WO2018096091A1 - Measuring device and method for operating the measuring device - Google Patents

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WO2018096091A1
WO2018096091A1 PCT/EP2017/080325 EP2017080325W WO2018096091A1 WO 2018096091 A1 WO2018096091 A1 WO 2018096091A1 EP 2017080325 W EP2017080325 W EP 2017080325W WO 2018096091 A1 WO2018096091 A1 WO 2018096091A1
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pressure
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measurement
measuring chamber
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PCT/EP2017/080325
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Herbert REINGRUBER
Klaus-Christoph Harms
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Avl List Gmbh
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Definitions

  • the components to be measured of the measuring gas (which are referred to herein as measuring components) flow with this into a measuring chamber which is preferably embodied in such a geometric shape that at least a clearly pronounced acoustic resonance can be excited in it.
  • the gaseous, liquid or solid constituents present in the measurement gas are referred to as the measurement component.
  • the concentration or the number of particles can be measured in a time-resolved manner by the photoacoustic measuring device.
  • a matched in their spectrum on the absorption capacity of the measuring component electromagnetic radiation, in particular "light” from the near ultraviolet (UV) to the middle infrared (IR) with wavelengths from 200 to 10,000 nm can be used with such a pulsation frequency in the measuring chamber irradiates that the measuring component and thus the surrounding measuring gas periodically heats up by the absorption of the periodically irradiated light, whereby corresponding sound pressure pulsations are generated.
  • excited sound in the measuring chamber is detected with a sound pickup or microphone and evaluated by the evaluation unit.
  • measuring gas refers to the gas which is passed through the measuring chamber during the measurement and / or during other operating functions, such as a determination of parameters of the correction function, or is currently located in the measuring chamber If appropriate, the term also encompasses a calibration gas or zero gas which has known properties and is located in or flows through the measuring chamber during calibration, adjustment or another reference measurement.
  • measuring systems of the type mentioned above are often designed very specifically for applications with only one gas type and measuring component.
  • the measuring chamber and the measuring gas are thermostated and the gas in the measuring chamber is maintained at a constant pressure (measuring chamber pressure).
  • the coefficients of such algorithms must always be specified a priori. They are determined, for example, during manufacture and calibration of the device for altitudes up to 2000 m above sea level and stored as fixed values for approximate consideration of the absolute pressure in the measuring system. Or the user must manually enter them before taking the measurements, which is generally not the case, as in the field, in the current measurements, no metrological basis for such a parameter change can be obtained.
  • the determination excitation is generated acoustically by means of a sound generator, wherein the sound generator used for this purpose does not affect the functionality of the measuring chamber in the measuring operation.
  • the detection excitation is generated photoacoustically.
  • the detection excitation is generated by means of an absorber arranged in a beam path of an electromagnetic excitation radiation used to generate the photoacoustic effect.
  • an absorber arranged in a beam path of an electromagnetic excitation radiation used to generate the photoacoustic effect.
  • the known application of an absorber can also be carried out in the field by the user in a simple manner.
  • P corresponds to the absolute pressure in the measuring chamber
  • P 0 to the reference pressure under standard conditions, preferably 1013 mbar
  • K 0 , Ki and K 2 correspond to coefficients of the polynomial function.
  • Second order and higher order polynomial terms allow the consideration of particular effects, such as a change in microphone sensitivity.
  • the objects of the invention are achieved by the measuring device mentioned at the outset in that it has a determination unit with which a determination pressure in the measuring chamber can be set to determine at least one parameter of the correction function, and the absolute pressure can be determined at this determination pressure At least one determination measurement in a determination excitation can be carried out in accordance with this absolute pressure, wherein at least one parameter of the correction function can be determined from at least the measured absolute pressure and the determination measurement result of the determination measurement with the determination unit.
  • a measuring device allows the advantageous implementation of the above-mentioned method.
  • a sound generator for acoustic detection excitation is arranged on the measuring chamber. This makes it possible to acoustically obtain the detection excitation with sufficient accuracy.
  • An acoustic excitation with a sound generator can, in a conventional manner, also be used to determine the resonance frequency of the system.
  • a sound generator for example, a microphone can be used, the sounder may be similar to the sound pickup, since it can be operated electrically as a speaker because of the reciprocity of the transducer.
  • the transfer function of this arrangement is thus determined twice by an approximately equal characteristic, on the one hand by the sensitivity in the receiving mode and, on the other hand, by the sensitivity in the transmitting mode.
  • an absorber is advantageously arranged in a beam path of the electromagnetic excitation radiation used to generate the photoacoustic effect.
  • an absorber window has proved to be suitable, which can be introduced in a simple way into the beam path of the light source.
  • the measuring device 1 shown schematically in FIG. 1 comprises a measuring chamber 4, through which a measuring gas 3 is passed.
  • the measuring gas 3 contains a measuring component 2, for example exhaust gas particles, wherein a measuring characteristic C of this measuring component 2 is to be determined by the measuring device.
  • the measuring characteristic C can in particular be a value which allows conclusions to be drawn about the concentration and / or the number of particles of the measuring component 2 in the measuring gas 3.
  • a mass and / or size distribution of particles or other properties of the measuring component 2 could be determined, provided that these properties are accessible to a photoacoustic measurement.
  • the flow of the measuring gas 3 through the measuring chamber 4 is maintained during the measurement of a downstream of the measuring chamber 4 pumping device in the form of a sample gas pump 9.
  • the conveying direction of the sample gas pump 9 can be reversed by means of a switching valve 16. This reversal of the direction of conveyance is only relevant to the determination function described below and is not used during the measurement.
  • the measuring device 1 comprises an absorber 8 which can be inserted into the beam path of the stimulating radiation 7 of the excitation device 11 and a sound generator 10 with which the measuring chamber can be inserted in a conventional manner (ie without photoacoustic excitation and in the absence of the measuring component 2), it can be acoustically excited.
  • the individual electronic components of the measuring device 1 are connected to a control unit 14 which, in addition to the evaluation unit 6, also comprises a detection unit 12.
  • the control unit 14 is in communication with the sound pickup 5, the sample gas pump 9, the sounder 10, the pickup device 1 1, the pressure measuring unit 13, the throttle valve 15, the switching valve 16 and the inlet valve.
  • the control unit 14 can centrally acquire measurement data of these units and output control commands to these units.
  • the measuring chamber pressure P M is generally measured as a relative pressure to the ambient pressure Pu and kept as constant as possible over a narrow interval. This has the consequence that the absolute pressure P in the measuring chamber can change not only with the potentially violently pulsating pressure in the exhaust gas, but also with the ambient pressure Pu during a measuring run.
  • the correction functions can be in polynomial form, for example, where the deviation ((P-Po) / Po) from the normal pressure, the deviation ((TT 0 ) / T 0 ) from the normal temperature or combinations thereof can be used as a variable of the polynomial.
  • the coefficients of the polynomial are currently usually determined at the factory, but in practice currently only first degree polynomials are used. A determination of coefficients for higher-order polynomial terms from the factory has so far proved too inaccurate.
  • control unit 14 comprises a determination unit 12, which performs the following steps before the measurement: • In the measuring chamber 4, a desired positive or negative pressure (determination pressure) is produced.
  • the absolute pressure P in the measuring chamber is measured and the acoustic vibrations are detected and evaluated by the evaluation unit 6 as in the actual measurement (determination measurement).
  • the desired coefficients or parameters of the correction function are determined from the dependence of the measurement result on the upcoming absolute pressure.
  • the correction function can be used with the thus determined coefficients or parameters.
  • the reproducible and independent of the measurement component excitation of the sample gas can be done either photoacoustically using an introduced into the excitation radiation 7 absorber 8, or via the sounder 10th
  • the coefficients of the correction polynomial can thus be determined in a simple manner, for example before each measurement run, without requiring a factory-side intervention.
  • additional factors in the correction function can be taken into account in a more complex manner, such as an aging-related change in the microphone sensitivity or a dependence of the microphone sensitivity on the pressure.
  • “Calibration” is the comparison of the displayed measured value of a sensor with that of a calibrated reference (according to DIN 1319-1) Equation of the displayed measured value with that of the calibrated reference - more precisely: minimizing the measured value deviation - becomes (according to DIN 1319 -1) is referred to as "adjustment.” Since calibration alone is generally meaningless for a meter, “calibration” will always be used in the sense of "calibration and adjustment”.
  • Absolute pressure current ambient air pressure; essential for the inventive method
  • the sensor signal (in mV) is related to the soot concentration of a stable soot source.
  • CAST Compression Aerosol Standard
  • the carbon black concentration emitted by CAST is determined gravimetrically, the result being based on standard conditions (pressure 1013 mbar, temperature 0 ° C.).
  • This method corresponds to the standard measurement method for soot calibration according to VDI guideline 2465, sheet 1.
  • a simpler calibration method would be desirable, but because of the complex physicochemical nature of carbon black, a well-accepted alternative (such as the calibration gas bottles known in gas analyzers) has not been developed to date.
  • the result of calibration and adjustment is a calibration factor used by the device to convert the microphone's internal measurement (mV) to concentration (g / m 3 ).
  • the calibration factor is composed of a fixed quantity and a variable factor F ka i.
  • the fixed size is a rough conversion for a "medium" device sensitivity.
  • phase position ⁇ ⁇ of the microphone signal relative to the phase position of the exciting laser signal at a sufficiently high soot concentration in the measuring cell is to be determined and set as "reference phase.”
  • the phase position ⁇ ⁇ is for measuring signals over 100 mV, or for soot concentrations of more than 1 mg / m 3 , constant within ⁇ 3 ° and must be observed by the device during the phase-sensitive evaluation of the measuring signals.
  • the new calf replacement factor F ka i is determined from the old calibration factor and the ratio of the current display and the reference measured value based on standard conditions (1013 mbar, 0 ° C) according to the following formula:
  • the measured value calibration is usually stable for years, as comparative measurements have shown. However, should it be suspected that the sensitivity has changed and therefore a new calibration is required, the factor F ka i, and possibly also the phase angle ⁇ ⁇ , can be reset . It is important to ensure that the windows are freshly cleaned and therefore the lowest possible zero signal is present.
  • Resonance Frequency Scan The sensitivity of the microphone (and the speaker also integrated in the system) can be checked by checking the signal value displayed after the resonance frequency scan is completed.
  • an acoustic resonance tube In the center of the measuring chamber 4 is an acoustic resonance tube, which is designed as a so-called "open whistle", with the following characteristic features:
  • the diameter is small compared to the length L and at both ends widens the
  • Diameter (notch filter). This forms a standing acoustic wave with pressure nodes at the ends of the resonance tube and a pressure maximum in the middle.
  • the amplitude of the acoustic wave is considerably weaker in the area of the "notch filter” with a relatively larger diameter than in the resonance tube.
  • Gas inlet and gas outlet are placed in the pressure nodes of the standing wave, so as not to disturb them by the unavoidable flow noise at the inlet edges.
  • the measuring chamber shown schematically in FIG. 1 has various advantageous features.
  • the "AVL Micro Soot Sensor” device which has been on the market for many years, reveals well-designed roundings at the inlets and outlets and the cross-sectional changes, and there is another narrow tube section and a further chamber ("notch filter") A larger cross-sectional area is provided which allows flow through the measuring cell by two inlets at the windows and a common outlet, thus ensuring that the optical windows are not flown by the particle flow and therefore less easily pollute.
  • the device can be set in different operating states:
  • the solenoid valves are de-energized and connect the measuring system with clean filtered air.
  • the temperature controls of the measuring cell are switched on and after a three-minute stabilization time, the various temperatures, the acoustic resonance frequency and the contamination are checked. In the event of a limit violation of the newly determined zero value, a warning is issued that the optical windows must be cleaned.
  • a ZERO ADJUST should be performed before each measurement cycle. Measuring cycles typically take no longer than 30 minutes and it is recommended to switch back to the STANDBY operating state after a measuring period of 30 to 60 minutes in order to determine the zero value again. The new zero value compensates for any newly added soiling of the optical windows.
  • the inlet valve is only switched over in the MEASURE mode, so that sample gas (undiluted or diluted exhaust gas) is pumped from the sampling line to the measuring cell and to the bypass.
  • sample gas undiluted or diluted exhaust gas
  • the measured values are determined continuously, with the previously determined zero value being subtracted in a phase-correct manner ("vectorial"). With the device-specific calibration factor, the measured values are converted into soot concentrations.
  • a PEAK MEASUREMENT is required, for example, to determine the peak occurring during acceleration or load application. This is done by a start and a stop command which activates an interval for the peak detection during the current measurement so that after the stop command the peak value measured during the interval can be retrieved.
  • a solenoid valve is activated to allow "zero gas" to flow into the measuring chamber, and the readings are still continuously read.
  • the last determined zero value is subtracted phase-correct ("vectorial") and the primary sensor signals are converted into soot concentrations using the device-specific calibration factor. If now - for example, as a result of added pollution of the windows - an inadmissibly high reading occurs, for example, with an amount greater than 0.001 mg / m 3 , or the original zero value is not reached, the newly obtained zero gas reading for baseline correction of the previously obtained soot measured values are used. In such a case, it is recommended to switch to the STANDBY operating state before a further measurement and to re-calculate the zero value.
  • the zero point check is called from a high steady state soot load measurement state, it may take a few seconds to reach the stable zero point: The fall time to 10% of the last measured value lasts approx. 1 s, but significantly longer at 1% of the last measured value.
  • the system issues a zero calibration warning that a zero point check should be performed if a total soot concentration of eg 100000 s * mg / m 3 summed up since the last time the meter was operated in STANDBY mode (eg 10 mg / m 3 during 10000 s) was conveyed through the measuring cell. After such a conveyed amount of soot, the signal caused by the window contamination should still be less than 0.01 mg / m 3 . This is a rough estimate of typical operating conditions; the actual window contamination depends on various operating conditions, for example pressure fluctuations, stationary measurements or measurements with varying soot concentrations.
  • the leak test function (“leak test”, checking the gas path for leaks) can be called to automatically check the leak rate of the system and it can also be used to implement the method according to the invention.
  • the internal leak test is used to check the internal device components (from the inlet valve to the pump) and should be carried out after working inside the device (window cleaning, measuring cell cleaning, filter replacement).
  • the external leak test is also used to check the external components (total distance from the manually closed sampling probe or pipe to the pump) and should be performed after each reinstallation of the entire system or after work on the sampling system.
  • the gas path is evacuated to a negative pressure of approx. -1 10 mbar (relative to the ambient pressure).
  • a negative pressure approx. -1 10 mbar (relative to the ambient pressure).
  • the increase in pressure possibly caused by a leak is checked. This increase must be so small that, even at the maximum permitted negative pressure of -1 10 mbar, the leakage air flowing through the leak is less than 1% of the flow in the measuring operation of the system.
