WO2021094177A1 - Procédé de fabrication d'un ensemble d'émetteurs de lumière - Google Patents

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WO2021094177A1
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contacts
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Frédéric Mayer
Ivan-Christophe Robin
Erwan Dornel
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Aledia
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Definitions

  • TITLE Manufacturing process of a set of light emitters
  • the present invention relates to a method of manufacturing an assembly of light emitters.
  • the present invention also relates to a method of manufacturing an associated screen.
  • Many display screens have a set of light emitters that are used to form the image displayed on the screen. These emitters each play the role of an image element or “pixel” (in particular when the screen is monochrome), or of a portion of such an image element, called a “sub-pixel” (in particular. when the screen is a color screen, each pixel comprising sub-pixels of a different color, the selective lighting of which makes it possible to modify the color of the pixel).
  • These light emitters generally comprise a light emitting structure, such as a light emitting diode or a backlighting system accompanied by a liquid crystal, making it possible to emit the desired radiation, and electrical contacts making it possible to connect the structure. emitting light to a control circuit so as to supply electric power to the emitting structure when it is desired that the associated radiation be emitted.
  • the contacts are necessarily electrically isolated from each other, so that the light emitters can be controlled independently.
  • Light emitters are mostly produced simultaneously as a plate with multiple light emitters, each contact being carried by one side of the plate.
  • the plate is then either used as it is in a display screen, or cut to separate the emitters from each other, these emitters then each being integrated into a screen or other light device.
  • transmitters do not perform optimally. For example, defects that appear during the manufacture of transmitters can lead to non-functional transmitters. In other cases, some transmitters will require electrical currents with higher currents or voltages than in the case of transmitters with nominal performance.
  • This detection generally involves supplying electricity to each transmitter and studying its behavior. when it is powered, in particular to check that the expected radiation is actually emitted, and what electric current is necessary for this.
  • a method for manufacturing a set of light emitters each comprising a light emitting structure, a first electrical contact and a second electrical contact the process comprising the steps of:
  • each emitting structure being configured to emit a first radiation when an electric current flows through the emitting structure
  • the manufacturing stage includes:
  • each first contact and at least one first conductor a first set of at least two first contacts being defined, each first contact of the first set being electrically connected to each other first contact of the first set by the first conductor (s),
  • the emitting structures of the first set are electrically connected in a simple manner to an electrical source since the associated first contacts are electrically connected to each other.
  • a respective connector such as a wire or a tip.
  • a single such connector in contact with one of these first contacts, with one of the first conductors or with the first contact pad, is sufficient to inject an electric current into each of the emitting structures of the first set.
  • first contacts are less damaged during each injection step, since it is not necessary to apply an electrical connector against each of the first contacts: a single electrical connector is sufficient to supply each first contact of the first set. .
  • the subsequent connection of each first contact with a control circuit when the corresponding light emitter is integrated into a light device is then of better quality and the reliability of the device incorporating the light emitter 10 is improved.
  • the method comprises one or more of the following characteristics, taken in isolation or in any technically possible combination:
  • the method further comprises, following the first observation step, a step of removing each first conductor.
  • the forming step comprises the deposition, on the first face, of a layer of an electrically conductive material to form each first contact and each first conductor, each first conductor being removed, during the removal step, by etching of said layer.
  • each first contact is placed opposite the corresponding sending structure.
  • a second set of first contacts comprising at least two first contacts, the first set and the second set being separate, the forming step comprising the formation of at least one second conductor, each first contact of the second set being electrically connected to each other first contact of the second set by the second conductor (s), the method further comprising a second injection step, for each first contact belonging to the second set, a second electric current passing through the first contact considered and the emitting structure corresponding to said first contact, and a second step of observing, through the first face, a radiation emitted by at least one emitting structure in response to the injection of the second electric current.
  • the first set comprises a plurality of first sub-assemblies
  • the second assembly comprising a plurality of second sub-assemblies
  • the first contacts of each first or second sub-assembly being arranged along a specific line of said sub-assembly, each clean line extending in a first direction on the first face, the clean lines being parallel to each other and offset with respect to each other in a second direction perpendicular to the first direction, the clean lines of the first and second sub-assemblies being alternated in the second direction.
  • the forming step further comprises the formation of a first connection area and a second connection area on the first face, the first connection area being electrically connected to each first conductor, the second area of connection being electrically connected to each second conductor, each first electric current being injected via the first connection pad, each second electric current being injected via the second connection pad.
  • the withdrawal step includes the withdrawal of each second conductor
  • each first contact belongs to the first or the second set.
  • the emitted radiation is observed through the first face.
  • each emitting structure comprises a light-emitting diode, each first electrical contact being in particular electrically connected to a cathode of the light-emitting diode.
  • the set of light emitters has a single second contact common to all light emitters.
  • the set of light emitters has a plurality of second contacts.
  • At least two second contacts, in particular all of the second contacts, are electrically connected to each other.
  • the second observation step includes a step of detecting a defective emitting structure.
  • the first observation step comprises the measurement, for each first contact, of a light intensity of a radiation passing through the first face in a zone surrounding the first contact, and the detection of a defective emitting structure when the intensity measured light is strictly below a predetermined threshold.
  • the detection step comprises storing, in a memory, information relating to the positioning of at least one defective transmitter structure.
  • the method comprises a step of separating the light emitters from one another and a step of discarding each defective light emitter as a function of the stored information.
  • the method further comprises a step of providing a control circuit, and a step of connecting the first electrical contact and the second electrical contact of each light emitter to the control circuit.
  • connection step is carried out after the disposal step.
  • Figure 1 is a partial schematic sectional view of a first example of a set of light emitters according to the invention, each light emitter comprising at least one emitting structure and a first contact,
  • Figure 2 is an enlarged sectional view of a light emitter of Figure 1, showing in particular an example of an emitting structure,
  • FIG. 4 is a flowchart of the steps of a method of manufacturing the first example of a set of light emitters, comprising a step of forming the first contacts,
  • Figure 5 is a partial schematic sectional view of the assembly of light emitters at the end of the training step
  • Figure 6 is a front view of the light emitter assembly of Figure 1 after the training step, showing the first contacts
  • Figure 7 is a view similar to Figure 6, in the case of a second example of a manufacturing process
  • Figure 8 is a view similar to Figure 6, in the case of a third example of a manufacturing process
  • Figure 9 is a view similar to Figure 2 corresponding to another example of a set of light emitters.
  • Figure 10 is a front view of the light emitter assembly of Figure 9, in their condition after the training step.
  • a first example of a set of light emitters 10 is shown in Figure 1.
  • the light emitter assembly 10 includes, for example, a plate 11 having each light emitter 10.
  • the plate 11 includes, for example, a substrate 12 carrying each light emitter 10.
  • the plate 11 has a first face 20 and a second face 22.
  • the first face 20 and the second face 22 delimit the plate 11 in a direction normal to the plate 11.
  • a holding device also called a "handle” provided to allow the gripping of the plate 11 by an operator or a robot is attached to the plate 11.
  • the holding device is removably attached to the second side 22.
  • Each light emitter 10 is configured to emit a first radiation.
  • Each first radiation includes a first set of electromagnetic waves.
  • a wavelength is defined for each electromagnetic wave.
  • Each first set corresponds to a first range of wavelengths.
  • the first range of wavelengths is the group formed by the set of wavelengths of the first set of electromagnetic waves.
  • a first average wavelength is defined for each first range of wavelengths.
  • Each first radiation is, in particular, visible radiation.
  • First radiation with a first average wavelength between 400 nanometers (nm) and 800 nm is an example of visible light.
  • the set of light emitters 10 is, for example, intended to be integrated into a display screen.
  • each light emitter 10 is provided to form part of an image element 15, also called a “pixel” from the English “Picture Element”, or “sub-pixel” when the light emitter 10 is designed to emit one color among different colors that a same pixel is configured to emit.
  • the light emitters 10 of the set of light emitters 10 are, for example, intended to be integrated into a single display screen. In this case, all of the light emitters 10 and the substrate 12 which carries them are, in particular, integrated together with the display screen. In this case, the relative positioning of the light emitters 10 with respect to each other is not changed when the light emitters 10 are integrated into the screen.
  • the light emitters 10 are designed to be separated from one another, for example by a cutout of the substrate 12, and then individually integrated into one or more separate screens.
  • the same set of light emitters 10 is likely to include light emitters 10 integrated into separate screens, and / or the relative positioning of the light emitters 10 with respect to each other is likely to be. modified when the light emitters 10 are integrated into the screen (s).
  • Each pixel 15 groups together one or more light emitters 10 neighboring one another. For example, when the screen is a monochrome screen, each pixel 15 has a unique light emitter 10.
  • each pixel 15 comprises several light emitters 10, at least one of the light emitters 10 being configured to emit a first radiation having an average wavelength different from the average wavelengths of the others. light emitters 10 of the same pixel 15.
  • At least one of the light emitters 10 is configured to emit a first blue radiation, at least one of the light emitters 10 is configured to emit a first green radiation, and at least one of the light emitters 10 is configured to emit a first red radiation.
  • a first blue radiation has, for example, an average wavelength between 430 nm and 495 nm.
  • a first green radiation has, for example, an average wavelength of between 500 nm and 560 nm.
  • a first red radiation has, for example, an average wavelength between 580 nm and 700 nm.
  • each pixel 15 has four light emitters 10.
  • one of the light emitters 10 is configured to emit a first blue radiation
  • one of the light emitters 10 is configured to emit a first radiation.
  • green and the other two light emitters 10 are each configured to emit a first red radiation.
  • the number of light emitters 10 of each pixel 15 may vary.
  • each first radiation is identical to the other first rays.
  • each first radiation is blue radiation, or else ultraviolet radiation.
  • each pixel 15 comprises, for at least one of the light emitters 10, a light converter.
  • the light converter is made of a conversion material.
  • the conversion material is configured to convert the first radiation emitted by the light emitter 10 into a second radiation.
  • the conversion material is configured to be excited by the first radiation and to emit the second radiation in response.
  • the second radiation has a second range of wavelengths.
  • the second track is separate from the first track.
  • the second place has a second average wavelength, the second average wavelength being different from the first average wavelength.
  • the second average wavelength is, in particular, strictly greater than the first average wavelength.
  • the conversion material is, for example, a semiconductor material.
  • the conversion material is a non-semiconductor material such as doped yttrium-aluminum garnet.
  • the conversion material can be an inorganic phosphorus.
  • Yttrium-aluminum garnet-based particles for example, YAG: Ce
  • aluminum-terbium garnet-based particles for example, TAG, (for example, TAG: Ce)
  • silicate-based particles for example, SrBaSi04: Eu
  • particles based on sulphides eg SrGa2S4: Eu, SrS: Eu, CaS: Eu, etc.
  • nitride-based particles eg, Sr2Si5N8: Eu, Ba2Si5N8: Eu, etc.
  • oxynitride-based particles eg Ca-a-SiAION: Eu, SrSi202N2: Eu, etc.
  • fluoride-based particles eg, K 2 SiF6: Mn, Na2SiF6: Mn, etc.
  • K 2 SiF6: Mn, Na2SiF6: Mn, etc. are examples of inorganic phosphors.
  • conversion materials such as doped aluminates, doped nitrides, doped fluorides, doped sulfides, or doped silicates.
  • the conversion material is, for example, doped with rare earth elements, alkaline earth metal elements or transition metal elements.
  • Cerium is, for example, sometimes used for doping yttrium-aluminum garnets.
  • the light converter comprises, for example, a set of particles P made of the conversion material. These P particles are sometimes called "phosphors".
  • the substrate 12 is configured to carry each light emitter 10.
  • the substrate 12 is, for example, plane. In particular, the substrate 12 extends in a plane perpendicular to a normal direction N.
  • the substrate 12 has a third face 25.
  • the first face 20 is a face of the substrate 12.
  • the substrate 12 is delimited in the normal direction N by the first face 20 and by the third face 25.
  • Each of the first face 20 and of the third face 25 is, for example, planar.
  • the substrate 12 is, for example, made at least partially of an electrically insulating material.
  • the electrically insulating material is, for example, Al203, SiN, or even SiC> 2.
  • Each light emitter 10 comprises an emitting structure 30, a first contact 35 and a second contact 40.
  • Each emitting structure 30 is carried by the third face 25.
  • each emitting structure 30 extends from the third face 25 in the normal direction N.
  • the emitting structures 30 of the different light emitters 10 form, for example, a two-dimensional network in a plane perpendicular to the normal direction N, for example a square mesh network.
  • the mesh is hexagonal, triangular, or even rectangular.
  • Each emitter structure 30 is, for example, a semiconductor structure.
  • semiconductor structure is understood to mean any structure made up at least partially of a semiconductor material.
  • a stack of semiconductor layers stacked along the normal direction N is an example of a semiconductor structure.
  • Such a structure is often referred to as a "two-dimensional structure”.
  • a three-dimensional semiconductor structure or a set of three-dimensional semiconductor structures are other examples of semiconductor structures.
  • a lateral dimension is defined for each emitting structure 30.
  • the lateral dimension is the maximum dimension of an outline surrounding the emitting structure 30 in a plane perpendicular to the normal direction N, while not surrounding any part of another emitting structure. 30.
  • the lateral dimension is less than or equal to 20 microns ( ⁇ m).
  • the lateral dimension is less than or equal to 10 ⁇ m. In one embodiment, the lateral dimension is less than or equal to 5 ⁇ m.
  • Each emitting structure 30 is configured to emit the first radiation from the light emitter 10 containing the emitting structure 30.
  • each emitting structure is an LED structure.
  • each emitting structure 30 is configured to emit the first radiation when the emitting structure 30 is traversed by an electric current, as will be explained in more detail below.
  • FIG. 1 An example of a light emitter 10 comprising an emitting structure 30 is shown in Figure 2.
  • the emitting structure 30 is, for example, a three-dimensional semiconductor structure. It should be noted that in possible variants, the emitting structure 30 is a two-dimensional structure.
  • the light emitter 10 comprises a plurality of three-dimensional emitting structures 30, these emitting structures 30 being in particular identical to each other.
  • the emitting structure 30 extends from the third face 25 along the normal N direction.
  • the emitting structure 30 is, for example, a microfilament.
  • the emitting structure 30 includes a core 45 and a cover layer 50.
  • Core 45 acts as either an n-doped layer or a p-doped layer.
  • the core 45 is made of a semiconductor material referred to as "core semiconductor material" in the following.
  • the core semiconductor material is n doped.
  • the core semiconductor material is, for example, GaN.
  • Core 45 is configured to support cover layer 50.
  • Core 45 extends from third face 25 along the normal direction N. In particular, core 45 is electrically connected to substrate 12.
  • the core 45 extends, for example, through an electrically insulating layer 55 covering part of the third face 25.
  • the core 45 is, for example, a cylinder.
  • a cylindrical surface is a surface made up of all points on all lines that are parallel to a line and that pass through a fixed planar curve in a plane that is not parallel to the line.
  • a solid bounded by a cylindrical surface and two parallel planes is called a "cylinder".
  • a cylinder has a uniform cross section along the direction in which the cylinder extends.
  • the cross section of the core 45 is polygonal.
  • the cross section is hexagonal.
  • the shape of the core 45 may vary, for example if the emitting structure 30 is not a microfilament.
  • a diameter is defined for the core 45.
  • the diameter is, in the case of a cylindrical core 45, the maximum distance between two points of the core 45 which are diametrically opposed in a plane perpendicular to the normal direction N.
  • the diameter of the core is measured between two opposite angles of the hexagon.
  • the diameter of the core 45 is between 10 nm and 5 ⁇ m.
  • a length measured along the normal direction N is defined for the core 45.
  • the length is between 10 nm and 100 ⁇ m.
  • the core 45 has an upper face and a side face.
  • the upper face delimits the core 45 along the normal direction N.
  • the upper face is perpendicular to the normal direction N.
  • the lateral face surrounds the core 45 in a plane perpendicular to the normal direction N.
  • the side face extends between the top face and the substrate 12.
  • the side face has a set of plane facets.
  • the cover layer 50 at least partially covers the core 45.
  • the cover layer 50 at least partially covers the upper face. of the nucleus.
  • the cover layer 50 completely covers the upper face.
  • the cover layer 50 at least partially covers the upper face and at least partially the side face.
  • the cover layer 50 completely surrounds the core 45 in a plane perpendicular to the normal direction N. In other words, the cover layer 50 forms a shell around the core 45.
  • the cover layer 50 comprises at least an emitting layer 60 and a doped layer 65.
  • Each emitting layer 60 is configured to emit the first radiation when electric current passes through the emitting structure 30.
  • Each emitting layer 60 is interposed between the core 45 and the doped layer 65.
  • Each emitting layer 60 is made of a semiconductor material.
  • the cover layer 50 comprises a stack of emitting layers 60 interposed between the core 45 and the doped layer 65.
  • Each emitting layer 60 is, for example, a quantum well.
  • the thickness of each emitting layer 60 is, at any point of the emitting layer 60, between 1 nm and 200 nm.
  • these emitting layers are, in particular, separated from each other by semiconductor barrier layers, each barrier layer having a band gap value strictly greater than the band gap value of the emitting layers between which the barrier layer is interposed.
  • each emitting layer 60 is measured, at any point of the emitting layer 60, along a direction perpendicular to the surface of the core 45 at the point on the surface of the core 45 which is closest to the point of the emitting layer 60 considered.
  • each emitting layer 60 at a point on the emitting layer 60 that is aligned with a point on the core 45 along the normal direction N is measured along the normal direction N.
  • the thickness of each emitter layer 60 at a point of emitter layer 60 that is aligned in a plane perpendicular to the direction normal with a point of core 45 is measured along a direction perpendicular to the facet closest to core 45.
  • Each emitting layer 60 is, for example, made of InGaN.
  • the doped layer 65 at least partially covers the emitting layer (s)
  • the doped layer 65 is made of a semiconductor material.
  • the doped layer 65 acts as an n-doped layer or a p-doped layer of the LED structure.
  • the doping type (n or p) of the doped layer 65 is opposed to the type of doping (p or n) in the core 45.
  • the doped layer 65 is p doped.
  • the doped layer 65 is, for example, made of GaN.
  • first face 20 is used to designate the face of the plate 11 which carries the first contacts 35.
  • each first contact 35 is placed opposite the emitting structure 30 belonging to the same light emitter 10 as the first contact 35.
  • the first contact 35 is aligned with the emitting structure 30 in the normal direction N.
  • the first contacts 35 form a two-dimensional network on the first face 20, as visible in FIG. 3.
  • the first contacts 35 form a two-dimensional square mesh network.
  • the mesh is hexagonal, triangular, or even rectangular.
  • first contacts 35 are arranged along a set of clean lines LP, each clean line LP extending in a first direction D1.
  • the first direction D1 is, in particular, common to all the LP own lines.
  • the clean lines LP are offset with respect to each other in a second direction D2.
  • the second direction D2 is perpendicular to the first direction D1.
  • Each first contact 35 is electrically connected to the corresponding transmitter structure 30.
  • the first contact 35 is electrically connected to the emitting structure 30 by an electrical conductor 70 received in a conduit passing through the substrate 12 in the normal direction N.
  • each first contact 35 is electrically connected to a cathode of the emitting structure 30.
  • each first contact 35 is electrically connected to an n-doped zone of the emitting structure 30, in particular to the core 45.
  • each first contact 35 is electrically connected to an anode of the emitting structure 30.
  • each first contact 35 is electrically. connected to a p-doped zone of the emitting structure 30, in particular to the doped layer 65.
