WO2024004518A1 - 透明導電膜および調光装置 - Google Patents

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WO2024004518A1
WO2024004518A1 PCT/JP2023/020585 JP2023020585W WO2024004518A1 WO 2024004518 A1 WO2024004518 A1 WO 2024004518A1 JP 2023020585 W JP2023020585 W JP 2023020585W WO 2024004518 A1 WO2024004518 A1 WO 2024004518A1
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conductive
pair
light control
parts
control device
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PCT/JP2023/020585
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孝彦 一木
英紀 安田
和弘 長谷川
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富士フイルム株式会社
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    • H05K9/00—Screening of apparatus or components against electric or magnetic fields

Definitions

  • the present invention relates to a transparent conductive film and a light control device that are transparent to electromagnetic waves in a specific frequency band.
  • the heat generating member of Patent Document 1 includes a conductive laminate having a three-dimensional structure with a plated layer and a metal layer disposed on the plated layer, and causes the metal layer to function as a heating wire.
  • Non-Patent Document 1 a metal mesh structure as disclosed in Non-Patent Document 1 is known.
  • a plurality of cross-shaped non-conductive portions are formed in a grid pattern along two mutually orthogonal directions. These multiple non-conductive parts allow electromagnetic waves in a frequency band corresponding to the size of the cross shape to easily pass through the metal mesh, while electromagnetic waves in other frequency bands are blocked.
  • the heat generating member disclosed in Patent Document 1 cannot transmit only electromagnetic waves in a specific frequency band, it is difficult to achieve both a heat generating function and a function to transmit only electromagnetic waves in a specific frequency band. It was difficult.
  • the present inventors discovered that when an electric current is applied to the metal mesh disclosed in Non-Patent Document 1 to cause the metal mesh to generate heat, the current flows intensively between a plurality of non-conductive parts. It was discovered that this caused localized heat generation, which caused the metal mesh to oxidize and otherwise deteriorate.
  • Non-Patent Document 1 a metal mesh disclosed in Non-Patent Document 1 is installed in such a light control device to transmit electromagnetic waves in a specific frequency band, a plurality of lattice-shaped meshes formed by a plurality of non-conductive parts are installed. Even when the light control device is placed in an opaque state due to the slit, the situation on one side of the light control device can be seen from the other side, resulting in a decrease in shielding performance.
  • the present invention is intended to solve these problems, and has the function of transmitting only electromagnetic waves in a specific frequency band, suppresses local deterioration during heat generation, and makes the light control device opaque. It is an object of the present invention to provide a transparent conductive film that can improve the shielding performance in the opaque state, and a light control device that can improve the shielding performance in the opaque state.
  • the non-conductive part is having a pair of extension parts extending along a pair of central axes orthogonal to each other and having the same length; the pair of extensions intersect each other at the intersection of the pair of central axes;
  • the pair of extension parts each have an overhang part that extends in a direction intersecting the extension direction,
  • the non-conductive part has a symmetrical shape with respect to each of a pair of central axes.
  • a transparent conductive film for a heater is
  • the distance A between adjacent non-conductive parts and the radius B of the circumscribed circle of the non-conductive parts are: (A/2)/B>0.2
  • the repeating pattern is composed of a plurality of square unit areas centered on the intersection of a pair of central axes in the non-conductive part and surrounding the non-conductive part, arranged in a direction along the pair of central axes.
  • the mesh-shaped portion has a plurality of non-conductive portions arranged to form a regular repeating pattern and bordered by continuous conductive wiring,
  • the non-conductive part is having a pair of extension parts extending along a pair of central axes orthogonal to each other and having the same length; the pair of extensions intersect each other at the intersection of the pair of central axes;
  • the pair of extension parts each have an overhang part that extends in a direction intersecting the extension direction,
  • the non-conductive part has a symmetrical shape with respect to each of a pair of central axes.
  • a transparent conductive film for a light control device is
  • a light control device comprising a light control layer disposed between a pair of transparent conductive films for a light control device and whose optical characteristics change depending on an electrical signal.
  • At least one non-conductive part of a plurality of non-conductive parts in one transparent conductive film for a dimmer of a pair of transparent conductive films for a dimmer, and at least one non-conductive part in the other transparent conductive film for a dimmer are arranged offset from each other in a plan view,
  • the transparent conductive film includes a substrate and a mesh-shaped portion disposed on the substrate and formed by a plurality of conductive wirings, and the mesh-shaped portions are arranged to form a regular repeating pattern. and has a plurality of non-conductive parts bordered by continuous conductive wiring, the non-conductive parts having a pair of extension parts extending along a pair of central axes orthogonal to each other and having the same length. , the pair of extension parts intersect with each other at the intersection of the pair of central axes, each of the pair of extension parts has an overhang part extending in a direction crossing the extension direction, and the non-conductive part intersects with each other at the intersection of the pair of central axes.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a part of a transparent conductive film according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 1 is a plan view of a transparent conductive film according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 3 is a schematic diagram showing an enlarged mesh-shaped portion in Embodiment 1 of the present invention. It is a figure showing the non-conductive part in Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 3 is a diagram showing a cross-shaped non-conductive part.
  • FIG. 3 is a diagram showing a unit area in Embodiment 1 of the present invention. It is a figure which shows the non-conductive part in the 1st modification of Embodiment 1 of this invention.
  • FIG. 7 is a plan view of the first conductive layer in Embodiment 2 of the present invention.
  • FIG. 7 is a diagram showing in detail the cross-sectional configuration of a first substrate and a first conductive layer in Embodiment 2 of the present invention. It is a figure which shows the cross-sectional structure of the light control device of Embodiment 2 of this invention in detail.
  • FIG. 7 is a diagram showing the maximum amount of deviation between the non-conductive portion of the first conductive layer and the non-conductive portion of the second conductive layer in Embodiment 2 of the present invention.
  • transparent to visible light means that the visible light transmittance is 40% or more in the visible light wavelength range of 380 nm to 800 nm, preferably 80.0% or more, unless otherwise specified. More preferably, it is 90.0% or more.
  • transparent means transparent to visible light unless otherwise specified. The visible light transmittance is measured using "Plastics - How to determine total light transmittance and total light reflectance" specified in JIS (Japanese Industrial Standard) K 7375:2008.
  • FIG. 1 shows a transparent conductive film 11 according to Embodiment 1 of the present invention.
  • the transparent conductive film 11 of Embodiment 1 can be used as a transparent conductive film for a heater that generates heat when energized and has the function of a heater.
  • the transparent conductive film 11 is a film-like member, and includes an insulating transparent substrate 12 and a conductive layer 13 formed on one side of the substrate 12.
  • the conductive layer 13 has a visible light transmittance of, for example, 75.0% or more.
  • the conductive layer 13 of the transparent conductive film 11 has a mesh-shaped portion 14 formed by a plurality of conductive wirings 21, and a mesh-shaped portion 14 at both ends of the mesh-shaped portion 14 for applying a voltage to the mesh-shaped portion 14.
  • a pair of connected electrode pads 15 are provided.
  • the pair of electrode pads 15 each have a rectangular shape, and are arranged so that their long sides face each other.
  • the mesh-shaped portion 14 can be heated, for example, by applying a voltage between the pair of electrode pads 15 and causing a current to flow through the mesh-shaped portion 14 .
  • the transparent conductive film 11 functions as a so-called heater.
  • the Y direction the direction from one electrode pad 15 to the other electrode pad 15
  • the X direction the direction orthogonal to the Y direction
  • a plurality of conductive wirings 21 forming the mesh-shaped portion 14 extend in the X direction and the Y direction.
  • the plurality of conductive wires 21 have a line width T and are arranged at a pitch Q defined as the distance between the center lines CL of the conductive wires 21. Furthermore, the mesh-shaped portion 14 has a plurality of square openings H, forming a so-called square lattice.
  • the line width T of the conductive wiring 21 is not particularly limited, but the upper limit is preferably 1000.00 ⁇ m or less, more preferably 500.00 ⁇ m or less, and even more preferably 300.00 ⁇ m or less.
  • the lower limit of the line width T is preferably 1.00 ⁇ m or more, more preferably 3.00 ⁇ m or more. If the line width T is within the above range, the mesh shaped portion 14 can have high electrical conductivity.
  • the thickness of the conductive wiring 21 can be set to 0.01 ⁇ m or more and 200.00 ⁇ m or less, but the upper limit thereof is preferably 30.00 ⁇ m or less, more preferably 20.00 ⁇ m or less, and 9
  • the thickness is more preferably .00 ⁇ m or less, particularly preferably 5.00 ⁇ m or less.
  • the lower limit of the thickness of the conductive wiring 21 is preferably 0.01 ⁇ m or more, more preferably 0.10 ⁇ m or more, and even more preferably 0.5 ⁇ m or more.
  • the sheet resistance of the conductive layer 13 formed by the plurality of conductive wirings 21 is preferably 0.1 ⁇ / ⁇ or more and 10.0 ⁇ / ⁇ or less, more preferably 0.3 ⁇ / ⁇ or more and 3.0 ⁇ / ⁇ or less. .
  • the conductive layer 13 has a low sheet resistance of 10.0 ⁇ / ⁇ or less, so it has high heater performance with a large amount of heat generation under voltage-limited conditions, and has high electromagnetic wave transmittance. have. Further, since the conductive layer 13 has a resistance value of 0.10 ⁇ / ⁇ or more, it has high heater performance with a large amount of heat generated even under conditions where current is limited.
  • the mesh-shaped portion 14 has a plurality of non-conductive portions 22 arranged to form a regular repeating pattern and bordered by continuous conductive wiring 21A.
  • the plurality of non-conductive parts 22 are arranged at an interval A and an arrangement pitch P in the X direction and the Y direction, respectively.
  • the interval A can be defined by the shortest distance in the X direction between non-conductive parts 22 adjacent in the X direction, and the shortest distance in the Y direction between non-conductive parts 22 adjacent in the Y direction.
  • the arrangement pitch P of the non-conductive parts 22 is determined by the distance in the X direction between the centers of non-conductive parts 22 adjacent in the X direction and the distance in the Y direction between the centers of non-conductive parts 22 adjacent in the Y direction. Can be defined.
  • the non-conductive portion 22 is bordered by a continuous conductive wiring 21A, and no conductive member exists inside the continuous conductive wiring 21A. Therefore, the inside of the non-conductive portion 22 is electrically insulated.
  • the non-conductive portion 22 has a pair of extension portions E1 and E2 that extend along a pair of central axes C1 and C2 that are orthogonal to each other and have the same length L1 and width L2.
  • the central axis C1 extends along the Y direction
  • the central axis C2 extends along the X direction.
  • the pair of extensions E1 and E2 intersect with each other at the intersection K of the pair of central axes C1 and C2.
  • the extension part E1 has an overhang part G1 that overhangs in a direction that intersects the Y direction that is the extension direction
  • the extension part E2 has an overhang part G1 that overhangs in a direction that intersects the X direction that is the extension direction. It has a section G2.
  • the extension part E1 has an extension part G1 extending from both ends in the Y direction to both sides in the X direction
  • the extension part E2 has an extension part G1 extending from both ends in the X direction to both sides in the Y direction. It has a protruding portion G2.
  • the extension parts E1 and E2 have the overhang parts G1 and G2
  • the extension parts E1 and E2 each have a width L3 wider than the width L2 in the portion where the extension parts G1 and G2 are located. have.
  • the overhanging portion G1 has a width L4 in the Y direction
  • the overhanging portion G2 has a width L4 in the X direction.
  • the non-conductive portion 22 extends along the length of the arm from the center, that is, the intersection K of the pair of central axes C1 and C2, that is, along the X direction and the Y direction from the intersection K to the end of the overhanging portion G1 or G2. This is to transmit electromagnetic waves in a specific frequency band corresponding to the length.
  • the length L5 of the arm of the non-conductive part 22 is approximately the distance from the intersection K of the pair of central axes C1 and C2 to the end of the extension part E1 in the Y direction, and the distance from the central axis C1 to the It can be calculated by the sum of the lengths to the end in the direction, that is, the sum of half the length L1 of the extended portion E1 and half the width L3 of the extended portion E1 in the portion where the projecting portion G1 is located.
  • the length L1 of the pair of extended portions E1 and E2 and the length L1 of the pair of extended portions E1 and E2 of the portion where the overhanging portions G1 and G2 are located are determined.
  • a width L3 of E2 is designed.
  • the length L1 when transmitting electromagnetic waves in a frequency band called millimeter waves centered around 76.5 GHz through the non-conductive portion 22, the length L1 may be designed to be 1.12 mm, and the width L3 may be designed to be 0.72 mm. is preferred. However, since it also depends on the positional relationship of the plurality of non-conductive parts 22, the length L1 and the width L3 can be adjusted as appropriate. Moreover, the larger the width L2 and the thicker the thickness L4, the more the amount of electromagnetic waves transmitted through the non-conductive portion 22 can be increased. However, if the values of the width L2 and the thickness L4 exceed a certain value, the length of the arm of the non-conductive portion 22 may be affected, so it is desirable that they be adjusted appropriately. As described above, since the mesh-shaped portion 14 has the non-conductive portion 22, the mesh-shaped portion 14 can transmit electromagnetic waves in a specific frequency band and block electromagnetic waves in other frequency bands.
  • the non-conductive portion 22 has a shape that is symmetrical with respect to each of the pair of central axes C1 and C2.
  • the arm length L5 of the non-conductive part 22 from the intersection K can be changed in the +X direction, -X direction, and +Y direction. and -Y direction, and improve the transmittance for electromagnetic waves in a specific frequency band, compared to, for example, a case where the non-conductive part 22 is asymmetrical with respect to the pair of central axes C1 and C2. Can be done.
  • a non-conductive portion 32 having the following is known.
  • the non-conductive portion 32 has a cross shape consisting of a pair of extension portions E1 and E2 extending along a pair of central axes C1 and C2 that are perpendicular to each other.
  • a pair of extension portions E1 and E2 have a length L6 and a width L7.
  • the lengths of the pair of extensions E1 and E2 are designed depending on the frequency band of electromagnetic waves to be transmitted.
  • the length L6 when transmitting millimeter waves centered at 76.5 GHz through the non-conductive portion 32, it is preferable to design the length L6 to 1.33 mm.
  • the non-conductive portion 22 in the first embodiment of the present invention corresponds to the electromagnetic waves in the frequency band that is desired to be transmitted, compared to the non-conductive portion 32 having a simple cross shape as shown in FIG. 5, for example.
  • the dimensions of the non-conductive portion 22 in the X and Y directions can be shortened while maintaining the length of the arm.
  • a regular repeating pattern is formed by arranging cross-shaped non-conductive parts 32 in the X direction and Y direction on a mesh-shaped part made up of a plurality of conductive wirings as shown in FIG. Because the distance between the portions 32 is short, when a voltage is applied to the mesh-shaped portion, current flows in a concentrated manner in the non-conductive portions 32, which causes the conductive wiring between the non-conductive portions 32 to become hot and oxidize, etc. Conductive wiring sometimes deteriorated.
  • the non-conductive portion 22 in Embodiment 1 of the present invention can shorten the dimensions in the X and Y directions while maintaining the length of the arm corresponding to the electromagnetic wave in the frequency band that you want to transmit. While achieving the function of transmitting only electromagnetic waves in a specific frequency band, the interval A between the non-conductive parts 22 can be widened, and local deterioration can be suppressed.
  • the distance between the non-conductive parts 22 and the radius B of the circumscribed circle F of the non-conductive parts 22 are (A/2)/B>0.2 It is preferable to satisfy the above conditions from the viewpoint of widening the interval between the non-conductive parts 22 and further suppressing current concentration between the non-conductive parts 22.
  • a square unit region R is set that is centered on the intersection K of the pair of central axes C1 and C2 and surrounds the non-conductive portion 22.
  • the regular repeating pattern formed in the mesh-shaped portion 14 is constructed by arranging the unit regions R in the X direction and the Y direction, as shown in FIG.
  • the ratio of the area occupied by the non-conductive part 22 to the unit area R is 25% or more. Further, in order to widen the interval A between adjacent non-conductive parts 22 and suppress local concentration of current, it is preferable that the ratio of the area occupied by the non-conductive parts 22 to the unit area R is 50% or less. . Therefore, in order for the non-conductive portion 22 to transmit a sufficient amount of electromagnetic waves and suppress local concentration of current, the area ratio of the non-conductive portion 22 in the unit area R should be 25% or more and 50% or less. It is preferable that there be.
  • the non-conductive portion 22 can have excellent transparency to electromagnetic waves in a specific frequency band.
  • the adjacent protruding parts G1 and G2 in the non-conductive part 22 are designed to contact or couple with each other, the transmittance of electromagnetic waves in the frequency band that is desired to be transmitted may be affected due to the shape of the non-conductive part 22. will decrease. Therefore, it is preferable that the protruding portions G1 and G2 adjacent to each other in the non-conductive portion 22 are arranged with an interval between them.
  • the continuous conductive wiring 21A that borders the non-conductive part 22 is parallel to the pair of central axes C1 and C2, that is, in the X direction, like the other plurality of conductive wiring 21 forming the mesh-shaped part 14. It is preferable that it consists of two types of straight line parts, a straight line part along the line and a straight line part along the Y direction, and does not include a part inclined in the X direction and the Y direction. In this case, all the conductive wiring 21 including the continuous conductive wiring 21A bordering the non-conductive part 22 extend along the X direction and the Y direction, so when the viewer checks the mesh-shaped part 14, the mesh-shaped part 14 becomes invisible. The presence of the conductive portion 22 is not particularly noticeable.
