WO2024014578A1 - 필름형 체크밸브 및 그 체크밸브를 구비한 멤브레인 펌프 - Google Patents

필름형 체크밸브 및 그 체크밸브를 구비한 멤브레인 펌프 Download PDF

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WO2024014578A1
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check valve
membrane
magnet
film
valve
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PCT/KR2022/010334
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김영찬
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큐어스트림(주)
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    • F16K99/0003—Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
    • F16K99/0015—Diaphragm or membrane valves

Definitions

  • the present invention relates to a film-type check valve and a membrane pump equipped with the check valve. More specifically, the check valve is provided with a plate-shaped opening and closing part that selectively opens and closes the inlet hole, and a surface of the opening and closing part that contacts the inlet hole is provided. It relates to a film-type check valve that forms an elastomer membrane and has superior adhesion than the conventional one, thereby preventing backflow of fluid, and a membrane pump equipped with the check valve.
  • check valves are connected in series to the piping system to prevent backflow of fluid flowing inside the piping system.
  • These check valves are of the lift type, which moves linearly by the opening and closing variation of fluid pressure, and the opening and closing variation of the fluid pressure. It is broadly divided into swing type, which rotates by .
  • the lift check valve as described above forms a valve seat with a valve hole inside the valve body, and has a structure in which the valve hole is guided by a disk guide and opened or blocked by a valve disk that moves forward and backward by fluid pressure.
  • the back of the valve disc is formed to protrude long in order for the valve disc to be raised and lowered along the disc guide, and the disc guide must also form a long concave groove accordingly, so the structure of the valve disc or disc guide There is a problem that the production cost increases as a result of the complexity.
  • microfluidic systems are very important systems applied to fields such as micro medical devices and micro fuel cells.
  • microfluidic control technology on biochips such as protein chips or DNA chips, it is important to move a microfluidic sample to a random location at a desired speed. This movement of the sample is mainly accomplished through micropumps and microvalves. .
  • the conventional thin film pump has a relatively simple internal structure. It is an ultra-small injection device that acts as a pump by repeating the expansion and contraction of the thin film.
  • the pumping speed is relatively high compared to other pumps, and it does not require complicated internal devices, so it has the advantage of being able to manufacture ultra-small devices at low cost. .
  • the present invention has a plate-shaped opening and closing part that selectively opens and closes the inlet hole among the check valves, and forms an elastic film on the surface of the opening and closing part that comes into contact with the inlet hole, so that it has superior adhesion than the conventional one, thereby preventing backflow of fluid. It is equipped with an ND magnet that is connected to the membrane and displaces the membrane according to the magnetic field generated from the coil, which not only improves responsiveness compared to the conventional one, but also improves the pump function to control the amount of drug injected more precisely.
  • the purpose is to provide a film-type check valve and a membrane pump equipped with the check valve.
  • the film-type check valve includes a valve housing having an inlet hole at the center through which fluid flows; a film valve member provided on an upper side of the inlet hole in the valve housing and selectively opening the inlet hole; and a cover member coupled to the upper side of the valve housing to seal the upper side of the valve housing and forming an outlet hole through which fluid flows out in the center.
  • the film valve member according to the present invention is disk-shaped and faces the upper surface of the inlet hole, and is displaced depending on the presence/absence of fluid flowing in through the inlet hole, and includes an opening and closing part that selectively opens and closes the inlet hole;
  • An elastic lug that is formed radially with respect to the opening and closing portion and returns the opening and closing portion to the corresponding position by its elasticity when the fluid flow disappears after the opening and closing portion is displaced by the flow of fluid, and the elastic lug It includes a valve body whose ends are connected to support the elastic lug.
  • the opening/closing part according to the present invention further comprises an elastic membrane formed on a surface in contact with the inlet hole to bring the opening/closing part and the inlet hole into close contact.
  • valve housing according to the present invention is disposed radially around the inlet hole with respect to the inlet hole, forming a plurality of fixing burrs that protrude at regular intervals to prevent deformation of the elastic lug while fixing the film valve member. do.
  • the fixing bur according to the present invention is preferably located between the valve body and the elastic lug of the film valve member.
  • a membrane pump equipped with a check valve according to the present invention includes an inflow channel through which fluid flows in from the outside, a retention space on one side of which communicates with the inflow channel, and where the fluid flowing in through the inflow channel stays, and a residence space in the retention space.
  • a pump body that communicates with the other side and has an outlet channel formed therein through which the fluid staying in the residence space flows out to the outside;
  • a membrane disposed on the residence space of the pump body and selectively displaced to expand or contract the volume of the residence space;
  • An ND magnet Neodymium Magnet
  • An ND magnet connected to the upper surface of the membrane and selectively rising or lowering in response to a magnetic field generated at the top to displace the membrane; and a coil provided on top of the ND magnet and selectively generating a N-pole or S-pole magnetic field to selectively raise and lower the ND magnet.
  • the upper surface of the membrane according to the present invention is connected to the lower part of the ND magnet.
  • the area in contact with the lower part of the ND magnet contains magnetic particles and is magnetically connected to the lower part of the ND magnet.
  • the membrane according to the present invention it is preferable that the area in contact with the lower part of the ND magnet and the lower part of the ND magnet have different polarities.
  • the coil according to the present invention forms a hole in the center.
  • the ND magnet according to the present invention has a cylindrical body portion, a guide portion that protrudes upward from the center of the upper side of the body portion, is built into the hole of the coil, and a guide portion that extends downward from the center of the lower side of the body portion. It is preferable to include a connecting portion that is formed to protrude and is connected to the upper surface of the membrane.
  • first check valve provided in the inlet channel according to the present invention and opened to allow fluid to flow only in the inflow direction
  • second check valve provided in the outlet channel and opened to allow fluid to flow only in the outflow direction.
  • first check valve and the second check valve may be provided on the inlet of the inlet channel and the outlet of the outlet channel of the plate-shaped valve body, respectively.
  • an opening and closing part that selectively opens and closes the inlet hole is provided in the form of a plate, and an elastic film is formed on the surface of the opening and closing part that comes into contact with the inlet hole, so that it has superior adhesion than the conventional one, thereby preventing backflow of fluid.
