WO2019221546A1 - Pressure sensor and image display device including same - Google Patents

Pressure sensor and image display device including same Download PDF

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WO2019221546A1
WO2019221546A1 PCT/KR2019/005929 KR2019005929W WO2019221546A1 WO 2019221546 A1 WO2019221546 A1 WO 2019221546A1 KR 2019005929 W KR2019005929 W KR 2019005929W WO 2019221546 A1 WO2019221546 A1 WO 2019221546A1
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WO
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pressure sensor
electrode
layer
electrode layer
substrate
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Application number
PCT/KR2019/005929
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French (fr)
Korean (ko)
Inventor
최병진
이영수
Original Assignee
동우화인켐 주식회사
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    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
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    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
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    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means

Definitions

  • the present invention relates to a pressure sensor and an image display device including the same. More specifically, the present invention relates to a pressure sensor including a plurality of electrode layers and an image display device including the same.
  • a flat panel display device having features such as thinness, light weight, and low power consumption, for example, a liquid crystal display device, a plasma display panel device, Electro luminescent display devices and organic light-emitting diode display devices have been studied.
  • various sensor members are coupled to the display device to implement a user's command input.
  • a touch sensor or a touch screen panel that receives a user's command through a touch on the screen of the display device is combined.
  • a pressure sensor may be coupled to the display device to sense the pressure applied through the user's finger so that the operation of the display device is started or the user's command is performed.
  • the thickness of the touch sensor or the pressure sensor also becomes thin.
  • even the minute unevenness and the step by the electrode, the insulating pattern, etc. of the sensor member may inhibit the overall flattening of the sensor member, and the thickness uniformity of the display device may also be deteriorated.
  • a touch screen panel in which a touch sensor is coupled to various image display devices has recently been developed, but it does not include the case where the pressure sensor is coupled together.
  • One object of the present invention is to provide a pressure sensor having improved mechanical and electrical reliability.
  • One object of the present invention is to provide an image display device including a pressure sensor having improved mechanical and electrical reliability.
  • a first substrate A first electrode layer disposed on the first substrate and including a plurality of sensing electrode patterns separated from each other; A second electrode layer disposed to face the first electrode layer and serving as a common electrode for the plurality of sensing electrode patterns; And an elastic layer disposed between the first electrode layer and the second electrode layer.
  • the pressure sensor In the above 1, wherein the second electrode layer is overlapped with the plurality of sensing electrode patterns in a plane direction, the pressure sensor.
  • the pressure sensor In the above 1, wherein the elastic layer is in contact with the first electrode layer and the second electrode layer, the pressure sensor.
  • the first substrate includes an active region in which the sensing electrode patterns are arranged and a peripheral region surrounding the active region.
  • the first electrode layer further comprises a first wiring branching from each of the sensing electrode patterns extending in the active region, pressure sensor.
  • the insulating layer completely covers the first wires between neighboring sensing electrode patterns, and includes openings exposing top surfaces of the sensing electrode patterns.
  • the first electrode layer further comprises at least one dummy electrode disposed between the sensing electrode patterns neighboring on the first substrate, the pressure sensor.
  • the separation distance between the neighboring dummy electrode and the sensing electrode pattern is 2 to 300 ⁇ m, the pressure sensor.
  • the separation distance between the neighboring dummy electrode and the sensing electrode pattern is 2 to 30 ⁇ m, the pressure sensor.
  • the pressure sensor according to the embodiments of the present invention is disposed on the first electrode layer and the first electrode layer including a plurality of sensing electrode patterns that provide a sensing domain, and is provided as a common electrode for the plurality of sensing electrode patterns. It may include a second electrode layer. Since the second electrode layer is provided as a common electrode layer covering the plurality of independent sensing electrode patterns, the flattening of the pressure sensor is increased and a thinner pressure sensor can be realized.
  • wires extending from the sensing electrode patterns may be disposed in an active region, and an insulating layer may be formed to selectively cover the wires. Accordingly, signal interference between sensing electrode patterns due to wirings may be prevented, and pressure sensing may be realized by exposing the sensing electrode patterns.
  • the wirings may be disposed in the active region to reduce an area of the bezel region.
  • the dummy electrode may be disposed between the sensing electrode patterns to further reduce flatness caused by the sensing electrode patterns, thereby further improving flatness.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view illustrating a pressure sensor in accordance with example embodiments.
  • FIG. 2 is a schematic plan view illustrating an arrangement of a first electrode layer of a pressure sensor according to example embodiments.
  • FIG 3 is a schematic cross-sectional view illustrating an arrangement of a first electrode layer and an insulating layer in accordance with some example embodiments.
  • FIG. 4 is a schematic plan view for explaining an arrangement of a first electrode layer of a pressure sensor according to some exemplary embodiments.
  • FIG. 5 is a schematic plan view for explaining an arrangement of a first electrode layer of a pressure sensor according to some exemplary embodiments.
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view illustrating a pressure sensor in accordance with some example embodiments.
  • FIG. 7 is a schematic plan view illustrating an arrangement of a first electrode layer of a pressure sensor according to some exemplary embodiments.
  • FIG. 8 is a schematic cross-sectional view illustrating an image display device according to some example embodiments.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view illustrating an image display device according to some example embodiments.
  • Embodiments of the present invention include a first electrode layer including a plurality of spaced apart sensing electrode patterns and a second electrode layer disposed on the first electrode layer, and an elastic layer disposed between the first electrode layer and the second electrode layer. It provides a pressure sensor comprising a. In addition, an image display device including the pressure sensor is provided.
  • the pressure sensor may be a capacitive sensor.
  • the pressure sensor when pressure is applied through the user's finger through the first electrode layer or the second electrode layer, the pressure is applied from the pressure application point by the capacitance change according to the distance change between the first electrode layer and the second electrode layer. A signal can be generated.
  • the pressure sensor may be disposed on the rear side of the image display device so as not to be exposed to the user.
  • first and second refer to relative positions and are used to distinguish between configurations, and do not limit the absolute location of the configurations.
  • 1 is a schematic cross-sectional view illustrating a pressure sensor in accordance with example embodiments.
  • 2 is a schematic plan view illustrating an arrangement of a first electrode layer of a pressure sensor according to example embodiments.
  • the pressure sensor may include a first electrode layer 110 and a second electrode layer 150 facing each other.
  • An elastic layer 140 may be disposed between the first electrode layer 110 and the second electrode layer 150.
  • the first electrode layer 110 may be disposed on the first substrate 100a.
  • the first substrate 100a for example, a substrate material and an insulating film material which are commonly used in an image display device may be used without particular limitation.
  • the first substrate 100a may be a cyclic olefin polymer (COP), polyethylene terephthalate (PET), polyacrylate (PAR), polyetherimide (PEI), polyethylene naphthalate (PEN), or polyphenylene sulfide (PPS), polyallylate, polyimide (PI), cellulose acetate propionate (CAP), polyethersulfone (PES), cellulose triacetate (TAC), polycarbonate (PC), cyclic olefin copolymer Polymer-based materials such as (COC), polymethyl methacrylate (PMMA), and the like.
  • COP cyclic olefin polymer
  • PET polyethylene terephthalate
  • PAR polyacrylate
  • PEI polyetherimide
  • PEN polyethylene
  • the first electrode layer 110 may include a plurality of sensing electrode patterns 115 arranged on an upper surface of the first substrate 100a.
  • the first electrode layer 110 may further include first wires 116 electrically connected to the sensing electrode patterns 115.
  • the illustration of the insulating layer 120 is omitted in FIG.
  • each of the sensing electrode patterns 115 may be provided to a sensing domain of a pressure sensor.
  • the sensing electrode patterns 115 may be physically spaced apart from each other to function as independent sensing domains.
  • the sensing electrode patterns 115 may be electrically separated from each other.
  • a sensing layer having a dot matrix shape may be formed on the first substrate 100a by the sensing electrode patterns 115.
  • the first electrode layer 110 or the sensing electrode patterns 115 may include a transparent conductive oxide or a metal.
  • the transparent conductive oxide may include, for example, indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), zinc oxide (ZnO), indium zinc oxide (IZTO), cadmium tin oxide (CTO), or the like.
  • the metal is, for example, silver (Ag), gold (Au), copper (Cu), aluminum (Al), platinum (Pt), palladium (Pd), chromium (Cr), titanium (Ti), tungsten (W).
  • the first electrode layer 110 or the sensing electrode patterns 115 may be formed of the metal or the alloy, and may not include the transparent conductive oxide.
  • the pressure sensor may be disposed on the rear side of the image display device and may not be recognized by the user. Accordingly, the sensing sensitivity may be improved by forming the first electrode layer 110 or the sensing electrode patterns 115 using the metal or alloy having low resistance and high conductivity.
  • the sensing electrode patterns 115 are illustrated as having a rectangular shape, but the shape of the sensing electrode patterns 115 may be variously changed in consideration of the shape of the image display device or the pressure sensor, the pattern density, and the like. . In addition, the sensing electrode patterns 115 may include patterns having different sizes and shapes.
  • the first substrate 100a includes a first region A and a second region B, so that the pressure sensor also includes the first region A and the second region B. ) Can be separated.
  • the first area A may correspond to an active area where pressure sensing is performed.
  • the sensing electrode patterns 115 may be arranged in the first region A.
  • FIG. The second region B may correspond to a peripheral region or a bezel region of the first substrate 100a or the pressure sensor.
  • the first area A is formed on the edge of the first substrate 100a from an area where the sensing electrode patterns 115 are disposed, an area between the sensing electrode patterns 115, and a side surface of the sensing electrode patterns 115. It may include a margin area up to a predetermined distance.
  • first wirings 116 connected to the sensing electrode patterns 115 may be arranged together on the first substrate 100a of the first region I.
  • the first wires 116 may branch from each of the sensing electrode patterns 115 to extend on the first region A.
  • the first interconnections 116 may be distributed in the area between the sensing electrode patterns 115 and the margin area. By arranging the first wirings 116 in the first region I provided as the active region, an area of the second region II that may serve as the bezel region may be reduced.
  • an insulating layer 120 may be formed on the first substrate 100a to at least partially cover the first wires 116.
  • the insulating layer 120 may be formed on the sidewalls of the first sensing electrode patterns 115 and the first wirings 116 in the first region A.
  • the insulating layer 120 may be formed on the second region (B).
  • the insulating layer 120 is disposed between the plurality of first wires 116. It can also be formed.
  • the second electrode layer 150 When the second electrode layer 150 is provided as a common electrode for the plurality of sensing electrode patterns 115, signal interference between the sensing electrode patterns 115 may be prevented by the adjacent insulating layer 120. have. Therefore, noise of the sensing signal can be reduced to provide a high resolution pressure sensor.
  • the insulating layer 120 may include, for example, an inorganic insulating material such as silicon oxide or silicon nitride, an organic insulating material such as acrylic resin, or an organic / inorganic hybrid material such as siloxane resin.
  • an inorganic insulating material such as silicon oxide or silicon nitride
  • an organic insulating material such as acrylic resin
  • an organic / inorganic hybrid material such as siloxane resin.
  • Terminals of the first wires 116 may be assembled at the circuit connection 118.
  • the circuit connection 118 may have a tail shape protruding from the first substrate 100a.
  • the circuit connection 118 may be provided as a terminal portion of the pressure sensor.
  • the ends of the first wires 116 may be directly connected to a driving circuit such as an integrated circuit (IC) chip through the circuit connection 118.
  • IC integrated circuit
  • the ends of the first wires 116 may be connected to a connector of the controller board connected to the integrated circuit IC through the pad region P.
  • the circuit connection 118 may be provided as a pad portion of the pressure sensor.
  • a passivation layer is formed at the circuit connection portion 118 covering the ends of the first wires 116 or the pads connected to the first wires 116, as shown in FIG. 2.
  • the passivation layer portion may be removed at (P) to expose the ends or pads.
  • the insulating layer 120 may extend to the circuit connection 118 to serve as the passivation layer.
