WO2012085401A1 - Device for measuring a degree of misalignment, and method for using said device - Google Patents

Device for measuring a degree of misalignment, and method for using said device Download PDF

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WO2012085401A1
WO2012085401A1 PCT/FR2011/053013 FR2011053013W WO2012085401A1 WO 2012085401 A1 WO2012085401 A1 WO 2012085401A1 FR 2011053013 W FR2011053013 W FR 2011053013W WO 2012085401 A1 WO2012085401 A1 WO 2012085401A1
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WO
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Prior art keywords
membrane
misalignment
measuring
degree
plane
Prior art date
Application number
PCT/FR2011/053013
Other languages
French (fr)
Inventor
Pascale Launois
Denis Petermann
Michaël HUARD
Julien CAMBEDOUZOU
Gilles GUILLIER
Philippe Joly
Original Assignee
Centre National De La Recherche Scientifique
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Filing date
Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B15/00Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/2055Analysing diffraction patterns

Definitions

  • the present invention relates to a device for measuring a degree of misalignment of objects contained in a membrane (for example a polymer membrane) and aligned mainly in a predetermined direction or in a predetermined plane.
  • a membrane for example a polymer membrane
  • It also relates to a method of using said measuring device.
  • the field of the invention is more particularly but in a nonlimiting manner that of measurements of degree of misalignment of objects contained in a large membrane, in particular membranes having one or two lateral dimensions greater than 2 mm.
  • a device for measuring a degree of misalignment of objects contained in a membrane and aligned mainly in a predetermined direction or in a predetermined plane are known.
  • detection means for measuring a scattered beam corresponding to the diffusion, under the influence of the objects contained in the membrane, of the X-ray beam incident on the membrane. We can then, from the diffusion figure, find the degree of misalignment of the objects contained in the membrane.
  • This embodiment does not, however, make it possible to measure a degree of misalignment of objects contained in a membrane, when the membrane dimensions exceed a certain limit, for example a length of 1cm, 4mm, or even 1mm.
  • the membrane length traversed by the X-ray beam is such that the absorption of X-rays by the membrane becomes problematic: the light intensity at the level of the detection means may become too low compared to the sensitivity of the detection means, or only a portion of the membrane is actually measured, that which receives X-rays first;
  • the analysis of the diffusion figure does not make it possible to easily find the degree of misalignment of the objects contained in the membrane, different scattering patterns corresponding to different locations along the membrane being mixed at the level of the detection means,
  • the membrane may be too large and involve too much backward movement of the detector, thus preventing the beams being measured at sufficiently large angles (the width of the detector being fixed),
  • the scattered beam may be too wide in the radial direction on the detector
  • the object of the present invention is to provide a device for non-destructive measurement of a degree of misalignment of objects contained in a membrane and aligned mainly in a predetermined direction or in a predetermined plane, which does not have the limitations of the prior art.
  • an object of the present invention is to propose a device for measuring a degree of misalignment of objects contained in a membrane, making it possible to obtain good results even for large membranes (for example having a superior lateral dimension at 1mm, 1cm, 50cm, or even lm) without having to destroy these membranes.
  • Another object of the present invention is to propose a method of using the measuring device according to the invention, as well as a computer program product arranged to execute the steps of the method according to the invention when it is executed in a computer.
  • This object is achieved with a device for measuring a degree of misalignment of objects contained in a membrane and aligned mainly in a predetermined direction or in a predetermined plane, the measuring device comprising:
  • a support for receiving the membrane located between the transmission means and the detection means.
  • the support is arranged to receive the membrane so that the axis of propagation is not contained in a membrane plane, the membrane plane forming an angle not zero with the axis of propagation.
  • the invention therefore relates in particular to a use of said measuring device according to the invention. It is to use said measuring device to measure a degree of misalignment of objects contained in a membrane, each of said objects being aligned, with a misalignment, with a predetermined common direction or with a common predetermined plane.
  • the angle ⁇ between 0 and 90 °, can be defined as the complement of the angle between the axis of propagation and the normal to the membrane at the intersection between the membrane and the axis of propagation.
  • the normal to the membrane is advantageously normal to the membrane plane.
  • the membrane is preferably plane: in this case the membrane plane corresponds to the plane in which the membrane is entirely located (the plane of the membrane).
  • the membrane may not be flat: in this case the plane of the membrane corresponds to the plane tangential to the membrane, at the level of the intersection between the X-ray beam emitted by the emission means, and the membrane.
  • Objects are said to be aligned mainly in a predetermined direction or in a predetermined plane.
  • They may for example be aligned mainly in the predetermined direction which is perpendicular to the surface of the membrane: they are perpendicular to the surface of the membrane at an angle ⁇ , where ⁇ is an angle expressed for example in degrees.
  • They may for example be aligned mainly along a predetermined plane which is the plane parallel to the surface of the membrane: they are parallel to the surface of the membrane at an angle ⁇ , where ⁇ is an angle expressed for example in degrees.
  • the objects are therefore aligned at a certain angle in a given frame, at an angle ⁇ , where ⁇ is an angle expressed for example in degrees.
  • the degree of misalignment ⁇ of the objects contained in the membrane is given by the width of a function of distribution of the orientations ⁇ taken on all the objects (of the portion of membrane traversed by the X-ray beam).
  • is between 0 ° and 90 °, preferably between 0 ° and 30 ° for example.
  • the objects in a membrane may be formed by aligned leaflets substantially parallel to the surface of the membrane, by elongate recesses aligned substantially perpendicular to the surface of the membrane, by tubes aligned substantially perpendicular to the surface of the membrane, etc.
  • the objects are cylinders of small diameter relative to their length (for example a ratio 1000), one can speak of one-dimensional objects.
  • the X-ray beam advantageously designates a beam of light rays whose wavelength is between 5 ⁇ m and 10 nm.
  • the detection means are advantageously placed transversely with respect to the reference plane.
  • the X-ray beam incident on the membrane can be divided into three components after passing through at least a portion of the membrane: a transmitted beam: it is the portion of the incident beam that is not deviated from its rectilinear trajectory after passing through at least a portion of the membrane, in particular the portion of the membrane lying in the path of the X-ray beam emitted by the transmitting means;
  • a scattered beam it is a portion of the incident beam which is deviated from its rectilinear trajectory after passing through at least a portion of the membrane.
  • X-ray scattering is a phenomenon well known to those skilled in the art. If the objects are full, the scattering centers are for example atoms of the objects contained in the membrane, atoms arranged periodically or not in space.
  • the scattering centers can be formed by these empty zones of atoms, arranged periodically or not in space.
  • an absorbed beam it is the portion of the incident beam that is absorbed by the medium traversed between the transmission means and the detection means. In some cases, part of the absorbed beam is restored as a fluorescence signal. The study of the fluorescence signal can give information on the particular chemical composition of the medium passed through.
  • the support is located between the transmission means and the detection means: the study is done in transmission.
  • the studied membrane may have a surface greater than for example 2cm by 2cm, 4cm by 10cm, 15cm by 15cm, 20cm by 30cm, lm by 2m, etc.
  • a device for measuring a degree of misalignment of objects contained in a membrane is used to implement a measurement based on the analysis of a diffusion figure.
  • the measurement is nondestructive, regardless of the dimensions of the membrane.
  • This scattering pattern can be measured directly with a two-dimensional detector or reconstructed by moving a point or linear detector.
  • the membrane length traversed by the X-ray beam is limited to this portion of membrane: the dimensions of the entire membrane are therefore no longer problematic, particularly with regard to the light intensity of the scattered X-ray beam arriving at the level of the membrane. detection means.
  • the scattered beam measured by the detection means corresponds to this single portion.
  • An analysis of said scattered beam is therefore particularly fast and easy to implement even for large diaphragms.
  • the present invention thus solves all the technical problems of the prior art.
  • the measuring device according to the invention is such that the plane of the membrane can be defined by two axes, at least one of which is perpendicular to the axis of propagation.
  • the orientation in the space of the membrane plane with respect to the axis of propagation is generally defined by two angles. If one of these angles is fixed at 90 °, said orientation can then be defined entirely by the angle a.
  • only one of the axes defining the membrane plane is perpendicular to the axis of propagation.
  • the angle ⁇ can be between 20 ° and 80 ° or between 10 ° and 80 °. More particularly, the angle ⁇ may be between 50 ° and 70 °.
  • the measuring device comprises means for measuring the intensity of a beam transmitted by the membrane.
  • the membrane may be flat and contained in the membrane plane.
  • the means for measuring the intensity of the beam transmitted by the membrane may comprise a photodiode placed on the optical path of the beam transmitted by the membrane (that is to say behind the portion of the membrane situated on the optical path of the beam of X-rays emitted by the transmitting means, and in front of the detection means). It is thus possible both to measure the intensity of the beam transmitted by the membrane, and to stop the beam transmitted by the membrane before it reaches the detection means.
  • the beam transmitted by the membrane may have a much higher intensity than the scattered beam, and thus blind the detection means (that is to say that the intensity of the beam transmitted may be such that in comparison the intensity of the scattered beam is too small to be accurately detected or the detection means are deteriorated).
  • the measuring device may comprise means for measuring a fluorescence signal emitted by the membrane in response to the beam emitted by the transmitting means.
  • the beam emitted by the emitting means is partially absorbed by the medium through, in particular the portion of membrane lying in the path of said beam.
  • This membrane portion may emit back a fluorescence signal characteristic of at least one chemical compound present in the membrane. It is thus possible to perform a chemical analysis of the composition of the membrane.
  • the signal may be representative of the concentration of a given component, for example iron.
  • the means for measuring a fluorescence signal are arranged to work in reflection, that is to say on the side of the emission means with respect to the membrane portion traversed by the incident beam.
  • the support according to the invention may comprise means for moving the membrane.
  • the support according to the invention may comprise means for moving the membrane in at least one translation in the membrane plane.
  • the orientation of the membrane plane relative to the axis of propagation remains constant.
  • the angle a remains constant.
  • the membrane can thus be studied in a whole series of points.
  • the membrane is preferably fixed during a measurement and then moved for the next measurement.
  • the invention also relates to a method for using the measuring device according to the invention.
  • the method according to the invention comprises the following steps:
  • the degree of misalignment of the objects contained in the membrane by connecting a measurement on the diffusion figure with the degree of misalignment of the objects contained in the membrane.
  • the method according to the invention takes into account an additional parameter since the orientation of the membrane plane relative to the axis of propagation, in particular the value of the non-zero angle a chosen, can take an infinity of values.
  • the measurement of a degree of misalignment obtained relates to the portion of membrane traversed by the X-ray beam.
  • the diffusion pattern may designate the different intensities recorded by the measuring means and corresponding to the scattered beam. It may be in particular a diffraction pattern.
  • a calculation can be made taking into account in particular the value of a determined non-zero. This calculation is based on the theory of diffusion and diffraction. It is also possible to make a database of couples ⁇ measure in the diffusion figure; degree of misalignment of the objects contained in the membrane ⁇ . The degrees of misalignment can then be experimental values and / or obtained by theoretical calculations. The values of this database are then used to quickly connect a measurement on the scatter pattern with a degree of misalignment of the objects contained in the membrane.
  • the values in this database can be discrete values. We can also extrapolate a mathematical model from the discrete values to obtain a continuum of values.
  • the method according to the invention can comprise the following steps:
  • the degree of misalignment of the objects contained is determined in the membrane by connecting this form with the degree of misalignment of the objects contained in the membrane.
  • the remote detection means of the membrane are placed to measure a small-angle diffusion pattern.
  • This first embodiment is particularly advantageous in the case of poorly organized structures or having fairly large characteristic lengths, that is to say between 5 nm and 100 nm, which are considered homogeneous.
  • the small angle scattering figure here designates the intensity distribution corresponding to the small angle X-ray scattering.
  • X-ray scattering at small angles is also referred to as the SAXS for small angle X-ray scattering.
  • SAXS small angle X-ray scattering
  • the method according to the invention can comprise the following steps:
  • a characteristic dimension of a peak of the curve representing the intensity variation of a line of the diffusion pattern is measured as a function of the direction of the scattered beam for a constant diffusion angle
  • the degree of misalignment of the objects contained in the membrane by connecting this characteristic dimension with the degree of misalignment of the objects contained in the membrane.
  • the detection means are placed close to the membrane, to measure a large-angle diffusion figure.
  • This second embodiment is particularly advantageous in the case of crystalline structures.
  • the wide-angle scattering figure here refers to the intensity distribution corresponding to X-ray scattering at large angles.
  • a peak may designate a portion of the curve of the intensity variation, comprising a maximum of intensity.
  • a characteristic dimension of a peak of the curve representing the intensity variation of a line of the scattering pattern is preferably the half-height width of this peak.
  • the absolute minimum of the intensity signal can be defined:
  • the width at half height of the intensity peak corresponds to the difference between the two abscissa values having the mid-height of the peak, and surrounding the abscissa corresponding to said ordinate maximum M.
  • the intensity signal advantageously corresponds to said curve representing the variation the intensity of a line of the scatter pattern as a function of the direction of the scattered beam at a constant scattering angle.
  • the diffraction line 002 denotes the first harmonic among the different diffraction lines, corresponding to the inter-wall distance of the multiwall carbon nanotubes, when the inter-wall distance is approximately constant.
  • the designation of a three-digit diffraction line refers to families of lattice planes (hkl) in crystallography, where h, k and I are whole numbers.
  • the membrane is chosen from at least one of:
  • a membrane formed by alumino-silicate nanotubes impregnated in a polymer or a ceramic or non-impregnated a membrane formed by metal nanowires impregnated in a polymer or a ceramic or non-impregnated;
  • a membrane formed by nanotubes of titanium oxide impregnated in a polymer or a ceramic or non-impregnated a membrane formed by mono- or multiwall carbon nanotubes impregnated in a polymer or a ceramic or non-impregnated;
  • tubular geometries tubes
  • planar geometries leaflets
  • the orientation of the membrane is determined as a function of the desired accuracy on the measurement of the degree of misalignment of the objects contained in the membrane.
  • the orientation of the membrane is determined as a function of a first approximation of the degree of misalignment of the objects contained in the membrane.
  • This first approximation may for example be provided by a manufacturer of the membrane containing the objects.
  • the orientation of the membrane, and in particular the angle ⁇ , can be determined as a function of a space constraint.
  • the orientation of the membrane is determined as a function of the bulk of the membrane.
  • the method according to the invention may comprise the following steps: the following steps are carried out at least once:
  • the membrane is displaced according to at least one translation in the membrane plane
  • the degree of misalignment of the objects contained in the membrane is determined at another point of the membrane, then
  • a mapping is made of the degrees of misalignment of the objects contained in the membrane for each studied point of the membrane.
  • mapping the intensity of the beam transmitted by the membrane for each studied point of the membrane may correspond to a mapping of a density of objects in the membrane.
  • mapping the fluorescence signal measurements emitted by the membrane for each studied point of the membrane.
  • the mapping may correspond to a mapping of a concentration in the membrane of a given chemical element, for example iron, or of several given chemical elements.
  • the membrane can be moved in the plane of the membrane for a plane membrane.
  • the membrane can be moved in the plane tangential to the membrane at the intersection between the axis of propagation and the membrane, for a non-planar membrane.
  • the invention also relates to a computer program product arranged to execute the steps of the method according to the invention when it is executed in a computer, in particular the steps of measuring an intensity signal corresponding to a diffusion figure. and determining the degree of misalignment of the objects contained in the membrane.
  • FIG. 1A illustrates a schematic side view of a device according to the prior art for measuring a degree of misalignment of objects contained in a small membrane
  • FIG. 1B illustrates a schematic top view of a device according to the prior art for measuring a degree of misalignment of objects contained in a small membrane
  • FIG. 1C illustrates a schematic top view of a device according to the prior art for measuring a degree of misalignment of objects contained in a large membrane
  • FIG. 2A illustrates a schematic side view of a device according to the invention for measuring a degree of misalignment of objects contained in a membrane
  • FIG. 2B illustrates a schematic view from above of a device according to the invention for measuring a degree of misalignment of objects contained in a membrane
  • FIG. 3 illustrates a perspective view of a membrane that can be studied thanks to the device according to the invention
  • FIG. 4 illustrates a perspective view of the walls of a multiwall carbon nanotube
  • FIG. 5 illustrates a large-angle diffraction pattern obtained in a device according to the prior art
  • FIG. 6 illustrates a large-angle diffraction pattern obtained in a device according to the invention
  • FIG. 7 illustrates a first device embodiment according to the invention
  • FIG. 8 illustrates a second device embodiment according to the invention and its computing environment
  • FIG. 9 illustrates a curve of a degree of misalignment of objects contained in a membrane as a function of a measurement on a corresponding diffraction pattern, for two values different from the angle a
  • FIG. 10 illustrates a circular section of the diffraction line 002 of multiwall carbon nanotubes, obtained in a device according to the prior art
  • FIG. 11 illustrates a circular section of the diffraction line 002 of multiwall carbon nanotubes, obtained in a device according to the invention
  • FIG. 12 illustrates an experimental measurement of the influence of the inclination of the membrane on a circular section of the diffraction line 002 of multiwall carbon nanotubes, obtained in a device according to the invention, for a first degree of misalignment ,
  • FIG. 13 illustrates a simulation of the influence of the inclination of the membrane on a circular section of the diffraction line 002 of multiwall carbon nanotubes, obtained in a device according to the invention, for a second degree of misalignment;
  • FIG. 14 illustrates a simulation of the influence of the inclination of the membrane on a circular section of the diffraction line 002 of multiwall carbon nanotubes, obtained in a device according to the invention, for a third degree of misalignment;
  • FIG. 15 illustrates a perspective view of the reference plane, of a membrane portion and of the plane tangential to the membrane at the intersection between the reference plane and the membrane, and
  • FIG. 16 illustrates a small angle scattering figure.
  • FIG. 3 shows a membrane 2 containing objects 3 which are aligned mainly perpendicular to the surface 4 of the membrane 2.
  • the surface 4 of the membrane 2 designates one of the two larger surface faces of the membrane 2.
  • the width and the length of the surface 4 form the two lateral dimensions of the membrane 2.
  • the degree of misalignment of the objects contained in the membrane 2 is given by the width of the distribution function of the orientations ⁇ taken on all objects. It is even smaller (close to zero) that the objects are aligned with a reference axis or plane.
