WO2013146941A1 - Air filter unit - Google Patents
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- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Definitions
- the present invention relates to an air filter unit that is provided, for example, on the ceiling of a clean room and includes an air volume adjusting mechanism.
- Patent Document 1 and 2 of Patent Document 1 An air filter unit provided with an air volume adjusting mechanism is disclosed in Patent Document 1. 1 and 2 of Patent Document 1, this air filter unit has an air filter box, and the air filter is built in the air filter box.
- the air filter box is attached to a hole in the ceiling, and the air volume adjusting mechanism is provided so as to penetrate the wall portion of the air filter box.
- the operation shaft at the lower end of the air volume adjusting mechanism is connected to a damper in the duct via a flexible shaft.
- the user adjusts the opening / closing amount of the damper by rotating the operation shaft at the lower end protruding to the room side of the air filter box. Accordingly, the air volume supplied to the air filter, that is, the air volume blown out from the air filter to the room side of the clean room can be adjusted by the damper while air is supplied from the duct on the back of the ceiling.
- the outer cylinder of this air volume adjusting mechanism passes through the through hole in the wall portion of the air filter box, and the space between the outer cylinder and the through hole of the air volume adjusting mechanism is hermetically sealed with a sealing material.
- An operation shaft is rotatably disposed in the outer cylinder, and the upper end portion of the operation shaft is connected to the lower end portion of the flexible shaft using a shaft coupling.
- the air filter in the air filter box acts as an air resistor and the pressure in the upper space of the air filter (the upstream space of the air filter) is increased, the upper space of the air filter is located on the indoor side of the air filter box. It is necessary to make the airtightness higher than (the downstream space of the air filter).
- Patent Document 1 3 and 4 of Patent Document 1 are different from the conventional air volume adjusting mechanism shown in FIGS. 1 and 2 of Patent Document 1 in that a new sealing material is applied every time the user adjusts the air volume.
- the air volume adjustment mechanism which does not need to perform has been proposed.
- the link shaft passes through the wall portion of the air filter box, the power shaft is connected to the upper protruding portion of the link shaft, and the operation shaft is connected to the lower protruding portion of the link shaft. .
- a reel material is interposed between the link shaft and the cylindrical fixing fitting that fixes the link shaft.
- another sealing material is interposed between the tubular fixing bracket and the hole in the wall of the air filter box, and is further separated between the set ring that fixes the vertical movement of the link shaft and the lower surface of the box wall.
- the sealing material is interposed.
- the lower end portion of the operation shaft itself is not kept in an airtight state, and is left exposed to the indoor side of the air filter box in which the air filter is disposed (the space downstream of the air filter).
- the shaft itself is not sufficiently airtight. For this reason, the upper space of the air filter (the upstream space of the air filter) is insufficient to maintain sufficient airtightness with respect to the indoor side of the air filter box (the downstream space of the air filter).
- the structure of the air volume adjusting mechanism has a problem that it is complicated and expensive. Therefore, in order to solve the above problems, the present invention is such that the upper space of the air filter in the air filter box (the upstream space of the air filter) is compared with the indoor side of the air filter box (the downstream space of the air filter). It is an object of the present invention to provide an air filter unit that can be held in an airtight state and that can be made inexpensive by employing a simple structure.
- One embodiment of the present invention is an air filter unit.
- the air filter unit An air filter box with built-in air filter and attached to the ceiling hole; An air volume adjusting mechanism for adjusting the amount of air supplied from the duct on the back of the ceiling to the air filter.
- the air volume adjusting mechanism is An air volume adjusting damper that changes the amount of air by changing an inclination angle; and A flexible shaft connected to the damper shaft of the air volume adjusting damper;
- An operation shaft rotatably disposed in the outer cylinder; A shaft coupling connecting the upper end of the operation shaft and the lower end of the flexible shaft;
- a second sealing material for maintaining an airtight state between the flexible shaft and the upper part of the outer cylinder;
- the lower part of the outer cylinder has a lid member attached to the end of the outer
- the operation shaft is sealed in an airtight state in the outer cylinder by the second seal member and the lid member.
- the first seal member holds the space between the outer cylinder and the through hole of the filter frame.
- the operating shaft for the user to rotate is covered with the outer cylinder and sealed in the outer cylinder with the second sealing material and the lid member.
- the lid member is held in an airtight state with respect to the outer cylinder via a third sealing material.
- the operation shaft in the outer cylinder can be maintained in a higher airtight state by using the lid member and the third seal material.
- the air volume adjusting damper is housed in the air filter box.
- the air volume adjustment damper is previously accommodated in the air filter box. For this reason, when the air filter unit is attached to the back of the ceiling, it is not necessary to separately provide the air volume adjusting damper between the air filter box and the duct. Therefore, even after the ceiling construction work for fixing the ceiling plate, the air filter unit can be attached to the back of the ceiling, and the air filter unit attachment work period can be selected flexibly.
- an air filter unit in which the upper space of the air filter in the air filter box can be kept airtight with respect to the indoor side of the air filter box and can be made inexpensive by adopting a simple structure. be able to.
- FIG. 2 is a view showing a part of a cross section taken along line AA of the air filter unit shown in FIG. 1.
- FIG. 2 is a view showing a part of a cross section taken along line BB of the air filter unit shown in FIG. 1.
- FIG. 5A shows a through hole of the filter frame passing through the outer cylinder
- FIG. 5B is a diagram showing an example of the internal structure of the flexible shaft 8.
- FIG. 1 is a perspective view showing a preferred embodiment of an air filter unit of the present invention.
- FIG. 2 is a view showing a part of a cross section taken along line AA of the air filter unit shown in FIG. 3 is a view showing a part of a cross section taken along line BB of the air filter unit shown in FIG.
- An air filter unit 100 shown in FIG. 1 is provided, for example, in a ceiling back SS of a clean room, and is connected to an air supply duct 7 arranged in the ceiling back SS.
- the air filter unit 100 includes, for example, a rectangular parallelepiped air filter box 1, and an air filter 2 and a filter frame 4 are disposed in the air filter box 1.
- the filter frame 4 holds the air filter 2 in the air filter box 1.
- the filter frame 4 is a quadrangular frame body having a rectangular hole 4H at the center in order to arrange the air filter 2.
- the air filter unit 100 includes an air filter box 1, an air filter 2, an air volume adjusting mechanism 3 shown in FIG. 3, a filter frame 4, and a wind direction control plate 29.
- the air filter box 1 and the duct 7 shown in FIG. 2 are arranged on the ceiling SS of the ceiling 5 of the clean room, and the flange 7F of the duct 7 is connected to the flange 1F at the top of the air filter box 1.
- the duct 7 supplies air to the upper space 1G of the air filter box 1 (the upstream space of the air filter 2).
- the filter frame 4 is a rectangular frame in which the air filter 2 is disposed below the upper space 1G of the air filter box 1.
- the wind direction control plate 29 is disposed on the room side (downstream space of the air filter 2) 1M, which is the downstream side of the air filter 2, and the wind direction control plate 29 has a plurality of air holes 29H. The wind direction control plate 29 is exposed from the square hole 6 formed in the ceiling 5 to the indoor side of the clean room.
- the air filter 2 shown in FIG. 2 is a high-performance filter for sterilization called, for example, a HEPA filter.
- a HEPA filter for example, an embossed type filter, a non-separator type filter, or a separator type filter
- the type of the air filter 2 can be arbitrarily selected according to the application.
- An embossed type filter forms an emboss on a sheet-like filter medium instead of using a separator, thereby opening a space between folded filter media.
- the non-separator type filter is fixed using a hot melt adhesive in a state in which the filter medium is bent.
- a plate-like separator is disposed between the folded filter media.
- the filter medium for example, a synthetic fiber material, a glass fiber material, or a film of PTFE (polytetrafluoroethylene) or the like sandwiched between nonwoven fabrics can be used.
- the air volume adjusting mechanism 3 shown in FIGS. 2 and 3 has an air volume adjusting damper 9 shown in FIGS. 2 and 3, a flexible shaft 8 shown in FIG. 3, and a main body mechanism portion 20 shown in FIG.
- the air volume adjusting damper 9 shown in FIGS. 2 and 3 is held in the air filter box 1 in advance, and the air volume adjusting damper 9 is disposed at the entrance of the upper space 1G of the air filter box 1.
- the air volume adjusting damper 9 faces the outlet 7 ⁇ / b> A of the duct 7.
- 2 has an operation shaft 9A, a damper shaft 9B, a damper blade 9C, and a gear box 9D.
- the operation shaft 9A of the air volume adjusting damper 9 When the operation shaft 9A of the air volume adjusting damper 9 is rotated, the operation shaft 9A and the damper shaft 9B are interlocked via a gear in the gear box 9D, so that the damper blade 9C moves in the R direction around the damper shaft 9B. . That is, the inclination angle of the damper blade 9C changes.
- the amount of air taken into the upper space 1G of the air filter box 1 from the duct 7 and supplied to the air filter 2 can be adjusted by moving the damper blade 9C in the R direction and changing the inclination angle.
- the air supplied to the air filter 2 is filtered by the air filter 2, and the air direction control plate 29 is supplied from the lower space 1M of the air filter box 1 to the room side of the clean room through the plurality of air holes 29H.
- FIG. 4 is a cross-sectional view showing a structural example of the main body mechanism portion 20 of the air volume adjusting mechanism 3 shown in FIG.
- the air volume adjustment mechanism 3 shown in FIG. 3 is disposed in the upper space 1G in the air filter box 1 and is a device for a user to remotely adjust the damper blade 9C of the air volume adjustment damper 9 manually.
- the air volume adjusting mechanism 3 includes an air volume adjusting damper 9 disposed above the upper space 1G of the air filter box 1, a flexible shaft 8 that can be bent freely,
- the main body mechanism unit 20 is disposed below the upper space 1G of the air filter box 1.
- the flexible shaft 8 connects the operation shaft 9 ⁇ / b> A and the main body mechanism portion 20.
- the main body mechanism unit 20 includes an outer cylinder 11, a sealing material 12 as a first sealing material, a sealing material 21 as a second sealing material, a plug 22 as a lid member, and a third A sealing material 23 as a sealing material, a flexible shaft receiving member 24 receiving the lower end portion of the flexible shaft 8, and an operation shaft receiving member 25 receiving the operation shaft 28 are provided.
- the outer cylinder 11 shown in FIG. 4 has a first cylinder part 11A and a second cylinder part 11B, and the outer diameter of the first cylinder part 11A is smaller than the outer diameter of the second cylinder part 11B.
- 11 A of 1st cylinder parts and the 2nd cylinder part 11B are cylinder members which have an opening part in both an upper end part and a lower end part.
- the male screw 11M formed on the outer peripheral portion of the lower portion of the first cylindrical portion 11A is screwed into the female screw 11N formed on the inner peripheral portion of the upper portion of the second cylindrical portion 11B, whereby the first cylindrical portion 11A.
- the second cylinder portion 11B are connected.
- the first cylinder portion 11A and the second cylinder portion 11B of the outer cylinder 11 hold the flexible shaft receiving member 24 and seal the flexible shaft receiving member 24 and the operation shaft 28 so that the outer cylinder 11 is outside. On the other hand, it is airtight (sealed).
- a circular through hole 10 is formed in the filter frame 4 in advance.
- An upper outer peripheral portion 11C of the second cylinder portion 11B is fixed by being fitted into the through hole 10 of the filter frame 4.
- the filter frame 4 is fixed by welding to the wall portion 1W of the air filter box 1.
- the sealing material 12 is disposed between the outer peripheral portion 11C at the top of the second cylinder portion 11B and the inner peripheral portion forming the through hole 10 of the filter frame 4.
- the sealing material 12 forms the outer peripheral portion 11C of the upper portion of the second cylinder portion 11B and the through hole 10 of the filter frame 4. Seal it so that air does not pass through it.
- the upper space 1G of the air filter box 1 is airtight with respect to the lower space 1M of the air filter box 1.
- the plug 22 shown in FIG. 4 is a lid member that is detachably attached to the opening 11D in the lower portion of the second cylinder portion 11B of the outer cylinder 11.
- a male screw 22 ⁇ / b> A is formed on the outer periphery of the plug 22, and a female screw 11 ⁇ / b> E is formed on the inner surface of the lower portion of the second tube portion 11 ⁇ / b> B of the outer tube 11.
- the male screw 22A is engaged with the female screw 11E.