  • the first wirings 116 and the driving circuit may be electrically connected to each other through a pad member P, for example, through a separate circuit member such as a flexible printed circuit board FPCB.
  • the second electrode layer 150 is formed as a common electrode, the number of electrode patterns and wirings may be reduced. Therefore, in one embodiment, the connection with the driving circuit can be implemented without a separate circuit member such as FPCB.
  • the second electrode layer 150 may be disposed to face the first electrode layer 110 with the elastic layer 140 therebetween.
  • the second electrode layer 150 may cover the sensing electrode patterns 115 included in the first electrode layer 110 in the planar direction. Accordingly, the second electrode layer 150 may be provided as a common counter electrode with respect to the sensing electrode patterns 115.
  • the second electrode layer 150 may substantially overlap the first region A of the first substrate 100a in the planar direction. In addition, the second electrode layer 150 may at least partially overlap the second region B of the first substrate 100a in the planar direction.
  • the elastic layer 140 may also overlap the sensing electrode patterns 115 as a whole in the planar direction.
  • the elastic layer 140 may directly contact the first electrode layer 110 and the second electrode layer 150.
  • the distance between the first electrode layer 110 and the second electrode layer 150 changes locally due to the deformation of the elastic layer 140. can do. Accordingly, an electrical signal may be generated by the capacitance change at the pressure application point.
  • interference and noise between neighboring sensing electrode patterns 115 may be shielded by the insulating layer 120.
  • the elastic layer 140 may include, for example, a high elastic resin material such as polyurethane, polyester, polypropylene, acrylic, polydimethylsiloxane (PDMS). In some embodiments, the elastic layer 140 may have an elastic foam structure.
  • a high elastic resin material such as polyurethane, polyester, polypropylene, acrylic, polydimethylsiloxane (PDMS).
  • PDMS polydimethylsiloxane
  • the elastic layer 140 may have an elastic foam structure.
  • the elastic layer 140 may be bonded onto the first electrode layer 110 through an adhesive layer.
  • the second electrode layer 150 may include a conductive material substantially the same as or similar to that of the first electrode layer 110.
  • the second electrode layer 150 may be formed of a metal or an alloy.
  • the second electrode layer 150 is provided as a common counter electrode with respect to the sensing electrode patterns 115, the second electrode layer 150 eliminates the step caused by the sensing electrode patterns 115. To function as a planarization layer.
  • the elastic layer layer 140 may also be provided as a common layer to substantially eliminate the step caused by the sensing electrode patterns 115.
  • a second substrate 100b may be disposed on the second electrode layer 150.
  • the second electrode layer 150 is formed on the second substrate 100b
  • the first electrode layer 110 is formed on the first substrate 100b
  • the first elastic layer 140 is interposed therebetween.
  • the first substrate 100a and the second substrate 100b may be combined such that the electrode layer 110 and the second electrode layer 150 face each other.
  • the second substrate 100b may include a polymer-based material substantially the same as or similar to that of the first substrate 100a.
  • FIG. 3 is a schematic cross-sectional view illustrating an arrangement of a first electrode layer and an insulating layer in accordance with some example embodiments. Specifically, FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 2 in the thickness direction of the pressure sensor.
  • the insulating layer 120 may substantially cover the first wires 116.
  • the insulating layer 120 may cover the sidewalls and the upper surface of the first wiring 116 and completely fill the space between the adjacent first wirings 116.
  • the top surface of the insulating layer 120 may be formed higher than the top surface of the sensing electrode pattern 115. Accordingly, the insulating layer 120 may include an opening 125 that exposes the top surface of the sensing electrode pattern 115. In this case, an additional step may be caused by the opening 125.
  • the planarization is substantially flattened.
  • Pressure sensor can be provided. Therefore, a thin flattened pressure sensor with high reliability and high resolution pressure sensing can be effectively implemented.
  • the insulating layer 120 may partially cover the upper surface of the sensing electrode pattern 125 while covering the first wires 116. Accordingly, signal interference between the sensing electrode pattern 125 and the first wiring 116 may be more effectively blocked. In addition, the electric field diffusion from the side of the upper surface of the sensing electrode pattern 125 can be suppressed.
  • FIG. 4 is a schematic plan view for explaining an arrangement of a first electrode layer of a pressure sensor according to some exemplary embodiments. Detailed descriptions of structures and / or configurations substantially the same as or similar to those described with reference to FIGS. 1 and 2 will be omitted.
  • the first electrode layer 110 may include a dummy electrode 117.
  • at least one dummy electrode 117 may be disposed between the sensing electrode patterns 115 adjacent to each other in the first region A.
  • the dummy electrode 117 may be electrically and physically separated from the sensing electrode patterns 115 and the first wires 116.
  • the first wires 116 may extend by bypassing the dummy electrode 116 on the first substrate 110a so as not to contact the dummy electrode 117.
  • the step caused by the sensing electrode patterns 115 may be further reduced. Therefore, a thinner pressure sensor can be easily implemented.
  • the separation distance between the dummy electrode 117 and the sensing electrode pattern 115 may range from about 2 ⁇ m to about 300 ⁇ m. While maintaining the reliability of sensing through the sensing electrode pattern 115 within the above range, the step can be substantially suppressed from being recognized by the user of the image display device.
  • the separation distance may range from about 2 to 30 ⁇ m.
  • FIG. 5 is a schematic plan view for explaining an arrangement of a first electrode layer of a pressure sensor according to some exemplary embodiments.
  • the dummy electrodes 119 may be distributed over the region of the first substrate 100a except for the region in which the sensing electrode patterns 115 and the first interconnections 116 are formed. Accordingly, the steps on the first substrate 110a may be substantially flattened by the dummy electrodes 119.
  • the dummy electrodes 119 may be disposed between the adjacent sensing electrode patterns 115 and may also be disposed between the adjacent sensing electrode patterns 115 and the first wiring 116. In addition, the dummy electrode 119 may be disposed between the adjacent first wirings 116.
  • a separation distance between the dummy electrode 119 and the adjacent sensing electrode pattern 115 or the first wiring 116 may be about 2 to 300 ⁇ m, preferably about 2 to 30 ⁇ m.
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view illustrating a pressure sensor in accordance with some example embodiments.
  • FIG. 7 is a schematic plan view illustrating an arrangement of a first electrode layer of a pressure sensor according to some exemplary embodiments.
  • a via structure 155 may be formed to electrically connect the second electrode layer 150 to the driving circuit.
  • a via hole may be formed in the elastic layer 140, and a via structure 155 may be formed in the via hole.
  • the via structure 155 may extend from the second electrode layer 150 to penetrate the elastic layer 140.
  • a second wiring 153 may be arranged on the first substrate 100a to be electrically connected to the second electrode layer 150 through the via structure 155.
  • the second wiring 153 may be arranged on the peripheral area or the second area B of the first substrate 100a.
  • the second wiring 153 may be assembled at the circuit connection portion 118 together with the first wirings 116.
  • the second wiring 153 and the first wiring 116 can be electrically connected to the driving circuit through one circuit connecting portion 118. Therefore, an electrical connection with the drive circuit can be realized without a separate circuit member such as an FPCB.
  • via pad 157 may be disposed on which via structure 155 is seated.
  • the second wiring 153 branches and extends from the via pad 157, and the second wiring 153 extends through the second electrode layer 150, the via structure 155, the via pad 157, and the second wiring 153. Signal transmission between the electrode layer 150 and the driving circuit may be performed.
  • the pressure sensor may include at least one via structure 155.
  • a plurality of via structures 155 may be arranged along a peripheral area of the first substrate 100a. Therefore, the signal transfer resistance from the second electrode layer 150 to the driving circuit can be reduced.
  • the via structure 155 may be formed through a dispensing or jetting process using a conductive material such as gold, silver, copper, and carbon paste. Accordingly, the via structure 155 may be easily formed without a complicated chemical process or a plating process.
  • the insulating layer 120 may also be formed on the second region B to at least partially cover the second wiring 153.
  • the insulating layer 120 may be formed to cover the via pad 157.
  • the via structure 155 may contact the via pad 157 through the insulating layer 120.
  • the elastic layer 140 may be selectively formed on the first region A, and may be substantially excluded on the second region B.
  • FIG. 8 is a schematic cross-sectional view illustrating an image display device according to example embodiments.
  • the image display device may include a display panel 200 and a touch sensor 270 sequentially stacked on the pressure sensor 50.
  • the pressure sensor 50 may include the structure and configuration described with reference to FIGS. 1 to 7.
  • the pressure sensor 50 may be disposed below the display panel 200 and disposed to the rear side of the image display device.
  • the display panel 200 may be stacked on the pressure sensor 50 through the first adhesive layer 202.
  • the display panel 200 may include a pixel electrode 210, a pixel defining layer 220, a display layer 230, an opposite electrode 240, and an encapsulation layer 250 disposed on the panel substrate 205. Can be.
  • a pixel circuit including a thin film transistor TFT may be formed on the panel substrate 205, and an insulating layer covering the pixel circuit may be formed.
  • the pixel electrode 210 may be electrically connected to the drain electrode of the TFT, for example.
  • the panel substrate 205 includes a flexible resin such as polyimide, in which case the image display device may be provided as a flexible display.
  • the pixel defining layer 220 may be formed on the insulating layer to expose the pixel electrode 210 to define a pixel region.
  • the display layer 230 is formed on the pixel electrode 210, and the display layer 230 may include, for example, a liquid crystal layer or an organic emission layer.
  • the opposite electrode 240 may be disposed on the pixel defining layer 220 and the display layer 230.
  • the counter electrode 240 may be provided as, for example, a common electrode or a cathode of the image display device.
  • An encapsulation layer 250 for protecting the display panel 200 may be stacked on the counter electrode 240.
  • the touch sensor 270 may be stacked on the display panel 200 through the second adhesive layer 260.
  • the touch sensor 270 may include, for example, a capacitive sensor of mutual capacitance type or self capacitance type.
  • the touch sensor 270 may be disposed on the front side of the image display device. Therefore, since the sensing electrode of the touch sensor may be visually recognized by the user, the sensing electrode may include a transparent conductive oxide having high transmittance (for example, ITO).
  • the window substrate 290 may be stacked on the touch sensor 280 through, for example, the third adhesive layer 280.
  • an optical layer such as a polarizing layer, may be further included between the window substrate 290 and the touch sensor 280, or between the touch sensor 280 and the display panel 200.
  • the second electrode layer 150 provided as the common electrode may be disposed to face the display panel 200. In this case, pressure may be applied from the user to the second electrode layer 150.
  • FIG. 9 is a schematic cross-sectional view illustrating an image display device according to some example embodiments. Detailed descriptions of configurations and / or structures substantially the same as or similar to those described with reference to FIG. 8 will be omitted.
  • the first substrate 100a on which the first electrode layer 110 is formed may be disposed to face the display panel 200.
  • pressure is applied from the user to the first electrode layer 110, and an electrical signal according to a change in capacitance with the second electrode layer 150 may be generated through deformation of the elastic layer 140.
  • sensing electrode patterns (20 mm x 25 mm x length) on a first substrate (23 ⁇ m thick) made of tri-acetyl-cellulose (TAC); Formed. Dummy electrodes are formed to have the same thickness between the sensing electrode patterns.
  • a second electrode (3,000 microns) and an elastic layer (50 ⁇ m) made of polyurethane (PU) foam material were sequentially formed as a common electrode.
  • the first electrode layer and the second electrode layer are formed to include a silver alloy.
  • the first substrate and the second substrate were laminated through an adhesive layer (30 ⁇ m) made of PSA material so that the elastic layer faces the sensing electrode patterns.
  • a plurality of pressure sensor samples were prepared while varying the separation distance between the adjacent sensing electrode pattern and the dummy electrode (see Table 1). In sample 13, the dummy electrode was omitted.
