WO2016036020A1 - 이동형 플라즈마 장치 - Google Patents

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WO2016036020A1
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plasma source
plasma
moving
chamber
tray
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PCT/KR2015/008284
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양창실
김태룡
박종인
권기청
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비아이 이엠티 주식회사
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    • H05H1/24—Generating plasma
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    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Definitions

  • the present invention relates to a mobile plasma apparatus, and more particularly, to a mobile plasma apparatus for moving a plasma source unit for generating a plasma to texture a substrate.
  • a solar cell is an element in which electromotive force is generated by a minority carrier excited by sunlight in a PN junction semiconductor.
  • Semiconductors used to manufacture such solar cells include monocrystalline silicon, polycrystalline silicon, amorphous silicon, compound semiconductors, and the like.
  • Single crystal silicon has the best energy conversion efficiency, but due to its high cost, polycrystalline silicon is used more frequently. Recently, thin film of amorphous silicon or compound semiconductor is deposited on inexpensive substrates such as glass or plastic. Solar batteries are also used a lot.
  • the substrate is subjected to a texturing process on the surface.
  • Texturing is a process of forming fine irregularities of a predetermined shape on the surface of the substrate, and the irregularities are preferably pyramidal.
  • a plasma source portion for generating a plasma is conventionally fixed, and a substrate is moved through a conveyor or the like.
  • the present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object thereof is to provide a mobile plasma apparatus capable of reducing the overall size of a plasma apparatus for texturing a substrate.
  • a mobile plasma apparatus of the present invention includes a tray on which a substrate is disposed; A plasma source unit generating plasma and radiating the plasma in a direction in which the tray is disposed; And a moving unit for linearly moving the plasma source unit with respect to the tray, wherein the plasma source unit linearly moves and radiates plasma to the substrate placed on the tray.
  • a matcher for adjusting the impedance by connecting the plasma source and the power supply, the power supply and the matcher is fixed and the plasma source is moved.
  • the plasma source unit and the matcher are connected by coaxial cable.
  • the moving unit comprises: a moving block mounted to the plasma source unit and having a through hole formed therein; A screw penetrating the through hole; It consists of a drive motor for rotating the screw, the inner circumferential surface of the through hole and the outer circumferential surface of the screw are screwed together, the plasma source portion is linearly moved by the rotation of the drive motor.
  • a lower chamber coupled to the tray and having an upper surface open; And a lower chamber coupled to an upper portion of the lower chamber and having an open lower surface, wherein the lower chamber and the upper chamber are coupled to each other to form a chamber portion therein, and the plasma source portion of the tray is formed inside the chamber portion. Plasma is emitted to the substrate placed on the upper surface.
  • a matcher Motcher
  • the moving hole is equipped with a corrugated pipe in the front and rear of the moving direction of the upper portion of the plasma source portion, the corrugated tube is stretched when the plasma source portion is moved to seal the inside of the chamber portion from the outside.
  • the moving part includes a first guide rail coupled to an upper surface of the lower chamber to guide linear movement of the plasma source part.
  • the moving part includes a second guide rail coupled along a longitudinal direction of the moving hole on an outer upper surface of the upper chamber, and is linear to the second guide rail on an upper portion of the plasma source part outside the upper chamber.
  • a guide block movably coupled is mounted, and the guide block moves linearly along the second guide rail when the plasma source portion moves linearly.
  • the plasma source unit not the substrate, is moved, so that the space for inputting and discharging the substrate and the space for texturing are not required separately, thereby reducing the size of the plasma texturing apparatus as a whole.
  • FIG. 1 is a perspective view of a mobile plasma device according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of a mobile plasma device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 1;
  • Figures 4a and 4b is an operation of the mobile plasma device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a perspective view of a mobile plasma apparatus according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of the mobile plasma apparatus according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 1. It is a structural diagram.
  • the mobile plasma apparatus of the present invention includes a lower chamber 11, an upper chamber 12, a tray 20, a plasma source unit 30, and a moving unit 40. ), Matcher 50 and the like.
  • the lower chamber 11 is formed recessed downwardly, the upper surface is opened in the upward direction, the tray 20 is coupled to the inside.
  • the upper chamber 12 is formed recessed in an upward direction and has a lower surface opened downward.