  • the shape of the protruding parts G1 and G2 in the non-conductive part 22 is not limited to the rectangular shape as shown in FIG. 4, but can have any shape.
  • the projecting portions G1 and G2 may have the shape of a right triangle, as shown in FIG.
  • the pair of extension portions E1 and E2 have a length L8 and a width L9, and have a maximum width L10 at the portion where the overhang portions G1 and G2 are located. Even in this case, the dimensions of the non-conductive portion 23 in the X direction and the Y direction can be reduced while ensuring the arm length for transmitting electromagnetic waves in the desired frequency band.
  • the projecting portions G1 and G2 can also have an obtuse triangular shape as shown in FIG.
  • the pair of extension parts E1 and E2 have a length L11 and a width L12.
  • the protruding portion G1 is located at the tip of the elongated portion E1 and protrudes in a direction inclined with respect to the elongated direction of the elongated portion E1, that is, the Y direction. Further, the projecting portion G1 has a length L13 in the Y direction and a length L14 in the X direction.
  • the projecting portion G2 is located at the tip of the extending portion E2, and projects in a direction that is inclined with respect to the extending direction of the extending portion E2, that is, the X direction. Although not shown, the projecting portion G2 has a length L13 in the X direction and a length L14 in the Y direction. Further, among the three interior angles of the obtuse triangle formed by the overhanging portions G1 and G2, an obtuse angle is formed by the interior angles that sandwich the vertices that are in contact with the distal ends of the pair of extension portions E1 and E2.
  • the overhanging portion G1 overhangs in the Y direction beyond the tip of the extension portion E1
  • the overhang portion G2 overhangs in the X direction beyond the tip of the extension portion E2.
  • the non-conductive portion 24 has the length of the arm for transmitting electromagnetic waves in the desired frequency band, and the length of the arm in the X direction. Also, the size of the non-conductive portion 24 in the Y direction can be reduced.
  • the projecting parts G1 and G2 are arranged at a distance without contacting each other, they do not need to be arranged at the tips of the pair of extension parts E1 and E2 as shown in FIG. , for example, at the center of the pair of extensions E1 and E2 in the extension direction.
  • the projecting parts G1 and G2 can be arranged closer to the intersection K of the central axes C1 and C2 than the ends of the pair of extension parts E1 and E2, as shown in FIG. 9, for example.
  • the pair of extension portions E1 and E2 have a length L15 and a width L16, and have a width L17 at the portion where the projecting portions G1 and G2 are located.
  • the projecting portion G1 has a thickness L18 in the Y direction.
  • the elongated portion E1 has a length L19 from its tip to the protruding portion G1 in the Y direction.
  • the projecting portion G2 has a thickness L18 in the X direction.
  • the extending portion E2 has a length L19 from its tip to the projecting portion G2 in the X direction.
  • the non-conductive part 25 is arranged at a length of the arm corresponding to the electromagnetic wave in the frequency band that you want to transmit. It is possible to shorten the dimensions in the X and Y directions while maintaining the heat generation function and the function of transmitting only electromagnetic waves in a specific frequency band, while widening the spacing A between the non-conductive parts 25. It is possible to suppress local deterioration.
  • FIG. 1 shows that the conductive layer 13 has a shape along a plane, it can also have a shape along a curved surface.
  • the conductive layer 13 can be formed to have a shape that follows the curved shape of the substrate 12. Examples of this curved surface shape include shapes along the surface of arbitrary three-dimensional shapes such as a sphere, a cylinder, and a cone.
  • the conductive layer 13 can also have a shape that follows the surface of a more complicated three-dimensional shape.
  • Examples of complex three-dimensional objects include automobile emblems, radar radomes, radar front covers, automobile headlamp covers, antennas, and reflectors.
  • the transparent conductive film 11 of Embodiment 1 of the present invention By arranging the transparent conductive film 11 of Embodiment 1 of the present invention along such a three-dimensional shape, for example, the transparent conductive film 11 can be arranged along the emblem of an automobile, and a radar can be installed inside the emblem. It is possible to install it.
  • the transparent conductive film 11 when the transparent conductive film 11 is disposed along the emblem of a car, etc., and when the design of the member covered by the transparent conductive film 11 is to be visually recognized by an external observer, the transparent conductive film 11 has transparency. It is desirable that you do so.
  • the upper limit of the pitch Q of the mesh shaped part 14 is preferably 800.00 ⁇ m or less, more preferably 600.00 ⁇ m or less, and 400.00 ⁇ m or less. The following are more preferred.
  • the lower limit of the pitch Q is preferably 5.00 ⁇ m or more, more preferably 30.00 ⁇ m or more, and even more preferably 80.00 ⁇ m or more.
  • the aperture ratio of the mesh-shaped portion 14 is preferably 75% or more, and more preferably 80% or more.
  • the aperture ratio of the mesh-shaped portion 14 is the ratio of the transparent portion excluding the conductive wiring 21 in the area occupied by the mesh-shaped portion 14, that is, the aperture ratio of the mesh-shaped portion 14 to the entire area of the mesh-shaped portion 14. This corresponds to the proportion of the total area occupied by the opening H of .
  • the shape of the plurality of openings H of the mesh-shaped portion 14 is not limited to a square, and may be, for example, a triangle such as an equilateral triangle, an isosceles triangle, or a right triangle; a quadrilateral such as a square, a rectangle, a parallelogram, or a trapezoid; It may also be a (regular) polygon such as a (regular) hexagon or a (regular) octagon, a circle, an ellipse, a star shape, etc., or a geometric figure that is a combination of these shapes.
  • the transparent conductive film 11 of Embodiment 1 is used as a heater
  • the use of the transparent conductive film 11 is not limited to the heater.
  • it can be used as a transparent conductive film for a light control device, which is also called a light control film or light control glass, and which is included in a light control device whose transparency changes with electricity, and which transmits only electromagnetic waves in a specific frequency band.
  • FIG. 10 shows a light control device of Embodiment 2.
  • the light control device includes a first substrate 12A, a first conductive layer 13A formed on the first substrate 12A, a second substrate 12B, a second conductive layer 13B formed on the second substrate 12B, and a second conductive layer 13B formed on the second substrate 12B.
  • a light control layer 41 is provided so as to be sandwiched between the first conductive layer 13A and the second conductive layer 13B.
  • a first transparent conductive film 11A is formed by the first substrate 12A and the first conductive layer 13A, and a second transparent conductive film 11B is formed by the second substrate 12B and the second conductive layer 13B.
  • the light control device includes an electrode for supplying electricity to the light control layer 41.
  • the first substrate 12A and the second substrate 12B are the same as the substrate 12 in the first embodiment.
  • the first conductive layer 13A has the mesh-shaped portion 14 in the first embodiment.
  • the mesh-shaped portion 14 is formed by a plurality of conductive wires 21 and 21A, and has a non-conductive portion 22 bordered by the conductive wire 21A.
  • the mesh-shaped portion 14 has a transparent auxiliary conductive layer 42 formed on and between the plurality of conductive wiring lines 21 and 21A excluding the non-conductive portion 22.
  • the transparent auxiliary conductive layer 42 does not need to be formed, it has the role of operating the light control layer 41 uniformly without time difference and shielding electromagnetic waves other than electromagnetic waves in a specific frequency band corresponding to the non-conductive portion 22. It is preferable that it is formed because it has the following.
  • the transparent auxiliary conductive layer 42 is a transparent conductive polymer film such as PEDOT/PSS (poly(3,4-ethylenedioxythiophene) polystyrene sulfonate), polyaniline, polypyrrole, polythiophene, polyisothianaphthene, etc.
  • a transparent conductive inorganic oxide such as ITO (Indium Tin Oxide)
  • a dispersed conductive film made of a polymer film in which conductive fine particles are dispersed include carbon nanotubes, metal nanowires, conductive metal oxides, and the like.
  • the transparent auxiliary conductive layer 42 can be obtained by uniformly adhering or forming a film by a method such as coating, printing, or a vacuum process.
  • a method such as coating, printing, or a vacuum process.
  • coating and printing method known methods such as coating coaters such as a slide coater, slot die coater, curtain coater, roll coater, bar coater, and gravure coater, inkjet printing method, and screen printing method can be used.
  • the vacuum process method known methods such as a vacuum evaporation method and a sputtering method can be used.
  • the transparent auxiliary conductive layer 42 can also have a single-layer or multi-layer laminated structure. In FIG. 12, the transparent auxiliary conductive film 42 is formed on and between the plurality of conductive wirings 21 and 21A. The films may be formed to have the same height. Further, in order to avoid forming the transparent auxiliary conductive film 42 on the non-conductive portion 22, known patterning methods such as photolithography, inkjet printing, and screen printing can
  • the conductive fine particles are preferably thin and long ones such as carbon nanotubes or metal nanowires because they exhibit high conductivity with a small amount. It is more preferable that the content of the conductive fine particles is small because transparency can also be maintained high.
  • the preferred thickness of the conductive fine particles is 1 nm to 100 nm. A thickness of 70 nm or less is more preferable because it is almost invisible. When the thickness is 5 nm or more, the electrical resistance becomes smaller and electrical conductivity is easily obtained, which is more preferable. Particularly preferably, the thickness is from 10 nm to 50 nm.
  • the aspect ratio of the conductive fine particles is preferably 10 or more and 100,000 or less, and the lower limit is more preferably 30 or more, and most preferably 100 or more.
  • Multi-walled carbon nanotubes (MWNT), double-walled carbon nanotubes (DWNT), and single-walled carbon nanotubes (SWNT) are known as carbon nanotubes.
  • Silver nanowires, gold nanowires, copper nanowires, and the like are known as metal nanowires.
  • the conductive fine particles in the dispersed transparent conductive film are preferably dispersed in a polymer matrix. If uniformly dispersed, the necessary conductivity can be obtained even with a small amount of conductive fine particles.
  • the polymer that can be used for the dispersed transparent conductive film as long as it can be dissolved in a solvent and disperse the conductive fine particles without agglomerating. Specifically, polyamide resin, polyester resin, polyolefin resin, polycarbonate resin, polyvinyl alcohol resin, polysulfone resin, cellulose ester resin, cellulose ether resin, polyvinyl chloride, polyvinylidene fluoride, polybutadiene, etc.
  • Examples include vinyl resins such as polystyrene, polyacrylic ester resins, and polymethacrylic resins.
  • conductive fine particles may be dispersed and applied to a monomer or oligomer such as an epoxy resin, a thermosetting polyester resin, or an acrylic ester type monomer, and then polymerized by heat or light.
  • a method can be used in which conductive fine particles are dispersed in a water-dispersed polymer latex liquid, coated and dried, and heated to a temperature higher than the glass transition temperature of the polymer to form a film.
  • the transparent auxiliary conductive layer 42 preferably has a thickness of 0.2 ⁇ m to 50.0 ⁇ m, and in consideration of high corrosion prevention function and process suitability, the thickness is 0.5 ⁇ m to 30.0 ⁇ m. It is more preferable to have a thickness of 0 ⁇ m, and particularly preferable to have a thickness of 1.0 to 15.0 ⁇ m.
  • the preferred concentration of the conductive fine particles in the dispersed transparent conductive film is 0.01 to 1.00% by weight. A more preferred range is 0.04 to 0.40%, and most preferred is 0.08 to 0.25%.
  • the preferred amount of conductive fine particles contained in the dispersed transparent conductive film is 0.05 to 1000.00 mg/m 2 . As the amount of conductive fine particles increases, the conductivity improves, but the light transmittance decreases. More preferably 0.50 to 300.00 mg/m 2 , particularly preferably 4.00 to 100.00 mg/m 2 .
  • the second conductive layer 13B is formed by a plurality of conductive wirings 21 and 21A, and has a mesh-shaped portion 14 including a plurality of non-conductive parts 22 bordered by the conductive wiring 21A. There is. Further, as shown in FIG. 13, the mesh-shaped portion 14 of the second conductive layer 13B is located above the plurality of conductive wirings 21 and 21A excluding the non-conductive portion 22, similarly to the mesh-shaped portion 14 of the first conductive layer 13A. and a transparent auxiliary conductive layer 42 formed therebetween.
  • the light control layer 41 is a layer whose optical properties such as transparency, ie, visible light transmittance, change depending on an electrical signal.
  • the light control layer 41 can include a so-called liquid crystal layer or a so-called electrochromic layer.
  • the electrochromic layer can become opaque by changing its color from colorless and transparent to a dark color such as black by controlling the energization state. Therefore, it is more preferable to use an electrochromic layer in which the color oozes into the non-conductive portion 22 in an opaque state, thereby increasing the shielding property.
  • An electrochromic layer is a layer composed of electrochromic material.
  • the electrochromic material is not particularly limited as long as it is a compound having electrochromic properties, and may be any of inorganic compounds, organic compounds, and mixed valence complexes.
  • the inorganic compound include Mo 2 O 3 , Ir 2 O 3 , NiO, V 2 O 5 , WO 3 and TiO 2 .
  • organic compounds include polypyrrole compounds, polythiophene compounds, polyparaphenylene bilene compounds, polyaniline compounds, polyacetylene compounds, polyethylenedioxythiophene compounds, metal phthalocyanine compounds, viologen compounds, viologen salt compounds, ferrocene compounds, and dimethyl terephthalate compounds. , diethyl terephthalate compound, etc.
  • the mixed valence complex include a Prussian blue type complex (KFe[Fe(CN) 5 ]) and the like.
  • the electrochromic layer can be formed by a known method, and may be formed in a vacuum by sputtering, or by applying a solution in which an electrochromic material is diluted.
  • the light control layer 41 including an electrochromic layer is configured by disposing an electrochromic layer between a pair of transparent conductive layers. By applying a voltage between the transparent conductive layers, the electrochromic layer changes its transmittance in a specific wavelength range, changes from transparent to opaque, or changes its color tone. Further, an electrolyte layer or the like may be provided between the transparent conductive layer and the electrochromic layer.
  • the liquid crystal layer is a layer containing liquid crystal, and includes, for example, a layer in which liquid crystal is filled and sealed with a spacer or the like.
  • the liquid crystal may be of any type, and may be of the TN type or STN type.
  • the liquid crystal layer may be composed of polymer dispersed liquid crystal (PDLC).
  • PDLCs include network liquid crystals in which a network structure is formed by polymers in a liquid crystal layer.
  • a microcapsule type liquid crystal (PDMLC) in which liquid crystal is microencapsulated and dispersed in a binder resin may be used.
  • Binder resins used in PDMLC include polyvinyl acetal resins such as polyvinyl butyral resins.
  • the light control layer 41 including a liquid crystal layer constitutes a liquid crystal cell by disposing the liquid crystal layer between a pair of transparent conductive layers. Furthermore, depending on the type of liquid crystal, an alignment film or the like may be provided between the conductive layer and the liquid crystal layer.
  • the liquid crystal layer may be in either a normal mode in which the liquid crystal layer becomes transparent when a voltage is applied between the transparent conductive layers, or a reverse mode in which the liquid crystal layer becomes opaque when a voltage is applied between the transparent conductive layers. When used for windows, etc., the reverse mode is preferable in terms of the transparent time and power consumption.
  • the light control layer 41 By controlling the energization state of the light control layer 41, the light control layer 41 can be switched between a transparent state and an opaque state, and a state where one side of the light control device is easily visible from the other side and a state where it is difficult to see. Although you can switch to either one. Such switching of states can be used, for example, when using a light control device as a partition plate, to cover one side of the light control device from the other side and protect the privacy of one side. There is.
  • the first conductive layer 13A and the second conductive layer 13B of the light control device have a plurality of simple cross-shaped non-conductive parts 32 as shown in FIG.
  • the light control layer 41 is made opaque due to the plurality of lattice-shaped slits formed by the plurality of non-conductive portions 32,
  • the situation on one side of the light control device could be seen from the other side, and sufficient shielding performance could not be ensured.
  • the light control device of the present invention since the plurality of non-conductive parts 22 have projecting parts G1 and G2, the dimensions of the non-conductive parts 22 in the X direction and the Y direction can be shortened. This can prevent the formation of a plurality of lattice-like slits. As a result, when the light control layer 41 is made opaque, it is difficult to see one side of the light control device from the other side, and sufficient shielding performance can be ensured.
  • non-conductive portion 22 of the first conductive layer 13A and the non-conductive portion 22 of the second conductive layer 13B which correspond to each other, can be formed as shown in FIG. They can also be arranged offset from each other in plan view. This amount of deviation is, for example, in the X direction between the central axis C1A of the non-conductive portion 22A of the first conductive layer 13A along the Y direction and the central axis C1B of the non-conductive portion 22B of the second conductive layer 13B along the Y direction.
  • this amount of deviation will be referred to as the maximum amount of deviation.
  • the electromagnetic wave having a specific frequency band passes through the region N where the non-conductive portion 22A of the first conductive layer 13A and the non-conductive portion 22B of the second conductive layer 13B overlap each other. Therefore, the smaller the maximum deviation amount, the closer the shape of region N is to the non-conductive parts 22A and 22B, and the easier it is to selectively transmit only electromagnetic waves in a specific frequency band. Further, as the maximum deviation amount increases, the shape of the region N becomes farther away from the non-conductive parts 22A and 22B, and it becomes difficult to selectively transmit electromagnetic waves in a specific frequency band.
