WO2020128299A1 - Prédiction de la forme d'un objet tridimensionnel soumis à un processus de diffusion - Google Patents

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Definitions

  • the present invention relates generally to the field of manufacturing three-dimensional objects from an initial shape intended to undergo a diffusion process, and more particularly a method of predicting the shape of such objects at the end of said process.
  • EP-A-820855 describes a method of manufacturing three-dimensional objects from successive layers obtained by stereolithography and undergoing polymerization under the effect of energy radiation.
  • An object of the present invention is therefore to propose a method of predicting the shape of a three-dimensional object after it has undergone a diffusion process.
  • a subsidiary aim of the present invention is to propose a method of manufacturing a three-dimensional object of predetermined target shape and of given material, from a given initial shape.
  • the present invention is defined by a method of predicting the shape of a three-dimensional object subjected to a diffusion process for a predetermined duration, said method comprising:
  • a calibration phase in which a plurality of samples of different initial shapes undergo, during said determined duration, the diffusion process, at the end of which the samples adopt final shapes, and in which, for each sample:
  • the initial height of the sample is measured and the first contours of a plurality of horizontal slices of the sample are acquired in its initial shape, at heights normalized by the initial height;
  • the final height of the sample is measured and second contours of the same plurality of horizontal slices of the sample in its final shape are acquired, at heights standardized by the final height, equal to said normalized heights by the final height;
  • a prediction phase in which: d) the final height of said object is estimated from its initial height and from the parameters of the vertical morphing law;
  • step (f) determining the contours of the plurality of slices of said object in its final form, at standardized heights, from the representation of the contours of these slices in said Fourier space obtained in step (f);
  • the final shape of the three-dimensional object is obtained from the final height of said object and the contours of the edges of said object in its final shape, previously determined at standard heights.
  • the representation in said Fourier space of the first and second contours in step (c) as well as the representation, in this same space, of the contours of the edges of the object in its initial form when step (f), is obtained by a curvilinear Fourier transform of these contours.
  • step (g) the determination of the contours of the plurality of slices of said object in its final form is obtained by a reverse curvilinear Fourier transformation of the representation of the contours of these slices in said Fourier space obtained at l 'step (f).
  • the representation in said Fourier space of the first and second contours in step (c) as well as the representation in this space of the contours of the slices of the object in its initial form in step (f ), is obtained by performing the following steps:
  • step (g) the determination of the contours of the plurality of slices of said object in its final form is obtained by performing an inverse two-dimensional spatial Fourier transform of the coefficients calculated in step (f2).
  • the invention is also defined by a method of manufacturing a three-dimensional object of given material and having a given setpoint shape, the method of manufacturing comprising a calibration phase in which, from measurements of samples of this material, before and after a diffusion process of duration T, a database of parameters of a vertical morphing law and of a law is constructed of lateral morphing for a plurality of normalized heights of said samples, then a prediction method as defined above is applied to a plurality of initial shapes to predict their respective final shapes at the end of the diffusion process, and the selection is made initial shape whose corresponding final shape is closest to said setpoint shape in the sense of a predetermined distance, a three-dimensional object is produced having the initial shape thus selected and finally the diffusion process is applied for the duration T for obtaining a three-dimensional object having said target shape.
  • FIG. 1 schematically represents the initial shape of a three-dimensional object
  • FIG. 2 shows, schematically, the shape of the three-dimensional object of FIG. 1 after it has undergone a diffusion process
  • FIG. 3A and FIG. 3B represent the flowchart of a prediction method, according to a first embodiment, of the shape of a three-dimensional object having undergone a diffusion process;
  • FIG. 4A and FIG. 4B represent the flowchart of a method for predicting the shape of a three-dimensional object having undergone a diffusion process, according to a variant of the first embodiment
  • FIG. 5A] and [Fig. 5B] represent the flowchart of a method for predicting, according to a second embodiment, the shape of a three-dimensional object having undergone a diffusion process
  • FIG. 6A] and [Fig. 6B] represent the flowchart of a method for predicting the shape of a three-dimensional object having undergone a diffusion process, according to a variant of the second embodiment
  • FIG. 7 represents the flowchart of a method of manufacturing a three-dimensional object of given material and of predetermined target shape.
  • This object can for example have been produced by means of an additive manufacturing technique or by 3D photolithography.
  • the material may for example be a polymer.
  • FIG. 1 a perspective view of such an object, of total height
  • This object can be divided into successive horizontal sections designated by ⁇ ", each section being characterized by its own outline in the horizontal plane.
  • this object undergoes a transformation by means of a diffusion process of physical or even physico-chemical origin.
  • This diffusion process can be, for example, a reflow, such as a thermal reflow of the material constituting the object or even an erosion of this material in the presence of a solvent in the gas phase.
  • Fig. 2 represents the three-dimensional object of FIG. 1 after it has undergone a diffusion process for a time T. Due to the diffusion process and gravity, the shape of the object has changed: the shape has generally subsided and the areas corresponding to high spatial frequencies have been smoothed.
  • the idea underlying the present invention is to model the shape transformation (also called morphing) of the three-dimensional object. It is important to understand that this modeling does not aim to model the underlying physical process but simply the change in shape resulting from the application of the process.
  • the evolution of the shape of the object is modeled, on the one hand, by a first law giving the total height of the object in time and, on the other hand, by a second law describing the evolution of the contour of a horizontal section of the object over time.
  • the height of the three-dimensional object depends on time and is noted for this reason - h max designating the initial height of the object and KO the height of this same object after it has undergone a diffusion process for a time T.
  • Equations (3-1) and (3-2) can be expressed more compactly using complex coordinates: where (- c o (0 + . ⁇ ; o (0 represents the evolution in time of the center of gravity of the contour, (represents the evolution in time of the equivalent ellipse, i.e. approximating at best the contour of the edge.
  • the coefficient s (3 ⁇ 4) will be referred to below as the contraction coefficient.
  • the contraction coefficient depends on the normalized height at which the slice is in the three-dimensional object. Indeed, due to the diffusion process the shape of the object after an infinite time is that of a truncated sphere. It follows that v (- 0, since the vertex of the sphere can be considered as a slice of zero size. On the other hand, the coefficient ⁇ (0) can be greater than 1, in other words the base can expand over time .
  • the matrix In the absence of coupling, that is to say when the slices are independent, the matrix is reduced to a simple diagonal matrix. Conversely, the coupling can extend beyond the immediately lower slice and the immediately upper slice, in which case the matrix comprises upper and lower sub-diagonals composed of non-harmful terms. In practice, however, a coupling with the immediately lower edge and the immediately upper edge is generally sufficient to describe the evolution of the contours of the different edges of the object.
  • the above model makes it possible to predict the shape of a three-dimensional object, after having undergone a diffusion process for a predetermined time T.
  • Figs. 3A-3B represent the flowchart of a method for predicting, according to a first embodiment, the shape of a three-dimensional object having undergone a diffusion process for a predetermined time.
  • the prediction method firstly comprises a calibration phase comprising steps 310-345 in FIG. 3A.
  • step 310 there are a plurality of samples of three-dimensional objects of different heights. These samples also advantageously have different profiles.
  • step 315 the initial shape of each of the samples is measured, for example by means of an atomic force microscope (AFM). The height of each sample is measured and divided into L intervals, each interval defining a horizontal slice ⁇ f of the object located at a standardized height, z e. We obtain from the measurement of the initial shape, the outline of each section £ - - > £.
  • step 320 a curvilinear Fourier decomposition of the contour of each of these slices is carried out.
  • step 325 the diffusion process is applied to the different samples for a duration T.
  • step 330 the final shape of each of the samples is measured, preferably by the same means as above. We deduce the new heights of the samples and the edges of the sections located at the same normalized heights as before.
  • step 335 the coefficients of the vertical morphing law are estimated. More precisely, from the heights measured in step 330 and the equivalent radii of the sections forming the base of the samples, obtained in step 315, the coefficients a, b of expression (2) are determined at using a curve fitting technique.
  • a curvilinear Fourier decomposition of each of the edges of the slices is carried out in step 340.
  • step 345 a curve fitting technique is determined for each slice l the parameters s ' ag ' ⁇ q U j minimize the quadratic error between the values C given by the model (expression ( 11) and the corresponding experimental values. An estimate of these parameters is thus obtained
  • a P 2 ⁇ z) (17-1)
  • r P (z) (17-2)
  • the parameter values are estimated for a plurality L of normalized heights (if necessary several estimates relating to the same normalized height which can be obtained from different samples) and the coefficients of the polynomials are then calculated to minimize the mean square deviation of the values of the parameters thus estimated.
  • the calibration phase is followed by a prediction phase proper, comprising steps 350-370 in FIG. 3B.
  • the prediction phase aims to predict the shape of a three-dimensional object (given initial shape) when it has undergone the diffusion process for a duration T.
  • the initial shape of the object is characterized by its total height , ⁇ ma, on the one hand, and by the contours of the horizontal slices of the object located at values of normalized heights z , on the other hand.
  • step 355 we consider the slices ⁇ at the normalized heights ⁇ c, - 1 At this step, we perform a curvilinear Fourier transform of the contours of these slices and we obtain the complex coefficients F'I ⁇ , k— —N, .., N r In step 360, the edges of the slices are determined from the lateral morphing law. at the end of the diffusion process. More precisely, the coefficients F ⁇ CI) of the harmonics of rank Kl 1 are calculated by means of: were obtained in the calibration phase.
