WO2021043458A1 - Interferometereinrichtung und verfahren zum herstellen einer interferometereinrichtung - Google Patents

Interferometereinrichtung und verfahren zum herstellen einer interferometereinrichtung Download PDF

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WO2021043458A1
WO2021043458A1 PCT/EP2020/068544 EP2020068544W WO2021043458A1 WO 2021043458 A1 WO2021043458 A1 WO 2021043458A1 EP 2020068544 W EP2020068544 W EP 2020068544W WO 2021043458 A1 WO2021043458 A1 WO 2021043458A1
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WO
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cavity
interferometer
detector device
substrate
fabry
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PCT/EP2020/068544
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French (fr)
Inventor
Nicola Mingirulli
Christoph Schelling
Original Assignee
Robert Bosch Gmbh
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Publication date
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    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
    • G—PHYSICS
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    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0291—Housings; Spectrometer accessories; Spatial arrangement of elements, e.g. folded path arrangements

Definitions

  • the present invention relates to an interferometer device and a method for producing an interferometer device.
  • Miniaturized spectrometers with Fabry-Perot interferometers usually include spacers in order to be able to arrange an FPI above a detector and to be able to make electrical contact with the detector below the FPI, which, however, can lead to a relatively large overall height in relation to a printed circuit board surface. This can lead to an increased assembly tolerance and require additional steps during assembly and increase the material costs.
  • Such spacers can include additional openings through which unfiltered light can be scattered past the FPI onto the detector, which can influence a signal-to-noise ratio.
  • EP 3 064912 A1 describes a light detector which comprises a wiring substrate, a Fabry-Perot interferometer and spacers between the Fabry-Perot interferometer and the wiring substrate in order to form a cavity for a photodetector.
  • the present invention provides an interferometer device according to claim 1 and a method for manufacturing an interferometer device according to claim 13. Preferred further developments are the subject of the subclaims.
  • the idea on which the present invention is based consists in specifying an interferometer device which is characterized by an improved possibility of contacting the interferometer and detector elements, is advantageously space-saving and can be manufactured inexpensively with a few components and a few manufacturing steps.
  • a small-scale component, in particular a filter element and / or spectrometer, with a low overall height and a detector device shielded from scattered light can be achieved by means of fewer components.
  • the interferometer device comprises a Fabry-Perot interferometer, which comprises at least two mutually spaced mirror devices and a substrate, the mirror devices each being arranged in parallel above the substrate and at least one of the mirror devices being movable with respect to the substrate; a base substrate which comprises a cavity and at least one electrical conductor track, wherein the Fabry-Perot interferometer is arranged on the base substrate and covers the cavity; and at least one detector device which is arranged in the cavity and is electrically contacted by means of the electrical conductor track.
  • the mirror devices can each comprise at least one high refractive index layer or a low refractive index layer between two high refractive index layers, it being possible for this arrangement to be permeable to a specific wavelength.
  • a corresponding wavelength of external light can be transmitted into the cavity and hit the detector device (s).
  • At least one of the mirror devices can be moved, for example, by an actuator, advantageously essentially parallel to the respective other mirror device.
  • the base substrate can be produced as a printed circuit board (PCB), advantageously as a wiring substrate.
  • PCB printed circuit board
  • the cavity in the base substrate can be formed by a recess in the base substrate and penetrates this advantageous only partially.
  • the detector device can advantageously be arranged partially or completely sunk in the cavity.
  • the interferometer device With the interferometer device according to the invention, the most cost-effective, yet powerful spectrometer with the lowest possible number of components and a minimum number of simple / inexpensive manufacturing steps and the smallest possible size can be achieved, which is still achieved by a reduced or completely suppressed incidence of unfiltered scattered light can distinguish on the detector.
  • Conventional structures according to the prior art either require a large number of (expensive) components or (expensive) process steps or require large construction volumes or do not completely shield stray light.
  • the interferometer device can be produced as a small-scale, compact (package) detector arrangement with a few components.
  • the overall height of the interferometer device can advantageously be reduced and separate spacers can be dispensed with, since the electrical wiring can also be carried out via the base substrate, for example with a conductive adhesive and / or with Bond wires.
  • the Fabry-Perot interferometer comprises an optical area which is suitable for filtering and transmitting a light and wherein the optical area is arranged above the cavity.
  • the at least one electrical conductor track is at least partially embedded in the base substrate and extends into the cavity.
  • the at least one electrical conductor track is arranged on an upper side of the base substrate facing the Fabry-Perot interferometer, and electrical contact of the detector device is established with the electrical conductor track via a contact wire.
  • the substrate comprises a recess above the cavity, which protrudes laterally beyond the cavity.
  • the interferometer device comprises at least a first detector device and a second detector device, which are sensitive to different wavelength ranges and are arranged one above the other or next to one another in the cavity.
  • the cavity comprises a first cavity and a second cavity formed therein, which has a laterally smaller extent than the first cavity, and wherein the first and / or the second detector device is arranged in the second cavity.
  • the second detector device is arranged in the second cavity and the first detector device is arranged in the first cavity, and at least partially spans the second cavity.
  • an optical element for example an edge filter, is arranged in the first cavity and arranged above the first and / or second detector device.
  • the first detector device is sensitive to smaller wavelengths than the second detector device.
  • the cavity is at least partially covered with a reflective layer.
  • the base substrate comprises at least one heat sink which is in thermal contact with the detector device and / or with the Fabry-Perot interferometer.
  • a base substrate with a cavity and at least one electrical conductor track is provided; arranging at least one detector device in the cavity and electrically contacting the detector device with the electrical conductor track; and arranging a Fabry-Perot interferometer which comprises at least two mutually spaced mirror devices and a substrate, the mirror devices each being arranged in parallel above the substrate and at least one of the mirror devices being movable with respect to the substrate.
  • the method can advantageously also be distinguished by the features already mentioned in connection with the interferometer device and their advantages, and vice versa.
  • the detector device is contacted with a contact wire.
  • FIG. 1 shows a schematic side view of the interferometer device according to an exemplary embodiment of the present invention
  • FIG. 2 shows a schematic plan view of an interferometer device according to an exemplary embodiment of the present invention
  • 3 shows a schematic side view of the interferometer device according to a further exemplary embodiment of the present invention
  • FIG. 4 shows a schematic side view of the interferometer device according to a further exemplary embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 shows a schematic side view of the interferometer device according to a further exemplary embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 shows a schematic block diagram of method steps of a method according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 shows a schematic side view of the interferometer device according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • the interferometer device 10 comprises a Fabry-Perot interferometer 1, which can comprise at least two mutually spaced mirror devices SP1 and SP2 and a substrate 2, the mirror devices SP1 and SP2 each being arranged in parallel over the substrate 2 and at least one of the mirror devices with respect to the substrate 2 is movable. Furthermore, the interferometer device 10 comprises a base substrate 3, which comprises a cavity 4 and at least one electrical conductor track 5, the Fabry-Perot interferometer 1 being arranged on the base substrate 3 and covering the cavity 4.