  • the upper chamber 12 is coupled to an upper portion of the lower chamber 11, and an empty space in the lower chamber 11 and the upper chamber 12 forms a chamber portion 15.
  • a moving hole 13 is formed long in the moving direction of the plasma source unit 30, and an upper portion of the plasma source unit 30 moves along the moving hole 13. .
  • the tray 20 has a flat plate shape, is coupled to an upper portion of the lower chamber 11 in the chamber part 15, and a substrate 60 is disposed on an upper surface thereof.
  • a plurality of adsorption holes 21 are formed in the tray 20, and the adsorption holes 32 are connected to a vacuum pump to vacuum the substrate 60 placed on the upper surface of the tray 20 in the tray 20. It is preferable to fix by adsorption.
  • the plasma source unit 30 generates plasma to emit plasma in a direction in which the tray 20 is disposed, that is, in a downward direction in this embodiment.
  • the plasma source unit 30 emits plasma to the substrate 60 placed on the upper surface of the tray 20 in the chamber unit 15.
  • the plasma source portion 30 has an upper portion exposed upward through the moving hole 13 formed in the upper chamber 12, and the lower portion is disposed in the chamber portion 15.
  • the substrate 60 placed on the tray 20 by the plasma radiated from the plasma source unit 30 in the chamber 15 is textured.
  • the corrugated pipe 14 is mounted to the moving hole 13 at the front and the rear of the upper portion of the plasma source part 30.
  • the corrugated pipe 14 is expanded and contracted when the plasma source part 30 moves to seal the inside of the chamber part 15 from the outside.
  • the moving unit 40 linearly moves the plasma source unit 30 with respect to the tray 20.
  • the moving part 40 causes the plasma source part 30 to linearly radiate plasma to the entirety of the substrate 60 placed on the tray 20.
  • the plasma source part 30 is linearly moved along the moving hole 13 by the moving part 40.
  • the moving part 40 may have various structures, but in the present embodiment, the moving part 40 includes a moving block 41, a screw 42, a driving motor 43, and the like.
  • the movable block 41 is mounted to the plasma source unit 30 and has a through hole formed therein.
  • the screw 42 passes through the through hole, and the inner circumferential surface of the through hole and the outer circumferential surface of the screw 42 are screwed together.
  • the screw 42 is disposed in a direction parallel to the moving hole (13).
  • the drive motor 43 serves to rotate the screw 42.
  • the plasma source 30 is mounted on the movable block 41 screwed with the screw 42 and the plasma source part 30.
  • the part 30 is linearly moved along the screw 42 and the moving hole 13.
  • the moving unit 40 as described above may further include a first guide rail 44, a second guide rail 45, and a guide block 46.
  • the first guide rail 44 is coupled to the upper surface of the lower chamber 11 in parallel with the moving hole 13 and the screw 42 to guide the linear movement of the plasma source unit 30.
  • the second guide rail 45 is coupled to both sides of the moving hole 13 along the longitudinal direction of the moving hole 13 on the outer upper surface of the upper chamber 12.
  • the guide block 46 is coupled to the upper portion of the plasma source unit 30 outside the upper chamber 12 and linearly coupled to the second guide rail 45.
  • the matcher 50 controls the impedance by connecting the plasma source unit 30 and the power supply unit 55.
  • the matcher 50 performs stabilization of the plasma by adjusting the impedance using a capacitor.
  • the power supply unit 55 and the matcher 50 are fixed, and the plasma source unit 30 is moved by the moving unit 40.
  • the matcher 50 is fixedly coupled to the outside of the chamber 15.
  • the plasma source unit 30 and the matcher 50 are connected by a coaxial cable 35.
  • the matcher 50 and the plasma source unit 30 are connected by the coaxial cable 35, the matcher 50 and the plasma source unit 30 may be more resistant to heat generated when the impedance is changed.
  • the impedance may be changed according to the distance between the plasma source unit 30 and the substrate 60 to generate heat.
  • the matcher 50 and the plasma source unit 30 may be connected by a coaxial cable 35.
  • the thermal resistance range is wider, and it can withstand the heat caused by the change of impedance.
  • 4A and 4B are operational flowcharts of the mobile plasma apparatus according to the embodiment of the present invention.
  • the substrate 60 is disposed on the tray 20 disposed in the chamber 15.
