WO2019238580A1 - Method for connecting components made of sic - Google Patents

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WO2019238580A1
WO2019238580A1 PCT/EP2019/065021 EP2019065021W WO2019238580A1 WO 2019238580 A1 WO2019238580 A1 WO 2019238580A1 EP 2019065021 W EP2019065021 W EP 2019065021W WO 2019238580 A1 WO2019238580 A1 WO 2019238580A1
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Albert Kerber
Jürgen KNORR
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Abstract

The invention relates to a method for connecting components made of sintered and, in particular, hot-pressed silicon carbide, comprising the following steps: introducing a sinterable green body of a thermoplastic SiC compound into a connecting region between opposing connecting surfaces of the components; heating the green body and the connecting region to a sintering temperature under a protective gas atmosphere or vacuum; and pressing the components with the heated green body by applying a sintering pressure.

Description

Verfahren zum Verbinden von Bauteilen aus SiC
Figure imgf000003_0001
Process for connecting SiC components
Figure imgf000003_0001
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verbinden von Bauteilen aus gesintertem und insbesondere heißgepresstem Siliziumkarbid (SSiC). The invention relates to a method for connecting components made of sintered and in particular hot-pressed silicon carbide (SSiC).
Das Verbinden von keramischen Bauteilen wird notwendig, wenn entweder kompli- zierte Bauteile nicht monolithisch hergestellt werden können oder wenn der Ver wendungszweck einen Fügevorgang erfordert wie das Verschließen eines keramischen Behälters mit einem Deckel aus Keramik nach Befüllung des Behälters. The connection of ceramic components becomes necessary if either complicated components cannot be produced monolithically or if the purpose of use requires a joining process such as closing a ceramic container with a ceramic lid after filling the container.
Für das stoffschlüssige Verbinden der Paarung Keramik-Keramik von gesinterten Bauteilen stehen bisher nur wenige Fügeverfahren zur Verfügung. Beispielsweise offenbart Brevier„Technische Keramik“, Fahner Verlag 2003 Löt- und Klebeverfahren unter Verwendung von Loten und Klebern. Bei Klebern und metallischen Loten ist es offensichtlich, dass die Fügenaht sich hinsichtlich ihrer Zusammensetzung und Eigenschaften vom Material der zu fügenden Bauteile unterscheidet. Diese artfremde Fügung ist eine kritische Schwachstelle, die die Verwendungsfähigkeit des so gefügten Körpers generell in Frage stellen kann, wenn z.B. die Hochtemperaturbeständigkeit und/oder das Korrosionsverhalten der Naht nicht den Parame- tern der Bauteile entsprechen und dadurch den Einsatzbedingungen nicht genügen. Aus US 7,462,25 B2 ist ferner ein Laserfüge-Verfahren bekannt. Obwohl das stoff- schlüssige Verbinden von Bauteilen aus gesintertem Siliziumkarbid (SSiC) durch dieses moderne Fügeverfahren gelingt, führt die Verwendung von Loten mit schmelzfähigen Anteilen (Glaslot) zwar zur Bildung von Siliziumkarbid in der Naht, doch es handelt sich um ein Flüssigphasen-Siliziumkarbid (LPSiC), also bezüglich der Bauteile um ein artfremdes Siliziumkarbid. Das LPSiC weist deutlich schlechtere Eigenschaften hinsichtlich Hochtemperatur- und Korrosionsbeständigkeit auf als die zu verbindenden Bauteile aus drucklos gesintertem Siliziumkarbid (SSiC). To date, only a few joining methods have been available for the material-to-material connection of the ceramic-ceramic pairing of sintered components. For example, Brevier "Technical Ceramics", Fahner Verlag 2003 discloses soldering and gluing processes using solders and adhesives. In the case of adhesives and metallic solders, it is obvious that the joint seam differs in terms of its composition and properties from the material of the components to be joined. This alien joining is a critical weak point, which can question the usability of the jointed body in general if, for example, the high temperature resistance and / or the corrosion behavior of the seam do not correspond to the parameters of the components and therefore do not meet the conditions of use. A laser joining method is also known from US Pat. No. 7,462,25 B2. Although the cohesive connection of components made of sintered silicon carbide (SSiC) is achieved with this modern joining process, the use of solders with meltable parts (glass solder) leads to the formation of silicon carbide in the seam, but it is a liquid-phase silicon carbide ( LPSiC), i.e. with regard to the components around an alien silicon carbide. The LPSiC has significantly poorer properties with regard to high temperature and corrosion resistance than the components to be connected made of pressure-free sintered silicon carbide (SSiC).
Derzeit ist keine Technologie bekannt, die ein arteigenes Verbinden von Bauteilen aus gesintertem oder heißgepresstem Siliziumkarbid in einem effektiven Kurzzeit- Prozess ermöglicht und gleichzeitig die ausgezeichneten Eigenschaften der Bauteile für den gefügten Körper insgesamt erhält. At present, no technology is known which enables a specific connection of components made of sintered or hot-pressed silicon carbide in an effective short-term process and at the same time maintains the excellent properties of the components for the joined body as a whole.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, dass eine arteigene stoffschlüssige Verbindung von Bauteilen aus gesintertem oder heißgepresstem Siliziumkarbid gewährleistet, die zudem sicher und dauerhaft ist und deren Herstellung nur einen kurzen, weitgehend auf die Fügezone begrenzten Energieeintrag erfordert, um andere benachbarte Materialien, wie beispielsweise das Füllgut in einem Behälter, thermisch möglichst wenig zu belasten. It is therefore an object of the present invention to provide a method which ensures a type-specific material connection of components made of sintered or hot-pressed silicon carbide, which is also safe and durable and which only requires a short energy input, largely limited to the joining zone, to other adjacent ones Materials, such as the contents in a container, to be thermally stressed as little as possible.