  • step 365 an inverse curvilinear transform is carried out to calculate the contour of each slice:
  • step 370 the shape of the three-dimensional object is reconstructed from the contours of the slices ( t, (- obtained in step 365, these sections being now located respectively at heights h (T) z t / t— 1, -, L,
  • Figs. 4A-4B schematically represent the flowchart of a method for predicting the shape of a three-dimensional object having undergone a diffusion process, according to a variant of the first embodiment.
  • the prediction method includes a calibration phase (Fig. 4A) before the actual prediction phase (Fig. 4B).
  • Steps 410-440 are respectively identical to steps 310-340 and their description will therefore not be repeated here.
  • step 445 the coefficients are estimated at 7, & - verifying for each of the samples:
  • the tri-diagonal matrix has diagonal terms ⁇ rl and for elements of the lower diagonal and the upper diagonal
  • the constant term * - is a vector of size L whose elements are the curvilinear harmonics of rank k of the contours of the different slices of the sample at the end of the application of the diffusion process and is a vector of size L whose elements are the curvilinear harmonics of rank k of the contours of the different sections of the initial sample.
  • the actual prediction phase includes steps 450-470. As before, it aims to predict the shape of a three-dimensional object (of given initial shape) when it has undergone the diffusion process for a duration T.
  • Step 450 of determining the height of the three-dimensional object, using the vertical morphing law whose coefficients were estimated in the calibration phase, is identical to step 350.
  • step 455 we obtain the complex coefficients ⁇ - N, .., A r ⁇ — d e
  • step 460 the contours of the slices ⁇ ?, ⁇ - are determined from the lateral morphing law. at the end of the diffusion process. More precisely, we calculate the vectors > 1 by means of:
  • Steps 465 and 470 are respectively identical to steps 365 and 370. In other words, it calculates 465 the inverse Fourier transform curvilinear ⁇ ), k - N, ..> N r p 0ur obtain the contours of the different slices and we finally reconstruct the shape of the object in 470.
  • the representation of the contours of the edges of the three-dimensional object does not call for a decomposition in a curvilinear Fourier series but for a level surface method, developed in Fourier coefficients .
  • the methods by level surfaces make it possible to represent the evolution of an interface over time.
  • F is a Q X Q size matrix whose elements are the Fourier coefficients
  • t is a my RJCE t d e QQ size whose elements are the values of e v QQ size whose elements are the values my trice of size QQ whose elements are the values J k y nex P ⁇ j k x mx i + Jk y , ), 0, is a vector of size Q whose elements are harmful, v ; is a vector of size Q whose elements are all equal to v ; , n ⁇ is a vector of size Q whose elements are all equal to v >.
  • the diffusion phenomenon induces a smoothing of the curve so that the power of the harmonics, "(tends towards zero, in other words, as soon as As in the first embodiment, it is assumed that the power of the harmonics decreases exponentially over time, the speed of the decrease depending on the rank of the harmonic, namely:
  • FIGs. 5A-5B represent the flowchart of a method for predicting, according to the second embodiment, the shape of a three-dimensional object having undergone a diffusion process for a predetermined time.
  • the prediction method firstly includes a calibration phase comprising steps 510-545 in FIG. 5A.
  • step 510 there are a plurality of three-dimensional samples of different heights. These samples also advantageously have different profiles.
  • step 515 the initial shape of each of the samples is measured, for example by means of an atomic force microscope (AFM).
  • the height of each sample is measured and divided into L intervals, each interval defining a horizontal slice (? Of the object located at a standardized height, 4.
  • the points 4 equidistributed along the contour will be chosen.
  • step 517 the level curves f ′ ( x y) are determined, - checking the constraints:
  • step 520 the spatial Fourier coefficients are calculated for each of the samples ./ ⁇ X '), where the value 0 indicates that the three-dimensional object is considered at the initial instant before the application of the diffusion process.
  • the fundamental spatial frequencies 4 ⁇ ⁇ J y or and 4 are the dimensions of a rectangle including the projection of the object on a horizontal plane.
  • the diffusion process is applied to the different samples for a duration T.
  • the final shape of each of the samples is measured by the same means as above. We deduce the new heights of the samples and the edges of the sections located at the same normalized heights as before.
  • step 535 the coefficients of the vertical morphing law are estimated. More precisely, from the heights measured in step 530 and the equivalent radii of the slices forming the base of the samples, obtained in step 515, the coefficients e, b of expression (2) are determined at using a curve fitting technique.
  • step 540 we again choose on the contour ⁇ f of each slice * - '? , A plurality N of points A, - coordinates (AA ',)
  • step 543 the spatial Fourier coefficients A () of the functions / ( l 5> are calculated, where the value T indicates that the three-dimensional object is considered after the application of the diffusion process. this end the same spatial frequencies
  • step 545 a curve fitting technique is determined for each slice (the parameters which minimize the quadratic error between the values ",” CO given by the model (expression (31) and the corresponding experimental values. We thus obtain an estimate of these parameters:
  • the calibration phase is followed by a prediction phase proper, comprising steps 550-570 in FIG. 5B.
  • the prediction phase aims to predict the shape of a three-dimensional object (of given initial shape) when it has undergone the diffusion process for a duration T.
  • step 553 the wafers are considered ? at normalized heights z t, type, for each slice ⁇ t, we select a plurality N of , coordinates ( X >'on the contour of each slice and Ton determines the normal vectors to the curve / at these points.
  • step 555 the level curves î ' ' ( ' ) are determined, checking the constraints:
  • step 557 the spatial Fourier coefficients / ", * (0 of the functions f" ( x , y) are calculated, where the value 0 indicates that the three-dimensional object is considered at the initial instant before l application of the diffusion process
  • the fundamental spatial frequencies used for the calculation of the Fourier coefficients are the same as the calibration phase.
  • step 560 the contours of the slices are determined from the lateral morphing law? - at the end of the diffusion process. More precisely, we calculate the coefficients (/) harmonics of rank + zr> 1 by means of (32) i.e. with were obtained in the calibration phase.
  • step 565 an inverse spatial Fourier transform of the coefficients / Z (/ ) is carried out to calculate the level curve ./ '( x -. Y):
  • step 570 the shape of the three-dimensional object is reconstructed from contour lines of the slices ⁇ i, ⁇ ⁇ obtained in step 565, these sections now being located respectively at heights ⁇ W Z ,
  • Figs. 6A-6B represent the flowchart of a method for predicting the shape of a three-dimensional object having undergone a diffusion process, according to a variant of the second embodiment.
  • Steps 610-643 are respectively identical to steps 541-543 of the second embodiment and their description will therefore be omitted.
  • step 645 the parameters verifying for each of the samples are estimated:
  • F i o (T) exp (A i 0 i) F 1 0 (0) + (I i - exp (A 1 0 r)) F 1 0 () (43-3) is the vector of size L whose elements are (resp. fmJX 1 )) obtained in the calibration phase and is the symmetric tri-diagonal matrix of size L x L whose terms of the main diagonal are equal to and whose terms of the lower diagonal as well as the upper diagonal are equal to is a coupling coefficient for the spatial harmonic of indices m - n between two successive slices of the sample.
  • the resolution of the system of equations (43-1), (43-2), (43-3) is done by fitting curves by considering only the first of the series develop exponentials of matrices.
  • the calibration phase is followed by a prediction phase proper, comprising steps 650-670 in FIG. 6B.
  • Steps 650-657 are respectively identical to steps 550-557 of the second embodiment.
  • step 660 it is determined, from the side morphing law, the contours of the slots' - at the end of the diffusion process. More precisely, we calculate the coefficients / harmonics of rank ⁇ lm 2 + n 2 > 1 by means of (36) i.e.
  • F '(O exp (A T)
  • F' (0) (44) is the vector of the spatial Fourier coefficients of the slices ⁇ ; at standard heights ;
  • step 665 an inverse spatial Fourier transform of the coefficients / is carried out obtained in the previous step.
  • step 670 the shape of the three-dimensional object is reconstructed from contour lines of the slices ⁇ r, ⁇ - obtained in step 665, these slices now being located respectively at heights ⁇ z i,
  • the method of predicting the shape of a three-dimensional object makes it possible to considerably reduce the measurement campaigns because the modeling of the laws of vertical and lateral morphing requires only a relatively small number of samples.
  • Fig. 7 represents the flowchart of a method of manufacturing a three-dimensional object of given material and of predetermined setpoint shape.
  • the manufacturing method includes a calibration phase, a prediction phase, an optimization phase and a manufacturing phase proper.
  • a database containing the data is constructed from sample measurements before and after a diffusion process of duration T for a plurality of standardized heights ⁇ .
  • This calibration phase can be that of the first embodiment or the second embodiment, or alternatively of their variants. If necessary, the database can contain these parameters for a plurality of duration values.
  • a plurality of initial forms of a three-dimensional object are tested and the prediction method described in steps 350-370 or 450-470 or 550 is applied to each of these forms.
  • -570 or 650-670 depending on the embodiment chosen, to predict the forms at the end of the diffusion process (if necessary by taking into account different diffusion durations), called final forms.