  • Equipped with an ND magnet that is connected to the membrane and displaces the membrane according to the magnetic field generated from the coil not only is the responsiveness improved compared to the conventional one, but the pump function is further improved, allowing more precise control of the amount of drug injected.
  • Figure 1 is an exploded perspective view showing the configuration of a film-type check valve according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 2 is a cross-sectional view showing the configuration of a film-type check valve according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 3 is an exemplary diagram showing the opening of a film-type check valve according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 4 is a perspective view showing the configuration of a membrane pump equipped with a film-type check valve according to an embodiment of the present invention.
  • Figure 5 is a cross-sectional view showing the configuration of a membrane pump equipped with a film-type check valve according to an embodiment of the present invention.
  • the present invention includes a valve housing having an inlet hole in the center through which fluid flows; a film valve member provided on an upper side of the inlet hole in the valve housing and selectively opening the inlet hole; and a cover member coupled to the upper side of the valve housing to seal the upper side of the valve housing and forming an outlet hole in the center through which fluid flows out.
  • the present invention provides an inflow channel through which fluid flows in from the outside, a retention space on which one side communicates with the inflow channel, and where the fluid flowing in through the inflow channel stays, and a communication with the other side of the retention space, and in the retention space.
  • a pump body formed inside an outflow channel through which the remaining fluid flows out to the outside;
  • a membrane disposed on the residence space of the pump body and selectively displaced to expand or contract the volume of the residence space;
  • An ND magnet Neodymium Magnet
  • An ND magnet connected to the upper surface of the membrane and selectively rising or lowering in response to a magnetic field generated at the top to displace the membrane; and a coil provided on an upper part of the ND magnet and selectively generating a magnetic field of the N or S pole to selectively raise and lower the ND magnet.
  • the present invention has a plate-shaped opening and closing part that selectively opens and closes the inlet hole among the check valves, and forms an elastic film on the surface of the opening and closing part that comes into contact with the inlet hole, so that it has superior adhesion than the conventional one, thereby preventing backflow of fluid.
  • This relates to a film-type check valve and a membrane pump equipped with the check valve, which can be viewed with reference to the drawings as follows.
  • the check valve 10 according to an embodiment of the present invention with reference to FIGS. 1 to 3 is a check valve having a film-type valve member, which will be looked at in more detail as follows.
  • the check valve 10 opens and closes a channel so that fluid flows only from the bottom to the top (one direction), and includes a valve housing 11, a film valve member 12, and a cover member 13.
  • the valve housing 11 has a disk shape, and an inlet hole 11a through which fluid flows is formed in the center thereof, and a step 11b is formed along the circumference.
  • fixing burrs 11c which prevent deformation of the elastic lug of the film valve member 12, are formed to protrude and are spaced apart at corresponding intervals.
  • a plurality of fixing burrs (11c) are arranged radially around the inlet hole (11a) with respect to the inlet hole (11a).
  • a circular receiving groove (11d) is formed on the outer periphery of the upper surface of the valve housing (11) where the fixing burr (11c) is formed, and an O-ring (not marked) is accommodated in the receiving groove (11d).
  • a film valve member 12 is provided on the upper side of the valve housing 11.
  • the film valve member 12 is made of PET in the form of a film with a thickness of about 0.025 ⁇ m, and is located on the upper side of the valve housing 11. It is provided to selectively open and close the inlet hole (11a) of the valve housing (11).
  • the film valve member 12 forms an opening and closing part 12a, an elastic lug 12b and a valve body 12c.
  • the opening and closing part 12a is disk-shaped and has a surface on the upper surface of the inlet hole 11a. While doing so, the inlet hole (11a) is selectively opened and closed by displacement depending on the presence/absence of the fluid flowing in through the inlet hole (11a).
  • the diameter of the inlet hole 11a is preferably formed to be relatively smaller than the diameter of the opening and closing part 12a, and an elastic film 12d is provided on the surface of the opening and closing part 12a that contacts the inlet hole 11a.
  • the elastic film 12d is made of a material with its own elasticity (e.g., silicone, rubber, composite synthetic resin) and has a thickness of 0.05 ⁇ m, improving the adhesion between the opening and closing portion 12a and the inlet hole 11a, thereby preventing backflow. can be prevented.
  • the elastic lug (12b) is formed radially with a plurality of elastic lugs (12b) based on the opening and closing portion (12a).
  • the elastic lugs (12b) are made of an elastic material, and the opening and closing portion (12a) is formed in a radial direction. When the flow of fluid disappears after being displaced by the flow, the opening and closing portion 12a is returned to the corresponding position by its elasticity.
  • one end of the elastic lugs (12b) is connected to the opening and closing part (12a), the other end of the elastic lugs (12b) is connected to the valve body (12c), and the length is outside the opening and closing part (12a). It is desirable to form an arc along the main edge.
  • valve body 12c to which the other ends of the elastic lugs 12b are connected is formed of a plate-shaped film, but in one embodiment of the present invention, it has a ring shape corresponding to the inner space of the valve housing 11. And the other end of the elastic lugs (12b) is connected to the inner peripheral surface of the valve body (12c).
  • a fixing burr (11c) protruding from the upper surface of the valve housing (11) is inserted and fixed between the valve body (12c) and the elastic lug (12b).
  • a cover member 13 is coupled to the upper surface of the valve housing 11.
  • the cover member 13 has a cylindrical shape and forms an outlet hole 13a through which fluid flows out at its center.
  • the check valve 10 is provided on the inlet or outlet of the channel and opens and closes the channel so that fluid can flow in only one direction.
  • valve housing 11 and the cover member 13 can be bonded by compression using UV resin.
  • the membrane pump 100 includes a pump body 110, a membrane 120, an ND magnet (Neodymium Magnet: 130), a coil 140, and It includes a first check valve 150 and a second check valve 160.
  • the pump body 110 has an inlet channel 111 through which fluid flows from the outside, and an inlet channel 111.
  • One side communicates with a retention space 112 in which the fluid flowing in through the inflow channel 111 stays, and the other side of the retention space 112, and the fluid staying in the retention space 112 stays in the outside.