Vor diesem Hintergrund betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Verbinden von Bauteilen aus gesintertem und insbesondere heißgepresstem Siliziumkarbid, mit den folgenden Schritten: Einbringen eines sinterfähigen Grünkörpers aus einer thermoplastischen SiC-Masse in einen Verbindungsbereich zwischen gegenüberliegenden Verbindungsflächen der Bauteile; Erhitzen des Grünkörpers und des Verbindungsbereichs auf Sintertemperatur unter Schutzgasatmosphäre oder Vakuum; und Verpressen der Bauteile mit dem erhitzten Grünkörper durch Beaufschlagung eines Sinterdrucks. Nach Abschluss des Sinterprozesses kann die Abkühlung erfolgen. Against this background, the invention relates to a method for connecting components made of sintered and in particular hot-pressed silicon carbide, with the following steps: introducing a sinterable green body made of a thermoplastic SiC compound into a connection area between opposite connection surfaces of the components; Heating the green body and the connection area to sintering temperature under a protective gas atmosphere or vacuum; and pressing the components with the heated green body by applying a sintering pressure. After the sintering process is complete, cooling can take place.
Die Aufgabe wird also gelöst durch Heißpressen in Kombination mit der Verwendung eines speziell auf die Bauteile und den Fügeprozess abgestimmten Grünkörpers. Es entsteht eine arteigene Verbindung der Bauteile. Ein sinterfähiger Grünkörper aus thermoplastischer SiC-Masse wird zwischen die zu verbindenden SSiC- Teile gebracht und unter Schutzgas, beispielsweise Argon, oder Vakuum, jedenfalls unter Sauerstoffausschluss auf Sintertemperatur erhitzt. Durch das Aufbringen einer Axialkraft senkrecht zur Fügenaht wird eindimensionale Schwindung erzwungen. Ein uniaxialer Pressdruck verhindert eine beim drucklosen Sintern oftmals auftretende dreidimensionale Schwindung, die Risse in der Fügenaht hervorrufen kann. The task is therefore solved by hot pressing in combination with the use of a green body that is specially matched to the components and the joining process. A type-specific connection of the components is created. A sinterable green body made of thermoplastic SiC material is placed between the SSiC parts to be connected and heated to sintering temperature under protective gas, for example argon, or vacuum, in any case with exclusion of oxygen. By applying an axial force perpendicular to the joint, one-dimensional shrinkage is forced. A uniaxial compression pressure prevents a three-dimensional shrinkage that often occurs during unpressurized sintering, which can cause cracks in the joint seam.
Aus dem Stand der Technik sind für ein Kurzzeit-Sintern das induktive Heißpressen (IHR) und das Spark-Piasma-Sintering SPS bzw. Pulsed Electric Current Sintering (PECS) bekannt. Das Charakteristische dieser beiden Sinterverfahren besteht in der kombinierten Einwirkung von hohen Temperaturen und Drücken auf das Sintergut. Beide Verfahren wurden bisher jedoch nur zur Herstellung gesinterter Bauteile aus pulverförmigen Ausgangsmaterialien eingesetzt. Erfindungsgemäß können Aspekte dieser Verfahren bei der Verbindung bereits gesinterter Teile Anwendung finden. For short-term sintering, inductive hot pressing (IHR) and Spark-Piasma-Sintering SPS or Pulsed Electric Current Sintering (PECS) are known from the prior art. The characteristic of these two sintering processes is the combined action of high temperatures and pressures on the sintered material. So far, however, both processes have only been used to produce sintered components from powdered starting materials. According to the invention, aspects of these methods can be used in the connection of parts that have already been sintered.
Der in den Verbindungsbereich eingebrachte Grünkörper weist eine auf die Füge flächengeometrie und Oberflächenbeschaffenheit der Fügeflächen der Bauteile abgestimmte Gestalt auf. Vorzugsweise liegt der Grünkörper in Form einer dünnen Schicht im Sinne einer Nahtfolie vor. Die Dicke der Nahtfolie kann beispielsweise 1 mm oder weniger betragen. In einer Ausführungsform wird der Grünling vor seiner Einbringung zwischen die Bauteile teilentbindert. Der Bindemittelgehalt soll so sein, dass Flexibilität und damit Handhabbarkeit und Anpassung an die Verbindungsflächen der Bauteile erhalten bleiben. The green body introduced into the connection area has a shape which is matched to the joining surface geometry and surface quality of the joining surfaces of the components. The green body is preferably in the form of a thin layer in the form of a seam foil. The thickness of the seam foil can be, for example, 1 mm or less. In one embodiment, the green compact is partially debindered before it is introduced between the components. The binder content should be such that flexibility and thus manageability and adaptation to the connection surfaces of the components are retained.
In einer Ausführungsform werden Grünlinge mit einer Gründichte von zwischen 1 ,5 und 2 g/cm3, vorzugsweise von zwischen 1 ,6 und 1 ,9 g/cm3 verwendet. In one embodiment, green compacts with a green density of between 1.5 and 2 g / cm 3 , preferably between 1.6 and 1.9 g / cm 3 are used.
