WO2022167758A1 - Dispositif de production d'un plasma comprenant une unité d'allumage de plasma - Google Patents

Dispositif de production d'un plasma comprenant une unité d'allumage de plasma Download PDF

Info

Publication number
WO2022167758A1
WO2022167758A1 PCT/FR2022/050205 FR2022050205W WO2022167758A1 WO 2022167758 A1 WO2022167758 A1 WO 2022167758A1 FR 2022050205 W FR2022050205 W FR 2022050205W WO 2022167758 A1 WO2022167758 A1 WO 2022167758A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
ignition electrode
plasma
producing
body portion
ignition
Prior art date
Application number
PCT/FR2022/050205
Other languages
English (en)
Inventor
Louis LATRASSE
Fadi ZOUBIAN
Nicolas RENAUT
Original Assignee
Sairem Societe Pour L'application Industrielle De La Recherche En Electronique Et Micro Ondes
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sairem Societe Pour L'application Industrielle De La Recherche En Electronique Et Micro Ondes filed Critical Sairem Societe Pour L'application Industrielle De La Recherche En Electronique Et Micro Ondes
Priority to US18/275,685 priority Critical patent/US20240130031A1/en
Priority to CN202280013258.8A priority patent/CN116803214A/zh
Priority to EP22708190.8A priority patent/EP4289233A1/fr
Publication of WO2022167758A1 publication Critical patent/WO2022167758A1/fr

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
    • H05H1/461—Microwave discharges
    • H05H1/4622—Microwave discharges using waveguides
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
    • H05H1/461—Microwave discharges
    • H05H1/463—Microwave discharges using antennas or applicators

