the top.
한편, 상기 전계 흡수 변조기의 상부에 장착되는 히터는 버스트 모드(burst mode)로 동작하는 변조기의 광 흡수에 따른 온도 변화를 상쇄시키도록 구동된다. Meanwhile, the heater mounted on top of the field absorption modulator is driven to offset temperature changes due to light absorption of the modulator operating in burst mode.
또한, 상기 전계 흡수 변조기의 상부에 장착되는 히터는 변조기의 상부 전극 위에 절연막으로 구분되어 장착될 수 있다. Additionally, the heater mounted on the top of the field absorption modulator may be mounted separated by an insulating film on the top electrode of the modulator.
상기 전계 흡수 변조기의 상부에 장착되는 히터는 에어 브릿지(air bridge) 형태로 외부 전극과 연결될 수 있다. The heater mounted on top of the field absorption modulator may be connected to an external electrode in the form of an air bridge.
본 발명의 버스트 모드로 동작하는 전계 흡수 변조기의 구동 방법에 따르면, 버스트 모드로 동작하는 변조기의 광 흡수에 따른 온도 변화와 온도 변화에 따른 광 출력, 소광비 변화를 억제하여 광 수신단에서의 신호 판별을 용이하게 하는 효과가 있다. According to the method of driving a field absorption modulator operating in burst mode of the present invention, the temperature change due to light absorption of the modulator operating in burst mode and the change in light output and extinction ratio due to temperature change are suppressed to improve signal discrimination at the optical receiving end. It has a facilitating effect.
도 1은 전계 흡수 변조기의 가해지는 전압에 따른 흡수 스펙트럼의 변화 그래프, 1 is a graph of the change in absorption spectrum according to the applied voltage of the electric field absorption modulator;
도 2는 변조기의 구동 전압에 따른 동작 원리, Figure 2 shows the operating principle according to the driving voltage of the modulator,
도 3은 변조기 온도와 관계없이 일정한 구동 전압으로 변조기를 구동할 때, 변조기의 온도 변화에 따른 변조 신호 소광비가 달라짐을 보여주는 일례, Figure 3 is an example showing that the modulation signal extinction ratio changes depending on the temperature of the modulator when driving the modulator with a constant driving voltage regardless of the modulator temperature;
도 4는 변조기의 버스트 모드 운용 일례, 4 is an example of burst mode operation of the modulator;
도 5는 본 발명에 따른 변조기의 흡수 영역의 온도 변화를 상쇄하기 위해 변조기 구동 전압을 바꾸어 변조시킨 변조기의 광 출력 특성 일례, Figure 5 is an example of the optical output characteristics of a modulator modulated by changing the driving voltage of the modulator to offset the temperature change in the absorption region of the modulator according to the present invention;
도 6은 본 발명에 따른 버스트 모드로 동작하는 변조기 영역의 광흡수 시간에 따른 온도 변화 일례, Figure 6 is an example of temperature change according to light absorption time in the modulator area operating in burst mode according to the present invention;
도 7은 본 발명에 따른 변조기의 동작 시작 시점부터 광흡수에 따른 변조기 영역의 온도 변화 의 다른 일례. Figure 7 is another example of the temperature change in the modulator area due to light absorption from the start of operation of the modulator according to the present invention.
도 8은 본 발명에 따른 히터가 장착된 역메사 Ridge 구조 광원의 일례,Figure 8 is an example of a reverse mesa ridge structured light source equipped with a heater according to the present invention;
도 9는 본 발명의 따른 히터가 장착되는 딥 리지(deep ridge) 구조를 갖는 역메사 리지(ridge) 구조의 변조기 일례를 나타낸 것이다.Figure 9 shows an example of a modulator with a reverse mesa ridge structure having a deep ridge structure on which a heater according to the present invention is mounted.
도 10은 본 발명에 따른 히터가 장착된 변조기에서의 히터 구동 방법 일례, 10 is an example of a heater driving method in a modulator equipped with a heater according to the present invention;
도 11은 본 발명에 따라 변조기에 버스트 온(Burst on)이 시작되어 광흡수가 일어나고, 동시에 히터가 중지되어 히터에 의한 열 발생이 없어질 때 변조기의 온도 변화 일례를 나타낸 것이다. Figure 11 shows an example of the temperature change of the modulator when the burst on starts in the modulator, light absorption occurs, and the heater is stopped at the same time so that heat generation by the heater disappears according to the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 한정되지 않은 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, non-limiting preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.