  • the distribution function can be a Gaussian, a Lorentzian, etc. We can determine this distribution function from the theory of diffusion, knowing the nature of the objects contained in the membrane 2. We can also find this distribution function from the experimental measurements on beam scattering figures. X-rays through the membrane.
  • Figure 1A illustrates a schematic side view of the device 1 according to the prior art.
  • Figure 1B illustrates a schematic top view of the device 1 according to the prior art.
  • the device 1 comprises means (not shown) for transmitting an X-ray beam 6 propagating along a propagation axis 350, and detection means 7 for measuring, in transmission, a scattered beam 8 after crossing the membrane 2.
  • the axis of propagation 350 is entirely contained in the membrane plane.
  • the propagation axis 350 designates the direction of propagation of the X-ray beam 6 emitted by the transmitting means.
  • the membrane has a length 10 which is in the device 1 according to the prior art the length traversed by the beam 6 of X-rays.
  • FIG. 1C illustrates a schematic view from above of a device 1 according to the prior art, and shows the limitations of said device 1 according to the prior art in the case of a large membrane 2, for example a membrane 2 exhibiting a length greater than 2cm.
  • the limit length beyond which the geometry shown in FIG. 1C is no longer usable depends on the material forming the membrane 2 and in particular on its diffusion and absorption capacities. Depending on the case, it may be limited to membranes 2 of length less than 1 mm and even 0.5 mm.
  • FIG. 1C shows that for each portion of the membrane 2, there are scattered beams 8 ', 8 ", 8"', leading to a radial enlargement of the measured signal. If the alignment varies for each portion of the membrane, the analysis of a diffusion figure obtained at the level of the measuring means 7 is therefore more complicated, and the processing time is therefore even longer. In addition, the intensity transmitted after crossing a certain length of membrane 2 is even lower than this length is large. Indeed, the intensity transmitted after crossing the membrane decreases exponentially as a function of the membrane length traversed by the beam 6 of X-rays. It is therefore possible that the intensity of 8 "'is no longer measurable because In addition, it can be seen in FIG.
  • the detection means 7 have a given size and Therefore, since the diffused beam 8 is diverging, the more the detection means 7 are moved away from the membrane 2, the more the detection means must be able to detect over a large area in order to collect the entire image. 8.
  • the scattered beam 8 'corresponding to the membrane portion furthest from the detection means 7 may have a diameter greater than the sensor size of the detection means 7, at the level of the detection means 7.
  • the idea underlying the invention is therefore to modify the device 1 according to the prior art so as to overcome the limitations of the prior art.
  • FIGS. 2A and 2B schematically show a device 100 according to the invention.
  • FIG. 2A illustrates a schematic side view of the device 100 according to the invention.
  • FIG. 2B illustrates a schematic view from above of the device 100 according to the invention.
  • FIGS 2A and 2B will be described only for their respective differences with respectively Figures 1A and 1B or 1C.
  • FIG. 2B shows that the axis of propagation 350 is not contained in the plane of membrane 20 which is here coincident with the plane of the membrane 2 since the membrane shown is plane. It is the same in Figures 7 and 8.
  • FIG. 2B shows that the propagation axis 350 forms an angle ⁇ with the normal 600 to the membrane at the intersection between the membrane 2 and the propagation axis 350.
  • the angle a is complementary to this angle ⁇ .
  • the angle a is non-zero.
  • Figure 15 illustrates the case of a non-planar membrane 2.
  • the membrane plane 20 is defined as the plane tangent to the membrane portion 2 at the intersection between the x-ray beam 6 and the membrane 2.
  • the thickness of membrane 2 crossing is of the order of the thickness of the membrane divided by sin (a) is for example a few hundred micrometers for values of a between 10 ° and 80 ° and for a membrane of 100 micrometers thick.
  • the diffused beam 8 obtained in the device according to the invention corresponds to the only portion of membrane 2 crossed by the beam 6 of X-rays.
  • a first embodiment of device 100 according to the invention will now be described more precisely and with reference to FIG.
  • the device 100 according to the invention comprises:
  • an X-ray beam constituted here by a rotating anode (not shown in FIG. 7) generating X-rays and a monochromation and X-ray collimation system (it is possible to also provide that the transmission means 11 are constituted by another type of anode or synchrotron radiation);
  • a support 12 for receiving a plane membrane 2 (shown here transparent for a better readability of the figure), the support 12 here consisting of two windows transparent to X-rays between which the membrane 2 is placed, the windows being mounted in a frame 15cm on 15cm for example.
  • the support 12 is mounted on adjustment means 380 for varying the orientation of the support 12 (rotation 195).
  • Two translation tables 190 make it possible to move it and thus to probe different points of the membrane with the beam 6.
  • the plane of the membrane (that is to say the plane in which the membrane 2 is located) is defined by two axes W1, W2, one of which W2 is perpendicular to the propagation axis 350.
  • the membrane plane forms a non-zero angle ⁇ with the axis of propagation 350.
  • the axis of propagation 350 is in a horizontal plane, while the membrane plane is vertical.
  • the objects contained in the membrane form for example a carpet.
  • the objects, one-dimensional, are aligned mainly perpendicularly to the surface of this carpet.
  • Rotating means (not shown) may be provided to correct a possible inclination of the carpet, with respect to the polymer membrane, so as to obtain a measurement of a degree of inclination of the objects with respect to the plane of the carpet and not relative to the surface 4 of the membrane.
  • the device 100 also comprises means 14 for measuring a fluorescence signal, working in reflection.
  • the means 14 for measuring a fluorescence signal are located on the same side of the membrane 2 as the transmission means 11. They make it possible to measure a fluorescence signal, characteristic of the chemical composition of the membrane portion 2 traversed by the x-ray beam 6.
  • the device 100 also comprises means for measuring the intensity 15, for measuring the intensity of the beam transmitted by the membrane 2.
  • These means for measuring the intensity 15 measure the intensity of the portion of the incident beam on the membrane 2 which has not undergone any deviation or absorption. They are located in front of the detection means 7.
  • the intensity of the X-ray beam portion which does not undergo a deflection is generally greater than the intensity of the portion of the scattered beam.
  • the intensity measuring means 15 are located in a cache (commonly called "well” or "beamstop” by those skilled in the art). Thus, the transmitted beam does not reach the detection means 7 and does not disturb the measurement of the scattered beam 8.
  • the device 100 can be rotated in its entirety at any angle around the axis of propagation 350, for example 90 °, which would make the horizontal membrane for an angle equal to 0 °.
  • FIG. 8 illustrates the operation of a second device embodiment 100 according to the invention.
  • the device 100 according to the invention illustrated in FIG. 8 comprises:
  • detection means 7 for measuring a scattered beam 8 which may consist of a flat CCD sensor,
  • the orientation of the membrane plane corresponds to an angle a, which is the angle complementary to the angle ⁇ between the axis of propagation 350 and the normal 600 at the membrane 2 at the intersection between the membrane and the axis of propagation 350.
  • the axis of propagation 350 propagates in a horizontal plane, while the membrane is inclined both with respect to the vertical and relative to the horizontal.
  • the plane of the CCD sensor 7 may be vertical, that is to say defined by two axes, at least one of which is perpendicular to the axis of propagation. Note that the device 100 can be rotated in its entirety at any angle around the direction 6 of the incident beam.
  • the beam 6 of X-rays emitted by the emission means 11 is decomposed under the influence of the membrane portion 2 situated in the path of said x-ray beam 6 by:
  • the device 100 according to the invention illustrated in FIG. 8 also comprises:
  • adjustment means 380 making it possible to vary the orientation of the support 12 (not shown) so as to be able to modify, for example, the value of the angle of inclination ⁇ of the membrane 2 with respect to the axis of propagation 350 ;
  • the membrane is not flat, one can have a variable angle during the scrolling of the membrane. This difference can be taken into account by modifying the orientation of the support, for example to find a constant angle a during the scrolling of the membrane. It can also be taken into account when processing data during which connects a measurement on the diffusion figure with the degree of misalignment of the objects contained in the membrane.
  • the processor 21 receives information on the detected signals:
  • the processor 21 can therefore analyze the detected signals and calculate in return, for the membrane portion 2 crossed by the beam 6 of X-rays respectively:
  • an indicator of chemical composition for example to ensure the absence of catalytic particles, which may be iron-based, in a carbon nanotube membrane, in particular by detecting the presence or absence of iron.
  • This indicator quantifies a concentration of one or more chemical elements in the membrane;
  • a density of objects in the membrane 2 It is also possible to quantify an average number of carbon nanotubes forming the objects contained in the membrane.
  • the device 100 according to the invention then constitutes a computerized measurement bench directly providing an interpretation of the results thanks to the processor 21.
  • This information can each be presented in the form of maps where each point corresponds to a measurement on the membrane 2.
  • the processor 21 is included in a computer capable of executing software (computer program product), said software enabling the processor 21 to analyze the detected signals and to perform the calculations mentioned above.
  • the processor 21 controls:
  • the processor 21 equipped with the software according to the invention can also exchange information with the adjustment means 380 (see arrow 25).
  • the processor 21 can detect the position of the adjustment means 380 in order to deduce the orientation of the membrane, in particular the angle a, to be taken into account in a calculation of degree of misalignment. It can also be provided that a human operator sets the device 100 according to the invention by specifying in the processor 21 an angle a to be taken into account, the processor 21 then controlling the positioning of the adjustment means 380 to position the membrane 2 according to the invention. chosen orientation.
  • the processor 21 equipped with the software according to the invention makes it possible to determine how to orient the membrane, then automatically directs the membrane support to the desired angles.
  • the processor can determine an adequate angle a, depending on:
  • the device 100 according to the invention can make it possible to study any membrane 2 containing objects aligned mainly in a predetermined direction or in a plane, for example:
  • the membrane 2 may have an amorphous structure.
  • the detecting means 7 are placed at a distance from the membrane 2, for example at more than one meter, for a small-angle analysis.
  • the objects contained in the membrane can be hollow structures. Wide-angle analysis can also be done for some amorphous structures.
  • the objects of the membrane 2 whose alignment is studied may have a crystallized structure.
  • the detection means 7 are placed near the membrane 2, for example less than 10 cm, for a wide-angle analysis.
  • a membrane 2 obtained from a carpet of carbon nanotubes impregnated in a polymer such as polystyrene is studied, the assembly then being polished.
  • the carbon nanotube membranes require that they remain intact, of large size, hence the interest of a possible non-destructive analysis with the device 100 according to the invention.
  • the performance of these membranes is related to their structural quality, including the density and good alignment of the nanotubes in the membrane.
  • FIG. 4 illustrates a carbon nanotube having a plurality of walls
  • transmission means 11 emitting an X-ray beam 6 at the wavelength of copper Ka: 1.54 angstrom are used.
  • the objects contained in the membrane have dimensions (for example an inter-wall distance in nanotubes) of the order of magnitude of the wavelength of the X-ray beam 6.
  • the membrane has a thickness of 100 ⁇ m.
  • the detection means 7 are placed at a distance from the membrane 2, for example 3 m, to measure a small-angle diffusion pattern.
  • FIG. 16 illustrates a small angle scattering pattern 27 that can be measured by the detecting means 7.
  • the diffusion figure 27 is therefore called anisotropic. From the measurement of the shape of the scattered signal, in particular a degree of deformation of this shape with respect to a disc of the same surface, and knowing the orientation of the membrane, one can determine the degree of misalignment of the objects in the membrane 2.
  • the detection means 7 are placed near the membrane 7, for example 10 cm, to measure a diffusion figure 40 at large angles.
  • FIG. 6 illustrates a large-angle diffusion pattern 40 that can be measured by the detection means 7, in particular in the configuration shown in FIG. 7.
  • it is a diffraction pattern.
  • the ring 31 corresponds to the diffraction line 002 of the multiwall carbon nanotubes. This diffusion line is chosen in particular because it is the most intense, and because it is sensitive to the orientation of the carbon nanotubes.
  • the diffusion figure 40 of FIG. 6 has two intensity maxima 34.
  • a circular section 35 (shown in dotted lines) of the 002 diffraction line is made.
  • Figure 11 the abscissa is graduated in degrees (circular section).
  • the ordinate axis is representative of the intensity measured in the diffraction pattern.
  • FIG. 11 therefore shows a curve representing the intensity variation of a line (the diffraction line 002) of the diffusion figure 40, as a function of the direction of the scattered beam and for a constant diffusion angle ( circular cut and centered on the axis of propagation).
  • a constant diffusion angle circular cut and centered on the axis of propagation
  • FIG. 5 represents the diffusion pattern obtained in a device 1 according to the prior art
  • FIG. 10 represents the circular section of the diffraction line 002 of multiwall carbon nanotubes, corresponding to the diffusion figure of Figure 5.
  • the maxima are spaced 180 °.
  • the degree of misalignment of the carbon nanotubes in the membrane is determined by adjusting the experimental curve with an adjusted curve 370 (by an interpolation calculation).
  • This adjusted curve 370 makes it possible to quantitatively determine the degree of misalignment, via a calculation based on the theory of diffraction (or via a suitable tabulation), which integrates the degree of orientation of the nanotubes in the membrane and the orientation of the membrane, in particular the value of the angle a, chosen to carry out the measurement.
  • a measurement on the scatter pattern can be related to a degree of misalignment of the objects in the membrane 2:
  • This database can be made from experimental data (measurements are made on a scattering pattern, for a known membrane and a known membrane orientation) or theoretical (from the known theory of diffusion).
  • the analysis time is, for example, 3 seconds per measurement point, for a diameter of the x-ray beam 6 equal to 1 mm; or
  • the analysis time is for example 30 seconds per measurement point, for a diameter of the beam 6 of X-rays equal to 1 mm.
  • the widths at mid-height of a peak of the adjusted curve representing the variation of intensity of the diffraction line 002 (obtained thanks to a device 100 according to the invention) as a function of the direction of the scattered beam and for a constant diffusion angle, and degrees of misalignment of objects contained in a membrane.
  • the x-axis is graduated in degrees: it corresponds to degrees of misalignment of the objects.
  • the ordinate axis corresponds to the width at mid-height of the peaks 37 on the left (or on the right). For peak 37 of the adjusted curve shown on the left in FIG. 11, the width at half height is determined as follows.
  • Fig. 9 show the correspondence for a predetermined non-zero angle ⁇ .
  • the squares in Figure 9 represent the correspondence for another angle to zero.
  • the extrapolation curves being monotonic, one can unambiguously find the degree of misalignment from a measurement on a diffusion figure.
  • the optimal orientation of the membrane 2 depends on several parameters.
  • FIG. 12 which corresponds to experimental measurements, illustrates the effect of the inclination of the membrane on a circular section of the diffraction line 002 of multiwall carbon nanotubes, obtained in a device 100 according to the invention, for a degree of misalignment given.
  • the x-axis is graduated in degrees (cf circular section of the 002 diffraction line).
  • the y-axis corresponds to the measured intensities, which are translated vertically for greater clarity. For each curve, the value of the corresponding angle ⁇ was noted on the left (one of the axes of the membrane being here perpendicular to the axis of propagation of the incident X-rays).
  • FIGS. 13 and 14 respectively illustrate simulations showing the influence of the angle of inclination of the nanotube membrane on the circular section of the diffraction line 002 of multiwall carbon nanotubes, obtained in a device 100 according to FIG. invention, for a greater degree of misalignment in FIG. 14 than in FIG. 13.
  • a diffusion line is determined which will be studied, in particular because it is sensitive to the orientation of the objects contained in the membrane and which it is desired to determine the degree of misalignment.
  • the opening cone of the portion of the scattering beam to be exploited is determined to the extent of a degree of misalignment. This cone determines the field of a camera constituting the detection means 7. It is also possible to operate on the wavelength of the x-ray beam 6 to vary the aperture of the diffusion cone, for example to adapt it to a given camera. The longer the wavelength, the larger the cone opening.
  • the anisotropy of the diffusion pattern is then simulated as a function of the orientation of the membrane to experimentally verify the validity of the model.
  • An orientation of the membrane is chosen, in particular as a function of the desired accuracy on the measurement of the degree of misalignment and the maximum permitted space requirement.
  • This setting then causes the control of the support 12 by the software for the automatic adjustment of the support 12 to this desired orientation. Then we can note a signal of intensity corresponding to a figure of transmission diffusion, make a measurement on this intensity signal, and associate with this measurement a degree of misalignment.

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Abstract

The present invention relates to a device (100) for measuring a degree of misalignment of objects that are contained in a diaphragm (2) and aligned mainly in a predetermined direction or in a predetermined plane, the measuring device (100) including: a means (11) for emitting an X-ray beam (6) propagating along a propagation axis (350); a means (7) for detecting the X-ray beam so as to measure a scattered beam (8) after the former has passed through the diaphragm (2); and a holder for receiving the diaphragm (2), located between the emission means (1) and the detection means (7). The holder is arranged so as to receive the diaphragm (2) such that the propagation axis (350) is not contained within a diaphragm plane. The diaphragm plane forms a nonzero angle α with the propagation axis (350). The invention also relates to a method for using the device (100) according to the invention and to a computer program product arranged to execute the steps of the method according to the invention.

Description

« Dispositif de mesure d'un degré de désalignement et procédé  'Device for measuring a degree of misalignment and method
d'utilisation dudit dispositif »  of use of said device
Domaine technique Technical area
La présente invention concerne un dispositif de mesure d'un degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane (par exemple une membrane polymère) et alignés principalement selon une direction prédéterminée ou selon un plan prédéterminé.  The present invention relates to a device for measuring a degree of misalignment of objects contained in a membrane (for example a polymer membrane) and aligned mainly in a predetermined direction or in a predetermined plane.
Elle concerne aussi un procédé d'utilisation dudit dispositif de mesure. It also relates to a method of using said measuring device.
Le domaine de l'invention est plus particulièrement mais de manière non limitative celui des mesures de degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane de grande dimension, en particulier des membranes présentant une ou deux dimensions latérales supérieures à 2mm. The field of the invention is more particularly but in a nonlimiting manner that of measurements of degree of misalignment of objects contained in a large membrane, in particular membranes having one or two lateral dimensions greater than 2 mm.
Etat de la technique antérieure State of the art
On connaît différents modes de réalisation de dispositif de mesure d'un degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane et alignés principalement selon une direction prédéterminée ou selon un plan prédéterminé.  Various embodiments of a device for measuring a degree of misalignment of objects contained in a membrane and aligned mainly in a predetermined direction or in a predetermined plane are known.