Definitions

  • TITLE Device for producing a plasma comprising a plasma ignition unit
  • the present invention relates to the field of devices for producing a plasma comprising an ignition unit and more specifically to a device for producing a plasma at atmospheric pressure.
  • the ignition unit to ignite the plasma electromagnetically and therefore not electrically.
  • document US 2011/0234102 describes an apparatus for ignition of a plasma at atmospheric pressure and a method of ignition of a plasma at atmospheric pressure using said apparatus. More specifically, US 2011/0234102 relates to an atmospheric pressure plasma ignition apparatus which can perform ignition non-electrically, thereby solving many problems caused by high voltage (e.g. excessive power supply and safety issue), preventing the ignition device from being physically damaged due to plasma heat, and allowing the use of new types of metallic materials.
  • document US 2011/01234102 proposes the generation of a plasma in a dielectric tube, the reaction gas being introduced into said dielectric tube through a waveguide and a microwave being applied to the guide.
  • the ignition apparatus includes an ignition rod configured to be placed through the dielectric tube, the ignition rod emitting thermo electrons when the microwaves are applied thereto in the dielectric tube.
  • the ignition apparatus includes moving means for moving the ignition rod into or out of the dielectric tube through the dielectric tube.
  • the solution proposed in document US 2011/0234102 implies that the ignition rod, once in the microwave electric field, makes it possible to conduct these microwaves towards the pneumatic actuator, the ignition rod being a metallic conductor. Such an arrangement leads to the degradation of said ignition rod, and in particular of the seals allowing its operation.
  • the proposed solution although allowing the ignition of a plasma, does not allow this to be done with relatively low microwave powers, and it It is very often necessary to greatly increase the power of said microwaves to allow ignition, which contributes all the more to the degradation of the ignition elements such as the ignition rod, which will atomize more quickly during the time when it is directly exposed to the plasma, and the seals which will also degrade more quickly.
  • the state of the art can also be illustrated by the document CN201230400 which proposes a device for producing a plasma, employing an ignition electrode which can be lowered and raised, where this ignition electrode enters directly into the dielectric tube where the plasma occurs, so that the waves are not cut and go up to the opening of the tube through which the ignition electrode passes, at the risk of damaging any seals provided on this opening of the tube.
  • the present invention aims to solve all or part of the drawbacks mentioned above.
  • the present invention relates to a device for producing a plasma, configured to generate a plasma from a reaction gas, in which the device for producing a plasma comprises:
  • - a waveguide coupled to the microwave generator and configured to guide an excitation wave
  • dielectric tube extending longitudinally along an axis of extension, the dielectric tube being configured to contain the plasma, such that the dielectric tube crosses right through the waveguide;
  • a chimney configured to wrap the dielectric tube, so as to hold said dielectric tube in position
  • the device for producing a plasma further comprises a plasma ignition unit comprising:
  • an ignition electrode extending longitudinally along the axis of extension comprising a proximal body portion and a distal body portion, wherein the distal body portion includes a securing member;
  • a fixing unit made of dielectric material configured to receive the fixing device for the ignition electrode
  • a moving unit configured to receive the fixing unit and to move together said fixing unit and the ignition electrode from a first position in which the ignition electrode is outside the waveguide at a second position in which at least a part of the proximal body portion of the ignition electrode is disposed in the dielectric tube and in the waveguide; wherein the ignition electrode is configured to generate an electric field from the excitation wave and allow plasma ignition when said ignition electrode is in the second position; and wherein the ignition electrode has a total length along the extension axis substantially equal to half a source wavelength corresponding to the celerity divided by the source frequency.
  • the total length of the ignition electrode is substantially equal to half the source wavelength (or wavelength of the source wave in vacuum); it being noted that, within the meaning of the present invention, substantially equal means perfectly equal or equal to within 15%.
  • the total length of the ignition electrode is between 35% and 65% of the source wavelength, and preferably between 35% and 50% of the source wavelength.
  • Such a conformation of the total length is particularly advantageous for allowing resonance between its two ends, and thus making it possible to obtain an electric field having sufficient intensity to allow breakdown of the gas while limiting the intensity of the wave of excitation, which makes it possible both to be energy efficient and to preserve the device for producing a plasma.
  • the ignition electrode and the chimney (which is electrically conductive and for example metallic) surrounding the dielectric tube form a coaxial guide, and the wavelength of the excitation wave guided in this coaxial guide is substantially equal to the source wavelength, in other words the wavelength of the excitation wave (or source wave) in vacuum.
  • the overall length of the ignition electrode will substantially match the resonance length, as described in more detail below.
  • the electrode resonance length ignition is equal to the half-wavelength of the excitation wave in the waveguide, or the half-length in vacuum if the waveguide forms a coaxial guide.
  • the wavelength in a material is inversely proportional to the square root of the permittivity of said material.
  • the wavelength is 3 times less.
  • the total length of the ignition electrode is 41 mm including 10 mm in the fixing unit such that said fixing unit has a permittivity of 9
  • this represents an equivalent resonance length in vacuum of: 31 + 10 x 9 A 1/2 61 mm or exactly the half-wavelength in vacuum of a wave having a frequency of 2.45 GHz.
  • this fixing unit makes it possible not to transmit the excitation wave and thus to cutting off the microwaves, which makes it possible to protect the displacement unit from said excitation wave.
  • the fixing unit is interposed between the ignition electrode and the displacement unit and therefore prevents overheating and damage to said displacement unit.
  • the invention thus makes it possible to maximize the cutoff of the waves which "rise” in the dielectric tube in the direction of the displacement unit, because the wave resonates in the dielectric tube, inside the chimney, between the two ends of the ignition electrode, one of its ends being in the waveguide to ignite the plasma and the other of its ends being in the chimney, further amplifying the electric field.
  • the total length of the ignition electrode is between 37% and 50% of the source wavelength (or source wavelength in vacuum), or even between 37 and 45 %.
  • the total length of the ignition electrode is slightly less than or equal to the half source wavelength, i.e. between 37% and 50% of the source wavelength, because there is the dielectric fixing unit above to hold it.
  • the ignition electrode has a length between 45 and 61 mm.
  • the total length of the ignition electrode is between 37% and 50% of the wavelength of the source wave in vacuum. So, if the source wave has a frequency of 2.45 GHz, then the ignition electrode has a length between 45 and 61 mm, depending on the shape of the ignition electrode as well as the material and of the form of the unit of fixation. Thus, if the fixing unit is made of alumina, the length will be shorter (for example 47 mm) than if the fixing unit is made of PTFE (for example 51 mm) to retain resonance. Indeed, the more the material of the fixing unit has a high permittivity, and/or the more the fixing unit has a large contact surface with the ignition electrode, and the greater the resonance length of the electrode ignition is reduced. The total length of the ignition electrode (which therefore corresponds to its resonance length) is reduced near a dielectric material having a permittivity greater than that of vacuum.
  • the device for producing a plasma is capable of operating at atmospheric pressure and at a higher pressure.
  • the ignition electrode in the second position, is inserted via an insertion end into the dielectric tube to the waveguide.
  • the microwave frequency range includes all frequencies between 300 MHz and 30 GHz.
  • the frequency of the excitation wave is substantially equal to one of the following frequencies: 896 MHz, 915 MHz and 2.45 GHz.
  • the ignition electrode will enter into resonance with the excitation wave and thus create a high intensity electric field.
  • the electric field generated thanks to the ignition electrode in order to allow the ignition of the plasma is at least equal to the electric field of breakdown of the reaction gas.
  • the ignition electrode is made of tungsten.
  • the displacement unit is a jack, such as a pneumatic jack for example.
  • the waveguide comprises two reception orifices facing each other, the reception orifices being intended to receive the dielectric tube passing right through said waveguide by the orifices reception.
  • the waveguide includes an input port configured to receive the excitation wave.
  • the ignition electrode has a conformation such that the proximal body portion has a proximal transverse dimension smaller than a distal transverse dimension of the distal body portion.
  • the proximal body portion of the ignition electrode has a smaller cross section than the cross section of the distal body portion of the ignition electrode.
  • Such an arrangement makes it possible to obtain a maximum electric field at the end of the proximal body portion opposite the distal body portion. Indeed, the cross-section of the distal body portion being greater than the cross-section of the proximal body portion, this will create a "point effect" and thus locally concentrate the electric field. Such an arrangement facilitates the ignition of the plasma.
  • the proximal body portion has a proximal length along the axis of extension and the distal body portion has a distal length along the axis of extension, and in which the proximal length is greater than or equal to the distal length.
  • the ignition electrode has the given total length such that the proximal body portion of the ignition electrode extends over the proximal length at least equal to the distal length of the distal body portion of the ignition electrode. ignition electrode.
  • the distal length is greater than or equal to a quarter of the total length of the ignition electrode, and the proximal length is greater than or equal to a half of the total length of the ignition electrode.
  • This conformation is advantageous for favoring the cutoff of the microwaves, while allowing proper operation of the ignition electrode in its role of ignition of the plasma.
  • the proximal body portion of the ignition electrode extends over a proximal length equal to 3/5 of the total length of the ignition electrode; and so the distal length is 2/5 of the total length of the ignition electrode.
  • the proximal transverse dimension is constant over at least 90% of the proximal length
  • the distal transverse dimension is constant over at least 90% of the distal length
  • proximal diameter can correspond to a diameter (called proximal diameter)
  • distal transverse dimension can correspond to a diameter (called distal diameter).
  • the displacement unit is configured to move along an axis of displacement substantially coinciding with the axis of extension.
  • substantially confounded means exactly confounded or confounded to within 10% or to plus or minus 5 degrees.
  • the extension axis passes through the center of the dielectric tube.
  • the displacement unit is configured so that in the first position, the ignition electrode is outside the dielectric tube.
  • Such an arrangement makes it possible to protect the displacement unit from said microwaves more effectively.
  • Such an arrangement is particularly advantageous at low pressure, in fact, the plasma can completely fill the dielectric tube in certain cases, and the microwaves then rise higher thanks to the plasma.
  • the fixing unit is oblong in shape along the axis of extension.
  • the fixing unit has a solid circular cross-section and has a given diameter.
  • the fixing unit is cylindrical in shape along the axis of extension.
  • the diameter of the fixing unit is substantially equal to a distal diameter of the distal body portion of the ignition electrode; being noted as a reminder that substantially equal means perfectly equal or equal to within 15%.
  • the attachment unit extends this distal body portion continuously (or substantially continuously) geometrically, which is advantageous in the microwave cutoff function.
  • the fixing unit has a length, along the axis of extension, substantially equal to or greater than 1.3 D and preferably substantially equal to or greater than 1.5 D, D being the outer diameter of the dielectric tube .
  • substantially equal means perfectly equal or equal to within 15%, and for example equal to within 10%.
  • the fixing unit is made of technical ceramic.
  • Such an arrangement makes it possible to obtain a fixing unit which effectively cuts off the microwaves and thus effectively protects the displacement unit from said microwaves.
  • the fixing unit has a permittivity of less than 5.
  • the fixing unit has a permittivity of less than 10.
  • the fixing unit is made of alumina.
  • the fixing unit is made of filled alumina.
  • the fastening unit comprises PTFE.
  • the fixing unit is made of PTFE or filled PTFE having a permittivity of approximately 2.1 and 3, respectively.
  • the proximal body portion extends from the distal body portion.
  • the fixing unit is of a length substantially equal to half the source wavelength.
  • the proximal body portion of the ignition electrode includes a tapered end.
  • Such an arrangement makes it possible to obtain a maximum field at the level of the proximal body portion of the ignition electrode.