  • the system shuts off the laser as at the end of the PAUSE mode and checks the resonance frequency of the measuring cell (duration approx. 20 seconds).
  • a second microphone built into the measuring cell which is operated as a loudspeaker, generates sound with a constant amplitude but a variable frequency between 3750 Hz and 4500 Hz.
  • the maximum amplitude received by the sensor microphone defines the resonance frequency, its value (in mV) means device-specific microphone sensitivity.
  • the device At the beginning of the operating state PAUSE and the operating state STANDBY, the device independently carries out an evaluation of the zero value. In the event of a limit violation, a warning is issued that the optical windows must be cleaned.
  • the SPAN CHECK function checks the overall sensitivity of the sensor (the intensity of the laser beam and the sensitivity of the microphone) using an absorber window.
  • the function corresponds to the "span check" with calibration gases in gas analyzers and means a check of the correct calibration of the measuring instrument. It should be done between once a week and once a month, depending on the application.
  • the calibration check can be performed after the warm-up phase. For this purpose, the laser is activated and the value obtained with the absorber window and its deviation from the reference value are displayed. The repeatability of this calibration check is approximately 5%, and as long as the displayed value within this limit matches the reference value, no further steps are necessary. In the case of a larger deviation, the calibration check should be repeated in order to rule out statistical outliers. With a bias of between 10% and 50%, the user can apply the newly determined calibration factor to the instrument, and any deviation greater than 10% should consider re-measurement calibration.
  • the function LINEARITY TEST serves on the one hand to check the linearity between the response of the microphone and the activation power of the built-in loudspeaker to ensure the correct functioning of the sensor module in the measuring cell, and on the other hand to check the linearity between laser power and current above the threshold for the laser diode laser activity ,
  • the linearity check of the microphone causes the loudspeaker in the measuring cell to be operated sequentially at a power of 10 to 100% of the power used during the resonance frequency scan.
  • the response of the microphone is recorded and a linear regression between the speaker power and the microphone signal is calculated.
  • the displayed regression coefficient should be above 0.95. Smaller regression coefficients indicate errors in the speaker or microphone. If the integrity of the speaker and microphone is not guaranteed, the measuring cell must be replaced.
  • the absorber window is installed.
  • the laser is operated with currents of 10 to 120% of the difference between the threshold of the laser activity current and the nominal current of 1 W in standard operation.
  • the response of the microphone is recorded and a linear regression between current and microphone signal is calculated.
  • the displayed regression coefficient should be above 0.95. Smaller regression coefficients indicate errors from lasers or laser drivers. In this case, laser and / or laser drivers must be replaced.

Abstract

The invention relates to a measuring device (1) for measuring a measurement property (C) of a measurement component (2) in a measurement gas (3) and to a method for operating the measuring device (1). The measurement gas (3) is photoacoustically excited in a measurement chamber (4), the sound thus produced is captured by means of a sound sensor (5), and the captured signal is evaluated in an evaluation unit (6) in order to determine the measurement property (C). The evaluation unit (6) corrects the determined measurement property (C) by means of a correction function. In order to determine at least one parameter of the correction function, a determination pressure (PE) is set in the measurement chamber (4) at least once and the absolute pressure (P) in the measurement chamber (4) is determined. At said absolute pressure (P), at least one determination measurement is performed with determination excitation, and the at least one parameter is determined on the basis of the absolute pressure (P) and the determination measurement result (CE) of the determination measurement.

Description

Messgerät und Verfahren zum Betreiben des Messgeräts  Measuring device and method for operating the measuring device
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Messgeräts, welches zur Messung einer Messeigenschaft einer Messkomponente in einem Messgas geeignet ist, wobei das Messgas in einer Messkammer photoakustisch angeregt wird, der dabei erzeugte Schall mit einem Schallaufnehmer aufgenommen wird und das aufgenommene Signal in einer Auswerteeinheit zur Ermittlung der Messeigenschaft ausgewertet wird, wobei die Auswerteeinheit die ermittelte Messeigenschaft mittels einer Korrekturfunktion korrigiert. The invention relates to a method for operating a measuring device which is suitable for measuring a measuring property of a measuring component in a measuring gas, wherein the measuring gas is photoacoustically excited in a measuring chamber, the sound generated thereby is recorded with a sound pickup and the received signal in an evaluation unit for Determining the measurement property is evaluated, the evaluation unit corrects the determined fair property by means of a correction function.
Weiters betrifft die Erfindung ein Messgerät zur Messung einer Messeigenschaft einer Mess- komponente in einem Messgas, wobei das Messgerät eine Messkammer, zumindest eine Anregevorrichtung zur photoakustischen Anregung des Messgases in der Messkammer, einen Schallaufnehmer und eine Auswerteeinheit aufweist, wobei mit der Auswerteeinheit das vom Schallaufnehmer aufgenommene Signal zur Ermittlung einer Messeigenschaft auswertbar und die Messeigenschaft mittels einer Korrekturfunktion korrigierbar ist, und wobei an der Messkammer eine Druckmesseinheit zur Ermittlung des Absolutdrucks in der Messkammer vorgesehen ist.  The invention further relates to a measuring device for measuring a measuring characteristic of a measuring component in a measuring gas, wherein the measuring device has a measuring chamber, at least one excitation device for photoacoustic excitation of the measuring gas in the measuring chamber, a sound pickup and an evaluation unit, with the evaluation of the unit recorded signal for determining a measurement property evaluable and the measurement property is correctable by means of a correction function, and wherein a pressure measuring unit for determining the absolute pressure in the measuring chamber is provided on the measuring chamber.
Für Forschung und Entwicklung an Verbrennungskraftmaschinen werden Messungen zur Analyse der Komponenten des Abgases durchgeführt und dazu unter Anderem photoakustische Messgeräte eingesetzt. Diese können eine hohe und selektive Messempfindlichkeit für bestimmte, in geringer Konzentration im Messgas vorhandene feste, flüssige oder gasförmige Komponenten haben und funktionieren nach folgendem an sich bekannten Prinzip:  For research and development on internal combustion engines, measurements are carried out for the analysis of the components of the exhaust gas and, among other things, photoacoustic measuring instruments are used. These can have a high and selective measuring sensitivity for certain, present in low concentration in the measuring gas solid, liquid or gaseous components and work according to the following known principle:
Die zu messenden Komponenten des Messgases (die hierin als Messkomponenten bezeichnet werden) strömen mit diesem in eine Messkammer, die bevorzugt in einer solchen geometrischen Form ausgeführt ist, dass in ihr zumindest eine deutlich ausgeprägte akusti- sehe Resonanz angeregt werden kann. Als Messkomponente werden insbesondere die im Messgas vorhandenen gasförmigen, flüssigen oder festen Bestandteile bezeichnet. Als Messeigenschaft dieser Messkomponente kann beispielsweise die Konzentration oder die Partikelanzahl durch das photoakustische Messgerät zeitlich aufgelöst gemessen werden. Eine in ihrem Spektrum auf die Absorptionsfähigkeit der Messkomponente abgestimmte elektro- magnetische Strahlung, wobei insbesondere„Licht" vom nahen Ultraviolett (UV) bis ins mittlere Infrarot (IR) mit Wellenlängen von 200 bis 10000 nm genutzt werden kann, wird mit einer solchen Pulsationsfrequenz in die Messkammer eingestrahlt, dass sich die Messkomponente und damit das umgebende Messgas durch die Absorption des periodisch eingestrahlten Lichts periodisch erwärmt, wodurch entsprechende Schalldruckpulsationen erzeugt werden. Der auf diese Art in Abhängigkeit von der Konzentration der Messkomponente optisch ange- regte Schall in der Messkammer wird mit einem Schallaufnehmer bzw. Mikrofon detektiert und von der Auswerteeinheit ausgewertet. The components to be measured of the measuring gas (which are referred to herein as measuring components) flow with this into a measuring chamber which is preferably embodied in such a geometric shape that at least a clearly pronounced acoustic resonance can be excited in it. In particular, the gaseous, liquid or solid constituents present in the measurement gas are referred to as the measurement component. As a measuring property of this measuring component, for example, the concentration or the number of particles can be measured in a time-resolved manner by the photoacoustic measuring device. A matched in their spectrum on the absorption capacity of the measuring component electromagnetic radiation, in particular "light" from the near ultraviolet (UV) to the middle infrared (IR) with wavelengths from 200 to 10,000 nm can be used with such a pulsation frequency in the measuring chamber irradiates that the measuring component and thus the surrounding measuring gas periodically heats up by the absorption of the periodically irradiated light, whereby corresponding sound pressure pulsations are generated. excited sound in the measuring chamber is detected with a sound pickup or microphone and evaluated by the evaluation unit.
Als„Messgas" wird im Zusammenhang mit der gegenständlichen Erfindung das Gas bezeichnet, das während der Messung und/oder während anderer Betriebsfunktionen, wie etwa einer Ermittlung von Parametern der Korrekturfunktion durch die Messkammer geleitet wird, bzw. sich gerade in der Messkammer befindet. Der Begriff umfasst gegebenenfalls auch ein Kalibrier- oder Nullgas, das bekannte Eigenschaften aufweist und sich während einer Kalibrierung, Justierung oder einer anderen Referenzmessung in der Messkammer befindet bzw. durch diese strömt.  In the context of the subject invention, the term "measuring gas" refers to the gas which is passed through the measuring chamber during the measurement and / or during other operating functions, such as a determination of parameters of the correction function, or is currently located in the measuring chamber If appropriate, the term also encompasses a calibration gas or zero gas which has known properties and is located in or flows through the measuring chamber during calibration, adjustment or another reference measurement.
Bekannte Messsysteme der eingangs genannten Art werden häufig sehr spezifisch für Anwendungsfälle mit nur einer Gasart und Messkomponente ausgelegt. Auch werden im Allgemeinen, um die Systemparameter und insbesondere die Messempfindlichkeit möglichst konstant zu halten, Messkammer und Messgas thermostatisiert und das Gas in der Messkammer wird auf konstantem Druck (Messkammerdruck) gehalten. Known measuring systems of the type mentioned above are often designed very specifically for applications with only one gas type and measuring component. In general, in order to keep the system parameters and in particular the measurement sensitivity as constant as possible, the measuring chamber and the measuring gas are thermostated and the gas in the measuring chamber is maintained at a constant pressure (measuring chamber pressure).
Dies lässt sich dies jedoch nicht immer vollständig realisieren. Aufgrund technischer Einschränkungen kann beispielsweise der Druckunterschied zwischen dem Druck in der Messkammer und dem Umgebungsdruck Beschränkungen unterworfen sein, beispielsweise kann bei Geräten des Standes der Technik der Messkammerdruck auf den Umgebungsdruck +60/-100 mbar beschränkt sein. Im Fall einer Über- oder Unterschreitung dieser Limitierung, beispielsweise infolge starker Druckpulsationen im Abgas, kann es erforderlich sein, das Einlassventil zu schließen und so einer Schädigung der Komponenten vorzubeugen. Beim Einsatz solcher bekannten Geräte, beispielsweise zur mobilen Messung der im Abgas einer Verbrennungsanlage enthaltenen Rußpartikel, kann aber das Problem auftreten, dass sich der Umgebungsdruck stärker ändert, und sich damit im Allgemeinen auch der Druck in der Messkammer ändern muss. Beispielsweise beim Einsatz des Geräts an Bord eines Fahrzeugs und auf Gebirgsstraßen kann der barometrische Druck sehr niedrige Werte annehmen, beispielsweise 783 mbar auf 2000 m Seehöhe oder 533 mbar auf 5000 m Seehöhe, gegenüber 1013 mbar auf Meeresniveau. Mit einer Änderung des Umgebungsdrucks kann sich jedoch auch der Messkammerdruck entsprechend ändern. Trotzdem sollten die ausge- gebenen Rußmesswerte unabhängig vom Druck und daher vergleichbar sein. However, this can not always be fully realized. Due to technical limitations, for example, the pressure difference between the pressure in the measuring chamber and the ambient pressure may be subject to restrictions; for example, in prior art devices, the measuring chamber pressure may be limited to the ambient pressure + 60 / -100 mbar. In the event of exceeding or falling below this limitation, for example due to strong pressure pulsations in the exhaust gas, it may be necessary to close the inlet valve and thus prevent damage to the components. When using such known devices, for example for mobile measurement of the soot particles contained in the exhaust gas of an incinerator, but the problem may occur that the ambient pressure changes more, and thus generally the pressure in the measuring chamber must change. For example, when using the device aboard a vehicle and on mountain roads, the barometric pressure may be very low, for example 783 mbar at 2000 m above sea level or 533 mbar at 5000 m above sea level, compared to 1013 mbar at sea level. With a change in the ambient pressure, however, the measuring chamber pressure can change accordingly. Nevertheless, the reported soot readings should be independent of pressure and therefore comparable.
Grundsätzlich ist es bekannt, den Absolutdruck in der Messkammer zu messen und im Messergebnis des photoakustischen Messgeräts zu berücksichtigen. Dazu wird einerseits die bei einem bestimmten Absolutdruck gemessene Konzentration der Messkomponente mithilfe der (idealen) Gasgleichung auf Normbedingungen umgerechnet, z.B. auf 0 °C und 1013 mbar. Andererseits werden Korrektur-Algorithmen bzw. Korrekturfunktionen, z.B. Polynome erster oder auch höherer Ordnung, eingesetzt, mit denen auch eine nicht-lineare Abhängigkeit der Messempfindlichkeit vom Absolutdruck berücksichtigt werden kann. In principle, it is known to measure the absolute pressure in the measuring chamber and to take it into account in the measurement result of the photoacoustic measuring device. For this purpose, on the one hand, the concentration of the measured component measured at a certain absolute pressure is converted to standard conditions using the (ideal) gas equation, for example at 0 ° C. and 1013 mbar. On the other hand, correction algorithms or correction functions, eg polynomials, become first or higher order, with which a non-linear dependence of the measurement sensitivity of the absolute pressure can be considered.
Bei bekannten Einrichtungen müssen aber die Koeffizienten solcher Algorithmen immer a- priori vorgegeben sein. Sie werden beispielsweise bei der Fertigung und Kalibrierung des Geräts für Höhen bis 2000 m Seehöhe bestimmt und als Festwerte zur näherungsweisen Berücksichtigung des Absolutdrucks im Messsystem abgelegt. Oder der Benutzer muss sie vor Durchführung der Messungen händisch eingeben, was aber im Allgemeinen nicht geschieht, da im Feld, bei den laufenden Messungen, keine messtechnischen Grundlagen für eine solche Parameteränderung erhalten werden können.  In known devices, however, the coefficients of such algorithms must always be specified a priori. They are determined, for example, during manufacture and calibration of the device for altitudes up to 2000 m above sea level and stored as fixed values for approximate consideration of the absolute pressure in the measuring system. Or the user must manually enter them before taking the measurements, which is generally not the case, as in the field, in the current measurements, no metrological basis for such a parameter change can be obtained.
