WO2014029557A3 - Sensor und verfahren zum bestimmen einer temperatur - Google Patents

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    • G01K7/343—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using capacitative elements the dielectric constant of which is temperature dependant

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Sensor (10) zum Bestimmen einer Temperatur, mit einer ersten Isolierschicht (12) aus einem ersten Dielektrikum, welche zwischen einer ersten (14) und einer zweiten Leitschicht (16) aus einem leitfähigen Material angeordnet ist, sowie mit einer zweiten Isolierschicht (18) aus einem zweiten Dielektrikum, welche zwischen der zweiten (16) und einer dritten Leitschicht (20) aus einem leitfähigen Material angeordnet ist, wobei das erste und das zweite Dielektrikum eine unterschiedliche Temperaturabhängigkeit ihrer jeweiligen Permittivität aufweisen. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Bestimmen einer Temperatur mittels eines solchen Sensors (10).
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