  • the maximum amount of deviation should be 0.25 times or less the width of the pair of extensions E1 and E2 of the non-conductive parts 22A and 22B. preferable.
  • the width of the extended parts E1 and E2 becomes smaller, resulting in a decrease in the amount of electromagnetic wave transmission, and Due to the synergistic effect of the change in the peak wavelength of the transmitted electromagnetic waves due to the reduction in the dimensions of the portions E1 and E2 and the overhanging portions G1 and G2, it suddenly becomes difficult to selectively transmit electromagnetic waves in a specific frequency band.
  • the plurality of non-conductive layers of the first conductive layer 13A are coincident with each other. is preferred.
  • each member constituting the transparent conductive film 11 of Embodiment 1 will be described in detail.
  • Each member other than the light control layer 41 constituting the light control device of the second embodiment also follows the description of each member of the transparent conductive film 11 of the first embodiment.
  • the substrate 12 is not particularly limited as long as it has insulating properties and can support at least the conductive layer 13, but it is preferably transparent and preferably made of a resin material.
  • resin material constituting the substrate 12 include polymethyl methacrylate (PMMA), acrylonitrile butadiene styrene (ABS), polyethylene terephthalate (PET), and polycarbonate (PC).
  • polycycloolefin (meth)acrylic, polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene (PE), polypropylene (PP), polystyrene (PS), polyvinyl chloride (PVC) ), Polyvinylidene chloride (PVDC), Polyvinylidene difluoride (PVDF), Polyarylate (PAR), Polyethersulfone (PES), Polymer acrylic, Fluorene derivative, Crystalline cyclo Examples include olefin polymer (Cyclo Olefin Polymer: COP), triacetylcellulose (Triacetylcellulose: TAC), and the like.
  • the substrate 12 is composed mainly of one of polymethyl methacrylate resin, polycarbonate resin, acrylonitrile butadiene styrene resin, and polyethylene terephthalate resin.
  • the main component of the substrate 12 refers to a component that accounts for 80% or more of the constituent components of the substrate 12.
  • the visible light transmittance of the substrate 12 is preferably 85.0% to 100.0%. Further, the thickness of the substrate 12 is not particularly limited, but from the viewpoint of ease of handling, etc., it is preferably 0.05 mm or more and 2.00 mm or less, and more preferably 0.10 mm or more and 1.00 mm or less.
  • Primer layer In order to firmly support the conductive layer 13, a primer layer may be provided between the substrate 12 and the conductive layer 13.
  • the material of the primer layer is not limited as long as it can firmly support the conductive layer 13, but when the conductive layer 13 is formed of a plurality of conductive wirings 21, it is particularly preferably made of a urethane-based resin material.
  • the conductive wiring 21 is made of a conductive material.
  • metals, metal oxides, carbon materials, conductive polymers, etc. can be used.
  • the type of metal is not particularly limited, and examples include copper, silver, aluminum, chromium, lead, nickel, gold, tin, and zinc. From the viewpoint of conductivity, copper, silver, aluminum, and gold are more preferred.
  • a semi-additive method, a fully additive method, a subtractive method, a silver salt method, printing of a metal-containing ink or its precursor, an inkjet method, and a laser direct structuring method can be used.
  • a bulk material can be used as the metal, and nanowires and nanoparticles can also be used.
  • the conductive wiring 21 is made of a carbon material, carbon nanotubes, fullerenes, carbon nanobuds, graphene, graphite, etc. can be used as the conductive wiring 21, although its structure and composition are not particularly limited.
  • the conductive wiring 21 is made of metal oxide, ITO can be used as the conductive wiring 21.
  • PEDOT/PSS or the like can be used as the conductive wiring 21.
  • Example 1> (Preparation of board) A rolled polycarbonate resin film (UV244, manufactured by Covestro Japan Co., Ltd.) having a thickness of 250.0 ⁇ m was prepared as a substrate.
  • composition for forming primer layer preparation of composition for forming primer layer
  • Z913-3 manufactured by Aica Kogyo Co., Ltd.
  • IPA isopropyl alcohol
  • the obtained composition for forming a primer layer was coated on a substrate with a bar so that the average dry film thickness was 4.0 ⁇ m, and dried at 80° C. for 1 minute. Thereafter, the formed layer of the primer layer forming composition is irradiated with light using a metal halide UV (Ultraviolet) lamp at an exposure dose of 0.5 J/cm 2 to cure the primer layer. was formed.
  • a metal halide UV (Ultraviolet) lamp at an exposure dose of 0.5 J/cm 2 to cure the primer layer. was formed.
  • composition for forming plating layer precursor layer (Preparation of composition for forming plating layer precursor layer) The following components were mixed to obtain a composition for forming a plating layer precursor layer.
  • IPA isopropyl alcohol
  • 0.05 parts by mass FOM-03008 contains a compound represented by the following chemical formula as a main component.
  • the obtained plating layer precursor layer forming composition was coated on the primer layer with a bar to a thickness of 0.2 ⁇ m, and dried in an atmosphere of 120° C. for 1 minute. Thereafter, a 12.0 ⁇ m thick polypropylene film was immediately bonded onto the composition for forming a plating layer precursor layer, thereby producing a substrate with a plating layer precursor layer.
  • a film mask made of quartz glass was prepared in which an exposure pattern corresponding to the mesh-shaped portion 14 and the pair of electrode pads 15 shown in FIG. 2 was formed.
  • the exposure pattern corresponding to the mesh-shaped portion 14 has a pattern corresponding to the plurality of non-conductive portions 22 shown in FIG.
  • a film mask was applied to the plating layer precursor layer side of the substrate with the plating layer precursor layer, and UV irradiation (energy amount: 200 mJ/cm 2 , wavelength: 365 nm) was performed through the film mask.
  • UV irradiation energy amount: 200 mJ/cm 2 , wavelength: 365 nm
  • the substrate with the layer to be plated was immersed in a 1% by mass aqueous sodium bicarbonate solution at 35° C. for 5 minutes.
  • the substrate with the layer to be plated was immersed in palladium catalyst application liquid RONAMERSE SMT (manufactured by Rohm and Haas Electronic Materials Co., Ltd.) at 55° C. for 5 minutes.
  • RONAMERSE SMT palladium catalyst application liquid
  • CIRCUPOSIT 6540 manufactured by Rohm and Haas Electronic Materials Co., Ltd.
  • the substrate with the layer to be plated was immersed in CIRCUPOSIT4500 (manufactured by Rohm and Haas Electronic Materials Co., Ltd.) at 45° C. for 20 minutes, and then washed with water to form a conductive film on the layer to be plated.
  • the transparent conductive film of Example 1 was obtained, which had a copper conductive layer having a mesh-shaped portion 14 and a pair of electrode pads 15 as shown in FIG. 2 on the substrate.
  • the unit region R was a square region having sides of 1.68 mm, and its area was 2.82 mm 2 .
  • the length L1 of the pair of extensions in the non-conductive part is 1.12 mm
  • the width L2 is 0.33mm
  • the width L3 of the part of the pair of extensions where the overhang is located is 0.72mm
  • the width L3 of the extension part of the pair of extensions is 0.72mm.
  • Thickness L4 was 0.16 mm.
  • the area of the non-conductive portion was 0.88 mm 2
  • the ratio of the area occupied by the non-conductive portion in the unit region R was 31%.
  • the distance A between adjacent non-conductive parts in the X direction and the Y direction is 0.56 mm
  • the radius B of the circumscribed circle of the non-conductive parts is 0.66 mm
  • (A/2)/B 0. It was 42.
  • Example 2 The film mask used in Example 1 was the same as Example 1 except that a film mask having an exposure pattern corresponding to the non-conductive part 23 in the shape shown in FIG. 7 was used instead of the non-conductive part 22 in the shape shown in FIG. 4.
  • a transparent conductive film of Example 2 was produced in the same manner.
  • the length L8 of the pair of elongated portions in the non-conductive portion was 1.20 mm
  • the width L9 was 0.20 mm
  • the maximum width L10 of the portion of the pair of elongated portions where the overhanging portions were located was 0.55 mm.
  • the area of the non-conductive portion was 0.79 mm 2
  • the ratio of the area occupied by the non-conductive portion in the unit region R was 28%.
  • the distance A between adjacent non-conductive parts in the X direction and the Y direction is 0.56 mm
  • the radius B of the circumscribed circle of the non-conductive parts is 0.66 mm
  • (A/2)/B 0. It was 42.
  • Example 3 Example 1 except that the film mask used in Example 1 has an exposure pattern corresponding to the non-conductive part 24 in the shape shown in FIG. 8 instead of the non-conductive part 22 in the shape shown in FIG. 4.
  • a transparent conductive film of Example 3 was produced in the same manner.
  • the length L8 of the pair of extension parts in the non-conductive part was 1.20 mm, and the width L9 was 0.15 mm.
  • the width L13 of the extension part along the extension direction is 0.30 mm
  • the width L14 of the extension part along the width direction perpendicular to the extension direction is 0.10 mm
  • the interior angle J forming the obtuse angle is 120°. Met.
  • Example 4 The film mask used in Example 1 was the same as Example 1 except that a film mask having an exposure pattern corresponding to the non-conductive part 25 in the shape shown in FIG. 9 was used instead of the non-conductive part 22 in the shape shown in FIG. A transparent conductive film of Example 4 was produced in the same manner.
  • the length L15 of the pair of elongated parts in the non-conductive part was 1.12 mm
  • the width L16 was 0.33 mm
  • the width L17 of the part of the pair of elongated parts where the overhanging parts were located was 0.72 mm.
  • the thickness L18 of the overhanging portion was 0.16 mm, and the length L19 from the tip of the elongating portion to the overhanging portion in the stretching direction was 0.04 mm.
  • the area of the non-conductive portion was 0.88 mm 2 , and the ratio of the area occupied by the non-conductive portion in the unit region R was 31%.
  • the distance A between adjacent non-conductive parts in the X direction and the Y direction is 0.56 mm
  • the radius B of the circumscribed circle of the non-conductive parts is 0.63 mm
  • (A/2)/B 0. It was 44.
  • Example 1 except that in the film mask used in Example 1, a film mask having an exposure pattern corresponding to the cross-shaped non-conductive portion 32 shown in FIG. 5 is used instead of the non-conductive portion 22 having the shape shown in FIG. 4.
  • a transparent conductive film of Comparative Example 1 was produced in the same manner as described above.
  • the length L15 of the pair of extension parts in the non-conductive part was 1.40 mm, and the width L16 was 0.28 mm.
  • the area of the non-conductive portion was 0.71 mm 2 , and the ratio of the area occupied by the non-conductive portion in the unit region R was 25%.
  • the distance A between adjacent non-conductive parts in the X direction and the Y direction is 0.48 mm
  • the radius B of the circumscribed circle of the non-conductive parts is 0.705 mm
  • (A/2)/B 0. It was 34.
  • Example 5 A mesh-shaped portion was formed on the first substrate by a manufacturing method similar to that of the transparent conductive film of Example 1. Next, by photolithography, PEDOT/PSS (manufactured by Aldrich) with a thickness of 300 nm was applied so as to cover only the mesh-shaped portion on the first substrate, and was cured at 130°C for 7 minutes to provide transparency. A conductive film was formed. Next, a tungsten oxide (WO 3 ) thin film with a thickness of 300 nm is formed on the transparent auxiliary electrode film by reactive sputtering in an oxygen atmosphere using an RF magnetron sputtering device, thereby forming the first transparent conductive film. Obtained.
  • PEDOT/PSS manufactured by Aldrich
  • a second transparent conductive film was obtained by forming a nickel oxyhydroxide (NiOOH) thin film with a thickness of 300 nm instead of the WO 3 thin film by reactive sputtering in a water vapor atmosphere using an RF magnetron sputtering device. Ta.
  • NiOOH nickel oxyhydroxide
  • polyethylene glycol monoether was added as an electrolyte to a polyethylene microporous film having a thickness of 5 ⁇ m.
  • a light control device was obtained by pressing an electrolyte membrane impregnated with an electrolyte solution containing lithium trifluoromethanesulfonate and sealing the periphery of the substrate.
  • the maximum amount of deviation between the pair of central axes C1 and C2 of the non-conductive part in the first transparent conductive film and the pair of central axes C1 and C2 of the non-conductive part in the second transparent conductive film was 0.000 mm. .
  • the maximum deviation amount is the distance M1 between the central axis C1 of one of the non-conductive parts in the first transparent conductive film and the central axis C1 of one of the non-conductive parts in the second transparent conductive film, and the distance M1 in the first transparent conductive film.
  • the distance M2 between the other central axis C1 of the non-conductive part and the other central axis C1 of the non-conductive part in the second transparent conductive film was measured using an optical microscope.
  • Example 6 A light control device was produced in the same manner as in Example 5, except that the non-conductive parts in the first transparent conductive film and the non-conductive parts in the second transparent conductive film were arranged so as to be shifted from each other in plan view.
  • the maximum amount of deviation between the pair of central axes C1 and C2 of the non-conductive part in the first transparent conductive film and the pair of central axes C1 and C2 of the non-conductive part in the second transparent conductive film was 0.066 mm. Met. Therefore, the ratio of the width of the extended portion to the maximum deviation amount was 0.20.
  • Example 7 A light control device was produced in the same manner as in Example 5, except that the non-conductive parts in the first transparent conductive film and the non-conductive parts in the second transparent conductive film were arranged so as to be further shifted from each other in plan view.
  • the maximum amount of deviation between the pair of central axes C1 and C2 of the non-conductive part in the first transparent conductive film and the pair of central axes C1 and C2 of the non-conductive part in the second transparent conductive film was 0.092 mm. Met. Therefore, the ratio of the width of the extended portion to the maximum deviation amount was 0.28.
  • PEDOT/PSS manufactured by Aldrich
  • PEDOT/PSS manufactured by Aldrich
  • polyimide manufactured by JSR Corporation, Optomer AL1254
  • JSR Corporation Optomer AL1254
  • a second transparent conductive film was obtained using a method similar to the method for forming the first transparent conductive film.
  • 95 parts of a liquid crystal compound (manufactured by HCCH, 854600-100) and 5 parts of a crosslinked liquid crystal monomer (manufactured by BASF, LC242) were mixed.
  • 0.95 parts of a polymerization initiator (manufactured by BASF, IRGACURE TPO) was added, heated to an isotropic phase, and then stirred to obtain a liquid crystal composition.
  • the obtained liquid crystal composition was applied to the surface of the alignment film of the first transparent conductive film to a thickness of 10 ⁇ m to form a coating layer.
  • the alignment film of the second transparent conductive film was bonded so that it was in contact with the coating layer, heated at 90° C. for 1 minute, and light with a center wavelength of 365 nm was irradiated with an LED light source. was created.
  • Example 8 the position of the intersection K of the pair of central axes C1 and C2 of the plurality of non-conductive parts in the first transparent conductive film and the intersection K of the pair of central axes C1 and C2 of the non-conductive part in the second transparent conductive film Their positions coincided with each other in plan view.
  • Comparative example 2 Except that the shape of the plurality of non-conductive parts of the first transparent conductive film and the shape of the plurality of non-conductive parts of the first transparent conductive film are made into a cross shape without the overhanging parts G1 and G2, as shown in FIG.
  • a light control device of Comparative Example 2 was manufactured in the same manner as in Example 8.
  • the position of the intersection K of the pair of central axes C1 and C2 of the plurality of non-conductive parts in the first transparent conductive film and the intersection K of the pair of central axes C1 and C2 of the non-conductive part in the second transparent conductive film Their positions coincided with each other in plan view.
  • the transparent conductive films of Examples 1 to 4 and Comparative Example 1 obtained as described above were subjected to the following deterioration evaluation and millimeter wave transmission evaluation, and the dimming of Examples 5 to 8 and Comparative Example 2 was performed. The following millimeter wave transmission evaluation and shielding evaluation were performed on the device.
  • the transparent conductive film was placed in a constant temperature bath set at a temperature of 25°C, a relative humidity of 60%, and no wind, and the power supply was connected so that the temperature of the conductive film was maintained at 100°C.
  • a voltage was continuously applied to the conductive film for 2000 hours.
  • the temperature of the conductive film was measured using a thermometer (ETS320 manufactured by FLIR).
  • ETS320 manufactured by FLIR
  • the resistance value R2 between each conductive tape attached to the pair of electrode pads is measured, and the deterioration coefficient R2 is determined by the ratio of the resistance value R2 to the resistance value R1. /R1 was calculated.
  • Deterioration coefficient R2/R1 is 1.05 or less
  • a transparent conductive film was placed on the board. In this state, the transmittance of 76.5 GHz millimeter waves to the transparent conductive film was measured. The transmittance of the transparent conductive film was calculated by setting the transmittance measured without disposing the transparent conductive film between two ports as 0 dB. A rating of A was given when the measured transmittance was -1.0 dB or more, and a rating of B was given when the measured transmittance was less than -1.0 dB. Although there is no practical problem with the evaluation B, it is inferior to the evaluation A.
  • millimeter wave transmission evaluations for the light control devices of Examples 5 to 8 and Comparative Example 2 were also performed and measured in the same manner as the millimeter wave transmission evaluations for the transparent conductive films of Examples 1 to 4 and Comparative Example 1.