  • Each first contact 35 is electrically isolated from the other first contacts 35.
  • a distance, in a plane perpendicular to the normal direction N, between two neighboring first contacts 35 is between 0.5 ⁇ m and 1 millimeter (mm).
  • a coverage rate of the first face 20 by the first contacts 35 is defined.
  • the coverage rate is the ratio between, in the numerator, the total area of the first contacts 35 and, in the denominator, the area of a portion of the first face 20 delimited by a closed contour surrounding each first contact 35 in a plane perpendicular to the normal direction N and tangent to the first contacts 35 which are arranged on a perimeter of all of the first contacts 35.
  • the coverage rate is between 1% and 99%.
  • the coverage rate is between 15% and 80%.
  • Each first contact 35 is made of an electrically conductive material.
  • each first contact 35 is, for example, made of a material suitable for reflecting the first radiation.
  • each first contact 35 is made of a metallic material.
  • each first contact 35 is made of aluminum.
  • other electrically conductive materials are likely to be considered, including silver, copper, gold, titanium, nickel, tantalum and tungsten.
  • each first contact 35 is in the shape of an irregular pentagon. It should be noted that the shape of the first contacts 35 may vary.
  • Each first contact 35 has a thickness, measured in the normal direction N, of between 50 nm and 100 ⁇ m.
  • Each second contact 40 is, for example, disposed on the first face 20.
  • the second contact is disposed on the third face 25.
  • Each second contact 40 is configured so that when an electric potential difference is applied between the first contact 35 and the second contact 40, an electric current passes through the emitting structure 30.
  • the electric current passes through the core 45, the or the emitting layer (s) 60 and the doped layer 65.
  • Each second contact 40 is, for example electrically connected to the cover layer 50, in particular to the doped layer 65. In this case, the second contact 40 is electrically connected to an anode of the emitting structure 30.
  • each second contact 40 is electrically connected to the cover layer 50 by a connection layer 72.
  • the connection layer 72 is made of an electrically conductive material.
  • the connection layer 72 is made of a transparent material.
  • the connection layer 72 is made of indium tin oxide (also called ITO).
  • ITO indium tin oxide
  • the connection layer 72 covers, for example, at least partially the cover layer 50 and the insulating layer 55 and is electrically connected to the second contact 40 through the substrate 12.
  • the connection layer 72 has, for example, a thickness of between 10 nm and 2 ⁇ m.
  • the second contact 40 is, for example, common to each of the light emitters 10 of the same pixel 15, as visible in FIG. 3.
  • each second contact 40 is placed between the four first contacts 35 corresponding to four emitters. light 10 of the same pixel 15.
  • the location of the second contact 40 relative to the first contacts 35 is likely to vary.
  • the second contact 40 is common to each of the light emitters 10 of the set of light emitters 10.
  • the set of light emitters 10 comprises, for example, a single second contact. 40.
  • each light emitter 10 comprises a second contact 40 distinct from the second contacts 40 of the other light emitters 10.
  • Each second contact 40 is, for example, electrically connected to each other second contact 40 of the assembly of. light emitters 10.
  • the connection layer 72 is common to each of the light emitters 10 of the set of light emitters 10.
  • the connection layer 72 covers the entire insulating layer 55. and the entirety of each cover layer 50.
  • the connection layer 72 is, in particular, a conformal layer deposited on the emitting structures 30 and the insulating layer 55 after the manufacture of the emitting structures 30 and of the insulating layer. 55.
  • Each second contact 40 is made of an electrically conductive material, for example of a metallic material.
  • each second contact 40 is made of aluminum.
  • other electrically conductive materials are likely to be considered, including silver, gold, titanium, copper, nickel, tantalum and tungsten.
  • each second contact 40 is made of the same material (s) as each first contact 35.
  • each light emitter 10 comprises, for example, a layer 75, each emitting structure 30 being embedded in the layer 75.
  • each connection layer 72 is interposed between layer 75 and substrate 12, and between emitting structure 30 and layer 75.
  • Layer 75 is made of an electrically insulating material such as, for example, SiN or Si0.
  • Layer 75 has, in particular, a height greater than or equal to the height of each emitting structure 30, measured in the normal direction N.
  • the second face 22 is, for example, one face of the layer 75.
  • the layer 75 is then delimited in the normal direction N by the second and third faces 22 and 25.
  • FIG. 4 represents a flowchart of the steps of this manufacturing process.
  • the method comprises a supply step 100 and a manufacturing step 110.
  • the substrate 12 and the emitting structures 30 carried by the substrate 12 are supplied.
  • the substrate 12, carrying the electrically insulating layer 55 is inserted into a material deposition chamber, and the emitting structures 30 are formed on the substrate 12 by material deposition techniques.
  • the substrate 12 is provided in the form of a plate supporting the electrically insulating layer 55, the emitting structures 30 and, optionally, the layer 75, then being formed on the third face 25, then the substrate 12 is refined so as to reveal the first face 20.
  • the substrate 12 has, after refining, a thickness of between 100 nm and 1 mm.
  • the refining is, in particular, carried out via a mechanical or mechanochemical polishing method, or even by reactive ionic etching.
  • the electrically insulating layer 55 has, in particular, a set of holes through which the third face 25 is visible, and intended to allow the formation of the cores 45 on the third face 25 while preventing the growth of the material constituting the core on the layer. electrically insulating 55.
  • each core 45 is formed, the emitting layer (s) 60 and the doped layer 65 then being formed on the core 45.
  • vapor deposition by an organometallic chemical process is a means of obtaining emitting structures 30.
  • this means makes it possible to obtain cores 45 of microwires, in particular when the material is selectively deposited in the holes of the electrically insulating layer 55.
  • MOCVD deposition is also called “MOVPE”, which means “vapor phase epitaxy by organometallic chemical process”.
  • CVD chemical vapor deposition
  • MBE molecular beam epitaxy
  • GSMBE gas source MBE
  • MOMBE organometallic molecular beam epitaxy
  • PAMBE assisted plasma
  • ALE atomic layer epitaxy
  • HVPE hydride vapor phase epitaxy
  • the first contacts 35 and the second contacts 40 are manufactured.
  • the manufacturing step 110 includes a forming step 120, a first injection step 130, a first observation step 140, and a removal step 150.
  • the manufacturing step 110 further comprises a second injection step 160 and a second observation step 170.
  • each first contact 35 is formed on the first face 20.
  • each second contact 40 is further formed on the first face 20.
  • At least a first conductor 80A is formed on the first face 20, for example a set of first conductors 80A.
  • at least a first connection pad 82A is also formed.
  • a third contact 85 is further formed.
  • Each first contact 35 is, for example, formed by depositing, on the first face 20, one or more electrically conductive layers 87 superimposed in the normal direction N.
  • each first contact 35, each first conductor 80A, and, optionally, each second contact 40, each third contact 85 and / or the first connection pad 82A are formed by depositing this or these electrically conductive layer or layers 87.
  • Each electrically conductive layer 87 is made of the electrically conductive material (s) intended to form each first contact 35, each first conductor 80A, and, optionally, each second contact 40, each third contact 85 and / or the first connection pad 82A.
  • the electrically conductive layer or layers 87 are deposited by a vacuum deposition technique, for example by vacuum evaporation.
  • the manufacturing step 120 comprises the deposition, on the first face 20, of a first mask at least partially covering the first face 20, and delimiting a set of visible portions of the first face 20.
  • the material or materials intended to form each first contact 35, each first conductor 80A and, optionally, each second contact 40, the third contact 85 and / or the first connection pad 82A, are then deposited on the first mask and on the visible portions.
  • the first mask is then removed, for example by plasma etching or by chemical dissolution in a solvent bath.
  • the materials deposited on the visible portions form at least each first contact 35, each first conductor 80A and, optionally, each second contact 40, the third contact 85 and / or the first connection pad 82A, while that the materials deposited on the first mask are removed with the first mask.
  • each first contact 35, each first conductor 80A, and, optionally, each second contact 40, the third contact 85 and / or the first connection pad 82A has a thickness common to each first contact 35, each first conductor 80A, and, optionally, at each second contact 40, at the third contact 85 and / or the first connection pad 82A.
  • first contacts 35 formed at the end of the forming step 120, a first set of first contacts 35.
  • first set is formed by each of the first contacts 35 which is. electrically connected to a first electrical conductor 80A.
  • the first set includes at least two of the first contacts 35. According to the example of Figure 6, each of the first contacts 35 belongs to the first set.
  • the first contacts 35 of the first set are distributed into a plurality of first sub-assemblies 90.
  • each first sub-assembly 90 groups together all the first contacts 35 which are arranged along the same specific line LP.
  • a first sub-assembly 90 is in particular identified in FIG. 6 by a dotted frame.
  • the first electrical conductors 80A electrically connect the first contacts 35 of the first set to each other.
  • the set of first electrical conductors 80A is configured to transmit an electrical current from each first contact 35 of the first set to each other first contact 35 of the first set.
  • Each first electrical conductor 80A extends, for example, between two first contacts 35 of the first set. According to one embodiment, at least a first electrical conductor 80A extends between a first contact 35 of the first set and the first connection pad 82A.
  • first electrical conductor 80A is in contact with these two elements and is configured to carry an electric current between these two elements.
  • each first contact 35 of the first set is electrically connected to at least one other first contact 35 of the same first sub-assembly 90 by one or more first electrical conductors 80A.
  • a first electrical conductor 80A extends between each first contact 35 of the first set and each first contact 35 belonging to the same first sub-assembly 90 and adjacent to the first contact 35 considered.
  • each first contact 35 is electrically connected by the first electrical conductors 80A to each other first contact 35 of the same first sub-assembly 90, either directly by a first electrical conductor 80A extending between the two first contacts 35 considered, or via one or a plurality of first contact (s) 35 and the first conductor (s) 80A which extends between these first contacts 35.
  • Each first electrical conductor 80A extends in an extension direction, which is for example the first direction D1, between two first contacts 35 of the first set.
  • the first electrical conductor 80A has a width, measured in a direction perpendicular to the normal direction N and to the direction of extension, of between 50 nm and 100 ⁇ m.
  • the first connection area 82A is carried by the first face 20.
  • the first connection area 82A is electrically isolated from each second contact 40.
  • the first connection pad 82A is electrically connected to each first contact 35 of the first set.
  • the first connection pad 82A is electrically connected to a first contact 35 of each first sub-assembly 90 by a first conductor 80A which extends between the first connection pad 82 and this first contact 35. Since each first contact 35 of each first sub-assembly 90 is electrically connected to the other first contacts 35 of the same first sub-assembly 90 by first conductors 80A, the first connection pad 82A is electrically connected to each first contact 35 of the first assembly.
  • each first contact 35 of the first set is electrically connected to each other first contact 35 of the first set by the first conductors 80A, where appropriate via one or a plurality of other first contacts 35 and / or via the first connection pad 82A.
  • each first conductor 80A extends in the first direction D1 from the first connection area 82, and is interposed in the second direction D2 between two rows of first contacts 35, each row extending in the first direction D1. The first conductor 80A is then connected to each of the first contacts 35 of these two rows.
  • the first connection area 82A is provided to allow a power source to be connected to each of the first contacts 35 of the first set via the first conductor (s) 80A.
  • the first connection area 82A has an area of between 10 ⁇ m 2 ... and 10 mm 2 .
  • the third electrical contact 85 is configured so that an electrical current flowing between the third electrical contact 85 and each first contact 35 passes through the emitting structure 30 corresponding to the first contact 35 considered.
  • the third electrical contact 85 is electrically connected to the connection layer 72.
  • the third electrical contact 85 is electrically connected to each second contact 40.
  • the third contact 85 is carried by the first face 20.
  • the third contact 85 is electrically connected to the doped layer 65 of each light emitter 10.
  • the third contact 85 extends through the substrate 12 and, optionally, through the electrically insulating layer 55, between the first face 20 and the layer 75.
  • the third contact 85 is connected to the bonding layer 72 and the first bonding pad 82A is connected to each first contact 35, the third contact 85 and the first bonding pad 82A, together, provide power to each transmitter of the transmitter. light 10.
  • the first connection pad 82 A and the third contact 85 together, surround the first set of first contacts 35.
  • the third contact 85, the first set of first contacts 35 and the first connection place 82A are aligned in this order in the first direction D1.
  • a first electric current is injected through each first contact 35 of the first set.
  • a power supply source is electrically connected to the first connection pad 82A and to the third contact 85 so as to generate a potential difference between the first connection pad 82A and the third contact 85.
  • the potential difference is generated between the first connection pad 82A and one or a plurality of second contact (s) 40. This is in particular the case when each second contact 40 is electrically. connected to each of the other second contacts 40, for example via the connection layer 72.
  • one of the second contacts 40 is electrically connected to the electrical source.
  • the potential difference is greater than or equal to 3.5 volts (V).
  • Each first electric current passes successively through the first connection pad 82, at least a first conductor 80A, the first contact 35 considered and the emitting structure 30 associated with this first contact 35.
  • the first electric current also passes through at least one. another first contact 35 and at least one other first conductor 80A which form part of an electrically conductive path connecting the first connection pad 82A to said first contact 35.
  • each first contact 35 of the first set and the emitting structure 30 associated with this first contact 35 are each traversed by the corresponding first current.
  • Each first current is a current intended to cause the emission of the first radiation by the emitting structure 30 through which this first current passes.
  • the first current has an intensity.
  • the intensity is, in particular, such that each emitting structure 30 is crossed by a current density greater than or equal to 0.05 amperes per square centimeter (A / cm 2 ).
  • the intensity is modified during the first injection step.
  • the intensity is increased from a first value to a second value.
  • the first value is, for example, a nominal value at which each emitting structure 30 is intended to emit the first radiation.
  • the first value corresponds, for example, to a current density of between 0.05 A / cm 2 and 1 A / cm 2 .
  • the second value is strictly greater than the first value, for example, greater than or equal to 105 percent (%) of the first value.
  • the emitting structure 30 of at least one light emitter 10 is capable of emitting the corresponding first radiation.
  • each emitting structure 30 emits the corresponding first radiation.
  • At least one emitting structure 30 connected to a first contact 35 of the first set does not emit the first radiation, or emits a first radiation having a very low light intensity compared to the light intensity of the other emitting structures.
  • Such an emitting structure 30 is considered to be defective.
  • each first emitted radiation passes through the substrate 12 in the normal direction N and passes through the first face 20.
  • at least part of this first radiation passes through the first face 20 and leaves the substrate 12 via a portion of the first face 20 which does not include any electrically conductive layer such as in particular the conductive layers 87 which form the first contacts 35 and the first conductors 80A.
  • the first conductors 80A and the first contacts 35 are configured to allow at least part of the first radiation to pass through the first face 20.
  • the rate of coverage of the first face 20 by the first contacts 35 and by the first conductors 80A is in particular strictly less than 100%.
  • the first observation step 140 part of the first radiation is observed through the first face 20.
  • the first observation step 140 is therefore carried out simultaneously with the first injection step 130.
  • an imager is placed opposite the first face 20 and acquires an image of the first face 20 when the first currents are injected through the first contacts 35.
  • the imager measures a spatial variation, on the first face 20, of a light intensity of the first observed radiation. For example, it is measured, for each first contact 35 of the first set, a total light intensity of a zone of the first face 20 centered on the first contact 35 considered.
  • the observation step 140 comprises, for example, the detection of a defective transmitter structure 30. For example, the light intensity of each zone is compared to a predetermined threshold, and it is determined that an emitting structure 30 is defective when the light intensity of the area centered on the first contact 35 of the emitting structure 30 is lower. or equal to the threshold.
  • a variation in the light intensity along a clean line LP, or even along a straight segment parallel to the second direction D2 is another method of observing the first radiation making it possible to detect a faulty transmitter structure 30.
  • the first range of wavelengths associated with the first radiation observed in the zone centered on each first contact 35 is determined. For example, a spectral study is performed in which the light intensity as a function of wavelength or photon energy is measured.
  • each first conductor 80A is removed.
  • each first conductor 80A is removed by etching.
  • Etching consists of exposing each first conductor 80A to a fluid such as a gas, a liquid, or even a plasma, so as to remove the material (s) making up the first conductor 80A.
  • each first conductor 80A that is to say the layer or layers 87 deposited during the forming step 120, are removed by etching.
  • Etching is, for example, plasma etching, or even wet chemical etching through a lithography mask.
  • a second mask for example made of a photosensitive resin, is deposited on the first face 20.
  • the second mask covers each first contact 35, and does not cover the first conductors 80A.
  • the first face 20 covered with the mask is exposed to the fluid so as to remove the exposed materials and to leave the materials unchanged, in particular the first contacts 35, protected by the second mask.
  • the emitting structures 30 of the first set are electrically connected in a simple manner to an electrical source since the associated first contacts 35 are electrically connected to each other.
  • a respective connector such as a wire or a tip.
  • a single such connector is sufficient, in contact with one of these first contacts 35, with one of the first conductors 80A or with the first contact pad 82A, to inject an electric current into each of the emitting structures 30 of the device. first set.
  • the light emitter assembly 10 is attached to a retainer so as to leave the first face 20 exposed to allow the deposition of the first contacts 35, so that the third face 25 , which is designed to allow radiation to pass during nominal operation of the light emitters 10, is not accessible.
  • the fact of observing the first radiation through the first face 20 then makes it possible to avoid having to unhook the entire holding device in order to observe the third face 25, which again makes the process faster.
  • the etching makes it possible to simply remove each of the first conductors 80A. It suffices in fact to design a second mask adapted to reveal each of the first conductors 80A and to cover each of the first contacts 35.
  • Measuring the light intensity of the area centered on a first contact 35 is a simple method of detecting a defective emitting structure 30.
  • At least a second set of first contacts 35, separate from the first set, is also defined.
  • a set of second conductors 80B is formed on the first face 20, and, optionally, a second contact pad 82B is formed on the first face 20.
  • the second conductors 80B and, optionally the second contact pad 82B are in particular produced simultaneously with the first conductors 80A via the deposition of one or more layers 87 of the same material or materials.
  • the second group includes all the first contacts 35 which are interconnected by second conductors 80B.
  • the second set includes at least two of the first contacts 35. It is understood by “disjoint” that no first contact 35 jointly belongs to the first. together and to the second set. Thus, no first contact 35 is electrically connected to a first conductor 80A and to a second conductor 80B. As a result, the first and second sets are electrically isolated from each other.
  • each first contact 35 belongs to the first set or to the second set.
  • a number of first contacts 35 in the first set is the same as a number of first contacts 35 in the second set.
  • Each first contact 35 of the second set is electrically isolated from each first contact 35 of the first set.
  • the first contacts 35 of the second set are distributed into a plurality of second sub-assemblies 95.
  • each second sub-assembly 95 groups together all the first contacts 35 which are arranged along the same specific line LP.
  • a second sub-assembly 95 is in particular identified in FIG. 7 by a dotted frame.
  • the clean lines LP of the first are-assemblies 90 and of the second sub-assemblies 95 are alternated in the second direction D2.
  • a single first sub-assembly 90 is interposed between each pair of second successive second sub-assemblies 95
  • a single second sub-assembly 95 is interposed between each pair of successive first sub-assemblies 95.
  • the second electrical conductors 80B electrically connect the first contacts 35 of the second set to each other.
  • the set of second electrical conductors 80B is configured to transmit an electrical current from each first contact 35 of the second set to every other first contact 35 of the second set.
