WO2012101257A1 - Mikroelektromechanisches bauelement und verfahren zum testen eines mikroelektromechanischen bauelements - Google Patents

Mikroelektromechanisches bauelement und verfahren zum testen eines mikroelektromechanischen bauelements Download PDF

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WO2012101257A1
WO2012101257A1 PCT/EP2012/051336 EP2012051336W WO2012101257A1 WO 2012101257 A1 WO2012101257 A1 WO 2012101257A1 EP 2012051336 W EP2012051336 W EP 2012051336W WO 2012101257 A1 WO2012101257 A1 WO 2012101257A1
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membrane
sensor
deformation
test
actuator
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PCT/EP2012/051336
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Bernd Burchard
Michael Doelle
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Elmos Semiconductor Ag
Silicon Microstructures, Inc.
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    • B81B3/0018—Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L27/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
    • G01L27/007—Malfunction diagnosis, i.e. diagnosing a sensor defect
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/02—Sensors
    • B81B2201/0264—Pressure sensors

Definitions

  • the invention generally relates to a microelectromechanical device having special functional elements enabling the self-test of this device and the associated method for performing a self-test using these specific functional elements.
  • a differential pressure sensor for low pressures.
  • Such an exemplary system has nonlinearities.
  • the sensor has an offset, which can be easily measured.
  • the sensor is not linear. This requires at least three pressure measuring points, Among other things, the sensitivity is also determined.
  • both offset and linearity and sensitivity are not linearly dependent on temperature. This results in at least three temperature points for the measurement and calibration.
  • the setting of the at least nine pressure / temperature points requires considerable time, especially if, as in the case discussed here, it is a low pressure differential pressure sensor.
  • measuring and calibration times in the multi-digit minute range are achieved.
  • US-A-2009/0174418 already discloses a methodology which can serve the above purpose. However, it serves only the purpose of determining a membrane thickness. In particular, this disclosed invention does not enable the clean separation of temperature and mechanical stress. However, this is necessary in order to be able to carry out the calibrations described above in a clean manner. Furthermore, according to the known method, piezoresistive elements are used for the detection of the mechanical stress. These have some disadvantages over other stress-sensitive elements. In particular, either a large construction, as well as shown in US-A-2009/0174418 in the local Fig. 1, is necessary, which prevents the measurement of local mechanical stress, or it becomes a small piezoresistive Wheatstone bridge used, but then requires a higher energization and thus introduces an additional thermal load for the membrane to be measured.
  • WO-A-2008/061832 discloses a microelectromechanical component with a membrane spanning a cavity, on which two piezoresistors are arranged as sensors for detecting a deformation and a heating element as an actuator for inducing a membrane deformation. While the two sensors are arranged in the edge region of the membrane and thus in areas of maximized material stresses of the membrane during its deformation, the actuator is in the middle of the membrane, where its thermal coupling to the sensor elements is on average maximum, which can be disadvantageous.
  • a similar component as the one described above is also known from DE-A-10 2010 001 153.
  • the sensor is designed as a capacitive measuring bridge extending over the membrane.
  • the actuator is in turn a heater, which is arranged centrally of the membrane.
  • US-A-5 355 712 discloses a force sensor having a bending beam as a diaphragm. At its attachment end, the bending beam on an actuator and a sensor element, which are arranged closely adjacent.
  • micromechanical components are described in EP-A-0 118 605 and in the article by Puers, R, et al. "On the Mechanisms in Thermally Actuated Composite Diaphragms", in Sensors and Actuators A 67 (1998), p. 13 -17, described.
  • the invention therefore has as its object to enable a (in particular high-speed) test of microelectromechanical systems by means of built-in test devices.
  • These test aids should be able to separate mechanical from other parameters such as temperature, you should therefore have at least one compact actuator as small as possible and at least one also small as possible sensor itself does not act as a parasitic actuator, for example by thermal load and subsequent thermo-mechanical expansion.
  • the test aids should preferably continue to be usable after installation and commissioning.
  • the invention proposes a microelectromechanical component which is provided with
  • the membrane (2) has regions in which material strains of different sizes occur when the membrane (2) is deformed
  • test actuator and the sensor are arranged in those regions of the membrane, (i) in which, when the membrane is deformed, the material tensions are maximal and (ii) their mutual
  • the membrane (2) has regions in which material strains of different sizes occur when the membrane (2) is deformed
  • test actuator and the sensor are arranged in those regions of the membrane, (i) in which, when the membrane is deformed, the material tensions are maximal and (ii) their mutual
  • the test actuator is actuated for the purpose of test purposes deformation of the membrane and is then determined on the basis of the measurement signal of the sensor, whether a deformation of the membrane has been detected.
  • a microelectromechanical component with, for example, an externally acting force or pressure reversibly deformable membrane with a test structure, which allows a self-test of the device both in qualitative and only in quantitative manner.
  • a quantitative investigation is possible with the aid of the component according to the invention insofar as, after its manufacture, an automatic check is then possible as to whether the membrane is even present.
  • a qualitative examination can be carried out with the component according to the invention and the method according to the invention insofar as the degree of a test for test purposes is carried out.
  • Following deformation of the membrane namely by the actuator
  • the comparison shows whether the microelectromechanical device is within a manufacturing tolerance range or not. In this way Gutteiie can be distinguished from bad parts.
  • the test actuator and the sensor are each arranged in regions of maximum material stresses of the membrane during its deformation, wherein those of these regions are selected which have the maximum distance from one another.
  • the test actuator and the sensor are thus located, for example, at (diametrically) opposite points and in the edge region of the membrane. If several sensors are used, it should be ensured according to the invention that their respective distance to the test actuator is at a maximum and thus the thermal coupling is minimally dynamic.
  • the invention thus ensures that the test actuator (for example, a heater) and the sensor or each of the sensors are each arranged in the region of the origin of maximum material stresses (in the case of a deformation of the membrane) wherein ⁇ to the Testaktuator is additionally placed at a maximum possible distance from the sensor or for each sensor. This allows optimum separation from a thermal wave triggered by the activity of the actuator
  • the test actuator is designed as a thermal actuator, it is achieved that the thermal wave propagating through the membrane reaches the sensor or the sensors later than the mechanical shaft, ie as the bodyshop which gives rise to deformation.
  • the maximization of the distance between the test actuator and the sensor or each of the sensors is provided.
  • the membrane can be physically interpreted as bending bales that are clamped at least on opposite sides. But it is also conceivable that the membrane is clamped on all sides.
  • the test actuator and the sensor are located at opposite edges, preferably in the central regions of the opposite edges, ie in the middle between the corners of the opposite edges.
  • the test actuator and the sensor are preferably diametrically opposite.
  • the maximum material stress forms when the membrane is deformed. In that regard, these positions offer for the arrangement of test actuator and sensor according to the invention.
  • An evaluation and control unit provided for the purpose of the test can be an (integral) component of the microelectromechanical component (on-chip design); but it is also possible that this evaluation and AnSteuerü is arranged externally.