  • the guide block 46 is separated from the upper portion of the plasma source part 30, and then the lower chamber 11 is lowered or the The upper chamber 12 is raised to allow the lower chamber 11 and the upper chamber 12 to be spaced apart from each other, so that the substrate 60 is disposed on the tray 20 therebetween.
  • the moving unit 40 is operated.
  • a current and a gas are supplied to the plasma source unit 30 to radiate plasma to the substrate 60 disposed below the plasma source unit 30 so that the plasma source unit 30 moves.
  • the entire substrate 60 is textured.
  • the moving plasma source part 30 is linearly moved along the moving hole 13, the first guide rail 44, and the second guide rail 45.
  • the corrugated pipe 14 is installed in the moving hole 13, even though the plasma source part 30 moves along the moving hole 13, the corrugated pipe 14 is stretched and the chamber part ( The inside of the 15 may be sealed from the outside to prevent foreign substances from flowing into the chamber 15 or the gas inside the chamber 15 when the substrate 60 is textured. can do.
  • the plasma source unit 30 is moved instead of the substrate 60, so that the space for inputting and discharging the substrate 60 and the space for texturing are not required separately, and thus the overall size of the plasma texturing apparatus. Can be reduced.
  • the mobile plasma apparatus of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and may be variously modified and implemented within the range in which the technical idea of the present invention is permitted.
  • the present invention can be applied to an apparatus for texturing a substrate while the plasma is moving.

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Abstract

본 발명은 이동형 플라즈마 장치에 관한 것으로서, 특히 플라즈마를 발생시키는 플라즈마소스부가 이동하여 기판을 텍스쳐링하는 이동형 플라즈마 장치에 관한 것이다. 본 발명의 이동형 플라즈마 장치는, 상면에 기판이 배치되는 트레이와; 플라즈마를 발생시켜 상기 트레이가 배치된 방향으로 방사하는 플라즈마소스부와; 상기 트레이에 대하여 상기 플라즈마소스부를 직선이동시키는 이동부;를 포함하여 이루어지되, 상기 플라즈마소스부는 직선이동하면서 상기 트레이에 놓인 상기 기판에 플라즈마를 방사하는 것을 특징으로 한다.

Description

이동형 플라즈마 장치
본 발명은 이동형 플라즈마 장치에 관한 것으로서, 특히 플라즈마를 발생시키는 플라즈마소스부가 이동하여 기판을 텍스쳐링하는 이동형 플라즈마 장치에 관한 것이다.
태양전지는 PN접합 반도체의 내부에서 태양광에 의해 여기된 소수캐리어에 의해 기전력이 발생하는 소자이다.
이러한 태양전지를 제조하는데 사용되는 반도체에는 단결정실리콘, 다결정실리콘, 비정질실리콘, 화합물반도체 등이 있다.
단결정실리콘이 에너지 변환효율이 가장 좋긴 하지만 가격이 비싼 단점 때문에 다결정실리콘이 보다 많이 사용되고, 최근에는 비정질실리콘이나 화합물반도체 등의 박막을 유리나 플라스틱 등의 값싼 기판에 증착함으로써 매우 저렴하게 제조할 수 있는 박막형 태양전지도 많이 사용되고 있다.
이러한 태양전지 등을 제조함에 있어서, 광 흡수율을 높이기 위하여 기판에 표면에 대하여 텍스쳐링 공정을 실시한다.
텍스쳐링은 기판의 표면에 소정 형상의 미세한 요철을 형성하는 공정으로서, 요철 형상은 주로 피라미드형태인 것이 바람직하다.
이러한 텍스쳐링 공정을 수행하기 위해, 종래에는 플라즈마를 발생시키는 플라즈마소스부가 고정되고, 기판이 컨베이어 등을 통해 이동하였다.
따라서, 기판을 플라스마로 텍스쳐링 하기 전에 투입하기 위한 공간과, 텍스쳐링 한 후의 배출공간이 필요하였는바, 장치의 전체적인 크기 커지게 되는 단점이 있었다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로써, 기판을 텍스쳐링하기 위한 플라즈마 장치의 전체적인 크기를 작게 할 수 있는 이동형 플라즈마 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 이동형 플라즈마 장치는, 상면에 기판이 배치되는 트레이와; 플라즈마를 발생시켜 상기 트레이가 배치된 방향으로 방사하는 플라즈마소스부와; 상기 트레이에 대하여 상기 플라즈마소스부를 직선이동시키는 이동부;를 포함하여 이루어지되, 상기 플라즈마소스부는 직선이동하면서 상기 트레이에 놓인 상기 기판에 플라즈마를 방사하는 것을 특징으로 한다.