In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass die Sintertemperatur bei 1800-1950 °C liegt und/oder dass der Sinterdruck bei 20-40 MPa liegt und/oder dass Sinterdruck und Sintertemperatur für 5-15 Minuten aufrechterhalten werden. Die Druckbeaufschlagung beginnt vorzugsweise noch vor Erreichen der Sintertemperatur, aber nach der ersten Phase. Während der Sinterphase bei Sinterbedingungen (Druck und Temperatur) bildet sich die Verbindung zwischen den Bauteilen. In one embodiment it is provided that the sintering temperature is 1800-1950 ° C. and / or that the sintering pressure is 20-40 MPa and / or that the sintering pressure and sintering temperature are maintained for 5-15 minutes. Pressurization preferably begins before the sintering temperature is reached, but after the first phase. The connection between the components is formed during the sintering phase under sintering conditions (pressure and temperature).
In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass das Erhitzen des Grünkörpers wenigstens zwei Phasen umfasst, wobei der Grünkörper in einer ersten Phase auf eine unterhalb der Sintertemperatur liegende Entgasungstemperatur und erst in einer zweiten Phase auf Sintertemperatur erhitzt wird, wobei vorzugsweise vorge sehen ist, dass der Verbindungsbereich während der ersten Phase des Erhitzens evakuiert wird und während der zweiten Phase mit Schutzgas beaufschlagt wird. Die zwei Phasen können im Rahmen eines konstanten T emperaturanstiegs aufeinander folgen, es kann aber auch vorgesehen sein, dass die Temperatur nicht konstant zum Anstieg gebracht wird sondern über einen gewissen Zeitraum auf einer unterhalb der Sintertemperatur liegenden Entgasungstemperatur gehalten wird. So kann vorgesehen sein, dass die Aufheizung der Fügezone zunächst mit Teillast erfolgt, um bei Vakuum das Ausgasen des Grünkörpers und der Verbindungsberei- che zu unterstützen. Geeignete Restdrücke für das Vakuum umfassen 0,5-2 mbar. Die Entgasungstemperatur kann beispielsweise bei 300-800°C liegen. Sodann wird das Evakuieren beendet und der Reaktionsraum mit Schutzgas gefüllt. Geeignete Schutzgasdrücke liegen beispielsweise zwischen 1-2,5 mbar. Die weitere Aufhei- zung erfolgt nun mit Volllast. In one embodiment it is provided that the heating of the green body comprises at least two phases, the green body being heated in a first phase to a degassing temperature below the sintering temperature and only in a second phase to the sintering temperature, preferably providing that the connection area is evacuated during the first phase of heating and protective gas is applied during the second phase. The two phases can follow one another in the course of a constant rise in temperature, but it can also be provided that the temperature is not constantly increased but is kept at a degassing temperature below the sintering temperature for a certain period of time. It can be provided that the joining zone is initially heated with partial load in order to support the outgassing of the green body and the connection areas in a vacuum. Suitable residual pressures for the vacuum include 0.5-2 mbar. The degassing temperature can be, for example, 300-800 ° C. The evacuation is then ended and the reaction space is filled with protective gas. suitable Shielding gas pressures are, for example, between 1-2.5 mbar. Further heating is now carried out at full load.
In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass der Grünkörper vor dem Erhitzen zwischen den Verbindungsflächen fixiert wird. Das Verfahren beruht auf dem Ein- setzen einer Sandwich-Anordnung bestehend aus dem ersten Bauteil, dem Grün- körper und dem zweiten Bauteil in eine Presse und einer sanften Drucks uflastung zur Fixierung der Geometrie. In one embodiment it is provided that the green body is fixed between the connection surfaces before heating. The process is based on the insertion of a sandwich arrangement consisting of the first component, the green body and the second component in a press and a gentle pressure relief to fix the geometry.
In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass das Erhitzen des Grünkörpers mittels Induktion erfolgt. Eine induktive Erhitzung ermöglicht die Konzentration des thermischen Energieeintrags auf die Naht und deren nächste Umgebung. Die Dauer der Einwirkung kann kurz gehalten werden. In one embodiment it is provided that the green body is heated by means of induction. Inductive heating enables the concentration of thermal energy to be concentrated on the seam and its immediate surroundings. The duration of the exposure can be kept short.
Alternativ oder zusätzlich kann das Erhitzen auch mittels Widerstandsheizung erfolgen. Alternatively or additionally, the heating can also be carried out by means of resistance heating.
In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass der Grünkörper unter Verwendung eines Suszeptors erhitzt wird. Ein Suszeptor ist ein in unmittelbarer Nähe des Grünlings angeordnetes Bauteil aus einem Material, dass elektromagnetische Energie aufnehmen und in Hitze umwandeln kann. Ein geeignetes Material umfasst Graphit, alternativ eignen sich aber beispielsweise auch rostfreier Stahl, Molybdän, Alumini um oder SiC. Der Suszeptor kann beispielsweise in Form eines Ringes oder einer Scheibe eingesetzt werden. Wird das Verfahren zum Verschluss eines Behälters oder zum Verbinden von Rohrflanschen eingesetzt, ist es denkbar, dass ein Suszeptor an der von der Wärmequelle bzw. Spule abgewandten Seite der Bauteile angeordnet wird. In one embodiment it is provided that the green body is heated using a susceptor. A susceptor is a component made of a material that is located in the immediate vicinity of the green body and can absorb electromagnetic energy and convert it into heat. A suitable material includes graphite, but alternatively, for example, stainless steel, molybdenum, aluminum or SiC are also suitable. The susceptor can be used, for example, in the form of a ring or a disk. If the method is used to close a container or to connect pipe flanges, it is conceivable that a susceptor is arranged on the side of the components facing away from the heat source or coil.