  • the control part of this unit is used in particular only for test purposes, while the evaluation structures of this unit is also used when using the device as a sensor for determining mechanical forces or pressures.
  • the term "membrane” is used to describe a reversibly clamped one-sided, two-sided, three-sided or even multiple-sided Formable element meant in which build up as a result of deformation mechanical stresses that can be detected by measurement using the sensor, as a test actuator, the various converters come into question, which generate a force for (at least local) deformation of the membrane from an arbitrarily designed control ,
  • These transducers may be piezoresistive, electrostatic-mechanical, magnetostatic, electrodynamic or electrothermal transducers, with electrothermal transducers in particular being of advantage, since these transducers, even in ⁇ m dimensions, can still develop sufficient forces to form diaphragms of significantly deflect microelectromechanical components.
  • Electrothermal transducers expediently have a heating element designed as a resistance heater. Due to the thermally induced iokaie heating of the membrane it comes in this to voltages that affect in the form of mechanical stresses, These mechanical stresses lead to a deformation of the membrane, which in turn is metrologically detected by the sensor. Better effects can be achieved by producing a bimetallic effect in the area of local heating of the membrane.
  • a material layer for example metal layer
  • two materials with different coefficients of thermal expansion are adjacent to one another in the region of the heating element.
  • the local heating of the membrane in this case ensures a mechanical deformation and thus for a structure-borne sound wave, which propagates much faster than the subsequent thermal wave.
  • local heating of the membrane initially results in mechanical deformation before the membrane and the material applied to it are ultimately heated to substantially the same temperature level.
  • the sensor expediently has one or more resistors or transistors sensitive to mechanical material stresses.
  • a heat influence on the sensor during the self-test (when the test actuator is designed as a heating element) can be eliminated when using a transistor for the sensor, since the threshold voltage of the transistor is temperature-dependent.
  • a transistor for example, a piezo-resistive transistor in question.
  • the temperature behavior of the sensor is known (which, as explained above, wherein the transistors of the case), is a para ⁇ sitärer thermal influence on the sensor from which the measurement signal "herausrechenbar".
  • Fig. 2 illustrates an exemplary micromechanical Absoiutdrucksensor in top view
  • Fig. 3 shows the response of the exemplary absolute pressure sensor to an exemplary example ⁇ sinusoidal excitation
  • FIG. 5 Dependence of the sensor output signal on the actuator stimulation for a good part and a bad part.
  • the invention will be explained with reference to a differential pressure sensor for low pressures. It is analogously applicable to other micro (electro) mechanical systems. If the pressures to be detected by the sensor during normal operation are too low, the times until the temperatures and the mechanics stabilize become too long.
  • Such a sensor is in Flg. 1 shown. It is manufactured on the basis of, for example, a silicon wafer and has a semiconductor substrate 1 with an upper side 1a.
  • the electronic structures are fabricated on top of the wafer.
  • a CMOS process is used for this.
  • Other known IC fabrication technologies are also applicable. The nature of the electronic structures will be explained later.
  • a cavity 2a is typically etched into the wafer from the underside of the semiconductor substrate 1 by means of a DRIE or plasma etching process. This cavity 2a, together with the other surface of the wafer, defines a membrane.
  • the membrane is locally thinned by an annular or square trench 12. This trench is used to model the stress field and the
  • Membrane generated useful stress it also takes over the distribution here mechanical stress introduced by additional stress generating test actuators.
  • a major problem is the precise manufacture of the actuators. On an unstructured membrane, a misplacement of the sensors, which can not be ruled out as a result of manufacturing fluctuations, would lead to a change in the stress factor acting on the sensors. This is avoided by a suitable shaping of the webs. These are shaped in such a way that the stress field does not depend on the positional tolerances for these sensors both when generated by mechanical pressure on the membrane and when mechanical stress factors are generated by test actuators for the sensors. The shape of the stage is not necessary for the invention component. For the test actuators, the demand is a little different: A shift of the test actuators due to manufacturing variations should not lead to a change in the mechanical stress of the sensors. Again, a suitable shaping of the webs to a limited, but sufficient independence of the mechanical stress acting on the sensors of the position of the test actuators when they are activated.
  • electrostatic-mechanical converters magnetostatic transducers, electrodynamic transducers and electrothermal transducers are suitable as test actuators.
  • electrothermal transducers in particular can develop forces at ⁇ m scales in order to directly generate a significant deflection of the membrane that can be detected by the sensors.
  • the other transducer principles are only suitable if resonances that accumulate can be excited.
  • electrical resistances are suitable as electrothermal transducers. Since the position relative to the stress-guiding structures, which are formed by the trenches 12 in the exemplary case, is of particular importance for the precision of the excitation, it makes sense to use trenches 12, sensors 3, 4, 5 , 6 and actuators 7,8,9,10 by a common process step in their position to define horizontal shape, size and orientation to each other. That is, it is particularly advantageous if it is a self-aligning process.
  • CMOS fabrication processes are based on the use of a gate-poly-silicon layer as a self-aligning mask for subsequent implantations in the CMOS process.
  • This gate poly can also be used to dimension the resistors and trenches. It is only through the self-alignment chain actuator 7, 8, 9, 10, trenches 12, sensor 3, 4, 5, 6 that it is ensured that the sensors 3, 4, 5, 6 always have a similar effect when correctly manufactured within the remaining manufacturing tolerances Get a message of stress.
  • the actuator 7, 8, 9, 10 has a maximum lever in relation to the deflection of the diaphragm 2. To obtain a maximum signal, it makes sense to perform the actuators 7,8,9,10 as self-aligning resistors.
  • the measurement of the membrane reaction is typically but not necessarily via a Wheatstone bridge.
  • the actuators 7, 8, 9, 10 result in a thermal gradient, e.g. in US-A-2009/0174418 makes it useless for a conventional Wheatstone bridge with piezoresistive resistors in the middle of the northwest, east, and south edges of the membrane, respectively, since offsets are already unique an inhomogeneous heat distribution are due. Ideal would be a quasi punctiform Wheatstone bridge.
  • a MOS transistor field plate with four terminals is particularly suitable. If this is provided with a hole in the middle, you can view this field plate as a square connection of four transistors.
  • the use of a single base element would also be sufficient as a stress-sensitive element.
  • This is not optimal due to parasitic influences.
  • the main advantage of using MOS transistor field plates is that their temperature can be determined by threshold voltage, which is essentially independent of the mechanical stress but dependent on the temperature. Thus, an exact separation of mechanical stress and temperature is possible. Thus, the separation of the mechanical from the thermal actuator effect is possible.
  • Fig. 2 shows the top view of an exemplary sensor.
  • the sensor according to FIG. 2 has the FET field plate 17, which is already mentioned above and operates as the actual sensor element, which is connected via the four lines 18, 19, 20, 21 to four connection pads 24, 25, 26, 27.
  • the actuator is designed as a heating element and has the resistor 29 and the metallic cover 30 of the same. It is connected via lines 22, 23 to the respective connection pads 27, 28.
  • the heating element and the sensor element are fitted on the membrane 16.