상기 플라즈마소스부와 전원공급부를 연결하여 임피던스를 조절하는 매처(Matcher)를 더 포함하여 이루어지되, 상기 전원공급부 및 매처는 고정되고 상기 플라즈마소스부가 이동된다.
상기 플라즈마소스부와 매처는 동축케이블로 연결된다.
상기 이동부는, 상기 플라즈마소스부에 장착되고 관통공이 형성된 이동블럭과; 상기 관통공을 관통하는 스크류와; 상기 스크류를 회전시키는 구동모터로 이루어지되, 상기 관통공의 내주면과 상기 스크류의 외주면은 상호 나사결합되어, 상기 구동모터의 회전에 의해 상기 플라즈마소스부가 직선이동한다.
상기 트레이가 상부에 결합되고 상면이 개방된 하부챔버와; 상기 하부챔버의 상부에 결합되고 하면이 개방된 상부챔버를 더 포함하여 이루어지되, 상기 하부챔버와 상부챔버는 상호 결합되어 내부에 챔버부를 형성하고, 상기 플라즈마소스부는 상기 챔버부의 내부에서 상기 트레이의 상면에 놓인 기판에 플라즈마를 방사한다.
상기 플라즈마소스부와 전원공급부를 연결하여 임피던스를 조절하는 매처(Matcher)를 더 포함하여 이루어지되, 상기 매처는 상기 챔버부의 외부에서 고정 배치되고, 상기 상부챔버에는 상기 플라즈마소스부의 이동방향으로 따라 이동공이 길게 형성되며, 상기 플라즈마소스부의 상부는 상기 이동공을 따라 이동한다.
상기 이동공에는 상기 플라즈마소스부의 상부의 이동방향인 전방 및 후방에 주름관이 장착되되, 상기 주름관은 상기 플라즈마소스부의 이동시 신축되어 상기 챔버부의 내부를 외부로부터 밀폐시킨다.
상기 이동부는, 상기 하부챔버의 상면에 결합되어 상기 플라즈마소스부의 직선이동을 안내하는 제1가이드레일을 포함하여 이루어진다.
상기 이동부는, 상기 상부챔버의 외부 상면에서 상기 이동공의 길이방향을 따라 결합된 제2가이드레일을 포함하여 이루어지고, 상기 상부챔버의 외부에서 상기 플라즈마소스부의 상부에는 상기 제2가이드레일에 직선이동 가능하게 결합된 가이드블럭이 장착되되, 상기 플라즈마소스부의 직선이동시 상기 가이드블럭은 상기 제2가이드레일을 따라 직선이동한다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 이동형 플라즈마 장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명은 기판이 아닌 플라즈마소스부가 이동함으로써, 기판을 투입 및 배출하기 위한 공간과 텍스쳐링하기 위한 공간이 별개로 필요 없게 되어, 전체적으로 플라즈마 텍스쳐링 장치의 크기를 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 이동형 플라즈마 장치의 사시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 이동형 플라즈마 장치의 분해사시도,
도 3은 도 1의 A-A'선을 취하여 본 단면구조도,
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 이동형 플라즈마 장치의 작동과정도.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 이동형 플라즈마 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 이동형 플라즈마 장치의 분해사시도이며, 도 3은 도 1의 A-A'선을 취하여 본 단면구조도이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 이동형 플라즈마 장치는, 하부챔버(11)와, 상부챔버(12)와, 트레이(20)와, 플라즈마소스부(30)와, 이동부(40)와, 매처(50) 등을 포함하여 이루어진다.
상기 하부챔버(11)는 하방향으로 오목하게 함몰되어 형성되고, 상면이 상방향으로 개방되어 있으며, 내부에는 상기 트레이(20)가 결합된다.
상기 상부챔버(12)는 상방향으로 오목하게 함몰되어 형성되고, 하면이 하방향으로 개방되어 있다.