도 5는 본 발명에 따른 변조기의 흡수 영역의 온도 변화를 상쇄하기 위해 변조기 구동 전압을 바꾸어 변조시킨 변조기의 광 출력 특성 일례를 나타낸 것이다.Figure 5 shows an example of the optical output characteristics of a modulator modulated by changing the driving voltage of the modulator to offset temperature changes in the absorption region of the modulator according to the present invention.
도 5에서는 300K 온도에서 파란색으로 표시된 E=0 v/cm와 E=5.4 V/cm의 구동 전압 조건에서의 소광비를 보여준다. 파란색 실선은 300K, E=0 v/cm의 경우의 흡수 스펙트럼이며, 이 경우 “B” 파장의 흡수는 거의 일어나지 않는다. 파란색 점선은 전계가 5,4E4 V/cm이 걸릴 경우의 흡수를 보여주며, 이로부터 초기의 소광비가 결정된다. 그러나 이러한 변조기가 광의 흡수를 시작하여 변조기의 온도가 310K로 증가하였을 때, 동일 전계인 0 V/cm 과 5.4E4 V/cm의 전계를 가하게 되면, 소광비는 매우 커지게 된다. 그러므로 전계를 동일하게 유지할 경우에는 시간에 따른 변조기 영역의 온도 변화와 이에 따른 소광비의 변화가 불가피하게 된다. Figure 5 shows the extinction ratio under the driving voltage conditions of E=0 v/cm and E=5.4 V/cm, shown in blue at a temperature of 300K. The solid blue line is the absorption spectrum at 300K and E=0 v/cm, in which case almost no absorption of the “B” wavelength occurs. The blue dotted line shows absorption when the electric field is 5,4E4 V/cm, from which the initial extinction ratio is determined. However, when this modulator begins to absorb light and the temperature of the modulator increases to 310K, if the same electric fields of 0 V/cm and 5.4E4 V/cm are applied, the extinction ratio becomes very large. Therefore, if the electric field is kept the same, the temperature of the modulator area changes over time and the extinction ratio changes accordingly.
도 5에서 310K로 변조기의 온도가 상승하였을 경우에는 변조기의 전계를 0 V/cm 과 2.1E4 V/cm으로 변화시켰을 경우, 300K, 0 V/cm과 5.4E4 V/cm에서 얻을 수 있는 소광비와 유사한 소광비를 얻을 수 있음을 알 수 있다. In Figure 5, when the temperature of the modulator rises to 310K and the electric field of the modulator is changed to 0 V/cm and 2.1E4 V/cm, the extinction ratio obtained at 300K, 0 V/cm and 5.4E4 V/cm It can be seen that a similar extinction ratio can be obtained.
도 5에서 보이는 바와 같이, 버스트 모드의 시작에 따른 온도 변화와 변조기의 온도 변화에 따른 흡수 곡선의 변화에 의한 소광비의 변화는, 이러한 소광비의 변화를 최소화시키는 방법으로 구동 전압을 바꿈으로써 버스트의 처음 시작과 끝에서의 소광비의 변화를 최소화할 수 있다. As shown in Figure 5, the change in extinction ratio due to the temperature change due to the start of the burst mode and the change in the absorption curve according to the temperature change of the modulator is achieved by changing the driving voltage in a way to minimize the change in the extinction ratio. The change in extinction ratio at the beginning and end can be minimized.
본 발명에서 전계(electric field)를 이용하여 설명하였으나, 실제 제작이 완성된 변조기의 전계 방향 길이는 고정되어 있으므로, 전계의 변화는 변조기에 가해지는 전압의 변화로 구현될 수 있다. 통상적으로 변조기의 전압은 DC 전압과 “1”과 “0” 신호에 해당하는 AC 변조 전압의 합으로 주어지며, 그러므로 변조기 온도의 변화에 따른 소광비의 변화는 변조기 온도의 변화에 따른 DC 전압과 변조 전압의 변화로 상쇄 시킬 수 있다. Although the present invention is explained using an electric field, since the length of the electric field direction of the actually manufactured modulator is fixed, a change in the electric field can be implemented as a change in the voltage applied to the modulator. Typically, the voltage of the modulator is given as the sum of the DC voltage and the AC modulation voltage corresponding to the “1” and “0” signals. Therefore, the change in extinction ratio according to the change in modulator temperature is the DC voltage and modulation according to the change in modulator temperature. It can be offset by a change in voltage.