  • the final, so-called optimal, shape is determined which is closest to the setpoint shape in the sense of a predetermined distance.
  • a three-dimensional object having the corresponding initial shape is produced, for example by 3D lithography or additive manufacturing, and the process is applied for the duration stored in the database.
  • the process is applied for the duration stored in the database.

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Abstract

La présente invention concerne une méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel après avoir subi un processus de diffusion pendant une durée prédéterminée. La méthode de prédiction fait appel à une loi de morphing verticale et une loi de morphing latérale. La loi de morphing latérale s'applique à une description des contours de différentes tranches d'un échantillon à des hauteurs normalisées. La description du contour d'une tranche est obtenue par une transformée de Fourier curviligne du contour ou par une transformée de Fourier spatiale bidimensionnelle d'une courbe de niveau approchant ce contour. La présente invention concerne également la fabrication d'un objet tri-dimensionnel de matériau donné et de forme de consigne donnée.

Description

DESCRIPTION
PRÉDICTION DE LA FORME D'UN OBJET TRIDIMENSIONNEL SOUMIS À UN PROCESSUS
DE DIFFUSION
DOMAINE TECHNIQUE
La présente invention concerne de manière générale le domaine de la fabrication d'objets tri-dimensionnels à partir d'une forme initiale destinée à subir un processus de diffusion, et plus particulièrement une méthode de prédiction de la forme de tels objets au terme dudit processus. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE
De nombreuses techniques de fabrication additive d'objets tri-dimensionnels ont vu le jour ces dernières années. Ces techniques font généralement appel à un dépôt de couches successives subissant une transformation physique telle qu'une polymérisation par exemple. Ainsi, la demande EP-A-820855 décrit une méthode de fabrication d'objets tri-dimensionnels à partir de couches successives obtenues par stéréolithographie et subissant une polymérisation sous l'effet d'un rayonnement énergétique.
Quelle que soit la technique utilisée, il est connu de procéder à une refusion (reflow) de l'objet formé par ces couches successives. Toutefois, la forme finale de l'objet après refusion est difficile à déterminer à l'avance, a fortiori lorsque le coefficient de diffusion du matériau et le temps de refusion sont élevés. Il est donc nécessaire de procéder à des campagnes d'essais longues et coûteuses, avec des couches de formes différentes et de positions relatives différentes avant d'atteindre la forme finale souhaitée.
Un but de la présente invention est par conséquent de proposer une méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel après que celui-ci a subi un processus de diffusion. Un but subsidiaire de la présente invention est de proposer une méthode de fabrication d'un objet tri-dimensionnel de forme de consigne prédéterminée et de matériau donné, à partir d'une forme initiale donnée. EXPOSÉ DE L'INVENTION
La présente invention est définie par une méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel soumis à un processus de diffusion pendant une durée prédéterminée, ladite méthode comprenant :
- une phase de calibration dans laquelle une pluralité d'échantillons de formes initiales différentes subissent, pendant ladite durée déterminée, le processus de diffusion, au terme duquel les échantillons adoptent des formes finales, et dans laquelle, pour chaque échantillon :
a) on mesure la hauteur initiale de l'échantillon et l'on acquiert les premiers contours d'une pluralité tranches horizontales de l'échantillon dans sa forme initiale, à des hauteurs normalisées par la hauteur initiale ;
b) on mesure la hauteur finale de l'échantillon et l'on acquiert des seconds contours d'une même pluralité de tranches horizontales de l'échantillon dans sa forme finale, à des hauteurs normalisées par la hauteur finale, égales aux dites hauteurs normalisées par la hauteur finale ;
c) on estime les paramètres d'une loi de morphing verticale permettant de passer de la hauteur initiale à la hauteur finale et on estime les paramètres d'une loi de morphing latérale permettant de passer d'une représentation, dans un espace de Fourier, des premiers contours à une représentation, dans ce même espace, des seconds contours ;
une phase de prédiction dans laquelle : d) on estime la hauteur finale dudit objet à partir de sa hauteur initiale et des paramètres de la loi de morphing verticale ;
e) on obtient une représentation dans ledit espace de Fourier d'une pluralité de contours des tranches de l'objet dans sa forme initiale, aux dites hauteurs normalisées ;
f) on obtient une représentation dans ledit espace de Fourier d'une pluralité de contours des tranches de l'objet dans sa forme finale, aux hauteurs normalisées, à partir de ladite représentation des tranches de l'objet dans sa forme initiale et des paramètres de la loi de morphing latérale ;
g) on détermine les contours de la pluralité de tranches dudit objet dans sa forme finale, aux hauteurs normalisées, à partir de la représentation des contours de ces tranches dans ledit espace de Fourier obtenue à l'étape (f) ;
h) on obtient la forme finale de l'objet tridimensionnel à partir de la hauteur finale dudit objet et des contours des tranches dudit objet dans sa forme finale, précédemment déterminées aux hauteurs normalisées.
Selon un premier mode de réalisation la représentation dans ledit espace de Fourier des premiers et seconds contours à l'étape (c) ainsi que la représentation, dans ce même espace, des contours des tranches de l'objet dans sa forme initiale à l'étape (f), est obtenue par une transformée de Fourier curviligne de ces contours.
Réciproquement, à l'étape (g), la détermination des contours de la pluralité de tranches dudit objet dans sa forme finale est obtenue par une transformation de Fourier curviligne inverse de la représentation des contours de ces tranches dans ledit espace de Fourier obtenue à l'étape (f).
Selon un second mode de réalisation la représentation dans ledit espace de Fourier des premiers et seconds contours à l'étape (c) ainsi que la représentation dans cet espace des contours des tranches de l'objet dans sa forme initiale à l'étape (f), est obtenue en effectuant les étapes suivantes :
(fl) on sélectionne une pluralité de points de ce contour, et on détermine les normales de ce contour en ces points ;
(f2) on calcule les coefficients d'une transformée de Fourier spatiale bidimensionnelle d'une fonction de courbe de niveau prenant une valeur nulle aux points ainsi sélectionnés et dont les normales en ces points sont respectivement égales aux normales du contour en ces mêmes points.
Réciproquement, à l'étape (g), la détermination des contours de la pluralité de tranches dudit objet dans sa forme finale est obtenue en effectuant une transformée de Fourier spatiale bidimensionnelle inverse des coefficients calculés à l'étape (f2).
L'invention est également définie par une méthode de fabrication d'un objet tri dimensionnel de matériau donné et ayant une forme de consigne donnée, la méthode de fabrication comprenant une phase de calibration dans laquelle on construit à partir de mesures d'échantillons de ce matériau, avant et après un processus de diffusion de durée T, une base de données de paramètres d'une loi de morphing verticale et d'une loi de morphing latérale pour une pluralité de hauteurs normalisées desdits échantillons, puis on applique une méthode de prédiction telle que définie ci-dessus à une pluralité de formes initiales pour prédire leurs formes finales respectives au terme du processus de diffusion, et l'on sélectionne la forme initiale dont la forme finale correspondante est la plus proche de ladite forme de consigne au sens d'une distance prédéterminée, on réalise un objet tridimensionnel ayant la forme initiale ainsi sélectionnée et l'on applique enfin le processus de diffusion pendant la durée T pour obtenir un objet tridimensionnel ayant ladite forme de consigne.
BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture d'un mode de réalisation préférentiel de l'invention, décrit en référence aux figures jointes parmi lesquelles :
[Fig. 1] représente, de manière schématique, la forme initiale d'un objet tridimensionnel ;
[Fig. 2] représente, de manière schématique, la forme de l'objet tri-dimensionnel de la Fig. 1 après que celui-ci a subi un processus de diffusion ;
[Fig. 3A] et [Fig. 3B] représentent l'ordinogramme d'une méthode de prédiction, selon un premier mode de réalisation, de la forme d'un objet tri-dimensionnel ayant subi un processus de diffusion ;
[Fig. 4A] et [Fig. 4B] représentent l'ordinogramme d'une méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel ayant subi un processus de diffusion, selon une variante du premier mode de réalisation ;
[Fig. 5A] et [Fig. 5B] représentent l'ordinogramme d'une méthode de prédiction, selon un second mode de réalisation, de la forme d'un objet tri-dimensionnel ayant subi un processus de diffusion ; [Fig. 6A] et [Fig. 6B] représentent l'ordinogramme d'une méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel ayant subi un processus de diffusion, selon une variante du second mode de réalisation ;
[Fig. 7] représente l'ordinogramme d'une méthode de fabrication d'un objet tri dimensionnel de matériau donné et de forme de consigne prédéterminée.
EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS
Nous considérerons dans la suite un objet tri-dimensionnel de forme initiale donnée et de matériau donné. Cet objet peut par exemple avoir été réalisé au moyen d'une technique de fabrication additive ou par photolithographie 3D. Le matériau peut être par exemple un polymère.
On a représenté en Fig. 1 une vue en perspective d'un tel objet, de hauteur totale Cet objet peut être divisé en tranches horizontales successives désignées par ^ «,
Figure imgf000007_0001
chaque tranche étant caractérisée par son propre contour dans le plan horizontal.