상기 상부챔버(12)는 상기 하부챔버(11)의 상부에 결합되어, 상기 하부챔버(11)와 상부챔버(12) 내부에 빈공간이 챔버부(15)를 형성한다.
그리고 상기 상부챔버(12)에는 상기 플라즈마소스부(30)의 이동방향으로 따라 이동공(13)이 길게 형성되며, 상기 플라즈마소스부(30)의 상부는 상기 이동공(13)을 따라 이동한다.
상기 트레이(20)는 평판 형상으로 이루어지고, 상기 챔버부(15)에서 상기 하부챔버(11)의 상부에 결합되며, 상면에 기판(60)이 배치된다.
상기 트레이(20)에는 다수개의 흡착공(21)이 형성되고 상기 흡착공(32)은 진공펌프와 연결되어, 상기 트레이(20)의 상면에 놓인 기판(60)을 상기 트레이(20)에 진공흡착시켜 고정시키도록 함이 바람직하다.
상기 플라즈마소스부(30)는 플라즈마를 발생시켜 상기 트레이(20)가 배치된 방향 즉 본 실시예에서 하방향으로 플라즈마를 방사한다.
즉, 상기 플라즈마소스부(30)는 상기 챔버부(15)의 내부에서 상기 트레이(20)의 상면에 놓인 기판(60)에 플라즈마를 방사한다.
이러한 상기 플라즈마소스부(30)는 상부가 상기 상부챔버(12)에 형성된 상기 이동공(13)을 관통하여 상방향으로 노출되고, 하부는 상기 챔버부(15) 내부에 배치된다.
따라서, 상기 챔버부(15)의 내부에서 상기 플라즈마소스부(30)에서 방사된 플라즈마에 의해 상기 트레이(20)의 상부에 놓인 상기 기판(60)은 텍스쳐링된다.
그리고, 상기 이동공(13)에는 상기 플라즈마소스부(30)의 상부의 이동방향인 전방 및 후방에 주름관(14)이 장착되어 있다.
상기 주름관(14)은 상기 플라즈마소스부(30)의 이동시 신축되어 상기 챔버부(15)의 내부를 외부로부터 밀폐시킨다.
상기 이동부(40)는 상기 트레이(20)에 대하여 상기 플라즈마소스부(30)를 직선이동시킨다.
이러한 상기 이동부(40)는 상기 플라즈마소스부(30)는 직선이동하면서 상기 트레이(20)에 놓인 상기 기판(60) 전체에 플라즈마를 방사하도록 한다.
즉, 상기 이동부(40)에 의해 상기 플라즈마소스부(30)는 상기 이동공(13)을 따라 직선이동하게 된다.
상기 이동부(40)는 다양한 구조로 이루어질 수 있으나, 본 실시예에서 상기 이동부(40)는, 이동블럭(41)과 스크류(42)와 구동모터(43) 등으로 이루어진다.
상기 이동블럭(41)은 상기 플라즈마소스부(30)에 장착되고 관통공이 형성되어 있다.
상기 스크류(42)는 상기 관통공을 관통하며, 상기 관통공의 내주면과 상기 스크류(42)의 외주면은 상호 나사결합되어 있다.
이러한 상기 스크류(42)는 상기 이동공(13)과 평행한 방향으로 배치된다.
상기 구동모터(43)는 상기 스크류(42)를 회전시키는 역할을 한다.
따라서, 상기 구동모터(43)에 의해 상기 스크류(42)가 회전하게 되면, 상기 스크류(42)와 나사결합된 상기 이동블럭(41) 상기 플라즈마소스부(30)에 장착되어 있는바 상기 플라즈마소스부(30)는 상기 스크류(42) 및 이동공(13)을 따라 직선이동하게 된다.
위와 같은 상기 이동부(40)는, 제1가이드레일(44)과 제2가이드레일(45) 및 가이드블럭(46)을 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 제1가이드레일(44)은 상기 하부챔버(11)의 상면에 상기 이동공(13) 및 스크류(42)와 평행하게 결합되어 상기 플라즈마소스부(30)의 직선이동을 안내한다.
상기 제2가이드레일(45)은 상기 상부챔버(12)의 외부 상면에서 상기 이동공(13)의 길이방향을 따라 상기 이동공(13)의 양측에 길게 결합된다.