  • the inlet channel 111 and the outlet channel 113 are each provided with check valves 150 and 160, and the first check valve 150 provided in the inlet channel 111 is used to check the residence space 112 from the outside. ) is opened to allow fluid to flow only in the inflow direction.
  • the second check valve 160 provided in the outlet channel 113 is opened to allow fluid to flow only in the outflow direction from the retention space 112 to the outside.
  • the fluid flowing in from the outside through the inflow channel 111 of the pump body 110 does not flow back but flows into the retention space 112, and then flows from the retention space 112 to the outside through the outlet channel 113. It leaks out to
  • first check valve 150 and the second check valve 160 are applied check valves and are each formed on one valve body 170. Looking at them in more detail, they are as follows.
  • the first check valve 150 and the second check valve 160 are valves that are opened in only one direction so that fluid flows in only one direction.
  • the first check valve 150 and the second check valve 160 is preferably formed on positions corresponding to the inlet of the inlet channel 111 and the outlet of the outlet channel 113 among the valve body 170 in the form of a thin film.
  • the first check valve 150 and the second check valve 160 are each connected to the inlet of the inlet channel 111 and the outlet channel. It is located at the exit of (113).
  • each of the first check valve 150 and the second check valve 160 is provided with an O-ring,
  • the area around (150) and the second check valve 160 may be sealed to prevent fluid from leaking out.
  • Each of the first check valve 150 and the second check valve 160 includes opening and closing portions 151 and 161 and elastic lugs 152 and 162, respectively.
  • the opening and closing portions 151 and 161 are disk-shaped and allow the inflow. While interviewing the inlet of the channel 111 and the outlet of the outlet channel 113, the inflow channel ( The inlet of 111) and the outlet of the outlet channel 113 are selectively opened and closed.
  • the elastic lugs 152 and 162 are formed so that a plurality of elastic lugs 152 and 162 extend in the outer circumferential direction based on the opening and closing portions 151 and 161 to form a radial shape.
  • the elastic lugs 152 and 162 are It is made of a material with elasticity, and when the opening and closing parts (151, 161) are displaced by the flow of fluid and the fluid flow disappears, the opening and closing parts (151, 161) are returned to the corresponding position by the elasticity.
  • the opening and closing portions 151 and 161 return to their original positions due to the elasticity of the elastic lugs 152 and 162, and the inlet channel 111 and cause the outflow channel 113 to be closed.
  • the fluid flow directions are opposite to each other.
  • the second check valve 160 is provided to flow from top to bottom.
  • the membrane 120 is disposed on the residence space 112 of the pump body 110 and is selectively displaced to expand or contract the volume of the residence space 112.
  • the membrane 120 is a thin film with self-elasticity, and is disposed on the retention space 112 of the pump body 110 with an open upper surface, and is selectively displaced according to the elevation of the ND magnet 130 to retain the retention space.
  • the volume of the space 112 is expanded or contracted.
  • the ND magnet 130 is connected to the upper surface of the membrane 120, and responds to a magnetic field generated at the upper portion to selectively rise or fall to displace the membrane 120.
  • the upper surface of the membrane 120 is integrally connected to the lower part of the ND magnet 130, or the area of the membrane 120 that contacts the lower part of the ND magnet 130 contains magnetic particles, It can be magnetically connected to the lower part of the ND magnet 130.
  • the membrane 120 connected to the lower part of the ND magnet 130 is displaced as the ND magnet 130 rises or falls, causing the volume of the residence space 112 to expand or contract, and the residence space 112 expands or contracts.
  • the volume of (112) expands or contracts, it is pumped from the inlet channel 111 communicating with the residence space 112, and fluid flows into the residence space 112 from the outside through the inlet channel 111. And, the fluid staying in the residence space 112 flows out to the outside through the outlet channel 113.
  • the space between the residence space 112 of the pump body 110 and the membrane 120 is sealed with an O-ring to prevent leakage of the drug flowing into the residence space, and the upper part of the membrane 120 is provided with a plate-shaped membrane cover 121.
  • the membrane cover 121 is a flexible plate material that supports the membrane 120 at the top of the membrane 120 and assists elasticity in response to displacement of the membrane 120. do.
  • an ND magnet receiving panel 122 may be provided on the upper part of the membrane cover 121 to accommodate the ND magnet 130 in the center and to secure the membrane cover 121.
  • the ND magnet receiving panel 122 is formed in a shape corresponding to the pump body 110, and forms a receiving hole in the center in which the ND magnet 130 is accommodated.
  • the raising or lowering of the ND magnet 130 is achieved by the coil 140, which is provided on the upper part of the ND magnet 130 and selectively generates a magnetic field of the N or S pole. By generating a pushing or pulling force, the ND magnet 130 is selectively raised/lowered.
  • the coil 140 preferably has a cylindrical shape with a hole in the center.
  • the ND magnet 130 is provided with a body portion 131, a guide portion 132, and a connection portion 133.
  • the body portion 131 of the ND magnet 130 has a cylindrical shape, and the The guide portion 132 protrudes upward from the center of the upper side of the body portion 131 and is embedded in the hole of the coil 140, and the connecting portion 133 extends downward from the center of the lower side of the body portion 131. It is formed to protrude and is connected to the upper surface of the membrane 120.
  • the body portion 131 of the ND magnet 130 is formed to have a diameter larger than the hole of the coil 140 and smaller than the overall diameter of the coil 140, and the ND magnet 130
  • the guide portion 132 is preferably formed to have a diameter corresponding to the hole of the coil 140.
  • the ND magnet 130 is lifted and lowered along the longitudinal direction of the hole of the coil 140, so that it can be lifted and lowered stably without being deviated from the lift path depending on the strength of the magnetic field, and the lift height is controlled.

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Abstract

본 발명은 체크밸브 중 유입공을 선택적으로 개폐하는 개폐부를 판 상으로 구비하면서, 상기 개폐부 중 유입공과 맞닿는 면에는 탄성체 막을 형성하여, 종래보다 월등한 밀착력을 가지므로, 유체의 역류를 미연에 방지할 수 있고, 멤브레인과 연결되어, 코일에서 발생하는 자기장에 따라 멤브레인을 변위시키는 ND마그넷을 구비하여, 종래보다 응답성이 향상됨은 물론, 펌프 기능을 보다 향상시켜 약물의 주입량을 보다 정밀하게 제어할 수 있는 필름형 체크밸브 및 그 체크밸브를 구비한 멤브레인 펌프를 제공한다.