Auch wird bei bekannten Einrichtungen nicht berücksichtigt, dass auch die Mikrofonempfindlichkeit Änderungen unterworfen ist, wobei diese Änderungen einerseits durch Alterung, andererseits durch Druckunterschiede bewirkt werden. So nimmt neben der oben beschriebenen Abnahme der Massenkonzentration (laut„idealer Gasgleichung") auch die Mikrofonempfindlichkeit bei fallendem Druck ab. Also, in known devices is not taken into account that the microphone sensitivity is subject to changes, these changes are caused on the one hand by aging, on the other hand by pressure differences. Thus, apart from the above-described decrease in the mass concentration (according to the "ideal gas equation"), the microphone sensitivity also decreases with decreasing pressure.
Es ist daher eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, das die Nachteile des Standes der Technik vermeiden kann und eine Überprüfung und eventuell auch eine Korrektur der Koeffizienten für die Berücksichtigung des Absolutdrucks im Messergebnis des photoakustischen Messsystems ermöglicht. It is therefore an object of the invention to provide a method which can avoid the disadvantages of the prior art and allows a check and possibly also a correction of the coefficients for the consideration of the absolute pressure in the measurement result of the photoacoustic measuring system.
Diese und weitere Aufgaben werden durch ein Verfahren der eingangs genannten Art erfin- dungsgemäß dadurch gelöst, dass zur Ermittlung zumindest eines Parameters der Korrekturfunktion zumindest einmal ein Ermittlungsdruck in der Messkammer eingestellt wird, der Absolutdruck in der Messkammer bei diesem Ermittlungsdruck ermittelt wird, bei diesem Absolutdruck zumindest eine Ermittlungsmessung bei einer Ermittlungsanregung durchgeführt wird, und der zumindest eine Parameter anhand des Absolutdrucks und des Ermittlungs- messergebnisses der Ermittlungsmessung ermittelt wird. Als Ermittlungsdruck kann ein beliebiger Über- oder Unterdruck (bezogen auf den Umgebungsdruck) verwendet werden, wobei die Ermittlung von Parametern auch in mehreren Schritten bei mehreren unterschiedlichen Drücken wiederholt werden kann, falls zur Ermittlung der Parameter mehrere Messungen erforderlich sind. Als Ermittlungsanregung kann eine beliebige Anregung erfolgen, die entweder der bei der„regulären" Messung stattfindenden photoakustischen Anregung entspricht oder von dieser verschieden ist. Unter einer Ermittlungsmessung wird die im Zusammenhang mit der Ermittlungsanregung vorgenommene Messung verstanden.  These and other objects are achieved according to the invention by a method of the type mentioned above in that at least once a determination pressure in the measuring chamber is set to determine at least one parameter of the correction function, the absolute pressure in the measuring chamber is determined at this determination pressure, at this absolute pressure at least one determination measurement is performed during a determination initiation, and the at least one parameter is determined on the basis of the absolute pressure and the determination measurement result of the determination measurement. Any excess or negative pressure (relative to the ambient pressure) can be used as the determination pressure, wherein the determination of parameters can also be repeated in several steps at several different pressures, if several measurements are required to determine the parameters. As a determination excitation any excitation can take place, which either corresponds to or differs from the photoacoustic excitation which takes place during the "regular" measurement.
In einer Variante der Erfindung ist der Ermittlungsdruck als ein Relativdruck zum Umgebungsdruck definiert. Dies erlaubt eine sehr einfache Einstellung des Ermittlungsdrucks, wo- bei relativ große Toleranzbereiche zulässig sind, da ohnehin eine Messung des Absolutdrucks in der Messkammer zur Ermittlung der Parameter vorgesehen ist. Als Ermittlungsanregung wird in vorteilhafter Weise eine in der Anregungsstärke reproduzierbare und von der Messkomponente unabhängige akustische Ermittlungsschwingung angeregt, wobei es bevorzugt ist, wenn diese Ermittlungsanregung auf möglichst einfache Weise und mit minimalem Bedieneingriff realisiert wird. In a variant of the invention, the determination pressure is defined as a relative pressure to the ambient pressure. This permits a very simple setting of the determination pressure, whereby relatively large tolerance ranges are permissible, since a measurement of the absolute pressure in the measuring chamber for determining the parameters is provided anyway. As detection excitation, an excitation strength reproducible and independent of the measurement component acoustic detection oscillation is excited in an advantageous manner, it being preferred if this detection excitation is realized in the simplest possible way and with minimal operator intervention.
Bevorzugter Weise wird die Ermittlungsanregung akustisch mittels eines Schallgebers erzeugt, wobei der dazu verwendete Schallgeber die Funktionalität der Messkammer im Messbetrieb nicht beeinträchtigt. Preferably, the determination excitation is generated acoustically by means of a sound generator, wherein the sound generator used for this purpose does not affect the functionality of the measuring chamber in the measuring operation.
In einer Variante der Erfindung wird die Ermittlungsanregung photoakustisch erzeugt.  In a variant of the invention, the detection excitation is generated photoacoustically.
In einer weiteren Variante der Erfindung wird die Ermittlungsanregung mittels eines in einem Strahlengang einer zur Erzeugung des photoakustischen Effekts verwendeten elektromagnetischen Anregestrahlung angeordneten Absorbers erzeugt. Die an sich bekannte Anwendung eines Absorbers kann auch im Feld vom Benutzer auf einfache Weise durchgeführt werden. In a further variant of the invention, the detection excitation is generated by means of an absorber arranged in a beam path of an electromagnetic excitation radiation used to generate the photoacoustic effect. The known application of an absorber can also be carried out in the field by the user in a simple manner.
In einer weiteren Ausführungsform wird der Ermittlungsdruck in der Messkammer von einer Pumpvorrichtung, vorzugsweise von der im Messgerät vorhandenen Messgaspumpe, er- zeugt. Dadurch kann ein gewünschter Über- oder Unterdruck (Ermittlungsdruck) in derIn a further embodiment, the determination pressure in the measuring chamber is generated by a pump device, preferably by the measuring gas pump present in the measuring device. Thereby, a desired positive or negative pressure (determination pressure) in the
Messkammer mit der im Gerät vorhandenen Pumpvorrichtung und bei entsprechender Drosselung oder Absperrung des Gasanschlusses relativ einfach erzeugt werden, was eine kostengünstige Anwendung des Verfahrens erlaubt. Beispielsweise kann mit einer vorhandenen Saugpumpe ein Unterdruck in der Messkammer erzeugt werden, wie dies in an sich bekann- ter Weise bei einem„Lecktest" erfolgt, bei dem die Messkammer mithilfe der vorhandenen Saugpumpe evakuiert und der nachfolgende Druckanstieg zur Bestimmung der Leckrate infolge eventuell vorhandener Undichtigkeiten ausgewertet wird. Durch ein Umkehren der Wirkrichtung der Saugpumpe, beispielsweise mit Ventilen, kann natürlich auch ein Überdruck in der Messkammer erzeugt werden, falls dies erforderlich sein sollte. Measuring chamber with the pump device present in the device and with appropriate throttling or shut-off of the gas connection are relatively easily generated, which allows a cost-effective application of the method. For example, with an existing suction pump, a negative pressure can be generated in the measuring chamber, as is known per se in a "leak test" in which the measuring chamber is evacuated using the existing suction pump and the subsequent pressure increase to determine the leak rate as a result of any existing By reversing the effective direction of the suction pump, for example, with valves, of course, an overpressure in the measuring chamber can be generated, if necessary.
Vorteilhafterweise ist zumindest ein Parameter der Korrekturfunktion ein Koeffizient einer Polynomfunktion erster, zweiter oder höherer Ordnung, wobei sie beispielsweise den TermAdvantageously, at least one parameter of the correction function is a coefficient of a polynomial function of first, second or higher order, for example, the term
Ko + K-i * ((P - Po) / Po) + K2 * ((P - Po) / Pof Ko + Ki * ((P - Po) / Po) + K 2 * ((P - Po) / Pof
enthalten kann. Darin entspricht P dem Absolutdruck in der Messkammer, P0 dem Referenzdruck bei Normbedingungen, vorzugsweise 1013 mbar, und K0, K-i und K2 entsprechen Koef- fizienten der Polynomfunktion. Polynomterme zweiter und höherer Ordnung erlauben die Berücksichtigung besonderer Effekte, wie etwa eine Änderung der Mikrofonempfindlichkeit.may contain. Here, P corresponds to the absolute pressure in the measuring chamber, P 0 to the reference pressure under standard conditions, preferably 1013 mbar, and K 0 , Ki and K 2 correspond to coefficients of the polynomial function. Second order and higher order polynomial terms allow the consideration of particular effects, such as a change in microphone sensitivity.
Des Weiteren werden die Aufgaben der Erfindung durch das eingangs erwähnte Messgerät erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass es eine Ermittlungseinheit aufweist, mit der zur Ermittlung von zumindest einem Parameter der Korrekturfunktion ein Ermittlungsdruck in der Messkammer einstellbar, der Absolutdruck bei diesem Ermittlungsdruck ermittelbar und bei diesem Absolutdruck zumindest eine Ermittlungsmessung bei einer Ermittlungsanregung durchführbar ist, wobei zumindest ein Parameter der Korrekturfunktion aus zumindest dem gemessenen Absolutdruck und dem Ermittlungsmessergebnis der Ermittlungsmessung mit der Ermittlungseinheit ermittelbar ist. Ein solches Messgerät erlaubt die vorteilhafte Imple- mentierung des obengenannten Verfahrens. Furthermore, the objects of the invention are achieved by the measuring device mentioned at the outset in that it has a determination unit with which a determination pressure in the measuring chamber can be set to determine at least one parameter of the correction function, and the absolute pressure can be determined at this determination pressure At least one determination measurement in a determination excitation can be carried out in accordance with this absolute pressure, wherein at least one parameter of the correction function can be determined from at least the measured absolute pressure and the determination measurement result of the determination measurement with the determination unit. Such a measuring device allows the advantageous implementation of the above-mentioned method.
In einer Variante der Erfindung ist an der Messkammer ein Schallgeber zur akustischen Ermittlungsanregung angeordnet. Dies erlaubt es, auf akustische Weise die Ermittlungsanregung in ausreichender Genauigkeit zu erzielen. Eine akustische Anregung mit einem Schallgeber kann, in an sich bekannter Weise, auch zur Bestimmung der Resonanzfrequenz des Systems verwendet werden. Als Schallgeber kann beispielsweise ein Mikrofon verwendet werden, wobei der Schallgeber gleichartig wie der Schallaufnehmer sein kann, da er wegen der Reziprozität des Schallwandlers elektrisch als Lautsprecher betrieben werden kann. Die Übertragungsfunktion dieser Anordnung wird demnach zweimal von einer ungefähr gleichen Charakteristik bestimmt, einerseits von der Empfindlichkeit im Empfangsbetrieb und ande- rerseits von der Empfindlichkeit im Sendebetrieb.  In a variant of the invention, a sound generator for acoustic detection excitation is arranged on the measuring chamber. This makes it possible to acoustically obtain the detection excitation with sufficient accuracy. An acoustic excitation with a sound generator can, in a conventional manner, also be used to determine the resonance frequency of the system. As a sound generator, for example, a microphone can be used, the sounder may be similar to the sound pickup, since it can be operated electrically as a speaker because of the reciprocity of the transducer. The transfer function of this arrangement is thus determined twice by an approximately equal characteristic, on the one hand by the sensitivity in the receiving mode and, on the other hand, by the sensitivity in the transmitting mode.
Zur Ermittlung des zumindest einen Parameters der Korrekturfunktion ist vorteilhafterweise ein Absorber in einem Strahlengang der zur Erzeugung des photoakustischen Effekts verwendeten elektromagnetischen Anregestrahlung angeordnet. Als Absorber zur definierten photakustischen Anregung von Schallwellen in der Messkammer hat sich ein Absorberfens- ter bewährt, das auf einfache Art in den Strahlengang der Lichtquelle eingebracht werden kann. Damit kann unter anderem auch ein sogenannter„Span-Check" zur Bestimmung oder Überwachung einer eventuellen, gegebenenfalls alterungsbedingten Drift der Mikrofonempfindlichkeit durchgeführt werden.  In order to determine the at least one parameter of the correction function, an absorber is advantageously arranged in a beam path of the electromagnetic excitation radiation used to generate the photoacoustic effect. As an absorber for the defined photacoustic excitation of sound waves in the measuring chamber, an absorber window has proved to be suitable, which can be introduced in a simple way into the beam path of the light source. Thus, inter alia, a so-called "span check" for determining or monitoring a possible, possibly age-related drift of the microphone sensitivity can be performed.
In einer weiteren Variante der Erfindung weist das Messgerät eine Pumpvorrichtung, vor- zugsweise eine Messgaspumpe auf, mittels der der Ermittlungsdruck in der Messkammer einstellbar ist.  In a further variant of the invention, the measuring device has a pump device, preferably a sample gas pump, by means of which the determination pressure in the measuring chamber can be set.
Vorteilhafterweise ist die Ermittlungseinheit dazu eingerichtet, den zumindest einen Parameter der Korrekturfunktion vor jedem Prüflauf erneut zu ermitteln. Das Messgerät weist also eine Ermittlungseinheit auf, mit der der zumindest eine Parameter der Korrekturfunktion vor jedem Prüflauf erneut ermittelbar ist. Dabei ist günstigerweise die Funktionalität der Ermittlung des zumindest einen Parameters der Korrekturfunktion in das Messgerät integriert und erfordert keinen Bedienungseingriff. Dadurch lassen sich Fehlmessungen aufgrund von Bedienfehlern minimieren.  Advantageously, the determination unit is set up to re-determine the at least one parameter of the correction function before each test run. The measuring device thus has a determination unit with which the at least one parameter of the correction function can be determined again before each test run. In this case, the functionality of determining the at least one parameter of the correction function is favorably integrated into the measuring device and requires no operator intervention. As a result, incorrect measurements due to operator errors can be minimized.
Die gegenständliche Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Figur 1 näher erläutert, die beispielhaft, schematisch und nicht einschränkend eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung zeigt. Dabei zeigt Fig.1 ein schematisches Schaltbild eines erfindungsgemäßen Messgeräts.The subject invention is explained in more detail below with reference to Figure 1, which shows an example, schematically and not limiting an advantageous embodiment of the invention. It shows 1 shows a schematic circuit diagram of a measuring device according to the invention.