Un mode de réalisation privilégié selon l'art antérieur comprend :  A preferred embodiment according to the prior art comprises:
des moyens d'émission d'un faisceau de rayons X se propageant selon un axe de propagation,  means for transmitting an X-ray beam propagating along an axis of propagation,
- des moyens pour recevoir un plan de membrane dans lequel est contenue la membrane plane, de façon que l'axe de propagation soit contenu dans le plan de membrane et  means for receiving a membrane plane in which the plane membrane is contained, so that the axis of propagation is contained in the membrane plane and
des moyens de détection, servant à mesurer un faisceau diffusé correspondant à la diffusion, sous l'influence des objets contenus dans la membrane, du faisceau de rayon X incident sur la membrane. On peut ensuite, à partir de la figure de diffusion, retrouver le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane.  detection means, for measuring a scattered beam corresponding to the diffusion, under the influence of the objects contained in the membrane, of the X-ray beam incident on the membrane. We can then, from the diffusion figure, find the degree of misalignment of the objects contained in the membrane.
Ce mode de réalisation ne permet cependant pas de mesurer un degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane, lorsque les dimensions de la membrane dépassent une certaine limite, par exemple une longueur de 1cm, 4mm, ou même 1mm. This embodiment does not, however, make it possible to measure a degree of misalignment of objects contained in a membrane, when the membrane dimensions exceed a certain limit, for example a length of 1cm, 4mm, or even 1mm.
Plusieurs difficultés rendent alors la mesure impossible :  Several difficulties make the measurement impossible:
la longueur de membrane traversée par le faisceau de rayons X est telle que l'absorption des rayons X par la membrane devient problématique : l'intensité lumineuse au niveau des moyens de détection peut devenir trop faible en comparaison de la sensibilité des moyens de détection, ou seulement une portion de la membrane est effectivement mesurée, celle qui reçoit les rayons X en premier;  the membrane length traversed by the X-ray beam is such that the absorption of X-rays by the membrane becomes problematic: the light intensity at the level of the detection means may become too low compared to the sensitivity of the detection means, or only a portion of the membrane is actually measured, that which receives X-rays first;
l'analyse de la figure de diffusion ne permet pas de retrouver facilement le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane, différentes figures de diffusion correspondant à différents emplacements le long de la membrane étant mélangées au niveau des moyens de détection,  the analysis of the diffusion figure does not make it possible to easily find the degree of misalignment of the objects contained in the membrane, different scattering patterns corresponding to different locations along the membrane being mixed at the level of the detection means,
la membrane peut être trop grande et impliquer de reculer trop le détecteur, empêchant alors de mesurer les faisceaux diffusés à des angles suffisamment grands (la largeur du détecteur étant fixée),  the membrane may be too large and involve too much backward movement of the detector, thus preventing the beams being measured at sufficiently large angles (the width of the detector being fixed),
le faisceau diffusé peut être trop élargi selon la direction radiale sur le détecteur  the scattered beam may be too wide in the radial direction on the detector
On peut s'affranchir de ces difficultés en découpant une membrane de grande taille en fines tranches, pour analyser ensuite chaque tranche. L'inconvénient est bien sûr que la membrane étudiée est détruite.  These difficulties can be overcome by cutting a large membrane into thin slices, then analyzing each slice. The disadvantage is of course that the studied membrane is destroyed.
Le but de la présente invention est de proposer un dispositif de mesure non destructive d'un degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane et alignés principalement selon une direction prédéterminée ou selon un plan prédéterminé, qui ne présente pas les limitations de l'art antérieur.  The object of the present invention is to provide a device for non-destructive measurement of a degree of misalignment of objects contained in a membrane and aligned mainly in a predetermined direction or in a predetermined plane, which does not have the limitations of the prior art.
En particulier, un objectif de la présente invention est de proposer un dispositif de mesure d'un degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane, permettant d'obtenir de bons résultats même pour de grandes membranes (par exemple présentant une dimension latérale supérieure à 1mm, 1cm, 50cm, ou même lm) sans avoir à détruire ces membranes. Un autre but de la présente invention est de proposer un procédé d'utilisation du dispositif de mesure selon l'invention, ainsi qu'un produit programme d'ordinateur agencé pour exécuter les étapes du procédé selon l'invention lorsqu'il est exécuté dans un ordinateur. In particular, an object of the present invention is to propose a device for measuring a degree of misalignment of objects contained in a membrane, making it possible to obtain good results even for large membranes (for example having a superior lateral dimension at 1mm, 1cm, 50cm, or even lm) without having to destroy these membranes. Another object of the present invention is to propose a method of using the measuring device according to the invention, as well as a computer program product arranged to execute the steps of the method according to the invention when it is executed in a computer.
Exposé de l'invention Presentation of the invention
Cet objectif est atteint avec un dispositif de mesure d'un degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane et alignés principalement selon une direction prédéterminée ou selon un plan prédéterminé, le dispositif de mesure comprenant :  This object is achieved with a device for measuring a degree of misalignment of objects contained in a membrane and aligned mainly in a predetermined direction or in a predetermined plane, the measuring device comprising:
- des moyens d'émission d'un faisceau de rayons X se propageant selon un axe de propagation,  means for transmitting an X-ray beam propagating along an axis of propagation,
- des moyens de détection du faisceau de rayons X pour mesurer un faisceau diffusé après traversée de la membrane,  means for detecting the X-ray beam for measuring a scattered beam after passing through the membrane,
- un support pour recevoir la membrane, situé entre les moyens d'émission et les moyens de détection.  a support for receiving the membrane, located between the transmission means and the detection means.
Le support est agencé pour recevoir la membrane de façon à ce que l'axe de propagation ne soit pas contenu dans un plan de membrane, le plan de membrane formant un angle a non nul avec l'axe de propagation.  The support is arranged to receive the membrane so that the axis of propagation is not contained in a membrane plane, the membrane plane forming an angle not zero with the axis of propagation.
L'invention concerne donc notamment une utilisation dudit dispositif de mesure selon l'invention. Il s'agit d'utiliser ledit dispositif de mesure en vue de mesurer un degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane, chacun desdits objets étant aligné, à un désalignement près, avec une direction prédéterminée commune ou avec un plan prédéterminé commun.  The invention therefore relates in particular to a use of said measuring device according to the invention. It is to use said measuring device to measure a degree of misalignment of objects contained in a membrane, each of said objects being aligned, with a misalignment, with a predetermined common direction or with a common predetermined plane.
L'angle a, compris entre 0 et 90°, peut être défini comme le complémentaire de l'angle entre l'axe de propagation et la normale à la membrane à l'intersection entre la membrane et l'axe de propagation. La normale à la membrane est avantageusement la normale au plan de membrane.  The angle α, between 0 and 90 °, can be defined as the complement of the angle between the axis of propagation and the normal to the membrane at the intersection between the membrane and the axis of propagation. The normal to the membrane is advantageously normal to the membrane plane.
La membrane est de manière préférentielle plane : dans ce cas le plan de membrane correspond au plan dans lequel la membrane est entièrement située (le plan de la membrane).  The membrane is preferably plane: in this case the membrane plane corresponds to the plane in which the membrane is entirely located (the plane of the membrane).
La membrane peut ne pas être plane : dans ce cas le plan de membrane correspond au plan tangent à la membrane, au niveau de l'intersection entre le faisceau de rayons X émis par les moyens d'émission, et la membrane. The membrane may not be flat: in this case the plane of the membrane corresponds to the plane tangential to the membrane, at the level of the intersection between the X-ray beam emitted by the emission means, and the membrane.
On dit que les objets sont alignés principalement selon une direction prédéterminée ou selon un plan prédéterminé.  Objects are said to be aligned mainly in a predetermined direction or in a predetermined plane.
Ils peuvent par exemple être alignés principalement selon la direction prédéterminée qui est la perpendiculaire à la surface de la membrane : ils sont perpendiculaires à la surface de la membrane à un angle Θ près, où Θ est un angle exprimé par exemple en degrés.  They may for example be aligned mainly in the predetermined direction which is perpendicular to the surface of the membrane: they are perpendicular to the surface of the membrane at an angle Θ, where Θ is an angle expressed for example in degrees.
Ils peuvent par exemple être alignés principalement selon un plan prédéterminé qui est le plan parallèle à la surface de la membrane : ils sont parallèles à la surface de la membrane à un angle Θ près, où Θ est un angle exprimé par exemple en degrés.  They may for example be aligned mainly along a predetermined plane which is the plane parallel to the surface of the membrane: they are parallel to the surface of the membrane at an angle Θ, where Θ is an angle expressed for example in degrees.
D'une façon générale, les objets sont donc alignés selon un certain angle dans un référentiel donné, à un angle Θ près, où Θ est un angle exprimé par exemple en degrés.  In general, the objects are therefore aligned at a certain angle in a given frame, at an angle Θ, where Θ is an angle expressed for example in degrees.
Le degré de désalignement κ des objets contenus dans la membrane est donné par la largeur d'une fonction de distribution des orientations Θ prises sur tous les objets (de la portion de membrane traversée par le faisceau de rayons X). κ est compris entre 0° et 90°, de préférence entre 0° et 30° par exemple.  The degree of misalignment κ of the objects contained in the membrane is given by the width of a function of distribution of the orientations Θ taken on all the objects (of the portion of membrane traversed by the X-ray beam). κ is between 0 ° and 90 °, preferably between 0 ° and 30 ° for example.
Les objets dans une membrane peuvent être formés par des feuillets alignés principalement parallèlement à la surface de la membrane, par des creux longilignes alignés principalement perpendiculairement à la surface de la membrane, par des tubes alignés principalement perpendiculairement à la surface de la membrane, etc.  The objects in a membrane may be formed by aligned leaflets substantially parallel to the surface of the membrane, by elongate recesses aligned substantially perpendicular to the surface of the membrane, by tubes aligned substantially perpendicular to the surface of the membrane, etc.
Lorsque les objets sont des cylindres de diamètre petit par rapport à leur longueur (par exemple un rapport 1000), on peut parler d'objets unidimensionnels.  When the objects are cylinders of small diameter relative to their length (for example a ratio 1000), one can speak of one-dimensional objects.
Le faisceau de rayons X désigne avantageusement un faisceau de rayons lumineux dont la longueur d'onde est comprise entre 5pm et lOnm.  The X-ray beam advantageously designates a beam of light rays whose wavelength is between 5 μm and 10 nm.
Les moyens de détection sont placés avantageusement transverses par rapport au plan de référence.  The detection means are advantageously placed transversely with respect to the reference plane.
Le faisceau de rayons X incident sur la membrane peut se répartir en trois composantes après avoir traversé au moins une partie de la membrane : un faisceau transmis : c'est la portion du faisceau incident qui n'est pas déviée de sa trajectoire rectiligne après avoir traversé au moins une partie de la membrane, notamment la portion de membrane se trouvant sur le trajet du faisceau de rayons X émis par les moyens d'émission ; The X-ray beam incident on the membrane can be divided into three components after passing through at least a portion of the membrane: a transmitted beam: it is the portion of the incident beam that is not deviated from its rectilinear trajectory after passing through at least a portion of the membrane, in particular the portion of the membrane lying in the path of the X-ray beam emitted by the transmitting means;
un faisceau diffusé : c'est une portion du faisceau incident qui est déviée de sa trajectoire rectiligne après avoir traversé au moins une partie de la membrane. La diffusion des rayons X est un phénomène bien connu de l'homme du métier. Si les objets sont pleins, les centres diffuseurs sont par exemple des atomes des objets contenus dans la membrane, atomes arrangés de façon périodique ou non dans l'espace.  a scattered beam: it is a portion of the incident beam which is deviated from its rectilinear trajectory after passing through at least a portion of the membrane. X-ray scattering is a phenomenon well known to those skilled in the art. If the objects are full, the scattering centers are for example atoms of the objects contained in the membrane, atoms arranged periodically or not in space.
Si les objets sont en creux, les centres diffuseurs peuvent être formés par ces zones vides d'atomes, arrangées de façon périodique ou non dans l'espace.  If the objects are recessed, the scattering centers can be formed by these empty zones of atoms, arranged periodically or not in space.
Les ondes diffusées issues de chaque centre diffuseur peuvent interférer entre elles. On peut alors parler de diffraction, qui est un cas particulier de la diffusion ;  The scattered waves from each diffuser center can interfere with each other. We can then speak of diffraction, which is a special case of diffusion;
un faisceau absorbé : c'est la portion du faisceau incident qui est absorbée par le milieu traversé entre les moyens d'émission et les moyens de détection . Dans certains cas, une partie du faisceau absorbé est restituée sous forme d'émission d'un signal de fluorescence. L'étude du signal de fluorescence peut donner des informations sur la composition notamment chimique du milieu traversé.  an absorbed beam: it is the portion of the incident beam that is absorbed by the medium traversed between the transmission means and the detection means. In some cases, part of the absorbed beam is restored as a fluorescence signal. The study of the fluorescence signal can give information on the particular chemical composition of the medium passed through.
Le support est situé entre les moyens d'émission et les moyens de détection : l'étude est donc faite en transmission .  The support is located between the transmission means and the detection means: the study is done in transmission.
La membrane étudiée peut présenter une surface supérieure à par exemple 2cm sur 2cm, 4cm sur 10cm, 15cm sur 15cm, 20cm sur 30cm, lm sur 2m, etc.  The studied membrane may have a surface greater than for example 2cm by 2cm, 4cm by 10cm, 15cm by 15cm, 20cm by 30cm, lm by 2m, etc.
On réalise ainsi un dispositif de mesure d'un degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane permettant de mettre en œuvre une mesure basée sur l'analyse d'une figure de diffusion . La mesure est non destructive, peu importent les dimensions de la membrane. Cette figure de diffusion peut être mesurée directement avec un détecteur bidimensionnel ou reconstruite en déplaçant un détecteur ponctuel ou linéaire. Thus, a device for measuring a degree of misalignment of objects contained in a membrane is used to implement a measurement based on the analysis of a diffusion figure. The measurement is nondestructive, regardless of the dimensions of the membrane. This scattering pattern can be measured directly with a two-dimensional detector or reconstructed by moving a point or linear detector.
On étudie uniquement une portion de membrane, qui est l'intersection entre le faisceau de rayons X et la membrane.  Only a portion of the membrane, which is the intersection between the X-ray beam and the membrane, is studied.
La longueur de membrane traversée par le faisceau de rayons X se limite à cette portion de membrane : les dimensions de l'ensemble de la membrane ne sont donc plus problématiques notamment eu égard à l'intensité lumineuse du faisceau diffusé de rayons X arrivant au niveau des moyens de détection .  The membrane length traversed by the X-ray beam is limited to this portion of membrane: the dimensions of the entire membrane are therefore no longer problematic, particularly with regard to the light intensity of the scattered X-ray beam arriving at the level of the membrane. detection means.
Seule cette portion de membrane est traversée par le faisceau de rayons X : le faisceau diffusé mesuré par les moyens de détection correspond à cette seule portion . Une analyse dudit faisceau diffusé est donc particulièrement rapide et facile à mettre en œuvre même pour des membranes de grandes dimensions.  Only this portion of membrane is traversed by the X-ray beam: the scattered beam measured by the detection means corresponds to this single portion. An analysis of said scattered beam is therefore particularly fast and easy to implement even for large diaphragms.
Seule une portion de membrane est située entre les moyens d'émission et les moyens de détection : il n'est donc pas nécessaire de reculer le détecteur, et le faisceau diffusé n'est pas élargi selon la direction radiale du détecteur.  Only a membrane portion is located between the transmitting means and the detection means: it is therefore not necessary to move the detector backwards, and the scattered beam is not widened in the radial direction of the detector.
La présente invention résout ainsi l'ensemble des problèmes techniques de l'art antérieur.  The present invention thus solves all the technical problems of the prior art.
De préférence, le dispositif de mesure selon l'invention est tel que le plan de membrane peut être défini par deux axes dont l'un au moins est perpendiculaire à l'axe de propagation .  Preferably, the measuring device according to the invention is such that the plane of the membrane can be defined by two axes, at least one of which is perpendicular to the axis of propagation.
L'orientation dans l'espace du plan de membrane par rapport à l'axe de propagation est en général définie par deux angles. Si on fixe l'un de ces angles à 90°, ladite orientation peut être définie alors entièrement par l'angle a.  The orientation in the space of the membrane plane with respect to the axis of propagation is generally defined by two angles. If one of these angles is fixed at 90 °, said orientation can then be defined entirely by the angle a.
Avantageusement, un seul des axes définissant le plan de membrane est perpendiculaire à l'axe de propagation .  Advantageously, only one of the axes defining the membrane plane is perpendicular to the axis of propagation.
L'angle a peut être compris entre 20° et 80° ou entre 10° et 80°. Plus particulièrement, l'angle a peut être compris entre 50° et 70°.  The angle α can be between 20 ° and 80 ° or between 10 ° and 80 °. More particularly, the angle α may be between 50 ° and 70 °.
Avantageusement, le dispositif de mesure selon l'invention comprend des moyens de mesure de l'intensité d'un faisceau transmis par la membrane. On peut ainsi estimer une densité des objets dans la membrane. La membrane peut être plane et contenue dans le plan de membrane. Les moyens de mesure de l'intensité du faisceau transmis par la membrane peuvent comprendre une photodiode placée sur le chemin optique du faisceau transmis par la membrane (c'est-à-dire derrière la portion de membrane située sur le chemin optique du faisceau de rayons X émis par les moyens d'émission, et devant les moyens de détection). On peut ainsi à la fois effectuer la mesure d'intensité du faisceau transmis par la membrane, et arrêter le faisceau transmis par la membrane avant qu'il n'atteigne les moyens de détection. En effet, le faisceau transmis par la membrane peut présenter une intensité bien plus élevée que le faisceau diffusé, et ainsi aveugler les moyens de détection (c'est-à-dire que l'intensité du faisceau transmis peut être telle qu'en comparaison, l'intensité du faisceau diffusé est trop faible pour être détectée avec précision ou que les moyens de détection sont détériorés). Advantageously, the measuring device according to the invention comprises means for measuring the intensity of a beam transmitted by the membrane. We can thus estimate a density of objects in the membrane. The membrane may be flat and contained in the membrane plane. The means for measuring the intensity of the beam transmitted by the membrane may comprise a photodiode placed on the optical path of the beam transmitted by the membrane (that is to say behind the portion of the membrane situated on the optical path of the beam of X-rays emitted by the transmitting means, and in front of the detection means). It is thus possible both to measure the intensity of the beam transmitted by the membrane, and to stop the beam transmitted by the membrane before it reaches the detection means. Indeed, the beam transmitted by the membrane may have a much higher intensity than the scattered beam, and thus blind the detection means (that is to say that the intensity of the beam transmitted may be such that in comparison the intensity of the scattered beam is too small to be accurately detected or the detection means are deteriorated).