상기 가이드블럭(46)은 상기 상부챔버(12)의 외부에서 상기 플라즈마소스부(30)의 상부에 결합되고, 상기 제2가이드레일(45)에 직선이동 가능하게 결합된다.
따라서, 상기 플라즈마소스부(30)의 직선이동시 상기 가이드블럭(46)은 상기 제2가이드레일(45)을 따라 직선이동한다.
상기 매처(50)는 상기 플라즈마소스부(30)와 전원공급부(55)를 연결하여 임피던스를 조절하는 한다.
이러한 상기 매처(50)는 커패시터를 이용하여 임피던스(Impedance)를 조절함으로써 플라즈마의 안정화를 수행한다.
이때, 상기 전원공급부(55) 및 매처(50)는 고정되고, 상기 플라즈마소스부(30)는 상기 이동부(40)에 의해 이동되도록 한다.
상기 매처(50)는 상기 챔버부(15)의 외부에서 고정 결합되도록 한다.
상기 매처(50)가 고정되고 상기 플라즈마소스부(30)가 이동되도록 하기 위해, 상기 플라즈마소스부(30)와 매처(50)는 동축케이블(35)로 연결된다.
상기 매처(50)와 플라즈마소스부(30)가 동축케이블(35)로 연결됨으로써, 임피던스의 변경시 발생되는 열에 보다 잘 견디도록 할 수 있다.
즉, 상기 플라즈마소스부(30)와 기판(60) 사이의 간격에 따라 임피던스가 변경되어 열이 발생될 수 있는데, 상기 매처(50)와 플라즈마소스부(30)를 동축케이블(35)로 연결하고 있기 때문에 열저항 범위가 넓게 되어 임피던스의 변경에 따른 열에 보다 잘 견딜 수 있다.
이하, 상술한 구성으로 이루어진 본 발명의 작동과정에 대하여 살펴본다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 이동형 플라즈마 장치의 작동과정도이다.
도 4a에 도시된 바와 같이 상기 챔버부(15)의 내부에 배치된 상기 트레이(20)의 상부에 상기 기판(60)을 배치한다.
상기 기판(60)을 상기 트레이(20)에 배치하는 방법으로는, 상기 가이드블럭(46)을 상기 플라즈마소스부(30)의 상부에 분리한 후, 상기 하부챔버(11)를 하강시키거나 상기 상부챔버(12)를 상승시켜 상기 하부챔버(11)와 상부챔버(12)가 상호 이격되도록 하여, 그 사이를 통해 상기 기판(60)을 상기 트레이(20)에 배치하도록 한다.
상기 트레이(20)의 상부에 상기 기판(60)을 배치한 후에는 상기 이동부(40)를 작동시킨다.
도 4b에 도시된 바와 같이 상기 구동모터(43)가 작동됨에 따라 상기 스크류(42)는 회전하게 되고, 이로 인해 상기 스크류(42)와 나사 결합된 상기 이동블럭(41)은 직선이동하게 되는데, 이때 상기 이동블럭(41)은 상기 플라즈마소스부(30)에 장착되어 있는바, 상기 플라즈마소스부(30)는 상기 스크류(42)를 따라 직선이동하게 된다.
이와 동시에 상기 플라즈마소스부(30)에 전류 및 가스가 공급되어 상기 플라즈마소스부(30)의 하부에 배치된 상기 기판(60)에 플라즈마를 방사시켜, 상기 플라즈마소스부(30)가 이동하면서 상기 기판(60) 전체를 텍스쳐링하도록 한다.
이동하는 상기 플라즈마소스부(30)는 상기 이동공(13), 제1가이드레일(44) 및 제2가이드레일(45)을 따라 직선이동하게 된다.
이때, 상기 이동공(13)에는 상기 주름관(14)이 장착되어 있는바, 상기 플라즈마소스부(30)가 상기 이동공(13)을 따라 이동하더라도 상기 주름관(14)이 신축되어 상기 챔버부(15)의 내부를 외부로부터 밀폐시킬 수 있어, 상기 기판(60)의 텍스쳐링시 외부의 이물질이 상기 챔버부(15) 내부로 유입되거나 상기 챔버부(15) 내부의 가스가 외부로 방출되는 것을 방지할 수 있다.