Description

필름형 체크밸브 및 그 체크밸브를 구비한 멤브레인 펌프
본 발명은 필름형 체크밸브 및 그 체크밸브를 구비한 멤브레인 펌프에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 체크밸브 중 유입공을 선택적으로 개폐하는 개폐부를 판 상으로 구비하면서, 상기 개폐부 중 유입공과 맞닿는 면에는 탄성체 막을 형성하여, 종래보다 월등한 밀착력을 가지므로, 유체의 역류를 미연에 방지할 수 있는 필름형 체크밸브 및 그 체크밸브를 구비한 멤브레인 펌프에 관한 것이다.
일반적으로 체크밸브는 배관계에 직렬로 연결되어 배관계 내부를 흐르는 유체의 역류를 방지하기 위한 밸브로서, 이러한 체크밸브는 개폐변이 유체압에 의해 직선운동되는 리프트형(lift type)과, 개폐변이 유체압에 의해 회전운동되는 스윙형(swing type)으로 크게 나누어진다.
위와 같은 리프트 체크밸브는 밸브몸체의 내부에 밸브공을 가지는 밸브시이트를 형성하고, 상기 밸브공을 디스크가이드에 안내되어 유체압에 의해 전후진되는 밸브디스크로 개방 또는 차단하도록 하는 구조로 되어 있다.
그러나, 위와 같은 구조의 리프트 체크밸브는 밸브디스크가 디스크가이드를 따라 승강되도록 하기 위하여 밸브디스크의 뒷면을 길게 돌출 형성시키고, 그에 따라 디스크가이드도 오목홈을 길게 형성하여야 하므로 밸브디스크나 디스크가이드의 구조가 복잡해져서 그에 따른 제작원가가 높아지는 문제점이 있다.
종래 기술로는 공개실용신안 제20-2008-0000641호(2008.04.23)를 참조할 수 있다.
그리고 최근 들어 국제적으로 마이크로 유체 시스템에 대한 관심과 개발이 증가되고 있으며, 각종 전자기기의 소형화 추세와 함께 미소유체 분사장치에 대한 요구가 확대되고 있는 실정이다.
이러한 마이크로 유체 시스템은 마이크로 의료장비나 마이크로 연료전지 등과 같은 분야에 응용되는 매우 중요한 시스템이다.
단백질 칩 또는 DNA 칩과 같은 바이오 칩 상에서의 미세 유체의 제어기술에 있어서는 미세 유체인 시료를 임의의 위치에 원하는 속도로 이동시키는 것이 중요한데, 이러한 시료의 이동은 주로 마이크로펌프와 마이크로 밸브 등을 통해 이루어진다.
상기한 마이크로 펌프는 작동 원리나 용도 등에 따라 여러 가지 방식이 제안되고 있으나, 박막의 팽창과 수축의 과정을 반복함으로써 유체를 이동시킬 수 있는 박막 펌프가 제공되었는데, 종래의 박막 펌프는 비교적 간단한 내부 구조를 가지고 박막의 팽창과 수축을 반복함으로써 펌프의 역할을 수행하는 초소형 분사장치로서 다른 펌프와 비교하여 펌핑 속도가 비교적 높고, 복잡한 내부 장치가 필요 없으므로 저가의 비용으로 초소형의 장치 제작이 가능한 장점이 있다.
그러나 이러한 종래의 박막 펌프는 주기적인 박막의 팽창과 수축의 변위를 정밀하게 제어하는 것이 곤란하였고, 이로 인해 마이크로 연료전지의 연료공급장치나 마이크로 의료장비 등과 같이 유량의 정밀한 제어를 필요로 하는 분야에서는 사용할 수 없다는 단점이 있었다.
본 발명은 체크밸브 중 유입공을 선택적으로 개폐하는 개폐부를 판 상으로 구비하면서, 상기 개폐부 중 유입공과 맞닿는 면에는 탄성체 막을 형성하여, 종래보다 월등한 밀착력을 가지므로, 유체의 역류를 미연에 방지할 수 있고, 멤브레인과 연결되어, 코일에서 발생하는 자기장에 따라 멤브레인을 변위시키는 ND마그넷을 구비하여, 종래보다 응답성이 향상됨은 물론, 펌프 기능을 보다 향상시켜 약물의 주입량을 보다 정밀하게 제어할 수 있는 필름형 체크밸브 및 그 체크밸브를 구비한 멤브레인 펌프를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명에 따른 필름형 체크밸브는 중심에 유체가 유입되는 유입공을 형성한 밸브하우징; 상기 밸브하우징 중 유입공의 상측에 구비되고, 상기 유입공을 선택적으로 개방하는 필름밸브부재; 및 상기 밸브하우징의 상측에 결합되어 상기 밸브하우징의 상측을 밀폐하고, 중앙에는 유체가 유출되는 유출공을 형성한 덮개부재를 포함한다.
이때 본 발명에 따른 상기 필름밸브부재는 원판형으로 상기 유입공의 상면에 면접하면서, 상기 유입공을 통해 유입되는 유체의 유동 유/무에 따라 변위되어 상기 유입공을 선택적으로 개폐하는 개폐부와, 상기 개폐부를 기준으로 방사상으로 형성되어, 상기 개폐부가 유체의 유동에 의해 변위된 후 유체의 유동이 소멸하게 되면, 그 탄성으로 상기 개폐부를 해당 위치에 위치하도록 복귀시키는 탄성러그와, 상기 탄성러그의 끝단이 연결되어 상기 탄성러그를 지지하는 밸브몸체를 포함한다.
그리고 본 발명에 따른 상기 개폐부 중 유입공과 맞닿는 면에 형성되어, 상기 개폐부와 유입공을 밀착시키는 탄성체 막을 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 상기 밸브하우징은 상기 유입공을 기준으로 상기 유입공 주변에 방사상으로 배치되어, 상기 필름밸브부재를 고정하면서 탄성러그의 변형을 방지하는 복수 개의 고정버를 일정한 간격으로 돌출 형성한다.