  • the tapered end is opposed to the distal body portion.
  • At least a part of the proximal body portion of the ignition electrode is located substantially at the level of a central axis of the waveguide when the ignition electrode is in the second position .
  • Such an arrangement makes it possible to obtain an electric field having a high intensity.
  • the waveguide is coupled to a reflector plane configured to generate a standing wave from the excitation wave.
  • the dielectric tube is placed between the reflective plane and the inlet orifice.
  • the reflecting plane is mobile and thus forms a short-circuit piston.
  • Such an arrangement makes it possible to adapt the impedance by artificially modifying the size of said waveguide and by reflecting at least part of the excitation wave. This allows the excitation wave to penetrate the plasma.
  • Such an arrangement makes it possible to move the mobile reflector plane in the waveguide and thus allow the short-circuit of the excitation wave over a wide frequency range.
  • the reflective plane is located at a distance substantially equal to ny + y from at least part of the ignition electrode when the ignition electrode is in the second position, with ⁇ e the wavelength of the excitation wave guided in the waveguide, n a natural integer and k a coefficient between 0.7 and 1.3.
  • Such an arrangement makes it possible to obtain an electric field having a high intensity and thus facilitate ignition, in other words this position is advantageous for maximizing the electric field on the end of the ignition electrode.
  • the Applicant has established that, due to the presence of the ignition electrode in the plasma zone, the coupling is different because the wave propagates in the waveguide but also in the coaxial guide formed by the chimney and the ignition electrode.
  • the ignition electrode must be located at n ⁇ e/2 plus or minus 30% of ⁇ e/2, in other words at n. ⁇ e/2 + k. ⁇ e/2, k introducing this variability of plus or minus 30 %.
  • the displacement unit then moves the fixing unit and the ignition electrode together into an intermediate position in which the ignition electrode is not in contact with the plasma.
  • the reflector plane is also moved to maximize coupling.
  • FIG. 1 represents a schematic view of a device for producing a plasma, in a position allowing the ignition of the plasma, in accordance with the present invention
  • FIG. 2 represents a view of a device for producing a plasma in a position allowing the ignition of the plasma, in accordance with the present invention
  • FIG. 3 shows a view of a device for producing a plasma in which an ignition device is in a first position
  • FIG. 4 represents a view of a device for producing a plasma in which an ignition device is in a second position.
  • the figures illustrate a device for producing a plasma capable of operating at low pressure, atmospheric pressure or high pressure and configured to generate a plasma from a reaction gas.
  • a low pressure is a pressure between one tenth of atmospheric pressure and atmospheric pressure.
  • a high pressure is a pressure between atmospheric pressure and five times atmospheric pressure.
  • the device for producing a plasma is used at atmospheric pressure.
  • the device for producing a plasma comprises a microwave generator 10 operating at a given source frequency included in a microwave frequency range.
  • the microwave frequency range includes all frequencies between 300 MHz and 30 GHz.
  • the frequency of the excitation wave is substantially equal to one of the following frequencies: 896 MHz, 915 MHz and 2.45 GHz.
  • the device for producing a plasma comprises a waveguide 12 coupled to the microwave generator 10 and configured to guide an excitation wave.
  • the waveguide 12 comprises two reception orifices facing each other, the reception orifices being intended to receive a dielectric tube 14 passing right through said waveguide 12 through the receiving holes.
  • waveguide 12 includes an input port configured to receive the excitation wave.
  • the device also comprises the dielectric tube 14 extending longitudinally along an axis of extension 60 passing through the center of the dielectric tube.
  • the dielectric tube 14 is configured to receive the plasma, such that the dielectric tube 14 passes right through the waveguide 12.
  • the device includes a reaction gas injection unit 31 configured to introduce reaction gas into the dielectric tube 14.
  • the device for producing a plasma further comprises a plasma ignition unit comprising a tungsten ignition electrode 22 extending longitudinally along the extension axis 60.
  • the ignition electrode 22 comprises a portion body 221 and a distal body portion 222, wherein the distal body portion 222 includes an attachment member 223.
  • the ignition electrode 22 is configured to generate an electric field from the excitation wave and thus allows the ignition of the plasma.
  • the proximal body portion 221 extends from the distal body portion 222.
  • the proximal body portion 221 of the ignition electrode 22 has a smaller cross section than the cross section of the distal body portion 222 of the ignition electrode 22.
  • the proximal body portion 221 has a proximal transverse dimension, which corresponds to a proximal diameter D21, which is less than a distal transverse dimension D22 of the distal body portion 222, which corresponds to a distal diameter D22.
  • Such an arrangement makes it possible to obtain a maximum electric field at the end of the proximal body portion 221 opposite the distal body portion 222. Indeed, the cross section of the proximal body portion 221 being lower than the cross-section of the distal body portion 222, this will create a "point effect" and thus locally concentrate the electric field. Such an arrangement facilitates the ignition of the plasma. Such an arrangement also makes it possible to obtain an ignition electrode 22 with better mechanical resistance.
  • the ignition electrode 22 has a total length L2 along the extension axis 60 which is substantially equal to half a source wavelength corresponding to the celerity divided by the source frequency .
  • the total length L2 of the ignition electrode 22 corresponds to the resonance length, as described in more detail below.
  • the resonance length of the ignition electrode 22 is equal to the half-wavelength of the excitation wave in the waveguide 12, or the half-length in vacuum if the waveguide 12 forms a coaxial guide.
  • the wavelength in a material is inversely proportional to the root of the permittivity of said material.
  • the wavelength is 3 times less.
  • the total length L2 of the ignition electrode 22 is 41 mm including 10 mm in the fixing unit such that said fixing unit has a permittivity of 9
  • this represents an equivalent vacuum resonance length of: 31 + 10 x 9 A 1/2 61 mm, i.e. exactly the half-wavelength in vacuum of a wave having a frequency of 2.45 GHz.
  • the total length L2 of the ignition electrode 22 is between 37% and 50% of the wavelength of the source wave in vacuum. So, if the source wave has a frequency of 2.45 GHz, then the ignition electrode has a length between 45 and 61 mm.
  • the total length L2 of the ignition electrode 22 is between 37% and 50% of the length of wave of the source wave in vacuum. So, if the source wave has a frequency of 2.45 GHz, then the ignition electrode has a length between 45 and 61 mm, depending on the shape of the ignition electrode as well as the material and the shape of the fixing unit. Thus, if the fixing unit 24 is made of alumina, the length will be shorter (for example 47 mm) than if the fixing unit 24 is made of filled PTFE (for example 49 mm) or of PTFE (for example 51 mm ) to maintain resonance.
  • the resonance length of the ignition electrode 22 is reduced near a dielectric material having a permittivity greater than that of vacuum.
  • the ignition electrode 22 has the total length L2 given such that the proximal body portion 221 of the ignition electrode 22 extends over a proximal length L21 at least equal to a distal length L22 of the body portion 222 of the ignition electrode 22.
  • the proximal body portion 221 has the proximal length L21 along the axis of extension 60 and the distal body portion 222 has the distal length L22 along the extension axis 60, and this proximal length L21 is greater than or equal to the distal length L22.
  • the proximal body portion 221 of the ignition electrode 22 extends over the proximal length L21 which is equal to 3/5 of the total length L2 of the ignition electrode 22. More broadly, the distal length L22 is greater than or equal to a quarter of the total length L2, and the proximal length L21 is greater than or equal to a half of the total length L2.
  • the ignition electrode 22 and a chimney 27 configured to wrap the dielectric tube 14 form a coaxial guide.
  • the wavelength of the excitation wave guided in the coaxial guide is substantially equal to the wavelength of the excitation wave in vacuum.
  • Chimney 27 is at least partially metallic. Such an arrangement allows the chimney 27 to play a shielding role, that is to say to prevent microwave leaks.
  • the chimney 27 comprises an annular retaining seal 28 at least partially surrounding the dielectric tube 14.
  • the annular retaining seal 28 being configured to maintain the dielectric tube 14 in position and also to ensure a seal between the atmosphere and that inside the tube.
  • the annular retaining seal 28 is transparent to microwaves. Such an arrangement makes it possible to obtain an annular retaining seal 28 with less degradation over time.
  • the chimney 27 comprises an annular cooling groove 30 configured to receive a cooling fluid.
  • the annular cooling groove 30 is configured to allow the cooling of the retaining seal 28.
  • the proximal body portion 221 of the ignition electrode 22 comprises a tapered end opposite the distal body portion 222. Such an arrangement makes it possible to obtain a maximum field at the level of the proximal body portion 221 of the ignition electrode.
  • At least a portion of the proximal body portion 221 of the ignition electrode 22 is located substantially at the level of a central axis 70 of the waveguide 12 when the electrode d ignition 22 is in the second position.
  • the ignition unit comprises a fixing unit 24 made of dielectric material configured to receive the fixing member 223 of the ignition electrode 22.
  • This fixing unit 24 made of dielectric material is thus configured to receive the electrode of ignition 22 and it makes it possible not to transmit the excitation wave and thus to cut off the microwaves, which makes it possible to protect a displacement unit 26, described below, from said excitation wave.
  • the fixing unit 24 is interposed between the ignition electrode 22 and the displacement unit 26 and therefore prevents overheating and damage to said displacement unit 26.
  • the fixing unit 24 has a length L4, along the extension axis 60, substantially equal to or greater than 1.3 D and preferably substantially equal to or greater than 1.5 D, D being the outer diameter of the dielectric tube 14
  • substantially equal means perfectly equal or equal to within 15%, or even within 10%.
  • the fixing unit 24 is made of technical ceramic having a permittivity of less than 10 such as alumina or preferably 5, which makes it possible to obtain a fixing unit 24 which cuts the microwaves more effectively and thus effectively protecting the displacement unit 26 from said microwaves. Indeed, the lower the permittivity, the more effectively the fixing unit 24 cuts the microwaves.
  • the fixing unit 24 is made of PTFE or filled PTFE having a respective permittivity of approximately 2.1 and 3. Such an arrangement makes it possible to obtain a fixing unit 24 having good thermal resistance. .
  • the displacement unit 26 is configured to receive the fixing unit 24 and together move said fixing unit 24 and the ignition electrode 22 from a first position represented in FIG. 2 in which the ignition electrode 22 is external to waveguide 12 at a second position shown in Figure 3 wherein at least a portion of the proximal body portion 221 of ignition electrode 22 is disposed within dielectric tube 14 and in the waveguide 12. In this way, when said ignition electrode 22 is in the second position, the ignition of the plasma is facilitated.
  • the movement unit 26 then moves together the fixing unit 24 and the ignition electrode 22 into an intermediate position in which the ignition electrode is not not in contact with plasma.
  • the reflector plane is also moved to maximize coupling.
  • the movement unit 26 is configured so that in the first position, the ignition electrode 22 is outside the dielectric tube 14. Such an arrangement makes it possible to protect the movement unit 26 said microwaves more efficiently.
  • the ignition electrode 22 in the second position, the ignition electrode 22 is inserted via an insertion end into the dielectric tube 14 up to the waveguide 22. Such an arrangement allows the electrode to ignition 22 to resonate with the excitation wave and thus create a high intensity electric field.
  • the electric field generated by the ignition electrode in order to allow the ignition of the plasma is at least equal to the electric field of breakdown of the reaction gas.
  • the displacement unit 26 is a jack, such as a pneumatic jack for example.
  • the displacement unit 26 is configured to move along a displacement axis substantially coincident with the extension axis 60.
  • substantially coincident means exactly coincident or coincident at 10% close.
  • the attachment unit 24 is oblong in shape along the axis of extension 60 and has a solid circular cross-section, having a diameter D4 which is substantially equal to the distal diameter D22 of the body portion distal 222 of ignition electrode 22.
  • the waveguide 12 is coupled to a movable reflector plane 16 configured to generate a standing wave from the excitation wave, thus forming a short-circuit piston.
  • the dielectric tube 14 is arranged between the reflective plane 16 and the inlet orifice.
  • the reflective plane 16 is located at a distance substantially equal to n. ⁇ e/2 + k. ⁇ e/2 from at least a part of the ignition electrode 22 when the ignition electrode ignition 22 is in the second position, with ⁇ e the wavelength of the excitation wave guided in the waveguide 14, with n a natural integer and k a coefficient between 0.7 and 1.3, or even between 0.8 and 1.2.
  • n a natural integer and k a coefficient between 0.7 and 1.3, or even between 0.8 and 1.2.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