Das in Fig. 1 schematisch dargestellte Messgerät 1 umfasst eine Messkammer 4, durch die ein Messgas 3 geleitet wird. Das Messgas 3 enthält eine Messkomponente 2, beispielsweise Abgaspartikel, wobei eine Messeigenschaft C dieser Messkomponente 2 von dem Messge- rät ermittelt werden soll. Die Messeigenschaft C kann insbesondere ein Wert sein, der Rückschlüsse auf die Konzentration und/oder die Partikelanzahl der Messkomponente 2 im Messgas 3 erlaubt. Als Messeigenschaft könnten jedoch auch eine Massen- und/oder Größenverteilung von Partikeln oder andere Eigenschaften der Messkomponente 2 ermittelt werden, sofern diese Eigenschaften einer photoakustischen Messung zugänglich sind. Das Messgas 3 kann beispielsweise an einer Entnahmestelle 17 von dem in einer Abgaslei- tung 18 enthaltenen Abgas abgezweigt und der Messzelle 4 zugeführt werden, wobei gegebenenfalls in an sich bekannter Weise eine Konditioniereinheit 19, insbesondere zur Verdünnung bzw. Kühlung des Abgases vorgesehen sein kann. Das konditionierte Abgas wird über ein Einlassventil 20 in die Messkammer geführt. Andererseits kann mit einem Drosselventil 15 mit einstellbarem Querschnitt der Messkammerdruck PM eingestellt werden. The measuring device 1 shown schematically in FIG. 1 comprises a measuring chamber 4, through which a measuring gas 3 is passed. The measuring gas 3 contains a measuring component 2, for example exhaust gas particles, wherein a measuring characteristic C of this measuring component 2 is to be determined by the measuring device. The measuring characteristic C can in particular be a value which allows conclusions to be drawn about the concentration and / or the number of particles of the measuring component 2 in the measuring gas 3. As a measuring property, however, a mass and / or size distribution of particles or other properties of the measuring component 2 could be determined, provided that these properties are accessible to a photoacoustic measurement. The sample gas 3 can, for example, be branched off from the exhaust gas contained in an exhaust line 18 at an extraction point 17 and fed to the measuring cell 4, it being possible for a conditioning unit 19, in particular for diluting or cooling the exhaust gas, to be provided in a manner known per se. The conditioned exhaust gas is fed via an inlet valve 20 into the measuring chamber. On the other hand, with a throttle valve 15 of adjustable cross-section of the measuring chamber pressure P M can be adjusted.
Die Strömung des Messgases 3 durch die Messkammer 4 wird während der Messung von einer der Messkammer 4 nachgelagerten Pumpvorrichtung in Form einer Messgaspumpe 9 aufrechterhalten. Zu Zwecken der erfindungsgemäßen Ermittlung des zumindest einen Parameters der Korrekturfunktion kann die Förderrichtung der Messgaspumpe 9 mithilfe eines Umschaltventils 16 umgekehrt werden. Diese Umkehrung der Förderrichtung ist nur für die untenstehend beschriebene Ermittlungsfunktion relevant und wird während der Messung nicht verwendet.  The flow of the measuring gas 3 through the measuring chamber 4 is maintained during the measurement of a downstream of the measuring chamber 4 pumping device in the form of a sample gas pump 9. For purposes of determining the at least one parameter of the correction function according to the invention, the conveying direction of the sample gas pump 9 can be reversed by means of a switching valve 16. This reversal of the direction of conveyance is only relevant to the determination function described below and is not used during the measurement.
Um den zeitlichen Verlauf der Messeigenschaft C der Messkomponente 2 zu ermitteln, wird von einer Anregevorrichtung 1 1 eine pulsierende - d.h. eine in der Intensität periodisch mo- dulierte - elektromagnetische Strahlung, vorzugsweise eine Laserstrahlung im sichtbaren oder nicht sichtbaren Spektrum, in die Messkammer 4 eingebracht, wobei die Pulsationsfre- quenz auf die Messkammer 4, das Messgas 3 und die Messkomponente 2 abgestimmt ist. Damit kann zumindest eine deutlich ausgeprägte akustische Resonanz angeregt und dadurch die erzielbare Messgenauigkeit verbessert werden. Die Wellenlänge der elektro- magnetischen Strahlung kann spezifisch auf die Eigenschaften der Messkomponente 2 abgestimmt werden und ist im Allgemeinen so gewählt, dass die Strahlung von der Messkomponente optimal absorbiert wird, nicht jedoch von dem Messgas 3 oder von anderen Komponenten, die vom Messgas 3 mitgeführt werden. Auch die Pulsationsfrequenz ist auf die Abmessungen der Messkammer 4 und die Eigenschaften des Messgases 3 und der Messkom- ponente 2 abgestimmt, um unter Ausnutzung von Resonanzverhalten eine möglichst gute Messverstärkung zu erzielen. Der photoakustisch angeregte Schall wird über einen Schallaufnehmer 5 bzw. Mikrofon aufgenommen und von einer Auswerteeinheit 6 zur Ermittlung der Messeigenschaft C ausgewertet. In order to determine the time course of the measuring characteristic C of the measuring component 2, a pulsating-ie intensity-periodically modulated-electromagnetic radiation, preferably laser radiation in the visible or non-visible spectrum, is introduced into the measuring chamber 4 by an exciting device 11 , wherein the Pulsationsfre- frequency to the measuring chamber 4, the measuring gas 3 and the measuring component 2 is tuned. This can be at least a clearly pronounced acoustic resonance excited and thereby the achievable accuracy can be improved. The wavelength of the electromagnetic radiation can be tuned specifically to the properties of the measuring component 2 and is generally chosen such that the radiation is optimally absorbed by the measuring component, but not by the measuring gas 3 or by other components carried by the measuring gas 3 become. The pulsation frequency is also matched to the dimensions of the measuring chamber 4 and the properties of the measuring gas 3 and the measuring component 2 in order to achieve the best possible measuring amplification by exploiting resonance behavior. The photoacoustically excited sound is picked up by a sound pickup 5 or microphone and evaluated by an evaluation unit 6 for determining the measurement property C.
Der Absolutdruck P in der Messkammer kann über eine Druckmesseinheit 13 ermittelt wer- den. Wie allgemein üblich kann mit dieser tatsächlich der Absolutdruck oder ein Differenzdruck, insbesondere relativ zum Umgebungsdruck Pu, ermittelt werden. Im Zusammenhang mit der gegenständlichen Erfindung wird als„Absolutdruck" P der aus dem Messergebnis der Druckmesseinheit 13 ermittelte absolute Druck bezeichnet. Als Messkammerdruck PM wird hingegen der relative Druck in der Messkammer bezogen auf den Umgebungsdruck Pu be- zeichnet. The absolute pressure P in the measuring chamber can be determined via a pressure measuring unit 13. As is generally customary, this can be used to determine the absolute pressure or a differential pressure, in particular relative to the ambient pressure Pu. In connection with the subject invention, the "absolute pressure" P is the absolute pressure determined from the measurement result of the pressure measuring unit 13. On the other hand, the relative pressure in the measuring chamber relative to the ambient pressure Pu is referred to as the measuring chamber pressure P M.
Weiters umfasst das Messgerät 1 zu Zwecken der Ermittlung von zumindest einem Parameter der Korrekturfunktion einen Absorber 8, der in den Strahlengang der Anregestrahlung 7 der Anregevorrichtung 1 1 eingesetzt werden kann und einen Schallgeber 10, mit dem die Messkammer auf herkömmliche Weise (d.h. ohne photoakustische Anregung und bei Abwe- senheit der Messkomponente 2) akustisch angeregt werden kann.  Furthermore, for the purpose of determining at least one parameter of the correction function, the measuring device 1 comprises an absorber 8 which can be inserted into the beam path of the stimulating radiation 7 of the excitation device 11 and a sound generator 10 with which the measuring chamber can be inserted in a conventional manner (ie without photoacoustic excitation and in the absence of the measuring component 2), it can be acoustically excited.
Gegebenenfalls können durch entsprechende Ventile (die der Übersichtlichkeit halber in Fig. 1 nicht dargestellt sind) anstelle des Abgases ein Spülgas und/oder ein Null- bzw. Kalibriergas über das Drosselventil 15 und Einlassventil 20 in die Messkammer geleitet werden, wenn in dem Messgerät 1 entsprechende Vorrichtungen vorgesehen sind.  Optionally, by appropriate valves (which are not shown for clarity in Fig. 1) instead of the exhaust gas, a purge gas and / or a zero or calibration gas via the throttle valve 15 and inlet valve 20 are passed into the measuring chamber, if in the measuring device. 1 corresponding devices are provided.
Die einzelnen elektronischen Komponenten des Messgeräts 1 sind mit einer Steuereinheit 14 verbunden, die neben der Auswerteeinheit 6 auch eine Ermittlungseinheit 12 umfasst. Die Steuereinheit 14 steht in Verbindung mit dem Schallaufnehmer 5, der Messgaspumpe 9, dem Schallgeber 10, der Anregevorrichtung 1 1 , der Druckmesseinheit 13, dem Drosselventil 15, dem Umschaltventil 16 und dem Einlassventil. Damit kann die Steuereinheit 14 Messda- ten dieser Einheiten zentral erfassen und Steuerbefehle an diese Einheiten ausgeben. The individual electronic components of the measuring device 1 are connected to a control unit 14 which, in addition to the evaluation unit 6, also comprises a detection unit 12. The control unit 14 is in communication with the sound pickup 5, the sample gas pump 9, the sounder 10, the pickup device 1 1, the pressure measuring unit 13, the throttle valve 15, the switching valve 16 and the inlet valve. Thus, the control unit 14 can centrally acquire measurement data of these units and output control commands to these units.
Die photoakustische Messung erfolgt auf an sich bekannte Weise, wobei das Messgas 3 von der Messgaspumpe 9 durch die Messkammer 4 gesaugt wird, während die Anregevorrichtung 1 1 eine Anregestrahlung 7 zur Erzielung des photoakustischen Effekts unter einer von der Steuereinheit 14 vorgegebenen Pulsationsfrequenz pulsierend in die Messkammer 4 einbringt. Die Anregestrahlung 7 wird von den Messkomponenten 2 absorbiert und diese, bzw. die diese umgebenden Bereiche des Messgases 3, werden dadurch periodisch erwärmt, was entsprechende Schalldruckpulsationen bewirkt. Der dabei erzeugte Schall wird vom Schallaufnehmer 5 detektiert und von der Auswerteinheit 6 ausgewertet, wobei die Auswerteeinheit 6 aus dem vom Schallaufnehmer 5 aufgenommenen Signal einen zeitlich aufgelösten Wert für die Messeigenschaft C ermittelt. Dabei können an sich bekannte Verfahren zur digitalen und/oder analogen Signalverarbeitung genutzt werden. Während der erfindungsgemäßen Ermittlung der Koeffizienten Kn ist der Messkammerdruck PM im Wesentlichen durch die Ansteuerung der Messgaspumpe 9 und des Drosselventils 15 bestimmt. Die Art der Beschaltung, mit dem Drosselventil 15 vor und der Messgaspumpe 9 nach der Messkammer 4, ist in Fig. 1 nur beispielhaft dargestellt. Tatsächlich werden meist komplexere Systeme verwendet, etwa um eine Drosselung des Abgases vor der Messkammer 4 zu vermeiden. Solche komplexen Beschaltungen sind dem Fachmann hinlänglich bekannt, sodass aus Gründen der Übersichtlichkeit nur die in Fig. 1 dargestellte vereinfachte Beschaltung beschrieben wird. Gegebenenfalls können an allen Stellen der Strömungswege weitere Temperatur- und/oder Drucksensoren zur Messung der im Messgerät 1 strömenden Medien vorgesehen sein, wenn dies erforderlich ist. The photoacoustic measurement is carried out in a manner known per se, wherein the sample gas 3 is sucked by the sample gas pump 9 through the measuring chamber 4, while the excitation device 1 1 pulsating into the measuring chamber for exciting the photoacoustic effect at a predetermined by the control unit 14 Pulsationsfrequenz 4 brings. The exciting radiation 7 is absorbed by the measuring components 2 and these, or the surrounding areas of the measuring gas 3, are thereby periodically heated, which causes corresponding sound pressure pulsations. The sound generated thereby is detected by the sound pickup 5 and evaluated by the evaluation unit 6, wherein the evaluation unit 6 determines a time-resolved value for the measurement characteristic C from the signal recorded by the sound pickup 5. In this case, known methods for digital and / or analog signal processing can be used. During the determination of the coefficients K n according to the invention, the measuring chamber pressure P M is essentially determined by the control of the sample gas pump 9 and of the throttle valve 15. The type of wiring, with the throttle valve 15 before and the sample gas pump 9 after the measuring chamber 4, is shown in Fig. 1 only by way of example. In fact, usually more complex systems are used, such as to avoid throttling of the exhaust gas in front of the measuring chamber 4. Such complex circuits are well known to those skilled in the art, so that only the simplified circuit shown in FIG. 1 will be described for reasons of clarity. Optionally, further temperature and / or pressure sensors for measuring the media flowing in the measuring device 1 can be provided at all points of the flow paths, if this is necessary.
Im Allgemeinen ist es nicht immer möglich, den Druck in der Messkammer auf einen vorgegebenen konstanten Absolutdruck P einzustellen, da eine zu große Abweichung des Messkammerdrucks PM vom Umgebungsdruck Pu das Messergebnis verfälschen würde und sogar zu einer Schädigung der Komponenten führen könnte. Daher wird der Messkammer- druck PM im Allgemeinen als Relativdruck zum Umgebungsdruck Pu gemessen und in einem engen Intervall möglichst konstant gehalten. Das hat zur Folge, dass sich der Absolutdruck P in der Messkammer nicht nur mit dem möglicherweise heftig pulsierenden Druck im Abgas, sondern auch mit dem Umgebungsdruck Pu während eines Messlaufs ändern kann. In general, it is not always possible to set the pressure in the measuring chamber to a predetermined constant absolute pressure P, since too great a deviation of the measuring chamber pressure P M from the ambient pressure Pu would falsify the measurement result and could even lead to damage of the components. Therefore, the measuring chamber pressure P M is generally measured as a relative pressure to the ambient pressure Pu and kept as constant as possible over a narrow interval. This has the consequence that the absolute pressure P in the measuring chamber can change not only with the potentially violently pulsating pressure in the exhaust gas, but also with the ambient pressure Pu during a measuring run.