“1” 신호 전압 = DC 전압 - 1/2 AC 변조 전압 “1” signal voltage = DC voltage - 1/2 AC modulation voltage
“0” 신호 전압 = DC 전압 + 1/2 AC 변조 전압 “0” signal voltage = DC voltage + 1/2 AC modulation voltage
그러나 변조 전압을 꼭 이와 같은 방법으로 구현하여야 하는 것은 아니며, “1”과 “0” 신호에 따른 전압을 가하기 위한 다양한 방법이 가능하다. However, the modulation voltage does not necessarily have to be implemented in this way, and various methods are possible for applying voltage according to the “1” and “0” signals.
기본적으로 변조기의 온도 변화가 흡수 스펙트럼의 변화를 이끌어내고, 이에 따라 변조기의 변조 특성의 변화를 상쇄하기 위한 변조 전압의 변화를 구하기 위해서는 먼저 변조기의 구동시간에 따른 변조기의 온도 변화를 측정하여야 한다. 변조기의 동작 시작 시점부터 온도의 변화는 변조기의 구조와 변조기에 인입되는 광의 세기에 따라 달라지는데, 도 6과 도 7은 변조기 동작 시작 시점부터 온도의 변화의 일례를 보여준다. Basically, a change in the temperature of the modulator leads to a change in the absorption spectrum, and accordingly, in order to obtain a change in the modulation voltage to offset the change in the modulation characteristics of the modulator, the temperature change of the modulator according to the operating time of the modulator must first be measured. The change in temperature from the start of operation of the modulator varies depending on the structure of the modulator and the intensity of light entering the modulator. Figures 6 and 7 show an example of the change in temperature from the start of operation of the modulator.
도 6과 도 7에서 변조기의 온도 변화를 지수함수적과 4제곱항의 고차항으로 근접한 온도 변화를 모사 할 수 있다. 변조기의 파장 이동은 온도에 거의 선형적으로 변화하므로 도 6과 도 7에서 보여준 예와 같이 먼저 변조기의 온도 변화를 모사하고, 이에 따른 변조기 스펙트럼 변화를 유추한 후, 이에 따른 변조기의 소광비 등 특성 변화를 상쇄하기 위한 DC 전압과 AC 변조 전압을 시간의 함수로 구할 수 있다. 상기 도 6과 7은 다양한 변화가 있을 수 있는데, 중요한 점은 변조기의 시간에 따른 온도 변화와 각 시간에서의 변조기 특성 변화를 상쇄하기 위한 변화된 DC 전압과 AC 변조 전압을 변조기에 가한다는 특성이다. In Figures 6 and 7, the temperature change of the modulator can be simulated using an exponential function and a high order term of the fourth square term. Since the wavelength shift of the modulator changes almost linearly with temperature, as in the example shown in Figures 6 and 7, the temperature change of the modulator is first simulated, the resulting change in the modulator spectrum is inferred, and then the characteristics such as the extinction ratio of the modulator are changed accordingly. The DC voltage and AC modulation voltage to cancel can be obtained as a function of time. There may be various changes in FIGS. 6 and 7, but the important point is that the changed DC voltage and AC modulation voltage are applied to the modulator to offset temperature changes over time and changes in modulator characteristics at each time.
변조기의 DC 전압과 AC 변조 전압의 변화를 버스트 신호 시작 시점부터 함수로 치환하여 이 함수로부터 실제 변조기의 변조 전압을 조절하는 방법이 가능하며, 또는 시간에 따른 look-up 테이블을 메모리에 저장하고, 이 메모리로부터 변조기를 구동하기 위한 DC 전압과 AC 변조 전압을 읽어들여 변조기를 구동하는 방법을 사용할 수 있다. It is possible to replace the changes in the DC voltage and AC modulation voltage of the modulator with a function from the start of the burst signal and adjust the actual modulation voltage of the modulator from this function. Alternatively, a look-up table according to time can be stored in memory, A method of driving the modulator can be used by reading the DC voltage and AC modulation voltage for driving the modulator from this memory.