On suppose que cet objet subit une transformation au moyen d'un processus de diffusion d'origine physique voire physico-chimique. Ce processus de diffusion peut être par exemple une refusion (reflow), telle qu'une refusion thermique du matériau constitutif de l'objet ou encore une érosion de ce matériau en présence d'un solvant en phase gazeuse.
La Fig. 2 représente l'objet tri-dimensionnel de la Fig. 1 après que celui-ci a subi un processus de diffusion pendant un temps T . En raison du processus de diffusion et de la gravité, la forme de l'objet s'est modifiée : la forme s'est globalement affaissée et les zones correspondant à des fréquences spatiales élevées ont été lissées.
L'idée à la base de la présente invention est de modéliser la transformation de forme (encore dénommée morphing) de l'objet tri-dimensionnel. Il est important de comprendre que cette modélisation n'a pas pour objectif de modéliser le processus physique sous-jacent mais simplement le changement de forme résultant de l'application du processus. De manière originale, l'évolution de la forme de l'objet est modélisée, d'une part, par une première loi donnant la hauteur totale de l'objet dans le temps et, d'autre part, par une seconde loi décrivant l'évolution du contour d'une tranche horizontale de l'objet dans le temps.
La hauteur de l'objet tri-dimensionnel dépend du temps et est notée pour cette raison
Figure imgf000008_0001
- h max désignant la hauteur initiale de l'objet et KO la hauteur de ce même objet après qu'il a subi un processus de diffusion pendant un temps T .
On a pu montrer que, lorsque l'objet présente un axe de symétrie vertical, la hauteur de l'objet au terme du processus de diffusion variait en fonction de la hauteur initiale de l'objet et du rayon ro du cercle équivalent à la base de cet objet. Par cercle équivalent à la base de l'objet, on entend un cercle dont l'aire est égale à la surface de la base de cet objet. h(T) = h(0)H (r0 , T ) (1) avec :
H (r0 , T ) = a(T)r0 exp (-b(T)r0 ) (2)
aQ\Kl ) sont des coefficients strictement positifs dépendant du matériau utilisé et de la durée du processus de diffusion, T, notés plus simplement dans la suite a,b.
Figure imgf000008_0002
dénommée dans la suite facteur de morphing vertical relatif à la durée T.
On considère ensuite une tranche horizontale de l'objet, située à une hauteurs par rapport à sa base. On note z = z i h la hauteur normalisée de la tranche. Cette hauteur normalisée reste inchangée au cours du processus de diffusion. On note F( le contour de la tranche, celui-ci évoluant pendant l'application du processus de diffusion. Le contour F( est représenté comme une fonction de son abscisse curviligne u et peut être développé en série de Fourier curviligne, à savoir : où
Figure imgf000009_0001
Sont les coordonnées cartésiennes d'un point P(u> du contour F( d'abscisse curviligne u et aiL0, ¾( , c*( ,
Figure imgf000009_0002
sont les coefficients de Fourier correspondant à la fréquence spatiale k . On notera que ces coefficients de Fourier dépendent du temps dans la mesure où le contour F{ de la tranche évolue dans le temps en raison de l'application du processus de diffusion.
Les équations (3-1) et (3-2) peuvent être exprimées de manière plus compacte au moyen de coordonnées complexes :
Figure imgf000009_0003
où ( - co(0 +;o(0 représente l'évolution dans le temps du centre de gravité du contour, ( représente l'évolution dans le temps de l'ellipse équivalente, c'est-à-dire approximant au mieux le contour de la tranche.
Lorsque la tranche est isolée, le centre de gravité du contour n'a pas de raison de se déplacer et l'on peut supposer, sans perte de généralité, que celui-ci est confondu avec l'origine, autrement dit ( - 0.
Le processus de diffusion a tendance à rendre le contour de la tranche circulaire. Autrement dit, l'ellipse équivalente tend vers un cercle et :
4 (°°) = ro= (¾ 1+ (5)
V Î2 où r« (2) est le rayon du contour de la tranche considérée à la hauteur normalisée z au bout d'un temps infini. De manière plus générale, on suppose qu'au bout d'un temps infini la tranche se contracte latéralement d'un coefficient siz) :
Figure imgf000010_0001
Le coefficient s(¾) sera dénommé dans la suite coefficient de contraction. Le coefficient de contraction dépend de la hauteur normalisée à laquelle se trouve la tranche dans l'objet tri-dimensionnel. En effet, en raison du processus de diffusion la forme de l'objet au bout d'un temps infini est celle d'une sphère tronquée. Il en résulte que v( - 0 , puisque le sommet de la sphère peut être considéré comme une tranche de taille nulle. En revanche, le coefficient ^(0) peut être supérieur à 1, autrement dit la base peut se dilater dans le temps.
Le contour de la tranche tendant vers un cercle, la puissance des harmoniques de rang H > 1 tend vers zéro lorsque le temps tend vers l'infini, c'est-à-dire :
(¾ ( ) = 0 , /k, \k\ > l (7)
On suppose que la puissance des harmoniques décroît de manière exponentielle dans le temps, la rapidité de la décroissance dépendant du rang k de l'harmonique, à savoir :
Figure imgf000010_0002
où a et/" sont des réels strictement positifs.
En résumé, nous pouvons donc écrire de manière condensée :
F t) = <¾ (0) ecr (-a |7 /) + ^ ( )(1 - ecr (-a |7 , Vfc, |fc| > l (9)
Figure imgf000010_0003
symbole de Dirac. De manière équivalente, on a :
Figure imgf000011_0001
Figure imgf000011_0002
; est dénommé facteur de morphing latéral pour l'harmonique de rang 1^1.
Si l'on considère maintenant non plus une tranche isolée mais l'ensemble des tranches de l'objet, il faut tenir compte du fait que les centres de gravité de ces différentes tranches, notés F ( , où £ représente l'indice de la tranche, ne sont pas alignés à l'instant initial = 0. De surcroît, les tranches peuvent interagir entre elles et les centres de gravité des différentes tranches peuvent dériver dans le temps.
Dans des cas de formes simples, on peut légitimement supposer que les tranches sont indépendantes et leurs centres de gravité restent fixes dans le temps. Il est alors possible de décrire l'évolution de ces tranches dans le temps par :
Figure imgf000011_0003
! (
Figure imgf000011_0004
/ est le facteur de morphing relatif à la tranche l et où et et Ÿ' } sont les coefficients a et Y relatifs à la couche £,
Figure imgf000011_0005
et
Figure imgf000011_0006
contraction relatif à la couche £ .
Cependant, dans d'autres cas, notamment lorsque les contours des tranches sont concaves, par exemple se présentent sous la forme de U, l'hypothèse d'indépendance des tranches n'est pas réaliste. Dans des cas extrêmes, cette hypothèse d'indépendance conduit à des résultats aberrants comme celui par exemple où une tranche supérieure ne serait pas supportée entièrement par une tranche inférieure. De manière originale, la dépendance entre tranches est traitée comme un problème de minimisation d'énergie, l'énergie d'interaction entre deux tranches successives étant élevée quand celles-ci ne se chevauchent pas et faible lorsqu'elles se chevauchent.
On note que, lorsque les tranches sont indépendantes, l'évolution dans le temps des harmoniques curvilignes des différents contours peut être obtenue à partir de l'équation (8) :
Figure imgf000012_0001
En revanche, lorsque deux tranches successives ^ et ^ 2 sont couplées entre elles, l'évolution des contours de ces tranches est régie par les équations différentielles couplées :
Figure imgf000012_0002
Ces équations peuvent s'écrire de manière plus compacte sous la forme matricielle :
Figure imgf000012_0003
teur de taille L dont les éléments sont les harmoniques curvilignes de
Figure imgf000012_0004
est une matrjce symétrique tri-diagonale de taille L x L dont les termes de la diagonale principale sont égaux à ~a r l
Figure imgf000012_0005
et dont les termes de la diagonale inférieure ainsi que de la diagonale supérieure sont égaux à 1 ¾, où et G sont des paramètres strictement positifs et ^ t est un coefficient de couplage pour l'harmonique de rang k entre deux tranches successives de l'échantillon.
En absence de couplage, c'est-à-dire lorsque les tranches sont indépendantes, la matrice se réduit à une simple matrice diagonale. A l'inverse, le couplage peut s'étendre au-delà de la tranche immédiatement inférieure et de la tranche immédiatement supérieure, auquel cas la matrice comporte des sous-diagonales supérieures et inférieures composées de termes non nuis. En pratique, toutefois, un couplage avec la tranche immédiatement inférieure et de la tranche immédiatement supérieure est généralement suffisant pour décrire l'évolution des contours des différentes tranches de l'objet.
Il résulte de l'équation (14) que :
Figure imgf000013_0001
Figure imgf000013_0002
avec ^x matrice identité de taille L x L .
De manière similaire, avec les mêmes conventions que précédemment :
Fc ( = exp( A1/)F1 (0) + (IL - exp( A1/))F1 ( ) (16)
Le modèle ci-dessus permet de prédire la forme d'un objet tri-dimensionnel, après avoir subi un processus de diffusion pendant un temps prédéterminé T .
Les Fig. 3A-3B représentent l'ordinogramme d'une méthode de prédiction, selon un premier mode de réalisation, de la forme d'un objet tri-dimensionnel ayant subi un processus de diffusion pendant un temps prédéterminé.