  • Each second electrical conductor 80B extends, for example, between two first contacts 35 of the second set. According to one embodiment, at least a second electrical conductor 80B extends between a first contact 35 of the second set and the second connection pad 82B.
  • each first contact 35 of the second set is electrically connected to at least one other first contact 35 of the same second sub-assembly 95 by one or more second electrical conductors 80B.
  • a second electrical conductor 80B extends between each first contact 35 of the second set and each first contact 35 belonging to the same second sub-assembly 95 and adjacent to the first contact 35 considered.
  • each first contact 35 of the second set is electrically connected by the second electrical conductors 80B to each other first contact 35 of the same second sub-assembly 95, either directly via a second electrical conductor 80B extending between the two first contacts 35 considered, or via one or more first contact (s) 35 and the second conductor (s) 80B which extends between these first contacts 35.
  • Each second electrical conductor 80B extends in an extension direction, which is for example the first direction D1.
  • the second electrical conductor 80B has a width, measured in a direction perpendicular to the normal direction N and to the direction of extension, between 50 nm and 1 mm.
  • the second connection area 82B is carried by the first face 20.
  • the second connection pad 82B is electrically connected to each first contact 35 of the second set.
  • the second connection pad 82B is electrically connected to a first contact 35 of each second sub-assembly 95 by a second conductor 80B which extends between the second connection pad 82 and this first contact 35. Since each first contact 35 of each second sub-assembly 95 is electrically connected to the other first contacts 35 of the same second sub-assembly 95 by second conductors 80B, the second connection pad 82B is electrically connected to each first contact 35 of the second assembly.
  • each first contact 35 of the second set is electrically connected to each other first contact 35 of the second set by the second conductors 80B, where appropriate via one or a plurality of other first contacts 35 and / or via the second connection pad. 82B.
  • each first contact 35 is interposed in the first direction D1 between the first connection area 82A and the second connection area 82B.
  • the second connection pad 82B is provided to allow a power source to be connected to each of the first contacts 35 of the second set via the second conductor (s) 80B.
  • the first connection pad 82B has an area of between 10 ⁇ m 2 and 10 mm 2 .
  • the method includes a second injection step 160 and a second observation step 170.
  • a second electric current is injected through each first contact 35 of the second set.
  • the second injection step 160 is offset in time with respect to the first injection step 130.
  • no second current is injected simultaneously with a first current.
  • a power supply source is electrically connected to the second connection pad 82B and to the third contact 85 so as to generate a potential difference between the second connection pad 82B and the third contact 85.
  • the potential difference is greater than or equal to 3.5 V.
  • Each second electric current passes successively through the second connection pad 82B, at least one second conductor 80B, the first contact 35 considered and the emitting structure 30 associated with this first contact 35.
  • the first electric current also passes through at least one. another first contact 35 and at least one other second conductor 80B which form part of an electrically conductive path connecting the second connection pad 82B to said first contact 35.
  • each first contact 35 of the second set and the emitting structure 30 associated with this first contact 35 are each traversed by the corresponding second current.
  • Each second current is a current intended to cause the emission of the first radiation by the emitting structure 30 through which this second current passes.
  • the second current has an intensity.
  • the intensity corresponds to a current density greater than or equal to 0.05 A / cm 2 .
  • the intensity is modified during the second injection step 160.
  • the intensity is increased from a first value to a second value.
  • the emitting structure 30 of at least one light emitter 10 of the second set is capable of emitting the corresponding first radiation.
  • each emitting structure 30 emits the corresponding first radiation.
  • some emitting structures 30 are also likely to be defective and not emit the first radiation.
  • the first radiations emitted by the emitting structures 30 of the light emitters of the first set at least partially pass through the first face 20.
  • the second observation step 170 is therefore carried out simultaneously with the second injection step 160.
  • a defective emitting structure 30 is detected when a total light intensity of a zone of the first face 20 centered on the first contact 35 considered is less than or equal to the threshold.
  • each second conductor 80B is withdrawn simultaneously with the first conductors 80A.
  • the use of two sets of distinct first contacts 35 during the manufacturing step 110 makes it possible, during the injection 130, 160 and observation steps 140, 170, to supply only a part of the first contacts 35. , and therefore emitting structures 30, at the same time.
  • each first or second sub-assembly 90, 95 groups together the first contacts 35 arranged along the same specific line, these first or second sub-assemblies being alternated in the second direction D2, makes it possible to effectively detect a defective emitting structure, since this emitting structure 30 is surrounded, in the second direction D2, by two emitting structures 30 which are not supplied with power.
  • first contacts 35 are interposed between the two connection pads 82A and 82B, it is particularly easy to manufacture the first and second assemblies.
  • connection pads 82A, 82B to inject the first and / or second currents makes it possible to avoid damaging the first contacts 35 during these steps by applying a tip or a connection terminal to the power source. The subsequent contact between the first contacts 35 and the control circuit is then improved and the reliability of the screen obtained is improved.
  • each injection step 130, 160 is carried out with only two electrical connections, and is therefore particularly easy to carry out.
  • the observation of the radiation emitted through the first face makes it possible in particular to carry out the observation while the plate 11 and the assembly of light emitters 10 that it carries are attached to a handle limiting access to the second face 22.
  • each first sub-assembly 90 comprises each of the first contacts 35 which extend along two adjacent LP clean lines.
  • Each first conductor 80A extends between the two clean lines LP of a corresponding first sub-assembly 90 and is connected to each of the first contacts 35 arranged along these two clean lines.
  • each second sub-assembly 95 comprises each of the first contacts 35 which extend along two neighboring LP clean lines.
  • Each second conductor 80B extends between the two clean lines LP of a corresponding second sub-assembly 95 and is connected to each of the first contacts 35 arranged along these two clean lines.
  • first and second contacts 35, 40 on the first face 20 is liable to vary.
  • the first and second contacts 35, 40 form a square mesh network in which a pattern is repeated on the first face 20, each pattern comprising three first contacts 35 and a second contact 40 each arranged at a vertex of a square. It should be noted that other configurations are still possible.
  • each first contact 35 is connected to the anode of the corresponding emitting structure 30, as shown in Figure 9.
  • each first contact 35 is carried by the layer 75 and connected to the doped layer 65 of the corresponding emitting structure 30.
  • the first contact 35 is in contact with a portion of the doped layer 65 which is aligned with the core 45 in the normal direction N.
  • the first face 20 is one face of the layer 75.
  • the layer 75 is delimited by the first face 20 and by the third face 25.
  • the substrate 12 is then delimited in the normal direction N by the second face 22 and by the third face 25.
  • the coverage rate of the first contacts 35 is, for example, between 1% and 99%.
  • each second contact 40 is then, for example, carried by the second face 22.
  • each second contact 40 is common to each light emitter 10.
  • the second contact 40 is a layer covering the second face 22 and electrically. connected to the n-doped layer (s) of each emitting structure 30.
  • Each second contact 40 is, for example, made of aluminum.
  • the first contacts 35 are in particular connected to each other by first or second conductors 80A, 80B each extending in the first direction D1, as shown in FIG. 10.
  • emitting structures 30 have been described in the previous examples as being three-dimensional emitting structures, in particular microwires, other types of emitting structures 30 are likely to be envisaged.
  • each emitting structure is a two-dimensional structure formed by a stack of layers carried by the substrate 12.
  • each layer extends in a plane perpendicular to the normal direction N.
  • the layers are common to each issuing structure 30.
  • first and second sub-assemblies 90, 95 have been described in the case of a two-dimensional square mesh network formed by the first contacts 35. It should be noted that these sub-assemblies are also capable of being alternated. in the second direction D2 in the case of networks having a non-square mesh, for example a triangular, hexagonal, or even rectangular mesh.
  • each of the methods described above is capable of being implemented during a method of producing a display screen comprising a step of supplying a control circuit, a step of setting up a display screen. implementation of the manufacturing process, a separation step, a disposal step, and a connection step.
  • the display screen comprises a plurality of light emitters 10, for example grouped together in the form of pixels 15.
  • a control circuit for selectively powering a plurality of light emitters 10 is provided.
  • At least one light emitter 10 of the manufactured assembly is separated from at least one other light emitter 10.
  • the plate 11 is cut to separate at least one light emitter 10. of at least one other light emitter 10, for example of every other light emitter 10.
  • the light emitters 10 of the assembly are separated from each other so that each light emitter 10 is mechanically independent of each other light emitter 10.
  • the plate 11 is cut so as to separate the light emitters 10 from each other.
  • At least one pixel 15 is separated from at least one other pixel 15.
  • the plate 11 is cut to separate at least one pixel 15 from at least one other pixel 15, for example from each other.
  • the pixels 15 are separated from each other, for example by cutting the plate 11.
  • a pixel 15 separated from at least one other pixel 15 that the light emitters 10 of the pixel 15 considered are mechanically secured to each other but are not mechanically secured to the light emitters 10 of the other. pixel 15. This is for example obtained by cutting the plate 11 around the light emitters 10 of the pixel that it is desired to separate.
  • At least one light emitter 10 identified as defective during an observation step 140, 170 is discarded.
  • each light emitter 10 identified as defective is discarded.
  • each pixel 15 including at least one defective light emitter 10 is discarded.
  • each light emitter 10 or pixel 15 discarded is not taken into account for the implementation of the steps subsequent to the discarding step.
  • each discarded light emitter 10 or pixel 15 is isolated from non-defective light emitters 10 or pixels 15, discarded, or otherwise destroyed in the discard step.
  • the connect step can be carried out after the discard step and is therefore only carried out for light emitters 10 or pixels 15 not discarded.
  • At least one non-defective light emitter 10 is selected.
  • This light emitter 10 is, in particular, a light emitter 10 which has not been discarded.
  • This light emitter 10 is connected to the control circuit during the connection step.
  • the first contact 35 and the second contact 40 of the light emitter 10 are each connected, directly or indirectly, to a connection pad of the control circuit so that the control circuit is able to injecting an electric current into the emitting structure 30.
  • connection step at least one pixel 15 comprising only non-defective light emitters 10 is selected, each light emitter 10 of the selected pixel (s) 15 being connected to the control circuit during the connection step.
  • each of the first and second contacts 35, 40 of the set of non-discarded light emitters 10 is connected to a connection pad of the control circuit.
  • the light emitters 10 and / or the pixels 15 selected are connected to the control circuit to obtain a display screen or part of a display screen.
  • the second contacts 40 are received inside the substrate 12, in particular interposed between the first face 20 and the second face 22.
  • the contacts 35 and 40 are arranged on two levels of metal layers. distinct, the first contacts 35 being arranged on a level of metal layers external to the substrate 12 while the second contacts 40 are placed on a level of metal layers internal to the substrate 12.
  • the withdrawal step 150 is not implemented.
  • at least two first contacts 35 of two separate light emitters 10 are electrically connected to each other at the end of the implementation of the manufacturing process.
  • the light emitters 10 are not separated from each other.
  • the second contacts 40 are themselves electrically disconnected from each other and each connected to a separate electrode of the control circuit so as to control the light emitters 10 individually.
  • the injection steps 130, 160 and observation 140, 170 are, for example, implemented by a test device comprising the electric power source, the imager and an electronic control module.
  • the control module is configured to control the injection by the source of the first current and / or the second current during the injection steps 130 and 160.
  • control module is configured to receive from the imager the image (s) acquired during the first observation step 140 and / or the second observation step 170.
  • the control module is , in particular, configured to detect, from the image (s) received, at least one transmitting structure 30 defective during the first observation step 140 and / or the second observation step 170 .
  • control module is configured to store in a memory, during the first observation step 140 and / or the second observation step 170, at least one item of information relating to the position of each transmitting structure 30. faulty detected.
  • the information includes, for example, a set of spatial coordinates of the defective transmitter structure 30.
  • the information includes an identifier of the defective sending structure 30, for example a number of the defective sending structure 30.
  • the control module comprises, for example, in addition to the memory, a processor capable of executing software instructions stored in the memory to implement the steps of injection 130, 160 and observation 140, 170.
  • control module comprises, in addition to the memory, a set of dedicated integrated circuits and / or programmable logic components, this set being suitable for controlling the implementation of the injection 130, 160 and observation 140 steps. , 170.
  • connection layer 72 is also possible.
  • the fourth contacts 40 are connected to the third contact 85 by a set of conductors made of a metallic material. These conductors are, for example, incorporated into the plate 11 supplied during the supply step 100, or else manufactured on one or the other of the faces 20 and 22 during the manufacturing step 110.
  • the radiation emitted during the injection steps 130, 160 is likely to be observed through another face than the first face 20, in particular through the face 25.
  • DOPING Doping is defined as the presence, in a material, of impurities providing free charge carriers. Impurities are, for example, atoms of an element which is not naturally present in the material.
  • the doping is p-type.
  • a layer of gallium nitride, GaN is p-doped by adding magnesium (Mg) atoms.
  • the doping is n-type.
  • a layer of gallium nitride, GaN is n-doped by adding silicon (Si) atoms.
  • An LED structure is a semiconductor structure comprising several semiconductor areas forming a P-N junction and configured to emit light when an electric current flows through the different semiconductor areas.
  • a two-dimensional structure comprising an n-doped layer, a p-doped layer and at least one emitting layer is an example of an LED structure.
  • each emitting layer is interposed, along the normal direction N, between the n-doped layer and the p-doped layer.
  • each emitting layer has a band gap value that is strictly less than the band gap value of the n-doped layer and strictly less than the band gap value of the p-doped layer.
  • the n-doped layer and the p-doped layer are GaN layers, and each emitting layer is an InGaN layer.
  • the emitting layer is, for example, undoped. In other embodiments, the emitting layer is doped.
  • a quantum well constitutes a specific example of an emitting layer having a band gap value less than the band gap values of the n and p doped layers.
  • a quantum well is a structure in which quantum confinement occurs, in one direction, for at least one type of charge carriers.
  • the effects of quantum confinement occur when the dimension of the structure along this direction becomes comparable to or smaller than the De Broglie wavelength of the carriers, which are generally electrons and / or holes, leading to energy levels called “energy subbands”.
  • carriers can exhibit only discrete energy values but are generally able to move within a plane perpendicular to the direction in which confinement occurs.
  • the energy values available to carriers, also called “energy levels”, increase as the dimensions of the quantum well decrease along the direction in which confinement occurs.
  • the "De Broglie wavelength” is the wavelength of a particle when the particle is considered a wave.
  • the De Broglie wavelength of electrons is also called the “electron wavelength”.
  • the De Broglie wavelength of a charge carrier depends on the material of which the quantum well is made.
  • An emitter layer whose thickness is strictly less than the product of the electronic wavelength of the electrons in the semiconductor material that the emitter layer is made of and five is an example of a quantum well.
  • Another example of a quantum well is an emitting layer whose thickness is strictly less than the product of the De Broglie wavelength of excitons in the semiconductor material of which the emitting layer is made and five.
  • An exciton is a quasi-particle comprising an electron and a hole.
  • a quantum well often has a thickness of between 1 nm and 200 nm.
  • band gap value should be understood as the value of the band gap between the valence band and the conduction band of the material.
  • the band gap value is, for example, measured in electron volts (eV).
  • the valence band is defined as being, among the energy bands that are allowed for the electrons in the material, the band that has the highest energy while being completely filled at a temperature of 20 Kelvin or less ( K).
  • a first energy level is defined for each valence band.
  • the first energy level is the highest energy level in the valence band.
  • the conduction band is defined as being, among the energy bands which are allowed for the electrons in the material, the band which has the lowest energy while not being completely filled at a temperature less than or equal to 20 K.
  • a second energy level is defined for each conduction band.
  • the second energy level is the highest energy level in the conduction band.
  • each band gap value is measured between the first energy level and the second energy level of the material.
  • a semiconductor material is a material having a band gap value strictly greater than zero and less than or equal to 6.5 eV.
  • a direct bandgap semiconductor is an example of a semiconductor material.
  • a material is considered to have a “direct bandgap” when the minimum of the conduction band and the maximum of the valence band correspond to the same value of momentum of charge carriers.
  • a material is considered to have an "indirect band gap" when the minimum of the conduction band and the maximum of the valence band correspond to different values of momentum of charge carriers.
  • Each semiconductor material can be chosen, for example, from the set formed by semiconductors III-V, in particular nitrides of elements III, semiconductors II-VI, or even semiconductors. IV-IV.
  • III-V semiconductors include InAs, GaAs, AlAs and their alloys, InP, GaP, AIP and their alloys, and element III nitrides.
  • the II-VI semiconductors include in particular CdTe, HgTe, CdSe, HgSe, and their alloys.
  • IV-IV semiconductors include Si, Ge and their alloys in particular.
  • a three-dimensional structure is a structure that extends along a main direction.
  • the three-dimensional structure has a length measured along the main direction.
  • the three-dimensional structure also has a maximum lateral dimension measured along a lateral direction perpendicular to the principal direction, the lateral direction being the direction perpendicular to the principal direction along which the dimension of the structure is greatest.
  • the maximum lateral dimension is, for example, less than or equal to 10 micrometers (pm), and the length is greater than or equal to the lateral dimension maximum.
  • the maximum lateral dimension is advantageously less than or equal to 2.5 gm.
  • the maximum lateral dimension is, in particular, greater than or equal to 10 nm.
  • the length is greater than or equal to twice the maximum lateral dimension, for example it is greater than or equal to five times the maximum lateral dimension.
  • the main direction is, for example, the normal direction N.
  • the length of the three-dimensional structure is called "height" and the maximum dimension of the three-dimensional structure, in a plane perpendicular to the normal direction N, is less or equal to 10 ⁇ m.
  • the maximum dimension of the three-dimensional structure, in a plane perpendicular to the normal direction N, is often called "diameter" regardless of the shape of the cross-section of the three-dimensional structure.
  • each three-dimensional structure is a microfilament.
  • a microfilament is a cylindrical three-dimensional structure.
  • the micro-thread is a cylinder extending along the normal direction N.
  • the micro-thread is a cylinder with a circular base.
  • the diameter of the base of the cylinder is less than or equal to half the length of the microfilament.
  • a microfilament whose maximum lateral dimension is less than 1 ⁇ m is called a "nanowire".
  • Another example of a three-dimensional structure is a pyramid extending along the normal direction N from substrate 12.
  • Another example of a three-dimensional structure is a cone extending along the normal direction N.
  • a truncated cone or a truncated pyramid extending along the normal direction N is yet another example of a three-dimensional structure.

Abstract

L'invention concerne un procédé de fabrication d'un ensemble d'émetteurs de lumière comportant chacun une structure émettrice et un contact électrique (35), le procédé comportant des étapes de : - fourniture d'une plaque portant un ensemble de structures émettrices, chaque structure émettrice étant configurée pour émettre un premier rayonnement lorsqu'un courant électrique circule à travers la structure émettrice, et - fabrication, pour chaque structure émettrice, d'un contact électrique (35), les contacts (35) étant électriquement isolés les uns des autres. La fabrication comporte : - la formation d'un premier ensemble d'au moins deux contacts (35) et d'au moins un conducteur (80A), les contact (35) du premier ensemble étant connectés électriquement entre eux par le ou les conducteur(s) (80A), - l'injection, pour chaque contact (35) appartenant au premier ensemble, d'un courant électrique traversant ledit contact (35) et la structure émettrice correspondante, et - l'observation d'un rayonnement émis en réponse à l'injection.

Description

TITRE : Procédé de fabrication d’un ensemble d’émetteurs de lumière
DOMAINE DE L’INVENTION
La présente invention concerne un procédé de fabrication d’un ensemble d’émetteurs de lumière. La présente invention concerne également un procédé de fabrication d’un écran associé.