In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass während des Verpressens eine vorzugsweise gepulste Gleichspannung über Verbindungsflächen der Bauteile und den Grünling gelegt wird. Das Anlegen einer gepulsten Gleichspannung über die Fügezone kann die Reaktionsfreudigkeit an den Verbindungsflächen erhöhen und somit den Sinterprozess beschleunigen und die Festigkeit der Verbindung erhöhen. In one embodiment it is provided that during the pressing a preferably pulsed DC voltage across connecting surfaces of the components and the green compact is laid. Applying a pulsed DC voltage across the joining zone can increase the reactivity at the connection surfaces and thus accelerate the sintering process and increase the strength of the connection.
Die Erfindung betrifft weiterhin die Verwendung eines erfindungsgemäßen Verfahrens zum Verschließen eines Behälters mit einem Deckel, wobei zumindest die Kontaktflächen des Behälters und Deckels aus gesintertem oder heißgepressten Siliziumkarbid (SiC) bestehen. Vorzugsweise bestehen Behälter und Deckel insgesamt aus gesintertem oder heißgepressten Siliziumkarbid (SiC). Die Anwendung auf Behälter und Deckel umfassend oder bestehend aus gesintertem SiC (SSiC) kann besonders bevorzugt sein. Soweit der Behälter mit einem Material befüllt ist, kann zwischen das Füllgut und dem Fügebereich ein thermischer Schild eingebracht werden, um das Füllgut vor thermischer Belastung zu schützen. The invention further relates to the use of a method according to the invention for closing a container with a lid, wherein at least the contact surfaces of the container and lid consist of sintered or hot-pressed silicon carbide (SiC). The container and lid preferably consist entirely of sintered or hot-pressed silicon carbide (SiC). Use on containers and lids comprising or consisting of sintered SiC (SSiC) can be particularly preferred. If the container is filled with a material, a thermal shield can be placed between the filling material and the joining area in order to protect the filling material from thermal stress.
In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass der Behälter radioaktives oder toxisches Material enthält. Das Verfahren kann insbesondere bei der Endlagerung von radioaktivem Abfall in Behältern aus gesintertem oder heißgepresstem Siliziumkarbid (SiC) Anwendung finden. Die Behälter können dabei mit dem radioaktiven Material befüllt und mit einem Deckel verschlossen werden, wobei Behälter und Deckel anhand eines erfindungsgemäßen Verfahrens verbunden werden. Die verschlossenen Behälter können dann in einer Endlagerstätte aufbewahrt werden. In one embodiment it is provided that the container contains radioactive or toxic material. The method can be used in particular for the final storage of radioactive waste in containers made of sintered or hot-pressed silicon carbide (SiC). The containers can be filled with the radioactive material and closed with a lid, the container and lid being connected using a method according to the invention. The sealed containers can then be stored in a final deposit.
Weitere geeignete Anwendungsmöglichkeiten für das erfindungsgemäße Verfahren umfassen das Verbinden von Rohren mit Rohrflanschen, zweier oder mehrerer Platten, eines Rads und einer Welle oder dergleichen, wobei zumindest die Kontaktflächen aus gesintertem oder heißgepressten Siliziumkarbid (SiC) bestehen. Further suitable possible uses for the method according to the invention include connecting pipes with pipe flanges, two or more plates, a wheel and a shaft or the like, at least the contact surfaces being made of sintered or hot-pressed silicon carbide (SiC).
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den nachfolgend anhand der Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen. In den Figuren zeigen: Figur 1 : den Aufbau einer beispielhaften Anlage zur Durchführung eines erfindungsgemäßen Verfahrens; Further details and advantages of the invention result from the exemplary embodiments illustrated below with reference to the figures. The figures show: Figure 1: the structure of an exemplary system for performing a method according to the invention;
Figur 2: den Aufbau einer alternativen Anlage zur Durchführung eines erfindungsgemäßen Verfahrens; Figure 2: the construction of an alternative system for performing a method according to the invention;
Figur 3: den Aufbau einer beispielhaften Anlage zum Verschluss eines Behälters anhand eines erfindungsgemäßen Verfahrens; Figure 3: the structure of an exemplary system for closing a container using a method according to the invention;
Figur 4: den Aufbau einer alternativen Anlage zum Verschluss eines Behälters anhand eines erfindungsgemäßen Verfahrens; Figure 4: the construction of an alternative system for closing a container using a method according to the invention;
Figur 5: eine schematische Darstellung der Prozessführung des erfindungsgemäßen Verfahrens in einer Anlage gemäß Figur 2; Figure 5 is a schematic representation of the process control of the method according to the invention in a system according to Figure 2;
Figur 6: Beispiele verschiedener Bauteilgeometrien, die anhand des erfindungsgemäßen Verfahrens verbunden werden können; und FIG. 6: Examples of different component geometries that can be connected using the method according to the invention; and
Figur 7: mikroskopische Aufnahmen einer im Rahmen eines erfindungsgemäßen Verfahrens hergestellten Fügenaht. FIG. 7: microscopic images of a joint seam produced as part of a method according to the invention.