여기서 본 발명에 따른 상기 고정버는 상기 필름밸브부재의 밸브몸체와 탄성러그 사이 위치하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 체크밸브를 구비한 멤브레인 펌프는 외부에서 유체가 유입되는 유입채널과, 상기 유입채널과 일측편이 연통하고, 상기 유입채널을 통해 유입된 유체가 체류하는 체류공간과, 상기 체류공간의 타측과 연통하고, 상기 체류공간에 체류하는 유체가 외부로 유출되는 유출채널을 내부에 형성한 펌프몸체; 상기 펌프몸체의 체류공간 상에 배치되고, 선택적으로 변위되어 체류공간의 부피를 팽창 또는 수축시키는 멤브레인; 상기 멤브레인의 상면에 연결되고, 상부에서 발생하는 자기장에 의해 반응하여 선택적으로 상승 또는 하강하여 상기 멤브레인을 변위시키는 ND마그넷(Neodymium Magnet); 및 상기 ND마그넷의 상부에 구비되고, 선택적으로 N극 또는 S극의 자기장을 생성하여, 상기 ND마그넷을 선택적으로 승강시키는 코일;을 포함한다.
이때 본 발명에 따른 상기 멤브레인은 그 상면이 상기 ND마그넷의 하부에 연결되는 것이 바람직하다.
여기서 본 발명에 따른 상기 멤브레인 중 상기 ND마그넷의 하부와 맞닿는 영역에는 자성체 입자를 포함하여, 상기 ND마그넷의 하부와 자성으로 연결되는 것이 바람직하다.
그리고 본 발명에 따른 상기 멤브레인 중 상기 ND마그넷의 하부와 맞닿는 영역과, 상기 ND마그넷의 하부는 서로 다른 극성을 가지는 것이 바람직하다.
더불어 본 발명에 따른 상기 코일은 중앙에 홀을 형성한다.
이때 본 발명에 따른 상기 ND마그넷은 원주형을 이루는 몸체부와, 상기 몸체부 상측면 중심에서 상향으로 돌출 형성되어, 상기 코일의 홀에 내장되는 안내부와, 상기 몸체부 하측면 중심에서 하향으로 돌출 형성되어, 상기 멤브레인의 상면과 연결되는 연결부를 포함하는 것이 바람직하다.
그리고 본 발명에 따른 상기 유입채널에 구비되어, 유입방향으로만 유체가 유동하도록 개방되는 제1체크밸브와, 상기 유출채널에 구비되어, 유출방향으로만 유체가 유동하도록 개방되는 제2체크밸브를 포함하고, 상기 제1체크밸브와, 제2체크밸브는 판 상의 밸브몸체 중 상기 유입채널의 입구와, 상기 유출채널의 출구 상에 각각 구비될 수 있다.
본 발명에 따른 필름형 체크밸브 및 그 체크밸브를 구비한 멤브레인 펌프에 의해 나타나는 효과는 다음과 같다.
체크밸브 중 유입공을 선택적으로 개폐하는 개폐부를 판 상으로 구비하면서, 상기 개폐부 중 유입공과 맞닿는 면에는 탄성체 막을 형성하여, 종래보다 월등한 밀착력을 가지므로, 유체의 역류를 미연에 방지할 수 있다.
멤브레인과 연결되어, 코일에서 발생하는 자기장에 따라 멤브레인을 변위시키는 ND마그넷을 구비하여, 종래보다 응답성이 향상됨은 물론, 펌프 기능을 보다 향상시켜 약물의 주입량을 보다 정밀하게 제어할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 필름형 체크밸브의 구성을 보인 분해사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 필름형 체크밸브의 구성을 보인 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 필름형 체크밸브의 개방을 보인 예시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 필름형 체크밸브를 구비한 멤브레인 펌프의 구성을 보인 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 필름형 체크밸브를 구비한 멤브레인 펌프의 구성을 보인 단면도이다.
본 발명은 중심에 유체가 유입되는 유입공을 형성한 밸브하우징; 상기 밸브하우징 중 유입공의 상측에 구비되고, 상기 유입공을 선택적으로 개방하는 필름밸브부재; 및 상기 밸브하우징의 상측에 결합되어 상기 밸브하우징의 상측을 밀폐하고, 중앙에는 유체가 유출되는 유출공을 형성한 덮개부재를 포함하는 필름형 체크밸브를 제공한다.
본 발명은 외부에서 유체가 유입되는 유입채널과, 상기 유입채널과 일측편이 연통하고, 상기 유입채널을 통해 유입된 유체가 체류하는 체류공간과, 상기 체류공간의 타측과 연통하고, 상기 체류공간에 체류하는 유체가 외부로 유출되는 유출채널을 내부에 형성한 펌프몸체; 상기 펌프몸체의 체류공간 상에 배치되고, 선택적으로 변위되어 체류공간의 부피를 팽창 또는 수축시키는 멤브레인; 상기 멤브레인의 상면에 연결되고, 상부에서 발생하는 자기장에 의해 반응하여 선택적으로 상승 또는 하강하여 상기 멤브레인을 변위시키는 ND마그넷(Neodymium Magnet); 및 상기 ND마그넷의 상부에 구비되고, 선택적으로 N극 또는 S극의 자기장을 생성하여, 상기 ND마그넷을 선택적으로 승강시키는 코일;을 포함하는 체크밸브를 구비한 멤브레인 펌프를 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들은 대체할 수 있는 균등한 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
본 발명은 체크밸브 중 유입공을 선택적으로 개폐하는 개폐부를 판 상으로 구비하면서, 상기 개폐부 중 유입공과 맞닿는 면에는 탄성체 막을 형성하여, 종래보다 월등한 밀착력을 가지므로, 유체의 역류를 미연에 방지할 수 있는 필름형 체크밸브 및 그 체크밸브를 구비한 멤브레인 펌프에 관한 것으로, 도면을 참조하여 살펴보면 다음과 같다.
도 1 내지 도 3을 참조한 본 발명의 일 실시 예에 따른 체크밸브(10)는 필름 형태의 밸브부재를 갖는 체크밸브로, 이를 보다 상세하게 살펴보면 다음과 같다.