CONTEXTE DE L’INVENTION
De nombreux écrans d’affichage comportent un ensemble d’émetteurs de lumière qui sont utilisés pour former l’image affichée sur l’écran. Ces émetteurs jouent chacun le rôle d’un élément d’image ou « pixel » (en particulier lorsque l’écran est monochrome), ou d’une portion d’un tel élément d’image, appelée « sous-pixel » (notamment lorsque l’écran est un écran couleur, chaque pixel comportant des sous-pixels de couleur différente dont l’allumage sélectif permet de modifier la couleur du pixel).
Ces émetteurs de lumière comportent en général une structure émettrice de lumière, telle qu’une diode électroluminescente ou un système de rétro-éclairage accompagné d’un cristal liquide, permettant d’émettre le rayonnement voulu, et des contacts électriques permettant de connecter la structure émettrice de lumière à un circuit de commande de manière à alimenter électriquement la structure émettrice lorsqu’il est désiré que le rayonnement associé soit émis. Ainsi, les contacts sont nécessairement isolés électriquement les uns des autres, de manière à ce que les émetteurs de lumière puissent être commandés indépendamment.
Les émetteurs de lumière sont la plupart du temps produits simultanément sous forme d’une plaque comportant de multiples émetteurs de lumière, chaque contact étant porté par l’une des faces de la plaque. La plaque est alors soit utilisée telle quelle dans un écran d’affichage, soit découpée pour séparer les émetteurs les uns des autres, ces émetteurs étant ensuite intégrés chacun dans un écran ou un autre dispositif lumineux.
Cependant, il arrive fréquemment que des émetteurs ne présentent pas des performances optimales. Par exemple, des défauts apparus lors de la fabrication des émetteurs peuvent déboucher sur des émetteurs non fonctionnels. Dans d’autres cas, certains émetteurs nécessiteront des courants électriques présentant des intensités ou des tensions plus élevées que dans le cas des émetteurs présentant les performances nominales.
Il est difficile de détecter ces émetteurs anormaux aisément. Cette détection implique en général d’alimenter électriquement chaque émetteur et d’étudier son comportement lorsqu’il est alimenté, notamment de vérifier que le rayonnement attendu est effectivement émis, et quel courant électrique est nécessaire pour cela.
Cependant, puisque les émetteurs de lumière, et notamment leurs contacts électriques respectifs, sont électriquement isolés les uns des autres, cette détection est complexe à réaliser. En effet, la détection requiert alors de venir connecter chacun des émetteurs indépendants à une source d’alimentation correspondante. Cette étape est en général effectuée en fin du procédé de fabrication d’un écran, lorsque chacun des émetteurs est connecté au circuit de commande, puisque ce circuit est prévu pour alimenter chaque émetteur de lumière. Cependant, la détection est alors très tardive, ce qui fait que même un écran non-fonctionnel et finalement rejeté aura subi un grand nombre d’étapes avant d’être détecté.
Dans le cas où la détection serait effectuée en cours de fabrication, avant la connexion des émetteurs au circuit de commande, la mise en contact de chacun des contacts électriques avec un connecteur électrique, notamment une pointe de connexion, risque d’endommager un grand nombre de ces contacts et donc de diminuer la fiabilité du dispositif final, voire de générer dès la fin de la fabrication des défauts si certains des contacts endommagés sont rendus non-fonctionnels.
RÉSUMÉ DE L’INVENTION
Il existe donc un besoin pour un procédé de fabrication d’un ensemble d’émetteurs de lumière qui permette de détecter simplement un émetteur anormal à un stade précoce de la fabrication de cet ensemble.
A cet effet, il est proposé un procédé de fabrication d’un ensemble d’émetteurs de lumière comportant chacun une structure émettrice de lumière, un premier contact électrique et un deuxième contact électrique, le procédé comportant des étapes de :
- fourniture d’une plaque portant un ensemble de structures émettrices de lumière, la plaque comportant une première face et une deuxième face, la première face et la deuxième face délimitant la plaque selon une direction normale à la plaque, chaque structure émettrice étant configurée pour émettre un premier rayonnement lorsqu’un courant électrique circule à travers la structure émettrice, et
- fabrication, pour chaque structure émettrice, d’un premier contact électrique et d’un deuxième contact électrique, le premier contact étant disposé sur la première face, le premier contact et le deuxième contact étant configurés pour que, lorsqu’une différence de potentiel électrique est imposée entre le premier contact et le deuxième contact, un courant électrique traverse la structure émettrice, les premiers contacts étant électriquement isolés les uns des autres. L’étape de fabrication comporte :
- une étape de formation, sur la première face, de chaque premier contact et d’au moins un premier conducteur, un premier ensemble d’au moins deux premiers contacts étant défini, chaque premier contact du premier ensemble étant connecté électriquement à chaque autre premier contact du premier ensemble par le ou les premier(s) conducteur(s),
- une première étape d’injection, pour chaque premier contact appartenant au premier ensemble, d’un premier courant électrique traversant ledit premier contact et la structure émettrice correspondant audit premier contact, et
- une première étape d’observation d’un rayonnement émis par au moins une structure émettrice en réponse à l’injection du premier courant électrique.
Grâce à l’invention, les structures émettrices du premier ensemble sont électriquement connectées de manière simple à une source électrique puisque les premiers contacts associés sont électriquement connectés les uns aux autres. Ainsi, il n’est pas nécessaire de connecter individuellement chaque premier contact du premier ensemble à la source électrique via un connecteur respectif tel qu’un fil ou une pointe. Il suffit d’un seul tel connecteur, en contact avec l’un de ces premiers contacts, avec l’un des premiers conducteurs ou avec la première plage de contact, pour injecter un courant électrique dans chacune des structures émettrices du premier ensemble.
En outre, les premiers contacts sont moins endommagés lors de chaque étape d’injection, puisqu’il n’est pas nécessaire d’appliquer un connecteur électrique contre chacun des premiers contacts: un seul connecteur électrique suffit pour alimenter chaque premier contact du premier ensemble. La connexion ultérieure de chaque premier contact avec un circuit de commande lorsque l’émetteur de lumière correspondant est intégré dans un dispositif lumineux est alors de meilleure qualité et la fiabilité du dispositif intégrant l’émetteur lumineux 10 est améliorée.
Selon des modes de réalisation particuliers, le procédé comporte une ou plusieurs des caractéristiques suivantes, prises isolément ou selon toutes les combinaisons techniquement possibles :
- le procédé comporte, en outre, suite à la première étape d’observation, une étape de retrait de chaque premier conducteur.
- l’étape de formation comporte le dépôt, sur la première face, d’une couche d’un matériau électriquement conducteur pour former chaque premier contact et chaque premier conducteur, chaque premier conducteur étant retiré, lors de l’étape de retrait, par gravure de ladite couche. - chaque premier contact est disposé en regard de la structure émettrice correspondante.
- il est défini, en outre, un deuxième ensemble de premiers contacts comportant au moins deux premiers contacts, le premier ensemble et le deuxième ensemble étant disjoints, l’étape de formation comportant la formation d’au moins un deuxième conducteur, chaque premier contact du deuxième ensemble étant électriquement connecté à chaque autre premier contact du deuxième ensemble par le ou les deuxième(s) conducteur(s), le procédé comportant, en outre, une deuxième étape d’injection, pour chaque premier contact appartenant au deuxième ensemble, d’un deuxième courant électrique traversant le premier contact considéré et la structure émettrice correspondant audit premier contact, et une deuxième étape d’observation, à travers la première face, d’un rayonnement émis par au moins une structure émettrice en réponse à l’injection du deuxième courant électrique.
- le premier ensemble comporte une pluralité de premiers sous-ensembles, le deuxième ensemble comportant une pluralité de deuxièmes sous-ensembles, les premiers contacts de chaque premier ou deuxième sous-ensemble étant disposés le long d’une ligne propre dudit sous-ensemble, chaque ligne propre s’étendant selon une première direction sur la première face, les lignes propres étant parallèles les unes aux autres et décalées les unes par rapport aux autres selon une deuxième direction perpendiculaire à la première direction, les lignes propres des premiers et des deuxièmes sous-ensembles étant alternées selon la deuxième direction.
- l’étape de formation comporte, en outre, la formation d’une première plage de connexion et d’une deuxième plage de connexion sur la première face, la première plage de connexion étant électriquement connectée à chaque premier conducteur , la deuxième plage de connexion étant électriquement connectée à chaque deuxième conducteur, chaque premier courant électrique étant injecté via la première plage de connexion, chaque deuxième courant électrique étant injecté via la deuxième plage de connexion.
- l’ensemble des premiers contacts est interposé entre la première plage de connexion et la deuxième plage de connexion selon la première direction,
- l’étape de retrait comporte le retrait de chaque deuxième conducteur,
- chaque premier contact appartient au premier ou au deuxième ensemble.
- lors de la première étape d’observation et/ou, le cas échéant, lors de la deuxième étape d’observation, le rayonnement émis est observé à travers la première face.
- la première étape d’injection et/ou le cas échéant la deuxième étape d’injection comporte la modification d’une intensité du premier courant entre une première valeur et une deuxième valeur strictement supérieure à la première valeur. - chaque structure émettrice comporte une diode électroluminescente, chaque premier contact électrique étant notamment électriquement connecté à une cathode de la diode électroluminescente.
- l’ensemble d’émetteurs de lumière comporte un unique deuxième contact commun à tous les émetteurs de lumière.
- l’ensemble d’émetteurs de lumière comporte une pluralité de deuxièmes contacts.
- au cours de la première étape d’injection et/ou, le cas échéant, la deuxième étape d’injection, au moins deux deuxièmes contacts, notamment tous les deuxièmes contacts, sont électriquement connectés entre eux.
- la première étape d’observation et/ou, le cas échéant, la deuxième étape d’observation comporte une étape de détection d’une structure émettrice défectueuse.
- la première étape d’observation comporte la mesure, pour chaque premier contact, d’une intensité lumineuse d’un rayonnement traversant la première face dans une zone entourant le premier contact, et la détection d’une structure émettrice défectueuse lorsque l’intensité lumineuse mesurée est strictement inférieure à un seuil prédéterminé.
- l’étape de détection comporte la mémorisation, dans une mémoire, d’une information relative au positionnement d’au moins une structure émettrice défectueuse.
- le procédé comporte une étape de séparation des émetteurs de lumière les uns des autres et une étape de mise au rebut de chaque émetteur de lumière défectueux en fonction des informations mémorisées.
- le procédé comporte, en outre, une étape de fourniture d’un circuit de commande, et une étape de connexion du premier contact électrique et du deuxième contact électrique de chaque émetteur de lumière au circuit de commande.
- l’étape de connexion est mise en oeuvre postérieurement à l’étape de mise au rebut.
BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS
Des caractéristiques et avantages de l’invention apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d’exemple non limitatif, et faite en référence aux dessins annexés, sur lesquels :
[Fig 1] la figure 1 est une vue en coupe schématique partielle d’un premier exemple d’ensemble d’émetteurs de lumière selon l’invention, chaque émetteur de lumière comportant au moins une structure émettrice et un premier contact,
[Fig 2] la figure 2 est une vue agrandie en coupe d’un émetteur de lumière de la figure 1 , faisant notamment apparaître un exemple de structure émettrice,
[Fig 3] la figure 3 est une vue d’une face de l’ensemble d’émetteurs de lumière de la figure 1 faisant apparaître les premiers contacts des émetteurs de lumière, [Fig 4] la figure 4 est un ordinogramme des étapes d’un procédé de fabrication du premier exemple d’ensemble d’émetteurs de lumière, comportant une étape de formation des premiers contacts,
[Fig 5] la figure 5 est une vue schématique partielle en coupe de l’ensemble d’émetteurs de lumière à l’issue de l’étape de formation,
[Fig 6] la figure 6 est une vue d’une face de l’ensemble d’émetteurs de lumière de la figure 1 à l’issue de l’étape de formation, faisant apparaître les premiers contacts,
[Fig 7] la figure 7 est une vue similaire à la figure 6, dans le cas d’un deuxième exemple de procédé de fabrication,
[Fig 8] la figure 8 est une vue similaire à la figure 6, dans le cas d’un troisième exemple de procédé de fabrication,
[Fig 9] la figure 9 est une vue similaire à la figure 2 correspondant à un autre exemple d’ensemble d’émetteurs de lumière, et
[Fig 10] la figure 10 est une vue d’une face de l’ensemble d’émetteurs de lumière de la figure 9, dans leur état à l’issue de l’étape de formation.
DESCRIPTION DÉTAILLÉE DES MODES DE RÉALISATION PRÉFÉRÉS
Un premier exemple d’ensemble d’émetteurs de lumière 10 est représenté sur la figure 1.
L’ensemble d’émetteurs de lumière 10 comprend, par exemple, une plaque 11 comportant chaque émetteur de lumière 10. La plaque 11 comporte, par exemple, un substrat 12 portant chaque émetteur de lumière 10.
La plaque 11 présente une première face 20 et une deuxième face 22. La première face 20 et la deuxième face 22 délimitent la plaque 11 selon une direction normale à la plaque 11.
En complément facultatif, un dispositif de maintien (également appelé « poignée ») prévu pour permettre la préhension de la plaque 11 par un opérateur ou un robot est fixé à la plaque 11. Par exemple, le dispositif de maintien est fixé de manière amovible à la deuxième face 22.
Chaque émetteur de lumière 10 est configuré pour émettre un premier rayonnement.
Chaque premier rayonnement comprend un premier ensemble d’ondes électromagnétiques.
Une longueur d’onde est définie pour chaque onde électromagnétique.
Chaque premier ensemble correspond à une première plage de longueurs d’onde. La première plage de longueurs d’onde est le groupe formé par l’ensemble des longueurs d’onde du premier ensemble d’ondes électromagnétiques. Une première longueur d’onde moyenne est définie pour chaque première plage de longueurs d’onde.
Chaque premier rayonnement est, notamment, un rayonnement visible. Un premier rayonnement dont la première longueur d’onde moyenne est comprise entre 400 nanomètres (nm) et 800 nm est un exemple de lumière visible.
L’ensemble d’émetteurs de lumière 10 est, par exemple, destiné à être intégré à un écran d’affichage. Dans ce cas, chaque émetteur de lumière 10 est prévu pour former une partie d’un élément d’image 15, également appelé « pixel » de l’anglais « Picture Elément », ou « sous-pixel » lorsque l’émetteur de lumière 10 est prévu pour émettre une couleur parmi différentes couleurs qu’un même pixel est configuré pour émettre.
Les émetteurs de lumière 10 de l’ensemble d’émetteurs de lumière 10 sont, par exemple, prévus pour être intégrés à un même écran d’affichage. Dans ce cas, l’ensemble des émetteurs de lumière 10 et le substrat 12 qui les porte sont, en particulier, intégrés conjointement à l’écran d’affichage. Dans ce cas, le positionnement relatif des émetteurs de lumière 10 les uns par rapport aux autres n’est pas modifié lorsque les émetteurs de lumière 10 sont intégrés dans l’écran.
Selon une variante, les émetteurs de lumière 10 sont prévus pour être séparés les uns des autres, par exemple par une découpe du substrat 12, et ensuite intégrés individuellement à un ou plusieurs écrans distincts. Dans ce cas, un même ensemble d’émetteurs de lumière 10 est susceptible de comporter des émetteurs de lumière 10 intégrés à des écrans distincts, et/ou le positionnement relatif des émetteurs de lumière 10 les uns par rapport aux autres est susceptible d’être modifié lorsque les émetteurs de lumière 10 sont intégrés dans le ou les écrans.
Chaque pixel 15 regroupe un ou plusieurs émetteurs de lumière 10 voisins les uns des autres. Par exemple, lorsque l’écran est un écran monochrome, chaque pixel 15 comporte un unique émetteur de lumière 10.
Lorsque l’écran est un écran polychrome, chaque pixel 15 comporte plusieurs émetteurs de lumière 10, au moins un des émetteurs de lumière 10 étant configuré pour émettre un premier rayonnement présentant une longueur d’onde moyenne différente des longueurs d’onde moyenne des autres émetteurs de lumière 10 du même pixel 15.
En particulier, au moins un des émetteurs de lumière 10 est configuré pour émettre un premier rayonnement bleu, au moins un des émetteurs de lumière 10 est configuré pour émettre un premier rayonnement vert et au moins un des émetteurs de lumière 10 est configuré pour émettre un premier rayonnement rouge.
Un premier rayonnement bleu présente, par exemple, une longueur d’onde moyenne comprise entre 430 nm et 495 nm. Un premier rayonnement vert présente, par exemple, une longueur d’onde moyenne comprise entre 500 nm et 560 nm.
Un premier rayonnement rouge présente, par exemple, une longueur d’onde moyenne comprise entre 580 nm et 700 nm.
Dans le premier exemple, chaque pixel 15 comporte quatre émetteurs de lumière 10. Par exemple, l’un des émetteurs de lumière 10 est configuré pour émettre un premier rayonnement bleu, l’un des émetteurs de lumière 10 est configuré pour émettre un premier rayonnement vert et les deux autres émetteurs de lumière 10 sont chacun configuré pour émettre un premier rayonnement rouge.
Il est à noter que le nombre d’émetteurs de lumière 10 de chaque pixel 15 est susceptible de varier.
En variante, chaque premier rayonnement est identique aux autres premiers rayonnements. Par exemple, chaque premier rayonnement est un rayonnement bleu, ou encore un rayonnement ultraviolet.
En complément facultatif, chaque pixel 15 comporte, pour au moins un des émetteurs de lumière 10, un convertisseur de lumière.
De nombreux types de convertisseurs de lumière sont utilisés dans le domaine de l’éclairage, par exemple dans les tubes fluorescents. Ces convertisseurs de lumière sont souvent appelés « phosphores ».
Le convertisseur de lumière est constitué d’un matériau de conversion.
Le matériau de conversion est configuré pour convertir le premier rayonnement émis par l’émetteur de lumière 10 en un deuxième rayonnement. En d’autres termes, le matériau de conversion est configuré pour être excité par le premier rayonnement et pour émettre en réponse le deuxième rayonnement.
Le deuxième rayonnement présente une deuxième plage de longueurs d’onde. La deuxième plage est distincte de la première plage. En particulier, la deuxième place présente une deuxième longueur d’onde moyenne, la deuxième longueur d’onde moyenne étant différente de la première longueur d’onde moyenne. La deuxième longueur d’onde moyenne est, notamment, strictement supérieure à la première longueur d’onde moyenne.
Le matériau de conversion est, par exemple, un matériau semi-conducteur.
Selon d’autres modes de réalisation, le matériau de conversion est un matériau non semi-conducteur tel qu’un grenat d’yttrium-aluminium dopé.
En particulier, le matériau de conversion peut être un phosphore inorganique.
Les particules à base de grenat d’yttrium-aluminium (par exemple, YAG:Ce), les particules à base de grenat d’aluminium-terbium, TAG, (par exemple, TAG:Ce), les particules à base de silicates (par exemple, SrBaSi04:Eu), les particules à base de sulfures (par exemple, SrGa2S4:Eu, SrS:Eu, CaS:Eu, etc.), les particules à base de nitrures (par exemple, Sr2Si5N8:Eu, Ba2Si5N8:Eu, etc.), les particules à base d’oxynitrures (par exemple, Ca-a-SiAION:Eu, SrSi202N2:Eu, etc.), les particules à base de fluorures (par exemple, K2SiF6 :Mn, Na2SiF6 :Mn, etc.) sont des exemples de phosphores inorganiques.