  • a rating of A was given when the transmittance was -5.0 dB or more, and a rating of B was given when the transmittance was less than -5.0 dB.
  • a rating of A was given when the number of people viewing the still life photograph through the light control device was less than 2 people, a rating of B was given when the number of people viewing the still life photograph through the light control device was 2 or more and less than 5 people, and a rating of C was given when the number of people viewing the still life photograph was 5 or more.
  • rating A indicates that the still life photograph is hardly visible through the light control device, that is, the light control device has excellent shielding properties
  • rating B indicates that the light control device has shielding properties that do not pose any practical problems.
  • a rating of C indicates that the light control device has shielding properties that are problematic in practice.
  • Table 1 below shows the results of deterioration evaluation and millimeter wave transmission evaluation for Examples 1 to 4 and Comparative Example 1.
  • the ratio of the area occupied by the non-conductive parts to the unit area R is expressed as "area ratio”
  • the interval A between the non-conductive parts is simply expressed as “distance A”
  • the radius of the circumscribed circle of the non-conductive parts is expressed as "area ratio”.
  • B is simply written as "radius B.”
  • the transparent conductive films of Examples 1 to 4 all had a deterioration rating of C or higher, and although they had the function of transmitting millimeter waves, even when electricity was applied to the mesh-shaped portion, the conductive wiring It can be seen that deterioration is less likely to occur.
  • the transparent conductive films of Examples 1 to 4 since the non-conductive part has a protruding part, the length of the arm for transmitting electromagnetic waves in the desired frequency band is ensured, while the length of the arm in the X direction and the Y direction is It is thought that the dimensions of the non-conductive parts can be reduced, and local concentration of current between the non-conductive parts is suppressed.
  • Comparative Example 1 had a deterioration rating of D. Since the non-conductive part in Comparative Example 1 has a simple cross shape, the length L6 of the pair of extension parts was compared with the non-conductive part in Examples 1 to 4 in order to transmit millimeter waves to the non-conductive part. It is necessary to set it for a long time. Therefore, in Comparative Example 1, the distance A between the non-conductive parts is shortened to 0.28, and the value of (A/2)/B is also small to 0.20, resulting in local concentration of current between the non-conductive parts. It is thought that this will be more likely to occur.
  • Example 1 was rated A
  • Example 2 was rated B
  • Example 3 was rated B
  • Example 4 was rated AA. Focusing on the values of (A/2)/B in Examples 1 to 4, they are 0.42, 0.36, 0.27, and 0.44, respectively. In this way, in the order of Examples 4, 1, 2, and 3, the spacing A between the non-conductive parts becomes smaller with respect to the size of the non-conductive parts, and local concentration of current between the non-conductive parts is relatively likely to occur. I can see that it is happening. However, in Examples 1 to 4, (A/2)/B>0.2 is satisfied, and local concentration of current between non-conductive parts is sufficiently suppressed.
  • Example 3 the millimeter wave transmission evaluation of Example 3 was B. This is considered to be because the amount of millimeter waves transmitted through the non-conductive portion was small because the area ratio occupied by the non-conductive portion in the unit region R was as small as 20%. From the results shown in Table 1, it can be seen that when the ratio of the area occupied by the non-conductive part to the unit region R is 25% or more, the non-conductive part has excellent millimeter wave transmittance.
  • Table 2 below shows the results of shielding performance evaluation and millimeter wave transmission evaluation for Examples 5 to 8 and Comparative Example 2.
  • the light control devices of Examples 5 to 8 all had shielding evaluations of B or higher, and although they had the function of transmitting millimeter waves, they could not be used when the light control layer was in an opaque state. It can be seen that it is difficult for the viewer to see the still life photograph through the light control device.
  • the non-conductive part since the non-conductive part has a protruding part, the length of the arm for transmitting electromagnetic waves in the desired frequency band is ensured, while the non-conductive part has a protruding part in the X direction and the Y direction. It is thought that the dimensions can be reduced, that regularly arranged lattice-like slits are less likely to be formed, and that the scenery through the light control device is less visible.
  • Comparative Example 2 had a shielding performance rating of C. Since the non-conductive part in Comparative Example 2 has a simple cross shape, the length L6 of the pair of extension parts was compared with the non-conductive part in Examples 5 to 8 in order to transmit millimeter waves to the non-conductive part. It is necessary to set it for a long time. Therefore, in Comparative Example 2, regularly arranged lattice-like slits were formed by the plurality of non-conductive parts, and it was thought that it would be easier for the observer to see the scenery on the opposite side of the light control device through these slits. It will be done.
  • Examples 5 to 7 were rated A, and Example 8 was rated B.
  • an electrochromic material is used as the material for forming the light control layer
  • Example 8 a liquid crystal material is used as the material for forming the light control layer. Therefore, in Examples 5 to 7, it is considered that the color of the electrochromic layer oozed out into the non-conductive parts, thereby improving the shielding performance.
  • Examples 5 and 6 were rated A, and Example 7 was rated B. Focusing on the values of width/maximum deviation of the extended portion in Examples 5 to 7, they are 0.00, 0.20, and 0.28, respectively. In this way, the smaller the maximum deviation in plan view between the non-conductive part of the first transparent conductive film and the non-conductive part of the second transparent conductive film with respect to the width of the extension part, the more the non-conductive part of the first transparent conductive film increases.
  • the shape of the region N where the non-conductive part of the first transparent conductive film and the non-conductive part of the second transparent conductive film overlap is close to the shape of the non-conductive part of the first transparent conductive film and the non-conductive part of the second transparent conductive film, electromagnetic waves in a specific frequency band It can be seen that it becomes easier to selectively pass through.
  • the shape of the region N is made to match the shape of the non-conductive portion of the first transparent conductive film and the non-conductive portion of the second transparent conductive film. It can be seen that excellent millimeter-wave transparency can be obtained because it can be brought close to the surface.
  • the present invention is basically configured as described above. Although the transparent conductive film and light control device of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various improvements and changes can be made without departing from the spirit of the present invention. Of course you can.
  • Transparent conductive film 12 Substrate, 12A First substrate, 12B Second substrate, 13 Conductive layer, 13A First conductive layer, 13B Second conductive layer, 14 Mesh shaped portion, 15 Electrode pad, 21, 21A Conductive wiring, 22 ⁇ 25, 22A, 22B, 32 Non-conductive part, 41 Light control layer, 42 Transparent auxiliary conductive layer, A, M1, M2 Interval, radius B, C1, C2, C1A, C1B, C2A, C2B Center axis, CL Center line , E1, E2 extension part, F circumscribed circle, G1, G2 overhang part, H opening, J interior angle, K intersection, L1, L6, L8, L11, L15, L19 length, L2, L3, L7, L9, L12 ⁇ L14, L16, L17 width, L4, L18 thickness, L5 arm length, L10 maximum width, N area, P array pitch, Q pitch, R unit area, T line width.