  • the sensor 17 and the actuator 28, 39, 30 are furthermore connected to an evaluation and control unit 41, which can be arranged "on-chip" or else externally.
  • FIG. 3 shows the temporal behavior of an exemplary sensor according to FIG. 2.
  • the membrane 2 bulges upward (when the heating element is arranged on the inside of the cavity), because the metal has a higher coefficient of expansion.
  • the membrane is already bent in the other direction, eg due to the applied pressure, a bistable state occurs. The membrane shortens and relaxes abruptly when jumping in the iokal other bent state, this occurs at fast square excitation 39 a spike Verhah th 40 (see Fig. 4). This can not be observed directly at lower frequencies 37,38.
  • the frequency and impulse behavior of the mechanical system depends essentially on its parameters and thus on their manufacturing deviations.
  • An essential step is now not to try to determine these parameters, but rather to examine the dynamic behavior of a manufactured sensor system to determine whether it corresponds to the behavior within given tolerances known from a good system.
  • the output signal of a measuring bridge as shown in FIG. 2 as a function of the actuator state (here heating power) are investigated.
  • 5 shows the answer of each exemplary sensor according to FIG. 2.
  • the curve 42 shows the output signal of a sensor manufactured and operating in accordance with the regulation as a function of the heating power.
  • the curve 43 shows the gieiche output signal for a faulty manufactured sensor.
  • the erroneous sensor exemplified here has a faulty temperature coefficient of Ausganssignal offset with accurate characterization.
  • 44 denotes the tolerance range within which the output signal of a sensor which is to be qualified as acceptable is located.
  • Wafers can be determined without having to go to different temperatures and pressures consuming, these can rather to a different dynamic mechanical behavior and a modified Ternperaturieit- ability.
  • these measurements provided according to the invention can also be used for self-testing purposes even after the installation of a sensor designed in this way into a more complex overall system.
  • semiconductor substrate e.g., silicon wafer

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Abstract

Das mikroelektromechanische Bauelement weist ein Halbleitersubstrat (1) mit in diesem ausgebildeter Kavität (2a) auf, die von einer reversibel verformbaren Membran (2) überdeckt ist. Innerhalb des Bereichs der Membran (2) ist ein Sensor (17) zur Erfassung einer Verformung der Membran (2) ausgebildet. Ebenfalls innerhalb des Bereichs der Membran (2) ist ein Testaktuator (28, 29, 30) zur zu Testzwecken erfolgenden Verformung der Membran (2) angeordnet. Schließlich weist das mikroelektromechanische Bauelement eine mit dem Sensor ( 17) und dem Testaktuator (28, 29, 30) verbundene Auswerte- und Ansteuereinheit (41) zur Ansteuerung des Testaktuators (28, 29, 30) zur testweisen Verformung der Membran (2) und zur Auswertung eines Messsignals des Sensors (17) als sensorische Erfassung einer Verformung der Membran (2) infolge der Ansteuerung des Testaktuators (28, 29, 30) auf.

Description

Mikroelektromechanisches Bauelement und Verfahren zum Testen eines mikroelektromechanischen Bauelements
Die Erfindung betrifft im Allgemeinen eine mikroelektromechanische Vorrichtung mit speziellen Funktionselementen, die den Seibsttest dieser Vorrichtung ermöglichen, und das zugehörige Verfahren zum Durchführung eines Selbsttests unter Benutzung dieser speziellen Funktionselemente.
Die Fertigungsprüfung mikromechanischer Vorrichtungen in der industriellen Serienproduktion erfolgt heute typischer Weise als Funktionsprüfung. Bereits aus der Prüfung integrierter Digitalschaltungen ist bekannt, dass die Fehlerabdeckung von Funktionsprüfungen gemessen an einfachen stuck-at-0 stuck-at- 1 Fehlermodellen selten mehr als 70% erreicht. Daher wurden spezielle Testmethoden entwickelt, die die Testabdeckung wesentlich erhöhen. Beispieihaft kann hier die Scan-Pfad-Methodik genannt werden. Charakteristikum der heutigen Test, die zudem wesentlich schneller ablaufen, ist, dass nicht die Funktion des Systems, sondern die korrekte Realisierung geprüft wird. Die Funk- tionsprüfungen beschränken sich dann auf wenige kritische Fälle, die repräsentativ für die Gesamtfunktion stehen.
Diese Erfahrungen aus der Fertigung integrierter elektronischer Schaltkreise sind auf mikroelektromechanische Systeme zu übertragen.
Als Beispiel für die Prüfproblematik mikroelektromechanischer Systeme soll diese anhand eines Differenzdrucksensors für niedrige Drücke erläutert werden. Ein solches beispielhaftes System verfügt über Nichtlinearitäten. Zum einen verfügt der Sensor über einen Offset, der messtechnisch leicht zu erfassen ist. Zum anderen ist der Sensor nicht linear. Dies erfordert mindestens drei Druckmesspunkte, Unter anderem wird dabei auch die Sensitivität ermittelt. Außerdem sind sowohl Offset als auch Linearität und Sensitivität von der Temperatur nicht linear abhängig. Somit ergeben sich mindestens drei Tempera- turpunkte für die Messung und Kalibration.
Die Einstellung der mindestens neun Druck-/Temperatur-Punkte erfordert erhebliche Zeit, insbesondere wenn es sich wie bei dem hier diskutierten Fall um einen Niedrigdruck-Differenzdrucksensor handelt. Hierbei werden Mess- und Kalibrationszeiten im mehrstelligen Minutenbereich erreicht.
Die US-A-2009/0174418 offenbart bereits eine Methodik, die dem obigen Zweck dienen kann. Allerdings dient sie lediglich dem Zweck, eine Membrandicke zu ermitteln. Insbesondere ermöglicht diese offenbarte Erfindung nicht die saubere Trennung von Temperatur und mechanischem Stress. Dies ist aber notwendig, um die oben beschriebenen Kalibrierungen sauber vornehmen zu können. Des Weiteren werden nach der bekannten Methodik piezoresistive Elemente für die Detektion des mechanischen Stresses verwendet. Diese weisen einige Nachteile gegenüber anderen stresssensitiven Elementen auf. insbesondere ist entweder eine große Bauform, wie auch in der US-A- 2009/0174418 in der dortigen Fig. 1 richtig dargestellt, notwendig, die die Messung des lokalen mechanischen Stresses verhindert, oder aber es wird eine kleine piezo-resistive Wheatstone-Brücke verwendet, die dann jedoch eine höhere Bestromung erfordert und somit eine zusätzliche thermische Last für die zu vermessende Membran einbringt.
Ein weiteres Problem ergibt sich bei der Verwendung der oben angesprochenen Differenzdrucksensoren in Zielsystemen. In der Regel wird ein solcher Sensor in ein Gehäuse eingebaut. Durch die Montage, typischerweise eine Verflötung oder Verklebung mit einer gedruckten Schaltung, kommt es infolge des Montageprozesses und des späteren Gebrauches zu Verwindungen und Verzerrungen des Sensors, was sich in fehlerhaften Signalen äußert. Daher ist es sinnvoll, nach Verbau eines Sensors diesen jederzeit vermessen zu können, ohne dass ein Druck-Equipment benutzt werden muss.