Das Messgerät 1 ist dabei üblicherweise auf Normbedingungen (zum Beispiel auf einen Druck P0 von 1013 mbar und eine Temperatur T0 von 0°C) kalibriert. Abweichungen von diesen Normbedingungen werden daher von der Auswerteeinheit 6 anhand der Druckmesseinheit 13 und gegebenenfalls einer (in Fig. 1 nicht dargestellten) Temperaturmesseinheit überwacht und der Wert für die Messeigenschaft C wird mithilfe von Korrekturfunktionen, die unter anderem auch die ideale Gasgleichung berücksichtigen können, korrigiert. The measuring device 1 is usually calibrated to standard conditions (for example to a pressure P 0 of 1013 mbar and a temperature T 0 of 0 ° C). Deviations from these standard conditions are therefore monitored by the evaluation unit 6 on the basis of the pressure measuring unit 13 and, if appropriate, a temperature measuring unit (not shown in FIG. 1) and the value for the measuring characteristic C is corrected by means of correction functions which, among other things, can also take into account the ideal gas equation ,
Die Korrekturfunktionen können beispielsweise in Polynomform vorliegen, wobei als Variable des Polynoms beispielsweise die Abweichung ((P-Po)/Po) vom Normaldruck, die Abweichung ((T-T0)/T0) von der Normaltemperatur oder Kombinationen daraus verwendet werden können. Die Koeffizienten des Polynoms werden derzeit üblicherweise werksseitig ermittelt, wobei in der Praxis derzeit üblicherweise nur Polynome ersten Grades verwendet werden. Eine Ermittlung von Koeffizienten für Polynomterme höherer Ordnung von Werk aus erwies sich bisher als zu ungenau. The correction functions can be in polynomial form, for example, where the deviation ((P-Po) / Po) from the normal pressure, the deviation ((TT 0 ) / T 0 ) from the normal temperature or combinations thereof can be used as a variable of the polynomial. The coefficients of the polynomial are currently usually determined at the factory, but in practice currently only first degree polynomials are used. A determination of coefficients for higher-order polynomial terms from the factory has so far proved too inaccurate.
Die erfindungsgemäße Lösung erlaubt es, die Korrekturfunktion unmittelbar vor einer Messung sehr genau auf die tatsächlichen Verhältnisse anzupassen, sodass beispielsweise auch Koeffizienten höherer Ordnung sinnvoll und vorteilhaft eingesetzt werden können. Dazu um- fasst die Steuereinheit 14 eine Ermittlungseinheit 12, die vor der Messung die folgenden Schritte durchführt: • In der Messkammer 4 wird ein gewünschter Über- oder Unterdruck (Ermittlungsdruck) hergestellt. The solution according to the invention makes it possible to adapt the correction function very precisely to the actual conditions immediately before a measurement, so that, for example, even higher-order coefficients can be used meaningfully and advantageously. For this purpose, the control unit 14 comprises a determination unit 12, which performs the following steps before the measurement: • In the measuring chamber 4, a desired positive or negative pressure (determination pressure) is produced.
• Unter dieser Betriebsbedingung erfolgt eine in der Anregungsstärke reproduzierbare und von der Messkomponente unabhängige Anregung des Messgases zu akustischen Schwingungen (Ermittlungsanregung).  Under this operating condition, an excitation of the measuring gas which is reproducible in the excitation intensity and independent of the measuring component takes place to acoustic oscillations (detection excitation).
• Der Absolutdruck P in der Messkammer wird gemessen und die akustischen Schwingungen werden von der Auswerteeinheit 6 wie bei der eigentlichen Messung erfasst und ausgewertet (Ermittlungsmessung).  • The absolute pressure P in the measuring chamber is measured and the acoustic vibrations are detected and evaluated by the evaluation unit 6 as in the actual measurement (determination measurement).
• Die obigen Schritte können gegebenenfalls mit einem anderen Ermittlungsdruck wieder- holt werden, wenn eine Ermittlungsmessung zur Ermittlung der Koeffizienten bzw. Parameter nicht ausreicht.  • If necessary, the above steps can be repeated with a different determination pressure if a determination measurement is not sufficient to determine the coefficients or parameters.
• Aus der Abhängigkeit des Messergebnisses vom anstehenden Absolutdruck werden die gesuchten Koeffizienten bzw. Parameter der Korrekturfunktion bestimmt.  • The desired coefficients or parameters of the correction function are determined from the dependence of the measurement result on the upcoming absolute pressure.
Danach, bei der eigentlichen Messung, kann die Korrekturfunktion mit den derart bestimmten Koeffizienten bzw. Parametern zur Anwendung kommen.  Thereafter, in the actual measurement, the correction function can be used with the thus determined coefficients or parameters.
Die reproduzierbare und von der Messkomponente unabhängige Anregung des Messgases kann dabei entweder photoakustisch mithilfe eines in die Anregestrahlung 7 eingebrachten Absorbers 8 erfolgen, oder über den Schallgeber 10.  The reproducible and independent of the measurement component excitation of the sample gas can be done either photoacoustically using an introduced into the excitation radiation 7 absorber 8, or via the sounder 10th
Erfindungsgemäß können die Koeffizienten des Korrekturpolynoms somit auf einfache Weise ermittelt werden, beispielsweise vor jedem Messlauf, ohne dass dazu ein werksseitiger Eingriff erforderlich ist. Dadurch können zusätzliche Faktoren in der Korrekturfunktion auf komplexere Weise berücksichtigt werden, wie etwa eine alterungsbedingte Veränderung der Mikrofonempfindlichkeit oder eine Abhängigkeit der Mikrofonempfindlichkeit vom Druck.  According to the invention, the coefficients of the correction polynomial can thus be determined in a simple manner, for example before each measurement run, without requiring a factory-side intervention. As a result, additional factors in the correction function can be taken into account in a more complex manner, such as an aging-related change in the microphone sensitivity or a dependence of the microphone sensitivity on the pressure.
Die Ermittlung von Koeffizienten unmittelbar vor dem Messlauf erlaubt es auch, das Messer- gebnis mithilfe von Polynomen zweiter und höherer Ordnung zuverlässig zu korrigieren. The determination of coefficients immediately before the measurement run also makes it possible to reliably correct the measurement result with the help of polynomials of second and higher order.
Neben Polynomen können auch andere Arten von Korrekturfunktionen verwendet werden, deren Parameter auf dieselbe Weise unmittelbar vor dem Messlauf ermittelt bzw. angepasst werden können. In addition to polynomials, other types of correction functions can be used whose parameters can be determined or adjusted in the same way immediately before the measurement run.
Funktionalität und Bedeutung des erfindungsgemäßen Verfahrens und der zugehörigen Vor- richtung werden im Zusammenhang mit dem nachfolgend beschriebenen konkreten Anwendungsbeispiel, besonders deutlich. Vorrangig geht es dabei um die Frage, welche Größen und Betriebsbedingungen einen Einfluß auf die kalibrierte Messempfindlichkeit des Messgeräts 1 haben, mit welchen Methoden und Einrichtungen sie ermittelt und überprüft werden, und wie die bekannten Möglichkeiten durch das erfindungsgemäße Verfahren und die zugehörige Einrichtung sinnvoll ergänzt werden können. Functionality and significance of the method according to the invention and the associated device are particularly clear in connection with the concrete application example described below. Priority is given to the question of which variables and operating conditions have an influence on the calibrated measuring sensitivity of the measuring device 1, with which methods and devices they are determined and checked, and how the known possibilities by the inventive method and the associated device can be useful supplemented.
Unter„Kalibrierung" versteht man (nach DIN 1319-1 ) den Vergleich des angezeigten Messwerts eines Sensors mit dem einer geeichten Referenz. Ein Gleichsetzen des angezeigten Messwerts mit dem der geeichten Referenz - genauer gesagt: ein Minimieren der Messwertabweichung - wird (nach DIN 1319-1 ) als "Justieren" bezeichnet. Da für ein Messgerät eine Kalibrierung allein im Allgemeinen eher sinnlos ist, wird im folgenden "Kalibrierung" stets im Sinne von "Kalibrierung und Justierung" verwendet.  "Calibration" is the comparison of the displayed measured value of a sensor with that of a calibrated reference (according to DIN 1319-1) Equation of the displayed measured value with that of the calibrated reference - more precisely: minimizing the measured value deviation - becomes (according to DIN 1319 -1) is referred to as "adjustment." Since calibration alone is generally meaningless for a meter, "calibration" will always be used in the sense of "calibration and adjustment".
Folgende Werte können werksseitig und gegebenenfalls von einem geschulten Servicetech- niker kalibriert werden:  The following values can be calibrated at the factory and, if necessary, by a trained service technician:
> Analogausgänge: Nullwert, Endwert  > Analog outputs: zero value, end value
> Sensoren:  > Sensors:
- Temperatur der Messkammer: 2-Punktkalibrierung mit einem "unteren" und einem "oberen" Vergleichswert. Diese Kalibrierung sollte gegebenenfalls vor der Kalibrie- rung der anderen Sensoren durchgeführt werden.  - Temperature of the measuring chamber: 2-point calibration with a "lower" and an "upper" comparison value. If necessary, this calibration should be performed before the calibration of the other sensors.
- Absolutdruck: aktueller Umgebungsluftdruck; wesentlich für das erfindungsgemäße Verfahren  Absolute pressure: current ambient air pressure; essential for the inventive method
Druck ("Relativdruck") in bzw. unmittelbar nach der Messkammer: 2-Punktkalibrierung mit "Nullwert" und einem "oberen" Vergleichswert; wesentlich für das erfindungsge- mäße Verfahren  Pressure ("relative pressure") in or immediately after the measuring chamber: 2-point calibration with "zero value" and an "upper" comparison value; essential for the inventive method
Durchfluss des Probengases, Differenzdrucksensor: 2-Punktkalibrierung mit "Nullwert" und einem "oberen" Vergleichswert  Sample gas flow, differential pressure sensor: 2-point calibration with "zero value" and an "upper" comparison value
Hinweis: Fehler in der Kalibrierung des Relativdrucks, der unter 50 mbar liegen muss und daher üblicherweise einen Fehler von <5 mbar haben wird (0,5 % des Umge- bungsdrucks), und Fehler in der Kalibrierung des Durchflusses haben keine Auswirkung auf die Korrektheit des Messwerts.  Note: Error in the calibration of the relative pressure, which must be below 50 mbar and therefore will typically have an error of <5 mbar (0.5% of the ambient pressure), and errors in the calibration of the flow have no effect on the correctness of the measured value.
> Messwert: Beziehung zwischen Sensorsignal in mV und Abgasbeladung mit Ruß in  > Measured value: Relationship between sensor signal in mV and exhaust gas load with soot in
mg/m3 mg / m 3
Bei der Kalibrierung des Messwerts wird das Sensorsignal (in mV) in Beziehung zur Ruß- konzentration einer stabilen Rußquelle gesetzt. Dazu kann beispielsweise das Gerät "Com- bustion Aerosol Standard" (CAST) von Matter Engineering verwendet. Es produziert Ruß, dessen Eigenschaften jenen von Dieselruß gleichen. Die von CAST abgegebene Rußkonzentration wird gravimetrisch ermittelt, wobei das Ergebnis auf Normbedingungen (Druck 1013 mbar, Temperatur 0 °C) bezogen wird. Diese Methode entspricht der Standardrefe- renzmessmethode für Rußkalibrierung nach VDI-Richtlinie 2465, Blatt 1 . Eine einfachere Kalibriermethode wäre wünschenswert, aber wegen der komplexen physikochemischen Natur von Ruß ist eine allgemein anerkannte Alternative (wie die bei Gasanalysatoren bekannten Kalibriergasflaschen) bis heute nicht entwickelt worden. When calibrating the measured value, the sensor signal (in mV) is related to the soot concentration of a stable soot source. For example, the "Compression Aerosol Standard" (CAST) device from Matter Engineering can be used for this purpose. It produces soot, whose properties resemble those of diesel soot. The carbon black concentration emitted by CAST is determined gravimetrically, the result being based on standard conditions (pressure 1013 mbar, temperature 0 ° C.). This method corresponds to the standard measurement method for soot calibration according to VDI guideline 2465, sheet 1. A simpler calibration method would be desirable, but because of the complex physicochemical nature of carbon black, a well-accepted alternative (such as the calibration gas bottles known in gas analyzers) has not been developed to date.
Das Ergebnis der Kalibrierung und Justierung ist ein Kalibrierfaktor, den das Gerät zur Umrechnung der internen Messwerte des Mikrofons (mV) in die Konzentrationsgröße (g/m3) verwendet. Der Kalibrierfaktor setzt sich aus einer festen Größe und einem variablen Faktor Fkai zusammen. Die feste Größe ist eine grobe Umrechnung für eine "mittlere" Geräteempfindlichkeit. Bei der ersten Werkskalibrierung wird der Default-Wert Fkai = 1 durch einen gerä- tespezifischen Wert ersetzt. The result of calibration and adjustment is a calibration factor used by the device to convert the microphone's internal measurement (mV) to concentration (g / m 3 ). The calibration factor is composed of a fixed quantity and a variable factor F ka i. The fixed size is a rough conversion for a "medium" device sensitivity. For the first factory calibration, the default value F ka i = 1 is replaced by a device-specific value.
Zuerst ist die Phasenlage φΜ des Mikrofonsignals relativ zur Phasenlage des anregenden Lasersignals bei einer ausreichend hohen Rußkonzentration in der Messzelle zu bestimmen und als„Referenzphase" einzustellen. Die Phasenlage φΜ ist für Messsignale über 100 mV, bzw. für Rußkonzentrationen von über 1 mg/m3, innerhalb von ±3° konstant und muss vom Gerät bei der phasensensitiven Auswertung der Messsignale beachtet werden. First, the phase position φ Μ of the microphone signal relative to the phase position of the exciting laser signal at a sufficiently high soot concentration in the measuring cell is to be determined and set as "reference phase." The phase position φ Μ is for measuring signals over 100 mV, or for soot concentrations of more than 1 mg / m 3 , constant within ± 3 ° and must be observed by the device during the phase-sensitive evaluation of the measuring signals.
Danach wird der Anzeigewert der Vorrichtung (in mg/m3) mit dem Ergebnis z. B. einer coulometrischen Rußbestimmung verglichen. Der neue Kalbrierfaktor Fkai wird aus dem alten Kalibrierfaktor und dem Verhältnis der aktuellen Anzeige und dem auf Normbedingungen (1013 mbar, 0 °C) bezogenen Referenz-Messwert nach folgender Formel bestimmt: Thereafter, the display value of the device (in mg / m 3 ) with the result z. B. compared to a coulometric Rußbestimmung. The new calf replacement factor F ka i is determined from the old calibration factor and the ratio of the current display and the reference measured value based on standard conditions (1013 mbar, 0 ° C) according to the following formula:
Fkai(neU) = Fkai(a|t) * Referenz / Anzeige F ka i (new ) = F ka i (a | t) * Reference / Display
Die Messwert-Kalibrierung ist üblicherweise über Jahre stabil, wie Vergleichsmessungen gezeigt haben. Sollte jedoch der Verdacht bestehen, dass sich die Empfindlichkeit geändert hat und daher eine neue Kalibrierung erforderlich ist, kann der Faktor Fkai, und eventuell auch die Phasenlage φΜ, neu gesetzt werden. Dabei ist darauf zu achten, dass die Fenster frisch gereinigt sind und daher ein möglichst geringes Nullsignal vorliegt. The measured value calibration is usually stable for years, as comparative measurements have shown. However, should it be suspected that the sensitivity has changed and therefore a new calibration is required, the factor F ka i, and possibly also the phase angle φ Μ , can be reset . It is important to ensure that the windows are freshly cleaned and therefore the lowest possible zero signal is present.