Figur 1 zeigt den Aufbau einer beispielhaften Anlage zur Durchführung eines erfindungsgemäßen Verfahrens. Figure 1 shows the structure of an exemplary system for performing a method according to the invention.
Zwischen die zu fügenden Bauteile A und B wird die Nahtfolie N gelegt und die Fügegeometrie durch einen leichten Druck zwischen Oberstempel 2 und Unterstempel 3 fixiert. Die Richtung der Presskraft ist mit den Pfeilen 4 veranschaulicht. Die Erwärmung der Fügezone erfolgt direkt über die Induktionsspule 1. Da der Sinterprozess eine Schutzgasatmosphäre bei niedrigem Gasdruck erfordert, umschließt die Schutzgas-Kammer 5 die gesamte Fügezone und die genannten Anlagenteile. Schutzgas kann durch Schutzgasanschluss 5a eingeleitet werden. Ein weiterer Anschluss 5b dient zum Evakuieren und Belüften. Beide Anschlüsse 5a und 5b sind mit Ventilen versehen. The seam film N is placed between the components A and B to be joined and the joining geometry is fixed by a slight pressure between the upper punch 2 and the lower punch 3. The direction of the pressing force is illustrated by the arrows 4. The joining zone is heated directly via the induction coil 1. Since the sintering process requires an inert gas atmosphere at low gas pressure, the inert gas chamber 5 encloses the entire joining zone and the system components mentioned. Shielding gas can be introduced through shielding gas connection 5a. Another connection 5b is used for evacuation and ventilation. Both connections 5a and 5b are provided with valves.
Figur 2 zeigt den Aufbau einer alternativen Anlage zur Durchführung eines erfindungsgemäßen Verfahrens. Korrespondierende Teile sind mit identischen Bezugszeichen versehen. Figure 2 shows the structure of an alternative system for performing a method according to the invention. Corresponding parts are provided with identical reference symbols.
In dieser Variante erfolgt eine indirekter Erwärmung der Fügezone durch Wärmeleitung von geeignet angeordneten Suszeptoren 6, die ihrerseits beispielsweise direkt induktiv anhand der Induktionsspule 1 oder durch Stromfluss aufgeheizt werden. Zur beschleunigten Einleitung des Sinterprozesses kann über die Fügezone eine gepulste Gleichspannung 7 angelegt werden. In this variant, the joining zone is indirectly heated by heat conduction from suitably arranged susceptors 6, which in turn are heated, for example, directly inductively using induction coil 1 or by current flow. A pulsed DC voltage 7 can be applied across the joining zone to accelerate the initiation of the sintering process.
Figur 3 zeigt den prinzipiellen Aufbau einer beispielhaften Anlage für das Verschließen eines gesinterten Behälters A mit dem gesinterten Deckel B anhand des erfindungsgemäßen Verfahrens. Wiederum sind korrespondierende Teile mit identischen Bezugszeichen versehen. Figure 3 shows the basic structure of an exemplary system for closing a sintered container A with the sintered lid B using the inventive method. Corresponding parts are again provided with identical reference symbols.
Der Behälter umfasst Füllgut 9. Die Nahtfolie N ist in ihrer Form und Dicke an die Fügeflächengeometrie und die Oberflächenbeschaffenheit der Fügeflächen (Rautiefe, Parallelität) angepasst. Im einfachsten Fall erfolgt auch hier wieder die Erwärmung der Fügezone direkt induktiv. The container comprises filling material 9. The shape and thickness of the seam foil N is adapted to the joint surface geometry and the surface properties of the joint surfaces (roughness depth, parallelism). In the simplest case, the joining zone is again heated directly inductively.
Spezielle Anwendungsfälle können eine Erweiterung des Aufbaus gemäß Figur 4 vorteilhaft machen. Erneut sind korrespondierende Teile mit identischen Bezugszeichen versehen. Special applications can make an expansion of the structure according to FIG. 4 advantageous. Corresponding parts are again provided with identical reference symbols.
Um die Sinterzeit kurz zu halten, erfolgt die Erwärmung der Fügezone sowohl direkt über die Induktionsspule 1 als auch indirekt über Wärmeleitung von den Suszepto- ren 6, die ihrerseits von der Induktionsspule 1 mit aufgeheizt werden. Zur be- schleunigten Einleitung des Sinterprozesses, verbunden mit einem zusätzlichen Energieeintrag zur Erwärmung kann eine über der Fügezone angelegte gepulste Gleichspannung 7 hilfreich sein. Zum Schutz des Füllgutes 9 vor unzulässiger thermischer Belastung dient der thermische Schild 8. In order to keep the sintering time short, the joining zone is heated both directly via the induction coil 1 and indirectly via heat conduction from the susceptors. ren 6, which in turn are heated by the induction coil 1. A pulsed DC voltage 7 applied across the joining zone can be helpful for accelerated initiation of the sintering process, combined with an additional energy input for heating. The thermal shield 8 serves to protect the filling material 9 against impermissible thermal loads.
Figur 5 zeigt schematisch die Prozessführung des erfindungsgemäßen Verfahrens in einer Anlage gemäß Figur 2. FIG. 5 schematically shows the process control of the method according to the invention in a system according to FIG. 2.