- the sealing material 23 is disposed on the male screw 22 ⁇ / b> A, and the sealing material 23 seals between the male screw 22 ⁇ / b> A of the plug 22 and the female screw 11 ⁇ / b> E of the second cylinder portion 11 ⁇ / b> B of the outer cylinder 11.
- the user can use the finger to plug the plug 22 while keeping the male screw 22A of the plug 22 and the female screw 11E of the second cylinder portion 11B of the outer cylinder 11 sealed. Can be gripped and rotated in the V direction. Thereby, the upper space 1G of the air filter box 1 is more airtight than the lower space 1M of the air filter box 1.
- the flexible tube 15 is a long member constituting the flexible shaft 8.
- the receiving member 24 of the flexible shaft receives and fixes the lower end portion 15F of the flexible tube 15.
- the lower end portion 15F of the flexible tube 15 is held by a presser fitting 8P, and the presser fixture 8P is fixed to the wall 1W of the air filter box 1 using a base 8R.
- FIG. 5B shows an example of the internal structure of the flexible shaft 8 shown in FIG.
- the flexible tube 15 has an outer shaft 15A and an inner shaft 15B. Inner shaft 15B is covered with outer shaft 15A.
- the upper end portion 15G of the inner shaft of the flexible tube 15 is connected to the operation shaft 9A.
- the 5B is a member for rotating the inner shaft 15 ⁇ / b> B of the flexible tube 15 of the flexible shaft 8.
- the shaft coupling 14 connects the lower end portion of the inner shaft 15 ⁇ / b> B of the flexible tube 15 and the upper end portion of the operation shaft 13.
- the inner shaft 15B of the flexible tube 15 connects the operation shaft 9A and the operation shaft 13 of the air volume adjusting damper 9 shown in FIG.
- the cylindrical flexible shaft receiving member 24 shown in FIG. 5B has a large-diameter portion 24A and a small-diameter portion 24B, and the small-diameter portion 24B fits into the upper portion of the cylindrical operation shaft receiving member 25.
- the bolt 26 fixes the small diameter portion 24 ⁇ / b> B of the flexible shaft receiving member 24 and the operation shaft receiving member 25.
- the cylindrical operation shaft receiving member 25 receives the operation shaft 13. That is, the operation shaft 13 is held in the operation shaft receiving member 25 so that it can be smoothly rotated by using a plurality of bearings 27.
- the rod 28 is a lower end portion of the operation shaft 13 and is a portion that is sandwiched between tools in order to rotate the operation shaft 13 using a tool such as a wrench.
- an air filter 2 is built in the air filter box 1.
- the outer cylinder 11 of the air volume adjusting mechanism 3 is formed in the through hole 10 of the filter frame 4. It is provided by passing through.
- the air filter box 1 is mounted in a hole 6 provided in the ceiling 5 of the clean room.
- An air volume adjusting damper 9 of the air volume adjusting mechanism 3 is provided in the air filter box 1 in advance.
- the air volume of the air volume adjusting mechanism 3 is provided between the duct 7 disposed on the back side of the ceiling 5 and the air filter 2 in the air filter box 1 only by disposing the air filter box 1 on the ceiling SS.
- An adjustment damper 9 can be arranged.
- a U-shaped groove 2 ⁇ / b> B is provided in the upper part of the filter frame 2 ⁇ / b> A of the air filter 2.
- the U-shaped groove 2B is filled with silicone gel 2C. For this reason, when the flange 4A of the filter frame 4 hits the silicone gel 2C in the U-shaped groove 2B, the airtight state between the air filter 2 and the filter frame 4 is maintained.
- the outer cylinder 11 of the air volume adjusting mechanism 3 passes through the through hole 10 of the filter frame 4.
- the sealing material 12 is disposed between the outer cylinder 11 and the through hole 10 of the filter frame 4
- air does not pass between the outer cylinder 11 and the through hole 10 of the filter frame 4. It is airtight.
- an operation shaft 13 is rotatably arranged in the outer cylinder 11, and an upper end portion of the operation shaft 13 and a lower end portion of the inner shaft 15 B of the flexible tube 15 of the flexible shaft 8 are arranged. They are connected by a shaft coupling 14. Further, as shown in FIG.
- the sealing member 21 is airtight between the receiving member 24 of the flexible shaft and the upper portion of the first cylinder portion 11 ⁇ / b> A of the outer cylinder 11 so that air does not pass therethrough.
- a plug 22 is provided in the second cylinder portion 11 ⁇ / b> B of the outer cylinder 11 so as to be freely opened and closed via a seal material 23.
- the flexible shaft receiving member 24, the operating shaft 13, the shaft coupling 14, and the operating shaft receiving member 25 use the outer cylinder 11, the sealing material 12, the sealing material 21, and preferably the sealing material 23. It can be completely covered from 1M and kept airtight so that air does not leak.
- a caulking material can be used as the material of the sealing materials 12 and 21 shown in FIG.
- This caulking material can be a silicone-based material or a urethane-based material, but the urethane-based material takes a long time to cure, and there is a possibility that a caulking failure due to sagging may occur when caulking a vertical surface. Therefore, a silicone-based material is preferable.
- the silicone material deacetic acid type silicone and dealcohol type are desirable, but deacetic acid type is quick drying and high strength, but it emits acetic acid odor and also corrodes metal.
- a dealcoholization type when used in a clean room, a low siloxane dealcohol type of which a low volatility siloxane is removed from a silicone caulking material is most desirable.
- a jelly-like sealing material made of a viscoelastic body such as a silicone gel having adhesive force and elasticity as disclosed in JP-A-59-193112 is preferable.
- a sealing tape can be used as this sealing tape.
- “tetrafluoroethylene resin non-fired tape (raw tape) for sealing” JISK 6885
- the material of the seal tape is polytetrafluoroethylene.
- the sealing tape is a sealing material used to fill a gap generated in a connecting portion of a pipe for guiding liquid or gas in a water pipe or an air pipe.
- This seal tape retains airtightness by winding an appropriate amount around the male thread of the pipe to be connected and then engaging with the female thread.
- the air volume adjusting operation in the air filter unit 100 including the air volume adjusting mechanism 3 described above will be described.
- the user rotates the left side by holding the plug 22 shown in FIG. 4 with a tool, for example.
- the plug 22 is removed from the lower portion of the second cylinder portion 11B of the outer cylinder 11.
- the sealing material 23 is not destroyed and can be used again.
- the opening part 11D of the lower part of the second cylinder part 11B is opened. If necessary, the old sealing material 23 can be peeled off and a new sealing material 23 can be used.
- the user applies a tool such as a wrench to the rod 28 from the opening 11D in the lower portion of the opened second cylinder portion 11B shown in FIG. 4, and rotates the operation shaft 13 shown in FIG. .
- the inner shaft 15B of the flexible tube 15 connected through the shaft coupling 14 rotates in conjunction with the operation shaft 13.
- the operation shaft 9A of the air volume adjusting damper 9 shown in FIGS. 2 and 3 rotates.
- the operation shaft 9A and the damper shaft 9B are interlocked via a gear in the gear box 9D, and the damper blade 9C shown in FIG. 2 rotates in the R direction.
- the angle of the damper blade 9C is selected, that is, the amount of air taken into the air filter 2 from the duct 7, that is, the amount of air supplied to the air filter 2 is adjusted by changing the inclination angle of the damper blade 9C. be able to.
- the plug 22 shown in FIG. 11 can be attached to the opening 11D of the lower portion of the second cylinder portion 11B. Thereby, the inside of the outer cylinder 11 can be reliably kept in an airtight state again.
- a male screw 22 ⁇ / b> A is formed on the outer peripheral portion of the plug 22, and a female screw 11 ⁇ / b> E is formed on the inner surface of the lower portion of the second cylinder portion 11 ⁇ / b> B of the outer cylinder 11.
- the seal member 23 maintains a state in which the space between the male screw 22A of the plug 22 and the female screw 11E on the inner surface of the lower portion of the second cylinder portion 11B of the outer cylinder 11 is sealed. is doing.
- the seal material 23 is removed from the upper space 1G of the air filter box 1 in spite of adopting a structure in which the plug 22 can be removed from the opening 11D in the lower portion of the second cylinder portion 11B of the outer cylinder 11. Air can be reliably prevented from leaking into the lower space 1M of the air filter box 1 through the outer cylinder 11.
- the space between the outer cylinder 11 and the through hole 10 of the filter frame 4 is held in an airtight state by the first seal member 12. That is, the gap between the outer cylinder 11 and the through hole 10 of the filter frame 4 is closed by the first seal member 12.
- the operation shaft 13 for the user to rotate is covered with the outer cylinder 11 when the operation shaft 13 is not used, and is airtight in the outer cylinder 11 by the second sealing material 21 and the plug 22 which is a lid member. Is sealed.
- the upper space 1G of the air filter 2 in the air filter box 1 can be kept airtight with respect to the lower space 1M of the air filter box 1.
- the main body mechanism portion 20 of the air volume adjusting mechanism 3 employs a simple structure, the air volume adjusting mechanism 3 can be made inexpensive, so that the cost of the air filter unit 100 can be reduced.
- the operation shaft 13 is connected to the operation shaft 13.
- the outer cylinder 11 can be kept in an airtight state by using the plug 22 as a lid member and the seal material 23 as a third seal material.
- a gap between the lower portion of the outer cylinder 11 and the plug 22 which is a lid member is closed with a sealing material 23.
- the air filter unit 100 of the embodiment of the present invention can be attached to the back of the ceiling even after the ceiling construction work for fixing the ceiling plate.
- the installation work period of 100 is shortened, and the work period can be selected flexibly.
- one rectangular damper blade 9C is attached to the damper shaft 9B, but not limited to this, a plurality of damper blades are attached to the damper shaft 9B. May be.
- the U-shaped groove 2 ⁇ / b> B of the filter frame 2 ⁇ / b> A is filled with silicone gel 2 ⁇ / b> C, and the filter frame 4.
- the flange 4A contacts the silicone gel 2C in the U-shaped groove 2B, thereby ensuring an airtight state between the air filter 2 and the filter frame 4.
- the present invention is not limited to this, and the air filter 2 may be fixed by being bolted to the filter frame from below the filter frame via a gasket. Alternatively, the air filter 2 may be fixed by pressing the air filter with its own weight or bolt tightening from above the filter frame to the filter frame via a gasket.
- the flexible shaft 8 has the shaft coupling 14 for connecting the operation shaft 13 and the inner shaft 15B of the flexible tube 15, the positional relationship among the operation shaft 13, the inner shaft 15B, and the shaft coupling 14 is not particularly limited.
- the flexible shaft 8 is not limited to the structure having the outer shaft 15A and the inner shaft 15B shown in FIG.
- the shaft coupling 14 may be arranged independently in the upper part of the outer cylinder 11 instead of in the outer cylinder 11. A part of each configuration of the above embodiment can be omitted, or can be arbitrarily combined so as to be different from the above.
- DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Air filter box, 2 ... Air filter, 3 ... Air volume adjustment mechanism, 4 ... Filter frame, 5 ... Ceiling, 6 ... Ceiling hole, 7 ... Duct, DESCRIPTION OF SYMBOLS 8 ... Flexible shaft, 9 ... Air volume adjustment damper, 10 ... Through-hole, 11 ... Outer cylinder, 12 ... Sealing material, 13 ... Operation shaft, 14 ... Shaft coupling, DESCRIPTION OF SYMBOLS 15 ... Flexible tube, 20 ... Main body mechanism part, 21 ... Sealing material, 22 ... Plug, 23 ... Sealing material, 24 ... Flexible shaft receiving member, 25 ... Operation shaft Receiving member, 28 ... rod, 29 ... wind direction control plate
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Abstract
An air filter unit (100) includes a flexible shaft (8) in which an upper end part thereof is connected at an air-volume-regulating damper (9) of the air filter unit (100), an outer cover (11) attached by mating with a through-hole (10) in a filter frame (4) for supporting an air filter, an operating shaft (13) rotatably disposed in the outer cover (11), and a shaft joint (14) for connecting an upper end part of the operating shaft (13) and a lower end part of a flexible shaft. A first sealing member (12) for maintaining airtightness is provided between the outer cover (11) and the through-hole (10) in the filter frame (4). A second sealing member (21) for maintaining airtightness is provided between the flexible shaft (8) and the top of the outer cover (11). A plug (22) is detachably attached to the bottom of the outer cover (11). Consequently, an upper space (upstream space of air filter) of the air filter inside an air filter box is airtight with respect to the internal side (downstream space of air filter) of the air filter box.