버스트 모드로 동작하는 변조기를 제작하기 위해서는 버스트 모드로 동작하는 광원이 필요하며, 통상적으로 변조기와 광원이 일체화되게 제작된다. 이러한 광원은 DFB-LD 또는 DBR-LD(Distributed Bragg Reflector-Laser Diode)로 구성되며, 이러한 광원의 버스트 모드 동작에 따라 광원 파장 자체가 바뀌게 된다. 그러므로 광원 파장 자체의 변화를 억제하여야 하며, 이는 DFB-LD의 일 측면 또는 상부에 전기적인 히터를 내장하는 것이 바람직한데, 이러한 히터 내장이 용이하기 위해서는 DFB-LD의 광원 구조가 역메사 구조의 리지 구조(Reverse mesa - ridge 구조) 임이 적절하다. In order to manufacture a modulator that operates in burst mode, a light source that operates in burst mode is required, and the modulator and light source are typically manufactured as an integrated unit. These light sources consist of DFB-LD or DBR-LD (Distributed Bragg Reflector-Laser Diode), and the light source wavelength itself changes depending on the burst mode operation of these light sources. Therefore, changes in the light source wavelength itself must be suppressed, and it is desirable to embed an electric heater on one side or top of the DFB-LD. In order to facilitate the installation of such a heater, the light source structure of the DFB-LD has an inverse mesa ridge structure. A structure (reverse mesa - ridge structure) is appropriate.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 히터가 장착되는 역메사 리지 구조 광원의 일례를 나타낸 것으로, 광원을 동작시키는 전류는 도 8의 DFB-LD용 전극(p형 전극)으로 주입되며, 히터는 DFB-LD용 전극의 상부에 배치되어 광원을 동작시키는 전류와 상보적으로 구동되어 레이저 다이오드의 버스트 모드 동작에 따른 레이저 다이오드 영역의 온도 변화를 상쇄하도록 한다. 즉, 히터는 DFB-LD 광원의 상부에 장착되는데, DBB-LD 광원의 구조는 상부에 히터가 장착되기 쉽게 역메사 리지의 구조를 가진다. 역메사 리지는 p-InP/P-InGaAs 층으로 구성되는 클래드(clad) 층의 상부가 하부에 비해 폭이 넓은 구조를 의미한다. 도 8에서, 광원 구동을 위한 전극이 메사 상부에 배치되기 때문에 히터는 절연막으로 분리되어, 광원 구동을 위한 상부 전극 위에 겹쳐서 제작되는 것이 바람직하다. Figure 8 shows an example of a reverse mesa ridge structure light source equipped with a heater according to an embodiment of the present invention. The current that operates the light source is injected into the DFB-LD electrode (p-type electrode) of Figure 8, and the heater is It is placed on top of the DFB-LD electrode and is driven complementary to the current that operates the light source to offset temperature changes in the laser diode area due to the burst mode operation of the laser diode. In other words, the heater is mounted on the top of the DFB-LD light source, and the structure of the DBB-LD light source has a reverse mesa ridge structure to make it easy for the heater to be mounted on the top. Reverse mesa ridge refers to a structure where the upper part of a clad layer composed of p-InP/P-InGaAs layers is wider than the lower part. In FIG. 8, since the electrode for driving the light source is disposed on the upper part of the mesa, it is preferable that the heater is separated by an insulating film and overlapped on the upper electrode for driving the light source.