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Abstract

透明導電膜は、複数の導電配線により形成されたメッシュ形状部を備え、メッシュ形状部は、連続した導電配線（２１Ａ）により縁取られた複数の非導電部（２２）を有し、非導電部（２２）は、互いに直交する一対の中心軸（Ｃ１、Ｃ２）に沿って延び且つ互いに同一の長さを有する一対の伸長部（Ｅ１、Ｅ２）を有し、一対の伸長部（Ｅ１、Ｅ２）は、一対の中心軸（Ｃ１、Ｃ２）の交点（Ｋ）において互いに交差し、一対の伸長部（Ｅ１、Ｅ２）は、それぞれ、伸長方向に交差する方向に張り出す張り出し部（Ｇ１、Ｇ２）を有し、非導電部（２２）は、一対の中心軸（Ｃ１、Ｃ２）のそれぞれに対して対称な形状を有する。

Description

透明導電膜および調光装置
　本発明は、特定の周波数帯域の電磁波に対して透過性を有する透明導電膜および調光装置に関する。
　従来から、いわゆるミリ波およびマイクロ波等の電磁波を用いたセンサおよび通信機器等が一般的に利用されている。これらの機器は例えば自動車等に搭載され、その周囲には、保護のためのカバーが設置されることが多い。このようなカバーへの着雪および着氷、または、水蒸気等によって生じる曇りは、カバーの内側に配置されたセンサにおける誤検出または通信機器における通信障害の原因となることが知られている。着雪、着氷および曇りを除去するためには、例えば、特許文献１に開示されるような発熱部材が開発されている。特許文献１の発熱部材は、被めっき層付き立体構造物と、その被メッキ層上に配置された金属層を有する導電性積層体を備え、金属層を電熱線として機能させている。
　また、センサおよび通信機器等が送受信する電磁波の周波数帯とは異なる周波数帯の電磁波は、センサにおける誤検出および通信機器における通信混線等の原因となることが知られている。このようなセンサの誤検出および通信混線等を抑制するために、例えば、非特許文献１に開示されているような金属メッシュの構造が知られている。非特許文献１の金属メッシュには、互いに直交する２つの方向に沿って格子状に配列された十字形状の複数の非導電部が形成されている。これらの複数の非導電部により、十字形状のサイズに対応する周波数帯の電磁波が金属メッシュを透過しやすくなり、それ以外の周波数帯の電磁波は遮蔽される。
国際公開第２０１７／１６３８３０号
Ｖｙａｃｈｅｓｌａ　Ｖ．Ｋｏｍａｒｏｖ，Ｖａｌｅｒｙ　Ｐ．Ｍｅｓｃｈａｎｏｖ著、「Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ　ｍｅｔａｌ　ｍｅｓｈ　ｆｉｌｔｅｒｓ　ａｔ　９０　ＧＨｚ」，Ｊｏｕｎａｌ　ｏｆ　Ｃｏｍｐｕｔａｔｉｏｎａｌ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ、２０１９年２月２８日、１８：６９６－７０４
　しかしながら、特許文献１に開示されている発熱部材では、特定の周波数帯の電磁波のみを透過させることができないため、発熱機能と、特定の周波数帯の電磁波のみを透過させる機能とを両立させることは困難であった。
　また、本発明者らは、非特許文献１に開示されている金属メッシュに通電して、この金属メッシュを発熱させようとした場合に、複数の非導電部間において電流が集中的に流れることにより局所的な発熱が生じ、その部分において金属メッシュが酸化してしまう等、金属メッシュが劣化してしまうことを発見した。そこで、電流の集中を避けるために複数の非導電部間の間隔を広げることが考えられるが、この間隔を広げると、非導電部のサイズに対応する特定の周波数帯を有する電磁波の透過率が低下してしまい、特定の周波数帯の電磁波のみを透過させる機能が十分に発揮されないという問題があった。
　また、一般的に、いわゆる調光ガラスまたは調光フィルム等とも呼ばれ、通電によって透明度を変化させる調光装置が知られている。調光装置は、例えば部屋の仕切り板として配置され、透明状態と不透明状態のいずれかに切り替えることにより、調光装置の一方側を他方側から視認しやすい状態と視認しにくい状態のいずれかに切り替えるために使用されることがある。このような調光装置に対して、特定の周波数帯の電磁波を透過させるために非特許文献１に開示されている金属メッシュを設置すると、複数の非導電部によって形成される格子状の複数のスリットにより、調光装置を不透明状態にした場合でも、調光装置の他方側から一方側の様子が視認できてしまい、遮蔽性が低下してしまうことがあった。
　本発明は、このような問題点を解消するためのものであり、特定の周波数帯の電磁波のみを透過させる機能を有しつつ、発熱時の局所的な劣化を抑制し且つ調光装置が不透明状態の場合の遮蔽性を向上できる透明導電膜、および、不透明状態の場合の遮蔽性を向上できる調光装置を提供することを目的とする。
　以下の構成により、上記目的が達成される。
　〔１〕　基板と、
　基板上に配置され且つ複数の導電配線により形成されたメッシュ形状部を備え、
　メッシュ形状部は、規則的な繰り返しパターンを形成するように配列され且つ連続した導電配線により縁取られた複数の非導電部を有し、
　非導電部は、
　互いに直交する一対の中心軸に沿って延び且つ互いに同一の長さを有する一対の伸長部を有し、
　一対の伸長部は、一対の中心軸の交点において互いに交差し、
　一対の伸長部は、それぞれ、伸長方向に交差する方向に張り出す張り出し部を有し、
　非導電部は、一対の中心軸のそれぞれに対して対称な形状を有する
　ヒータ用透明導電膜。
　〔２〕　互いに隣接する非導電部間の間隔Ａと非導電部の外接円の半径Ｂが、
　（Ａ／２）／Ｂ＞０．２
　を満たす〔１〕に記載のヒータ用透明導電膜。
　〔３〕　繰り返しパターンは、非導電部における一対の中心軸の交点を中心とし且つ非導電部を囲む複数の正方形の単位領域が、一対の中心軸に沿った方向において配列されることにより構成され、
　非導電部が単位領域を占める面積の割合は、２５％以上５０％以下である〔１〕または〔２〕に記載のヒータ用透明導電膜。
　〔４〕　非導電部を縁取る連続した導電配線の内側に、導電部材を含まない〔１〕～〔３〕のいずれかに記載のヒータ用透明導電膜。
　〔５〕　非導電部において互いに隣接する張り出し部は、互いに間隔を空けて配置される〔１〕～〔４〕のいずれかに記載のヒータ用透明導電膜。
　〔６〕　非導電部を縁取る連続した導電配線は、一対の中心軸にそれぞれ平行な２種類の直線部分からなる〔１〕～〔５〕のいずれかに記載のヒータ用透明導電膜。
　〔７〕　基板と、
　基板上に配置され且つ複数の導電配線により形成されたメッシュ形状部を備え、
　メッシュ形状部は、規則的な繰り返しパターンを形成するように配列され且つ連続した導電配線により縁取られた複数の非導電部を有し、
　非導電部は、
　互いに直交する一対の中心軸に沿って延び且つ互いに同一の長さを有する一対の伸長部を有し、
　一対の伸長部は、一対の中心軸の交点において互いに交差し、
　一対の伸長部は、それぞれ、伸長方向に交差する方向に張り出す張り出し部を有し、
　非導電部は、一対の中心軸のそれぞれに対して対称な形状を有する
　調光装置用透明導電膜。
　〔８〕　メッシュ形状部が互いに対向するように配置された一対の〔７〕に記載の調光装置用透明導電膜と、
　一対の調光装置用透明導電膜の間に配置され且つ電気信号により光学特性が変化する調光層を備える
　調光装置。
　〔９〕　非導電部において互いに隣接する張り出し部は、互いに間隔を空けて配置される
　〔８〕に記載の調光装置。
　〔１０〕　一対の調光装置用透明導電膜の一方の調光装置用透明導電膜における複数の非導電部のうち少なくとも１つの非導電部と、他方の調光装置用透明導電膜において少なくとも１つの非導電部に対応する非導電部とは、平面視において互いにずれて配置され、
　少なくとも１つの非導電部と対応する非導電部の平面視における最大ずれ量は、伸長部の幅の０．２５倍以下である
　〔８〕または〔９〕に記載の調光装置。
　〔１１〕　一対の調光装置用透明導電膜の一方の調光装置用透明導電膜における複数の非導電部の一対の中心軸の交点の位置と、他方の調光装置用透明導電膜における複数の非導電部の一対の中心軸の交点の位置は、平面視において互いに一致する
　〔８〕または〔９〕に記載の調光装置。
　〔１２〕　非導電部を縁取る連続した導電配線の内側に、導電部材を含まない
　〔８〕～〔１１〕のいずれかに記載の調光装置。
　〔１３〕　非導電部を縁取る連続した導電配線は、一対の中心軸にそれぞれ平行な２種類の直線部分からなる
　〔８〕～〔１２〕のいずれかに記載の調光装置。
　〔１４〕　メッシュ形状部は、非導電部を除く領域に配置された、導電性の透明補助導電層を有する
　〔８〕～〔１３〕のいずれかに記載の調光装置。
　〔１５〕　調光層は、液晶層またはエレクトロクロミック層である
　〔８〕～〔１４〕のいずれかに記載の調光装置。
　本発明に係る透明導電膜によれば、基板と、基板上に配置され且つ複数の導電配線により形成されたメッシュ形状部を備え、メッシュ形状部は、規則的な繰り返しパターンを形成するように配列され且つ連続した導電配線により縁取られた複数の非導電部を有し、非導電部は、互いに直交する一対の中心軸に沿って延び且つ互いに同一の長さを有する一対の伸長部を有し、一対の伸長部は、一対の中心軸の交点において互いに交差し、一対の伸長部は、それぞれ、伸長方向に交差する方向に張り出す張り出し部を有し、非導電部は、一対の中心軸のそれぞれに対して対称な形状を有するため、特定の周波数帯の電磁波のみを透過させる機能を有しつつ、発熱時の局所的な劣化を抑制し且つ調光装置が不透明状態の場合の遮蔽性を向上できる。
本発明の実施の形態１に係る透明導電膜の一部を模式的に示す断面図である。 本発明の実施の形態１に係る透明導電膜の平面図である。 本発明の実施の形態１におけるメッシュ形状部を拡大して示す模式図である。 本発明の実施の形態１における非導電部を示す図である。 十字形状の非導電部を示す図である。 本発明の実施の形態１における単位領域を示す図である。 本発明の実施の形態１の第１の変形例における非導電部を示す図である。 本発明の実施の形態１の第２の変形例における非導電部を示す図である。 本発明の実施の形態１の第３の変形例における非導電部を示す図である。 本発明の実施の形態２の調光装置の一部を模式的に示す断面図である。 本発明の実施の形態２における第１導電層の平面図である。 本発明の実施の形態２における第１基板と第１導電層の断面構成を詳細に示す図である。 本発明の実施の形態２の調光装置の断面構成を詳細に示す図である。 本発明の実施の形態２における第１導電層の非導電部と第２導電層の非導電部の最大ずれ量を示す図である。
　以下に、添付の図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明の透明導電膜を詳細に説明する。
　なお、以下に説明する図は、本発明を説明するための例示的なものであり、以下に示す図に本発明が限定されるものではない。
　なお、以下において数値範囲を示す「～」とは両側に記載された数値を含む。例えば、εが数値α～数値βとは、εの範囲は数値αと数値βを含む範囲であり、数学記号で示せばα≦ε≦βである。
　「平行」および「直交」等の角度は、特に記載がなければ、該当する技術分野で一般的に許容される誤差範囲を含む。
　また、「同一」とは、該当する技術分野で一般的に許容される誤差範囲を含む。
　また、「（メタ）アクリレート」はアクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」はアクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表す。また、「（メタ）アクリロイル」はアクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
　なお、可視光に対して透明とは、特に断りがなければ、可視光透過率が、波長３８０ｎｍ～８００ｎｍの可視光波長域において、４０％以上のことであり、好ましくは８０．０％以上、より好ましくは９０．０％以上のことである。また、以下の説明において、透明とは、特に断りがなければ、可視光に対して透明であることを示す。
　可視光透過率は、ＪＩＳ（日本工業規格）　Ｋ　７３７５：２００８に規定される「プラスチック－全光線透過率および全光線反射率の求め方」を用いて測定されるものである。
実施の形態１
　図１に、本発明の実施の形態１に係る透明導電膜１１を示す。実施の形態１の透明導電膜１１は、通電することにより発熱してヒータの機能を有するヒータ用透明導電膜として使用できる。透明導電膜１１は、フィルム状の部材であり、絶縁性の透明な基板１２と、基板１２の片面上に形成された導電層１３を備えている。
　導電層１３は、例えば７５．０％以上の可視光透過性を有している。
　図２に示すように、透明導電膜１１の導電層１３は、複数の導電配線２１により形成されるメッシュ形状部１４と、メッシュ形状部１４に電圧を印加するためにメッシュ形状部１４の両端に接続された一対の電極パッド１５を備えている。一対の電極パッド１５は、それぞれ、長方形の形状を有しており、その長辺同士が互いに対向するように配置されている。ここで、例えば一対の電極パッド１５間に電圧を印加してメッシュ形状部１４に電流を流すことにより、メッシュ形状部１４を加熱できる。これにより、透明導電膜１１は、いわゆるヒータとして機能する。
　なお、以降では、説明のために、一方の電極パッド１５から他方の電極パッド１５に向かう方向をＹ方向と呼び、Ｙ方向に直交する方向をＸ方向と呼ぶ。
　メッシュ形状部１４を形成する複数の導電配線２１は、Ｘ方向およびＹ方向に延びている。
　図３に示すように、複数の導電配線２１は、線幅Ｔを有し、導電配線２１の中心線ＣＬ間の距離として定義されるピッチＱを隔てて配置されている。
　また、メッシュ形状部１４は、正方形の複数の開口部Ｈを有しており、いわゆる正方格子を形成している。
　導電配線２１の線幅Ｔは、特に制限されないが、上限は、１０００．００μｍ以下が好ましく、５００．００μｍ以下がより好ましく、３００．００μｍ以下がさらに好ましい。線幅Ｔの下限は、１．００μｍ以上が好ましく、３．００μｍ以上がより好ましい。線幅Ｔが上述の範囲内であれば、メッシュ形状部１４が高い導電率を有することができる。また、導電性の観点から、導電配線２１の厚みは０．０１μｍ以上２００．００μｍ以下に設定することができるが、その上限は、３０．００μｍ以下が好ましく、２０．００μｍ以下がより好ましく、９．００μｍ以下がさらに好ましく、５．００μｍ以下が特に好ましい。導電配線２１の厚みの下限は、０．０１μｍ以上が好ましく、０．１０μｍ以上がより好ましく、０．５μｍ以上がさらに好ましい。
　複数の導電配線２１により形成される導電層１３のシート抵抗は、０．１Ω／□以上１０．０Ω／□以下であることが好ましく、０．３Ω／□以上３．０Ω／□以下がより好ましい。このように、導電層１３は、１０．０Ω／□以下の低いシート抵抗を有しているため、電圧制限がある条件において大きい発熱量を有する高いヒータ性能を有し、且つ、高い電磁波透過率を有している。また、導電層１３は、０．１０Ω／□以上の抵抗値を有しているため、電流制限がある条件においても大きい発熱量を有する高いヒータ性能を有する。
　また、図２に示すように、メッシュ形状部１４は、規則的な繰り返しパターンを形成するように配列され且つ連続した導電配線２１Ａにより縁取られた複数の非導電部２２を有している。複数の非導電部２２は、Ｘ方向およびＹ方向に、それぞれ、間隔Ａおよび配列ピッチＰにより配列されている。
　ここで、間隔Ａは、Ｘ方向において隣り合う非導電部２２間のＸ方向における最短距離、および、Ｙ方向において隣り合う非導電部２２間のＹ方向における最短距離によって定義できる。また、非導電部２２の配列ピッチＰは、Ｘ方向において隣り合う非導電部２２の中心間のＸ方向における距離、および、Ｙ方向において隣り合う非導電部２２の中心間のＹ方向における距離により定義できる。
　非導電部２２は、図４に示すように、連続した導電配線２１Ａにより縁取られており、その連続した導電配線２１Ａの内側には導電部材が存在していない。そのため、非導電部２２の内側は、電気的に絶縁されている。
　また、非導電部２２は、互いに直交する一対の中心軸Ｃ１およびＣ２に沿って延び且つ互いに同一の長さＬ１と幅Ｌ２を有する一対の伸長部Ｅ１およびＥ２を有している。図４の例において、中心軸Ｃ１はＹ方向に沿って延び、中心軸Ｃ２はＸ方向に沿って延びている。一対の伸長部Ｅ１およびＥ２は、一対の中心軸Ｃ１およびＣ２の交点Ｋにおいて互いに交差している。
　また、伸長部Ｅ１は、伸長方向であるＹ方向に交差する方向に対して張り出す張り出し部Ｇ１を有し、伸長部Ｅ２は、伸長方向であるＸ方向に対して交差する方向に張り出す張り出し部Ｇ２を有している。図４の例では、伸長部Ｅ１は、Ｙ方向の両端部からそれぞれＸ方向の両側に張り出す張り出し部Ｇ１を有し、伸長部Ｅ２は、Ｘ方向の両端部からそれぞれＹ方向の両側に張り出す張り出し部Ｇ２を有している。
　このように、伸長部Ｅ１およびＥ２は張り出し部Ｇ１およびＧ２を有しているため、張り出し部Ｇ１およびＧ２が位置する部分において、伸長部Ｅ１およびＥ２は、それぞれ、幅Ｌ２よりも広い幅Ｌ３を有している。また、張り出し部Ｇ１はＹ方向の幅Ｌ４を有し、張り出し部Ｇ２はＸ方向の幅Ｌ４を有している。
　ここで、非導電部２２は、中心すなわち一対の中心軸Ｃ１およびＣ２の交点Ｋからの腕の長さ、すなわち、交点Ｋから張り出し部Ｇ１またはＧ２の端部までのＸ方向およびＹ方向に沿った長さに対応する特定の周波数帯の電磁波を透過させるためのものである。図４において、非導電部２２の腕の長さＬ５は、概ね、一対の中心軸Ｃ１およびＣ２の交点Ｋから伸長部Ｅ１のＹ方向端部までの距離と中心軸Ｃ１から張り出し部Ｇ１のＸ方向端部までの長さの和、すなわち、伸長部Ｅ１の長さＬ１の半分と張り出し部Ｇ１が位置している部分の伸長部Ｅ１の幅Ｌ３の半分の和により算出できる。そのため、非導電部２２を透過させようとする電磁波の周波数帯に応じて一対の伸長部Ｅ１およびＥ２の長さＬ１と、張り出し部Ｇ１およびＧ２が位置している部分の一対の伸長部Ｅ１およびＥ２の幅Ｌ３が設計される。
　例えば、非導電部２２に７６．５ＧＨｚを中心とするいわゆるミリ波と呼ばれる周波数帯の電磁波を透過させる場合に、長さＬ１を１．１２ｍｍに設計し、幅Ｌ３を０．７２ｍｍに設計することが好ましい。ただし、複数の非導電部２２の位置関係にも依存するため、長さＬ１および幅Ｌ３は、適宜調整されることができる。また、幅Ｌ２が広くなるほど、および、厚みＬ４が厚くなるほど非導電部２２を透過する電磁波の量を増やすことができる。ただし、幅Ｌ２と厚みＬ４の値が一定以上の大きさになると非導電部２２の腕の長さに影響を与えるおそれがあるため、適宜調整されることが望ましい。