Die Ausgangssituation ist gekennzeichnet durch eine geöffnete Schutzgas-Kammer 5, die mit Luft vom Umgebungsdruck pU gefüllt ist. Die Pressstempel sind geöffnet, der Pressdruck P ist Null. Die induktive Heizung ist ausgeschaltet. Die zu fügenden Bauteile A und B haben die Umgebungstemperatur TU. Die Fügeflächen von A und B wurden hartbearbeitet und weisen eine gegebene Rautiefe und Planparallelität zu einander auf. Die Rautiefe beeinflusst den Entgasungsprozess der Nahtfolie, die Oberflächenaktivierung und den elektrischen Übergangswiderstand an den Grenzflächen zwischen der Nahtfolie und den Bauteilen A und B. Rautiefe und Planparallelität bestimmen die zu wählende Dicke d der Nahtfolie, die beispielsweise 1 mm oder weniger beträgt. The initial situation is characterized by an open protective gas chamber 5, which is filled with air from the ambient pressure pU. The press rams are open, the press pressure P is zero. The inductive heating is switched off. The components A and B to be joined have the ambient temperature TU. The joining surfaces of A and B were hard machined and have a given roughness depth and plane parallelism to each other. The roughness depth influences the degassing process of the seam foil, the surface activation and the electrical contact resistance at the interfaces between the seam foil and the components A and B. Roughness depth and plane parallelism determine the thickness d of the seam foil to be selected, which is for example 1 mm or less.
Die Prozessdurchführung beginnt mit dem Einsetzen der Sandwich-Anordnung bestehend aus dem Bauteil A, der Nahtfolie N und dem Bauteil B zwischen Unters tempel 3 und Oberstempel 2, dem Heranfahren des Oberstempels und einer sanften Druckauflastung PG zur Fixierung der Geometrie. The process begins with the insertion of the sandwich arrangement consisting of component A, the seam film N and component B between the lower temple 3 and upper punch 2, the approach of the upper punch and a gentle pressure load PG to fix the geometry.
Anschließend wird die Schutzgas-Kammer geschlossen und evakuiert. Die induktive Aufheizung der Fügezone beginnt zunächst mit Teillast, um das Ausgasen der Nahtfolie zu unterstützen. Beim Druck pE wird das Evakuieren beendet und die Schutzgaskammer mit Schutzgas, beispielsweise Argon, bis zum Druck pS gefüllt. Die weitere Aufheizung erfolgt nun mit Volllast. Noch vor Erreichen der isothermen Sintertemperatur TS erfolgt die uniaxiale Druckauflastung mit dem Sinterdruck PS.The protective gas chamber is then closed and evacuated. The inductive heating of the joining zone begins with partial load to support the outgassing of the seam foil. At pressure pE, the evacuation is ended and the protective gas chamber is filled with protective gas, for example argon, up to pressure pS. Further heating is now carried out at full load. Even before reaching the isothermal Sintering temperature TS, the uniaxial pressure loading takes place with the sintering pressure PS.
Zur Einleitung des Sinterprozesses, insbesondere an den Grenzflächen (An- dock-Phase), wird optional eine gepulste Gleichspannung DC eingeschaltet. Die Heizung der Fügezone wird so geregelt, dass bei der Temperatur TS eine isotherme Sinterung gewährleistet wird. Die eigentliche Sinterphase tS ist relativ kurz, bei- spielsweise 10 min. Sie ist gekennzeichnet durch die Herstellung der Verbindung zwischen den Bauteilen A und B und das eindimensionale Sinterschwinden der Nahtfolie N. Nach Beendigung der Sinterphase wird die Heizung abgeschaltet. Die Abkühlphase endet beim Erreichen der Umgebungstemperatur TU mit der Druckentlastung des Bauteils (P= 0) und Belüftung der Schutzgaskammer (p= pU). Die gesamte Zykluszeit tZ beträgt beispielsweise eine Stunde oder weniger. To initiate the sintering process, especially at the interfaces (docking phase), a pulsed DC voltage DC is optionally switched on. The heating of the joining zone is regulated in such a way that isothermal sintering is guaranteed at temperature TS. The actual sintering phase tS is relatively short, for example 10 minutes. It is characterized by the establishment of the connection between components A and B and the one-dimensional sintering shrinkage of the seam foil N. After the sintering phase has ended, the heating is switched off. The cooling phase ends when the ambient temperature TU is reached with the pressure relief of the component (P = 0) and ventilation of the protective gas chamber (p = pU). The total cycle time tZ is, for example, one hour or less.
