WO2013060524A3 - Vorrichtung und verfahren zur inspektion einer spiegelnden beschichtung - Google Patents
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Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Inspektion einer Oberflächenstruktur einer spiegelnden Beschichtung (1). Es wird ein Deflektometrie-System verwendet, bei dem ein von der spiegelnden Beschichtung erzeugtes Spiegelbild eines Lichtmusters erfasst und analysiert wird. Mittels Verwendung einer Vielzahl mittels einer ersten Ansteuereinrichtung (4) angesteuerten Leuchtdioden wird ein kompaktes, zuverlässiges und tragbares System vorgeschlagen.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102011085322.7 | 2011-10-27 | ||
DE201110085322 DE102011085322A1 (de) | 2011-10-27 | 2011-10-27 | Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion einer spiegelnden Beschichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2013060524A2 WO2013060524A2 (de) | 2013-05-02 |
WO2013060524A3 true WO2013060524A3 (de) | 2013-06-20 |
Family
ID=47016690
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/EP2012/067884 WO2013060524A2 (de) | 2011-10-27 | 2012-09-13 | Vorrichtung und verfahren zur inspektion einer spiegelnden beschichtung |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102011085322A1 (de) |
WO (1) | WO2013060524A2 (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9307112B2 (en) | 2013-05-31 | 2016-04-05 | Apple Inc. | Identifying dominant and non-dominant images in a burst mode capture |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2011
- 2011-10-27 DE DE201110085322 patent/DE102011085322A1/de not_active Ceased
-
2012
- 2012-09-13 WO PCT/EP2012/067884 patent/WO2013060524A2/de active Application Filing
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013060524A2 (de) | 2013-05-02 |
DE102011085322A1 (de) | 2013-05-02 |
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---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 12772084 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A2 |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
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