상기 체크밸브(10)는 하측에서 상측 방향(일 방향)으로만 유체가 유동하도록 채널을 개폐하는 것으로, 밸브하우징(11)과, 필름밸브부재(12), 및 덮개부재(13)를 포함하는데, 상기 밸브하우징(11)은 원판형으로, 그 중심에는 유체가 유입되는 유입공(11a)을 형성하고, 원주를 따라 단턱(11b)을 형성한다.
그리고 상기 밸브하우징(11)의 상면에는 상기 필름밸브부재(12)의 탄성러그의 변형을 방지하는 고정버(11c)를 해당 간격으로 이격시키는 돌출 형성한다.
이때 상기 고정버(11c)는 복수 개로 상기 유입공(11a)을 기준으로 상기 유입공(11a) 주변에 방사상으로 배치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 밸브하우징(11)의 상면 중 상기 고정버(11c)가 형성된 부분의 외주에는 원형의 수용홈(11d)을 형성하는데, 상기 수용홈(11d)에는 O링(미부호)이 수용되어, 상기 밸브하우징(11)과 덮개부재(13) 사이를 실링하여 유체의 누설을 방지함은 물론, 상기 체크밸브(10)가 오픈될 시, 필름밸브부재(12)의 개폐부(12a)가 최대로 변위될 수 있는 공간을 확보할 수 있다.
그리고 상기 밸브하우징(11)의 상측에는 필름밸브부재(12)를 구비하는데, 상기 필름밸브부재(12)는 PET 소재의 두께가 약 0.025㎛의 필름 형태로, 상기 밸브하우징(11)의 상측에 구비되어, 상기 밸브하우징(11)의 유입공(11a)을 선택적으로 개폐한다.
이때 상기 필름밸브부재(12)는 개폐부(12a)와, 탄성러그(12b)와, 밸브몸체(12c)을 형성하는데, 상기 개폐부(12a)는 원판형으로 상기 유입공(11a)의 상면에 면접하면서, 상기 유입공(11a)을 통해 유입되는 유체의 유동 유/무에 따라 변위되어 상기 유입공(11a)을 선택적으로 개폐한다.
여기서 상기 유입공(11a)의 지름은 상기 개폐부(12a)의 지름보다 상대적으로 작게 형성하는 것이 바람직하고, 상기 개폐부(12a) 중 유입공(11a)과 맞닿는 면에는 탄성체 막(12d)을 구비하는데, 상기 탄성체 막(12d)은 자체 탄성을 가진 재질(예로, 실리콘, 고무, 복합합성수지)로 두께가 0.05㎛로, 상기 개폐부(12a)와 상기 유입공(11a)과의 밀착력을 향상시켜, 역류를 방지할 수 있다.
그리고 상기 탄성러그(12b)는 상기 개폐부(12a)를 기준으로 복수 개의 탄성러그(12b)가 방사상으로 형성되는데, 상기 탄성러그(12b)들은 탄성을 갖는 재질로 이루어져, 상기 개폐부(12a)가 유체의 유동에 의해 변위된 후 유체의 유동이 소멸하게 되면, 그 탄성으로 상기 개폐부(12a)를 해당 위치에 위치하도록 복귀시킨다.
여기서 상기 탄성러그(12b)들은 그 일측단이 상기 개폐부(12a)와 연결되고, 상기 탄성러그(12b)들의 타측단은 상기 밸브몸체(12c)에 연결되며, 길이는 상기 개폐부(12a)의 외주연을 따라 호 형태로 이루는 것이 바람직하다.
한편, 상기 탄성러그(12b)들의 타측단이 연결되는 상기 밸브몸체(12c)는 판상의 필름으로 형성하나, 본 발명의 일 실시 예에서는 상기 밸브하우징(11)의 내부 공간에 대응하여 고리형태를 이루고, 상기 탄성러그(12b)들의 타측단이 밸브몸체(12c)의 내주면에 연결된다.
그리고 상기 밸브몸체(12c)와 탄성러그(12b) 사이가 상기 밸브하우징(11)의 상면에 돌출형성된 고정버(11c)가 끼워져 고정된다.
또한, 상기 밸브하우징(11)의 상면에는 덮개부재(13)를 결합하는데, 상기 덮개부재(13)는 원주형을 이루고, 그 중심에는 유체가 유출되는 유출공(13a)을 형성한다.
따라서 상기 체크밸브(10)는 채널의 입구 또는 출구 상에 구비되어, 유체가 일방향으로만 유동할 수 있도록 채널을 개폐한다.
더불어 상기 밸브하우징(11)과 덮개부재(13)는 UV레진을 이용하여 압착 접착을 결합할 수 있는데, 이때에는 상기 밸브하우징(11)의 상면에 구비되는 O링을 생략한 후 결합하는 것이 바람직하다.
도 4 및 도 5를 참조한 본 발명의 일 실시 예에 따른 멤브레인 펌프(100)는 펌프몸체(110)와, 멤브레인(120)과, ND마그넷(Neodymium Magnet: 130)과, 코일(140)과, 제1체크밸브(150) 및 제2체크밸브(160)를 포함하는데, 먼저 상기 펌프몸체(110)는 그 내부에 외부에서 유체가 유입되는 유입채널(111)과, 상기 유입채널(111)과 일측편이 연통하고, 상기 유입채널(111)을 통해 유입된 유체가 체류하는 체류공간(112)과, 상기 체류공간(112)의 타측과 연통하고, 상기 체류공간(112)에 체류하는 유체가 외부로 유출되는 유출채널(113)을 형성한다.
이때 상기 유입채널(111) 및 유출채널(113) 각각에는 체크밸브(150, 160)를 구비하는데, 상기 유입채널(111)에 구비되는 제1체크밸브(150)는 외부에서 상기 체류공간(112)으로 유동하는 유입방향으로만 유체가 유동하도록 개방된다.
그리고 상기 유출채널(113)에 구비되는 제2체크밸브(160)는 상기 체류공간(112)에서 외부로 유동하는 유출방향으로만 유체가 유동하도록 개방된다.