Description
本発明は、例えばクリーンルームの天井に設けられ、風量調節機構を備えるエアフィルタユニットに関する。
The present invention relates to an air filter unit that is provided, for example, on the ceiling of a clean room and includes an air volume adjusting mechanism.
風量調節機構を備えたエアフィルタユニットは、特許文献1に開示されている。特許文献1の図1と図2を参照すると、このエアフィルタユニットは、エアフィルタボックスを有し、このエアフィルタボックス内にエアフィルタが内蔵されている。エアフィルタボックスは天井の穴に取り付けられており、風量調節機構はエアフィルタボックスの壁部に貫通して設けられている。風量調節機構の下端部の操作シャフトは、フレキシブルシャフトを介して、ダクト内のダンパーに接続されている。使用者は、エアフィルタボックスの部屋側に突出している下端部の操作シャフトを回転操作して、ダンパーの開閉量を調節する。これにより、天井裏のダクトからエアフィルタに空気が供給されながら、エアフィルタに供給される空気の風量、すなわちエアフィルタからクリーンルームの部屋側に吹き出す空気の風量をダンパーにより調節することができる。
An air filter unit provided with an air volume adjusting mechanism is disclosed in Patent Document 1. 1 and 2 of Patent Document 1, this air filter unit has an air filter box, and the air filter is built in the air filter box. The air filter box is attached to a hole in the ceiling, and the air volume adjusting mechanism is provided so as to penetrate the wall portion of the air filter box. The operation shaft at the lower end of the air volume adjusting mechanism is connected to a damper in the duct via a flexible shaft. The user adjusts the opening / closing amount of the damper by rotating the operation shaft at the lower end protruding to the room side of the air filter box. Accordingly, the air volume supplied to the air filter, that is, the air volume blown out from the air filter to the room side of the clean room can be adjusted by the damper while air is supplied from the duct on the back of the ceiling.
この風量調節機構の外筒は、エアフィルタボックスの壁部の貫通孔を貫通しており、風量調節機構の外筒と貫通孔の間はシール材により気密になっている。この外筒内には、操作シャフトが回転自在に配置され、操作シャフトの上端部は軸継手を用いてフレキシブルシャフトの下端部に接続されている。
The outer cylinder of this air volume adjusting mechanism passes through the through hole in the wall portion of the air filter box, and the space between the outer cylinder and the through hole of the air volume adjusting mechanism is hermetically sealed with a sealing material. An operation shaft is rotatably disposed in the outer cylinder, and the upper end portion of the operation shaft is connected to the lower end portion of the flexible shaft using a shaft coupling.
ところが、上述した風量調節機構では、使用者が操作シャフトを所定角度回転させることでダンパーの開閉量を調節して所定の風量に調節すると、操作シャフトと外筒との間の環状の間隙に詰め込まれているシール材が操作シャフトの回転により破壊され易い。このため、使用者は、操作シャフトを所定角度回転させて所定の風量に調節する度に、操作シャフトと外筒との間の環状の間隙にシール材を詰め込んで、操作シャフトと外筒との環状の間隙を密封する作業が必要になる。このため、その間隙を密封する作業が非常に面倒で煩わしい。しかも、エアフィルタボックス内のエアフィルタが空気の抵抗体となってエアフィルタの上部空間(エアフィルタの上流側空間)の圧力が高くなるので、エアフィルタの上部空間は、エアフィルタボックスの室内側(エアフィルタの下流側空間)に対して気密性をより高くすることが必要になる。
However, in the air volume adjusting mechanism described above, when the user adjusts the opening / closing amount of the damper by rotating the operation shaft by a predetermined angle to adjust to the predetermined air volume, it is packed in the annular gap between the operation shaft and the outer cylinder. The sealed material is easily destroyed by the rotation of the operation shaft. For this reason, every time the user rotates the operation shaft by a predetermined angle and adjusts it to a predetermined air volume, the user packs the sealing material into the annular gap between the operation shaft and the outer tube, An operation for sealing the annular gap is required. For this reason, the operation | work which seals the clearance gap is very troublesome and troublesome. Moreover, since the air filter in the air filter box acts as an air resistor and the pressure in the upper space of the air filter (the upstream space of the air filter) is increased, the upper space of the air filter is located on the indoor side of the air filter box. It is necessary to make the airtightness higher than (the downstream space of the air filter).
また、特許文献1の図3と図4には、特許文献1の図1と図2に示す従来の風量調節機構とは異なり、使用者が風量の調節をする度に新しいシール材を施す作業を行う必要が無い風量調節機構が提案されている。この風量調節機構では、リンクシャフトがエアフィルタボックスの壁部を貫通しており、リンクシャフトの上方突出部にはパワーシャフトが接続され、リンクシャフトの下方突出部には操作シャフトが接続されている。リンクシャフトとこのリンクシャフトを固定する筒状固定金具との間には、リール材が介在されている。しかも、筒状固定金具とエアフィルタボックスの壁部の孔との間にも別のシール材が介在され、リンクシャフトの上下動を固定するセットリングとボックス壁部下面との間にもさらに別のシール材が介在されている。しかし、操作シャフトの下端部自体が、気密状態に保持されてはおらずに、エアフィルタが配置されているエアフィルタボックスの室内側(エアフィルタの下流側空間)に露出されたままであるので、操作シャフト自体の気密性の保持が十分では無い。このため、エアフィルタの上部空間(エアフィルタの上流側空間)が、エアフィルタボックスの室内側(エアフィルタの下流側空間)に対して気密性を十分に保持するには不十分である。しかも、この風量調節機構の構造は、複雑で高価であるという問題がある。
そこで、本発明は、上記課題を解消するために、エアフィルタボックス内のエアフィルタの上部空間(エアフィルタの上流側空間)が、エアフィルタボックスの室内側(エアフィルタの下流側空間)に対して気密状態に保持でき、しかも簡単な構造を採用して安価にできるエアフィルタユニットを提供することを目的とする。 3 and 4 ofPatent Document 1 are different from the conventional air volume adjusting mechanism shown in FIGS. 1 and 2 of Patent Document 1 in that a new sealing material is applied every time the user adjusts the air volume. The air volume adjustment mechanism which does not need to perform has been proposed. In this air volume adjusting mechanism, the link shaft passes through the wall portion of the air filter box, the power shaft is connected to the upper protruding portion of the link shaft, and the operation shaft is connected to the lower protruding portion of the link shaft. . A reel material is interposed between the link shaft and the cylindrical fixing fitting that fixes the link shaft. In addition, another sealing material is interposed between the tubular fixing bracket and the hole in the wall of the air filter box, and is further separated between the set ring that fixes the vertical movement of the link shaft and the lower surface of the box wall. The sealing material is interposed. However, the lower end portion of the operation shaft itself is not kept in an airtight state, and is left exposed to the indoor side of the air filter box in which the air filter is disposed (the space downstream of the air filter). The shaft itself is not sufficiently airtight. For this reason, the upper space of the air filter (the upstream space of the air filter) is insufficient to maintain sufficient airtightness with respect to the indoor side of the air filter box (the downstream space of the air filter). Moreover, the structure of the air volume adjusting mechanism has a problem that it is complicated and expensive.
Therefore, in order to solve the above problems, the present invention is such that the upper space of the air filter in the air filter box (the upstream space of the air filter) is compared with the indoor side of the air filter box (the downstream space of the air filter). It is an object of the present invention to provide an air filter unit that can be held in an airtight state and that can be made inexpensive by employing a simple structure.
そこで、本発明は、上記課題を解消するために、エアフィルタボックス内のエアフィルタの上部空間(エアフィルタの上流側空間)が、エアフィルタボックスの室内側(エアフィルタの下流側空間)に対して気密状態に保持でき、しかも簡単な構造を採用して安価にできるエアフィルタユニットを提供することを目的とする。 3 and 4 of
Therefore, in order to solve the above problems, the present invention is such that the upper space of the air filter in the air filter box (the upstream space of the air filter) is compared with the indoor side of the air filter box (the downstream space of the air filter). It is an object of the present invention to provide an air filter unit that can be held in an airtight state and that can be made inexpensive by employing a simple structure.
本発明の一態様は、エアフィルタユニットである。当該エアフィルタユニットは、
エアフィルタを内蔵し、天井の孔に取り付けられるエアフィルタボックスと、
前記天井裏のダクトから前記エアフィルタへ供給する空気の量を調節する風量調節機構と、を有する。
前記風量調節機構は、
傾斜角度を変えることで前記空気の量を変える風量調節ダンパーと、
前記風量調節ダンパーのダンパー軸に接続されたフレキシブルシャフトと、
前記エアフィルタを前記エアフィルタボックス内で支えるフィルタフレームの貫通穴にはめ込んで取り付けられた外筒と、
前記外筒の中に回転可能に配置される操作シャフトと、
前記操作シャフトの上端部と前記フレキシブルシャフトの下端部を接続する軸継手と、
を有する。
前記外筒と前記フィルタフレームの前記貫通穴の間を気密状態に保持する第1シール材と、
前記フレキシブルシャフトと前記外筒の上部との間を気密状態に保持する第2シール材と、
前記外筒の下部には、前記外筒の端を開閉可能に取り付けられる蓋部材と、を有する。
前記操作シャフトは、前記外筒内において、前記第2シール部材と前記蓋部材により気密状態に封印されている。
上記構成によれば、外筒とフィルタフレームの貫通穴の間は、第1シール部材により気密状態に保持されている。しかも、使用者が回転操作するための操作シャフトは、操作シャフトを使用しないときには、外筒により覆われ、第2シール材と蓋部材により外筒内に気密状態に封印されている。これにより、エアフィルタボックス内のエアフィルタの上部空間が、エアフィルタボックスの室内側に対して気密状態に保持でき、しかも簡単な構造を採用しているので、風量調節機構を安価にできるので、エアフィルタユニットのコストダウンを図ることができる。 One embodiment of the present invention is an air filter unit. The air filter unit
An air filter box with built-in air filter and attached to the ceiling hole;
An air volume adjusting mechanism for adjusting the amount of air supplied from the duct on the back of the ceiling to the air filter.
The air volume adjusting mechanism is
An air volume adjusting damper that changes the amount of air by changing an inclination angle; and
A flexible shaft connected to the damper shaft of the air volume adjusting damper;
An outer cylinder fitted in a through hole of a filter frame that supports the air filter in the air filter box;
An operation shaft rotatably disposed in the outer cylinder;
A shaft coupling connecting the upper end of the operation shaft and the lower end of the flexible shaft;
Have
A first sealing material that holds an airtight state between the outer cylinder and the through hole of the filter frame;
A second sealing material for maintaining an airtight state between the flexible shaft and the upper part of the outer cylinder;
The lower part of the outer cylinder has a lid member attached to the end of the outer cylinder so as to be openable and closable.
The operation shaft is sealed in an airtight state in the outer cylinder by the second seal member and the lid member.
According to the above configuration, the first seal member holds the space between the outer cylinder and the through hole of the filter frame. In addition, when the operating shaft is not used, the operating shaft for the user to rotate is covered with the outer cylinder and sealed in the outer cylinder with the second sealing material and the lid member. Thereby, the upper space of the air filter in the air filter box can be kept airtight with respect to the indoor side of the air filter box, and since a simple structure is adopted, the air volume adjustment mechanism can be made inexpensive, The cost of the air filter unit can be reduced.
エアフィルタを内蔵し、天井の孔に取り付けられるエアフィルタボックスと、
前記天井裏のダクトから前記エアフィルタへ供給する空気の量を調節する風量調節機構と、を有する。
前記風量調節機構は、
傾斜角度を変えることで前記空気の量を変える風量調節ダンパーと、
前記風量調節ダンパーのダンパー軸に接続されたフレキシブルシャフトと、
前記エアフィルタを前記エアフィルタボックス内で支えるフィルタフレームの貫通穴にはめ込んで取り付けられた外筒と、
前記外筒の中に回転可能に配置される操作シャフトと、
前記操作シャフトの上端部と前記フレキシブルシャフトの下端部を接続する軸継手と、
を有する。
前記外筒と前記フィルタフレームの前記貫通穴の間を気密状態に保持する第1シール材と、
前記フレキシブルシャフトと前記外筒の上部との間を気密状態に保持する第2シール材と、
前記外筒の下部には、前記外筒の端を開閉可能に取り付けられる蓋部材と、を有する。
前記操作シャフトは、前記外筒内において、前記第2シール部材と前記蓋部材により気密状態に封印されている。
上記構成によれば、外筒とフィルタフレームの貫通穴の間は、第1シール部材により気密状態に保持されている。しかも、使用者が回転操作するための操作シャフトは、操作シャフトを使用しないときには、外筒により覆われ、第2シール材と蓋部材により外筒内に気密状態に封印されている。これにより、エアフィルタボックス内のエアフィルタの上部空間が、エアフィルタボックスの室内側に対して気密状態に保持でき、しかも簡単な構造を採用しているので、風量調節機構を安価にできるので、エアフィルタユニットのコストダウンを図ることができる。 One embodiment of the present invention is an air filter unit. The air filter unit
An air filter box with built-in air filter and attached to the ceiling hole;
An air volume adjusting mechanism for adjusting the amount of air supplied from the duct on the back of the ceiling to the air filter.