Aus WO-A-2008/061832 ist ein mikroeiektromechanisches Bauteil mit einer eine Kavität überspannenden Membran bekannt, auf der zwei Piezowider- stände als Sensoren zur Erkennung einer Verformung und ein Heizelement als Aktuator zur Induzierung einer Membranverformung angeordnet sind. Während die beiden Sensoren im Randbereich der Membran und damit in Bereichen maximierter Materialspannungen der Membran bei deren Verformung angeordnet sind, befindet sich der Aktuator in der Mitte der Membran, wo seine thermische Kopplung an die Sensorelemente im Mittel maximal ist, was nachteilig sein kann.
Ein ähnliches Bauteil wie das zuvor beschriebene ist auch aus DE-A-10 2010 001 153 bekannt. Der Sensor ist als sich über die Membran erstreckende kapazitive Messbrücke ausgebildet. Der Aktuator ist wiederum ein Heizer, der mittig der Membran angeordnet ist.
In US-A-5 355 712 ist ein Druck- bzw. Kraftsensor beschrieben, der als Membran einen Biegebalken aufweist. An seinem Befestigungsende weist der Biegebalken einen Aktuator und einen Sensorelement auf, die eng benachbart angeordnet sind.
Weitere mikromechanische Bauelemente sind in EP-A-0 118 605 und in dem Artikel von Puers, R, et al : "On the mechanisms in thermally actuated compo- site diaphragms", in Sensors and Actuators A 67 (1998), S. 13-17, beschrieben . Die Erfindung stellt sich daher die Aufgabe, einen (insbesondere Hochge- schwindigkeits-)Test rnikroeiektromechanischer Systeme mittels eingebauter Testhiifen zu ermöglichen. Diese Testhilfen sollen mechanische von sonstigen Parametern wie beispielsweise Temperatur trennen können , Sie sollten daher mindestens einen möglichst kompakten kleinen Aktuator und mindestens einen ebenfalls möglichst kleinen Sensor aufweisen, der selbst nicht als parasitärer Aktuator z.B. durch thermische Last und folgende thermomechanische Ausdehnung wirkt. Die Testhilfen sollen vorzugsweise auch nach dem Verbau und der Inbetriebnahme weiterhin nutzbar sein.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird mit der Erfindung ein mikroelektromechani- sches Bauelement vorgeschlagen, das versehen ist mit
einem Halbleitersubstrat,
einer in dem Halbleitersubstrat ausgebildeten Kavität, die von einer reversibel verformbaren Membran überdeckt ist,
wobei die Membran (2) Bereiche aufweist, in denen sich bei einer Verformung der Membran (2) unterschiedlich große Materialspannungen einstellen,
einem Sensor zur Erfassung einer (aktiven und gegebenenfalls auch passiven) Verformung der Membran und
einem Testaktuator zur zu Testzwecken erfolgenden Verformung der Membran,
wobei der Testaktuator und der Sensor in denjenigen Bereichen der Membran angeordnet sind, (i) in denen bei einer Verformung der Mem- bran die Materialspannungen maximal sind und (ii) deren gegenseitiger
Abstand am größten ist, und
in einer vorzugsweisen Weiterbildung der Erfindung mit einer mit dem Sensor und dem Testaktuator verbundenen Auswerte- und Ansteuerein- heit zur Ansteuerung des Testaktuators zur testweisen Verformung der Membran und zur Auswertung eines Messsignals des Sensors als sensori- sche Erfassung einer Verformung der Membran infolge der Ansteuerung des Testaktuators. Die zuvor genannte Aufgabe wird ferner durch ein Verfahren zum Testen der Funktionalität eines mikroe!ektromechanischen Bauelements gelöst, das versehen ist mit
einem Halbleitersubstrat,
- einer in dem Halbleitersubstrat ausgebildeten Kavität, die von einer reversibel verformbaren Membran überdeckt ist,
wobei die Membran (2) Bereiche aufweist, in denen sich bei einer Verformung der Membran (2) unterschiedlich große Materialspannungen einstellen,
- einem Sensor zur Erfassung einer Verformung der Membran und
einem Testaktuator zur zu Testzwecken erfolgenden Verformung der Membran,
wobei der Testaktuator und der Sensor in denjenigen Bereichen der Membran angeordnet sind, (i) in denen bei einer Verformung der Mem- bran die Materialspannungen maximal sind und (ii) deren gegenseitiger
Abstand am größten ist, und
wobei bei dem erfindungsgemäßen Verfahren
der Testaktuator zur zu Testzwecken erfolgenden Verformung der Membran angesteuert wird und anschließend anhand des Messsignais des Sensors ermittelt wird, ob eine Verformung der Membran erfasst worden ist.
Nach der Erfindung ist also vorgesehen, ein mikroelektromechanisches Bauelement mit einer beispielsweise infoige von außen auswirkender Kräfte oder Drücke reversibel verformbaren Membran mit einer Teststruktur zu versehen, die einen Selbsttest des Bauelements sowohl in qualitativer als auch lediglich in quantitativer Weise ermöglicht. Eine quantitative Untersuchung ist mit Hilfe des erfindungsgemäßen Bauelements insoweit möglich, als dass nach dessen Fertigung eine automatische Überprüfung daraufhin möglich ist, ob die Membran überhaupt vorhanden ist. Eine qualitative Untersuchung kann mit dem erfindungsgemäßen Bauelement und dem erfindungsgemäßen Verfahren insoweit durchgeführt werden, als dass der Grad einer zu Testzwecken erfol- genden Verformung der Membran (nämlich durch den Aktuator) anschließend messtechnisch mit vorgebbaren Toleranzen erfasst werden kann. Der Vergleich zeigt dann, ob das mikroelektromechanische Bauelement innerhalb eines Fertigungstoleranzbereichs liegt oder nicht. Auf diese Weise können Gutteiie von Schlechtteilen unterschieden werden.
Erfindungsgemäß besteht die Besonderheit des mikroelektromechanischen Bauelements darin, dass der Testaktuator und der Sensor jeweils in Bereichen maximaler Materialspannungen der Membran bei dessen Verformung angeord- net sind, wobei diejenigen dieser Bereiche ausgewählt sind, die den maximalen Abstand voneinander aufweisen. Bei einer Membran, die als zwei- bzw. mehrseitig eingespannter Balken betrachtet werden kann, befinden sich der Testaktuator und der Sensor also beispielsweise an (diametral) gegenüberliegenden Stellen und im Randbereich der Membran. Wenn mehrere Sensoren Ver- wendung finden, so sollte erfindungsgemäß darauf geachtet werden, dass ihr jeweiliger Abstand zum Testaktuator maximal und damit die thermische Kopplung dynamisch betrachtet minimal ist.