따라서 상기 펌프몸체(110)의 유입채널(111)을 통해 외부에서 유입된 유체는 역류하지 않고 상기 체류공간(112)으로 유입된 후, 상기 체류공간(112)에서 유출채널(113)을 통해 외부로 유출된다.
여기서 상기 제1체크밸브(150) 및 제2체크밸브(160)는 체크밸브를 적용한 것으로 하나의 밸브몸체(170)에 각각 형성되는데, 이를 보다 상세하게 살펴보면 다음과 같다.
상기 제1체크밸브(150) 및 제2체크밸브(160)는 유체가 일 방향으로만 유동하도록 일 방향으로만 개방되는 밸브로, 상기 제1체크밸브(150) 및 제2체크밸브(160)는 두께가 얇은 필름 형태의 밸브몸체(170) 중 상기 유입채널(111)의 입구 및 상기 유출채널(113)의 출구에 대응하는 위치 상에 각각 형성되는 것이 바람직하다.
따라서 상기 밸브몸체(170)가 상기 펌프몸체(110)의 저면에 결합되면, 상기 제1체크밸브(150) 및 제2체크밸브(160) 각각은 상기 유입채널(111)의 입구 및 상기 유출채널(113)의 출구에 위치하게 된다.
이때 상기 밸브몸체(170)를 상기 펌프몸체(110)의 저면에 결합할 시, 상기 제1체크밸브(150) 및 제2체크밸브(160) 각각에는 O링을 구비하여, 상기 제1체크밸브(150) 및 제2체크밸브(160)의 주변에서 유체가 유출되지 않도록 밀폐할 수도 있다.
상기 제1체크밸브(150) 및 제2체크밸브(160) 각각은 개폐부(151, 161)와, 탄성러그(152, 162)를 포함하는데, 상기 개폐부(151, 161)는 원판형으로 상기 유입채널(111)의 입구 및 상기 유출채널(113)의 출구에 면접하면서, 상기 유입채널(111) 및 상기 유출채널(113)을 통해 유동하는 유체의 유동 유/무에 따라 변위되어 상기 유입채널(111)의 입구 및 상기 유출채널(113)의 출구를 선택적으로 개폐한다.
그리고 상기 탄성러그(152, 162)는 상기 개폐부(151, 161)를 기준으로 복수 개의 탄성러그(152, 162)가 외주방향으로 연장되어 방사상을 이루도록 형성되는데, 상기 탄성러그(152, 162)들은 탄성을 갖는 재질로 이루어져, 상기 개폐부(151, 161)가 유체의 유동에 의해 변위된 후 유체의 유동이 소멸하게 되면, 그 탄성으로 상기 개폐부(151, 161)를 해당 위치에 위치하도록 복귀시킨다.
따라서 상기 유입채널(111) 및 상기 유출채널(113)에서 유체의 유동이 없으면, 상기 개폐부(151, 161)는 탄성러그(152, 162)의 탄성으로 원위치로 복귀하여, 상기 유입채널(111) 및 상기 유출채널(113)가 폐쇄되도록 한다.
그러므로 상기 제1체크밸브(150) 및 제2체크밸브(160)는 유입채널(111) 및 유출채널(113)에 각각 구비될 시, 유체의 유동방향이 서로 반대로 유동하도록 구비되는 것이 바람직하다.
일례로, 상기 제1체크밸브(150)의 유동방향이 아래에서 위로 유동하도록 구비되면, 상기 제2체크밸브(160)는 위에서 아래로 유동하도록 구비되는 것이 바람직하다.
그리고 상기 멤브레인(120)은 상기 펌프몸체(110)의 체류공간(112) 상에 배치되고, 선택적으로 변위되어 체류공간(112)의 부피를 팽창 또는 수축시킨다.
상기 멤브레인(120)은 자체탄성을 갖는 박막으로, 상면이 개구된 상기 펌프몸체(110)의 체류공간(112) 상에 배치되어, 상기 ND마그넷(130)의 승강에 따라 선택적으로 변위되어 상기 체류공간(112)의 부피를 팽창 또는 수축시킨다.
상기 ND마그넷(130)은 상기 멤브레인(120)의 상면에 연결되고, 상부에서 발생하는 자기장에 의해 반응하여, 선택적으로 상승 또는 하강하여 상기 멤브레인(120)을 변위시킨다.
이때 상기 멤브레인(120)은 그 상면이 상기 ND마그넷(130)의 하부에 일체로 연결되거나, 또는 상기 멤브레인(120) 중 상기 ND마그넷(130)의 하부와 맞닿는 영역에는 자성체 입자를 포함하여, 상기 ND마그넷(130)의 하부와 자성으로 연결될 수 있다.
따라서 상기 ND마그넷(130)의 하부와 연결된 상기 멤브레인(120)은 상기 ND마그넷(130)의 상승 또는 하강함에 따라 변위되어, 상기 체류공간(112)의 부피가 팽창 또는 수축하게 되고, 상기 체류공간(112)의 부피가 팽창 또는 수축함에 따라 상기 체류공간(112)와 연통하는 상기 유입채널(111)에서 펌핑되어, 상기 유입채널(111)을 통해 외부에서 상기 체류공간(112)으로 유체가 유입되고, 상기 체류공간(112)에서 체류하는 유체는 상기 유출채널(113)을 통해 외부로 유출된다.
또한, 상기 펌프몸체(110)의 체류공간(112)과 상기 멤브레인(120) 사이는 O링으로 실링되어, 체류공간으로 유입된 약물의 누설을 방지하는 것이 바람직하고, 상기 멤브레인(120)의 상부에는 판 상의 멤브레인커버(121)가 구비되는데, 상기 멤브레인커버(121)는 플렉시블한 판재로 상기 멤브레인(120)의 상부에서 멤브레인(120)을 지지하면서 상기 멤브레인(120) 변위에 대응하여 탄성을 보조한다.
더불어 상기 멤브레인커버(121)의 상부에는 상기 ND마그넷(130)을 중앙에 수용하면서, 상기 멤브레인커버(121)를 고정하는 ND마그넷 수용패널(122)을 구비할 수 있다.
상기 ND마그넷 수용패널(122)은 상기 펌프몸체(110)와 대응하는 형태로 형성하면서, 그 중앙에는 상기 ND마그넷(130)이 수용되는 수용홀을 형성한다.