Le dispositif de mesure peut comprendre des moyens de mesure d'un signal de fluorescence émis par la membrane en réponse au faisceau émis par les moyens d'émission. Le faisceau émis par les moyens d'émission est partiellement absorbé par le milieu traversé, notamment la portion de membrane se trouvant sur le trajet dudit faisceau. Cette portion de membrane peut émettre en retour un signal de fluorescence caractéristique d'au moins un composé chimique présent dans la membrane. On peut ainsi effectuer une analyse chimique de la composition de la membrane. Le signal peut être représentatif de la concentration d'un composant donné, par exemple le fer.  The measuring device may comprise means for measuring a fluorescence signal emitted by the membrane in response to the beam emitted by the transmitting means. The beam emitted by the emitting means is partially absorbed by the medium through, in particular the portion of membrane lying in the path of said beam. This membrane portion may emit back a fluorescence signal characteristic of at least one chemical compound present in the membrane. It is thus possible to perform a chemical analysis of the composition of the membrane. The signal may be representative of the concentration of a given component, for example iron.
De préférence, les moyens de mesure d'un signal de fluorescence sont agencés pour travailler en réflexion, c'est-à-dire du côté des moyens d'émission par rapport à la portion de membrane traversée par le faisceau incident.  Preferably, the means for measuring a fluorescence signal are arranged to work in reflection, that is to say on the side of the emission means with respect to the membrane portion traversed by the incident beam.
Le support selon l'invention peut comprendre des moyens pour déplacer la membrane.  The support according to the invention may comprise means for moving the membrane.
Avantageusement, le support selon l'invention peut comprendre des moyens pour déplacer la membrane selon au moins une translation dans le plan de membrane. Ainsi, l'orientation du plan de membrane par rapport à l'axe de propagation reste constante. Par exemple, l'angle a reste constant. On peut ainsi étudier la membrane en toute une série de points. La membrane est de préférence fixe pendant une mesure, puis elle est déplacée en vue de la mesure suivante. Advantageously, the support according to the invention may comprise means for moving the membrane in at least one translation in the membrane plane. Thus, the orientation of the membrane plane relative to the axis of propagation remains constant. For example, the angle a remains constant. The membrane can thus be studied in a whole series of points. The membrane is preferably fixed during a measurement and then moved for the next measurement.
Il n'est alors pas nécessaire, pour chaque point, de relever la valeur de l'orientation du plan de membrane par rapport à l'axe de propagation (par exemple la valeur de l'angle a), en tant que paramètre pour calculer un degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane, puisque cette orientation reste constante pour toutes les mesures. Le temps de traitement est donc diminué.  It is not necessary, for each point, to record the value of the orientation of the membrane plane with respect to the axis of propagation (for example the value of the angle a), as a parameter for calculating a degree of misalignment of objects contained in a membrane, since this orientation remains constant for all measurements. The treatment time is therefore decreased.
L'invention concerne aussi un procédé pour utiliser le dispositif de mesure selon l'invention.  The invention also relates to a method for using the measuring device according to the invention.
Le procédé selon l'invention comprend les étapes suivantes :  The method according to the invention comprises the following steps:
- on mesure un signal d'intensité correspondant à une figure de diffusion formée par le faisceau diffusé ;  a signal of intensity corresponding to a diffusion pattern formed by the scattered beam is measured;
- pour l'orientation de la membrane choisie telle que l'axe de propagation ne soit pas contenu dans le plan de membrane (en particulier pour la valeur de l'angle a non nul choisie), on détermine le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane en reliant une mesure sur la figure de diffusion avec le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane.  for the orientation of the chosen membrane such that the axis of propagation is not contained in the membrane plane (in particular for the value of the non-zero angle α chosen), the degree of misalignment of the objects contained in the membrane by connecting a measurement on the diffusion figure with the degree of misalignment of the objects contained in the membrane.
Alors que dans l'art antérieur l'axe de propagation était contenu dans le plan de membrane (et l'angle a choisi était nul), le procédé selon l'invention prend en compte un paramètre supplémentaire puisque l'orientation du plan de membrane par rapport à l'axe de propagation, notamment la valeur de l'angle a non nul choisie, peut prendre une infinité de valeurs.  Whereas in the prior art the axis of propagation was contained in the membrane plane (and the angle α chosen was zero), the method according to the invention takes into account an additional parameter since the orientation of the membrane plane relative to the axis of propagation, in particular the value of the non-zero angle a chosen, can take an infinity of values.
La mesure d'un degré de désalignement obtenue concerne la portion de membrane traversée par le faisceau de rayons X.  The measurement of a degree of misalignment obtained relates to the portion of membrane traversed by the X-ray beam.
La figure de diffusion peut désigner les différentes intensités relevées par les moyens de mesure et correspondant au faisceau diffusé. Il peut s'agir en particulier d'une figure de diffraction.  The diffusion pattern may designate the different intensities recorded by the measuring means and corresponding to the scattered beam. It may be in particular a diffraction pattern.
Pour relier une mesure sur la figure de diffusion avec un degré de désalignement des objets contenus dans la membrane, on peut effectuer un calcul en prenant en compte notamment la valeur de a déterminée non nulle. Ce calcul est basé sur la théorie de la diffusion et de la diffraction . On peut aussi réaliser une base de données regroupant des couples {mesure sur la figure de diffusion ; degré de désalignement des objets contenus dans la membrane}. Les degrés de désalignement peuvent alors être des valeurs expérimentales et/ou obtenues par des calculs théoriques. On utilise ensuite les valeurs de cette base de données pour relier rapidement une mesure sur la figure de diffusion avec un degré de désalignement des objets contenus dans la membrane. Les valeurs de cette base de données peuvent être des valeurs discrètes. On peut aussi extrapoler un modèle mathématique à partir des valeurs discrètes pour obtenir un continuum de valeurs. To connect a measurement on the diffusion pattern with a degree of misalignment of the objects contained in the membrane, a calculation can be made taking into account in particular the value of a determined non-zero. This calculation is based on the theory of diffusion and diffraction. It is also possible to make a database of couples {measure in the diffusion figure; degree of misalignment of the objects contained in the membrane}. The degrees of misalignment can then be experimental values and / or obtained by theoretical calculations. The values of this database are then used to quickly connect a measurement on the scatter pattern with a degree of misalignment of the objects contained in the membrane. The values in this database can be discrete values. We can also extrapolate a mathematical model from the discrete values to obtain a continuum of values.
Selon un premier mode de réalisation avantageux, le procédé selon l'invention peut comprendre les étapes suivantes :  According to a first advantageous embodiment, the method according to the invention can comprise the following steps:
pour la mesure du signal d'intensité correspondant à une figure de diffusion formée par le faisceau diffusé, on mesure un signal d'intensité correspondant à une figure de diffusion aux petits angles du faisceau après traversée de la membrane,  for measuring the intensity signal corresponding to a diffusion pattern formed by the scattered beam, measuring an intensity signal corresponding to a scattering pattern at the small angles of the beam after passing through the membrane,
pour relier la mesure sur la figure de diffusion avec le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane :  to connect the measurement on the diffusion figure with the degree of misalignment of the objects contained in the membrane:
• on mesure la forme de la figure de diffusion,  • the shape of the diffusion pattern is measured,
· pour l'orientation de la membrane choisie telle que l'axe de propagation ne soit pas contenu dans le plan de membrane (en particulier pour la valeur de l'angle a non nul choisie), on détermine le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane en reliant cette forme avec le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane.  · For the orientation of the chosen membrane such that the axis of propagation is not contained in the membrane plane (in particular for the value of the non-zero angle α chosen), the degree of misalignment of the objects contained is determined in the membrane by connecting this form with the degree of misalignment of the objects contained in the membrane.
Lors d'une étape préliminaire, on place les moyens de détection à distance de la membrane, pour mesurer une figure de diffusion aux petits angles.  During a preliminary step, the remote detection means of the membrane are placed to measure a small-angle diffusion pattern.
Ce premier mode de réalisation est particulièrement avantageux dans le cas de structures mal organisées ou présentant des longueurs caractéristiques assez grandes, c'est-à-dire comprises entre 5nm et lOOnm , que l'on considère homogènes.  This first embodiment is particularly advantageous in the case of poorly organized structures or having fairly large characteristic lengths, that is to say between 5 nm and 100 nm, which are considered homogeneous.
La figure de diffusion aux petits angles désigne ici la répartition d'intensité correspondant à la diffusion des rayons X aux petits angles. La diffusion des rayons X aux petits angles est aussi désignée par l'expression SAXS pour l'anglais « small angle X-ray scattering ». Cette technique bien connue de l'homme du métier permet d'étudier les propriétés structurales des matériaux sur une échelle allant typiquement de 5nm à lOOnm. The small angle scattering figure here designates the intensity distribution corresponding to the small angle X-ray scattering. X-ray scattering at small angles is also referred to as the SAXS for small angle X-ray scattering. This technique, well known to those skilled in the art, makes it possible to study the structural properties of materials on a scale typically ranging from 5 nm to 100 nm.
Selon un second mode de réalisation avantageux, le procédé selon l'invention peut comprendre les étapes suivantes :  According to a second advantageous embodiment, the method according to the invention can comprise the following steps:
pour la mesure du signal d'intensité correspondant à une figure de diffusion formée par le faisceau diffusé, on mesure un signal d'intensité correspondant à une figure de diffusion aux grands angles du faisceau après traversée de la membrane,  for measuring the intensity signal corresponding to a scattering pattern formed by the scattered beam, measuring an intensity signal corresponding to a scattering pattern at the large angles of the beam after passing through the membrane,
pour relier la mesure sur la figure de diffusion avec le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane :  to connect the measurement on the diffusion figure with the degree of misalignment of the objects contained in the membrane:
• on mesure une dimension caractéristique d'un pic de la courbe représentant la variation d'intensité d'une raie de la figure de diffusion, en fonction de la direction du faisceau diffusé pour un angle de diffusion constant,  A characteristic dimension of a peak of the curve representing the intensity variation of a line of the diffusion pattern is measured as a function of the direction of the scattered beam for a constant diffusion angle,
• pour l'orientation de la membrane choisie telle que l'axe de propagation ne soit pas contenu dans le plan de membrane (en particulier pour la valeur de l'angle a non nul choisie), on détermine le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane en reliant cette dimension caractéristique avec le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane.  For the orientation of the chosen membrane such that the axis of propagation is not contained in the membrane plane (in particular for the value of the non-zero angle α chosen), the degree of misalignment of the objects contained in the membrane by connecting this characteristic dimension with the degree of misalignment of the objects contained in the membrane.
Lors d'une étape préliminaire, on place les moyens de détection à proximité de la membrane, pour mesurer une figure de diffusion aux grands angles.  During a preliminary step, the detection means are placed close to the membrane, to measure a large-angle diffusion figure.
Ce second mode de réalisation est particulièrement avantageux dans le cas de structures cristallines.  This second embodiment is particularly advantageous in the case of crystalline structures.
La figure de diffusion aux grands angles désigne ici la répartition d'intensité correspondant à la diffusion des rayons X aux grands angles.  The wide-angle scattering figure here refers to the intensity distribution corresponding to X-ray scattering at large angles.
On peut utiliser une technique connue de l'homme du métier, aussi appelée diffractométrie de rayons X.  One can use a technique known to those skilled in the art, also called X-ray diffractometry.
On peut mesurer un signal d'intensité correspondant à une figure de diffusion aux grands angles du faisceau après traversée de la membrane, en particulier un signal d'intensité correspondant à une raie de diffraction sensible à l'inclinaison de la membrane selon l'angle a non nul. It is possible to measure an intensity signal corresponding to a scattering pattern at the large angles of the beam after passing through the membrane, in in particular, a signal of intensity corresponding to a diffraction line sensitive to the inclination of the membrane according to the non-zero angle α.
Un pic peut désigner une portion de courbe de la variation d'intensité, comprenant un maximum d'intensité.  A peak may designate a portion of the curve of the intensity variation, comprising a maximum of intensity.
Une dimension caractéristique d'un pic de la courbe représentant la variation d'intensité d'une raie de la figure de diffusion est de préférence la largeur à mi-hauteur de ce pic.  A characteristic dimension of a peak of the curve representing the intensity variation of a line of the scattering pattern is preferably the half-height width of this peak.
On peut considérer comme un maximum d'intensité le maximum absolu et tout maximum local de la courbe supérieur ou égal à 50% par exemple du maximum absolu.  We can consider as a maximum of intensity the absolute maximum and any local maximum of the curve greater than or equal to 50%, for example of the absolute maximum.
On peut par exemple définir le minimum absolu du signal d'intensité :  For example, the absolute minimum of the intensity signal can be defined:
La mi-hauteur d'un pic d'intensité correspond alors H = (M- mabs)/2 + rriabs, avec M la valeur du maximum dudit pic d'intensité. The mid-height of an intensity peak then corresponds to H = (M- m a bs) / 2 + rriabs, with M the value of the maximum of said intensity peak.
La largeur à mi-hauteur du pic d'intensité correspond à la différence entre les deux valeurs d'abscisses ayant pour ordonnée la mi-hauteur du pic, et entourant l'abscisse correspondant audit maximum d'ordonnée M .  The width at half height of the intensity peak corresponds to the difference between the two abscissa values having the mid-height of the peak, and surrounding the abscissa corresponding to said ordinate maximum M.
Selon ce second mode de réalisation, on peut choisir comme membrane des nanotubes de carbone multiparois imprégnés dans un polymère et mesurer un signal d'intensité correspondant à la raie de diffraction 002. (Le signal d'intensité correspond avantageusement à ladite courbe représentant la variation d'intensité d'une raie de la figure de diffusion en fonction de la direction du faisceau diffusé pour un angle de diffusion constant.)  According to this second embodiment, it is possible to choose as membrane multiwall nanotubes impregnated in a polymer and to measure an intensity signal corresponding to the diffraction line 002. (The intensity signal advantageously corresponds to said curve representing the variation the intensity of a line of the scatter pattern as a function of the direction of the scattered beam at a constant scattering angle.)
La raie de diffraction 002 désigne la première harmonique parmi les différentes raies de diffraction, correspondant à la distance interparoi des nanotubes de carbone multiparois, lorsque la distance interparoi est approximativement constante. La désignation d'une raie de diffraction par trois chiffres fait référence aux familles de plans réticulaires (hkl) en cristallographie, où h, k et I sont des chiffres entiers.  The diffraction line 002 denotes the first harmonic among the different diffraction lines, corresponding to the inter-wall distance of the multiwall carbon nanotubes, when the inter-wall distance is approximately constant. The designation of a three-digit diffraction line refers to families of lattice planes (hkl) in crystallography, where h, k and I are whole numbers.
Avantageusement, on choisit comme membrane au moins une membrane parmi :  Advantageously, the membrane is chosen from at least one of:
une membrane formée par des nanotubes d'alumino-silicate imprégnés dans un polymère ou une céramique ou non-imprégnés ; une membrane formée par des nanofils métalliques imprégnés dans un polymère ou une céramique ou non-imprégnés ; a membrane formed by alumino-silicate nanotubes impregnated in a polymer or a ceramic or non-impregnated; a membrane formed by metal nanowires impregnated in a polymer or a ceramic or non-impregnated;
une membrane formée par des nanotubes d'oxyde de titane imprégnés dans un polymère ou une céramique ou non-imprégnés ; - une membrane formée par des nanotubes de carbone mono ou multiparois imprégnés dans un polymère ou une céramique ou non- imprégnés ;  a membrane formed by nanotubes of titanium oxide impregnated in a polymer or a ceramic or non-impregnated; a membrane formed by mono- or multiwall carbon nanotubes impregnated in a polymer or a ceramic or non-impregnated;
une membrane formée de tubes traversants vides ;  a membrane formed of empty through tubes;
une membrane formée de feuillets,  a membrane formed of leaflets,
- une membrane formée de feuillets d'argile parallèles au plan de la membrane.  a membrane formed of clay sheets parallel to the plane of the membrane.
On voit que l'invention s'applique à des géométries tubulaires (tubes) comme à des géométries planaires (feuillets).  It can be seen that the invention applies to tubular geometries (tubes) as to planar geometries (leaflets).
De préférence, on détermine l'orientation de la membrane, et en particulier l'angle a, en fonction de la précision souhaitée sur la mesure de degré de désalignement des objets contenus dans la membrane.  Preferably, the orientation of the membrane, and in particular the angle α, is determined as a function of the desired accuracy on the measurement of the degree of misalignment of the objects contained in the membrane.
Pour avoir une bonne précision, il faut qu'un pic d'intensité soit le plus fin possible. Or, plus l'angle a est petit, plus le pic d'intensité est fin.  To have a good precision, it is necessary that a peak of intensity is the finest possible. Now, the smaller the angle, the higher the intensity peak.
Avantageusement, on détermine l'orientation de la membrane, et en particulier l'angle a, en fonction d'une première approximation du degré de désalignement des objets contenus dans la membrane. Cette première approximation peut par exemple être fournie par un fabricant de la membrane contenant les objets.  Advantageously, the orientation of the membrane, and in particular the angle α, is determined as a function of a first approximation of the degree of misalignment of the objects contained in the membrane. This first approximation may for example be provided by a manufacturer of the membrane containing the objects.
Par ailleurs, plus le degré de désalignement est petit, plus le pic d'intensité est fin.  On the other hand, the smaller the degree of misalignment, the finer the peak of intensity.
On peut déterminer l'orientation de la membrane, et en particulier l'angle a, en fonction d'une contrainte d'encombrement.  The orientation of the membrane, and in particular the angle α, can be determined as a function of a space constraint.
Avantageusement, on détermine l'orientation de la membrane, et en particulier l'angle a, en fonction de l'encombrement de la membrane. Plus l'angle a est élevé, moins le dispositif selon l'invention est encombrant pour des dimensions de membrane fixées.  Advantageously, the orientation of the membrane, and in particular the angle α, is determined as a function of the bulk of the membrane. The higher the angle α, the less the device according to the invention is bulky for fixed membrane dimensions.