Im Gegensatz zum Stand der Technik wird bei der Erfindung also darauf abge- stellt, dass der Testaktuator (beispielsweise ein Heizer) und der Sensor bzw. jeder der Sensoren jeweils im Bereich des Entstehens maximaler Material¬ spannungen (bei einer Verformung der Membran) angeordnet sind, wobei zu¬ sätzlich der Testaktuator in einem maximal möglichen Abstand zum Sensor bzw. zu jedem Sensor platziert ist. Dies ermöglicht eine optimale Trennung von einer durch die Aktivität des Aktuators ausgelösten thermischen Welle
(d.h. nicht kohärenten Phononen-Welle) und der mechanischen Weile (Körperschallwelle d.h. eine kohärente Phononen-Welle), die sich unterschiedlich schnell durch die Membran hindurch bewegen. Die vom Aktuator ausgelöste Welle ist zweckmäßigerweise wesentlich langsamer als die Körperschallwelle. Damit wird bei Ausbildung des Testaktuators als Thermoaktuator erreicht, dass die thermische Welle, die sich durch die Membran hindurch fortpflanzt, den Sensor bzw. die Sensoren später erreicht als die mechanische Welle, d.h. als die Körperschaüwelie, die infoige der Verformung entsteht. Damit diese Trennung zuverlässig erfolgt, ist erfindungsgemäß die Maximierung des Abstandes zwischen dem Testaktuator und dem Sensor bzw. jedem der Sensoren vorgesehen.
Wie bereits oben erwähnt, kann die Membran physikalisch als Biegebaiken aufgefasst werden, der zumindest an gegenüberliegenden Seiten eingespannt ist. Es ist aber auch denkbar, dass die Membran allseitig eingespannt ist. Bei einer in der Draufsicht rechteckigen bzw. viereckigen Form der Membran liegt der Testaktuator und der Sensor an gegenüberliegenden Rändern, und zwar vorzugsweise in den mittleren Bereichen der gegenüberliegenden Ränder, also in der Mitte zwischen den Ecken der gegenüberliegenden Ränder. Bei Ausbildung der Membran in runder Form liegen der Testaktuator und der Sensor vorzugsweise diametral gegenüber. Bei den zuvor genannten Stellen der zuvor genannten Membranformen bildet sich die maximale Materialspannung aus, wenn die Membran verformt wird. Insoweit bieten sich diese Positionen zur Anordnung von Testaktuator und Sensor erfindungsgemäß an.
Eine für die Testzwecke vorgesehene Auswerte- und Ansteuereinheit kann (integraler) Bestandteil des mikroe!ektromechanischen Bauelements sein (On- Chip-Ausbildung); es ist aber auch möglich, dass diese Auswerte- und AnSteuereinheit extern angeordnet ist. Der Ansteuerteil dieser Einheit dient insbesondere ausschließlich zu Testzwecken, während die Auswertestrukturen dieser Einheit auch beim Einsatz des Bauelements als Sensor zur Ermittlung mechanischer Kräfte oder Drücke Verwendung findet.
Mit dem erfindungsgemäßen Ansatz ist es möglich, das mikroelektromechani- sche Bauelement auch während setner Einsatzdauer immer wieder Selbsttests zu unterziehen.
Im Zusammenhang mit der Erfindung ist mit dem Begriff "Membran" ein einseitig, zweiseitig, dreiseitig oder gar mehrseitig eingespanntes reversibel ver- formbares Element gemeint, in dem sich infolge der Verformung mechanische Spannungen aufbauen, die mit Hilfe des Sensors messtechnisch erfasst werden können, Als Testaktuator kommen die verschiedensten Wandler in Frage, die aus einer beliebig gestalteten Ansteuerung eine Kraft zur (zumindest lokalen) Verformung der Membran erzeugen. Bei diesen Wandlern kann es sich um piezo- resistive, elektrostatisch-mechanische, magnetostatische, elektrodynamische oder elektrothermische Wandler handeln, wobei insbesondere elektrothermi- sehe Wandler von Vorteil sind, da diese Wandler selbst in μm-Abmessungen noch genügend Kräfte entwickein können, um Membran von mikroelektro- mechanischen Bauelementen signifikant auslenken zu können.
Elektrothermische Wandler weisen zweckmäßigerweise ein als Widerstands- heizeiement ausgebildetes Heizelement auf. Durch die thermisch eingebrachte iokaie Erhitzung der Membran kommt es in dieser zu Spannungen, die sich in Form mechanischer Spannungen auswirken, Diese mechanischen Spannungen führen zu einer Verformung der Membran, die wiederum messtechnisch durch den Sensor erfassbar ist. Bessere Effekte erzielt man, wenn man im Bereich der lokalen Erhitzung der Membran einen Bimetall- Effekt erzeugen kann.
Hierzu kann beispielsweise auf der Membran eine Materialschicht (beispielsweise Metalischicht) aufgebracht sein, so dass im Bereich des Heizelements zwei Materialien mit unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aneinander liegen. Dadurch, dass sich das eine Material bei Erwärmung in einem stärkeren Maße als das andere Material ausdehnt, kommt es zu einer Verformung der Membran. Die lokale Erhitzung der Membran sorgt hierbei für eine mechanische Verformung und damit für eine Körperschallwelle, die sich wesentlich schneller ausbreitet als die nachfolgende thermische Welle. Damit kommt es bei lokaler Erhitzung der Membran zunächst zu einer mechanischen Verformung, bevor die Membran und das auf ihr aufgebrachte Material letztendlich auf im Wesentlichen das gleiche Temperaturniveau erwärmt ist. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Der Sensor weist zweckmäßigerweise ein oder mehrere für mechanische Materialspannungen sensitive Widerstände oder Transistoren auf. Ein während des Selbsttests auf den Sensor einwirkender Wärmeeinfluss (bei Ausbildung des Testaktuators als Heizelement) kann bei Verwendung eines Transistors für den Sensor herausgerechnet werden, da die Threshhold-Spannung des Transistors temperaturabhängig ist. Als Transistor kommt beispielsweise ein piezo- resistiver Transistor in Frage. Wenn das Temperaturverhalten des Sensors bekannt ist (was, wie zuvor erläutert, bei Transistoren der Fall ist), ist ein para¬ sitärer thermischer Einfluss auf den Sensor aus dessen Messsignal "herausrechenbar". Die Erfindung wird nachfolgend anhand mehrerer Ausführungsbeispiele und unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher eriäutert. Im Einzelnen zeigen dabei :
Fig. 1 einen beispielhaften mikromechanischen Differenzdrucksensor in Auf- sieht,
Fig. 2 einen beispielhaften mikromechanischen Absoiutdrucksensor in Aufsicht, Fig. 3 die Antwort des beispielhaften Absolutdrucksensors auf eine beispiel¬ hafte Sinusanregung,
Fig. 4 die Antwort des beispielhaften Absolutdrucksensors auf eine beispielhafte Rechteckanregung und
Fig. 5 Abhängigkeit des Sensorausgangssignals von der Aktuator-Stimulie- rung für ein Gut- und ein Schlechtteil. Die Erfindung wird anhand eines Differenzdrucksensors für niedrige Drücke erläutert. Sie ist auf andere mikro(-elektro-)mechanische Systeme analog anwendbar. Sind die durch den Sensor im bestimmungsgemäßen Betrieb zu erfassenden Drücke zu gering, so werden die Zeiten bis zur Stabilisierung der Temperaturen und der Mechanik zu lang.