　このように、メッシュ形状部１４が非導電部２２を有しているため、メッシュ形状部１４は特定の周波数帯を有する電磁波を透過し、それ以外の周波数帯の電磁波を遮蔽できる。
　また、非導電部２２は、一対の中心軸Ｃ１およびＣ２のそれぞれに対して対称な形状を有している。このように、非導電部２２が一対の中心軸Ｃ１およびＣ２に対して対称であることにより、交点Ｋからの非導電部２２の腕の長さＬ５を、＋Ｘ方向、－Ｘ方向、＋Ｙ方向および－Ｙ方向の４方向において統一し、例えば、非導電部２２が一対の中心軸Ｃ１およびＣ２に対して非対称である場合と比較して、特定の周波数帯の電磁波に対する透過率を向上させることができる。
　ところで、例えばＶｙａｃｈｅｓｌａ　Ｖ．Ｋｏｍａｒｏｖ，Ｖａｌｅｒｙ　Ｐ．Ｍｅｓｃｈａｎｏｖ著、「Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ　ｍｅｔａｌ　ｍｅｓｈ　ｆｉｌｔｅｒｓ　ａｔ　９０　ＧＨｚ」，Ｊｏｕｎａｌ　ｏｆ　Ｃｏｍｐｕｔａｔｉｏｎａｌ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ、２０１９年２月２８日、１８：６９６－７０４に開示されているように、図５に示すような単純な十字形状を有する非導電部３２が知られている。非導電部３２は、互いに直交する一対の中心軸Ｃ１およびＣ２に沿って延びる一対の伸長部Ｅ１およびＥ２からなる十字形状を有している。非導電部３２において、一対の伸長部Ｅ１およびＥ２は長さＬ６と幅Ｌ７を有している。一対の伸長部Ｅ１およびＥ２の長さは、透過させようとする電磁波の周波数帯に応じて設計される。
　例えば、非導電部３２に７６．５ＧＨｚを中心とするミリ波を透過させる場合に、長さＬ６を１．３３ｍｍに設計することが好ましい。
　このように、本発明の実施の形態１における非導電部２２は、例えば図５に示すような単純な十字形状を有する非導電部３２と比較して、透過させたい周波数帯の電磁波に対応する腕の長さを保ちつつＸ方向およびＹ方向における非導電部２２の寸法を短くすることができる。
　ここで、図５に示すような十字形状の非導電部３２を、複数の導電配線からなるメッシュ形状部上でＸ方向およびＹ方向において配列させることにより規則的な繰り返しパターンを形成すると、非導電部３２間の間隔が短いために、メッシュ形状部に電圧を印加した場合に非導電部３２で電流が集中して流れることにより、非導電部３２間の導電配線が高温になり酸化する等、導電配線が劣化してしまうことがあった。
　本発明の実施の形態１における非導電部２２は、透過させたい周波数帯の電磁波に対応する腕の長さを保ちつつＸ方向およびＹ方向における寸法を短くすることができるため、発熱機能と、特定の周波数帯の電磁波のみを透過させる機能とを両立しながらも、非導電部２２間の間隔Ａを広くすることができ、局所的な劣化を抑制できる。
　ここで、図６に示すように、非導電部２２間の間隔と非導電部２２の外接円Ｆの半径Ｂが
　（Ａ／２）／Ｂ＞０．２
　を満たすことが、非導電部２２間の間隔を広くして非導電部２２間の電流集中をより抑制できる観点から好ましい。
　また、図６に示すように、一対の中心軸Ｃ１およびＣ２の交点Ｋを中心とし且つ非導電部２２を囲む正方形の単位領域Ｒが設定されている。メッシュ形状部１４に形成される規則的な繰り返しパターンは、図２に示すように、この単位領域ＲがＸ方向およびＹ方向に配列されることにより構成される。
　ここで、非導電部２２が十分な量の電磁波を透過するために、非導電部２２が単位領域Ｒを占める面積の割合は２５％以上であることが好ましい。また、隣り合う非導電部２２間の間隔Ａを広くして電流の局所的な集中を抑制するために、非導電部２２が単位領域Ｒを占める面積の割合は５０％以下であることが好ましい。したがって、非導電部２２が十分な量の電磁波を透過しつつ電流の局所的な集中を抑制するためには、非導電部２２が単位領域Ｒを占める面積の割合が２５％以上５０％以下であることが好ましい。
　また、非導電部２２を縁取る連続した導電配線２１Ａの内側には、導電部材が存在していないため、透過させたい特定の周波数帯の電磁波が導電部材で反射することがなく、特定の周波数帯の電磁波に対して優れた透過性を有することができる。なお、図４の例では、非導電部２２を縁取る連続した導電配線２１Ａの内側には空気が存在しているが、図示しない絶縁部材で満たされることもできる。この場合でも、非導電部２２は、特定の周波数帯の電磁波に対して優れた透過性を有することができる。
　また、非導電部２２において互いに隣接する張り出し部Ｇ１およびＧ２が互いに接触または結合するように設計されていると、非導電部２２の形状に起因して、透過させたい周波数帯の電磁波の透過率が低下してしまう。そのため、非導電部２２において互いに隣接する張り出し部Ｇ１およびＧ２は、互いに間隔を空けて配置されることが好ましい。
　また、非導電部２２を縁取る連続した導電配線２１Ａは、メッシュ形状部１４を形成するその他の複数の導電配線２１と同じく、一対の中心軸Ｃ１およびＣ２にそれぞれ平行な、すなわち、Ｘ方向に沿った直線部分とＹ方向に沿った直線部分の、２種類の直線部分からなり、Ｘ方向およびＹ方向に傾斜する部分を含まないことが好ましい。この場合には、非導電部２２を縁取る連続した導電配線２１Ａを含めて全ての導電配線２１がＸ方向およびＹ方向に沿って延びるため、観察者がメッシュ形状部１４を確認した際に非導電部２２の存在が特に目立たない。
　また、非導電部２２における張り出し部Ｇ１およびＧ２の形状は、図４に示すような矩形に限定されず、任意の形状を有することができる。張り出し部Ｇ１およびＧ２は、例えば、図７に示すように、直角三角形の形状を有することもできる。図７に示す非導電部２３において、一対の伸長部Ｅ１およびＥ２は、長さＬ８と幅Ｌ９を有し、張り出し部Ｇ１およびＧ２が位置している部分の最大幅Ｌ１０を有している。この場合でも、非導電部２３は、所望の周波数帯の電磁波を透過するための腕の長さを確保しながらもＸ方向およびＹ方向における非導電部２３の寸法を小さくできる。
　また、張り出し部Ｇ１およびＧ２は、図８に示すような鈍角三角形の形状を有することもできる。図８に示す非導電部２４において、一対の伸長部Ｅ１およびＥ２は、長さＬ１１と幅Ｌ１２を有している。張り出し部Ｇ１は、伸長部Ｅ１の先端部に位置し且つ伸長部Ｅ１の伸長方向すなわちＹ方向に対して傾斜する方向に張り出している。また、張り出し部Ｇ１は、Ｙ方向の長さＬ１３とＸ方向の長さＬ１４を有している。張り出し部Ｇ２は、伸長部Ｅ２の先端部に位置し且つ伸長部Ｅ２の伸長方向すなわちＸ方向に対して傾斜する方向に張り出している。また、張り出し部Ｇ２は、図示しないが、Ｘ方向の長さＬ１３とＹ方向の長さＬ１４を有している。また、張り出し部Ｇ１およびＧ２により形成される鈍角三角形の３つの内角のうち、一対の伸長部Ｅ１およびＥ２の先端側に接する頂点を挟む内角により鈍角が形成されている。これにより、張り出し部Ｇ１は伸長部Ｅ１の先端を超えてＹ方向に張り出し、張り出し部Ｇ２は伸長部Ｅ２の先端を超えてＸ方向に張り出している。
　このように、非導電部２４が鈍角三角形の張り出し部Ｇ１およびＧ２を有する場合でも、非導電部２４は、所望の周波数帯の電磁波を透過するための腕の長さを確保しながらもＸ方向およびＹ方向における非導電部２４の寸法を小さくできる。
　また、張り出し部Ｇ１およびＧ２は、互いに接触せずに間隔を空けて配置されているのであれば、図４に示すように一対の伸長部Ｅ１およびＥ２の先端部に配置されていなくてもよく、例えば一対の伸長部Ｅ１およびＥ２の伸長方向における中央部等、任意の位置に配置されることができる。
　張り出し部Ｇ１およびＧ２は、例えば、図９に示すように一対の伸長部Ｅ１およびＥ２の端部よりも中心軸Ｃ１およびＣ２の交点Ｋ側に配置されることもできる。図９に示す非導電部２５において、一対の伸長部Ｅ１およびＥ２は、長さＬ１５と幅Ｌ１６を有し、張り出し部Ｇ１およびＧ２が位置している部分の幅Ｌ１７を有している。張り出し部Ｇ１は、Ｙ方向に厚みＬ１８を有している。また、伸長部Ｅ１は、Ｙ方向において、その先端から張り出し部Ｇ１までの長さＬ１９を有している。また、図示しないが、張り出し部Ｇ２は、Ｘ方向に厚みＬ１８を有している。伸長部Ｅ２は、Ｘ方向において、その先端から張り出し部Ｇ２までの長さＬ１９を有している。
　このように、張り出し部Ｇ１およびＧ２が一対の伸長部Ｅ１およびＥ２の先端以外の位置に配置されている場合でも、非導電部２５は、透過させたい周波数帯の電磁波に対応する腕の長さを保ちつつＸ方向およびＹ方向における寸法を短くすることができるため、発熱機能と、特定の周波数帯の電磁波のみを透過させる機能とを両立しながらも、非導電部２５間の間隔Ａを広くすることができ、局所的な劣化を抑制できる。
　また、図１では、導電層１３が平面に沿った形状を有していることが示されているが、曲面に沿った形状を有することもできる。例えば、曲面を有する基板１２上に導電層１３が形成されることにより、導電層１３を、基板１２の曲面形状に沿った形状を有するように形成することができる。この曲面形状としては、例えば、球、円柱および円錐等の任意の立体形状の表面に沿った形状が挙げられる。
　また、導電層１３は、より複雑な立体の表面に沿った形状を有することもできる。複雑な立体としては、例えば、自動車のエンブレム、レーダのレドーム、レーダのフロントカバー、自動車のヘッドランプカバー、アンテナ、リフレクタ等が挙げられる。本発明の実施の形態１の透明導電膜１１を、このような立体の形状に沿って配置することにより、例えば、透明導電膜１１を自動車のエンブレムに沿って配置し、エンブレムの内部にレーダを搭載することが可能である。
　また、自動車のエンブレムに沿って透明導電膜１１を配置する場合等、透明導電膜１１によって覆われる部材のデザインを外部の観察者に視認させたい場合には、透明導電膜１１が透明性を有していることが望ましい。このような場合に、メッシュ形状部１４１の存在が目立たないようにするために、メッシュ形状部１４のピッチＱの上限は、８００．００μｍ以下が好ましく、６００．００μｍ以下がより好ましく、４００．００μｍ以下がさらに好ましい。また、ピッチＱの下限は、５．００μｍ以上が好ましく、３０．００μｍ以上がより好ましく、８０．００μｍ以上がさらに好ましい。
　また、透明導電膜１１が７５．０％以上の可視光透過率を有するために、メッシュ形状部１４の開口率は、７５％以上であることが好ましく、８０％以上であることがより好ましい。ここで、メッシュ形状部１４の開口率とは、メッシュ形状部１４が占める領域のうち導電配線２１を除いた透過性部分の割合のことであり、すなわち、メッシュ形状部１４の全体の面積に対する複数の開口部Ｈが占める合計の面積の割合に相当する。
　なお、メッシュ形状部１４の複数の開口部Ｈの形状は、正方形に限定されず、例えば、正三角形、二等辺三角形、直角三角形等の三角形、正方形、長方形、平行四辺形、台形等の四角形、（正）六角形、（正）八角形等の（正）多角形、円、楕円、星形等、または、これらの形状を組み合わせた幾何学図形とすることもできる。
実施の形態２
　実施の形態１の透明導電膜１１はヒータとして使用されることが説明されているが、透明導電膜１１の用途はヒータに限定されない。例えば、いわゆる調光フィルムまたは調光ガラスとも呼ばれる、通電によって透明度が変化する調光装置に備えられ、特定の周波数帯の電磁波のみを透過させる調光装置用透明導電膜として使用することもできる。
　図１０に、実施の形態２の調光装置を示す。調光装置は、第１基板１２Ａと、第１基板１２Ａ上に形成された第１導電層１３Ａと、第２基板１２Ｂと、第２基板１２Ｂ上に形成された第２導電層１３Ｂと、第１導電層１３Ａおよび第２導電層１３Ｂに挟まれるように配置された調光層４１を備えている。第１基板１２Ａと第１導電層１３Ａにより第１透明導電膜１１Ａが形成され、第２基板１２Ｂと第２導電層１３Ｂにより第２透明導電膜１１Ｂが形成されている。また、図示しないが、調光装置は、調光層４１に通電するための電極を含んでいる。
　第１基板１２Ａおよび第２基板１２Ｂは、実施の形態１における基板１２と同一である。
　第１導電層１３Ａは、図１１に示すように、実施の形態１におけるメッシュ形状部１４を有している。メッシュ形状部１４は、複数の導電配線２１および２１Ａにより形成されており、導電配線２１Ａに縁取られた非導電部２２を有している。また、メッシュ形状部１４は、図１２に示すように、非導電部２２を除く複数の導電配線２１および２１Ａの上および間に形成された透明補助導電層４２を有している。
　透明補助導電層４２は、形成されていなくてもよいが、調光層４１を時間差なく均一に動作し、且つ、非導電部２２に対応する特定の周波数帯の電磁波以外の電磁波を遮蔽する役割を有するため、形成されていることが好ましい。透明補助導電層４２としては、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ（poly(3,4-ethylenedioxythiophene) polystyrene sulfonate：ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルホン酸）、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリイソチアナフテン等の透明導電性ポリマー膜、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide：インジウムチンオキサイド、酸化インジウムスズ）等の透明導電性無機酸化物、または、導電性微粒子が分散されたポリマー膜等からなる分散型導電性膜を用いることができる。導電性微粒子の代表的な例としてカーボンナノチューブ、金属ナノワイヤまたは導電性金属酸化物等が挙げられる。
　透明補助導電層４２は、塗布、印刷または真空プロセス等の方法で一様に付着、成膜することで得ることができる。塗布および印刷の方法としては、スライドコータ、スロットダイコータ、カーテンコータ、ロールコータ、バーコータ、グラビアコータ等の塗布コータ、インクジェット印刷法およびスクリーン印刷法等既知の方法を用いることができる。真空プロセスの方法としては、真空蒸着法およびスパッタリング法等既知の方法を用いることができる。透明補助導電層４２は、単層または複数層の積層構造を有することもできる。透明補助導電膜４２は、図１２では、複数の導電配線２１および２１Ａの上および間に成膜されているが、複数の導電配線２１および２１Ａと透明補助導電膜４２の第１基板１２Ａからの高さが同一になるよう成膜してもよい。また、非導電部２２には透明補助導電膜４２を成膜しないよう、フォトリソグラフィ法、インクジェット印刷法、スクリーン印刷法等既知のパターニング方法を用いることができる。
　導電性微粒子は、カーボンナノチューブまたは金属ナノワイヤ等の細くて長いものが、少ない量で高い導電性が発現するため好ましい。導電性微粒子の含有量が少ないと透明性も高く保てるためさらに好ましい。導電性微粒子の好ましい太さは１ｎｍから１００ｎｍである。太さが７０ｎｍ以下であると、殆ど目に見えないのでさらに好ましい。５ｎｍ以上であると電気抵抗がより小さくなって電気伝導性が得られやすくより好ましい。特に好ましくは１０ｎｍから５０ｎｍである。導電性微粒子の好ましいアスペクト比は１０以上１０００００以下であり、下限値に関してさらに好ましくは３０以上であり、最も好ましくは１００以上である。カーボンナノチューブには多層カーボンナノチューブ（ＭＷＮＴ）、二層カーボンナノチューブ（ＤＷＮＴ）および単層カーボンナノチューブ（ＳＷＮＴ）が知られている。金属ナノワイヤには銀ナノワイヤ、金ナノワイヤおよび銅ナノワイヤ等が知られている。
　分散型透明導電膜中の導電性微粒子はポリマーマトリックス中に分散されていることが好ましい。均一に分散されていると少量の導電性微粒子でも必要な導電性は得られる。分散型透明導電膜に使用できるポリマーには特に制限はなく、溶媒に溶解し導電性微粒子を凝集せずに分散できればよい。具体的にはポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリスルフォン系樹脂、セルロースエステル系樹脂、セルロースエーテル系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、ポリブタジエンやポリスチレンの如きビニル系樹脂、ポリアクリルエステル系及びポリメタクリル系樹脂などがある。またエポキシ樹脂、熱硬化性ポリエステル樹脂、アクリルエステル系などのモノマーあるいはオリゴマーに導電性微粒子を分散し塗布して熱や光で重合させてもよい。また水分散したポリマーラテックス液中に導電性微粒子を分散し、塗布乾燥し、ポリマーのガラス転移温度以上の熱をかけて皮膜にする方法も使用できる。
　調光層４１を均一に動作させるために、透明補助導電層４２は、０．２μｍ～５０．０μｍの厚みを有することが好ましく、高い腐食防止機能と工程適性を勘案すると０．５μｍ～３０．０μｍの厚みを有することがさらに好ましく、１．０～１５．０μｍの厚みを有することが特に好ましい。分散型透明導電膜中の導電性微粒子の好ましい濃度は０．０１～１．００重量％である。より好ましい範囲は０．０４～０．４０％であり、０．０８～０．２５％が最も好ましい。分散型透明導電膜中に含まれる導電性微粒子の好ましい量は０．０５～１０００．００ｍｇ／ｍ２である。導電性微粒子の量が多いほど導電性は向上するが、光透過率が低下する。より好ましくは０．５０～３００．００ｍｇ／ｍ２であり、４．００～１００．００ｍｇ／ｍ２が特に好ましい。
　第２導電層１３Ｂは、第１導電層１３Ａと同様に、複数の導電配線２１および２１Ａにより形成され、導電配線２１Ａにより縁取られた複数の非導電部２２を含むメッシュ形状部１４を有している。また、第２導電層１３Ｂのメッシュ形状部１４は、図１３に示すように、第１導電層１３Ａのメッシュ形状部１４と同様に、非導電部２２を除く複数の導電配線２１および２１Ａの上および間に形成された透明補助導電層４２を有している。
　調光層４１は、電気信号により透明度すなわち可視光の透過率等の光学特性が変化する層である。調光層４１は、いわゆる液晶層またはいわゆるエレクトロクロミック層を含むことができる。ここで、エレクトロクロミック層は、通電状態の制御により、その色を無色透明から黒色等の暗い色に変化させることで不透明状態になることができる。そのため、不透明状態において非導電部２２へ色が浸み出すことにより遮蔽性が高くなるエレクトロクロミック層がより好ましい。
　エレクトロクロミック層は、エレクトロクロミック材料から構成される層である。エレクトロクロミック材料としては、エレクトロクロミック性を有する化合物であれば特に限定されず、無機化合物、有機化合物、混合原子価錯体のいずれであってもよい。無機化合物としては、例えば、Ｍｏ２Ｏ３、Ｉｒ２Ｏ３、ＮｉＯ、Ｖ２Ｏ５、ＷＯ３、ＴｉＯ２等が挙げられる。有機化合物としては、例えば、ポリピロール化合物、ポリチオフェン化合物、ポリパラフェニレンビンレン化合物、ポリアニリン化合物、ポリアセチレン化合物、ポリエチレンジオキシチオフェン化合物、金属フタロシアニン化合物、ビオロゲン化合物、ビオロゲン塩化合物、フェロセン化合物、テレフタル酸ジメチル化合物、テレフタル酸ジエチル化合物等が挙げらる。混合原子価錯体としては、例えば、プルシアンブルー型錯体（ＫＦｅ［Ｆｅ（ＣＮ）５］）等が挙げられる。