Dans la pratique, on peut réaliser un compromis pour obtenir la précision souhaitée, en minimisant l'angle a tout en respectant des contraintes d'encombrement du dispositif selon l'invention (un angle a proche de 90° limite l'encombrement total du dispositif selon l'invention). En fonction d'une première approximation du degré de désalignement et de la précision souhaitée sur la mesure de degré de désalignement, on peut choisir une valeur adéquate pour l'angle a. In practice, a compromise can be achieved in order to obtain the desired precision, while minimizing the angle while respecting the space requirements of the device according to the invention (an angle of close to 90 ° limits the overall dimensions of the device according to the invention). According to a first approximation of the degree of misalignment and the desired accuracy on the measurement of degree of misalignment, it is possible to choose a suitable value for the angle a.
Le procédé selon l'invention peut comprendre les étapes suivantes : on effectue au moins une fois les étapes suivantes :  The method according to the invention may comprise the following steps: the following steps are carried out at least once:
- on détermine le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane en un point de la membrane,  the degree of misalignment of the objects contained in the membrane at a point in the membrane is determined,
- on déplace la membrane selon au moins une translation dans le plan de membrane,  the membrane is displaced according to at least one translation in the membrane plane,
- on détermine le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane en un autre point de la membrane, puis  the degree of misalignment of the objects contained in the membrane is determined at another point of the membrane, then
- on réalise une cartographie des degrés de désalignement des objets contenus dans la membrane pour chaque point étudié de la membrane.  a mapping is made of the degrees of misalignment of the objects contained in the membrane for each studied point of the membrane.
On peut aussi réaliser une cartographie des mesures de l'intensité du faisceau transmis par la membrane, pour chaque point étudié de la membrane. La cartographie peut correspondre dans ce cas à une cartographie d'une densité d'objets dans la membrane.  It is also possible to map the intensity of the beam transmitted by the membrane for each studied point of the membrane. In this case, the mapping may correspond to a mapping of a density of objects in the membrane.
On peut aussi réaliser une cartographie des mesures du signal de fluorescence émis par la membrane, pour chaque point étudié de la membrane. La cartographie peut correspondre dans ce cas à une cartographie d'une concentration dans la membrane d'un élément chimique donné, par exemple le fer, ou de plusieurs éléments chimiques donnés.  It is also possible to map the fluorescence signal measurements emitted by the membrane, for each studied point of the membrane. In this case, the mapping may correspond to a mapping of a concentration in the membrane of a given chemical element, for example iron, or of several given chemical elements.
On peut déplacer la membrane dans le plan de membrane, pour une membrane plane.  The membrane can be moved in the plane of the membrane for a plane membrane.
On peut déplacer la membrane dans le plan tangent à la membrane au niveau de l'intersection entre l'axe de propagation et la membrane, pour une membrane non plane.  The membrane can be moved in the plane tangential to the membrane at the intersection between the axis of propagation and the membrane, for a non-planar membrane.
L'invention concerne aussi un produit programme d'ordinateur agencé pour exécuter les étapes du procédé selon l'invention lorsqu'il est exécuté dans un ordinateur, en particulier les étapes de mesure d'un signal d'intensité correspondant à une figure de diffusion et de détermination du degré de désalignement des objets contenus dans la membrane.  The invention also relates to a computer program product arranged to execute the steps of the method according to the invention when it is executed in a computer, in particular the steps of measuring an intensity signal corresponding to a diffusion figure. and determining the degree of misalignment of the objects contained in the membrane.
Description des figures et modes de réalisation D'autres avantages et particularités de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée de mises en œuvre et de modes de réalisation nullement limitatifs, et des dessins annexés suivants : Description of the Figures and Embodiments Other advantages and particularities of the invention will appear on reading the detailed description of implementations and non-limiting embodiments, and the following appended drawings:
- la figure 1A illustre une vue schématique de côté d'un dispositif selon l'art antérieur de mesure d'un degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane de petite taille ;  - Figure 1A illustrates a schematic side view of a device according to the prior art for measuring a degree of misalignment of objects contained in a small membrane;
- la figure 1B illustre une vue schématique de dessus d'un dispositif selon l'art antérieur de mesure d'un degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane de petite taille ;  - Figure 1B illustrates a schematic top view of a device according to the prior art for measuring a degree of misalignment of objects contained in a small membrane;
- la figure 1C illustre une vue schématique de dessus d'un dispositif selon l'art antérieur de mesure d'un degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane de grande taille ;  - Figure 1C illustrates a schematic top view of a device according to the prior art for measuring a degree of misalignment of objects contained in a large membrane;
- la figure 2A illustre une vue schématique de côté d'un dispositif selon l'invention de mesure d'un degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane ;  FIG. 2A illustrates a schematic side view of a device according to the invention for measuring a degree of misalignment of objects contained in a membrane;
- la figure 2B illustre une vue schématique de dessus d'un dispositif selon l'invention de mesure d'un degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane,  FIG. 2B illustrates a schematic view from above of a device according to the invention for measuring a degree of misalignment of objects contained in a membrane,
- la figure 3 illustre une vue en perspective d'une membrane pouvant être étudiée grâce au dispositif selon l'invention,  FIG. 3 illustrates a perspective view of a membrane that can be studied thanks to the device according to the invention,
- la figure 4 illustre une vue en perspective des parois d'un nanotube de carbone multiparois,  FIG. 4 illustrates a perspective view of the walls of a multiwall carbon nanotube,
- la figure 5 illustre une figure de diffraction aux grands angles obtenue dans un dispositif selon l'art antérieur,  FIG. 5 illustrates a large-angle diffraction pattern obtained in a device according to the prior art,
- la figure 6 illustre une figure de diffraction aux grands angles obtenue dans un dispositif selon l'invention,  FIG. 6 illustrates a large-angle diffraction pattern obtained in a device according to the invention,
- la figure 7 illustre un premier mode de réalisation de dispositif selon l'invention,  FIG. 7 illustrates a first device embodiment according to the invention,
- la figure 8 illustre un second mode de réalisation de dispositif selon l'invention et son environnement informatique,  FIG. 8 illustrates a second device embodiment according to the invention and its computing environment,
- la figure 9 illustre une courbe d'un degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane en fonction d'une mesure sur une figure de diffraction correspondante, pour deux valeurs différentes de l'angle a, - la figure 10 illustre une coupe circulaire de la raie de diffraction 002 de nanotubes de carbone multiparois, obtenue dans un dispositif selon l'art antérieur, FIG. 9 illustrates a curve of a degree of misalignment of objects contained in a membrane as a function of a measurement on a corresponding diffraction pattern, for two values different from the angle a, FIG. 10 illustrates a circular section of the diffraction line 002 of multiwall carbon nanotubes, obtained in a device according to the prior art,
- la figure 11 illustre une coupe circulaire de la raie de diffraction 002 de nanotubes de carbone multiparois, obtenue dans un dispositif selon l'invention,  FIG. 11 illustrates a circular section of the diffraction line 002 of multiwall carbon nanotubes, obtained in a device according to the invention,
- la figure 12 illustre une mesure expérimentale de l'influence de l'inclinaison de la membrane sur une coupe circulaire de la raie de diffraction 002 de nanotubes de carbone multiparois, obtenue dans un dispositif selon l'invention, pour un premier degré de désalignement,  FIG. 12 illustrates an experimental measurement of the influence of the inclination of the membrane on a circular section of the diffraction line 002 of multiwall carbon nanotubes, obtained in a device according to the invention, for a first degree of misalignment ,
- la figure 13 illustre une simulation de l'influence de l'inclinaison de la membrane sur une coupe circulaire de la raie de diffraction 002 de nanotubes de carbone multiparois, obtenue dans un dispositif selon l'invention, pour un deuxième degré de désalignement ;  FIG. 13 illustrates a simulation of the influence of the inclination of the membrane on a circular section of the diffraction line 002 of multiwall carbon nanotubes, obtained in a device according to the invention, for a second degree of misalignment;
- la figure 14 illustre une simulation de l'influence de l'inclinaison de la membrane sur une coupe circulaire de la raie de diffraction 002 de nanotubes de carbone multiparois, obtenue dans un dispositif selon l'invention, pour un troisième degré de désalignement ;  FIG. 14 illustrates a simulation of the influence of the inclination of the membrane on a circular section of the diffraction line 002 of multiwall carbon nanotubes, obtained in a device according to the invention, for a third degree of misalignment;
- la figure 15 illustre une vue en perspective du plan de référence, d'une portion de membrane et du plan tangent à la membrane au niveau de l'intersection entre le plan de référence et la membrane, et  FIG. 15 illustrates a perspective view of the reference plane, of a membrane portion and of the plane tangential to the membrane at the intersection between the reference plane and the membrane, and
- la figure 16 illustre une figure de diffusion aux petits angles.  FIG. 16 illustrates a small angle scattering figure.
La figure 3 présente une membrane 2 contenant des objets 3 qui sont alignés principalement perpendiculairement à la surface 4 de la membrane 2. La surface 4 de la membrane 2 désigne l'une des deux faces de plus grande surface de la membrane 2. La largeur et la longueur de la surface 4 forment les deux dimensions latérales de la membrane 2. FIG. 3 shows a membrane 2 containing objects 3 which are aligned mainly perpendicular to the surface 4 of the membrane 2. The surface 4 of the membrane 2 designates one of the two larger surface faces of the membrane 2. The width and the length of the surface 4 form the two lateral dimensions of the membrane 2.
On voit sur la figure 3 que les objets 3 ne sont pas tous parfaitement alignés perpendiculairement à la surface 4 de la membrane, certains formant un angle Θ avec la perpendiculaire 5 à la surface 4 de la membrane 2.  It can be seen in FIG. 3 that the objects 3 are not all perfectly aligned perpendicular to the surface 4 of the membrane, some forming an angle Θ with the perpendicular to the surface 4 of the membrane 2.
Le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane 2 est donné par la largeur de la fonction de distribution des orientations Θ prises sur tous les objets. Il est d'autant plus petit (proche de zéro) que les objets sont bien alignés avec un axe ou un plan de référence. The degree of misalignment of the objects contained in the membrane 2 is given by the width of the distribution function of the orientations Θ taken on all objects. It is even smaller (close to zero) that the objects are aligned with a reference axis or plane.
La fonction de distribution peut être une gaussienne, une lorentzienne, etc. On peut déterminer cette fonction de distribution à partir de la théorie de la diffusion, connaissant la nature des objets contenus dans la membrane 2. On peut aussi retrouver cette fonction de distribution à partir des mesures expérimentales sur des figures de la diffusion d'un faisceau de rayons X par la membrane.  The distribution function can be a Gaussian, a Lorentzian, etc. We can determine this distribution function from the theory of diffusion, knowing the nature of the objects contained in the membrane 2. We can also find this distribution function from the experimental measurements on beam scattering figures. X-rays through the membrane.
On va tout d'abord décrire, en référence aux figures 1A et 1B un dispositif 1 selon l'art antérieur de mesure d'un tel degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane 2.  Firstly, with reference to FIGS. 1A and 1B, a device 1 according to the prior art for measuring such a degree of misalignment of objects contained in a membrane 2 will be described.
La figure 1A illustre une vue schématique de côté du dispositif 1 selon l'art antérieur.  Figure 1A illustrates a schematic side view of the device 1 according to the prior art.
La figure 1B illustre une vue schématique de dessus du dispositif 1 selon l'art antérieur.  Figure 1B illustrates a schematic top view of the device 1 according to the prior art.
Le dispositif 1 selon l'art antérieur comprend des moyens d'émission (non représentés) d'un faisceau 6 de rayons X se propageant selon un axe de propagation 350, et des moyens de détection 7 pour mesurer en transmission un faisceau diffusé 8 après traversée de la membrane 2.  The device 1 according to the prior art comprises means (not shown) for transmitting an X-ray beam 6 propagating along a propagation axis 350, and detection means 7 for measuring, in transmission, a scattered beam 8 after crossing the membrane 2.
L'axe de propagation 350 est entièrement contenu dans le plan de membrane.  The axis of propagation 350 is entirely contained in the membrane plane.
L'axe de propagation 350 désigne la direction de propagation du faisceau 6 de rayons X émis par les moyens d'émission.  The propagation axis 350 designates the direction of propagation of the X-ray beam 6 emitted by the transmitting means.
La membrane présente une longueur 10 qui est dans le dispositif 1 selon l'art antérieur la longueur traversée par le faisceau 6 de rayons X.  The membrane has a length 10 which is in the device 1 according to the prior art the length traversed by the beam 6 of X-rays.
La figure 1C illustre une vue schématique de dessus d'un dispositif 1 selon l'art antérieur, et montre les limitations dudit dispositif 1 selon l'art antérieur dans le cas d'une membrane 2 de grande dimension, par exemple une membrane 2 présentant une longueur 10 supérieure à 2cm. La longueur 10 limite au-delà de laquelle la géométrie présentée sur la figure 1C n'est plus utilisable dépend du matériau formant la membrane 2 et notamment de ses capacités de diffusion et d'absorption. Selon les cas, on peut être limité à des membranes 2 de longueur 10 inférieure à 1mm et même 0,5mm.  FIG. 1C illustrates a schematic view from above of a device 1 according to the prior art, and shows the limitations of said device 1 according to the prior art in the case of a large membrane 2, for example a membrane 2 exhibiting a length greater than 2cm. The limit length beyond which the geometry shown in FIG. 1C is no longer usable depends on the material forming the membrane 2 and in particular on its diffusion and absorption capacities. Depending on the case, it may be limited to membranes 2 of length less than 1 mm and even 0.5 mm.
On voit sur la figure 1C que pour chaque portion de la membrane 2, on a des faisceaux diffusés 8', 8", 8"', conduisant à un élargissement radial du signal mesuré. Si l'alignement varie pour chaque portion de membrane, l'analyse d'une figure de diffusion obtenue au niveau des moyens de mesure 7 est donc plus compliquée, et le temps de traitement est donc d'autant plus long. De surcroit, l'intensité transmise après traversée d'une certaine longueur de membrane 2 est d'autant plus faible que cette longueur est grande. En effet, l'intensité transmise après traversée de la membrane décroît de façon exponentielle en fonction de la longueur de membrane traversée par le faisceau 6 de rayons X. Il est donc possible que l'intensité de 8"' ne soit plus mesurable à cause de l'absorption trop grande du faisceau. En outre, on voit sur la figure 1C qu'une grande longueur 10 de la membrane 2 peut poser des difficultés eu égard à la taille des capteurs : les moyens de détection 7 ont une taille donnée et ne peuvent donc détecter un signal que sur une certaine surface. Le faisceau diffusé 8 étant divergeant, plus les moyens de détection 7 sont éloignés de la membrane 2, plus les moyens de détection doivent pouvoir détecter sur une grande surface pour recueillir l'ensemble du signal diffusé 8. Lorsque la longueur 10 de la membrane est grande (par exemple supérieure à 5cm), le faisceau diffusé 8' correspondant à la portion de membrane la plus éloignée des moyens de détection 7 peut présenter un diamètre supérieur à la taille de capteur des moyens de détection 7, au niveau des moyens de détection 7. FIG. 1C shows that for each portion of the membrane 2, there are scattered beams 8 ', 8 ", 8"', leading to a radial enlargement of the measured signal. If the alignment varies for each portion of the membrane, the analysis of a diffusion figure obtained at the level of the measuring means 7 is therefore more complicated, and the processing time is therefore even longer. In addition, the intensity transmitted after crossing a certain length of membrane 2 is even lower than this length is large. Indeed, the intensity transmitted after crossing the membrane decreases exponentially as a function of the membrane length traversed by the beam 6 of X-rays. It is therefore possible that the intensity of 8 "'is no longer measurable because In addition, it can be seen in FIG. 1C that a large length of the membrane 2 can pose difficulties with regard to the size of the sensors: the detection means 7 have a given size and Therefore, since the diffused beam 8 is diverging, the more the detection means 7 are moved away from the membrane 2, the more the detection means must be able to detect over a large area in order to collect the entire image. 8. When the length of the membrane is large (for example greater than 5 cm), the scattered beam 8 'corresponding to the membrane portion furthest from the detection means 7 may have a diameter greater than the sensor size of the detection means 7, at the level of the detection means 7.
L'idée qui est à la base de l'invention consiste donc à modifier le dispositif 1 selon l'art antérieur de façon à s'affranchir des limitations de l'art antérieur.  The idea underlying the invention is therefore to modify the device 1 according to the prior art so as to overcome the limitations of the prior art.
Les figures 2A et 2B présentent de façon schématique un dispositif 100 selon l'invention.  FIGS. 2A and 2B schematically show a device 100 according to the invention.
La figure 2A illustre une vue schématique de côté du dispositif 100 selon l'invention.  FIG. 2A illustrates a schematic side view of the device 100 according to the invention.
La figure 2B illustre une vue schématique de dessus du dispositif 100 selon l'invention.  FIG. 2B illustrates a schematic view from above of the device 100 according to the invention.
Les figures 2A et 2B ne seront décrites que pour leurs différences respectives avec respectivement les figures 1A et 1B ou 1C.  Figures 2A and 2B will be described only for their respective differences with respectively Figures 1A and 1B or 1C.
On voit sur la figure 2B que l'axe de propagation 350 n'est pas contenu dans le plan de membrane 20 qui est ici confondu avec le plan de la membrane 2 puisque la membrane représentée est plane. Il en est de même aux figures 7 et 8. On voit à la figure 2B que l'axe de propagation 350 forme un angle β avec la normale 600 à la membrane à l'intersection entre la membrane 2 et l'axe de propagation 350. L'angle a est le complémentaire de cet angle β. L'angle a est non nul. FIG. 2B shows that the axis of propagation 350 is not contained in the plane of membrane 20 which is here coincident with the plane of the membrane 2 since the membrane shown is plane. It is the same in Figures 7 and 8. FIG. 2B shows that the propagation axis 350 forms an angle β with the normal 600 to the membrane at the intersection between the membrane 2 and the propagation axis 350. The angle a is complementary to this angle β. The angle a is non-zero.