De nombreux autres matériaux de conversion peuvent être utilisés, tels que les aluminates dopés, les nitrures dopés, les fluorures dopés, les sulfures dopés, ou les silicates dopés.
Le matériau de conversion est, par exemple, dopé au moyen d’éléments de terres rares, d’éléments de métaux alcalino-terreux ou d’éléments de métaux de transition. Le cérium est, par exemple, parfois utilisé pour le dopage de grenats d’yttrium-aluminium.
Le convertisseur de lumière comprend, par exemple, un ensemble de particules P réalisées en le matériau de conversion. Ces particules P sont parfois appelées « luminophores ».
Le substrat 12 est configuré pour porter chaque émetteur de lumière 10.
Le substrat 12 est, par exemple, plan. En particulier, le substrat 12 s’étend dans un plan perpendiculaire à une direction normale N.
Le substrat 12 présente une troisième face 25. En outre, la première face 20 est une face du substrat 12.
Le substrat 12 est délimité selon la direction normale N par la première face 20 et par la troisième face 25.
Chacune de la première face 20 et de la troisième face 25 est, par exemple, plane.
Le substrat 12 est, par exemple, réalisé au moins partiellement en un matériau électriquement isolant. Le matériau électriquement isolant est, par exemple, AI203, SiN, ou encore SiC>2.
Chaque émetteur de lumière 10 comporte une structure émettrice 30, un premier contact 35 et un deuxième contact 40.
Chaque structure émettrice 30 est portée par la troisième face 25. Par exemple, chaque structure émettrice 30 s’étend à partir de la troisième face 25 selon la direction normale N.
Les structures émettrices 30 des différents émetteurs de lumière 10 forment, par exemple, un réseau bidimensionnel dans un plan perpendiculaire à la direction normale N, par exemple un réseau à maille carrée. En variante, la maille est hexagonale, triangulaire, ou encore rectangulaire.
Chaque structure émettrice 30 est, par exemple, une structure semi-conductrice. Par l’expression « structure semi-conductrice », on entend toute structure constituée au moins partiellement d’un matériau semi-conducteur. Un empilement de couches semi-conductrices empilées le long de la direction normale N est un exemple de structure semi-conductrice. Une telle structure est souvent appelée « structure bidimensionnelle ».
Une structure semi-conductrice tridimensionnelle ou un ensemble de structures semi- conductrices tridimensionnelles constituent d’autres exemples de structures semi- conductrices.
Une dimension latérale est définie pour chaque structure émettrice 30. La dimension latérale est la dimension maximale d’un contour entourant la structure émettrice 30 dans un plan perpendiculaire à la direction normale N, tout en n’entourant aucune partie d’une autre structure émettrice 30.
La dimension latérale est inférieure ou égale à 20 microns (pm). Par exemple, la dimension latérale est inférieure ou égale à 10 pm. Dans un mode de réalisation, la dimension latérale est inférieure ou égale à 5 pm.
Chaque structure émettrice 30 est configurée pour émettre le premier rayonnement de l’émetteur de lumière 10 contenant la structure émettrice 30. Par exemple, chaque structure émettrice est une structure LED.
En particulier, chaque structure émettrice 30 est configurée pour émettre le premier rayonnement lorsque la structure émettrice 30 est traversée par un courant électrique, comme cela sera expliqué plus en détails ci-après.
Un exemple d’émetteur de lumière 10 comportant une structure émettrice 30 est représenté sur la figure 2.
La structure émettrice 30 est, par exemple, une structure semi-conductrice tridimensionnelle. Il est à noter que dans des variantes envisageables, la structure émettrice 30 est une structure bidimensionnelle.
Selon une autre variante, l’émetteur de lumière 10 comporte une pluralité de structures émettrices 30 tridimensionnelles, ces structures émettrices 30 étant notamment identiques les unes aux autres.
La structure émettrice 30 s’étend à partir de la troisième face 25 le long de la direction normale N.
La structure émettrice 30 est, par exemple, un microfil.
La structure émettrice 30 comprend un noyau 45 et une couche de couverture 50.
Le noyau 45 joue le rôle soit d’une couche dopée n, soit d’une couche dopée p. Le noyau 45 est constitué d’un matériau semi-conducteur appelé « matériau semi-conducteur de noyau » dans ce qui suit.
Par exemple, le matériau semi-conducteur de noyau est dopé n.
Le matériau semi-conducteur de noyau est, par exemple, GaN. Le noyau 45 est configuré pour supporter la couche de couverture 50.
Le noyau 45 s’étend à partir de la troisième face 25 le long de la direction normale N. En particulier, le noyau 45 est connecté électriquement au substrat 12.
Le noyau 45 s’étend, par exemple, à travers une couche électriquement isolante 55 recouvrant une partie de la troisième face 25.
Le noyau 45 est, par exemple, un cylindre.
Une surface cylindrique est une surface constituée de tous les points sur toutes les lignes qui sont parallèles à une ligne et qui passent par une courbe plane fixe dans un plan qui n’est pas parallèle à la ligne. Un solide délimité par une surface cylindrique et deux plans parallèles est appelé un « cylindre ». Lorsqu’il est dit qu’un cylindre s’étend dans une direction donnée, cette direction est parallèle à la ligne.
Un cylindre présente une section transversale uniforme le long de la direction dans laquelle le cylindre s’étend.
La section transversale du noyau 45 est polygonale. Par exemple, la section transversale est hexagonale.
Cependant, d’autres formes peuvent être envisagées pour la section transversale.
Il convient de remarquer que la forme du noyau 45 peut varier, par exemple si la structure émettrice 30 n’est pas un microfil.
Un diamètre est défini pour le noyau 45. Le diamètre est, dans le cas d’un noyau cylindrique 45, la distance maximale entre deux points du noyau 45 qui sont diamétralement opposés dans un plan perpendiculaire à la direction normale N.
Lorsque le noyau 45 présente une section hexagonale, le diamètre du noyau est mesuré entre deux angles opposés de l’hexagone.
Le diamètre du noyau 45 est compris entre 10 nm et 5 pm.
Une longueur mesurée le long de la direction normale N est définie pour le noyau 45. La longueur est comprise entre 10 nm et 100 pm.
Le noyau 45 présente une face supérieure et une face latérale.
La face supérieure délimite le noyau 45 le long de la direction normale N. Par exemple, la face supérieure est perpendiculaire à la direction normale N.
La face latérale entoure le noyau 45 dans un plan perpendiculaire à la direction normale N.
La face latérale s’étend entre la face supérieure et le substrat 12. Lorsque le noyau 45 présente une section polygonale, la face latérale présente un ensemble de facettes planes.
La couche de couverture 50 recouvre au moins partiellement le noyau 45. Par exemple, la couche de couverture 50 recouvre au moins partiellement la face supérieure du noyau. En particulier, la couche de couverture 50 recouvre complètement la face supérieure.
Dans l’exemple illustré dans la figure 2, la couche de couverture 50 recouvre au moins partiellement la face supérieure et au moins partiellement la face latérale.
Comme on peut le voir dans la figure 2, la couche de couverture 50 entoure complètement le noyau 45 dans un plan perpendiculaire à la direction normale N. En d’autres termes, la couche de couverture 50 forme une coquille autour du noyau 45.
La couche de couverture 50 comprend au moins une couche émettrice 60 et une couche dopée 65.
Chaque couche émettrice 60 est configurée pour émettre le premier rayonnement lorsque le courant électrique traverse la structure émettrice 30.
Chaque couche émettrice 60 est interposée entre le noyau 45 et la couche dopée 65.
Chaque couche émettrice 60 est réalisée en un matériau semi-conducteur.
Par exemple, la couche de couverture 50 comprend un empilement de couches émettrices 60 interposées entre le noyau 45 et la couche dopée 65.
Chaque couche émettrice 60 est, par exemple, un puits quantique. En particulier, l’épaisseur de chaque couche émettrice 60 est, en tout point de la couche émettrice 60, comprise entre 1 nm et 200 nm.
Lorsque plusieurs couches émettrices 60 superposées sont présentes, ces couches émettrices sont, notamment, séparées les unes des autres par des couches barrières semi- conductrices, chaque couche barrière présentant une valeur de bande interdite strictement supérieure à la valeur de bande interdite des couches émettrices entre lesquelles la couche barrière est interposée.
L’épaisseur de chaque couche émettrice 60 est mesurée, en tout point de la couche émettrice 60, le long d’une direction perpendiculaire à la surface du noyau 45 au niveau du point de la surface du noyau 45 qui est le plus proche du point de la couche émettrice 60 considérée.
Par exemple, l’épaisseur de chaque couche émettrice 60 en un point de la couche émettrice 60 qui est aligné avec un point du noyau 45 le long de la direction normale N est mesurée le long de la direction normale N. L’épaisseur de chaque couche émettrice 60 en un point de la couche émettrice 60 qui est aligné dans un plan perpendiculaire à la direction normale avec un point du noyau 45 est mesurée le long d’une direction perpendiculaire à la facette la plus proche du noyau 45.
Chaque couche émettrice 60 est, par exemple, réalisée en InGaN.
La couche dopée 65 recouvre au moins partiellement la ou les couches émettrices
60. La couche dopée 65 est réalisée en un matériau semi-conducteur.
La couche dopée 65 joue le rôle d’une couche dopée n ou d’une couche dopée p de la structure LED.
Le type de dopage (n ou p) de la couche dopée 65 est opposé au type de dopage (p ou n) dans le noyau 45. Par exemple, la couche dopée 65 est dopée p.
La couche dopée 65 est, par exemple, réalisée en GaN.
Chaque premier contact 35 est porté par la première face 20. Dans la suite de cette description, le terme « première face 20 » est utilisé pour désigner la face de la plaque 11 qui porte les premiers contacts 35.
En particulier, chaque premier contact 35 est disposé en regard de la structure émettrice 30 appartenant au même émetteur de lumière 10 que le premier contact 35. Par exemple, le premier contact 35 est aligné avec la structure émettrice 30 selon la direction normale N.
Il est à noter que des modes de réalisation dans lesquels il existe un décalage, dans un plan perpendiculaire à la direction normale N, entre la structure émettrice 30 et le premier contact 35 correspondant, sont également envisageables.
Les premiers contacts 35 forment un réseau bidimensionnel sur la première face 20, comme visible sur la figure 3.
Par exemple, les premiers contacts 35 forment un réseau bidimensionnel à maille carrée. En variante, la maille est hexagonale, triangulaire, ou encore rectangulaire.
En particuliers, les premiers contacts 35 sont disposés le long d’un ensemble de lignes propres LP, chaque ligne propre LP s’étendant selon une première direction D1. La première direction D1 est, notamment, commune à toutes les lignes propres LP.
Les lignes propres LP sont décalées les unes par rapport aux autres selon une deuxième direction D2. La deuxième direction D2 est perpendiculaire à la première direction D1 .
Chaque premier contact 35 est électriquement connecté à la structure émettrice 30 correspondante. Par exemple, le premier contact 35 est électriquement connecté à la structure émettrice 30 par un conducteur électrique 70 accueilli dans un conduit traversant le substrat 12 selon la direction normale N.
En particulier, chaque premier contact 35 est électriquement connecté à une cathode de la structure émettrice 30. Par exemple, chaque premier contact 35 est électriquement connecté à une zone dopée n de la structure émettrice 30, notamment au noyau 45.
En variante, chaque premier contact 35 est électriquement connecté à une anode de la structure émettrice 30. Par exemple, chaque premier contact 35 est électriquement connecté à une zone dopée p de la structure émettrice 30, notamment à la couche dopée 65.
Chaque premier contact 35 est électriquement isolé des autres premiers contacts 35. Par exemple, une distance, dans un plan perpendiculaire à la direction normale N, entre deux premiers contacts 35 voisins, est comprise entre 0,5 pm et 1 millimètre (mm).
Il est défini un taux de couverture de la première face 20 par les premiers contacts 35. Le taux de couverture est le rapport entre, au numérateur, la surface totale des premiers contacts 35 et, au dénominateur, la surface d’une portion de la première face 20 délimitée par un contour fermé entourant chaque premier contact 35 dans un plan perpendiculaire à la direction normale N et tangent aux premiers contacts 35 qui sont disposés sur un périmètre de l’ensemble des premiers contacts 35.
Le taux de couverture est compris entre 1% et 99%. Par exemple, le taux de couverture est compris entre 15 % et 80%.
Chaque premier contact 35 est réalisé en un matériau électriquement conducteur. En outre, chaque premier contact 35 est, par exemple, réalisé en un matériau propre à réfléchir le premier rayonnement.
Par exemple chaque premier contact 35 est réalisé en un matériau métallique. Par exemple, chaque premier contact 35 est réalisé en aluminium. Toutefois, d’autres matériaux électriquement conducteurs sont susceptibles d’être envisagés, notamment l’argent, le cuivre, l’or, le titane, le nickel, le tantale ou encore le tungstène.
Sur la figure 3, chaque premier contact 35 est en forme de pentagone irrégulier. Il est à noter que la forme des premiers contacts 35 est susceptible de varier.
Chaque premier contact 35 présente une épaisseur, mesurée selon la direction normale N, comprise entre 50 nm et 100 pm.
Chaque deuxième contact 40 est, par exemple, disposé sur la première face 20. En variante, le deuxième contact est disposé sur la troisième face 25.
Chaque deuxième contact 40 est configuré pour que, lorsqu’une différence de potentiel électrique est appliquée entre le premier contact 35 et le deuxième contact 40, un courant électrique traverse la structure émettrice 30. En particulier, le courant électrique traverse le noyau 45, la ou les couche(s) émettrice(s) 60 et la couche dopée 65.
Chaque deuxième contact 40 est, par exemple électriquement connecté à la couche de couverture 50, notamment à la couche dopée 65. Dans ce cas, le deuxième contact 40 est électriquement connecté à une anode de la structure émettrice 30.
Par exemple, chaque deuxième contact 40 est électriquement connecté à la couche de couverture 50 par une couche de connexion 72. La couche de connexion 72 est réalisée en un matériau électriquement conducteur. Par exemple la couche de connexion 72 est réalisée en un matériau transparent. En particulier, la couche de connexion 72 est réalisée en oxyde d’indium-étain (également appelé ITO). La couche de connexion 72 couvre, par exemple, au moins partiellement la couche de couverture 50 et la couche isolante 55 et est électriquement connectée au deuxième contact 40 à travers le substrat 12.
La couche de connexion 72 présente, par exemple, une épaisseur comprise entre 10 nm et 2 pm. Le deuxième contact 40 est, par exemple, commun à chacun des émetteurs de lumière 10 d’un même pixel 15, comme visible sur la figure 3. Par exemple, chaque deuxième contact 40 est disposé entre les quatre premiers contacts 35 correspondant à quatre émetteurs de lumière 10 d’un même pixel 15. Cependant, la localisation du deuxième contact 40 par rapport aux premiers contacts 35 est susceptible de varier. Selon une variante, le deuxième contact 40 est commun à chacun des émetteurs de lumière 10 de l’ensemble d’émetteurs de lumière 10. Dans ce cas, l’ensemble d’émetteurs de lumière 10 comporte, par exemple, un unique deuxième contact 40.
Selon une autre variante, chaque émetteur de lumière 10 comporte un deuxième contact 40 distinct des deuxièmes contacts 40 des autres émetteurs de lumière 10. Chaque deuxième contact 40 est, par exemple, électriquement connecté à chaque autre deuxième contact 40 de l’ensemble d’émetteurs de lumière 10. Par exemple, la couche de connexion 72 est commune à chacun des émetteurs de lumière 10 de l’ensemble d’émetteurs de lumière 10. En particulier, la couche de connexion 72 couvre l’intégralité de la couche isolante 55 et l’intégralité de chaque couche de couverture 50. Dans ce cas, la couche de connexion 72 est, notamment, une couche conforme déposée sur les structures émettrices 30 et la couche isolante 55 après la fabrication des structures émettrices 30 et de la couche isolante 55.
Chaque deuxième contact 40 est réalisé en un matériau électriquement conducteur, par exemple en un matériau métallique. Par exemple, chaque deuxième contact 40 est réalisé en aluminium. Toutefois, d’autres matériaux électriquement conducteurs sont susceptibles d’être envisagés, notamment l’argent, l’or, le titane, la cuivre, le nickel, le tantale ou encore le tungstène.
Selon un mode de réalisation particulier, chaque deuxième contact 40 est réalisé en le ou les même(s) matériaux(x) que chaque premier contact 35. Comme représenté sur la figure 2, chaque émetteur de lumière 10 comporte, par exemple, une couche 75, chaque structure émettrice 30 étant enchâssée dans la couche 75.
Dans ce cas, chaque couche de connexion 72 est interposée entre la couche 75 et le substrat 12, et entre la structure émettrice 30 et la couche 75.
La couche 75 est réalisée en un matériau électriquement isolant tel que, par exemple, SiN ou Si0 .
La couche 75 présente, en particulier, une hauteur supérieure ou égale à la hauteur de chaque structure émettrice 30, mesurée selon la direction normale N.
La deuxième face 22 est, par exemple, une face de la couche 75. La couche 75 est alors délimitée selon la direction normale N par les deuxième et troisième faces 22 et 25.
Un premier exemple de procédé de fabrication d’un ensemble d’émetteurs de lumière 10 va maintenant être décrit en référence à la figure 4, qui représente un ordinogramme des étapes de ce procédé de fabrication.
Le procédé comporte une étape de fourniture 100 et une étape de fabrication 110.
Lors de l’étape de fourniture 100, le substrat 12 et les structures émettrices 30 portées par le substrat 12 sont fournis.
Par exemple, le substrat 12, portant la couche électriquement isolante 55, est inséré dans une chambre de dépôt de matériaux, et les structures émettrices 30 sont formées sur le substrat 12 par des techniques de dépôt de matériaux.
Selon un mode de mise en oeuvre, le substrat 12 est fourni sous la forme d’une plaque supportant la couche électriquement isolante 55, les structures émettrices 30 et, optionnellement, la couche 75, étant ensuite formées sur la troisième face 25, puis le substrat 12 est affiné de manière à faire apparaître la première face 20.
En particulier, le substrat 12 présente, à l’issue de l’affinage, une épaisseur comprise entre 100 nm et 1 mm.
L’affinage est, en particulier, effectué via une méthode de polissage mécanique ou mécanochimique, ou encore par une gravure ionique réactive.
La couche électriquement isolante 55 présente, notamment, un ensemble de trous à travers lesquels la troisième face 25 est apparente, et destinés à permettre la formation des noyaux 45 sur la troisième face 25 tout en empêchant la croissance du matériau constituant le noyau sur la couche électriquement isolante 55.
En particulier, chaque noyau 45 est formé, la ou les couche(s) émettrice(s) 60 et la couche dopée 65 étant ensuite formées sur le noyau 45.
Par exemple, le dépôt en phase vapeur par procédé chimique organométallique (MOCVD) est un moyen permettant d’obtenir des structures émettrices 30. En particulier, ce moyen permet d’obtenir des noyaux 45 de microfils, notamment lorsque le matériau est déposé sélectivement dans les trous de la couche électriquement isolante 55.
Le dépôt MOCVD est également appelé « MOVPE », ce qui signifie « épitaxie en phase vapeur par procédé chimique organométallique ». D’autres procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) peuvent également être envisagés.