  • the interferometer device 10 comprises at least one detector device 6, which is arranged in the cavity 4 and is electrically contacted by means of the electrical conductor track 5. The detector device 6 can be partially or completely sunk in the height of the cavity 4.
  • the substrate 2 can itself comprise a recess A above the cavity 4, which recess can protrude laterally beyond the cavity 4.
  • the conductor track 5 can be arranged on an upper side O1 of the base substrate 3 and the Fabry-Perot interferometer 1 can be arranged on the base substrate 3 and / or at least partially arranged and fastened on the conductor track 5 by means of a connection 11.
  • the connection 11 can be an adhesive connection, a soldered connection, a bond connection or another and can fix the substrate 2 on the base substrate 3.
  • the connection 11 can advantageously be electrically insulating.
  • a contact point 5a can be arranged on the base substrate 3, which can be connected to an outer contact wire 7a, the outer contact wire 7a at a contact point T on the Fabry-Perot interferometer 1, advantageously on its top side facing away from the base substrate 3, can be arranged.
  • the contacting of the Fabry-Perot interferometer 1 can serve, for example, to actuate the mirror devices.
  • the contact point T can advantageously be arranged above the connection 11, whereby an improved quality of the contact wires can be achieved.
  • the base substrate can be designed as a printed circuit board, LTCC ceramic substrate (multilayer ceramic) or as a premold housing (prefabricated by injection molding).
  • the Fabry-Perot interferometer 1 can form an optical area OB in the lateral inner area, which can be suitable for the transmission of a light (outside light filtered depending on the mirror spacing), wherein the optical area OB can be arranged above the cavity 4.
  • the detector device 6 can advantageously comprise a contact area on the side facing away from the base substrate 3.
  • the recessed arrangement can make contact via the contact wire 7 possible at all and nevertheless a small-scale component, in particular in height, can be formed.
  • the Fabry-Perot interferometer 1 can be better arranged on an optical axis above the detector device without significantly changing the height of the component.
  • the cavity 4 can be at least partially covered with a reflective layer 8, which can partially or completely cover the bottom and / or the side walls of the cavity 4. That way, through the Fabry-Perot interferometer 1 transmitted light can be concentrated better within the cavity, absorption by the base substrate 3 within the cavity can be reduced or avoided, and the filtered light can be better concentrated on the detector device and absorbed there.
  • the reflective layer 8 can be formed by a metallization, for example by the electrical conductor track 5 (in this case a double function of contacting and reflection is possible).
  • the Fabry-Perot interferometer 1 can advantageously only be fixed in certain areas or on one side on the base substrate 3 with the connection 11. Therefore, there can be at least one area with a mounting area on the base substrate 3, at which a connection 11 can be dispensed with.
  • the cavity 4 By covering the cavity 4 with the Fabry-Perot interferometer 1, it can advantageously be prevented or reduced that unfiltered scattered light from the environment can strike the detector device. By reducing or avoiding the impact of unfiltered scattered radiation on the detector device, a signal-to-noise ratio of the interferometer device can be improved.
  • the interferometer device can be designed as a micromechanical component, advantageously as a microspectrometer, wherein the Fabry-Perot interferometer 1 can also be designed as a micromechanical component and can act as a filter that can be tuned in terms of wavelengths.
  • the interferometer device can also be designed as a module for integration in larger assemblies.
  • wavelengths can also be transmitted through the FPI which would otherwise be absorbed in the substrate material.
  • the contact wire 7 can therefore be drawn directly onto the surface of the base substrate 3, and there is no need for a through-hole plating (via) in or through the base substrate 3 which is otherwise necessary.
  • connection 11 can advantageously cover the electrical conductor track 5 at least partially or completely.
  • the contact wire 7 can be guided into the cavity 4 in a space-saving manner. An electrical connection to the detector device 6a can thus be established within the optical area OB.
  • FIG. 2 shows a schematic plan view of an interferometer device according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • the interferometer device from FIG. 1 is shown in plan view, in particular along a direction of incidence of light on the Fabry-Perot interferometer 1.
  • the optical area OB can be shaped as a circular area, as can the cavity 4 and the recess A in the substrate 2.
  • FIG the recess A is omitted.
  • the shape of the cavity 4 and / or the recess A and / or the optical region OB can also differ from a circular shape.
  • the electrical conductor track 5 can be led from an edge area above the base substrate 3 into the optical area OB, advantageously as a narrow conductor track (e.g.
  • connection 11 can be attached in an edge region, for example only on one side of the base substrate 3, advantageously below the contact points T, which can comprise a plurality and can be arranged on the Fabry-Perot interferometer 1.
  • the connection 11 can preferably only partially enclose the recess A laterally, that is to say not completely. In this way, the coupling of mechanical stress from the structure into the interferometer device can be reduced.
  • the connection 11 can preferably be reduced to a lower edge of the Fabry-Perot interferometer 1, while at least one side can have a mechanical assembly stop without the connection 11.
  • the Fabry-Perot interferometer can only be placed in this assembly stop.
  • one or more contact points 5a can be arranged on the base substrate 3, which contact points can be connected to external contact wires for contacting the Fabry-Perot interferometer 1.
  • 3 shows a schematic side view of the interferometer device according to a further exemplary embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 differs in this from that of FIG.
  • the Fabry-Perot interferometer 1 can comprise a completely continuous substrate 2, in other words, the recess in the substrate 2 can be dispensed with if this is transmissive for the expected radiation filtered by the Fabry-Perot interferometer 1.
  • the cavity in the base substrate 3 can be formed large enough so that at least a first detector device 6a and a second detector device 6b can be arranged in the cavity 4, which can be sensitive to different wavelength ranges and can be arranged one above the other in the cavity 4.
  • the two or more detector devices can also be stacked next to one another or at least partially.
  • the at least one electrical conductor track 5 can be at least partially embedded in the base substrate 3 and extend into the cavity 4. In the cavity, a contact wire 7 can then be guided from the electrical conductor track 5 to the first detector device 6a and to the second detector device 6b.