La figure 15 illustre le cas d'une membrane 2 non plane. Dans ce cas, le plan de membrane 20 est défini comme le plan tangent à la portion de membrane 2 au niveau de l'intersection entre le faisceau 6 de rayons X et la membrane 2.  Figure 15 illustrates the case of a non-planar membrane 2. In this case, the membrane plane 20 is defined as the plane tangent to the membrane portion 2 at the intersection between the x-ray beam 6 and the membrane 2.
Seule une portion de membrane 2 est traversée par le faisceau 6 de rayons X.  Only a portion of membrane 2 is traversed by the beam 6 of X-rays.
On s'affranchit ainsi des difficultés concernant l'intensité transmise après traversée de la membrane par le faisceau 6 de rayons X.  This eliminates the difficulties concerning the intensity transmitted after passing through the membrane by the X-ray beam 6.
L'épaisseur de membrane 2 traversée est de l'ordre de l'épaisseur de la membrane divisée par sin(a) soit par exemple quelques centaines de micromètres pour des valeurs de a comprises entre 10° et 80° et pour une membrane de 100 micromètres d'épaisseur.  The thickness of membrane 2 crossing is of the order of the thickness of the membrane divided by sin (a) is for example a few hundred micrometers for values of a between 10 ° and 80 ° and for a membrane of 100 micrometers thick.
Il n'est pas nécessaire d'aligner toute la longueur 10 de la membrane 2 avec le plan de membrane 20.  It is not necessary to align the entire length of the membrane 2 with the membrane plane 20.
Le faisceau diffusé 8 obtenu dans le dispositif selon l'invention correspond à la seule portion de membrane 2 traversée par le faisceau 6 de rayons X.  The diffused beam 8 obtained in the device according to the invention corresponds to the only portion of membrane 2 crossed by the beam 6 of X-rays.
On peut placer ladite portion de membrane 2 à la distance voulue des moyens de détection 7, pour s'assurer que l'ensemble d'une figure de diffusion à étudier soit détecté par les moyens de détection 7.  It is possible to place said membrane portion 2 at the desired distance from the detection means 7, to ensure that the set of a diffusion pattern to be studied is detected by the detection means 7.
En outre, on n'a pas de dispersion de faisceaux diffusés correspondant à des parties éloignées les unes des autres (au moins 2mm par exemple) de la même membrane 2. La figure de diffusion obtenue pourra alors être plus simplement et rapidement analysée, sans ambiguïtés.  In addition, there is no dispersion of scattered beams corresponding to parts distant from each other (at least 2 mm for example) of the same membrane 2. The diffusion pattern obtained can then be more simply and quickly analyzed, without ambiguities.
On va maintenant décrire plus précisément et en référence à la figure 7, un premier mode de réalisation de dispositif 100 selon l'invention.  A first embodiment of device 100 according to the invention will now be described more precisely and with reference to FIG.
Le dispositif 100 selon l'invention comprend :  The device 100 according to the invention comprises:
- des moyens d'émission 11 d'un faisceau de rayons X, constitués ici par une anode tournante (non représentée sur la figure 7) générant des rayons X et un système de monochromation et de collimation des rayons X (on peut aussi prévoir que les moyens d'émission 11 sont constitués par un autre type d'anode ou par un rayonnement synchrotron); means 11 for transmitting an X-ray beam, constituted here by a rotating anode (not shown in FIG. 7) generating X-rays and a monochromation and X-ray collimation system (it is possible to also provide that the transmission means 11 are constituted by another type of anode or synchrotron radiation);
- des moyens de détection 7 du faisceau de rayons X diffusé par la membrane 2, consistant ici en un capteur CCD,  detection means 7 of the X-ray beam diffused by the membrane 2, here consisting of a CCD sensor,
- un support 12 pour recevoir une membrane 2 plane (représentée ici transparente pour une meilleure lisibilité de la figure), le support 12 consistant ici en deux fenêtres transparentes aux rayons X entre lesquelles se place la membrane 2, les fenêtres étant montées dans un cadre de 15cm sur 15cm par exemple.  a support 12 for receiving a plane membrane 2 (shown here transparent for a better readability of the figure), the support 12 here consisting of two windows transparent to X-rays between which the membrane 2 is placed, the windows being mounted in a frame 15cm on 15cm for example.
Le support 12 est monté sur des moyens de réglage 380 permettant de faire varier l'orientation du support 12 (rotation 195). Deux tables de translation 190 permettent de le déplacer et ainsi de sonder différents points de la membrane avec le faisceau 6.  The support 12 is mounted on adjustment means 380 for varying the orientation of the support 12 (rotation 195). Two translation tables 190 make it possible to move it and thus to probe different points of the membrane with the beam 6.
Dans l'exemple représenté à la figure 7, le plan de membrane (c'est-à- dire le plan dans lequel se trouve la membrane 2) est défini par deux axes Wl, W2 dont l'un W2 est perpendiculaire à l'axe de propagation 350.  In the example shown in FIG. 7, the plane of the membrane (that is to say the plane in which the membrane 2 is located) is defined by two axes W1, W2, one of which W2 is perpendicular to the propagation axis 350.
Le plan de membrane forme un angle a non nul avec l'axe de propagation 350.  The membrane plane forms a non-zero angle α with the axis of propagation 350.
Plus particulièrement, à la figure 7 l'axe de propagation 350 est dans un plan horizontal, tandis que le plan de membrane est vertical .  More particularly, in Figure 7 the axis of propagation 350 is in a horizontal plane, while the membrane plane is vertical.
Alors que dans le cas général il faut deux angles pour définir l'orientation dans l'espace du plan de membrane, on se trouve ici dans un cas particulier où on définit l'orientation de la membrane par le seul angle a.  While in the general case it takes two angles to define the orientation in the space of the membrane plane, we are here in a particular case where we define the orientation of the membrane by the single angle a.
Les objets contenus dans la membrane forment par exemple un tapis. Dans ce cas, les objets, unidimensionnels, sont alignés principalement perpendiculairement à la surface de ce tapis. Il peut y avoir une inclinaison du tapis par rapport à la membrane de polymère. On peut prévoir des moyens de rotation (non représentés) pour corriger une éventuelle inclinaison du tapis, par rapport à la membrane de polymère, de façon à obtenir une mesure d'un degré d'inclinaison des objets par rapport au plan du tapis et non par rapport à la surface 4 de la membrane.  The objects contained in the membrane form for example a carpet. In this case, the objects, one-dimensional, are aligned mainly perpendicularly to the surface of this carpet. There may be an inclination of the carpet with respect to the polymer membrane. Rotating means (not shown) may be provided to correct a possible inclination of the carpet, with respect to the polymer membrane, so as to obtain a measurement of a degree of inclination of the objects with respect to the plane of the carpet and not relative to the surface 4 of the membrane.
Dans l'exemple représenté à la figure 7, le dispositif 100 selon l'invention comprend également des moyens de mesure 14 d'un signal de fluorescence, travaillant en réflexion. Les moyens de mesure 14 d'un signal de fluorescence sont situés du même côté de la membrane 2 que les moyens d'émission 11. Ils permettent de mesurer un signal de fluorescence, caractéristique de la composition chimique de la portion de membrane 2 traversée par le faisceau 6 de rayons X. In the example shown in FIG. 7, the device 100 according to the invention also comprises means 14 for measuring a fluorescence signal, working in reflection. The means 14 for measuring a fluorescence signal are located on the same side of the membrane 2 as the transmission means 11. They make it possible to measure a fluorescence signal, characteristic of the chemical composition of the membrane portion 2 traversed by the x-ray beam 6.
Dans l'exemple représenté à la figure 7, le dispositif 100 selon l'invention comprend également des moyens de mesure de l'intensité 15, pour mesurer l'intensité du faisceau transmis par la membrane 2. Ces moyens de mesure de l'intensité 15 mesurent l'intensité de la portion du faisceau incident sur la membrane 2 qui n'a subi ni déviation ni absorption. Ils sont situés devant les moyens de détection 7. L'intensité de la portion de faisceau de rayons X qui ne subit pas de déviation est en général supérieure à l'intensité de la portion du faisceau diffusée. Les moyens de mesure de l'intensité 15 sont situés dans un cache (communément appelé « puits » ou « beamstop » par l'homme de l'art). Ainsi, le faisceau transmis n'atteint pas les moyens de détection 7 et ne perturbe pas la mesure du faisceau diffusé 8.  In the example shown in FIG. 7, the device 100 according to the invention also comprises means for measuring the intensity 15, for measuring the intensity of the beam transmitted by the membrane 2. These means for measuring the intensity 15 measure the intensity of the portion of the incident beam on the membrane 2 which has not undergone any deviation or absorption. They are located in front of the detection means 7. The intensity of the X-ray beam portion which does not undergo a deflection is generally greater than the intensity of the portion of the scattered beam. The intensity measuring means 15 are located in a cache (commonly called "well" or "beamstop" by those skilled in the art). Thus, the transmitted beam does not reach the detection means 7 and does not disturb the measurement of the scattered beam 8.
On note que le dispositif 100 peut être pivoté dans sa totalité d'un angle quelconque autour de l'axe de propagation 350, par exemple de 90°, ce qui rendrait la membrane horizontale pour un angle a égal à 0°.  Note that the device 100 can be rotated in its entirety at any angle around the axis of propagation 350, for example 90 °, which would make the horizontal membrane for an angle equal to 0 °.
La figure 8 illustre le fonctionnement d'un second mode de réalisation de dispositif 100 selon l'invention.  FIG. 8 illustrates the operation of a second device embodiment 100 according to the invention.
Le dispositif 100 selon l'invention illustré à la figure 8 comprend :  The device 100 according to the invention illustrated in FIG. 8 comprises:
- des moyens d'émission 11 d'un faisceau 6 de rayons X,  means 11 for transmitting an X-ray beam 6,
- des moyens de détection 7 pour mesurer un faisceau diffusé 8, pouvant consister en un capteur CCD plan,  detection means 7 for measuring a scattered beam 8, which may consist of a flat CCD sensor,
- un support non représenté pour recevoir une membrane 2 plane.  a support not shown for receiving a plane membrane 2.
Dans l'exemple représenté à la figure 8, l'orientation du plan de membrane (c'est-à-dire le plan dans lequel se trouve la membrane 2) correspond à un angle a, qui est l'angle complémentaire de l'angle β entre l'axe de propagation 350 et la normale 600 à la membrane 2 à l'intersection entre la membrane et l'axe de propagation 350.  In the example shown in FIG. 8, the orientation of the membrane plane (that is to say the plane in which the membrane 2 is located) corresponds to an angle a, which is the angle complementary to the angle β between the axis of propagation 350 and the normal 600 at the membrane 2 at the intersection between the membrane and the axis of propagation 350.
L'axe de propagation 350 se propage dans un plan horizontal, tandis que la membrane est inclinée à la fois par rapport à la verticale et par rapport à l'horizontale.  The axis of propagation 350 propagates in a horizontal plane, while the membrane is inclined both with respect to the vertical and relative to the horizontal.
Le plan du capteur CCD 7 peut être vertical, c'est-à-dire défini par deux axes dont l'un au moins est perpendiculaire à l'axe de propagation. On note que le dispositif 100 peut être pivoté dans sa totalité d'un angle quelconque autour de la direction 6 du faisceau incident. The plane of the CCD sensor 7 may be vertical, that is to say defined by two axes, at least one of which is perpendicular to the axis of propagation. Note that the device 100 can be rotated in its entirety at any angle around the direction 6 of the incident beam.
On voit que le faisceau 6 de rayons X émis par les moyens d'émission 11 se décompose sous l'influence de la portion de membrane 2 située sur le trajet dudit faisceau 6 de rayons X en :  It can be seen that the beam 6 of X-rays emitted by the emission means 11 is decomposed under the influence of the membrane portion 2 situated in the path of said x-ray beam 6 by:
- un faisceau diffusé 8, correspondant à une portion du faisceau 6 de rayons X déviée sous l'influence de la membrane 2,  a scattered beam 8, corresponding to a portion of the X-ray beam 6 deflected under the influence of the membrane 2,
- un faisceau transmis 16 correspondant à une portion du faisceau 6 de rayons X ni déviée ni absorbée sous l'influence de la membrane 2,  a transmitted beam 16 corresponding to a portion of the X-ray beam 6 neither deflected nor absorbed under the influence of the membrane 2,
- un signal de fluorescence 17 émis par la membrane 2 à la suite d'une absorption partielle du faisceau 6 de rayons X par la membrane 2.  a fluorescence signal 17 emitted by the membrane 2 as a result of a partial absorption of the x-ray beam 6 by the membrane 2.
Le dispositif 100 selon l'invention illustré à la figure 8 comprend également :  The device 100 according to the invention illustrated in FIG. 8 also comprises:
- des moyens de mesure 14 d'un signal de fluorescence ;  measuring means 14 for a fluorescence signal;
- des moyens de réglage 380 permettant de faire varier l'orientation du support 12 (non représenté) de façon à pouvoir modifier par exemple la valeur de l'angle d'inclinaison a de la membrane 2 par rapport à l'axe de propagation 350 ;  adjustment means 380 making it possible to vary the orientation of the support 12 (not shown) so as to be able to modify, for example, the value of the angle of inclination α of the membrane 2 with respect to the axis of propagation 350 ;
- des moyens 190 pour déplacer la membrane selon une direction contenue dans le plan du support 12, par exemple selon la direction représentée par les flèches 19. On peut ainsi faire défiler une membrane 2 de grande taille pour effectuer successivement des mesures en différents endroits de la membrane 2. On peut prévoir deux directions de translation pour déplacer la membrane 2, ce qui permet d'étudier une membrane 2 quelles que soient ses dimensions. On peut prévoir par exemple une étude ligne par ligne, directement en sortie de production de la membrane ce qui permet de piloter un arrêt de la production dans le cas où les mesures effectuées dépassent un seuil prédéterminé. Pendant une mesure, la membrane 2 est fixe.  means 190 for moving the membrane in a direction contained in the plane of the support 12, for example in the direction represented by the arrows 19. It is thus possible to scroll a membrane 2 of large size to carry out successively measurements in different locations of the membrane 2. It can be provided two translation directions to move the membrane 2, which allows to study a membrane 2 regardless of its dimensions. For example, a line-by-line study can be provided directly at the output of the membrane production, which makes it possible to control a production stoppage in the case where the measurements made exceed a predetermined threshold. During a measurement, the membrane 2 is fixed.
- un processeur 21.  a processor 21.
Si la membrane n'est pas plane, on peut avoir un angle a variable au cours du défilement de la membrane. Cette différence peut être prise en compte en modifiant l'orientation du support, par exemple pour retrouver un angle a constant au cours du défilement de la membrane. Elle peut aussi être prise en compte lors du traitement des données au cours duquel on relie une mesure sur la figure de diffusion avec le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane. If the membrane is not flat, one can have a variable angle during the scrolling of the membrane. This difference can be taken into account by modifying the orientation of the support, for example to find a constant angle a during the scrolling of the membrane. It can also be taken into account when processing data during which connects a measurement on the diffusion figure with the degree of misalignment of the objects contained in the membrane.
Le processeur 21 reçoit des informations sur les signaux détectés :  The processor 21 receives information on the detected signals:
- par les moyens de mesure 14 d'un signal de fluorescence (voir flèche 123) ;  by the measuring means 14 of a fluorescence signal (see arrow 123);
- par les moyens de détection 7 (voir flèche 22);  by the detection means 7 (see arrow 22);
- par les moyens de mesure de l'intensité 15 (voir flèche 122) travaillant en transmission .  by the means for measuring the intensity 15 (see arrow 122) working in transmission.
Le processeur 21 peut donc analyser les signaux détectés et calculer en retour, pour la portion de membrane 2 traversée par le faisceau 6 de rayons X respectivement :  The processor 21 can therefore analyze the detected signals and calculate in return, for the membrane portion 2 crossed by the beam 6 of X-rays respectively:
- un indicateur de composition chimique, par exemple pour s'assurer de l'absence de particules catalytiques, qui peuvent être à base de fer, dans une membrane de nanotubes de carbone, notamment en détectant la présence ou non de fer. Cet indicateur quantifie une concentration d'un ou plusieurs éléments chimiques dans la membrane ;  an indicator of chemical composition, for example to ensure the absence of catalytic particles, which may be iron-based, in a carbon nanotube membrane, in particular by detecting the presence or absence of iron. This indicator quantifies a concentration of one or more chemical elements in the membrane;
- un degré de désalignement des objets contenus dans la membrane 2. Ce degré de désalignement constitue une analyse quantitative de l'alignement des objets dans la membrane ;  a degree of misalignment of the objects contained in the membrane 2. This degree of misalignment constitutes a quantitative analysis of the alignment of the objects in the membrane;
- une densité d'objets dans la membrane 2. On peut aussi quantifier un nombre moyen de nanotubes de carbone formant les objets contenus dans la membrane.  a density of objects in the membrane 2. It is also possible to quantify an average number of carbon nanotubes forming the objects contained in the membrane.
Le dispositif 100 selon l'invention constitue alors un banc de mesure informatisé fournissant directement une interprétation des résultats grâce au processeur 21.  The device 100 according to the invention then constitutes a computerized measurement bench directly providing an interpretation of the results thanks to the processor 21.
Ces informations peuvent chacunes être présentées sous la forme de cartes où chaque point correspond à une mesure sur la membrane 2.  This information can each be presented in the form of maps where each point corresponds to a measurement on the membrane 2.
Le processeur 21 est compris dans un ordinateur pouvant exécuter un logiciel (produit programme d'ordinateur), ledit logiciel permettant au processeur 21 d'analyser les signaux détectés et d'effectuer les calculs mentionnés ci-dessus.  The processor 21 is included in a computer capable of executing software (computer program product), said software enabling the processor 21 to analyze the detected signals and to perform the calculations mentioned above.
On peut en outre prévoir que grâce au produit programme d'ordinateur selon l'invention, le processeur 21 pilote :  It can further be provided that, thanks to the computer program product according to the invention, the processor 21 controls:
- le défilement de la membrane (voir flèche 23), - les moyens de détection 7, les moyens de mesure 14 d'un signal de fluorescence et les moyens de mesure de l'intensité 15, et/ou the scrolling of the membrane (see arrow 23), the detection means 7, the means 14 for measuring a fluorescence signal and the means for measuring the intensity 15, and / or
- certains paramètres des moyens d'émission 11, par exemple la puissance du faisceau 6 de rayons X (voir flèche 24).  certain parameters of the transmission means 11, for example the power of the x-ray beam 6 (see arrow 24).