본 발명에서 개선하고자 하는 특성은, 변조기가 광 흡수 및 변조 전송을 하는 기간이 버스트 형태로 나타나며, 이 버스트 온(burst on) 시간이 아닌 기간에는 변조기에서의 광 흡수가 없어 변조기가 냉각되고, 버스트 온(burst on) 기간에 광 흡수가 시작되어 변조기의 온도가 상승하게 되며, 이에 따라 광 흡수 특성도 시간에 따라 변화하게 된다. 그러므로 앞서 전술한 방법은 변조기의 온도 변화를 상쇄시키기 위한 변조기 구동 전압의 변화를 이용하여 변조기의 광 흡수 특성을 일정하게 유지하는 반면에 광 변조기의 광 흡수 특성을 버스트 온(burst on) 이후에 일정하게 유지하기 위한 방법으로 변조기에 히터를 장착하는 방법을 사용할 수 있다. The characteristic to be improved in the present invention is that the period in which the modulator absorbs light and transmits modulation appears in the form of a burst, and in the period other than this burst on time, there is no light absorption in the modulator, so the modulator cools down and bursts. During the burst on period, light absorption begins and the temperature of the modulator rises, and thus the light absorption characteristics also change over time. Therefore, the above-described method maintains the light absorption characteristics of the modulator constant by using a change in the driving voltage of the modulator to cancel out the temperature change of the modulator, while keeping the light absorption characteristics of the light modulator constant after burst on. A method of maintaining the condition is to install a heater on the modulator.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 히터가 장착되는 딥 리지(deep ridge) 구조를 갖는 역메사 리지(ridge) 구조의 변조기 일례를 나타낸 것이다. Figure 9 shows an example of a modulator with a reverse mesa ridge structure and a deep ridge structure on which a heater is mounted according to an embodiment of the present invention.
도 9에서, 기판에서 역메사 리지 구조의 변조기 양측에 2개의 홈이 형성되어 있는데, 이 홈이 딥 리지(deep ridge) 구조를 형성하며, 이 딥 리지 구조는 변조기의 전계가 활성 영역에 집중되어 변조기의 특성을 개선한다. 도 9에서는 변조기 영역에 히터를 장착하여 변조기가 광흡수/광변조/광전송의 역할을 수행하는 동안에는 히터를 끈 상태로 유지하고, 변조기가 광흡수/광변조/광전송의 역할을 하지 않아 냉각될 때 냉각을 방지하기 위해 히터를 가동하여, 변조기의 동작 유무와 관계없이 변조기를 항상 일정 온도로 유지하여, 변조기의 광흡수에 따른 온도 변화와 온도 변화에 따른 광 변조 특성의 변화를 방지하는 방법을 보여준다. In Figure 9, two grooves are formed on both sides of the inverse mesa ridge structure modulator on the substrate, and these grooves form a deep ridge structure, and this deep ridge structure allows the electric field of the modulator to be concentrated in the active area. Improve the characteristics of the modulator. In Figure 9, a heater is installed in the modulator area and the heater is kept turned off while the modulator performs the role of light absorption/light modulation/light transmission, and when the modulator cools down because it does not play the role of light absorption/light modulation/light transmission. It shows how to prevent temperature changes due to light absorption of the modulator and changes in light modulation characteristics due to temperature changes by operating a heater to prevent cooling and maintaining the modulator at a constant temperature regardless of whether the modulator is operating. .
도 9에서 히터는 변조기의 상부에 장착되며, 변조기의 구조는 상부에 히터가 장착되기 쉽게 역메사 리지의 구조를 가지는 것이 바람직하다. 역메사 리지는 p-InP/P-InGaAs 층으로 구성되는 클래드(clad) 층의 상부가 하부에 비해 폭이 넓은 구조를 의미하는데, 리지의 하부 폭은 빛이 단일 횡모드를 가지도록 1~2um의 폭을 가지는데 비해 리지 상부 폭은 이보다 최소 0.5um 이상의 폭을 가질 수 있다. 더 바람직하게는 리지의 단면이 (111) 면이 나타나는 것이 바람직하며, 이 경우에는 리지 상부 폭이 리지 하부 폭에 비해 2~3um 더 넓어질 수 있어, 히터를 추가로 장착하기 용이하게 된다. In FIG. 9, the heater is mounted on the top of the modulator, and the structure of the modulator preferably has an inverse mesa ridge structure so that the heater can be easily mounted on the top. Inverse mesa ridge refers to a structure where the upper part of the clad layer composed of p-InP/P-InGaAs layer is wider than the lower part. The width of the lower part of the ridge is 1~2um so that light has a single transverse mode. Compared to the width of , the width of the upper part of the ridge can be at least 0.5um more than this. More preferably, the cross-section of the ridge appears as a (111) plane. In this case, the width of the upper part of the ridge can be 2 to 3 μm wider than the width of the lower part of the ridge, making it easier to install additional heaters.