  • the electrical conductor track 5 can extend through the base substrate 3 for external contacting, for example to an upper side O1 of the base substrate on which the Fabry-Perot interferometer 1 can be arranged and advantageously laterally outside an area on which the Fabry-Perot interferometer 1 can be arranged to form a first contact area 5 '.
  • the electrical conductor track 5 can include at least one through contact 5b, which can extend through the base substrate 3, advantageously between a first contact area 5 ′ of the conductor track 5 and a second contact area 5 ” , which can be embedded in the base substrate 3 and extend into the cavity 4 can extend into it.
  • the base substrate 3 can comprise at least one heat sink 9, which can be in thermal contact with the detector device and / or with the Fabry-Perot interferometer 1.
  • the at least one heat sink 9 can be arranged on a rear side 02 opposite the upper side O1, or be at least partially embedded in the base substrate 3. From the heat sink 9, which can be arranged below the cavity 4, for example, connecting pieces 9b passing through the base substrate 3 can extend to the first or second detector device 6a or 6b (into the cavity 4).
  • the heat sink can also comprise a further area or a further separate heat sink 9 can be arranged below the connection 11 and further connection pieces 9b can extend through the base substrate 3 up to the connection 11 (up to the adhesive).
  • heat can be dissipated from the detector devices and / or from the Fabry-Perot interferometer 1.
  • the heat can result from the radiation transmitted and absorbed in the detector device or the connection 11.
  • the connecting pieces 9b and / or the heat sink 9 can comprise a metal.
  • FIG. 4 shows a schematic side view of the interferometer device according to a further exemplary embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 differs in this from that of FIG.
  • the cavity 4 comprises a first cavity 4a and a second cavity 4b formed therein, which has a laterally smaller extent than the first cavity 4a, and wherein the second detector device 6b can be arranged in the second cavity 4b and the first detector device 6a can be arranged in the first cavity 4a.
  • the first detector device 6a can at least partially span the second cavity 4b, advantageously completely.
  • At least one of the cavities 4a and 4b can be covered with a reflective layer 8, at least on its bottom.
  • the at least one electrical conductor track 5 can, similar to FIG. 3, be at least partially embedded in the base substrate 3 and extend into the cavities 4a and 4b, advantageously on different levels, so that the bottom of the respective cavity 4a or 4b is always reached. In the cavity, a contact wire 7 can then be guided from the electrical conductor track 5 to the respective detector device 6a or 6b arranged in this cavity.
  • the electrical conductor track 5 can extend through the base substrate 3 for external contact, for example to an upper side O1 of the base substrate on which the Fabry-Perot interferometer 1 (FPI) can be arranged, and advantageously laterally outside an area on which the Fabry-Perot interferometer 1 can be arranged, form a plurality of first contact areas 5 '.
  • FPI Fabry-Perot interferometer 1
  • the electrical conductor track 5 can comprise at least one through contact 5b for each level of the corresponding cavity 4a and 4b, which can extend through the base substrate 3, advantageously between a first contact area 5 ′ of the conductor track 5 and a second contact area 5 ′′ which is located in the base substrate 3 can be embedded.
  • the first and second cavities can be formed concentrically and with parallel side flanks or, according to embodiment V2, have side flanks rotated by an angle.
  • the two detector devices 6a and 6b can be arranged in the stepped pyramid-shaped cavities 4a and 4b, so that the first detector device 6a for shorter wavelengths can be mounted on a shoulder closest to the FPI and the second detector device 6b for longer wavelengths on a subsequent shoulder. Due to a different sensitivity for the transmitted wavelengths, an order separation can be achieved in the identification of the radiation transmitted by the Fabry-Perot interferometer.
  • FIG. 5 shows a schematic side view of the interferometer device according to a further exemplary embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 differs in this from that of FIG.
  • the cavity 4 comprises a first cavity 4a and a second cavity 4b formed therein, which can comprise a laterally smaller extent than the first cavity 4a, and wherein in the first cavity an optical element 12 above the first and / or second detector device 6a or 6b can be arranged.
  • the optical element 12 can advantageously completely cover the second cavity 4b.
  • the optical element 12 can comprise an edge filter, an element restricting the angle of incidence, an aperture stop and / or further optical elements.
  • the detector device 6a can be electrically connected within the cavity 4 via the contact wire 7 in a space-saving manner.
  • 6 shows a schematic block diagram of method steps of a method according to an exemplary embodiment of the present invention. In the method for producing an interferometer device, a
  • Embodiment has been fully described above, it is not limited to it, but can be modified in many ways.

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Abstract

Die vorliegende Erfindung schafft eine Interferometereinrichtung (10) umfassend ein Fabry-Perot-Interferometer (1), welches zumindest zwei zueinander beabstandete Spiegeleinrichtungen (SP1; SP2) und ein Substrat (2) umfasst, wobei die Spiegeleinrichtungen (SP1; SP2) jeweils parallel über dem Substrat (2) angeordnet sind und zumindest eine der Spiegeleinrichtungen (SP1; SP2) bezüglich dem Substrat (2) beweglich ist; ein Basissubstrat (3), welches eine Kavität (4) und zumindest eine elektrische Leiterbahn (5) umfasst, wobei das Fabry-Perot-Interferometer (1) auf dem Basissubstrat (3) angeordnet ist und die Kavität (4) überdeckt; und zumindest eine Detektoreinrichtung (6), welche in der Kavität (4) angeordnet ist und mittels der elektrischen Leiterbahn (5) elektrisch kontaktiert ist.

Description

Beschreibung
Titel
Interferometereinrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Interferometereinrichtung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Interferometereinrichtung und ein Verfahren zum Herstellen einer Interferometereinrichtung.
Stand der Technik
Miniaturisierte Spektrometer mit Fabry-Perot-Interferometern (FPI) umfassen üblicherweise Abstandshalter, um ein FPI oberhalb eines Detektors anordnen und den Detektor unterhalb des FPIs elektrisch kontaktieren zu können, was jedoch zu einer verhältnismäßig großen Bauhöhe, bezogen auf eine Leiterplattenoberfläche, führen kann. Dies kann zu einer vergrößerten Montagetoleranz führen und zusätzliche Schritte bei einer Montage erfordern und die Material kosten erhöhen. Derartige Abstandshalter könne zusätzliche Öffnungen umfassen, durch welche ungefiltertes Licht am FPI vorbei auf den Detektor gestreut werden kann, was ein Signal-Rausch-Verhältnis beeinflussen kann.