Toutefois, d’autres techniques de dépôt peuvent être utilisées, par exemple l’épitaxie par jets moléculaires (MBE), la MBE à source gazeuse (GSMBE), l’épitaxie par jets moléculaires organométallique (MOMBE), l’épitaxie par jets moléculaires assistée par plasma (PAMBE), l’épitaxie par couche atomique (ALE) ou l’épitaxie en phase vapeur aux hydrures (HVPE).
Lors de l’étape de fabrication 110 les premiers contacts 35 et les deuxièmes contacts 40 sont fabriqués.
L’étape de fabrication 110 comporte une étape de formation 120, une première étape d’injection 130, une première étape d’observation 140, et une étape de retrait 150.
Optionnellement, l’étape de fabrication 110 comporte, en outre, une deuxième étape d’injection 160 et une deuxième étape d’observation 170.
L’état de l’ensemble d’émetteurs de lumière 30 à l’issue de l’étape de formation 120 est montré sur la figure 5.
Lors de l’étape de formation 120, chaque premier contact 35 est formé sur la première face 20. Optionnellement, chaque deuxième contact 40 est, en outre, formé sur la première face 20.
En outre, au moins un premier conducteur 80A est formé sur la première face 20, par exemple un ensemble de premiers conducteurs 80A. Optionnellement, au moins une première plage de connexion 82A est également formée.
Selon un mode de réalisation, un troisième contact 85 est, en outre, formé.
Chaque premier contact 35 est, par exemple, formé par dépôt, sur la première face 20, d’une ou plusieurs couches 87 électriquement conductrices superposées selon la direction normale N. En particulier, chaque premier contact 35, chaque premier conducteur 80A, et, optionnellement, chaque deuxième contact 40, chaque troisième contact 85 et/ou la première plage de connexion 82A, sont formés par dépôt de cette ou ces couches électriquement conductrices 87.
Chaque couche électriquement conductrice 87 est réalisée en le ou les matériau(x) électriquement conducteur(s) destiné(s) à former chaque premier contact 35, chaque premier conducteur 80A, et, optionnellement, chaque deuxième contact 40, chaque troisième contact 85 et/ou la première plage de connexion 82A. Par exemple, la ou les couches électriquement conductrices 87 sont déposées par une technique de dépôt sous vide, par exemple par évaporation sous vide.
En particulier, l’étape de fabrication 120 comporte le dépôt, sur la première face 20, d’un premier masque recouvrant au moins partiellement la première face 20, et délimitant un ensemble de portions apparentes de la première face 20. Le ou les matériaux destinés à former chaque premier contact 35, chaque premier conducteur 80A et, optionnellement, chaque deuxième contact 40, le troisième contact 85 et/ou la première plage de connexion 82A, sont ensuite déposés sur le premier masque et sur les portions apparentes.
Le premier masque est ensuite retiré, par exemple par gravure plasma ou par dissolution chimique dans un bain de solvant.
Suite au retrait du premier masque, les matériaux déposés sur les portions apparentes forment au moins chaque premier contact 35, chaque premier conducteur 80A et, optionnellement, chaque deuxième contact 40, le troisième contact 85 et/ou la première plage de connexion 82A, tandis que les matériaux déposés sur le premier masque sont retirés avec le premier masque.
Ainsi, chaque premier contact 35, chaque premier conducteur 80A, et, optionnellement, chaque deuxième contact 40, le troisième contact 85 et/ou la première plage de connexion 82A, présente une épaisseur commune à chaque premier contact 35, chaque premier conducteur 80A, et, optionnellement, à chaque deuxième contact 40, au troisième contact 85 et/ou la première plage de connexion 82A.
Il est défini, pour les premiers contacts 35 formés à l’issue de l’étape de formation 120, un premier ensemble de premiers contacts 35. Comme il apparaîtra ci-dessous, le premier ensemble est formé par chacun des premiers contacts 35 qui est électriquement connecté à un premier conducteur électrique 80A.
Le premier ensemble regroupe au moins deux des premiers contacts 35. Selon l’exemple de la figure 6, chacun des premiers contacts 35 appartient au premier ensemble.
Les premiers contacts 35 du premier ensemble sont répartis en une pluralité de premiers sous-ensembles 90. Par exemple, chaque premier sous-ensemble 90 regroupe tous les premiers contacts 35 qui sont disposés le long d’une même ligne propre LP.
Un premier sous-ensemble 90 est notamment identifié sur la figure 6 par un cadre pointillé.
Les premiers conducteurs électriques 80A connectent électriquement les premiers contacts 35 du premier ensemble les uns aux autres. En d’autres termes, l’ensemble des premiers conducteurs électriques 80A est configuré pour transmettre un courant électrique depuis chaque premier contact 35 du premier ensemble jusqu’à chaque autre premier contact 35 du premier ensemble. Chaque premier conducteur électrique 80A s’étend, par exemple, entre deux premiers contacts 35 du premier ensemble. Selon un mode de réalisation, au moins un premier conducteur électrique 80A s’étend entre un premier contact 35 du premier ensemble et la première plage de connexion 82A.
Il est notamment entendu par « s’étendre entre » deux éléments que le premier conducteur électrique 80A est en contact avec ces deux éléments et est configuré pour transporter un courant électrique entre ces deux éléments.
Selon un mode de réalisation, chaque premier contact 35 du premier ensemble est électriquement connecté à au moins un autre premier contact 35 du même premier sous- ensemble 90 par un ou des premiers conducteurs électriques 80A.
Par exemple, un premier conducteur électrique 80A s’étend entre chaque premier contact 35 du premier ensemble et chaque premier contact 35 appartenant au même premier sous-ensemble 90 et voisin du premier contact 35 considéré. Ainsi, chaque premier contact 35 est électriquement connecté par les premiers conducteurs électriques 80A à chaque autre premier contact 35 du même premier sous-ensemble 90, soit directement par un premier conducteur électrique 80A s’étendant entre les deux premiers contacts 35 considérés, soit via un ou une pluralité de premier(s) contact(s) 35 et le ou les premier(s) conducteur(s) 80A qui s’étend(ent) entre ces premiers contacts 35.
Chaque premier conducteur électrique 80A s’étend selon une direction d’extension, qui est par exemple la première direction D1 , entre deux premiers contacts 35 du premier ensemble. Le premier conducteur électrique 80A présente une largeur, mesurée selon une direction perpendiculaire à la direction normale N et à la direction d’extension, comprise entre 50 nm et 100 pm.
La première plage de connexion 82A est portée par la première face 20.
La première plage de connexion 82A est électriquement isolée de chaque deuxième contact 40.
La première plage de connexion 82A est électriquement connectée à chaque premier contact 35 du premier ensemble. Par exemple, la première plage de connexion 82A est électriquement connectée à un premier contact 35 de chaque premier sous-ensemble 90 par un premier conducteur 80A qui s’étend entre la première plage de connexion 82 et ce premier contact 35. Puisque chaque premier contact 35 de chaque premier sous-ensemble 90 est électriquement connecté aux autres premiers contacts 35 du même premier sous- ensemble 90 par des premiers conducteurs 80A, la première plage de connexion 82A est électriquement connectée à chaque premier contact 35 du premier ensemble.
Ainsi, chaque premier contact 35 du premier ensemble est électriquement connecté à chaque autre premier contact 35 du premier ensemble par les premiers conducteurs 80A, le cas échéant via un ou une pluralité d’autres premiers contacts 35 et/ou via la première plage de connexion 82A.
Il est à noter que selon une variante envisageable, chaque premier conducteur 80A s’étend selon la première direction D1 à partir de la première plage de connexion 82, et est interposé selon la deuxième direction D2 entre deux rangées de premiers contacts 35, chaque rangée s’étendant selon la première direction D1 . Le premier conducteur 80A est alors connecté à chacun des premiers contacts 35 de ces deux rangées.
La première plage de connexion 82A est prévue pour permettre de connecter une source d’alimentation électrique à chacun des premiers contacts 35 du premier ensemble via le ou les premier(s) conducteur(s) 80A.
La première plage de connexion 82A présente une aire comprise entre 10 pm2... et 10 mm2.
Le troisième contact électrique 85 est configuré pour qu’un courant électrique circulant entre le troisième contact électrique 85 et chaque premier contact 35 traverse la structure émettrice 30 correspondant au premier contact 35 considéré. En particulier, le troisième contact électrique 85 est électriquement connecté à la couche de connexion 72. Par exemple, le troisième contact électrique 85 est électriquement connecté à chaque deuxième contact 40.
Le troisième contact 85 est porté par la première face 20. Le troisième contact 85 est électriquement connecté à la couche dopée 65 de chaque émetteur de lumière 10. Par exemple, le troisième contact 85 s’étend à travers le substrat 12 et, optionnellement, à travers la couche électriquement isolante 55, entre la première face 20 et la couche 75.
Puisque le troisième contact 85 est connecté à la couche de connexion 72 et la première plage de connexion 82A est connectée à chaque premier contact 35, le troisième contact 85 et la première plage de connexion 82A, ensemble, permettent d’alimenter électriquement chaque émetteur de lumière 10.
Selon un mode de réalisation, la première plage de connexion 82 A et le troisième contact 85, ensemble, encadrent le premier ensemble de premiers contacts 35.
Par exemple, le troisième contact 85, le premier ensemble de premiers contacts 35 et la première place de connexion 82A sont alignés dans cet ordre selon la première direction D1.
Lors de la première étape d’injection 130, un premier courant électrique est injecté à travers chaque premier contact 35 du premier ensemble.
Par exemple, une source d’alimentation électrique est électriquement connectée à la première plage de connexion 82A et au troisième contact 85 de manière à générer une différence de potentiel entre la première plage de connexion 82A et le troisième contact 85. Il est à noter que selon une variante, la différence de potentiel est générée entre la première plage de connexion 82A et un ou une pluralité de deuxième(s) contact(s) 40. Cela est notamment le cas lorsque chaque deuxième contact 40 est électriquement connecté à chacun des autres deuxièmes contacts 40, par exemple via la couche de connexion 72. Par exemple, l’un des deuxièmes contacts 40 est électriquement connecté à la source électrique.
Par exemple, la différence de potentiel est supérieure ou égale à 3,5 volts (V).
La présence de la différence de potentiel cause l’apparition de chaque premier courant électrique. Chaque premier courant électrique traverse, successivement, la première plage de connexion 82, au moins un premier conducteur 80A, le premier contact 35 considéré et la structure émettrice 30 associée à ce premier contact 35. Le premier courant électrique traverse, en outre au moins un autre premier contact 35 et au moins un autre premier conducteur 80A qui font partie d’un chemin électriquement conducteur reliant la première plage de connexion 82A audit premier contact 35.
Ainsi, chaque premier contact 35 du premier ensemble et la structure émettrice 30 associée à ce premier contact 35 sont chacun traversés par le premier courant correspondant.
Chaque premier courant est un courant prévu pour causer l’émission du premier rayonnement par la structure émettrice 30 traversée par ce premier courant.
Le premier courant présente une intensité. L’intensité est, notamment, telle que chaque structure émettrice 30 est traversée par une densité de courant supérieure ou égale à 0,05 ampère par centimètre carré (A/cm2).
Selon un mode de mise en oeuvre du procédé, l’intensité est modifiée au cours de la première étape d’injection. Par exemple, l’intensité est augmentée depuis une première valeur jusqu’à une deuxième valeur.
La première valeur est, par exemple, une valeur nominale à laquelle chaque structure émettrice 30 est prévue pour émettre le premier rayonnement. La première valeur correspond, par exemple, à une densité de courant comprise entre 0,05 A/cm2 et 1 A/cm2.
La deuxième valeur est strictement supérieure à la première valeur, par exemple, supérieure ou égale à 105 pourcents (%) de la première valeur.
En réponse à l’injection des premiers courants, la structure émettrice 30 d’au moins un émetteur de lumière 10 est susceptible d’émettre le premier rayonnement correspondant. Par exemple, chaque structure émettrice 30 émet le premier rayonnement correspondant.
Cependant, il peut arriver qu’au moins une structure émettrice 30 connectée à un premier contact 35 du premier ensemble n’émette pas le premier rayonnement, ou émette un premier rayonnement présentant une intensité lumineuse très faible par rapport à l’intensité lumineuse des autres structures émettrices. Une telle structure émettrice 30 est considérée comme défectueuse.
Au moins une partie de chaque premier rayonnement émis traverse le substrat 12 selon la direction normale N et traverse la première face 20. En particulier, au moins une partie de ce premier rayonnement traverse la première face 20 et quitte le substrat 12 par une portion de la première face 20 qui ne comporte aucune couche électriquement conductrice telle que notamment les couches conductrices 87 qui forment les premiers contacts 35 et les premiers conducteurs 80A.
En particulier, les premiers conducteurs 80A et les premiers contacts 35 sont configurés pour permettre à une partie au moins du premier rayonnement de traverser la première face 20. Le taux de couverture de la première face 20 par les premiers contacts 35 et par les premiers conducteurs 80A est notamment strictement inférieur à 100%.
Lors de la première étape d’observation 140, une partie du premier rayonnement est observée à travers la première face 20. La première étape d’observation 140 est donc mise en oeuvre simultanément à la première étape d’injection 130.
Par exemple, un imageur est placé en regard de la première face 20 et acquiert une image de la première face 20 lorsque les premiers courants sont injectés à travers les premiers contacts 35.
En particulier, l’imageur mesure une variation spatiale, sur la première face 20, d'une intensité lumineuse du premier rayonnement observé. Par exemple, il est mesuré, pour chaque premier contact 35 du premier ensemble, une intensité lumineuse totale d’une zone de la première face 20 centrée sur le premier contact 35 considéré.
L’étape d’observation 140 comporte, par exemple la détection d’une structure émettrice 30 défectueuse. Par exemple, l’intensité lumineuse de chaque zone est comparée à un seuil prédéterminé, et il est déterminé qu’une structure émettrice 30 est défectueuse lorsque l’intensité lumineuse de la zone centrée sur le premier contact 35 de la structure émettrice 30 est inférieure ou égale au seuil.
En variante, une variation de l’intensité lumineuse le long d’une ligne propre LP, ou encore le long d’un segment de droite parallèle à la deuxième direction D2, est une autre méthode d’observation du premier rayonnement permettant de détecter une structure émettrice 30 défectueuse.
Selon une variante, la première plage de longueurs d’onde associée au premier rayonnement observé dans la zone centrée sur chaque premier contact 35 est déterminée. Par exemple, il est effectué une étude spectrale dans laquelle est mesurée l’intensité lumineuse en fonction de la longueur d’onde ou de l’énergie photonique. Lors de l’étape de retrait 150, chaque premier conducteur 80A est retiré.
Par exemple, chaque premier conducteur 80A est retiré par gravure. La gravure consiste en l’exposition de chaque premier conducteur 80A à un fluide tel qu’un gaz, un liquide, ou encore un plasma, de manière à retirer le ou les matériau(x) composant le premier conducteur 80A.
En particulier la ou les couches 87 formant chaque premier conducteur 80A, c’est-à- dire la ou les couches 87 déposées au cours de l’étape de formation 120, sont retirées par gravure.
La gravure est, par exemple, une gravure par plasma, ou encore une gravure chimique par voie humide à travers un masque de lithographie.
En particulier, un deuxième masque, par exemple en une résine photosensible, est déposé sur la première face 20. Le deuxième masque recouvre chaque premier contact 35, et ne recouvre pas les premiers conducteurs 80A. Lors de la gravure, la première face 20 recouverte du masque est exposée au fluide de manière à retirer les matériaux exposés et à laisser inchangés les matériaux, notamment les premiers contacts 35, protégés par le deuxième masque.
Grâce à l’invention, les structures émettrices 30 du premier ensemble sont électriquement connectées de manière simple à une source électrique puisque les premiers contacts 35 associés sont électriquement connectés les uns aux autres. Ainsi, il n’est pas nécessaire de connecter individuellement chaque premier contact 35 du premier ensemble à la source électrique via un connecteur respectif tel qu’un fil ou une pointe. Il suffit d’un seul tel connecteur, en contact avec l’un de ces premiers contacts 35, avec l’un des premiers conducteurs 80A ou avec la première plage de contact 82A, pour injecter un courant électrique dans chacune des structures émettrices 30 du premier ensemble.
Cela est d’autant plus facile si le troisième contact 85 est électriquement connecté à chaque couche de couverture 50, puisqu’alors il n’est pas nécessaire de connecter parallèlement chaque deuxième contact 40 à la source électrique.
Ainsi, il est possible de déclencher simplement une émission lumineuse de chacune des structures émettrices 30, à une étape relativement précoce d’un procédé de fabrication d’un dispositif comportant un ou plusieurs émetteurs de lumière. En effet, il n’est pas nécessaire d’attendre que le ou les émetteurs de lumière 10 soient connectés au circuit de commande de ce dispositif. En particulier, il n’est pas nécessaire que les émetteurs de lumière 10 de l’ensemble aient été séparés les uns des autres puis électriquement connectés individuellement au circuit de commande.
Cela permet de détecter des structures émettrices 30 défectueuses, ou encore de mesurer un spectre du premier rayonnement de chaque structure émettrice 30 afin d’adapter en conséquence le dispositif auquel ces structures émettrices 30 seraient ensuite intégrées. Par exemple, il est envisageable de regrouper les émetteurs de lumière 10 entre eux pour former des pixels en fonction des spectres mesurés, par exemple afin d’assurer une bonne balance des blancs du pixel.
En outre, dans de nombreux procédés, l’ensemble d’émetteurs de lumières 10 est fixé à un dispositif de maintien de manière à laisser apparente la première face 20 pour permettre le dépôt des premiers contacts 35, ce qui fait que la troisième face 25, qui est prévue pour laisser passer le rayonnement lors du fonctionnement nominal des émetteurs de lumière 10, n’est pas accessible. Le fait d’observer le premier rayonnement à travers la première face 20 permet alors d’éviter de devoir décrocher l’ensemble du dispositif de maintien pour observer la troisième face 25, ce qui rend, encore, le procédé plus rapide.
L’augmentation, au cours de la première étape d’injection, de l’intensité des premiers courants depuis la première valeur jusqu’à la deuxième valeur, permet de détecter des structures émettrices 30 qui seraient susceptibles de ne pas fonctionner à la première valeur mais qui fonctionneraient à la deuxième valeur. De telles structures restent en effet susceptibles d’être utilisées dans des dispositifs, et il est intéressant de ne pas simplement les considérer comme défectueuses et s’en débarrasser.
La gravure permet de retirer simplement chacun des premiers conducteurs 80A. Il suffit en effet de concevoir un deuxième masque adapté pour laisser apparaître chacun des premiers conducteurs 80A et pour recouvrir chacun des premiers contacts 35.
La mesure de l’intensité lumineuse de la zone centrée sur un premier contact 35 est une méthode simple pour détecter une structure émettrice 30 défectueuse.
Un deuxième exemple de procédé de fabrication va maintenant être décrit. Les éléments identiques au premier exemple ne sont pas décrits à nouveaux, seules les différences dont mises en évidence.
Au cours de l’étape de formation 120 au moins un deuxième ensemble de premiers contacts 35, disjoint du premier ensemble, est également défini.
En outre, un ensemble de deuxièmes conducteurs 80B est formé sur la première face 20, et, optionnellement, une deuxième plage de contact 82B est formée sur la première face 20. Les deuxièmes conducteurs 80B et, optionnellement la deuxième plage de contact 82B sont notamment réalisés simultanément aux premiers conducteurs 80A via le dépôt d’une ou plusieurs couches 87 du ou des mêmes matériaux.