도 9에서 고속 변조기는 커패시턴스(capacitance)를 최소화하는 것이 바람직하며, 이에 따라 히터 전극도 기생 용량을 최소화하기 위해 에어 브릿지(air bridge) 형태로 외부 전극과 연결되는 것이 바람직하다. 이 에어 브릿지 형태의 전극은 전극 메탈이 패드로 연결되는 부위가 공중에 떠 있는 형태로 제작되는데, 이는 히터 패드의 연결 부위에서 발생하는 기생 커패시턴스(capacitance)를 최소화하여 소자의 고속 동작을 용이하게 한다. 또한, 변조기 구동을 위한 전극이 메사 상부에 배치되기 때문에 히터는 절연막으로 분리되어 변조기 구동을 위한 상부 전극 위에 겹쳐서 제작되는 것이 바람직하다. 도 9에서는 간략한 설명을 위해 InP를 보호하기 위한 절연막 등을 도시하지 않았지만, 일반적인 변조기 구조의 절연막 등 표면 보호층이 추가될 수 있다. In FIG. 9, it is desirable for the high-speed modulator to minimize capacitance, and accordingly, the heater electrode is also preferably connected to the external electrode in the form of an air bridge to minimize parasitic capacitance. This air bridge-type electrode is manufactured in a way that the part where the electrode metal connects to the pad is floating in the air. This minimizes the parasitic capacitance that occurs at the connection part of the heater pad and facilitates high-speed operation of the device. . In addition, since the electrode for driving the modulator is disposed on the upper part of the mesa, it is preferable that the heater is separated by an insulating film and overlapped on the upper electrode for driving the modulator. In FIG. 9, for simplification of explanation, an insulating film to protect InP is not shown, but a surface protective layer such as an insulating film of a general modulator structure may be added.
도 10은 히터가 장착된 변조기에서의 히터 구동 방법을 보여준다. 히터는 변조기에서 광흡수/광변조/광전송이 일어나는 버스트 온(burst on) 기간 동안에는 꺼지게 되고, 변조기에 광이 유입되지 않는 버스트 오프(burst-off) 기간 동안에는 히터가 가동하여 변조기에서 일어나는 광흡수 전력을 대치함으로써 버스트 온/오프(burst on/off)에 관계없이 변조기의 온도를 일정하게 유지한다. Figure 10 shows a heater driving method in a modulator equipped with a heater. The heater is turned off during the burst on period when light absorption/light modulation/light transmission occurs in the modulator, and during the burst-off period when light does not enter the modulator, the heater operates to absorb the light absorption power generated by the modulator. By replacing , the temperature of the modulator is kept constant regardless of burst on/off.
변조기에 버스트 온(Burst on)이 시작되어 광흡수가 일어나고, 동시에 히터가 중지되어 히터에 의한 열 발생이 없어질 때 변조기의 온도 변화를 도 11에서 보여준다. 도 11의 (a)곡선인 히터에 의한 온도는 광 흡수가 없을 때 히터가 열 발생을 중단하였을 때 변조기의 온도 변화를 시간에 따라 보여주며, 도 11의 (b)곡선인 광 흡수의 온도는 히터가 동작하지 않는 상태에서 변조기에서 광 흡수가 시작될 때 변조기의 온도 변화를 보여준다. 그러므로 이 두 효과가 동시에 일어나면 도 11의 (c)의 곡선으로 (a)와 (b) 두 효과의 평균 효과로 나타나며, 도 11의 (c) 곡선에서와 같이 버스트 온/오프(burst on/off) 에 관계없이 변조기의 온도는 일정하게 유지되어 안정된 변조기의 특성을 가질 수 있다. Figure 11 shows the temperature change of the modulator when the burst on begins in the modulator and light absorption occurs, and at the same time, the heater is stopped and heat generation by the heater disappears. The temperature by the heater, which is the curve in Figure 11 (a), shows the temperature change of the modulator over time when the heater stops generating heat when there is no light absorption, and the temperature of light absorption, which is the curve in Figure 11 (b), is It shows the temperature change of the modulator when light absorption begins in the modulator while the heater is not operating. Therefore, when these two effects occur simultaneously, it appears as the average effect of the two effects (a) and (b) in the curve in (c) of Figure 11, and burst on/off as shown in the curve in (c) of Figure 11. ) Regardless, the temperature of the modulator is maintained constant, allowing stable modulator characteristics.