  • Panels of 20 adults with left and right visual acuity of 1.0 or more were visually observed in the Examples and Comparative Examples of pressure sensor samples at a distance of 30 cm under a three-wavelength lamp illumination. Of the 20 panelists, the level of visual recognition was evaluated based on the number of panels that answered that the level of the first substrate was recognized.
  • the pressure sensor samples were evaluated for driving with a pressure sensor drive tester. If the sensing function is maintained in Table 1 below “OK”, if the sensing function is not described as "NG”.
  • the panel power supply recognized the step difference.

Abstract

A pressure sensor according to embodiments of the present invention comprises: a first substrate; a first electrode layer arranged on the first substrate, and including a plurality of sensing electrode patterns separated from each other; a second electrode layer arranged to face the first electrode layer, and provided as a common electrode for the plurality of sensing electrode patterns; and an elastic layer arranged between the first electrode layer and the second electrode layer. A thin pressure sensor having improved flatness can be implemented through the second electrode layer and the elastic layer.

Description

압력 센서 및 이를 포함하는 화상 표시 장치Pressure sensor and image display device including the same
본 발명은 압력 센서 및 이를 포함하는 화상 표시 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 복수의 전극층을 포함하는 압력 센서 및 이를 포함하는 화상 표시 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a pressure sensor and an image display device including the same. More specifically, the present invention relates to a pressure sensor including a plurality of electrode layers and an image display device including the same.
최근 정보화 사회가 발전함에 따라 디스플레이 분야에 대한 요구도 다양한 형태로 제시되고 있다. 예를 들면, 박형화, 경량화, 저소비 전력화 등의 특징을 지닌 여러 평판 표시 장치(Flat Panel Display device), 예를 들어, 액정표시장치(Liquid Crystal Display device), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device), 전계발광표시장치(Electro Luminescent Display device), 유기발광다이오드표시장치(Organic Light-Emitting Diode Display device) 등이 연구되고 있다.Recently, with the development of the information society, the demand for the display field is also presented in various forms. For example, a flat panel display device having features such as thinness, light weight, and low power consumption, for example, a liquid crystal display device, a plasma display panel device, Electro luminescent display devices and organic light-emitting diode display devices have been studied.
한편, 상기 표시 장치에 사용자의 명령 입력을 구현하기 위한 각종 센서 부재들이 결합되고 있다. 예를 들면, 상기 표시 장치의 화면 상에 터치를 통해 사용자의 명령을 입력되는 터치 센서 또는 터치 스크린 패널이 결합되고 있다.Meanwhile, various sensor members are coupled to the display device to implement a user's command input. For example, a touch sensor or a touch screen panel that receives a user's command through a touch on the screen of the display device is combined.
또한, 예를 들면 사용자의 손가락을 통해 인가되는 압력을 감지하여 상기 표시 장치의 동작이 개시되거나 사용자의 명령이 수행되도록 하는 압력 센서가 상기 표시 장치에 함께 결합될 수 있다.In addition, for example, a pressure sensor may be coupled to the display device to sense the pressure applied through the user's finger so that the operation of the display device is started or the user's command is performed.
최근, 상기 표시 장치의 두께가 얇아지면서, 상기 터치 센서 또는 압력 센서의 두께 역시 얇아지고 있다. 이 경우, 상기 센서 부재의 전극, 절연 패턴 등에 의한 미세한 요철, 단차에 의해서도 상기 센서 부재의 전체적인 평탄화가 저해될 수 있으며, 표시 장치의 두께 균일성 역시 악화될 수 있다. 또한, 얇은 두께에서도 원하는 센싱 동작이 구현될 수 있는 전극, 배선 등의 설계가 용이하지 않다.Recently, as the thickness of the display device becomes thin, the thickness of the touch sensor or the pressure sensor also becomes thin. In this case, even the minute unevenness and the step by the electrode, the insulating pattern, etc. of the sensor member may inhibit the overall flattening of the sensor member, and the thickness uniformity of the display device may also be deteriorated. In addition, it is not easy to design the electrode, the wiring, etc. that can be implemented a desired sensing operation even in a thin thickness.
예를 들면, 한국공개특허 제2013-0114820호에서와 같이 최근 다양한 화상 표시 장치에 터치 센서가 결합된 터치 스크린 패널이 개발되고 있으나, 압력 센서가 함께 결합되는 경우의 고려는 포함하고 있지 않다.For example, as disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2013-0114820, a touch screen panel in which a touch sensor is coupled to various image display devices has recently been developed, but it does not include the case where the pressure sensor is coupled together.
본 발명의 일 과제는 향상된 기계적, 전기적 신뢰성을 갖는 압력 센서를 제공하는 것이다.One object of the present invention is to provide a pressure sensor having improved mechanical and electrical reliability.
본 발명의 일 과제는 향상된 기계적, 전기적 신뢰성을 갖는 압력 센서를 포함하는 화상 표시 장치를 제공하는 것이다.One object of the present invention is to provide an image display device including a pressure sensor having improved mechanical and electrical reliability.
1. 제1 기판; 상기 제1 기판 상에 배치되며, 서로 분리된 복수의 센싱 전극 패턴들을 포함하는 제1 전극층; 상기 제1 전극층에 대향하도록 배치되며, 상기 복수의 센싱 전극 패턴들에 대한 공통 전극으로 제공되는 제2 전극층; 및 상기 제1 전극층 및 상기 제2 전극층 사이에 배치되는 탄성층을 포함하는, 압력 센서.1. a first substrate; A first electrode layer disposed on the first substrate and including a plurality of sensing electrode patterns separated from each other; A second electrode layer disposed to face the first electrode layer and serving as a common electrode for the plurality of sensing electrode patterns; And an elastic layer disposed between the first electrode layer and the second electrode layer.
2. 위 1에 있어서, 상기 제2 전극층은 평면 방향에서 상기 복수의 센싱 전극 패턴들과 전체적으로 중첩되는, 압력 센서.2. In the above 1, wherein the second electrode layer is overlapped with the plurality of sensing electrode patterns in a plane direction, the pressure sensor.
3. 위 2에 있어서, 상기 탄성층은 상기 평면 방향에서 상기 복수의 센싱 전극 패턴들과 전체적으로 중첩되는, 압력 센서.3. In the above 2, wherein the elastic layer is overlapped with the plurality of sensing electrode patterns in the planar direction, pressure sensor.
4. 위 1에 있어서, 상기 탄성층은 상기 제1 전극층 및 상기 제2 전극층과 접촉하는, 압력 센서.4. In the above 1, wherein the elastic layer is in contact with the first electrode layer and the second electrode layer, the pressure sensor.
5. 위 1에 있어서, 상기 제1 기판은 상기 센싱 전극 패턴들이 배열되는 활성 영역 및 상기 활성 영역을 둘러싸는 주변 영역을 포함하는, 압력 센서.5. The pressure sensor according to the above 1, wherein the first substrate includes an active region in which the sensing electrode patterns are arranged and a peripheral region surrounding the active region.
6. 위 5에 있어서, 상기 제1 전극층은 상기 센싱 전극 패턴들 각각으로부터 분기되어 상기 활성 영역 내에서 연장하는 제1 배선을 더 포함하는, 압력 센서.6. In the above 5, wherein the first electrode layer further comprises a first wiring branching from each of the sensing electrode patterns extending in the active region, pressure sensor.
7. 위 6에 있어서, 상기 제1 기판 상에서 제1 배선들을 적어도 부분적으로 덮는 절연층을 더 포함하는, 압력 센서.7. The pressure sensor of claim 6, further comprising an insulating layer at least partially covering the first wires on the first substrate.
8. 위 7에 있어서, 상기 절연층은 이웃하는 상기 센싱 전극 패턴들 사이에서 상기 제1 배선들을 완전히 덮으며, 상기 센싱 전극 패턴들의 상면을 노출시키는 개구부들을 포함하는, 압력 센서.8. The pressure sensor of claim 7, wherein the insulating layer completely covers the first wires between neighboring sensing electrode patterns, and includes openings exposing top surfaces of the sensing electrode patterns.
9. 위 6에 있어서, 상기 주변 영역 내에 배열되며 상기 제2 전극층과 전기적으로 연결되는 제2 배선을 더 포함하는, 압력 센서.9. The pressure sensor according to the above 6, further comprising a second wiring arranged in the peripheral region and electrically connected to the second electrode layer.
10. 위 9에 있어서, 상기 제2 배선 및 상기 제2 전극층을 서로 전기적으로 연결시키는 비아 구조물을 더 포함하는, 압력 센서.10. The pressure sensor according to the above 9, further comprising a via structure for electrically connecting the second wire and the second electrode layer to each other.
11. 위 10에 있어서, 복수의 상기 비아 구조물들이 상기 제1 기판의 상기 주변 영역을 따라 배열되는, 압력 센서.11. The pressure sensor of above 10, wherein a plurality of the via structures are arranged along the peripheral region of the first substrate.
12. 위 11에 있어서, 상기 제1 기판은 회로 접속부를 포함하며, 12. In the above 11, wherein the first substrate comprises a circuit connection,
상기 제1 배선 및 상기 제2 배선은 상기 회로 접속부에서 함께 집합되는, 압력 센서.And the first wiring and the second wiring are gathered together at the circuit connecting portion.
13. 위 1에 있어서, 상기 제1 전극층은 상기 제1 기판 상에서 이웃하는 상기 센싱 전극 패턴들 사이에 배치되는 적어도 하나의 더미 전극을 더 포함하는, 압력 센서.13. In the above 1, wherein the first electrode layer further comprises at least one dummy electrode disposed between the sensing electrode patterns neighboring on the first substrate, the pressure sensor.
14. 위 13에 있어서, 이웃하는 상기 더미 전극 및 상기 센싱 전극 패턴 사이의 이격 거리는 2 내지 300㎛인, 압력 센서.14. In the above 13, the separation distance between the neighboring dummy electrode and the sensing electrode pattern is 2 to 300㎛, the pressure sensor.
15. 위 13에 있어서, 이웃하는 상기 더미 전극 및 상기 센싱 전극 패턴 사이의 이격 거리는 2 내지 30㎛인, 압력 센서.15. In the above 13, the separation distance between the neighboring dummy electrode and the sensing electrode pattern is 2 to 30㎛, the pressure sensor.
16. 위 1에 있어서, 상기 탄성층은 탄성 폼(foam) 구조를 포함하는, 압력 센서.16. The pressure sensor according to the above 1, wherein the elastic layer includes an elastic foam structure.
17. 위 1에 있어서, 상기 제2 전극층 상에 배치되는 제2 기판을 더 포함하는, 압력 센서.17. The pressure sensor according to the above 1, further comprising a second substrate disposed on the second electrode layer.
18. 위 1 내지 17 중 어느 한 항의 압력 센서; 상기 압력 센서 상에 적층되는 표시 패널; 및 상기 표시 패널 상에 적층되는 터치 센서를 포함하는, 화상 표시 장치.18. The pressure sensor of any one of 1 to 17 above; A display panel stacked on the pressure sensor; And a touch sensor stacked on the display panel.
19. 위 18에 있어서, 상기 터치 센서 및 상기 압력 센서는 정전 용량 방식 센서를 포함하는, 화상 표시 장치.19. The image display device of claim 18, wherein the touch sensor and the pressure sensor include a capacitive sensor.
본 발명의 실시예들에 따르는 압력 센서는 센싱 도메인을 제공하는 복수의 센싱 전극 패턴들을 포함하는 제1 전극층 및 상기 제1 전극층 상에 배치되며 상기 복수의 센싱 전극 패턴들에 대해 공통 전극으로 제공되는 제2 전극층을 포함할 수 있다. 상기 제2 전극층이 복수의 독립된 센싱 전극 패턴들을 덮는 공통 전극층으로 제공되므로, 상기 압력 센서의 평탄화가 상승되며, 보다 얇은 압력 센서가 구현될 수 있다.The pressure sensor according to the embodiments of the present invention is disposed on the first electrode layer and the first electrode layer including a plurality of sensing electrode patterns that provide a sensing domain, and is provided as a common electrode for the plurality of sensing electrode patterns. It may include a second electrode layer. Since the second electrode layer is provided as a common electrode layer covering the plurality of independent sensing electrode patterns, the flattening of the pressure sensor is increased and a thinner pressure sensor can be realized.