Ein solcher Sensor ist in Flg. 1 dargestellt. Er wird auf Basis beispielsweise eines Silizium-Wafers gefertigt und weist ein Halbleitersubstrat 1 mit einer Oberseite 1a auf.
Als erstes werden in dem beispielhaften Fall eines Drucksensors für niedrige Drücke die elektronischen Strukturen auf der Oberseite des Wafers gefertigt. In diesem Beispiel wird hierfür ein CMOS Prozess benutzt. Andere bekannte IC-Herstellungstechnologien sind ebenfalls anwendbar. Die Natur der elektro- nischen Strukturen wird später erläutert.
Um die für die Druckmessung notwendige Membran 2 zu fertigen, wird typischerweise von der Unterseite des Halbleitersubstrats 1 her in dieses eine Kavität 2a mittels DRIE- oder Plasma-Ätzverfahren in den Wafer geätzt. Diese Kavität 2a definiert zusammen mit der anderen Oberfläche des Wafers eine Membran.
Um dem Drucksensor die Fähigkeit eines Niedrigdrucksensors zu geben, wird die Membran durch einen ringförmigen oder quadratischen Graben 12 lokal ausgedünnt. Dieser Graben dient zur Modellierung des Stressfeldes und der
Temperaturleitfähigkeit. Die Erfindung ist jedoch auf das Vorhandensein dieses Grabens beschränkt.
Im Gegensatz zu bereits bekannten Lösungen, bei denen die Stressfeid-Model- lierung zur gezielten Leitung des durch den mechanischen Druck auf die
Membran erzeugten Nutz-Stresses dient, übernimmt sie hier auch die Vertei- lung des mechanischen Stresses, der durch zusätzliche Stresserzeugungs- Testaktuatoren eingebracht wird.
Ein wesentliches Problem ist die präzise Fertigung der Aktuatoren. Auf einer unstrukturierten Membran würde eine Fehlplatzierung der Sensoren, wie sie infolge Fertigungsschwankungen nicht auszuschließen ist, zu einer Änderung des auf die Sensoren einwirkenden Stressfeides führen. Dies wird durch eine geeignete Ausformung der Stege vermieden. Diese werden so geformt, dass das Stressfeid sowohl bei Erzeugung durch mechanischen Druck auf die Membran als auch bei Erzeugung eines mechanischen Stressfeides durch Testaktuatoren für die Sensoren nicht von den Lagetoleranzen für diese Sensoren abhängt. Die Ausformung der Stage ist kein für die Erfindung notwendiger Bestandteil. Für die Testaktuatoren stellt sich die Forderung ein wenig anders dar: Eine Verschiebung der Testaktuatoren infolge von Fertigungsschwankungen sollte nicht zu einer Änderung des mechanischen Stressfeides für die Sensoren führen. Auch hier führt eine geeignete Formung der Stege zu einer begrenzten, aber ausreichenden Unabhängigkeit des auf die Sensoren einwirkenden mechanischen Stresses von der Lage der Testaktuatoren, wenn diese aktiviert werden.
Als Testaktuatoren kommen grundsätzlich elektrostatisch-mechanische Wand- ler, magnetostatische Wandler, eiektrodynamische Wandler und elektrothermi- sche Wandler in Frage.
Insbesondere elektrothermische Wandler können jedoch in μ m-Maßstäben genügend Kräfte entwickeln, um direkt eine signifikante und für die Sensoren erfassbare Auslenkung der Membran zu erzeugen. Die anderen Wandler-Prinzipien sind nur geeignet, wenn Resonanzen angeregt werden können, die sich kumulieren. Ais elektrothermische Wandler eignen sich insbesondere elektrische Widerstände, Da die Lage gegenüber den Stressführungsstrukturen, die im beispielhaften Fali durch die Gräben 12 gebildet werden, von besonderer Bedeutung für die Präzision der Anregung ist, ist es sinnvoll, Gräben 12, Sensoren 3,4,5,6 und Aktuatoren 7,8,9,10 durch einen gemeinsamen Prozessschritt in ihrer Lage, horizontalen Form, Größe und Ausrichtung zueinander zu definieren. Das heißt, es ist besonders vorteilhaft, wenn es sich um einen selbstjustierenden Prozess handelt. Typischerweise basieren selbstjustierende CMOS Fertigungsprozesse auf der Verwendung einer Gate-Poly-Silizium-Lage als seibstjustierende Maske für nachfolgende Implantationen im CMOS Prozess. Dieses Gate-Poly kann auch zur Dimensionierung der Widerstände und der Gräben genutzt werden. Erst durch die Selbstjustierungskette Aktuator 7,8,9,10, Gräben 12, Sensor 3,4,5,6 ist sichergestellt, dass die Sensoren 3,4,5,6 bei korrekter Fertigung im Rahmen der dann noch verbleibenden Restfertigungstoleranzen immer ein ähnliches Stressfeld vermittelt bekommen. Um den Einfluss der (vertikalen) Kavitätswand 11, die schlecht gegenüber den CMOS-Strukturen justiert werden kann, zu eliminieren, ist es wichtig, dass zwischen der zur Kavitätswand 11 nächstbenachbart angeordneten Außenkante des in der einen (Ober-)Seite 1a der Membran 2 ausgebildeten Grabensystems 14 und der Kavitätswand 11 ein Abstand eingehalten wird.
Um ein optimales Aktuatorsignal zu erhalten ist es sinnvoll, die Tiefe der Gräben 12 so zu wählen, dass die Lage der neutralen Faser innerhalb der Stege mit Aktuatoren 7,8,9,10 bei Betätigung der Aktuatoren mit der Tiefe des Grabens 12 übereinstimmt. In diesem Fail hat der Aktuator 7,8,9,10 einen maxi- malen Hebel in Bezug auf die Auslenkung der Membran 2. Um ein maximales Signal zu erhalten, ist es sinnvoll, die Aktuatoren 7,8,9,10 als selbstjustierende Widerstände auszuführen.
Die Messung der Membranreaktion erfolgt typischerweise aber nicht notwendig über eine Wheatstone-Brücke, Die Aktuatoren 7,8,9,10 führen zu einem thermischen Gradienten, der das z.B. in US-A-2009/0174418 beschriebene Verfahren für eine konventionelle Wheatstone Brücke mit piezo-resistiven Widerständen jeweils in der Mitte der Nord- West-, Ost-, und Südkante der Membran unbrauchbar macht, da sich hier bereits Offsets ergeben, die einzig auf eine inhomogene Wärmeverteilung zurückzuführen sind. Ideal wäre also eine quasi punktförmige Wheatstone-Brücke. Hierfür eignet sich in besonderem Maße eine MOS-Transistor-Feldplatte mit vier Anschlüssen. Sofern diese mit einem Loch in der Mitte versehen ist, kann man diese Feldplatte auch als quadratische Verschaltung von vier Transistoren ansehen. Der große Vorteil einer solchen Platte ist ihre kompakte Bauform und die Möglichkeit der Kompensation parasitärer Elemente durch analoge Rechenschaltungen, die nicht Teil dieser Erfindung sind. Insgesamt sei auch hier angemerkt, dass die Art der elektrischen Verschaltung und die Anzahl der Selbsttest-Aktuatoren für die Erfindung in ihrer allgemeinsten Ausprägung nicht entscheidend ist.