The air volume adjusting mechanism is
An air volume adjusting damper that changes the amount of air by changing an inclination angle; and
A flexible shaft connected to the damper shaft of the air volume adjusting damper;
An outer cylinder fitted in a through hole of a filter frame that supports the air filter in the air filter box;
An operation shaft rotatably disposed in the outer cylinder;
A shaft coupling connecting the upper end of the operation shaft and the lower end of the flexible shaft;
Have
A first sealing material that holds an airtight state between the outer cylinder and the through hole of the filter frame;
A second sealing material for maintaining an airtight state between the flexible shaft and the upper part of the outer cylinder;
The lower part of the outer cylinder has a lid member attached to the end of the outer cylinder so as to be openable and closable.
The operation shaft is sealed in an airtight state in the outer cylinder by the second seal member and the lid member.
According to the above configuration, the first seal member holds the space between the outer cylinder and the through hole of the filter frame. In addition, when the operating shaft is not used, the operating shaft for the user to rotate is covered with the outer cylinder and sealed in the outer cylinder with the second sealing material and the lid member. Thereby, the upper space of the air filter in the air filter box can be kept airtight with respect to the indoor side of the air filter box, and since a simple structure is adopted, the air volume adjustment mechanism can be made inexpensive, The cost of the air filter unit can be reduced.
好ましくは、前記蓋部材は、前記外筒に対して、第3シール材を介して気密状態に保持されていることを特徴とする。
上記構成によれば、外筒内の操作シャフトは、操作シャフトを使用しない場合には、蓋部材と第3シール材を用いることで、より高い気密状態に保持できる。 Preferably, the lid member is held in an airtight state with respect to the outer cylinder via a third sealing material.
According to the above configuration, when the operation shaft is not used, the operation shaft in the outer cylinder can be maintained in a higher airtight state by using the lid member and the third seal material.
上記構成によれば、外筒内の操作シャフトは、操作シャフトを使用しない場合には、蓋部材と第3シール材を用いることで、より高い気密状態に保持できる。 Preferably, the lid member is held in an airtight state with respect to the outer cylinder via a third sealing material.
According to the above configuration, when the operation shaft is not used, the operation shaft in the outer cylinder can be maintained in a higher airtight state by using the lid member and the third seal material.
好ましくは、前記風量調節ダンパーが、前記エアフィルタボックス内に収納されていることを特徴とする。
上記構成によれば、風量調節ダンパーが予めエアフィルタボックス内に収納されている。このため、エアフィルタユニットを天井裏に取り付ける際に、風量調節ダンパーはエアフィルタボックスとダクトの間に別途設ける工事が不要である。したがって、天井板を固定する天井施工作業の後であっても、エアフィルタユニットを天井裏に取り付けることができ、エアフィルタユニットの取付け作業工期の選択が柔軟にできる。 Preferably, the air volume adjusting damper is housed in the air filter box.
According to the said structure, the air volume adjustment damper is previously accommodated in the air filter box. For this reason, when the air filter unit is attached to the back of the ceiling, it is not necessary to separately provide the air volume adjusting damper between the air filter box and the duct. Therefore, even after the ceiling construction work for fixing the ceiling plate, the air filter unit can be attached to the back of the ceiling, and the air filter unit attachment work period can be selected flexibly.
上記構成によれば、風量調節ダンパーが予めエアフィルタボックス内に収納されている。このため、エアフィルタユニットを天井裏に取り付ける際に、風量調節ダンパーはエアフィルタボックスとダクトの間に別途設ける工事が不要である。したがって、天井板を固定する天井施工作業の後であっても、エアフィルタユニットを天井裏に取り付けることができ、エアフィルタユニットの取付け作業工期の選択が柔軟にできる。 Preferably, the air volume adjusting damper is housed in the air filter box.
According to the said structure, the air volume adjustment damper is previously accommodated in the air filter box. For this reason, when the air filter unit is attached to the back of the ceiling, it is not necessary to separately provide the air volume adjusting damper between the air filter box and the duct. Therefore, even after the ceiling construction work for fixing the ceiling plate, the air filter unit can be attached to the back of the ceiling, and the air filter unit attachment work period can be selected flexibly.
本発明によれば、エアフィルタボックス内のエアフィルタの上部空間が、エアフィルタボックスの室内側に対して気密状態に保持でき、しかも簡単な構造を採用して安価にできるエアフィルタユニットを提供することができる。
According to the present invention, there is provided an air filter unit in which the upper space of the air filter in the air filter box can be kept airtight with respect to the indoor side of the air filter box and can be made inexpensive by adopting a simple structure. be able to.
以下に、本発明の好ましい実施形態を、図面を参照して詳しく説明する。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
図1は、本発明のエアフィルタユニットの好ましい実施形態を示す斜視図である。図2は、図1に示すエアフィルタユニットのA-A線における断面の一部分を示す図である。図3は、図1に示すエアフィルタユニットのB-B線における断面の一部分を示す図である。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
The embodiments described below are preferred specific examples of the present invention, and thus various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention is particularly limited in the following description. Unless otherwise stated, the present invention is not limited to these embodiments.
FIG. 1 is a perspective view showing a preferred embodiment of an air filter unit of the present invention. FIG. 2 is a view showing a part of a cross section taken along line AA of the air filter unit shown in FIG. 3 is a view showing a part of a cross section taken along line BB of the air filter unit shown in FIG.
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
図1は、本発明のエアフィルタユニットの好ましい実施形態を示す斜視図である。図2は、図1に示すエアフィルタユニットのA-A線における断面の一部分を示す図である。図3は、図1に示すエアフィルタユニットのB-B線における断面の一部分を示す図である。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
The embodiments described below are preferred specific examples of the present invention, and thus various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention is particularly limited in the following description. Unless otherwise stated, the present invention is not limited to these embodiments.
FIG. 1 is a perspective view showing a preferred embodiment of an air filter unit of the present invention. FIG. 2 is a view showing a part of a cross section taken along line AA of the air filter unit shown in FIG. 3 is a view showing a part of a cross section taken along line BB of the air filter unit shown in FIG.
図1に示すエアフィルタユニット100は、例えばクリーンルームの天井裏SSに設けられて、天井裏SSに配置された空気供給用のダクト7に接続されている。エアフィルタユニット100は、例えば直方体形状のエアフィルタボックス1を有しており、このエアフィルタボックス1内には、エアフィルタ2とフィルタフレーム4が配置されている。フィルタフレーム4は、エアフィルタ2をエアフィルタボックス1内に保持する。フィルタフレーム4は、エアフィルタ2を配置するために、中央に長方形の孔4Hを有する四角形の枠体である。
図2に示すように、このエアフィルタユニット100は、エアフィルタボックス1と、エアフィルタ2と、図3に示す風量調節機構3と、フィルタフレーム4と、風向制御板29を有している。 Anair filter unit 100 shown in FIG. 1 is provided, for example, in a ceiling back SS of a clean room, and is connected to an air supply duct 7 arranged in the ceiling back SS. The air filter unit 100 includes, for example, a rectangular parallelepiped air filter box 1, and an air filter 2 and a filter frame 4 are disposed in the air filter box 1. The filter frame 4 holds the air filter 2 in the air filter box 1. The filter frame 4 is a quadrangular frame body having a rectangular hole 4H at the center in order to arrange the air filter 2.
As shown in FIG. 2, theair filter unit 100 includes an air filter box 1, an air filter 2, an air volume adjusting mechanism 3 shown in FIG. 3, a filter frame 4, and a wind direction control plate 29.
図2に示すように、このエアフィルタユニット100は、エアフィルタボックス1と、エアフィルタ2と、図3に示す風量調節機構3と、フィルタフレーム4と、風向制御板29を有している。 An
As shown in FIG. 2, the
図2に示すエアフィルタボックス1とダクト7は、クリーンルームの天井5の天井裏SSに配置されており、エアフィルタボックス1の上部のフランジ1Fには、ダクト7のフランジ7Fが接続されている。このダクト7は、エアフィルタボックス1の上部空間1G(エアフィルタ2の上流側空間)に対して空気を供給する。フィルタフレーム4は、エアフィルタボックス1の上部空間1Gの下部にエアフィルタ2を配置させる四角形の枠体である。風向制御板29は、エアフィルタ2の下流側である部屋側(エアフィルタ2の下流側空間)1Mに配置されており、風向制御板29は複数の空気穴29Hを有している。この風向制御板29は、天井5に形成されている四角形の孔6から、クリーンルームの室内側に露出されている。
The air filter box 1 and the duct 7 shown in FIG. 2 are arranged on the ceiling SS of the ceiling 5 of the clean room, and the flange 7F of the duct 7 is connected to the flange 1F at the top of the air filter box 1. The duct 7 supplies air to the upper space 1G of the air filter box 1 (the upstream space of the air filter 2). The filter frame 4 is a rectangular frame in which the air filter 2 is disposed below the upper space 1G of the air filter box 1. The wind direction control plate 29 is disposed on the room side (downstream space of the air filter 2) 1M, which is the downstream side of the air filter 2, and the wind direction control plate 29 has a plurality of air holes 29H. The wind direction control plate 29 is exposed from the square hole 6 formed in the ceiling 5 to the indoor side of the clean room.
図2に示すエアフィルタ2は、例えばHEPAフィルタと呼ばれる無菌用高性能フィルタであり、例えばエンボスタイプのフィルタ、ノンセパレータタイプのフィルタ、あるいはセパレータタイプのフィルタを採用することができる。しかし、エアフィルタ2の種類は、用途に応じて任意に選択することができる。エンボスタイプのフィルタは、セパレータを用いるのに代えてシート状の濾材に対してエンボスを形成することで、折り曲げたろ材の間を開けている。ノンセパレータタイプのフィルタは、濾材を折り曲げた状態でホットメルト接着材を用いて固定している。セパレータタイプのフィルタは、折り曲げたろ材の間に板状のセパレータを配置している。ろ材としては、例えば合成繊維材や、ガラス繊維材、あるいはPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)等のフィルムを不織布で挟んだものを使用することができる。
The air filter 2 shown in FIG. 2 is a high-performance filter for sterilization called, for example, a HEPA filter. For example, an embossed type filter, a non-separator type filter, or a separator type filter can be adopted. However, the type of the air filter 2 can be arbitrarily selected according to the application. An embossed type filter forms an emboss on a sheet-like filter medium instead of using a separator, thereby opening a space between folded filter media. The non-separator type filter is fixed using a hot melt adhesive in a state in which the filter medium is bent. In the separator type filter, a plate-like separator is disposed between the folded filter media. As the filter medium, for example, a synthetic fiber material, a glass fiber material, or a film of PTFE (polytetrafluoroethylene) or the like sandwiched between nonwoven fabrics can be used.
図2と図3に示す風量調節機構3は、図2と図3に示す風量調節ダンパー9と、図3に示すフレキシブルシャフト8と、図3に示す本体機構部20を有している。図2と図3に示す風量調節ダンパー9は、エアフィルタボックス1内に予め収納した状態で保持されており、風量調節ダンパー9はエアフィルタボックス1の上部空間1Gの入り口に配置されている。図2に示すように、風量調節ダンパー9はダクト7の出口7Aに対面している。
図2に示す風量調節ダンパー9は、操作軸9A、ダンパー軸9B、ダンパー羽根9C、ギアボックス9Dを有している。風量調節ダンパー9の操作軸9Aが回転されると、ギアボックス9D内で操作軸9Aとダンパー軸9Bがギアを介して連動するので、ダンパー羽根9Cがダンパー軸9Bを中心としてR方向に可動する。すなわち、ダンパー羽根9Cの傾斜角度が変わる。このダンパー羽根9CのR方向への可動、傾斜角度の変化により、ダクト7からエアフィルタボックス1の上部空間1Gに取り込んでエアフィルタ2に供給する空気量が調節できる。エアフィルタ2に供給された空気は、エアフィルタ2によりフィルタリングされて、エアフィルタボックス1の下部空間1Mから風向制御板29は複数の空気穴29Hを通って、クリーンルームの部屋側に供給される。 The airvolume adjusting mechanism 3 shown in FIGS. 2 and 3 has an air volume adjusting damper 9 shown in FIGS. 2 and 3, a flexible shaft 8 shown in FIG. 3, and a main body mechanism portion 20 shown in FIG. The air volume adjusting damper 9 shown in FIGS. 2 and 3 is held in the air filter box 1 in advance, and the air volume adjusting damper 9 is disposed at the entrance of the upper space 1G of the air filter box 1. As shown in FIG. 2, the air volume adjusting damper 9 faces the outlet 7 </ b> A of the duct 7.