위와 같이 본 발명은 기판(60)이 아닌 플라즈마소스부(30)가 이동함으로써, 기판(60)을 투입 및 배출하기 위한 공간과 텍스쳐링하기 위한 공간이 별개로 필요 없게 되어, 전체적으로 플라즈마 텍스쳐링 장치의 크기를 줄일 수 있다.
본 발명인 이동형 플라즈마 장치는 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.
본 발명은 플라즈마가 이동하면서 기판을 텍스쳐링하는 장치에 적용될 수 있다.

Claims (9)

  1. 상면에 기판이 배치되는 트레이와;
    플라즈마를 발생시켜 상기 트레이가 배치된 방향으로 방사하는 플라즈마소스부와;
    상기 트레이에 대하여 상기 플라즈마소스부를 직선이동시키는 이동부;를 포함하여 이루어지되,
    상기 플라즈마소스부는 직선이동하면서 상기 트레이에 놓인 상기 기판에 플라즈마를 방사하는 것을 특징으로 하는 이동형 플라즈마 장치.
  2. 청구항1에 있어서,
    상기 플라즈마소스부와 전원공급부를 연결하여 임피던스를 조절하는 매처(Matcher)를 더 포함하여 이루어지되,
    상기 전원공급부 및 매처는 고정되고 상기 플라즈마소스부가 이동되는 것을 특징으로 하는 이동형 플라즈마 장치.
  3. 청구항2에 있어서,
    상기 플라즈마소스부와 매처는 동축케이블로 연결된 것을 특징으로 하는 이동형 플라즈마 장치.
  4. 청구항1에 있어서,
    상기 이동부는,
    상기 플라즈마소스부에 장착되고 관통공이 형성된 이동블럭과;
    상기 관통공을 관통하는 스크류와;
    상기 스크류를 회전시키는 구동모터로 이루어지되,
    상기 관통공의 내주면과 상기 스크류의 외주면은 상호 나사결합되어, 상기 구동모터의 회전에 의해 상기 플라즈마소스부가 직선이동하는 것을 특징으로 하는 이동형 플라즈마 장치.
  5. 청구항1에 있어서,
    상기 트레이가 상부에 결합되고 상면이 개방된 하부챔버와;
    상기 하부챔버의 상부에 결합되고 하면이 개방된 상부챔버를 더 포함하여 이루어지되,
    상기 하부챔버와 상부챔버는 상호 결합되어 내부에 챔버부를 형성하고,
    상기 플라즈마소스부는 상기 챔버부의 내부에서 상기 트레이의 상면에 놓인 기판에 플라즈마를 방사하는 것을 특징으로 하는 이동형 플라즈마 장치.
  6. 청구항5에 있어서,
    상기 플라즈마소스부와 전원공급부를 연결하여 임피던스를 조절하는 매처(Matcher)를 더 포함하여 이루어지되,
    상기 매처는 상기 챔버부의 외부에서 고정 배치되고,
    상기 상부챔버에는 상기 플라즈마소스부의 이동방향으로 따라 이동공이 길게 형성되며,
    상기 플라즈마소스부의 상부는 상기 이동공을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 이동형 플라즈마 장치.
  7. 청구항6에 있어서,
    상기 이동공에는 상기 플라즈마소스부의 상부의 이동방향인 전방 및 후방에 주름관이 장착되되,
    상기 주름관은 상기 플라즈마소스부의 이동시 신축되어 상기 챔버부의 내부를 외부로부터 밀폐시키는 것을 특징으로 하는 이동형 플라즈마 장치.
  8. 청구항5에 있어서,
    상기 이동부는,
    상기 하부챔버의 상면에 결합되어 상기 플라즈마소스부의 직선이동을 안내하는 제1가이드레일을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 이동형 플라즈마 장치.
  9. 청구항6에 있어서,
    상기 이동부는,
    상기 상부챔버의 외부 상면에서 상기 이동공의 길이방향을 따라 결합된 제2가이드레일을 포함하여 이루어지고,
    상기 상부챔버의 외부에서 상기 플라즈마소스부의 상부에는 상기 제2가이드레일에 직선이동 가능하게 결합된 가이드블럭이 장착되되,
    상기 플라즈마소스부의 직선이동시 상기 가이드블럭은 상기 제2가이드레일을 따라 직선이동하는 것을 특징으로 하는 이동형 플라즈마 장치.
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