예시적인 실시예들에 따르면 상기 센싱 전극 패턴들로부터 연장되는 배선들을 활성 영역에 배치하며, 상기 배선들을 선택적으로 덮는 절연층을 형성할 수 있다. 따라서, 배선들로 인한 센싱 전극 패턴들 사이의 신호 간섭을 방지하고, 상기 센싱 전극 패턴들을 노출시켜 압력 센싱을 구현할 수 있다. 또한 상기 배선들을 상기 활성 영역 내에 배치시켜 베젤 영역의 면적을 감소시킬 수 있다.In example embodiments, wires extending from the sensing electrode patterns may be disposed in an active region, and an insulating layer may be formed to selectively cover the wires. Accordingly, signal interference between sensing electrode patterns due to wirings may be prevented, and pressure sensing may be realized by exposing the sensing electrode patterns. In addition, the wirings may be disposed in the active region to reduce an area of the bezel region.
일부 실시예들에 있어서, 상기 센싱 전극 패턴들 사이에 더미 전극을 배치하여 상기 센싱 전극 패턴들에 의해 야기되는 단차를 감소시켜 평탄성을 추가적으로 향상시킬 수 있다.In some embodiments, the dummy electrode may be disposed between the sensing electrode patterns to further reduce flatness caused by the sensing electrode patterns, thereby further improving flatness.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 압력 센서를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view illustrating a pressure sensor in accordance with example embodiments.
도 2는 예시적인 실시예들에 따른 압력 센서의 제1 전극층의 배열을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.2 is a schematic plan view illustrating an arrangement of a first electrode layer of a pressure sensor according to example embodiments.
도 3은 일부 예시적인 실시예들에 따른 제1 전극층 및 절연층의 배열을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.3 is a schematic cross-sectional view illustrating an arrangement of a first electrode layer and an insulating layer in accordance with some example embodiments.
도 4는 일부 예시적인 실시예들에 따른 압력 센서의 제1 전극층의 배열을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.4 is a schematic plan view for explaining an arrangement of a first electrode layer of a pressure sensor according to some exemplary embodiments.
도 5는 일부 예시적인 실시예들에 따른 압력 센서의 제1 전극층의 배열을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.FIG. 5 is a schematic plan view for explaining an arrangement of a first electrode layer of a pressure sensor according to some exemplary embodiments. FIG.
도 6은 일부 예시적인 실시예들에 따른 압력 센서를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.6 is a schematic cross-sectional view illustrating a pressure sensor in accordance with some example embodiments.
도 7은 일부 예시적인 실시예들에 따른 압력 센서의 제1 전극층의 배열을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.FIG. 7 is a schematic plan view illustrating an arrangement of a first electrode layer of a pressure sensor according to some exemplary embodiments. FIG.
도 8은 일부 예시적인 실시예들에 따른 화상 표시 장치를 나타내는 개략적인 단면도이다.8 is a schematic cross-sectional view illustrating an image display device according to some example embodiments.
도 9는 일부 예시적인 실시예들에 따른 화상 표시 장치를 나타내는 개략적인 단면도이다.9 is a schematic cross-sectional view illustrating an image display device according to some example embodiments.
본 발명의 실시예들은 복수의 이격된 센싱 전극 패턴들을 포함하는 제1 전극층 및 상기 제1 전극층 상에 배치되는 제2 전극층을 포함하며, 상기 제1 전극층 및 상기 제2 전극층 사이에 배치된 탄성층을 포함하는 압력 센서를 제공한다. 또한, 상기 압력 센서를 포함하는 화상 표시 장치가 제공된다.Embodiments of the present invention include a first electrode layer including a plurality of spaced apart sensing electrode patterns and a second electrode layer disposed on the first electrode layer, and an elastic layer disposed between the first electrode layer and the second electrode layer. It provides a pressure sensor comprising a. In addition, an image display device including the pressure sensor is provided.
예시적인 실시예들에 따르면, 상기 압력 센서는 정전 용량 방식의 센서일 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 전극층 또는 제2 전극층을 통해 사용자의 손가락을 통해 압력이 인가되는 경우, 상기 제1 전극층 및 상기 제2 전극층 사이의 거리 변화에 따른 정전 용량 변화에 의해 압력 인가 지점으로부터 전기적 신호가 생성될 수 있다.According to exemplary embodiments, the pressure sensor may be a capacitive sensor. For example, when pressure is applied through the user's finger through the first electrode layer or the second electrode layer, the pressure is applied from the pressure application point by the capacitance change according to the distance change between the first electrode layer and the second electrode layer. A signal can be generated.
예를 들면, 상기 압력 센서는 화상 표시 장치의 배면 측으로 배치되어 사용자에게 노출되지 않도록 배치될 수 있다.For example, the pressure sensor may be disposed on the rear side of the image display device so as not to be exposed to the user.
이하 도면을 참고하여, 본 발명의 실시예들을 보다 구체적으로 설명하도록 한다. 다만, 본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 전술한 발명의 내용과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. However, the following drawings attached to the present specification are intended to illustrate preferred embodiments of the present invention, and together with the contents of the present invention serves to further understand the technical spirit of the present invention, the present invention described in such drawings It should not be construed as limited to matters.
본 출원에 사용된 용어 "제1" 및 "제2"는 상대적인 위치를 나타내며 구성들을 구분하기 위해 사용되며, 구성의 절대적인 위치를 한정하는 것이 아니다.As used herein, the terms "first" and "second" refer to relative positions and are used to distinguish between configurations, and do not limit the absolute location of the configurations.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 압력 센서를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다. 도 2는 예시적인 실시예들에 따른 압력 센서의 제1 전극층의 배열을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.1 is a schematic cross-sectional view illustrating a pressure sensor in accordance with example embodiments. 2 is a schematic plan view illustrating an arrangement of a first electrode layer of a pressure sensor according to example embodiments.
도 1을 참조하면, 상기 압력 센서는 서로 대향하는 제1 전극층(110) 및 제2 전극층(150)을 포함할 수 있다. 제1 전극층(110) 및 제2 전극층(150) 사이에는 탄성 층(140)이 배치될 수 있다.Referring to FIG. 1, the pressure sensor may include a first electrode layer 110 and a second electrode layer 150 facing each other. An elastic layer 140 may be disposed between the first electrode layer 110 and the second electrode layer 150.
제1 전극층(110)은 제1 기판(100a) 상에 배치될 수 있다. 제1 기판(100a)은 예를 들면, 화상 표시 장치에서 통상적으로 사용되는 기판 소재 및 절연성 필름 소재가 특별한 제한 없이 사용될 수 있다. 예를 들면, 제1 기판(100a)은 환형올레핀중합체(COP), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리아크릴레이트(PAR), 폴리에테르이미드(PEI), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN), 폴리페닐렌설파이드(PPS), 폴리알릴레이트(polyallylate), 폴리이미드(PI), 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(CAP), 폴리에테르술폰(PES), 셀룰로오스 트리아세테이트(TAC), 폴리카보네이트(PC), 환형올레핀공중합체(COC), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 등과 같은 고분자 계열 물질을 포함할 수 있다.The first electrode layer 110 may be disposed on the first substrate 100a. As the first substrate 100a, for example, a substrate material and an insulating film material which are commonly used in an image display device may be used without particular limitation. For example, the first substrate 100a may be a cyclic olefin polymer (COP), polyethylene terephthalate (PET), polyacrylate (PAR), polyetherimide (PEI), polyethylene naphthalate (PEN), or polyphenylene sulfide (PPS), polyallylate, polyimide (PI), cellulose acetate propionate (CAP), polyethersulfone (PES), cellulose triacetate (TAC), polycarbonate (PC), cyclic olefin copolymer Polymer-based materials such as (COC), polymethyl methacrylate (PMMA), and the like.
도 1 및 도 2를 함께 참조하면, 제1 전극층(110)은 제1 기판(100a)의 상면 상에 배열된 복수의 센싱 전극 패턴들(115)을 포함할 수 있다. 제1 전극층(110)은 센싱 전극 패턴들(115)과 전기적으로 연결되는 제1 배선들(116)을 더 포함할 수 있다. 설명의 편의를 위해, 도 2에서는 절연층(120)의 도시는 생략되었다.1 and 2, the first electrode layer 110 may include a plurality of sensing electrode patterns 115 arranged on an upper surface of the first substrate 100a. The first electrode layer 110 may further include first wires 116 electrically connected to the sensing electrode patterns 115. For convenience of description, the illustration of the insulating layer 120 is omitted in FIG.
예시적인 실시예들에 따르면, 센싱 전극 패턴들(115)은 각각 압력 센서의 센싱 도메인(domain)으로 제공될 수 있다. 예를 들면, 센싱 전극 패턴들(115)은 서로 물리적으로 이격되어 독립적인 센싱 도메인으로 기능할 수 있다. 또한, 센싱 전극 패턴들(115)은 서로 전기적으로 분리될 수 있다.In example embodiments, each of the sensing electrode patterns 115 may be provided to a sensing domain of a pressure sensor. For example, the sensing electrode patterns 115 may be physically spaced apart from each other to function as independent sensing domains. In addition, the sensing electrode patterns 115 may be electrically separated from each other.
이에 따라, 센싱 전극 패턴들(115)에 의해 제1 기판(100a) 상에 도트 매트릭스(dot matrix) 형태의 센싱 층이 형성될 수 있다.Accordingly, a sensing layer having a dot matrix shape may be formed on the first substrate 100a by the sensing electrode patterns 115.
제1 전극층(110) 또는 센싱 전극 패턴들(115)은 투명 도전성 산화물 또는 금속을 포함할 수 있다. 상기 투명 도전성 산화물은 예를 들면, 인듐주석산화물(ITO), 인듐아연산화물(IZO), 아연산화물(ZnO), 인듐아연주석산화물(IZTO), 카드뮴주석산화물(CTO) 등을 포함할 수 있다. 상기 금속은 예를 들면, 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 니오븀(Nb), 탄탈륨(Ta), 바나듐(V), 철(Fe), 망간(Mn), 코발트(Co), 니켈(Ni), 아연(Zn), 주석(Sn) 또는 이들의 합금을 포함할 수 있다.The first electrode layer 110 or the sensing electrode patterns 115 may include a transparent conductive oxide or a metal. The transparent conductive oxide may include, for example, indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), zinc oxide (ZnO), indium zinc oxide (IZTO), cadmium tin oxide (CTO), or the like. The metal is, for example, silver (Ag), gold (Au), copper (Cu), aluminum (Al), platinum (Pt), palladium (Pd), chromium (Cr), titanium (Ti), tungsten (W). ), Niobium (Nb), tantalum (Ta), vanadium (V), iron (Fe), manganese (Mn), cobalt (Co), nickel (Ni), zinc (Zn), tin (Sn) or alloys thereof It may include.
일부 실시예들에 있어서, 제1 전극층(110) 또는 센싱 전극 패턴들(115)은 상기 금속 또는 합금으로 형성되며, 상기 투명 도전성 산화물은 포함하지 않을 수 있다. 상술한 바와 같이, 상기 압력 센서는 화상 표시 장치의 배면 측으로 배치되어 사용자에게 시인되지 않을 수 있다. 따라서, 저저항 및 고 전도성을 갖는 상기 금속 또는 합금으로 제1 전극층(110) 또는 센싱 전극 패턴들(115)을 형성하여 센싱 감도를 향상시킬 수 있다.In some embodiments, the first electrode layer 110 or the sensing electrode patterns 115 may be formed of the metal or the alloy, and may not include the transparent conductive oxide. As described above, the pressure sensor may be disposed on the rear side of the image display device and may not be recognized by the user. Accordingly, the sensing sensitivity may be improved by forming the first electrode layer 110 or the sensing electrode patterns 115 using the metal or alloy having low resistance and high conductivity.