2 has anoperation shaft 9A, a damper shaft 9B, a damper blade 9C, and a gear box 9D. When the operation shaft 9A of the air volume adjusting damper 9 is rotated, the operation shaft 9A and the damper shaft 9B are interlocked via a gear in the gear box 9D, so that the damper blade 9C moves in the R direction around the damper shaft 9B. . That is, the inclination angle of the damper blade 9C changes. The amount of air taken into the upper space 1G of the air filter box 1 from the duct 7 and supplied to the air filter 2 can be adjusted by moving the damper blade 9C in the R direction and changing the inclination angle. The air supplied to the air filter 2 is filtered by the air filter 2, and the air direction control plate 29 is supplied from the lower space 1M of the air filter box 1 to the room side of the clean room through the plurality of air holes 29H.
図2に示す風量調節ダンパー9は、操作軸9A、ダンパー軸9B、ダンパー羽根9C、ギアボックス9Dを有している。風量調節ダンパー9の操作軸9Aが回転されると、ギアボックス9D内で操作軸9Aとダンパー軸9Bがギアを介して連動するので、ダンパー羽根9Cがダンパー軸9Bを中心としてR方向に可動する。すなわち、ダンパー羽根9Cの傾斜角度が変わる。このダンパー羽根9CのR方向への可動、傾斜角度の変化により、ダクト7からエアフィルタボックス1の上部空間1Gに取り込んでエアフィルタ2に供給する空気量が調節できる。エアフィルタ2に供給された空気は、エアフィルタ2によりフィルタリングされて、エアフィルタボックス1の下部空間1Mから風向制御板29は複数の空気穴29Hを通って、クリーンルームの部屋側に供給される。 The air
2 has an
ここで、図3と図4を参照して、風量調節機構3の本体機構部20を説明する。図4は、図3に示す風量調節機構3の本体機構部20の構造例を示す断面図である。
図3に示す風量調節機構3は、エアフィルタボックス1内の上部空間1Gに配置されており、風量調節ダンパー9のダンパー羽根9Cを、使用者が手動で遠隔調節するための装置である。すでに説明したように、図3に示すように、風量調節機構3は、エアフィルタボックス1の上部空間1Gの上部に配置された風量調節ダンパー9と、自由に曲げることができるフレキシブルシャフト8と、エアフィルタボックス1の上部空間1Gの下部に配置された本体機構部20を有している。フレキシブルシャフト8は、図3に示すように、操作軸9Aと本体機構部20を連結している。
図4に示すように、本体機構部20は、外筒11と、第1シール材としてのシール材12と、第2シール材としてのシール材21と、蓋部材としてのプラグ22と、第3シール材としてのシール材23と、フレキシブルシャフト8の下端部を受けているフレキシブルシャフト受部材24と、操作シャフト28を受けている操作シャフト受部材25を有している。 Here, the mainbody mechanism portion 20 of the air volume adjusting mechanism 3 will be described with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. 4 is a cross-sectional view showing a structural example of the main body mechanism portion 20 of the air volume adjusting mechanism 3 shown in FIG.
The airvolume adjustment mechanism 3 shown in FIG. 3 is disposed in the upper space 1G in the air filter box 1 and is a device for a user to remotely adjust the damper blade 9C of the air volume adjustment damper 9 manually. As already described, as shown in FIG. 3, the air volume adjusting mechanism 3 includes an air volume adjusting damper 9 disposed above the upper space 1G of the air filter box 1, a flexible shaft 8 that can be bent freely, The main body mechanism unit 20 is disposed below the upper space 1G of the air filter box 1. As shown in FIG. 3, the flexible shaft 8 connects the operation shaft 9 </ b> A and the main body mechanism portion 20.
As shown in FIG. 4, the mainbody mechanism unit 20 includes an outer cylinder 11, a sealing material 12 as a first sealing material, a sealing material 21 as a second sealing material, a plug 22 as a lid member, and a third A sealing material 23 as a sealing material, a flexible shaft receiving member 24 receiving the lower end portion of the flexible shaft 8, and an operation shaft receiving member 25 receiving the operation shaft 28 are provided.
図3に示す風量調節機構3は、エアフィルタボックス1内の上部空間1Gに配置されており、風量調節ダンパー9のダンパー羽根9Cを、使用者が手動で遠隔調節するための装置である。すでに説明したように、図3に示すように、風量調節機構3は、エアフィルタボックス1の上部空間1Gの上部に配置された風量調節ダンパー9と、自由に曲げることができるフレキシブルシャフト8と、エアフィルタボックス1の上部空間1Gの下部に配置された本体機構部20を有している。フレキシブルシャフト8は、図3に示すように、操作軸9Aと本体機構部20を連結している。
図4に示すように、本体機構部20は、外筒11と、第1シール材としてのシール材12と、第2シール材としてのシール材21と、蓋部材としてのプラグ22と、第3シール材としてのシール材23と、フレキシブルシャフト8の下端部を受けているフレキシブルシャフト受部材24と、操作シャフト28を受けている操作シャフト受部材25を有している。 Here, the main
The air
As shown in FIG. 4, the main
図4に示す外筒11は、第1筒部分11Aと第2筒部分11Bを有しており、第1筒部分11Aの外径寸法は第2筒部分11Bの外径寸法に比べて小さい。第1筒部分11Aと第2筒部分11Bは、ともに上端部と下端部の両方に開口部を有する筒部材である。
第1筒部分11Aの下部の外周部に形成されている雄ねじ11Mは、第2筒部分11Bの上部の内周部に形成されている雌ねじ11Nに対してねじ込まれることで、第1筒部分11Aと第2筒部分11Bが連結されている。外筒11の第1筒部分11Aと第2筒部分11Bは、フレキシブルシャフトの受部材24を保持し、しかもフレキシブルシャフトの受部材24と操作シャフト28を封印することで、外筒11の外部に対して気密化(密封化)している。 Theouter cylinder 11 shown in FIG. 4 has a first cylinder part 11A and a second cylinder part 11B, and the outer diameter of the first cylinder part 11A is smaller than the outer diameter of the second cylinder part 11B. 11 A of 1st cylinder parts and the 2nd cylinder part 11B are cylinder members which have an opening part in both an upper end part and a lower end part.
Themale screw 11M formed on the outer peripheral portion of the lower portion of the first cylindrical portion 11A is screwed into the female screw 11N formed on the inner peripheral portion of the upper portion of the second cylindrical portion 11B, whereby the first cylindrical portion 11A. And the second cylinder portion 11B are connected. The first cylinder portion 11A and the second cylinder portion 11B of the outer cylinder 11 hold the flexible shaft receiving member 24 and seal the flexible shaft receiving member 24 and the operation shaft 28 so that the outer cylinder 11 is outside. On the other hand, it is airtight (sealed).
第1筒部分11Aの下部の外周部に形成されている雄ねじ11Mは、第2筒部分11Bの上部の内周部に形成されている雌ねじ11Nに対してねじ込まれることで、第1筒部分11Aと第2筒部分11Bが連結されている。外筒11の第1筒部分11Aと第2筒部分11Bは、フレキシブルシャフトの受部材24を保持し、しかもフレキシブルシャフトの受部材24と操作シャフト28を封印することで、外筒11の外部に対して気密化(密封化)している。 The
The
図4と図5(A)に示すように、フィルタフレーム4には、円形の貫通孔10が予め形成されている。この第2筒部分11Bの上部の外周部分11Cは、フィルタフレーム4の貫通孔10にはめ込まれて固定されている。このフィルタフレーム4は、エアフィルタボックス1の壁部1Wに対して溶接して固定されている。しかも、第2筒部分11Bの上部の外周部分11Cと、フィルタフレーム4の貫通孔10を形成している内周部分との間には、シール材12が配置されている。フィルタフレーム4がエアフィルタボックス1の内壁1Wに対して溶接して固定された後に、このシール材12は、第2筒部分11Bの上部の外周部分11Cと、フィルタフレーム4の貫通孔10を形成している部分に空気が通らないように密封する。これにより、エアフィルタボックス1の上部空間1Gは、エアフィルタボックス1の下部空間1Mに対して気密化している。
As shown in FIGS. 4 and 5 (A), a circular through hole 10 is formed in the filter frame 4 in advance. An upper outer peripheral portion 11C of the second cylinder portion 11B is fixed by being fitted into the through hole 10 of the filter frame 4. The filter frame 4 is fixed by welding to the wall portion 1W of the air filter box 1. Moreover, the sealing material 12 is disposed between the outer peripheral portion 11C at the top of the second cylinder portion 11B and the inner peripheral portion forming the through hole 10 of the filter frame 4. After the filter frame 4 is welded and fixed to the inner wall 1W of the air filter box 1, the sealing material 12 forms the outer peripheral portion 11C of the upper portion of the second cylinder portion 11B and the through hole 10 of the filter frame 4. Seal it so that air does not pass through it. Thereby, the upper space 1G of the air filter box 1 is airtight with respect to the lower space 1M of the air filter box 1.
図4に示す別のシール材21は、外筒11の第1筒部分11Aの上端部とフレキシブルシャフトの受部材24の外周面との間に配置されており、外筒11とフレキシブルシャフト8との間を密閉している。これにより、エアフィルタボックス1の上部空間1Gは、エアフィルタボックス1の下部空間1Mに対して気密化している。
図4に示すプラグ22は、外筒11の第2筒部分11Bの下側部分の開口部11Dに対して着脱可能に取り付けられる蓋部材である。プラグ22の外周部には雄ねじ22Aが形成されており、外筒11の第2筒部分11Bの下側部分の内面には雌ねじ11Eが形成されている。この雄ねじ22Aが雌ねじ11Eにかみ合っている。シール材23は、雄ねじ22Aに配置されており、シール材23は、プラグ22の雄ねじ22Aと外筒11の第2筒部分11Bの雌ねじ11Eとの間を気密化する。このシール材23が配置されていることで、プラグ22の雄ねじ22Aと外筒11の第2筒部分11Bの雌ねじ11Eとを密閉化した状態に維持したままで、使用者が指でこのプラグ22を掴んでV方向に回転することができる。これにより、エアフィルタボックス1の上部空間1Gは、エアフィルタボックス1の下部空間1Mに対してより気密化している。 4 is disposed between the upper end portion of thefirst cylinder portion 11A of the outer cylinder 11 and the outer peripheral surface of the receiving member 24 of the flexible shaft, and the outer cylinder 11 and the flexible shaft 8 It is sealed between. Thereby, the upper space 1G of the air filter box 1 is airtight with respect to the lower space 1M of the air filter box 1.
Theplug 22 shown in FIG. 4 is a lid member that is detachably attached to the opening 11D in the lower portion of the second cylinder portion 11B of the outer cylinder 11. A male screw 22 </ b> A is formed on the outer periphery of the plug 22, and a female screw 11 </ b> E is formed on the inner surface of the lower portion of the second tube portion 11 </ b> B of the outer tube 11. The male screw 22A is engaged with the female screw 11E. The sealing material 23 is disposed on the male screw 22 </ b> A, and the sealing material 23 seals between the male screw 22 </ b> A of the plug 22 and the female screw 11 </ b> E of the second cylinder portion 11 </ b> B of the outer cylinder 11. By disposing the sealing material 23, the user can use the finger to plug the plug 22 while keeping the male screw 22A of the plug 22 and the female screw 11E of the second cylinder portion 11B of the outer cylinder 11 sealed. Can be gripped and rotated in the V direction. Thereby, the upper space 1G of the air filter box 1 is more airtight than the lower space 1M of the air filter box 1.