La méthode de prédiction comporte tout d'abord une phase de calibration comprenant les étapes 310-345 en Fig. 3A.
A l'étape 310, on dispose d'une pluralité d'échantillons d'objets tri-dimensionnels de hauteurs différentes. Ces échantillons présentent également avantageusement des profils différents. A l'étape 315, on mesure la forme initiale de chacun des échantillons, par exemple au moyen d'un microscope à force atomique (AFM). La hauteur de chaque échantillon est mesurée et divisée en L intervalles, chaque intervalle définissant une tranche horizontale ^ f de l'objet située à une hauteur normalisée, ze. On obtient à partir de la mesure de la forme initiale, le contour de chaque tranche £— —>£ . A l'étape 320, on effectue une décomposition de Fourier curviligne du contour de chacune de ces tranches.
A l'étape 325, on applique aux différents échantillons le processus de diffusion pendant une durée T.
A l'étape 330, on mesure la forme finale de chacun des échantillons, de préférence par les mêmes moyens que précédemment. On en déduit les nouvelles hauteurs des échantillons et les contours des tranches situées aux mêmes hauteurs normalisées que précédemment.
A l'étape 335, on estime les coefficients de la loi de morphing verticale. Plus précisément, à partir des hauteurs mesurées à l'étape 330 et des rayons équivalents des tranches formant la base des échantillons, obtenues à l'étape 315, on détermine les coefficients a, b de l'expression (2), à l'aide d'une technique d'ajustement de courbe.
On estime ensuite la loi de morphing latérale.
Pour ce faire, on effectue à l'étape 340 une décomposition de Fourier curviligne de chacun des contours des tranches
Figure imgf000014_0001
qU'obtenus à l'étape 330, ce pour chacun des échantillons.
A l'étape 345, on détermine par une technique d'ajustement de courbe ( curve fitting) pour chaque tranche l les paramètres s ' a g ' · q Uj minimisent l'erreur quadratique entre les valeurs C données par le modèle (expression (11) et les valeurs expérimentales correspondantes. On obtient ainsi une estimation de ces paramètres
Figure imgf000014_0002
Avantageusement, on pourra utiliser une régression polynomiale pour estimer ces paramètres. Plus précisément, on a observé de manière heuristique que les paramètres s a Y pouvaient s'exprimer en fonction de la hauteur normalisée 2 ~ z ^
Figure imgf000014_0003
où 2G est la hauteur de la tranche considérée et Oax = O) est la hauteur de l'échantillon initial. a = P2 {z ) (17-1) r = P (z) (17-2) s = P (î) ï^¥ (17-3)
Figure imgf000015_0001
sont respectivement des polynômes de degré 2, 3 et 4 de la hauteur normalisée z . On remarque que, dans l'expression (17-3), le coefficient de contraction s'annule pour z = l. Autrement dit, dès lors que la durée T est suffisamment longue, la tranche au sommet de l'objet tri-dimensionnel se réduit à un point.
En pratique, les valeurs des paramètres
Figure imgf000015_0002
sont estimées pour une pluralité L de hauteurs normalisées (le cas échéant plusieurs estimations relatives à une même hauteur normalisée pouvant être issues de différents échantillons) et les coefficients des polynômes sont ensuite calculés pour minimiser l'écart quadratique moyen aux valeurs des paramètres ainsi estimées.
La phase de calibration est suivie d'une phase de prédiction proprement dite, comprenant les étapes 350-370 en Fig. 3B.
La phase de prédiction vise à prédire la forme d'un objet tri-dimensionnel (de forme initiale donnée) lorsque celui-ci aura subi le processus de diffusion pendant une durée T. La forme initiale de l'objet est caractérisée par sa hauteur totale, ^ma , d'une part, et par les contours des tranches horizontales de l'objet situées aux valeurs de hauteurs normalisées z ,
Figure imgf000015_0003
d'autre part.
A l'étape 350, on calcule le rayon équivalent, ro, de la tranche ( i = 1) à la base de l'objet et l'on détermine, à partir de la loi de morphing verticale, la hauteur de l'objet au terme du processus de diffusion :
Figure imgf000015_0004
A l'étape 355, on considère les tranches ^ aux hauteurs normalisées åc, — 1 A cette étape, on effectue une transformée de Fourier curviligne des contours de ces tranches et l'on obtient les coefficients complexes F'I^, k——N,.., Nr A l'étape 360, on détermine à partir de la loi de morphing latérale, les contours des tranches (
Figure imgf000016_0001
au terme du processus de diffusion. Plus précisément, on calcule les coefficients F ΊCI ) des harmoniques de rang Kl 1 au moyen de :
Figure imgf000016_0002
Figure imgf000016_0003
ont été obtenus dans la phase de calibration.
De manière similaire, on calcule les coefficients F la fréquence fondamentale l = 1 :
F'{i{T) = :F,-)f ', ±i{ o)
Figure imgf000016_0004
où les coefficients de contraction i( >,
Figure imgf000016_0005
ont été obtenus dans la phase de calibration.
A l'étape 365, on effectue une transformée curviligne inverse pour calculer le contour de chaque tranche :
Figure imgf000016_0006
Enfin, à l'étape 370, on reconstruit la forme de l'objet-tridimensionnel à partir des contours des tranches ( t, (—
Figure imgf000016_0007
obtenus à l'étape 365, ces tranches étant désormais situées respectivement aux hauteurs h (T)zt/ t— 1 ,--,L , Les Figs. 4A-4B représentent de manière schématique l'ordinogramme d'une méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel ayant subi un processus de diffusion, selon une variante du premier mode de réalisation.
Dans cette variante, on ne suppose plus que les tranches d'un l'objet tri dimensionnel sont indépendantes et l'on effectue la calibration conjointement sur toutes les tranches de chaque échantillon. Comme précédemment, la méthode de prédiction comporte une phase de calibration (Fig. 4A) avant la phase de prédiction proprement dite (Fig. 4B).
Les étapes 410-440 sont respectivement identiques aux étapes 310-340 et leur description ne sera donc pas reprise ici.
A l'étape 445, on estime les coefficients a 7 , &— vérifiant pour chacun des échantillons :
F,(G) = ecr(A,G)F, (0)
Figure imgf000017_0001
où la matrice tri-diagonale
Figure imgf000017_0002
a pour termes diagonaux ^ rl
Figure imgf000017_0003
et pour éléments de la diagonale inférieure et de la diagonale supérieure, le terme constant *-
Figure imgf000017_0004
est un vecteur de taille L dont les éléments sont les harmoniques curvilignes de rang k des contours des différentes tranches de l'échantillon au terme de l'application du processus de diffusion et
Figure imgf000017_0005
est un vecteur de taille L dont les éléments sont les harmoniques curvilignes de rang k des contours des différentes tranches de l'échantillon initial.
En pratique, la résolution du système d'équations (22) se fait par ajustement de courbe en ne considérant que les premiers termes du développement en série de exp( A ) .
La phase de prédiction proprement dite comprend les étapes 450-470. Elle vise comme précédemment à prédire la forme d'un objet tri-dimensionnel (de forme initiale donnée) lorsque celui-ci aura subi le processus de diffusion pendant une durée T.
L'étape 450 de détermination de la hauteur de l'objet tri-dimensionnel, au moyen de la loi de morphing verticale dont les coefficients ont été estimés dans la phase de calibration, est identique à l'étape 350.
A l'étape 455, on obtient les coefficients complexes
Figure imgf000017_0006
~— N,.., Ar ί— de |a transformée de Fourier curviligne des contours des tranches *- i, t— de l'objet tri-dimensionnel comme à l'étape 355, puis on forme des vecteurs
\k\ > dont les éléments sont les coefficients
Figure imgf000017_0007
A l'étape 460, on détermine à partir de la loi de morphing latérale, les contours des tranches ^ ?, ^—
Figure imgf000018_0001
au terme du processus de diffusion. Plus précisément, on calcule les vecteurs
Figure imgf000018_0002
> 1 au moyen de :
F, ( = ecr(AA3G)f (0) (23) où la matrice
Figure imgf000018_0003
a été déterminée dans la phase de calibration.
Les éléments de chaque vecteur
Figure imgf000018_0004
\ > l, donnent les coefficients des harmoniques de rang
Figure imgf000018_0006
, des différentes tranches ^ ?,
Figure imgf000018_0005
Par ailleurs, on calcule les coefficients
Figure imgf000018_0007
des différentes tranches ^ t = 1 pour la fréquence fondamentale
Figure imgf000018_0008
à partir de l'expression (20) comme à l'étape 360.
Les étapes 465 et 470 sont respectivement identiques aux étapes 365 et 370. Autrement dit, on calcule en 465 la transformée de Fourier curviligne inverse de ^ ), k——N,..>Nr p0ur obtenir les contours des différentes tranches et on reconstruit enfin la forme de l'objet en 470.
Selon un second mode de réalisation de l'invention, la représentation des contours des tranches de l'objet tri-dimensionnel ne fait pas appel à une décomposition en série de Fourier curviligne mais à une méthode de surfaces de niveau, développées en coefficients de Fourier. De manière générale, les méthodes par surfaces de niveau permettent de représenter l'évolution d'une interface dans le temps. Une interface G à une dimension ou ligne de niveau, bornant à l'instant t une région W dans un plan est définie par une équation du type : ( jy) = 0 (24) où la fonction F est une fonction lisse, positive à l'intérieur de la courbe G (donc sur W) et négative à l'extérieur de celle-ci .