In der EP 3 064912 Al wird ein Lichtdetektor beschrieben, welcher ein Verdrahtungssubstrat, ein Fabry-Perot-Interferometer und Abstandshalter zwischen dem Fabry-Perot-Interferometer und dem Verdrahtungssubstrat umfasst, um eine Kavität für einen Photodetektor zu bilden.
Offenbarung der Erfindung
Die vorliegende Erfindung schafft eine Interferometereinrichtung nach Anspruch 1 und ein Verfahren zum Herstellen einer Interferometereinrichtung nach Anspruch 13. Bevorzugte Weiterbildungen sind Gegenstand der Unteransprüche.
Vorteile der Erfindung
Die der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Idee besteht darin, eine Interferometereinrichtung anzugeben, welche sich durch eine verbesserte Kontaktierungsmöglichkeit der Interferometer und Detektorelemente auszeichnet, vorteilhaft platzsparend ist und kostengünstig mit wenigen Baukomponenten und wenigen Herstellungsschritten hergestellt werden kann. Es kann mittels weniger Komponenten ein kleinskaliges Bauelement, insbesondere ein Filterelement und/oder Spektrometer, mit geringer Bauhöhe und einer gegen Streulicht abgeschirmten Detektoreinrichtung erzielt werden.
Erfindungsgemäß umfasst die Interferometereinrichtung ein Fabry-Perot- Interferometer, welches zumindest zwei zueinander beabstandete Spiegeleinrichtungen und ein Substrat umfasst, wobei die Spiegeleinrichtungen jeweils parallel über dem Substrat angeordnet sind und zumindest eine der Spiegeleinrichtungen bezüglich dem Substrat beweglich ist; ein Basissubstrat, welches eine Kavität und zumindest eine elektrische Leiterbahn umfasst, wobei das Fabry-Perot-Interferometer auf dem Basissubstrat angeordnet ist und die Kavität überdeckt; und zumindest eine Detektoreinrichtung, welche in der Kavität angeordnet ist und mittels der elektrischen Leiterbahn elektrisch kontaktiert ist.
Die Spiegeleinrichtungen können jeweils zumindest eine hochbrechende Schicht umfassen oder eine niedrigbrechende Schicht zwischen zwei hochbrechenden Schichten, wobei diese Anordnung für eine bestimmte Wellenlänge durchlässig sein können. Je nach Abstand zwischen den beiden Spiegeleinrichtungen kann eine entsprechende Wellenlänge eines Außenlichts in die Kavität transmittiert werden und auf die Detektoreinrichtung(en) treffen. Zumindest eine der Spiegeleinrichtungen kann beispielsweise durch einen Aktor bewegt werden, vorteilhaft im Wesentlichen parallel zur jeweils anderen Spiegeleinrichtung.
Das Basissubstrat kann als eine Leiterplatte (PCB), vorteilhaft als ein Verdrahtungssubstrat hergestellt sein. Die Kavität im Basissubstrat kann durch eine Ausnehmung in dem Basissubstrat ausgeformt sein und durchdringt dieses vorteilhaft nur teilweise. Die Detektoreinrichtung kann vorteilhaft teilweise oder vollständig versenkt in der Kavität angeordnet sein.
Durch die erfindungsgemäße Interferometereinrichtung kann ein möglichst kostengünstiges, aber dennoch leistungsfähiges Spektrometer mit einer möglichst geringen Komponentenzahl sowie einer minimalen Anzahl an einfach/kostengünstig auszuführenden Herstellungsschritten und einer dabei möglichst geringen Baugröße erzielt werden, welches sich noch durch einen verringerten oder vollständig unterdrückten Einfall von ungefiltertem Streulicht auf den Detektor auszeichnen kann. Übliche Aufbauten nach dem Stand der Technik benötigen entweder sehr viele (teure) Komponenten oder (teure) Verfahrensschritte oder benötigen große Bauvolumina oder schirmen Streulicht nicht vollständig ab. Die Interferometereinrichtung kann als eine kleinskalige kompakte (Package) Detektoranordnung mit wenigen Komponenten hergestellt werden.
Durch die direkte Anordnung des Fabry-Perot-Interferometers auf dem Basissubstrat kann die Bauhöhe der Interferometereinrichtung vorteilhaft verringert werden und es kann auf separate Abstandshalter verzichtet werden, da auch die elektrische Verdrahtung über das Basissubstrat erfolgen kann, beispielsweise mit einem leitenden Kleber und /oder mit Bonddrähten.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung umfasst das Fabry-Perot-Interferometer einen optischen Bereich, welcher zur Filterung und Transmission eines Lichts geeignet ist und wobei der optische Bereich über der Kavität angeordnet ist.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung ist die zumindest eine elektrische Leiterbahn im Basissubstrat zumindest teilweise eingebettet und erstreckt sich bis in die Kavität hinein.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung ist die zumindest eine elektrische Leiterbahn auf einer dem Fabry-Perot-Interferometer zugewandten Oberseite des Basissubstrats angeordnet und ein elektrischer Kontakt der Detektoreinrichtung ist mit der elektrischen Leiterbahn über einen Kontaktdraht hergestellt. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung umfasst das Substrat über der Kavität eine Ausnehmung, welche die Kavität lateral überragt.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung umfasst diese zumindest eine erste Detektoreinrichtung und eine zweite Detektoreinrichtung, welche für unterschiedliche Wellenlängenbereiche sensibel sind und in der Kavität übereinander oder nebeneinander angeordnet sind.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung umfasst die Kavität eine erste Kavität und darin ausgeformt eine zweite Kavität, welche eine lateral geringere Ausdehnung umfasst als die erste Kavität, und wobei die erste und/oder die zweite Detektoreinrichtung in der zweiten Kavität angeordnet ist.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung ist die zweite Detektoreinrichtung in der zweiten Kavität angeordnet und die erste Detektoreinrichtung in der ersten Kavität angeordnet, und überspannt die zweite Kavität zumindest teilweise.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung ist ein optisches Element, etwa ein Kantenfilter, in der ersten Kavität angeordnet und über der ersten und/oder zweiten Detektoreinrichtung angeordnet.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung ist die erste Detektoreinrichtung bei kleineren Wellenlängen sensibel als die zweite Detektoreinrichtung.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung ist die Kavität zumindest teilweise mit einer reflektierenden Schicht bedeckt.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Interferometereinrichtung umfasst das Basissubstrat zumindest eine Wärmesenke, welche mit der Detektoreinrichtung und/oder mit dem Fabry-Perot-Interferometer in thermischem Kontakt steht. Erfindungsgemäß erfolgt bei dem Verfahren zum Herstellen einer Interferometereinrichtung ein Bereitstellen eines Basissubstrats mit einer Kavität und zumindest einer elektrischen Leiterbahn; ein Anordnen zumindest einer Detektoreinrichtung in der Kavität und elektrisches Kontaktieren der Detektoreinrichtung mit der elektrischen Leiterbahn; und ein Anordnen eines Fabry-Perot-Interferometers, welches zumindest zwei zueinander beabstandete Spiegeleinrichtungen und ein Substrat umfasst, wobei die Spiegeleinrichtungen jeweils parallel über dem Substrat angeordnet sind und zumindest eine der Spiegeleinrichtungen bezüglich dem Substrat beweglich ist.