Zur Überprüfung der Werkskalibrierung, bzw. ihrer Gültigkeit, ohne die komplette Kalibrierprozedur durchführen zu müssen, kann eine spezielle Methode angewendet werden. Sie basiert auf der angemessenen und allgemein akzeptierten Annahme, dass das kalibrierte Verhältnis zwischen Sensorsignal (in mV) und der Massenkonzentration von Ruß (in mg/m3) sich nicht ändert, wenn die Charakteristiken jener Elemente, die das Sensorsignal erzeugen, unverändert bleiben. In der Praxis bedeutet das, dass die folgenden Eigenschaften stabil bleiben: To check the factory calibration, or its validity, without having to perform the complete calibration procedure, a special method can be used. It is based on the reasonable and generally accepted assumption that the calibrated relationship between sensor signal (in mV) and mass concentration of soot (in mg / m 3 ) does not change when the characteristics of those elements that generate the sensor signal remain unchanged. In practice this means that the following properties remain stable:
- Mikrofonempfindlichkeit  - Microphone sensitivity
- Intensität des Laserstrahls  - Intensity of the laser beam
- Linearität des Mikrofons - Linearität der Laserintensität mit dem Strom - Linearity of the microphone - Linearity of the laser intensity with the current
Hinweis zur Linearität der Mikrofonempfindlichkeit und der Laseransteuerung: Wie einerseits verschiedene Experimente gezeigt haben und andererseits aus dem photoakustischen Prinzip theoretisch abgeleitet werden kann, hängen das Sensorsignal (in mV) und die Rußmassenkonzentration (in mg/m3) linear zusammen. Eine Abweichung von dieser Linearität kann nur bei nicht-linearem Verhalten der Komponenten der Messkette, insbesondere des Mikrofons, auftreten. Note on the linearity of microphone sensitivity and laser control: As shown on the one hand different experiments and on the other hand can be derived theoretically from the photoacoustic principle, the sensor signal (in mV) and the soot mass concentration (in mg / m 3 ) are linearly related. A deviation from this linearity can only occur in the case of non-linear behavior of the components of the measuring chain, in particular of the microphone.
Zur Überprüfung dieser Eigenschaften stehen die folgenden, unten näher beschriebenen Funktionen bereits jetzt zur Verfügung und können durch das erfindungsgemäße Verfahren vorteilhaft ergänzt werden:  To check these properties, the following functions, which are described in more detail below, are already available and can be advantageously supplemented by the method according to the invention:
> Kalibrierüberprüfung: Zur "Überprüfung der korrekten Kalibrierung des Messwerts" wird die Empfindlichkeit der Messkette (die Intensität des Laserstrahls zusammen mit der Empfindlichkeit des Mikrofons) mit Hilfe eines Absorberfensters überprüft.  > Calibration check: To check the correct calibration of the measured value, the sensitivity of the measuring chain (the intensity of the laser beam together with the sensitivity of the microphone) is checked by means of an absorber window.
> Resonanzfrequenz Scan: Die Empfindlichkeit des Mikrofons (und des ebenfalls im Sys- tem integrieren Lautsprechers) kann durch Überprüfung des Signalwerts erfolgen, der nach Abschluss des Resonanzfrequenz Scans angezeigt wird.  > Resonance Frequency Scan: The sensitivity of the microphone (and the speaker also integrated in the system) can be checked by checking the signal value displayed after the resonance frequency scan is completed.
> Linearitätsüberprüfung des Mikrofons  > Linearity check of the microphone
> Linearitätsüberprüfung des Lasers  > Linearity check of the laser
Um die Kalibrier- und Überprüfungsfunktionen verstehen zu können muss man das Gesamt- system kennen. Sein Herzstück ist die photoakustische Messkammer 4, wie sie schematisch in einer einfachsten Auslegung zum Erreichen einer guten Messempfindlichkeit in Fig. 1 dargestellt ist.  To understand the calibration and verification functions you need to know the overall system. Its core is the photoacoustic measuring chamber 4, as shown schematically in a simplest design for achieving a good measuring sensitivity in Fig. 1.
Im Zentrum der Messkammer 4 befindet sich ein akustisches Resonanzrohr, das als sogenannte "offene Pfeife" ausgeführt ist, mit folgenden charakteristischen Merkmalen: Der Durchmesser ist klein gegenüber der Länge L und an beiden Enden erweitert sich der In the center of the measuring chamber 4 is an acoustic resonance tube, which is designed as a so-called "open whistle", with the following characteristic features: The diameter is small compared to the length L and at both ends widens the
Durchmesser ("Notch Filter"). Dadurch bildet sich eine stehende akustische Welle mit Druckknoten an den Enden des Resonanzrohres und einem Druckmaximum in der Mitte. Die Amplitude der akustischen Welle ist im Bereich der "Notch Filter" mit relativ größerem Durchmesser wesentlich schwächer als im Resonanzrohr. Diameter (notch filter). This forms a standing acoustic wave with pressure nodes at the ends of the resonance tube and a pressure maximum in the middle. The amplitude of the acoustic wave is considerably weaker in the area of the "notch filter" with a relatively larger diameter than in the resonance tube.
Aufgrund dieser Prinzipien ergibt sich: Based on these principles:
Die Resonanzfrequenz der Zelle (und damit die zugehörige Wellenlänge Lambda) wird von der Länge LR des Resonators bestimmt. Näherungsweise gilt Lambda = LR/2. The resonant frequency of the cell (and thus the associated lambda wavelength) is determined by the length L R of the resonator. Approximately, lambda = L R / 2.
Das Maximum des Schalldrucks liegt in der Mitte der Zelle, weshalb sich das Mikrofon auch dort befindet. Die Schallschnelle wird am Ende der "Notch Filter", also bei den optischen Fenstern, Null. Damit verbunden ist ein Maximum des Schalldrucks. Zusammen mit dem ersten Punkt folgt daraus, dass die Gesamtlänge des Zellenraumes L näherungsweise ein ganzzahliges Vielfaches von Lambda/2 ist. The maximum of the sound pressure is in the middle of the cell, which is why the microphone is also there. The sound velocity becomes zero at the end of the "Notch Filter", ie the optical windows. This is associated with a maximum of the sound pressure. Together with the first point it follows that the total length of the cell space L is approximately an integer multiple of lambda / 2.
■ Gaseinlass und Gasauslass werden in die Druckknoten der stehenden Welle gelegt, um diese nicht durch das unvermeidliche Strömungsrauschen an den Einlasskanten zu stören. ■ Gas inlet and gas outlet are placed in the pressure nodes of the standing wave, so as not to disturb them by the unavoidable flow noise at the inlet edges.
Die in der Fig. 1 schematisch gezeigte Messkammer hat verschiedene vorteilhafte Merkmale. Zum Beispiel lässt das seit Jahren am Markt befindliche Gerät„AVL Micro Soot Sensor" strömungstechnisch günstig gestaltete Verrundungen an den Ein- und Auslässen und an den Querschnittsänderungen erkennen. Und es sind ein weiteres enges Rohrstück und eine weitere Kammer ("Notch Filter") mit größerer Querschnittfläche vorgesehen, die das Beströmen der Messzelle durch zwei Einlässe bei den Fenstern und einen gemeinsamen Auslass ermöglichen. So wird erreicht, dass die optischen Fenster nicht vom Partikelstrom angeströmt werden und daher weniger leicht verschmutzen.  The measuring chamber shown schematically in FIG. 1 has various advantageous features. For example, the "AVL Micro Soot Sensor" device, which has been on the market for many years, reveals well-designed roundings at the inlets and outlets and the cross-sectional changes, and there is another narrow tube section and a further chamber ("notch filter") A larger cross-sectional area is provided which allows flow through the measuring cell by two inlets at the windows and a common outlet, thus ensuring that the optical windows are not flown by the particle flow and therefore less easily pollute.
Das Gerät kann in verschiedene Betriebszustände gesetzt werden:  The device can be set in different operating states:
o RUHEZUSTAND o REST
o PAUSE PAUSE
o STANDBY (inklusive NULLABGLEICH) o STANDBY (including ZERO ADJUST)
o MESSUNG (mit der möglichen SPITZENWERTMESSUNG) o MEASUREMENT (with the possible PEAK MEASUREMENT)
o NULLPUNKTÜBERPRÜFUNG o ZERO POINT CHECK
Und je nach Betriebszustand können zusätzlich Prüf- und Wartungsfunktionen durchgeführt werden:  And depending on the operating state, additional test and maintenance functions can be carried out:
o RÜCKSPÜLUNG (der Entnahmeleitung) o BACKWASHING (the sampling line)
o DICHTHEITSTEST (Überprüfen des Gaswegs auf Dichtheit) o LEAK TEST (checking the gas path for leaks)
o RESONANZFREQUENZ SCAN (Überprüfen von Resonanzfrequenz und Signalintensität) o RESONANCE FREQUENCY SCAN (Check Resonance Frequency and Signal Intensity)
o FENSTERREINIGUNG (nach Überprüfung der Fenster- und Zellenverschmutzung) o KALIBRIERÜBERPRÜFUNG "SPAN CHECK" (Überprüfen der Gültigkeit der Messwert- kalibrierung) o WINDOW CLEANING (after checking window and cell contamination) o "SPAN CHECK" CALIBRATION CHECK (checking the validity of the calibration)
o LI N EARITÄTSTEST für Mikrofon und Laser Im RUHEZUSTAND ist das Mikroprozessorsystem betriebsbereit, es werden aber keine Mess- oder Regelfunktionen ausgeführt. Die Magnetventile sind stromfrei geschaltet und verbinden die Komponenten des Messsystems mit sauberer gefilterter Luft. o LI N EARITY TEST for microphone and laser When in the REST state, the microprocessor system is ready for operation, but no measurement or control functions are executed. The solenoid valves are de-energized and connect the components of the measuring system with clean filtered air.
Auch im Betriebszustand PAUSE sind die Magnetventile stromfrei geschaltet und verbinden das Messsystem mit sauberer gefilterter Luft. Die Temperaturregelungen der Messzelle werden eingeschaltet und nach einer dreiminütigen Stabilisierungszeit erfolgt eine Überprüfung der diversen Temperaturen, der akustischen Resonanzfrequenz und der Verschmutzung. Im Fall einer Grenzwertüberschreitung des neu ermittelten Nullwerts wird eine Warnung ausgegeben, dass die optischen Fenster gereinigt werden müssen.  Even in PAUSE mode, the solenoid valves are de-energized and connect the measuring system with clean filtered air. The temperature controls of the measuring cell are switched on and after a three-minute stabilization time, the various temperatures, the acoustic resonance frequency and the contamination are checked. In the event of a limit violation of the newly determined zero value, a warning is issued that the optical windows must be cleaned.
Im Betriebszustand STANDBY und nach dem Erreichen der Solltemperaturen wird die Pumpe gestartet, aber die Magnetventile bleiben stromlos geschaltet und verbinden das Messsystem mit sauberer gefilterter Luft. Dieses partikelfreie„Nullgas" - in Spezialfällen kann statt Luft auch gefiltertes Abgas verwendet werden - strömt in der Folge durch die Messzelle und erlaubt nach 10 Sekunden Stabilisierungszeit die Bestimmung des Nullwerts durch Mittelung des Sensorsignals (hier:„Nullsignal") über mindestens 20 Sekunden (maximal 260 Sekunden). Im Fall einer Grenzwertüberschreitung des neu ermittelten Nullwerts wird eine Warnung ausgegeben, dass die optischen Fenster gereinigt werden müssen. Außerdem wird die Resonanzfrequenz ermittelt und überprüft. Danach ist das System messbereit, und solange nicht der Betriebszustand MESSUNG aufgerufen wird, wird weiterhin„Nullgas" durch die Messzelle geleitet und kontinuierlich der Nullwert über die jeweils letzten 20 s (oder die aktuell eingestellte Nullabgleichszeit) ermittelt. In the STANDBY operating state and after reaching the setpoint temperatures, the pump is started, but the solenoid valves remain de-energized and connect the measuring system with clean filtered air. This particle-free "zero gas" - in special cases also filtered exhaust gas can be used - flows in the sequence through the measuring cell and allows after 10 seconds stabilization time to determine the zero value by averaging the sensor signal (here: "zero signal") for at least 20 seconds ( maximum 260 seconds). In the event of a limit violation of the newly determined zero value, a warning is issued that the optical windows must be cleaned. In addition, the resonance frequency is determined and checked. Thereafter, the system is ready for measurement, and as long as the MEASUREMENT operating state is not called, "zero gas" is still passed through the measuring cell and the zero value is continuously determined over the last 20 seconds (or the currently set zero balance time).
Ein NULLABGLEICH sollte vor jedem Messzyklus durchgeführt werden. Messzyklen dauern typischerweise nicht länger als 30 Minuten und es ist empfehlenswert, nach einem Messzeitraum von 30 bis 60 Minuten wieder auf den Betriebszustand STANDBY zu schalten, um neuerlich den Nullwert festzustellen. Mit dem neuen Nullwert werden die eventuell neu hinzugekommenen Verschmutzungen der optischen Fenster kompensiert.  A ZERO ADJUST should be performed before each measurement cycle. Measuring cycles typically take no longer than 30 minutes and it is recommended to switch back to the STANDBY operating state after a measuring period of 30 to 60 minutes in order to determine the zero value again. The new zero value compensates for any newly added soiling of the optical windows.
Erst im Betriebszustand MESSUNG wird das Einlassventil umgeschaltet, sodass Messgas (unverdünntes oder verdünntes Abgas) von der Entnahmeleitung zur Messzelle und zum Bypass gepumpt wird. Die Messwerte werden kontinuierlich ermittelt, wobei der zuvor be- stimmte Nullwert phasenkorrekt ("vektoriell") abgezogen wird. Mit dem gerätespezifischen Kalibrierfaktor werden die Messwerte in Rußkonzentrationen umgerechnet.  The inlet valve is only switched over in the MEASURE mode, so that sample gas (undiluted or diluted exhaust gas) is pumped from the sampling line to the measuring cell and to the bypass. The measured values are determined continuously, with the previously determined zero value being subtracted in a phase-correct manner ("vectorial"). With the device-specific calibration factor, the measured values are converted into soot concentrations.