　エレクトロクロミック層は、公知の方法で成膜することが可能であり、スパッタ法による真空成膜でもよいし、エレクトロクロミック材料を希釈した溶液を塗布することで成膜してもよい。
　エレクトロクロミック層を含む調光層４１は、一対の透明導電層の間にエレクトロクロミック層が配置されることで構成される。エレクトロクロミック層は、透明導電層間に電圧を印加することで、例えば、特定の波長域の透過率が変化し、透明から不透明になったり、色調が変化したりする。また、透明導電層とエレクトロクロミック層の間には、電解質層などを設けてもよい。
　液晶層は、液晶を含む層であり、例えばスペーサ等により液晶を内部に充填しかつ封止したものが挙げられる。液晶としては、どのような方式のものでもよく、ＴＮ型であってもよいし、ＳＴＮ型でもよい。また、液晶層は、ポリマー分散型液晶（ＰＤＬＣ）により構成されてもよい。ＰＤＬＣとしては、液晶層中にポリマーによりネットワーク構造が形成されたネットワーク液晶が挙げられる。また、液晶をマイクロカプセル化してバインダ樹脂中に分散させたマイクロカプセル型液晶（ＰＤＭＬＣ）でもよい。ＰＤＭＬＣで使用するバインダ樹脂としては、ポリビニルブチラール樹脂などのポリビニルアセタール樹脂が挙げられる。
　液晶層を含む調光層４１は、一対の透明導電層の間に液晶層が配置されることで液晶セルを構成する。また、液晶の種類によっては、導電層と液晶層との間に配向膜などが設けられてもよい。液晶層は、例えば、透明導電層間に電圧が印加されると液晶層が透明になるノーマルモードと、透明導電層間に電圧が印加されると液晶層が不透明になるリバースモードのいずれでもよいが、窓等に使用する場合は透明である時間が長く、消費電力の点でリバースモードが好ましい。
　調光層４１の通電状態を制御することにより、調光層４１を透明状態と不透明状態のいずれかに切り替えて、調光装置の一方側を他方側から視認しやすい状態と視認しにくい状態のいずれかに切り替えることができるが。このような状態の切り替えは、例えば、調光装置を仕切り板として用いた場合に、調光装置の他方側から一方側を覆い隠して、一方側のプライバシーを保護するため等に使用されることがある。
　例えば調光装置の第１導電層１３Ａおよび第２導電層１３Ｂが図５に示すような単純な十字形状の複数の非導電部３２を有している場合に、調光装置は、複数の非導電部３２に対応する特定の周波数帯の電磁波のみを透過することができるが、複数の非導電部３２によって形成される格子状の複数のスリットにより、調光層４１を不透明状態にした場合でも、調光装置の他方側から一方側の様子が視認できてしまい、十分な遮蔽性が確保できないことがあった。
　本発明の調光装置では、例えば図４に示すように、複数の非導電部２２が張り出し部Ｇ１およびＧ２を有しているため、非導電部２２のＸ方向およびＹ方向の寸法を短くして、格子状の複数のスリットが形成されることを防止できる。これにより、調光層４１を不透明状態にした場合に、調光装置の他方側から一方側の様子を視認しにくく、十分な遮蔽性を確保できる。
　なお、互いに対応する第１導電層１３Ａの非導電部２２と第２導電層１３Ｂの非導電部２２は、調光装置が特定の周波数帯の電磁波のみを透過できれば、図１４に示すように、平面視において互いにずれて配置されることもできる。このずれ量は、例えば、第１導電層１３Ａの非導電部２２ＡのＹ方向に沿った中心軸Ｃ１Ａと第２導電層１３Ｂの非導電部２２ＢのＹ方向に沿った中心軸Ｃ１ＢとのＸ方向における間隔Ｍ１、および、非導電部２２ＡのＸ方向に沿った中心軸Ｃ２Ａと非導電部２２ＢのＸ方向に沿った中心軸Ｃ２ＢとのＹ方向における間隔Ｍ２の最大値により定義できる。以下では、このずれ量を最大ずれ量と呼ぶ。
　ここで、特定の周波数帯を有する電磁波は、第１導電層１３Ａの非導電部２２Ａと第２導電層１３Ｂの非導電部２２Ｂが互いに重なる領域Ｎを透過することになる。そのため、最大ずれ量が小さいほど領域Ｎの形状が非導電部２２Ａおよび２２Ｂに近くなり、特定の周波数帯の電磁波のみを選択的に透過しやすい。また、最大ずれ量が大きいほど領域Ｎの形状が非導電部２２Ａおよび２２Ｂから離れて、特定の周波数帯の電磁波を選択的に透過しにくくなる。最大ずれ量は、調光装置が特定の周波数帯の電磁波のみを十分に透過するために、非導電部２２Ａおよび２２Ｂの一対の伸長部Ｅ１およびＥ２の幅の０．２５倍以下であることが好ましい。特に、張り出し部Ｇ１およびＧ２を有する非導電部２２Ａおよび２２Ｂでは、最大ずれ量が０．２５倍を超えると、伸長部Ｅ１およびＥ２の幅が小さくなることによる電磁波の透過量の減少と、伸長部Ｅ１およびＥ２と張り出し部Ｇ１およびＧ２の寸法が小さくなることによる透過する電磁波のピーク波長の変化との相乗効果により、急激に、特定の周波数帯の電磁波を選択的に透過しにくくなる。
　なお、調光装置に特定の周波数帯の電磁波のみを透過させるために、平面視においてすなわちＸＹ面に垂直なＺ方向から調光装置を見たときに、第１導電層１３Ａの複数の非導電部２２の一対の中心軸Ｃ１およびＣ２の交点Ｋの位置と、第２導電層１３Ｂの複数の非導電部２２の一対の中心軸Ｃ１およびＣ２の交点Ｋの位置が、互いに一致していることが好ましい。
　以下では、実施の形態１の透明導電膜１１を構成する各部材について詳細に説明する。実施の形態２の調光装置を構成する調光層４１以外の各部材も、実施の形態１の透明導電膜１１の各部材の説明に準ずるものとする。
＜基板＞
　基板１２は、絶縁性を有し且つ少なくとも導電層１３を支持できれば特に限定されるものではないが、透明であることが好ましく、樹脂材料により構成されることが好ましい。
　基板１２を構成する樹脂材料の具体例としては、ポリメタクリル酸メチル（Polymethyl methacrylate：ＰＭＭＡ）、アクリロニトリルブタジエンスチレン（Acrylonitrile butadiene styrene：ＡＢＳ）、ポリエチレンテレフタラート（Polyethylene terephthalate：ＰＥＴ）、ポリカーボネート（Polycarbonate：ＰＣ）、ポリシクロオレフィン、（メタ）アクリル、ポリエチレンナフタレート（Polyethylene naphthalate：ＰＥＮ）、ポリエチレン（Polyethylene：ＰＥ）、ポリプロピレン（Polypropylene：ＰＰ）、ポリスチレン（Polystyrene：ＰＳ）、ポリ塩化ビニル（Polyvinyl chloride：ＰＶＣ）、ポリ塩化ビニリデン（Polyvinylidene chloride：ＰＶＤＣ）、ポリフッ化ビニリデン（PolyVinylidene difluoride：ＰＶＤＦ）、ポリアリレート（Polyarylate：ＰＡＲ）、ポリエーテルサルホン（Polyethersulfone：ＰＥＳ）、高分子アクリル、フルオレン誘導体、結晶性シクロオレフィンポリマー（Cyclo Olefin Polymer：ＣＯＰ）、トリアセチルセルロース（Triacetylcellulose：ＴＡＣ）等が挙げられる。
　ここで、基板１２の透明性および耐久性の観点から、基板１２は、ポリメタクリル酸メチル樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂、ポリエチレンテレフタラート樹脂のいずれかを主成分として構成されることが好ましい。ここで、基板１２の主成分とは、基板１２の構成成分のうち８０％以上を占めることをいうものとする。
　基板１２の可視光透過率は、８５．０％～１００．０％であることが好ましい。
　また、基板１２の厚みは、特に制限されないが、取り扱い性等の点から、０．０５ｍｍ以上２．００ｍｍ以下が好ましく、０．１０ｍｍ以上１．００ｍｍ以下がより好ましい。
＜プライマー層＞
　導電層１３を強固に支持するために、基板１２と導電層１３との間にプライマー層を設けてもよい。プライマー層は、導電層１３を強固に支持できれば材料に限定はないが、導電層１３が複数の導電配線２１により形成される場合に、特にウレタン系の樹脂材料により構成されることが好ましい。
＜導電配線＞
　導電配線２１は、導電性を有する材料により構成される。導電配線２１としては、金属、金属酸化物、炭素素材および導電性高分子等が使用できる。例えば、導電配線２１が金属により構成される場合に、その金属の種類は特に限定されず、例えば、銅、銀、アルミニウム、クロム、鉛、ニッケル、金、すず、および、亜鉛等が挙げられるが、導電性の観点から、銅、銀、アルミニウム、金がより好ましい。金属性の導電配線２１を形成する方法として、セミアディティブ法、フルアディティブ法、サブトラクティブ法、銀塩法、金属含有インクまたはその前駆体の印刷、インクジェット方式、レーザーダイレクトストラクチャリング法を用いることができ、さらにこれらの組み合わせを用いることもできる。金属としてバルクの材料を用いることができ、ナノワイヤ、ナノ粒子を用いることもできる。導電配線２１が炭素素材により構成される場合に、導電配線２１として、その構造や組成特に限定はされないが、カーボンナノチューブ、フラーレン、カーボンナノバッド、グラフェン、グラファイト等を使用することができる。導電配線２１が金属酸化物により構成される場合に、導電配線２１としてＩＴＯを用いることができる。導電配線２１が導電性高分子により構成される場合に、導電配線２１としてＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ等を使用することができる。
　以下に、実施例に基づいて本発明をさらに詳細に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができ、本発明の範囲は、以下の実施例により限定的に解釈されるべきものではない。
＜実施例１＞
（基板の準備）
　ロール状の厚み２５０．０μｍのポリカーボネート樹脂フィルム（コベストロジャパン株式会社製ＵＶ２４４）を基板として準備した。
（プライマー層形成用組成物の調製）
　以下の成分を混合し、プライマー層形成用組成物を得た。
　　Ｚ９１３－３（アイカ工業社製）　　　　　　　　　　　３３質量部
　　ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）　　　　　　　　　　６７質量部
（プライマー層の形成）
　得られたプライマー層形成用組成物を、基板上に、平均乾燥膜厚が４．０μｍとなるようにバー塗布し、８０℃で１分間乾燥させた。その後、形成されたプライマー層形成用組成物の層に対して、メタルハライドのＵＶ（Ultraviolet：紫外線）ランプを用いて０．５Ｊ／ｃｍ２の露光量で光照射して硬化させることにより、プライマー層を形成した。
（被めっき層前駆体層形成用組成物の調製）
　以下の成分を混合し、被めっき層前駆体層形成用組成物を得た。
　　ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）　　　　　　　３８．００質量部
　　ポリブタジエンマレイン酸　　　　　　　　　　　　４．００質量部
　　ＦＯＭ－０３００８（富士フイルム和光純薬社製）　１．００質量部
　　ＩＲＧＡＣＵＲＥ　ＯＸＥ０２（ＢＡＳＦ社製、ＣｌｏｇＰ＝６．５５）
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　０．０５質量部
　なお、ＦＯＭ－０３００８は、以下の化学式で表される化合物を主成分として含む。
（被めっき層前駆体層付き基板の作製）
　得られた被めっき層前駆体層形成用組成物をプライマー層上に膜厚０．２μｍとなるようにバー塗布し、１２０℃の雰囲気下で１分間乾燥させた。その後、直ちに、被めっき層前駆体層形成用組成物上に厚み１２．０μｍのポリプロピレンフィルムを貼り合わせることにより、被めっき層前駆体層付き基板を作製した。
（被めっき層付き基板の作製）
　図２に示すメッシュ形状部１４および一対の電極パッド１５に対応する露光パターンが形成された石英ガラス製のフィルムマスクを用意した。このフィルムマスクにおいて、メッシュ形状部１４に対応する露光パターンは、図４に示す複数の非導電部２２に対応するパターンを有している。被めっき層前駆体層付き基板の被めっき層前駆体層側にフィルムマスクを当て、フィルムマスク越しにＵＶ照射（エネルギー量：２００ｍＪ／ｃｍ２、波長：３６５ｎｍ）を行った。次いで、露光後の被めっき層前駆体層付き基板を純水シャワーにて５分間現像処理し、パターン状被めっき層付き基板を作製した。
（導電膜の形成）
　被めっき層付き基板を、３５℃の１質量％の炭酸水素ナトリウム水溶液に５分間浸漬させた。次に、被めっき層付き基板を、５５℃のパラジウム触媒付与液ＲＯＮＡＭＥＲＳＥ　ＳＭＴ（ロームアンドハース電子材料株式会社製）に５分間浸漬させた。被めっき層付き基板を水洗した後、続けて３５℃のＣＩＲＣＵＰＯＳＩＴ６５４０（ロームアンドハース電子材料株式会社製）に５分間浸漬させ、その後、再び水洗した。さらに、被めっき層付き基板を、４５℃のＣＩＲＣＵＰＯＳＩＴ４５００（ロームアンドハース電子材料株式会社製）に２０分間浸漬させた後、水洗して、被めっき層上に導電膜を形成した。これにより、基板上に、図２に示すようなメッシュ形状部１４および一対の電極パッド１５を有する銅製の導電層を有する実施例１の透明導電膜を得た。
　実施例１の透明導電膜において、単位領域Ｒは１．６８ｍｍの辺を有する正方形の領域であり、その面積は２．８２ｍｍ２であった。また、非導電部における一対の伸長部の長さＬ１が１．１２ｍｍ、幅Ｌ２が０．３３ｍｍ、一対の伸長部における張り出し部が位置している部分の幅Ｌ３が０．７２ｍｍ、張り出し部の厚みＬ４が０．１６ｍｍであった。非導電部の面積は０．８８ｍｍ２であり、単位領域Ｒにおいて非導電部が占める面積の割合は３１％であった。また、Ｘ方向およびＹ方向に隣接する非導電部間の間隔Ａが０．５６ｍｍであり、非導電部の外接円の半径Ｂが０．６６ｍｍであり、（Ａ／２）／Ｂ＝０．４２であった。
＜実施例２＞
　実施例１で使用したフィルムマスクにおいて、図４に示す形状の非導電部２２の代わりに図７に示す形状の非導電部２３に対応する露光パターンを有するフィルムマスクを用いる以外は実施例１と同様にして実施例２の透明導電膜を作製した。非導電部における一対の伸長部の長さＬ８が１．２０ｍｍ、幅Ｌ９が０．２０ｍｍ、一対の伸長部における張り出し部が位置している部分の最大幅Ｌ１０が０．５５ｍｍであった。非導電部の面積は０．７９ｍｍ２であり、単位領域Ｒにおいて非導電部が占める面積の割合は２８％であった。また、Ｘ方向およびＹ方向に隣接する非導電部間の間隔Ａが０．５６ｍｍであり、非導電部の外接円の半径Ｂが０．６６ｍｍであり、（Ａ／２）／Ｂ＝０．４２であった。
＜実施例３＞
　実施例１で使用したフィルムマスクにおいて、図４に示す形状の非導電部２２の代わりに図８に示す形状の非導電部２４に対応する露光パターンを有するフィルムマスクを用いる以外は実施例１と同様にして実施例３の透明導電膜を作製した。非導電部における一対の伸長部の長さＬ８が１．２０ｍｍ、幅Ｌ９が０．１５ｍｍであった。また、張り出し部において、伸長部の伸長方向に沿った幅Ｌ１３が０．３０ｍｍ、伸長方向に直交する幅方向に沿った伸長部の幅Ｌ１４が０．１０ｍｍ、鈍角を形成する内角Ｊが１２０°であった。非導電部の面積は０．５６ｍｍ２であり、単位領域Ｒにおいて非導電部が占める面積の割合は２０％であった。また、Ｘ方向およびＹ方向に隣接する非導電部間の間隔Ａが０．３７ｍｍであり、非導電部の外接円の半径Ｂが０．６８ｍｍであり、（Ａ／２）／Ｂ＝０．２７であった。
＜実施例４＞
　実施例１で使用したフィルムマスクにおいて、図４に示す形状の非導電部２２の代わりに図９に示す形状の非導電部２５に対応する露光パターンを有するフィルムマスクを用いる以外は実施例１と同様にして実施例４の透明導電膜を作製した。非導電部における一対の伸長部の長さＬ１５が１．１２ｍｍ、幅Ｌ１６が０．３３ｍｍ、一対の伸長部における張り出し部が位置している部分の幅Ｌ１７が０．７２ｍｍであった。また、張り出し部の厚みＬ１８が０．１６ｍｍ、伸長方向における伸長部の先端から張り出し部までの長さＬ１９が０．０４ｍｍであった。非導電部の面積は０．８８ｍｍ２であり、単位領域Ｒにおいて非導電部が占める面積の割合は３１％であった。また、Ｘ方向およびＹ方向に隣接する非導電部間の間隔Ａが０．５６ｍｍであり、非導電部の外接円の半径Ｂが０．６３ｍｍであり、（Ａ／２）／Ｂ＝０．４４であった。
＜比較例１＞
　実施例１で使用したフィルムマスクにおいて、図４に示す形状の非導電部２２の代わりに図５に示す十字形状の非導電部３２に対応する露光パターンを有するフィルムマスクを用いる以外は実施例１と同様にして比較例１の透明導電膜を作製した。非導電部における一対の伸長部の長さＬ１５が１．４０ｍｍ、幅Ｌ１６が０．２８ｍｍであった。非導電部の面積は０．７１ｍｍ２であり、単位領域Ｒにおいて非導電部が占める面積の割合は２５％であった。また、Ｘ方向およびＹ方向に隣接する非導電部間の間隔Ａが０．４８ｍｍであり、非導電部の外接円の半径Ｂが０．７０５ｍｍであり、（Ａ／２）／Ｂ＝０．３４であった。
＜実施例５＞
　実施例１の透明導電膜と同様の製造方法により、第１基板上にメッシュ形状部を形成した。次に、フォトリソグラフィ法により、第１基板上のメッシュ形状部の部分のみを覆うように厚みが３００ｎｍのＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ（Ａｌｄｒｉｃｈ社製）を塗布し、１３０℃で7分間硬化することで透明補助導電膜を形成した。次に、透明補助電極膜の上に、厚みが３００ｎｍの酸化タングステン（ＷＯ３）薄膜を、ＲＦマグネトロンスパッタ装置を用いた酸素雰囲気中の反応性スパッタ法で形成することで第１透明導電膜を得た。同様に、ＷＯ３薄膜の代わりに厚みが３００ｎｍのオキシ水酸化ニッケル（ＮｉＯＯＨ）薄膜を、ＲＦマグネトロンスパッタ装置を用いた水蒸気雰囲気中の反応性スパッタ法で形成することで第２透明導電膜を得た。次に、ＷＯ３薄膜とＮｉＯＯＨ薄膜が互いに向き合うように第１透明導電膜と第２透明導電膜を向かい合わせた状態で、厚みが５μｍのポリエチレン微多孔膜中に、ポリエチレングリコールモノエーテルに電解質としてトリフロオロメタンスルホン酸リチウムを溶解させた電解質溶液を含侵させた電解質膜を圧着し、基板の周辺部を封止することで調光装置を得た。