Das Verfahren kann sich vorteilhaft auch durch die bereits in Verbindung mit der Interferometereinrichtung genannten Merkmale und deren Vorteile auszeichnen und umgekehrt.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens erfolgt das Kontaktieren der Detektoreinrichtung mit einem Kontaktdraht.
Weitere Merkmale und Vorteile von Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend anhand der in den schematischen Figuren der Zeichnung angegebenen Ausführungsbeispiele näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Seitenansicht der Interferometereinrichtung gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 eine schematische Draufsicht auf eine Interferometereinrichtung gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung; Fig. 3 eine schematische Seitenansicht der Interferometereinrichtung gemäß eines weiteren Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung;
Fig. 4 eine schematische Seitenansicht der Interferometereinrichtung gemäß eines weiteren Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung;
Fig. 5 eine schematische Seitenansicht der Interferometereinrichtung gemäß eines weiteren Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung; und
Fig. 6 ein schematisches Blockschaltbild von Verfahrensschritten eines Verfahrens gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung.
In den Figuren bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche bzw. funktionsgleiche Elemente.
Fig. 1 zeigt eine schematische Seitenansicht der Interferometereinrichtung gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung.
Die Interferometereinrichtung 10 umfasst ein Fabry-Perot-Interferometer 1, welches zumindest zwei zueinander beabstandete Spiegeleinrichtungen SP1 und SP2 und ein Substrat 2 umfassen kann, wobei die Spiegeleinrichtungen SP1 und SP2 jeweils parallel über dem Substrat 2 angeordnet sind und zumindest eine der Spiegeleinrichtungen bezüglich dem Substrat 2 beweglich ist. Des Weiteren umfasst die Interferometereinrichtung 10 ein Basissubstrat 3, welches eine Kavität 4 und zumindest eine elektrische Leiterbahn 5 umfasst, wobei das Fabry- Perot-Interferometer 1 auf dem Basissubstrat 3 angeordnet ist und die Kavität 4 überdeckt. Die Interferometereinrichtung 10 umfasst zumindest eine Detektoreinrichtung 6, welche in der Kavität 4 angeordnet ist und mittels der elektrischen Leiterbahn 5 elektrisch kontaktiert ist. Die Detektoreinrichtung 6 kann in der Kavität 4 teilweise oder vollständig in deren Höhe versenkt sein.
Das Substrat 2 kann selbst über der Kavität 4 eine Ausnehmung A umfassen, welche die Kavität 4 lateral überragen kann.
Auf einer Oberseite Ol des Basissubstrats 3 kann die Leiterbahn 5 angeordnet sein und das Fabry-Perot-Interferometer 1 kann auf dem Basissubstrat 3 und/oder zumindest teilweise auf der Leiterbahn 5 mittels einer Verbindung 11 angeordnet und befestigt sein. Die Verbindung 11 kann eine Klebeverbindung, eine Lötverbindung, eine Bondverbindung oder weiteres sein und das Substrat 2 auf dem Basissubstrat 3 fixieren. Die Verbindung 11 kann vorteilhaft elektrisch isolierend sein. Auf dem Basissubstrat 3 kann des Weiteren eine Kontaktstelle 5a angeordnet sein, welche mit einem äußeren Kontaktdraht 7a verbunden sein kann, wobei der äußere Kontaktdraht 7a an einen Kontaktpunkt T auf dem Fabry- Perot-Interferometer 1, vorteilhaft auf dessen dem Basissubstrat 3 abgewandten Oberseite, angeordnet sein kann. Die Kontaktierung des Fabry-Perot- Interferometers 1 kann beispielsweise zur Aktuierung der Spiegeleinrichtungen dienen. Der Kontaktpunkt T kann vorteilhaft über der Verbindung 11 angeordnet sein, wodurch einer verbesserten Qualität der Kontaktdrähte erzielbar sein kann.
Das Basissubstrat kann als Leiterplatte, LTCC-Keramiksubstrat (Multilagenkeramik) oder als Premold-Gehäuse (vorgefertigt in Spritzguss) ausgeführt sein.
Das Fabry-Perot-Interferometer 1 kann im lateralen Innenbereich einen optischen Bereich OB bilden, welcher zur Transmission eines Lichts geeignet sein kann (je nach Spiegelabstand gefiltertes Außenlicht), wobei der optische Bereich OB über der Kavität 4 angeordnet sein kann.
Von der Leiterbahn 5 kann ein elektrischer Kontakt der Detektoreinrichtung 6 mit der elektrischen Leiterbahn 5 über einen Kontaktdraht 7 hergestellt sein, welcher in die Kavität 4 und möglicherweise auch in die Ausnehmung A (vertikal) hinein reichen kann. Die Detektoreinrichtung 6 kann zur Kontaktierung vorteilhaft einen Kontaktbereich auf der dem Basissubstrat 3 abgewandten Seite umfassen.
Durch die versenkte Anordnung kann überhaupt eine Kontaktierung über den Kontaktdraht 7 ermöglicht sein und dennoch ein, insbesondere in Höhe, kleinskaliges Bauelement ausgeformt sein. Außerdem kann das Fabry-Perot- Interferometer 1 besser auf einer optischen Achse über der Detektoreinrichtung angeordnet sein, ohne die Höhe des Bauteils signifikant zu verändern.
Die Kavität 4 kann zumindest teilweise mit einer reflektierenden Schicht 8 bedeckt sein, welche den Boden und/oder die Seitenwände der Kavität 4 teilweise oder vollständig bedecken kann. Auf diese Weise kann das durch das Fabry-Perot-Interferometer 1 transmittierte Licht besser innerhalb der Kavität konzentriert werden, eine Absorption durch das Basissubstrat 3 innerhalb der Kavität verringert oder vermieden werden und das gefilterte Licht besser auf der Detektoreinrichtung konzentriert und dort absorbiert werden. Die reflektierende Schicht 8 kann von einer Metallisierung gebildet sein, beispielsweise von der elektrischen Leiterbahn 5 (hierbei Doppelfunktion aus Kontaktierung und Reflexion möglich).