Le processeur 21 équipé du logiciel selon l'invention peut aussi échanger des informations avec les moyens de réglage 380 (voir flèche 25). Le processeur 21 peut détecter la position des moyens de réglage 380 pour en déduire l'orientation de la membrane, en particulier l'angle a, à prendre en compte dans un calcul de degré de désalignement. On peut aussi prévoir qu'un opérateur humain paramètre le dispositif 100 selon l'invention en précisant dans le processeur 21 un angle a à prendre en compte, le processeur 21 pilotant ensuite le positionnement des moyens de réglage 380 pour positionner la membrane 2 selon l'orientation choisie.  The processor 21 equipped with the software according to the invention can also exchange information with the adjustment means 380 (see arrow 25). The processor 21 can detect the position of the adjustment means 380 in order to deduce the orientation of the membrane, in particular the angle a, to be taken into account in a calculation of degree of misalignment. It can also be provided that a human operator sets the device 100 according to the invention by specifying in the processor 21 an angle a to be taken into account, the processor 21 then controlling the positioning of the adjustment means 380 to position the membrane 2 according to the invention. chosen orientation.
On peut aussi prévoir que le processeur 21 équipé du logiciel selon l'invention permette de déterminer comment orienter la membrane, puis oriente automatiquement le support de membrane aux angles voulus. Le processeur peut déterminer un angle a adéquat, en fonction :  It can also be provided that the processor 21 equipped with the software according to the invention makes it possible to determine how to orient the membrane, then automatically directs the membrane support to the desired angles. The processor can determine an adequate angle a, depending on:
- d'une précision souhaitée sur la mesure d'un degré de désalignement, a desired accuracy in measuring a degree of misalignment,
- d'une première approximation du degré de désalignement, a first approximation of the degree of misalignment,
- d'un encombrement autorisé pour le dispositif selon l'invention et de l'encombrement de la membrane.  - A congestion allowed for the device according to the invention and the bulk of the membrane.
- Le dispositif 100 selon l'invention peut permettre d'étudier toute membrane 2 contenant des objets alignés principalement selon une direction prédéterminée ou selon un plan, par exemple :  The device 100 according to the invention can make it possible to study any membrane 2 containing objects aligned mainly in a predetermined direction or in a plane, for example:
- des objets unidimensionnels alignés principalement perpendiculairement au plan de la surface de la membrane ;  unidimensional objects aligned mainly perpendicular to the plane of the surface of the membrane;
- des lamelles alignées principalement parallèlement à la surface de la membrane.  - lamellae aligned mainly parallel to the surface of the membrane.
La membrane doit être diffusante, le signal de diffusion étant isotrope pour une certaine orientation de la membrane (a=90°), et anisotrope pour toute autre orientation.  The membrane must be diffusing, the diffusion signal being isotropic for a certain orientation of the membrane (a = 90 °), and anisotropic for any other orientation.
La membrane 2 peut présenter une structure amorphe. Dans ce cas, on place les moyens de détections 7 à distance de la membrane 2, par exemple à plus d'un mètre, pour une analyse aux petits angles. On peut étudier ainsi des matériaux mésoporeux, etc. Les objets contenus dans la membrane peuvent être des structures creuses. Une analyse aux grands angles peut aussi être réalisée pour certaines structures amorphes. The membrane 2 may have an amorphous structure. In this case, the detecting means 7 are placed at a distance from the membrane 2, for example at more than one meter, for a small-angle analysis. We can study mesoporous materials, and so on. The objects contained in the membrane can be hollow structures. Wide-angle analysis can also be done for some amorphous structures.
Les objets de la membrane 2 dont on étudie l'alignement peuvent présenter une structure cristallisée. Dans ce cas, on place les moyens de détection 7 à proximité de la membrane 2, par exemple à moins de 10cm, pour une analyse aux grands angles.  The objects of the membrane 2 whose alignment is studied may have a crystallized structure. In this case, the detection means 7 are placed near the membrane 2, for example less than 10 cm, for a wide-angle analysis.
Selon un exemple particulier, on étudie une membrane 2 obtenue à partir d'un tapis de nanotubes de carbone imprégnés dans un polymère tel que le polystyrène, l'ensemble étant ensuite poli.  In a particular example, a membrane 2 obtained from a carpet of carbon nanotubes impregnated in a polymer such as polystyrene is studied, the assembly then being polished.
Certaines utilisations des membranes de nanotubes de carbone nécessitent qu'elles demeurent entières, de grande taille, d'où l'intérêt d'une analyse non destructive possible avec le dispositif 100 selon l'invention. Les performances de ces membranes sont liées à leur qualité structurale, notamment à la densité et au bon alignement des nanotubes dans la membrane.  Some uses of the carbon nanotube membranes require that they remain intact, of large size, hence the interest of a possible non-destructive analysis with the device 100 according to the invention. The performance of these membranes is related to their structural quality, including the density and good alignment of the nanotubes in the membrane.
La figure 4 illustre un nanotube de carbone présentant plusieurs parois FIG. 4 illustrates a carbon nanotube having a plurality of walls
26. 26.
On utilise par exemple des moyens d'émission 11 émettant un faisceau 6 de rayons X à la longueur d'onde du cuivre Ka: 1,54 angstrôm. Les objets contenus dans la membrane présentent des dimensions (par exemple une distance interparoi dans des nanotubes) de l'ordre de grandeur de la longueur d'onde du faisceau 6 de rayons X. La membrane présente par exemple une épaisseur de lOOpm.  For example, transmission means 11 emitting an X-ray beam 6 at the wavelength of copper Ka: 1.54 angstrom are used. The objects contained in the membrane have dimensions (for example an inter-wall distance in nanotubes) of the order of magnitude of the wavelength of the X-ray beam 6. For example, the membrane has a thickness of 100 μm.
On va maintenant s'intéresser au procédé mis en œuvre dans un dispositif 100 selon l'invention.  We will now focus on the method implemented in a device 100 according to the invention.
Selon une première variante du procédé selon l'invention, on place les moyens de détection 7 à distance de la membrane 2, par exemple 3m, pour mesurer une figure de diffusion aux petits angles.  According to a first variant of the method according to the invention, the detection means 7 are placed at a distance from the membrane 2, for example 3 m, to measure a small-angle diffusion pattern.
La figure 16 illustre une figure de diffusion 27 aux petits angles pouvant être mesurée par les moyens de détection 7. La figure de diffusion FIG. 16 illustrates a small angle scattering pattern 27 that can be measured by the detecting means 7. The scattering pattern
27, représentée schématiquement, n'a pas une forme de disque : la figure de diffusion 27 est donc dite anisotrope. A partir de la mesure de la forme du signal diffusé, notamment un degré de déformation de cette forme par rapport à un disque de même surface, et connaissant l'orientation de la membrane, on peut déterminer le degré de désalignement des objets dans la membrane 2. 27, shown schematically, does not have a disk shape: the diffusion figure 27 is therefore called anisotropic. From the measurement of the shape of the scattered signal, in particular a degree of deformation of this shape with respect to a disc of the same surface, and knowing the orientation of the membrane, one can determine the degree of misalignment of the objects in the membrane 2.
Selon une autre variante du procédé selon l'invention, on place les moyens de détection 7 à proximité de la membrane 7, par exemple 10cm, pour mesurer une figure de diffusion 40 aux grands angles.  According to another variant of the method according to the invention, the detection means 7 are placed near the membrane 7, for example 10 cm, to measure a diffusion figure 40 at large angles.
La figure 6 illustre une figure de diffusion 40 aux grands angles pouvant être mesurée par les moyens de détection 7 notamment dans la configuration représentée à la figure 7. Dans ce cas particulier, il s'agit d'une figure de diffraction. L'anneau 31 correspond à la raie de diffraction 002 des nanotubes de carbone multiparois. Cette raie de diffusion est choisie notamment parce qu'elle est la plus intense, et parce qu'elle est sensible à l'orientation des nanotubes de carbone.  FIG. 6 illustrates a large-angle diffusion pattern 40 that can be measured by the detection means 7, in particular in the configuration shown in FIG. 7. In this particular case, it is a diffraction pattern. The ring 31 corresponds to the diffraction line 002 of the multiwall carbon nanotubes. This diffusion line is chosen in particular because it is the most intense, and because it is sensitive to the orientation of the carbon nanotubes.
Dans l'exemple représenté, on étudie des nanotubes de carbone présentant une distance interparoi 33 (voir figure 4) approximativement constante, par exemple à 5% près. Le premier anneau 31 correspond donc à la diffraction due aux parois des nanotubes de carbone, pour une distance interparoi 33 approximativement constante.  In the example shown, we study carbon nanotubes having a distance interparoi 33 (see Figure 4) approximately constant, for example within 5%. The first ring 31 thus corresponds to the diffraction due to the walls of the carbon nanotubes, for an approximately constant inter-wall distance 33.
La figure de diffusion 40 de la figure 6 présente deux maxima d'intensité 34. Pour l'étude de la figure de diffusion 40, on effectue une coupe circulaire 35 (représentée en pointillés) de la raie de diffraction 002. On obtient ainsi la figure 11. Sur la figure 11, l'axe des abscisses est gradué en degrés (coupe circulaire). L'axe des ordonnées est représentatif de l'intensité mesurée sur la figure de diffraction. On a donc représenté à la figure 11 une courbe représentant la variation d'intensité d'une raie (la raie de diffraction 002) de la figure de diffusion 40, en fonction de la direction du faisceau diffusé et pour un angle de diffusion constant (coupe circulaire et centrée sur l'axe de propagation). On parlera plus rapidement de coupe circulaire de la raie de diffraction 002.  The diffusion figure 40 of FIG. 6 has two intensity maxima 34. For the study of the diffusion pattern 40, a circular section 35 (shown in dotted lines) of the 002 diffraction line is made. Figure 11. In Figure 11, the abscissa is graduated in degrees (circular section). The ordinate axis is representative of the intensity measured in the diffraction pattern. FIG. 11 therefore shows a curve representing the intensity variation of a line (the diffraction line 002) of the diffusion figure 40, as a function of the direction of the scattered beam and for a constant diffusion angle ( circular cut and centered on the axis of propagation). We will speak more quickly of circular section of the diffraction line 002.
Les cercles sur la figure 11 représentent ces mesures expérimentales. On repère deux maxima espacés sur cet exemple d'environ 150° (valeur inférieure à 180°).  The circles in Figure 11 represent these experimental measurements. There are two maxima spaced in this example of about 150 ° (value less than 180 °).
Pour comparaison, la figure 5 représente la figure de diffusion obtenue dans un dispositif 1 selon l'art antérieur, et la figure 10 représente la coupe circulaire de la raie de diffraction 002 de nanotubes de carbone multiparois, correspondant à la figure de diffusion de la figure 5. Les maxima sont espacés de 180°. For comparison, FIG. 5 represents the diffusion pattern obtained in a device 1 according to the prior art, and FIG. 10 represents the circular section of the diffraction line 002 of multiwall carbon nanotubes, corresponding to the diffusion figure of Figure 5. The maxima are spaced 180 °.
On détermine le degré de désalignement des nanotubes de carbone dans la membrane en ajustant la courbe expérimentale avec une courbe ajustée 370 (par un calcul d'interpolation).  The degree of misalignment of the carbon nanotubes in the membrane is determined by adjusting the experimental curve with an adjusted curve 370 (by an interpolation calculation).
Cette courbe ajustée 370 permet de déterminer quantitativement le degré de désalignement, via un calcul basé sur la théorie de la diffraction (ou via une tabulation adaptée), qui intègre le degré d'orientation des nanotubes dans la membrane ainsi que l'orientation de la membrane, notamment la valeur de l'angle a, choisie pour réaliser la mesure.  This adjusted curve 370 makes it possible to quantitatively determine the degree of misalignment, via a calculation based on the theory of diffraction (or via a suitable tabulation), which integrates the degree of orientation of the nanotubes in the membrane and the orientation of the membrane, in particular the value of the angle a, chosen to carry out the measurement.
Que le degré de désalignement soit mesuré à partir d'une figure de diffusion aux grands angles ou aux petits angles, on peut relier une mesure sur la figure de diffusion avec un degré de désalignement des objets dans la membrane 2 :  Whether the degree of misalignment is measured from a large angle or small angle scatter pattern, a measurement on the scatter pattern can be related to a degree of misalignment of the objects in the membrane 2:
- en utilisant une base de données stockant des couples {mesure sur la figure de diffusion ; degré de désalignement} pour une orientation de la membrane donnée, de façon à associer rapidement une mesure sur la figure de diffusion à un degré de désalignement. Cette base de données peut être réalisée à partir de données expérimentales (on relève des mesures sur une figure de diffusion, pour une membrane connue et une orientation de la membrane connue) ou théoriques (à partir de la théorie connue de la diffusion). Dans ce cas, le temps d'analyse est par exemple de 3 secondes par point de mesure, pour un diamètre du faisceau 6 de rayons X égal à 1mm; ou  using a database storing pairs {measure on the diffusion figure; degree of misalignment} for a given membrane orientation, so as to quickly associate a measurement on the scatter pattern to a degree of misalignment. This database can be made from experimental data (measurements are made on a scattering pattern, for a known membrane and a known membrane orientation) or theoretical (from the known theory of diffusion). In this case, the analysis time is, for example, 3 seconds per measurement point, for a diameter of the x-ray beam 6 equal to 1 mm; or
- en calculant au cas par cas, à partir de la théorie de la diffusion, et connaissant l'orientation de la membrane prédéterminée, le degré de désalignement correspondant à la mesure effectuée sur une figure de diffraction. Dans ce cas, le temps d'analyse est par exemple de 30 secondes par point de mesure, pour un diamètre du faisceau 6 de rayons X égal à 1mm.  by calculating on a case-by-case basis, from the scattering theory, and knowing the orientation of the predetermined membrane, the degree of misalignment corresponding to the measurement made on a diffraction pattern. In this case, the analysis time is for example 30 seconds per measurement point, for a diameter of the beam 6 of X-rays equal to 1 mm.
La figure 9 illustre la correspondance entre :  Figure 9 illustrates the correspondence between:
- les largeurs à mi-hauteur d'un pic de la courbe ajustée représentant la variation d'intensité de la raie de diffraction 002 (obtenue grâce à un dispositif 100 selon l'invention) en fonction de la direction du faisceau diffusé et pour un angle de diffusion constant, et - des degrés de désalignement d'objets contenus dans une membrane. L'axe des abscisses est gradué en degrés : il correspond à des degrés de désalignement des objets. L'axe des ordonnées correspond à la largeur à mi-hauteur des pics 37 à gauche (ou à droite). Pour le pic 37 de la courbe ajustée représenté à gauche sur la figure 11, la largeur à mi-hauteur est déterminée de la façon suivante. the widths at mid-height of a peak of the adjusted curve representing the variation of intensity of the diffraction line 002 (obtained thanks to a device 100 according to the invention) as a function of the direction of the scattered beam and for a constant diffusion angle, and degrees of misalignment of objects contained in a membrane. The x-axis is graduated in degrees: it corresponds to degrees of misalignment of the objects. The ordinate axis corresponds to the width at mid-height of the peaks 37 on the left (or on the right). For peak 37 of the adjusted curve shown on the left in FIG. 11, the width at half height is determined as follows.
- on détermine le minimum absolu U;  the absolute minimum U is determined;
- on détermine le maximum V ;  the maximum V is determined;
- on détermine la valeur W de la mi-hauteur de ce pic, c'est-à-dire la valeur U plus la moitié de la différence entre les valeurs V et U ;  the value W of the mid-height of this peak, that is to say the value U plus half of the difference between the values V and U, is determined;
- on repère l'abscisse S du point du pic ayant pour ordonnée V ;  the abscissa S of the point of the peak having the ordinate V is located;
- on repère les deux abscisses R et T des points du pic ayant pour ordonnée W ;  the two abscissas R and T of the points of the peak having the ordinate W are identified;
- l'écart (T-R) entre ces deux abscisses correspond à la largeur à mi- hauteur du pic.  the difference (T-R) between these two abscissae corresponds to the width at half height of the peak.
Les ronds sur la figure 9 représentent la correspondance pour un angle a prédéterminé non nul. Pour comparaison, les carrés sur la figure 9 représentent la correspondance pour un autre angle a nul. On voit qu'il est possible d'extrapoler entre les valeurs discrètes présentées ici. Les courbes d'extrapolation étant monotones, on peut retrouver de façon univoque le degré de désalignement à partir d'une mesure sur une figure de diffusion.  The circles in Fig. 9 show the correspondence for a predetermined non-zero angle α. For comparison, the squares in Figure 9 represent the correspondence for another angle to zero. We see that it is possible to extrapolate between the discrete values presented here. The extrapolation curves being monotonic, one can unambiguously find the degree of misalignment from a measurement on a diffusion figure.
On peut donc, à partir de quelques valeurs discrètes, déterminer un modèle mathématique pour obtenir un continuum de couples {mesure sur la figure de diffusion ; degré de désalignement} pour une orientation de la membrane donnée. On peut donc réaliser une base de données telle que définie ci-avant assez complète.  We can therefore, from a few discrete values, determine a mathematical model to obtain a continuum of pairs {measure on the diffusion figure; degree of misalignment} for a given membrane orientation. It is therefore possible to make a database as defined above quite complete.
L'orientation optimale de la membrane 2 dépend de plusieurs paramètres.  The optimal orientation of the membrane 2 depends on several parameters.