그리고 상기 ND마그넷(130)의 상승 또는 하강은 상기 코일(140)에 의해 이루어지는데, 상기 코일(140)은 상기 ND마그넷(130)의 상부에 구비되고, 선택적으로 N극 또는 S극의 자기장을 생성하여, 밀거나 당기는 힘으로 상기 ND마그넷(130)을 선택적으로 승강시킨다.
이때 상기 코일(140)은 중앙에 홀을 형성한 원주형을 이루는 것이 바람직하다.
또한, 상기 ND마그넷(130)은 몸체부(131)와, 안내부(132)와, 연결부(133)로 구비되는데, 상기 ND마그넷(130)의 몸체부(131)는 원주형을 이루고, 상기 안내부(132)는 상기 몸체부(131) 상측면 중심에서 상향으로 돌출 형성되어, 상기 코일(140)의 홀에 내장되며, 상기 연결부(133)는 상기 몸체부(131) 하측면 중심에서 하향으로 돌출 형성되어, 상기 멤브레인(120)의 상면과 연결된다.
이때 상기 ND마그넷(130)의 몸체부(131)는 상기 코일(140)의 홀보다 큰 지름을 갖으면서 상기 코일(140)의 전체 지름보다 작은 지름을 갖도록 형성되고, 상기 ND마그넷(130)의 안내부(132)는 상기 코일(140)의 홀과 대응하는 지름을 갖도록 형성되는 것이 바람직하다.
따라서 상기 ND마그넷(130)는 상기 코일(140)의 홀 길이방향을 따라 승강이 이루어져, 자기장의 세기에 따라 승강 경로에서 이탈되지 않고, 안정적으로 승강할 수 있고, 승강 높이가 단속된다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (12)

  1. 중심에 유체가 유입되는 유입공을 형성한 밸브하우징;
    상기 밸브하우징 중 유입공의 상측에 구비되고, 상기 유입공을 선택적으로 개방하는 필름밸브부재; 및
    상기 밸브하우징의 상측에 결합되어 상기 밸브하우징의 상측을 밀폐하고, 중앙에는 유체가 유출되는 유출공을 형성한 덮개부재를 포함하는 필름형 체크밸브.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 필름밸브부재는
    원판형으로 상기 유입공의 상면에 면접하면서, 상기 유입공을 통해 유입되는 유체의 유동 유/무에 따라 변위되어 상기 유입공을 선택적으로 개폐하는 개폐부와,
    상기 개폐부를 기준으로 방사상으로 형성되어, 상기 개폐부가 유체의 유동에 의해 변위된 후 유체의 유동이 소멸하게 되면, 그 탄성으로 상기 개폐부를 해당 위치에 위치하도록 복귀시키는 탄성러그와,
    상기 탄성러그의 끝단이 연결되어 상기 탄성러그를 지지하는 밸브몸체를 포함하는 필름형 체크밸브.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 개폐부 중 유입공과 맞닿는 면에 형성되어, 상기 개폐부와 유입공을 밀착시키는 탄성체 막을 더 포함하는 필름형 체크밸브.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 밸브하우징은
    상기 유입공을 기준으로 상기 유입공 주변에 방사상으로 배치되어, 상기 필름밸브부재를 고정하면서 탄성러그의 변형을 방지하는 복수 개의 고정버를 일정한 간격으로 돌출 형성한 필름형 체크밸브.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 고정버는
    상기 필름밸브부재의 밸브몸체와 탄성러그 사이 위치하는 것을 특징으로 하는 필름형 체크밸브.
  6. 외부에서 유체가 유입되는 유입채널과, 상기 유입채널과 일측편이 연통하고, 상기 유입채널을 통해 유입된 유체가 체류하는 체류공간과, 상기 체류공간의 타측과 연통하고, 상기 체류공간에 체류하는 유체가 외부로 유출되는 유출채널을 내부에 형성한 펌프몸체;
    상기 펌프몸체의 체류공간 상에 배치되고, 선택적으로 변위되어 체류공간의 부피를 팽창 또는 수축시키는 멤브레인;
    상기 멤브레인의 상면에 연결되고, 상부에서 발생하는 자기장에 의해 반응하여 선택적으로 상승 또는 하강하여 상기 멤브레인을 변위시키는 ND마그넷(Neodymium Magnet); 및
    상기 ND마그넷의 상부에 구비되고, 선택적으로 N극 또는 S극의 자기장을 생성하여, 상기 ND마그넷을 선택적으로 승강시키는 코일;을 포함하는 멤브레인 펌프.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 멤브레인은
    그 상면이 상기 ND마그넷의 하부에 연결되는 것을 특징으로 하는 멤브레인 펌프.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 멤브레인 중 상기 ND마그넷의 하부와 맞닿는 영역에는 자성체 입자를 포함하여, 상기 ND마그넷의 하부와 자성으로 연결되는 것을 특징으로 하는 멤브레인 펌프.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 멤브레인 중 상기 ND마그넷의 하부와 맞닿는 영역과, 상기 ND마그넷의 하부는 서로 다른 극성을 가지는 것을 특징으로 하는 멤브레인 펌프.
  10. 청구항 6에 있어서,
    상기 코일은 중앙에 홀을 형성한 멤브레인 펌프.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 ND마그넷은
    원주형을 이루는 몸체부와,
    상기 몸체부 상측면 중심에서 상향으로 돌출 형성되어, 상기 코일의 홀에 내장되는 안내부와,
    상기 몸체부 하측면 중심에서 하향으로 돌출 형성되어, 상기 멤브레인의 상면과 연결되는 연결부를 포함하는 멤브레인 펌프.
  12. 청구항 6에 있어서,
    상기 유입채널에 구비되어, 유입방향으로만 유체가 유동하도록 개방되는 제1체크밸브와,
    상기 유출채널에 구비되어, 유출방향으로만 유체가 유동하도록 개방되는 제2체크밸브를 포함하고,
    상기 제1체크밸브와, 제2체크밸브는 판 상의 밸브몸체 중 상기 유입채널의 입구와, 상기 유출채널의 출구 상에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 멤브레인 펌프.
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