Das Fabry-Perot-Interferometer 1 kann vorteilhaft nur bereichsweise oder an einer Seite auf dem Basissubstrat 3 mit der Verbindung 11 fixiert sein. Daher kann zumindest ein Bereich mit einem Montagebereich auf dem Basissubstrat 3 vorhanden sein, an welchem auf eine Verbindung 11 verzichtet werden kann.
Durch das Überdecken der Kavität 4 durch das Fabry-Perot-Interferometer 1 kann es vorteilhaft verhindert oder verringert werden, dass ungefiltertes Streulicht aus der Umgebung auf die Detektoreinrichtung treffen kann. Durch das Verringern oder Vermeiden eines Auftreffens von ungefilterter Streustrahlung auf die Detektoreinrichtung kann ein Signal- Rausch- Verhältnis der Interferometereinrichtung verbessert werden.
Die Interferometereinrichtung kann als ein mikromechanisches Bauelement, vorteilhaft als Mikrospektrometer ausgeformt sein, wobei auch das Fabry-Perot- Interferometer 1 als ein mikromechanisches Bauelement ausgeformt sein kann und als ein in Wellenlängen durchstimmbarer Filter wirken kann. Die Interferometereinrichtung kann weiterhin als ein Modul zum Integrieren in größere Baugruppen ausgelegt sein.
Durch die Ausnehmung A können auch Wellenlängen durch das FPI transmittiert werden, welche sonst im Substratmaterial absorbiert würden. Bei Überdeckung der Kavität 4 lateral über diese hinaus kann der Kontaktdraht 7 also direkt auf die Oberfläche des Basissubstrats 3 gezogen werden, eine sonst notwendige Durchkontaktierung (Via) im oder durch das Basissubstrat 3 kann entfallen.
Die Verbindung 11 kann die elektrische Leiterbahn 5 vorteilhaft zumindest teilweise oder vollständig überdecken. Der Kontaktdraht 7 kann platzsparend in die Kavität 4 geführt werden. Somit kann eine elektrische Verbindung zur Detektoreinrichtung 6a innerhalb des optischen Bereichs OB erfolgen.
Fig. 2 zeigt eine schematische Draufsicht auf eine Interferometereinrichtung gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung.
In der Fig. 2 wird die Interferometereinrichtung aus der Fig. 1 in Draufsicht, insbesondere entlang einer Richtung des Lichteinfalls auf das Fabry-Perot- Interferometer 1, gezeigt. Der optische Bereich OB kann als kreisförmiger Bereich ausgeformt sein, ebenso die Kavität 4 und die Ausnehmung A im Substrat 2. Die Fig. 2 zeigt diesbezüglich nur einen kreisförmigen optischen Bereich OB, aus Gründen der Übersichtlichkeit wurde auf die Darstellung der Form der Kavität 4 und der Ausnehmung A verzichtet. Die Form der Kavität 4 und/oder der Ausnehmung A und/oder des optischen Bereichs OB kann auch von einer Kreisform abweichen. Die elektrische Leiterbahn 5 kann von einem Randbereich über dem Basissubstrat 3 bis in den optischen Bereich OB hinein geführt werden, vorteilhaft als schmale Leiterbahn (etwa Metallisierung auf dem Basissubstrat 3) und kann einen Kontaktbereich unterhalb der Ausnehmung A für den Kontaktdraht 7 ausbilden, mittels dessen die Detektoreinrichtung 6 kontaktiert sein kann. Die Verbindung 11 kann in einem Randbereich, beispielsweise nur an einer Seite des Basissubstrats 3, angebracht sein, vorteilhaft unterhalb der Kontaktpunkte T, welche eine Mehrzahl umfassen können und auf dem Fabry-Perot-Interferometer 1 angeordnet sein können. Die Verbindung 11 kann die Ausnehmung A bevorzugt lateral nur bereichsweise, also nicht vollständig, umschließen. Auf diese Weise lässt sich das Einkoppeln von mechanischer Spannung aus dem Aufbau in die Interferometereinrichtung reduzieren. Die Verbindung 11 kann vorzugsweise auf eine Unterkante des Fabry-Perot-Interferometers 1 reduziert sein, während wenigstens eine Seite einen mechanischen Montageanschlag ohne die Verbindung 11 aufweisen kann. In diesem Montageanschlag kann das Fabry-Perot-Interferometer lediglich aufgesetzt sein.
Auf dem Basissubstrat 3 können des Weiteren einer oder mehrere Kontaktstellen 5a angeordnet sein, welche mit äußeren Kontaktdrähten zur Kontaktierung des Fabry-Perot-Interferometers 1 verbunden sein können. Fig. 3 zeigt eine schematische Seitenansicht der Interferometereinrichtung gemäß eines weiteren Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung.
Das Ausführungsbeispiel der Fig. 3 unterscheidet sich darin von jenem der Fig.
1, dass das Fabry-Perot-Interferometer 1 ein vollständig durchgehendes Substrat 2 umfassen kann, mit anderen Worten kann auf die Ausnehmung im Substrat 2 verzichtet werden, wenn dieses für die zu erwartende durch das Fabry-Perot- Interferometer 1 gefilterte Strahlung transmittierend ist.
Die Kavität in dem Basissubstrat 3 kann groß genug ausgeformt sein, so dass zumindest eine erste Detektoreinrichtung 6a und eine zweite Detektoreinrichtung 6b in der Kavität 4 angeordnet sein können, welche für unterschiedliche Wellenlängenbereiche sensibel sein können und in der Kavität 4 übereinander angeordnet sein können. Die beiden oder mehrere Detektoreinrichtungen können auch nebeneinander oder zumindest teilweise gestapelt sein.