図4に示すプラグ22は、外筒11の第2筒部分11Bの下側部分の開口部11Dに対して着脱可能に取り付けられる蓋部材である。プラグ22の外周部には雄ねじ22Aが形成されており、外筒11の第2筒部分11Bの下側部分の内面には雌ねじ11Eが形成されている。この雄ねじ22Aが雌ねじ11Eにかみ合っている。シール材23は、雄ねじ22Aに配置されており、シール材23は、プラグ22の雄ねじ22Aと外筒11の第2筒部分11Bの雌ねじ11Eとの間を気密化する。このシール材23が配置されていることで、プラグ22の雄ねじ22Aと外筒11の第2筒部分11Bの雌ねじ11Eとを密閉化した状態に維持したままで、使用者が指でこのプラグ22を掴んでV方向に回転することができる。これにより、エアフィルタボックス1の上部空間1Gは、エアフィルタボックス1の下部空間1Mに対してより気密化している。 4 is disposed between the upper end portion of the
The
図4に示すように、フレキシブルチューブ15は、フレキシブルシャフト8を構成している長尺上の部材である。フレキシブルシャフトの受部材24は、フレキシブルチューブ15の下端部15Fを受けて固定している。フレキシブルチューブ15の下端部15Fは、押さえ金具8Pにより保持され、この押さえ金具8Pは、台座8Rを用いてエアフィルタボックス1の壁部1Wに対して固定されている。
図5(B)は、図4に示すフレキシブルシャフト8の内部構造例を示している。
フレキシブルチューブ15は、アウターシャフト15Aとインナーシャフト15Bを有している。インナーシャフト15Bがアウターシャフト15Aにより被覆されている。図3に示すように、フレキシブルチューブ15のインナーシャフトの上端部15Gは、操作軸9Aに連結されている。図5(B)に示す操作シャフト13は、フレキシブルシャフト8のフレキシブルチューブ15のインナーシャフト15Bを回動するための部材である。軸継手14は、フレキシブルチューブ15のインナーシャフト15Bの下端部と操作シャフト13の上端部を連結している。これにより、フレキシブルチューブ15のインナーシャフト15Bは、図3に示す風量調節ダンパー9の操作軸9Aと操作シャフト13をつないでいる。 As shown in FIG. 4, theflexible tube 15 is a long member constituting the flexible shaft 8. The receiving member 24 of the flexible shaft receives and fixes the lower end portion 15F of the flexible tube 15. The lower end portion 15F of the flexible tube 15 is held by a presser fitting 8P, and the presser fixture 8P is fixed to the wall 1W of the air filter box 1 using a base 8R.
FIG. 5B shows an example of the internal structure of theflexible shaft 8 shown in FIG.
Theflexible tube 15 has an outer shaft 15A and an inner shaft 15B. Inner shaft 15B is covered with outer shaft 15A. As shown in FIG. 3, the upper end portion 15G of the inner shaft of the flexible tube 15 is connected to the operation shaft 9A. The operation shaft 13 shown in FIG. 5B is a member for rotating the inner shaft 15 </ b> B of the flexible tube 15 of the flexible shaft 8. The shaft coupling 14 connects the lower end portion of the inner shaft 15 </ b> B of the flexible tube 15 and the upper end portion of the operation shaft 13. As a result, the inner shaft 15B of the flexible tube 15 connects the operation shaft 9A and the operation shaft 13 of the air volume adjusting damper 9 shown in FIG.
図5(B)は、図4に示すフレキシブルシャフト8の内部構造例を示している。
フレキシブルチューブ15は、アウターシャフト15Aとインナーシャフト15Bを有している。インナーシャフト15Bがアウターシャフト15Aにより被覆されている。図3に示すように、フレキシブルチューブ15のインナーシャフトの上端部15Gは、操作軸9Aに連結されている。図5(B)に示す操作シャフト13は、フレキシブルシャフト8のフレキシブルチューブ15のインナーシャフト15Bを回動するための部材である。軸継手14は、フレキシブルチューブ15のインナーシャフト15Bの下端部と操作シャフト13の上端部を連結している。これにより、フレキシブルチューブ15のインナーシャフト15Bは、図3に示す風量調節ダンパー9の操作軸9Aと操作シャフト13をつないでいる。 As shown in FIG. 4, the
FIG. 5B shows an example of the internal structure of the
The
図5(B)に示す円筒状のフレキシブルシャフトの受部材24は、大径部分24Aと小径部分24Bを有しており、小径部分24Bが円筒状の操作シャフト受部材25の上部にはまり込んでいる。ボルト26は、フレキシブルシャフトの受部材24の小径部分24Bと操作シャフト受部材25を固定している。円筒状の操作シャフト受部材25は、操作シャフト13を受けている。すなわち、操作シャフト13は、操作シャフト受部材25内においては、複数のベアリング27を用いることで滑らかに回転できるように保持されている。ロッド28は、操作シャフト13の下端部であり、操作シャフト13をレンチのような工具を用いて回すために工具で挟む部分である。
The cylindrical flexible shaft receiving member 24 shown in FIG. 5B has a large-diameter portion 24A and a small-diameter portion 24B, and the small-diameter portion 24B fits into the upper portion of the cylindrical operation shaft receiving member 25. Yes. The bolt 26 fixes the small diameter portion 24 </ b> B of the flexible shaft receiving member 24 and the operation shaft receiving member 25. The cylindrical operation shaft receiving member 25 receives the operation shaft 13. That is, the operation shaft 13 is held in the operation shaft receiving member 25 so that it can be smoothly rotated by using a plurality of bearings 27. The rod 28 is a lower end portion of the operation shaft 13 and is a portion that is sandwiched between tools in order to rotate the operation shaft 13 using a tool such as a wrench.
次に、上述した風量調節機構3を備えるエアフィルタユニット100における空気のシール構造例を説明する。
図2と図3に示すように、エアフィルタボックス1内には、エアフィルタ2を内蔵しており、図3に示すように風量調節機構3の外筒11は、フィルタフレーム4の貫通穴10に通すことで貫通して設けられている。エアフィルタボックス1は、クリーンルームの天井5に設けられている孔6内に取り付けられている。風量調節機構3の風量調節ダンパー9が、予めエアフィルタボックス1内に設けられている。このため、天井裏SSにエアフィルタボックス1を配置するだけで、天井5の裏側に配置されているダクト7と、エアフィルタボックス1内のエアフィルタ2の間には、風量調節機構3の風量調節ダンパー9を配置することができる。
図2と図3に示すように、エアフィルタ2のフィルタ枠2Aの上部には、U字型の溝2Bが設けられている。図3と図4に示すように、このU字型の溝2Bにはシリコーンゲル2Cが充填されている。このため、フィルタフレーム4のフランジ4AがU字型の溝2B内のシリコーンゲル2Cに当たることにより、エアフィルタ2とフィルタフレーム4との間の気密状態を保持している。 Next, an example of an air seal structure in theair filter unit 100 including the air volume adjusting mechanism 3 described above will be described.
As shown in FIGS. 2 and 3, anair filter 2 is built in the air filter box 1. As shown in FIG. 3, the outer cylinder 11 of the air volume adjusting mechanism 3 is formed in the through hole 10 of the filter frame 4. It is provided by passing through. The air filter box 1 is mounted in a hole 6 provided in the ceiling 5 of the clean room. An air volume adjusting damper 9 of the air volume adjusting mechanism 3 is provided in the air filter box 1 in advance. For this reason, the air volume of the air volume adjusting mechanism 3 is provided between the duct 7 disposed on the back side of the ceiling 5 and the air filter 2 in the air filter box 1 only by disposing the air filter box 1 on the ceiling SS. An adjustment damper 9 can be arranged.
As shown in FIGS. 2 and 3, aU-shaped groove 2 </ b> B is provided in the upper part of the filter frame 2 </ b> A of the air filter 2. As shown in FIGS. 3 and 4, the U-shaped groove 2B is filled with silicone gel 2C. For this reason, when the flange 4A of the filter frame 4 hits the silicone gel 2C in the U-shaped groove 2B, the airtight state between the air filter 2 and the filter frame 4 is maintained.
図2と図3に示すように、エアフィルタボックス1内には、エアフィルタ2を内蔵しており、図3に示すように風量調節機構3の外筒11は、フィルタフレーム4の貫通穴10に通すことで貫通して設けられている。エアフィルタボックス1は、クリーンルームの天井5に設けられている孔6内に取り付けられている。風量調節機構3の風量調節ダンパー9が、予めエアフィルタボックス1内に設けられている。このため、天井裏SSにエアフィルタボックス1を配置するだけで、天井5の裏側に配置されているダクト7と、エアフィルタボックス1内のエアフィルタ2の間には、風量調節機構3の風量調節ダンパー9を配置することができる。
図2と図3に示すように、エアフィルタ2のフィルタ枠2Aの上部には、U字型の溝2Bが設けられている。図3と図4に示すように、このU字型の溝2Bにはシリコーンゲル2Cが充填されている。このため、フィルタフレーム4のフランジ4AがU字型の溝2B内のシリコーンゲル2Cに当たることにより、エアフィルタ2とフィルタフレーム4との間の気密状態を保持している。 Next, an example of an air seal structure in the
As shown in FIGS. 2 and 3, an
As shown in FIGS. 2 and 3, a
図5(A)と図4に示すように風量調節機構3の外筒11は、フィルタフレーム4の貫通穴10を貫通している。しかし、この外筒11とフィルタフレーム4の貫通穴10との間にはシール材12が配置されているので、外筒11とフィルタフレーム4の貫通穴10との間は空気が通らないように気密になっている。図5(B)に示すように、この外筒11内には、操作シャフト13が回転可能に配置され、操作シャフト13の上端部とフレキシブルシャフト8のフレキシブルチューブ15のインナーシャフト15Bの下端部が軸継手14により接続されている。
また、図4に示すように、フレキシブルシャフトの受部材24と外筒11の第1筒部分11Aの上部分との間は、空気が通らないようにシール材21により気密になっている。外筒11の第2筒部分11Bには、プラグ22がシール材23を介して開閉自在に設けられている。フレキシブルシャフトの受部材24と操作シャフト13と軸継手14と操作シャフト受部材25は、外筒11とシール材12、シール材21、そして好ましくはシール材23を用いることで、エアフィルタの下部空間1Mから完全に被覆するとともに空気が漏れないように気密化した状態を保持することができる。 As shown in FIGS. 5A and 4, theouter cylinder 11 of the air volume adjusting mechanism 3 passes through the through hole 10 of the filter frame 4. However, since the sealing material 12 is disposed between the outer cylinder 11 and the through hole 10 of the filter frame 4, air does not pass between the outer cylinder 11 and the through hole 10 of the filter frame 4. It is airtight. As shown in FIG. 5B, an operation shaft 13 is rotatably arranged in the outer cylinder 11, and an upper end portion of the operation shaft 13 and a lower end portion of the inner shaft 15 B of the flexible tube 15 of the flexible shaft 8 are arranged. They are connected by a shaft coupling 14.
Further, as shown in FIG. 4, the sealingmember 21 is airtight between the receiving member 24 of the flexible shaft and the upper portion of the first cylinder portion 11 </ b> A of the outer cylinder 11 so that air does not pass therethrough. A plug 22 is provided in the second cylinder portion 11 </ b> B of the outer cylinder 11 so as to be freely opened and closed via a seal material 23. The flexible shaft receiving member 24, the operating shaft 13, the shaft coupling 14, and the operating shaft receiving member 25 use the outer cylinder 11, the sealing material 12, the sealing material 21, and preferably the sealing material 23. It can be completely covered from 1M and kept airtight so that air does not leak.