On considère maintenant un instant ro donné et l'on note /( ) la fonction définissant la courbe G à cet instant. Connaissant un certain nombre de points appartenant à cette courbe et les normales à la courbe en ce point, il est possible de calculer les coefficients de Fourier (spatiaux) de la fonction f(x >ÿ) .
En effet, soit un ensemble de N points 4, 1
Figure imgf000019_0001
de coordonnées
Figure imgf000019_0002
appartenant à la courbe G et soient
Figure imgf000019_0003
les vecteurs normaux à cette courbe en ces points, la fonction
Figure imgf000019_0004
doit vérifier les contraintes : f(xi, yi) = 0 ; Vi = ,N (25-1)
Figure imgf000019_0005
La fonction j(x->ÿ) peut être développée en série de Fourier spatiale :
Figure imgf000019_0006
avec 4
Figure imgf000019_0007
où 4 et 4 sont les dimensions d'un rectangle incluant la courbe, autrement dit 4- et 4 les fréquences spatiales les plus basses selon l'axe des x et des y pour décrire la courbe G
Il résulte de l'expression (26) que :
Figure imgf000019_0008
et
Figure imgf000019_0009
Les contraintes (25-1) et (25-2) peuvent alors se réécrire sous la forme de 3 N équations que doivent vérifier les coefficients de Fourier -4,« :
Figure imgf000019_0010
Si le nombre N de points est suffisant, on peut déterminer les coefficients pour un nombre prédéterminé d'harmoniques. Plus précisément, si l'on souhaite aller jusqu'aux harmoniques de rang
Figure imgf000020_0002
on aura besoin de
Figure imgf000020_0001
points sur la courbe G .
On supposera dans la suite que a>- ~ A et l'on notera Q ~ 2a-'· ~ 2L· .
Les équations précédentes (28-1), (28-2), (28-3) peuvent être représentées sous une forme matricielle plus compacte :
Figure imgf000020_0003
où F est une matrice de taille QXQ dont les éléments sont les coefficients de Fourier, t est une matrjce de taille Q Q dont les éléments sont les valeurs ce de taille Q Q dont les éléments sont les valeurs
Figure imgf000020_0004
matrice de taille Q Q dont les éléments sont les valeurs JkynexP{jkxmxi + Jk y, ), 0 , est un vec eur de taille Q dont les éléments sont nuis, v ; est un vecteur de taille Q dont les éléments sont tous égaux à v; , n ί est un vecteur de taille Q dont les éléments sont tous égaux à v> .
Lorsque la courbe G évolue dans le temps, les coefficients de Fourier /»>,« sont également fonction du temps et sont alors notés
Figure imgf000020_0005
Si la courbe G est le contour d'une tranche horizontale d'un objet tri dimensionnel, le phénomène de diffusion induit un lissage de la courbe de sorte que la puissance des harmoniques ,»( tend vers zéro, autrement dit, dès lors que
Figure imgf000020_0006
Comme dans le premier mode de réalisation, on suppose que la puissance des harmoniques décroît de manière exponentielle dans le temps, la rapidité de la décroissance dépendant du rang de l'harmonique, à savoir :
Figure imgf000021_0001
Ceci conduit à une évolution des harmoniques du type de celle de l'équation (10) :
Figure imgf000021_0002
où (z) est le facteur de contraction de la tranche comme dans le premier mode de réalisation, et où le facteur de morphing latéral ^ m
Figure imgf000021_0003
est donné par :
Figure imgf000021_0004
Lorsque Ton peut considérer les tranches
Figure imgf000021_0005
e l'objet tri-dimensionnel comme indépendantes, l'évolution dans le temps des harmoniques des différents contours peut être obtenue à partir de l'équation (30) :
Figure imgf000021_0006
Figure imgf000021_0008
est le coefficient de Fourier
Figure imgf000021_0007
du contour d'une tranche £ de l'échantillon .
En revanche, lorsque les tranches sont dépendantes, on peut utiliser un modèle de couplage entre harmoniques de même rang de tranches successives, de manière similaire à (13-1) et (13-2) : qui peut également s'écrire sous forme matricielle :
Figure imgf000022_0001
où est un vecteur de taille L dont les éléments sont les harmoniques spatiales d'indices m- n des différentes couches
Figure imgf000022_0002
est une matrice symétrique tri- diagonale de taille L x L dont les termes de la diagonale principale sont égaux à
-a |/c| ~ C„.„ et dont les termes de la diagonale inférieure ainsi que de la diagonale supérieure sont égaux
Figure imgf000022_0003
Il en résulte que le vecteur
Figure imgf000022_0004
peut s'écrire :
Figure imgf000022_0005
De manière similaire, avec les mêmes conventions que précédemment :
F0,i ( = exp( A0 l/)F0 1 (0) + (IL - exp( A0 l/))F0 1 ( ) (37-1) Fi,0 ( = exp( Al 0i)F1 0 (0) + (IL - exp( A1 0i))F1 0 ( ) (37-2)
Ce modèle, comme celui à la base du premier mode de réalisation, permet de prédire la forme d'un objet tri-dimensionnel, après avoir subi un processus de diffusion pendant un temps prédéterminé T. Les Figs. 5A-5B représentent l'ordinogramme d'une méthode de prédiction, selon le second mode de réalisation, de la forme d'un objet tri-dimensionnel ayant subi un processus de diffusion pendant un temps prédéterminé.
La méthode de prédiction comporte tout d'abord une phase de calibration comprenant les étapes 510-545 en Fig. 5A.
A l'étape 510, on dispose d'une pluralité d'échantillons tri-dimensionnels de hauteurs différentes. Ces échantillons présentent également avantageusement des profils différents.
A l'étape 515, on mesure la forme initiale de chacun des échantillons, par exemple au moyen d'un microscope à force atomique (AFM). La hauteur de chaque échantillon est mesurée et divisée en L intervalles, chaque intervalle définissant une tranche horizontale ( ? de l'objet située à une hauteur normalisée, 4. On choisit sur le contour 4 de chaque tranche 4, Z— 4··>4 une pluralité N de points 4 , i—
Figure imgf000023_0001
de coordonnées
Figure imgf000023_0002
appartenant à la courbe ^4 et on détermine les vecteur normaux
Figure imgf000023_0003
les vecteurs normaux à la courbe ^ i en ces points. On choisira avantageusement les points 4 équidistribués le long du contour .
A l'étape 517, on détermine les courbes de niveau f' (x y), —
Figure imgf000023_0004
vérifiant les contraintes :
Figure imgf000023_0005
A l'étape 520, on calcule, pour chacun des échantillons, les coefficients de Fourier spatiaux ./ <X’), où la valeur 0 indique que l'objet tri-dimensionnel est considéré à l'instant initial avant l'application du processus de diffusion. Pour le calcul des coefficients de Fourier, on choisit les fréquences spatiales fondamentales 4 ~
Figure imgf000023_0006
^Jy ou et 4 sont les dimensions d'un rectangle incluant la projection de l'objet sur un plan horizontal. A l'étape 525, on applique aux différents échantillons le processus de diffusion pendant une durée T. A l'étape 530, on mesure la forme finale de chacun des échantillons par les mêmes moyens que précédemment. On en déduit les nouvelles hauteurs des échantillons et les contours des tranches situées aux mêmes hauteurs normalisées que précédemment.
A l'étape 535, on estime les coefficients de la loi de morphing verticale. Plus précisément, à partir des hauteurs mesurées à l'étape 530 et des rayons équivalents des tranches formant la base des échantillons, obtenues à l'étape 515, on détermine les coefficients e,b de l'expression (2), à l'aide d'une technique d'ajustement de courbe.
On estime ensuite la loi de morphing latérale.
Pour ce faire, à l'étape 540, on choisit à nouveau sur le contour ^ f de chaque tranche *- '?,
Figure imgf000024_0002
Une pluralité N de points A , —
Figure imgf000024_0001
de coordonnées (AA’, )
ΊC
appartenant à courbe 1 ? et on détermine les vecteur normaux -
Figure imgf000024_0003
les vecteurs normaux à la courbe ^ e en ces points. On comprendra, bien que nous ayons ici adopté pour des raisons de simplification les mêmes notations qu'à l'étape 515, qu'il s'agit ici des contours après diffusion, à l'instant r = J . On détermine les courbes de niveau f (x,y)r f = f vérifiant les contraintes (38-1) et (38-2), cette fois ci pour les points A' et les vecteurs normaux
Figure imgf000024_0004
obtenus à cette même étape, c'est à dire ceux relatifs aux contours des tranches à l'instantr - T .
A l'étape 543, on calcule les coefficients de Fourier spatiaux A( ) des fonctions / (l5> , où la valeur T indique que l'objet tri-dimensionnel est considéré après l'application du processus de diffusion. On utilise à cette fin les mêmes fréquences spatiales
Ir k
fondamentales L ^ L n qu'à l'étape 520.