도 2에서는 센싱 전극 패턴들(115)이 각각 직사각형 형상을 갖는 것으로 도시되었으나, 센싱 전극 패턴(115)의 형상은 화상 표시 장치 또는 압력 센서의 형상, 패턴 밀도 등을 고려하여 다양하게 변경될 수 있다. 또한, 센싱 전극 패턴들(115)은 각각 서로 다른 사이즈, 형상을 갖는 패턴들을 포함할 수도 있다.In FIG. 2, the sensing electrode patterns 115 are illustrated as having a rectangular shape, but the shape of the sensing electrode patterns 115 may be variously changed in consideration of the shape of the image display device or the pressure sensor, the pattern density, and the like. . In addition, the sensing electrode patterns 115 may include patterns having different sizes and shapes.
도 2에 도시된 바와 같이, 제1 기판(100a)은 제1 영역(A) 및 제2 영역(B)을 포함하며, 이에 따라 상기 압력 센서 역시 제1 영역(A) 및 제2 영역(B)으로 구분될 수 있다.As shown in FIG. 2, the first substrate 100a includes a first region A and a second region B, so that the pressure sensor also includes the first region A and the second region B. ) Can be separated.
제1 영역(A)은 압력 센싱이 수행되는 활성 영역에 해당될 수 있다. 센싱 전극 패턴들(115)은 제1 영역(A) 내에 배열될 수 있다. 제2 영역(B)은 제1 기판(100a) 또는 압력 센서의 주변 영역, 또는 베젤(bezel) 영역에 해당될 수 있다.The first area A may correspond to an active area where pressure sensing is performed. The sensing electrode patterns 115 may be arranged in the first region A. FIG. The second region B may correspond to a peripheral region or a bezel region of the first substrate 100a or the pressure sensor.
제1 영역(A)은 센싱 전극 패턴들(115)이 배치되는 영역, 센싱 전극 패턴들(115) 사이의 영역, 및 센싱 전극 패턴들(115)의 측면으로부터 제1 기판(100a)의 테두리를 향해 소정의 거리까지의 마진 영역을 포함할 수 있다.The first area A is formed on the edge of the first substrate 100a from an area where the sensing electrode patterns 115 are disposed, an area between the sensing electrode patterns 115, and a side surface of the sensing electrode patterns 115. It may include a margin area up to a predetermined distance.
예시적인 실시예들에 따르면, 제1 영역(I)의 제1 기판(100a) 상에 센싱 전극 패턴들(115)에 연결되는 제1 배선들(116)이 함께 배열될 수 있다. 제1 배선들(116)은 센싱 전극 패턴들(115) 각각으로부터 분기되어, 제1 영역(A) 상에서 연장할 수 있다.In example embodiments, first wirings 116 connected to the sensing electrode patterns 115 may be arranged together on the first substrate 100a of the first region I. The first wires 116 may branch from each of the sensing electrode patterns 115 to extend on the first region A. FIG.
일 실시예에 있어서, 제1 배선들(116)은 센싱 전극 패턴들(115) 사이의 영역 및 상기 마진 영역에 분포될 수 있다. 제1 배선들(116)을 활성 영역으로 제공되는 제1 영역(I) 내에 배열함으로써, 베젤 영역으로 제공될 수 있는 제2 영역(II)의 면적을 감소시킬 수 있다.In example embodiments, the first interconnections 116 may be distributed in the area between the sensing electrode patterns 115 and the margin area. By arranging the first wirings 116 in the first region I provided as the active region, an area of the second region II that may serve as the bezel region may be reduced.
예시적인 실시예들에 따르면, 제1 기판(100a) 상에는 제1 배선들(116)을 적어도 부분적으로 덮는 절연층(120)이 형성될 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 절연층(120)은 제1 영역(A) 상에서 제1 센싱 전극 패턴들(115) 및 제1 배선들(116)의 측벽들 상에 형성될 수 있다. 또한 절연층(120)은 제2 영역(B) 상에도 형성될 수 있다.In example embodiments, an insulating layer 120 may be formed on the first substrate 100a to at least partially cover the first wires 116. In some embodiments, the insulating layer 120 may be formed on the sidewalls of the first sensing electrode patterns 115 and the first wirings 116 in the first region A. FIG. In addition, the insulating layer 120 may be formed on the second region (B).
도 2에 도시된 바와 같이, 이웃하는 센싱 전극 패턴들(115) 사이에 복수의 제1 배선들(116)이 배치된 경우, 절연층(120)은 상기 복수의 제1 배선들(116) 사이에도 형성될 수 있다. As shown in FIG. 2, when a plurality of first wires 116 are disposed between neighboring sensing electrode patterns 115, the insulating layer 120 is disposed between the plurality of first wires 116. It can also be formed.
제2 전극층(150)이 복수의 센싱 전극 패턴들(115)에 대한 공통 전극으로 제공되는 경우에는 인접하는 절연층(120)에 의해 센싱 전극 패턴들(115) 사이에서의 신호 간섭을 방지할 수 있다. 따라서, 센싱 신호의 노이즈가 감소되어 고해상도의 압력 센서가 제공될 수 있다.When the second electrode layer 150 is provided as a common electrode for the plurality of sensing electrode patterns 115, signal interference between the sensing electrode patterns 115 may be prevented by the adjacent insulating layer 120. have. Therefore, noise of the sensing signal can be reduced to provide a high resolution pressure sensor.
절연층(120)은 예를 들면, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물 등과 같은 무기 절연 물질, 아크릴계 수지와 같은 유기 절연 물질, 또는 실록산계 수지와 같은 유기/무기 하이브리드 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 제1 전극층(110)을 덮도록 절연층(120)을 제1 기판(100a) 상에 형성한 후, 센싱 전극 패턴(115)의 상면이 노출되도록 연마 공정 또는 사진 식각 공정을 수행할 수 있다.The insulating layer 120 may include, for example, an inorganic insulating material such as silicon oxide or silicon nitride, an organic insulating material such as acrylic resin, or an organic / inorganic hybrid material such as siloxane resin. For example, after the insulating layer 120 is formed on the first substrate 100a to cover the first electrode layer 110, a polishing process or a photolithography process is performed to expose the top surface of the sensing electrode pattern 115. can do.
제1 배선들(116)의 말단들은 회로 접속부(118)에서 집합될 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 회로 접속부(118)는 제1 기판(100a)으로부터 돌출된 테일(tail) 형상을 가질 수 있다. Terminals of the first wires 116 may be assembled at the circuit connection 118. In some embodiments, the circuit connection 118 may have a tail shape protruding from the first substrate 100a.
일 실시예에 있어서, 회로 접속부(118)는 상기 압력 센서의 단자(terminal) 부로 제공될 수 있다. 예를 들면, 회로 접속부(118)를 통해 제1 배선들(116)의 상기 말단들이 집적 회로(IC) 칩과 같은 구동 회로와 직접 연결될 수 있다.In one embodiment, the circuit connection 118 may be provided as a terminal portion of the pressure sensor. For example, the ends of the first wires 116 may be directly connected to a driving circuit such as an integrated circuit (IC) chip through the circuit connection 118.
일 실시예에 있어서, 제1 배선들(116)의 상기 말단들이 패드 영역(P)을 통하여 집적 회로(IC)와 연결된 컨트롤러 보드의 커넥터에 연결 될 수 있다.In an embodiment, the ends of the first wires 116 may be connected to a connector of the controller board connected to the integrated circuit IC through the pad region P. FIG.
일 실시예에 있어서, 회로 접속부(118)는 상기 압력 센서의 패드부로 제공될 수 있다. 예를 들면, 회로 접속부(118)에서 제1 배선들(116)의 상기 말단들 또는 제1 배선들(116)과 연결된 패드들을 덮는 패시베이션 층이 형성되며, 도 2에 도시된 바와 같이, 패드 영역(P)에서 상기 패시베이션 층 부분이 제거되어 상기 말단들 또는 패드들이 노출될 수 있다. 일 실시예에 있어서, 절연층(120)이 회로 접속부(118)로 연장되어 상기 패시베이션 층으로 제공될 수도 있다.In one embodiment, the circuit connection 118 may be provided as a pad portion of the pressure sensor. For example, a passivation layer is formed at the circuit connection portion 118 covering the ends of the first wires 116 or the pads connected to the first wires 116, as shown in FIG. 2. The passivation layer portion may be removed at (P) to expose the ends or pads. In one embodiment, the insulating layer 120 may extend to the circuit connection 118 to serve as the passivation layer.
패드 영역(P)을 통해 예를 들면, 연성 인쇄 회로 기판(FPCB)과 같은 별도 회로 부재를 통해 제1 배선들(116) 및 상기 구동 회로가 서로 전기적으로 연결될 수 있다.The first wirings 116 and the driving circuit may be electrically connected to each other through a pad member P, for example, through a separate circuit member such as a flexible printed circuit board FPCB.
예시적인 실시예들에 따르면, 제2 전극층(150)을 공통 전극으로 형성하므로, 전극 패턴 및 배선의 개수를 감소시킬 수 있다. 따라서, 일 실시예에 있어서, FPCB와 같은 별도의 회로 부재 없이도 상기 구동 회로와의 연결을 구현할 수 있다.According to example embodiments, since the second electrode layer 150 is formed as a common electrode, the number of electrode patterns and wirings may be reduced. Therefore, in one embodiment, the connection with the driving circuit can be implemented without a separate circuit member such as FPCB.
제2 전극층(150)은 탄성층(140)을 사이에 두고 제1 전극층(110)과 마주보도록 배치될 수 있다. 예시적인 실시예들에 따르면, 제2 전극층(150)은 평면 방향에서 제1 전극층(110)에 포함된 센싱 전극 패턴들(115)을 전체적으로 커버할 수 있다. 이에 따라, 제2 전극층(150)은 센싱 전극 패턴들(115)에 대해 공통 대향 전극으로 제공될 수 있다.The second electrode layer 150 may be disposed to face the first electrode layer 110 with the elastic layer 140 therebetween. In example embodiments, the second electrode layer 150 may cover the sensing electrode patterns 115 included in the first electrode layer 110 in the planar direction. Accordingly, the second electrode layer 150 may be provided as a common counter electrode with respect to the sensing electrode patterns 115.
일부 실시예들에 있어서, 제2 전극층(150)은 평면 방향에서 제1 기판(100a)의 제1 영역(A)과 실질적으로 전체적으로 중첩될 수 있다. 또한, 제2 전극층(150)은 평면 방향에서 제1 기판(100a)의 제2 영역(B)과 적어도 부분적으로 중첩될 수 있다.In some embodiments, the second electrode layer 150 may substantially overlap the first region A of the first substrate 100a in the planar direction. In addition, the second electrode layer 150 may at least partially overlap the second region B of the first substrate 100a in the planar direction.
일부 실시예들에 있어서, 탄성층(140) 역시 평면 방향에서 센싱 전극 패턴들(115)과 전체적으로 중첩될 수 있다. 탄성층(140)은 제1 전극층(110) 및 제2 전극층(150)과 직접 접촉할 수 있다.In some embodiments, the elastic layer 140 may also overlap the sensing electrode patterns 115 as a whole in the planar direction. The elastic layer 140 may directly contact the first electrode layer 110 and the second electrode layer 150.
제1 전극층(110) 및 제2 전극층(150)으로부터 압력이 인가되는 경우, 탄성층(140)의 변형에 의해 제1 전극층(110) 및 제2 전극층(150) 사이의 거리가 국소적으로 변화할 수 있다. 이에 따라, 압력 인가 지점에서의 정전 용량 변화에 의해 전기적 신호가 생성될 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이 절연층(120)에 의해 이웃하는 센싱 전극 패턴들(115) 사이의 간섭, 노이즈가 차폐될 수 있다.When pressure is applied from the first electrode layer 110 and the second electrode layer 150, the distance between the first electrode layer 110 and the second electrode layer 150 changes locally due to the deformation of the elastic layer 140. can do. Accordingly, an electrical signal may be generated by the capacitance change at the pressure application point. In addition, as described above, interference and noise between neighboring sensing electrode patterns 115 may be shielded by the insulating layer 120.