Theoretisch würde auch die Verwendung eines einzelnen Basiselements (z. B. Transistor) als stresssensitves Element ausreichen. Dieser ist jedoch auf Grund von parasitären Einflüssen nicht optimal. Hauptvorteil der Verwendung von MOS Transistor-Feldplatten ist, dass deren Temperatur anhand Schwellspannung, die im Wesentlichen unabhängig vom mechanischen Stress aber abhängig von der Temperatur ist, ermittelt werden kann. Somit ist eine exakte Trennung von mechanischem Stress und Temperatur möglich. Damit ist die Trennung der mechanischen von der thermischen Aktuatorwirkung möglich. Für einige Anwendungen kann es sinnvoll sein, eine Biegespannung auf die Membran einzukoppeln. Da sich der Widerstand, der als Heizer verwendet wird, oberflächennah befindet, ist die Dehnung an der Oberfläche der Membran größer als an deren Unterkante. Dieser Effekt kann noch verstärkt wer- den, wenn der Widerstand mit einem Material mit einem gegenüber Silizium erhöhtem thermischen Ausdehnungskoeffizienten bedeckt wird. Dies ist beispielsweise bei einem Metall, insbesondere einer AlSi-Metallisierung der Fall.
Fig. 2 zeigt die Aufsicht auf einen beispielhaften Sensor.
Der Sensor nach Fig. 2 weist die bereits oben erwähnte, als das eigentüche Sensorelement arbeitende FET-Feldplatte 17 auf, die über die vier Leitungen 18, 19,20,21 mit vier Anschluss-Pads 24,25,26,27 verbunden ist. Der Aktuator ist ais Heizelement ausgebildet und weist den Widerstand 29 und die metalli- sehe Abdeckung desselben 30 auf. Er ist über Leitungen 22,23 mit den jeweiligen Anschluss-Pads 27,28 verbunden. Das Heizelement und das Sensorelement sind auf der Membran 16 piatziert. Der Sensor 17 und der Aktuator 28,39,30 sind ferner mit einer Auswerte- und Ansteuereinheit 41 verbunden, die "On-Chip" oder aber auch extern angeordnet sein kann.
Fig. 3 zeigt das zeitliche Verhalten eines beispielhaften Sensors nach Fig. 2. Je schneller das Aktuator-Ansteuersignal oszilliert, desto größer wird die Phasenverschiebung zwischen Aktuatoransteuerung 31,33 und Sensorreaktion 32,34. Wird das Heizelement nun mit einer Sprungfunktion angesteuert, so wölbt sich die Membran 2 (in diesem Beispielfall) nach oben (bei Anordnung des Heizelements an der Kavitäts-Innenseite nach unten) mechanisch durch, da das Metall einen höheren Ausdehnungskoeffizienten besitzt. Ist die Membran bereits in die andere Richtung - z.B. infoige des anliegenden Druckes - durchge- bogen, so kommt es zu einem bistabiien Zustand. Die Membran verkürzt sich und entspannt sich schlagartig beim Sprung in den iokal anders gebogenen Zustand, Hierdurch tritt bei schneller Rechteckanregung 39 ein Spike-Verhah ten 40 auf (siehe Fig. 4). Dieses lässt sich bei niedrigeren Frequenzen nicht unmittelbar beobachten 37,38.
Nach einiger Zeit hat sich die gesamte Membran erhitzt und ausgedehnt. Hier- durch wird der ursprüngliche Biegungszustand energetisch wieder stabiler und steht sich ein.
Somit hängt das Frequenz- und Impulsverhalten des mechanischen Systems wesentlich von dessen Parametern und damit von deren Fertigungsabweichun- gen ab.
Ein wesentlicher Schritt besteht nun darin, nicht etwa zu versuchen, diese Parameter zu bestimmen, sondern fedigiich das dynamische Verhalten eines gefertigten Sensorsystems daraufhin zu untersuchen, ob es dem Verhalten im Rahmen vorgegebener Toleranzen entspricht, dass von einem Gut-System bekannt ist.
So kann beispielsweise das Ausgangssignal einer Messbrücke, entsprechend Fig. 2 in Abhängigkeit von dem Aktuatorzustand (hier Heizleistung) untersucht werden. Fig. 5 zeigt die Antwort je eines beispielhaften Sensors gemäß Fig. 2. Die Kurve 42 zeigt das Ausgangssignal eines vorschriftsmäßig gefertigten und arbeitenden Sensors in Abhängigkeit von der Heizleistung. Die Kurve 43 zeigt das gieiche Ausgangssignal für einen fehlerhaft gefertigten Sensor. Der hier beispielhafte fehlerhafte Sensor weist bei genauer Charakterisierung einen fehlerhaften Temperaturkoeffizienten des Ausganssignal-Offsets auf. Mit 44 ist der Toleranzbereich bezeichnet, innerhalb dessen das Ausgangssignal eines als akzeptabel zu qualifizierenden Sensors liegt.
Somit können durch eine solchermaßen dynamische Messung eine Reihe wich- tiger Fertigungsfehler des elektromechanischen Gesamtsystems auf dem
Wafer ermittelt werden, ohne aufwendig verschiedene Temperaturen und Drucke anfahren zu müssen, Diese können vielmehr zu einem abweichenden dynamisch-mechanischen Verhalten und einer geänderten Ternperaturieit- fahigkeit führen.
Diese erfindungsgemäß vorgesehenen Messungen können darüber hinaus auch nach dem Verbau eines solchermaßen gestalteten Sensors in ein komplexeres Gesamtsystem weiter für Selbsttestzwecke genutzt werden.