Le deuxième groupe regroupe tous les premiers contacts 35 qui sont reliés entre eux par des deuxièmes conducteurs 80B.
Le deuxième ensemble regroupe au moins deux des premiers contacts 35. Il est entendu par « disjoint » qu’aucun premier contact 35 n’appartient conjointement au premier ensemble et au deuxième ensemble. Ainsi, aucun premier contact 35 n’est électriquement connecté à un premier conducteur 80A et à un deuxième conducteur 80B. Il en résulte que les premier et deuxième ensembles sont électriquement isolés l’un de l’autre.
Selon un mode de réalisation, chaque premier contact 35 appartient au premier ensemble ou au deuxième ensemble. Par exemple, un nombre de premiers contacts 35 dans le premier ensemble est identique à un nombre de premiers contacts 35 dans le deuxième ensemble.
Chaque premier contact 35 du deuxième ensemble est électriquement isolé de chaque premier contact 35 du premier ensemble.
Les premiers contacts 35 du deuxième ensemble sont répartis en une pluralité de deuxièmes sous-ensembles 95. Par exemple, chaque deuxième sous-ensemble 95 regroupe tous les premiers contacts 35 qui sont disposés le long d’une même ligne propre LP.
Un deuxième sous-ensemble 95 est notamment identifié sur la figure 7 par un cadre pointillé.
Selon un mode de réalisation, les lignes propres LP des premiers sont-ensembles 90 et des deuxièmes sous-ensembles 95 sont alternées selon la deuxième direction D2. En d’autres termes, un unique premier sous-ensemble 90 est interposé entre chaque paire de deuxièmes sous-ensembles 95 successifs, et un unique deuxième sous-ensemble 95 est interposé entre chaque paire de premiers sous-ensembles 95 successifs.
Les deuxièmes conducteurs électriques 80B connectent électriquement les premiers contacts 35 du deuxième ensemble les uns aux autres. En d’autres termes, l’ensemble des deuxièmes conducteurs électriques 80B est configuré pour transmettre un courant électrique depuis chaque premier contact 35 du deuxième ensemble jusqu’à chaque autre premier contact 35 du deuxième ensemble.
Chaque deuxième conducteur électrique 80B s’étend, par exemple, entre deux premiers contacts 35 du deuxième ensemble. Selon un mode de réalisation, au moins un deuxième conducteur électrique 80B s’étend entre un premier contact 35 du deuxième ensemble et la deuxième plage de connexion 82B.
Selon un mode de réalisation, chaque premier contact 35 du deuxième ensemble est électriquement connecté à au moins un autre premier contact 35 du même deuxième sous- ensemble 95 par un ou des deuxièmes conducteurs électriques 80B.
Par exemple, un deuxième conducteur électrique 80B s’étend entre chaque premier contact 35 du deuxième ensemble et chaque premier contact 35 appartenant au même deuxième sous-ensemble 95 et voisin du premier contact 35 considéré. Ainsi, chaque premier contact 35 du deuxième ensemble est électriquement connecté par les deuxièmes conducteurs électriques 80B à chaque autre premier contact 35 du même deuxième sous- ensemble 95, soit directement par un deuxième conducteur électrique 80B s’étendant entre les deux premiers contacts 35 considérés, soit via un ou plusieurs premier(s) contact(s) 35 et le ou les deuxième(s) conducteur(s) 80B qui s’étend(ent) entre ces premiers contacts 35.
Chaque deuxième conducteur électrique 80B s’étend selon une direction d’extension, qui est par exemple la première direction D1. Le deuxième conducteur électrique 80B présente une largeur, mesurée selon une direction perpendiculaire à la direction normale N et à la direction d’extension, comprise entre 50 nm et 1 mm.
La deuxième plage de connexion 82B est portée par la première face 20.
La deuxième plage de connexion 82B est électriquement connectée à chaque premier contact 35 du deuxième ensemble. Par exemple, la deuxième plage de connexion 82B est électriquement connectée à un premier contact 35 de chaque deuxième sous- ensemble 95 par un deuxième conducteur 80B qui s’étend entre la deuxième plage de connexion 82 et ce premier contact 35. Puisque chaque premier contact 35 de chaque deuxième sous-ensemble 95 est électriquement connecté aux autres premiers contacts 35 du même deuxième sous-ensemble 95 par des deuxièmes conducteurs 80B, la deuxième plage de connexion 82B est électriquement connectée à chaque premier contact 35 du deuxième ensemble.
Ainsi, chaque premier contact 35 du deuxième ensemble est électriquement connecté à chaque autre premier contact 35 du deuxième ensemble par les deuxièmes conducteurs 80B, le cas échéant via un ou une pluralité d’autres premiers contacts 35 et/ou via la deuxième plage de connexion 82B.
Par exemple, chaque premier contact 35 est interposé selon la première direction D1 entre la première plage de connexion 82A et la deuxième plage de connexion 82B.
La deuxième plage de connexion 82B est prévue pour permettre de connecter une source d’alimentation électrique à chacun des premiers contacts 35 du deuxième ensemble via le ou les deuxième(s) conducteur(s) 80B.
La première plage de connexion 82B présente une aire comprise entre 10 pm2 et 10 mm2.
Le procédé comporte une deuxième étape d’injection 160 et une deuxième étape d’observation 170.
Lors de la deuxième étape d’injection 160, un deuxième courant électrique est injecté à travers chaque premier contact 35 du deuxième ensemble.
La deuxième étape d’injection 160 est décalée temporellement par rapport à la première étape d’injection 130. En particulier, aucun deuxième courant n’est injecté simultanément à un premier courant. Par exemple, une source d’alimentation électrique est électriquement connectée à la deuxième plage de connexion 82B et au troisième contact 85 de manière à générer une différence de potentiel entre la deuxième plage de connexion 82B et le troisième contact 85.
Par exemple, la différence de potentiel est supérieure ou égale à 3.5 V.
La présence de la différence de potentiel cause l’apparition de chaque deuxième courant électrique. Chaque deuxième courant électrique traverse, successivement, la deuxième plage de connexion 82B, au moins un deuxième conducteur 80B, le premier contact 35 considéré et la structure émettrice 30 associée à ce premier contact 35. Le premier courant électrique traverse, en outre au moins un autre premier contact 35 et au moins un autre deuxième conducteur 80B qui font partie d’un chemin électriquement conducteur reliant la deuxième plage de connexion 82B audit premier contact 35.
Ainsi, chaque premier contact 35 du deuxième ensemble et la structure émettrice 30 associée à ce premier contact 35 sont chacun traversé par le deuxième courant correspondant.
Chaque deuxième courant est un courant prévu pour causer l’émission du premier rayonnement par la structure émettrice 30 traversée par ce deuxième courant.
Le deuxième courant présente une intensité. L’intensité correspond à une densité de courant supérieure ou égale à 0,05 A/cm2.
Selon un mode de mise en oeuvre du procédé, l’intensité est modifiée au cours de la deuxième étape d’injection 160. Par exemple, l’intensité est augmentée depuis une première valeur jusqu’à une deuxième valeur.
En réponse à l’injection des deuxièmes courants, la structure émettrice 30 d’au moins un émetteur de lumière 10 du deuxième ensemble est susceptible d’émettre le premier rayonnement correspondant. Par exemple, chaque structure émettrice 30 émet le premier rayonnement correspondant. Toutefois, certaines structures émettrices 30 sont également susceptibles d’être défectueuses et de ne pas émettre le premier rayonnement.
De manière similaire à la première étape d’injection 130, les premiers rayonnements émis par les structures émettrices 30 des émetteurs de lumière du premier ensemble traversent au moins partiellement la première face 20.
Lors de la deuxième étape d’observation 170, ces premiers rayonnements sont observés. La deuxième étape d’observation 170 est donc mise en oeuvre simultanément à la deuxième étape d’injection 160.
En particulier, une structure émettrice 30 défectueuse est détectée lorsqu’une intensité lumineuse totale d’une zone de la première face 20 centrée sur le premier contact 35 considéré est inférieure ou égale au seuil. Lors de l’étape de retrait 150, chaque deuxième conducteur 80B est retiré simultanément aux premiers conducteurs 80A.
L’utilisation de deux ensembles de premiers contacts 35 distincts lors de l’étape de fabrication 110 permet, lors des étapes d’injection 130, 160 et d’observation 140, 170, de n’alimenter qu’une partie des premiers contacts 35, et donc des structures émettrices 30, à la fois.
Cela permet alors d’éviter que l’observation de la lumière traversant une zone centrée sur un premier contact 35 sur la première face 20 ne soit polluée par la présence d’un premier rayonnement émis par un autre premier contact 35 trop proche, en n’alimentant pas tous les premiers contacts 35.
Il s’avère qu’une disposition dans laquelle chaque premier ou deuxième sous- ensemble 90, 95 regroupe les premiers contacts 35 disposés le long d’une même ligne propre, ces premier ou deuxième sous-ensembles étant alternés selon la deuxième direction D2, permet de détecter efficacement une structure émettrice défectueuse, puisque cette structure émettrice 30 est encadrée, selon la deuxième direction D2, par deux structures émettrices 30 qui ne sont pas alimentées.
Lorsque les premiers contacts 35 sont interposés entre les deux plages de connexion 82A et 82B, il est particulièrement aisé de fabriquer les premier et deuxième ensembles.
L’utilisation des plages de connexion 82A, 82B pour injecter les premier et/ou deuxième courants permet d’éviter d’endommager lors de ces étapes les premiers contacts 35 par l’application d’une pointe ou d’une borne de connexion à la source d’alimentation électrique. Le contact ultérieur entre les premiers contacts 35 et le circuit de commande est alors amélioré et la fiabilité de l’écran obtenu est améliorée.
Lorsqu’une pluralité de deuxièmes contacts 40 sont électriquement connectés entre eux, notamment lorsque tous les deuxièmes contacts 40 sont électriquement connectés entre eux, les étapes d’injection 130, 160 sont rendues plus simples puisque le nombre de connexions électriques à réaliser entre l’alimentation électrique et les premiers et deuxièmes contacts 35, 40 est limité. Lorsque tous les deuxièmes contacts 40 sont électriquement connectés entre eux, chaque étape d’injection 130, 160 est mise en oeuvre avec seulement deux connexions électriques, et est donc particulièrement aisée à mettre en oeuvre.
L’observation des rayonnements émis à travers la première face permet notamment d’effectuer l’observation pendant que la plaque 11 et l’ensemble d’émetteurs de lumière 10 qu’elle porte sont fixés à une poignée limitant l’accès à la deuxième face 22.
Il est à noter que, bien que le procédé de fabrication a été décrit précédemment dans le cas où les premiers contacts 35 de chaque premier ou deuxième sous-ensemble 90 sont reliés les uns aux autres par des conducteurs 80A, 80B s’étendant selon la première direction D1 , d’autres configurations sont possibles.
Par exemple, comme représenté sur la figure 8, chaque premier sous-ensemble 90 comprend chacun des premiers contacts 35 qui s’étendent le long de deux lignes propres LP voisines. Chaque premier conducteur 80A s’étend entre les deux lignes propres LP d’un premier sous-ensemble 90 correspondant et est connecté à chacun des premiers contacts 35 disposés le long de ces deux lignes propres.
En outre, chaque deuxième sous-ensemble 95 comprend chacun des premiers contacts 35 qui s’étendent le long de deux lignes propres LP voisines. Chaque deuxième conducteur 80B s’étend entre les deux lignes propres LP d’un deuxième sous-ensemble 95 correspondant et est connecté à chacun des premiers contacts 35 disposés le long de ces deux lignes propres.
De plus, la disposition des premier et deuxième contacts 35, 40 sur la première face 20 est susceptible de varier.
Par exemple, comme représenté sur la figure 8, les premiers et deuxième contacts 35, 40 forment un réseau à maille carrée dans lequel un motif est répété sur la première face 20, chaque motif comportant trois premiers contacts 35 et un deuxième contact 40 disposés chacun à un sommet d’un carré. Il est à noter que d’autres configurations sont encore possibles.
Selon une autre variante, chaque premier contact 35 est connecté à l’anode de la structure émettrice 30 correspondante, comme représenté sur la figure 9.
Par exemple, chaque premier contact 35 est porté par la couche 75 et connecté à la couche dopée 65 de la structure émettrice 30 correspondante. En particulier, le premier contact 35 est en contact avec une portion de la couche dopée 65 qui est alignée avec le noyau 45 selon la direction normale N.
Dans ce cas, la première face 20 est une face de la couche 75. En particulier, la couche 75 est délimitée par la première face 20 et par la troisième face 25. Le substrat 12 est alors délimité selon la direction normale N par la deuxième face 22 et par la troisième face 25.
Dans ce cas, le taux de couverture des premiers contacts 35 est, par exemple, compris entre 1 % et 99 %.
Chaque deuxième contact 40 est alors, par exemple, porté par la deuxième face 22. Par exemple, chaque deuxième contact 40 est commun à chaque émetteur de lumière 10. En particulier, le deuxième contact 40 est une couche recouvrant la deuxième face 22 et électriquement connectée à la ou les couches dopées n de chaque structure émettrice 30.
Chaque deuxième contact 40 est, par exemple, réalisé en aluminium. Lors de l’étape de formation 120, les premiers contacts 35 sont notamment connectés les uns aux autres par des premiers ou deuxièmes conducteurs 80A, 80B s’étendant chacun selon la première direction D1 , comme représenté sur la figure 10.
Il est à noter que, bien que les structures émettrices 30 aient été décrites dans les exemples précédents comme étant des structures émettrices tridimensionnelles, notamment des microfils, d’autres types de structures émettrices 30 sont susceptibles d’être envisagés.
Par exemple, chaque structure émettrice est une structure bidimensionnelle formée d’un empilement de couches portées par le substrat 12. Dans ce cas, chaque couche s’étend dans un plan perpendiculaire à la direction normale N. En particulier, les couches sont communes à chaque structure émettrice 30.
De plus, les premier et deuxièmes sous-ensembles 90, 95 ont été décrits dans le cas d’un réseau bidimensionnel à maille carrée formé par les premiers contacts 35. Il est à noter que ces sous-ensembles sont également susceptibles d’être alternés selon la deuxième direction D2 dans le cas de réseaux présentant une maille non-carrée, par exemple une maille triangulaire, hexagonale, ou encore rectangulaire.
Il est à noter que chacun des procédés décrits précédemment est susceptible d’être mis en oeuvre au cours d’un procédé de production d’un écran d’affichage comportant une étape de fourniture d’un circuit de commande, une étape de mise en oeuvre du procédé de fabrication, une étape de séparation, une étape de mise au rebut, et une étape de connexion. L’écran d’affichage comporte une pluralité d’émetteurs de lumière 10, par exemple regroupés sous forme de pixels 15.
Lors de l’étape de fourniture du circuit de commande, un circuit de commande destiné à alimenter sélectivement une pluralité d’émetteurs de lumière 10 est fourni.
Lors de l’étape de séparation, au moins un émetteur de lumière 10 de l’ensemble fabriqué est séparé d’au moins un autre émetteur de lumière 10. Par exemple, la plaque 11 est découpée pour séparer au moins un émetteur de lumière 10 d’au moins un autre émetteur de lumière 10, par exemple de chaque autre émetteur de lumière 10.
En variante, les émetteurs de lumière 10 de l’ensemble sont séparés les uns des autres de manière à ce que chaque émetteur de lumière 10 soit indépendant mécaniquement de chaque autre émetteur de lumière 10. Par exemple, la plaque 11 est découpée de manière à séparer les émetteurs de lumière 10 les uns des autres.
Selon une autre variante, au moins un pixel 15 est séparé d’au moins un autre pixel 15. Par exemple, la plaque 11 est découpée pour séparer au moins un pixel 15 d’au moins un autre pixel 15, par exemple de chaque autre pixel 15. Les pixels 15 sont séparés les uns des autres, par exemple par découpage de la plaque 11.
Il est entendu par « un pixel 15 séparé d’au moins un autre pixel 15 » que les émetteurs de lumière 10 du pixel 15 considéré sont solidaires mécaniquement les uns des autres mais ne sont pas solidaires mécaniquement des émetteurs de lumière 10 de l’autre pixel 15. Cela est par exemple obtenu en découpant la plaque 11 autour des émetteurs de lumière 10 du pixel que l’on souhaite séparer.
Lors de l’étape de mise au rebut, au moins un émetteur de lumière 10 identifié comme défectueux au cours d’une étape d’observation 140, 170 est mis au rebut.
Par exemple chaque émetteur de lumière 10 identifié comme défectueux est mis au rebut. En particulier, chaque pixel 15 comprenant au moins un émetteur de lumière 10 défectueux est mis au rebut.
Il est notamment entendu par « mis au rebut » que chaque émetteur de lumière 10 ou pixel 15 mis au rebut n’est pas pris en compte pour la mise en oeuvre des étapes postérieures à l’étape de mise au rebut. Par exemple, chaque émetteur de lumière 10 ou pixel 15 mis au rebut est isolé des émetteurs de lumière 10 ou des pixels 15 non défectueux, jeté, ou encore détruit lors de l’étape de mise au rebut.
En particulier, l’étape de connexion peut être mise en oeuvre postérieurement à l’étape de mise au rebut et n’est donc mise en oeuvre que pour des émetteurs de lumière 10 ou des pixels 15 non mis au rebut.
Au cours de l’étape de connexion, au moins un émetteur de lumière 10 non défectueux est sélectionné. Cet émetteur de lumière 10 est, en particulier, un émetteur de lumière 10 qui n’a pas été mis au rebut. Cet émetteur de lumière 10 est connecté au circuit de commande lors de l’étape de connexion. En particulier, le premier contact 35 et le deuxième contact 40 de l’émetteur de lumière 10 sont connectés chacun, directement ou indirectement, à une plage de connexion du circuit de commande de manière à ce que le circuit de commande soit à même d’injecter dans la structure émettrice 30 un courant électrique.
En variante, au cours de l’étape de connexion, au moins un pixel 15 ne comprenant que des émetteurs de lumière 10 non défectueux est sélectionné, chaque émetteur de lumière 10 du ou des pixel(s) 15 sélectionné(s) étant connecté au circuit de commande lors de l’étape de connexion.
Selon une variante, chacun des premier et deuxième contacts 35, 40 de l’ensemble des émetteurs de lumière 10 non mis au rebut est connecté à une plage de connexion du circuit de commande. Lors de l’étape de connexion, les émetteurs de lumière 10 et/ou les pixels 15 sélectionnés sont connectés au circuit de commande pour obtenir un écran d’affichage ou une partie d’un écran d’affichage.
En outre, si dans les exemples précédents les deuxièmes contacts 40 ont été décrits comme étant disposés à la surface du substrat 12, notamment sur la deuxième face 22, d’autres modes de réalisation sont envisageables.
Par exemple, selon une variante, les deuxièmes contacts 40 sont accueillis à l’intérieur du substrat 12, notamment intercalés entre la première face 20 et la deuxième face 22. En particulier, les contacts 35 et 40 sont disposés sur deux niveaux de couches métalliques distincts, les premiers contacts 35 étant disposés sur un niveau de couches métalliques externe du substrat 12 alors que les deuxièmes contacts 40 sont disposés sur un niveau de couches métalliques interne au substrat 12.
Selon une variante envisageable, l’étape de retrait 150 n’est pas mise en oeuvre. Dans ce cas, au moins deux premiers contacts 35 de deux émetteurs de lumière 10 distincts sont électriquement connectés les uns aux autres à l’issue de la mise en oeuvre du procédé de fabrication. Par exemple, les émetteurs de lumière 10 ne sont pas séparés les uns des autres.