また、図4に示すように、フレキシブルシャフトの受部材24と外筒11の第1筒部分11Aの上部分との間は、空気が通らないようにシール材21により気密になっている。外筒11の第2筒部分11Bには、プラグ22がシール材23を介して開閉自在に設けられている。フレキシブルシャフトの受部材24と操作シャフト13と軸継手14と操作シャフト受部材25は、外筒11とシール材12、シール材21、そして好ましくはシール材23を用いることで、エアフィルタの下部空間1Mから完全に被覆するとともに空気が漏れないように気密化した状態を保持することができる。 As shown in FIGS. 5A and 4, the
Further, as shown in FIG. 4, the sealing
ここで、図4に示すシール材12,21,23の材質例と、シリコーンゲル2Cの材質例を説明する。
図4に示すシール材12,21の材質としては、コーキング材を用いることができる。このコーキング材は、シリコーン系の材料やウレタン系の材料が使用できるが、ウレタン系の材料は硬化に時間がかかり、鉛直面のコーキングを行う際にはタレによるコーキング不良が発生する可能性があるので、シリコーン系の材料が好ましい。シリコーン系の材料としては、脱酢酸タイプのシリコーンや脱アルコールタイプのものが望ましいが、脱酢酸タイプは、速乾性がよく高強度であるが、酢酸臭を発し、また、金属を腐蝕することもあるので、脱アルコールタイプを使用することがより好ましい。また、さらに、クリーンルーム内で使用する場合には、シリコーン系のコーキング材の中から低揮発性のシロキサン類を除いた低シロキサン脱アルコールタイプのものが最も望ましい。
図4に示すシリコーンゲル2Cとしては、特開昭59-193112号公報に開示されるような粘着力と弾力とを有するシリコーンゲル等の粘弾体からなるゼリー状シール材が好ましい。
図4に示すシール材23はシールテープを用いることができる。このシールテープとしては、「シール用四フッ化エチレン樹脂未焼成テープ(生テープ)」(JISK 6885)を採用できる。シールテープの材質は、ポリテトラフルオロエチレンである。シールテープは、水道管や空気管の液体や気体を導く配管の接続部分等に生じたすき間を埋めるために使用されるシール材である。このシールテープは、接続する配管の雄ねじに適量を巻き付けたのち、雌ねじにかみ合わせることで気密性を保持する。 Here, a material example of the sealing materials 12, 21, 23 and a material example of the silicone gel 2C shown in FIG. 4 will be described.
A caulking material can be used as the material of the sealing materials 12 and 21 shown in FIG. This caulking material can be a silicone-based material or a urethane-based material, but the urethane-based material takes a long time to cure, and there is a possibility that a caulking failure due to sagging may occur when caulking a vertical surface. Therefore, a silicone-based material is preferable. As the silicone material, deacetic acid type silicone and dealcohol type are desirable, but deacetic acid type is quick drying and high strength, but it emits acetic acid odor and also corrodes metal. Because of this, it is more preferable to use a dealcoholization type. Further, when used in a clean room, a low siloxane dealcohol type of which a low volatility siloxane is removed from a silicone caulking material is most desirable.
As thesilicone gel 2C shown in FIG. 4, a jelly-like sealing material made of a viscoelastic body such as a silicone gel having adhesive force and elasticity as disclosed in JP-A-59-193112 is preferable.
As the sealingmaterial 23 shown in FIG. 4, a sealing tape can be used. As this sealing tape, “tetrafluoroethylene resin non-fired tape (raw tape) for sealing” (JISK 6885) can be adopted. The material of the seal tape is polytetrafluoroethylene. The sealing tape is a sealing material used to fill a gap generated in a connecting portion of a pipe for guiding liquid or gas in a water pipe or an air pipe. This seal tape retains airtightness by winding an appropriate amount around the male thread of the pipe to be connected and then engaging with the female thread.
図4に示すシール材12,21の材質としては、コーキング材を用いることができる。このコーキング材は、シリコーン系の材料やウレタン系の材料が使用できるが、ウレタン系の材料は硬化に時間がかかり、鉛直面のコーキングを行う際にはタレによるコーキング不良が発生する可能性があるので、シリコーン系の材料が好ましい。シリコーン系の材料としては、脱酢酸タイプのシリコーンや脱アルコールタイプのものが望ましいが、脱酢酸タイプは、速乾性がよく高強度であるが、酢酸臭を発し、また、金属を腐蝕することもあるので、脱アルコールタイプを使用することがより好ましい。また、さらに、クリーンルーム内で使用する場合には、シリコーン系のコーキング材の中から低揮発性のシロキサン類を除いた低シロキサン脱アルコールタイプのものが最も望ましい。
図4に示すシリコーンゲル2Cとしては、特開昭59-193112号公報に開示されるような粘着力と弾力とを有するシリコーンゲル等の粘弾体からなるゼリー状シール材が好ましい。
図4に示すシール材23はシールテープを用いることができる。このシールテープとしては、「シール用四フッ化エチレン樹脂未焼成テープ(生テープ)」(JISK 6885)を採用できる。シールテープの材質は、ポリテトラフルオロエチレンである。シールテープは、水道管や空気管の液体や気体を導く配管の接続部分等に生じたすき間を埋めるために使用されるシール材である。このシールテープは、接続する配管の雄ねじに適量を巻き付けたのち、雌ねじにかみ合わせることで気密性を保持する。 Here, a material example of the sealing
A caulking material can be used as the material of the sealing
As the
As the sealing
次に、上述した風量調節機構3を備えたエアフィルタユニット100における風量調節動作について説明する。
エアフィルタユニット100を使用する際に、エアフィルタ2に供給する空気の風量調節が必要となった場合には、使用者は、図4に示すプラグ22を例えば工具で掴んで左回しで回転することで、プラグ22を外筒11の第2筒部分11Bの下側部分から取り外す。このようにプラグ22を外筒11の第2筒部分11Bの下側部分から取り外しても、シール材23は破壊されることはなく再度使用できる。これにより、第2筒部分11Bの下側部分の開口部11Dは開放される。必要に応じて、旧いシール材23をはがして新しいシール材23を使用することができる。 Next, the air volume adjusting operation in theair filter unit 100 including the air volume adjusting mechanism 3 described above will be described.
When the air volume of the air supplied to theair filter 2 needs to be adjusted when the air filter unit 100 is used, the user rotates the left side by holding the plug 22 shown in FIG. 4 with a tool, for example. Thus, the plug 22 is removed from the lower portion of the second cylinder portion 11B of the outer cylinder 11. Thus, even if the plug 22 is removed from the lower part of the second cylinder part 11B of the outer cylinder 11, the sealing material 23 is not destroyed and can be used again. Thereby, the opening part 11D of the lower part of the second cylinder part 11B is opened. If necessary, the old sealing material 23 can be peeled off and a new sealing material 23 can be used.
エアフィルタユニット100を使用する際に、エアフィルタ2に供給する空気の風量調節が必要となった場合には、使用者は、図4に示すプラグ22を例えば工具で掴んで左回しで回転することで、プラグ22を外筒11の第2筒部分11Bの下側部分から取り外す。このようにプラグ22を外筒11の第2筒部分11Bの下側部分から取り外しても、シール材23は破壊されることはなく再度使用できる。これにより、第2筒部分11Bの下側部分の開口部11Dは開放される。必要に応じて、旧いシール材23をはがして新しいシール材23を使用することができる。 Next, the air volume adjusting operation in the
When the air volume of the air supplied to the
次に、使用者は、図4に示す開放された第2筒部分11Bの下側部分の開口部11Dから、レンチ等の工具を、ロッド28に当てて、図5に示す操作シャフト13を回す。操作シャフト13の回転に伴って軸継手14を介して連結されているフレキシブルチューブ15のインナーシャフト15Bが連動して回る。このフレキシブルチューブ15のインナーシャフト15Bが回るのに伴って、図2と図3に示す風量調節ダンパー9の操作軸9Aが回る。操作軸9Aが回ることで、ギアボックス9D内では、操作軸9Aとダンパー軸9Bがギアを介して連動して、図2に示すダンパー羽根9CがR方向に回転する。これにより、ダンパー羽根9Cの角度を選択する、すなわち、ダンパー羽根9Cの傾斜角度を変化させることで、ダクト7からエアフィルタ2側に取り込む空気量、すなわちエアフィルタ2に供給する空気量を調節することができる。
上述した要領で、ダクト7からエアフィルタ2に供給する空気量を調節した後、使用者は、再び図4に示すプラグ22を指で掴んで右回しで回転することで、プラグ22を外筒11の第2筒部分11Bの下側部分の開口部11Dに取り付けることができる。これにより、外筒11内は、再度確実に気密状態に保持できる。 Next, the user applies a tool such as a wrench to therod 28 from the opening 11D in the lower portion of the opened second cylinder portion 11B shown in FIG. 4, and rotates the operation shaft 13 shown in FIG. . As the operation shaft 13 rotates, the inner shaft 15B of the flexible tube 15 connected through the shaft coupling 14 rotates in conjunction with the operation shaft 13. As the inner shaft 15B of the flexible tube 15 rotates, the operation shaft 9A of the air volume adjusting damper 9 shown in FIGS. 2 and 3 rotates. When the operation shaft 9A is rotated, the operation shaft 9A and the damper shaft 9B are interlocked via a gear in the gear box 9D, and the damper blade 9C shown in FIG. 2 rotates in the R direction. Thereby, the angle of the damper blade 9C is selected, that is, the amount of air taken into the air filter 2 from the duct 7, that is, the amount of air supplied to the air filter 2 is adjusted by changing the inclination angle of the damper blade 9C. be able to.
After adjusting the amount of air supplied from theduct 7 to the air filter 2 as described above, the user again holds the plug 22 shown in FIG. 11 can be attached to the opening 11D of the lower portion of the second cylinder portion 11B. Thereby, the inside of the outer cylinder 11 can be reliably kept in an airtight state again.
上述した要領で、ダクト7からエアフィルタ2に供給する空気量を調節した後、使用者は、再び図4に示すプラグ22を指で掴んで右回しで回転することで、プラグ22を外筒11の第2筒部分11Bの下側部分の開口部11Dに取り付けることができる。これにより、外筒11内は、再度確実に気密状態に保持できる。 Next, the user applies a tool such as a wrench to the
After adjusting the amount of air supplied from the
ところで、図4に示すように、プラグ22の外周部には雄ねじ22Aが形成されており、外筒11の第2筒部分11Bの下側部分の内面には雌ねじ11Eが形成されている。この雄ねじ22Aが雌ねじ11Eにかみ合っていると、シール材23は、プラグ22の雄ねじ22Aと外筒11の第2筒部分11Bの下側部分の内面の雌ねじ11Eの間を密閉化した状態を保持している。このため、プラグ22が外筒11の第2筒部分11Bの下側部分の開口部11Dから取り外せる構造を採用しているにもかかわらず、シール材23は、エアフィルタボックス1の上部空間1Gから外筒11内を通じてエアフィルタボックス1の下部空間1Mへ、空気が漏れるのを確実に防ぐことができる。
Incidentally, as shown in FIG. 4, a male screw 22 </ b> A is formed on the outer peripheral portion of the plug 22, and a female screw 11 </ b> E is formed on the inner surface of the lower portion of the second cylinder portion 11 </ b> B of the outer cylinder 11. When the male screw 22A is engaged with the female screw 11E, the seal member 23 maintains a state in which the space between the male screw 22A of the plug 22 and the female screw 11E on the inner surface of the lower portion of the second cylinder portion 11B of the outer cylinder 11 is sealed. is doing. For this reason, the seal material 23 is removed from the upper space 1G of the air filter box 1 in spite of adopting a structure in which the plug 22 can be removed from the opening 11D in the lower portion of the second cylinder portion 11B of the outer cylinder 11. Air can be reliably prevented from leaking into the lower space 1M of the air filter box 1 through the outer cylinder 11.
本発明の実施形態のエアフィルタユニット100では、図4に示すように、外筒11とフィルタフレーム4の貫通穴10の間は、第1シール部材12により気密状態に保持されている。すなわち、外筒11とフィルタフレーム4の貫通穴10の間の隙間を第1シール部材12により塞いでいる。しかも、使用者が回転操作するための操作シャフト13は、操作シャフト13を使用しないときには、外筒11により覆われ、第2シール材21と蓋部材であるプラグ22により外筒11内に気密状態に封印されている。これにより、エアフィルタボックス1内のエアフィルタ2の上部空間1Gが、エアフィルタボックス1の下部空間1Mに対して気密状態に保持できる。しかも、風量調節機構3の本体機構部20は簡単な構造を採用しているので、風量調節機構3を安価にできるので、エアフィルタユニット100のコストダウンを図ることができる。
In the air filter unit 100 of the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 4, the space between the outer cylinder 11 and the through hole 10 of the filter frame 4 is held in an airtight state by the first seal member 12. That is, the gap between the outer cylinder 11 and the through hole 10 of the filter frame 4 is closed by the first seal member 12. Moreover, the operation shaft 13 for the user to rotate is covered with the outer cylinder 11 when the operation shaft 13 is not used, and is airtight in the outer cylinder 11 by the second sealing material 21 and the plug 22 which is a lid member. Is sealed. Thereby, the upper space 1G of the air filter 2 in the air filter box 1 can be kept airtight with respect to the lower space 1M of the air filter box 1. In addition, since the main body mechanism portion 20 of the air volume adjusting mechanism 3 employs a simple structure, the air volume adjusting mechanism 3 can be made inexpensive, so that the cost of the air filter unit 100 can be reduced.