Dispositif de production d'un plasma, configuré pour générer un plasma à partir d'un gaz de réaction, dans lequel le dispositif de production d'un plasma comprend un générateur à micro-onde (10) fonctionnant à une fréquence source donnée comprise 5 dans une plage de fréquence des micro-ondes et un guide d'ondes (12) couplé au générateur à micro-onde (10) et configuré pour guider une onde d'excitation. Le dispositif comprend également un tube diélectrique (14) s'étendant longitudinalement selon un axe d'extension (60), le tube diélectrique (14) étant configuré pour recevoir le plasma, tel que le tube diélectrique (14) traverse de part en part le guide d'ondes (12); 10 et une unité d'injection de gaz de réaction configuré pour introduire le gaz de réaction dans le tube diélectrique (14). Enfin, le dispositif de production d'un plasma comprend en outre une unité d'allumage de plasma.

Description

DESCRIPTION
TITRE : Dispositif de production d’un plasma comprenant une unité d’allumage de plasma
[Domaine de l’invention]
La présente invention se rapporte au domaine des dispositifs de production d’un plasma comprenant une unité d’allumage et plus spécifiquement à un dispositif de production d’un plasma à pression atmosphérique. L’unité d’allumage permettant d’allumer le plasma de manière électromagnétique et donc non électrique.
[Art antérieur]
De manière connue, le document US 2011/0234102 décrit un appareil d'allumage d’un plasma à pression atmosphérique et un procédé d'allumage d’un plasma à pression atmosphérique utilisant ledit appareil. Plus particulièrement, le document US 2011/0234102 concerne un appareil d'allumage d’un plasma à pression atmosphérique qui peut effectuer l'allumage de manière non électrique, résolvant ainsi de nombreux problèmes causés par la haute tension (par exemple, alimentation électrique excessive et problème de sécurité), empêchant l'appareil d'allumage d'être physiquement endommagé en raison de la chaleur du plasma, et permettant d'utiliser de nouveaux types de matériaux métalliques. En d’autres termes, le document US 2011/01234102 propose la génération d’un plasma dans un tube diélectrique, le gaz de réaction étant introduit dans ledit tube diélectrique à travers un guide d'ondes et une micro-onde étant appliqué au guide d'ondes, dans lequel l'appareil d'allumage comprend une tige d'allumage configurée pour être placée à travers le tube diélectrique, la tige d'allumage émettant des thermo électrons lorsque les micro-ondes y sont appliquées dans le tube diélectrique. L'appareil d'allumage comprend un moyen de déplacement pour déplacer la tige d'allumage dans ou hors du tube diélectrique à travers le tube diélectrique.
Toutefois, ces solutions ne donnent pas une entière satisfaction.
En effet, la solution proposée dans le document US 2011/0234102 implique que la tige d’allumage, une fois dans le champ électrique micro-onde, permet de conduire ces micro-ondes vers l’actionneur pneumatique, la tige d’allumage étant un conducteur métallique. Une telle disposition entraine la dégradation de ladite tige d’allumage, et notamment des joints permettant son fonctionnement.
La solution proposée, bien que permettant l’allumage d’un plasma, ne permet pas de le faire avec des puissances de micro-ondes relativement basses, et il est bien souvent nécessaire d’augmenter fortement la puissance desdites micro-ondes pour permettre l’allumage, ce qui participe d’autant plus à la dégradation des éléments d’allumage comme la tige d’allumage, qui va se pulvériser plus rapidement pendant le temps où elle est directement exposée au plasma, et les joints qui vont également se dégrader plus rapidement.
L’état de la technique peut également être illustré par les enseignements du document CN106322433 qui propose un dispositif de production d’un plasma, employant une électrode d’allumage portée par un support diélectrique, mais dont les formes et les dimensions sont inadaptées pour couper efficacement les ondes.
L’état de la technique peut aussi être illustré par le document CN201230400 qui qui propose un dispositif de production d’un plasma, employant une électrode d’allumage pouvant être abaissée et relevée, où cette électrode d’allumage entre directement dans le tube diélectrique où se produit le plasma, de sorte que les ondes ne sont pas coupées et remontent jusqu’à l’ouverture du tube par laquelle passe l’électrode d’allumage, au risque d’endommager les éventuels joints d’étanchéité prévus sur cette ouverture du tube.
La présente invention a pour but de résoudre tout ou partie des inconvénients mentionnés ci-dessus.
[Exposé de l'invention]
A cet effet, la présente invention concerne un dispositif de production d’un plasma, configuré pour générer un plasma à partir d’un gaz de réaction, dans lequel le dispositif de production d’un plasma comprend :
- un générateur à micro-onde fonctionnant à une fréquence source donnée comprise dans une plage de fréquence des micro-ondes ;
- un guide d’ondes couplé au générateur à micro-onde et configuré pour guider une onde d’excitation ;
- un tube diélectrique s’étendant longitudinalement selon un axe d’extension, le tube diélectrique étant configuré pour contenir le plasma, tel que le tube diélectrique traverse de part en part le guide d’ondes ;
- une cheminée, configurée pour envelopper le tube diélectrique , de sorte à maintenir en position ledit tube diélectrique ; et
- une unité d’injection de gaz de réaction configurée pour introduire le gaz de réaction dans le tube diélectrique ; le dispositif de production d’un plasma comprend en outre une unité d’allumage de plasma comprenant :
- une électrode d’allumage s’étendant longitudinalement selon l’axe d’extension comprenant une portion de corps proximale et une portion de corps distale, dans lequel la portion de corps distale comprend un organe de fixation ;
- une unité de fixation en matériau diélectrique configuré pour recevoir l’organe de fixation de l’électrode d’allumage ; et
- une unité de déplacement configurée pour recevoir l’unité de fixation et déplacer ensemble ladite unité de fixation et l’électrode d’allumage d’une première position dans laquelle l’électrode d’allumage est à l’extérieur du guide d’ondes à une deuxième position dans laquelle au moins une partie de la portion de corps proximale de l’électrode d’allumage est disposée dans le tube diélectrique et dans le guide d’ondes ; dans lequel l’électrode d’allumage est configurée pour générer un champ électrique à partir de l’onde d’excitation et permettre l’allumage du plasma lorsque ladite électrode d’allumage est dans la deuxième position ; et dans lequel l’électrode d’allumage a une longueur totale selon l’axe d’extension sensiblement égale à la moitié d’une longueur d’onde source correspondant à la célérité divisée par la fréquence source.
Ainsi, selon l’invention, la longueur totale de l’électrode d’allumage est sensiblement égale à la moitié de la longueur d’onde source (ou longueur d’onde de l’onde source dans le vide) ; étant noté que, au sens de la présente invention, sensiblement égale signifie parfaitement égale ou égale à 15 % près. Autrement dit, la longueur totale de l’électrode d’allumage est comprise entre 35 % et 65 % de la longueur d’onde source, et de préférence entre 35 % et 50 % de la longueur d’onde source.
Une telle conformation de la longueur totale est particulièrement avantageuse pour permettre la résonance entre ses deux extrémités, et ainsi permettre d’obtenir un champ électrique ayant une intensité suffisante pour permettre le claquage du gaz tout en limitant l’intensité de l’onde d’excitation, ce qui permet à la fois d’être économe en énergie et de préserver le dispositif de production d’un plasma.
En effet, l’électrode d’allumage et la cheminée (qui est électriquement conductrice et par exemple métallique) entourant le tube diélectrique forment un guide coaxial, et la longueur d’onde de l’onde d’excitation guidée dans ce guide coaxial est sensiblement égale à la longueur d’onde source, autrement dit la de longueur d’onde de l’onde d’excitation (ou onde source) dans le vide. Ainsi, avec cette conformation, la longueur totale de l’électrode d’allumage correspondra sensiblement à la longueur de résonance, telle que décrite plus en détail ci-dessous.
A titre d’exemple, si l’électrode d’allumage est totalement insérée dans l’unité de fixation et que celle-ci présente une permittivité de 1 , soit une permittivité égale à la permittivité du vide ou de l’air, alors la longueur de résonance de l’électrode d’allumage est égale à la demi-longueur d’onde de l’onde d’excitation dans le guide d’ondes, soit la demi-longueur dans le vide si le guide d’ondes forme un guide coaxial. En effet, la longueur d’onde dans un matériau est inversement proportionnelle à la racine carrée de la permittivité dudit matériau. Ainsi, à titre d’exemple, pour une permittivité de 9 la longueur d’onde est 3 fois moindre. Si la longueur totale de l’électrode d’allumage est de 41 mm dont 10mm dans l’unité de fixation telle que ladite unité de fixation a une permittivité de 9, cela représente une longueur équivalente de résonance dans le vide de : 31 + 10 x 9A1/2 = 61 mm soit exactement la demi-longueur d’onde dans le vide d’une onde ayant pour fréquence 2,45 GHz.
Par ailleurs, avec l’invention, et plus particulièrement avec l’unité de fixation en matériau diélectrique (configurée pour recevoir l’électrode d’allumage), cette unité de fixation permet de ne pas transmettre l’onde d’excitation et ainsi de couper les microondes, ce qui permet de protéger l’unité de déplacement de ladite onde d’excitation. En d’autres termes, l’unité de fixation est interposée entre l’électrode d’allumage et l’unité de déplacement et évite donc la surchauffe et les dégradations de ladite unité de déplacement.