A l'étape 545, on détermine par une technique d'ajustement de courbe ( curve fitting) pour chaque tranche ( les paramètres
Figure imgf000024_0005
qui minimisent l'erreur quadratique entre les valeurs »,«CO données par le modèle (expression (31) et les valeurs expérimentales correspondantes. On obtient ainsi une estimation de ces paramètres :
Â-(f)( ( .
Avantageusement, on pourra utiliser une régression polynomiale comme dans le premier mode de réalisation pour estimer ces paramètres. Cette variante ne sera pas à nouveau décrite ici.
La phase de calibration est suivie d'une phase de prédiction proprement dite, comprenant les étapes 550-570 en Fig. 5B. La phase de prédiction vise à prédire la forme d'un objet tri-dimensionnel (de forme initiale donnée) lorsque celui-ci aura subi le processus de diffusion pendant une durée T.
A l'étape 550, on calcule le rayon équivalent, ro , de la tranche {i = 1) à la base de l'objet et l'on détermine, à partir de la loi de morphing verticale, la hauteur de l'objet au terme du processus de diffusion, comme dans l'expression (18).
A l'étape 553, on considère les tranches
Figure imgf000025_0001
? aux hauteurs normalisées zt, tape, pour chaque tranche ^ t, on sélectionne une pluralité N de
Figure imgf000025_0002
, de coordonnées (X > ' sur le contour
Figure imgf000025_0003
de chaque tranche et Ton détermine les vecteurs normaux à la courbe
Figure imgf000025_0004
/ en ces points. On choisira avantageusement les points
Figure imgf000025_0005
angulairement équidistribués sur [A^l
A l'étape 555, on détermine les courbes de niveau î '' ( '),
Figure imgf000025_0006
vérifiant les contraintes :
./ ' t -v , r '; ) 0 ; Vi = l..,N (39-1)
Figure imgf000025_0007
A l'étape 557, on calcule les coefficients de Fourier spatiaux / «,*(0 des fonctions f " (x, y), où la valeur 0 indique que l'objet tri-dimensionnel est considéré à l'instant initial avant l'application du processus de diffusion. Les fréquences spatiales fondamentales utilisées pour le calcul des coefficients de Fourier sont les mêmes que la phase de calibration.
A l'étape 560, on détermine à partir de la loi de morphing latérale, les contours des tranches ?—
Figure imgf000025_0008
au terme du processus de diffusion. Plus précisément, on calcule les coefficients
Figure imgf000025_0010
( / ) des harmoniques de rang
Figure imgf000025_0009
+ zr > 1 au moyen de (32) c'est à dire :
Figure imgf000025_0011
avec
Figure imgf000026_0001
ont été obtenus dans la phase de calibration.
De manière similaire, on calcule les coefficients / Ί.^t) et / Ίo(7 ) par : f0 (T) = S(e).f0 (0) (41-1)
Figure imgf000026_0002
/ _ -j r
où les coefficients de contraction L ' , t0nt été obtenus dans la phase de calibration.
A l'étape 565, on effectue une transformée de Fourier spatiale inverse des coefficients / Z ( / ) pour calculer la courbe de niveau ./’ (x-. y) :
Figure imgf000026_0003
Enfin, à l'étape 570, on reconstruit la forme de l'objet-tridimensionnel à partir de courbes de niveau des tranches ^ i, ^ ~
Figure imgf000026_0004
obtenues à l'étape 565, ces tranches étant désormais situées respectivement aux hauteurs ^ W Z ,
Figure imgf000026_0005
Les Figs. 6A-6B représentent l'ordinogramme d'une méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel ayant subi un processus de diffusion, selon une variante du second mode de réalisation.
Dans cette variante, on ne suppose plus que les tranches de l'objet tri dimensionnel sont indépendantes et l'on effectue la calibration sur l'ensemble des tranches de chaque échantillon. Comme précédemment, la phase de calibration (Fig. 6A) est suivie de la phase de prédiction proprement dite (Fig. 6B).
Les étapes 610-643 sont respectivement identiques aux étapes 541-543 du second mode de réalisation et leur description sera donc omise. A l'étape 645, on estime les paramètres vérifiant pour chacun des échantillons:
Figure imgf000027_0001
F0 1 (r) = exp(A0 1i)F0 1 (0) + (Ii - exp(A0 ir))F0 1 ( ) (43-2)
Fi o(T) = exp(Ai 0i)F1 0 (0) + (Ii - exp(A1 0r))F1 0 ( ) (43-3)
Figure imgf000027_0003
est le vecteur de taille L dont les éléments sont
Figure imgf000027_0002
(resp. fmJX1 )) obtenus dans la phase de calibration et
Figure imgf000027_0004
est la matrice symétrique tri- diagonale de taille L x L dont les termes de la diagonale principale sont égaux à
Figure imgf000027_0005
et dont les termes de la diagonale inférieure ainsi que de la diagonale supérieure sont égaux à
Figure imgf000027_0006
est un coefficient de couplage pour l'harmonique spatiale d'indices m--n entre deux tranches successives de l'échantillon . En pratique, la résolution du système d'équations (43-1), (43-2), (43-3) se fait par ajustement de courbes en ne considérant que les premiers du développent en série des exponentielles de matrices.
On obtient ainsi une estimation de ces paramètres : $"' ,a , 7 ' .
La phase de calibration est suivie d'une phase de prédiction proprement dite, comprenant les étapes 650-670 en Fig. 6B.
La phase de prédiction consiste à prédire, à partir de la forme d'un objet tri dimensionnel à un instant t = 0, la forme de ce dernier après application d'un processus de diffusion pendant une durée T .
Les étapes 650-657 sont respectivement identiques aux étapes 550-557 du second mode de réalisation.
En bref, on calcule le rayon équivalent, ro, de la tranche ( i ~ 1) à la base de l'objet et l'on détermine, à partir de la loi de morphing verticale, la hauteur de l'objet au terme du processus de diffusion selon (18).
On calcule ensuite les coefficients de Fourier spatiaux / «,»(°) des tranches*- t aux hauteurs normalisées z
Figure imgf000027_0007
On obtient ainsi une pluralité Q~ vecteurs de taille L où Q est le nombre d'harmoniques pris en considération dans la transformée de Fourier.
A l'étape 660, on détermine, à partir de la loi de morphing latérale, les contours des tranches '
Figure imgf000028_0001
au terme du processus de diffusion. Plus précisément, on calcule les coefficients /
Figure imgf000028_0002
des harmoniques de rang \lm2 + n 2 > 1 au moyen de (36) c'est à dire :
F’ (O = exp(A T)F’ (0) (44)
Figure imgf000028_0003
est le vecteur des coefficients de Fourier spatiaux des tranches ^ ; aux hauteurs normalisées
Figure imgf000028_0004
;
et pour les fondamentaux , à partir de (37-1) et (37-2) :
F’0 1(T) = exp(A0 1T)F’0 1(0) + (IL - exp(A0 ir))F’0 1(°°) (45-1)
F’1 0 (T) = exp(Al or)F 0 (0) + (IL - exp( A1 or))F’1 0 (°°) (45-2)
A l'étape 665, on effectue une transformée de Fourier spatiale inverse des coefficients /
Figure imgf000028_0005
obtenus à l'étape précédente.
Enfin, à l'étape 670, on reconstruit la forme de l'objet-tridimensionnel à partir de courbes de niveau des tranches ^ r, ^—
Figure imgf000028_0006
obtenues à l'étape 665, ces tranches étant désormais situées respectivement aux hauteurs ^ zi,
Figure imgf000028_0007
La méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel, selon les premier et second modes de réalisation ainsi que leurs variantes exposées ci-dessus, permet de réduire considérablement les campagnes de mesure car la modélisation des lois de morphing verticale et latérale ne nécessite qu'un nombre d'échantillons relativement faible.
La Fig. 7 représente l'ordinogramme d'une méthode de fabrication d'un objet tri- dimensionnel de matériau donné et de forme de consigne prédéterminée. La méthode de fabrication comporte une phase de calibration, une phase de prédiction, une phase d'optimisation et une phase de fabrication proprement dite.
Dans la phase de calibration, 710, on construit à partir de mesures d'échantillons avant et après un processus de diffusion de durée T, une base de données contenant les
Figure imgf000029_0002
pour une pluralité de hauteurs normalisées ^,
Figure imgf000029_0001
Cette phase de calibration peut être celle du premier mode de réalisation ou du second mode de réalisation, ou encore de leurs variantes. Le cas échéant, la base de données peut contenir ces paramètres pour une pluralité de valeurs de durée.
Une fois la base construite, on teste en 720 une pluralité de formes initiales d'un objet tri-dimensionnel et l'on applique à chacune de ces formes, la méthode de prédiction décrite dans les étapes 350-370 ou 450-470 ou 550-570 ou 650-670 selon le mode de réalisation choisi, pour prédire les formes au bout du processus de diffusion (le cas échéant en prenant en compte différentes durées de diffusion), dites formes finales.
Dans une phase d'optimisation, 730, on détermine la forme finale, dite optimale, qui se rapproche le plus de la forme de consigne au sens d'une distance prédéterminée.
Le cas échéant, on peut sélectionner une pluralité de formes finales se rapprochant le plus de la forme de consigne et interpoler les formes initiales correspondantes pour obtenir une nouvelle forme initiale à tester en 720. On peut ainsi, par itérations successives, obtenir une forme initiale optimale telle que la distance entre la forme finale correspondante et la forme de consigne soit alors inférieure à un seuil prédéterminé.