탄성층(140)은 예를 들면, 폴리우레탄, 폴리에스테르, 폴리프로필렌, 아크릴, 폴리디메틸실록산(PDMS)와 같은 고 탄성 수지 물질을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 탄성층(140)은 탄성 폼(foam) 구조를 가질 수 있다.The elastic layer 140 may include, for example, a high elastic resin material such as polyurethane, polyester, polypropylene, acrylic, polydimethylsiloxane (PDMS). In some embodiments, the elastic layer 140 may have an elastic foam structure.
일부 실시예들에 있어서, 탄성층(140)은 점접착층을 통해 제1 전극층(110) 상에 접합될 수 있다.In some embodiments, the elastic layer 140 may be bonded onto the first electrode layer 110 through an adhesive layer.
제2 전극층(150)은 제1 전극층(110)과 실질적으로 동일하거나 유사한 도전성 물질을 포함할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제2 전극층(150)은 금속 또는 합금으로 형성될 수 있다.The second electrode layer 150 may include a conductive material substantially the same as or similar to that of the first electrode layer 110. In one embodiment, the second electrode layer 150 may be formed of a metal or an alloy.
상술한 바와 같이, 제2 전극층(150)이 센싱 전극 패턴들(115)에 대해 공통 대향 전극으로 제공됨에 따라, 제2 전극층(150)은 센싱 전극 패턴들(115)에 의해 야기되는 단차를 제거하는 평탄화 층으로 기능할 수 있다.As described above, as the second electrode layer 150 is provided as a common counter electrode with respect to the sensing electrode patterns 115, the second electrode layer 150 eliminates the step caused by the sensing electrode patterns 115. To function as a planarization layer.
따라서, 압력 센서가 박형화되는 경우에도 단차가 감소된 향상된 평탄성을 확보할 수 있으며, 상기 압력 센서가 결합되는 화상 표시 장치의 평탄성 역시 향상될 수 있다. 또한, 탄성층 층(140) 역시 공통 층으로 제공되어, 센싱 전극 패턴들(115)에 의해 야기되는 단차를 실질적으로 제거할 수 있다.Therefore, even when the pressure sensor is thinned, improved flatness with reduced level can be ensured, and flatness of the image display device to which the pressure sensor is coupled can also be improved. In addition, the elastic layer layer 140 may also be provided as a common layer to substantially eliminate the step caused by the sensing electrode patterns 115.
그러므로, 보다 얇은 구조를 가지며 플렉시블 디스플레이 장치에 효과적으로 적용될 수 있는 압력 센서가 구현될 수 있다.Therefore, a pressure sensor having a thinner structure and which can be effectively applied to a flexible display device can be implemented.
다시 도 1을 참조하면, 제2 전극층(150) 상에는 제2 기판(100b)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 제2 기판(100b) 상에 제2 전극층(150)이 형성되고, 제1 기판(100b) 상에 제1 전극층(110)이 형성된 후 탄성층(140)을 사이에 두고 제1 전극층(110) 및 제2 전극층(150)이 서로 마주보도록 제1 기판(100a) 및 제2 기판(100b)을 결합할 수 있다.Referring back to FIG. 1, a second substrate 100b may be disposed on the second electrode layer 150. For example, the second electrode layer 150 is formed on the second substrate 100b, the first electrode layer 110 is formed on the first substrate 100b, and the first elastic layer 140 is interposed therebetween. The first substrate 100a and the second substrate 100b may be combined such that the electrode layer 110 and the second electrode layer 150 face each other.
예를 들면, 제2 기판(100b)은 제1 기판(100a)과 실질적으로 동일하거나 유사한 고분자 계열 물질을 포함할 수 있다.For example, the second substrate 100b may include a polymer-based material substantially the same as or similar to that of the first substrate 100a.
도 3은 일부 예시적인 실시예들에 따른 제1 전극층 및 절연층의 배열을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다. 구체적으로, 도 3은 도 2에 표시된 I-I' 라인을 따라 압력 센서의 두께 방향으로 절단한 단면도이다.3 is a schematic cross-sectional view illustrating an arrangement of a first electrode layer and an insulating layer in accordance with some example embodiments. Specifically, FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 2 in the thickness direction of the pressure sensor.
도 3을 참조하면, 절연층(120)은 제1 배선들(116)을 실질적으로 전체적으로 덮을 수 있다. 예시적인 실시예들에 따르면, 절연층(120)은 제1 배선(116)의 측벽 및 상면을 덮으며, 이웃한 제1 배선들(116) 사이의 공간을 완전히 채울 수 있다. Referring to FIG. 3, the insulating layer 120 may substantially cover the first wires 116. In example embodiments, the insulating layer 120 may cover the sidewalls and the upper surface of the first wiring 116 and completely fill the space between the adjacent first wirings 116.
절연층(120)의 상면은 센싱 전극 패턴(115)의 상면보다 높게 형성될 수 있다. 이에 따라, 절연층(120)은 센싱 전극 패턴(115)의 상기 상면을 노출시키는 개구부(125)를 포함할 수 있다. 이 경우, 개구부(125)에 의해 추가적인 단차가 야기될 수 있다.The top surface of the insulating layer 120 may be formed higher than the top surface of the sensing electrode pattern 115. Accordingly, the insulating layer 120 may include an opening 125 that exposes the top surface of the sensing electrode pattern 115. In this case, an additional step may be caused by the opening 125.
상술한 바와 같이, 예시적인 실시예들에 따르면, 제2 전극층(150) 및/또는 탄성층(140)이 공통 층으로 제공함에 따라 절연층(120)에 의해 단차가 야기되는 경우에도 실질적으로 평탄화된 압력 센서가 제공될 수 있다. 따라서, 고 신뢰성, 고 해상도 압력 센싱과 함께 박형의 평탄화된 압력 센서가 효과적으로 구현될 수 있다.As described above, according to exemplary embodiments, even when a step is caused by the insulating layer 120 as the second electrode layer 150 and / or the elastic layer 140 are provided as a common layer, the planarization is substantially flattened. Pressure sensor can be provided. Therefore, a thin flattened pressure sensor with high reliability and high resolution pressure sensing can be effectively implemented.
일부 실시예들에 있어서, 도 3에 도시된 바와 같이 절연층(120)은 제1 배선들(116)을 덮으면서 센싱 전극 패턴(125)의 상면의 측부 역시 부분적으로 덮을 수 있다. 이에 따라, 센싱 전극 패턴(125) 및 제1 배선(116) 사이의 신호 간섭이 보다 효과적으로 차단될 수 있다. 또한, 센싱 전극 패턴(125)의 상기 상면의 측부로부터의 전계 확산을 억제할 수 있다.In some embodiments, as illustrated in FIG. 3, the insulating layer 120 may partially cover the upper surface of the sensing electrode pattern 125 while covering the first wires 116. Accordingly, signal interference between the sensing electrode pattern 125 and the first wiring 116 may be more effectively blocked. In addition, the electric field diffusion from the side of the upper surface of the sensing electrode pattern 125 can be suppressed.
도 4는 일부 예시적인 실시예들에 따른 압력 센서의 제1 전극층의 배열을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다. 도 1 및 도 2를 참조로 설명한 바와 실질적으로 동일하거나 유사한 구조 및/또는 구성에 대한 상세한 설명은 생략된다.4 is a schematic plan view for explaining an arrangement of a first electrode layer of a pressure sensor according to some exemplary embodiments. Detailed descriptions of structures and / or configurations substantially the same as or similar to those described with reference to FIGS. 1 and 2 will be omitted.
도 4를 참조하면, 제1 전극층(110)은 더미 전극(117)을 포함할 수 있다. 예시적인 실시예들에 따르면, 적어도 하나의 더미 전극(117)이 제1 영역(A) 내에서 이웃하는 센싱 전극 패턴들(115) 사이에 배치될 수 있다.Referring to FIG. 4, the first electrode layer 110 may include a dummy electrode 117. In example embodiments, at least one dummy electrode 117 may be disposed between the sensing electrode patterns 115 adjacent to each other in the first region A. Referring to FIG.
더미 전극(117)은 센싱 전극 패턴들(115) 및 제1 배선들(116)과 전기적, 물리적으로 분리될 수 있다. 제1 배선들(116)은 더미 전극(117)과 접촉하지 않도록 제1 기판(110a) 상에서 더미 전극(116)을 우회하여 연장할 수 있다.The dummy electrode 117 may be electrically and physically separated from the sensing electrode patterns 115 and the first wires 116. The first wires 116 may extend by bypassing the dummy electrode 116 on the first substrate 110a so as not to contact the dummy electrode 117.
더미 전극(117)이 센싱 전극 패턴들(115) 사이의 공간 또는 영역에 배치됨에 따라, 센싱 전극 패턴들(115)에 의해 야기되는 단차가 추가적으로 감소할 수 있다. 따라서, 보다 박형화된 압력 센서를 용이하게 구현할 수 있다.As the dummy electrode 117 is disposed in the space or area between the sensing electrode patterns 115, the step caused by the sensing electrode patterns 115 may be further reduced. Therefore, a thinner pressure sensor can be easily implemented.
일부 실시예들에 있어서, 더미 전극(117) 및 센싱 전극 패턴(115) 사이의 이격 거리는 약 2 내지 300㎛ 범위일 수 있다. 상기 범위 내에서 센싱 전극 패턴(115)을 통한 센싱 신뢰성을 유지하면서, 단차가 화상 표시 장치의 사용자에게 시인되는 것을 실질적으로 억제할 수 있다.In some embodiments, the separation distance between the dummy electrode 117 and the sensing electrode pattern 115 may range from about 2 μm to about 300 μm. While maintaining the reliability of sensing through the sensing electrode pattern 115 within the above range, the step can be substantially suppressed from being recognized by the user of the image display device.
바람직하게는, 상기 이격 거리는 약 2 내지 30㎛ 범위일 수 있다.Preferably, the separation distance may range from about 2 to 30 μm.
도 5는 일부 예시적인 실시예들에 따른 압력 센서의 제1 전극층의 배열을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.FIG. 5 is a schematic plan view for explaining an arrangement of a first electrode layer of a pressure sensor according to some exemplary embodiments. FIG.
도 5를 참조하면, 더미 전극들(119)은 센싱 전극 패턴들(115) 및 제1 배선들(116)이 형성된 영역을 제외한 제1 기판(100a)의 영역에 걸쳐 분포할 수 있다. 이에 따라, 제1 기판(110a) 상의 단차들이 실질적으로 더미 전극들(119)에 의해 전체적으로 평탄화될 수 있다.Referring to FIG. 5, the dummy electrodes 119 may be distributed over the region of the first substrate 100a except for the region in which the sensing electrode patterns 115 and the first interconnections 116 are formed. Accordingly, the steps on the first substrate 110a may be substantially flattened by the dummy electrodes 119.
예시적인 실시예들에 따르면, 더미 전극들(119)은 인접한 센싱 전극 패턴들(115) 사이에 배치되며, 인접한 센싱 전극 패턴(115) 및 제1 배선(116) 사이에도 배치될 수 있다. 또한, 더미 전극(119)은 인접한 제1 배선들(116) 사이에도 배치될 수 있다.In example embodiments, the dummy electrodes 119 may be disposed between the adjacent sensing electrode patterns 115 and may also be disposed between the adjacent sensing electrode patterns 115 and the first wiring 116. In addition, the dummy electrode 119 may be disposed between the adjacent first wirings 116.
이 경우, 더미 전극(119)과 인접한 센싱 전극 패턴(115) 또는 제1 배선(116) 사이의 이격 거리는 약 2 내지 300㎛, 바람직하게는 약 2 내지 30㎛일 수 있다.In this case, a separation distance between the dummy electrode 119 and the adjacent sensing electrode pattern 115 or the first wiring 116 may be about 2 to 300 μm, preferably about 2 to 30 μm.