이와 같이, 본 발명에서는 변조기를 구동하는 DC 전압과 변조 전압을 시간에 따른 함수로 변화시켜, 변조기 구동 시간에 따른 변조기의 온도 변화를 상쇄하도록 변조기를 구동하여 변조기의 출력 광 신호의 평균 세기와 소광비를 일정하게 유지할 수 있게 된다.As such, in the present invention, the DC voltage and the modulation voltage that drive the modulator are changed as a function of time, and the modulator is driven to offset the temperature change of the modulator according to the modulator driving time, thereby increasing the average intensity and extinction ratio of the output optical signal of the modulator. can be kept constant.
한편, 앞서 설명한 도 9에서 히터의 전력 변조는 미리 정해진 전력과 0의 전력을 교대할 필요는 없으며, 히터 변조 전력이 변조기의 광 흡수에 의한 열량 변화를 상쇄하면 본 발명의 목적을 달성할 수 있다. Meanwhile, the power modulation of the heater in FIG. 9 described above does not require alternating between a predetermined power and 0 power, and the purpose of the present invention can be achieved if the heater modulation power offsets the change in heat amount due to light absorption by the modulator. .
또한, 도 8과 도 9에서 DFB-LD 등의 광원은 역메사 리지 구조를 가지고, 변조기도 역메사 리지 구조를 가지고 있는 것으로 설명되었지만, 메사 구조의 DBR-LD 등 광원과 히터가 장착된 역메사 변조기 구조의 조합도 가능하다. In addition, in Figures 8 and 9, a light source such as DFB-LD is explained as having an inverse mesa ridge structure, and the modulator also has an inverse mesa ridge structure, but an inverse mesa light source such as DBR-LD with a mesa structure and a heater are installed. Combinations of modulator structures are also possible.
이와 같이, 본 발명은 상술한 실시 예에 한정되는 것은 아니며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 갖는 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구 범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다. As such, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made by those skilled in the art to which the present invention pertains within the scope of equivalency of the technical idea of the present invention and the scope of the claims described below. Of course, modifications may be made.

Claims (12)

  1. 버스트 모드(burst mode)로 동작하는 전계 흡수 변조기(Electro Absorption Modulator)의 구동 방법에 있어서, In a method of driving an electric field absorption modulator operating in burst mode,
    상기 전계 흡수 변조기를 구동하는 DC 전압과 AC 전압의 크기는, 상기 전계 흡수 변조기에 레이저 광이 주입되어 광의 흡수가 진행되기 시작한 시점부터 시간 경과에 따라 함수적으로 감소되는 것을 특징으로 하는 전계 흡수 변조기의 구동 방법.The magnitude of the DC voltage and AC voltage driving the field absorption modulator decreases as a function of time from the time the laser light is injected into the field absorption modulator and light absorption begins. How to drive.
  2. 청구항 1에 있어서, In claim 1,
    상기 시간의 경과에 따라 DC 전압과 AC 전압의 크기가 감소하는 함수는 미리 정하여져 메모리에 기록되는 것을 특징으로 하는 전계 흡수 변조기의 구동 방법.A method of driving a field absorption modulator, wherein the function by which the magnitude of the DC voltage and AC voltage decreases over time is predetermined and recorded in a memory.
  3. 청구항 1에 있어서, In claim 1,
    상기 전계 흡수 변조기의 광 입력 부분에 광원인 레이저 다이오드가 일체형으로 제작되어 작동하는 것을 특징으로 하는 전계 흡수 변조기 구동 방법.A method of driving a field absorption modulator, characterized in that a laser diode as a light source is manufactured and operated integrally in the optical input part of the field absorption modulator.
  4. 청구항 1에 있어서, In claim 1,
    상기 전계 흡수 변조기의 광 출력 부분에 광증폭기가 일체형으로 제작되어 작동하는 것을 특징으로 하는 변조기 구동 방법.A modulator driving method characterized in that an optical amplifier is manufactured and operated integrally with the optical output portion of the field absorption modulator.
  5. 청구항 1에 있어서, In claim 1,
    상기 전계 흡수 변조기는 딥 리지(deep ridge)의 구조를 가지는 리지(ridge) 형 변조기인 것을 특징으로 하는 전계 흡수 변조기의 구동 방법.A method of driving a field absorption modulator, characterized in that the field absorption modulator is a ridge type modulator having a deep ridge structure.