L’invention permet ainsi de maximiser la coupure des ondes qui « remontent » dans le tube diélectrique en direction de l’unité de déplacement, car l’onde résonne dans le tube diélectrique, à l’intérieur de la cheminée, entre les deux extrémités de l’électrode d’allumage, l’une de ses extrémités étant dans le guide d’ondes pour allumer le plasma et l’autre de ses extrémités étant dans la cheminée, amplifiant d’autant plus le champ électrique.
Selon un mode de réalisation, la longueur totale de l’électrode d’allumage est comprise entre 37 % et 50 % de la longueur d’onde source (ou longueur de l’onde source dans le vide), voire comprise entre 37 et 45 %.
En effet, il est avantageux que la longueur totale de l’électrode d’allumage soit légèrement inférieure ou égale à la demi longueur d’onde source, soit entre 37 % et 50 % de la longueur d’onde source, car il y a l’unité de fixation diélectrique au-dessus pour la maintenir.
Ainsi, et à titre d’exemple, si l’onde source a une fréquence de 2,45 GHz, alors l’électrode d’allumage a une longueur comprise entre 45 et 61 mm.
Si l’électrode d’allumage enserre l’unité de fixation, alors la longueur totale de l’électrode d’allumage est comprise entre 37 % et 50 % de la longueur d’onde de l’onde source dans le vide. Ainsi, si l’onde source a une fréquence de 2,45 GHz, alors l’électrode d’allumage a une longueur comprise entre 45 et 61 mm, en fonction de la forme de l’électrode d’allumage ainsi que du matériau et de la forme de l’unité de fixation. Ainsi, si l’unité de fixation est en alumine, la longueur sera plus faible (par exemple 47 mm) que si l’unité de fixation est en PTFE (par exemple 51 mm) pour conserver la résonance. En effet, plus le matériau de l’unité de fixation a une forte permittivité, et/ou plus l’unité de fixation a une surface de contact importante avec l’électrode d’allumage, et plus la longueur de résonance de l’électrode d'allumage est réduite. La longueur totale de l’électrode d'allumage (qui correspond donc à sa longueur de résonance) est réduite à proximité d’un matériau diélectrique ayant une permittivité supérieure à celle du vide.
Selon un avantage, le dispositif de production d’un plasma est apte à fonctionner à pression atmosphérique et à une pression plus haute.
Selon un mode de réalisation, dans la deuxième position, l’électrode d’allumage est insérée via une extrémité d’insertion dans le tube diélectrique jusqu’au guide d’ondes.
Au sens de la présente invention, la plage de fréquence des micro-ondes comprend l’ensemble des fréquences entre 300 MHz et 30 GHz.
Selon un mode de réalisation préférentiel, la fréquence de l’onde d’excitation est sensiblement égale à l’une des fréquences suivantes : 896 MHz, 915 MHz et 2,45 GHz.
Selon un mode de réalisation, l’électrode d’allumage va entrer en résonance avec l’onde d’excitation et ainsi créer un champ électrique de forte intensité.
Selon un mode de réalisation, le champ électrique généré grâce à l’électrode d’allumage afin de permettre l’allumage du plasma est au moins égal au champ électrique de claquage du gaz de réaction.
Selon un mode de réalisation, l’électrode d’allumage est en tungstène.
Selon un mode de réalisation, l’unité de déplacement est un vérin, tel qu’un vérin pneumatique par exemple.
Selon un mode de réalisation, le guide d’ondes comprend deux orifices de réception en regard l’un de l’autre, les orifices de réception étant destinés à recevoir le tube diélectrique traversant de part en part ledit guide d’ondes par les orifices de réception.
Selon un mode de réalisation, le guide d’ondes comprend un orifice d’entrée configuré pour recevoir l’onde d’excitation.
Dans une réalisation avantageuse, l’électrode d’allumage a une conformation telle que la portion de corps proximale présente une dimension transversale proximale inférieure à une dimension transversale distale de la portion de corps distale. Autrement dit, la portion de corps proximale de l’électrode d’allumage a une section transversale inférieure à la section transversale de la portion de corps distale de l’électrode d’allumage.
Une telle disposition permet d’obtenir un maximum de champ électrique à l’extrémité de la portion de corps proximale opposée à la portion de corps distale. En effet, la section transversale de la portion de corps distale étant plus importante que la section transversale de la portion de corps proximal, cela va créer un « effet de pointe » et ainsi concentrer localement le champ électrique. Une telle disposition permet de faciliter l’allumage du plasma.
Une telle disposition permet également d’obtenir une électrode d’allumage avec une meilleure résistance mécanique.
Selon une variante, la portion de corps proximale présente une longueur proximale selon l’axe d’extension et la portion de corps distale présente une longueur distale selon l’axe d’extension, et dans lequel la longueur proximale est supérieure ou égale à la longueur distale.
Autrement dit, l’électrode d’allumage présente la longueur totale donnée telle que la portion de corps proximale de l’électrode d’allumage s’étend sur la longueur proximale au moins égale à la longueur distale de la portion de corps distale de l’électrode d’allumage.
Avantageusement, la longueur distale est supérieure ou égale à un quart de la longueur totale de l’électrode d’allumage, et la longueur proximale est supérieure ou égale à un demi de la longueur totale de l’électrode d’allumage.
Cette conformation est avantageuse pour favoriser la coupure des microondes, tout en permettant un bon fonctionnement de l’électrode d’allumage dans son rôle d’allumage du plasma.
Selon un mode de réalisation, la portion de corps proximale de l’électrode d’allumage s’étend sur une longueur proximale égale à 3/5 de la longueur totale de l’électrode d’allumage ; et ainsi la longueur distale est égale à 2/5 de la longueur totale de l’électrode d’allumage.
Selon une variante, la dimension transversale proximale est constante sur au moins 90% de la longueur proximale, et la dimension transversale distale est constante sur au moins 90% de la longueur distale.
Il est à noter que cette dimension transversale proximale peut correspondre à un diamètre (dit diamètre proximal), et de même la dimension transversale distale peut correspondre à un diamètre (dit diamètre distal). Selon un mode de réalisation, l’unité de déplacement est configurée pour se déplacer selon un axe de déplacement sensiblement confondu avec l’axe d’extension. Au sens de la présente invention, sensiblement confondu signifie exactement confondu ou confondu à 10% près ou à plus ou moins 5 degrés.
Selon un mode de réalisation, l’axe d’extension passe par le centre du tube diélectrique.
Selon un mode de réalisation, l’unité de déplacement est configurée pour que dans la première position, l’électrode d’allumage soit à l’extérieur du tube diélectrique.
Une telle disposition permet de protéger l’unité de déplacement desdites micro-ondes plus efficacement. Une telle disposition est particulièrement avantageuse à basse pression, en effet, le plasma peut remplir totalement le tube diélectrique dans certains cas, et les micro-ondes remontent alors plus haut grâce au plasma.
Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation est de forme oblongue selon l’axe d’extension.
Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation présente une section transversale circulaire pleine et présente un diamètre donné.
Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation est de forme cylindrique selon l’axe d’extension.
Dans une réalisation particulière, le diamètre de l’unité de fixation est sensiblement égal à un diamètre distal de la portion de corps distale de l’électrode d’allumage ; étant pour rappel noté que sensiblement égal signifie parfaitement égal ou égal à 15% près.
Ainsi, l’unité de fixation prolonge cette portion de corps distale de manière continue (ou sensiblement continue) géométriquement, ce qui est avantageux dans la fonction de coupure des micro-ondes.
Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation est d’une longueur, selon l’axe d’extension, sensiblement égale ou supérieure à 1.3 D et préférablement sensiblement égale ou supérieure à 1.5 D, D étant le diamètre extérieur du tube diélectrique.
Au sens de la présente invention, sensiblement égale signifie parfaitement égale ou égale à 15% près, et par exemple égale à 10% près.
Une telle disposition permet d’obtenir une unité de fixation d’une longueur suffisante pour permettre au tube diélectrique d’être guide à la coupure des microondes. Cela permet de protéger efficacement l’unité de déplacement desdites microondes. Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation est en céramique technique.
Une telle disposition permet d’obtenir une unité de fixation coupant efficacement les micro-ondes et ainsi protégeant efficacement l’unité de déplacement desdites micro-ondes.
Selon un mode de réalisation privilégié, l’unité de fixation a une permittivité inférieure à 5.
Selon un mode de réalisation privilégié, l’unité de fixation a une permittivité inférieure à 10.
Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation est en alumine.
Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation est en alumine chargée.
Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation comprend du PTFE.
Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation est en PTFE ou en PTFE chargé ayant une permittivité respective d’environ 2,1 et 3.
Une telle disposition permet d’obtenir une unité de fixation ayant une bonne tenue mécanique.
Selon un mode de réalisation, la portion de corps proximale s’étend à partir de la portion de corps distale.
Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation est d’une longueur sensiblement égale à la moitié de la longueur d’onde source.