しかも、図4に示すように、外筒11の下部と蓋部材であるプラグ22の間には、第3シール材であるシール材23を配置することにより、操作シャフト13は、操作シャフト13を使用しない場合には、外筒11内において、蓋部材であるプラグ22と第3シール材であるシール材23を用いて、さらに気密状態に保持できる。外筒11の下部と蓋部材であるプラグ22の間の隙間をシール材23で塞いでいる。この結果、図4に示すエアフィルタボックス1の上部空間1Gは、エアフィルタボックス1の下部空間1M側に対して、さらに確実に気密状態に保持することができる。
In addition, as shown in FIG. 4, by placing a seal material 23, which is a third seal material, between the lower portion of the outer cylinder 11 and the plug 22, which is a lid member, the operation shaft 13 is connected to the operation shaft 13. When not used, the outer cylinder 11 can be kept in an airtight state by using the plug 22 as a lid member and the seal material 23 as a third seal material. A gap between the lower portion of the outer cylinder 11 and the plug 22 which is a lid member is closed with a sealing material 23. As a result, the upper space 1G of the air filter box 1 shown in FIG. 4 can be more reliably maintained in an airtight state with respect to the lower space 1M side of the air filter box 1.
従来、エアフィルタユニットとダクトの間に、風量調節ダンパーを設けていたために、天井板を固定する天井施工の前に、エアフィルタユニットとダクトの間に、風量調節ダンパーを取り付ける必要があったので、エアフィルタユニットを天井裏に取り付けるための工期が長くなり、工期の設定が限定されてしまっていた。
しかし、本発明の実施形態のエアフィルタユニット100では、図2に示すように、風量調節ダンパー9を含む風量調節機構3が、予めエアフィルタボックス1内に収められている。このため、風量調節ダンパーはエアフィルタボックスとダクトの間に別途設ける工事が不要である。天井裏に工事作業者が入れる場合には、天井板を固定する天井施工作業の後であっても、本発明の実施形態のエアフィルタユニット100は天井裏に取り付けることができるので、エアフィルタユニット100の取付け作業工期が短くなり、作業工期を柔軟に選択することができる。 Conventionally, since an air flow adjustment damper was provided between the air filter unit and the duct, it was necessary to install an air flow adjustment damper between the air filter unit and the duct before the ceiling construction for fixing the ceiling plate. The construction period for attaching the air filter unit to the back of the ceiling is long, and the construction period is limited.
However, in theair filter unit 100 of the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 2, the air volume adjusting mechanism 3 including the air volume adjusting damper 9 is stored in the air filter box 1 in advance. For this reason, it is not necessary to separately install the air volume adjusting damper between the air filter box and the duct. When a construction worker puts in the back of the ceiling, the air filter unit 100 of the embodiment of the present invention can be attached to the back of the ceiling even after the ceiling construction work for fixing the ceiling plate. The installation work period of 100 is shortened, and the work period can be selected flexibly.
しかし、本発明の実施形態のエアフィルタユニット100では、図2に示すように、風量調節ダンパー9を含む風量調節機構3が、予めエアフィルタボックス1内に収められている。このため、風量調節ダンパーはエアフィルタボックスとダクトの間に別途設ける工事が不要である。天井裏に工事作業者が入れる場合には、天井板を固定する天井施工作業の後であっても、本発明の実施形態のエアフィルタユニット100は天井裏に取り付けることができるので、エアフィルタユニット100の取付け作業工期が短くなり、作業工期を柔軟に選択することができる。 Conventionally, since an air flow adjustment damper was provided between the air filter unit and the duct, it was necessary to install an air flow adjustment damper between the air filter unit and the duct before the ceiling construction for fixing the ceiling plate. The construction period for attaching the air filter unit to the back of the ceiling is long, and the construction period is limited.
However, in the
本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。例えば、図2と図3に示す例では、1枚の長方形状のダンパー羽根9Cがダンパー軸9Bに取り付けられているが、これに限らず複数枚のダンパー羽根がダンパー軸9Bに取り付けられるようにしても良い。
図2と図3に示すように、エアフィルタ2の空気を通さないようするためのシール構造としては、フィルタ枠2AのU字型の溝2Bにシリコーンゲル2Cが充填されており、フィルタフレーム4のフランジ4AがU字型の溝2B内のシリコーンゲル2Cに当たることにより、エアフィルタ2とフィルタフレーム4との間の気密状態を確保している。しかし、これに限らず、エアフィルタ2は、ガスケットを介して、フィルタフレームの下方からフィルタフレームに対してボルト締めで押し付けるようにして固定しても良い。または、エアフィルタ2は、ガスケットを介して、フィルタフレームの上方からフィルタフレームに対してエアフィルタの自重あるいはボルト締めで押し付けるようにして固定しても良い。 The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the claims. For example, in the example shown in FIGS. 2 and 3, onerectangular damper blade 9C is attached to the damper shaft 9B, but not limited to this, a plurality of damper blades are attached to the damper shaft 9B. May be.
As shown in FIGS. 2 and 3, as a seal structure for preventing air from passing through theair filter 2, the U-shaped groove 2 </ b> B of the filter frame 2 </ b> A is filled with silicone gel 2 </ b> C, and the filter frame 4. The flange 4A contacts the silicone gel 2C in the U-shaped groove 2B, thereby ensuring an airtight state between the air filter 2 and the filter frame 4. However, the present invention is not limited to this, and the air filter 2 may be fixed by being bolted to the filter frame from below the filter frame via a gasket. Alternatively, the air filter 2 may be fixed by pressing the air filter with its own weight or bolt tightening from above the filter frame to the filter frame via a gasket.
図2と図3に示すように、エアフィルタ2の空気を通さないようするためのシール構造としては、フィルタ枠2AのU字型の溝2Bにシリコーンゲル2Cが充填されており、フィルタフレーム4のフランジ4AがU字型の溝2B内のシリコーンゲル2Cに当たることにより、エアフィルタ2とフィルタフレーム4との間の気密状態を確保している。しかし、これに限らず、エアフィルタ2は、ガスケットを介して、フィルタフレームの下方からフィルタフレームに対してボルト締めで押し付けるようにして固定しても良い。または、エアフィルタ2は、ガスケットを介して、フィルタフレームの上方からフィルタフレームに対してエアフィルタの自重あるいはボルト締めで押し付けるようにして固定しても良い。 The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the claims. For example, in the example shown in FIGS. 2 and 3, one
As shown in FIGS. 2 and 3, as a seal structure for preventing air from passing through the
フレキシブルシャフト8は、操作シャフト13とフレキシブルチューブ15のインナーシャフト15Bを連結するための軸継手14があれば、操作シャフト13とインナーシャフト15Bと軸継手14の位置関係は特に限定されない。フレキシブルシャフト8は、図4に示すアウターシャフト15Aとインナーシャフト15Bを有する構造に限らず、任意の構造のものを採用できる。軸継手14は、外筒11の中ではなく、外筒11の上部に独立して配置されていても良い。
上記実施形態の各構成は、その一部を省略したり、上記とは異なるように任意に組み合わせることができる。 If theflexible shaft 8 has the shaft coupling 14 for connecting the operation shaft 13 and the inner shaft 15B of the flexible tube 15, the positional relationship among the operation shaft 13, the inner shaft 15B, and the shaft coupling 14 is not particularly limited. The flexible shaft 8 is not limited to the structure having the outer shaft 15A and the inner shaft 15B shown in FIG. The shaft coupling 14 may be arranged independently in the upper part of the outer cylinder 11 instead of in the outer cylinder 11.
A part of each configuration of the above embodiment can be omitted, or can be arbitrarily combined so as to be different from the above.
上記実施形態の各構成は、その一部を省略したり、上記とは異なるように任意に組み合わせることができる。 If the
A part of each configuration of the above embodiment can be omitted, or can be arbitrarily combined so as to be different from the above.
1・・・エアフィルタボックス、2・・・エアフィルタ、3・・・風量調節機構、4・・・フィルタフレーム、5・・・天井、6・・・天井の孔、7・・・ダクト、8・・・フレキシブルシャフト、9・・・風量調節ダンパー、10・・・貫通穴、11・・・外筒、12・・・シール材、13・・・操作シャフト、14・・・軸継手、15・・・フレキシブルチューブ、20・・・本体機構部、21・・・シール材、22・・・プラグ、23・・・シール材、24・・・フレキシブルシャフト受部材、25・・・操作シャフト受部材、28・・・ロッド、29・・・風向制御板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Air filter box, 2 ... Air filter, 3 ... Air volume adjustment mechanism, 4 ... Filter frame, 5 ... Ceiling, 6 ... Ceiling hole, 7 ... Duct, DESCRIPTION OF SYMBOLS 8 ... Flexible shaft, 9 ... Air volume adjustment damper, 10 ... Through-hole, 11 ... Outer cylinder, 12 ... Sealing material, 13 ... Operation shaft, 14 ... Shaft coupling, DESCRIPTION OF SYMBOLS 15 ... Flexible tube, 20 ... Main body mechanism part, 21 ... Sealing material, 22 ... Plug, 23 ... Sealing material, 24 ... Flexible shaft receiving member, 25 ... Operation shaft Receiving member, 28 ... rod, 29 ... wind direction control plate
Claims (3)
- エアフィルタユニットであって、
エアフィルタを内蔵し、天井の孔に取り付けられるエアフィルタボックスと、
前記天井裏のダクトから前記エアフィルタへ供給する空気の量を調節する風量調節機構と、を有し、
前記風量調節機構は、
傾斜角度を変えることで前記空気の量を変える風量調節ダンパーと、
前記風量調節ダンパーのダンパー軸に接続されたフレキシブルシャフトと、
前記エアフィルタを前記エアフィルタボックス内で支えるフィルタフレームの貫通穴にはめ込んで取り付けられた外筒と、
前記外筒の中に回転可能に配置される操作シャフトと、
前記操作シャフトの上端部と前記フレキシブルシャフトの下端部を接続する軸継手と、
前記外筒と前記フィルタフレームの前記貫通穴の間を気密状態に保持する第1シール材と、
前記フレキシブルシャフトと前記外筒の上部との間を気密状態に保持する第2シール材と、
前記外筒の下部には、前記外筒の端を開閉可能に取り付けられる蓋部材と、を有し、
前記操作シャフトは、前記外筒内において、前記第2シール部材と前記蓋部材により気密状態に封印されていることを特徴とするエアフィルタユニット。 An air filter unit,
An air filter box with built-in air filter and attached to the ceiling hole;
An air volume adjusting mechanism for adjusting the amount of air supplied from the duct on the back of the ceiling to the air filter,
The air volume adjusting mechanism is
An air volume adjusting damper that changes the amount of air by changing an inclination angle; and
A flexible shaft connected to the damper shaft of the air volume adjusting damper;
An outer cylinder fitted in a through hole of a filter frame that supports the air filter in the air filter box;
An operation shaft rotatably disposed in the outer cylinder;
A shaft coupling connecting the upper end of the operation shaft and the lower end of the flexible shaft;
A first sealing material that holds an airtight state between the outer cylinder and the through hole of the filter frame;
A second sealing material for maintaining an airtight state between the flexible shaft and the upper part of the outer cylinder;
The lower part of the outer cylinder has a lid member attached to the end of the outer cylinder so as to be openable and closable,
The air filter unit is characterized in that the operation shaft is sealed in an airtight state by the second seal member and the lid member in the outer cylinder. - 前記蓋部材は、前記外筒に対して、第3シール材を介して気密状態に保持されていることを特徴とする請求項1に記載のエアフィルタユニット。 The air filter unit according to claim 1, wherein the lid member is held in an airtight state with respect to the outer cylinder via a third seal material.
- 前記風量調節ダンパーが、前記エアフィルタボックス内に収納されていることを特徴とする請求項1または2に記載のエアフィルタユニット。 The air filter unit according to claim 1 or 2, wherein the air volume adjusting damper is housed in the air filter box.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012-080879 | 2012-03-30 | ||
JP2012080879A JP2013210147A (en) | 2012-03-30 | 2012-03-30 | Air filter unit |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2013146941A1 true WO2013146941A1 (en) | 2013-10-03 |
Family
ID=49260190
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2013/059126 WO2013146941A1 (en) | 2012-03-30 | 2013-03-27 | Air filter unit |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013210147A (en) |
WO (1) | WO2013146941A1 (en) |
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---|---|
JP2013210147A (en) | 2013-10-10 |
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---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
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|
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Ref country code: DE |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 13767972 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
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