La figure 12, qui correspond à des mesures expérimentales, illustre l'effet de l'inclinaison de la membrane sur une coupe circulaire de la raie de diffraction 002 de nanotubes de carbone multiparois, obtenue dans un dispositif 100 selon l'invention, pour un degré de désalignement donné. L'axe des abscisses est gradué en degrés (cf coupe circulaire de la raie de diffraction 002). L'axe des ordonnées correspond aux intensités mesurées, qui sont translatées verticalement pour plus de clarté. Pour chaque courbe, on a noté à gauche la valeur de l'angle a correspondante (l'un des axes de la membrane étant ici perpendiculaire à l'axe de propagation des rayons X incidents). On voit donc que pour un angle a compris entre 0 et 60°, on obtient deux pics 37 bien définis permettant un calcul précis d'un degré de désalignement. Au-delà, ce n'est plus réalisable aussi aisément. Pour a=90°, la courbe devrait être une droite horizontale (l'écart à la droite est lié à différents aspects expérimentaux qui ne seront pas discutés ici) : le degré de désalignement ne peut pas être mesuré dans cette géométrie. FIG. 12, which corresponds to experimental measurements, illustrates the effect of the inclination of the membrane on a circular section of the diffraction line 002 of multiwall carbon nanotubes, obtained in a device 100 according to the invention, for a degree of misalignment given. The x-axis is graduated in degrees (cf circular section of the 002 diffraction line). The y-axis corresponds to the measured intensities, which are translated vertically for greater clarity. For each curve, the value of the corresponding angle α was noted on the left (one of the axes of the membrane being here perpendicular to the axis of propagation of the incident X-rays). It can thus be seen that for an angle α between 0 and 60 °, two well-defined peaks 37 are obtained allowing an accurate calculation of a degree of misalignment. Beyond that, it is no longer feasible so easily. For a = 90 °, the curve should be a horizontal line (the deviation to the right is related to different experimental aspects that will not be discussed here): the degree of misalignment can not be measured in this geometry.
Le calcul du degré de désalignement est d'autant plus précis que les pics sont bien définis.  The calculation of the degree of misalignment is all the more precise as the peaks are well defined.
On a par exemple pour un degré de désalignement de 20° :  For example, for a degree of misalignment of 20 °:
Figure imgf000030_0001
Figure imgf000030_0001
Les figures 13 et 14 illustrent respectivement des simulations montrant l'influence de l'angle a d'inclinaison de la membrane de nanotubes, sur la coupe circulaire de la raie de diffraction 002 de nanotubes de carbone multiparois, obtenue dans un dispositif 100 selon l'invention, pour un degré de désalignement plus grand sur la figure 14 que sur la figure 13. FIGS. 13 and 14 respectively illustrate simulations showing the influence of the angle of inclination of the nanotube membrane on the circular section of the diffraction line 002 of multiwall carbon nanotubes, obtained in a device 100 according to FIG. invention, for a greater degree of misalignment in FIG. 14 than in FIG. 13.
Sur les deux figures, qui sont obtenues à partir de calculs basés sur la théorie de la diffraction, l'axe des abscisses est gradué en degrés, et on voit plusieurs coupes circulaires de la raie de diffraction 002, pour un angle a d'inclinaison de la membrane allant de 55° à 65° (de haut en bas sur les figures). On voit là encore que plus l'angle a d'inclinaison de la membrane est faible, mieux les pics sont définis. On voit aussi, en comparant les figures 13 et 14, que plus le degré de désalignement est grand, moins bien définis sont les pics, ce qui dégrade d'autant la précision sur le calcul du degré de désalignement. Plus les pics sont fins, meilleure est la précision sur le calcul du degré de désalignement.  In the two figures, which are obtained from calculations based on diffraction theory, the x-axis is graduated in degrees, and we see several circular sections of the diffraction line 002, for an angle of inclination. of the membrane ranging from 55 ° to 65 ° (from top to bottom in the figures). Here again it is seen that the lower the inclination angle of the membrane, the better the peaks are defined. It is also seen, by comparing Figures 13 and 14, that the greater the degree of misalignment, the less well defined are the peaks, which further degrades the precision on the calculation of the degree of misalignment. The higher the peaks, the better the accuracy of the calculation of the degree of misalignment.
A titre d'exemple, pour un angle a d'inclinaison de la membrane de 60° on a : Degré de désalignement Précision sur la mesure d'un By way of example, for an angle of inclination of the membrane of 60 ° we have: Degree of misalignment Accuracy on the measurement of a
degré de désalignement  degree of misalignment
4° +/- 0,3°  4 ° +/- 0.3 °
10° +/- 0.8°  10 ° +/- 0.8 °
20° +/- 2°  20 ° +/- 2 °
On va maintenant étudier le cas d'une membrane inconnue. We will now study the case of an unknown membrane.
Dans ce cas, on commence par étudier la membrane et sa figure de diffusion .  In this case, we begin by studying the membrane and its diffusion pattern.
On réalise cette étude pour différentes orientations de la membrane. This study is carried out for different orientations of the membrane.
On établit ensuite un modèle théorique de la diffusion par la membrane. A theoretical model of diffusion by the membrane is then established.
On détermine une raie de diffusion qui sera étudiée, notamment parce qu'elle est sensible à l'orientation des objets contenus dans la membrane et dont on souhaite déterminer le degré de désalignement.  A diffusion line is determined which will be studied, in particular because it is sensitive to the orientation of the objects contained in the membrane and which it is desired to determine the degree of misalignment.
On détermine le cône d'ouverture de la portion du faisceau de diffusion qui sera exploitée dans la mesure d'un degré de désalignement. Ce cône détermine le champ d'une caméra constituant les moyens de détection 7. On peut aussi jouer sur la longueur d'onde du faisceau 6 de rayons X pour faire varier l'ouverture du cône de diffusion par exemple pour l'adapter à une caméra donnée. Plus la longueur d'onde est grande et plus l'ouverture du cône sera grande.  The opening cone of the portion of the scattering beam to be exploited is determined to the extent of a degree of misalignment. This cone determines the field of a camera constituting the detection means 7. It is also possible to operate on the wavelength of the x-ray beam 6 to vary the aperture of the diffusion cone, for example to adapt it to a given camera. The longer the wavelength, the larger the cone opening.
On simule alors l'anisotropie de la figure de diffusion en fonction de l'orientation de la membrane pour vérifier expérimentalement la validité du modèle.  The anisotropy of the diffusion pattern is then simulated as a function of the orientation of the membrane to experimentally verify the validity of the model.
On choisit une orientation de la membrane, notamment en fonction de la précision souhaitée sur la mesure du degré de désalignement et de l'encombrement maximal autorisé.  An orientation of the membrane is chosen, in particular as a function of the desired accuracy on the measurement of the degree of misalignment and the maximum permitted space requirement.
On peut ensuite paramétrer un logiciel exécuté par le processeur 21 : - avec cette orientation de la membrane et  One can then parameterize a software executed by the processor 21: with this orientation of the membrane and
- avec le modèle théorique de la membrane.  - with the theoretical model of the membrane.
Ce paramétrage provoque alors le pilotage du support 12 par le logiciel pour le réglage automatique du support 12 à cette orientation voulue. Ensuite on peut relever un signal d'intensité correspondant à une figure de diffusion en transmission, effectuer une mesure sur ce signal d'intensité, et associer à cette mesure un degré de désalignement. This setting then causes the control of the support 12 by the software for the automatic adjustment of the support 12 to this desired orientation. Then we can note a signal of intensity corresponding to a figure of transmission diffusion, make a measurement on this intensity signal, and associate with this measurement a degree of misalignment.
Bien sûr, l'invention n'est pas limitée aux exemples qui viennent d'être décrits et de nombreux aménagements peuvent être apportés à ces exemples sans sortir du cadre de l'invention.  Of course, the invention is not limited to the examples that have just been described and many adjustments can be made to these examples without departing from the scope of the invention.

Claims

REVENDICATIONS
1. Dispositif (100) de mesure d'un degré de désalignement d'objets contenus dans une membrane (2) et alignés principalement selon une direction prédéterminée ou selon un plan prédéterminé, le dispositif (100) de mesure comprenant : A device (100) for measuring a degree of misalignment of objects contained in a membrane (2) and aligned mainly in a predetermined direction or in a predetermined plane, the measuring device (100) comprising:
- des moyens d'émission (11) d'un faisceau (6) de rayons X se propageant selon un axe de propagation (350),  means for transmitting (11) an X-ray beam (6) propagating along an axis of propagation (350),
- des moyens de détection (7) du faisceau de rayons X pour mesurer un faisceau diffusé (8) après traversée de la membrane (2), un support (12) pour recevoir la membrane (2), situé entre les moyens d'émission (11) et les moyens de détection (7),  detection means (7) of the X-ray beam for measuring a scattered beam (8) after passing through the membrane (2), a support (12) for receiving the membrane (2), located between the transmitting means (11) and the detection means (7),
caractérisé en ce que le support (12) est agencé pour recevoir la membrane (2) de façon à ce que l'axe de propagation (350) ne soit pas contenu dans un plan de membrane (20), le plan de membrane (20) formant un angle a non nul avec l'axe de propagation (350).  characterized in that the support (12) is arranged to receive the membrane (2) so that the axis of propagation (350) is not contained in a membrane plane (20), the membrane plane (20) ) forming a non-zero angle with the axis of propagation (350).
2. Dispositif (100) de mesure selon la revendication 1, caractérisé en ce que le plan de membrane (20) peut être défini par deux axes (Wl, W2) dont l'un (W2) au moins est perpendiculaire à l'axe de propagation (350). 2. Device (100) for measuring according to claim 1, characterized in that the membrane plane (20) can be defined by two axes (W1, W2) of which at least one (W2) is perpendicular to the axis propagation (350).
3. Dispositif (100) de mesure selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la membrane (2) est plane. 3. Device (100) for measuring according to claim 1 or 2, characterized in that the membrane (2) is flat.
4. Dispositif (100) de mesure selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'angle a est compris entre 20° et 80°. 4. Device (100) for measuring according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the angle a is between 20 ° and 80 °.
5. Dispositif (100) de mesure selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de mesure de l'intensité (15) d'un faisceau transmis (16) par la membrane (2). 5. Device (100) for measuring according to any one of claims 1 to 4, characterized in that it comprises means for measuring the intensity (15) of a transmitted beam (16) by the membrane (2). ).
6. Dispositif (100) de mesure selon la revendication 5, caractérisé en ce que les moyens de mesure de l'intensité (15) du faisceau transmis (16) par la membrane (2) comprennent une photodiode placée sur le chemin optique du faisceau transmis (16) par la membrane (2). 6. Device (100) for measuring according to claim 5, characterized in that the means for measuring the intensity (15) of the transmitted beam (16) by the membrane (2) comprises a photodiode placed on the optical path of the beam transmitted (16) by the membrane (2).
7. Dispositif (100) de mesure selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de mesure (14) d'un signal de fluorescence émis par la membrane (2) en réponse au faisceau (6) émis par les moyens d'émission (11). 7. Device (100) for measuring according to any one of claims 1 to 6, characterized in that it comprises means (14) for measuring a fluorescence signal emitted by the membrane (2) in response to the beam (6) emitted by the transmitting means (11).
8. Dispositif (100) de mesure selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le support (12) comprend des moyens (190) pour déplacer la membrane (2) selon au moins une translation dans le plan de membrane. 8. Device (100) for measuring according to any one of claims 1 to 7, characterized in that the support (12) comprises means (190) for moving the membrane (2) in at least one translation in the plane of membrane.
9. Procédé d'utilisation du dispositif de mesure selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : 9. A method of using the measuring device according to any one of claims 1 to 8, characterized in that it comprises the following steps:
- on mesure un signal d'intensité correspondant à une figure de diffusion (27 ; 40) formée par le faisceau diffusé (8) ;  an intensity signal corresponding to a diffusion pattern (27; 40) formed by the scattered beam (8) is measured;
pour l'orientation de la membrane choisie telle que l'axe de propagation (350) ne soit pas contenu dans le plan de membrane (20), on détermine le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane (2) en reliant une mesure sur la figure de diffusion (27 ; 40) avec le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane (2).  for the orientation of the chosen membrane such that the axis of propagation (350) is not contained in the plane of membrane (20), the degree of misalignment of the objects contained in the membrane (2) is determined by connecting a measurement in the diffusion pattern (27; 40) with the degree of misalignment of the objects contained in the membrane (2).
10. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : 10. Method according to claim 9, characterized in that it comprises the following steps:
pour la mesure du signal d'intensité correspondant à une figure de diffusion (27 ; 40) formée par le faisceau diffusé, on mesure un signal d'intensité correspondant à une figure de diffusion (27) aux petits angles du faisceau (6) après traversée de la membrane (2),  for measuring the intensity signal corresponding to a scattering pattern (27; 40) formed by the scattered beam, measuring an intensity signal corresponding to a scattering pattern (27) at the small angles of the beam (6) after crossing the membrane (2),
pour relier la mesure sur la figure de diffusion (27) avec le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane (2) :  to connect the measurement on the diffusion pattern (27) with the degree of misalignment of the objects contained in the membrane (2):
• on mesure la forme de la figure de diffusion (27),  The shape of the diffusion pattern (27) is measured,
• pour l'orientation de la membrane choisie telle que l'axe de propagation (350) ne soit pas contenu dans le plan de membrane (20), on détermine le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane (2) en reliant cette forme avec le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane (2). For the orientation of the chosen membrane such that the axis of propagation (350) is not contained in the membrane plane (20), the degree of misalignment of the objects contained in the membrane (2) by connecting this shape with the degree of misalignment of the objects contained in the membrane (2).
11. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : 11. Method according to claim 9, characterized in that it comprises the following steps:
pour la mesure du signal d'intensité correspondant à une figure de diffusion (27 ; 40) formée par le faisceau diffusé, on mesure un signal d'intensité correspondant à une figure de diffusion (40) aux grands angles du faisceau après traversée de la membrane (2),  for measuring the intensity signal corresponding to a scattering pattern (27; 40) formed by the scattered beam, measuring an intensity signal corresponding to a scattering pattern (40) at the large beam angles after crossing the beam. membrane (2),
- pour relier la mesure sur la figure de diffusion (40) avec le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane (2) :  to connect the measurement on the diffusion figure (40) with the degree of misalignment of the objects contained in the membrane (2):
• on mesure une dimension caractéristique d'un pic (37) de la courbe représentant la variation d'intensité d'une raie de la figure de diffusion (40), en fonction de la direction du faisceau diffusé (8) pour un angle de diffusion constant,  A characteristic dimension of a peak (37) of the curve representing the variation of intensity of a line of the diffusion pattern (40) is measured as a function of the direction of the scattered beam (8) for an angle of constant diffusion,
• pour l'orientation de la membrane choisie telle que l'axe de propagation (350) ne soit pas contenu dans le plan de membrane (20), on détermine le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane (2) en reliant cette dimension caractéristique avec le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane For the orientation of the chosen membrane such that the axis of propagation (350) is not contained in the plane of membrane (20), the degree of misalignment of the objects contained in the membrane (2) is determined by connecting this characteristic dimension with the degree of misalignment of the objects contained in the membrane
(2). (2).
12. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce que l'on choisit comme membrane (2) des nanotubes de carbone multiparois imprégnés dans un polymère et l'on mesure un signal d'intensité correspondant à la raie de diffraction 002. 12. The method of claim 11, characterized in that one chooses as membrane (2) of multiwall carbon nanotubes impregnated in a polymer and measuring an intensity signal corresponding to the diffraction line 002.
13. Procédé selon l'une des revendications 9 à 11, caractérisé en ce que l'on choisit comme membrane (2) au moins une membrane parmi : 13. Method according to one of claims 9 to 11, characterized in that the membrane (2) is chosen from at least one of:
- une membrane formée par des nanotubes d'alumino-silicate imprégnés dans un polymère ou une céramique ou non-imprégnés ; une membrane formée par des nanofils métalliques imprégnés dans un polymère ou une céramique ou non-imprégnés ;  a membrane formed by alumino-silicate nanotubes impregnated in a polymer or a ceramic or non-impregnated; a membrane formed by metal nanowires impregnated in a polymer or a ceramic or non-impregnated;
une membrane formée par des nanotubes d'oxyde de titane imprégnés dans un polymère ou une céramique ou non-imprégnés ; une membrane formée par des nanotubes de carbone mono ou multiparois imprégnés dans un polymère ou une céramique ou non- imprégnés ; a membrane formed by nanotubes of titanium oxide impregnated in a polymer or a ceramic or non-impregnated; a membrane formed by mono- or multiwall carbon nanotubes impregnated in a polymer or a ceramic or non-impregnated;
une membrane formée de tubes traversants vides ;  a membrane formed of empty through tubes;
- une membrane formée de feuillets ;  a membrane formed of leaflets;
une membrane formée de feuillets d'argile parallèles au plan de la membrane.  a membrane formed of clay sheets parallel to the plane of the membrane.
14. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 13, caractérisé en ce que l'on détermine l'orientation de la membrane (2) en fonction de la précision souhaitée sur la mesure de degré de désalignement des objets contenus dans la membrane (2). 14. Method according to any one of claims 9 to 13, characterized in that the orientation of the membrane (2) is determined according to the desired accuracy on the measurement of degree of misalignment of the objects contained in the membrane (2).
15. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 14, caractérisé en ce que l'on détermine l'orientation de la membrane (2) en fonction d'une première approximation du degré de désalignement des objets contenus dans la membrane (2). 15. Method according to any one of claims 9 to 14, characterized in that the orientation of the membrane (2) is determined according to a first approximation of the degree of misalignment of the objects contained in the membrane (2). ).
16. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 15, caractérisé en ce que l'on détermine l'orientation de la membrane (2) en fonction de l'encombrement de la membrane (2). 16. Method according to any one of claims 9 to 15, characterized in that the orientation of the membrane (2) is determined as a function of the bulk of the membrane (2).
17. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 16, caractérisé en ce que l'on effectue au moins une fois les étapes suivantes : 17. Method according to any one of claims 9 to 16, characterized in that the following steps are carried out at least once:
- on détermine le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane (2) en un point de la membrane,  the degree of misalignment of the objects contained in the membrane (2) at a point in the membrane is determined,
- on déplace la membrane (2) selon au moins une translation dans le plan de membrane,  the membrane (2) is moved in at least one translation in the plane of the membrane,
- on détermine le degré de désalignement des objets contenus dans la membrane (2) en un autre point de la membrane, puis  the degree of misalignment of the objects contained in the membrane (2) is determined at another point of the membrane, then
- on réalise une cartographie des degrés de désalignement des objets contenus dans la membrane (2) pour chaque point étudié de la membrane (2). a mapping is made of the degrees of misalignment of the objects contained in the membrane (2) for each studied point of the membrane (2).
18. Produit programme d'ordinateur, caractérisé en ce qu'il est agencé pour exécuter les étapes du procédé selon l'une quelconque des revendications 9, 10, 11, 14, 15, 16 ou 17 lorsqu'il est exécuté dans un ordinateur. 18. Computer program product, characterized in that it is arranged to perform the steps of the method according to any one of claims 9, 10, 11, 14, 15, 16 or 17 when executed in a computer .
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