Selon un mode de réalisation, la portion de corps proximale de l’électrode d’allumage comprend une extrémité effilée.
Une telle disposition permet de d’obtenir un maximum de champ au niveau de la portion de corps proximale de l’électrode d’allumage.
Selon un mode de réalisation, l’extrémité effilée est opposée à la portion de corps distale.
Selon un mode de réalisation, au moins une partie de la portion de corps proximale de l’électrode d’allumage est située sensiblement au niveau d’un axe central du guide d’onde lorsque l’électrode d’allumage est dans la deuxième position.
Une telle disposition permet d’obtenir champ électrique ayant une forte intensité.
Selon un mode de réalisation, le guide d’onde est couplé à un plan réflecteur configuré pour générer une onde stationnaire à partir de l’onde d’excitation.
Selon un mode de réalisation, le tube diélectrique est disposé entre le plan réflecteur et l’orifice d’entrée. Selon un mode de réalisation, le plan réflecteur est mobile et forme ainsi un piston de court-circuit.
Une telle disposition permet d’adapter l’impédance en modifiant artificiellement la taille dudit guide d’ondes et en réfléchissant au moins une partie de l’onde d’excitation. Cela permet à l’onde d’excitation de pénétrer dans le plasma.
Une telle disposition permet de déplacer le plan réflecteur mobile dans le guide d’onde et ainsi permettre le court-circuit de l’onde d’excitation sur une plage de fréquence large.
Selon un mode de réalisation, le plan réflecteur est situé à une distance sensiblement égale à ny + y d’au moins une partie de l’électrode d’allumage lorsque l’électrode d’allumage est dans la deuxième position, avec Àe la longueur d’onde de l’onde d’excitation guidée dans le guide d’onde, n un entier naturel et k un coefficient compris entre 0,7 et 1 ,3.
Une telle disposition permet d’obtenir un champ électrique ayant une forte intensité et ainsi faciliter l’allumage, autrement dit cette position est avantageuse pour maximiser le champ électrique sur l’extrémité de l’électrode d’allumage.
En effet, sans électrode d’allumage, il faudrait maximiser le champ électrique pour allumer un plasma, et ainsi localiser la zone plasma à une distance sensiblement égale à Àe/4 + n Àe/2 vis-à-vis du plan réflecteur. Mais la Demanderesse a établi que, du fait de la présence de l’électrode d’allumage dans la zone plasma, le couplage est différent car l’onde se propage dans le guide d’ondes mais aussi dans le guide coaxial formé de la cheminée et de l’électrode d’allumage. Ainsi, l’électrode d’allumage doit se situer à n Àe/2 plus ou moins 30 % de Àe/2, autrement dit à n.Àe/2 + k.Àe/2, k introduisant cette variabilité de plus ou moins 30 %.
Selon un mode de réalisation, une fois le plasma allumé, celui-ci devient conducteur, l’unité de déplacement déplace alors ensemble l’unité de fixation et l’électrode d’allumage dans une position intermédiaire dans laquelle l’électrode d’allumage n’est pas en contact avec le plasma. Le plan réflecteur est également déplacé afin de maximiser le couplage.
Les différents aspects définis ci-dessus non incompatibles peuvent être combinés.
[Brève description des figures]
L’invention sera encore mieux comprise à l’aide de la description détaillée qui est exposée ci-dessous en regard des dessins annexés dans lesquels : [Fig. 1 ] représente une vue schématique d’un dispositif de production d’un plasma, dans une position permettant l’allumage du plasma, conformément à la présente invention ;
[Fig. 2] représente une vue d’un dispositif de production d’un plasma dans une position permettant l’allumage du plasma, conformément à la présente invention ;
[Fig. 3] représente une vue d’un dispositif de production d’un plasma dans laquelle un dispositif d’allumage est dans une première position ; et
[Fig. 4] représente une vue d’un dispositif de production d’un plasma dans laquelle un dispositif d’allumage est dans une deuxième position.
[Description en référence aux figures]
Les figures illustrent un dispositif de production d’un plasma apte à fonctionner à basse pression, pression atmosphérique ou haute pression et configuré pour générer un plasma à partir d’un gaz de réaction. Au sens de la présente invention, une basse pression est une pression comprise entre un dixième de la pression atmosphérique et la pression atmosphérique. Au sens de la présente invention, une haute pression est une pression comprise entre la pression atmosphérique et cinq fois la pression atmosphérique.
Selon un mode de réalisation préféré, le dispositif de production d’un plasma est utilisé à pression atmosphérique.
Le dispositif de production d’un plasma comprend un générateur à microonde 10 fonctionnant à une fréquence source donnée comprise dans une plage de fréquence des micro-ondes. Au sens de la présente invention, la plage de fréquence des micro-ondes comprend l’ensemble des fréquences entre 300 MHz et 30 GHz. Selon un mode de réalisation préférentiel, la fréquence de l’onde d’excitation est sensiblement égale à l’une des fréquences suivantes : 896 MHz, 915 MHz et 2,45 GHz.
Le dispositif de production d’un plasma comprend un guide d’ondes 12 couplé au générateur à micro-onde 10 et configuré pour guider une onde d’excitation. Selon un mode de réalisation, le guide d’ondes 12 comprend deux orifices de réception en regard l’un de l’autre, les orifices de réception étant destinés à recevoir un tube diélectrique 14 traversant de part en part ledit guide d’ondes 12 par les orifices de réception. Selon un mode de réalisation, le guide d’ondes 12 comprend un orifice d’entrée configuré pour recevoir l’onde d’excitation.
Le dispositif comprend également le tube diélectrique 14 s’étendant longitudinalement selon un axe d’extension 60 passant par le centre du tube diélectrique. Le tube diélectrique 14 est configuré pour recevoir le plasma, tel que le tube diélectrique 14 traverse de part en part le guide d’ondes 12. Le dispositif comprend une unité d’injection de gaz de réaction 31 configurée pour introduire le gaz de réaction dans le tube diélectrique 14.
Le dispositif de production d’un plasma comprend en outre une unité d’allumage de plasma comprenant une électrode d’allumage 22 en tungstène s’étendant longitudinalement selon l’axe d’extension 60. L’électrode d’allumage 22 comprend une portion de corps proximale 221 et une portion de corps distale 222, dans lequel la portion de corps distale 222 comprend un organe de fixation 223. L’électrode d’allumage 22 est configurée pour générer un champ électrique à partir de l’onde d’excitation et permet ainsi l’allumage du plasma. Selon un mode de réalisation, la portion de corps proximale 221 s’étend à partir de la portion de corps distale 222.
Selon un mode de réalisation, la portion de corps proximale 221 de l’électrode d’allumage 22 a une section transversale inférieure à la section transversale de la portion de corps distale 222 de l’électrode d’allumage 22. En d’autres termes, la portion de corps proximale 221 présente une dimension transversale proximale, qui correspond à un diamètre proximal D21 , qui est inférieure à une dimension transversale distale D22 de la portion de corps distale 222, qui correspond à un diamètre distal D22.
Une telle disposition permet d’obtenir un maximum de champ électrique à l’extrémité de la portion de corps proximale 221 opposée à la portion de corps distale 222. En effet, la section transversale de la portion de corps proximale 221 étant plus faible que la section transversale de la portion de corps distal 222, cela va créer un « effet de pointe » et ainsi concentrer localement le champ électrique. Une telle disposition permet de faciliter l’allumage du plasma. Une telle disposition permet également d’obtenir une électrode d’allumage 22 avec une meilleure résistance mécanique.
Selon un mode de réalisation, l’électrode d’allumage 22 a une longueur totale L2 selon l’axe d’extension 60 qui est sensiblement égale à la moitié d’une longueur d’onde source correspondant à la célérité divisée par la fréquence source.
Au sens de la présente invention, la longueur totale L2 de l’électrode d’allumage 22 correspond à la longueur de résonance, telle que décrite plus en détail ci-dessous.
A titre d’exemple, si l’électrode d’allumage 22 est totalement insérée dans une unité de fixation 24 ayant une permittivité de 1 , soit égale à la permittivité du vide ou de l’air, alors la longueur de résonance de l’électrode d’allumage 22 est égale à la demi-longueur d’onde de l’onde d’excitation dans le guide d’ondes 12, soit la demi- longueur dans le vide si le guide d’ondes 12 forme un guide coaxial. En effet, la longueur d’onde dans un matériau est inversement proportionnelle à la racine de la permittivité dudit matériau. Ainsi, à titre d’exemple, pour une permittivité de 9 la longueur d’onde est 3 fois moindre. Si la longueur totale L2 de l’électrode d’allumage 22 est de 41 mm dont 10 mm dans l’unité de fixation telle que ladite unité de fixation a une permittivité de 9, cela représente une longueur équivalente de résonance dans le vide de : 31 + 10 x 9A1/2 = 61 mm soit exactement la demi-longueur d’onde dans le vide d’une onde ayant pour fréquence 2,45 GHz. Une telle disposition permet d’obtenir un champ électrique ayant une intensité suffisante pour permettre le claquage du gaz tout en limitant l’intensité de l’onde d’excitation, ce qui permet à la fois d’être économe en énergie et de protéger le dispositif de production d’un plasma.
Selon un mode de réalisation avantageux, la longueur totale L2 de l’électrode d’allumage 22 est comprise entre 37 % et 50 % de la longueur d’onde de l’onde source dans le vide. Ainsi, si l’onde source a une fréquence de 2,45 GHz, alors l’électrode d’allumage a une longueur comprise entre 45 et 61 mm.