Quelle que soit la manière dont la forme finale optimale est obtenue, dans la phase de fabrication, 740, on réalise un objet tri-dimensionnel ayant la forme initiale correspondante, par exemple par lithographie 3D ou fabrication additive, et l'on applique le processus de diffusion pendant la durée stockée dans la base de données. Au terme du processus, on obtient un objet tri-dimensionnel dont la forme est identique à ou proche de la forme de consigne.

Claims

REVENDICATIONS
1. Méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel soumis à un processus de diffusion pendant une durée prédéterminée, caractérisée en ce qu'elle comprend :
- une phase de calibration (310-345, 410-445, 510-545, 610-645) dans laquelle une pluralité d'échantillons de formes initiales différentes subissent, pendant ladite durée déterminée, le processus de diffusion, au terme duquel les échantillons adoptent des formes finales, et dans laquelle, pour chaque échantillon :
a) on mesure (415, 515, 615, 615) la hauteur initiale de l'échantillon et l'on acquiert les premiers contours d'une pluralité tranches horizontales de l'échantillon dans sa forme initiale, à des hauteurs normalisées par la hauteur initiale ;
b) on mesure la hauteur finale (430, 530, 630) de l'échantillon et l'on acquiert des seconds contours d'une même pluralité de tranches horizontales de l'échantillon dans sa forme finale, à des hauteurs normalisées par la hauteur finale, égales aux dites hauteurs normalisées par la hauteur finale ;
c) on estime les paramètres d'une loi de morphing verticale (435, 535, 635) permettant de passer de la hauteur initiale à la hauteur finale et on estime les paramètres d'une loi de morphing latérale permettant de passer d'une représentation, dans un espace de Fourier, des premiers contours à une représentation, dans ce même espace, des seconds contours ;
- une phase de prédiction (350-370, 450-470, 550-570, 650-670) dans laquelle : d) on estime (350, 450, 550, 650) la hauteur finale dudit objet à partir de sa hauteur initiale et des paramètres de la loi de morphing verticale ;
e) on obtient (355, 455, 557, 657) une représentation dans ledit espace de Fourier d'une pluralité de contours des tranches de l'objet dans sa forme initiale, aux dites hauteurs normalisées ;
f) on obtient (360, 460, 557, 657) une représentation dans ledit espace de
Fourier d'une pluralité de contours des tranches de l'objet dans sa forme finale, aux hauteurs normalisées, à partir de ladite représentation des tranches de l'objet dans sa forme initiale et des paramètres de la loi de morphing latérale ; g) on détermine (365, 465, 565, 665) les contours de la pluralité de tranches dudit objet dans sa forme finale, aux hauteurs normalisées, à partir de la représentation des contours de ces tranches dans ledit espace de Fourier obtenue à l'étape (f) ;
h) on obtient (370, 470, 570, 670) la forme finale de l'objet tridimensionnel à partir de la hauteur finale dudit objet et des contours des tranches dudit objet dans sa forme finale, précédemment déterminées aux hauteurs normalisées.
2. Méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel selon la revendication 1, caractérisée en ce que la représentation dans ledit espace de Fourier des premiers et seconds contours à l'étape (c) ainsi que la représentation, dans ce même espace, des contours des tranches de l'objet dans sa forme initiale à l'étape (f), est obtenue par une transformée de Fourier curviligne de ces contours.
3. Méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel selon la revendication 2, caractérisée en ce qu'à l'étape (g), la détermination des contours de la pluralité de tranches dudit objet dans sa forme finale est obtenue par une transformation de Fourier curviligne inverse de la représentation des contours de ces tranches dans ledit espace de Fourier obtenue à l'étape (f).
4. Méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel selon la revendication 1, caractérisée en ce que la représentation dans ledit espace de Fourier des premiers et seconds contours à l'étape (c) ainsi que la représentation dans cet espace des contours des tranches de l'objet dans sa forme initiale à l'étape (f), est obtenue en effectuant les étapes suivantes :
(fl) on sélectionne une pluralité de points de ce contour, et on détermine les normales de ce contour en ces points ;
(f2) on calcule les coefficients d'une transformée de Fourier spatiale bidimensionnelle d'une fonction de courbe de niveau prenant une valeur nulle aux points ainsi sélectionnés et dont les normales en ces points sont respectivement égales aux normales du contour en ces mêmes points.
5. Méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel selon la revendication 4, caractérisée en ce qu'à l'étape (g) la détermination des contours de la pluralité de tranches dudit objet dans sa forme finale est obtenue en effectuant une transformée de Fourier spatiale bidimensionnelle inverse des coefficients calculés à l'étape (f2).
6. Méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la loi de morphing verticale est donnée par
Figure imgf000032_0001
où Kb) et KD sont respectivement la hauteur initiale et la hauteur finale
Figure imgf000032_0002
un facteur de morphing vertical donné par 11 ('' · 1 )
Figure imgf000032_0003
) Qù a, h SOnt des paramètres strictement positifs dépendant du matériau de l'échantillon et de la durée ΐ du processus de diffusion, et ro est le rayon d'un cercle équivalent dont la surface est égale à la surface de la base de l'échantillon.
7. Méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel selon la revendication 2 ou 3, caractérisée en ce que la loi de morphing latérale est donnée par : (G) = Mί(T).f' (0) + (l -Ml (J)) .<¾'(¥)
Figure imgf000032_0004
sont les harmoniques curvilignes de rang k du contour d'une tranche £ de l'échantillon, respectivement à l'instant initial, au bout de la durée T du processus de diffusion et au bout d'un temps de diffusion
, , ... M: (P - expj a \kf’ / ) infini, M ù ) est un facteur de morphing latéral donné par V 1 1 / où
Figure imgf000032_0005
sont des paramètres strictement positifs dépendant du matériau de l'échantillon et de la durée T du processus de diffusion.
8. Méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel selon la revendication 2 ou 3, caractérisée en ce que la loi de morphing latérale est donnée par
Figure imgf000032_0006
sont des vecteurs de taille L dont les éléments sont les harmoniques curvilignes de rang k > 1 des contours des L tranches de l'échantillon, respectivement à l'instant initial et au bout de la durée T du processus de diffusion, et
Figure imgf000032_0007
est une matrice symétrique tri-diagonale de taille L x L dont les termes de la diagonale principale sont égaux à w rl et dont les termes de la diagonale inférieure ainsi que de la diagonale supérieure sont égaux à *, où a et T ' sont des paramètres strictement positifs dépendant du matériau de ('échantillon et k t- est un coefficient de couplage pour l'harmonique de rang k entre deux tranches successives de l'échantillon.
9. Méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel selon la revendication 4 ou 5, caractérisée en ce que la loi de morphing latérale est donnée par
Figure imgf000033_0001
sent ies harmoniques spatiales d'indices m>n du contour d'une tranche l de l'échantillon, respectivement à l'instant initial, au bout de la durée T du processus de diffusion et au bout d'un temps de diffusion infini,
Figure imgf000033_0002
est un facteur de morphing latéral donné par
Figure imgf000033_0003
où a'° et sont des paramètres strictement positifs dépendant du matériau
Figure imgf000033_0004
Figure imgf000033_0005
étant les dimensions d'un rectangle incluant ledit contour.
10. Méthode de prédiction de la forme d'un objet tri-dimensionnel selon la revendication 4 ou 5, caractérisée en ce que la loi de morphing latérale est donnée par
Figure imgf000033_0006
r sont des vecteur de taille L dont les éléments sont les harmoniques spatiales d'indices m-. n des contours des L tranches de l'échantillon, respectivement à l'instant initial et au bout de la durée T du processus de diffusion, est une matrice symétrique tri-diagonale de taille L L dont les termes de la diagonale principale sont égaux à
Figure imgf000033_0007
et dont les termes de la diagonale inférieure ainsi que de la diagonale supérieure sont égaux à
Figure imgf000033_0008
où a'() et Y l> sont des paramètres strictement positifs dépendant du matériau de l'échantillon, k m n est un coefficient de couplage pour l'harmonique spatiale d'indices m,n entre deux tranches successives
Figure imgf000033_0009
, k^ky étant les dimensions d'un rectangle incluant lesdits contours.
11. Méthode de fabrication d'un objet tri-dimensionnel de matériau donné et ayant une forme de consigne donnée, caractérisée en ce qu'elle comprend une phase de calibration (710) dans laquelle on construit à partir de mesures d'échantillons de ce matériau, avant et après un processus de diffusion de durée T, une base de données de paramètres d'une loi de morphing verticale et d'une loi de morphing latérale pour une pluralité de hauteurs normalisées desdits échantillons, puis on applique une méthode de prédiction (720) selon l'une des revendications précédentes à une pluralité de formes initiales pour prédire leurs formes finales respectives au terme du processus de diffusion, et l'on sélectionne (730) la forme initiale dont la forme finale correspondante est la plus proche de ladite forme de consigne au sens d'une distance prédéterminée, on réalise (740) un objet tridimensionnel ayant la forme initiale ainsi sélectionnée et l'on applique enfin le processus de diffusion pendant la durée T pour obtenir un objet tridimensionnel ayant ladite forme de consigne.
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