WO2013060495A3 - Verfahren zur Herstellung eines Thermoelements - Google Patents

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WO2013060495A3 PCT/EP2012/065201 EP2012065201W WO2013060495A3 WO 2013060495 A3 WO2013060495 A3 WO 2013060495A3 EP 2012065201 W EP2012065201 W EP 2012065201W WO 2013060495 A3 WO2013060495 A3 WO 2013060495A3
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Siegrid Sommer
Herbert Günther
Frédéric ZIMMERMANN
Stefan Sommer
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Günther Heisskanaltechnik Gmbh
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    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/02—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
    • G01K7/028—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples using microstructures, e.g. made of silicon

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Thermoelement zur Erfassung der Temperatur an einer Messstelle, mit einem ersten Leiter, der ein erstes Ende und ein erstes Anschlussende aufweist, und mit einem zweiten Leiter, der ein zweites Ende und ein zweites Anschlussende aufweist, wobei das erste Ende des ersten Leiters und das zweite Ende des zweiten Leiters an der Messstelle elektrisch miteinander kontaktiert sind, und wobei das erste Anschiussende des ersten Leiters und das zweite Anschlussende des zweiten Leiters jeweils mit einer Anschlussleitung verbindbar ist. Dabei wird der erste Leiter und der zweite Leiter in Dickschichttechnik auf einem Substrat aufgebracht, wobei sich das erste Ende des ersten Leiters und das zweite Ende des zweiten Leiters an der Messstelle zumindest abschnittsweise überlappen. Eine Heißkanaldüse hat eine Heizung und ein erfindungsgemäßes.
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