Si l’électrode d’allumage enserre l’unité de fixation, tel que représenté sur les figures 3 et 4, alors la longueur totale L2 de l’électrode d’allumage 22 est comprise entre 37 % et 50 % de la longueur d’onde de l’onde source dans le vide. Ainsi, si l’onde source a une fréquence de 2,45 GHz, alors l’électrode d’allumage a une longueur comprise entre 45 et 61 mm, en fonction de la forme de l’électrode d’allumage ainsi que du matériau et de la forme de l’unité de fixation. Ainsi, si l’unité de fixation 24 est en alumine, la longueur sera plus faible (par exemple 47 mm) que si l’unité de fixation 24 est en PTFE chargé (par exemple 49 mm) ou en PTFE (par exemple 51 mm) pour conserver la résonance. En effet, plus le matériau de l’unité de fixation 24 a une forte permittivité, et/ou plus l’unité de fixation a une surface de contact importante avec l’électrode d’allumage 22, et plus la longueur de résonance de l’électrode d'allumage 22 est réduite. La longueur de résonance de l’électrode d'allumage 22 est réduite à proximité d’un matériau diélectrique ayant une permittivité supérieure à celle du vide.
L’électrode d’allumage 22 présente la longueur totale L2 donnée telle que la portion de corps proximale 221 de l’électrode d’allumage 22 s’étend sur une longueur proximale L21 au moins égale à une longueur distale L22 de la portion de corps distale 222 de l’électrode d’allumage 22. En d’autres termes, la portion de corps proximale 221 présente la longueur proximale L21 selon l’axe d’extension 60 et la portion de corps distale 222 présente la longueur distale L22 selon l’axe d’extension 60, et cette longueur proximale L21 est supérieure ou égale à la longueur distale L22.
Plus particulièrement, la portion de corps proximale 221 de l’électrode d’allumage 22 s’étend sur la longueur proximale L21 qui est égale à 3/5 de la longueur totale L2 de l’électrode d’allumage 22. Plus largement, la longueur distale L22 est supérieure ou égale à un quart de la longueur totale L2, et la longueur proximale L21 est supérieure ou égale à un demi de la longueur totale L2.
Selon un mode de réalisation, l’électrode d’allumage 22 et une cheminée 27 configurée pour envelopper le tube diélectrique 14 forment un guide coaxial. La longueur d’onde de l’onde d’excitation guidée dans le guide coaxial est sensiblement égale à la longueur d’onde de l’onde d’excitation dans le vide.
La cheminée 27 est au moins partiellement métallique. Une telle disposition permet à la cheminée 27 de jouer un rôle de blindage, c’est-à-dire d’empêcher les fuites de micro-ondes.
Selon un mode de réalisation, la cheminée 27 comprend un joint de maintien annulaire 28 entourant au moins partiellement le tube diélectrique 14. Le joint de maintien annulaire 28 étant configuré pour maintenir le tube diélectrique 14 en position et également d’assurer une étanchéité entre l’atmosphère et celle intérieure au tube.
Selon un mode de réalisation, le joint de maintien annulaire 28 est transparent aux micro-ondes. Une telle disposition permet d’obtenir un joint de maintien annulaire 28 présentant une plus faible dégradation dans le temps.
Selon un mode de réalisation, la cheminée 27 comprend une gorge annulaire de refroidissement 30 configurée recevoir un fluide de refroidissement. Selon un mode de réalisation, la gorge annulaire de refroidissement 30 est configurée pour permettre le refroidissement du joint de maintien 28.
Selon un mode de réalisation avantageux, la portion de corps proximale 221 de l’électrode d’allumage 22 comprend une extrémité effilée opposée à la portion de corps distale 222. Une telle disposition permet de d’obtenir un maximum de champ au niveau de la portion de corps proximale 221 de l’électrode d’allumage.
Tel qu’illustré à la figure 3, au moins une partie de la portion de corps proximale 221 de l’électrode d’allumage 22 est située sensiblement au niveau d’un axe central 70 du guide d’onde 12 lorsque l’électrode d’allumage 22 est dans la deuxième position. Une telle disposition permet d’obtenir champ électrique ayant une forte intensité.
L’unité d’allumage comprend une unité de fixation 24 en matériau diélectrique configuré pour recevoir l’organe de fixation 223 de l’électrode d’allumage 22. Cette unité de fixation 24 en matériau diélectrique est ainsi configurée pour recevoir l’électrode d’allumage 22 et elle permet de ne pas transmettre l’onde d’excitation et ainsi de couper les micro-ondes, ce qui permet de protéger une unité de déplacement 26, décrite ci-dessous, de ladite onde d’excitation. En d’autres termes, l’unité de fixation 24 est interposée entre l’électrode d’allumage 22 et l’unité de déplacement 26 et évite donc la surchauffe et les dégradations de ladite unité de déplacement 26.
L’unité de fixation 24 est d’une longueur L4, selon l’axe d’extension 60, sensiblement égale ou supérieure à 1.3 D et préférablement sensiblement égale ou supérieure à 1 .5 D, D étant le diamètre extérieur du tube diélectrique 14. Au sens de la présente invention, sensiblement égale signifie parfaitement égale ou égale à 15 % près, voire 10 % près. Une telle disposition permet d’obtenir une unité de fixation 24 d’une longueur suffisante pour permettre à la cheminée métallique 27 d’être guide à la coupure des micro-ondes. Cela permet de protéger plus efficacement l’unité de déplacement 26 desdites micro-ondes.
Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation 24 est en céramique technique ayant une permittivité inférieure à 10 telle que l’alumine ou préférablement à 5, ce qui permet d’obtenir une unité de fixation 24 coupant plus efficacement les microondes et ainsi protégeant efficacement l’unité de déplacement 26 desdites micro-ondes. En effet, plus la permittivité est faible et plus l’unité de fixation 24 coupe efficacement les micro-ondes.
Selon un mode de réalisation avantageux, l’unité de fixation 24 est en PTFE ou en PTFE chargé ayant une permittivité respective d’environ 2,1 et 3. Une telle disposition permet d’obtenir une unité de fixation 24 ayant une bonne tenue thermique.
L’unité de déplacement 26 est configurée pour recevoir l’unité de fixation 24 et déplacer ensemble ladite unité de fixation 24 et l’électrode d’allumage 22 d’une première position représentée à la figure 2 dans laquelle l’électrode d’allumage 22 est à l’extérieur du guide d’ondes 12 à une deuxième position représentée à la figure 3 dans laquelle au moins une partie de la portion de corps proximale 221 de l’électrode d’allumage 22 est disposée dans le tube diélectrique 14 et dans le guide d’ondes 12. De cette manière, lorsque ladite électrode d’allumage 22 est dans la deuxième position, l’allumage du plasma est facilité.
Une fois le plasma allumé, celui-ci devient conducteur, l’unité de déplacement 26 déplace alors ensemble l’unité de fixation 24 et l’électrode d’allumage 22 dans une position intermédiaire dans laquelle l’électrode d’allumage n’est pas en contact avec le plasma. Le plan réflecteur est également déplacé afin de maximiser le couplage.
Selon un mode de réalisation, l’unité de déplacement 26 est configurée pour que dans la première position, l’électrode d’allumage 22 soit à l’extérieur du tube diélectrique 14. Une telle disposition permet de protéger l’unité de déplacement 26 desdites micro-ondes plus efficacement. Selon un mode de réalisation, dans la deuxième position, l’électrode d’allumage 22 est insérée via une extrémité d’insertion dans le tube diélectrique 14 jusqu’au guide d’ondes 22. Une telle disposition permet à l’électrode d’allumage 22 d'entrer en résonance avec l’onde d’excitation et ainsi créer un champ électrique de forte intensité. Selon un mode de réalisation, le champ électrique généré par l’électrode d’allumage afin de permettre l’allumage du plasma est au moins égal au champ électrique de claquage du gaz de réaction. Selon un mode de réalisation, l’unité de déplacement 26 est un vérin, tel qu’un vérin pneumatique par exemple.
Selon un mode de réalisation, l’unité de déplacement 26 est configurée pour se déplacer selon un axe de déplacement sensiblement confondu avec l’axe d’extension 60. Au sens de la présente invention, sensiblement confondu signifie exactement confondu ou confondu à 10 % près.
Selon un mode de réalisation, l’unité de fixation 24 est de forme oblongue selon l’axe d’extension 60 et présente une section transversale circulaire pleine, en ayant un diamètre D4 qui est sensiblement égal au diamètre distal D22 de la portion de corps distale 222 de l’électrode d’allumage 22.
Le guide d’onde 12 est couplé à un plan réflecteur 16 mobile configuré pour générer une onde stationnaire à partir de l’onde d’excitation, formant ainsi un piston de court-circuit. Le tube diélectrique 14 est disposé entre le plan réflecteur 16 et l’orifice d’entrée. Une telle disposition permet de modifier artificiellement la taille du guide d’ondes 12 et de maximiser le champ électrique à la position de l’électrode d’allumage 22 afin de faciliter l’allumage du plasma en réfléchissant au moins une partie de l’onde d’excitation. Une fois le plasma allumé, la position du plan réflecteur 16 est modifiée afin d’adapter l’impédance. Une telle disposition permet de maximiser la puissance déposée dans le plasma.
Avant l’allumage du plasma, le plan réflecteur 16 est situé à une distance sensiblement égale à n.Àe/2 + k.Àe/2 d’au moins une partie de l’électrode d’allumage 22 lorsque l’électrode d’allumage 22 est dans la deuxième position, avec Àe la longueur d’onde de l’onde d’excitation guidée dans le guide d’onde 14, avec n un entier naturel et k un coefficient compris entre 0,7 et 1 ,3, voire compris entre 0,8 et 1 ,2. Une telle disposition permet de maximiser le champ électrique sur l’extrémité de la portion de corps proximale 221 de l’électrode d’allumage 22 et ainsi faciliter l’allumage.