도 6는 일부 예시적인 실시예들에 따른 압력 센서를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다. 도 7은 일부 예시적인 실시예들에 따른 압력 센서의 제1 전극층의 배열을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.6 is a schematic cross-sectional view illustrating a pressure sensor in accordance with some example embodiments. FIG. 7 is a schematic plan view illustrating an arrangement of a first electrode layer of a pressure sensor according to some exemplary embodiments. FIG.
도 1 및 도 2를 참조로 설명한 바와 실질적으로 동일하거나 유사한 구조 및/또는 구성에 대한 상세한 설명은 생략된다.Detailed descriptions of structures and / or configurations substantially the same as or similar to those described with reference to FIGS. 1 and 2 will be omitted.
도 6 및 도 7을 참조하면, 제2 전극층(150)을 상기 구동 회로와 전기적으로 연결시키기 위한 비아(via) 구조물(155)이 형성될 수 있다. 예를 들면, 탄성층(140) 내에 비아 홀이 형성되며, 상기 비아 홀 내에 비아 구조물(155)이 형성될 수 있다. 이 경우, 비아 구조물(155)은 제2 전극층(150)으로부터 연장하여 탄성층(140)을 관통할 수 있다.6 and 7, a via structure 155 may be formed to electrically connect the second electrode layer 150 to the driving circuit. For example, a via hole may be formed in the elastic layer 140, and a via structure 155 may be formed in the via hole. In this case, the via structure 155 may extend from the second electrode layer 150 to penetrate the elastic layer 140.
도 7에 도시된 바와 같이, 제1 기판(100a) 상에 제2 전극층(150)과 비아 구조물(155)을 통해 전기적으로 연결되는 제2 배선(153)이 배열될 수 있다.As illustrated in FIG. 7, a second wiring 153 may be arranged on the first substrate 100a to be electrically connected to the second electrode layer 150 through the via structure 155.
예시적인 실시예들에 따르면, 제2 배선(153)은 제1 기판(100a)의 주변 영역 또는 제2 영역(B) 상에 배열될 수 있다. 제2 배선(153)은 제1 배선들(116)과 함께 회로 접속부(118)에서 집합될 수 있다.According to example embodiments, the second wiring 153 may be arranged on the peripheral area or the second area B of the first substrate 100a. The second wiring 153 may be assembled at the circuit connection portion 118 together with the first wirings 116.
이에 따라, 제2 배선(153) 및 제1 배선(116)을 하나의 회로 접속부(118)를 통해 구동 회로와 전기적으로 연결시킬 수 있다. 그러므로, FPCB와 같은 별도의 회로 부재 없이도 상기 구동 회로와의 전기적 접속을 구현할 수 있다.Accordingly, the second wiring 153 and the first wiring 116 can be electrically connected to the driving circuit through one circuit connecting portion 118. Therefore, an electrical connection with the drive circuit can be realized without a separate circuit member such as an FPCB.
일부 실시예들에 있어서, 비아 구조물(155)이 안착되는 비아 패드(157)가 배치될 수 있다. 이 경우, 비아 패드(157)로부터 제2 배선(153)이 분기되어 연장되며, 제2 전극층(150), 비아 구조물(155), 비아 패드(157) 및 제2 배선(153)을 통해 제2 전극층(150) 및 상기 구동 회로와의 신호 전달이 수행될 수 있다.In some embodiments, via pad 157 may be disposed on which via structure 155 is seated. In this case, the second wiring 153 branches and extends from the via pad 157, and the second wiring 153 extends through the second electrode layer 150, the via structure 155, the via pad 157, and the second wiring 153. Signal transmission between the electrode layer 150 and the driving circuit may be performed.
상기 압력 센서는 적어도 하나의 비아 구조물(155)을 포함할 수 있다. 일부 실시예들에 있어서, 도 7에 도시된 바와 같이, 복수의 비아 구조물들(155)이 제1 기판(100a)의 주변 영역을 따라 배열될 수 있다. 따라서, 제2 전극층(150)으로부터 상기 구동 회로로의 신호 전달 저항이 감소될 수 있다.The pressure sensor may include at least one via structure 155. In some embodiments, as shown in FIG. 7, a plurality of via structures 155 may be arranged along a peripheral area of the first substrate 100a. Therefore, the signal transfer resistance from the second electrode layer 150 to the driving circuit can be reduced.
예를 들면, 비아 구조물(155) 금, 은, 구리, 카본 페이스트 등의 도전성 재료를 사용하여 디스펜싱(dispensing) 또는 제팅(jetting) 공정을 통해 형성될 수 있다. 따라서, 복잡한 화학적 공정 또는 도금 공정 없이 용이하게 비아 구조물(155)을 형성할 수 있다.For example, the via structure 155 may be formed through a dispensing or jetting process using a conductive material such as gold, silver, copper, and carbon paste. Accordingly, the via structure 155 may be easily formed without a complicated chemical process or a plating process.
절연층(120)은 제2 영역(B) 상에도 형성되어 제2 배선(153)을 적어도 부분적으로 덮을 수 있다. 일 실시예에 있어서, 절연층(120)은 비아 패드(157)를 덮도록 형성될 수 있다. 이 경우, 비아 구조물(155)은 절연층(120)을 관통하여 비아 패드(157)와 접촉할 수 있다.The insulating layer 120 may also be formed on the second region B to at least partially cover the second wiring 153. In an embodiment, the insulating layer 120 may be formed to cover the via pad 157. In this case, the via structure 155 may contact the via pad 157 through the insulating layer 120.
일 실시예에 있어서, 탄성층(140)은 제1 영역(A) 상에 선택적으로 형성되며, 제2 영역(B) 상에서는 실질적으로 배제될 수 있다. 이 경우, 탄성 층(140) 내에 상기 비아 홀 형성 없이 제2 전극층(150) 및 제2 배선(153) 사이의 연결을 구현할 수 있다.In an embodiment, the elastic layer 140 may be selectively formed on the first region A, and may be substantially excluded on the second region B. FIG. In this case, the connection between the second electrode layer 150 and the second wiring 153 may be implemented without forming the via hole in the elastic layer 140.
도 8은 예시적인 실시예들에 따른 화상 표시 장치를 나타내는 개략적인 단면도이다. 8 is a schematic cross-sectional view illustrating an image display device according to example embodiments.
도 8을 참조하면, 상기 화상 표시 장치는 압력 센서(50) 상에 적층되는 순차적으로 표시 패널(200) 및 터치 센서(270)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 8, the image display device may include a display panel 200 and a touch sensor 270 sequentially stacked on the pressure sensor 50.
압력 센서(50)는 도 1 내지 도 7을 참조로 설명한 구조 및 구성을 포함할 수 있다. 압력 센서(50)는 표시 패널(200) 아래에 배치되어 상기 화상 표시 장치의 배면 측으로 배치될 수 있다.The pressure sensor 50 may include the structure and configuration described with reference to FIGS. 1 to 7. The pressure sensor 50 may be disposed below the display panel 200 and disposed to the rear side of the image display device.
예를 들면, 표시 패널(200)은 제1 점접착층(202)을 통해 압력 센서(50) 상에 적층될 수 있다.For example, the display panel 200 may be stacked on the pressure sensor 50 through the first adhesive layer 202.
표시 패널(200)은 패널 기판(205) 상에 배치된 화소 전극(210), 화소 정의막(220), 표시층(230), 대향 전극(240) 및 인캡슐레이션 층(250)을 포함할 수 있다.The display panel 200 may include a pixel electrode 210, a pixel defining layer 220, a display layer 230, an opposite electrode 240, and an encapsulation layer 250 disposed on the panel substrate 205. Can be.
패널 기판(205) 상에는 박막 트랜지스터(TFT)를 포함하는 화소 회로가 형성되며, 상기 화소 회로를 덮는 절연막이 형성될 수 있다. 화소 전극(210)은 상기 절연막 상에서 예를 들면 TFT의 드레인 전극과 전기적으로 연결될 수 있다.A pixel circuit including a thin film transistor TFT may be formed on the panel substrate 205, and an insulating layer covering the pixel circuit may be formed. The pixel electrode 210 may be electrically connected to the drain electrode of the TFT, for example.
일부 실시예들에 있어서, 패널 기판(205)은 폴리이미드와 같은 유연성 수지를 포함하며, 이 경우 상기 화상 표시 장치는 플렉시블 디스플레이로 제공될 수 있다.In some embodiments, the panel substrate 205 includes a flexible resin such as polyimide, in which case the image display device may be provided as a flexible display.
화소 정의막(220)은 상기 절연막 상에 형성되어 화소 전극(210)을 노출시켜 화소 영역을 정의할 수 있다. 화소 전극(210) 상에는 표시층(230)이 형성되며, 표시 층(230)은 예를 들면, 액정층 또는 유기 발광층을 포함할 수 있다.The pixel defining layer 220 may be formed on the insulating layer to expose the pixel electrode 210 to define a pixel region. The display layer 230 is formed on the pixel electrode 210, and the display layer 230 may include, for example, a liquid crystal layer or an organic emission layer.
화소 정의막(220) 및 표시층(230) 상에는 대향 전극(240)이 배치될 수 있다. 대향 전극(240)은 예를 들면, 화상 표시 장치의 공통 전극 또는 캐소드로 제공될 수 있다. 대향 전극(240) 상에 표시 패널(200) 보호를 위한 인캡슐레이션 층(250)이 적층될 수 있다.The opposite electrode 240 may be disposed on the pixel defining layer 220 and the display layer 230. The counter electrode 240 may be provided as, for example, a common electrode or a cathode of the image display device. An encapsulation layer 250 for protecting the display panel 200 may be stacked on the counter electrode 240.
표시 패널(200) 상에는 예를 들면 제2 점접착층(260)을 통해 터치 센서(270)가 적층될 수 있다. 터치 센서(270)는 예를 들면, 상호 정전용량 타입 또는 자기 정전용량 타입의 정전 용량 센서를 포함할 수 있다. 터치 센서(270)는 상기 화상 표시 장치의 전면 측으로 배치될 수 있다. 따라서, 터치 센서의 센싱 전극은 사용자에게 시인될 수 있으므로, 투과율이 높은 투명 도전성 산화물(예를 들면, ITO 등)을 포함할 수 있다.For example, the touch sensor 270 may be stacked on the display panel 200 through the second adhesive layer 260. The touch sensor 270 may include, for example, a capacitive sensor of mutual capacitance type or self capacitance type. The touch sensor 270 may be disposed on the front side of the image display device. Therefore, since the sensing electrode of the touch sensor may be visually recognized by the user, the sensing electrode may include a transparent conductive oxide having high transmittance (for example, ITO).
윈도우 기판(290)은 예를 들면, 제3 점접착층(280)을 통해 터치 센서(280) 상에 적층될 수 있다. The window substrate 290 may be stacked on the touch sensor 280 through, for example, the third adhesive layer 280.
일부 실시예들에 있어서, 윈도우 기판(290) 및 터치 센서(280) 사이, 또는 터치 센서(280) 및 표시 패널(200) 사이에 편광층과 같은 광학층이 더 포함될 수 있다.In some embodiments, an optical layer, such as a polarizing layer, may be further included between the window substrate 290 and the touch sensor 280, or between the touch sensor 280 and the display panel 200.
도 8에 도시된 화상 표시 장치에 있어서, 공통 전극으로 제공되는 제2 전극층(150)이 표시 패널(200)을 향하도록 배치될 수 있다. 이 경우, 제2 전극층(150)으로 사용자로부터 압력이 인가될 수 있다.In the image display device illustrated in FIG. 8, the second electrode layer 150 provided as the common electrode may be disposed to face the display panel 200. In this case, pressure may be applied from the user to the second electrode layer 150.