BEZUGSZEICHENLISTE
1 Halbleitersubstrat (z.B. Silizium-Wafer)
1a Oberseite des Halb!eitersubstrats
2 Membran mit Zentral-Boss
2a Kavität unterhalb der Membran
3 Piezo-Widerstand der Wheatstonebrücke in Nord-Position
Piezo-Widerstand der Wheatstonebrücke in Ost-Position
5 Piezo-Widerstand der Wheatstonebrücke in Süd-Position
6 Piezo-Widerstand der Wheatstonebrücke in West-Position
7 Heizer in Nord-West-Position
8 Heizer in Nord-Ost-Position
9 Heizer in Süd-Ost-Position
10 Heizer in Süd-West-Position
11 Rand der Kavität unter der Membran
12 Ausdünnung der Membran zur Steuerung des mechanischen Stressfeldes innerhalb der Membran (Race-Track).
13 Beispielhafte Anschlüsse
14 Außenkante des Race-Tracks, Diese sollte einen Mindestabstand von der Kavitätswand 14 einhalten.
15 Ultrakleiner Drucksensor in Aufsicht auf die Membran
16 Kavitätswand unter der Membran (verdeckt)
17 FET-Brücke zur Detektion des mechanischen Stresses
18 Verbindungsieitung zum Ausgangs-Pad 24
19 Verbindungsleitung zum GND-Anschluss 25
20 Verbindungsleitung zum zweiten Ausgangs-Pad 26
21 Verbindungsleitung zum VDD-Anschluss 27
22 Verbindung zwischen thermischen Aktuator 29 und VDD-Anschluss 27 23 Verbindung zwischen thermischen Aktuator 29 und Aktuator-An- schluss 28
24 Vsig- Signalausgang
25 GND Anschiuss
26 Vsig+ Signalausgang
27 VDD Versorgungsspannungsanschluss
28 Aktuator (Heizer) Anschiuss
29 Aktuator (Poly-Silizium-Heizer)
30 Aktuator-Verstärker (Metall-Platte)
31 Oszillogramm der Heizspannung des Sensors nach Fig. 2 (x-Achse ist die Zeit) bei 100mHz Sinusanregung
32 Oszillogramm der Brückenausgangsspannung des Sensors nach Fig. 2
(x-Achse ist die Zeit) bei 100mHz und Ansteuerung mit Signal 31 33 Oszillogramm der Heizspannung des Sensors nach Fig. 2 (x-Achse ist die Zeit) bei 1kHz Sinusanregung
34 Oszillogramm der Brückenausgangsspannung des Sensors nach Fig. 2
(x-Achse ist die Zeit) bei 1kHz und Ansteuerung mit Signal 34. Das Signal 34 ist gegenüber dem Signal 33 phasenverschoben. 35 Zu den Signalen 31 und 32 gehörendes x-y-Oszillogramm (keine Zeitablenkung)
36 Zu den Signalen 34 und 35 gehörendes x-y-Oszillogramm (keine Zeitablenkung)
37 Oszillogramm der Heizspannung des Sensors nach Fig. 2 (x-Achse ist die Zeit) bei lOOmHz Rechteckanregung
38 Osziüogramm der Brückenausgangsspannung des Sensors nach Fig. 2
(x-Achse ist die Zeit) bei lOOmHz und Ansteuerung mit Signal 37 39 Oszillogramm der Heizspannung des Sensors nach Fig. 2 (x-Achse ist die Zeit) bei 1kHz Rechteckanregung
40 Oszillogramm der Brückenausgangsspannung des Sensors nach Flg. 2
(x-Achse ist die Zeit) bei 1kHz und Ansteuerung mit Signal 39. Das Signal 40 ist gegenüber dem Signa! 39 phasenverschoben. Außerdem tritt ein Spike auf,
41 Auswerte- und Ansteuereinheit 42 Kennlinie des Sensors nach Fig. 2 : Ausgangsspannung in Abhängigkeit von der eingebrachten Heizleistung
43 Kennlinie des Sensors nach Fig. 2 mit Fertigungsfehlern : Ausgangsspannung In Abhängigkeit von der eingebrachten Heizleistung 44 Toleranzbereich

Claims

ANSPRÜCHE
1. Mikroelektromechanisches Bauelement mit
einem Halbleitersubstrat ( 1),
einer in dem Halbleitersubstrat ( 1) ausgebildeten Kavität (2a), die von einer reversibel verformbaren Membran (2) überdeckt ist, wobei die Membran (2) Bereiche aufweist, in denen sich bei einer Verformung der Membran (2) unterschiedlich große Materialspannungen einstellen,
einem Sensor ( 17) zur Erfassung einer Verformung der Membran (2) und,
einem Testaktuator (28,29,30) zur zu Testzwecken erfolgenden Verformung der Membran (2),
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
- dass der Testaktuator (28,29,30) und der Sensor (17) in denjenigen Bereichen der Membran (2) angeordnet sind, (i) in denen bei einer Verformung der Membran (2) die Materialspannungen maximal sind und (ii) deren gegenseitiger Abstand am größten ist.
2. Mikroelektromechanisches Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (2) an mindestens zwei Rändern, insbesondere gegenüberliegenden Rändern mit dem Halbleitersubstrat (1) verbunden ist.
3. Mikroelektromechanisches Bauelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Testaktuator (28,29,30) ein elektrothermischer Wandler zur lokalen Erwärmung der Membran (2) ist,
4. Mikroelektromechanisches Bauelement nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der elektrothermische Wandler ein Heizelement (28,29,30) insbesondere ein Widerstandsheizelement zur Erwärmung einer auf der Membran (2) ausgebildeten Materialschicht (30), insbeson- dere Metalischicht oder eine unter anderem Metall aufweisende Schicht, des Heizelements (28,29,30) ist, wobei die Materialschicht (30) und das Halbieitersubstrat (1) unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten aufweisen.
5, Mikroelektromechanisches Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Testaktuator ein elektrostatisch-mechanischer oder ein magnetostatisch-mechanischer oder ein elektrodynamischer Wandler ist,
6. Mikroelektromechanisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis
5, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor ( 17) ein insbesondere piezoresistsver Transistor, insbesondere ein MOS- oder FET-Transistor Ist.
7. Mikroelektromechanisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis
6, gekennzeichnet durch eine mit dem Sensor (17) und dem Testaktuator (28,29,30) verbundene Auswerte- und AnSteuereinheit (41) zur An- steuerung des Testaktuators (28,29,30) zur testweisen Verformung der Membran (2) und zur Auswertung eines Messsignals des Sensors (17) als sensorische Erfassung einer Verformung der Membran (2) infolge der An- steuerung des Testaktuators (28,29,30).
8. Verfahren zum Testen der Funktionalität eines mikroelektromechanischen Bauelements, das versehen ist mit
einem Halbleitersubstrat ( 1),
einer in dem Halbieitersubstrat ( 1) ausgebildeten Kavität (2a), die von einer reversibel verformbaren Membran (2) überdeckt ist, wobei die Membran (2) Bereiche aufweist, in denen sich bei einer Verformung der Membran (2) unterschiedlich große Materialspannungen einstellen,
einem Sensor ( 17) zur Erfassung einer Verformung der Membran (2) und einem Testaktuator (28,29,30) zur zu Testzwecken erfolgenden Verformung der Membran (2),
wobei der Testaktuator (28,29,30) und der Sensor ( 17) in denjenigen Bereichen der Membran (2) angeordnet sind, (i) in denen bei einer Verformung der Membran (2) die Materialspannungen maximal sind und (ii) deren gegenseitiger Abstand am größten ist, und
wobei bei dem Verfahren
der Testaktuator (28,29,30) zur zu Testzwecken erfolgenden Verformung der Membran (2) angesteuert wird und anschließend in der anhand des Messsignals des Sensors ( 17) ermittelt wird, ob eine Verformung der Membran (2) erfasst wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass anhand des Messsignais des Sensors ( 17) der Grad einer Verformung der Membran (2) ermittelt wird und dass der Grad der Verformung mit einer vorgebbaren Soilverformung verglichen wird.
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