Claims

REVENDICATIONS
1 . Dispositif de production d’un plasma, configuré pour générer un plasma à partir d’un gaz de réaction, dans lequel le dispositif de production d’un plasma comprend :
- un générateur à micro-onde (10) fonctionnant à une fréquence source donnée comprise dans une plage de fréquence des micro-ondes ;
- un guide d’ondes (12) couplé au générateur à micro-onde (10) et configuré pour guider une onde d’excitation ;
- un tube diélectrique (14) s’étendant longitudinalement selon un axe d’extension (60), le tube diélectrique (14) étant configuré pour recevoir le plasma, tel que le tube diélectrique (14) traverse de part en part le guide d’ondes (12) ;
- une cheminée (27), configurée pour envelopper le tube diélectrique (14) de sorte à maintenir en position ledit tube diélectrique (14) ; et
- une unité d’injection de gaz de réaction (31 ) configurée pour introduire le gaz de réaction dans le tube diélectrique (14) ; le dispositif de production d’un plasma comprend en outre une unité d’allumage de plasma comprenant :
- une électrode d’allumage (22) s’étendant longitudinalement selon l’axe d’extension (60) et comprenant une portion de corps proximale (221 ) et une portion de corps distale (222), dans lequel la portion de corps distale (222) comprend un organe de fixation (223) ;
- une unité de fixation (24) en matériau diélectrique configuré pour recevoir l’organe de fixation (223) de l’électrode d’allumage (22) ; et
- une unité de déplacement (26) configurée pour recevoir l’unité de fixation (24) et déplacer ensemble ladite unité de fixation (24) et l’électrode d’allumage (22) d’une première position dans laquelle l’électrode d’allumage (22) est à l’extérieur du guide d’ondes (12) à une deuxième position dans laquelle au moins une partie de la portion de corps proximale (221 ) de l’électrode d’allumage (22) est disposée dans le tube diélectrique (14) et dans le guide d’ondes (12) ; dans lequel l’électrode d’allumage (22) est configurée pour générer un champ électrique à partir de l’onde d’excitation et permettre l’allumage du plasma lorsque ladite électrode d’allumage (22) est dans la deuxième position ; et dans lequel l’électrode d’allumage (22) a une longueur totale (L2) selon l’axe d’extension (60) sensiblement égale à la moitié d’une longueur d’onde source correspondant à la célérité divisée par la fréquence source.
2. Dispositif de production d’un plasma selon la revendication 1 , dans lequel la longueur totale (L2) de l’électrode d’allumage (22) est comprise entre 37 % et 50 % de la longueur d’onde source.
3. Dispositif de production d’un plasma selon la revendication 1 ou 2, dans lequel l’électrode d’allumage (22) a une conformation telle que la portion de corps proximale (221 ) présente une dimension transversale proximale (D21 ) inférieure à une dimension transversale distale (D22) de la portion de corps distale (222).
4. Dispositif de production d’un plasma selon la revendication 3, dans lequel la portion de corps proximale (221 ) présente une longueur proximale (L21 ) selon l’axe d’extension (60) et la portion de corps distale (222) présente une longueur distale (L22) selon l’axe d’extension (60), et dans lequel la longueur proximale (L21 ) est supérieure ou égale à la longueur distale (L22).
5. Dispositif de production d’un plasma selon la revendication 4, dans lequel la longueur distale (L22) est supérieure ou égale à un quart de la longueur totale (L2) de l’électrode d’allumage (22), et la longueur proximale (L21 ) est supérieure ou égale à un demi de la longueur totale (L2) de l’électrode d’allumage (22).
6. Dispositif de production d’un plasma selon la revendication 4 ou 5, dans lequel la dimension transversale proximale (D21 ) est constante sur au moins 90% de la longueur proximale (L21 ), et la dimension transversale distale (D22) est constante sur au moins 90% de la longueur distale (L22).
7. Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel l’unité de déplacement (26) est configurée pour que dans la première position, l’électrode d’allumage (22) soit à l’extérieur du tube diélectrique (14).
8. Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel l’unité de fixation (24) est de forme cylindrique selon l’axe d’extension (60) et présente un diamètre (D4) donné.
9. Dispositif de production d’un plasma selon la revendication 8, dans lequel le diamètre (D4) de l’unité de fixation (24) est sensiblement égal à un diamètre distal (D22) de la portion de corps distale (222) de l’électrode d’allumage (22).
10. Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 1 à 9, dans lequel l’unité de fixation (24) est d’une longueur (L4), selon l’axe d’extension (60), sensiblement égale ou supérieure à 1.3 D et préférablement sensiblement égale ou supérieure à 1.5 D, D étant un diamètre extérieur du tube diélectrique (14).
11 . Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel au moins une partie de la portion de corps proximale (221 ) de l’électrode d’allumage (22) est située sensiblement au niveau d’un axe central (70) du guide d’onde (12) lorsque l’électrode d’allumage (22) est dans la deuxième position.
12. Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 1 à 11 , dans lequel le guide d’onde (12) est couplé à un plan réflecteur (16) configuré pour générer une onde stationnaire à partir de l’onde d’excitation.
13. Dispositif de production d’un plasma selon la revendication 12, dans lequel le plan réflecteur (16) est mobile.
14. Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 12 ou 13, dans lequel le plan réflecteur (16) est situé à une distance sensiblement égale à
Figure imgf000020_0001
moins une partie de l’électrode d’allumage (22) lorsque l’électrode d’allumage (22) est dans la deuxième position, avec Àe la longueur d’onde de l’onde d’excitation guidée dans le guide d’onde (14), n un entier naturel et k un coefficient compris entre 0,7 et 1 ,3.
15. Dispositif de production d’un plasma selon l’une quelconque des revendications 1 à 14, dans lequel l’électrode d’allumage (22) présente une longueur électrique donnée telle que la portion de corps proximale (221 ) de l’électrode d’allumage (22) s’étend sur une longueur électrique au moins égale à une longueur électrique de la portion de corps distale (222) de l’électrode d’allumage (22).
PCT/FR2022/050205 2021-02-03 2022-02-03 Dispositif de production d'un plasma comprenant une unité d'allumage de plasma WO2022167758A1 (fr)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US18/275,685 US20240130031A1 (en) 2021-02-03 2022-02-03 Device for producing a plasma comprising a plasma ignition unit
CN202280013258.8A CN116803214A (zh) 2021-02-03 2022-02-03 用于产生等离子体的包括等离子体点火单元的装置
EP22708190.8A EP4289233A1 (fr) 2021-02-03 2022-02-03 Dispositif de production d'un plasma comprenant une unité d'allumage de plasma

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FRFR21/01027 2021-02-03
FR2101027A FR3119506B1 (fr) 2021-02-03 2021-02-03 Dispositif de production d’un plasma comprenant une unité d’allumage de plasma

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2022167758A1 true WO2022167758A1 (fr) 2022-08-11

Family

ID=76375127

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/FR2022/050205 WO2022167758A1 (fr) 2021-02-03 2022-02-03 Dispositif de production d'un plasma comprenant une unité d'allumage de plasma

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20240130031A1 (fr)
EP (1) EP4289233A1 (fr)
CN (1) CN116803214A (fr)
FR (1) FR3119506B1 (fr)
WO (1) WO2022167758A1 (fr)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4780881A (en) * 1987-02-23 1988-10-25 Messer. Griesheim Gmbh Process for the electrical excitation of a laser gas
US20020020691A1 (en) * 2000-05-25 2002-02-21 Jewett Russell F. Methods and apparatus for plasma processing
JP2004221019A (ja) * 2003-01-17 2004-08-05 Ebara Corp 大気圧下でマイクロ波プラズマを点火する方法および装置
CN201230400Y (zh) 2008-04-24 2009-04-29 大连海事大学 一种大气压微波等离子体发生装置
US20110234102A1 (en) 2008-11-26 2011-09-29 Ik Nyeon Kim Apparatus for normal pressure plasma ignition and method for normal pressure plasma ignition using same
EP2781141A1 (fr) * 2011-11-18 2014-09-24 Recarbon Inc. Système de génération de plasma à électrodes amovibles
CN106322433A (zh) 2016-09-29 2017-01-11 南京三乐微波技术发展有限公司 一种自动点火的微波等离子作用腔

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4780881A (en) * 1987-02-23 1988-10-25 Messer. Griesheim Gmbh Process for the electrical excitation of a laser gas
US20020020691A1 (en) * 2000-05-25 2002-02-21 Jewett Russell F. Methods and apparatus for plasma processing
JP2004221019A (ja) * 2003-01-17 2004-08-05 Ebara Corp 大気圧下でマイクロ波プラズマを点火する方法および装置
CN201230400Y (zh) 2008-04-24 2009-04-29 大连海事大学 一种大气压微波等离子体发生装置
US20110234102A1 (en) 2008-11-26 2011-09-29 Ik Nyeon Kim Apparatus for normal pressure plasma ignition and method for normal pressure plasma ignition using same
EP2781141A1 (fr) * 2011-11-18 2014-09-24 Recarbon Inc. Système de génération de plasma à électrodes amovibles
CN106322433A (zh) 2016-09-29 2017-01-11 南京三乐微波技术发展有限公司 一种自动点火的微波等离子作用腔

Also Published As

Publication number Publication date
FR3119506A1 (fr) 2022-08-05
CN116803214A (zh) 2023-09-22
FR3119506B1 (fr) 2023-03-31
US20240130031A1 (en) 2024-04-18
EP4289233A1 (fr) 2023-12-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA1177543A (fr) Generateur de plasma
CA1228650A (fr) Torches a plasma
EP1332511B1 (fr) Dispositif de traitement de gaz par plasma
EP1815570B1 (fr) Bougie a plasma radiofrequence
WO2007096357A1 (fr) Torche a plasma a arc transfere
FR2484158A1 (fr) Ensemble de cathode pour laser a vapeur metallique
EP2873307B1 (fr) Applicateur d'onde de surface et procédé pour la production de plasma
WO2022167758A1 (fr) Dispositif de production d'un plasma comprenant une unité d'allumage de plasma
EP0346168B1 (fr) Réacteur à plasma
EP0185226B1 (fr) Générateur laser à flux gazeux et procédé de fonctionnement de ce générateur
FR2929045A1 (fr) Magnetron
FR2699785A1 (fr) Dispositif de traitement thermique localisé et procédé de traitement correspondant.
EP2377373B1 (fr) Procédé de génération d'un flux de plasma
EP0427591B1 (fr) Torche à plasma à injection non refroidie de gaz plasmogène
EP2559119B1 (fr) Bougie d'allumage équipée de moyens de prévention des courts-circuits
FR3147041A1 (fr) Lampe a excimere et unite d’irradiation uv incluant celle-ci
EP0829185B1 (fr) Cavite de decharge forte puissance a onde lente dans le domaine des radiofrequences
EP1225672B1 (fr) Dispositif de contrôle d'arc interne pour module de raccordement d'une ligne haute tension à isolation gazeuse
WO2021170734A1 (fr) Applicateur d'onde haute fréquence, coupleur et dispositif associés pour la production d'un plasma
FR2638574A1 (fr) Procede et dispositif de liaison coaxiale hyperfrequence
FR3114639A1 (fr) Mode de fixation amélioré pour une bougie d’allumage d’un générateur d’air chaud.
EP0067758A2 (fr) Tube à éclairs à connexions électriques radiales avec alimentation en gaz
FR2527310A1 (fr) Buse perfectionnee a allumage par etincelles
FR2525737A1 (fr) Buse a allumage par etincelles pour chalumeau
FR2736792A1 (fr) Excitateur a micro-ondes auto-adapte, notamment excitateur de plasma

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 22708190

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 18275685

Country of ref document: US

Ref document number: 202280013258.8

Country of ref document: CN

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 202347057240

Country of ref document: IN

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2022708190

Country of ref document: EP

Effective date: 20230904