　実施例５の調光装置の、第１透明導電膜における複数の非導電部の位置と第２透明導電膜における複数の非導電部の位置を、光学顕微鏡を用いて観察した結果、第１透明導電膜における複数の非導電部の一対の中心軸Ｃ１およびＣ２の交点Ｋの位置と第２透明導電膜における非導電部の一対の中心軸Ｃ１およびＣ２の交点Ｋの位置は、平面視において互いに一致していた。すなわち、第１透明導電膜における非導電部の一対の中心軸Ｃ１およびＣ２と第２透明導電膜における非導電部の一対の中心軸Ｃ１およびＣ２との最大ずれ量は、０．０００ｍｍであった。なお、最大ずれ量は、第１透明導電膜における非導電部の一方の中心軸Ｃ１と第２透明導電膜における非導電部の一方の中心軸Ｃ１との間隔Ｍ１と、第１透明導電膜における非導電部の他方の中心軸Ｃ１と第２透明導電膜における非導電部の他方の中心軸Ｃ１との間隔Ｍ２を、光学顕微鏡を用いて測定した。
＜実施例６＞
　第１透明導電膜における非導電部と第２透明導電膜における非導電部を、平面視において互いにずれるように配置した以外は実施例５と同様にして調光装置を作製した。実施例６において、第１透明導電膜における非導電部の一対の中心軸Ｃ１およびＣ２と第２透明導電膜における非導電部の一対の中心軸Ｃ１およびＣ２との最大ずれ量は、０．０６６ｍｍであった。そのため、伸長部の幅の最大ずれ量に対する比率は、０．２０であった。
＜実施例７＞
　第１透明導電膜における非導電部と第２透明導電膜における非導電部を、平面視において互いにさらにずれるように配置した以外は実施例５と同様にして調光装置を作製した。実施例７において、第１透明導電膜における非導電部の一対の中心軸Ｃ１およびＣ２と第２透明導電膜における非導電部の一対の中心軸Ｃ１およびＣ２との最大ずれ量は、０．０９２ｍｍであった。そのため、伸長部の幅の最大ずれ量に対する比率は、０．２８であった。
＜実施例８＞
　実施例１の透明導電膜と同様の製造方法により、第１基板上にメッシュ形状部を形成した。次に、フォトリソグラフィ法により、第１基板上のメッシュ形状部の部分のみを覆うように厚みが３００ｎｍのＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ（Ａｌｄｒｉｃｈ社製）を塗布し、１３０℃で7分間硬化することで透明補助導電膜を形成した。次に、ポリイミド（ＪＳＲ社製、オプトマーＡＬ１２５４）を１００ｎｍの厚みで塗布し、９０℃で１０分間加熱後、１２０℃で９０分間焼成した。焼成したポリイミド膜を、一軸方向にラビング処理して配向膜を形成し、第１透明導電膜を得た。
　第１透明導電膜の形成方法と同様の方法により、第２透明導電膜を得た。次に、液晶化合物（ＨＣＣＨ社製、８５４６００－１００）９５部と、架橋型液晶モノマー（ＢＡＳＦ社製、ＬＣ２４２）５部とを混合した。得られた混合物に、重合開始材（ＢＡＳＦ社製、ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＴＰＯ）０．９５部添加し、等方相まで加熱後、撹拌して液晶組成物を得た。得られた液晶組成物を、第１透明導電膜の配向膜の表面に、厚みが１０μｍとなるよう塗布し、塗布層を形成した。次に、第２透明導電膜の配向膜が塗布層に接するように貼り合わせ、９０℃で１分間加熱し、中心波長が３６５ｎｍの光をＬＥＤ光源により照射して、実施例８の調光装置を作製した。実施例８において、第１透明導電膜における複数の非導電部の一対の中心軸Ｃ１およびＣ２の交点Ｋの位置と第２透明導電膜における非導電部の一対の中心軸Ｃ１およびＣ２の交点Ｋの位置は、平面視において互いに一致していた。
＜比較例２＞
　第１透明導電膜の複数の非導電部の形状および第透明導電膜の複数の非導電部の形状を、図５に示すような、張り出し部Ｇ１およびＧ２を有さない十字形状にする以外は、実施例８と同様にして比較例２の調光装置を作製した。比較例２において、第１透明導電膜における複数の非導電部の一対の中心軸Ｃ１およびＣ２の交点Ｋの位置と第２透明導電膜における非導電部の一対の中心軸Ｃ１およびＣ２の交点Ｋの位置は、平面視において互いに一致していた。
　以上のようにして得られた実施例１～４および比較例１の透明導電膜に対して、以下に示す劣化評価とミリ波透過評価を行い、実施例５～８および比較例２の調光装置に対して、以下に示すミリ波透過評価と遮蔽性評価を行った。
（劣化評価）
　まず、実施例１～４および比較例１の透明導電膜の一対の電極パッドの全体にそれぞれ導電テープを貼り、それらの導電テープ間の抵抗値Ｒ１を測定した。次に、導電膜が水平面に対して直交するように透明導電膜を固定した。この際に、導電膜の両面側の１５０ｍｍの範囲にはいかなる障害物をも配置しないようにした。次に、電源装置（菊水電子工業製ＤＭＥ１６００；デジタルマルチメータ）に接続されたワニ口クリップを、一対の電極パッドに貼り付けられた導電テープにそれぞれ取り付けた。なお、事前に、同一の電極パッドに対して、２枚の導電テープを互いに接触しないように貼合し、それらの抵抗を測定することにより、電極パッドを介した接触抵抗を測定した。接触抵抗は、０．０５Ω以下であり、抵抗値Ｒ１に対して十分に無視できることを確認した。
　その後、透明導電膜を、温度２５℃、相対湿度６０％、無風の条件に設定した恒温槽内に透明導電膜を配置し、導電膜の温度が１００℃に維持されるように、電源装置を用いて導電膜に対して２０００時間電圧を印加し続けた。この際に、導電膜の温度は、サーモメータ（ＦＬＩＲ社製ＥＴＳ３２０）を用いて測定した。導電膜に電圧を印加して２０００時間が経過した後に、一対の電極パッドに取り付けられたそれぞれの導電テープ間の抵抗値Ｒ２を測定し、抵抗値Ｒ１に対する抵抗値Ｒ２の比により、劣化係数Ｒ２／Ｒ１を算出した。
　最後に、劣化係数Ｒ２／Ｒ１の値によって、透明導電膜に対して以下に示すＡＡ～Ｄの評価を付した。評価ＡＡは劣化がほとんど見られないことを示し、評価Ａは劣化が非常に抑制されていることを示し、評価Ｂは劣化が十分に抑制されていることを示し、評価Ｃは実用上問題がない程度に劣化が抑制されていることを示し、評価Ｄは明らかな劣化が発生していることを示す。
ＡＡ：劣化係数Ｒ２／Ｒ１が１．０５以下
Ａ：劣化係数Ｒ２／Ｒ１が１．０５よりも大きく１．１０以下
Ｂ：劣化係数Ｒ２／Ｒ１が１．１０よりも大きく１．１５以下
Ｃ：劣化係数Ｒ２／Ｒ１が１．１５よりも大きく１．２０以下
Ｄ：劣化係数Ｒ２／Ｒ１が１．２０よりも大きい
（ミリ波透過評価）
　実施例１～４および比較例１の透明導電膜に対して、ミリ波ネットワークアナライザ（ＫｅｙｓｉｇｈｔＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ社製Ｍｉｌｌｉｍｅｔｅｒ　Ｗａｖｅ　Ｎｅｔｗｏｒｋ　Ａｎａｌｙｚｅｒｓ　Ｎ５２９０Ａ）を用いて、特定波長のミリ波の透過率を測定した。この際に、まず、透明導電膜を直径８０ｍｍの穴を有する２ｍｍ厚のステンレス板に張り付けた。また、ミリ波ネットワークアナライザの２つのポートを互いに向き合わせて設置した。また、２つのポートの中間点にステンレス板の直径８０ｍｍの穴が位置するように、且つ、平板状の透明導電膜の表面が２つのポートを結ぶ線分に対して垂直となるように、ステンレス板に張り付けられた透明導電膜を配置した。この状態で、透明導電膜に対する、７６．５ＧＨｚのミリ波の透過率を測定した。２つのポートの間に透明導電膜を配置せずに透過率を測定した場合を０ｄＢとして、透明導電膜の透過率を算出した。測定された透過率が－１．０ｄＢ以上の場合に評価Ａを付し、透過率が－１．０ｄＢ未満の場合に評価Ｂを付した。評価Ｂでも実用上の問題はないが、評価Ａには劣る。
　なお、実施例５～８および比較例２の調光装置に対するミリ波透過評価も、実施例１～４および比較例１の透明導電膜に対するミリ波透過評価と同様の方法で行い、測定された透過率が－５．０ｄＢ以上の場合に評価Ａを付し、透過率が－５．０ｄＢ未満の場合に評価Ｂを付した。
（遮蔽性評価）
　実施例５～８および比較例２の調光装置から３ｍ離れた位置に１０人の観察者を配置し、観察者を配置した側とは反対側で調光装置から３０ｃｍ離れた位置に静物写真を配置した。照度１００ｌｘ（ルクス）の室内で、調光装置における調光層への通電状態を制御して、調光層を不透明状態にした。次に、それぞれの観察者が調光装置を確認し、調光装置を通して静物写真が視認されるか否かの評価を行った。調光装置を通して静物写真を視認した人数が２人未満の場合に評価Ａを付し、２人以上５人未満の場合に評価Ｂを付し、５人以上の場合に評価Ｃを付した。なお、評価Ａは、調光装置を通して静物写真がほとんど視認されない、すなわち、調光装置が優れた遮蔽性を有することを示し、評価Ｂは調光装置が実用上問題の無い遮蔽性を有することを示し、評価Ｃは調光装置が実用上問題のある遮蔽性を有することを示す。
　以下の表１に、実施例１～４および比較例１に対する劣化評価およびミリ波透過評価の結果を示す。表１において、非導電部が単位領域Ｒを占める面積の割合を「面積比」と表記し、非導電部間の間隔Ａを単に「間隔Ａ」と表記し、非導電部の外接円の半径Ｂを単に「半径Ｂ」と表記している。
　表１に示すように、実施例１～４の透明導電膜は、劣化評価がいずれもＣ以上であり、ミリ波を透過させる機能を有しながらも、メッシュ形状部に通電しても導電配線の劣化が生じにくいことが分かる。実施例１～４の透明導電膜では、非導電部が張り出し部を有しているため、所望の周波数帯の電磁波を透過するための腕の長さを確保しながらもＸ方向およびＹ方向における非導電部の寸法を小さくでき、非導電部間における電流の局所的な集中が抑制されたと考えられる。
　一方で、比較例１は劣化評価がＤであった。比較例１における非導電部は単純な十字形状を有しているため、非導電部にミリ波を透過させるために一対の伸長部の長さＬ６を実施例１～４における非導電部と比較して長く設定する必要がある。そのため、比較例１では、非導電部間の間隔Ａが０．２８と短くなり、（Ａ／２）／Ｂの値も０．２０と小さくなり、非導電部間における電流の局所的な集中が生じやすくなると考えられる。
　ここで、劣化評価について、実施例１がＡ、実施例２がＢ、実施例３がＢ、実施例４がＡＡであった。実施例１～４の（Ａ／２）／Ｂの値に着目すると、それぞれ、０．４２、０．３６、０．２７、０．４４である。このように、実施例４、１、２、３の順に、非導電部のサイズに対する非導電部間の間隔Ａが小さくなり、非導電部間における電流の局所的な集中が比較的発生しやすくなっていることが分かる。しかしながら、実施例１～４では、いずれも（Ａ／２）／Ｂ＞０．２を満たしており、非導電部間における電流の局所的な集中は十分に抑制されている。
　また、実施例１、２、４および比較例１のミリ波透過評価がＡである一方で、実施例３のミリ波透過評価がＢであった。これは、非導電部が単位領域Ｒを占める面積の割合が２０％と小さいために、非導電部におけるミリ波の透過量が小さくなったと考えられる。表１に示す結果から、非導電部が単位領域Ｒを占める面積の割合が２５％以上であれば、非導電部が優れたミリ波の透過性を有することが分かる。
　以下の表２に、実施例５～８および比較例２に対する遮蔽性評価およびミリ波透過評価の結果を示す。
　表２に示すように、実施例５～８の調光装置は、遮蔽性評価がいずれもＢ以上であり、ミリ波を透過させる機能を有しながらも、調光層が不透明状態の場合に調光装置を通して観察者が静物写真を視認しにくいことが分かる。実施例５～８では、非導電部が張り出し部を有しているため、所望の周波数帯の電磁波を透過するための腕の長さを確保しながらもＸ方向およびＹ方向における非導電部の寸法を小さくでき、規則的に配列する格子状のスリットが形成されにくく、調光装置を通した景色が視認されにくいと考えられる。
　一方で、比較例２は遮蔽性評価がＣであった。比較例２における非導電部は単純な十字形状を有しているため、非導電部にミリ波を透過させるために一対の伸長部の長さＬ６を実施例５～８における非導電部と比較して長く設定する必要がある。そのため、比較例２では、複数の非導電部により、規則的に配列する格子状のスリットが形成されてしまい、これらのスリットを通して観察者が調光装置の反対側の景色を視認しやすいと考えられる。
　ここで、遮蔽性評価について、実施例５～７がＡ、実施例８がＢであった。実施例５～７では調光層の形成材料にエレクトロクロミック材料が使用され、実施例８では調光層の形成材料に液晶材料が使用されている。そのため、実施例５～７では、非導電部にエレクトロクロミック層の色が浸み出すことにより、遮蔽性が向上したと考えられる。
　また、ミリ波透過評価について、実施例５および６がＡ、実施例７がＢであった。実施例５～７の伸長部の幅／最大ずれ量の値に着目すると、それぞれ、０．００、０．２０、０．２８である。このように、伸長部の幅に対して、第１透明導電膜の非導電部と第２透明導電膜の非導電部の平面視における最大ずれ量が小さいほど、第１透明導電膜の非導電部と第２透明導電膜の非導電部が重なる領域Ｎの形状が第１透明導電膜の非導電部および第２透明導電膜の非導電部の形状に近くなるため、特定の周波数帯の電磁波を選択的に透過しやすくなることが分かる。特に、伸長部の幅／最大ずれ量の値をおよそ０．２５以下とすることにより、領域Ｎの形状を第１透明導電膜の非導電部および第２透明導電膜の非導電部の形状に近付けることができるため、優れたミリ波透過性が得られることが分かる。
　本発明は、基本的に以上のように構成されるものである。以上において、本発明の透明導電膜および調光装置について詳細に説明したが、本発明は、上述の実施態様に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良または変更をしてもよいのはもちろんである。
１１　透明導電膜、１２　基板、１２Ａ　第１基板、１２Ｂ　第２基板、１３　導電層、１３Ａ　第１導電層、１３Ｂ　第２導電層、１４　メッシュ形状部、１５　電極パッド、２１，２１Ａ　導電配線、２２～２５，２２Ａ，２２Ｂ，３２　非導電部、４１　調光層、４２　透明補助導電層、Ａ，Ｍ１，Ｍ２　間隔、半径　Ｂ、Ｃ１，Ｃ２，Ｃ１Ａ，Ｃ１Ｂ，Ｃ２Ａ，Ｃ２Ｂ　中心軸、ＣＬ　中心線、Ｅ１，Ｅ２　伸長部、Ｆ　外接円、Ｇ１，Ｇ２　張り出し部、Ｈ　開口部、Ｊ　内角、Ｋ　交点、Ｌ１，Ｌ６，Ｌ８，Ｌ１１，Ｌ１５，Ｌ１９　長さ、Ｌ２，Ｌ３，Ｌ７，Ｌ９，Ｌ１２～Ｌ１４，Ｌ１６，Ｌ１７　幅、Ｌ４，Ｌ１８　厚み、Ｌ５　腕の長さ、Ｌ１０　最大幅、Ｎ　領域、Ｐ　配列ピッチ、Ｑ　ピッチ、Ｒ　単位領域、Ｔ　線幅。

Claims (15)

  1. 　基板と、
    　前記基板上に配置され且つ複数の導電配線により形成されたメッシュ形状部を備え、
    　前記メッシュ形状部は、規則的な繰り返しパターンを形成するように配列され且つ連続した前記導電配線により縁取られた複数の非導電部を有し、
    　前記非導電部は、
    　互いに直交する一対の中心軸に沿って延び且つ互いに同一の長さを有する一対の伸長部を有し、
    　前記一対の伸長部は、前記一対の中心軸の交点において互いに交差し、
    　前記一対の伸長部は、それぞれ、伸長方向に交差する方向に張り出す張り出し部を有し、
    　前記非導電部は、前記一対の中心軸のそれぞれに対して対称な形状を有する
    　ヒータ用透明導電膜。
  2. 　互いに隣接する前記非導電部間の間隔Ａと前記非導電部の外接円の半径Ｂが、
    　（Ａ／２）／Ｂ＞０．２
    　を満たす請求項１に記載のヒータ用透明導電膜。
  3. 　前記繰り返しパターンは、前記非導電部における前記一対の中心軸の交点を中心とし且つ前記非導電部を囲む複数の正方形の単位領域が、前記一対の中心軸に沿った方向において配列されることにより構成され、
    　前記非導電部が前記単位領域を占める面積の割合は、２５％以上５０％以下である請求項１または２に記載のヒータ用透明導電膜。
  4. 　前記非導電部を縁取る前記連続した導電配線の内側に、導電部材を含まない請求項１または２に記載のヒータ用透明導電膜。
  5. 　前記非導電部において互いに隣接する前記張り出し部は、互いに間隔を空けて配置される請求項１または２に記載のヒータ用透明導電膜。
  6. 　前記非導電部を縁取る前記連続した導電配線は、前記一対の中心軸にそれぞれ平行な２種類の直線部分からなる請求項１または２に記載のヒータ用透明導電膜。
  7. 　基板と、
    　前記基板上に配置され且つ複数の導電配線により形成されたメッシュ形状部を備え、
    　前記メッシュ形状部は、規則的な繰り返しパターンを形成するように配列され且つ連続した前記導電配線により縁取られた複数の非導電部を有し、
    　前記非導電部は、
    　互いに直交する一対の中心軸に沿って延び且つ互いに同一の長さを有する一対の伸長部を有し、
    　前記一対の伸長部は、前記一対の中心軸の交点において互いに交差し、
    　前記一対の伸長部は、それぞれ、伸長方向に交差する方向に張り出す張り出し部を有し、
    　前記非導電部は、前記一対の中心軸のそれぞれに対して対称な形状を有する
    　調光装置用透明導電膜。
  8. 　前記メッシュ形状部が互いに対向するように配置された一対の請求項７に記載の調光装置用透明導電膜と、
    　前記一対の調光装置用透明導電膜の間に配置され且つ電気信号により光学特性が変化する調光層を備える
    　調光装置。
  9. 　前記非導電部において互いに隣接する前記張り出し部は、互いに間隔を空けて配置される
    　請求項８に記載の調光装置。
  10. 　前記一対の調光装置用透明導電膜の一方の調光装置用透明導電膜における複数の非導電部のうち少なくとも１つの非導電部と、他方の調光装置用透明導電膜において前記少なくとも１つの非導電部に対応する前記非導電部とは、平面視において互いにずれて配置され、
    　前記少なくとも１つの非導電部と前記対応する非導電部の平面視における最大ずれ量は、前記伸長部の幅の０．２５倍以下である
    　請求項８または９に記載の調光装置。
  11. 　前記一対の調光装置用透明導電膜の一方の調光装置用透明導電膜における複数の前記非導電部の前記一対の中心軸の交点の位置と、他方の調光装置用透明導電膜における複数の前記非導電部の前記一対の中心軸の交点の位置は、平面視において互いに一致する
    　請求項８または９に記載の調光装置。
  12. 　前記非導電部を縁取る前記連続した導電配線の内側に、導電部材を含まない
    　請求項８または９に記載の調光装置。
  13. 　前記非導電部を縁取る前記連続した導電配線は、前記一対の中心軸にそれぞれ平行な２種類の直線部分からなる
    　請求項８または９に記載の調光装置。
  14. 　前記メッシュ形状部は、前記非導電部を除く領域に配置された、導電性の透明補助導電層を有する
    　請求項８または９に記載の調光装置。
  15. 　前記調光層は、液晶層またはエレクトロクロミック層である
    　請求項８または９に記載の調光装置。
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JP2019045669A (ja) * 2017-09-01 2019-03-22 凸版印刷株式会社 調光体
WO2019163910A1 (ja) * 2018-02-26 2019-08-29 日本電信電話株式会社 電磁界バンドストップフィルタ
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