Die zumindest eine elektrische Leiterbahn 5 kann im Basissubstrat 3 zumindest teilweise eingebettet sein und sich bis in die Kavität 4 hinein erstrecken. In der Kavität kann dann jeweils ein Kontaktdraht 7 von der elektrischen Leiterbahn 5 zur ersten Detektoreinrichtung 6a und zur zweiten Detektoreinrichtung 6b geführt werden. Die elektrische Leiterbahn 5 kann sich zur Außenkontaktierung durch das Basissubstrat 3 hindurch erstrecken, beispielsweise zu einer Oberseite Ol des Basissubstrats, auf welcher das Fabry-Perot-Interferometer 1 angeordnet sein kann und vorteilhaft lateral außerhalb eines Bereichs, auf welchem das Fabry-Perot-Interferometer 1 angeordnet werden kann, einen ersten Kontaktbereich 5‘ bilden. Die elektrische Leiterbahn 5 kann zumindest einen Durchkontakt 5b umfassen, welcher sich durch das Basissubstrat 3 erstrecken kann, vorteilhaft zwischen einem ersten Kontaktbereich 5’ der Leiterbahn 5 und einem zweiten Kontaktbereich 5”, welcher im Basissubstrat 3 eingebettet sein kann und sich bis in die Kavität 4 hinein erstrecken kann.
Das Basissubstrat 3 kann zumindest eine Wärmesenke 9 umfassen, welche mit der Detektoreinrichtung und/oder mit dem Fabry-Perot-Interferometer 1 in thermischem Kontakt stehen kann. Die zumindest eine Wärmesenke 9 kann auf einer der Oberseite Ol gegenüberliegenden Rückseite 02 angeordnet sein, oder in das Basissubstrat 3 zumindest teilweise eingebettet sein. Von der Wärmesenke 9, welche beispielsweise unterhalb der Kavität 4 angeordnet sein kann, können sich durch das Basissubstrat 3 durchlaufende Verbindungsstücke 9b bis zur ersten oder zweiten Detektoreinrichtung 6a oder 6b (bis in die Kavität 4 hinein) erstrecken. Die Wärmesenke kann auch einen weiteren Bereich umfassen oder es kann eine weitere separate Wärmesenke 9 unterhalb der Verbindung 11 angeordnet sein und es können sich weitere Verbindungsstücke 9b durch das Basissubstrat 3 bis zur Verbindung 11 (bis zum Kleber) erstrecken. Auf diese Weise kann Wärme von den Detektoreinrichtungen und/oder von dem Fabry-Perot-Interferometer 1 abgeführt werden. Die Wärme kann von der transmittierten und in der Detektoreinrichtung oder der Verbindung 11 absorbierten Strahlung resultieren. Die Verbindungsstücke 9b und/oder die Wärmesenke 9 können ein Metall umfassen.
Fig. 4 zeigt eine schematische Seitenansicht der Interferometereinrichtung gemäß eines weiteren Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung.
Das Ausführungsbeispiel der Fig. 4 unterscheidet sich darin von jenem der Fig.
3, dass die Kavität 4 eine erste Kavität 4a und darin ausgeformt eine zweite Kavität 4b umfasst, welche eine lateral geringere Ausdehnung umfasst als die erste Kavität 4a, und wobei die zweite Detektoreinrichtung 6b in der zweiten Kavität 4b angeordnet sein kann und die erste Detektoreinrichtung 6a in der ersten Kavität 4a angeordnet sein kann. Die erste Detektoreinrichtung 6a kann die zweite Kavität 4b zumindest teilweise überspannen, vorteilhaft vollständig. Zumindest eine der Kavitäten 4a und 4b kann mit einer reflektierenden Schicht 8 bedeckt sein, zumindest auf deren Boden.
Die zumindest eine elektrische Leiterbahn 5 kann ähnlich der Fig. 3 im Basissubstrat 3 zumindest teilweise eingebettet sein und sich bis in die Kavitäten 4a und 4b hinein erstrecken, vorteilhaft auf unterschiedlichen Ebenen, so dass stets der Boden der jeweiligen Kavität 4a oder 4b erreicht wird. In der Kavität kann dann jeweils ein Kontaktdraht 7 von der elektrischen Leiterbahn 5 zur jeweiligen in dieser Kavität angeordneten Detektoreinrichtung 6a oder 6b geführt werden. Die elektrische Leiterbahn 5 kann sich zur Außenkontaktierung durch das Basissubstrat 3 hindurch erstrecken, beispielsweise zu einer Oberseite Ol des Basissubstrats, auf welcher das Fabry-Perot-Interferometer 1 (FPI) angeordnet sein kann, und vorteilhaft lateral außerhalb eines Bereichs, auf welchem das Fabry-Perot-Interferometer 1 angeordnet werden kann, mehrere erste Kontaktbereiche 5‘ bilden. Die elektrische Leiterbahn 5 kann für jede Ebene der entsprechenden Kavität 4a und 4b zumindest einen Durchkontakt 5b umfassen, welcher sich durch das Basissubstrat 3 erstrecken kann, vorteilhaft zwischen einem ersten Kontaktbereich 5’ der Leiterbahn 5 und einem zweiten Kontaktbereich 5”, welcher im Basissubstrat 3 eingebettet sein kann.
Wie in dem linken oberen Bereich der Fig. 4 gezeigt können nach Ausführung VI in Draufsicht die erste und die zweite Kavität konzentrisch und mit parallelen Seitenflanken ausgeformt sein oder nach Ausführung V2 um einen Winkel gedrehte Seitenflanken aufweisen.
Die beiden Detektoreinrichtungen 6a und 6b können in den stufenpyramidenförmigen Kavitäten 4a und 4b angeordnet sein, sodass der erste Detektoreinrichtung 6a für kürzere Wellenlängen auf einem dem FPI nächstgelegenen Absatz und die zweite Detektoreinrichtung 6b für längeren Wellenlängen auf einem nachgeordneten Absatz montiert werden kann. Durch eine unterschiedliche Sensibilität für die transmittierten Wellenlängen kann eine Ordnungstrennung bei der Identifikation der vom Fabry-Perot-Interferometer transmittierten Strahlung erzielt werden.
Fig. 5 zeigt eine schematische Seitenansicht der Interferometereinrichtung gemäß eines weiteren Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung.
Das Ausführungsbeispiel der Fig. 5 unterscheidet sich darin von jenem der Fig.