Das erfindungsgemäße Verfahren lässt sich zum Verbinden verschiedener Bauteilgeometrien verwenden. Figur 6 zeigt einige Beispiele. So zeigt Figur 6a eine Sandwich-Anordnung mit einer Nahtfolie N, die zwischen den zu verbindenden Bauteilen A und B eingeschlossen ist. An den Außenseiten der Bauteile A und B sind Suszeptoren 6 angeordnet. Figur 6b zeigt einen Behälter (Bauteil A) mit Deckel (Bauteil B) in Seitenansicht und Schnittansicht. Figur 6c zeigt ein Rohr mit Flansch in Seitenansicht und Schnittansicht, wobei der Flansch eines Rohres Bauteil B und das Rohr Bauteil A darstellen kann. Figur 6d zeigt eine gestapelte Anordnung mehrerer Platten, entsprechend Bauteilen A, B, C, D in Seitenansicht und Schnittansicht. Derartige Aufbauten können beispielsweise als Wärmeübertrager oder in Brennstoffzellen zum Einsatz kommen. Figur 6e zeigt eine Welle (Bauteil A) mit Rad (Bauteil B) in Seitenansicht und Schnittansicht. Die anhand eines erfindungsgemäßen Verfahrens hergestellte Verbindung kann großen Drehmomenten standhalten. The method according to the invention can be used to connect different component geometries. Figure 6 shows some examples. Figure 6a shows a sandwich arrangement with a seam film N, which is enclosed between the components A and B to be connected. Susceptors 6 are arranged on the outer sides of components A and B. Figure 6b shows a container (component A) with a lid (component B) in side view and sectional view. Figure 6c shows a pipe with flange in side view and sectional view, wherein the flange of a tube can represent component B and the tube component A. Figure 6d shows a stacked arrangement of several plates, corresponding to components A, B, C, D in side view and sectional view. Such structures can be used, for example, as heat exchangers or in fuel cells. Figure 6e shows a shaft (component A) with wheel (component B) in side view and sectional view. The connection produced using a method according to the invention can withstand high torques.
Ausführungsbeispiel: Das Ausführungsbeispiel 1 bezieht sich auf eine Bauteilgeometrie gemäß Figur 6a in einer Anlage gemäß Figur 1 mit zusätzlichen Suszeptoren 6. Embodiment: The exemplary embodiment 1 relates to a component geometry according to FIG. 6 a in a system according to FIG. 1 with additional susceptors 6.
Die Bauteile A und B sind Oktagone aus gesintertem Siliziumkarbid (SSiC) mit einem Außenkreisdurchmesser von 37 mm und einer Höhe von 3,5 mm. Die Fügeflä- chen wurden nicht hartbearbeitet sondern blieben wie gesintert. Die Nahtfolie besteht aus einer thermoplastischen SiC-Masse mit gleichmäßig hoher Gründichte und ist soweit teilentbindert, dass Flexibilität und damit Handhabbarkeit und Anpassung an die Fügeflächen erhalten bleiben. Aus einem Graphit-Suszeptor 6, dem Bauteil A, der Nahtfolie N, dem Bauteil B und einem weiteren Graphit-Suszeptor 6 wurde eine Sandwich-Anordnung gestapelt und zwischen Unterstempel 3 und Oberstempel 2 eingespannt. Die Nahtfolie N besaß im Grünzustand eine Dicke von 0,5 mm und eine Gründichte von 1 ,701 g/cm3. Components A and B are octagons made of sintered silicon carbide (SSiC) with an outer circle diameter of 37 mm and a height of 3.5 mm. The joining surfaces were not machined but remained as if sintered. The seam film consists of a thermoplastic SiC compound with a uniformly high green density and is partially debonded to the extent that flexibility and thus manageability and adaptation to the joining surfaces are retained. A sandwich arrangement was stacked from a graphite susceptor 6, component A, seam foil N, component B and a further graphite susceptor 6 and clamped between lower punch 3 and upper punch 2. In the green state, the seam film N had a thickness of 0.5 mm and a green density of 1.701 g / cm 3 .
Anschließend begann der Fügeprozess wie in Figur 5 dargestellt. Die Schutzgas- Kammer wurde bis zu einem Restdruck von pF = 1 mbar evakuiert, um sicherzustellen, dass die Nahtfolie weitgehend entgast wurde. Danach erfolgt das Befüllen der Kammer mit Argon, bis zu einem Druck von pS = 2,0 mbar. Die isotherme Sinterung erfolgte bei 1850 °C über einen Zeitraum tS von 10 min. Der uniaxiale Pressdruck P lag bei 30 MPa. Durch die eindimensionale Schwindung der Nahtfolie betrug die Dicke der gesinterten Fügenaht ca. 0,27 mm. Die Fügenaht war poren- und rissfrei mit einer guten Haftung an den Fügeflächen der Bauteile, wie anhand der in Figur 7 dargestellten mikroskopischen Aufnahmen erkannt werden kann. The joining process then started as shown in FIG. 5. The protective gas chamber was evacuated to a residual pressure of pF = 1 mbar to ensure that the seam film was largely degassed. The chamber is then filled with argon up to a pressure of pS = 2.0 mbar. The isothermal sintering took place at 1850 ° C. over a period of 10 minutes. The uniaxial pressure P was 30 MPa. Due to the one-dimensional shrinkage of the seam foil, the thickness of the sintered joint seam was approx. 0.27 mm. The seam was free of pores and cracks with good adhesion to the joining surfaces of the components, as can be seen from the microscopic images shown in FIG. 7.
Der Einsatz einer gepulsten Gleichspannung war im beschriebenen Beispiel nicht erforderlich, könnte aber als Optionsreserve für eine weitere Verkürzung der isothermen Sinterphase betrachtet werden. The use of a pulsed DC voltage was not necessary in the example described, but could be viewed as an option reserve for a further shortening of the isothermal sintering phase.

