WO2013060524A3 - Vorrichtung und verfahren zur inspektion einer spiegelnden beschichtung - Google Patents

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Inspektion einer Oberflächenstruktur einer spiegelnden Beschichtung (1). Es wird ein Deflektometrie-System verwendet, bei dem ein von der spiegelnden Beschichtung erzeugtes Spiegelbild eines Lichtmusters erfasst und analysiert wird. Mittels Verwendung einer Vielzahl mittels einer ersten Ansteuereinrichtung (4) angesteuerten Leuchtdioden wird ein kompaktes, zuverlässiges und tragbares System vorgeschlagen.
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