  6. 청구항 1에 있어서, In claim 1,
    상기 전계 흡수 변조기는 전계 흡수 변조기의 “1” 신호와 “0” 신호는, DC 전압 +1/2 변조 전압으로 “0” 신호를 제작하고, DC 전압 - 1/2 변조 전압으로 “1” 신호를 만들어 내거나, 또는 이와 동등한 과정의 변조 전압을 인가하며, The “1” signal and “0” signal of the field absorption modulator produce a “0” signal with a DC voltage +1/2 modulation voltage, and a “1” signal with a DC voltage - 1/2 modulation voltage. generates or applies a modulation voltage of an equivalent process,
    상기 전계 흡수 변조기가 가동한 이후의 DC 전압과 변조 전압의 감소 함수는 시간에 따라 지수함수적으로 감소하는 것을 특징으로 하는 전계 흡수 변조기의 구동 방법, A method of driving a field absorption modulator, wherein the reduction function of the DC voltage and modulation voltage after the field absorption modulator is operated decreases exponentially with time,
  7. 청구항 1에 있어서, In claim 1,
    상기 전계 흡수 변조기는 전계 흡수 변조기의 “1” 신호와 “0” 신호는, DC 전압 +1/2 변조 전압으로 “0” 신호를 제작하고, DC 전압 - 1/2 변조전압으로 “1” 신호를 만들어 내거나, 또는 이와 동등한 과정의 변조 전압을 인가하며, The “1” signal and “0” signal of the field absorption modulator produce a “0” signal with a DC voltage +1/2 modulation voltage, and a “1” signal with a DC voltage - 1/2 modulation voltage. generates or applies a modulation voltage of an equivalent process,
    상기 전계 흡수 변조기가 가동한 이후의 DC 전압과 변조 전압의 감소 함수는 시간에 따라 전계 흡수 변조기의 온도 상승을 상쇄하는 특성을 가지는 함수인 것을 특징으로 하는 전계 흡수 변조기의 구동 방법.A method of driving a field absorption modulator, characterized in that the reduction function of the DC voltage and the modulation voltage after the field absorption modulator is operated is a function that has the characteristic of offsetting a temperature increase of the field absorption modulator over time.
  8. 청구항 3에 있어서, In claim 3,
    상기 레이저 다이오드는 상부에 히터가 장착된 역메사(reverse mesa) 구조인 것을 특징으로 하는 전계 흡수 변조기의 구동 방법.A method of driving a field absorption modulator, wherein the laser diode has a reverse mesa structure with a heater mounted on the top.
  9. 청구항 1에 있어서, In claim 1,
    상기 전계 흡수 변조기는 상부에 히터를 장착한 역메사(reverse mesa) 구조인 것을 특징으로 하는 전계 흡수 변조기의 구동 방법. A method of driving a field absorption modulator, characterized in that the field absorption modulator has a reverse mesa structure with a heater mounted on the top.
  10. 청구항 9에 있어서, In claim 9,
    상기 전계 흡수 변조기의 상부에 장착되는 히터는 버스트 모드(burst mode)로 동작하는 변조기의 광 흡수에 따른 온도 변화를 상쇄시키도록 구동되는 것을 특징으로 하는 전계 흡수 변조기의 구동 방법. A method of driving a field absorption modulator, characterized in that the heater mounted on the top of the field absorption modulator is driven to offset temperature changes due to light absorption of the modulator operating in burst mode.
  11. 청구항 9에 있어서, In claim 9,
    상기 전계 흡수 변조기의 상부에 장착되는 히터는 변조기의 상부 전극 위에 절연막으로 구분되어 장착되는 것을 특징으로 하는 전계 흡수 변조기의 구동 방법. A method of driving a field absorption modulator, characterized in that the heater mounted on the upper part of the field absorption modulator is separated by an insulating film on the upper electrode of the modulator.
  12. 청구항 9에 있어서, In claim 9,
    상기 전계 흡수 변조기의 상부에 장착되는 히터는 에어 브릿지(air bridge) 형태로 외부 전극과 연결되는 것을 특징으로 하는 전계 흡수 변조기의 구동 방법.A method of driving a field absorption modulator, characterized in that the heater mounted on the top of the field absorption modulator is connected to an external electrode in the form of an air bridge.
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