Cette variante s’applique notamment dans un cas où les émetteurs de lumière 10 sont connectés à une même électrode du circuit de commande. Ainsi, la fabrication de l’ensemble d’émetteurs de lumière 10 est simplifiée, puisqu’il n’est pas nécessaire de connecter individuellement chaque premier contact 35 au circuit de commande.
Selon un mode de réalisation, les deuxièmes contacts 40 sont, eux, déconnectés électriquement les uns des autres et connectés chacun à une électrode distincte du circuit de commande de manière à commander les émetteurs de lumière 10 individuellement.
Les étapes d’injection 130, 160 et d’observation 140, 170 sont, par exemple, mises en oeuvre par un dispositif de test comportant la source d’alimentation électrique, l’imageur et un module électronique de commande.
Le module de commande est configuré pour commander l’injection par la source du premier courant et/ou du deuxième courant lors des étapes d’injection 130 et 160.
En outre, le module de commande est configuré pour recevoir de l’imageur la ou les images acquise(s) au cours de la première étape d’observation 140 et/ou de la deuxième étape d’observation 170. Le module de commande est, notamment, configuré pour détecter, à partir de la ou les image(s) reçue(s), au moins une structure émettrice 30 défectueuse au cours de la première étape d’observation 140 et/ou de la deuxième étape d’observation 170. En particulier, le module de commande est configuré pour mémoriser dans une mémoire, au cours de la première étape d’observation 140 et/ou de la deuxième étape d’observation 170, au moins une information relative à la position de chaque structure émettrice 30 défectueuse détectée.
L’information comporte, par exemple, un ensemble de coordonnées spatiales de la structure émettrice 30 défectueuse. En variante, l’information comporte un identifiant de la structure émettrice 30 défectueuse, par exemple un numéro de la structure émettrice 30 défectueuse.
Le module de commande comporte, par exemple, outre la mémoire, un processeur propre à exécuter des instructions logicielles mémorisées dans la mémoire pour mettre en oeuvre les étapes d’injection 130, 160 et d’observation 140, 170.
En variante, le module de commande comporte, outre la mémoire, un ensemble de circuits intégrés dédiés et/ou de composants logiques programmables, cet ensemble étant propre à commander la mise en oeuvre les étapes d’injection 130, 160 et d’observation 140, 170.
Il est également à noter que, bien que l’ensemble d’émetteurs de lumière 10 soit décrit ci-dessus dans un cas où tous les quatrièmes contacts 40 sont connectés au troisième contact 85 par la couche de connexion 72, des modes de réalisation dépourvus de couche de connexion 72 sont également envisageables.
Par exemple, les quatrièmes contacts 40 sont connectés au troisième contact 85 par un ensemble de conducteurs réalisés en un matériau métallique. Ces conducteurs sont, par exemple, incorporés dans la plaque 11 fournie lors de l’étape de fourniture 100, ou encore fabriqués sur l’une ou l’autre des faces 20 et 22 lors de l’étape de fabrication 110.
Il est également à noter que des modes de réalisation dans lesquels tous les deuxièmes contacts 40 ne sont pas connectés entre eux sont également considérés. Par exemple, deux groupes de deuxièmes contacts 40 ou plus sont présents, les deuxièmes contacts 40 de chaque groupe étant connectés entre eux et étant électriquement isolés des deuxièmes contacts 40 de chaque autre groupe.
De plus, dans certains modes de réalisation, le rayonnement émis lors des étapes d’injection 130, 160 est susceptible d’être observé à travers une autre face que la première face 20, notamment à travers la face 25.
GLOSSAIRE
DOPAGE Le dopage se définit comme la présence, dans un matériau, d’impuretés apportant des porteurs de charges libres. Les impuretés sont, par exemple, des atomes d’un élément qui n’est pas naturellement présent dans le matériau.
Lorsque les impuretés augmentent la densité volumique de trous dans le matériel, par rapport à du matériel non dopé, le dopage est de type p. Par exemple, une couche de nitrure de gallium, GaN, est dopée p en ajoutant des atomes de magnésium (Mg).
Lorsque les impuretés augmentent la densité volumique d’électrons libres dans le matériau, par rapport au matériau non dopé, le dopage est de type n. Par exemple, une couche de nitrure de gallium, GaN, est dopée n en ajoutant des atomes de silicium (Si).
STRUCTURE LED
Une structure LED est une structure semi-conductrice comprenant plusieurs zones semi-conductrices formant une jonction P-N et configurée pour émettre de la lumière lorsqu’un courant électrique circule à travers les différentes zones semi-conductrices.
Une structure bidimensionnelle comprenant une couche dopée n, une couche dopée p et au moins une couche émettrice est un exemple de structure LED. Dans ce cas, chaque couche émettrice est interposée, le long de la direction normale N, entre la couche dopée n et la couche dopée p.
Dans un mode de réalisation, chaque couche émettrice présente une valeur de bande interdite strictement inférieure à la valeur de bande interdite de la couche dopée n et strictement inférieure à la valeur de bande interdite de la couche dopée p. Par exemple, la couche dopée n et la couche dopée p sont des couches de GaN, et chaque couche émettrice est une couche d’InGaN.
La couche émettrice est, par exemple, non dopée. Dans d’autres modes de réalisation, la couche émettrice est dopée.
Un puits quantique constitue un exemple spécifique de couche émettrice présentant une valeur de bande interdite inférieure aux valeurs de bande interdite des couches dopées n et p.
PUITS QUANTIQUE
Un puits quantique est une structure dans laquelle un confinement quantique se produit, dans une direction, pour au moins un type de porteurs de charges. Les effets du confinement quantique se produisent lorsque la dimension de la structure le long de cette direction devient comparable à ou plus petite que la longueur d’onde de De Broglie des porteurs, lesquels sont généralement des électrons et/ou des trous, conduisant à des niveaux d’énergie appelés « sous-bandes d’énergie ».
Dans un tel puits quantique, les porteurs ne peuvent présenter que des valeurs d’énergie discrètes mais sont généralement aptes à se déplacer à l’intérieur d’un plan perpendiculaire à la direction dans laquelle le confinement se produit. Les valeurs d’énergie disponibles pour les porteurs, également appelées « niveaux d’énergie », augmentent lorsque les dimensions du puits quantique diminuent le long de la direction dans laquelle le confinement se produit.
En mécanique quantique, la « longueur d’onde de De Broglie » est la longueur d’onde d’une particule lorsque la particule est considérée comme une onde. La longueur d’onde de De Broglie des électrons est également appelée « longueur d’onde électronique ». La longueur d’onde de De Broglie d’un porteur de charge dépend du matériau dont est constitué le puits quantique.
Une couche émettrice dont l’épaisseur est strictement inférieure au produit de la longueur d’onde électronique des électrons dans le matériau semi-conducteur dont la couche émettrice est constituée et de cinq est un exemple de puits quantique.
Un autre exemple de puits quantique est une couche émettrice dont l’épaisseur est strictement inférieure au produit de la longueur d’onde de De Broglie d’excitons dans le matériau semi-conducteur dont la couche émettrice est constituée et de cinq. Un exciton est une quasi-particule comprenant un électron et un trou.
En particulier, un puits quantique présente souvent une épaisseur comprise entre 1 nm et 200 nm.
MATÉRIAU SEMI-CONDUCTEUR
L’expression « valeur de bande interdite » doit être comprise comme étant la valeur de la bande interdite entre la bande de valence et la bande de conduction du matériau.
La valeur de bande interdite est, par exemple, mesurée en électrons-volts (eV).
La bande de valence est définie comme étant, parmi les bandes d’énergie qui sont autorisées pour les électrons dans le matériau, la bande qui présente l’énergie la plus élevée tout en étant complètement remplie à une température inférieure ou égale à 20 Kelvin (K).
Un premier niveau d’énergie est défini pour chaque bande de valence. Le premier niveau d’énergie est le niveau d’énergie le plus élevé de la bande de valence. La bande de conduction est définie comme étant, parmi les bandes d’énergie qui sont autorisées pour les électrons dans le matériau, la bande qui présente l’énergie la plus faible tout en n’étant pas complètement remplie à une température inférieure ou égale à 20 K.
Un deuxième niveau d’énergie est défini pour chaque bande de conduction. Le deuxième niveau d’énergie est le niveau d’énergie le plus élevé de la bande de conduction.
Ainsi, chaque valeur de bande interdite est mesurée entre le premier niveau d’énergie et le deuxième niveau d’énergie du matériau.
Un matériau semi-conducteur est un matériau présentant une valeur de bande interdite strictement supérieure à zéro et inférieure ou égale à 6,5 eV.
Un semi-conducteur à bande interdite directe constitue un exemple de matériau semi- conducteur. Un matériau est considéré comme présentant une « bande interdite directe » lorsque le minimum de la bande de conduction et le maximum de la bande de valence correspondent à une même valeur de quantité de mouvement de porteurs de charge. Un matériau est considéré comme présentant une « bande interdite indirecte » lorsque le minimum de la bande de conduction et le maximum de la bande de valence correspondent à différentes valeurs de quantité de mouvement de porteurs de charge.
Chaque matériau semi-conducteur est susceptible d’être choisi, par exmeple, parmi l’ensemble formé des semi-conducteurs lll-V, notamment des nitrures d’éléments III, des semi-conducteurs ll-VI, ou encore des semi-conducteurs IV-IV.
Les semi-conducteurs lll-V comportent notamment InAs, GaAs, AlAs et leurs alliages, InP, GaP, AIP et leurs alliages, et les nitrures d’éléments III.
Les semi-conducteurs ll-VI comportent notamment CdTe, HgTe, CdSe, HgSe, et leurs alliages.
Les semi-conducteurs IV-IV comportent notamment Si, Ge et leurs alliages.
STRUCTURE TRIDIMENSIONNELLE
Une structure tridimensionnelle est une structure qui s’étend le long d’une direction principale. La structure tridimensionnelle présente une longueur mesurée le long de la direction principale. La structure tridimensionnelle présente également une dimension latérale maximale mesurée le long d’une direction latérale perpendiculaire à la direction principale, la direction latérale étant la direction perpendiculaire à la direction principale le long de laquelle la dimension de la structure est la plus grande.
La dimension latérale maximale est, par exemple, inférieure ou égale à 10 micromètres (pm), et la longueur est supérieure ou égale à la dimension latérale maximale. La dimension latérale maximale est avantageusement inférieure ou égale à 2,5 gm.
La dimension latérale maximale est, notamment, supérieure ou égale à 10 nm.
Dans des modes de réalisation spécifiques, la longueur est supérieure ou égale à deux fois la dimension latérale maximale, par exemple elle est supérieure ou égale à cinq fois la dimension latérale maximale.
La direction principale est, par exemple, la direction normale N. Dans ce cas, la longueur de la structure tridimensionnelle est appelée « hauteur » et la dimension maximale de la structure tridimensionnelle, dans un plan perpendiculaire à la direction normale N, est inférieure ou égale à 10 pm.
La dimension maximale de la structure tridimensionnelle, dans un plan perpendiculaire à la direction normale N, est souvent appelée « diamètre » quelle que soit la forme de la section transversale de la structure tridimensionnelle.
Par exemple, chaque structure tridimensionnelle est un microfil. Un microfil est une structure tridimensionnelle cylindrique.
Dans un mode de réalisation spécifique, le microfil est un cylindre s’étendant le long de la direction normale N. Par exemple, le microfil est un cylindre à base circulaire. Dans ce cas, le diamètre de la base du cylindre est inférieur ou égal à la moitié de la longueur du microfil. Un microfil dont la dimension latérale maximale est inférieure à 1 pm est appelé un « nanofil ».
Une pyramide s’étendant le long de la direction normale N à partir du substrat 12 constitue un autre exemple de structure tridimensionnelle.
Un cône s’étendant le long de la direction normale N constitue un autre exemple de structure tridimensionnelle.
Un cône tronqué ou une pyramide tronquée s’étendant le long de la direction normale N constitue encore un autre exemple de structure tridimensionnelle.

Claims

REVENDICATIONS
1. Procédé de fabrication d’un ensemble d’émetteurs de lumière (10) comportant chacun une structure émettrice de lumière (30), un premier contact électrique (35) et un deuxième contact électrique (40), le procédé comportant des étapes de :
- fourniture (100) d’une plaque (11) portant un ensemble de structures émettrices de lumière (30), la plaque (11 ) comportant une première face (20) et une deuxième face (22), la première face (20) et la deuxième face (22) délimitant la plaque (11) selon une direction (N) normale à la plaque, chaque structure émettrice (30) étant configurée pour émettre un premier rayonnement lorsqu’un courant électrique circule à travers la structure émettrice (30), et
- fabrication (110), pour chaque structure émettrice (30), d’un premier contact électrique (35) et d’un deuxième contact électrique (40), le premier contact (35) étant disposé sur la première face (20), le premier contact (35) et le deuxième contact (40) étant configurés pour que, lorsqu’une différence de potentiel électrique est imposée entre le premier contact (35) et le deuxième contact (40), un courant électrique traverse la structure émettrice (30), les premiers contacts (35) étant électriquement isolés les uns des autres, le procédé étant caractérisé en ce que l’étape de fabrication (110) comporte :
- une étape de formation (120), sur la première face (20), de chaque premier contact (35) et d’au moins un premier conducteur (80A), un premier ensemble d’au moins deux premiers contacts (35) étant défini, chaque premier contact (35) du premier ensemble étant connecté électriquement à chaque autre premier contact (35) du premier ensemble par le ou les premier(s) conducteur(s) (80A),
- une première étape d’injection (130), pour chaque premier contact (35) appartenant au premier ensemble, d’un premier courant électrique traversant ledit premier contact (35) et la structure émettrice (30) correspondant audit premier contact (35), et
- une première étape d’observation (140) d’un rayonnement émis par au moins une structure émettrice (30) en réponse à l’injection du premier courant électrique.
2. Procédé selon la revendication 1 , comportant, en outre, suite à la première étape d’observation (140), une étape de retrait (150) de chaque premier conducteur (80A).
3. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel l’étape de formation (120) comporte le dépôt, sur la première face (20), d’une couche (87) d’un matériau électriquement conducteur pour former chaque premier contact (35) et chaque premier conducteur (80A), chaque premier conducteur (80A) étant retiré, lors de l’étape de retrait (150), par gravure de ladite couche (87).
4. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel chaque premier contact (35) est disposé en regard de la structure émettrice (30) correspondante.
5. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel il est défini, en outre, un deuxième ensemble de premiers contacts (35) comportant au moins deux premiers contacts (35), le premier ensemble et le deuxième ensemble étant disjoints, l’étape de formation (120) comportant la formation d’au moins un deuxième conducteur (80B), chaque premier contact (35) du deuxième ensemble étant électriquement connecté à chaque autre premier contact (35) du deuxième ensemble par le ou les deuxième(s) conducteur(s) (80B), le procédé comportant, en outre, une deuxième étape d’injection (160), pour chaque premier contact (35) appartenant au deuxième ensemble, d’un deuxième courant électrique traversant le premier contact (35) considéré et la structure émettrice (30) correspondant audit premier contact (35), et une deuxième étape d’observation (170), à travers la première face (20), d’un rayonnement émis par au moins une structure émettrice (30) en réponse à l’injection du deuxième courant électrique.
6. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel le premier ensemble comporte une pluralité de premiers sous-ensembles (90), le deuxième ensemble comportant une pluralité de deuxièmes sous-ensembles (95), les premiers contacts (35) de chaque premier ou deuxième sous-ensemble (90, 95) étant disposés le long d’une ligne propre (LP) dudit sous-ensemble (90, 95), chaque ligne propre (LP) s’étendant selon une première direction (D1) sur la première face (20), les lignes propres (LP) étant parallèles les unes aux autres et décalées les unes par rapport aux autres selon une deuxième direction (D2) perpendiculaire à la première direction (D1), les lignes propres (LP) des premiers (90) et des deuxièmes (95) sous-ensembles étant alternées selon la deuxième direction (D2).
7. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel l’étape de formation (120) comporte, en outre, la formation d’une première plage de connexion (82A) et d’une deuxième plage de connexion (82B) sur la première face (20), la première plage de connexion (82A) étant électriquement connectée à chaque premier conducteur (80A), la deuxième plage de connexion (82B) étant électriquement connectée à chaque deuxième conducteur (80B), chaque premier courant électrique étant injecté via la première plage de connexion (82A), chaque deuxième courant électrique étant injecté via la deuxième plage de connexion (82B).
8. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel l’ensemble des premiers contacts (35) est interposé entre la première plage de connexion (82A) et la deuxième plage de connexion (82B) selon la première direction (D1 ),
9. Procédé selon l’une quelconque des revendications 5 à 8, prise avec la revendication 2, dans lequel l’étape de retrait (150) comporte le retrait de chaque deuxième conducteur (80B),
10. Procédé selon l’une quelconque des revendications 5 à 9, dans lequel chaque premier contact (35) appartient au premier ou au deuxième ensemble.
11. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel, lors de la première étape d’observation (140) et/ou, le cas échéant, lors de la deuxième étape d’observation (170), le rayonnement émis est observé à travers la première face (20).
12. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la première étape d’injection (130) et/ou le cas échéant la deuxième étape d’injection (160), comporte la modification d’une intensité du premier courant entre une première valeur et une deuxième valeur strictement supérieure à la première valeur.
13. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel chaque structure émettrice (30) comporte une diode électroluminescente, chaque premier contact électrique (35) étant notamment électriquement connecté à une cathode de la diode électroluminescente.
14. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l’ensemble d’émetteurs de lumière (10) comporte un unique deuxième contact (40) commun à tous les émetteurs de lumière (10).
15. Procédé selon l’une quelconque des revendications 1 à 13, dans lequel l’ensemble d’émetteurs de lumière (10) comporte une pluralité de deuxièmes contacts (40).
16. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel, au cours de la première étape d’injection (130) et/ou, le cas échéant, la deuxième étape d’injection (160), au moins deux deuxièmes contacts (40), notamment tous les deuxièmes contacts (40), sont électriquement connectés entre eux.
17. Procédé selon l’une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la première étape d’observation (140) et/ou, le cas échéant, la deuxième étape d’observation (170) comporte une étape de détection d’une structure émettrice (30) défectueuse.
18. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel la première étape d’observation (140) comporte la mesure, pour chaque premier contact (35), d’une intensité lumineuse d’un rayonnement traversant la première face (20) dans une zone entourant le premier contact (35), et la détection d’une structure émettrice (30) défectueuse lorsque l’intensité lumineuse mesurée est strictement inférieure à un seuil prédéterminé.
19. Procédé selon la revendication 17 ou 18, dans lequel l’étape de détection comporte la mémorisation, dans une mémoire, d’une information relative au positionnement d’au moins une structure émettrice (30) défectueuse.
20. Procédé selon la revendication 19, comportant une étape de séparation des émetteurs de lumière (10) les uns des autres et une étape de mise au rebut de chaque émetteur de lumière (10) défectueux en fonction des informations mémorisées.
21. Procédé selon la revendication 20, le procédé comportant, en outre :
- une étape de fourniture d’un circuit de commande, et
- une étape de connexion du premier contact électrique (35) et du deuxième contact électrique (40) de chaque émetteur de lumière (10) au circuit de commande.
22. Procédé selon la revendication 21 , dans lequel l’étape de connexion est mise en oeuvre postérieurement à l’étape de mise au rebut.
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