3, dass die Kavität 4 eine erste Kavität 4a und darin ausgeformt eine zweite Kavität 4b umfasst, welche eine lateral geringere Ausdehnung umfassen kann als die erste Kavität 4a, und wobei in der ersten Kavität ein optisches Element 12 über der ersten und/oder zweiten Detektoreinrichtung 6a oder 6b angeordnet sein kann. Das optische Element 12 kann die zweite Kavität 4b vorteilhaft vollständig überdecken. Das optische Element 12 kann einen Kantenfilter, ein einfallswinkeleinschränkendes Element, eine Aperturblende und/oder weitere optische Elemente umfassen. Die Detektoreinrichtung 6a kann über den Kontaktdraht 7 platzsparend innerhalb der Kavität 4 elektrisch angebunden werden. Fig. 6 zeigt ein schematisches Blockschaltbild von Verfahrensschritten eines Verfahrens gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung. Bei dem Verfahren zum Herstellen einer Interferometereinrichtung erfolgt ein
Bereitstellen S1 eines Basissubstrats mit einer Kavität und zumindest einer elektrischen Leiterbahn; ein Anordnen S2 zumindest einer Detektoreinrichtung in der Kavität und ein elektrisches Kontaktieren S3 der Detektoreinrichtung mit der elektrischen Leiterbahn; und ein Anordnen S4 eines Fabry-Perot-Interferometers, welches zumindest zwei zueinander beabstandete Spiegeleinrichtungen und ein
Substrat umfasst, wobei die Spiegeleinrichtungen jeweils parallel über dem Substrat angeordnet sind und zumindest eine der Spiegeleinrichtungen bezüglich dem Substrat beweglich ist. Obwohl die vorliegende Erfindung anhand des bevorzugten
Ausführungsbeispiels vorstehend vollständig beschrieben wurde, ist sie darauf nicht beschränkt, sondern auf vielfältige Art und Weise modifizierbar.

Claims

Ansprüche
1. Interferometereinrichtung (10) umfassend ein Fabry-Perot-Interferometer (1), welches zumindest zwei zueinander beabstandete Spiegeleinrichtungen (SP1; SP2) und ein Substrat (2) umfasst, wobei die Spiegeleinrichtungen (SP1; SP2) jeweils parallel über dem Substrat (2) angeordnet sind und zumindest eine der Spiegeleinrichtungen (SP1; SP2) bezüglich dem Substrat (2) beweglich ist; ein Basissubstrat (3), welches eine Kavität (4) und zumindest eine elektrische Leiterbahn (5) umfasst, wobei das Fabry-Perot-Interferometer (1) auf dem Basissubstrat (3) angeordnet ist und die Kavität (4) überdeckt; und zumindest eine Detektoreinrichtung (6), welche in der Kavität (4) angeordnet ist und mittels der elektrischen Leiterbahn (5) elektrisch kontaktiert ist.
2. Interferometereinrichtung (10) nach Anspruch 1, bei welcher das Fabry-Perot- Interferometer (1) einen optischen Bereich (OB) umfasst, welcher zur Filterung und Transmission eines Lichts geeignet ist und wobei der optische Bereich (OB) über der Kavität (4) angeordnet ist.
3. Interferometereinrichtung (10) nach Anspruch 1 oder 2, bei welcher die zumindest eine elektrische Leiterbahn (5) im Basissubstrat (3) zumindest teilweise eingebettet ist und sich bis in die Kavität (4) hinein erstreckt.
4. Interferometereinrichtung (10) nach Anspruch 1 oder 2, bei welcher die zumindest eine elektrische Leiterbahn (5) auf einer dem Fabry-Perot-Interferometer (1) zugewandten Oberseite (Ol) des Basissubstrats (3) angeordnet ist und ein elektrischer Kontakt der Detektoreinrichtung (6) mit der elektrischen Leiterbahn (5) über einen Kontaktdraht (7) hergestellt ist.
5. Interferometereinrichtung (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei welcher das Substrat (2) über der Kavität (4) eine Ausnehmung (A) umfasst, welche die Kavität (4) lateral überragt.
6. Interferometereinrichtung (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei welcher die Detektoreinrichtung zumindest eine erste Detektoreinrichtung (6a) und eine zweite Detektoreinrichtung (6b) umfasst, welche für unterschiedliche Wellenlängenbereiche sensibel sind und in der Kavität (4) übereinander oder nebeneinander angeordnet sind.
7. Interferometereinrichtung (10) nach Anspruch 6, bei welcher die Kavität (4) eine erste Kavität (4a) und darin ausgeformt eine zweite Kavität (4b) umfasst, welche eine lateral geringere Ausdehnung umfasst als die erste Kavität (4a), und wobei die erste und/oder die zweite Detektoreinrichtung (6a; 6b) in der zweiten Kavität (4b) angeordnet ist.
8. Interferometereinrichtung (10) nach Anspruch 7, bei welcher die zweite Detektoreinrichtung (6b) in der zweiten Kavität (4b) angeordnet ist und die erste Detektoreinrichtung (6a) in der ersten Kavität (4a) angeordnet ist, und die zweite Kavität (4b) zumindest teilweise überspannt.
9. Interferometereinrichtung (10) nach Anspruch 7 oder 8, bei welcher ein optisches Element (12) in der ersten Kavität (4a) und über der ersten und/oder zweiten Detektoreinrichtung (6a; 6b) angeordnet ist.
10. Interferometereinrichtung (10) nach Anspruch 9, bei welcher die erste Detektoreinrichtung (6a) bei kleineren Wellenlängen sensibel ist als die zweite Detektoreinrichtung (6b).
11. Interferometereinrichtung (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei welcher die Kavität (4; 4a; 4b) zumindest teilweise mit einer reflektierenden Schicht (8) bedeckt ist.
12. Interferometereinrichtung (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 11, bei welcher das Basissubstrat (3) zumindest eine Wärmesenke (9) umfasst, welche mit der Detektoreinrichtung und/oder mit dem Fabry-Perot-Interferometer (1) in thermischem Kontakt steht.
13. Verfahren zum Herstellen einer Interferometereinrichtung (10) umfassend die Schritte:
Bereitstellen (Sl) eines Basissubstrats (3) mit einer Kavität (4) und zumindest einer elektrischen Leiterbahn (5); Anordnen (S2) zumindest einer Detektoreinrichtung (6) in der Kavität (4) und elektrisches Kontaktieren (S3) der Detektoreinrichtung (6) mit der elektrischen Leiterbahn (5); und
Anordnen (S4) eines Fabry-Perot-Interferometers (1), welches zumindest zwei zueinander beabstandete Spiegeleinrichtungen (SP1; SP2) und ein Substrat (2) umfasst, wobei die Spiegeleinrichtungen (SP1; SP2) jeweils parallel über dem Substrat (2) angeordnet sind und zumindest eine der Spiegeleinrichtungen (SP1; SP2) bezüglich dem Substrat (2) beweglich ist.
14. Verfahren nach Anspruch 13, bei welchem das Kontaktieren (S3) der
Detektoreinrichtung (6) mit einem Kontaktdraht (7) erfolgt.
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