Manchmal wird während des Betriebszustands MESSUNG eine SPITZENWERTMESSUNG benötigt, beispielsweise zur Ermittlung des während einer Beschleunigung oder Lastaufschaltung aufgetretenen Spitzenwerts. Dazu dienen ein Start- und ein Stopp-Kommando, mit denen während der laufenden Messung ein Intervall für die Spitzenwerterkennung aktiviert wird, sodass nach dem Stopp-Kommando der während des Intervalls gemessene Spitzenwert abgerufen werden kann. Sometimes, during the MEASURE mode, a PEAK MEASUREMENT is required, for example, to determine the peak occurring during acceleration or load application. This is done by a start and a stop command which activates an interval for the peak detection during the current measurement so that after the stop command the peak value measured during the interval can be retrieved.
Im Betriebszustand NULLPUNKTÜBERPRÜFUNG wird ein Magnetventil aktiviert, um "Nullgas" in die Messkammer strömen zu lassen, und die Messwerte werden weiterhin kontinuier- lieh ermittelt. Dabei wird auch der zuletzt ermittelte Nullwert phasenkorrekt ("vektoriell") abgezogen und die primären Sensorsignale mit dem gerätespezifischen Kalibrierfaktor in Rußkonzentrationen umgerechnet. Wenn nun - beispielsweise infolge einer hinzugekommenen Verschmutzung der Fenster - ein unzulässig hoher Messwert auftritt, beispielsweise mit einem Betrag von größer als 0,001 mg/m3, oder der ursprüngliche Nullwert nicht erreicht wird, so kann der neu erhaltene Nullgas-Messwert zur Basislinienkorrektur der zuvor erhaltenen Ruß-Messwerte herangezogen werden. Empfohlen wird in einem solchen Fall vor einer weiteren Messung in den Betriebszustand STANDBY zu schalten und den Nullwert neu zu ermitteln. In the ZERO POINT CHECK mode, a solenoid valve is activated to allow "zero gas" to flow into the measuring chamber, and the readings are still continuously read. In this case, the last determined zero value is subtracted phase-correct ("vectorial") and the primary sensor signals are converted into soot concentrations using the device-specific calibration factor. If now - for example, as a result of added pollution of the windows - an inadmissibly high reading occurs, for example, with an amount greater than 0.001 mg / m 3 , or the original zero value is not reached, the newly obtained zero gas reading for baseline correction of the previously obtained soot measured values are used. In such a case, it is recommended to switch to the STANDBY operating state before a further measurement and to re-calculate the zero value.
Wird die Nullpunktüberprüfung aus einem Messzustand mit hoher, stationärer Rußbeladung aufgerufen, kann es einige Sekunden dauern, bis der stabile Nullpunkt erreicht wird: Die Abfallzeit auf 10 % des letzten Messwerts dauert ca. 1 s, auf 1 % des letzten Messwerts aber wesentlich länger.  If the zero point check is called from a high steady state soot load measurement state, it may take a few seconds to reach the stable zero point: The fall time to 10% of the last measured value lasts approx. 1 s, but significantly longer at 1% of the last measured value.
Die Notwendigkeit einer Nullpunktüberprüfung steht im Zusammenhang mit einer möglichen Fensterverschmutzung. Daher wird vom System eine Nullabgleichswarnung ausgegeben, dass eine Nullpunktüberprüfung durchgeführt werden sollte, wenn seit dem letzten Betrieb des Messgeräts im Betriebszustand STANDBY eine im Sekundentakt aufsummierte Gesamtrußkonzentration von z.B. 100000 s*mg/m3 (das entspricht z.B. 10 mg/m3 während 10000 s) durch die Messzelle gefördert wurde. Nach einer solchen geförderten Rußmenge sollte das durch die Fensterverschmutzung verursachte Signal noch immer kleiner als 0,01 mg/m3 sein. Das ist eine grobe Abschätzung für typische Betriebsbedingungen; die tatsächliche Fensterverschmutzung hängt von diversen Betriebsbedingungen ab, beispielsweise von Druckschwankungen, Stationärmessungen oder Messungen mit variierenden Rußkonzentrationen.The need for a zero point check is related to possible window contamination. Therefore, the system issues a zero calibration warning that a zero point check should be performed if a total soot concentration of eg 100000 s * mg / m 3 summed up since the last time the meter was operated in STANDBY mode (eg 10 mg / m 3 during 10000 s) was conveyed through the measuring cell. After such a conveyed amount of soot, the signal caused by the window contamination should still be less than 0.01 mg / m 3 . This is a rough estimate of typical operating conditions; the actual window contamination depends on various operating conditions, for example pressure fluctuations, stationary measurements or measurements with varying soot concentrations.
Wenn der Wert über z.B. 0,05 mg/m3 liegt, so ist beim Testlauf eine massive Verschmutzung aufgetreten, und / oder das Gerät wurde über einen sehr langen Zeitraum nicht im Betriebs- zustand STANDBY betrieben. Bei Auftreten so hoher Nullwerte ist eine Reinigung der Fenster erforderlich. If the value is above 0.05 mg / m 3 , for example, massive contamination has occurred during the test run and / or the device has not been operated in the STANDBY operating state for a very long time. When such high zero values occur, it is necessary to clean the windows.
Bei der Wartungsfunktion RÜCKSPÜLUNG werden alle Ventile geschlossen und dann das Magnetventil zum Einlassen der Druckluft 30 Sekunden lang geöffnet. Diese Spülluft strömt dann durch die Entnahmeleitung und Entnahmesonde zurück in die Verdünnungseinheit. Dabei werden Entnahmesonde und Entnahmeleitung von abgelagerten groben Partikeln gereinigt. Die Funktion DICHTHEITSTEST („Lecktest", Überprüfung des Gaswegs auf Dichtheit) kann zur automatischen Überprüfung der Leckrate des Systems aufgerufen werden und sie kann auch zur Realisierung des erfindungsgemäßen Verfahrens verwendet werden. With the BACKWASH service function, all valves are closed and then the solenoid valve is opened for 30 seconds to allow the compressed air to enter. This purge air then flows through the sampling line and sampling probe back into the dilution unit. The sampling probe and sampling line are cleaned of deposited coarse particles. The leak test function ("leak test", checking the gas path for leaks) can be called to automatically check the leak rate of the system and it can also be used to implement the method according to the invention.
Der interne Dichtheitstest dient zur Überprüfung der geräteinternen Komponenten (vom Ein- lassventil bis zur Pumpe) und sollte nach Arbeiten im Inneren des Geräts (Fensterreinigung, Messzellenreinigung, Filtertausch) durchgeführt werden.  The internal leak test is used to check the internal device components (from the inlet valve to the pump) and should be carried out after working inside the device (window cleaning, measuring cell cleaning, filter replacement).
Der externe Dichtheitstest dient zur Überprüfung auch der externen Komponenten (Gesamtweg von der manuell verschlossenen Entnahmesonde oder -leitung bis zur Pumpe) und sollte nach jeder Neuinstallation des Gesamtsystems oder nach Arbeiten am Entnahmesystem durchgeführt werden.  The external leak test is also used to check the external components (total distance from the manually closed sampling probe or pipe to the pump) and should be performed after each reinstallation of the entire system or after work on the sampling system.
Mit Start des Dichtheitstests wird der Gasweg auf einen Unterdruck von ca. -1 10 mbar (relativ zum Umgebungsdruck) evakuiert. Nach einer kurzen Stabilisierungszeit wird der gegebenenfalls von einem Leck verursachte Druckanstieg überprüft. Dieser Anstieg muss so klein sein, dass auch beim maximal erlaubten Unterdruck von -1 10 mbar die durch das Leck strö- mende Fehlluft weniger als 1 % des Durchflusses im Messbetrieb des System ausmacht. Eine Fehlermeldung wird bei Überschreiten des Grenzwerts 0,5 ml/s ausgegeben. Damit besteht ein Sicherheitsabstand zur tolerierten Leckrate von 1 % vom Durchfluss 4 l/min = 0,66 ml/s.  With the start of the leak test, the gas path is evacuated to a negative pressure of approx. -1 10 mbar (relative to the ambient pressure). After a short stabilization time, the increase in pressure possibly caused by a leak is checked. This increase must be so small that, even at the maximum permitted negative pressure of -1 10 mbar, the leakage air flowing through the leak is less than 1% of the flow in the measuring operation of the system. An error message is output when the limit value of 0.5 ml / s is exceeded. This provides a safe distance to the tolerated leak rate of 1% of the flow 4 l / min = 0.66 ml / s.
Bei der Funktion RESONANZFREQUENZ SCAN schaltet das System wie am Ende der Be- triebsart PAUSE den Laser ab und führt eine Überprüfung der Resonanzfrequenz der Messzelle durch (Dauer ca. 20 Sekunden). Dabei generiert ein in der Messzelle eingebautes zweites Mikrofon, das als Lautsprecher betrieben wird, Schall mit konstanter Amplitude, aber variabler Frequenz zwischen 3750 Hz und 4500 Hz. Das Maximum der vom Sensormikrofon empfangenen Amplitude definiert die Resonanzfrequenz, ihr Wert (in mV) bedeutet die gerä- tespezifische Mikrofonempfindlichkeit. Durch wiederholtes Aufrufen dieser Funktion (was sinnvollerweise nur nach dem Erreichen eines stabilen Zustande der Temperaturregelung erfolgen soll) und Notieren des Mikrofonsignals über längere Zeit kann überprüft werden, ob eine Drift der Mikrofonempfindlichkeit stattgefunden hat.  With the RESONANCE FREQUENCY SCAN function, the system shuts off the laser as at the end of the PAUSE mode and checks the resonance frequency of the measuring cell (duration approx. 20 seconds). A second microphone built into the measuring cell, which is operated as a loudspeaker, generates sound with a constant amplitude but a variable frequency between 3750 Hz and 4500 Hz. The maximum amplitude received by the sensor microphone defines the resonance frequency, its value (in mV) means device-specific microphone sensitivity. By repeatedly calling this function (which is meaningful only after reaching a stable state of the temperature control) and note the microphone signal for a long time can be checked whether a drift of the microphone sensitivity has taken place.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren kann darüber hinaus eine verbesserte Bestimmung und Berücksichtigung der vom Relativdruck in der Messkammer abhängigen Mikrofon- und Lautsprecherempfindlichkeit realisiert werden.  Moreover, with the method according to the invention, an improved determination and consideration of the microphone and loudspeaker sensitivity dependent on the relative pressure in the measuring chamber can be realized.
Am Beginn des Betriebszustands PAUSE und des Betriebszustands STANDBY führt das Gerät selbständig eine Bewertung des Nullwerts durch. Im Fall einer Grenzwertüberschreitung wird eine Warnung ausgegeben, dass die optischen Fenster gereinigt werden müssen. Bei der Funktion KALIBRIERÜBERPRÜFUNG (SPAN CHECK) wird die gesamte Sensorempfindlichkeit (die Intensität des Laserstrahls sowie die Empfindlichkeit des Mikrofons) mit Hilfe eines Absorberfensters überprüft. At the beginning of the operating state PAUSE and the operating state STANDBY, the device independently carries out an evaluation of the zero value. In the event of a limit violation, a warning is issued that the optical windows must be cleaned. The SPAN CHECK function checks the overall sensitivity of the sensor (the intensity of the laser beam and the sensitivity of the microphone) using an absorber window.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren kann darüber hinaus eine verbesserte Bestimmung und Berücksichtigung der vom Relativdruck in der Messkammer abhängigen Mikrofonempfindlichkeit realisiert werden.  Moreover, with the method according to the invention, an improved determination and consideration of the microphone sensitivity dependent on the relative pressure in the measuring chamber can be realized.
Die Funktion entspricht dem "Span Check" mit Kalibriergasen bei Gasanalysatoren und bedeutet eine Überprüfung der korrekten Kalibrierung des Messgeräts. Sie sollte je nach Einsatz zwischen einmal pro Woche und einmal pro Monat durchgeführt werden.  The function corresponds to the "span check" with calibration gases in gas analyzers and means a check of the correct calibration of the measuring instrument. It should be done between once a week and once a month, depending on the application.
Eine für den Einsatz auf Prüfständen geeignete robuste Realisierung der ursprünglichen Idee, einen optischen Absorber fallweise ins akustische Resonanzrohr einzubringen und damit die Resonanz photoakustisch anzuregen, ist nicht möglich, da der Absorber mikroskopisch kleine Abmessungen besitzen müsste, um die akustischen Eigenschaften der Resonanzzelle nicht zu stören. Außerdem müsste die Absorption weniger als 1 % sein, um ein Signal innerhalb des Messbereichs des erfindungsgemäßen Messgeräts 1 , z.B. als„AVL Micro Soot Sensor Plus" bezeichnet, zu erzeugen. A robust implementation of the original idea suitable for use on test benches, occasionally introducing an optical absorber into the acoustic resonance tube and thus stimulating the resonance photoacoustically, is not possible since the absorber would have to have microscopically small dimensions so as not to disturb the acoustic properties of the resonance cell , In addition, the absorption would have to be less than 1% in order to obtain a signal within the measuring range of the measuring device 1 according to the invention, e.g. as "AVL Micro Soot Sensor Plus".
Hingegen hat es sich bewährt, ein Objekt mit großer Absorption außerhalb des Resonanzrohres in einem photoakustisch weniger empfindlichen Bereich der Messzelle nahe dem Eintritts- oder Austrittsfenster des Laserstrahls einzufügen. Die Befestigung des Absorbers er- folgt direkt am Messzellenfenster, was ein einfaches, robustes und zuverlässiges Einsetzen ermöglicht. Allerdings ist es - bedingt durch Fertigungstoleranzen von Absorber und Messzelle - nicht vorgesehen, die Absorberfenster verschiedener Geräte untereinander zu tauschen. Das bedeutet, dass ein Absorberfenster ausschließlich zusammen mit einer ganz bestimmten Messzelle verwendet wird. Der Absorptions- oder Standardwert dieser Einheit wird im Zuge der Werkskalibrierung bestimmt und in der Firmware gespeichert, und nur diese Einheit wird zur Kalibrierüberprüfung eines bestimmten Geräts verwendet.  On the other hand, it has proven useful to insert an object with high absorption outside the resonance tube in a photoacoustically less sensitive area of the measuring cell near the entrance or exit window of the laser beam. The absorber is fastened directly to the measuring cell window, which enables simple, robust and reliable insertion. However, due to manufacturing tolerances of the absorber and measuring cell, it is not intended to exchange the absorber windows of different devices with one another. This means that an absorber window is only used together with a specific measuring cell. The unit's absorbance or default value is determined during factory calibration and stored in the firmware, and only that unit is used to calibrate a particular device.