도 9는 일부 예시적인 실시예들에 따른 화상 표시 장치를 나타내는 개략적인 단면도이다. 도 8을 참조로 설명한 바와 실질적으로 동일하거나 유사한 구성 및/또는 구조에 대한 상세한 설명은 생략된다.9 is a schematic cross-sectional view illustrating an image display device according to some example embodiments. Detailed descriptions of configurations and / or structures substantially the same as or similar to those described with reference to FIG. 8 will be omitted.
도 9를 참조하면, 제1 전극층(110)이 형성된 제1 기판(100a)이 표시 패널(200)을 향하도록 배치될 수 있다. 이 경우, 제1 전극층(110)으로 사용자로부터 압력이 인가되어, 탄성층(140)의 변형을 통해 제2 전극층(150)과의 정전 용량 변화에 따른 전기적 신호가 생성될 수 있다.Referring to FIG. 9, the first substrate 100a on which the first electrode layer 110 is formed may be disposed to face the display panel 200. In this case, pressure is applied from the user to the first electrode layer 110, and an electrical signal according to a change in capacitance with the second electrode layer 150 may be generated through deformation of the elastic layer 140.
이하, 본 발명의 이해를 돕기 위하여 바람직한 실시예들을 포함하는 실험예를 제시하나, 이들 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐 첨부된 특허청구범위를 제한하는 것이 아니며, 본 발명의 범주 및 기술사상 범위 내에서 실시예에 대한 다양한 변경 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속하는 것도 당연한 것이다.Hereinafter, experimental examples including preferred embodiments are provided to help understanding of the present invention, but these examples are only for exemplifying the present invention, and do not limit the appended claims, and the scope and spirit of the present invention. It is apparent to those skilled in the art that various changes and modifications to the embodiments can be made within the scope, and such variations and modifications are within the scope of the appended claims.
압력센서 샘플 제조Pressure Sensor Sample Manufacturing
TAC(tri-acetyl-cellulose) 재질의 제1 기판(두께: 23㎛) 상에 15개(3×5)의 센싱 전극 패턴들(각각 20mm(가로)×25mm(세로), 두께: 3,000Å)을 형성하였다. 센싱 전극 패턴들 사이에는 더미 전극을 동일 두께로 형성하였다.15 (3 x 5) sensing electrode patterns (20 mm x 25 mm x length) on a first substrate (23 µm thick) made of tri-acetyl-cellulose (TAC); Formed. Dummy electrodes are formed to have the same thickness between the sensing electrode patterns.
PET 재질의 제2 기판(두께: 25㎛) 상에 순차적으로 공통 전극으로서 제2 전극(3,000Å) 및 폴리우레탄(PU) 폼 재질의 탄성층(50㎛)을 형성하였다. 상기 제1 전극층 및 제2 전극층은 은 합금을 포함하도록 형성되었다.On the second substrate (thickness: 25 µm) made of PET material, a second electrode (3,000 microns) and an elastic layer (50 µm) made of polyurethane (PU) foam material were sequentially formed as a common electrode. The first electrode layer and the second electrode layer are formed to include a silver alloy.
상기 제1 기판 및 상기 제2 기판을 탄성층이 센싱 전극 패턴들을 마주보도록 PSA 재질의 접착층(30㎛)을 통해 합지하였다.The first substrate and the second substrate were laminated through an adhesive layer (30 μm) made of PSA material so that the elastic layer faces the sensing electrode patterns.
인접하는 센싱 전극 패턴 및 더미 전극 사이의 이격 거리를 변경하면서 복수의 압력 센서 샘플들을 제조하였다(표 1 참조). 샘픔 13에서는 더미 전극이 생략되었다.A plurality of pressure sensor samples were prepared while varying the separation distance between the adjacent sensing electrode pattern and the dummy electrode (see Table 1). In sample 13, the dummy electrode was omitted.
단차 시인 평가Step poet evaluation
시력 좌우 1.0 이상인 성인 20명의 패널에게 삼파장 램프 조명 하에서 30cm 거리에서 제1 기판 방향에서 육안으로 실시예 및 비교예의 압력 센서 샘플을 관찰시켰다. 20명 패널들 중 제1 기판 표면으로 단차가 인식된다고 답변한 패널 수를 통해 단차 시인 여부를 평가하였다.Panels of 20 adults with left and right visual acuity of 1.0 or more were visually observed in the Examples and Comparative Examples of pressure sensor samples at a distance of 30 cm under a three-wavelength lamp illumination. Of the 20 panelists, the level of visual recognition was evaluated based on the number of panels that answered that the level of the first substrate was recognized.
압력 센서 동작 평가Pressure sensor behavior evaluation
상기 압력 센서 샘플들에 대해 압력 센서 구동 검사기로 구동 여부를 평가하였다. 센싱 기능이 유지되는 경우 하기 표 1에 "OK", 센싱 기능이 구현되지 않는 경우 "NG"로 기재하였다.The pressure sensor samples were evaluated for driving with a pressure sensor drive tester. If the sensing function is maintained in Table 1 below "OK", if the sensing function is not described as "NG".
Figure PCTKR2019005929-appb-img-000001
Figure PCTKR2019005929-appb-img-000001
표 1을 참조하면, 더미 전극이 생략된 샘플 13의 경우, 패널 전원이 단차를 인식하였다. 샘플 1의 경우, 더미 전극과 센싱 전극 패턴의 거리가 지나치게 근접함에 따라 일부 쇼트가 발생하여 동작 오류가 발생한 것으로 예측되었다.Referring to Table 1, in the case of Sample 13 in which the dummy electrode was omitted, the panel power supply recognized the step difference. In the case of Sample 1, it was predicted that some short occurred as the distance between the dummy electrode and the sensing electrode pattern was too close, resulting in an operation error.

Claims (19)

  1. 제1 기판;A first substrate;
    상기 제1 기판 상에 배치되며, 서로 분리된 복수의 센싱 전극 패턴들을 포함하는 제1 전극층;A first electrode layer disposed on the first substrate and including a plurality of sensing electrode patterns separated from each other;
    상기 제1 전극층에 대향하도록 배치되며, 상기 복수의 센싱 전극 패턴들에 대한 공통 전극으로 제공되는 제2 전극층; 및A second electrode layer disposed to face the first electrode layer and serving as a common electrode for the plurality of sensing electrode patterns; And
    상기 제1 전극층 및 상기 제2 전극층 사이에 배치되는 탄성층을 포함하는, 압력 센서.And an elastic layer disposed between the first electrode layer and the second electrode layer.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 제2 전극층은 평면 방향에서 상기 복수의 센싱 전극 패턴들과 전체적으로 중첩되는, 압력 센서.The pressure sensor of claim 1, wherein the second electrode layer overlaps the plurality of sensing electrode patterns in a planar direction.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 탄성층은 상기 평면 방향에서 상기 복수의 센싱 전극 패턴들과 전체적으로 중첩되는, 압력 센서.The pressure sensor of claim 2, wherein the elastic layer overlaps the plurality of sensing electrode patterns in the planar direction.
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 탄성층은 상기 제1 전극층 및 상기 제2 전극층과 접촉하는, 압력 센서.The pressure sensor of claim 1, wherein the elastic layer is in contact with the first electrode layer and the second electrode layer.
  5. 청구항 1에 있어서, 상기 제1 기판은 상기 센싱 전극 패턴들이 배열되는 활성 영역 및 상기 활성 영역을 둘러싸는 주변 영역을 포함하는, 압력 센서.The pressure sensor of claim 1, wherein the first substrate includes an active region in which the sensing electrode patterns are arranged and a peripheral region surrounding the active region.
  6. 청구항 5에 있어서, 상기 제1 전극층은 상기 센싱 전극 패턴들 각각으로부터 분기되어 상기 활성 영역 내에서 연장하는 제1 배선을 더 포함하는, 압력 센서.The pressure sensor of claim 5, wherein the first electrode layer further comprises a first wiring branched from each of the sensing electrode patterns and extending in the active region.
  7. 청구항 6에 있어서, 상기 제1 기판 상에서 제1 배선들을 적어도 부분적으로 덮는 절연층을 더 포함하는, 압력 센서.The pressure sensor of claim 6, further comprising an insulating layer at least partially covering the first wires on the first substrate.
  8. 청구항 7에 있어서, 상기 절연층은 이웃하는 상기 센싱 전극 패턴들 사이에서 상기 제1 배선들을 완전히 덮으며, 상기 센싱 전극 패턴들의 상면을 노출시키는 개구부들을 포함하는, 압력 센서.The pressure sensor of claim 7, wherein the insulating layer includes openings completely covering the first wires between neighboring sensing electrode patterns and exposing top surfaces of the sensing electrode patterns.
  9. 청구항 6에 있어서, 상기 주변 영역 내에 배열되며 상기 제2 전극층과 전기적으로 연결되는 제2 배선을 더 포함하는, 압력 센서.The pressure sensor of claim 6, further comprising a second wiring arranged in the peripheral region and electrically connected to the second electrode layer.
  10. 청구항 9에 있어서, 상기 제2 배선 및 상기 제2 전극층을 서로 전기적으로 연결시키는 비아 구조물을 더 포함하는, 압력 센서.The pressure sensor of claim 9, further comprising a via structure electrically connecting the second wiring and the second electrode layer to each other.
  11. 청구항 10에 있어서, 복수의 상기 비아 구조물들이 상기 제1 기판의 상기 주변 영역을 따라 배열되는, 압력 센서.The pressure sensor of claim 10, wherein a plurality of the via structures are arranged along the peripheral region of the first substrate.
  12. 청구항 11에 있어서, 상기 제1 기판은 회로 접속부를 포함하며, The method of claim 11, wherein the first substrate comprises a circuit connection,
    상기 제1 배선 및 상기 제2 배선은 상기 회로 접속부에서 함께 집합되는, 압력 센서.And the first wiring and the second wiring are gathered together at the circuit connecting portion.
  13. 청구항 1에 있어서, 상기 제1 전극층은 상기 제1 기판 상에서 이웃하는 상기 센싱 전극 패턴들 사이에 배치되는 적어도 하나의 더미 전극을 더 포함하는, 압력 센서.The pressure sensor of claim 1, wherein the first electrode layer further comprises at least one dummy electrode disposed between the sensing electrode patterns neighboring on the first substrate.
  14. 청구항 13에 있어서, 이웃하는 상기 더미 전극 및 상기 센싱 전극 패턴 사이의 이격 거리는 2 내지 300㎛인, 압력 센서.The pressure sensor as set forth in claim 13, wherein a separation distance between the neighboring dummy electrode and the sensing electrode pattern is 2 to 300 μm.
  15. 청구항 13에 있어서, 이웃하는 상기 더미 전극 및 상기 센싱 전극 패턴 사이의 이격 거리는 2 내지 30㎛인, 압력 센서.The pressure sensor as set forth in claim 13, wherein a separation distance between the neighboring dummy electrode and the sensing electrode pattern is 2 to 30 μm.
  16. 청구항 1에 있어서, 상기 탄성층은 탄성 폼(foam) 구조를 포함하는, 압력 센서.The pressure sensor of claim 1, wherein the elastic layer comprises an elastic foam structure.
  17. 청구항 1에 있어서, 상기 제2 전극층 상에 배치되는 제2 기판을 더 포함하는, 압력 센서.The pressure sensor of claim 1, further comprising a second substrate disposed on the second electrode layer.
  18. 청구항 1 내지 17 중 어느 한 항의 압력 센서;The pressure sensor of claim 1;
    상기 압력 센서 상에 적층되는 표시 패널; 및A display panel stacked on the pressure sensor; And
    상기 표시 패널 상에 적층되는 터치 센서를 포함하는, 화상 표시 장치.And a touch sensor stacked on the display panel.
  19. 청구항 18에 있어서, 상기 터치 센서 및 상기 압력 센서는 정전 용량 방식 센서를 포함하는, 화상 표시 장치.The image display device according to claim 18, wherein the touch sensor and the pressure sensor include a capacitive sensor.
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