Claims

Ansprüche Expectations
1. Verfahren zum Verbinden von Bauteilen aus gesintertem und insbesondere heißgepresstem Siliziumkarbid, mit den folgenden Schritten: 1. Method for connecting components made of sintered and in particular hot-pressed silicon carbide, with the following steps:
Einbringen eines sinterfähigen Grünkörpers aus einer thermoplastischen SiC-Masse in einen Verbindungsbereich zwischen gegenüberliegenden Verbindungsflächen der Bauteile;  Introducing a sinterable green body made of a thermoplastic SiC compound into a connection area between opposite connection surfaces of the components;
Erhitzen des Grünkörpers und des Verbindungsbereichs auf Sinter- temperatur unter Schutzgasatmosphäre oder Vakuum; und  Heating the green body and the connection area to sintering temperature under a protective gas atmosphere or vacuum; and
Verpressen der Bauteile mit dem erhitzten Grünkörper durch Beaufschlagung eines Sinterdrucks.  Pressing the components with the heated green body by applying a sinter pressure.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der in den Verbindungsbereich eingebrachte Grünkörper die Gestalt einer dünnen Schicht hat, vorzugsweise mit einer Dicke von 1 mm oder weniger. 2. The method according to claim 1, characterized in that the green body introduced into the connection area has the shape of a thin layer, preferably with a thickness of 1 mm or less.
3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Sintertemperatur bei 1800-1950 °C liegt und/oder dass der Sinterdruck bei 20-40 MPa liegt und/oder dass Sinterdruck und Sinter- temperatur für 5-15 Minuten aufrechterhalten werden. 3. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the sintering temperature is 1800-1950 ° C and / or that the sintering pressure is 20-40 MPa and / or the sintering pressure and sintering temperature are maintained for 5-15 minutes.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Erhitzen des Grünkörpers wenigstens zwei Phasen umfasst, wobei der Grünkörper in einer ersten Phase auf eine unterhalb der Sintertemperatur liegende Entgasungstemperatur und erst in einer zweiten Phase auf Sintertemperatur erhitzt wird, wobei vorzugsweise vorgesehen ist, dass der Verbindungsbereich während der ersten Phase des Erhitzens evakuiert wird und während der zweiten Phase mit Schutzgas beaufschlagt wird. 4. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the heating of the green body comprises at least two phases, the green body being heated in a first phase to a degassing temperature below the sintering temperature and only in a second phase to the sintering temperature, preferably provided is that the connection area is evacuated during the first phase of heating and protective gas is applied during the second phase.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Grünkörper vor dem Erhitzen zwischen den Verbindungs flächen fixiert wird. 5. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the green body is fixed between the connecting surfaces before heating.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Erhitzen des Grünkörpers durch Widerstandsheizung erfolgt. 6. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the green body is heated by resistance heating.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Erhitzen des Grünkörpers mittels Induktion erfolgt. 7. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the green body is heated by means of induction.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Grünkörper unter Verwendung eines Suszeptors erhitzt wird. 8. The method according to claim 7, characterized in that the green body is heated using a susceptor.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass während des Verpressens eine vorzugsweise gepulste Gleichspannung über Verbindungsflächen der Bauteile und den Grünling gelegt wird. 9. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that a preferably pulsed DC voltage is placed over connecting surfaces of the components and the green body during pressing.
10. Verwendung eines Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche zum Verschließen eines Behälters mit einem Deckel, wobei zumindest die Kontaktflächen des Behälters und Deckels aus gesintertem oder heißge presstem Siliziumkarbid (SiC) bestehen. 10. Use of a method according to one of the preceding claims for closing a container with a lid, wherein at least the contact surfaces of the container and lid consist of sintered or hot-pressed silicon carbide (SiC).
11. Verwendung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Behälter radioaktives oder toxisches Material enthält. 11. Use according to claim 10, characterized in that the container contains radioactive or toxic material.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4148162A1 (en) 2021-09-13 2023-03-15 Behzad Sahabi Coating method and device for forming a barrier layer to increase imperability and corrosion resistance, coating and container for embedding and sealing radioactive bodies for final storage, and method for producing the container

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5407504A (en) * 1993-11-18 1995-04-18 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Method for joining ceramic to ceramic or to carbon
US7462255B2 (en) 2002-06-14 2008-12-09 Technische Universitaet Dresden Method for producing by laser gastight and high-temperature resistant connections of shaped parts made of a non-oxidic ceramic
DE102008040260A1 (en) * 2007-07-13 2009-01-15 Frauenhofer-Gesellschaft Diffusion-bonded ceramic component and method for its production
WO2013050172A1 (en) * 2011-10-06 2013-04-11 Siceram Gmbh Ceramic container and method for permanently storing radioactive waste

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US746225A (en) 1903-01-05 1903-12-08 Jesse Leroy Woods Clock-calendar.
US4921554A (en) * 1988-09-27 1990-05-01 Norton Company Joining of porous silicon carbide bodies
DE102012219347B4 (en) * 2012-10-23 2017-06-14 Technische Universität Dresden METHOD FOR GAS SEALING CLOSING CONTAINERS

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5407504A (en) * 1993-11-18 1995-04-18 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Method for joining ceramic to ceramic or to carbon
US7462255B2 (en) 2002-06-14 2008-12-09 Technische Universitaet Dresden Method for producing by laser gastight and high-temperature resistant connections of shaped parts made of a non-oxidic ceramic
DE102008040260A1 (en) * 2007-07-13 2009-01-15 Frauenhofer-Gesellschaft Diffusion-bonded ceramic component and method for its production
WO2013050172A1 (en) * 2011-10-06 2013-04-11 Siceram Gmbh Ceramic container and method for permanently storing radioactive waste

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
BREVIER: "Technische Keramik", 2003, FAHNER VERLAG

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