Die Kalibrierüberprüfung kann nach der Aufwärmphase durchgeführt werden. Dazu wird der Laser aktiviert und der mit dem Absorberfenster erhaltene Wert und seine Abweichung vom Referenzwert werden angezeigt. Die Wiederholbarkeit dieser Kalibrierüberprüfung beträgt ungefähr 5 %, und solange der angezeigte Wert innerhalb dieses Limits mit dem Referenzwert übereinstimmt, sind keine weiteren Schritte nötig. Bei einer größeren Abweichung soll die Kalibrierüberprüfung wiederholt werden, um statistische Ausreißer ausschließen zu können. Bei einer systematischen Abweichung zwischen 10 % und 50 % kann der Benutzer den neu ermittelten Kalibrierfaktor in das Gerät übernehmen, und bei jeder Abweichung, die grö- ßer als 10 % ist, sollte eine erneute Messwert-Kalibrierung in Betracht gezogen werden. Die Funktion LINEARITÄTSTEST dient einerseits zur Überprüfung der Linearität zwischen der Antwort des Mikrofons und der Aktivierungsleistung des eingebauten Lautsprechers, um die korrekte Funktion des Sensormoduls in der Messzelle sicherzustellen, und andererseits zur Überprüfung der Linearität zwischen Laserleistung und Strom oberhalb des Schwellwerts für die Laseraktivität der Laserdiode. The calibration check can be performed after the warm-up phase. For this purpose, the laser is activated and the value obtained with the absorber window and its deviation from the reference value are displayed. The repeatability of this calibration check is approximately 5%, and as long as the displayed value within this limit matches the reference value, no further steps are necessary. In the case of a larger deviation, the calibration check should be repeated in order to rule out statistical outliers. With a bias of between 10% and 50%, the user can apply the newly determined calibration factor to the instrument, and any deviation greater than 10% should consider re-measurement calibration. The function LINEARITY TEST serves on the one hand to check the linearity between the response of the microphone and the activation power of the built-in loudspeaker to ensure the correct functioning of the sensor module in the measuring cell, and on the other hand to check the linearity between laser power and current above the threshold for the laser diode laser activity ,
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren kann darüber hinaus eine verbesserte Bestimmung und Berücksichtigung der vom Relativdruck in der Messkammer abhängigen Mikrofon- und Lautsprecherempfindlichkeit realisiert werden.  Moreover, with the method according to the invention, an improved determination and consideration of the microphone and loudspeaker sensitivity dependent on the relative pressure in the measuring chamber can be realized.
Bei der Linearitätsüberprüfung des Mikrofons wird der Lautsprecher in der Messzelle se- quentiell mit einer Leistung von 10 bis 100 % der Leistung betrieben, die während des Resonanzfrequenz Scans verwendet wird. Die Antwort des Mikrofons wird aufgezeichnet, und eine lineare Regression zwischen der Lautsprecherleistung und dem Mikrofonsignal wird berechnet. Der angezeigte Regressionskoeffizient sollte über 0,95 liegen. Kleinere Regressionskoeffizienten deuten auf Fehler von Lautsprecher oder Mikrofon hin. Ist die Integrität von Lautsprecher und Mikrofon nicht gewährleistet, muss die Messzelle ersetzt werden.  The linearity check of the microphone causes the loudspeaker in the measuring cell to be operated sequentially at a power of 10 to 100% of the power used during the resonance frequency scan. The response of the microphone is recorded and a linear regression between the speaker power and the microphone signal is calculated. The displayed regression coefficient should be above 0.95. Smaller regression coefficients indicate errors in the speaker or microphone. If the integrity of the speaker and microphone is not guaranteed, the measuring cell must be replaced.
Damit die Linearitätsüberprüfung des Lasers mit einem reproduzierbaren Signal durchgeführt werden kann, wird das Absorberfenster installiert. Der Laser wird mit Strömen von 10 bis 120 % jener Differenz betrieben, die zwischen dem Schwellwert des Stroms für Laseraktivität und dem Nominalstrom für 1 W im Standardbetrieb liegt. Die Antwort des Mikrofons wird aufge- zeichnet, und eine lineare Regression zwischen Strom und Mikrofonsignal wird berechnet. Der angezeigte Regressionskoeffizient sollte über 0,95 liegen. Kleinere Regressionskoeffizienten deuten auf Fehler von Laser oder Lasertreiber hin. In diesem Fall müssen Laser und/oder Lasertreiber ersetzt werden. So that the linearity check of the laser can be carried out with a reproducible signal, the absorber window is installed. The laser is operated with currents of 10 to 120% of the difference between the threshold of the laser activity current and the nominal current of 1 W in standard operation. The response of the microphone is recorded and a linear regression between current and microphone signal is calculated. The displayed regression coefficient should be above 0.95. Smaller regression coefficients indicate errors from lasers or laser drivers. In this case, laser and / or laser drivers must be replaced.
Bezugszeichen: Messgerät 1 Reference number: Measuring device 1
Messkomponente 2 Messgas 3 Measuring component 2 measuring gas 3
Messkammer 4 Schallaufnehmer 5 Auswerteeinheit 6 Anregestrahlung 7 Absorber 8 Measuring chamber 4 Sound sensor 5 Evaluation unit 6 Stimulating radiation 7 Absorber 8
Messgaspumpe 9 Schallgeber 10 Anregevorrichtung 1 1 Ermittlungseinheit 12 Druckmesseinheit 13 Steuereinheit 14 Drosselventil 15 Umschaltventil 16 Entnahmestelle 17 Abgasleitung 18 Konditioniereinheit 19 Einlassventil 20 Measuring gas pump 9 Sounder 10 Starting device 1 1 Determining unit 12 Pressure measuring unit 13 Control unit 14 Throttling valve 15 Changeover valve 16 Sampling point 17 Exhaust pipe 18 Conditioning unit 19 Intake valve 20
Messeigenschaft C Koeffizient Kn Umgebungsdruck Pu Messkammerdruck PM Ermittlungsdruck PE Measurement Characteristic C Coefficient K n Ambient pressure Pu Measuring chamber pressure P M Detection pressure P E

Claims

Patentansprüche claims
1 . Verfahren zum Betreiben eines Messgeräts (1 ), welches zur Messung einer Messeigenschaft (C) einer Messkomponente (2) in einem Messgas (3) geeignet ist, wobei das Messgas (3) in einer Messkammer (4) photoakustisch angeregt wird, der dabei erzeugte Schall mit einem Schallaufnehmer (5) aufgenommen wird und das aufgenommene Signal in einer Auswerteeinheit (6) zur Ermittlung der Messeigenschaft (C) ausgewertet wird, wobei die Auswerteeinheit (6) die ermittelte Messeigenschaft (C) mittels einer Korrekturfunktion korrigiert, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ermittlung zumindest eines Parameters der Korrekturfunktion zumindest einmal ein Ermittlungsdruck (PE) in der Messkammer (4) eingestellt wird, der Absolutdruck (P) in der Messkammer (4) bei diesem Ermittlungsdruck (PE) ermittelt wird, bei diesem Absolutdruck (P) zumindest eine Ermittlungsmessung bei einer Ermittlungsanregung durchgeführt wird, und der zumindest eine Parameter anhand des Absolutdrucks (P) und des Ermittlungsmessergebnisses (CE) der Ermittlungsmessung ermittelt wird. 1 . Method for operating a measuring device (1), which is suitable for measuring a measuring characteristic (C) of a measuring component (2) in a measuring gas (3), wherein the measuring gas (3) is photoacoustically excited in a measuring chamber (4) which produced thereby Sound is recorded with a sound pickup (5) and the recorded signal is evaluated in an evaluation unit (6) for determining the measurement property (C), wherein the evaluation unit (6) corrects the determined measurement property (C) by means of a correction function, characterized in that for determining at least one parameter of the correction function at least once a determination pressure (P E ) in the measuring chamber (4) is set, the absolute pressure (P) in the measuring chamber (4) at this determination pressure (P E ) is determined at this absolute pressure (P ) is carried out at least one determination measurement in a determination initiation, and the at least one parameter based on the absolute pressure (P) and the Ausmittlungsmessergeb (C E ) of the determination measurement is determined.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Ermittlungsdruck (PE) als ein Relativdruck zum Umgebungsdruck (Pu) definiert ist. 2. The method according to claim 1, characterized in that the determination pressure (P E ) is defined as a relative pressure to the ambient pressure (Pu).
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass als Ermittlungsanregung eine in der Anregungsstärke reproduzierbare und von der Messkomponente unabhängige akustische Ermittlungsschwingung angeregt wird.  3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that is excited as a detection excitation reproducible in the excitation strength and independent of the measuring component acoustic detection oscillation.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Ermittlungsanregung akustisch mittels eines Schallgebers (10) erzeugt wird.  4. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the detection excitation is generated acoustically by means of a sound generator (10).
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Ermittlungsanregung photoakustisch erzeugt wird.  5. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the detection excitation is generated photoacoustically.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Ermittlungsanregung mittels eines in einem Strahlengang einer zur Erzeugung des photoakustischen Effekts verwendeten elektromagnetischen Anregestrahlung (7) angeordneten Absorbers (8) erzeugt wird.  6. The method according to claim 5, characterized in that the detection excitation by means of a in a beam path of an electromagnetic excitation radiation used for generating the photoacoustic effect (7) arranged absorber (8) is generated.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Ermittlungsdruck (PE) in der Messkammer (4) von einer Pumpvorrichtung, vorzugsweise von der im Messgerät (1 ) vorhandenen Messgaspumpe (9), erzeugt wird. 7. The method according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the detection pressure (P E ) in the measuring chamber (4) by a pumping device, preferably of the measuring device (1) existing sample gas pump (9) is generated.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Parameter der Korrekturfunktion ein Koeffizient (Kn) einer Polynomfunktion erster, zweiter oder höherer Ordnung ist. 8. The method according to any one of claims 1 to 7, characterized in that at least one parameter of the correction function is a coefficient (K n ) of a polynomial function of the first, second or higher order.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Polynomfunktion den Term9. The method according to claim 8, characterized in that the polynomial function the term
o + K-i * ((P - Po) / Po) + K2 * ((P - Po) / Pof o + Ki * ((P - Po) / Po) + K 2 * ((P - Po) / Pof
enthält, wobei P der Absolutdruck in der Messkammer ist, P0 der Referenzdruck bei Normbedingungen, vorzugsweise 1013 mbar, ist, und K0, K-i und K2 Koeffizienten der Polynomfunktion sind. where P is the absolute pressure in the measuring chamber, P 0 is the reference pressure at standard conditions, preferably 1013 mbar, and K 0 , Ki and K 2 are coefficients of the polynomial function.
10. Messgerät (1 ) zur Messung einer Messeigenschaft (C) einer Messkomponente (2) in einem Messgas (3), wobei das Messgerät (1 ) eine Messkammer (4), zumindest eine Anregevorrichtung (1 1 ) zur photoakustischen Anregung des Messgases (3) in der Messkammer (4), einen Schallaufnehmer (5) und eine Auswerteeinheit (6) aufweist, wobei mit der Auswerteeinheit (6) das vom Schallaufnehmer (5) aufgenommene Signal zur Ermittlung einer Messeigenschaft (C) auswertbar und die Messeigenschaft (C) mittels einer Korrekturfunktion korrigierbar ist, und wobei an der Messkammer (4) eine Druckmesseinheit (13) zur Ermittlung des Absolutdrucks (P) in der Messkammer (4) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Messgerät eine Ermittlungseinheit (12) aufweist, mit der zur Ermittlung von zumindest einem Parameter der Korrekturfunktion ein Ermittlungsdruck (PE) in der Messkammer (4) einstellbar, der Absolutdruck (P) bei diesem Ermittlungsdruck (PE) ermittelbar und bei diesem Absolutdruck (P) zumindest eine Ermittlungsmessung bei einer Ermittlungsanregung durchführbar ist, wobei zumindest ein Parameter der Korrekturfunktion aus zumindest dem gemessenen Absolutdruck (P) und dem Ermittlungsmessergebnis (CE) der Ermittlungsmessung mit der Ermittlungseinheit (12) ermittelbar ist. 10. Measuring device (1) for measuring a measuring characteristic (C) of a measuring component (2) in a measuring gas (3), wherein the measuring device (1) has a measuring chamber (4), at least one starting device (1 1) for photoacoustic excitation of the measuring gas ( 3) in the measuring chamber (4), a sound pickup (5) and an evaluation unit (6), wherein with the evaluation unit (6) from the sound pickup (5) recorded signal to determine a fair property (C) evaluable and the fair property (C ) is correctable by means of a correction function, and wherein at the measuring chamber (4) a pressure measuring unit (13) for determining the absolute pressure (P) in the measuring chamber (4) is provided, characterized in that the measuring device has a detection unit (12), with the determination of at least one parameter of the correction function, a determination pressure (P E ) in the measuring chamber (4) adjustable, the absolute pressure (P) at this determination pressure (P E ) determined and at this absolute pressure (P) at At least one parameter of the correction function can be determined from at least the measured absolute pressure (P) and the determination result (C E ) of the determination measurement with the determination unit (12).
1 1 . Messgerät (1 ) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass an der Messkammer (4) ein Schallgeber (10) zur akustischen Ermittlungsanregung angeordnet ist.  1 1. Measuring device (1) according to claim 10, characterized in that a sound generator (10) for acoustic detection excitation is arranged on the measuring chamber (4).
12. Messgerät (1 ) nach Anspruch 10 oder 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass zur Ermittlung des zumindest einen Parameters der Korrekturfunktion ein Absorber (8) in einem Strahlengang der zur Erzeugung des photoakustischen Effekts verwendeten elektromagnetischen Anregestrahlung (7) angeordnet ist.  12. Measuring device (1) according to claim 10 or 1 1, characterized in that for determining the at least one parameter of the correction function, an absorber (8) is arranged in a beam path of the electromagnetic stimulation radiation used for generating the photoacoustic effect (7).
13. Messgerät (1 ) nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Messgerät (1 ) eine Pumpvorrichtung, vorzugsweise eine Messgaspumpe (9) aufweist, mittels der der Ermittlungsdruck in der Messkammer (4) einstellbar ist.  13. Measuring device (1) according to one of claims 10 to 12, characterized in that the measuring device (1) has a pumping device, preferably a sample gas pump (9), by means of which the determination pressure in the measuring chamber (4) is adjustable.
14. Messgerät (1 ) nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Ermittlungseinheit (12) dazu eingerichtet ist, den zumindest einen Parameter der Korrekturfunktion vor jedem Prüflauf erneut zu ermitteln.  14. Measuring device (1) according to any one of claims 10 to 13, characterized in that the determining unit (12) is adapted to determine the at least one parameter of the correction function before each test run again.
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